JP3816048B2 - Ndフィルタの製造方法及びndフィルタ、並びにこれらのndフィルタを有する光量絞り装置及びカメラ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、NDフィルタの製造方法及びNDフィルタ、並びにこれらのNDフィルタを有する光量絞り装置及びカメラに関し、特にビデオカメラあるいはスチルビデオカメラ等の撮影系に使用するに適したNDフィルタの製造方法及びNDフィルタ、並びにこれらのNDフィルタを有する光量絞り装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
光量絞り装置は、銀塩フィルムあるいはCCD等への固体撮像素子へ入射する光量を制御するため、撮影光学系の光路中に設けられており、被写界が明るい場合に光量をより小さく絞り込むように構成されている。
従って、快晴時や高輝度の被写界を撮影すると絞りは小絞りとなり、絞りのハンチング現象や光の回折の影響も受け易く、像性能の劣化を生じる。
これに対する対策として絞り羽根にフィルム状のND(Neutral Density)フィルタを取りつけて被写界の明るさが同一でも絞りの開口が大きくなる様な工夫をしている。
【0003】
近年、撮像素子の感度が向上するに従い、前記NDフィルタの濃度を濃くして、光の透過率をさらに低下させ、被写界の明るさが同一でも絞りの開口を大きくする様になっている。
しかしながら、この様にNDフィルタの濃度が濃くなると図8に示す様な状態でNDフィルタを通過した光aとNDフィルタを通過しない光bの光量差が大きく異なり、画面内で明るさが異なる“シェーディング”現象が起きたり、解像度が低下してしまうという欠点がある。この欠点を解決するためにNDフィルタの濃度を光軸中心に向かって順次透過率が大となる様な構造を取る必要が出てきている。
【0004】
因みに図8において、806A,806B,806C,806Dは撮影光学系806を構成するレンズ、807は固体撮像素子で808はローパスフィルタである。
また811から814は絞り装置を構成する部材で、811がNDフィルタ、812と813が対向的に移動する絞り羽根で、2枚の絞り羽根は略菱形の開口を形成する。NDフィルタは普通、絞り羽根に接着されている。814は絞り羽根支持板である。
【0005】
一般的にNDフィルタの作製方法としては、フィルム状をなす材料(セルロースアセテート、PET(ポリエチレンテレフタレート)、塩化ビニル等)中に光を吸収する有機色素または顔料を混ぜ、練り込むタイプのものと、前記材料に光を吸収する有機色素または顔料を塗布するタイプのものがある。
また、従来例として、クラックを生じることのない高品質の反射防止の光吸収膜が提案されている(特許文献1参照)。
【0006】
【特許文献1】
特開平05−93811号
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した一般的なNDフィルタの作製方法では、濃度が均一なフィルタは作製可能であるが、同一フィルタ内で濃度が変化するタイプのステップNDフィルタは作製が著しく困難である。
また、特許文献1で開示されているものは、単濃度においてのクラック対策であり、1枚のフィルムに多濃度のNDを成膜した場合においては、膜厚が厚くなり、そのためにクラックが発生してしまうという問題に対する解決策に関して、何も開示されていない。
さらに、近年CCDの高感度化、小型化等の高画質化に対応するため、分光透過率をフラットにして、低反射に抑える必要がある。このような問題に対しても、上記特許文献1には、可視光域550nm付近で透過率が低下してしまう分光特性のものが開示されているにすぎない。
【0008】
そこで、本発明は、上記課題を解決し、クラックの発生が抑制され、光量の均一性が向上し、高画質化に対応することが可能となり、各濃度において分光特性がフラットで低反射率のNDフィルタの製造方法及びNDフィルタ、並びにこれらのNDフィルタを有する光量絞り装置及びカメラを提供することを目的とするものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明は、つぎのように構成したグラデーション濃度分布を有するNDフィルタの製造方法及びNDフィルタ、並びにこれらのNDフィルタを有する光量絞り装置及びカメラを提供するものである。
本発明のNDフィルタの製造方法は、基板上に積層された少なくとも2種類以上の層からなる膜を用い、該膜を積層することによって段階的な複数の濃度分布を形成して透過光量を変えるようにしたNDフィルタの製造方法であって、前記膜は積層面積の大きい方から小さい方の順に積層されると共に、前記膜は、前記基板に面する第1層目の膜が誘電体膜で形成され、その機械膜厚が5nm〜90nmであることを特徴としている。
また、本発明のNDフィルタは、基板上に積層された少なくとも2種類以上の層からなる膜を、同一の透明な部材上に積層して段階的な複数の濃度分布を形成し、透過光量を変えるようにしたNDフィルタであって、前記部材の片面側に、大きい積層面積の前記膜による単濃度の層が形成され、該部材の反対面側に、小さい積層面積の2濃度の層が形成されていることを特徴としている。
