JP4911761B2 - 変形可能なガントリー型作業装置 - Google Patents

Description

本発明は、作業部と相対動するワークに対して所望の作業を行うガントリー型作業装置において、移送時のスペース面での問題を解消することができる変形可能なガントリー型作業装置に関する。

ワークが載置されるワークテーブルを縦断するビーム（ガントリーフレーム）を有する構造を有する作業装置があり、一般にガントリー型作業装置と呼ばれる。相対動するワークに対して所望の作業を行うためのガントリー型の作業装置としては、例えば、液晶表示パネルの製造におけるシール剤を塗布する装置、太陽電池パネルのパターニング装置、半導体デバイスの欠陥検査装置等がある。
この種の装置は、ワークの大型化に伴い装置本体そのものが大型化される傾向にあり、例えば、第８世代と呼ばれる液晶表示パネル用のガラス基板のサイズは２１６０ｍｍ×２４００ｍｍであり、作業装置はこれを載置できるワークテーブルを備える必要がある。

液晶用基板にシール剤を塗布するための塗布装置としては、例えば、液状体が収容されるバレルおよびこのバレルの先端部に着脱自在に設けられ先端から上記バレル内の液状体が吐出されるノズル体とを有するディスペンサと、上記ワークに対して上記ディスペンサを相対的にＸ、ＹおよびＺ方向に移動させる駆動手段と、上記ノズル体の先端部を撮像しその撮像信号によってこのノズル体の先端部の位置を検出するノズル撮像手段とを具備した液状体の塗布装置が提言されている（特許文献１）。

ガントリー型のペースト塗布機としては、例えば、ワークテーブルに載置された基板に対してノズルをＺ軸方向に移動させるＺ軸移動手段を有するガントリーフレーム（Ｙ軸移動テーブル）を備え、ガントリーフレームをＸ軸移動テーブルによりＸ軸方向に移動させる構造を有するものがある（特許文献２）。

固定テーブルに取りつけたワークに対して加工ヘッドをＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸方向に制御移動して加工を行うガントリー型の工作機械としては、例えば、特許文献３に開示される装置がある。
特開平１１−０３３４５８号公報 特許第３５２０２０５号公報 特開２００１−２１９３２５号公報

上記従来の作業装置は、ワークが保持されるワークテーブルと、ワークに所望の作業する作業部が一体的に構成されているため、移設が困難であった。具体的には、一度設置した作業装置を他の場所へ移設する場合や、作業装置を組み立てる場所と稼働させる場所が離れている場合などにおいて、狭い搬送路を通ったり、トラック等の輸送手段に積載する際に、作業装置を部品レベルに分解する必要が生じることがあった。
しかしながら、作業装置は一つの場所で利用するものであり、分解して移動することを前提とするもではなく、分解には非常に多くの時間と労力が必要であった。
特に、精密な作業を行う装置においては、その組み立て作業も精密に行わなくてはならず、十分な精度を確保するための調整作業には高度な技術が必要とされる場合もあった。

しかも、大型化された作業装置は重量も大きなものとなるため、その組立には、クレーン等の重機を要するという課題があった。

上記課題を鑑み、本発明は、移送時には占有スペースが小さくなるよう変形することができ、復元も容易であるガントリー型作業装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決し目的を達成するために、本発明のガントリー型作業装置は、ワークテーブルユニットとベースユニットを分離可能とし、さらに占有スペースを小さくするためにベースユニットを変形可能に構成した。また、ガントリーフレームと架台を回動する構成とし、移送時にこれらを固定する固定具や組立を容易にする調整具を設けるなどの工夫を行うことにより、移送作業および移送後の組立作業を容易かつ安全に行うことを可能ならしめた。

