JP3390314B2

JP3390314B2 - 基板処理装置

Info

Publication number: JP3390314B2
Application number: JP32533296A
Authority: JP
Inventors: 芳弘小山
Original assignee: Screen Holdings Co Ltd; Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Screen Holdings Co Ltd; Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1996-12-05
Filing date: 1996-12-05
Publication date: 2003-03-24
Anticipated expiration: 2016-12-05
Also published as: JPH10172943A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ、液
晶表示装置用ガラス基板、ＰＤＰ（プラズマディスプレ
イパネル）用ガラス基板などの各種の被処理基板に対し
て処理を施すための基板処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】超ＬＳＩ（大規模集積回路）の製造工程
においては、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」とい
う。）の洗浄処理工程やウエットエッチング処理工程が
重要な工程となっている。これらの工程では、たとえ
ば、スピンチャックに保持されたウエハの表面および／
または裏面に、フッ酸などの薬液を供給するようにした
基板処理装置が用いられる。

【０００３】このような基板処理装置における薬液の供
給に関連する構成は、図９に示されている。この基板処
理装置では、スピンチャック１に保持されたウエハＷに
ノズル２から薬液を供給することによって、ウエハＷが
処理される。ノズル２に供給すべき薬液は、薬液タンク
３から、薬液供給経路４を介して導かれる。薬液の圧送
のために、薬液供給経路４には、ベローズポンプ５が介
装されている。さらに、薬液供給経路４には、薬液の流
量を計測する流量計６、薬液中の異物を除去するための
フィルタ７、薬液の流量を調整するための流量調整弁
８、および薬液の供給を開始／停止するためのエア弁９
が介装されている。そして、エア弁９とノズル２との間
には、薬液供給経路４を通る薬液の圧力を検出するため
の圧力センサ１０が設けられている。この圧力センサ１
０の出力を監視することにより、エア弁９による薬液供
給の開始／停止の状況をモニタすることができる。

【０００４】薬液供給経路４において、フィルタ７と流
量調整弁８との間の位置からは、エア弁９が閉成状態で
あるときに、薬液を薬液タンク３に帰還させるための循
環経路１１が分岐している。この循環経路１１の途中部
には、エア弁９が開成状態のときに閉成状態に制御さ
れ、エア弁９が閉成状態のときには開成状態に制御され
るエア弁１２が介装されている。循環経路１１にはま
た、薬液タンク３に帰還される薬液の流量を調整するた
めの流量調整弁１３が介装されている。ベローズポンプ
５と流量計６との間の薬液供給経路４には、薬液の温度
を一定に保持するための温度調整手段としての熱交換器
１５が付属している。薬液をノズル２から吐出しないと
きには、上記の循環経路１１を介して薬液タンク３に薬
液が帰還されることにより、薬液を熱交換器１５を通っ
て循環させることができ、薬液タンク３からエア弁９の
近傍に至るまでの薬液供給経路４内の薬液の温度を最適
値に保持することができる。

【０００５】ベローズポンプ５は、薬液を可及的にかき
回さない状態で薬液の圧送を達成する目的で採用されて
いるものである。このベローズポンプ５は、通常、圧縮
空気によって駆動されるようになっている。ベローズポ
ンプのベローズは、たとえば、フッ素樹脂製であり、耐
用年数が１ないし３年である。したがって、ベローズ
は、使用期間長が耐用年数に達する以前に定期的に交換
されるのが通常である。しかし、場合によっては、耐用
年数以前にベローズが破損する場合もある。

【０００６】ベローズポンプ５のベローズが破損する
と、駆動用の圧縮空気が薬液供給路４に入り込み、これ
により、薬液流量が不安定になるため、ウエハの処理に
不具合が生じるおそれがある。したがって、ベローズポ
ンプ５の破損を検知して、速やかにウエハの処理を停止
し、処理に不具合が生じたウエハをその後の工程に送ら
ないようにしなければならない。

