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JP3124718B2 - カラーフィルタの製造方法及び製造装置及びカラーフィルタのフィルタエレメント列内の着色ムラを低減する方法 - Google Patents

カラーフィルタの製造方法及び製造装置及びカラーフィルタのフィルタエレメント列内の着色ムラを低減する方法

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JP3124718B2
JP3124718B2 JP5463596A JP5463596A JP3124718B2 JP 3124718 B2 JP3124718 B2 JP 3124718B2 JP 5463596 A JP5463596 A JP 5463596A JP 5463596 A JP5463596 A JP 5463596A JP 3124718 B2 JP3124718 B2 JP 3124718B2
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Japan
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ink
color filter
manufacturing
thermal energy
filter
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昭教 塩田
裕充 山口
英人 横井
博 佐藤
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Canon Inc
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Canon Inc
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Publication date
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Priority to AT96302285T priority patent/ATE249054T1/de
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    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/20Filters
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
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    • G02B5/22Absorbing filters
    • G02B5/223Absorbing filters containing organic substances, e.g. dyes, inks or pigments
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors

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  • Ink Jet (AREA)
  • Color Television Image Signal Generators (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光透過性の基板上
に着色されたフイルタエレメントを多数個並べて形成す
ることにより製造されるカラーフイルタの製造方法及び
製造装置及びカラーフィルタのフィルタエレメント列内
の着色ムラを低減する方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、パーソナルコンピュータの発達、
特に携帯用パーソナルコンピュータの発達に伴い、液晶
ディスプレイ、とりわけカラー液晶ディスプレイの需要
が増加する傾向にある。しかしながら、さらなる普及の
ためには液晶ディスプレイのコストダウンが必要であ
り、特にコスト的に比重の高いカラーフイルタのコスト
ダウンに対する要求が高まっている。従来から、カラー
フイルタの要求特性を満足しつつ上記の要求に応えるべ
く種々の方法が試みられているが、いまだ全ての要求特
性を満足する方法は確立されていない。以下にそれぞれ
の方法を説明する。
【0003】最も多く用いられている第1の方法が染色
法である。染色法は、ガラス基板上に染色用の材料であ
る水溶性高分子材料を塗布し、これをフオトリソグラフ
ィー工程により所望の形状にパターニングした後、得ら
れたパターンを染色浴に浸漬して着色されたパターンを
得る。これを3回繰り返すことによりR、G、Bのカラ
ーフイルタ層を形成する。
【0004】第2の方法は顔料分散法であり、近年染色
法に取って代わりつつある。この方法は、基板上に顔料
を分散した感光性樹脂層を形成し、これをパターニング
することにより単色のパターンを得る。更にこの工程を
3回繰り返すことによりR、G、Bのカラーフイルタ層
を形成する。
【0005】第3の方法としては電着法がある。この方
法は、基板上に透明電極をパターニングし、顔料、樹
脂、電解液等の入った電着塗装液に浸漬して第1の色を
電着する。この工程を3回繰り返してR、G、Bのカラ
ーフイルタ層を形成し、最後に焼成するものである。
【0006】第4の方法としては、印刷法がある。この
方法は、熱硬化型の樹脂に顔料を分散させ、印刷を3回
繰り返すことによりR、G、Bを塗り分けた後、樹脂を
熱硬化させることにより着色層を形成するものである。
また、いずれの方法においても着色層上に保護層を形成
するのが一般的である。
【0007】これらの方法に共通している点は、R、
G、Bの3色を着色するために同一の工程を3回繰り返
す必要があり、コスト高になることである。また、工程
が多いほど歩留りが低下するという問題を有している。
更に、電着法においては、形成可能なパターン形状が限
定されるため、現状の技術ではTFT用には適用できな
い。また、印刷法は、解像性、平滑性が悪いためファイ
ンピッチのパターンは形成できない。
【0008】これらの欠点を補うべく、特開昭59−7
5205号公報、特開昭63−235901号公報ある
いは特開平1−217320号公報等には、インクジェ
ット方式を用いてカラーフイルタを製造する方法が記載
されている。これらの方法は、R(赤)、G(緑)、B
(青)の三色の色素を含有する着色液をインクジェット
方式で光透過性の基板上に噴射し、各着色液を乾燥させ
て着色画像部を形成するものである。こうしたインクジ
ェット方式では、R、G、Bの各フィルタエレメント
(画素)の形成を一度に行うことが可能で大幅な製造工
程の簡略化と、大幅なコストダウン効果を得ることが出
来る。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来のインクジェット方式による製造方法においては、
1つのフィルタエレメント(一画素)において必要なイ
ンク量を一度に吐出し、且つ各フィルタエレメントを仕
切るためのブラックマトリックスの開口部全体に均一に
インクを広げることは困難である。また、吐出されるイ
ンクドット形は略円形であり、長方形状のブラックマト
リックスの開口部には複数個のインクドットを吐出する
必要がある。この際、単に画一的な吐出方法を採ると、
ブラックマトリックスの開口部全体に均一にインクジェ
ットを広げることは困難であり、開口部の周辺部におい
て、着色の抜けが生じたりすることがあった。カラーフ
ィルタにとってこうした着色抜けは大きな欠陥であり画
質を大きく損なう。これを防止するために、ブラックマ
トリックスの開口部に対して、かなり大きめのドットを
形成すると、隣の開口部の他の色のドットと混色する虞
がある。この解決策として、インク物性・受容層物性の
改良に関する提案が種々なされている。
【0010】しかしながら本願出願人の実験において
は、赤(R)・緑(G)・青(B)等のインクの特性によって
も着弾後の挙動が大きく異なることが判明しており、単
にインク物性・受容層物性の改良だけでは、白抜け・混
色を防止し、かつ、色ムラのないカラーフィルターをイ
ンクジェット方式において製造することは困難であっ
た。このように、インクの吐出方法・吐出量はカラーフ
ィルターを製造する工程で非常に重要な要素となる。
【0011】したがって、本発明は上述した課題に鑑み
てなされたものであり、その目的は、着色抜け・混色等
のない色ムラ特性の優れたカラーフィルタを製造するこ
とができるカラーフィルタの製造方法及び製造装置及び
カラーフィルタのフィルタエレメント列内の着色ムラを
低減する方法を提供することである。
【0012】
【0013】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決し、目
的を達成するために、本発明に係わるカラーフィルタの
製造方法は、多数のフィルタエレメントを仕切るための
多数の枠が形成された光透過性の基板上の、前記各枠内
の異なる位置に所定色の複数のインクを付与することに
より各フィルタエレメントを着色してカラーフィルタを
製造するためのカラーフィルタの製造方法であって、イ
ンクの着弾時にフィルタエレメントと前記枠の双方にか
かるようにインクを付与し、前記フィルタエレメントと
前記枠の双方にかかるように付与されるインクは同じフ
ィルタエレメント内に付与される他のインクに比してイ
ンク量が大きいことを特徴としている。
【0014】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクの吐出は、インクを吐出
して着色を行なうインクジェットヘッドを用いて行なわ
れることを特徴としている。
【0015】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。
【0016】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記吐出されるインクの体積は、前
記熱エネルギー発生体に加える駆動パルスを変化させる
ことにより制御されることを特徴としている。
【0017】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記フイルタエレメントを複数種類
の色に着色することを特徴としている。
【0018】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造方法は、多数のフィルタエレメントを仕切るための多
数の枠が形成された光透過性の基板上の、前記各枠内に
所定の色に着色されたインクを吐出することにより各フ
ィルタエレメントを着色してカラーフィルタを製造する
ためのカラーフィルタの製造方法であって、1個ずつの
フィルタエレメントを着色するにあたり、各フィルタエ
レメントを仕切る前記枠内に複数のインクをずらしなが
ら重ねて吐出する場合、この重ねて吐出されるインクの
重なり間隔を吐出の後半部において狭めることを特徴と
している。
【0019】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクの吐出は、インクを吐出
して着色を行なうインクジェットヘッドを用いて行なわ
れることを特徴としている。
【0020】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。
【0021】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記吐出されるインクの体積は、前
記熱エネルギー発生体に加える駆動パルスを変化させる
ことにより制御されることを特徴としている。
【0022】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記フイルタエレメントを複数種類
の色に着色することを特徴としている。
【0023】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造方法は、多数のフィルタエレメントを仕切るための多
数の枠が形成された光透過性の基板上の、前記各枠内に
所定の色に着色されたインクを吐出することにより各フ
ィルタエレメントを着色してカラーフィルタを製造する
ためのカラーフィルタの製造方法であって、1個ずつの
フィルタエレメントを着色するにあたり、各フィルタエ
レメントを仕切る前記枠内に複数のインクをずらしなが
ら重ねて吐出する場合、この重ねて吐出されるインクの
量を、複数の吐出インク間で異ならせることを特徴とし
ている。
【0024】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクの吐出は、インクを吐出
して着色を行なうインクジェットヘッドを用いて行なわ
