JP4985007B2 - 塗布器の洗浄装置、塗布方法及び塗布装置、ならびに液晶ディスプレイ用部材の製造方法 - Google Patents

Description

この発明は、例えばカラー液晶ディスプレイ用カラーフィルタやＴＦＴ用アレイ基板等の液晶ディスプレイ用部材を製造する分野に主として使用されるものであり、詳しくはガラス基板などの被塗布部材表面に塗布液を吐出して均一な塗布膜を形成する塗布器の洗浄方法及び洗浄装置並びに液晶ディスプレイ用部材の製造方法の改良に関する。

カラー液晶用ディスプレイは、カラーフィルタ、ＴＦＴ用アレイ基板などにより構成されているが、カラーフィルタ、ＴＦＴ用アレイ基板ともに、低粘度の液体材料を塗布して乾燥させ、塗布膜を形成する製造工程が多く含まれている。たとえば、カラーフィルタの製造工程では、ガラス基板上に黒色のフォトレジスト材の塗布膜を形成し、フォトリソ法により塗布膜を格子状に加工した後に、格子間に赤色、青色、緑色のフォトレジスト材の塗布膜を同様の手法により順次形成していく。その他にも、フォトレジスト材を塗布して塗布膜を形成後、カラーフィルタとＴＦＴ用アレイ基板との間に注入される液晶のスペースを確保する柱を形成したり、カラーフィルタ上の表面の凹凸を平滑化するためのオーバーコート塗布膜を形成する製造工程などもある。

この塗布膜形成のための塗布装置としては、従来スピナー、バーコータなどが使用されていたが、塗布液の消費量削減や消費電力削減、さらに塗布基板大型化に伴う装置の大型化が困難であることなどにより、近年に至ってスリットコータ（例えば特許文献１）の使用が増加してきている。この公知のスリットコータは塗布ヘッドとしてスリットノズルを有し、このスリットノズルに設けられたスリット状の吐出口から塗布液を吐出しながら、一方向に走行するガラス基板などの枚葉状の被塗布部材に塗布膜を形成するものとなっている。

このスリットコータを使用して、ガラス基板に多数枚にわたって塗布を行う場合、使用する塗布液が感光性アクリル系ＲＧＢ用ペースト、フォトレジスト等の揮発性の高いものであると、スリットノズルの吐出口付近に付着した塗布液が乾燥して容易に固化物となり、これが塗布液の吐出を妨げてスジむらなどの塗布欠点が発生することがある。さらにはなはだしい場合には、固化物が大きくなって塗布膜面に落下し、パーティクル欠点となることもある。

以上の不都合を回避するために、一定枚数の塗布を行う毎に洗浄液でスリットノズルの吐出口付近を洗浄し、上記の固化物を除去することが行われている。代表的なものは、スリットノズルの全長よりもはるかに短い洗浄液の吐出ノズルから、スリットノズルの先端部に向けて洗浄液を水平方向に噴射しながら吐出ノズルをスリットノズルの長手方向に何回か走査させて洗浄を行うものである（例えば特許文献２）。これを改良して、洗浄液の吐出ノズルとガスの噴射ノズルを上下方向に同位相で配置した洗浄装置をスリットノズルに近接させ、スリットノズルの先端部に向けて洗浄液のみを噴射しながら洗浄装置をスリットノズルの長手方向に何回か走査させて洗浄後、窒素ガス、エアー等のガスのみをスリットノズルの先端部に同じように噴射しながら走査させて、残存する洗浄液を除去して乾燥させるものもある。（例えば特許文献３）。この特許文献では、さらにスリットノズルの先端部の広範囲にわたって洗浄するために、スリットノズルの長手方向に同位相に配置された洗浄液の吐出ノズルとガスの噴射ノズルを、上下方向に複数の位置に配置させる例も示している。またミスト状の洗浄液と気体を同時に噴出して洗浄を行うものもある（例えば特許文献４）。

以上の特許文献２の洗浄液のみで洗浄する手段では洗浄液が残存し、残存した洗浄液がスリットノズルで塗布を行うときにたれ下がってきて塗布膜に混ざり合うために、塗布膜の薄膜化や塗布欠点等の品質不良を引き起こす。特許文献３の手段では、残存する洗浄液がガスによる吹き飛ばしと乾燥によって完全に除去されるので、洗浄液のみで洗浄する場合に生じる不具合はない。しかし洗浄液とガスを別々の走査で吐出するために洗浄時間が余計にかかり、塗布工程のタクトタイムが長くなる不都合がある。洗浄時間を短くするには、洗浄液とガスを同時に噴射すればよいが、これを実施すると、洗浄液がガスと激しく混じり合ってミスト状になり、ミストが残存して特許文献２の手段と同じ不具合を生じる。このような不具合は、ミスト状の洗浄液と気体を同時に使用している特許文献４の手段でも当然ながら発生する。

また洗浄液の吐出ノズルについては、スリット状よりも円形の孔の方が、少ない流量で噴射速度を高くできるので、経済的にも洗浄能力的にも好ましいが、公知の手段ではその配置が適切でないので、十分な洗浄能力を発揮できていない。そのために洗浄液の吐出ノズルの走査回数が少なくできず、これも塗布工程のタクトタイムを長くする要因になっている。
特開平６-３３９６５６号公報（第５欄１８行目〜第８欄１行目、第１０欄９行目〜４３行目、図１、図３、図４） 特開平１１−７４１７９号公報（第５欄１６行目〜第６欄２９行目、第７欄２行目〜３４行目、図３、図５） 特開２００５−２６２１２７号公報（段落００６０〜００６４、段落００８３〜００８９、図４、図１０） 特開２００４−１１３９３４号公報（段落００１８〜００２８、図１、図２、図３）

本発明は、上述の事情に基づいてなされたもので、その目的とするところは、洗浄液と気体を同時に噴射しても十分な洗浄を可能にするとともに、洗浄液の吐出口と気体の噴出口を適切な位置に配置して洗浄能力を高め、これらの効果によって洗浄の走査回数を少なくして洗浄時間を大幅に短縮することで、塗布工程のタクトタイムを減少して生産性を向上させる塗布器の洗浄方法および洗浄装置を実現させ、塗布器の洗浄性の向上によって高品質の塗布が行える塗布方法および塗布装置を提供するとともに、さらに塗布工程の生産性と洗浄能力および塗布品質の向上により、低コストで高品質の液晶ディスプレイ用部材を製造できる液晶ディスプレイ用部材の製造方法を提供することにある。

上記本発明の目的は、以下に述べる手段によって達成される。

本発明になる塗布器の洗浄方法は、長手方向に延在または配列された塗液を吐出する吐出口を具備した塗布器の少なくとも吐出口面およびそれに隣接する面（以下、これを総称して洗浄面という。）を洗浄する塗布器の洗浄方法であって、複数の洗浄液流出口を有する洗浄機と、複数の気体噴出口を有する気体噴出器を前記塗布器の長手方向に並べて配置するとともに、洗浄機と気体噴出器を長手方向に走査させつつ、洗浄機から隣接面に向けて洗浄液を供給し、続いて前記気体噴出器からに向けて気体を噴出させて、洗浄面の洗浄を行うことを特徴とする。

ここで、前記複数の洗浄液流出口及び／または気体噴出口が、千鳥配置されており、少なくとも２つの洗浄液流出口及び／または気体噴出口から洗浄液及び／または気体が、前記隣接面に向けて、異なる吐出角度で吐出されること、前記洗浄機を、洗浄液と気体の両方を同時に吐出しながら、かつ走査方向に対して洗浄液が気体よりも先行して前記塗布器の隣接面に付着するように前記塗布器の長手方向に走査させて洗浄を行う工程を含むこと、が好ましい。

本発明になる塗布方法は、長手方向に延在または配列された塗液を吐出する吐出口を具備した塗布器の少なくとも吐出口面およびそれに隣接する面（以下、これを総称して洗浄面という。）を洗浄してから被塗布部材への塗布を行う塗布方法であって、複数の洗浄液流出口を有する洗浄機と、複数の気体噴出口を有する気体噴出器を前記塗布器の長手方向に並べて配置するとともに、洗浄機と気体噴出器を長手方向に走査させつつ、洗浄機から該隣接面に向けて洗浄液を供給し、続いて前記気体噴出器から該隣接面に向けて気体を噴出させて、洗浄面の洗浄をしてから、塗布器の吐出口から塗布液を吐出し、次いで塗布器の洗浄面に係合する清掃部材を塗布器の長手方向に摺動させて洗浄面の初期化を行い、その後に被塗布部材への塗布を行うことを特徴とする。
本発明になる塗布器の洗浄装置は、長手方向に延在または配列された塗液を吐出する吐出口を具備した塗布器の少なくとも吐出口面およびそれに隣接する面（以下、これを総称して洗浄面という。）を洗浄するために、前記塗布器の長手方向に移動しながら洗浄液を隣接面に供給する複数の洗浄液流出口を有する洗浄機と、気体を噴出する複数の気体噴出口を有する気体噴出器と、を備えた洗浄ヘッドを有する洗浄装置であって、前記洗浄機と気体噴出器は塗布器の長手方向に直列状に並んで配置され、かつ洗浄液と気体が前記隣接面に向けて所定の吐出角度で吐出されるよう前記洗浄液流出口に至る洗浄液流出流路と、気体噴出口に至る気体噴出流路が、吐出角度に応じて水平線に対して傾斜して配置されており、さらに前記洗浄液流出口は洗浄機の同一面上で、また前記気体噴出口は気体噴出器の同一面上で、それぞれ複数個長手方向に配置されているとともに、洗浄機と気体噴出器の最下方部に、除去された洗浄液と気体が通過する排出口が長手方向に伸びるように配置されていることを特徴とする。