【０００７】そこで、従来では、エア弁９の開放期間に
おける圧力センサ１０の出力を監視し、液圧の低下を検
知を通じて、ベローズの破損を検知するようにしてい
る。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかし、液圧の低下の
みでは、必ずしもベローズの破損が生じたと断定できる
わけではない。たとえば、薬液吐出の開始直後には、ベ
ローズポンプ５の特性上、液圧の低下が生じる場合もあ
る。また、薬液中に溶存しているガスが発泡すれば、圧
力低下が生じる。発泡しやすい薬液には、たとえば硫酸
過水がある。また、フィルタ７にガスが溜まって圧力低
下を引き起こす場合もある。したがって、圧力の低下に
は、ベローズの破損以外にも種々の原因があるから、圧
力センサ１０の出力に基づくベローズの破損の検知で
は、確実性に欠けるという欠点がある。

【０００９】また、ベローズが破損しているにもかかわ
らず圧力低下がごくわずかである場合もあり、このよう
な場合には、ベローズの破損を検知できないから、薬液
の吐出状態が不安定なままウエハの処理が継続されてし
まう。そこで、本発明の目的は、上述の技術的課題を解
決し、処理液を圧送するための圧送手段の破損を確実に
検知することができる基板処理装置を提供することであ
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段および発明の効果】上記の
目的を達成するための請求項１記載の発明は、基板に処
理を施すための処理液を基板に供給するための処理液供
給路と、この処理液供給路を通して処理液を圧送するた
めの圧送手段と、上記処理液供給路に介装され、上記処
理液を所定量だけ蓄えることができる容器と、上記容器
に接続された気体排出路に設けられ、弁が開成されるこ
とによって上記容器内の気体の排出を許容し、弁が閉成
されることによって上記容器内の気体の排出を制限する
気体排出弁と、上記容器内の上記処理液の量を、多い順
から第１の液量範囲、第２の液量範囲、および第３の液
量範囲の３つの液量範囲のうちのいずれかに区別して検
出し、上記容器内の処理液の量が上記３つの液量範囲の
うちのいずれの範囲にあるかを表す処理液量検出信号を
出力する処理液量検出手段と、上記処理液量検出信号に
基づいて、上記容器内の上記処理液の量が、上記第１の
液量範囲にある場合には上記気体排出弁を閉成し、上記
第２の液量範囲にある場合には上記気体排出弁を開成
し、上記第３の液量範囲にある場合には上記圧送手段の
破損を検知したことを示す破損検知信号を出力する制御
部とを備えたことを特徴とする基板処理装置である。

【００１１】上記の構成によれば、処理液供給路中に生
じた気泡は、処理液供給路に介装された容器において捕
獲される。この気泡が容器内に蓄積されることによって
容器内の液量が少なくなると、容器内の液量は第１の液
量範囲から第２の液量範囲へと低下する。これに応答し
て、気体排出弁が開成され、容器内の液体気体排出路か
ら排出される。こうして、処理液供給路中で気泡が発生
しても、これを捕獲し、速やかに排除することができ
る。

【００１２】一方、容器中における気泡の蓄積が急激に
進み、気体排出弁の開成による排気によってもなお容器
中の液量の低下を防ぐことができないときには、容器内
の液量は第３の範囲に至る。これに応答して、制御部
は、圧送手段に破損が生じたことを表す破損検知信号を
出力する。つまり、たとえば、圧送手段が圧縮空気で駆
動されるものの場合、処理液供給路中で大量の気泡が一
気に生じたとすれば、圧送手段の破損であると考えられ
る。そこで、この発明では、容器内の処理液量の急激な
減少に基づき、圧送手段の破損を検知するようにしてい
る。

【００１３】こうして、従来のように圧力センサの出力
によることなく圧送手段の破損を検知できるから、圧送
手段の破損を確実に、かつ、迅速に検知することができ
る。これにより、基板の処理に不良が生じることを防止
できる。請求項２記載の発明は、上記処理液量検出手段
は、上記容器内の上記処理液の液面の位置を検出するこ
とによって上記処理液の量を３つの液量範囲に区別して
検出する液面検出手段であることを特徴とする基板処理
装置である。

【００１４】この構成によれば、液量の検知を液面の検
知により行っているから、容器内の液量を正確に検知す
ることができる。これにより、容器内の気体の排出およ
び圧送手段の破損の検知をより正確に行える。請求項３
記載の発明は、上記容器の水平断面の面積は下部よりも
上部の方が小さくなっていることを特徴とする請求項２
記載の基板処理装置である。

