JP3059678B2 - カラーフィルタの製造方法及び製造装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットヘ
ッドにより基板に向けてインクを吐出してカラーフィル
タの各画素を着色することによりカラーフィルタを製造
するためのカラーフィルタの製造方法及び製造装置及び
カラーフィルタ及びカラーフィルタ基板及び表示装置及
びこの表示装置を備えた装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に液晶表示装置は、パーソナルコン
ピュータ、ワードプロセッサ、パチンコ遊技台、自動車
ナビゲーションシステム、小型テレビ等に搭載され、近
年需要が増大している。しかしながら、液晶表示装置は
価格が高く、液晶表示装置のコストダウンに対する要求
は年々強まっている。

【０００３】液晶表示装置を構成するカラーフィルタ
は、透明基板上に赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）などの
各画素を配列して構成され、さらにこれらの各画素の周
囲には表示コントラストを高めるために、光遮蔽するた
めのブラックマトリクスが設けられている。

【０００４】カラーフィルタの着色画素部分は、染色
法、顔料分散法、電着法等によって形成されている。

【０００５】また、カラーフィルタのコストダウンに対
する要求から、印刷法またはインクジェット法で画素を
形成する方法が提案されている。しかし、印刷法におい
ては、印刷版から転写と乾燥の工程をＲ，Ｇ，Ｂの各画
素毎に３回繰り返して着色画素部を形成するため、歩留
まりが低下するという問題があった。

【０００６】一方、インクジェット法に関しては、例え
ば特開昭５９−７５２０５号では、Ｒ，Ｇ，Ｂの３色の
色素を含有する着色液を基板上に、インクジェット方式
で噴射し、各着色液を乾燥させて着色画像部を形成する
ことが提案されている。こうしたインクジェット方式で
は、Ｒ，Ｇ，Ｂの各画素の形成を一度にすることが可能
で大幅な製造工程の簡略化と、大幅なコストダウン効果
を得ることができる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、インク
ジェット方式の場合、ヘッドが偶発的もしくはインクの
焦げつきなどによって吐出不可能になってしまう場合が
あり、この様な場合、迅速にヘッドの交換もしくはクリ
ーニング等で生産工程を正常に復帰させる必要がある
が、その際に、発生した不良基板は従来、全て破棄する
しか方法がなく、もしくは、多面取り基板であれば、部
分的破棄を行うしか方法がない。

【０００８】さらに近年、生産の効率化のため、基板も
大型化し、３００ｍｍ×２００ｍｍから３６０ｍｍ×４
６０ｍｍさらに５５０ｍｍ×６５０ｍｍといった１０イ
ンチサイズ２面取り、４面取り、６面取り等が主流にな
ってきている。そのため、従来技術のように、たとえ着
色前にヘッドの異常検出を行ったとしても、１枚目の途
中で不吐出等の異常が発生した場合、残りの５枚も全て
不良品となってしまい、欠陥カラーフィルタの製作によ
る歩留まりの低下がおこり、インクジェット法のコスト
メリットを充分にいかすことができないという問題点が
あった。

【０００９】また、上記のようにヘッドが不吐出をおこ
さないまでも、ヘッドをある時間休止させた後に再び吐
出を開始した場合、吐出開始の直後においては、吐出さ
れるインクの量が不安定になり、カラーフィルタのよう
な高精細なパターンを着色しようとすると、インクの量
が多すぎて隣の画素との混色が発生したり、インクの量
が少なくて所望の画素を着色できずに白ぬけが発生した
りするという問題点もある。

【００１０】従って、本発明は上述した課題に鑑みてな
されたものであり、その第１の目的はヘッドの異常を迅
速に検出し、不良品の削減を図ることが出来るカラーフ
ィルタの製造方法及び製造装置を提供することである。

【００１１】また、本発明の第２の目的は、インクジェ
ットヘッドの吐出状態を常に安定させた状態で各画素を
着色することが出来るカラーフィルタの製造方法及び製
造装置を提供することである。

【００１２】

【００１３】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するために、本発明に係わるカラーフィルタ
の製造方法は、インクジェットヘッドにより基板に向け
てインクを吐出してカラーフィルタの各画素を着色する
ことによりカラーフィルタを製造する方法であって、カ
ラーフィルタとして機能する有効画素部内の少なくとも
最初の画素の着色前に、同一基板上の前記有効画素部以
外の領域にインクを吐出し、該吐出したインクの着色結
果に基づき、前記インクジェットヘッドの吐出不良の検
出を行うことを特徴としている。

【００１４】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造方法は、インクジェットヘッドにより基板に向けてイ
ンクを吐出してカラーフィルタの各画素を着色すること
によりカラーフィルタとして機能する有効画素部を有す
るカラーフィルタを製造する方法であって、一枚の前記
基板上に複数枚のカラーフィルタを形成する場合、夫々
のカラーフィルタの有効画素部内の画素の着色前に、同
一基板上の前記有効画素部以外の領域にインクを吐出
し、該吐出したインクの着色結果に基づき、前記インク
ジェットヘッドの吐出不良の検出を行うことを特徴とし
ている。

【００１５】

【００１６】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクジェットヘッドの吐出不
良の検出は、１枚のカラーフィルタの着色完了後、次の
カラーフィルタの着色前に行うことを特徴としている。

【００１７】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクジェットヘッドの吐出不
良の検出は、画像処理により行うことを特徴としてい
る。

【００１８】

【００１９】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクジェットヘッドの吐出不
良の検出は、前記有効画素部以外の領域に吐出されたイ
ンクにより形成した着色部の光の反射率を検出すること
により行うことを特徴としている。

【００２０】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクジェットヘッドの吐出不
良の検出は、前記有効画素部以外の領域に吐出されたイ
ンクにより形成した着色部の光の透過率を検出すること
により行うことを特徴としている。

【００２１】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えることを特徴としている。

【００２２】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造装置は、インクジェットヘッドにより基板上にインク
を吐出してカラーフィルタの各画素を着色することによ
りカラーフィルタとして機能する有効画素部を有するカ
ラーフィルタを製造する装置であって、インクジェット
ヘッドと、該インクジェットヘッドに対して前記基板を
相対的に移動させるためのステージと、一枚の基板上に
複数枚のカラーフィルタを形成するにあたり、夫々のカ
ラーフィルタの有効画素部内の画素の着色前に、同一基
板上の前記有効画素部以外の領域にインクを吐出し、該
吐出したインクの着色結果に基づき、前記インクジェッ
トヘッドの吐出不良の検出を行う検出手段とを具備する
ことを特徴としている。

【００２３】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えることを特徴としている。

【００２４】

【００２５】

【００２６】

【００２７】

【００２８】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造方法は、インクジェットヘッドにより基板に向けてイ
ンクを吐出してカラーフィルタの各画素を着色すること
によりカラーフィルタとして機能する有効画素部を有す
るカラーフィルタを製造する方法であって、前記カラー
フィルタの有効画素部内の画素の着色の前に、前記イン
クジェットヘッドからの予備吐出を前記基板上に行うこ
とを特徴としている。

【００２９】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記カラーフィルタの有効画素部内
の画素の着色工程に連続する前工程で前記インクジェッ
トヘッドの予備吐出を前記基板上に行うことを特徴とし
ている。

【００３０】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクジェットヘッドは着色に
使用するノズルと、前記着色に使用するノズルに不吐出
が生じたときに使用される予備のノズルとを備え、前記
予備吐出は、前記着色に使用するノズルと前記予備のノ
ズルからインクを吐出することにより行うことを特徴と
している。

【００３１】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記予備吐出は、前記基板上に形成
されたインクを吸収するインク受容層上にインクを吐出
して行うことを特徴としている。

【００３２】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記予備吐出によりインクが着弾し
た位置と、前記カラーフィルタの画素の位置とを検出
し、それらにズレがあった場合には前記インクジェット
ヘッドの位置調整を行うことを特徴としている。

【００３３】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記予備吐出は、前記基板上の、イ
ンクを吸収するインク受容層が形成されていない部位に
インクを吐出して行い、後に前記予備吐出により吐出さ
れたインクを前記基板上から洗い流すことを特徴として
いる。

【００３４】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記予備吐出を、カラーフィルタの
画素の形成領域の両側に行うことを特徴としている。

【００３５】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造装置は、インクジェットヘッドにより基板に向けてイ
ンクを吐出してカラーフィルタの各画素を着色すること
によりカラーフィルタとして機能する有効画素部を有す
るカラーフィルタを製造するための装置であって、イン
クジェットヘッドと、該インクジェットヘッドに対して
前記基板を相対的に移動させるためのステージと、前記
カラーフィルタの有効画素部内の画素の着色の前に、前
記インクジェットヘッドからの予備吐出を前記基板上に
行うように前記インクジェットヘッドと前記ステージと
を制御する制御手段とを具備することを特徴としてい
る。

【００３６】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記予備吐出によりインクが着弾し
た位置と、前記カラーフィルタの画素の位置とを検出す
る検出手段を更に具備し、前記制御手段は、前記インク
が着弾した位置と前記画素の位置にズレがあった場合に
は前記インクジェットヘッドの位置調整を行うことを特
徴としている。

【００３７】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記制御手段は、前記予備吐出を、
カラーフィルタの画素の形成領域の両側に行うように制
御することを特徴としている。

【００３８】

【００３９】

【００４０】

【００４１】

【００４２】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造方法は、複数のインク吐出ノズルを有するインクジェ
ットヘッドから基板に向けてインクを吐出してカラーフ
ィルタの各画素を着色することによりカラーフィルタを
製造する方法であって、カラーフィルタとして機能する
画素の形成領域外に、前記インクジェットヘッドからイ
ンクの吐出を行う吐出工程と、該吐出工程による着色結
果に基づき着色不良があるか否かを検出する検出工程
と、該検出工程において着色不良があった場合に、イン
クジェットヘッドの位置を調整する位置調整工程とを具
備し、前記複数のインク吐出ノズルは着色に使用するノ
ズルと予備のノズルとを備え、前記着色不良が、前記着
色に使用するノズルのインクの不吐出であった場合に
は、前記位置調整工程において、前記着色に使用するノ
ズルを予備のノズルに置き換えてインクの吐出を行うべ
く前記予備のノズルを各画素に対応する位置に移動する
ことを特徴としている。

