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JP4572898B2 - プリズムユニットの評価方法及びプリズムユニットの製造方法 - Google Patents

プリズムユニットの評価方法及びプリズムユニットの製造方法 Download PDF

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Description

本発明は、プロジェクタなどの投影装置に使用される複数のプリズムからなるプリズムユニットの評価方法及びプリズムユニットの製造方法に関する。
近年、ハイエンドホームシアターやデジタルシネマなど高性能なプロジェクタの需要が増えつつある。この種のプロジェクタにおいて投影装置のプリズムユニットは画質を決める大きな要因であるため、プリズムユニットの性能を定量的に把握することが必要となっている。
従来のプロジェクタにおける投影装置の概略構成を図15に示す。この投影装置は、光源ランプ1と、ミラー2と、集光用のインテグラルロッド3と、コリメータレンズ4と、プリズムユニット5と、液晶変調素子やデジタルマイクロミラー素子などの光変調素子6と、投影レンズ7とからなり、光変調素子6にて変調された映像光をスクリーン8上に映写する。プリズムユニット5は、入出力分離プリズムユニット5aと色分解合成プリズムユニット5bとからなる。
このような投影装置において、プリズムユニット5の性能評価は、プリズムユニット5を投影装置に組み込んだ状態で評価用チャートの投影光をスクリーン8上に映写して目視で評価する、あるいは、投影光をCCDイメージセンサにて取り込んで評価していた。しかし、このような評価方法では、投影装置を組み立てる必要があり、かつ、評価に大きなスペースを必要としていた。プリズムユニット単体で評価できることが好ましいが、単体での評価方法は確立されていないのが現状である。
ところで、プロジェクタ用のプリズムユニットに関して、特許文献1には、光変調素子と投影レンズとの間の臨界角プリズムは、映像光がエアーギャップを透過する際に非点収差を発生させ、投影画像の品位を劣化させると記載されている。そこで、特許文献1では、映像光がエアーギャップを通過しない構成を採用している。しかし、このプリズムユニットでは投影光路が長くなってしまい、プリズムユニットや投影レンズの大型化も生じ、結果的に投影装置の大型化を招き、必ずしも好ましいものではない。
一方、プリズム面間のエアーギャップはプリズム面で光を全反射させるために必要なものであり、特許文献2では、プリズム間のエアーギャップによる非点収差の発生を、エアーギャップをくさび状とすることで解決することを提案している。しかし、エアーギャップを設計値どおりのくさび状に管理することは困難である。
特開2003−262918号公報 特開2002−49094号公報
そこで、本発明の目的は、主にエアーギャップの存在による光学性能、特に非点隔差をプリズムユニット単体で評価できる評価方法及びプリズムユニットの製造方法を提供することにある。
以上の目的を達成するため、第1の発明に係る評価方法は、
光変調素子によって変調された映像光を拡大投影する光学系を備えた投影装置に用いられるプリズムユニットの評価方法であって、
前記プリズムユニットは、白色光を第1の色光と第2の色光と第3の色光とに色分解して前記光変調素子に導き、前記光変調素子からのそれぞれの変調光を同一光路に合成して射出するための三つの光路を有する色分解合成プリズムユニットを有し、
前記色分解合成プリズムユニットは、光軸に対して傾いた複数のエアーギャップ面を有し、各色光の光路でエアーギャップ面を透過する回数が異なっており、前記三つの光路のうちに全反射面を有する光路が存在しており、
チャートを前記プリズムユニットを介して前記光学系により結像させ、前記プリズムユニットによって色分解された各色の光路ごとに、チャート像の結像位置の差に基づいて非点隔差を算出し、算出された非点隔差に基づいて性能評価を行うこと、
を特徴とする。
第2の発明に係る評価方法は、
光変調素子によって変調された映像光を拡大投影する光学系を備えた投影装置に用いられるプリズムユニットの評価方法であって、
前記プリズムユニットは、照明光と映像光とを分離するための光軸に対して傾いたエアーギャップ面を有する入出力分離プリズムと、
白色光を第1の色光と第2の色光と第3の色光とに色分解して前記光変調素子に導き、前記光変調素子からのそれぞれの変調光を同一光路に合成して射出するための三つの光路を有する色分解合成プリズムユニットと、を有し、
前記色分解合成プリズムユニットは、光軸に対して傾いた複数のエアーギャップ面を有し、各色光の光路でエアーギャップ面を透過する回数が異なっており、前記三つの光路のうちに全反射面を有する光路が存在しており、
チャートを前記プリズムユニットを介して前記光学系により結像させ、前記プリズムユニットによって色分解された各色の光路ごとに、チャート像の結像位置の差に基づいて非点隔差を算出し、算出された非点隔差に基づいて性能評価を行うこと、
を特徴とする。
第1及び第2の発明に係る評価方法によれば、光軸に対して傾いた複数のエアーギャップ面を有する色分解合成プリズムユニット単体での映像面上の直交する方向の非点隔差を定量的に測定することができ、色分解合成プリズムユニット単体での性能評価が可能となる。また、第1、第2及び第3の色光に対してそれぞれ非点隔差に基づいて性能評価を行うことにより、プリズムユニットのそれぞれの面精度やそれぞれのエアーギャップをより細かく性能評価することができる。さらに、同時にMTF(Modulation Transfer Function)の値も測定、評価することができる。
第1及び第2の発明において、
前記色分解合成プリズムユニットは、第1のプリズムと第2のプリズムと第3のプリズムを含み、
前記第1のプリズムは白色光が入射する第1の面と前記第1の色光を反射する反射膜を有する第2の面と前記第1の色光を射出するとともに該射出光の反射光を入射させる第3の面とを有し、
前記第2のプリズムは前記第2及び第3の色光が入射する第4の面と前記第2の色光を反射する反射膜を有する第5の面と前記第2の色光を射出するとともに該射出光の反射光を入射させる第6の面とを有し、
前記第3のプリズムは前記第3の色光が入射する第7の面と第3の色光を射出するとともに該射出光の反射光を入射させる第8の面とを有し、
前記第2の面と第4の面とはエアーギャップを介して対向して第1のエアーギャップ面をなし、第5の面と第7の面とはエアーギャップを介して対向して第2のエアーギャップ面をなし、