また、上記本発明のNDフィルタの製造方法によって製造されたNDフィルタ、あるいは上記本発明のNDフィルタを用いて、光量の均一性が向上した光量絞り装置あるいはカメラを構成することができる。
【0010】
【発明の実施の形態】
上記構成を適用し、多濃度膜を作成する際、積層面積が大きい方から順に積層することで、成膜後やプレス等で切断した際にもクラックの発生が起こることなく、高品質に対応したステップNDフィルタを作製することができるが、それは本発明者らが鋭意検討した結果による、つぎのような知見に基づくものである。
【0011】
3濃度の構成のステップNDフィルタを作製する場合、単に2重、3重と層を重ねていくだけでは、成膜後若しくは切り込み後に、その重なった部分にクラックが発生するという問題が生じる。
そこで、本発明者らは次のような成膜手法で、図3に示すような3濃度ステップフィルタを作成した。
先ず、図3に示すプラスチック基板の1面側に、積層面積が最も大きい単濃度の膜を積層し、その次に前記プラスチック基板の2面側に積層面積の小さい2濃度を重ねて成膜し、3濃度ステップフィルタを作成した。
このような積層順を採用したのは、基板温度や蒸着膜の温度により、プラスチック材が熱収縮しない150℃未満を設定してはいるものの、やはり多少は収縮してしまう傾向があり、積層面積が大きい程その熱収縮の影響を受けやすくなる。そのため、積層面積の小さい膜から徐々に大きい膜を成膜すると、先に成膜した積層面積の小さい膜は、後に成膜した大きい膜の熱収縮による応力の影響を受けやすくなり、それがクラック発生の大きな要因になるものと考えられ、上記した積層順を採用し本発明を完成するに至ったのである。
【0012】
以下に、本実施の形態について、図を用いて更に詳細に説明するが、本発明はこれらの具体的な形態によって何ら限定されるものではない。特に、以下においては、NDフィルターに成膜を実施する方法として真空蒸着法を用いた場合を説明しているが、スパッタリング法・インクジェットプリンティング法・スプレー法等においても同様な効果を得ることができ、このことは一般的に知られている事と推測される為、記述を省略する。
【0013】
図5は真空蒸着機におけるチャンバー内の簡易図であり、501は蒸着傘、502は成膜を施す基板、503は蒸着源、504は実際に成膜を実施する基材、505は基材504を固定する為の基板治具である。
また、本実施の形態として説明する基板502とは、図5(b)に示すように基板治具505に基材504がセットされた状態を示しているものとする。
【0014】
一般的に真空蒸着法においては、図5の様にチャンバー内の基板は蒸着傘501に備え付けられ、この蒸着傘501と共に基板502が回転し成膜が行われ、例えば図4に示すような7層の積層膜が基材上に形成される。
本実施の形態においては、これを単濃度に構成して、2重、3重に重ねていき、1枚のシートに3濃度分布を持ったステップNDフィルタを作成する。例えば図3に示すようにプラスチック基板の1面側に、積層面積が最も大きいものをまず積層し、ついで前記プラスチック基板の2面側に積層面積の小さいものを重ねて2濃度のものを形成することで、3濃度分布を持ったステップNDフィルタを作成する。このように構成することによって、成膜後やプレス等で切断した際にもクラックの発生が起こることなく、高品質に対応したステップNDフィルタを作製することが可能となる。
【0015】
【実施例】
つぎに、本発明の実施例について説明する。
まず、材質厚75μmのポリエチレンテレフタレート(以下PETと記す)基材上に、真空蒸着法により膜を成膜する。
基材の材質は耐熱性(ガラス転移点Tg)が高く、可視域の波長域で透明性が高く、また吸水率が低い、PETを選択した。
成膜法として、膜厚を比較的容易に制御でき、かつ可視域の波長域で散乱が非常に小さいことから真空蒸着法を選択した。
【0016】
膜構成は図4に示すように、Al2O3とTiXOYを交互に積層していき、最表層にMgF2で成膜して7層を重ね、これを単濃度D=0.5とした。本実施例ではこのD=0.5の膜を2重、3重に重ねていき、1枚のシートにD=0.5・1.0・1.5の3濃度分布を持ったステップNDフィルタを作製した。その際、図3に示すようにプラスチック基板の1面側に、積層面積が最も大きいものをまず積層し、ついで前記プラスチック基板の2面側に積層面積の小さいものを重ねて2濃度のものを形成した。この2面側の2濃度が重なっている部分に、実際にはクラックが発生しやすい傾向がある。
【0017】
なお、本実施例のクラック対策として、上記の積層順番を工夫している以外に、次の(1)〜(3)のような条件の変更を行なっている。
(1)第1層Al2O3の成膜膜厚を5nm〜90nmにする。実際好ましいのは、膜厚10nm〜60nmであり、その範囲未満であると膜厚制御が困難であり、以上であると膜厚が厚くなりクラックが生じてしまう。よって極力膜厚を薄くした方がクラックの発生率は低くなる。そこで透過率、反射率の分光特性に影響を受けることの無い第1層Al2O3を薄くした。
図15は第1層の膜厚を振った時のクラック率の関係を表わしたものである。この結果からも分かる様に、第1層膜を薄くするだけでもクラック率を低下させることができる。この相乗効果として、クロスカット試験(蒸着した膜に縦横1〜2mm間隔の切り込みを入れニチバンテープにより剥離)により膜の密着性も向上するという結果が得られた。