【００４３】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造方法は、複数のインク吐出ノズルを有するインクジェ
ットヘッドから基板に向けてインクを吐出してカラーフ
ィルタの各画素を着色することによりカラーフィルタを
製造する方法であって、カラーフィルタとして機能する
画素の形成領域外に、前記インクジェットヘッドからイ
ンクの吐出を行う吐出工程と、該吐出工程による着色結
果に基づき着色不良があるか否かを検出する検出工程
と、該検出工程において着色不良があった場合に、イン
クジェットヘッドの位置を調整する位置調整工程とを具
備し、前記着色不良が、吐出したインクの位置ずれであ
った場合には、前記位置調整工程において、前記インク
ジェットヘッドを前記位置ずれが生じない位置に移動す
ることを特徴としている。

【００４４】

【００４５】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造装置は、インクジェットヘッドから基板に向けてイン
クを吐出してカラーフィルタの各画素を着色することに
よりカラーフィルタを製造する装置であって、複数のイ
ンク吐出ノズルを有するインクジェットヘッドと、該イ
ンクジェットヘッドによりカラーフィルタの画素の形成
領域外に、前記インクジェットヘッドからインクの吐出
を行って形成されたインクドットを検出し、着色不良を
検出する検出手段と、該検出手段により着色不良が検出
された場合に、インクジェットヘッドの位置を調整する
位置調整手段とを具備し、前記複数のインク吐出ノズル
は着色に使用するノズルと予備のノズルとを備え、前記
着色不良が、前記着色に使用するノズルのインクの不吐
出であった場合には、前記位置調整手段により、前記着
色に使用するノズルを予備のノズルに置き換えてインク
の吐出を行うべく予備のノズルを各画素に対応する位置
に移動することを特徴としている。

【００４６】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造装置は、インクジェットヘッドから基板に向けてイン
クを吐出してカラーフィルタの各画素を着色することに
よりカラーフィルタを製造する装置であって、複数のイ
ンク吐出ノズルを有するインクジェットヘッドと、該イ
ンクジェットヘッドによりカラーフィルタの画素の形成
領域外に、前記インクジェットヘッドからインクの吐出
を行って形成されたインクドットを検出し、着色不良を
検出する検出手段と、該検出手段により着色不良が検出
された場合に、インクジェットヘッドの位置を調整する
位置調整手段とを具備し、前記着色不良が、吐出したイ
ンクの位置ずれであった場合には、前記位置調整手段に
より、前記インクジェットヘッドを前記位置ずれが生じ
ない位置に移動することを特徴としている。

【００４７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施形態に
ついて、添付図面を参照して詳細に説明する。 （第１の実施形態）図１はカラーフィルタの製造装置の
第１の実施形態の構成を示す概略図である。

【００４８】図１において、５１は装置架台、５２は架
台５１上に配置されたＸＹθステージ、５３はＸＹθス
テージ５２上にセットされたカラーフィルタ基板、５４
はカラーフィルタ基板５３上に形成されるカラーフィル
タ、５５はカラーフィルタ５４の着色を行うＲ（赤）,
Ｇ（緑）,Ｂ（青）のインクジェットヘッド、５６は各
ヘッドの不吐出を検出するためのラインセンサを組み込
んだテレビカメラ、５７はテレビカメラ５６により取り
込んだデータを処理し、不吐出の有無を検査する画像処
理装置、５８はカラーフィルタ製造装置９０の全体動作
を制御するコントローラ、５９はコントローラの表示部
であるところのティーチングペンダント（パソコン）、
６０は５９の操作部であるところのキーボードを示して
いる。

【００４９】図２はカラーフィルタ製造装置９０の制御
コントローラの構成図である。５９は制御コントローラ
５８の入出力手段であるティーチングペンダント、６２
は製造の進行状況及びヘッドの異常の有無等の情報を表
示する表示部、６０はカラーフィルタ製造装置９０の動
作等を指示する操作部（キーボード）である。

【００５０】５８はカラーフィルタ製造装置９０の全体
動作を制御するところのコントローラ、６５はティーチ
ングペンダント５９とのデータの受け渡しを行うインタ
フェース、６６はカラーフィルタ製造装置９０の制御を
行うＣＰＵ、６７はＣＰＵ６６を動作させるための制御
プログラムを記憶しているＲＯＭ、６８は異常情報等を
記憶するＲＡＭ、５７はテレビカメラ５６に接続され、
着色ヘッド５５の不吐出の検出を行う異常検出装置（例
えば画像処理装置）、７０はカラーフィルタの各画素内
へのインクの吐出を制御する吐出制御部、７１はカラー
フィルタ製造装置９０のＸＹθステージ５２の動作を制
御するステージ制御部、９０はコントローラ５８に接続
され、その指示に従って動作するカラーフィルタ製造装
置を示している。

【００５１】次に、図３は、上記のカラーフィルタ製造
装置９０に使用されるインクジェットヘッド５５の構造
を示す図である。図１においては、インクジェットヘッ
ドはＲ,Ｇ,Ｂの３色に対応して３個設けられているが、
これらの３個のヘッドは夫々同一の構造であるので、図
３にはこれらの３個のヘッドのうちの１つの構造を代表
して示している。

【００５２】図３において、インクジェットヘッド５５
は、インクを加熱するための複数のヒータ１０２が形成
された基板であるヒータボード１０４と、このヒータボ
ード１０４の上にかぶせられる天板１０６とから概略構
成されている。天板１０６には、複数の吐出口１０８が
形成されており、吐出口１０８の後方には、この吐出口
１０８に連通するトンネル状の液路１１０が形成されて
いる。各液路１１０は、隔壁１１２により隣の液路と隔
絶されている。各液路１１０は、その後方において１つ
のインク液室１１４に共通に接続されており、インク液
室１１４には、インク供給口１１６を介してインクが供
給され、このインクはインク液室１１４から夫々の液路
１１０に供給される。

【００５３】ヒータボード１０４と、天板１０６とは、
各液路１１０に対応した位置に各ヒータ１０２が来る様
に位置合わせされて図３の様な状態に組み立てられる。
図３においては、２つのヒータ１０２しか示されていな
いが、ヒータ１０２は、夫々の液路１１０に対応して１
つずつ配置されている。そして、図３の様に組み立てら
れた状態で、ヒータ１０２に所定の駆動パルスを供給す
ると、ヒータ１０２上のインクが沸騰して気泡を形成
し、この気泡の体積膨張によりインクが吐出口１０８か
ら押し出されて吐出される。従って、ヒータ１０２に加
える駆動パルスを制御、例えば電力の大きさを制御する
ことにより気泡の大きさを調整することが可能であり、
吐出口から吐出されるインクの体積を自在にコントロー
ルすることができる。

【００５４】次に、図４はカラーフィルタの製造工程を
示した図である。図４を参照してカラーフィルタ５３の
製造工程を説明する。

【００５５】本発明のカラーフィルタにおいては、基板
として透光性の基板が好ましく、一般にガラス基板が用
いられるが、液晶用カラーフィルタとしての透明性、機
械的強度等の必要特性を有するものであればガラス基板
に限定されるものではない。

【００５６】図４（ａ）は、光透過部９と遮光部１０を
構成するブラックマトリックス２を備えたガラス基板１
を示す。まず、ブラックマトリックス２の形成された基
板１上に、それ自身はインク受容性に乏しいが、ある条
件下（例えば光照射、または光照射と加熱）で親インク
化されると共に、ある条件下で硬化する特性を有する樹
脂組成物を塗布し、必要に応じてプリベークを行って樹
脂組成物層３を形成する（図４（ｂ））。樹脂組成物層
３の形成には、スピンコート、ロールコート、バーコー
ト、スプレーコート、ディップコート等の塗布方法を用
いることができ、特に限定されるものではない。

【００５７】次に、フォトマスク４を使用して光透過部
９上の樹脂層に予めパターン露光を行うことにより樹脂
層を一部親インク化させて（図４（ｃ））、樹脂組成物
層３に親インク化された部分６と親インク化されていな
い部分５を形成する（図４（ｄ））。

【００５８】その後インクジェット方式によりＲ
（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）の各色インクを樹脂組成物
層３に吐出して一度に着色し（図４（ｅ））、必要に応
じてインクの乾燥を行う。インクジェット方式として
は、熱エネルギーによる方式あるいは機械エネルギーに
よる方式が挙げられるが、いずれの方式も好適に用いる
ことができる。使用するインクとしては、インクジェッ
ト用として用いることができるものであれば特に限られ
るものではなく、インクの着色材としては、各種染料あ
るいは顔料のなかから、Ｒ，Ｇ，Ｂの各画素に要求され
る透過スペクトルに適合したものが適宜選択される。

【００５９】次いで、光照射または光照射と加熱処理を
行って着色された樹脂組成物層３を硬化させ、必要に応
じて保護層８を形成する（図４（ｆ））。この樹脂組成
物層３を硬化させるには先の親インク化処理における条
件とは異なる条件、例えば光照射における露光量を大き
くするか、加熱条件を厳しくするか、もしくは光照射と
加熱処理を併用する等の方法が採用できる。