ここで、前記洗浄液流出口は洗浄機の同一面上で、また前記気体噴出口は気体噴出器の同一面上で、それぞれ複数個長手方向に配置されているとともに、洗浄機と気体噴出器の最下方部に、除去された洗浄液と気体が通過する排出口が長手方向に伸びるように配置されていること、前記複数の洗浄液流出口及び／または気体噴出口が、千鳥配置されており、少なくとも２つの洗浄液流出口及び／または気体噴出口から洗浄液及び／または気体が、前記隣接面に向けて異なる吐出角度で吐出されるよう、前記洗浄液流出口に至る洗浄液流出流路と、気体噴出口に至る気体噴出流路が、前記吐出角度に応じて水平線に対して傾斜して配置されていること、前記塗布器の長手方向に直列状に並んで配置された前記洗浄機と気体噴出器が一体に構成され、その間に、溝を設けたこと、前記洗浄液と気体の両方を同時に吐出しながら、かつ走査方向に対して洗浄液が気体よりも先行して前記塗布器の隣接面に付着するように洗浄機と気体噴出器を前記塗布器の長手方向に走査させて洗浄を行わせる制御手段をさらに備えること、が好ましい。

本発明になる塗布装置は、塗布液を吐出する吐出口を有する塗布器と、塗布器に塗布液を供給する塗布液供給装置と、被塗布部材を吸着保持する載置台と、塗布器と被塗布部材を相対移動させる移動手段と、を備えた塗布装置であって、さらに請求項２〜５のいずれかに記載の洗浄装置と、該洗浄装置による塗布器の洗浄面の洗浄後に、塗布器の洗浄面に係合する清掃部材を塗布器の長手方向に摺動させて塗布器の洗浄面の初期化を行う拭き取り装置と、を備えたことを特徴とする。

本発明になる液晶ディスプレイ用部材の製造方法は、請求項１に記載の塗布方法を用いて液晶ディスプレイ用部材を製造することを特徴とする。

本発明になる塗布器の洗浄方法および洗浄装置を用いれば、洗浄装置の洗浄液を吐出する洗浄液流出口を有する洗浄機と、ガス等の気体を噴射する気体噴出口を有する気体噴出器が、塗布器であるスリットノズルの長手方向に直列状に並んで配置されているので、洗浄液と気体を同時に吐出して洗浄機と気体噴出器を走査させても、スリットノズルに洗浄液が先に衝突するようにしているので、洗浄液により洗浄が行われてから、残存洗浄液を気体で除去、乾燥することが可能となり、１回の走査で洗浄と、洗浄液の除去・乾燥が可能となる。

さらに洗浄機の洗浄液流出口と気体噴出器の気体噴出口をスリットノズルの長手方向に千鳥配置して、洗浄液や気体がより多くの回数や広い領域でスリットノズルに衝突するようにしたので、洗浄液と気体による洗浄能力を高めることが可能となり、従来と同じ洗浄状態をえるのに、洗浄機と気体噴出器を備える洗浄ヘッドの走査回数をより少なくすることが可能となる。以上の２つの効果によって洗浄のための洗浄ヘッドの走査回数を少なくできるので、塗布工程のタクトタイムを短くすることができ、生産性を向上させることができる。

また、洗浄液流出口、気体噴出口が同一面上でそれぞれ複数個長手方向に配置されているとともに、洗浄機と気体噴出器の最下方部に排出口が長手方向にのびるように配置されているので、効率よく洗浄が行われるとともに、除去した洗浄液や気体が排出口を通過して外部に排出されるので、除去した洗浄液のスリットノズルへの再付着を起こすことなく、高品位の洗浄が行える。

本発明になる塗布方法及び塗布装置を用いれば、洗浄液と気体による洗浄後に、スリットノズルから塗布液を吐出して、スリットノズルの洗浄面に係合する清掃部材を長手方向に洗浄面に摺動して初期化を行うようにしたので、洗浄時に洗浄液がスリットノズル内の塗布液と混合しても、その混合物が排出されてからスリットノズルの洗浄面の初期化が行われるのであるから、塗布欠点を起こすことなく高品質の塗布をすぐに行うことが可能となる。

本発明になる液晶ディスプレイ用部材の製造方法によれば、上記の優れた塗布器の洗浄方法ならびに塗布方法を用いて液晶ディスプレイ用部材を製造するのであるから、塗布工程タクトタイム短縮による生産性と塗布器の洗浄状態の向上により、低コストで高品質の液晶ディスプレイ用部材を製造できる。

以下、この発明の好ましい一実施形態を図面に基づいて説明する。

図１は、本発明に係る洗浄装置２００を含むスリットコータ１の概略正面図、図２は本発明にかる洗浄ヘッド２２０の拡大概略斜視図、図３はスリットノズルの洗浄装置２００の概略正面断面図、図４は図３の概略側面図、図５は本発明になる別の洗浄ヘッドの拡大概略斜視図、図６は図５の概略正面断面図、図７は本発明になるさらに別の洗浄ヘッドの拡大概略斜視図である。

まず図１を参照すると、本発明の洗浄装置２００を装備した塗布装置であるスリットコータ１が示されている。このスリットコータ１は基台２を備えており、基台２上には、被塗布部材である基板Ａの載置台、すなわちステージ６が配置されている。ステージ６の上面は図示しない吸着孔からなる真空吸着面となっており、基板Ａを吸着保持することができる。基台２上には、さらに一対のガイドレール４が設けられており、このガイドレール４上には、門型ガントリー１０がＸ方向に案内自在に搭載されている。門型ガントリー１０には、上下昇降ユニット７０を介して、塗布器であるスリットノズル２０がステージ６の上方の位置にくるように取り付けられている。門型ガントリー１０は図示しないリニアモータで駆動されるので、これに搭載されているスリットノズル２０は、図１に矢印で示されているＸ方向に自在に往復動することができる。すなわち門型ガントリー１０は、スリットノズル２０とステージ６上の基板Ａを相対移動させる移動手段となる。

スリットノズル２０は、Ｘ方向に直交する方向（紙面に垂直な方向）にのびているフロントリップ２２、及びリアリップ２４を、シム３２を介してＸ方向に重ね合わせ、図示しない複数の連結ボルトにより一体的に結合して構成されている。スリットノズル２０内の中央部にはマニホールド２６が形成されており、このマニホールド２６もスリットノズル２０の長手方向（Ｘ方向に直交する方向）にのびている。マニホールド２６の下方には、スリット２８が連通して形成されている。このスリット２８もスリットノズル２０の長手方向にのびており、その下端がスリットノズル２０の最下端面である吐出口面３６で開口して、吐出口３４を形成する。なおスリット２８はシム３２によって形成されるので、スリット２８の間隙（Ｘ方向に測定）は、シム３２の厚さと等しくなる。吐出口面３６の両隣には、斜め上方に切り上がっている隣接面３８が設けられている。

このスリットノズル２０を昇降させる上下昇降装置ユニット７０は、スリットノズル２０を吊り下げる形で保持する吊り下げ保持台８０、吊り下げ保持台８０を昇降させる昇降台７８、昇降台７８を上下方向に案内するガイド７４、モータ７２の回転運動を昇降台７８の直線運動に変換するボールねじ７６より構成されている。上下昇降ユニット７０はスリットノズル２０の長手方向の両端部を支持するよう左右１対あって、各々が独立に昇降できるので、スリットノズル２０長手方向の水平に対する傾き角度を任意に設定することができる。これによってスリットノズル２０の吐出口面３６と基板Ａを、スリットノズル２０の長手方向にわたって略並行にすることができる。さらに、この上下昇降ユニット７０によって、ステージ６上の基板Ａとスリットノズル２０の吐出口面３６の間にすきま、すわなち、クリアランスを、任意の大きさに設けることができる。

再び図１で基台２の左側端部を見ると、拭き取り装置である拭き取りユニット９０と洗浄装置２００が基台２上に、Ｘ方向に並んで取り付けられている。スリットノズル２０は、門型ガントリー１０の移動によって、拭き取りユニット９０の拭き取りヘッド９２や、洗浄装置２００の洗浄ヘッド２２０の上方まで移動することができる。さて拭き取りユニット９０は、スリットノズル２０から塗布液を吐出後、吐出口３４の周辺部である吐出口面３６と隣接面３８に残存する塗布液を除去して、なおかつ吐出口まで塗布液が満たされた状態にする、すなわちスリットノズルの初期化を行うものである。この初期化を毎回の塗布前に必ず実施することで、スリットノズル２０は常に同じ状態で塗布を開始することができ、多数枚の基板に塗布を行っても、すべての基板で同じ均一な塗布膜を再現性よく形成することができる。拭き取りユニット９０には、スリットノズル２０の吐出口３４周辺部である吐出口面３６と隣接面３８、すなわちスリットノズル２０の洗浄面に係合する形状を有する清掃部材である拭き取りヘッド９２が、ブラケット９４を介してスライダー９６に取り付けられている。スライダー９６は駆動ユニット９８により、スリットノズル２０の長手方向、すなわちＸ方向に直行する方向に自在に移動する。駆動ユニット９８とトレイ１００は台１０２上に固定されている。また拭き取りを行う時は、スリットノズル２０が拭き取りヘッド９２に係合する位置まで門型ガントリー１０をＸ方向に移動させ、スリットノズル２０を下降して拭き取りヘッド９２に係合させる。そして、駆動ユニット９８を駆動して拭き取りヘッド９２をスリットノズル２０の長手方向に摺動させると、スリットノズル２０の吐出口３４の周辺部に残存している塗布液を除去して、スリットノズル２０の初期化を行うことができる。除去した塗布液はトレイ１００で回収される。トレイ１００は図示しない排出ラインに接続されており、内部にたまった塗布液等の液体を外部に排出、回収することができる。またトレイ１００は、スリットノズル２０からエアー抜き等で吐出される塗布液を回収するために使用することもできる。なお拭き取りヘッド９２はスリットノズル２０に均等に係合できるようゴム等の弾性体、合成樹脂が好ましい。