【００１５】この構成によれば、容器の上部の水平断面
が比較的小さく形成されているので、気泡の蓄積開始に
伴う液面の変化を速やかに検知することができる。これ
により、容器中に蓄積された気体を速やかに排除でき
る。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下では、本発明の実施の形態
を、添付図面を参照して詳細に説明する。図１は、この
発明の一実施形態にかかる基板処理装置の薬液供給に関
連する構成を示す系統図である。この基板処理装置は、
ウエハＷ（基板）を保持した状態で、ウエハＷの中心を
通る鉛直軸まわりに高速回転することができるスピンチ
ャック２１を備えている。スピンチャック２１に関連し
て、このスピンチャック２１に保持された状態のウエハ
Ｗの表面および／または裏面に薬液を供給するためのノ
ズル２２が備えられている。ノズル２２に供給すべき薬
液は、薬液タンク２３に貯留されており、この薬液タン
ク２３内の薬液が、薬液供給経路２４を介してノズル２
２に供給されるようになっている。

【００１７】薬液供給経路２４には、薬液をノズル２２
に向けて圧送するための圧送手段としてのベローズポン
プ２５、薬液を所定量だけ蓄えることができ、薬液供給
経路２４内で生じた気体を回収するための容器としての
トラップタンク２６、薬液供給経路２４を通る薬液の流
量を計測するための流量計２７、薬液中の異物を除去す
るためのフィルタ２８、薬液の流量を調整するための流
量調整弁２９、およびウエハＷへの薬液供給を開始／停
止するためのエア弁３０が介装されている。エア弁３０
と、ノズル２２との間の薬液供給路２４には、さらに、
薬液供給経路２４中における薬液の液圧を検出するため
の圧力センサ３１が設けられている。この圧力センサ３
１の出力を監視することによって、エア弁３０の開閉が
正常に行われているか否かを検知できる。

【００１８】フィルタ２８と、流量調整弁２９との間の
薬液供給路２４からは、エア弁３０が閉成状態のとき
に、圧送されてくる薬液を薬液タンク２３に帰還するた
めの循環経路３２が分岐して形成されている。この循環
経路３２の途中部には、エア弁３０が開成状態のときに
閉じられ、エア弁３０が閉成状態のときに開成されるエ
ア弁３３が介装されており、さらに、循環される薬液の
流量を調整するための流量調整弁３４が介装されてい
る。薬液の温度をウエハＷの処理のための最適温度に保
持するために、ベローズポンプ２５とトラップタンク２
６との間の薬液供給経路２４には、温度調整手段として
の熱交換器３５が設けられており、循環経路３２を介す
る薬液の循環によって、薬液タンク２３から流量調整弁
２９の近傍に至る薬液供給経路２４中の薬液の温度を、
最適値に保持することができる。つまり、この実施形態
では、基板処理装置の動作中、ベローズポンプ２５は終
始、駆動状態にある。

【００１９】トラップタンク２６の上部には、気体排出
路を形成するエア抜き配管４１が接続されており、この
エア抜き配管４１は、トラップタンク２６内に蓄積され
た気体を薬液タンク２３に導く。エア抜き配管４１の途
中部には、気体排出弁としてのエア弁４２と、流量調整
弁４３とが介装されている。一方、トラップタンク２６
には、このトラップタンク２６内の液体の液面を検知す
る２つの液面センサＳ１，Ｓ２が設けられている。

【００２０】これらのセンサＳ１およびＳ２の出力信号
は、装置の各部を制御するための制御部５０に与えられ
ている。この制御部５０には、圧力センサ３１の出力信
号も与えられている。そして、この制御部５０は、これ
らのセンサ類の出力に基づいて、エア弁３０，３３，４
２の開閉を制御し、さらに、ベローズポンプ２５の動作
を制御する。制御部５０にはまた、液晶表示装置などか
らなる表示部５１が接続されており、この表示部５１に
は、制御部５０の制御の下、異常メッセージなどが表示
される。