【００６０】次に、図５は、カラーフィルタの製造工程
の他の例を示した図である。

【００６１】図５（ａ）は、光透過部７と遮光部である
ブラックマトリクス２を備えたガラス基板１を示す。ま
ず、ブラックマトリクス２の形成された基板１上に光照
射又は光照射と加熱により硬化可能であり且つインク受
容性を有する樹脂組成物を塗布し、必要に応じてプリベ
ークを行って樹脂層３’を形成する（図５（ｂ））。樹
脂層３’の形成には、スピンコート、ロールコート、バ
ーコート、スプレーコート、ディップコート等の塗布方
法を用いることができ、特に限定されるものではない。

【００６２】次に、ブラックマトリクス２により遮光さ
れる部分の樹脂層をフォトマスク４’を使用して予めパ
ターン露光を行うことにより樹脂層の一部を硬化させて
インクを吸収しない部位５’（非着色部位）を形成し
（図５（ｃ））、その後インクジェットヘッドを用いて
Ｒ、Ｇ、Ｂの各色を一度に着色し（図５（ｄ））、必要
に応じてインクの乾燥を行う。

【００６３】パターン露光の際に使用されるフォトマス
ク４’としては、ブラックマトリクスによる遮光部分を
硬化させるための開口部を有するものを使用する。この
際、ブラックマトリクスに接する部分での着色剤の色抜
けを防止するために、比較的多くのインクを付与するこ
とが必要である。そのためにブラックマトリクスの（遮
光）幅よりも狭い開口部を有するマスクを用いることが
好ましい。

【００６４】着色に用いるインクとしては、色素系、顔
料系共に用いることが可能であり、また液状インク、ソ
リッドインク共に使用可能である。

【００６５】本発明で使用する硬化可能な樹脂組成物と
しては、インク受容性を有し、且つ光照射又は光照射と
加熱の少なくとも一方の処理により硬化し得るものであ
ればいずれでも使用可能であり、樹脂としては例えばア
クリル系樹脂、エポキシ樹脂、シリコン樹脂、ヒドロキ
シプロピルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、
メチルセルロース、カルボキシメチルセルロースなどの
セルロース誘導体あるいはその変性物等が挙げられる。

【００６６】これらの樹脂を光あるいは光と熱により架
橋反応を進行させるために光開始剤（架橋剤）を用いる
ことも可能である。光開始剤としては、重クロム酸塩、
ビスアジド化合物、ラジカル系開始剤、カチオン系開始
剤、アニオン系開始剤等が使用可能である。またこれら
の光開始剤を混合して、あるいは他の増感剤と組み合わ
せて使用することもできる。更にオニウム塩などの光酸
発生剤を架橋剤として併用することも可能である。な
お、架橋反応をより進行させるために光照射の後に熱処
理を施してもよい。

【００６７】これらの組成物を含む樹脂層は、非常に耐
熱性、耐水性等に優れており、後工程における高温ある
いは洗浄工程に十分耐え得るものである。

【００６８】本発明で使用するインクジェット方式とし
ては、エネルギー発生素子として電気熱変換体を用いた
バブルジェットタイプ、あるいは圧電素子を用いたピエ
ゾジェットタイプ等が使用可能であり、着色面積及び着
色パターンは任意に設定することができる。

【００６９】また、本例では基板上にブラックマトリク
スが形成された例を示しているが、ブラックマトリクス
は、硬化可能な樹脂組成物層を形成後、あるいは着色後
に樹脂層上に形成されたものであっても特に問題はな
く、その形態は本例に限定されるものではない。また、
その形成方法としては、基板上にスパッタもしくは蒸着
により金属薄膜を形成し、フォトリソ工程によりパター
ニングすることが好ましいが、これに限定されるもので
はない。

【００７０】次いで光照射のみ、熱処理のみ、又は光り
照射及び熱処理を行って硬化可能な樹脂組成物を硬化さ
せ（図５（ｅ））、必要に応じて保護層８を形成（図５
（ｆ）する。なお、図中ｈνは光の強度を示し、熱処理
の場合は、ｈνの光の代わりに熱を加える。保護層８と
しては、光硬化タイプ、熱硬化タイプあるいは光熱併用
タイプの第２の樹脂組成物を用いて形成するか、あるい
は無機材料を用いて蒸着またはスパッタによって形成す
ることができ、カラーフィルタとした場合の透明性を有
し、その後のＩＴＯ形成プロセス、配向膜形成プロセス
等に十分耐えうるものであれば使用可能である。

【００７１】図６は上記のカラーフィルタを組み込んだ
カラー液晶表示装置３０の基本構成を示す断面図であ
る。

【００７２】１１は偏光板、１はガラスなどの透明基
板、２はブラックマトリックス、３は樹脂組成物層、８
は保護層、１６は共通電極、１７は配向膜、１８は液晶
化合物、１９は配向膜、２０は画素電極、２１はガラス
基板、２２は偏光板、２３はバックライト光である。５
３は上記のカラーフィルタ、２４は対向基板である。

【００７３】カラー液晶表示装置３０は、カラーフィル
タ５３と対向基板２４をあわせ込み、液晶化合物１８が
封入されていて、カラーフィルタ５３に対向する基板２
１の内側に透明な画素電極２０がマトリックス状に形成
されている。カラーフィルタ５３は、画素電極２０の位
置にＲ，Ｇ，Ｂの画素が配列するように配置されてい
る。

【００７４】さらに、両基板の内側には配向膜１７が形
成されており、これをラビング処理することによって液
晶分子を一定方向に配列させることができる。また、そ
れぞれの基板の外側には偏光板１１，２２が接着されて
おり、液晶化合物は、これらの基板の隙間に充填され
る。また、バックライトとしては、蛍光灯と散乱板の組
み合わせ（両者とも不図示）が一般的に用いられてお
り、液晶化合物１８をバックライト光２３の透過率を変
化させる光シャッタとして機能させることにより表示を
行う。

【００７５】このような液晶表示装置を情報処理装置に
適用した場合の例を図７乃至図９を参照して説明する。

【００７６】図７は上記の液晶表示装置をワードプロセ
ッサ、パーソナルコンピュータ、ファクシミリ装置、複
写装置としての機能を有する情報処理装置に適用した場
合の概略構成を示すブロック図である。

【００７７】図中、１８０１は装置全体の制御を行う制
御部で、マイクロプロセッサ等のＣＰＵや各種Ｉ／Ｏポ
ートを備え、各部に制御信号やデータ信号等を出力した
り、各部よりの制御信号やデータ信号を入力して制御を
行っている。１８０２はディスプレイ部で、この表示画
面には各種メニューや文書情報及びイメージリーダ１８
０７で読み取ったイメージデータ等が表示される。１８
０３はディスプレイ部１８０２上に設けられた透明な感
圧式のタッチパネルで、指等によりその表面を押圧する
ことにより、ディスプレイ部１８０２上での項目入力や
座標位置入力等を行うことができる。

【００７８】１８０４はＦＭ(Frequency Modulation)音
源部で、音楽エディタ等で作成された音楽情報をメモリ
部１８１０や外部記憶装置１８１２にデジタルデータと
して記憶しておき、それらメモリ等から読み出してＦＭ
変調を行うものである。ＦＭ音源部１８０４からの電気
信号はスピーカ部１８０５により可聴音に変換される。
プリンタ部１８０６はワードプロセッサ、パーソナルコ
ンピュータ、ファクシミリ装置、複写装置の出力端末と
して用いられる。

【００７９】１８０７は原稿データを光電的に読取って
入力するイメージリーダ部で、原稿の搬送経路中に設け
られており、ファクシミリ原稿や複写原稿の他各種原稿
の読取りを行う。

【００８０】１８０８はイメージリーダ部１８０７で読
取った原稿データのファクシミリ送信や、送られてきた
ファクシミリ信号を受信して復号するファクシミリ（Ｆ
ＡＸ）の送受信部であり、外部とのインタフェース機能
を有する。１８０９は通常の電話機能や留守番電話機能
等の各種電話機能を有する電話部である。

【００８１】１８１０はシステムプログラムやマネージ
ャープログラム及びその他のアプリケーションプログラ
ム等や文字フォント及び辞書等を記憶するＲＯＭや、外
部記憶装置１８１２からロードされたアプリケーション
プログラムや文書情報、さらにはビデオＲＡＭ等を含む
メモリ部である。

【００８２】１８１１は文書情報や各種コマンド等を入
力するキーボード部である。

【００８３】１８１２はフロッピーディスクやハードデ
ィスク等を記憶媒体とする外部記憶装置で、この外部記
憶装置１８１２には文書情報や音楽あるいは音声情報、
ユーザのアプリケーションプログラム等が格納される。

【００８４】図８は図７に示す情報処理装置の模式的概
観図である。

【００８５】図中、１９０１は上記の液晶表示装置を利
用したフラットパネルディスプレイで、各種メニューや
図形情報及び文書情報等を表示する。このディスプレイ
１９０１上ではタッチパネル１８０３の表面は指等で押
圧することにより座標入力や項目指定入力を行うことが
できる。１９０２は装置が電話機として機能するときに
使用されているハンドセットである。キーボード１９０
３は本体と着脱可能にコードを介して接続されており、
各種文書機能や各種データ入力を行うことができる。ま
た、このキーボード１９０３には各種機能キー１９０４
等が設けられている。１９０５は外部記憶装置１８１２
へのフロッピーディスクの挿入口である。

【００８６】１９０６はイメージリーダ部１８０７で読
取られる原稿を載置する用紙載置部で、読取られた原稿
は装置後部より排出される。またファクシミリ受信等に
おいては、インクジェットプリンタ１９０７よりプリン
トされる。

【００８７】上記情報処理装置をパーソナルコンピュー
タやワードプロセッサとして機能する場合、キーボード
部１８１１から入力された各種情報が制御部１８０１に
より所定のプログラムに従って処理され、プリンタ部１
８０６に画像として出力される。

【００８８】ファクシミリ装置の受信機として機能する
場合、通信回線を介してＦＡＸ送受信部１８０８から入
力したファクシミリ情報が制御部１８０１により所定の
プログラムに従って受信処理され、プリンタ部１８０６
に受信画像として出力される。