光軸を含んで第1のエアーギャップ面に垂直な平面と、光軸を含んで第2のエアーギャップ面に垂直な平面とは互いに平行であり、
前記第1及び第2のエアーギャップ面の光軸を通る法線と光軸とで形成される平面に垂直な第1の方向と、該第1の方向と光軸とに垂直な第2の方向とに対する非点隔差に基づいて性能評価を行うこと、
を特徴としていてもよい。
さらに、第4のプリズムが前記第1のプリズムの第1の面に対向して該第1の面とエアーギャップを介して対向して配置されているユニットであっても、ユニット単体でその非点隔差を定量的に測定することができる。
第1及び第2の発明に係る評価方法においては、前記色分解合成プリズムユニットの複数のエアーギャップ面において、光軸を含むエアーギャップ面に垂直な平面は互いに平行であり、該平面に垂直な第1の方向と、該第1の方向と光軸とに垂直な第2の方向とに対する非点隔差に基づいて性能評価を行うこと、が好ましい。また、前記各色の光路ごとに、各色のチャート像のデータを、光軸方向に異なる複数の位置で測定し、測定されたデータから非点隔差を算出し、算出された非点隔差に基づいて性能評価を行うこと、が好ましい。これにて非点隔差をより正確に測定することができる。
この場合、前記複数の位置で測定されたチャート像データのそれぞれを第1の方向と第2の方向に関する周波数空間のデータに変換し、変換されたデータから第1の方向と第2の方向のそれぞれのチャート像の結像位置を算出し、第1の方向と第2の方向の結像位置の差に基づいて非点隔差の評価を行うことができる。
さらに、前記チャートの結像位置における、それぞれのチャート像に基づくMFTに基づいて評価を行うことも可能である。
また、前記複数の位置で測定されたチャート像データのそれぞれに対し、第1の方向と第2の方向のコントラスト値を算出し、算出されたコントラスト値から第1の方向と第2の方向のそれぞれのチャート像の結像位置を算出し、第1の方向と第2の方向の結像位置の差に基づいて非点隔差の評価を行うことができる。
第3の発明に係る製造方法は、前記第1又は第2の発明に係る評価方法を経て製造されることを特徴とする。これにて、所望の性能を有するプリズムユニット、入出力分離プリズムユニット又は色分解合成プリズムユニットを得ることができる。
なお、本特許請求の範囲及び本明細書において、エアーギャップ面とはエアーギャップを形成するプリズムの面に平行な仮想面を意味する。
以下、本発明に係るプリズムユニットの評価方法及びプリズムユニットの製造方法の実施例について、添付図面を参照して説明する。
(評価装置の第1実施例、図1参照)
まず、プリズムユニットの評価装置の第1実施例について図1を参照して説明する。被検プリズムユニット20としては、実施例として以下に示す5ピースタイプのプリズムユニット20A(図2参照)及び6ピースタイプのプリズムユニット20B(図6参照)を使用する。
評価装置10は、白色光源であるランプ11と、評価用チャート12と、光路折返し用ミラー13,14と、コリメータレンズ15と、マスターレンズ16と、撮像装置17とで構成されている。被検プリズムユニット20はマスターレンズ16と撮像装置17との間にセットされる。コリメータレンズ15は評価用チャート12を透過した光を略平行光に変換する。そして、マスターレンズ16が光束を集光し、評価用チャート12の縮小像をマスターレンズ16の光軸上の結像位置fに形成する。マスターレンズ16としては、収差が十分に補正されたレンズが望ましい。コリメータレンズ15の焦点距離はマスターレンズ16の焦点距離の10倍以上が好ましい。本第1実施例では、プリズムユニット20とともに画像投影に使用される投影レンズが用いられている。
撮像装置17は、対物レンズ18と光量分布測定手段である二次元イメージセンサ19(例えばCCD)とを一体化したもので、結像位置fに形成されたチャート12の縮小像を観察するように、該結像位置fを含めて光軸方向に移動可能とされている。即ち、対物レンズ18の焦点位置を光軸方向に移動させつつ、チャート12の縮小像を撮像し、そのコントラストに基づいて被検プリズムユニット20の非点隔差及びMTFを測定する。なお、チャート12の模様及び非点隔差の測定、評価については以下に詳述する。
ところで、撮像装置17に信号処理・制御部50が接続されている。即ち、撮像装置17は制御部51からの指示により、光軸方向に移動しつつチャート12の縮小像を撮像する。撮像されたチャート12の画像データは画像メモリ52に格納される。画像メモリ52内に格納された画像データは演算部55に送られて所定の処理が行われ、その結果がメモリ54に格納される。出力部53は撮像装置17で撮像したチャート像をモニタに表示したり、メモリ54に格納されている前記演算結果をモニタに表示したりする。入力部56は測定開始などの測定者からの指示を制御部51へ送信するインターフェイス部である。
(第1のプリズムユニットの構成、図2参照)
第1のプリズムユニット20Aは、図2に示すように、入出力分離プリズムユニット21と色分解合成プリズムユニット25とを組み合わせたものであり、5ピースタイプとして構成されている。入出力分離プリズムユニット21は第1のプリズム22と第2のプリズム23とからなる。色分解合成プリズムユニット25は第3のプリズム26と第4のプリズム27と第5のプリズム28とからなる。
第1のプリズム22は互いに鋭角をなす第1の面aと第2の面bとを有し、第2のプリズム23は互いに鋭角をなす第3の面cと第4の面dと光が入射する第5の面eとを有している。そして、第1の面aと第4の面dとが平行で、第2の面bと第3の面cとが微小間隙のエアーギャップ24aを介して対向してエアーギャップ面をなしている。このエアーギャップ24aを形成する面b,cの法線は、YZ平面に平行である。
第3のプリズム26は白色光が入射する第6の面fと青色光を反射するダイクロイック膜31を有する第7の面gと青色光を射出するとともに該射出光の反射光を入射させる第8の面hとを有している。第4のプリズム27は赤色光及び緑色光が入射する第9の面iと赤色光を反射するダイクロイック膜32を有する第10の面jと赤色光を射出するとともに該射出光の反射光を入射させる第11の面kとを有している。第5のプリズム28は緑色光が入射する第12の面lと緑色光を射出するとともに該射出光の反射光を入射させる第13の面mとを有している。