すなわち、本発明のガントリー型作業装置は次のように構成されている。
第１の発明は、ベースユニットとワークテーブルユニットとから構成されるガントリー型作業装置であって、前記ベースユニットは、第１の方向に並設される二つの架台と、第１の方向と直交する第２の方向に配設され、その下端部が回転手段を介して二つの架台に接続されるガントリーフレームと、ガントリーフレームに配設され、ワークに対し作業を行う作業部を備え、前記ワークテーブルユニットは、前記ベースユニットの有する前記二つの架台の間に設置され、ワークを保持するワークテーブルと、それを支持するテーブル架台を備え、前記作業部と前記ワークの相対位置関係を変化させることにより、ワークに所望の作業を行うことができ、非作業時においては、前記ワークテーブルユニットを前記ベースユニットから分離すること、並びに、前記ガントリーフレームを回動させながら前記二つの架台の間隔を狭めることができることを特徴とするガントリー型作業装置である。
第２の発明は、第１の発明において、前記ガントリーフレームの下端部のいずれかが、前記架台上を第１の方向に移動するスライダーとを介して前記架台の上面に配設されたスライドベースに接続されることを特徴とする。
第３の発明は、第１の発明において、前記ガントリーフレームの下端部の両方が、前記架台上を第１の方向に移動するスライダーとを介して前記架台の上面に配設されたスライドベースに接続されることを特徴とする。
第４の発明は、第２または３の発明において、前記スライダーは、リニアモータ駆動であることを特徴とする。
第５の発明は、第１ないし４のいずれかの発明において、前記二つの架台にそれぞれ延設された第１の長尺部材と、それらと係合する前記テーブル架台に延設された第２の長尺部材とから構成される架台連結ガイドを備え、前記テーブルユニットおよび前記ベースユニットが架台連結ガイドにより連結されることを特徴とする。
第６の発明は、第５の発明において、前記架台連結ガイドを構成する第１および第２の長尺部材は、二つのＶ谷形状のレール部材と二つのＶ山形状のレール部材との組み合わせからなることを特徴とする。
第７の発明は、第５の発明において、前記架台連結ガイドを構成する第１および第２の長尺部材は、二つのガイドレールとそれらと嵌装する二つのガイドブロックとの組み合わせからなることを特徴とする。
第８の発明は、第６または７の発明において、前記二つの架台はＬ字形状であり、その高位置の上面に前記ガントリーフレームの下端部が接続され、その低位置の上面に前記第１の長尺部材が延設されることを特徴とする。
第９の発明は、第１ないし８のいずれかの発明において、前記ベースユニットは、前記二つの架台と前記ガントリーフレームとが構成する角度を計測し、記憶するエンコーダを有することを特徴とする。
第１０の発明は、第１ないし９のいずれかの発明において、前記ワークテーブルユニットは、前記ワークテーブルを前記第１の方向に移動自在とするワークテーブル移動手段を備えることを特徴とする。
第１１の発明は、第１ないし９のいずれかの発明において、前記ワークテーブルユニットは、前記ワークテーブルを前記第１の方向および前記第２の方向に移動自在とするワークテーブル移動手段を備えることを特徴とする。
第１２の発明は、第１０または１１の発明において、前記ワークテーブル移動手段は、リニアモータ駆動であることを特徴とする。
第１３の発明は、第１ないし１２のいずれかの発明において、前記ガントリーフレームは、前記作業部を第２の方向に移動自在とする作業部移動手段を備えることを特徴とする。
第１４の発明は、第１ないし１３のいずれかの発明において、前記ガントリーフレームは、前記作業部を上下方向に移動自在とする作業部移動手段を備えることを特徴とする。
第１５の発明は、第１ないし１４のいずれかの発明において、前記ベースユニットは、前記二つの架台を非作業時の間隔に保持する固定具を有することを特徴とする。
第１６の発明は、第１５の発明において、前記ベースユニットは、前記固定具を締結するための締結孔を有することを特徴とする。
第１７の発明は、第１ないし１６のいずれかの発明において、前記ベースユニットは、前記二つの架台の間隔を作業時の間隔に調整して、保持する調整具を備えることを特徴とする。
第１８の発明は、第１７の発明において、前記ベースユニットは、前記固定具を締結するための締結孔を有することを特徴とする。
第１９の発明は、第１ないし１８のいずれかの発明において、前記ベースユニットは、複数のガントリーフレームを有することを特徴とする。

本発明によれば、ワークテーブルユニットとベースユニットとを分離することができ、しかもベースユニットを占有スペースが小さくなるよう変形可能であるため、移送が容易である。
また、移送に伴う分解・組立作業や移送作業を容易かつ安全に行うことができ、移送に伴う作業工数を大幅に削減することができる。
さらには、作業装置を長期間に渡り使用しないときの装置保管スペースを小さくすることができ、また、ワークテーブルユニットとベースユニットを別々の箇所に保管することも可能である。

本発明を実施するための最良の作業装置の一態様を図面を参照しながら説明する。
図１は本発明にかかる作業装置の正面図であり、図２は本発明にかかる作業装置の平面図であり、図３は移送に伴う変形等を説明する図面であり、図４は固定具を装着した状態の正面図である。なお、図１は図２における下側から装置を観察した際の図面である。
≪構成≫
本発明にかかる作業装置は、図１および図２に図示するように、門型に配置されたベースユニット１２と前記ベースユニット１２の門の脚の間に配設されたテーブルユニット１３とから構成される。