【００２１】図２は、液面センサＳ１およびＳ２による
液面検知の態様を説明するための図である。液面センサ
Ｓ１およびＳ２は、たとえば、液の有無による静電容量
の変化を検出する静電容量型センサからなり、トラップ
タンク２６の外側面に取り付けられている。液面センサ
Ｓ１は、トラップタンク２６の上面２６ａよりもやや下
方においてトラップタンク２６内の薬液を検知する。ま
た、液面センサＳ２は、液面センサＳ１よりもさらに下
方において、トラップタンク２６内の薬液を検知する。
この２つの液面センサＳ１，Ｓ２により、トラップタン
ク２６内の薬液の液面が、液面センサＳ１の検知高さよ
りも上方の第１範囲Ｒ１（第１の液量範囲に相当す
る。）、液面センサＳ１およびＳ２の各検知高さの間の
第２範囲Ｒ２（第２の液量範囲に相当する。）、ならび
に液面センサＳ２の検知高さよりも下方の第３範囲Ｒ３
（第３の液量範囲に相当する。）のうちのいずれの高さ
範囲に存在しているかを区別して検知することができ
る。すなわち、液量センサＳ１およびＳ２の出力信号
は、トラップタンク２６内の薬液の量が、第１の液量範
囲、第２の液量範囲、および第３の液量範囲の３つの液
量範囲のうちのいずれの範囲にあるかを表す処理液量検
出信号となる。

【００２２】薬液供給路２４においては、薬液中に溶存
している様々なガスが、圧力の変動により、気泡となっ
てトラップタンク２６に溜まり、その結果、トラップタ
ンク２６の内部における上方の空間には、空隙４５が形
成される。また、トラップタンク２６に気泡が溜まる他
の原因として、ベローズポンプ２５のベローズの破損が
ある。この実施形態では、薬液中に溶存しているガスが
気泡となってトラップタンク２６に溜まるときの速さ
と、ベローズポンプ２５のベローズの破損によってトラ
ップタンク２６内に気泡が溜まる速さとが異なる点に着
目し、後述するようにして、ベローズの破損の正確な検
知を達成している。

【００２３】図３は、ベローズポンプ２５の基本的な構
成を示す図解図である。このベローズポンプ２５は、対
向して配置された一対のシリンダ６１および６２を有し
ており、各シリンダ６１，６２内には、ベローズ６３，
６４がそれぞれ配置されている。シリンダ６１，６２の
内部空間には、電磁弁機構６５を介して圧縮空気が交互
に供給され、またシリンダ６１，６２の内部空間の空気
は、電磁弁機構６５を介して交互に排気されるようにな
っている。すなわち、シリンダ６１，６２のうちの一方
に圧縮空気が供給されるときには、他方のシリンダ内の
空気が排気される。ベローズ６３，６４のフランジ６３
ａおよび６４ａは、連結部材６６によって連結されてお
り、一方のベローズの伸長と他方のベローズの収縮とが
同期するようになっている。

【００２４】ベローズ６３，６４の内部空間は、薬液室
になっており、この薬液室は薬液タンク２３からの薬液
が導かれる薬液供給路６７，６８とそれぞれ連通してい
る。この薬液供給路６７，６８には、薬液タンク２３へ
の逆流を防止する逆止弁６９，７０がそれぞれ介装され
ている。また、ベローズ６３，６２の内部空間により形
成された薬液室は、トラップタンク２６へと薬液を導く
薬液流出路７１，７２とそれぞれ連通している。この薬
液流出路７１，７２には、トラップタンク２６側への薬
液の流出のみを許容する逆止弁７３，７４がそれぞれ介
装されている。

【００２５】この構成により、電磁弁機構６５からシリ
ンダ６２に圧縮空気を供給し、シリンダ６１内の空気を
電磁弁機構６５を介して排気すれば、ベローズ６４が収
縮して、このベローズ６４内の薬液は、薬液排出路７２
および逆止弁７４を通ってトラップタンク２６へ向けて
圧送される。このとき、ベローズ６３は伸長し、その内
部には、薬液タンク２３からの薬液が、逆止弁６９およ
び薬液供給路６７を介して供給される。逆に、電磁弁機
構６５からシリンダ６１に圧縮空気を供給し、シリンダ
６２内の空気を電磁弁機構６５を介して排気すれば、ベ
ローズ６３が収縮し、ベローズ６４が伸長する。したが
って、この場合には、薬液タンク２３からの薬液はベロ
ーズ６４の内部の薬液室に導入され、ベローズ６３の内
部の薬液室内の薬液がトラップタンク２６側に圧送され
ることになる。こうして、ベローズ６３，６４が交互に
伸縮することにより、ほぼ連続的に薬液を供給できる。