第6の面fと第13の面mとが平行で、第7の面gと第9の面iとは微小間隙のエアーギャップ33aを介して対向してエアーギャップ面をなし、第10の面jと第12の面lとは微小間隙のエアーギャップ33bを介して対向してエアーギャップ面をなしている。エアーギャップ33a,33bを形成する面g,i,j,lの法線は、XZ平面に平行である。
また、第2のプリズム23の第4の面dと第3のプリズム26の第5面fとは、ギャップ24bを介して互いに平行である。そして、入出力分離プリズムユニット21と色分解合成プリズムユニット25とは、共通の保持部材(図示せず)によって一体化されている。
このプリズムユニット20Aが投影装置に組み込まれる場合、各面h,k,mの焦点位置には、青色光用の光変調素子35、赤色光用の光変調素子36及び緑色光用の光変調素子37が配置される。これらの光変調素子35〜37は液晶変調素子やデジタルマイクロミラーなどである。
画像の投影時において、プリズムユニット20Aを照明する白色光はプリズム23の面eから入射し、該入射光は面cで全反射され、面dを透過してエアーギャップ24bを横切り、面fよりプリズム26に入射する。この入射光は面gに達し、そのうちの青色光はダイクロイック膜31で反射され、赤色光と緑色光はダイクロイック膜31を透過する。
ダイクロイック膜31で反射された青色光は、臨界角を超える入射角で面fに入射し、全反射される。この青色光は面hを透過し、光変調素子35を照射して変調されるとともに垂直に反射される。
ダイクロイック膜31を透過した赤色光及び緑色光は、エアーギャップ33aを横切って面iよりプリズム27に入射し、面jに達する。赤色光はダイクロイック膜32で反射され、緑色光はダイクロイック膜32を透過する。
ダイクロイック膜32で反射された赤色光は、臨界角を超える入射角で面iに入射し、全反射される。この赤色光は面kを透過し、光変調素子36を照射して変調されるとともに垂直に反射される。
ダイクロイック膜32を透過した緑色光は、エアーギャップ33bを横切って面lよりプリズム28に入射する。この緑色光は面mを透過し、光変調素子37を照射して変調されるとともに垂直に反射される。
各光変調素子35,36,37で反射された映像光は前記往路を逆に進行して面dからプリズム23に入射する。この間、ダイクロイック膜32で赤色光と緑色光が合成され、ダイクロイック膜31でさらに青色光が合成される。プリズム23に入射した合成映像光は面cを透過し、エアーギャップ24aを横切ってプリズム22も透過した後、図15に示す投影レンズ7を介してスクリーン8上に投影される。
ここで、プリズムユニット20Aについて一具体例の設計値を示す。入出力分離プリズムユニット21は、プリズム厚さ28mm(Z方向に14mm、14mm)、エアーギャップ24aの面間隔7.5μm、法線が光軸となす角度33°である。また、色分解合成プリズムユニット25は、プリズム厚さ57mm(Z方向に11mm、13mm、33mm)、エアーギャップ33a,33bの面間隔25μm、12.5μm、法線が光軸となす角度28.5°、11°である。ここに挙げた具体的な数値は、光源側からの順番である。
(評価方法の第1実施例、図3〜図5参照)
次に、前記プリズムユニット20Aの性能評価方法の第1実施例について説明する。評価は、図1に示した評価装置10を使用して非点隔差とMTF(Modulation Transfer Function)とについて行われる。プリズムユニット20Aについて行う場合と、入出力分離プリズムユニット21及び色分解合成プリズムユニット25に対してそれぞれ行う場合とがある。なお、各ユニット21,25ごとに評価する場合、他のユニットはエアーギャップのないマスタープリズムユニットを組み合わせて行う。マスタープリズムユニットは、プリズムユニット21,25と同じ材料で同じプリズム厚を持つ平行平板である。
まず、非点隔差の評価について説明すると、エアーギャップ面の光軸を通る法線と光軸とで形成される平面に垂直な第1の方向と、該第1の方向と光軸とに垂直な第2の方向とに対する非点隔差に基づいて評価する。ここで、マスターレンズ16の光軸に平行でプリズム内を通る任意の軸をプリズムの光軸と称する。
具体的には、図2(B)に示す入出力分離プリズムユニット21に関して、光軸はZ軸に平行な直線であり、エアーギャップ面b,cの光軸を通る法線と光軸とで形成される平面とはYZ平面を意味し、このYZ平面に垂直な方向が第1の方向Xである。そして、第1の方向Xと光軸とに垂直な方向が第2の方向Yである。
そして、第1及び第2の方向X,Yの非点隔差を測定する。使用する評価用チャート12は図3(A)に示すように、X方向に対応する周期構造のスリットが形成されたチャート12xとY方向に対応する周期構造のスリットが形成されたチャート12yである。このチャート12を図1に示すようにランプ11の直前(コリメータレンズ15の焦点面)に配置し、被検プリズムユニットをマスターレンズ16と対物レンズ18の間に配置し、ランプ11から白色光を放射してチャート12の像のコントラストからX方向とY方向に対する非点隔差を測定する。なお、図3(A)に示すチャート12において斜線を付した部分が遮光部であり、白抜きされた縦線及び横線が透光部である。
また、第1及び第2のチャート12x,12yは、マスターレンズ16の像面側で、光変調素子の画素周期で決まるナイキスト周波数の1〜4倍に相当する周期構造であることが好ましい。下限値を下まわると、測定されるMTFの値が高くなりすぎてMTFのピーク位置に差が出ない。上限値を越えると、測定されるMTFの値が低くなりすぎて、ピーク位置を判別し難い。この具体例においては、光変調素子35,36,37の画素配列の周期(画素ピッチ)は13.7μmであり、チャート12x,12yの周期構造は、36.5〜146line pair/mmであることが好ましい(以下、line pair/mmをlp/mmと記載する)。本具体例では、像面側で90lp/mmとなるチャートを使用している。このチャートの周波数は画素周期で決まるナイキスト周波数の2.5倍である。
以下に、プリズムユニット20Aの非点隔差の測定方法について詳しく説明する。まず、評価装置10の装置関数を求める。即ち、光路折り返し用ミラー13,14、コリメータレンズ15、マスターレンズ16、対物レンズ18、二次元イメージセンサ19によって生じるチャート12の像の劣化具合を測定する。
図1において、プリズムユニット20に代えて、マスタープリズムユニットとして、プリズムユニット20と同じ厚さの平行平板(厚さ85mm)を、その入射面がマスターレンズ16の光軸に垂直になるよう設置する。