ベースユニット１２は、第１の方向（図２の上下方向）に延設される二つの架台１ａ、１ｂと、それらに支持される第２の方向（図２の左右方向）に延設されるガントリーフレーム２と、ガントリーフレーム２に設けられた作業部とを主たる構成要素とする。
ガントリフレーム２は、単数または複数の作業ヘッド８を保持し、作業ヘッド８とワークテーブル９を相対移動させることによりワーク上の任意の位置に所望の作業を行うことができる。このようにワークに対し作業を行う作業ヘッド８のような機器を作業部と呼ぶものとする。
また、ガントリーフレーム２は、回転手段１４ａ、１４ｂを介して架台１ａ、１ｂに接続されている。これにより、架台１ａに接続されたガントリーフレーム２の一の下端が回動可能に支持され、架台１ｂに接続されたガントリーフレーム２の他の下端が回動可能に支持される。ここで、架台１ｂは、回転手段１４ｂを第１の方向に移動可能とするスライダー１５に接合されている。すなわち、架台１ｂの上面に設けられたスライドベース１６と、スライドベース１６上を第１の方向に移動自在なスライダー１５が回転手段１４ｂと接合されることにより、回転手段１４ｂを第１の方向に移動自在としている。なお、図２では、スライドベース１６を架台１ｂの上面に設けているが、架台１ａの上面に設ける構成としても当然よい。

テーブルユニット１３は、ワークを保持するワークテーブル９と、それを支持するテーブル架台３１とを主たる構成要素とする。本装置による作業時には、テーブルユニット１３は、架台１ａ、１ｂの間に設置される必要がある。

≪移送に伴う変形等≫
本装置を移送に伴い変形等する方法を説明する。
まず、図３（ａ）に示すように、テーブルユニット１３をベースユニット１２の外方（矢印方向）に分離移動し、架台１ａと架台１ｂとの間に空間を設ける。
次に、架台１ａと架台１ｂとの間隔を狭めるよう、架台１ａおよび／または架台１ｂに力をかける。すると、架台１ａに配設される回転手段１４ａと、架台１ｂに配設される回転手段１４ｂとの回転作用により、図３（ｂ）に示すように、ガントリーフレーム２が矢印方向に回動するとともに、スライダー１５がスライドベース１６上を第１の方向を大きい矢印に向かって直進動する。架台１ａと架台１ｂとの間隔をさらに狭めると、図３（ｃ）に示すように、ガントリフレーム２が更に回転し、ベースユニット１２が折りたたまれた状態となる。
以上の工程によって、ベースユニット１２とテーブルユニット１３を分離して移送することができ、さらにはベースユニット１２のサイズをコンパクトにすることができる。

また、本装置の移送の際には、架台１ａと架台１ｂとの間隔が保持されるよう、架台１ａと架台１ｂとを固定することが好ましい。図４は、板材２１と架台１ａ、１ｂを、ネジ２２で締結する固定具１１を例示するものである。但し、固定具は、架台１ａと架台１ｂとの間隔を保持する作用を有していればよく、図４に開示されるものに限定されない。

≪移送後の復元≫
移送に伴い変形された本装置を復元する工程は、前述の手順を逆にたどればよい。
まず、コンパクトに折り畳まれたベースユニット１２の架台１ａと架台１ｂとの間隔を拡げるよう力をかける。すると、回転手段１４ａと回転手段１４ｂの回転作用により、ガントリーフレーム２が図３（ｂ）の矢印方向と逆に回動するとともに、スライダー１５がスライドベース１６上を第１の方向を図３（ｂ）の大きい矢印と逆に向かって直進動する。
架台１ａと架台１ｂとの間隔をさらに拡げ、架台１ａと架台１ｂを所定の幅とした位置になったところで架台１ａと架台１ｂを固定する。そして、二つの架台とガントリフレーム２で構成される門形の脚の間にテーブルユニット１３を設置し、ベースユニット１２とテーブルユニット１３の水平方向および高さ方向の相対位置調整を行った後にベースユニット１２の位置を固定する。

なお、以上では、ガントリーフレームが単数の作業装置を前提に説明を行ったが、ガントリーフレームを複数備える作業装置にも本発明の技術思想を適用可能であることはいうまでもない。また、スライドベースを設けず、ガントリーフレームの下端と架台の接続位置を固定としたまま、変形時に二つの架台が段違いに重なることで省スペース化をはかる構成としてもよい。

以下では、本発明の詳細を実施例により説明するが、本発明は何ら実施例により限定されるものではない。

本実施例の作業装置は、液晶パネルを構成するガラス基板にペーストを塗布する塗布装置に関する。

≪構成≫
図５に示すように、本実施例の塗布装置２０は、門型に配置されたベースユニット１２と、ベースユニット１２の間に配設されたテーブルユニット１３とを主たる構成要素とする。
ベースユニット１２は、第１の方向（Ｙ方向）に延設される架台１ａ、１ｂと、これらに支持されるガントリフレーム２とにより構成される。ガントリーフレーム２の下端は、回転手段１４ａ、１４ｂに接合されており、これにより、ガントリーフレーム２は架台１ａ、１ｂと回動自在に支持されている。ガントリフレーム２には、作業部たる塗布ヘッド２９が複数配設される。