れることを特徴としている。
【0025】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。
【0026】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記吐出されるインクの体積は、前
記熱エネルギー発生体に加える駆動パルスを変化させる
ことにより制御されることを特徴としている。
【0027】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記フイルタエレメントを複数種類
の色に着色することを特徴としている。
【0028】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造装置は、多数のフィルタエレメントを仕切るための多
数の枠が形成された光透過性の基板上の、前記各枠内の
異なる位置に所定色の複数のインクを付与することによ
り各フィルタエレメントを着色してカラーフィルタを製
造するためのカラーフィルタの製造装置であって、前記
基板上に着色されたインクを吐出するための吐出手段
と、前記吐出手段と前記基板との相対位置を移動させる
ための移動手段と、インクの着弾時にフィルタエレメン
トと前記枠の双方にかかるようにインクを付与し、前記
フィルタエレメントと前記枠の双方にかかるように付与
されるインクが同じフィルタエレメント内に付与される
他のインクに比してインク量が大きくなるように制御す
る吐出制御手段とを具備することを特徴としている。
【0029】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記吐出手段は、インクを吐出して
着色を行なうインクジェットヘッドであることを特徴と
している。
【0030】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。
【0031】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記インクジェットヘッドにより吐
出されるインクの体積は、前記熱エネルギー発生体に加
える駆動パルスを変化させることにより制御されること
を特徴としている。
【0032】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記吐出されるインクの体積は、前
記熱エネルギー発生体に加える駆動パルスの異なる複数
のヘッドを切り替えて使用することにより制御されるこ
とを特徴としている。
【0033】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造装置は、多数のフィルタエレメントを仕切るための多
数の枠が形成された光透過性の基板上の、前記各枠内に
所定の色に着色されたインクを吐出することにより各フ
ィルタエレメントを着色してカラーフィルタを製造する
ためのカラーフィルタの製造装置であって、前記基板上
に着色されたインクを吐出するための吐出手段と、前記
吐出手段と前記基板との相対位置を移動させるための移
動手段と、1個ずつのフィルタエレメントを着色するに
あたり、各フィルタエレメントを仕切る前記枠内に複数
のインクをずらしながら重ねて吐出する場合、この重ね
て吐出されるインクの重なり間隔を吐出の後半部におい
て狭めるように制御する吐出制御手段とを具備すること
を特徴としている。
【0034】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記吐出手段は、インクを吐出して
着色を行なうインクジェットヘッドであることを特徴と
している。
【0035】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。
【0036】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造装置は、多数のフィルタエレメントを仕切るための多
数の枠が形成された光透過性の基板上の、前記各枠内に
所定の色に着色されたインクを吐出することにより各フ
ィルタエレメントを着色してカラーフィルタを製造する
ためのカラーフィルタの製造装置であって、前記基板上
に着色されたインクを吐出するための吐出手段と、該吐
出手段と前記基板との相対位置を移動させるための移動
手段と、1個ずつのフィルタエレメントを着色するにあ
たり、各フィルタエレメントを仕切る前記枠内に複数の
インクをずらしながら重ねて吐出する場合、この重ねて
吐出されるインクの量を、複数の吐出インク間で異なら
せるように、前記移動手段と前記吐出手段とを制御する
制御手段とを具備することを特徴としている。
【0037】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記吐出手段は、インクを吐出して
着色を行なうインクジェットヘッドであることを特徴と
している。
【0038】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。
【0039】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造方法は、多数のフィルタエレメントを仕切るための多
数の枠が形成された光透過性の基板とインクジェットヘ
ッドを相対的に走査しながら前記基板上に複数のインク
をずらしながら付与して、該インクジェットヘッドの走
査方向に並ぶ複数の前記枠内及び枠外の部分を連続的に
着色してカラーフィルタを製造するためのカラーフィル
タの製造方法であって、インクの着弾時にフィルタエレ
メントと前記枠の双方にかかるようにインクを付与し
て、前記走査方向に並ぶフィルタエレメントを着色し、
前記フィルタエレメントと前記枠の双方にかかるように
付与されるインクは同じフィルタエレメント内に付与さ
れる他のインクに比してインク量が大きいことを特徴と
している。
【0040】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。
【0041】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記吐出されるインクの体積は、前
記熱エネルギー発生体に加える駆動パルスを変化させる
ことにより制御されることを特徴としている。
【0042】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記フイルタエレメントを複数種類
の色に着色することを特徴としている。
【0043】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造方法は、多数のフィルタエレメントを仕切るための多
数の枠が形成された光透過性の基板とインクジェットヘ
ッドを相対的に走査しながら前記基板上に複数のインク
をずらしながら付与して、該インクジェットヘッドの走
査方向に並ぶ複数の前記枠内及び枠外の部分を連続的に
着色してカラーフィルタを製造するためのカラーフィル
タの製造方法であって、重ねて吐出されるインクの重な
り間隔を走査の後半部において狭めることを特徴として
いる。
【0044】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。
【0045】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記吐出されるインクの体積は、前
記熱エネルギー発生体に加える駆動パルスを変化させる
ことにより制御されることを特徴としている。
【0046】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記フイルタエレメントを複数種類
の色に着色することを特徴としている。
【0047】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造方法は、多数のフィルタエレメントを仕切るための多
数の枠が形成された光透過性の基板とインクジェットヘ
ッドを相対的に走査しながら前記基板上に複数のインク
をずらしながら付与して、該インクジェットヘッドの走
査方向に並ぶ複数の前記枠内及び枠外の部分を連続的に
着色してカラーフィルタを製造するためのカラーフィル
タの製造方法であって、重ねて吐出される吐出インクの
量を、複数の吐出インク間で異ならせることを特徴とし
ている。
【0048】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。
【0049】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記吐出されるインクの体積は、前
記熱エネルギー発生体に加える駆動パルスを変化させる
ことにより制御されることを特徴としている。
【0050】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記フイルタエレメントを複数種類
の色に着色することを特徴としている。
【0051】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造装置は、多数のフィルタエレメントを仕切るための多
数の枠が形成された光透過性の基板上とインクジェット
ヘッドを相対的に走査しながら前記基板上にインクを複
数のインクをずらしながら付与して、該インクジェット
ヘッドの走査方向に並ぶ複数の前記枠内及び枠外の部分
を連続的に着色してカラーフィルタを製造するためのカ
ラーフィルタの製造装置であって、前記インクジェット
ヘッドと前記基板との相対位置を移動させるための移動
手段と、インクの着弾時にフィルタエレメントと前記枠
の双方にかかるようにインクを付与し、前記フィルタエ
レメントと前記枠の双方にかかるように付与されるイン
クが同じフィルタエレメント内に付与される他のインク
に比してインク量が大きくなるように制御する吐出制御
手段とを具備することを特徴としている。
【0052】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。
【0053】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造装置は、多数のフィルタエレメントを仕切るための多
数の枠が形成された光透過性の基板とインクジェットヘ
ッドを相対的に走査しながら前記基板上にインクを複数
のインクをずらしながら付与して、該インクジェットヘ
ッドの走査方向に並ぶ複数の前記枠内及び枠外の部分を
連続的に着色してカラーフィルタを製造するためのカラ
ーフィルタの製造装置であって、前記インクジェットヘ
ッドと前記基板との相対位置を移動させるための移動手
段と、重ねて吐出されるインクの重なり間隔を前記走査
の後半部において狭めるように制御する吐出制御手段と
を具備することを特徴としている。
【0054】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。
【0055】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造装置は、多数のフィルタエレメントを仕切るための多
数の枠が形成された光透過性の基板とインクジェットヘ
ッドを相対的に走査しながら前記基板上にインクを吐出
して、該インクジェットヘッドの走査方向に並ぶ複数の
前記枠内及び枠外の部分を連続的に着色してカラーフィ
ルタを製造するためのカラーフィルタの製造装置であっ
て、前記インクジェットヘッドと前記基板との相対位置
を移動させるための移動手段と、重ねて吐出されるイン
クの量を、複数の吐出インク間で異ならせるように制御
する吐出制御手段とを具備することを特徴としている。
【0056】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。
【0057】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造方法は、インクジェットヘッドと基板とを相対的に走
査しながら、該基板上にインクを吐出して着色し、カラ
ーフィルタを製造する方法であって、前記基板上に位置
し、少なくとも1つのフィルタエレメントを備える走査
方向に延びるフィルタエレメント列内において、該フィ
ルタエレメント列内の着色ムラを低減させるために、該
フィルタエレメント列内の少なくとも走査の終端部分に
対する前記インクジェットヘッドからのインクドットの
吐出間隔を同じフィルタエレメント列内の他の部分に対
するインクドットの吐出間隔より密とすることを特徴と
している。
【0058】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。
【0059】また、本発明に係わるカラーフィルタのフ
ィルタエレメント列内の着色ムラを低減する方法は、イ
ンクジェットヘッドと基板とを相対的に走査しながら、
該基板上にインクを吐出して着色し、カラーフィルタを