次に洗浄装置２００は、スリットノズル２０の吐出口３４周辺部で、塗布液が乾燥固化したものを除去するために、洗浄液をスリットノズル２０の隣接面３８に向けて噴射して吐出口３４周辺部にまでいきわたらせて固化物を溶解させ、さらに窒素ガスやエアー等の気体を噴射して、残存している洗浄液を溶解した固化物とともに除去して乾燥させるものである。そのような機能を有する洗浄装置２００には、洗浄液と気体を噴射する洗浄ヘッド２２０が、ブラケット２０４を介して、駆動ユニット２０８により長手方向に自在に往復動可能なスライダー２０６に取り付けられている。駆動ユニット２０８とトレイ２０２は台２１０上に固定されている。トレイ２０２は洗浄範囲にある塗布液や洗浄液をすべて回収できるように、トレイ２０２の長手方向長さは、スリットノズル２０の吐出口３４の長手方向長さよりも長いことが好ましい。トレイ２０２の最下面にある液体排出管２１４は液体配管２１２を介して図示しない排出ラインに接続されており、トレイ２０２にたまった塗布液や洗浄液を液体排出管２１４から外部に排出することができる。トレイ２０２の側面には気体排出管２１６も設けられている。気体排出管２１６は気体配管２１８を介して図示されていない吸引源に接続されており、空気、窒素ガス等の気体はこの気体排出管２１６から吸引源まで吸引されて外部に排出される。

さて、スリットノズル２０の吐出口３４周辺部の洗浄を行う時は、洗浄ヘッド２２０の直上位置にスリットノズル２０がくるように、門型ガントリー１０をＸ方向に移動させ、スリットノズル２０を下降して洗浄ヘッド２２０に近接させる。洗浄ヘッド２２０は、洗浄液タンク２６４に洗浄液配管２６０、バルブ２６２、流量調整装置２４２を介して接続されているので、圧空源２６８からの背圧によって、バルブ２６２を開にした時に、洗浄液２６６を洗浄ヘッド２２０に圧送供給できる。この時の洗浄液の流量は絞り弁等からなる流量調整装置２４２によって調整される。また洗浄ヘッド２２０は同様に気体源２７４にも気体液配管２７０、バルブ２７２、圧力調整装置２４４を介して接続されているので、窒素ガスやエアー等の気体が、圧力調整装置２４４で調整された大きさの圧力により洗浄ヘッド２２０に圧送供給される。

図２を見ると、洗浄ヘッド２２０が示されている。洗浄ヘッド２２０は外観上は左右対称形の一対のブロック２２２Ａ、Ｂより構成され、第１斜面２２８Ａ、Ｂに洗浄液を吐出する複数の洗浄液流出口２２４Ａ、Ｂを設けた洗浄機２３３と、第２斜面２３０Ａ、Ｂに気体を噴射する複数の気体噴出口２２６Ａ、Ｂを設けた気体噴出器２３５とが、スリットノズル２０の長手方向に沿ってそれぞれ一直線上に直列状に並んで設けられている。洗浄液流出口２２４Ａは同一面となる第１斜面２２８Ａ上で、洗浄液流出口２２４Ｂも同一面となる第１斜面２２８Ｂ上で、それぞれ複数個長手方向に配置されている。また、気体噴出口２２６Ａは同一面となる第２斜面２３０Ａ上で、気体噴出口２２６Ｂも同一面となる第２斜面２３０Ｂ上で、それぞれ複数個長手方向に配置されている。洗浄液流出口２２４Ａ、Ｂ、気体噴出口２２６Ａ、Ｂをこのように配置することによって、効率よく洗浄液の洗浄面への付着と、気体による洗浄液の除去を行うことができる。洗浄機２３３と気体噴出器２３５は一体に構成され、その間、すなわち第１斜面２２８Ａ、Ｂと第２斜面２３０Ａ、Ｂの間には溝２３４Ａ、Ｂが設けられている。この溝２３４Ａ、Ｂは、洗浄機２３３と気体噴出器をスリットノズル２０の長手方向に分離するものである。これによって、第１斜面２２８Ａ、Ｂ上にたまった洗浄液が第２斜面の方に伝わって流れるのを防止でき、その結果、気体噴出口２２６Ａ、Ｂの上を洗浄液が覆い、気体噴射時に洗浄液がミスト状になって洗浄ヘッド２２０周囲にあるものを洗浄液ミストで汚すのを防止することができる。洗浄機２３３と気体噴出器２３５を一体化せず、長手方向に離して間に空間を設けるようにして設置しても、溝２３４Ａ、Ｂと同じ効果が得られるので、そのような構成をとってもよい。溝２３４Ａ、Ｂの上下方向における深さとスリットノズル２０の長手方向における長さについては、深さは好ましくは３ｍｍ以上より好ましくは１０ｍｍ以上とし、長さは好ましくは３ｍｍ以上、より好ましくは１０ｍｍ以上とする。以上の好ましい範囲より短いと、上記の第１斜面２２８Ａ、Ｂ上にたまった洗浄液が第２斜面の方に伝わって流れるのを防止できない。また一対のブロック２２２Ａ、Ｂの間の最下方部、すなわち洗浄機２３３と気体噴出器２３５の最下方部には、除去した洗浄液や塗布液等の液体と気体が通過する排出口２３２が設けられている。この排出口２３２は長手方向に伸びる形状をしていることが、通過する液体量や気体量が多くなり好ましい。排出口２３２は長手方向に複数箇所で断続的に設けられてもよいが、フタ等によって完全に閉じられて洗浄液や気体の通過が阻止されると、除去した洗浄液等の液体がそこにたまり、さらに気体噴出器より噴射された気体がたまった液体をミスト状にして舞い上がらせるので、除去した液体がスリットノズル２０の吐出口面３６や隣接面３８に再付着するという不都合が生じる。したがって排出口２３２は、洗浄液や気体が通過できるように常に開いていることが、スリットノズル２０の洗浄品位を高めるのに必須のものとなる。なお排出口２３２は、洗浄ヘッド２２０の長手方向に直交する方向、すなわちＸ方向に好ましくは１mm以上、より好ましくは５mm以上の長さを有する。この排出口２３２のＸ方向長さは、ブロック２２２Ａとブロック２２２Ｂ間のＸ方向の間隔ともいえる。排出口２３２のＸ方向長さが好ましい範囲よりも短いと、洗浄液等の液体や気体が通過しにくくなり、排出口２３２に実質的にフタをしたのと同じこととなって、除去した洗浄液等の液体のスリットノズル２０の洗浄面への再付着等の不都合が生じる。

さて図３は、スリットノズル２０が洗浄ヘッド２２０の洗浄位置に配置された時の洗浄液流出口２２４Ａ、Ｂでの側面断面図であるが、図示されているように、洗浄ヘッド２２０を構成するブロック２２２Ａ、Ｂはスリットノズル２０に対して左右対称に配置されるのが、洗浄状態を均等にするために好ましい。ここで洗浄液流出口２２４Ａ、Ｂは、それぞれ洗浄液流出流路となる洗浄液導通路２４０Ａ、Ｂを介してマニホールド２３６Ａ、Ｂに連通しており、さらにマニホールド２３６Ａ、Ｂは洗浄液配管２６０に接続されている。図示されていないが、同様に気体噴出口２２６Ａ、Ｂも気体噴出流路となる気体導通路を介してマニホールドに通じており、このマニホールドは気体配管２７０を介して気体源２７４に接続されている。これらのマニホールドは、洗浄液や気体を洗浄ヘッド２２０の長手方向に広げて、洗浄液流出口２２４Ａ、Ｂや気体噴出口２２６Ａ、Ｂから洗浄液と気体をそれぞれ均一に吐出する役割がある。洗浄ヘッド２２０に供給された洗浄液は洗浄液流出口２２４Ａ、Ｂより、図３に示されるように洗浄液導通路２４０Ａ、Ｂの中心線が水平線に対して傾斜している角度θｓだけ斜め上方に吐出されて、スリットノズル２０の隣接面３８上の領域Ｅに衝突する。角度θｓは洗浄液の吐出角度と定義されるが、この後洗浄液は隣接面３８を伝わって下方に流れ、吐出口面３６下に集合して一旦たまった後、一部の洗浄液は吐出口面３６と隣接面３８に残存する一方、残りの洗浄液はそこから下方に落下し、ブロック２２２Ａ、Ｂの間にある排出口２３２とブラケット２０４に設けられた長穴２３８を通過して、トレイ２０２まで落下する。トレイ２０２に落下した洗浄液は液体排出管２１４から外部に排出される。なお、洗浄液を隣接面３８に衝突するようにするのは、塗布液が隣接面３８まではい上がってその位置で固化することがあり、その固化物を洗浄液による溶解や、洗浄液吐出の動圧により直接除去できるようにするためである。

図示されていないが、洗浄ヘッド２２０に供給された気体も気体噴出口２２６Ａ、Ｂより、気体導通路の中心線が水平線に対して傾斜している角度θｋだけ斜め上方に噴射されて、スリットノズル２０の隣接面３８上の領域に衝突した後、隣接面３８を伝わって上方と下方に流れるものに分かれる。ここでθｋは気体の吐出角度、または噴出角度と定義されるが、隣接面３８の上方に流れる気体は周囲に分散し、隣接面３８の下方に流れる気体は、吐出口面３６と隣接面３８すなわちスリットノズル２０の洗浄面に付着している洗浄液を除去し、除去した洗浄液と共に排出口２３２と長穴２３８を通過して、トレイ２０２の方に向かう。いずれの方向に向かった気体も最終的には、トレイ２０２の側面に設けられた気体排出管２１６より吸引されて外部に排出される。なお、気体が衝突する隣接面３８上の領域は、洗浄液が衝突する領域Ｅと同じ高さか、それより高い位置にある方が好ましい。その方が気体によって洗浄液が上に押し上げられず、必ず下方に落下させられるからである。なお長穴２３８は洗浄ヘッド２２０を支持するブラケット２０４に設けられているものであり、上記のように洗浄液や気体が通過し、実質的に排出口２３２と同じ役割を果たしているので、長手方向に伸びる形状を有していることが、洗浄液等の液体や気体が通過する量が多くなり、好ましい。