架台１ａ、１ｂはＬ字形状であり、第１の方向に沿って並設され、逆さの凸溝を構成する。テーブルユニット１３は、その凸溝に嵌合されるよう設置され、水平方向に延出されたテーブルユニット支持部１９ａ、１９ｂの上面（低い位置にある上面）により支持される。
架台１ａ、１ｂは、下面にレベルアジャスタ６２を有し、床面と本装置との水平レベルを調整することができる。

架台１ａの高い位置にある上面にはリニアガイド７ａ、リニアモータ固定子２４ａ、およびリニアスケール２６ａが設けられており、架台１ｂの高い位置にある上面にはリニアガイド７ｂ、リニアモータ固定子２４ｂ、およびリニアスケール２６ｂが設けられている。
回転手段１４ａ、１４ｂの下面は、リニアモータ可動子２５ａ、２５ｂと接合されており、リニアガイド７ａ、７ｂ、およびリニアモータ固定子２４ａ、２４ｂと協働してガントリーフレーム２を第１の方向に移動自在とし、またリニアスケール２６ａ、２６ｂによりガントリーフレーム２の移動を高精度としている。

図６は、回転手段１４ａの断面構成図である。
回転手段１４ａは、軸台４１ａ、回転軸４２ａ、ベアリング４３ａ、および絶対値エンコーダ４４ａで構成される。回転軸４２ａは、ベアリング４３ａを介して軸台４１ａと係合され、軸台４１ａに対し回動する。回転軸４２ａの上面は、ガントリーフレーム２と接合される。軸台４１ａの下面中央部にリニアモータ可動子２５ａが配設され、下面辺縁部にリニアガイド７ａが位置し、リニアモータ可動子２５ａの両側方にリニアモータ固定子２４ａが位置する。
なお、回転手段１４ｂも同様の構成である。

ベアリング４３ａの上方に配設される絶対値エンコーダ４４ａは、軸台４１ａと回転軸４２ａとの相対回転角度を検出する機器であり、相対回転角度を検出して制御装置１０１に記憶することができる。すなわち、ベースユニット１２とテーブルユニット１３の位置調整後、絶対値エンコーダ４４ａに最適化された相対回転角度を記憶しておくことで、移送に伴い変形等した作業装置を復元する際の調整作業の効率化および高精度化をはかることが可能となる。
なお、絶対値エンコーダ４４ａを備えることが好ましいが、必須の構成要素ではない。

ガントリフレーム２に複数配設される塗布ヘッド２９は、液体を吐出するノズル３０を有する。各塗布ヘッド２９は、図示しないリニアモータにより、ガントリフレーム２の延設方向に移動自在である。また、塗布ヘッド２９はそれぞれ独立して移動することが可能である。
ガントリフレーム２が移動する第１の方向（Ｙ方向）と、塗布ヘッド２９が移動する第２の方向（Ｘ方向）とは互いに直交する。各塗布ヘッド２９は、ノズル３０をワークに近づく方向ないしは遠ざかる方向（Ｚ方向）に移動させる昇降機構を備えている。すなわち、塗布ヘッド２９の有するノズル３０とワークをＸＹＺ方向に相対動することが可能である。

テーブルユニット１３は、テーブル架台３１とその上部に配設されるワークテーブル９とから構成され、テーブル架台３１はワークテーブル９を回転する回転機構を有する。すなわち、図示しないθモータ１０５の動力によりワークテーブル３２が回転することができる。
テーブルユニット１３は、架台１ａ、１ｂから延出するテーブルユニット支持部１９ａ、１９ｂに支持され、架台連結ガイド３３ａ、３３ｂにより連結される。

架台連結ガイド３３ａの構成を説明する。
図７は、前記架台連結ガイド３３ａの断面構成を示す図面である。
架台連結ガイド３３ａは、ガイドレール５１ａとガイドブロック５２ａとベアリング５３ａで構成される。
ガイドレール５１ａは、テーブルユニット支持部１９ａの上面で第１の方向（Ｙ方向）に延設される長尺部材である。ガイドブロック５２ａは、テーブル架台３１下部に接合される長尺部材であって、ガイドレール５１に嵌装することができる。
ベースユニット１２にテーブルユニット１３を連結する際は、ベースユニット１２の側方からガイドブロック５２ａをガイドレール５１ａに嵌装し、第１の方向をスライドすることで、テーブルユニット１３を取り付けることができる。テーブルユニット１３を分離する際は、ベースユニット１２の外側に向かってテーブルユニット１３を第１の方向をスライドすることで、円滑かつ容易に分離することができる。
ガイドレール５１ａとガイドブロック５２ａは、一般的なリニアガイドと同じ構成であり、ガイドレール５１ａ上をガイドブロック５２ａが円滑にスライドし、且つ、スライド方向に対し直交する方向（すなわちＸ方向およびＺ方向）のガタが小さくなるよう構成されている。
なお、架台連結ガイド３３ｂも同様の構成である。