製造する場合に、前記基板上のフィルタエレメント列内
の着色ムラを低減する方法であって、前記基板上に位置
し、少なくとも1つのフィルタエレメントを備える走査
方向に延びるフィルタエレメント列内において、該フィ
ルタエレメント列内の少なくとも走査の終端部分に対す
る前記インクジェットヘッドからのインクドットの吐出
間隔を同じフィルタエレメント列内の他の部分に対する
インクドットの吐出間隔より密とすることを特徴として
いる。
【0060】また、この発明に係わるカラーフィルタの
フィルタエレメント列内の着色ムラを低減する方法にお
いて、前記インクジェットヘッドは、熱エネルギーを利
用してインクを吐出するヘッドであって、インクに与え
る熱エネルギーを発生するための熱エネルギー発生体を
備えていることを特徴としている。
【0061】
【0062】
【0063】
【0064】
【0065】
【0066】
【0067】
【0068】
【0069】
【0070】
【0071】
【0072】
【0073】
【0074】
【0075】
【0076】
【0077】
【0078】
【0079】
【0080】
【0081】
【0082】
【0083】
【0084】
【0085】
【0086】
【0087】
【0088】
【0089】
【0090】
【0091】
【0092】
【0093】
【0094】
【0095】
【0096】
【0097】
【0098】
【0099】
【0100】
【0101】
【0102】
【0103】
【0104】
【0105】
【0106】
【0107】以上の様にこの発明は構成されているの
で、各フィルタエレメントを仕切る枠内へのインクの吐
出開始位置を変化させ、このインクが枠に重なる量を変
化させることにより、枠内のある決まった位置から着色
を開始する場合に比較して、インクや基板の材料のロッ
トばらつきにより生じていた枠の隅の白ぬけを防止する
ことができる。
【0108】また、フィルタエレメントを仕切る枠内に
複数のインクをずらしながら重ねて吐出する場合、この
重ねて吐出されるインクの重なり間隔を着色の後半部に
おいて狭めることにより、フィルタエレメントの片側に
発生していた白ぬけを防止することができる。
【0109】また、フィルタエレメントを仕切る枠内に
複数のインクをずらしながら重ねて吐出する場合、この
重ねて吐出されるインクの数を、このインクの吐出量に
応じて変化させることにより、吐出を行う吐出ノズルの
バラつきを補正することができ、フィルタエレメントの
着色の濃度ムラを防止することができる。
【0110】また、フィルタエレメントを仕切る枠内に
複数のインクをずらしながら重ねて吐出する場合、ムラ
の発生する部分にインクの量を部分的に多く吐出するこ
とによりフィルタエレメントの白ぬけ等を防止すること
ができる。
【0111】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な一実施形態
について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【0112】まず、図1は本発明に係わる製造方法及び
製造装置により製造されるカラーフイルタの部分拡大図
である。
【0113】このカラーフイルタ10は、携帯用パーソ
ナルコンピュータ等に使用されるカラーの液晶ディスプ
レイ等の前面に装着されているものであり、図1
(a),(b) に示す様に、R(赤)、G(緑)、B
(青)に着色されたフイルタエレメント10aが、2次
元状に、例えば格子状に配列されて構成されている。図
1(a)に示したものは、各フイルタエレメント10a
を単純な格子状に配置した例であり、図1(b)に示し
たものはフイルタエレメント10aを千鳥格子状に配置
した例である。各フイルタエレメント10aの間には、
夫々のフイルタエレメント10a間の区切りを明確にし
て、画面を鮮明にするために、遮光格子10bが形成さ
れている。
【0114】図2は、図1に示したカラーフイルタ10
の側断面図であり、カラーフイルタ10の本体を構成す
るガラス基板12上に、遮光格子10bが形成され、そ
の上に各色のフイルタエレメント10aが形成されてい
る状態を示している。
【0115】カラーフイルタ10を製造するにあたって
は、ガラス基板12の上にクロムをスパッタリングによ
り付着させ、フオトリソグラフィーにより格子状のパタ
ーンを形成する。これが遮光格子10bとなる。次に、
この遮光格子10bの上にセルロース、アクリル系樹
脂、ゼラチン等から成る、液体を吸収する被染色層14
を形成し、この被染色層14のフイルタエレメント形成
領域にインクジェット方式の記録ヘッドにより着色剤
(染料)を混入したインク(以下インクと呼ぶ)を吹き
付ける。これにより、被染色層14を着色してカラーの
フイルタエレメント10aを形成する。なお、染料以外
に顔料を使用することも可能であるし、紫外線硬化型イ
ンクを使用することも可能である。なお、顔料や紫外線
硬化型インクを使用する場合は、被染色層14は必要な
い場合もある。
【0116】さらに、必要に応じて保護層を形成する。
保護層としては、光硬化タイプ、熱硬化タイプあるいは
光熱併用タイプの樹脂材料、蒸着、スパッタ等によって
形成された無機膜等を用いることができ、カラーフィル
タとした場合の透明性を有し、その後のITO(Indium
Tin Oxide)形成プロセス、配向膜形成プロセス等に耐
えうるものであれば使用可能である。
【0117】なお、カラー液晶パネルは、一般的にカラ
ーフィルタ基板12と対向基板54を合わせこみ、液晶
化合物52を封入することにより形成される。液晶パネ
ルの一方の基板54の内側に、TFT(Thin Film Trans
istor)(不図示)と透明な画素電極53がマトリックス
状に形成される。また、もう一方の基板12の内側に
は、画素電極に対向する位置にRGBの色材が配列する
ようカラーフィルタ10が設置され、その上に透明な対
向電極(共通電極)50が一面に形成される。遮光格子
10bは、通常カラーフィルター基板12側に形成され
るが(図3参照)、BM(ブラックマトリクス)オンア
レイタイプの液晶パネルにおいては対向するTFT基板
側に形成される(図4参照)。さらに、両基板の面内に
は配向膜51が形成されており、これをラビング処理す
ることにより液晶分子を一定方向に配列させることがで
きる。また、それぞれのガラス基板の外側には偏光板5
5が接着されており、液晶化合物52は、これらのガラ
ス基板の間隙(2〜5μm程度)に充填される。また、
バックライトとしては蛍光灯(不図示)と散乱板(不図
示)の組み合わせが一般的に用いられており、液晶化合
物をバックライト光の透過率を変化させる光シャッター
として機能させることにより表示を行う。
【0118】このような液晶パネルを情報処理装置に適
用した場合の例を図5乃至図7を参照して説明する。
【0119】図5は上記の液晶パネルをワードプロセッ
サ,パーソナルコンピュータ,ファクシミリ装置,複写
装置としての機能を有する情報処理装置に適用した場合
の概略構成を示すブロック図である。
【0120】図中、1801は装置全体の制御を行なう
制御部で、マイクロプロセッサ等のCPUや各種I/O
ポートを備え、各部に制御信号やデータ信号等を出力し
たり、各部よりの制御信号やデータ信号を入力して制御
を行なっている。1802はディスプレイ部で、この表
示画面には各種メニューや文書情報およびイメージリー
ダ1807で読み取ったイメージデータ等が表示され
る。1803はディスプレイ部1802上に設けられた
透明な感圧式のタッチパネルで、指等によりその表面を
押圧することにより、ディスプレイ部1802上での項
目入力や座標位置入力等を行なうことができる。
【0121】1804はFM(Frequency M
odulation)音源部で、音楽エディタ等で作成
された音楽情報をメモリ部1810や外部記憶装置18
12にデジタルデータとして記憶しておき、それらメモ
リ等から読み出してFM変調を行なうものである。FM
音源部1804からの電気信号はスピーカ部1805に
より可聴音に変換される。プリンタ部1806はワード
プロセッサ,パーソナルコンピュータ,ファクシミリ装
置,複写装置の出力端末として用いられる。
【0122】1807は原稿データを光電的に読取って
入力するイメージリーダ部で、原稿の搬送経路中に設け
られており、ファクシミリ原稿や複写原稿の他各種原稿
の読取りを行なう。
【0123】1808はイメージリーダ部1807で読
取った原稿データのファクシミリ送信や、送られてきた
ファクシミリ信号を受信して復号するファクシミリ(F
AX)の送受信部であり、外部とのインターフェース機
能を有する。1809は通常の電話機能や留守番電話機
能等の各種電話機能を有する電話部である。
【0124】1810はシステムプログラムやマネージ
ャプログラムおよびその他のアプリケーションプログラ
ム等や文字フォントおよび辞書等を記憶するROMや、
外部記憶装置1812からロードされたアプリケーショ
ンプログラムや文書情報、さらにはビデオRAM等を含
むメモリ部である。
【0125】1811は文書情報や各種コマンド等を入
力するキーボード部である。
【0126】1812はフロッピーディスクやハードデ
ィスク等を記憶媒体とする外部記憶装置で、この外部記
憶装置1812には文書情報や音楽或は音声情報、ユー
ザのアプリケーションプログラム等が格納される。
【0127】図6は図5に示す情報処理装置の模式的概
観図である。
【0128】図中、1901は上記の液晶パネルを利用
したフラットパネルディスプレイで、各種メニューや図
形情報および文書情報等を表示する。このディスプレイ
1901上ではタッチパネル1803の表面は指等で押
圧することにより座標入力や項目指定入力を行なうこと
ができる。1902は装置が電話器として機能するとき
に使用されているハンドセットである。キーボード19
03は本体と脱着可能にコードを介して接続されてお
り、各種文書機能や各種データ入力を行なうことができ
る。また、このキーボード1903には各種機能キー1
904等が設けられている。1905は外部記憶装置1
812へのフロッピーディスクの挿入口である。
【0129】1906はイメージリーダ部1807で読
取られる原稿を載置する用紙載置部で、読取られた原稿
は装置後部より排出される。またファクシミリ受信等に
おいては、インクジェットプリンタ1907よりプリン
トされる。
【0130】上記情報処理装置をパーソナルコンピュー
タやワードプロセッサとして機能する場合、キーボード
部1811から入力された各種情報が制御部1801に
より所定のプログラムに従って処理され、プリンタ部1
806に画像として出力される。
【0131】ファクシミリ装置の受信機として機能する
場合、通信回線を介してFAX送受信部1808から入
力したファクシミリ情報が制御部1801により所定の
プログラムに従って受信処理され、プリンタ部1806
に受信画像として出力される。
【0132】また、複写装置として機能する場合、イメ
ージリーダ部1807によって原稿を読取り、読取られ
た原稿データが制御部1801を介してプリンタ部18
06に複写画像として出力される。なお、ファクシミリ
装置の受信機として機能する場合、イメージリーダ部1
807によって読取られた原稿データは、制御部180
1により所定のプログラムに従って送信処理された後、
FAX送受信部1808を介して通信回線に送信され
る。
【0133】なお、上述した情報処理装置は図7に示す
ようにインクジェットプリンタを本体に内蔵した一体型
としてもよく、この場合は、よりポータブル性を高める
ことが可能となる。同図において、図6と同一機能を有
する部分には、対応する符号を付す。
【0134】次に、図8は、前述したカラーフイルタに
おいて被染色層14にインクを吹き付けるためのインク
ジェットヘッドIJHの構造を示す図である。
【0135】図8において、インクジェットヘッドIJ
Hは、インクを加熱するための複数のヒータ102が形
成された基板であるヒータボード104と、このヒータ
ボード104の上にかぶせられる天板106とから概略
構成されている。天板106には、複数の吐出口108
が形成されており、吐出口108の後方には、この吐出
口108に連通するトンネル状の液路110が形成され
ている。各液路110は、隔壁112により隣の液路と
隔絶されている。各液路110は、その後方において1
つのインク液室114に共通に接続されており、インク
液室114には、インク供給口116を介してインクが
供給され、このインクはインク液室114から夫々の液
路110に供給される。
【0136】ヒータボード104と、天板106とは、
各液路110に対応した位置に各ヒータ102が来る様
に位置合わせされて図8の様な状態に組み立てられる。
図8においては、2つのヒータ102しか示されていな
いが、ヒータ102は、夫々の液路110に対応して1
つずつ配置されている。そして、図3の様に組み立てら