【００２６】このような構成のベローズポンプ２５にお
いては、ベローズ６３または６４に破損が生じれば、電
磁弁機構６５を介して供給される圧縮空気が薬液排出路
７１，７２を介して、トラップタンク２６側に送られる
ことになる。この圧縮空気の気泡の混じった薬液がウエ
ハＷにまで供給されると、ウエハＷの処理に不良が生じ
ることになる。

【００２７】図４は、制御部５０の動作を説明するため
のフローチャートであり、ベローズポンプ２５における
不具合の検知に関連する処理が表されている。制御部５
０は、まず、液面センサＳ１の出力を調べる（ステップ
ｎ１）。この液面センサＳ１が薬液を検知しており、し
たがって、トラップタンク２６内の薬液の液面が第１範
囲Ｒ１に存在している場合には、エア弁４２を閉成状態
とする（ステップｎ２）。

【００２８】一方、液面センサＳ１が薬液を検知してい
ないときには、さらに、液面センサＳ２の出力を調べる
（ステップｎ３）。液面センサＳ２が薬液を検知してお
り、したがって、トラップタンク２６内の薬液の液面が
第２範囲Ｒ２に存在しているときには、エア弁４２を開
成状態とする（ステップｎ４）。これにより、エア抜き
が行われ、トラップタンク２６の内部に貯まった気体
が、流量調整弁４３により調整された流量で排気され
る。これにより、液面が上昇して液面センサＳ１に達す
れば（ステップｎ１）、エア弁４２が閉成されることに
なる（ステップｎ２）。

【００２９】こうして、センサＳ１およびＳ２の出力に
基づくエア弁４２の開閉制御により、トラップタンク２
６内の液面は、通常、第２範囲Ｒ２よりも下回らない範
囲で、上下する。トラップタンク２６内における気体の
貯留が急激に進み、エア弁４２を開成しても、なお液面
の低下が継続する場合には、液面センサＳ２が薬液を検
知しない状態に至り、液面は第３範囲Ｒ３にまで下降す
る。このとき、制御部５０は、装置の動作を停止させ
（ステップｎ５）、さらに、ベローズポンプ２５の破損
を検知して、破損検知信号を出力する。これにより、表
示部５１において、ベローズポンプ２５の破損を知らせ
るメッセージが表示される（ステップｎ６）。

【００３０】エア抜き経路４１に介装されている流量調
整弁４３の開度は、ベローズポンプ２５が正常な場合に
おけるトラップタンク２６の内部の気泡の増加よりも速
くエア抜きができ、かつ、ベローズポンプ２５の破損に
よるトラップタンク２６の内部の気泡の増加よりもはる
かに遅くエア抜きがされるように調整されることが好ま
しい。これにより、ベローズポンプ２５が正常な場合に
は、トラップタンク２６内の液面が第２範囲Ｒ２を下回
ることがなく、また、ベローズポンプ２５が破損した場
合には、トラップタンク２６内の液面が速やかに第３範
囲Ｒ３まで下がることになる。

【００３１】このように、この実施形態においては、薬
液供給路２４に介装されたトラップタンク２６において
気泡を蓄え、この気泡を排気するようにしているので、
薬液中の気泡を良好に除去することができる。また、ト
ラップタンク２６内の気泡が急激に増加したことに基づ
いて、ベローズポンプ２５の破損を検知しているから、
圧力センサの出力に頼っていた従来技術に比較して、迅
速に、かつ、確実にベローズポンプ２５の破損を検知す
ることができる。そして、トラップタンク２６内の液面
が第３範囲Ｒ３にまで下降したことに応答して装置の動
作が速やかに停止され、ベローズポンプ２５に破損が生
じた旨のメッセージを出力するようにしているから、多
量の気泡が混入した薬液によってウエハＷが処理するこ
とを防止でき、かつ、装置の使用者に速やかに故障の事
実を報知することができる。