ベースユニット１２とテーブルユニット１３とを連結することにより、ベースユニット１２とテーブルユニット１３との相対位置、および、架台１ａと架台１ｂとの間隔が定まり、且つ、架台１ａと架台１ｂが互いに第１の方向に向かって平行な位置関係に調整される。

≪移設手順≫
本実施例の塗布装置２０の移設作業においては、まず、テーブルユニット１３をベースユニット１２から分離する。分離作業は、テーブル架台３１を架台１ａ、１ｂの外側に向かって第１の方向をスライドさせることにより行うことができる。
続いて、ガントリーフレーム２を回動させながら架台１ａと架台１ｂとの間隔を狭くする。すなわち、ガントリーフレーム２を、θ方向ないしはその逆方向に回転させる力をかけると、回転手段１４ａ、１４ｂが回動するとともに、リニアモータ可動子２５ａ、２５ｂがスライド動することで、ガントリーフレーム２と架台１ａ、１ｂが構成する角度が直角から鋭角に変化する。これにより、ベースユニット１２は、折り畳むようにしてその荷姿がコンパクトになるため、移設に伴う運搬作業を容易に行うことができる。

運搬作業終了後、ベースユニット１２とテーブルユニット１３とを組み立てるにあたっては、まずコンパクトに変形されたベースユニット１２を元の形状に戻す作業を行う。すなわち、ガントリーフレーム２が架台１ａ、１ｂと直交する位置となるように力をかけると、回転手段１４ａ、１４ｂを回動するとともに、リニアモータ可動子２５ａ、２５ｂがスライド動し、架台１ａ、１ｂとの間隔が拡げられる。
ここで、図１２に図示するとおり、本実施例の調整具１８によれば、架台１ａ、１ｂを作業に適した間隔で保持することが可能である。すなわち、調整具１８を、架台連結ガイド３３ａ、３３ｂに通すことにより、リニアガイド７ａ、７ｂ間の平行調整および高さ調整を行うことができるよう、予め所定の距離に形成された部材が設けられており、調整後には調整具１８の締結孔１８１ａ、１８１ｂと架台１ａ、１ｂをネジ等により結合することができる。なお、図１２では、調整具１８を架台連結ガイド３３ａ、３３ｂに通して調整しているが、リニアガイド７ａ、７ｂに通して調整するようにしてもよい。
この際、分離前に絶対値エンコーダ４４ａにより記憶した回転角度の値を利用して、復元時の回転角度を調整すると、調整作業を精度良く簡単に行うことができる。
最後に、テーブル架台３１を架台連結ガイド３３ａ、３３ｂによりベースユニット１２に連結し、テーブル架台３１を所定の位置にセットすることで移設作業が完了する。

≪動作≫
本実施例の塗布装置２０の動作を、図１１に示す制御ブロック図を参照しながら説明する。
本実施例の塗布装置２０は、設定・表示器・入力手段１００から制御装置１０１に送られれた、ロボット動作手順に関するプログラム情報や、塗布に必要な各種パラメータ情報に基づき動作する。
作業対象となるワークであるガラス基板がワークテーブル９に設置されると、ワークテーブル９に配設されたセンサ１０２がガラス基板を検出した後、制御装置１０１が電磁弁１０３をＯＮとし、ワークテーブル９にガラス基板を真空吸着して固定する。
続いて、塗布ヘッド２９が備えるＣＣＤカメラ１０４にてガラス基板上に印刷された基準マーク位置を検出すると、ガントリーフレーム２の延設方向および移動方向で規定されるＸ−Ｙ軸に対するガラス基板の載置位置の傾きを算出し、θモータ１０５を駆動しワークテーブル３２をθ回転することでガラス基板のずれを補正する。

次に、複数の塗布ヘッド２９を、そのノズル３０がガラス基板上のＸＹ平面の所定位置となるよう移動させた後、ノズル３０とガラス基板とのクリアランスが所望量となるよう塗布ヘッド２９をＺ方向に下降させる。なお、塗布ヘッド２９は、予めペーストが充填された貯留容器を備えている。
塗布ヘッド２９の移動が完了すると、制御装置１０１からディスペンスコントローラ１１１へ吐出信号が出力され、ノズル３０よりペーストを吐出しながら複数の塗布ヘッド２９がＸＹ移動する。この動作により、ガラス基板に所定の塗布形状が形成される。ここで、本実施例の塗布装置２０は、複数の塗布ヘッド２９を有するため、複数の同一塗布パターンを同時に描画形成させることができる。

Ｙモータ６９およびＸモータ７０に対する制御は、モータコントローラ１０６が各モータの位置制御を行い、モータドライバ１０７が各モータへ通電する電流量を制御することで行う。
塗布ヘッド２９のＹ方向への移動は、ガントリーフレーム２が接続される複数のＸモータ７０を、リニアスケール１０９の位置情報を基に制御することにより行う。塗布ヘッド２９のＺ方向への移動は、ノズル３０とガラス基板の隙間を検出するセンサ１０２の位置情報に基づきＺモータ１１０を制御することにより行う。