れた状態で、ヒータ102に所定の駆動パルスを供給す
ると、ヒータ102上のインクが沸騰して気泡を形成
し、この気泡の体積膨張によりインクが吐出口108か
ら押し出されて吐出される。従って、ヒータ102に加
える駆動パルスを制御、例えば電力の大きさを制御する
ことにより気泡の大きさを調整することが可能であり、
吐出口から吐出されるインクの体積を自在にコントロー
ルすることができる。
【0137】図9は、このようにヒータに加える電力を
変化させてインクの吐出量を制御する方法を説明するた
めの図である。
【0138】この実施形態では、インクの吐出量を調整
するために、ヒータ102に2種類の定電圧パルスを印
加する様になされている。2つのパルスとは、図9に示
す様にプレヒートパルスとメインヒートパルス(以下、
単にヒートパルスという)である。プレヒートパルス
は、実際にインクを吐出するに先立ってインクを所定温
度に暖めるためのパルスであり、インクを吐出するため
に必要な最低のパルス幅t5 よりも短い値に設定されて
いる。従って、このプレヒートパルスによりインクが吐
出されることはない。プレヒートパルスをヒータ102
に加えるのは、インクの初期温度を、一定の温度にまで
上昇させておくことにより、後に一定のヒートパルスを
印加したときのインク吐出量を常に一定にするためであ
る。また、逆にプレヒートパルスの長さを調節すること
により、予めインクの温度を調節しておき、同じヒート
パルスが印加された場合でも、インクの吐出量を異なら
せることも可能である。また、ヒートパルスの印加に先
立ってインクを暖めておくことにより、ヒートパルスを
印加した時のインク吐出の時間的な立ち上がりを早めて
応答性を良くする働きも持っている。
【0139】一方、ヒートパルスは、実際にインクを吐
出させるためのパルスであり、上記のインクを吐出する
ために必要な最低のパルス幅t5 よりも長く設定されて
いる。ヒータ102が発生するエネルギーは、ヒートパ
ルスの幅(印加時間)に比例するものであるため、この
ヒートパルスの幅を調節することにより、ヒータ102
の特性のばらつきを調整することが可能である。
【0140】なお、プレヒートパルスとヒートパルスと
の間隔を調整して、プレヒートパルスによる熱の拡散状
態を制御することによってもインクの吐出量を調整する
ことが可能となる。
【0141】上記の説明から分かる様に、インクの吐出
量は、プレヒートパルスの印加時間を調節することによ
って制御することも可能であるし、またプレヒートパル
スとヒートパルスの印加間隔を調節することによっても
可能である。従って、プレヒートパルスの印加時間やプ
レヒートパルスとヒートパルスの印加間隔を必要に応じ
て調整することにより、インクの吐出量やインクの吐出
の印加パルスに対する応答性を自在に調節することが可
能となる。
【0142】次に、このインクの吐出量の調整について
具体的に説明する。
【0143】例えば、図9に示す様に吐出口(ノズル)
108a,108b,108cが、同じ電圧パルスを加
えた時のインクの吐出量が異なっている場合について説
明する。詳しくは、一定温度で、一定パルス幅の電圧を
印加したときに、ノズル108aのインク吐出量が36
pl(ピコリットル)、ノズル108bのインク吐出量
が40pl、ノズル108cのインク吐出量が40pl
であり、ノズル108aに対応するヒータ102a及び
ノズル108bに対応するヒータ102bの抵抗値が2
00Ω、ノズル108cに対応するヒータ102cの抵
抗値が210Ωであるものとする。そして、それぞれの
ノズル108a,108b,108cの吐出量を全て4
0plに合わせたいものとする。
【0144】それぞれのノズル108a,108b,1
08cの吐出量を同じ量に調整するためには、プレヒー
トパルスとヒートパルスの幅を調整すれば良いのである
が、このプレヒートパルスとヒートパルスの幅の組み合
わせには種々のものが考えられる。ここでは、ヒートパ
ルスにより発生するエネルギーの量を3つのノズルで同
じになる様に設定し、吐出量の調整は、プレヒートパル
スの幅を調整することにより行なうものとする。
【0145】まず、ノズル108aのヒータ102aと
ノズル108bのヒータ102bの抵抗値は同じ200
Ωであるので、ヒートパルスにより発生するエネルギー
を同じにするには、ヒータ102a,102bに同じ幅
の電圧パルスを印加すればよい。ここでは、電圧パルス
の幅を前述したt5 よりも長いt3 に設定する。一方、
ノズル108aと108bとは、同じヒートパルスを加
えた時の吐出量が、36plと40plと異なるため、
ノズル108aの吐出量を多くするために、ヒータ10
2aには、ヒータ102bのプレヒートパルスの幅t1
よりも長いt2のプレヒートパルスを加える。このよう
にすれば、ノズル108aと108bの吐出量を同じ4
0plにそろえることができる。
【0146】一方、ノズル108cのヒータ102cの
抵抗値は、他の2つのヒータ102a,102bの抵抗
値よりも高い210Ωであるため、ヒータ102cか
ら、他の2つのヒータと同じエネルギーを発生させるた
めには、ヒートパルスの幅を長くする必要がある。その
ため、ここでは、ヒートパルスの幅を前述したt3 より
も長いt4 に設定している。また、プレヒートパルスの
幅に関しては、一定パルスを加えた時のノズル108b
と108cの吐出量が同じであるため、ヒータ102b
と同じにすればよく、t1 の幅のプレヒートパルスを加
える。
【0147】以上の様にして、抵抗値と一定パルスを加
えた時のインク吐出量の異なる3つのノズル108a,
108b,108cから同じ量のインクを吐出させるこ
とができる。また、同じ手法により、インクの吐出量を
意識的に異ならせることも可能である。なお、プレヒー
トパルスを利用するのは、ノズルごとの吐出のバラつき
を低減するためである。
【0148】次に、ノズルからのインクの吐出量を制御
する別の方法について説明する。
【0149】図22は、1つのノズルに2つ以上のヒー
タを配置し、それぞれのヒータに印加する電圧パルスの
位相を連続的にずらすことによりインクの吐出量を連続
的に変化させる構造を示した図である。
【0150】図22は、1ノズル当りのヒータと電極と
の構造配置を示しており、このパターンを図8に示すヒ
ータ102の代わりに配置することにより、インクジェ
ットヘッドを構成することができる。
【0151】1ノズル当り2つのヒータ201a,20
1b及びそれぞれに独立に電力を供給するための電極2
02,203a,203bを備えている。図23は、図2
2のヒータと電極のパターンを持つインクジェットヘッ
ドのヒータ201a,201bに位相をずらせて通電し
気泡を生じさせたときの状態の模式的断面図であり、ヒ
ータ201a,201bは時間的にずれてインクが蒸発
した気泡を生ずるため、図示のようにある時間で観察す
ると、異なった大きさの気泡が見られる。
【0152】なお、図23では電極202,203は省
略されている。
【0153】図23において、インクで満たされる流路
209は、ガラス等の基板204上に蓄熱層205が設
けられ、この蓄熱層205上に図22に示したパターン
でヒータと電極が付設されたヒータボード212と、流
路209を構成するように所定幅の溝が設けられた天板
213とを、ヒータと電極とを溝が覆うように、接着剤
等を使用して接合することによって形成される。流路2
09の終端にはノズル207が形成され、熱作用部Δl
は、ヒータ201の発熱部表面を含む流路部分とされ、
熱作用部Δlにおいて、ヒータ201に入力される電圧
パルスに従って、ヒータ201が発熱することで、熱作
用部Δlにあるインクが気化によって気泡を生ずる急峻
な状態変化を起こすことで、インク208がノズル20
7より吐出される。ヒータ201a,201bに入力さ
れる電圧パルスのタイミングと気泡の体積、インクの吐
出量との関係を概略的に示したものが図24である。
【0154】図24において、実線は印加される電圧パ
ルスを示し、発熱にともなう気泡の体積の大きさは破線
で示した。
【0155】(a)は電圧パルスの印加のタイミングが
2つのヒータ201a,201bで一致した場合で、生
ずる気泡の体積は最大となり、吐出されるインクの量も
多い。(b)はパルス幅τの分だけ入力タイミングをず
らせた場合で、合体する気泡の最大体積は減少し、イン
クの吐出量も小さくなる。
【0156】(c)は2τ分入力タイミングをずらせた
ものであり、インクの吐出量は(d)の場合のヒータを
1個だけ駆動した場合と変化はない。このタイミングず
れと吐出インクの体積との関係をグラフに示したものが
図25である。
【0157】階調性が得られるタイミングずれの範囲
は、本例では−2τ〜+2τであったが、これは印加パ
ルス幅τ、及び基板の構造、インクの種類、ヒータのパ
ターン、配置等によって異なるもので、通常±20τの
範囲、好ましくは±5τの範囲で制御するのが良い。ま
た、ヒータの配置が図22のように流路に沿って形成さ
れる必要は必ずしも無く、図26のように矢印Aで示す
吐出方向に対して直角方向に配することも可能である。
また2つのヒータのパターンが同じである必要も無く、
それぞれのヒータの面積が異なるものを組み合わせても
よい。さらに多階調を要するときには、必要に応じてヒ
ータ数を3つ以上にしてもよい。
【0158】次に、図10は、図1及び図2に示したカ
ラーフイルタを製造するための製造装置の構成を示した
図である。
【0159】図10において、製造装置20は、不図示
の架台上に載置され、図中X方向及びY方向に移動可能
なXYテーブル22と、このXYテーブル22の上方に
不図示の支持部材を介して架台上に固定されたインクジ
ェットヘッドIJHを備えている。XYテーブル22上
には、既に前述した方法により遮光格子10b及び被染
色層14(図2参照)が形成されたガラス基板12が載
置される。インクジェットヘッドIJHには、赤色のイ
ンクを吐出する赤色ヘッド120aと、緑色のインクを
吐出する緑色ヘッド120bと、青色のインクを吐出す
る青色ヘッド120cが備えられており、これらの各ヘ
ッド120a,120b,120cは夫々独立にインク
を吐出することができる様に構成されている。
【0160】このように構成される製造装置20におい
ては、インクジェットヘッドIJHに対して、XYテー
ブル22がXY方向に移動しながら、ガラス基板12上
の所望の遮光格子10bの枠内にR(赤)またはG
(緑)またはB(青)のインクを吐出していき、遮光格
子10bの各枠内を着色してカラーフイルタを完成させ
る。
【0161】図11は、製造装置20の制御コントロー
ラの構成を示すブロック図である。
【0162】図11において、31は制御コントローラ
の入出力手段であるティーチングペンダント。32は吐
出情報等の結果を表示する表示部。33は吐出パターン
等の吐出条件を設定する設定部。
【0163】34はカラーフィルタの製造装置20を制
御するところのコントローラ。35はティーチングペン
ダントとのデータの受け渡しを行うインターフェース。
36は製造装置20のステージ制御や軌道計画演算を行
なうCPU。37はCPUを動作させるための制御プロ
グラムを記憶しているROM。38は吐出条件などのデ
ータを記憶するRAM。40は本実施形態の特に重要な
部分である着色剤の吐出パターンを制御する吐出制御
部。その構成は、フィルタエレメント内の吐出開始位置
・吐出間隔・吐出数の制御を行なう吐出タイミング制御
部43、フィルタエレメント内におけるドットの大きさ
を制御する吐出量制御部44からなる。41は製造装置
20のステージ22の制御部。20はコントローラ34
に接続され、その指示に従って動作する製造装置を示し
ている。
【0164】本実施形態は、インクジェット方式により
インクをインクジェットヘッドIJHのオリフィスから
吐出させて、カラーフィルタ10のフィルタエレメント
10aにインクドットにより着色を行う。インクジェッ
ト方式としては、熱エネルギーによる方式あるいは機械
エネルギーによる方式が挙げられるが、いずれの方式も
好適に用いることができる。使用するインクとしては、
インクジェット用として用いることができるものであれ
ば特に限られるものではなく、インクの着色剤として
は、各種染料あるいは顔料のなかから、R,G,Bのフ
ィルタエレメントに要求される透過スペクトルにあった
ものが適宜選択される。
【0165】また、インクドットは、遮光格子10bお
よび光透過部(遮光格子10bに囲まれた中央部分、即
ちフィルタエレメント)を有するガラス基板12に直接
形成してもよいが、既に述べたようにガラス基板12上
に光透過性の被染色層14を設けるのが好ましい。被染
色層14を形成する材料としては、アクリル系樹脂、エ
ポキシ系樹脂、イミド系樹脂、ヒドロキシプロピルセル
ロース、ヒドロキシエチルセルロース、メチルセルロー
ス、カルボキシメチルセルロース等のセルロース誘導体
が好ましい。その形成方法としては、スピンコート、ロ