【００３２】図５は、この発明の第２の実施形態の構成
を説明するための図であり、図２に示されたトラップタ
ンク２６に代えて用いられるべきトラップタンク１２６
の構成が示されている。図２に示されたトラップタンク
２６は、水平断面がいずれの高さでも等しく形成されて
いるのに対して、この図５に示されたトラップタンク１
２６においては、上方の液面センサＳ１による検知範囲
付近における水平断面が、下方の液面センサＳ２による
検知範囲付近における水平断面よりも小さくなるように
形成されている。

【００３３】この構成によれば、トラップタンク１２６
内に気体が蓄積されると、液面が速やかに下降する。し
たがって、気体の蓄積が液面センサＳ１によって速やか
に検知されるから、エア抜きを迅速に行うことができ
る。この発明の２つの実施形態について説明したが、こ
の発明は上述の実施形態に限定されるものではない。た
とえば、上記の実施形態においては、トラップタンク２
６または１２６内の液面を検出する液面センサとして、
静電容量型センサが用いられているが、他の形態の液面
センサが用いられても良いことは言うまでもない。たと
えば、光ファイバ型センサ、フォトマイクロセンサ、超
音波式センサなどが適用可能である。

【００３４】光ファイバ型センサは、図６に示すよう
に、たとえはフッ素樹脂からなるファイバ部８１の先端
部部８１ａにおける光の反射の有無を検知するようにし
たものである。先端部８１ａは、逆円錐面状をなすよう
に形成されている。この先端部８１ａが液中８２にある
ときには、ファイバ部８１と液８２との屈折率の差が小
さいため、ファイバ部８１により導かれてきた光のほと
んどは、液８２中に放射される（図６(a) ）。これに対
して、先端部８１ａが空気中にあるときには、ファイバ
部８１と空気との大きな屈折率差のために、ファイバ部
８１により先端部８１ａに導かれてきた光のほとんど
は、この先端部８１ａの逆円錐面において反射される
（図６(b) ）。したがって、ファイバ部８１の基端部に
おいて、先端部８１ａから戻ってくる光を受光素子によ
り検出すれば、この受光素子の出力に基づいて、先端部
８１ａの位置における液８２の有無を検出できる。

【００３５】また、フォトマイクロセンサは、発光素子
と受光素子との対を含み、発光素子から出た光を受光素
子で受光することができるようにしたものである。発光
素子と受光素子との間の光路中に薬液が存在するかしな
いかで受光素子が受光する光量が変化するから、これに
基づき、薬液の有無を検知できる。このようなフォトマ
イクロセンサを用いる場合には、たとえば、図７に示す
ように、トラップタンク２６の側面に、鉛直方向に沿っ
て配置された透明なバイパス管８５が設けられることが
好ましい。このバイパス管８５の外面に、上下方向に間
隔を開けて、フォトマイクロセンサ８６，８７を設けれ
ば、これらのフォトマイクロセンサ８６，８７を上述の
液面センサＳ１，Ｓ２として機能させることができる。

【００３６】さらに、超音波式センサは、超音波発生手
段と、いずれかの物体から反射されてくる超音波を受信
する超音波受信手段とからなる。このような超音波セン
サをトラップタンクの側壁に取り付け、トラップタンク
の内部空間に向けて超音波を放射すると、薬液が存在す
る場合には超音波の反射量が多いが、薬液が存在しなけ
れば超音波の反射量が少ない。したがって、この超音波
センサをトラップタンクの側壁に上下方向に間隔を開け
て配置すれば、上述の液面センサＳ１およびＳ２として
の機能を果たすことができる。

【００３７】また、トラップタンク内の液量の検知に
は、液面センサを用いる以外にも、たとえば、図８に示
すように、トラップタンク２６の重量を検出する重量セ
ンサ９０を用いることもできる。さらに、上記の実施形
態においては、トラップタンク２６が、ベローズポンプ
２５と流量計２７との間に配置されているが、トラップ
タンク２６は、ベローズポンプ２５よりもノズル２２寄
りであれば、薬液供給経路２４のいずれの位置に配置さ
れてもよい。ただし、フィルタ２８が気泡を通しにくい
性質を有するものの場合には、フィルタ２８よりもベロ
ーズポンプ２５側にトラップタンクが配置されることが
好ましい。