【００８９】また、複写装置として機能する場合、イメ
ージリーダ部１８０７によって原稿を読取り、読取られ
た原稿データが制御部１８０１を介してプリンタ部１８
０６に複写画像として出力される。なお、ファクシミリ
装置の受信機として機能する場合、イメージリーダ部１
８０７によって読取られた原稿データは、制御部１８０
１により所定のプログラムに従って送信処理された後、
ＦＡＸ送受信部１８０８を介して通信回線に送信され
る。

【００９０】なお、上述した情報処理装置は図９に示す
ようにインクジェットプリンタを本体に内蔵した一体型
としてもよく、この場合は、よりポータブル性を高める
ことが可能となる。同図において、図８と同一機能を有
する部分には、対応する符号を付す。

【００９１】次に、カラーフィルタの基板として用いら
れる多数枚取りのガラス基板の構成を図１０を参照して
説明する。カラーフィルタ製造におけるガラス基板に３
６０ｍｍ×４６０ｍｍのガラス基板を例に取ると、１０
インチサイズのカラーフィルタであれば、その中に４枚
のカラーフィルタ３５，３６，３７，３８を形成するこ
とが可能である。

【００９２】本実施形態のカラーフィルタの製造工程を
図１１に従って説明すると、例えば、１０インチサイズ
の基板の長辺方向の長さをもったヘッドがカラーフィル
タを３５，３６，３７，３８の順番に着色を行っていく
場合、まず、カラーフィルタ製造装置９０のＸＹθステ
ージ５２上にガラス基板５３をセットし、位置決めを行
う（ステップＳ１）。位置決めを行った後、ガラス基板
５３上の不吐出検出パターン描画領域３１が着色ヘッド
５５の直下に移動された際（ステップＳ２）、例えば図
１２に示される様な描画を行う。その描画パターンをテ
レビカメラ５６と画像処理装置５７によって認識し（ス
テップＳ３）、異常がない場合、ＸＹθステージ５２は
ガラス基板５３上のカラーフィルタ形成領域３５を着色
ヘッド５５の直下に移動し（ステップＳ４）、カラーフ
ィルタの画素への着色を実行する。カラーフィルタ形成
領域３５の着色が終了した場合、ＸＹθステージ５２は
ガラス基板５３上の不吐出検出パターン形成領域３２を
着色ヘッド５５の直下に移動する（ステップＳ５）。そ
して、同様な動作を３回繰り返して、カラーフィルタ形
成領域３６,３７,３８の着色を行う。一方、ステップＳ
３において不吐出等の異常が発見された場合、直ちにカ
ラーフィルタの画素部への着色を停止し、ヘッドの回復
手段による回復動作の実行（ステップＳ６）、もしくは
ヘッド交換等（ステップＳ７）を行う。 （第２の実施形態）上記の第１の実施形態では、カラー
フィルタの有効画素部への着色を行う直前に、ガラス基
板５３上に不吐出検出パターンをインクジェットヘッド
から吐出させるようにしたが、この第２の実施形態で
は、画素部への着色を行う前に、ガラス基板５３上にイ
ンクジェットヘッドの吐出状態を安定化させるための予
備吐出を行うようにしている。通常インクジェットヘッ
ドは、インクを連続して吐出している状態では、各ノズ
ルからのインク吐出量が安定しているが、一旦インクの
吐出を休止させると、ノズル内でインクが乾燥すること
等の影響で吐出を再開させたときのインクの吐出量が安
定しない。具体的には、インクの吐出を数分間休止する
とその後吐出を再開したときの初めの数発〜十数発はイ
ンクの吐出が安定せず、インクの種類によっては、数十
秒停止させただけでもインクの吐出が安定しなくなる場
合もある。本実施形態では、カラーフィルタの画素を着
色する直前に、ガラス基板５３上に予備吐出を行い、イ
ンクの吐出状態を安定化させてから有効な画素部の着色
を行うようにしている。

【００９３】図１３は、ガラス基板５３上への予備吐出
のパターンを示した図である。図１３に示すように、ガ
ラス基板５３上のカラーフィルタの有効画素部２０２の
画素を着色する直前において有効画素部２０２の脇のガ
ラス基板５３上の予備吐出領域２０４,２０６に予備吐
出を行う。予備吐出のためのインクの吐出パターンとし
ては、図１３（ａ）に示すように有効画素部２０２の各
画素の配列パターンと同一ピッチで吐出を行ってもよい
し、図１３（ｂ）に示すようにある範囲をべた塗りする
ように吐出してもよい。特に、本実施形態においては、
同一色の画素のピッチ（例えば３００μｍ）に対してイ
ンクジェットヘッドのノズルの間隔は７０.５μｍに設
定されているため、同一色の画素の着色を行うために
は、例えば５ノズルおきの吐出ノズルが常時使用され他
のノズルは通常使用されない。しかしながら、常時使用
しているノズルに不吐出等の異常が発生した場合には、
１ノズルずつ使用するノズルをずらして予備のノズルで
着色を行う場合がある。この場合、通常使用していない
ノズルを使用することになるため不吐出等が発生する虞
がある。その点、上記のように予備吐出において、全ノ
ズルからインクを吐出させて、予備吐出領域をべた塗り
状態にすれば、すべてのノズルが即座に本吐出に対応で
きる状態となるため、使用するノズルを変更する場合で
もすぐに対応することが可能である。さらには、図１３
（ａ）,（ｂ）に示すような予備吐出パターン以外に、
後に液晶表示装置を構成するためにガラス基板５３に対
向基板を貼りあわせるときの位置決め用のアライメント
マークを予備吐出により形成するようにしても良い。

【００９４】なお、インクが吐出された部分、即ち予備
吐出領域２０４,２０６と有効画素部２０２の部分で
は、ガラス基板５３上に形成された樹脂組成物層３がイ
ンクを吸収して僅かに盛り上がる。そのため、インクを
吐出された部分と吐出されていない部分では、カラーフ
ィルタにわずかに凹凸が生ずることとなる。このような
場合、現状ではあまり問題になっていないが、今後大画
面化、狭額縁化により接着部が縮小すると、予備吐出領
域２０４,２０６を有効画素部２０２の片側にのみ設け
ると、上記のようにガラス基板５３に対向基板を貼りあ
わせるときに、予備吐出領域２０４,２０６が形成され
ていない側の基板間隔が小さくなり、基板間の間隔ムラ
が生ずる可能性がある。そこで、例えば、図１４に示す
ように、予備吐出領域２０４,２０６を有効画素部２０
２の両側に形成し、有効画素部２０２を挟んだ両側の樹
脂組成物層３の高さを同一にして、基板間の間隔ムラを
なくすようにしても良い。この目的を達成するために
は、図１４Ａ（ａ）,（ｂ）に示す有効画素部２０２の
前後両側だけでなく、図１４Ｂ（ｃ）,（ｄ）に示すよ
うに左右両側にも予備吐出領域を形成するようにすれば
更に有効である。

【００９５】上記のように、本実施形態によれば、カラ
ーフィルタの有効画素部の脇の基板上に予備吐出を行う
ことにより、基板外の部分に予備吐出用の受けを用意す
る必要がなく、装置の構成を単純化することが出来る。
また、予備吐出領域が有効画素部に近接しているので、
予備吐出後すぐに本吐出に移ることができるので、予備
吐出後のインクジェットヘッドの吐出安定性を高度に維
持したまま有効画素部の着色が可能となる。 （第３の実施形態）以下、第３の実施形態のカラーフィ
ルタの製造工程を説明する。

【００９６】まず、図１に示すように、ガラス基板５３
をカラーフィルタ製造装置９０にセットし、ガラス基板
５３とインクジェットヘッドＩＪＨのアライメントを行
った後、各色のインクを所望の画素に所望の量で吐出す
る。

【００９７】この際、本実施形態では、実際使用する有
効画素部２０２の外側から着色を開始することにより、
有効画素部２０２を均一なインク液滴量で着色すること
が可能になる。

【００９８】一般にインクジェットヘッドでは、連続的
あるいは繰り返しパターンでインクを吐出し続けている
間は安定してインクを吐出させることが出来るが、最初
に吐出し始める場合や、次のラインに移して着色する場
合、その始めのほうのインク量は不安定である。

【００９９】例えば図１５（ａ）に示すように最初のイ
ンク吐出量が少なかったり、図１５（ｂ）に示すように
最初のインク吐出量が通常より大きくなったり、図１５
（ｃ）に示すようにインクの着弾点とインク濃度の中心
がずれる場合がある。

【０１００】これは、インクを吐出させないでインクジ
ェットヘッドＩＪＨ又はガラス基板５３を移動させる場
合、インクジェットヘッド先端のノズル近傍で、インク
中の溶媒が蒸発するためにインクの濃度が変ったり、イ
ンクの粘性が変わったりするために起こる現象である。

【０１０１】なお、本実施形態における予備吐出のパタ
ーンについては、図１５のようにカラーフィルタ使用部
（有効画素部２０２）と同様のパターンを延長させても
よいし、全く別な形状でも良い。また、図１６Ａに示す
ように吐出不安定なインクの種類のみ長い距離の予備吐
出をさせても良い。

【０１０２】あるいは、図１７に示したように、ガラス
基板５３の端部に予備吐出領域を設けてそこで吐出が安
定するまでインクを吐出させた後、着色を開始しても良
い。この際予備吐出領域に図４及び図５に示す樹脂組成
物層３,３’を設けなければ、染料インクを用いる場合
には、樹脂組成物層３,３’の硬化後水洗いすることに
より予備吐出領域のインクを洗い流すことができるよう
になる。