図４は、図３の洗浄ヘッド２２０とスリットノズル２０をＸ方向に見たものであるが、洗浄ヘッド２２０の長手方向長さＷｎは、スリットノズル２０の長手方向全長Ｗｔよりも小さくしている。洗浄ヘッド２２０から洗浄液あるいは気体を吐出しながら、駆動ユニット２０８を駆動して洗浄ヘッド２２０をスリットノズル２０の長手方向に走査させると、洗浄液あるいは気体と衝突するスリットノズル２０の隣接面３８上の領域は、斜線で示されたような幅のあるライン状の衝突領域２５０になる。この衝突領域２５０上に固化物や塗布液が残存していると、動圧の作用によってより容易に残存物を除去することができる。

再び図１にもどってスリットノズル２０を見ると、スリットノズル２０のマニホールド２６の上流側は、塗布液供給装置４０に連なる供給ホース６０に、内部通路（図示しない）を介して常時接続されており、これにより、マニホールド２６へは塗布液供給装置４０から塗布液を供給することができる。マニホールド２６に入った塗布液はスリットノズル２０の長手方向に均等に拡幅されて、スリット２８を経て、吐出口３４から吐出される。

なお、塗布液供給装置４０は、供給ホース６０の上流側に、フィルター４６、供給バルブ４２、シリンジポンプ５０、吸引バルブ４４、吸引ホース６２、タンク６４を備えている。タンク６４には塗布液６６が蓄えられており、圧空源６８に連結されて任意の大きさの背圧を塗布液６６に付加することができる。タンク６４内の塗布液６６は、吸引ホース６２を通じてシリンジポンプ５０に供給される。シリンジポンプ５０では、シリンジ５２、ピストン５４が本体５６に取り付けられている。ここでピストン５４は図示しない駆動源によって上下方向に自在に往復動できる。シリンジポンプ５０は、一定の内径を有するシリンジ５２内に塗布液を充填し、それをピストン５４により押し出して、スリットノズル２０に基板Ａを一枚塗布する分だけ供給する定容量型のポンプである。シリンジ５２内に塗布液６６を充填するときは、吸引バルブ４４を開、供給バルブ４２を閉として、ピストン５４を下方に移動させる。またシリンジ５２内に充填された塗布液をスリットノズル２０に向かって供給するときは、吸引バルブ４４を閉、供給バルブ４２を開とし、ピストン５４を上方に移動させることで、ピストン５４でシリンジ５２内部の塗布液を押し上げて排出する。

なお制御信号にて動作するリニアモータ、モータ７２、塗布液供給装置４０、拭き取りユニット９０、洗浄装置２００等はすべて制御装置１１０に電気的に接続されている。そして、制御装置１１０に組み込まれた自動運転プログラムにしたがって制御指令信号が各機器に送信されて、あらかじめ定められた動作を行う。なお条件変更時は操作盤１１２に適宜変更パラメータを入力すれば、それが制御装置１１０に伝達されて、運転動作の変更が実現できる。特に洗浄装置２００では、洗浄ヘッド２２０を走査させるリニアモータだけでなく、洗浄ヘッド２２０から洗浄液や窒素ガス等の気体の噴射を制御するバルブ２６２、バルブ２７２も、制御装置１１０に電気的に接続されており、制御装置１１０にその電気的信号をとりこんだり、制御装置１１０からの指令により、任意の動作をさせることができる。

次に本発明になる洗浄装置２００を用いた洗浄方法について説明する。

まずスリットノズル２０を洗浄ヘッド２２０で洗浄できる位置まで近接させると同時に、駆動ユニット２０８を駆動して、洗浄ヘッド２２０を図４で破線で示されているように、向かって左側にある原点位置Ｐ１に移動後、停止して待機させる。なお洗浄できる位置での洗浄ヘッド２２０の洗浄液流出口２２４Ａ、Ｂとスリットノズル２０の隣接面３８、さらには気体噴出口２２６Ａ、Ｂと隣接面３８の間の距離は、好ましくは０．５〜１０ｍｍ、より好ましくは１〜４ｍｍである。この範囲より短いと衝突する可能性があり、長いと吐出される洗浄液や気体の動圧が小さくなって除去能力が低下する。

準備が整ったら駆動ユニット２０８を駆動して、洗浄ヘッド２２０を図４で一点鎖線で示されているように、右端にある待機位置Ｐ２に向かって移動開始させ、洗浄機２３３の洗浄液流出口２２４Ａ、Ｂとスリットノズル２０の隣接面３８が対面する位置に来たときに、洗浄機２３３にある洗浄液流出口２２４Ａ、Ｂより洗浄液のみを吐出する。そして洗浄液流出口２２４Ａ、Ｂの移動方向の先頭の一つが隣接面３８に対面しなくなる寸前の位置で洗浄液の吐出を停止し、そのまま洗浄ヘッド２２０を右端の待機位置Ｐ２まで移動させる。あらためてここで、方向にかかわらずスリットノズル２０の両端間を洗浄ヘッド２２０が１回移動することを「走査する」ということにする。洗浄液を吐出しながら走査させるときの走査速度は、好ましくは１０〜６００ｍｍ／ｓ、より好ましくは１００〜３００ｍｍ／ｓとする。遅すぎると洗浄時間が長くかかってタクトタイムが長くなり、早すぎると洗浄能力が低下する。なお、洗浄液や気体の吐出は、移動時、停止時に関係なく洗浄ヘッド２２０の洗浄機２３３にある洗浄液流出口２２４Ａ、Ｂや気体噴出器２３５にある気体噴出口２２６Ａ、Ｂが、スリットノズル２０の隣接面３８と対面した位置にある時に行うことが好ましい。両者が対面していると、洗浄液流出口２２４Ａ、Ｂから吐出される洗浄液や、気体噴出口２２６Ａ、Ｂから噴射される気体がスリットノズル２０の隣接面３８と衝突後、トレイ２０２にある液体排出管２１４や気体排出管２１６に導かれるが、両者が対面していないと、洗浄液や気体通しが衝突して周囲に飛び散り、周辺装置を汚染してしまうからである。

さて洗浄液流出口２２４Ａ、Ｂより吐出された洗浄液はスリットノズル２０の隣接面３８に衝突後、トレイ２０２に落下して回収されるものもあるが、一部はスリットノズル２０の隣接面３８や吐出口面３６に残存する。残存している洗浄液によって、スリットノズル２０の隣接面３８や吐出口面３６にある塗布液の固化物が溶解する時間を与えるために、洗浄ヘッド２２０が右端の待機位置Ｐ２に到達してからしばらく停止し、一定時間後に今度は左側の原点位置Ｐ１に向かって洗浄ヘッド２２０を走査開始する。そして洗浄液流出口２２４Ａ、Ｂのすべてが隣接面３８に対面する位置で洗浄液の吐出を開始し、次いで気体噴出口２２６Ａ、Ｂのすべてが隣接面３８に対面する位置に達した時に気体の噴射を開始する。スリットノズル２２０が原点位置Ｐ１に近づいて、洗浄液流出口２２４Ａ、Ｂの移動方向の先頭の一つが隣接面３８に対面しなくなる寸前の位置で洗浄液の吐出を停止し、次いで気体噴出口２２６Ａ、Ｂの移動方向の先頭の一つが隣接面３８に対面しなくなる寸前の位置に達したら気体の噴射も停止し、そのまま洗浄ヘッド２２０を左端の原点位置Ｐ１まで移動させる。この走査によって、洗浄液流出口２２４Ａ、Ｂから吐出された洗浄液が気体よりも先行してスリットノズル２０の隣接面３８と吐出口面３６に付着し、まず、残存した洗浄液で溶解した塗布液の固化物を押し流し、その後にスリットノズル２０の隣接面３８と吐出口面３６に残存した洗浄液を、洗浄液と同時に気体噴出口２２６Ａ、Ｂから噴射されている気体が除去するとともに乾燥させて洗浄が完了する。

本発明になる洗浄ヘッド２２０は、従来のように洗浄機２３３の洗浄液流出口２２４Ａ、Ｂと、気体噴出器２３５の気体噴出口２２６Ａ、Ｂを長手方向に同位相で上下には配置せず、そもそも洗浄機２３３と気体噴出器２３５をスリットノズル２０の長手方向に直列状に並べて配置したので、洗浄液と気体を同時に吐出しても各々独立した領域で流れるため、両者が混じり合ってミスト状になって周囲のものを汚染するという不具合が生じない。さらに、スリットノズル２０の隣接面３８に対して、先に洗浄液が衝突してから気体が衝突するように走査させた結果、洗浄液による洗浄と気体による残存洗浄液の除去と乾燥を同時に行うことができて、洗浄液による洗浄と気体による残存液の除去と乾燥を別々の走査で行っていた従来のものよりも、洗浄ヘッドの走査回数が減少できることで洗浄のタクトタイムを大幅に短縮することができるとともに、優れた洗浄品位をえることができる。洗浄ヘッド２２０から洗浄液を吐出する洗浄によって、吐出口３４の周辺部である吐出口面３６、隣接面３８にある塗布液の固化物が完全に溶解して除去できるので、塗布時に発生する固化物によるすじ等の品質不良を皆無にすることができる。なお、洗浄液による洗浄を行うと、スリットノズル２０の吐出口３４から洗浄液の一部がどうしても侵入し、吐出口３４近辺のスリット２８内に洗浄液が残存する。そのために洗浄装置２００による洗浄後に塗布を行う場合は、必ず適当量の塗布液をスリットノズル２０に供給して、スリット２８内に残存している洗浄液と塗布液を押しだし、その後に拭き取りユニット９０による拭取りを行って、スリットノズル２０の初期化を行うことが必須である。したがって、洗浄装置による洗浄後に塗布液を吐出口３４から吐出してから、拭き取りユニット９０による拭取りを行って初期化することにより、スリット２８内に存在した洗浄液と塗布液の混合物が排出されているのであるから、高品質の塗布が行える。なおスリットノズル２０の初期化には、回転ロールへの予備塗布を行う手段を用いてもよい。