【００３８】また、上記の実施形態においては、ベロー
ズポンプ２５を終始動作させ、ノズル２２から薬液を吐
出しないときには、循環経路３２を介して薬液タンク２
３に薬液を帰還させるようにしているが、薬液の温度制
御が重要でない場合には、循環経路３２を設ける必要は
ない。ただし、この場合には、エア弁３０を閉じて薬液
の供給を停止する際に、ベローズポンプ２５も同時に停
止させる必要がある。

【００３９】さらに、上記の実施形態においては、処理
液を圧送する圧送手段としてベローズポンプが用いられ
ている例について説明したが、この発明は、破損により
圧縮空気が処理液中に混入するおそれのある任意の形態
の圧送手段を用いた基板処理装置に対して広く適用する
ことができるものである。また、上記の実施形態におい
ては、薬液の供給に関連する構成について説明したが、
薬液以外にも、たとえば純水のような他の処理液の供給
系に対しても同様な構成を採用してもよい。

【００４０】さらに、上記の実施形態においては、ウエ
ハを処理するための装置に本発明が適用された例につい
て説明したが、この発明は、液晶表示装置用ガラス基板
のような他の被処理基板に対しても広く適用することが
できる。その他、特許請求の範囲に記載された範囲で種
々の変更を施すことが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施形態に係る基板処理装置の薬
液供給に関連する構成を示す系統図である。

【図２】上記基板処理装置のトラップタンクに関連する
部分の構成を示す図解図である。

【図３】ベローズポンプの構成を説明するための図解図
である。

【図４】ベローズポンプの破損の検知に関連する制御部
の動作を説明するためのフローチャートである。

【図５】トラップタンクの他の構成例を示す図解図であ
る。

【図６】液面センサの例を示す図である。

【図７】液面センサの他の例を示す図である。

【図８】トラップタンク内の薬液量を検出するための他
の構成例を示す図解図である。

【図９】従来の基板処理装置の薬液供給に関連する構成
を示す系統図である。

【符号の説明】

２２ノズル２３薬液タンク２４薬液供給路２５ベローズポンプ２６トラップタンク４１エア抜き配管４２エア弁Ｓ１，Ｓ２液面センサ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/304 H01L 21/306 B08B 3/00 B08B 13/00

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】基板に処理を施すための処理液を基板に供
給するための処理液供給路と、この処理液供給路を通して処理液を圧送するための圧送
手段と、上記処理液供給路に介装され、上記処理液を所定量だけ
蓄えることができる容器と、上記容器に接続された気体排出路に設けられ、弁が開成
されることによって上記容器内の気体の排出を許容し、
弁が閉成されることによって上記容器内の気体の排出を
制限する気体排出弁と、上記容器内の上記処理液の量を、多い順から第１の液量
範囲、第２の液量範囲、および第３の液量範囲の３つの
液量範囲のうちのいずれかに区別して検出し、上記容器
内の処理液の量が上記３つの液量範囲のうちのいずれの
範囲にあるかを表す処理液量検出信号を出力する処理液
量検出手段と、上記処理液量検出信号に基づいて、上記容器内の上記処
理液の量が、上記第１の液量範囲にある場合には上記気
体排出弁を閉成し、上記第２の液量範囲にある場合には
上記気体排出弁を開成し、上記第３の液量範囲にある場
合には上記圧送手段の破損を検知したことを示す破損検
知信号を出力する制御部とを備えたことを特徴とする基
板処理装置。
【請求項２】上記処理液量検出手段は、上記容器内の上
記処理液の液面の位置を検出することによって上記処理
液の量を３つの液量範囲に区別して検出する液面検出手
段であることを特徴とする基板処理装置。
【請求項３】上記容器の水平断面の面積は下部よりも上
部の方が小さくなっていることを特徴とする請求項２記
載の基板処理装置。