ールコート、バーコート、スプレーコート、ディップコ
ート等の方法を用いることができる。
【0166】形成される被染色層14の厚みは、パター
ン形成に用いるインクの種類、組成、あるいはその吐出
量、使用方法等によって異なるが、0.1〜50μm程
度が適当である。
【0167】ここで問題になるのが、RGB各インクの
着色剤の特性が上記被染色層14の特性、遮光格子10
bの形状(図20参照)、製造工程によるプロセスの最
高温度により、各メーカー・基板種類によって千差万別
であるということである。インクジェット方式の場合、
その吐出の位置・量が白抜け・混色に大きな影響を与え
ることは以前に述べた。
【0168】ここで図12乃至図19により上記問題点
を解決するための本実施形態の動作を順を追って説明す
る。なお、図12乃至図19において、フィルタエレメ
ント10a内の白丸は、着弾後数秒経過したときにおけ
るインクの状態を表わしている。
【0169】まず、図12に示されるように複数のイン
クドットを等間隔で吐出した場合、図13のように周辺
部に白抜けが大きく、かつ、先に吐出したインクドット
に引き込まれるように後から吐出したインクドット液が
吸い寄せられ、図13のような形状になってしまう。そ
こで次に、図12のB−C間、C−D間の幅を広くし、
D−E間、E−F間の幅を狭くし図14のような形状に
吐出すると、図15のような形状にインクが広がってし
まう。そこで、図16のようにC点での吐出量を多くす
ると図17のようにインクが広がる。図17はかなりき
れいな形状をしているが、コーナー部で白抜けの現象が
発生してしまっている。そこで、図18で示されるよう
に、A点の吐出開始位置をややずらし、かつ、B点の後
にb点を加え、吐出を行うと、図19で示されるよう、
かなりきれいにインクが広がり、白抜けのないきれいな
カラーフィルタが形成される。
【0170】もちろん、上記現象はほんの一例であり、
遮光格子10bの形状、インクの物性、被染色層14の
物性により種々の場合が考えられる。例えば、図20に
示したような遮光格子の場合には、それぞれ図21に示
したような吐出パターンにより良好なカラーフィルター
の着色が行われる。これらのインクの吐出パターンは、
図11に示した吐出制御部40により制御される。
【0171】なお、上記の実施形態では、各フィルタエ
レメントに対して別々に図12乃至図21に示すような
パターンでインクを吐出する場合について説明したが、
本発明は、図27、図28に示すように、インクジェッ
トヘッドの走査方向に並ぶ複数のフィルタエレメントを
連続的に着色する場合にも適用可能である。
【0172】図27、図28に示す例では、各フィルタ
エレメントのインクジェットヘッドの走査方向の仕切り
となる遮光格子の部分にもインクを連続的に吐出し、1
回の走査の初めから終わりまでを1ラインとして連続的
に着色するものである。このように走査方向に延びる1
列分を連続的に着色した場合でも、液晶表示装置などで
は、使用者は着色した面の裏側からカラーフィルタを見
ることとなるので、カラーフィルタの各フィルタエレメ
ントは遮光格子で確実に仕切られて見え、使用上は何ら
問題はない。
【0173】図27のように、走査の1列分を連続して
着色する場合においても、この1列を1つのフィルタエ
レメントとみなし、図18に示したのと同様に走査の初
めの部分でインクドットが遮光格子10bに一部重なる
ようにし、走査の終端部分でインクを密に打ち込むこと
により、走査の初端部分及び終端部分における白抜けを
防止することができる。また、各フィルタエレメント
が、図28に示すように、一部突出した部分10fを有
する場合には、この部分に対応してインクの吐出量を多
くし、図28にハッチングで示すような大きいインクド
ットを形成することにより、図29のように10fの部
分が白く抜けてしまわず、良質なカラーフィルタを製造
することができる。この場合でも、走査の終端部分にお
いてインクドットの間隔を密にすることにより、走査の
終端部分における白抜けを同時に防止することができ
る。
【0174】実際のカラーフィルターの製造ラインで
は、基板サイズ・種類によってかなり多くの種類に対応
しなくてはならない。その際、すべての種類毎に製造ラ
インを構成し、固定した吐出方法で製造工程を構成する
ことは不可能ではないが、非現実的である。
【0175】そのため、高性能な種々のカラーフィルタ
ーを製造する場合、その製造ラインにおいて数多くの段
取り替えが発生することは必然である。その際、本実施
形態のような吐出条件を設定する吐出制御部40を持た
ない製造方法では良好なカラーフィルターを多品種製造
することは困難である。
【0176】以上説明したように、本実施形態のカラー
フィルタの製造方法もしくは製造装置を採用することに
より、種々の遮光格子の形状、インクの物性、被染色層
の物性に最適なインクドットの吐出方法を設定すること
が可能になり、安価で信頼性が高く、かつ色ムラのない
鮮明な画像を得ることができるカラーフィルタを製造す
ることができる。
【0177】また、複数種類のカラーフィルタを製造す
るフレキシブルな製造ラインを容易に構成することが可
能になる。
【0178】なお、本発明はその主旨を逸脱しない範囲
で、上記実施形態を修正または変形したものに適用可能
である。
【0179】例えば、インクジェットヘッドとして圧電
素子等の機械エネルギー変換体を用いる所謂ピエゾタイ
プのものを用いても良い。この場合、吐出するインク体
積の調整は駆動パルスの印加電圧を調整することで容易
に行なうことができる。さらに、バイポーラ駆動を行な
う場合は、両極性の駆動パルスの夫々または一方を調整
することによってもインク体積を調整することができ
る。
【0180】また、本発明は単色のフィルターにも適用
できる。更に異なる色の単色フィルターを複数重ねるタ
イプのフイルタにも適用できる。
【0181】本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でも、インク吐出を行わせるために利用されるエネル
ギーとして熱エネルギーを発生する手段(例えば電気熱
変換体やレーザ光等)を備え、前記熱エネルギーにより
インクの状態変化を生起させる方式のプリント装置につ
いて説明したが、かかる方式によれば記録の高密度化、
高精細化が達成できる。
【0182】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第4723129号明細書、同第4740
796号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式はいわゆるオンデマンド
型、コンティニュアス型のいずれにも適用可能である
が、特に、オンデマンド型の場合には、液体(インク)
が保持されているシートや液路に対応して配置されてい
る電気熱変換体に、記録情報に対応していて膜沸騰を越
える急速な温度上昇を与える少なくとも1つの駆動信号
を印加することによって、電気熱変換体に熱エネルギー
を発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさ
せて、結果的にこの駆動信号に1対1で対応した液体
(インク)内の気泡を形成できるので有効である。この
気泡の成長、収縮により吐出用開口を介して液体(イン
ク)を吐出させて、少なくとも1つの滴を形成する。こ
の駆動信号をパルス形状をすると、即時適切に気泡の成
長収縮が行われるので、特に応答性に優れた液体(イン
ク)の吐出が達成でき、より好ましい。
【0183】このパルス形状の駆動信号としては、米国
特許第4463359号明細書、同第4345262号
明細書に記載されているようなものが適している。な
お、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許
第4313124号明細書に記載されている条件を採用
すると、さらに優れた記録を行うことができる。
【0184】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液路、電気熱変換体
の組み合わせ構成(直線状液流路または直角液流路)の
他に熱作用面が屈曲する領域に配置されている構成を開
示する米国特許第4558333号明細書、米国特許第
4459600号明細書を用いた構成も本発明に含まれ
るものである。加えて、複数の電気熱変換体に対して、
共通するスロットを電気熱変換体の吐出部とする構成を
開示する特開昭59−123670号公報や熱エネルギ
ーの圧力波を吸収する開口を吐出部に対応させる構成を
開示する特開昭59−138461号公報に基づいた構
成としても良い。
【0185】さらに、記録装置が記録できる最大記録媒
体の幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドとしては、上述した明細書に開示されているよう
な複数記録ヘッドの組み合わせによってその長さを満た
す構成や、一体的に形成された1個の記録ヘッドとして
の構成のいずれでもよい。
【0186】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的にインクタンクが設けら
れたカートリッジタイプの記録ヘッドを用いてもよい。
【0187】また、本発明の記録装置の構成として設け
られる、記録ヘッドに対しての回復手段、予備的な補助
手段等を付加することは本発明の効果を一層安定にでき
るので好ましいものである。これらを具体的に挙げれ
ば、記録ヘッドに対してのキャッピング手段、クリーニ
ング手段、加圧あるいは吸引手段、電気熱変換体あるい
はこれとは別の加熱素子あるいはこれらの組み合わせに
よる予備加熱手段、記録とは別の吐出を行う予備吐出モ
ードを行うことも安定した記録を行うために有効であ
る。
【0188】以上説明した本発明実施形態においては、
インクを液体として説明しているが、室温やそれ以下で
固化するインクであっても、室温で軟化もしくは液化す
るものを用いても良く、あるいはインクジェット方式で
はインク自体を30°C以上70°C以下の範囲内で温
度調整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあるよう
に温度制御するものが一般的であるから、使用記録信号
付与時にインクが液状をなすものであればよい。
【0189】加えて、積極的に熱エネルギーによる昇温
をインクの固形状態から液体状態への状態変化のエネル
ギーとして使用せしめることで積極的に防止するため、
またはインクの蒸発を防止するため、放置状態で固化し
加熱によって液化するインクを用いても良い。いずれに
しても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によってイ
ンクが液化し、液状インクが吐出されるものや、記録媒
体に到達する時点では既に固化し始めるもの等のよう
な、熱エネルギーの付与によって初めて液化する性質の
インクを使用する場合も本発明は適用可能である。この
ような場合インクは、特開昭54−56847号公報あ
るいは特開昭60−71260号公報に記載されるよう
な、多孔質シート凹部または貫通孔に液状または固形物
として保持された状態で、電気熱変換体に対して対向す
るような形態としてもよい。本発明においては、上述し
た各インクに対して最も有効なものは、上述した膜沸騰
方式を実行するものである。
【0190】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明によれば、各
フィルタエレメントを仕切る枠内へのインクの吐出開始
位置を変化させ、このインクが枠に重なる量を変化させ
ることにより、枠内のある決まった位置から着色を開始
する場合に比較して、インクや基板の材料のロットばら
つきにより生じていた枠の隅の白ぬけを防止することが
できる。
【0191】また、フィルタエレメントを仕切る枠内に
複数のインクをずらしながら重ねて吐出する場合、この
重ねて吐出されるインクの重なり間隔を着色の後半部に
おいて狭めることにより、フィルタエレメントの片側に
発生していた白ぬけを防止することができる。
【0192】また、フィルタエレメントを仕切る枠内に
複数のインクをずらしながら重ねて吐出する場合、この
重ねて吐出されるインクの数を、このインクの吐出量に
応じて変化させることにより、吐出を行う吐出ノズルの
バラつきを補正することができ、フィルタエレメントの
着色の濃度ムラを防止することができる。
【0193】また、フィルタエレメントを仕切る枠内に
複数のインクをずらしながら重ねて吐出する場合、ムラ
の発生する部分にインクの量を部分的に多く吐出するこ
とによりフィルタエレメントの白ぬけ等を防止すること
ができる。
【0194】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係わる製造方法及び製造装置により製
造されるカラーフイルタの部分拡大図である。