以上の動作を行う本実施例の塗布装置２０において、塗布形状の形成を高精度に行うためには、ベースユニット１２とテーブルユニット１３の位置関係が高精度に調整されている必要がある。ここで、本実施例の塗布装置２０は、移設時に部品レベルの分解が不要であり、また分離前の回転角度の値を絶対値エンコーダ４４ａが記憶しているため、ベースユニット１２とテーブルユニット１３の位置関係の調整を容易かつ効率的に行うことができるため、移設コストを最小限とすることが可能である。

本実施例の作業装置は、ワークに接着剤等の液材を塗布する塗布装置に関し、より具体的には、ワーク上に液材を塗布形成させる装置であって、同一形状の描画パターンを同時に複数形成させるのに適した塗布装置である。すなわち、本実施例の塗布装置２０は、ワークテーブル９上に載置されたワークに対し、Ｘモータ７０とＹモータ６９の作動により、塗布ヘッド２９に対しワークテーブル９をＸ−Ｙ方向に移動させることで所望の描画パターンを形成するものである。

図８は、第２の実施例にかかる作業装置の斜視図である。
架台１ａの上面にはリニアガイド６３が延設されており、ガントリーフレーム２の一端をスライド動することを可能としている。
実施例１と同様に、架台１ａ、１ｂはＬ字形状であり、第１の方向に沿って並設され、テーブルユニット支持部１９ａ、１９ｂの上面テーブルユニット１３を支持する。また、架台１ａ、１ｂは、床面と本装置との水平レベルを調整するレベルアジャスタ６２を下部に有している。

ガントリーフレーム２の下端は、回転手段１４ａ、１４ｂを介してガントリーベース６５ａ、６５ｂと接続されている。ガントリーベース６５ａはリニアガイド６３の延設方向（Y方向）に可動自在に配設されるが、ガントリーベース６５ｂは架台１ｂの上面に固定して接続されている。
回転手段１４ａ、１４ｂは、実施例１と同じ構成であり、これによりガントリーフレーム２は回動可能とされる。

ガントリーフレーム２には、液材を収納する液材貯留容器（図示せず）を備える塗布ヘッド２９が複数搭載され、これらはガントリーフレーム２が有する図示しないモータにより、それぞれ独立してガントリフレーム２の延設方向に可動自在とされる。かかる構成により、本塗布装置の複数の塗布ヘッド２９は、その間隔を所望する間隔（すなわち、描画パターンの間隔）に適宜調整することを可能としている。
描画パターンに応じて、複数の塗布ヘッド２９の間隔を所望間隔に調整した後、ノズル３０から図示しない吐出装置により液材を吐出させるとともに、ワークテーブル９を相対動させることにより、ワーク表面に所望形状の液材による塗布描画を行うことができる。

架台１ａ、１ｂの有するテーブルユニット支持部１９ａ、１９ｂの上面には、架台連結ガイド３３ａ、３３ｂを構成する長尺部材が配設されている。
テーブル架台３１を架台１ａ、１ｂの延出方向（すなわちＹ方向）にスライドさせることにより、架台連結ガイド３３ａ、３３ｂの作用によりテーブル架台３１と架台１ａ、１ｂとを円滑かつ容易に接合・分離することができる。

図９は、架台連結ガイド３３ａの断面構成を示すものである。
架台連結ガイド３３ａは、凸状ブロック８１と精度良く溝状に形成された凹状レール８２で構成される。凸状ブロック８１は架台３１の下面に接合されており、凸状ブロック８１が凹状レール８２上をスライド動することで、架台３１をＹ方向にスライド自在に構成している。なお、凸状ブロック８１と凹状レール８２はＶ溝形状、Ｕ溝形状等の任意の形状とすることができる。
なお、架台連結ガイド３３ｂも同様の構成である。
また、架台連結ガイド３３ａ、３３ｂは、テーブル架台３１がスライドする方向に対し直交する方向（すなわち、Ｘ方向およびＺ方向）のガタを小さくするよう構成されており、架台連結ガイド３３ａ、３３ｂと架台１ａ、１ｂとを精度良く連結させることができる。
架台連結ガイド３３ａ、３３ｂの嵌合部は、円滑にスライドできるよう精度良く加工されていることはいうまでもない。

≪移設手順≫
本実施例の塗布装置２０の移設作業においては、まず、テーブルユニット１３をベースユニット１２から分離する。分離作業は、テーブル架台３１を連結ガイド３３ａ、３３ｂにより架台１ａ、１ｂの外側に移動させることにより行うことができる。
続いて、回転手段１４ｂを回転中心として、ガントリーフレーム２を回動させながら架台１ａと架台１ｂとの間隔を狭くする。すなわち、ガントリーフレーム２を、θ方向に回転させる力をかけると、回転手段１４ａ、１４ｂが回動するとともに、ガントリーベース６５ａがリニアガイド６３上をスライド動することで、ガントリーフレーム２と架台１ａ、１ｂが構成する角度が直角から鋭角に変化する。これにより、ベースユニット１２は、折り畳むようにしてその荷姿がコンパクトになるため、移設に伴う運搬作業を容易に行うことができる。