【０１０３】また、図１８に示すように着色走査方向を
画素パターンに対して垂直あるいは角度をつけても、走
査開始方向に予備吐出領域を設ければ良いことになる。

【０１０４】また、着色の一手法として、マルチパスと
いう複数回の重ね射ちを行う方法がある。その場合は、
１ライン着色するごとに休止が入ってしまうので、その
たびに予備吐出を行う必要が出てくる。この際も前記着
色と同様に、各着色毎に有効画素外に適宜吐出動作を行
わせ、吐出の安定したところで有効画素への着色を開始
すればよい。図１６Ｂはその一例である。

【０１０５】以下、カラーフィルタを実際に製造した実
施例を説明する。

【０１０６】

【実施例１】ブラックマトリクスパターンの形成された
ガラス基板（基板ガラス）上に、水性インク吸収性のあ
る材料（Ｎ−メチロールアクリルアミドとメタクリル酸
メチルとヒドロキシエチルメタクリレートの３元共重合
体）をスピンコートで塗布し、６０℃１０分間のプリベ
ークを行って樹脂組成物層を形成した。この時、樹脂組
成物層の膜厚は約１μｍであった。

【０１０７】その後、図１に示したようなインクジェッ
トヘッドを用いた製造装置で、Ｒ，Ｇ，Ｂの着色インク
を用いてブラックマトリクスのパターンの間に着色し
た。

【０１０８】この際、実際画素として使うパターンの外
側３ｍｍの場所から描画を開始した。（図１５のＸ）そ
の後、９０℃３０分間インクを乾燥を行った。引き続き
２００℃１時間の熱処理によりこの着色ずみ組成物層を
硬化させてカラーフィルタを形成した。

【０１０９】このようにして形成されたカラーフィルタ
は実画素部では混色部分もない上、端の方で色濃度が他
の画素領域の濃度と比較して、５％以内のバラツキにお
さまっていた。また実使用画素領域内で色抜け等の障害
が観察されなかった。

【０１１０】

【実施例２】ブラックマトリクスパターンの形成された
ガラス基板（コーニング社製＃７０５９）上に（ａ）Ｎ
−メチロールアクリルアミドとメタクリル酸メチルとヒ
ドロキシエチルメタクリレートの３元共重合体１０重量
部と（ｂ）トリフェニルスルホニウムトリフラート（ミ
ドリ化学製 ＴＰＳ−１０５）０．４重量部からなる水
性インク吸収性を有し、光照射又は光照射と熱処理によ
り光照射部分のインク吸収性が低下し、かつ、インクに
対し発水性を示す組成物を調整し、ブラックマトリクス
の形成されたガラス基板上にスピンコートし、６０℃１
０分間のプリベークを行って、次にブラックマトリクス
より細いパターン形状のフォトマスクを介して、高圧水
銀灯にて露光した。露光終了後、ホットプレートで１１
０℃９０秒加熱して、インク受容部と混色防止領域のパ
ターンを形成した。

【０１１１】その後、実施例１と同様にＲ、Ｇ、Ｂの着
色インクを用いてインクジェット方式により着色し、図
１５のように実際画素として使うパターンの外側３ｍｍ
の場所から着色を開始した。

【０１１２】その後、実施例１と同様にしてカラーフィ
ルタを作成した。

【０１１３】このようにして形成されたカラーフィルタ
は、実画素部では混色部分もない上、端の方でも色濃度
は、２％以内のバラツキにおさえられていた。また、実
施例２の方法は実施例１の方法よりも微細パターン状の
樹脂組成物層が使用できるため高解像度を有している。
（実際の寸法は、画素幅が６５μｍである。）

【実施例３】実施例２において得られたカラーフィルタ
を用いて液晶素子を形成した。

【０１１４】すなわち図６に示す様に、ＩＴＯを５００
オングストロームの厚さにスパッタリング法により成膜
し、透明電極１６とした。この上に配向制御膜１７とし
て、ポリイミド形成溶液（日立化成工業（株）製「ＰＩ
Ｑ」）を３０００ｒｐｍで回転するスピンナーで塗布
し、１５０℃で３０分間加熱を行なって２０００オング
ストロームのポリイミド被膜を形成した。しかる後、こ
のポリイミド被膜表面をラビング処理した。

【０１１５】このようにして形成したカラーフィルタ基
板と、対向する基板２１を貼り合わせてセル組し、強誘
電性液晶を注入、封口して液晶素子を得た。平坦性に優
れたカラーフィルタを内設したこの液晶素子をクロスニ
コルの偏光顕微鏡で観察したところ、内部の液晶素子は
配向欠陥を生じなく、さらに解像度の優れたカラーフィ
ルタパターンを有することも加わり、表示品位の優れた
液晶素子を得ることができた。

【０１１６】本実施例の方法を用いて、薄膜トランジス
タ型液晶を用いた液晶素子を形成しても同様の効果が得
られる。

【０１１７】

【実施例４】実施例２において、図１６に示したよう
に、吐出安定化するまで時間がかかる色のパターンの
み、予備吐出パターンの長さ（Ｘ）を長くしても良い。
ＢＭブラックマトリクス）上のパターンも樹脂組成物層
のパターンと同様にすることにより、ＢＭパターンとイ
ンクジェット用ヘッドのアライメント、あるいは着色位
置を補正するトラッキング補正が容易に行なえるように
なった。

【０１１８】

【実施例５】実施例２においては、一定速度でヘッド又
は基板を動かしながら（スキャンしながら）インクを吐
出させて描画させていたが、図１７のようにある所定の
場所で吐出が安定化するまでインクを吐出させてから所
望のパターンに描画させても良い。この際、所定の場所
（予備吐出領域）の、樹脂組成物層を取り除いておけば
樹脂組成物層のキュア（硬化）後、水洗いすることによ
り、余分なインクを洗い流すことができる。

【０１１９】また、図１８に示したように走査方向が異
なる場合でも画素パターンの外側にインクの予備吐出領
域を設ければよい。 （第４の実施形態）図１９は、第４の実施形態のカラー
フィルタの製造装置の全体図であり、図１９において、
３０１はステージ等の移動機構からなり、着色対象であ
るガラス基板５３を図中Ｘ及びＹ方向に移動するもので
ある。３０２は回転ステージであり、ガラス基板５３４
をθ方向に回転することが可能な配置となっている。３
０３は、ガラス基板５３を保持し固定する台である。３
０５は着色を行なうインクジェットヘッド、３０６は着
色されたパターンを読み取るセンサ、３０７はセンサ３
０６の撮像範囲を照射する光源である。ガラス基板５３
には、あらかじめアライメントマーク３１０が形成され
ており、これらのマークの位置は、アライメント用セン
サ３０８およびアライメント用センサ３０９によって読
み取ることができる。

【０１２０】図２０は、カラーフィルタ製造装置のブロ
ック図である。図２０において、３１１は全体の制御を
行うホストコンピュータ、３１２はステージ３０１の制
御部、３１３は着色を行うインクジェットヘッド３０５
の制御部、３１４はセンサ３０６によって読み取られた
映像データから、インクジェットヘッド３０５の吐出の
有無の検知やインクの着弾位置や画素の位置の計測等を
行う画像処理部、３１５はインクジェットヘッド３０５
の姿勢、位置を制御する姿勢調整制御部、３０１はステ
ージである。

【０１２１】図２１は、図１９で説明したインクジェッ
トヘッド３０５、センサ３０６、照明３０７の配置を詳
細に説明した図である。３０５はインクジェットヘッド
であり、θ方向調整機構３２５、Ｚ方向調整機構３２
６、Ｙ方向調整機構３２７によって姿勢を調整できるよ
うになっており、Ｚ方向調整機構３２６によって、イン
クジェットヘッド３０５とガラス基板５３との間隔を、
所定の距離に設定することができる。また、θ方向調整
機構３２５は、インクジェットヘッド３０５を、ガラス
基板５３９に対して所定の角度に設定することができ
る。姿勢調整機構３２５,３２６,３２７は、例えば直動
ステージと回転ステージ等の移動機構を組合わせてＹ、
Ｚ、θ軸を構成する。また、各軸の移動機構は手動で動
かすように構成してもよいし、モータ等の駆動源を取り
付けて動かすようにしても良い。インクジェットヘッド
３０５は、複数のインク吐出口を持ち、図中Ｙ方向に並
んでいる。

【０１２２】３１９は、ＣＣＤラインセンサ等の撮像素
子であり、照明３０７によって照射された、ガラス基板
５３上の２点ＡＢを結ぶ直線上の像が、レンズ３２２を
介してラインセンサ３１９上に結像される。ラインセン
サ３１９は、θ方向調整機構３２０、Ｚ方向調整機構３
２１によって姿勢を調整できるようになっている。５３
はガラス基板、２はガラス基板５３上に形成されたブラ
ックマトリクス（以下ＢＭと略す）であり、ガラス基板
５３と、インクジェットヘッド３０５と、ラインセンサ
３１９との相対位置関係は、図１９における移動機構３
０１および３０２によって、図中Ｘ、Ｙ、θ方向に移動
することができ、インクジェットヘッド３０５からイン
クを吐出しながらガラス基板５３を移動させると、ガラ
ス基板上に着色パターンが形成される。また、ガラス基
板５３を移動させながらラインセンサ３１９の読み取り
を行えば、ガラス基板５３上に形成された着色パターン
や、ＢＭ（ブラックマトリクス）パターンを読み込むこ
とができ、着色パターンの位置や、ＢＭパターンの位置
を算出することが可能で、着色パターンとＢＭパターン
の相互の位置関係や、インクジェットヘッド３０５の吐
出の有無を検知することができる。ここで、着色と読み
込みは、１回のステージの移動で同時に行なっても良
く、また別々に行なっても良い。３３１は、インクジェ
ットヘッド３０５の複数の吐出口より吐出されたインク
が、ガラス基板５３上のＢＭ以外の余白部に着弾した様
子を示す。