【図2】図1に示したカラーフイルタの側断面図であ
る。
【図3】カラー液晶パネルの構造を示した側断面図であ
る。
【図4】カラー液晶パネルの構造を示した側断面図であ
る。
【図5】液晶パネルが使用される情報処理装置を示した
図である。
【図6】液晶パネルが使用される情報処理装置を示した
図である。
【図7】液晶パネルが使用される情報処理装置を示した
図である。
【図8】被染色層にインクを吹き付けるためのインクジ
ェットヘッドIJHの構造を示す図である。
【図9】ヒータに加える電力を変化させてインクの吐出
量を制御する方法を説明するための図である。
【図10】図1及び図2に示したカラーフイルタを製造
するための製造装置の構成を示した図である。
【図11】カラーフィルタの製造装置の制御コントロー
ラ構成を示すブロック図である。
【図12】インクドットの吐出位置及び吐出量と、フィ
ルタエレメントの着色のされ方の関係を示す図である。
【図13】インクドットの吐出位置及び吐出量と、フィ
ルタエレメントの着色のされ方の関係を示す図である。
【図14】インクドットの吐出位置及び吐出量と、フィ
ルタエレメントの着色のされ方の関係を示す図である。
【図15】インクドットの吐出位置及び吐出量と、フィ
ルタエレメントの着色のされ方の関係を示す図である。
【図16】インクドットの吐出位置及び吐出量と、フィ
ルタエレメントの着色のされ方の関係を示す図である。
【図17】インクドットの吐出位置及び吐出量と、フィ
ルタエレメントの着色のされ方の関係を示す図である。
【図18】インクドットの吐出位置及び吐出量と、フィ
ルタエレメントの着色のされ方の関係を示す図である。
【図19】インクドットの吐出位置及び吐出量と、フィ
ルタエレメントの着色のされ方の関係を示す図である。
【図20】遮光格子の形状の例を示した図である。
【図21】インクドットの吐出位置及び吐出量と、フィ
ルタエレメントの着色のされ方の関係を示す図である。
【図22】2つのヒータを有するノズルを示した図であ
る。
【図23】2つのヒータを有するノズルを示した図であ
る。
【図24】2つのヒータに加える電圧パルスのずれとイ
ンクの吐出量の関係を示した図である。
【図25】2つのヒータに加える電圧パルスのずれとイ
ンクの吐出量の関係を示した図である。
【図26】2つのヒータを有するノズルの別の例を示し
た図である。
【図27】走査方向の一列分を連続的に着色する例を示
した図である。
【図28】走査方向の一列分を連続的に着色する例を示
した図である。
【図29】フィルタエレメントの突出部分が白抜けして
いる状態を示した図である。
【符号の説明】
10 カラーフィルタ 10a フィルタエレメント 10b 遮光格子 12 ガラス基板 14 被染色層 20 製造装置 22 XYテーブル 102 ヒータ 104 ヒータボード 106 天板 108 吐出口 110 液路 112 隔壁 114 インク液室 116 インク供給口
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 横井 英人 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キ ヤノン株式会社内 (72)発明者 佐藤 博 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キ ヤノン株式会社内 (56)参考文献 特開 平1−217302(JP,A) 特開 平4−261503(JP,A) 特開 平2−235752(JP,A) 特開 平7−318723(JP,A) 特開 平7−253510(JP,A) 特開 平7−146406(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02B 5/20 - 5/28 G02F 1/1335 B41J 2/01 - 2/215

Claims (48)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 多数のフィルタエレメントを仕切るため
    の多数の枠が形成された光透過性の基板上の、前記各枠
    内の異なる位置に所定色の複数のインクを付与すること
    により各フィルタエレメントを着色してカラーフィルタ
    を製造するためのカラーフィルタの製造方法であって、インクの着弾時にフィルタエレメントと前記枠の双方に
    かかるようにインクを付与し、 前記フィルタエレメントと前記枠の双方にかかるように
    付与されるインクは同じフィルタエレメント内に付与さ
    れる他のインクに比してインク量が大きい ことを特徴と
    するカラーフィルタの製造方法。
  2. 【請求項2】 前記インクの吐出は、インクを吐出して
    着色を行なうインクジェットヘッドを用いて行なわれる
    ことを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルタの製
    造方法。
  3. 【請求項3】 前記インクジェットヘッドは、熱エネル
    ギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イン
    クに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギー
    発生体を備えていることを特徴とする請求項2に記載の
    カラーフィルタの製造方法。
  4. 【請求項4】 前記吐出されるインクの体積は、前記熱
    エネルギー発生体に加える駆動パルスを変化させること
    により制御されることを特徴とする請求項3に記載のカ
    ラーフィルタの製造方法。
  5. 【請求項5】 前記フイルタエレメントを複数種類の色
    に着色することを特徴とする請求項1に記載のカラーフ
    ィルタの製造方法。
  6. 【請求項6】 多数のフィルタエレメントを仕切るため
    の多数の枠が形成された光透過性の基板上の、前記各枠
    内に所定の色に着色されたインクを吐出することにより
    各フィルタエレメントを着色してカラーフィルタを製造
    するためのカラーフィルタの製造方法であって、 1個ずつのフィルタエレメントを着色するにあたり、各
    フィルタエレメントを仕切る前記枠内に複数のインクを
    ずらしながら重ねて吐出する場合、この重ねて吐出され
    るインクの重なり間隔を吐出の後半部において狭めるこ
    とを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
  7. 【請求項7】 前記インクの吐出は、インクを吐出して
    着色を行なうインクジェットヘッドを用いて行なわれる
    ことを特徴とする請求項6に記載のカラーフィルタの製
    造方法。
  8. 【請求項8】 前記インクジェットヘッドは、熱エネル
    ギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イン
    クに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギー
    発生体を備えていることを特徴とする請求項7に記載の
    カラーフィルタの製造方法。
  9. 【請求項9】 前記吐出されるインクの体積は、前記熱
    エネルギー発生体に加える駆動パルスを変化させること
    により制御されることを特徴とする請求項8に記載のカ
    ラーフィルタの製造方法。
  10. 【請求項10】 前記フイルタエレメントを複数種類の
    色に着色することを特徴とする請求項6に記載のカラー
    フィルタの製造方法。
  11. 【請求項11】 多数のフィルタエレメントを仕切るた
    めの多数の枠が形成された光透過性の基板上の、前記各
    枠内に所定の色に着色されたインクを吐出することによ
    り各フィルタエレメントを着色してカラーフィルタを製
    造するためのカラーフィルタの製造方法であって、 1個ずつのフィルタエレメントを着色するにあたり、各
    フィルタエレメントを仕切る前記枠内に複数のインクを
    ずらしながら重ねて吐出する場合、この重ねて吐出され
    るインクの量を、複数の吐出インク間で異ならせること
    を特徴とするカラーフィルタの製造方法。
  12. 【請求項12】 前記インクの吐出は、インクを吐出し
    て着色を行なうインクジェットヘッドを用いて行なわれ
    ることを特徴とする請求項11に記載のカラーフィルタ
    の製造方法。
  13. 【請求項13】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
    ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
    ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
    ー発生体を備えていることを特徴とする請求項12に記
    載のカラーフィルタの製造方法。
  14. 【請求項14】 前記吐出されるインクの体積は、前記
    熱エネルギー発生体に加える駆動パルスを変化させるこ
    とにより制御されることを特徴とする請求項13に記載
    のカラーフィルタの製造方法。
  15. 【請求項15】 前記フイルタエレメントを複数種類の
    色に着色することを特徴とする請求項11に記載のカラ
    ーフィルタの製造方法。
  16. 【請求項16】 多数のフィルタエレメントを仕切るた
    めの多数の枠が形成された光透過性の基板上の、前記各
    枠内の異なる位置に所定色の複数のインクを付与するこ
    とにより各フィルタエレメントを着色してカラーフィル
    タを製造するためのカラーフィルタの製造装置であっ
    て、 前記基板上に着色されたインクを吐出するための吐出手
    段と、 前記吐出手段と前記基板との相対位置を移動させるため
    の移動手段と、インクの着弾時にフィルタエレメントと前記枠の双方に
    かかるようにインクを付与し、前記フィルタエレメント
    と前記枠の双方にかかるように付与されるインクが同じ
    フィルタエレメント内に付与される他のインクに比して
    インク量が大きくなるように 制御する吐出制御手段とを
    具備することを特徴とするカラーフィルタの製造装置。
  17. 【請求項17】 前記吐出手段は、インクを吐出して着
    色を行なうインクジェットヘッドであることを特徴とす
    る請求項16に記載のカラーフィルタの製造装置。
  18. 【請求項18】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
    ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
    ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
    ー発生体を備えていることを特徴とする請求項17に記
    載のカラーフィルタの製造装置。
  19. 【請求項19】 前記インクジェットヘッドにより吐出
    されるインクの体積は、前記熱エネルギー発生体に加え
    る駆動パルスを変化させることにより制御されることを
    特徴とする請求項18に記載のカラーフィルタの製造装
    置。
  20. 【請求項20】 前記吐出されるインクの体積は、前記
    熱エネルギー発生体に加える駆動パルスの異なる複数の
    ヘッドを切り替えて使用することにより制御されること
    を特徴とする請求項19に記載のカラーフィルタの製造
    装置。
  21. 【請求項21】 多数のフィルタエレメントを仕切るた
    めの多数の枠が形成された光透過性の基板上の、前記各
    枠内に所定の色に着色されたインクを吐出することによ
    り各フィルタエレメントを着色してカラーフィルタを製
    造するためのカラーフィルタの製造装置であって、 前記基板上に着色されたインクを吐出するための吐出手
    段と、 前記吐出手段と前記基板との相対位置を移動させるため
    の移動手段と、 1個ずつのフィルタエレメントを着色するにあたり、各
    フィルタエレメントを仕切る前記枠内に複数のインクを
    ずらしながら重ねて吐出する場合、この重ねて吐出され
    るインクの重なり間隔を吐出の後半部において狭めるよ
    うに制御する吐出制御手段とを具備することを特徴とす
    るカラーフィルタの製造装置。
  22. 【請求項22】 前記吐出手段は、インクを吐出して着
    色を行なうインクジェットヘッドであることを特徴とす
    る請求項21に記載のカラーフィルタの製造装置。
  23. 【請求項23】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
    ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
    ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
    ー発生体を備えていることを特徴とする請求項22に記
    載のカラーフィルタの製造装置。
  24. 【請求項24】 多数のフィルタエレメントを仕切るた
    めの多数の枠が形成された光透過性の基板上の、前記各
    枠内に所定の色に着色されたインクを吐出することによ
    り各フィルタエレメントを着色してカラーフィルタを製
    造するためのカラーフィルタの製造装置であって、 前記基板上に着色されたインクを吐出するための吐出手
    段と、 該吐出手段と前記基板との相対位置を移動させるための
    移動手段と、 1個ずつのフィルタエレメントを着色するにあたり、各
    フィルタエレメントを仕切る前記枠内に複数のインクを
    ずらしながら重ねて吐出する場合、この重ねて吐出され
    るインクの量を、複数の吐出インク間で異ならせるよう
    に、前記移動手段と前記吐出手段とを制御する制御手段
    とを具備することを特徴とするカラーフィルタの製造装
    置。
  25. 【請求項25】 前記吐出手段は、インクを吐出して着
    色を行なうインクジェットヘッドであることを特徴とす
    る請求項24に記載のカラーフィルタの製造装置。
  26. 【請求項26】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
    ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
    ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
    ー発生体を備えていることを特徴とする請求項25に記
    載のカラーフィルタの製造装置。
  27. 【請求項27】 多数のフィルタエレメントを仕切るた
    めの多数の枠が形成された光透過性の基板とインクジェ
    ットヘッドを相対的に走査しながら前記基板上に複数の
    インクをずらしながら付与して、該インクジェットヘッ
    ドの走査方向に並ぶ複数の前記枠内及び枠外の部分を連
    続的に着色してカラーフィルタを製造するためのカラー
    フィルタの製造方法であって、インクの着弾時にフィルタエレメントと前記枠の双方に
    かかるようにインクを付与して、 前記走査方向に並ぶフ
    ィルタエレメントを着色し、 前記フィルタエレメントと前記枠の双方にかかるように
    付与されるインクは同じフィルタエレメント内に付与さ
    れる他のインクに比してインク量が大きい ことを特徴と
    するカラーフィルタの製造方法。
  28. 【請求項28】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
    ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
    ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
    ー発生体を備えていることを特徴とする請求項27に記
    載のカラーフィルタの製造方法。
  29. 【請求項29】 前記吐出されるインクの体積は、前記
    熱エネルギー発生体に加える駆動パルスを変化させるこ
    とにより制御されることを特徴とする請求項28に記載
    のカラーフィルタの製造方法。
  30. 【請求項30】 前記フイルタエレメントを複数種類の
    色に着色することを特徴とする請求項27に記載のカラ
    ーフィルタの製造方法。
  31. 【請求項31】 多数のフィルタエレメントを仕切るた
    めの多数の枠が形成された光透過性の基板とインクジェ
    ットヘッドを相対的に走査しながら前記基板上に複数の
    インクをずらしながら付与して、該インクジェットヘッ
    ドの走査方向に並ぶ複数の前記枠内及び枠外の部分を連
    続的に着色してカラーフィルタを製造するためのカラー
    フィルタの製造方法であって、 重ねて吐出されるインクの重なり間隔を走査の後半部に
    おいて狭めることを特徴とするカラーフィルタの製造方
    法。
  32. 【請求項32】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
    ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
    ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
    ー発生体を備えていることを特徴とする請求項31に記
    載のカラーフィルタの製造方法。
  33. 【請求項33】 前記吐出されるインクの体積は、前記
    熱エネルギー発生体に加える駆動パルスを変化させるこ
    とにより制御されることを特徴とする請求項32に記載
    のカラーフィルタの製造方法。
  34. 【請求項34】 前記フイルタエレメントを複数種類の
    色に着色することを特徴とする請求項31に記載のカラ
    ーフィルタの製造方法。
  35. 【請求項35】 多数のフィルタエレメントを仕切るた
    めの多数の枠が形成された光透過性の基板とインクジェ
    ットヘッドを相対的に走査しながら前記基板上に複数の
    インクをずらしながら付与して、該インクジェットヘッ
    ドの走査方向に並ぶ複数の前記枠内及び枠外の部分を連
    続的に着色してカラーフィルタを製造するためのカラー
    フィルタの製造方法であって、 重ねて吐出される吐出インクの量を、複数の吐出インク
    間で異ならせることを特徴とするカラーフィルタの製造
    方法。
  36. 【請求項36】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
    ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
    ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
    ー発生体を備えていることを特徴とする請求項35に記
    載のカラーフィルタの製造方法。
  37. 【請求項37】 前記吐出されるインクの体積は、前記
    熱エネルギー発生体に加える駆動パルスを変化させるこ
    とにより制御されることを特徴とする請求項36に記載
    のカラーフィルタの製造方法。
  38. 【請求項38】 前記フイルタエレメントを複数種類の
    色に着色することを特徴とする請求項35に記載のカラ
    ーフィルタの製造方法。
  39. 【請求項39】 多数のフィルタエレメントを仕切るた
    めの多数の枠が形成された光透過性の基板上とインクジ
    ェットヘッドを相対的に走査しながら前記基板上にイン
    クを複数のインクをずらしながら付与して、該インクジ
    ェットヘッドの走査方向に並ぶ複数の前記枠内及び枠外
    の部分を連続的に着色してカラーフィルタを製造するた
    めのカラーフィルタの製造装置であって、 前記インクジェットヘッドと前記基板との相対位置を移
    動させるための移動手段と、インクの着弾時にフィルタエレメントと前記枠の双方に
    かかるようにインクを付与し、前記フィルタエレメント
    と前記枠の双方にかかるように付与されるインクが同じ
    フィルタエレメント内に付与される他のインクに比して
    インク量が大きくなるように 制御する吐出制御手段とを
    具備することを特徴とするカラーフィルタの製造装置。
  40. 【請求項40】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
    ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
    ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
    ー発生体を備えていることを特徴とする請求項39に記
    載のカラーフィルタの製造装置。
  41. 【請求項41】 多数のフィルタエレメントを仕切るた
    めの多数の枠が形成された光透過性の基板とインクジェ
    ットヘッドを相対的に走査しながら前記基板上にインク
    複数のインクをずらしながら付与して、該インクジェ
    ットヘッドの走査方向に並ぶ複数の前記枠内及び枠外の
    部分を連続的に着色してカラーフィルタを製造するため
    のカラーフィルタの製造装置であって、 前記インクジェットヘッドと前記基板との相対位置を移
    動させるための移動手段と、 重ねて吐出されるインクの重なり間隔を前記走査の後半
    部において狭めるように制御する吐出制御手段とを具備
    することを特徴とするカラーフィルタの製造装置。
  42. 【請求項42】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
    ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
    ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
    ー発生体を備えていることを特徴とする請求項41に記
    載のカラーフィルタの製造装置。
  43. 【請求項43】 多数のフィルタエレメントを仕切るた
    めの多数の枠が形成された光透過性の基板とインクジェ
    ットヘッドを相対的に走査しながら前記基板上にインク
    を吐出して、該インクジェットヘッドの走査方向に並ぶ
    複数の前記枠内及び枠外の部分を連続的に着色してカラ
    ーフィルタを製造するためのカラーフィルタの製造装置
    であって、 前記インクジェットヘッドと前記基板との相対位置を移
    動させるための移動手段と、 重ねて吐出されるインクの量を、複数の吐出インク間で
    異ならせるように制御する吐出制御手段とを具備するこ
    とを特徴とするカラーフィルタの製造装置。
  44. 【請求項44】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
    ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
    ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
    ー発生体を備えていることを特徴とする請求項43に記
    載のカラーフィルタの製造装置。
  45. 【請求項45】 インクジェットヘッドと基板とを相対
    的に走査しながら、該基板上にインクを吐出して着色
    し、カラーフィルタを製造する方法であって、 前記基板上に位置し、少なくとも1つのフィルタエレメ
    ントを備える走査方向に延びるフィルタエレメント列内
    において、該フィルタエレメント列内の着色ムラを低減
    させるために、該フィルタエレメント列内の少なくとも
    走査の終端部分に対する前記インクジェットヘッドから
    のインクドットの吐出間隔同じフィルタエレメント列
    内の他の部分に対するインクドットの吐出間隔より密と
    することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
  46. 【請求項46】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
    ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
    ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
    ー発生体を備えていることを特徴とする請求項45に記
    載のカラーフィルタの製造方法。
  47. 【請求項47】 インクジェットヘッドと基板とを相対
    的に走査しながら、該基板上にインクを吐出して着色
    し、カラーフィルタを製造する場合に、前記基板上のフ
    ィルタエレメント列内の着色ムラを低減する方法であっ
    て、 前記基板上に位置し、少なくとも1つのフィルタエレメ
    ントを備える走査方向に延びるフィルタエレメント列内
    において、該フィルタエレメント列内の少なく とも走査
    の終端部分に対する前記インクジェットヘッドからのイ
    ンクドットの吐出間隔同じフィルタエレメント列内の