洗浄ヘッド２２０による洗浄に用いる洗浄液は、塗布液の固化物を溶解させる必要があることから、塗布液に含まれる構成溶剤が好ましいが、その他塗布液の固化物を溶解させるものであれば、構成溶剤以外の有機溶剤やアルカリ液でもあってもよい。洗浄液を吹き飛ばす気体としては、爆発の心配がないことから、窒素ガス等の不活性ガスが好ましいが、簡便さからクリーン化処理された空気であってもよい。

タクトタイムを短縮する観点からは、最終仕上げの洗浄は洗浄液と気体を同時に洗浄ヘッド２２０から吐出し、洗浄液の隣接面３８への衝突が先行するように走査させることが好ましいが、従来のように、洗浄液か気体のどちらか一方を吐出しながら洗浄ヘッド２２０を走査させて、洗浄液による洗浄と、気体による洗浄液の除去・乾燥を別の走査で行ってもよい。

なお気体による洗浄液の除去・乾燥を行う時の走査速度は、好ましくは、１０〜５００ｍｍ／ｓ、より好ましくは５０〜２５０ｍｍ／ｓとする。遅すぎると時間がかかりすぎ、早すぎると必要な除去・乾燥能力がえられない。

また洗浄液の吐出速度は好ましくは、０．１〜１０cc／ｓ、より好ましくは、０．５〜５cc／ｓ、気体の噴射圧力は好ましくは０．０１〜１ＭＰａ、より好ましくは０．０５〜０．５ＭＰａである。どちらも小さすぎると効果がなく、大きすぎると洗浄能力や除去能力の割には、洗浄液や気体を浪費して製造コストが高くなってしまって好ましくない。なお洗浄液の吐出にはポンプを使用して定容量供給するようにしてもよい。さらに洗浄液の吐出を圧送で行う場合は、付加圧力によって吐出量を調整してもよい。なお、洗浄液吐出を５ＭＰａ以上の高圧で行ってもよい。この場合は、動圧によって固化物をはぎ取ることになるので、固化物の位置にあわせて洗浄液を吐出することが必要で、洗浄液の隣接面３８での衝突位置が重要となる。洗浄液や気体の隣接面３８の衝突位置は、スリットノズル２０と洗浄ヘッド２２０の上下方向の相対位置を変えることで調整できるし、上述の洗浄液導通路２４０Ａ、Ｂの中心線が水平線となす角度θｓや、気体導通路の中心線が水平線となす角度θｋを変えても調整することができる。

また洗浄液による洗浄の走査回数、気体による残存洗浄液除去・乾燥のための走査回数は、多ければ多いほど洗浄能力や、除去・乾燥能力が高くなるが、必要洗浄品位にあわせて定めることが好ましく、タクトタイムの点から、最小回数にすることはいうまでもない。

上記の洗浄方法では、洗浄液を吐出しての洗浄後に、塗布液固化物の洗浄液への溶解のために待機させたが、この待機時間は好ましくは０．１〜１０秒、より好ましくは０．５〜３秒である。短すぎると固化物の溶解がほとんど行われず、長すぎるとタクトタイムが長くなって生産性を低下させる。

さらに液体流出口２２４Ａ、Ｂ、気体噴出口２２６Ａ、Ｂは、いかなる形状であってもよいが、容易に製作でき洗浄効果も高いことから、円形穴か、矩形形状であることが好ましい。円形穴である場合は、好ましくは直径０．１〜２ｍｍ、より好ましくは直径０．２〜１ｍｍであれば、多数個あっても均一に吐出できる。矩形形状であれば、同様の理由から、間隙を好ましくは０．１〜１．５ｍｍ、より好ましくは０．２〜１ｍｍにする。

なお液体流出口２２４Ａ、Ｂ、および気体噴出口２２６Ａ、Ｂが円形穴の時、そのスリットノズル２０の長手方向の配置ピッチは、小さい方が望ましいが、小さすぎると隣穴から吐出されるものと混合して、隣接面３８への衝突力が低下するので、穴と穴の間に０．５ｍｍ以上のすきまをあけることが好ましい。

次に本発明の洗浄装置を備えたスリットコータ１での塗布方法について詳述する。
まずスリットコータ１の各動作部の原点復帰が行われると、門型ガントリー１０はスリットノズル２０を図１の左部にある拭き取りヘッド９２上方のスタンバイ位置に移動させる。ここで、タンク６４〜スリットノズル２０まで塗布液６６はすでに充満されており、タンク６４以降のスリットノズル２０までの残留エアーを排出する作業も既に終了している。この時の塗布液供給装置４０の状態は、シリンジ５２に塗布液６６が充填、吸引バルブ４４は閉、供給バルブ４２は開、そしてピストン５４は最下端の位置にあり、いつでも塗布液６６をスリットノズル２０に供給できるようになっている。

次に、ステージ６の表面には図示しないリフトピンが上昇し、図示しないローダから基板Ａがリフトピン上部に載置される。そしてリフトピンを下降させて基板Ａをテーブル６上面に載置し、同時に吸着保持する。

これと並行して、塗布液供給装置４０を稼働させて少量の塗布液６６を吐出後、駆動ユニット９６を駆動して、拭き取りヘッド９２を紙面に垂直方向（スリットノズル２０の長手方向）に移動させ、拭き取りヘッド９２をスリットノズル２０の長手方向端部の直下に移動させ停止させる。そしてスリットノズル２０を下降させてスリットノズル２０の吐出口３４を拭き取りヘッド９２に係合後、拭き取りヘッド９２をスリットノズル２０の長手方向に摺動させて、スリットノズル２０の吐出口３４付近をスリットノズル２０長手方向にわたって拭き取って、スリットノズル２０の初期化を実施する。初期化が完了したらスリットノズル２０を上昇させる。スリットノズル２０の上昇完了後、拭き取りヘッド９２を最初の位置まで戻す一方、これと並行して門型ガントリー１０を右側方向に駆動して、スリットノズル２０を基板Ａの塗布開始部の真上に移動させて停止させる。これらの動作の間、図示しない厚さセンサーによって基板Ａの基板厚さが測定される。測定した基板Ａの厚さデータを用い、上下昇降ユニット７０を駆動してスリットノズル２０を下降させ、スリットノズル２０の吐出口３４のある吐出口面３６を、基板Ａからあらかじめ与えたクリアランス分離れた位置まで近接させる。そしてシリンジポンプ５０のピストン５４を所定速度で上昇させ、スリットノズル２０から塗布液６６を吐出してスリットノズル２０と基板Ａとの間にビードＢを形成してから、門型ガントリー１０を所定速度でＸ方向に移動開始し、塗布液６６の基板Ａへの塗布を始めて、塗布膜Ｃを形成する。基板Ａの塗布終了部がスリットノズル２０の吐出口３４の位置にきたらピストン５４を停止させて塗布液６６の供給を停止し、つづいて上下昇降ユニット７０を駆動して、スリットノズル２０を上昇させる。これによって基板Ａとスリットノズル２０の間に形成されたビードＢが断ち切られ、塗布が終了する。塗布終了後も門型ガントリー１０は動きつづけ、終点位置にきたら一旦停止し、今度は原点位置に向かって逆方向にガントリー１０を移動させ、スリットノズル２０が拭き取りヘッド９２の上方のスタンバイ位置に来たら停止させる。続いて基板Ａの吸着を解除し、リフトピンを上昇させて基板Ａを持ち上げる。この時図示されないアンローダによって基板Ａの下面が保持され、次の工程に基板Ａを搬送する。

これと並行して、供給バルブ４２を閉、吸引バルブ４４は開としてから、ピストン５４を一定速度で下降させ、タンク６４の塗布液６６をシリンジ５２に充填する。充填完了後、ピストン５４を停止させ、吸引バルブ４４を閉、供給バルブ４２を開として、次の基板Ａが来るのを待ち、同じ動作をくりかえす。

一定枚数の塗布を行って、スリットノズル２０の吐出口３４の周辺部である吐出口面３６、隣接面３８、すなわち洗浄面に塗布液の固化物が発生し始めたら、シリンジ５２への塗布液６６の充填を完了して、吸引バルブ４４を閉、供給バルブ４２を開とした後に、門型ガントリー１０を駆動してスリットノズル２０を洗浄ヘッド２２０の上方に移動させる。上述した洗浄方法によってスリットノズル２０に付着した塗布液の固化物を排除完了後、門型カントリー１０を駆動してスリットノズル２０を拭き取りヘッド９２の上方にあるスタンバイ位置に移動させ、以降同じ塗布工程を繰り返す。すなわち、塗布液供給装置４０を稼働させて少量の塗布液を吐出する所から塗布工程を繰り返す。