【０１２３】図２２は、複数の着色ヘッドのそれぞれの
インク吐出口と着色対象であるガラス基板５３の関係を
あらわした図である。図２２において、３３４は着色ヘ
ッドであり、ブルー（以下Ｂと記す）のインクを吐出す
るもので、３３３はインクの吐出口で、Ｂ１、Ｂ２・・
・はインク吐出口の番号を示す。Ｂのヘッド以外にも、
グリーン（以下Ｇと記す）、レッド（以下Ｒと記す）の
複数の着色ヘッドの構成となっており、それぞれの着色
ヘッドのインク吐出口の番号はＧ１、Ｇ２・・・、Ｒ
１、Ｒ２・・・、となっている。２は基板上に形成され
たＢＭパターンで、３３５は光透過性部位であり、この
部分にＲ、Ｇ、Ｂ各色のインクを着色することで、カラ
ーフィルタが形成される。光透過性部位３３５には、相
対移動方向Ｓと垂直方向にＲ、Ｇ、Ｂのインクが繰り返
し着色され、相対移動方向Ｓの方向に隣接する光透過性
部位には、同一の色のインクが着色されるものである。
着色ヘッド３３４とガラス基板５３の位置関係は、角度
θに設定されており、各着色ヘッドの吐出口のピッチ
と、光透過性部位のピッチとが異なる場合でも、角度θ
を調整することで、任意のピッチに対応できる。

【０１２４】図２２の場合、Ｒの着色ヘッドの複数のイ
ンク吐出口のうち、着色に用いる吐出口は、Ｒ１、Ｒ
４、Ｒ７…であり、他の吐出口Ｒ２、Ｒ３、Ｒ５、Ｒ６
…は使用せず、予備の吐出口としておく。同様に、Ｇの
着色ヘッドでは、Ｇ１、Ｇ４、Ｇ７…を使用し、Ｇ２、
Ｇ３、Ｇ５、Ｇ６…を予備の吐出口とする。また、Ｂの
着色ヘッドでは、Ｂ１、Ｂ４、Ｂ７…を使用し、Ｂ２、
Ｂ３、Ｂ５、Ｂ６…を予備の吐出口とする。ここで、Ｒ
の着色ヘッドの着色に用いる吐出口Ｒ１が吐出しなくな
った場合は、図２１のＹ方向調整機構３２７を用いて、
Ｒの着色ヘッド自体をＹ方向に移動させ、予備の吐出口
Ｒ２がＲ１の位置にくる様にする。この場合、新たに着
色に用いる吐出口は、Ｒ２、Ｒ５、Ｒ８…（Ｒ８は不図
示）となる。Ｇの着色ヘッド、Ｂの着色ヘッドも同様で
ある。

【０１２５】図２３は、図２２の様な構成を用いて、ガ
ラス基板に着色を行った例である。５３はガラス基板、
２はガラス基板状に形成されたＢＭパターン、３３５は
光透過部位、３３１は着色されたパターンであり、ガラ
ス基板のうち、ＢＭパターン２以外の余白部分に着色さ
れる。ここで、パターン３３１の着色は、光透過性部位
３３５の内部にインクを着色させてフィルタを形成する
前に、着色ヘッドのインク吐出状態を安定化させるため
の予備の吐出として行われるものである。

【０１２６】図２４Ａ、図２４Ｂ、図２４Ｃは、ＢＭパ
ターンとその余白部に予備吐出されたドットの位置関係
を詳細に説明する図である。図２４Ａにおいて、２はガ
ラス基板上に形成されたＢＭパターン、３３５はＢＭパ
ターンのなかの光透過性部位、３４１は各インク吐出口
より吐出されたインクが、余白部に着弾した時に形成さ
れるドットである。ここで、ドット３４１およびＢＭパ
ターン２は、図２１で説明したラインセンサ３１９によ
って読み取られ、図２０における画像処理部３１４によ
って、ドットの位置は、Ｒ１（ＸＲ１，ＹＲ１）、光透
過性部位の位置はＰ１（Ｘ１，Ｙ１）と求められる。ド
ットおよび光透過性部位の位置は、Ｒ１、Ｐ１以外にも
全て求められている。図２４Ａの場合は着弾したドット
３４１と光透過性部位の位置関係には、ずれはなくこの
まま光透過性部位にインクを着色し、フィルタを形成し
ても問題はない。

【０１２７】図２４Ｂは、予備吐出されたインクのう
ち、赤（Ｒ）の着弾位置がずれている場合を示す。図２
４Ｂにおいて、予備吐出されたドットＲ１と、光透過性
部位Ｒ１’の位置関係は、算出されたそれぞれの位置座
標値Ｒ１（ＸＲ１，ＹＲ１）、Ｐ１（Ｘ１，Ｙ１）を比
較すると、図中Ｙ方向にｄだけずれてしまっていること
がわかる。このままの状態でフィルタの形成を行なう
と、光透過性部位からインクがはずれ、結果的には光透
過性部位内にインクが均一に納まらず、フィルタの性能
上問題となる。そこでこの様な現象が予備吐出の段階で
検出されたら、図２１で示したＹ方向姿勢調整機構３２
７を用いて、ずれ量だけインクジェットヘッド３０５を
移動させてやれば良い。

【０１２８】図２４Ｃは、予備吐出されたインクのう
ち、赤（Ｒ）のインクが吐出されなかった場合を示す。
図２４Ｃにおいて、３４３は、本来吐出されるべきドッ
トＲ１が、吐出されなかった状態を示し、３４４は本来
のフィルタの形成では使用されない予備のノズルから吐
出されたドットの位置Ｒ２を示す。この様な現象が検出
された場合は、本来Ｒ１、Ｒ４を用いてフィルタの形成
を行なうかわりに、図２１で示したＹ方向姿勢調整機構
３２７を用いて、ずれ量ｄ２だけインクジェットヘッド
をＹ方向に移動し、予備のノズルであるＲ２、Ｒ５を使
う様にすればよい。

【０１２９】以上、Ｒの場合についてのみ説明したが、
Ｇ、Ｂの場合も同様である。

【０１３０】この様なヘッド位置の修正は、複数のイン
クジェットヘッドを並べて、フィルタの製造時間をさら
に高速化しようとした場合や複数色のインクジェットヘ
ッドを用いる場合には、必要不可欠である。ヘッドが１
本しかない場合は、図１９の移動機構３０１によってず
れ量を吸収できるが、複数ヘッドの場合は、各ヘッド毎
にずれ量が異なったり、不吐出の発生するノズル位置が
必ずしも同じにはならない可能性があり、各ヘッド毎の
姿勢位置の調整が必要になってくるのである。

【０１３１】図２５は、カラーフィルタ製造装置の動作
を記述したフローチャートである。まず始めに、Ｓ１１
にてカラーフィルタ製造装置に着色対象である基板が、
図１９の固定台３０３上に供給される。供給された基板
は、Ｓ１２においてバキューム等の吸着手段により固定
される。次に、Ｓ１３にて、基板上に形成されているア
ライメントマーク３１０を、センサ３０８,３０９で読
み取る。読み取ったアライメントマークから、基板の位
置を算出し、Ｓ１４にて図１９の移動機構３０１、３０
２を用いて、基板のアライメントを行なう。基板のアラ
イメントが終了すると、Ｓ１５にて予備吐出（予備吐）
を行なう。予備吐出は、着色対象であるガラス基板の余
白に行なわれる。この予備吐出は、画素に着色する前に
行なうことで、常に吐出の状態を安定させる効果があ
り、もし不吐出が発生したりインクの着弾位置がずれて
も、未然に検知することが可能で、不良品の発生を抑え
ることができる。次に、Ｓ１６にて、着色された予備吐
出パターンとＢＭパターンを、センサ３０６で読み込
む。読み取られた予備吐出パターンから、Ｓ１７にて不
吐出のチェックを行なう。具体的には、着色に使用する
ノズルからのインクが、ドットとしてガラス基板上に着
弾し、存在するか否かを読み取った画像データを処理す
ることで実現される。もし、使用するノズルに不吐出が
検出された場合は、Ｓ１８にて、本来使用するノズル以
外のノズルのなかに、代わりに使用可能なノズルが存在
するか調べる。使用可能なノズルが存在しない場合は、
Ｓ２８にてヘッドを新しいものに交換する。Ｓ１８に
て、使用可能なノズルが存在する場合は、Ｓ１９にて、
使用するノズルの変更を行ない、Ｓ２０にて、新たに変
更されたノズル位置が、今まで使用していたノズルの位
置にくる様に、ヘッドの位置を調整機構によってずら
す。

【０１３２】Ｓ１７にて不吐出がなかった場合は、読み
取られた画像データより、Ｓ２１、Ｓ２２にて予備吐出
パターンのドットの位置およびＢＭパターンの位置を算
出する。次にＳ２３にて、ドットの位置とＢＭパターン
の位置のずれ量を算出する。ここで、Ｓ２４において、
Ｓ２３にて算出されたずれ量が、許容範囲を超えて画素
の着色に支障をきたすようなずれ量であれば、Ｓ２５に
てずれ量の補正を行なう。Ｓ２４において、Ｓ２３にて
算出されたずれ量が、許容範囲内におさまっていれば補
正を行なわなくて良い。この時点で、フィルタの製造が
可能な状態となったので、Ｓ２６にて画素に対する着色
を行ない、ガラス基板上にフィルタを形成する。フィル
タの形成が終了すると、Ｓ２７にて、ガラス基板の排出
が行なわれ、フィルタの製造の１サイクルが終了する。

【０１３３】以上説明したように、上記の実施形態によ
れば、ガラス基板の有効画素領域外に予備吐出を行うこ
とにより、インクの吐出の安定性を向上させることがで
きるとともに、インクジェットヘッドと画素とのずれを
補正することもできる。