    他の部分に対するインクドットの吐出間隔より密とする
    ことを特徴とするカラーフィルタのフィルタエレメント
    列内の着色ムラを低減する方法。
  48. 【請求項48】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
    ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
    ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
    ー発生体を備えていることを特徴とする請求項47に記
    載のカラーフィルタのフィルタエレメント列内の着色ム
    ラを低減する方法。
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KR1019960009967A KR100230216B1 (ko) 1995-03-31 1996-03-30 컬러 필터, 및 이의 제조 방법과 제조 장치, 및 컬러 필터를 사용하는 디스플레이 장치, 및 착색 상태 균일화 방법

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200479256Y1 (ko) * 2015-08-17 2016-01-13 정광현 장식화면이 구비된 액자

Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB9813326D0 (en) * 1998-06-19 1998-08-19 Cambridge Display Tech Ltd Backlit displays
JP2000251666A (ja) 1999-02-24 2000-09-14 Canon Inc 電子源基板、電子源基板の製造装置、製造方法及び画像形成装置
JP4048687B2 (ja) * 2000-04-07 2008-02-20 セイコーエプソン株式会社 有機el素子および有機el素子の製造方法
JP3966293B2 (ja) * 2003-03-11 2007-08-29 セイコーエプソン株式会社 パターンの形成方法及びデバイスの製造方法
JP3788467B2 (ja) 2003-05-28 2006-06-21 セイコーエプソン株式会社 パターン形成方法、デバイス及びデバイスの製造方法、電気光学装置、電子機器並びにアクティブマトリクス基板の製造方法
JP4627618B2 (ja) * 2003-06-09 2011-02-09 芝浦メカトロニクス株式会社 成膜方法及び成膜装置
JP4407225B2 (ja) * 2003-10-07 2010-02-03 セイコーエプソン株式会社 描画方法
JP2005221848A (ja) * 2004-02-06 2005-08-18 Seiko Epson Corp 膜形成方法、電気光学装置および電子機器
US7011261B2 (en) * 2004-07-20 2006-03-14 Chen Yu Machinery Industry Co., Ltd. Cutting tool of a cutting machine used for cutting plastic materials into granules
JP4561226B2 (ja) * 2004-08-06 2010-10-13 セイコーエプソン株式会社 カラーフィルタの成膜方法
JP4389747B2 (ja) * 2004-10-12 2009-12-24 セイコーエプソン株式会社 パターン形成方法および配線形成方法
JP4046115B2 (ja) * 2004-11-01 2008-02-13 セイコーエプソン株式会社 デバイスの製造方法、電気光学装置、電子機器
US7625063B2 (en) * 2004-11-04 2009-12-01 Applied Materials, Inc. Apparatus and methods for an inkjet head support having an inkjet head capable of independent lateral movement
US20070042113A1 (en) * 2004-11-04 2007-02-22 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for inkjet printing color filters for displays using pattern data
US20060109296A1 (en) * 2004-11-04 2006-05-25 Bassam Shamoun Methods and apparatus for inkjet printing color filters for displays
JP2006138911A (ja) * 2004-11-10 2006-06-01 Dainippon Screen Mfg Co Ltd パターン形成方法およびパターン形成装置
JP4371997B2 (ja) * 2004-12-22 2009-11-25 シャープ株式会社 表示装置用基板及びその製造方法
US7923057B2 (en) * 2006-02-07 2011-04-12 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for reducing irregularities in color filters
CN100385268C (zh) * 2006-06-08 2008-04-30 上海欧菲尔光电技术有限公司 微型集成窄带滤光片阵列及其制备方法
WO2008013902A2 (en) * 2006-07-28 2008-01-31 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for improved manufacturing of color filters
JP4437805B2 (ja) * 2006-09-13 2010-03-24 シャープ株式会社 インク吐出装置及びインク吐出制御方法
KR100878763B1 (ko) * 2007-05-09 2009-01-14 삼성전자주식회사 잉크 방울의 체적 측정 방법 및 이를 이용한 잉크젯 헤드의노즐 제어 방법
TWI356938B (en) 2007-07-31 2012-01-21 Au Optronics Corp Liquid crystal display panel, ink-jetting apparatu
JP5483850B2 (ja) * 2008-09-25 2014-05-07 富士フイルム株式会社 インクジェット記録装置及びインクジェット記録方法
JP4673417B2 (ja) * 2009-04-06 2011-04-20 芝浦メカトロニクス株式会社 成膜方法及び成膜装置
JP6397243B2 (ja) 2014-07-22 2018-09-26 キヤノン株式会社 表示装置、制御方法、及びプログラム

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA1127227A (en) 1977-10-03 1982-07-06 Ichiro Endo Liquid jet recording process and apparatus therefor
JPS5936879B2 (ja) 1977-10-14 1984-09-06 キヤノン株式会社 熱転写記録用媒体
US4330787A (en) 1978-10-31 1982-05-18 Canon Kabushiki Kaisha Liquid jet recording device
US4345262A (en) 1979-02-19 1982-08-17 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet recording method
US4463359A (en) 1979-04-02 1984-07-31 Canon Kabushiki Kaisha Droplet generating method and apparatus thereof
US4313124A (en) 1979-05-18 1982-01-26 Canon Kabushiki Kaisha Liquid jet recording process and liquid jet recording head
JPS57100580A (en) * 1980-12-15 1982-06-22 Fuji Photo Film Co Ltd Ink jet printer
JPS57197191A (en) * 1981-05-30 1982-12-03 Fuji Photo Film Co Ltd Ink jet color print system
US4558333A (en) 1981-07-09 1985-12-10 Canon Kabushiki Kaisha Liquid jet recording head
JPS5975205A (ja) 1982-10-25 1984-04-27 Seiko Epson Corp カラ−フイルタの製造方法
JPS59123670A (ja) 1982-12-28 1984-07-17 Canon Inc インクジエツトヘツド
JPS59138461A (ja) 1983-01-28 1984-08-08 Canon Inc 液体噴射記録装置
JPS6071260A (ja) 1983-09-28 1985-04-23 Erumu:Kk 記録装置
DE3687977T2 (de) * 1985-11-28 1993-08-05 Nissha Printing Farbfilter hoechster genauigkeit mit ausgezeichneten eigenschaften und dessen herstellung.
JPS63235901A (ja) 1987-03-24 1988-09-30 Fujitsu Ltd カラ−フイルタの形成方法
JP2692833B2 (ja) 1988-02-25 1997-12-17 株式会社東芝 液晶セルの製造方法
JP2597626B2 (ja) * 1988-02-26 1997-04-09 株式会社東芝 カラーフィルター基板、カラーフィルター基板の製造方法およびカラーフィルター基板を用いた液晶表示装置
JP2786234B2 (ja) * 1989-03-10 1998-08-13 キヤノン株式会社 インクジェット記録装置およびインクジェット記録方法
JPH03287103A (ja) * 1990-04-02 1991-12-17 Seiko Epson Corp カラーフィルターの形成法
EP0461759B1 (en) 1990-05-11 1995-09-13 Canon Kabushiki Kaisha Recording apparatus for performing recording using recording head
JPH04261503A (ja) 1991-02-15 1992-09-17 Kyodo Printing Co Ltd カラーフィルタの製造方法
JPH05203966A (ja) * 1992-01-29 1993-08-13 Seiko Instr Inc カラー液晶電気光学装置
JP3332515B2 (ja) 1993-11-24 2002-10-07 キヤノン株式会社 カラーフィルタ、その製造方法及び液晶パネル
JP2952172B2 (ja) 1994-01-28 1999-09-20 キヤノン株式会社 カラーフィルタの製造方法及び液晶パネルの製造方法
JP2839133B2 (ja) 1994-03-31 1998-12-16 キヤノン株式会社 カラーフィルタの製造方法及び製造装置及び液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置を備えた装置の製造方法
JP2839134B2 (ja) 1994-05-20 1998-12-16 キヤノン株式会社 カラーフィルタの製造方法及び液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置を備えた装置の製造方法及びカラーフィルタの隣接する着色部間の混色の低減方法
JP3372671B2 (ja) 1994-09-14 2003-02-04 キヤノン株式会社 カラーフィルタの製造方法及び製造装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200479256Y1 (ko) * 2015-08-17 2016-01-13 정광현 장식화면이 구비된 액자

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