運搬作業終了後、ベースユニット１２とテーブルユニット１３とを組み立てるにあたっては、まずコンパクトに変形されたベースユニット１２を元の形状に戻す作業を行う。すなわち、ガントリーフレーム２が架台１ａ、１ｂと直交する位置となるように力をかけると、回転手段１４ａ、１４ｂを回動するとともに、ガントリーベース６５ａがスライド動し、架台１ａ、１ｂとの間隔が拡げられる。
この際、分離前に絶対値エンコーダ４４ａにより記憶した回転角度の値を利用して、復元時の回転角度を調整すると、調整作業を精度良く簡単に行うことができる。
最後に、テーブル架台３１を架台連結ガイド３３ａ、３３ｂによりベースユニット１２に連結し、テーブル架台３１を所定の位置にセットすることで移設作業が完了する。

以上のとおり、本実施例の装置は、一のリニアガイドで折りたたみを可能とする構成であるから、実施例１の装置よりも低コストで装置を構成できる。
また、架台連結ガイドを簡単な溝構造としているため、実施例１の装置よりも低コストで装置を構成することができる。

本実施例の作業装置は、ワークに接着剤等の液材を塗布する塗布装置に関する。
本実施例の塗布装置２０は、図１０に示すように、ユニットテーブル支持部１９ａ、１９ｂの上面に形成されたＶ形状の溝と、テーブルユニット１３の下面に形成されたＶ形状の突起とにより構成される架台連結ガイド３３ａ、３３ｂを有する点に特徴がある。
テーブルユニット１３とベースユニット１２との連結作業は、点線で示す台車３上にテーブル架台３１を積載して行う。台車３を用いることにより、テーブルユニット１３の移動および位置調整が容易となり、連結作業にかかる工数を短縮することができる。その効果は、特に、テーブルユニット１３のサイズが大きくなるほど顕著となる。
なお、テーブルユニット１３とベースユニット１２とを連結した後、台車３をテーブルユニット１３から容易に脱離させることができるよう、高さ調節機構を備えるのが好ましい。

本発明の技術思想は、液晶パネル、半導体、プリント基板などの電子機器の製造および検査に用いられる作業装置に適用することができる。例えば、フラットパネルのガラス基板に所望の形状のペーストパターンを塗布する塗布装置や、ペーストを吐出する塗布ヘッドを搭載するガントリー機構とガラス基板を固定するテーブルの機構に好適である。
また、試薬を被試験体に分注する分注装置や、工作加工機、実装機等にも適用することができ、例えば、塗布ヘッドの代わりに、ドリル等の加工ヘッドを搭載した加工機や、ピックアップヘッドを搭載して部品をワークに実装する実装機等にも適用することができる。

本発明の作業装置の正面図である。 本発明の作業装置の平面図である。 本発明の作業装置の変形手順を説明する平面図である（１／３）。 本発明の作業装置の変形手順を説明する平面図である（２／３）。 本発明の作業装置の変形手順を説明する平面図である（３／３）。 本発明の作業装置を変形し、固定具を装着した状態の正面図である。 実施例１に係る作業装置の斜視図である。 実施例１に係る作業装置の回転手段を説明する断面構成図である。 実施例１に係る作業装置の架台連結ガイドを説明する断面構成図である。 実施例２に係る作業装置の斜視図である。 実施例２に係る作業装置の架台連結ガイドを説明する断面構成図である。 実施例３に係る作業装置の正面図である。 実施例１に係る作業装置の動作の概要を説明する制御ブロック図である。 実施例１に係る作業装置に調整具を装着した状態の斜視図である。

符号の説明

１ 架台
２ ガントリーフレーム
３ 可動台車
７ リニアガイド
８ 作業ヘッド
９ ワークテーブル
１１ 固定具
１２ ベースユニット
１３ テーブルユニット
１４ 回転手段
１５ スライダー
１６ スライドベース
１８ 調整具
１９ テーブルユニット支持部
２０ 塗布装置
２１ 板材
２２ ネジ
２４ リニアモータ固定子
２５ リニアモータ可動子
２６ リニアスケール
２９ 塗布ヘッド
３０ ノズル
３１ テーブル架台
３３ 架台連結ガイド
４１ 軸台
４２ 回転軸
４３ ベアリング
４４ 絶対値エンコーダ
５１ ガイドレール
５２ ガイドブロック
６２ レベルアジャスタ
６３ リニアガイド
６５ ガントリーベース
６９ Ｙモータ
７０ Ｘモータ
８１ 凸状レール
８２ 凹状レール
１００ 設定・表示器
１０１ 制御装置
１０２ センサ
１０３ 電磁弁
１０４ ＣＣＤカメラ
１０５ θモータ
１０６ モータコントローラ
１０７ モータドライバ
１０９ リニアスケール
１１０ Ｚモータ
１１１ ディスペンスコントローラ
１８１ 締結孔