次に本発明になる別の実施態様である洗浄ヘッド３００について、図５と図６を参照しながら説明する。洗浄ヘッド３００は、洗浄ヘッド２２０の第１斜面２２８Ａ、Ｂ上に略一直線上に配置された洗浄液流出口２２４Ａ、Ｂを、第１斜面２２８Ａ、Ｂの上側に配置した第１洗浄液流出口３０２Ａ、Ｂとその下側に配置した第２洗浄液流出口３０４Ａ、Ｂに置き換え、さらに洗浄ヘッド２２０の第２斜面２３０Ａ、Ｂ上に略一直線上に配置された気体噴出口２２８Ａ、Ｂを、第２斜面２３０Ａ、Ｂの上側に配置した第１気体噴出口３０６Ａ、Ｂとその下側に配置した第２気体噴出口３０８Ａ、Ｂに置き換えたものである。この洗浄ヘッド３００にも、最下方部に排出口２３２が長手方向に伸びるように設けられている。この洗浄ヘッド３００は、第１洗浄液流出口３０２Ａ、Ｂと第２洗浄液流出口３０４Ａ、Ｂを有する洗浄機３１４と、第１気体噴出口３０６Ａ、Ｂと第２気体噴出口３０８Ａ、Ｂを有するは気体噴出器３１６と、が長手方向に直列状に並んで配置されて一体に構成されている。ここで第１洗浄液流出口３０２Ａ、Ｂと第２洗浄液流出口３０４Ａ、Ｂは、スリットノズル２０の長手方向で同位相とならないように、千鳥配置されている。同様に第１気体噴出口３０６Ａ、Ｂと第２気体噴出口３０８Ａ、Ｂも、スリットノズル２０の長手方向で同位相とならないように、千鳥配置されている。第１洗浄液流出口３０２の中心での長手方向に直交する断面である図６に示されている通り、第１洗浄液流出口３０２Ａ、Ｂと第２洗浄液流出口３０４Ａ、Ｂは、それぞれ洗浄液流出流路である第１洗浄液導通路３１０Ａ、Ｂ、第２洗浄液導通路３１２Ａ、Ｂを介してマニホールド２３６Ａ、Ｂに連通している。図示されていないが、同様に第１気体噴出口３０６Ａ、Ｂと第２気体噴出口３０８Ａ、Ｂも、それぞれ独立した２つの気体噴出流路である気体導通路を介してマニホールドに通じている。上記で、スリットノズル２０の長手方向で同位相としないというのは、第１洗浄液流出口３０２Ａ、Ｂ、第１気体噴出口３０６Ａ、Ｂのそれぞれの長手方向の中心で、長手方向に直交する直線を引き、その直線（複数）上に、第２洗浄液流出口３０４Ａ、Ｂ、第２液体流出口３０８Ａ、Ｂのそれぞれの長手方向の中心が重ならないということである。千鳥配置とは、第１洗浄液流出口３０２Ａ、Ｂと第２洗浄液流出口３０４Ａ、Ｂが上下に分かれているが、長手方向に異なる位相で配置されていることである。第１気体噴出口３０６Ａ、Ｂと第２気体噴出口３０８Ａ、Ｂについても同様である。その千鳥配置のパターンについては色々あるが、第１洗浄液流出口３０２Ａ、Ｂ、第２洗浄液流出口３０４Ａ、Ｂとも長手方向の中心間配置ピッチを同じＰｓとし、第１洗浄液流出口３０２Ａ、Ｂに対して、第２洗浄液流出口３０４Ａ、Ｂを長手方向にＰｓ／２だけずらして配置するのが、スリットノズル２０の隣接面３８上での洗浄液の衝突位置が確実に増加して好ましい。また、第１気体噴出口３０６Ａ、Ｂ、第２気体噴出口３０８Ａ、Ｂとも長手方向の中心間配置ピッチを同じＰｋとし、第１気体噴出口２３６Ａ、Ｂに対して、第２気体噴出口３０８Ａ、Ｂを長手方向にＰｋ／２だけずらして配置するのが、同様の理由で好ましい。なお第１斜面２２８Ａ、Ｂ上で、第１洗浄液流出口３０２Ａ、Ｂと第２洗浄液流出口３０４Ａ、Ｂとの間の上下方向の間隔は、第１洗浄液流出口３０２Ａ、Ｂと第２洗浄液流出口３０４Ａ、Ｂが干渉しないようにすることの他、特に制約はないが、流出口と流出口の間に１ｍｍ以上のすきまを設けることが望ましい。このことは、第２斜面２３０Ａ、Ｂ上で、第１気体噴出口３０６Ａ、Ｂと第２気体噴出口３０８Ａ、Ｂとの間の上下方向の間隔についても同様である。

再び図６を見ると、第１洗浄液導通路３１０Ａ、Ｂの中心線が水平線に対して傾斜している角度がθｓ1、第２洗浄液導通路３１２Ａ、Ｂの中心線が水平線に対して傾斜している角度がθｓ2と定められているのがわかる。θｓ1とθｓ2は２つの異なる洗浄液を吐出する吐出角度となるが、これらを調整して、第１洗浄液流出口３０２Ａ、Ｂと第２洗浄液流出口３０４Ａ、Ｂから吐出される洗浄液が、スリットノズル２０の長手方向に見て、それぞれ隣接面３８上の同じ位置に衝突してもよいし、異なる位置に衝突するようにしてもよい。隣接面３８上の同じ位置に洗浄液が衝突するようにすると、洗浄ヘッド３００が静止した状態で、上記２つの洗浄液流出口から吐出された洗浄液が、長手方向から見て隣接面３８の同じ位置に衝突していても、長手方向に直交する方向から見れば、第１洗浄液流出口３０２Ａ、Ｂと第２洗浄液流出口３０４Ａ、Ｂが千鳥配置されているのであるから、隣接面３８の異なる領域に衝突している。この状態で洗浄ヘッド３００をスリットノズル２０の長手方向に走査させると、洗浄液が衝突した箇所は略一直線上の領域となるが、スリットノズル２０の同一位置での洗浄液衝突回数が洗浄液吐出口が増加した分だけ多くなるのと、洗浄液の付着量もそれと同じ割合で増加するので、洗浄液による洗浄能力が向上し、好ましい。

また第１洗浄液流出口３０２Ａ、Ｂと第２洗浄液流出口３０４Ａ、Ｂから吐出される洗浄液が、スリットノズル２０の長手方向に見て、それぞれ隣接面３８上の別の位置に衝突するようにしても、衝突する領域が拡大し、これにより塗布液の固化物を動圧による衝突力によって除去する範囲が拡大するので、洗浄能力の向上に結びつき、好ましい。

以上のことは第１気体噴出口３０６Ａ、Ｂ、第２気体噴出口３０８Ａ、Ｂから噴射される気体にも当てはまり、図示されていない２つの気体導通路の中心線が水平線に対して傾斜している角度θk1、θk2をそれぞれ調整して、第１気体噴出口３０６Ａ、Ｂ、第２気体噴出口３０８Ａ、Ｂから噴射される気体が、スリットノズル２０の長手方向に見て、それぞれ隣接面３８上の同じ位置に衝突するようにしてもよいし、異なる位置に衝突するようにしてもよい。ここで角度θk1、θk2は気体を吐出する２つの異なる吐出角度、または噴射角度となる。洗浄ヘッド３００がスリットノズル２０の長手方向に走査時に、前者の場合ではスリットノズル２０の同一位置での気体衝突回数が気体噴出口が増加した分だけ多くなるので、残存洗浄液の除去と乾燥能力が向上し、後者の場合でも隣接面３８上の異なる位置に気体が衝突するので、気体衝突領域が拡大し、同じように残存洗浄液の除去と乾燥能力が向上する。

洗浄ヘッド２２０でも高い洗浄能力があるが、洗浄ヘッド３００はさらに上記のように洗浄液流出口と気体流出口の配置を最適化したので、より一層の高い洗浄能力を有し、洗浄ヘッド３００の走査回数を少なくすることができるので、洗浄のタクトタイムが短縮され、その結果、塗布工程のタクトタイムを短くすることができて生産性を向上させることが可能となる。

なお、上述のように洗浄液流出口と気体噴出口の双方を千鳥配置してもよいし、どちらか一方だけを千鳥配置にしてもよい。また、第１洗浄液流出口３０２Ａ、Ｂと第２洗浄液流出口３０４Ａ、Ｂを同数にしてもよいし、図５に示すように異なる数にしてもよい。同様に第１気体噴出口３０６Ａ、Ｂと第２気体噴出口３０８Ａ、Ｂを同数にしてもよいし、異なる数にしてもよい。本実施態様例では、洗浄液流出口、気体噴出口ともそれぞれ第１洗浄液流出口３０２Ａ、Ｂと第２洗浄液流出口３０４Ａ、Ｂの２列、第１気体噴出口３０６Ａ、Ｂと第２気体噴出口３０８Ａ、Ｂの２列であるが、長手方向に同位相とならない千鳥配置を維持して列数をさらに増やしてもよい。列数が増える分だけ洗浄能力がさらに向上する。

図７はさらに本発明になる別の洗浄ヘッド４００を示したもので、ブロック４０２Ａ、Ｂの洗浄斜面４０８Ａ、Ｂ上に、長手方向に分けて直線上に配置された液体流出口４０４Ａ、Ｂと気体噴出口４０６Ａ、Ｂにパイプ４１０を付加している。この洗浄ヘッド４００の最下方部となるブロック４０２Ａ、Ｂの間にも、排出口２３２が長手方向に伸びるように設けられている。このパイプ４１０によって、洗浄機４１２を構成する液体流出口４０４Ａ、Ｂと気体噴出器４１４を構成する気体噴出口４０６Ａ、Ｂが実質的に洗浄斜面４０８Ａ、Ｂより突き出ることになり、洗浄斜面４０８Ａ、Ｂ上に塗布液や洗浄に使用した洗浄液が落下しても、それらで液体流出口４０４Ａ、Ｂと気体噴出口４０６Ａ、Ｂが汚染されることが防止できる。その結果、気体噴出口４０６Ａ、Ｂに洗浄液があって、気体の噴射によって洗浄液がミスト状になり周囲のものを汚染するといった不都合を皆無にできる。パイプ４１０を付加することで、洗浄ヘッド２２０や洗浄ヘッド３００に設けられている溝２３４Ａ、Ｂを省略してもよい。
なお洗浄ヘッド４００に使用されているパイプ４１０を洗浄ヘッド２２０や洗浄ヘッド３００の洗浄液流出口や気体噴出口に取り付けてもよく、洗浄ヘッド４００と同様の効果がえられる。