撮像装置17を光軸方向に所定の間隔(本第1実施例の場合、1μm)で走査し、それぞれの位置でチャート像を撮像する。撮像されたチャート像データからチャート12の結像位置を推定する。二次元イメージセンサ19で得られるチャート12の像のX方向の断面及びY方向の断面は、それぞれ図3(B)、図3(C)のようになる。このような信号において、チャート12の透過部の信号強度MAXを中心3本の値で平均した平均値MAXave、チャート12の遮蔽部の信号強度MINを中心2本の値で平均した平均値MINaveとするとき、コントラストを下記の式(1)で定義する。
(MAXave−MINave)/(MAXave+MINave−2×OFFSET)…(1)
ここで、OFFSETとは、イメージセンサ19の熱雑音や設定条件によって、光が入射しないときにも生じる信号の値である。
式(1)に基づいて、光軸方向の各測定位置でのコントラストを計算する。測定位置に対するコントラストの変化から最もコントラストが高いと思われる位置を推定し、最もコントラストが高いと思われる位置を基準位置とする。そして、基準位置でのコントラストを評価装置10の装置定数とする。なお、チャート12の像は、マスターレンズ16の光軸上で観察しているため、X方向とY方向とでコントラストや像の位置に差は生じない。
続いて、プリズムユニット20の測定を行う。前記マスタープリズムユニットに代えて、プリズムユニット20が図1に示されるように設置される。プリズムユニット20が評価装置10に設置される際、プリズムユニット20は、投影装置に取り付けるための保持部材の取付け基準を用いて設置される。
撮像装置17を光軸方向に所定の間隔(本第1実施例の場合、1μm)で走査し、それぞれの位置でチャート像を撮像する。撮像されたチャート像データから各測定位置での第1のチャート12x、第2のチャート12yのそれぞれに対するコントラストを式(1)に基づいて計算する。各位置でのコントラスト値を評価装置10の装置定数で規格化した値を、プリズムユニット20のMTFとする。MTFは光軸方向の位置Zの関数であり、以下MTF(Z)と表記する場合がある。なお、ここで得られるMTFの値はチャート12が持つ基本周波数に対する特性である。
横軸に光軸方向の位置(Z)、縦軸に各位置(Z)に対するX方向とY方向のMTFの値をプロットすると、図4に示すように、X方向及びY方向のMTF曲線が得られる。この曲線の最大値付近の形状から最大のMTF値を持つ光軸上の位置を推定し、この位置をチャート12xあるいはチャート12yの結像位置とする。そして、チャート12xの結像位置とチャート12yの結像位置との差を非点隔差とする。
MTF曲線の形状から最大値である光軸方向の位置を求める方法としては、例えば、以下の方法(1)〜(4)が挙げられる。なお、(1)〜(4)以外の他の方法を用いることも可能である。
(1)データを補間してMTFの最大値を求め、その値をとるZ座標を結像位置とする。
(2)最大値近傍で最大値を挟む2点での傾き直線を求め、それらの交点のZ座標を結像位置とする。
(3)最大値近傍で同一のMTF値を持つ位置の中点を結像位置とする。
(4)測定データ中で最大値をとるZ座標を結像位置とする。
評価は緑色光の光変調素子37の位置にて測定することにより行う。一色で測定することにより評価装置10の構成が簡略化され、短時間の測定で済む。緑色光の光変調素子37の位置だけではなく、他の素子35,36の位置での測定を行ってもよい(評価装置及び評価方法の第2実施例として後述する)。これにて、反射面として機能する面f,g,i,jの精度や、屈折率の乱れがわかる。
前記具体例での非点隔差の設計値は−5μmであり、MTFは入出力分離プリズムユニット21にあってはY方向に87.9%、色分解合成プリズムユニット25にあってはX方向に92.5%で、その平均値は89.6%である。図4にこの一具体例であるプリズムユニット20Aの一実測値を示す。
ところで、主にプリズムユニットの性能を劣化させる要因は、エアーギャップ、プリズム面形状、屈折率などのばらつきである。これらによる性能劣化を評価するためには、全てのエアーギャップを通過する緑色光のMTFや非点隔差の値を測定することが好ましい。緑色光での非点隔差を測定しておけば、プリズムユニットの設計値から他の青色光及び赤色光の非点隔差を推測できる。
図5は、前述したプリズムユニット20Aの一具体例の、緑色光、赤色光、青色光の非点隔差の設計値を示している。入出力分離プリズムユニット21に関しては、X方向に隔差は発生せず、チャート像は基準位置に形成される。Y方向には、非点隔差が発生し、チャート像は基準位置から光源側に−22μmの位置に形成される。入出力分離プリズムユニット21で生じる隔差は、緑色光、赤色光、青色光共通に生じる。
色分解合成プリズム25に関して、Y方向に隔差は発生せず、チャート像は基準位置に形成される。X方向には、非点隔差が発生し、緑色光のチャート像は基準位置から光源側に−27μmの位置に形成される。赤色光のチャート像は基準位置から光源側に−27μmの位置に形成される。青色光のチャート像は基準位置に形成される。これは青色光の光路にはエアーギャップが存在しないからである。
従って、各色の非点隔差は入出力分離プリズムユニット21のY方向のチャート像の位置を基準にして、緑色光−5μm、赤色光−5μm、青色光+22μmとなる。但し、Z方向を正方向としている。
非点隔差及びMTFの最大値の評価は3段階に分けて行われる。前記具体例においては、入出力分離プリズムユニット21のみにエラーがある場合、Y方向のチャート像の位置を基準として非点隔差が負の値(X方向のチャート像の位置が光源側)では緑色光及び赤色光の性能が劣化する。逆に非点隔差が正の値では、青色光の性能が劣化する。また、測定される非点隔差の値が小さくとも、入出力分離プリズムユニット21と色分解合成プリズムユニット25それぞれの非点隔差が大きく、互いにキャンセルしあう場合がある。この場合にはチャート像の位置のMTFの値が低下している。緑色光、赤色光と青色光との性能のバランスを考慮すると、Y方向のチャート像の位置を基準として、Z方向に+10μm以下、−15μm以下であって、X方向及びY方向のMTF(Z)の平均(以下平均MTFと呼ぶ)の最大値が75%以上(Y方向に関しては70%以上、X方向に関しては80%以上)のユニットを最も好ましいと評価する。
次に、非点隔差が、Z方向に+15μm以下、−20μm以下であって、平均MTFの最大値が70%以上(Y方向に関しては65%以上、X方向に関しては75%以上)のユニットを好ましいと評価する。