Claims (19)

1. ベースユニットとワークテーブルユニットとから構成されるガントリー型作業装置であって、
   前記ベースユニットは、第１の方向に並設される二つの架台と、第１の方向と直交する第２の方向に配設され、その下端部が回転手段を介して二つの架台に接続されるガントリーフレームと、ガントリーフレームに配設され、ワークに対し作業を行う作業部を備え、
   前記ワークテーブルユニットは、前記ベースユニットの有する前記二つの架台の間に設置され、ワークを保持するワークテーブルと、それを支持するテーブル架台を備え、
   前記作業部と前記ワークの相対位置関係を変化させることにより、ワークに所望の作業を行うことができ、
   非作業時においては、前記ワークテーブルユニットを前記ベースユニットから分離すること、並びに、前記ガントリーフレームを回動させながら前記二つの架台の間隔を狭めることができることを特徴とするガントリー型作業装置。
2. 前記ガントリーフレームの下端部のいずれかが、前記架台上を第１の方向に移動するスライダーとを介して前記架台の上面に配設されたスライドベースに接続されることを特徴とする請求項１に記載のガントリー型作業装置。
3. 前記ガントリーフレームの下端部の両方が、前記架台上を第１の方向に移動するスライダーとを介して前記架台の上面に配設されたスライドベースに接続されることを特徴とする請求項１に記載のガントリー型作業装置。
4. 前記スライダーは、リニアモータ駆動であることを特徴とする請求項２または３に記載のガントリー型作業装置。
5. 前記二つの架台にそれぞれ延設された第１の長尺部材と、それらと係合する前記テーブル架台に延設された第２の長尺部材とから構成される架台連結ガイドを備え、前記テーブルユニットおよび前記ベースユニットが架台連結ガイドにより連結されることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のガントリー型作業装置。
6. 前記架台連結ガイドを構成する第１および第２の長尺部材は、二つのＶ谷形状のレール部材と二つのＶ山形状のレール部材との組み合わせからなることを特徴とする請求項５記載のガントリー型作業装置。
7. 前記架台連結ガイドを構成する第１および第２の長尺部材は、二つのガイドレールとそれらと嵌装する二つのガイドブロックとの組み合わせからなることを特徴とする請求項５に記載のガントリー型作業装置。
8. 前記二つの架台はＬ字形状であり、その高位置の上面に前記ガントリーフレームの下端部が接続され、その低位置の上面に前記第１の長尺部材が延設されることを特徴とする請求項６または７に記載のガントリー型作業装置。
9. 前記ベースユニットは、前記二つの架台と前記ガントリーフレームとが構成する角度を計測し、記憶するエンコーダを有することを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載のガントリー型作業装置。
10. 前記ワークテーブルユニットは、前記ワークテーブルを前記第１の方向に移動自在とするワークテーブル移動手段を備えることを特徴とする請求項１ないし９のいずれかに記載のガントリー型作業装置。
11. 前記ワークテーブルユニットは、前記ワークテーブルを前記第１の方向および前記第２の方向に移動自在とするワークテーブル移動手段を備えることを特徴とする請求項１ないし９のいずれかに記載のガントリー型作業装置。
12. 前記ワークテーブル移動手段は、リニアモータ駆動であることを特徴とする請求項１０または１１に記載のガントリー型作業装置。
13. 前記ガントリーフレームは、前記作業部を第２の方向に移動自在とする作業部移動手段を備えることを特徴とする請求項１ないし１２のいずれかに記載のガントリー型作業装置。
14. 前記ガントリーフレームは、前記作業部を上下方向に移動自在とする作業部移動手段を備えることを特徴とする請求項１ないし１３のいずれかに記載のガントリー型作業装置。
15. 前記ベースユニットは、前記二つの架台を非作業時の間隔に保持する固定具を有することを特徴とする請求項１ないし１４のいずれかに記載のガントリー型作業装置。
16. 前記ベースユニットは、前記固定具を締結するための締結孔を有することを特徴とする請求項１５に記載のガントリー型作業装置。
17. 前記ベースユニットは、前記二つの架台の間隔を作業時の間隔に調整して、保持する調整具を備えることを特徴とする請求項請求項１ないし１６のいずれかに記載のガントリー型作業装置。
18. 前記ベースユニットは、前記固定具を締結するための締結孔を有することを特徴とする請求項１７に記載のガントリー型作業装置。
19. 前記ベースユニットは、複数のガントリーフレームを有することを特徴とする請求項１ないし１８のいずれかに記載のガントリー型作業装置。