以上の洗浄ヘッド３００、洗浄ヘッド４００を使用した洗浄方法については、上述した洗浄ヘッド２２０を使用した洗浄方法と全く同じである。いずれの洗浄ヘッドも、洗浄液と気体の両方を同時に吐出しても、移動方向に対して洗浄液が気体よりも先行してスリットノズル２０の隣接面３８に付着するように長手方向に走査させて洗浄を行うことができるので、洗浄液による洗浄と気体による残存洗浄液の除去と乾燥を同時に行うことができ、洗浄のタクトタイムを大幅に短縮することができるとともに、優れた洗浄品位をえることができる。

なお拭き取りヘッド９２でスリットノズル２０の拭取りを行うと、拭き取りヘッド９２の上側に拭き取った塗布液があふれて拭き残りが、スリットノズル２０の隣接面３８上にライン上に残存する。この拭き残りに、洗浄ヘッド２２０や洗浄ヘッド３００から吐出される洗浄液が直撃する、あるいはその拭き残りの上方の位置で洗浄液が隣接面３８に衝突するように洗浄液流出口や気体噴出口を配置すれば、容易に本発明の洗浄ヘッドで除去することができる。

また洗浄ヘッド２２０、洗浄ヘッド３００、洗浄ヘッド４００による洗浄を一定枚数の塗布ごとに行う時、好ましくは５〜５０枚、より好ましくは１０〜３０枚塗布ごとに洗浄を行う。この範囲より少ないと洗浄回数が頻繁となって塗布工程のタクトタイムが長くなって生産性が低下し、この範囲より多いと塗布液の固化が強固となって、洗浄液による溶解が容易に行えないために、固化物が残存してしまうことがある。

以上説明した本発明が適用できる塗布液としては粘度が１〜１００mPaS、より望ましくは１〜５０mPaSであり、ニュートニアンであることが塗布性から好ましいが、チキソ性を有する塗布液にも適用できる。とりわけ溶剤に揮発性の高いもの、たとえばＰＧＭＥＡ、酢酸ブチル、乳酸エチル等を使用して、乾燥・固化し易い塗布液を塗布するときに有効である。具体的に適用できる塗布液の例としては、上記にあげたカラーフィルター用のブラックマトリックス、ＲＧＢ色画素形成用塗布液の他、レジスト液、オーバーコート材、柱形成材料、ＴＦＴアレイ基板用のポジレジスト等がある。基板である被塗布部材としてはガラスの他にアルミ等の金属板、セラミック板、シリコンウェハー等を用いてもよい。さらに使用する塗布状態と塗布速度が０．１ｍ／分〜１０ｍ／分、より好ましくは０．５ｍ／分〜６ｍ／分、スリットノズル２０のスリット間隙は５０〜１０００μｍ、より好ましくは８０〜２００μｍ、塗布厚さがウェット状態で１〜５０μｍ、より好ましくは２〜２０μｍである。

以下実施例により本発明を具体的に説明する。
３６０×４６５ｍｍで厚さ０．７ｍｍの無アルカリガラス基板を洗浄装置に投入した。ウェット洗浄によって基板上のパーティクルを除去後、スリットコータ１でブラックマトリックス材を１０μｍ基板全面に塗布した。この時のスリットノズルと基板間のクリアランスは１２０μｍ、塗布速度は３ｍ／分で、塗布のタクトタイムは３０秒であった。塗布前にはシリコンゴム製の拭き取りヘッドでスリットノズルの吐出口の拭取りを、速度２００mm／ｓで毎回行った。ブラックマトリックス材には、遮光材にカーボンブラック、バインダーにアクリル樹脂、溶剤にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）を使用し、さらに感光剤を添加して、固形分濃度１５％、粘度４mPasに調整したペーストを用いた。なお、スリットノズルは吐出口の間隙が１００μｍで、長さが３６０ｍｍ、吐出口面３６の幅が１ｍｍ、吐出口面３６と隣接面３８のなす角度が４５度のものを使用した。さらにこのブラックマトリックス塗布工程では、３０枚ブラックマトリックス材を塗布するごとに、洗浄装置２００でスリットノズルの吐出口先端部を洗浄液と窒素ガスで洗浄した。洗浄液にはＰＧＭＥＡを使用した。洗浄装置の洗浄ヘッドは、洗浄液流出口と気体噴出口がスリットノズルの長手方向に配置され、最寄りの洗浄液流出口と気体噴出口の間に、スリットノズルの長手方向長さが１０ｍｍで、深さ１０ｍｍの溝を設けた。さらにこの洗浄ヘッドには、洗浄液流出口を直径０．４ｍｍで、２ｍｍピッチにて７個一直線上に配置し、気体噴出口を直径０．５ｍｍで３ｍｍピッチにて３個一直線上に配置した。なお排出口２３２は長手方向に６０mm、塗布方向（Ｘ方向）に１０mmの形状であった。この洗浄ヘッドを用いた洗浄条件については、洗浄液の吐出量を１cc／ｓ、窒素ガスの付加圧力０．１ＭＰａにし、まず洗浄液のみを吐出して洗浄ヘッドの走査を１回行い、これが終了後３秒後に、洗浄液と窒素ガスを同時に吐出しながら洗浄ヘッドの走査を１回行った。走査速度は１００ｍｍ／ｓであった。洗浄完了後は塗布液や洗浄液が除去され、固化物等もないこと確認した。また、洗浄完了後には、必ずペーストを２ccだけスリットノズルより吐出し、シリコンゴム製の拭き取りヘッドでスリットノズルの吐出口の拭取りを、長手方向に速度２００mm／ｓで行い、初期化を行った。この洗浄後の初期化によって、洗浄直後の塗布時に塗布欠点がなく、塗布開始部の膜厚分布も正常となることを確認した。

次にブラックマトリックス塗布工程で塗布された基板を、３０秒で６５Ｐａに到達する真空乾燥を６０秒行ってから、１００℃のホットプレートで１０分間さらに乾燥した。ついで露光・現像・剥離を行った後、２６０℃のホットプレートで３０分加熱して、キュアを行い、基板の幅方向にピッチが２５４μｍ、基板の長手方向にピッチが８５μｍ、線幅が２０μｍ、ＲＧＢ画素数が４８００（基板長手方向）×１２００（基板幅方向）、対角の長さが２０インチ（基板幅方向に３０５ｍｍ、基板長手方向に４０６ｍｍ）となる格子形状で、厚さが１μｍとなるブラックマトリックス膜の格子を作成した。

この基板をウェット洗浄後、Ｒ色用塗布液を厚さ２０μｍ、スリットノズルと基板との間のクリアランス１００μｍ、門型ガントリー１０移動速度３ｍ／分にて塗布した。Ｒ色用塗布液はアクリル樹脂をバインダー、ＰＧＭＥＡを溶媒、ピグメントレッド１７７を顔料にして固形分濃度１２％で混合し、さらに粘度を５mPaSに調整した感光性のものであった。塗布した基板は、３０秒で６５Ｐａに到達する真空乾燥を６０秒行ってから、９０℃のホットプレートで１０分間さらに乾燥した。ついで露光・現像・剥離を行って、Ｒ画素部にのみ厚さ２μｍのＲ色塗膜を残し、２６０℃のホットプレートで３０分加熱して、キュアを行なった。つづいてブラックマトリックス、Ｒ色の塗膜を形成した基板に、Ｇ色用塗布液を厚さ２０μｍ、スリットノズルと基板との間のクリアランス１００μｍ、門型ガントリー１０の移動速度３ｍ／分にて塗布後、３０秒で６５Ｐａに到達する真空乾燥を６０秒行ってから、１００℃のホットプレートで１０分間さらに乾燥した。

ついで露光・現像・剥離を行って、Ｇ色画素部にのみ厚さ２μｍのＧ色塗膜を残し、２６０度のホットプレートで３０分加熱して、キュアを行なった。さらにブラックマトリックス、Ｒ色、Ｇ色の塗膜を形成した基板に、Ｂ色用塗布液を厚さ２０μｍ、スリットノズルと基板との間のクリアランス１００μｍ、門型ガントリー１０の移動速度３ｍ／分にて塗布し、３０秒で６５Ｐａに到達する真空乾燥を６０秒行ってから、１００℃のホットプレートで１０分間さらに乾燥した。ついで露光・現像・剥離を行って、Ｂ色画素部にのみ厚さ２μｍのＢ色塗膜を残し、２６０℃のホットプレートで３０分加熱して、キュアを行なった。なお、Ｇ色用塗布液はＲ色用塗布液で顔料をピグメントグリーン３６にして固形分濃度１５％で粘度を３mPaSに調整したもの、Ｂ色用塗布液にはＲ色用塗布液で顔料をピグメントブルー１５にして固形分濃度１４％で粘度を４mPaSに調整したものであった。Ｒ、Ｇ、Ｂ色塗布液の塗布はいずれも、ブラックマトリックス塗布工程と同じ形状のスリットノズルと拭取りヘッドを用い、塗布前に必ずスリットノズルの吐出口付近を拭取りヘッドで拭取り、すなわち初期化を行った。また、Ｒ、Ｇ、Ｂ色塗布工程とも、ブラックマトリックス塗布工程と同じ洗浄装置で、同じ洗浄条件にて３０枚ごとにスリットノズルの洗浄を行うとともに、ブラックマトリックス塗布工程と同じ条件にて、洗浄後に必ず各色塗布液を吐出後にシリコンゴム製の拭き取りヘッドで拭取りを行い、初期化を行った。この洗浄装置による洗浄を行っていない場合は、塗布液の固化物によるすじが頻繁に発生し、ブラックマトリックス、Ｒ、Ｇ、Ｂのいずれかの塗布工程を止めて、スリットノズルの吐出口近辺を、溶剤をしみこませた布で拭いてすじの発生をなくしていたが、上記の洗浄液と気体を使用した洗浄を用いることで、すじの発生が完全になくなり、塗布工程を一時中断しての洗浄作業も皆無となり、生産性が３０％向上した。また洗浄後の初期化によって、洗浄直後の塗布時の塗布開始部に洗浄液が混じらず、そのため塗布欠点もなく、さらに塗布開始部の膜厚分布も正常となることを確認した。