また、非点隔差が、Z方向に+20μm以下、−25μm以下であって、平均MTFの最大値が65%以上(Y方向に関しては60%以上、X方向に関しては70%以上)のユニットを実用的に使用可能であると評価する。
(第2のプリズムユニット、図6参照)
第2のプリズムユニット20Bは、図6に示すように、入出力分離プリズムユニット21と色分解合成プリズムユニット25とを組み合わせたものであり、色分解合成プリズムユニット25にいま一つのプリズム29を加えた6ピースタイプとして構成されている。
プリズム29は投影画像をよりクリアにするために配置されたものであり、面gの設置角度をより小さくして、ダイクロイック膜32での反射光の色特性を向上させる機能を有している。プリズム29の面nとプリズム26の面fとが平行で微小間隙のエアーギャップ33cを介して対向してエアーギャップ面をなしている。また、プリズム29の面oとプリズム28の面mとが平行に設定されている。
プリズム29以外の構成は前記第1のプリズムユニット20Aと基本的に同じ構成であり、重複した説明は省略する。異なる点は以下のとおりである。
プリズム26の面gには赤色光を反射するダイクロイック膜32が形成され、プリズム27の面jに青色光を反射するダイクロイック膜31が形成されている。従って、赤色光の光変調素子36をプリズム26の面hに対向して設け、青色光の光変調素子35をプリズム27の面kに対向して設けている。
さらに、プリズム26の面fが光軸に対して傾いている。ダイクロイック膜32で反射された光が面fで全反射されるようにするためである。さらに、プリズム29の面oとプリズム28の面mとが平行である。
ここで、プリズムユニット20Bについて一具体例の設計値を示す。入出力分離プリズムユニット21は、プリズム厚さ34mm(Z方向に17mm、17mm)、エアーギャップ24aの面間隔12.5μm、法線が光軸となす角度33°である。また、色分解合成プリズムユニット25は、プリズム厚さ82mm(Z方向に8mm、14mm、14mm、46mm)、エアーギャップ33a,33b,33cの面間隔25μm、25μm、25μm、法線が光軸となす角度18°、18°、18°である。ここに挙げた具体的な数値は、光源側からの順番である。
プリズムユニット20Bの性能評価方法についても前記評価装置10を用いる場合、前記プリズムユニット20Aと基本的に同様である。この具体例においても、光変調素子の画素配列の周期(画素ピッチ)は13.7μmであり、評価用のチャートの縮小側(像面側)でのサイズは90lp/mmである。
評価は緑色光の光変調素子37の位置にて測定することにより行う。一色で測定することにより評価装置10の構成が簡略化され、短時間の測定で済む。緑色光の光変調素子37の位置だけではなく、他の素子35,36の位置での測定を行ってもよい(評価装置及び評価方法の第2実施例として後述する)。これにて、反射面として機能する面f,g,i,jの精度や、屈折率の乱れがわかる。
プリズムユニット20Bの具体例での非点隔差の設計値は15μmであり、MTF(Z)の最大値は入出力分離プリズムユニット21にあってはY方向に67.7%、色分解合成プリズムユニット25にあってはX方向に100%で、その平均値は81.3%である。
図7は、第2のプリズムユニット20Bの一具体例の、緑色光、赤色光、青色光の非点隔差の設計値を示す。各色の非点隔差は入出力分離プリズムユニット21のY方向のチャート像の位置を基準にして、緑色光+15μm、青色光+16μm、赤色光+27μmとなる。但し、Z方向を正方向としている。
非点隔差及びMTFの最大値の評価は3段階に分けて行われる。この具体例においては、緑色光の非点隔差の設計値は15μmであり、赤色光を考慮して、Z方向に+10μm以下、−15μm以下であって、平均MTFの最大値が70%以上(Y方向に関しては60%以上、X方向に関しては90%以上)のユニットを最も好ましいと評価する。
次に、非点隔差が、Z方向に+15μm以下、−20μm以下であって、平均MTFの最大値が65%以上(Y方向に関しては55%以上、X方向に関しては85%以上)のユニットを好ましいと評価する。
また、非点隔差が、Z方向に+20μm以下、−25μm以下であって、平均MTFの最大値が60%以上(Y方向に関しては50%以上、X方向に関しては80%以上)のユニットを実用的に使用可能であると評価する。
(ユニットの組み合わせ)
ところで、非点隔差の測定は、入出力分離プリズムユニット21及び色分解合成プリズムユニット25ごとに行うことができる。なお、その場合は他のユニット25,21としてエアーギャップのないマスターユニットを組み合わせて測定する。
従って、個別に評価されたプリズムユニット21,25を非点隔差が所定の値を満足するように組み合わせれば、互いのプリズムユニットの欠点を補い合って歩留まりよく製造することができる。
以下に示す表1は、6ピースタイプのプリズムユニット20Bにおいて、予め非点隔差が測定された入出力分離プリズムユニットA,B,Cと色分解合成プリズムユニットA,B,Cの適切な組み合わせ例を示したものである。
Figure 0004572898
即ち、第1例では、非点隔差が30μmの入出力分離プリズムユニットAと非点隔差が−15μmの色分解合成プリズムユニットAとを組み合わせると、組み合わせ非点隔差は15μmとなる。同様に、第2例の組み合わせ非点隔差は9μmとなり、第3例では21μmとなる。第4例の組み合わせ非点隔差は27μmであり、この場合は実用的な使用に耐え得ない。
(評価装置及び評価方法の第2実施例、図8及び図9参照)
次に、プリズムユニットの評価装置の第2実施例について、図8を参照して説明する。被検プリズムユニットとしては6ピースタイプのプリズムユニット20Bを使用した例を示す。
評価装置100は、光源ユニット110と、評価用チャート12と、光路折り返し用ミラー13,14とコリメータレンズ15と、マスターレンズ16と、撮像装置17B,17R,17Gと、信号処理・制御部50(図1参照)とで構成されている。光源ユニット110は、青色、赤色及び緑色の光源111B,111R,111Gを有し、これらの光源から発せられた光をビームスプリッタ112で合成し、評価用チャート12を照明する。また、撮像装置17B,17R,17Gは、前記撮像装置17と同様に対物レンズと二次元イメージセンサ(CCD)とを一体化したもので、それぞれ青色、赤色及び緑色の結像位置に形成されたチャート12の像を観察するように、該結像位置を含めて光軸方向に移動可能とされている。即ち、評価装置100は、チャート12の青色、赤色及び緑色の縮小像を撮像し、それぞれのコントラストに基づいて被検プリズムユニットの非点隔差を3色ごとに測定する。