(2)最も面積の大きい膜の成膜時には、図2(b)に示すような分断マスク201を用いて成膜し図1(a)に示すような3濃度ステップNDフィルタを形成する。
これによると、全面マスクで全面に成膜した図1(b)に示す3濃度ステップNDフィルタの場合と比べ、全体のプラスチック基板のソリも抑えることができ、応力が分散し低応力のものが得られる。
(3)面積の小さい2面側の2濃度を重ねる部分は、最表層がMgF2であると密着性が下がるため、密着面にはAl2O3を用いる。なお、片側面に3層重ねる方法も考えられるが、極力重なる部分は少なくした方が良いと考えられる。
【0018】
以上のような条件で完成した3濃度分布を持ったステップNDフィルタを、様々な形状に切り抜いて、例えば図2の(a)に示すような形状に切り抜いて、利用することができる。その切断結果を図7に示す。
図7において、左側の(a)に示すものはクラック対策を施さない時のクラック率、中央の(b)に示すものは分断マスク201を用いた時のクラック率、右側の(c)に示すものは面積の大きい順に成膜した時のクラック率を表わしている。
【0019】
図7に示された結果から、本実施例の上記積層順及び分断マスク201を用いる条件で成膜し切り抜いた場合、このような対策を全く施さない膜から比べると格段の効果があることが分かる。
また、図7に示された結果から、図6(a)のように面積の小さい2面側から切り抜く場合に比して、図6(b)のように面積の大きい1面側から切り抜くとクラック率が遥かに低くなることが分かる。
【0020】
このように、最適なのは面積の大きい1面側から切り抜く場合であるが、その理由として考えられるのは、蒸着の傾向として初め1面側に成膜すると、1面側にフィルムは凸になることが分かっている。逆に2面側を先に成膜すると2面側に凸になる。
例として最初に1面側を成膜し1面側から切り抜く場合、切断前後の形状は凸⇒凸と変わらないが、2面側から切り抜く場合、切断前後で凹⇒凸に形状が逆転する為、クラック率が高くなると考えられる。
【0021】
3濃度ステップNDフィルタの各濃度における透過率と反射率を図9・図10・図11・図12・図13・図14に示す。
D=0.5膜(図9・図10)においては、透過率も可視光線域でフラットになっており、反射率も3%未満であり低反射に抑えられている。
D=1.0膜(図11・図12)においては、もう1層D=0.5を積層する為、最表層が反射率を抑えるMgF2ではなく、Al2O3となっているが、同様に透過率はフラット、反射率も低く抑えられた。
D=1.5膜(図13・図14)においても、透過率・反射率共に上記と同様な結果を得た。
なお、NDフィルタの透過率をフラットにすることは、近年のCCDの高感度化や小型化等の高画質化への対応として必要不可欠なことである。
【0022】
【発明の効果】
本発明によれば、クラックの発生が抑制され、光量の均一性が向上し、高画質化に対応することが可能となり、各濃度において分光特性がフラットで低反射率のNDフィルタの製造方法及びNDフィルタ、並びにこれらのNDフィルタを有する光量絞り装置及びカメラを実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は本発明の実施例における分断マスクで作製された3濃度ステップNDフィルタの図であり、(b)は全面マスクで作製された3濃度ステップNDフィルタの図である。
【図2】(a)は実施例における蒸着後抜き加工したステップNDフィルタを示す図、(b)は分断マスクを示す図である。
【図3】本発明の実施の形態及び実施例におけるステップNDフィルタの3濃度の成膜構造を示す側面図である。
【図4】本発明の実施の形態及び実施例におけるステップNDフィルタの単濃度D=0.5とした薄膜の積層構造を示す図である。
【図5】本発明の実施の形態を説明するための真空蒸着機におけるチャンバー内の簡易図である。
【図6】(a)は2面側から切断した3濃度ステップNDフィルタ切り抜き図であり、(b)は1面側から切断した本実施例による3濃度ステップNDフィルタ切り抜き図である。
【図7】切り抜き試験によるクラック発生率を示す図である。
【図8】ビデオカメラに使用される撮影光学系を表した図である。
【図9】本発明の実施例におけるD=0.5の分光透過率を表わしたグラフである。
【図10】本発明の実施例におけるD=0.5の分光反射率を表わしたグラフである。
【図11】本発明の実施例におけるD=1.0の分光透過率を表わしたグラフである。
【図12】本発明の実施例におけるD=1.0の分光反射率を表わしたグラフである。
【図13】本発明の実施例におけるD=1.5の分光透過率を表わしたグラフである。
【図14】本発明の実施例におけるD=1.5の分光反射率を表わしたグラフである。
【図15】第1層Al2O3膜厚とクラック率の関係を記したグラフである。
【符号の説明】
201:分断マスク
501:蒸着傘
502:基板
503:蒸着源
504:基材
505:基板治具
806A,806B,806C,
806D:撮影光学系6を構成するレンズ
807:固体撮像素子
808:ローパスフィルタ
8011:NDフィルタ
812,813:絞り羽根
814:絞り羽根支持板
Claims (8)