以上ブラックマトリックスにＲＧＢ色を着色したものに、柱材とオーバーコート材を塗布後、最後にＩＴＯをスパッタリングで付着させた。この製造方法にて、１０００枚のカラーフィルターを作成した。得られたカラーフィルターは、塗布むらがなく、色度も基板全面にわたって均一で、品質的に申し分ないものであった。

さらに、このカラーフィルターをＴＦＴアレイを形成した基板と重ね合わせ、オーブン中で加圧しながら１６０℃で９０分間加熱して、シール剤を硬化させた。このセルに液晶注入を行った後、紫外線硬化樹脂により液晶注入口を封口した。次に、偏光板をセルの２枚のガラス基板の外側に貼り付け、さらに、得られたセルをモジュール化して、液晶表示装置を完成させた。得られた液晶表示装置は色濃度が均一で欠点もなく、品質的に申し分ないものであった。

本発明に係る洗浄装置を含むスリットコータの概略正面図である。 本発明にかかる洗浄ヘッドの拡大概略斜視図である。 スリットノズルの洗浄装置の概略正面断面図である。 図３の概略側面図である 本発明になる別の洗浄ヘッドの拡大概略斜視図である。 図５の概略正面断面図である。 本発明になるさらに別の洗浄ヘッドの拡大概略斜視図である。

符号の説明

１ スリットコータ
２ 基台
４ ガイドレール
６ ステージ
１０ 門型ガントリー
２０ スリットノズル（塗布器）
２２ フロントリップ
２４ リアリップ
２６ マニホールド
２８ スリット
３２ シム
３４ 吐出口
３６ 吐出口面
３８ 隣接面
４０ 塗布液供給装置
４２ 供給バルブ
４４ 吸引バルブ
４６ フィルター
５０ シリンジポンプ
５２ シリンジ
５４ ピストン
５６ 本体
６０ 供給ホース
６２ 吸引ホース
６４ タンク
６６ 塗布液
６８ 圧空源
７０ 上下昇降ユニット
７２ モータ
７４ ガイド
７６ ボールネジ
７８ 昇降台
８０ 吊り下げ保持台
９０ 拭き取りユニット
９２ 拭き取りヘッド
９４ ブラケット
９６ スライダー
９８ 駆動ユニット
１００ トレイ
１０２ 台
１１０ 制御装置
１１２ 操作盤
２００ 洗浄装置
２０２ トレイ
２０４ ブラケット
２０６ スライダー
２０８ 駆動ユニット
２１０ 台
２１２ 液体配管
２１４ 液体排出管
２１６ 気体排出管
２１８ 気体配管
２２０ 洗浄ヘッド
２２２Ａ、Ｂ ブロック
２２４Ａ、Ｂ 洗浄液流出口
２２６Ａ、Ｂ 気体噴出口
２２８Ａ、Ｂ 第１斜面
２３０Ａ、Ｂ 第２斜面
２３２ 排出口
２３３ 洗浄機
２３４Ａ、Ｂ 溝
２３５ 気体噴出器
２３６Ａ、Ｂ マニホールド
２３８ 長穴
２４０Ａ、Ｂ 洗浄液導通路
２４２ 流量調整装置
２４４ 圧力調整装置
２５０ 衝突領域
２６０ 洗浄液配管
２６２ バルブ
２６４ 洗浄液タンク
２６６ 洗浄液
２６８ 圧空源
２７０ 気体液配管
２７２ バルブ
２７４ 気体源
３００ 洗浄ヘッド
３０２Ａ、Ｂ 第１洗浄液流出口
３０４Ａ、Ｂ 第２洗浄液流出口
３０６Ａ、Ｂ 第１気体噴出口
３０８Ａ、Ｂ 第２気体噴出口
３１０Ａ、Ｂ 第１洗浄液導通路
３１２Ａ、Ｂ 第２洗浄液導通路
３１４ 洗浄機
３１６ 気体噴出器
４００ 洗浄ヘッド
４０２Ａ、Ｂ ブロック
４０４Ａ、Ｂ 洗浄液流出口
４０６Ａ、Ｂ 気体噴出口
４０８Ａ、Ｂ 洗浄斜面
４１０ パイプ
４１２ 洗浄機
４１４ 気体噴出器
Ａ 基板（被塗布部材）
Ｂ ビード
Ｃ 塗布膜
Ｅ 領域
Ｐ１ 洗浄ヘッド２２０の原点位置
Ｐ２ 洗浄ヘッド２２０の待機位置
Ｗｎ 洗浄ヘッド２２０の長手方向長さ
Ｗｔ スリットノズルの長手方向全長
θｓ 洗浄液導通路２４０Ａ、Ｂの中心線が水平線となす角度
θｓ1 第１洗浄液導通路３１０Ａ、Ｂの中心線が水平線となす角度
θｓ2 第２洗浄液導通路３１２Ａ、Ｂの中心線が水平線となす角度

Claims (7)

1. 長手方向に延在または配列された塗液を吐出する吐出口を具備した塗布器の少なくとも吐出口面およびそれに隣接する面（以下、これを総称して洗浄面という。）を洗浄してから被塗布部材への塗布を行う塗布方法であって、複数の洗浄液流出口を有する洗浄機と、複数の気体噴出口を有する気体噴出器を前記塗布器の長手方向に並べて配置するとともに、洗浄機と気体噴出器を長手方向に走査させつつ、洗浄機から該隣接面に向けて洗浄液を供給し、続いて前記気体噴出器から該隣接面に向けて気体を噴出させて、洗浄面の洗浄をしてから、塗布器の吐出口から塗布液を吐出し、次いで塗布器の洗浄面に係合する清掃部材を塗布器の長手方向に摺動させて洗浄面の初期化を行い、その後に被塗布部材への塗布を行うことを特徴とする塗布方法。
2. 長手方向に延在または配列された塗液を吐出する吐出口を具備した塗布器の少なくとも吐出口面およびそれに隣接する面（以下、これを総称して洗浄面という。）を洗浄するために、前記塗布器の長手方向に移動しながら洗浄液を隣接面に供給する複数の洗浄液流出口を有する洗浄機と、気体を噴出する複数の気体噴出口を有する気体噴出器と、を備えた洗浄ヘッドを有する洗浄装置であって、前記洗浄機と気体噴出器は塗布器の長手方向に直列状に並んで配置され、かつ洗浄液と気体が前記隣接面に向けて所定の吐出角度で吐出されるよう前記洗浄液流出口に至る洗浄液流出流路と、気体噴出口に至る気体噴出流路が、吐出角度に応じて水平線に対して傾斜して配置されており、さらに前記洗浄液流出口は洗浄機の同一面上で、また前記気体噴出口は気体噴出器の同一面上で、それぞれ複数個長手方向に配置されているとともに、洗浄機と気体噴出器の最下方部に、除去された洗浄液と気体が通過する排出口が長手方向に伸びるように配置されていることを特徴とする塗布器の洗浄装置。
3. 前記複数の洗浄液流出口及び／または気体噴出口が、千鳥配置されており、少なくとも２つの洗浄液流出口及び／または気体噴出口から洗浄液及び／または気体が、前記塗布器の前記隣接面に向けて異なる吐出角度で吐出されるよう、前記洗浄液流出口に至る洗浄液流出流路と、気体噴出口に至る気体噴出流路が、前記吐出角度に応じて水平線に対して傾斜して配置されていることを特徴とする請求項２に記載の塗布器の洗浄装置。
4. 前記塗布器の長手方向に直列状に並んで配置された前記洗浄機と気体噴出器が一体に構成され、その間に溝を設けたことを特徴とする請求項２または３に記載の塗布器の洗浄装置。
5. 前記洗浄液と気体の両方を同時に吐出しながら、かつ走査方向に対して洗浄液が気体よりも先行して前記塗布器の隣接面に付着するように洗浄機と気体噴出器を前記塗布器の長手方向に走査させて洗浄を行わせる制御手段をさらに備えることを特徴とする請求項２〜４のいずれかに記載の塗布器の洗浄装置。
6. 塗布液を吐出する吐出口を有する塗布器と、塗布器に塗布液を供給する塗布液供給装置と、被塗布部材を吸着保持する載置台と、塗布器と被塗布部材を相対移動させる移動手段と、を備えた塗布装置であって、さらに請求項２〜５のいずれかに記載の洗浄装置と、該洗浄装置による塗布器の洗浄面の洗浄後に、塗布器の洗浄面に係合する清掃部材を塗布器の長手方向に摺動させて塗布器の洗浄面の初期化を行う拭き取り装置と、を備えたことを特徴とする塗布装置。
7. 請求項１に記載の塗布方法を用いて液晶ディスプレイ用部材を製造することを特徴とする液晶ディスプレイ用部材の製造方法。

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