評価方法は基本的には前記第1実施例と同様であり、青色光は400〜500nmの範囲、望ましくは450nmをピーク波長とするナローバンドの光源111Bを用い、緑色光は500〜600nmの範囲、望ましくは550nmをピーク波長とするナローバンドの光源111Gを用い、赤色光は600〜700nmの範囲、望ましくは650nmをピーク波長とするナローバンドの光源111Rを用いる。これらの光源111B,111G,111Rには発光ダイオードを用いることが好ましい。図3に示したチャート12を用いてマスタープリズムユニットによる基準位置でのコントラストを測定した後、プリズムユニット20Bのコントラストを測定する。
各撮像装置17B,17R,17Gを3色の光軸方向に所定の間隔(本第2実施例の場合、1μm)で走査し、各測定位置でのコントラストを前記式(1)に基づいて計算する。各位置でのコントラスト値を評価装置100の最も高いコントラストで規格化した値を、プリズムユニット20BのMTF(Z)とする。そして、最大のMTF値を持つ位置をチャート12の像の結像位置(フォーカス位置)とする。緑色、青色及び赤色の各チャンネルのMTF(Z)は次式(2),(3),(4)にて求められる。
緑色のMTF(Z)=撮像装置17Gのコントラスト(Z)/装置定数…(2)
青色のMTF(Z)=撮像装置17Bのコントラスト(Z)/装置定数…(3)
赤色のMTF(Z)=撮像装置17Rのコントラスト(Z)/装置定数…(4)
前記式(2),(3),(4)により、プリズムユニット20Bの具体例での設計値は以下の表2に示すようになる。
Figure 0004572898
図9にプリズムユニット20Bの具体例における緑色光、赤色光、及び青色光の非点隔差の設計値を示す。入出力分離プリズムユニット21に関して、X方向に隔差を発生せず、Y方向にのみ非点隔差が発生し、チャート像は基準位置から光源側に−30μmの位置に形成される。入出力分離プリズムユニット21で生じる隔差は、緑色光、赤色光、及び青色光に共通に生じる。
色分解プリズムユニット25に関して、Y方向に隔差は発生せず、X方向にのみ非点隔差が発生し、緑色光のチャート像は基準位置から光源側に−15μmの位置に形成される。青色光のチャート像は基準位置から光源側に−14μmの位置に形成される。赤色光のチャート像は基準位置から光源側に−3μmの位置に形成される。従って、各色の非点隔差は入出力分離プリズムユニット21のY方向のチャート像の位置を基準として、緑色光+15μm、青色光+16μm、赤色光+27μmとなる。但し、Z方向を正方向としている。
非点隔差及びMTFの値の評価は2段階に分かれる。最も好ましい評価を以下の表3に示し、使用可能な評価を以下の表4に示す。
Figure 0004572898
Figure 0004572898
次に、この一具体例であるプリズムユニット20Bの実測例を以下の表5に示す。
Figure 0004572898
表5において、サンプル1は最も好ましいと評価できるプリズムユニットであり、全ての色光において良好な画像が得られていると評価できる。サンプル2は使用可能であると評価できるプリズムユニットであり、赤色光の非点隔差が30μmを超えているので投影時の赤色画像はやや劣化するが、使用可能な範囲であると評価できる。
サンプル3は使用不可であると評価されるプリズムユニットであり、青色光の非点隔差が30μmを大きく超えており、投影時の画像が劣化し、設計値からも大きく外れているのでコンバージェンス不良の可能性があり、青色光のフォーカス不良及びコンバージェンス不良であると評価できる。
サンプル4も使用不可であると評価されるプリズムユニットであり、赤色光の非点隔差が30μmを大きく超えており、投影時の画像が劣化し、設計値からも大きく外れているのでコンバージェンス不良の可能性があり、赤色光のフォーカス不良、コンバージェンス不良及び青色光のフォーカス不良であると評価できる。
基本的に非点隔差の規格は設計値±15μmまで使用可能であるが、非点隔差が−30〜+30μmを超えると、フォーカス性能の劣化が顕著になってくる。また、非点隔差が設計値から大きく離れた値を示す場合には、プリズムの収差によりX方向とY方向の倍率が変わってくるおそれがあり、他の色光とコンバージェンスが一致しない不具合が生じる。
(種々のチャート、図10参照)
図10(A)〜(J)に本発明に係る評価方法で用いられる種々のチャートを示す。図10(A)は前述したラダーチャートであり、図10(B)はラダーチャートの変形である。これらのラダーチャートは、直交する2方向に特定の周波数特性を持ったものであり、第1実施例で説明したように、チャート像の最大値と最小値にて画像のコントラストを計算する。非点隔差は、光軸方向に所定の間隔で走査し、各方向の最もコントラストの高い位置の差によって求められる。非点隔差と、各方向の最も高いコントラスト値あるいはMTFの最大値が評価項目となる。
図10(C)は放射状のジーメンスチャートであり、任意の方向に周波数特性を持ったものである。チャート像の最大値と最小値にて画像のコントラストを計算する。非点隔差は、光軸方向に所定の間隔で走査し、所定の2方向における最もコントラストの高い位置の差によって求められる。非点隔差と各方向の最も高いコントラスト値が評価項目となる。
図10(D),(E)は垂直及び水平方向のナイフエッジチャートである。画像処理では明部と暗部とのエッジ部の傾きを計算する。非点隔差は、光軸方向に所定の間隔で走査したとき、各チャートにおけるエッジ部の傾きが最大値となる位置の差によって求められる。非点隔差とエッジ部での傾きの最大値が評価項目となる。
図10(F),(G)は垂直及び水平方向のスリットチャートである。このチャートを用いる場合には、プリズムユニットによるチャート像の劣化具合を、数学的な計算によるMTFを用いて評価する。そして、計算されたMTFから非点隔差が算出される。以下、その手順を説明する。