【０１３４】なお、本発明はその主旨を逸脱しない範囲
で、上記の実施形態を修正または変形したものに適用可
能である。

【０１３５】例えば、ヘッドの吐出を確認するために、
図１２に示されるパターンを用いたが、吐出の有無を確
認できれば、このパターンに限られることはない。その
場合、パターンによってはエリアセンサカメラの方が適
しているのであれば、エリアセンサカメラを用いるのが
望ましい。

【０１３６】また、ヘッド異常検出パターン着色領域
は、図１０の位置に配置するのが最も望ましいが、基板
上のどこか、もしくは、基板外の専用エリアであって
も、不良品の発生を最小限に抑制するという効果は同様
に得られる。

【０１３７】また、上記実施形態では、インクジェット
ヘッド及びラインセンサカメラを固定してＸＹθステー
ジ側を移動させるように説明したが、ステージ側を固定
して、インクジェットヘッド及びラインセンサカメラ側
を移動させるようにしてよい。

【０１３８】また、上記の実施形態では、インクジェッ
トヘッドの不吐出等の異常の検出をテレビカメラと画像
処理装置により行ったが、これに限定されず、レーザ光
をインクが通過するときの干渉縞の検出等により行って
もよい。また、着色されたヘッド異常検出パターンの光
の反射率または透過率を検出することにより行ってもよ
い。

【０１３９】本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でも、インク吐出を行わせるために利用されるエネル
ギーとして熱エネルギーを発生する手段（例えば電気熱
変換体やレーザ光等）を備え、前記熱エネルギーにより
インクの状態変化を生起させる方式のプリント装置につ
いて説明したが、かかる方式によれば記録の高密度化、
高精細化が達成できる。

【０１４０】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式はいわゆるオンデマンド
型、コンティニュアス型のいずれにも適用可能である
が、特に、オンデマンド型の場合には、液体（インク）
が保持されているシートや液路に対応して配置されてい
る電気熱変換体に、記録情報に対応していて膜沸騰を越
える急速な温度上昇を与える少なくとも１つの駆動信号
を印加することによって、電気熱変換体に熱エネルギー
を発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさ
せて、結果的にこの駆動信号に１対１で対応した液体
（インク）内の気泡を形成できるので有効である。この
気泡の成長、収縮により吐出用開口を介して液体（イン
ク）を吐出させて、少なくとも１つの滴を形成する。こ
の駆動信号をパルス形状をすると、即時適切に気泡の成
長収縮が行われるので、特に応答性に優れた液体（イン
ク）の吐出が達成でき、より好ましい。

【０１４１】このパルス形状の駆動信号としては、米国
特許第４４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号
明細書に記載されているようなものが適している。な
お、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許
第４３１３１２４号明細書に記載されている条件を採用
すると、さらに優れた記録を行うことができる。

【０１４２】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液路、電気熱変換体
の組み合わせ構成（直線状液流路または直角液流路）の
他に熱作用面が屈曲する領域に配置されている構成を開
示する米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許第
４４５９６００号明細書を用いた構成も本発明に含まれ
るものである。加えて、複数の電気熱変換体に対して、
共通するスロットを電気熱変換体の吐出部とする構成を
開示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギ
ーの圧力波を吸収する開口を吐出部に対応させる構成を
開示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構
成としても良い。

【０１４３】さらに、記録装置が記録できる最大記録媒
体の幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドとしては、上述した明細書に開示されているよう
な複数記録ヘッドの組み合わせによってその長さを満た
す構成や、一体的に形成された１個の記録ヘッドとして
の構成のいずれでもよい。

【０１４４】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的にインクタンクが設けら
れたカートリッジタイプの記録ヘッドを用いてもよい。

【０１４５】また、本発明の記録装置の構成として設け
られる、記録ヘッドに対しての回復手段、予備的な補助
手段等を付加することは本発明の効果を一層安定にでき
るので好ましいものである。これらを具体的に挙げれ
ば、記録ヘッドに対してのキャッピング手段、クリーニ
ング手段、加圧あるいは吸引手段、電気熱変換体あるい
はこれとは別の加熱素子あるいはこれらの組み合わせに
よる予備加熱手段、記録とは別の吐出を行う予備吐出モ
ードを行うことも安定した記録を行うために有効であ
る。

【０１４６】以上説明した本発明実施例においては、イ
ンクを液体として説明しているが、室温やそれ以下で固
化するインクであっても、室温で軟化もしくは液化する
ものを用いても良く、使用記録信号付与時にインクが液
状をなすものであればよい。

【０１４７】加えて、積極的に熱エネルギーによる昇温
をインクの固形状態から液体状態への状態変化のエネル
ギーとして使用せしめることで積極的に防止するため、
またはインクの蒸発を防止するため、放置状態で固化し
加熱によって液化するインクを用いても良い。いずれに
しても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によってイ
ンクが液化し、液状インクが吐出されるものや、記録媒
体に到達する時点では既に固化し始めるもの等のよう
な、熱エネルギーの付与によって初めて液化する性質の
インクを使用する場合も本発明は適用可能である。この
ような場合インクは、特開昭５４−５６８４７号公報あ
るいは特開昭６０−７１２６０号公報に記載されるよう
な、多孔質シート凹部または貫通孔に液状または固形物
として保持された状態で、電気熱変換体に対して対向す
るような形態としてもよい。本発明においては、上述し
た各インクに対して最も有効なものは、上述した膜沸騰
方式を実行するものである。

【０１４８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
一枚の基板上に複数枚のカラーフィルタを形成するにあ
たり、着色工程の最初だけでなく夫々のカラーフィルタ
の着色の直前でインクジェットヘッドの吐出不良の検出
を行うことにより、カラーフィルタの不良品を多数製造
することが防止され、カラーフィルタの歩留まりを向上
させることが出来る。

【０１４９】また、ヘッド異常検出を行うための吐出を
複数枚取りの夫々のカラーフィルタの着色途中で着色シ
ーケンスの経路上に存在するため、工程時間上は全く問
題にすることなしにカラーフィルタの生産性を向上させ
ることが出来る。

【０１５０】また、カラーフィルタの画素の着色の前に
基板上に予備吐出を行うことによりインクジェットの着
色動作を安定化させることが出来る。

【０１５１】

【図面の簡単な説明】

【図１】カラーフィルタの製造装置の第１の実施形態の
構成を示す概略図である。

【図２】カラーフィルタの製造装置の動作を制御する制
御部の構成を示す図である。

【図３】カラーフィルタの製造装置に使用されるインク
ジェットヘッドの構造を示す図である。

【図４】カラーフィルタの製造工程を示した図である。

【図５】カラーフィルタの製造工程の他の例を示した図
である。

【図６】第１の実施形態のカラーフィルタを組み込んだ
カラー液晶表示装置の基本構成を示す断面図である。

【図７】液晶表示装置が使用される情報処理装置を示し
た図である。

【図８】液晶表示装置が使用される情報処理装置を示し
た図である。

【図９】液晶表示装置が使用される情報処理装置を示し
た図である。

【図１０】カラーフィルタの製造時におけるヘッド異常
検出パターン描画領域とカラーフィルタ形成領域の位置
関係を示した図である。

【図１１】カラーフィルタの製造工程を示すフローチャ
ートである。

【図１２】カラーフィルタの製造時におけるヘッド異常
検出パターンの一例を示す図である。

【図１３】ガラス基板上への予備吐出のパターンを示し
た図である。

【図１４Ａ】ガラス基板上への予備吐出のパターンを示
した図である。

【図１４Ｂ】ガラス基板上への予備吐出のパターンを示
した図である。

【図１５】インクジェットヘッドの吐出の初期にインク
の吐出状態が不安定になる様子を示した図である。

【図１６Ａ】吐出ノズルの状態のバラつきにより予備吐
出の長さを変更する様子を示した図である。

【図１６Ｂ】マルチパスの場合の予備吐出動作を説明す
るための図である。

【図１７】予備吐出のパターンを示した図である。

【図１８】予備吐出のパターンを示した図である。

【図１９】第４の実施形態のカラーフィルタの製造装置
の全体図である。

【図２０】カラーフィルタ製造装置のブロック図であ
る。

【図２１】図１９で説明したインクジェットヘッド、セ
ンサ、照明の配置を詳細に説明した図である。

【図２２】複数の着色ヘッドのそれぞれのインク吐出口
と着色対象であるガラス基板の関係をあらわした図であ
る。

【図２３】図２２の様な構成を用いて、ガラス基板に着
色を行った例を示した図である。

【図２４Ａ】ＢＭパターンとその余白部に予備吐出され
たドットの位置関係を詳細に説明する図である。

【図２４Ｂ】ＢＭパターンとその余白部に予備吐出され
たドットの位置関係を詳細に説明する図である。

【図２４Ｃ】ＢＭパターンとその余白部に予備吐出され
たドットの位置関係を詳細に説明する図である。

【図２５】カラーフィルタ製造装置の動作を記述したフ
ローチャートである。

【符号の説明】

３１,３２,３３,３４ ヘッド異常検出パターン描画領
域 ３５,３６,３７,３８ カラーフィルタ形成領域 ５２ ＸＹθステージ ５３ ガラス基板 ５４ カラーフィルタ ５５ 着色ヘッド ５６ テレビカメラ ５７ 画像処理装置 ５８ コントローラ ５９ ティーチングペンダント ６０ キーボード

フロントページの続き (72)発明者 茂村 芳裕 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キ ヤノン株式会社内 (72)発明者 鶴岡 真介 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キ ヤノン株式会社内 (72)発明者 津田 尚徳 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キ ヤノン株式会社内 (56)参考文献 特開 昭61−251804（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G02B 5/20 - 5/28 G02F 1/1335 B41J 3/04 101 B41J 3/04 104