- 基板上に積層された少なくとも2種類以上の層からなる膜を用い、該膜を積層することによって段階的な複数の濃度分布を形成して透過光量を変えるようにしたNDフィルタの製造方法であって、前記膜は積層面積の大きい方から小さい方の順に積層されると共に、前記膜は、前記基板に面する第1層目の膜が誘電体膜で形成され、その機械膜厚が5nm〜90nmであることを特徴とするNDフィルタの製造方法。
- 前記面積の大きい膜の積層に際して、応力を分散・低減させる分断マスクを用いることを特徴とする請求項1に記載のNDフィルタの製造方法。
- 前記NDフィルタの切断に際して、前記面積の大きい膜の側から切断することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のNDフィルタの製造方法。
- 基板上に積層された少なくとも2種類以上の層からなる膜を、同一の透明な部材上に積層して段階的な複数の濃度分布を形成し、透過光量を変えるようにしたNDフィルタであって、
前記部材の片面側に、大きい積層面積の前記膜による単濃度の層が形成され、該部材の反対面側に、小さい積層面積の2濃度の層が形成されていることを特徴とするNDフィルタ。 - 前記単濃度の層が、成膜により単濃度の層側に凸になる構造を有することを特徴とする請求項4に記載のNDフィルタ。
- 前記膜は、該膜を積層する前記透明な部材に面する第1層目の膜が誘電体膜で形成され、その機械膜厚が5nm〜90nmとされていることを特徴とする請求項4または請求項5に記載のNDフィルタ。
- 相対的に駆動されて絞り開口の大きさを可変する複数の絞り羽根と、該絞り羽根により形成された開口内の少なくとも一部に配置される光量調整のためのNDフィルタとを備えた光量絞り装置において、
前記NDフィルタが、請求項1〜3のいずれか1項に記載の製造方法によって製造されたNDフィルタ、または請求項4〜6のいずれか1項に記載のNDフィルタによって構成されていることを特徴とする光量絞り装置。 - 光学系と、該光学系を通過する光量を制限する請求項7に記載の光量絞り装置と、該光学系によって形成される像を受ける固体撮像素子を有することを特徴とするカメラ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002279665A JP3816048B2 (ja) | 2002-09-25 | 2002-09-25 | Ndフィルタの製造方法及びndフィルタ、並びにこれらのndフィルタを有する光量絞り装置及びカメラ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002279665A JP3816048B2 (ja) | 2002-09-25 | 2002-09-25 | Ndフィルタの製造方法及びndフィルタ、並びにこれらのndフィルタを有する光量絞り装置及びカメラ |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005354470A Division JP4297370B2 (ja) | 2005-12-08 | 2005-12-08 | Ndフィルタ、並びにこれらのndフィルタを有する光量絞り装置及びカメラ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004117718A JP2004117718A (ja) | 2004-04-15 |
JP3816048B2 true JP3816048B2 (ja) | 2006-08-30 |
Family
ID=32274602
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002279665A Expired - Fee Related JP3816048B2 (ja) | 2002-09-25 | 2002-09-25 | Ndフィルタの製造方法及びndフィルタ、並びにこれらのndフィルタを有する光量絞り装置及びカメラ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3816048B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006078519A (ja) * | 2004-09-07 | 2006-03-23 | Canon Electronics Inc | Ndフィルタ、光量絞り装置、該光量絞り装置を有するカメラ |
JP2006126234A (ja) | 2004-10-26 | 2006-05-18 | Sony Corp | 撮像装置、光量調整機構、光量制御羽根及び光量制御羽根の製造方法 |
CN110361803B (zh) * | 2019-08-05 | 2021-12-17 | 上海理工大学 | 一种中性密度滤光片的制备方法 |
-
2002
- 2002-09-25 JP JP2002279665A patent/JP3816048B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004117718A (ja) | 2004-04-15 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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