まず始めに、評価装置10にマスタープリズムユニットをセットする。撮像装置17を光軸方向に所定の間隔で走査し、それぞれの位置でチャート像を撮像する。得られた画像の領域a,bのそれぞれに対してスリットの長手方向に信号を積算し、スリット幅方向の一次元データを生成する。この一次元データを離散的フーリエ変換する。フーリエ変換で得られた複素ベクトルデータの長さ(複素数の絶対値)を計算し、その長さを規格化する。撮像された複数の画像のそれぞれに対して前記処理を行うことで、評価装置10の装置関数が得られる。装置関数は位置Zと空間周波数νの関数である。続いて、マスタープリズムユニットに代えて被検プリズムユニットをセットし、前記のフーリエ変換までの処理を同様に行う。得られたフーリエ変換データに対し、複素ベクトルデータの長さを計算し、その長さを規格化し、装置関数で割ることで、被検プリズムユニットのMTF(Z,ν)が得られる。非点隔差は、所定の空間周波数において、X方向チャートの最大のMTF値をとる位置とY方向チャートの最大のMTF値をとる位置との差によって求められる。ここで用いられる空間周波数は光変調素子の画素周期で決まるナイキスト周波数の1〜4倍であることが好ましい。非点隔差と特定の周波数での最も高いMTF値が評価項目となる。
図10(H)は垂直及び水平方向の十字チャートであり、領域a,bに対して前記水平及び垂直チャートの場合と同様の処理を行い、MTFを計算する。非点隔差は、光軸方向に所定の間隔で走査したとき、各チャートの最も高いMTF値での位置の差によって求められる。非点隔差と特定の周波数での最も高いMTF値が評価項目となる。
図10(I),(J)は一つ又は複数のマトリクス状に配置されたピンホールからなるピンホールチャートであり、ピンホールは円形、角形のいずれでもよい。複数のピンホールを配置したチャートは、ピンホール部を切り出して積算処理(平均化処理)することにより測定値が安定化する。ピンホール画像に二次元の離散的フーリエ変換を行い、その結果と装置定数を用い、被検プリズムユニットのMTF(Z)が得られる。二次元のフーリエ変換の代わりに、X方向及びY方向の断面の一次元データに対し、それぞれに一次元フーリエ変換を行ってもよい。非点隔差は、光軸方向に所定の間隔で走査したとき、特定周波数において互いに垂直な方向の最も高いMTFの位置の差によって求められる。非点隔差と特定周波数での最も高いMTF値が評価項目となる。
(立体チャートを用いた非点隔差の測定、図11参照)
図11に示すように、三角体120の斜面121に複数の平行なパターンを設けた立体チャートを用い、該三角体120を光軸を中心として180°回転させて画像を二次元イメージセンサ(CCD)19で読み取る。立体チャートを用いれば、パターンに光軸方向のデフォーカス情報を付随させることで、イメージセンサ19の光軸方向の走査をなくすることができ、測定時間が短縮化される。
また、三角体120を光軸を中心に回転させることで、X方向とY方向のフォーカス位置を測定可能である。あるいは、斜面121にX方向とY方向のパターンを設けることにより、1回の測定でX,Y方向のコントラストを測定でき、測定時間が短縮化される。斜面121は微細な階段状であってもよい。
(輪帯板を用いた非点隔差の測定、図12〜図14参照)
図13に示すように、90°間隔で設けたピンホール126a〜126dを形成した輪帯板125をコリメータレンズ15とマスターレンズ16との間に挿入し、少なくとも2枚の画像をイメージセンサ19にて撮像する。この場合、図14に示すように、ピンホール126a,126bの光路交差位置cと、ピンホール126c,126dの光路交差位置dとの間隔Wが非点隔差となる。
即ち、位置Aと位置Bとで画像が撮像されたとすると、それらの画像はそれぞれ図14(B),(C)に示すようになる。なお、図14(A)は二つの光路を便宜的に合成して描いたものである。各画像には四つのピンホールのデフォーカス像126a'〜126d',126a''〜126d''が得られている。そこで、それぞれのピンホール像の重心位置を計算する。つまり、位置Aにおけるピンホール126aの像126a'とピンホール126bの像126b'との重心位置の距離Daを計算する。位置Bにおいても同様にピンホール像126a'',126b''との重心位置の距離Dbを計算する。位置A,Bが既知であり、図14(A)に示した関係から光路交差位置cが求められる。光路交差位置dについても同様の手順で求めることができる。
また、輪帯板125を用いると、複数の入射光の集光度合い(集光位置での光束の幅)も評価に用いることができる。しかも、イメージセンサ19を光軸方向に走査させる必要がないので、測定時間を短縮できる。
(他の実施例)
なお、本発明に係るプリズムユニットの評価方法及びプリズムユニットの製造方法は前記実施例に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更できることは勿論である。
例えば、前記実施例では、撮像装置17を光軸方向に移動させているが、マスターレンズ16を光軸方向に移動させてもよい。また、対物レンズ18を用いずに、チャート12の像を二次元イメージセンサ19で直接観察してもよい。あるいは、プリズムユニット20,21,25の測定において、前記実施例では、測定箇所が1箇所であるが、軸外光を用いて画像エリア内で複数箇所の測定を行ってもよい。プリズムの有効領域内の性能ばらつきが測定できる。
また、前記実施例では、図10(A)に示したラダーチャートの像データからコントラストに基づいてMTF(Z)を求めているが、得られたチャート像データを一次元フーリエ変換あるいは二次元フーリエ変換してMTF(Z,ν)を求めてもよい。さらに、チャート像データを周波数空間に変換するために、前記実施例ではフーリエ変換を用いているが、それ以外の変換方法を用いてもよい。
また、撮像手段はCCDイメージセンサ以外にラインセンサや、面検出器とスリット走査を組み合わせた検出器など、光量分布が測定可能であれば他のセンサを用いることができる。
以上のように、本発明は、プロジェクタなどの投影装置に使用されるプリズムユニットの評価方法及びプリズムユニットの製造方法に有用であり、特に、非点隔差をプリズムユニット単体で評価できる点で優れている。
本発明に係る評価装置の第1実施例を示す概略構成図である。 本発明に係る評価方法の対象となる5ピースタイプのプリズムユニットを示し、(A)は平面図、(B)は正面図である。 (A)は評価用のチャートの説明図、(B),(C)はそれぞれX方向及びY方向の測定波形を示すチャート図である。 非点隔差及びMTFの一測定結果を示すチャート図である。 図2に示したプリズムユニットの各色光の結像位置関係の設計値を示すチャート図である。 本発明に係る評価方法の対象となる6ピースタイプのプリズムユニットを示し、(A)は平面図、(B)は正面図である。 図6に示したプリズムユニットの各色光の結像位置関係の設計値を示すチャート図である。 本発明に係る評価装置の第2実施例を示す概略構成図である。 3色で測定した非点隔差及びMTFを示すチャート図である。 本発明に係る評価方法に使用される種々のチャートの説明図である。 立体チャートを用いる場合の評価装置を示す概略構成図である。 輪帯板を用いる場合の評価装置を示す概略構成図である。 輪帯板の説明図である。 輪帯板にて形成される光路の一部及び画像を示す説明図である。 プロジェクタの投影装置を示す概略構成図である。
符号の説明
10,100…評価装置
11…ランプ
12…チャート
16…マスターレンズ
17…撮像装置
18…対物レンズ
19…2次元イメージセンサ
20A,20B…プリズムユニット
21…入出力分離プリズムユニット
25…色分解合成プリズムユニット
22,23,26〜29…プリズム
24a,24b,33a〜33c…エアーギャップ

Claims (10)

  1. 光変調素子によって変調された映像光を拡大投影する光学系を備えた投影装置に用いられるプリズムユニットの評価方法であって、
    前記プリズムユニットは、白色光を第1の色光と第2の色光と第3の色光とに色分解して前記光変調素子に導き、前記光変調素子からのそれぞれの変調光を同一光路に合成して射出するための三つの光路を有する色分解合成プリズムユニットを有し、
    前記色分解合成プリズムユニットは、光軸に対して傾いた複数のエアーギャップ面を有し、各色光の光路でエアーギャップ面を透過する回数が異なっており、前記三つの光路のうちに全反射面を有する光路が存在しており、
    チャートを前記プリズムユニットを介して前記光学系により結像させ、前記プリズムユニットによって色分解された各色の光路ごとに、チャート像の結像位置の差に基づいて非点隔差を算出し、算出された非点隔差に基づいて性能評価を行うこと、
    を特徴とするプリズムユニットの評価方法。
  2. 光変調素子によって変調された映像光を拡大投影する光学系を備えた投影装置に用いられるプリズムユニットの評価方法であって、
    前記プリズムユニットは、照明光と映像光とを分離するための光軸に対して傾いたエアーギャップ面を有する入出力分離プリズムと、
    白色光を第1の色光と第2の色光と第3の色光とに色分解して前記光変調素子に導き、前記光変調素子からのそれぞれの変調光を同一光路に合成して射出するための三つの光路を有する色分解合成プリズムユニットと、を有し、
    前記色分解合成プリズムユニットは、光軸に対して傾いた複数のエアーギャップ面を有し、各色光の光路でエアーギャップ面を透過する回数が異なっており、前記三つの光路のうちに全反射面を有する光路が存在しており、
    チャートを前記プリズムユニットを介して前記光学系により結像させ、前記プリズムユニットによって色分解された各色の光路ごとに、チャート像の結像位置の差に基づいて非点隔差を算出し、算出された非点隔差に基づいて性能評価を行うこと、
    を特徴とするプリズムユニットの評価方法。
  3. 前記色分解合成プリズムユニットは、第1のプリズムと第2のプリズムと第3のプリズムを含み、
    前記第1のプリズムは白色光が入射する第1の面と前記第1の色光を反射する反射膜を有する第2の面と前記第1の色光を射出するとともに該射出光の反射光を入射させる第3の面とを有し、
    前記第2のプリズムは前記第2及び第3の色光が入射する第4の面と前記第2の色光を反射する反射膜を有する第5の面と前記第2の色光を射出するとともに該射出光の反射光を入射させる第6の面とを有し、
    前記第3のプリズムは前記第3の色光が入射する第7の面と第3の色光を射出するとともに該射出光の反射光を入射させる第8の面とを有し、
    前記第2の面と第4の面とはエアーギャップを介して対向して第1のエアーギャップ面をなし、第5の面と第7の面とはエアーギャップを介して対向して第2のエアーギャップ面をなし、
    光軸を含んで第1のエアーギャップ面に垂直な平面と、光軸を含んで第2のエアーギャップ面に垂直な平面とは互いに平行であり、
    前記第1及び第2のエアーギャップ面の光軸を通る法線と光軸とで形成される平面に垂直な第1の方向と、該第1の方向と光軸とに垂直な第2の方向とに対する非点隔差に基づいて性能評価を行うこと、
    を特徴とする請求項1又は請求項2に記載のプリズムユニットの評価方法。
  4. さらに、第4のプリズムが前記第1のプリズムの第1の面に対向して、該第1の面とエアーギャップを介して対向して配置されていることを特徴とする請求項3に記載のプリズムユニットの評価方法。
  5. 前記色分解合成プリズムユニットの複数のエアーギャップ面において、光軸を含むエアーギャップ面に垂直な平面は互いに平行であり、平面に垂直な第1の方向と、該第1の方向と光軸とに垂直な第2の方向とに対する非点隔差に基づいて性能評価を行うこと、を特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれかに記載のプリズムユニットの評価方法。
  6. 前記各色の光路ごとに、各色のチャート像のデータを、光軸方向に異なる複数の位置で測定し、測定されたデータから非点隔差を算出し、算出された非点隔差に基づいて性能評価を行うこと、を特徴とする請求項5に記載のプリズムユニットの評価方法。
  7. 前記複数の位置で測定されたチャート像データのそれぞれに対し、前記第1の方向と前記第2の方向のコントラスト値を算出し、算出されたコントラスト値から前記第1の方向と前記第2の方向のそれぞれのチャート像の結像位置を算出し、前記第1の方向と前記第2の方向の結像位置の差に基づいて非点隔差の評価を行うこと、を特徴とする請求項6に記載のプリズムユニットの評価方法。
  8. 前記複数の位置で測定されたチャート像データのそれぞれを前記第1の方向と前記第2の方向に関する周波数空間のデータに変換し、変換されたデータから前記第1の方向と前記第2の方向のそれぞれのチャート像の結像位置を算出し、前記第1の方向と前記第2の方向の結像位置の差に基づいて非点隔差の評価を行うこと、を特徴とする請求項6に記載のプリズムユニットの評価方法。
  9. 記チャートの結像位置における、それぞれのチャート像に基づくMTFに基づいて評価を行うことを特徴とする請求項6に記載のプリズムユニットの評価方法。
  10. 請求項1ないし請求項9のいずれかに記載の評価方法を経て製造されることを特徴とするプリズムユニットの製造方法。
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