Claims (23)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 インクジェットヘッドにより基板に向け
   てインクを吐出してカラーフィルタの各画素を着色する
   ことによりカラーフィルタを製造する方法であって、 カラーフィルタとして機能する有効画素部内の少なくと
   も最初の画素の着色前に、同一基板上の前記有効画素部
   以外の領域にインクを吐出し、該吐出したインクの着色
   結果に基づき、前記インクジェットヘッドの吐出不良の
   検出を行うことを特徴とするカラーフィルタの製造方
   法。
2. 【請求項２】 インクジェットヘッドにより基板に向け
   てインクを吐出してカラーフィルタの各画素を着色する
   ことによりカラーフィルタとして機能する有効画素部を
   有するカラーフィルタを製造する方法であって、 一枚の前記基板上に複数枚のカラーフィルタを形成する
   場合、夫々のカラーフィルタの有効画素部内の画素の着
   色前に、同一基板上の前記有効画素部以外の領域にイン
   クを吐出し、該吐出したインクの着色結果に基づき、前
   記インクジェットヘッドの吐出不良の検出を行うことを
   特徴とするカラーフィルタの製造方法。
3. 【請求項３】 前記インクジェットヘッドの吐出不良の
   検出は、１枚のカラーフィルタの着色完了後、次のカラ
   ーフィルタの着色前に行うことを特徴とする請求項２に
   記載のカラーフィルタの製造方法。
4. 【請求項４】 前記インクジェットヘッドの吐出不良の
   検出は、画像処理により行うことを特徴とする請求項２
   に記載のカラーフィルタの製造方法。
5. 【請求項５】 前記インクジェットヘッドの吐出不良の
   検出は、前記有効画素部以外の領域に吐出されたインク
   により形成した着色部の光の反射率を検出することによ
   り行うことを特徴とする請求項２に記載のカラーフィル
   タの製造方法。
6. 【請求項６】 前記インクジェットヘッドの吐出不良の
   検出は、前記有効画素部以外の領域に吐出されたインク
   により形成した着色部の光の透過率を検出することによ
   り行うことを特徴とする請求項２に記載のカラーフィル
   タの製造方法。
7. 【請求項７】 前記インクジェットヘッドは、熱エネル
   ギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イン
   クに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギー
   発生体を備えることを特徴とする請求項２に記載のカラ
   ーフィルタの製造方法。
8. 【請求項８】 インクジェットヘッドにより基板上にイ
   ンクを吐出してカラーフィルタの各画素を着色すること
   によりカラーフィルタとして機能する有効画素部を有す
   るカラーフィルタを製造する装置であって、 インクジェットヘッドと、 該インクジェットヘッドに対して前記基板を相対的に移
   動させるためのステージと、 一枚の基板上に複数枚のカラーフィルタを形成するにあ
   たり、夫々のカラーフィルタの有効画素部内の画素の着
   色前に、同一基板上の前記有効画素部以外の領域にイン
   クを吐出し、該吐出したインクの着色結果に基づき、前
   記インクジェットヘッドの吐出不良の検出を行う検出手
   段とを具備することを特徴とするカラーフィルタの製造
   装置。
9. 【請求項９】 前記インクジェットヘッドは、熱エネル
   ギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イン
   クに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギー
   発生体を備えることを特徴とする請求項８に記載のカラ
   ーフィルタの製造装置。
10. 【請求項１０】 インクジェットヘッドにより基板に向
    けてインクを吐出してカラーフィルタの各画素を着色す
    ることによりカラーフィルタとして機能する有効画素部
    を有するカラーフィルタを製造する方法であって、 前記カラーフィルタの有効画素部内の画素の着色の前
    に、前記インクジェットヘッドからの予備吐出を前記基
    板上に行うことを特徴とするカラーフィルタの製造方
    法。
11. 【請求項１１】 前記カラーフィルタの有効画素部内の
    画素の着色工程に連続する前工程で前記インクジェット
    ヘッドの予備吐出を前記基板上に行うことを特徴とする
    請求項１０に記載のカラーフィルタの製造方法。
12. 【請求項１２】 前記インクジェットヘッドは着色に使
    用するノズルと、前記着色に使用するノズルに不吐出が
    生じたときに使用される予備のノズルとを備え、前記予
    備吐出は、前記着色に使用するノズルと前記予備のノズ
    ルからインクを吐出することにより行うことを特徴とす
    る請求項１０に記載のカラーフィルタの製造方法。
13. 【請求項１３】 前記予備吐出は、前記基板上に形成さ
    れたインクを吸収するインク受容層上にインクを吐出し
    て行うことを特徴とする請求項１０に記載のカラーフィ
    ルタの製造方法。
14. 【請求項１４】 前記予備吐出によりインクが着弾した
    位置と、前記カラーフィルタの画素の位置とを検出し、
    それらにズレがあった場合には前記インクジェットヘッ
    ドの位置調整を行うことを特徴とする請求項１０に記載
    のカラーフィルタの製造方法。
15. 【請求項１５】 前記予備吐出は、前記基板上の、イン
    クを吸収するインク受容層が形成されていない部位にイ
    ンクを吐出して行い、後に前記予備吐出により吐出され
    たインクを前記基板上から洗い流すことを特徴とする請
    求項１０に記載のカラーフィルタの製造方法。
16. 【請求項１６】 前記予備吐出を、カラーフィルタの画
    素の形成領域の両側に行うことを特徴とする請求項１０
    に記載のカラーフィルタの製造方法。
17. 【請求項１７】 インクジェットヘッドにより基板に向
    けてインクを吐出してカラーフィルタの各画素を着色す
    ることによりカラーフィルタとして機能する有効画素部
    を有するカラーフィルタを製造するための装置であっ
    て、 インクジェットヘッドと、 該インクジェットヘッドに対して前記基板を相対的に移
    動させるためのステージと、 前記カラーフィルタの有効画素部内の画素の着色の前
    に、前記インクジェットヘッドからの予備吐出を前記基
    板上に行うように前記インクジェットヘッドと前記ステ
    ージとを制御する制御手段とを具備することを特徴とす
    るカラーフィルタの製造装置。
18. 【請求項１８】 前記予備吐出によりインクが着弾した
    位置と、前記カラーフィルタの画素の位置とを検出する
    検出手段を更に具備し、前記制御手段は、前記インクが
    着弾した位置と前記画素の位置にズレがあった場合には
    前記インクジェットヘッドの位置調整を行うことを特徴
    とする請求項１７に記載のカラーフィルタの製造装置。
19. 【請求項１９】 前記制御手段は、前記予備吐出を、カ
    ラーフィルタの画素の形成領域の両側に行うように制御
    することを特徴とする請求項１７に記載のカラーフィル
    タの製造装置。
20. 【請求項２０】 複数のインク吐出ノズルを有するイン
    クジェットヘッドから基板に向けてインクを吐出してカ
    ラーフィルタの各画素を着色することによりカラーフィ
    ルタを製造する方法であって、 カラーフィルタとして機能する画素の形成領域外に、前
    記インクジェットヘッドからインクの吐出を行う吐出工
    程と、 該吐出工程による着色結果に基づき着色不良があるか否
    かを検出する検出工程と、 該検出工程において着色不良があった場合に、インクジ
    ェットヘッドの位置を調整する位置調整工程とを具備
    し、 前記複数のインク吐出ノズルは着色に使用するノズルと
    予備のノズルとを備え、前記着色不良が、前記着色に使
    用するノズルのインクの不吐出であった場合には、前記
    位置調整工程において、前記着色に使用するノズルを予
    備のノズルに置き換えてインクの吐出を行うべく前記予
    備のノズルを各画素に対応する位置に移動することを特
    徴とするカラーフィルタの製造方法。
21. 【請求項２１】 複数のインク吐出ノズルを有するイン
    クジェットヘッドから基板に向けてインクを吐出してカ
    ラーフィルタの各画素を着色することによりカラーフィ
    ルタを製造する方法であって、 カラーフィルタとして機能する画素の形成領域外に、前
    記インクジェットヘッドからインクの吐出を行う吐出工
    程と、 該吐出工程による着色結果に基づき着色不良があるか否
    かを検出する検出工程と、 該検出工程において着色不良があった場合に、インクジ
    ェットヘッドの位置を調整する位置調整工程とを具備
    し、 前記着色不良が、吐出したインクの位置ずれであった場
    合には、前記位置調整工程において、前記インクジェッ
    トヘッドを前記位置ずれが生じない位置に移動すること
    を特徴とするカラーフィルタの製造方法。
22. 【請求項２２】 インクジェットヘッドから基板に向け
    てインクを吐出してカラーフィルタの各画素を着色する
    ことによりカラーフィルタを製造する装置であって、 複数のインク吐出ノズルを有するインクジェットヘッド
    と、 該インクジェットヘッドによりカラーフィルタの画素の
    形成領域外に、前記インクジェットヘッドからインクの
    吐出を行って形成されたインクドットを検出し、着色不
    良を検出する検出手段と、 該検出手段により着色不良が検出された場合に、インク
    ジェットヘッドの位置を調整する位置調整手段とを具備
    し、 前記複数のインク吐出ノズルは着色に使用するノズルと
    予備のノズルとを備え、前記着色不良が、前記着色に使
    用するノズルのインクの不吐出であった場合には、前記
    位置調整手段により、前記着色に使用するノズルを予備
    のノズルに置き換えてインクの吐出を行うべく予備のノ
    ズルを各画素に対応する位置に移動することを特徴とす
    るカラーフィルタの製造装置。
23. 【請求項２３】 インクジェットヘッドから基板に向け
    てインクを吐出してカラーフィルタの各画素を着色する
    ことによりカラーフィルタを製造する装置であって、 複数のインク吐出ノズルを有するインクジェットヘッド
    と、 該インクジェットヘッドによりカラーフィルタの画素の
    形成領域外に、前記インクジェットヘッドからインクの
    吐出を行って形成されたインクドットを検出し、着色不
    良を検出する検出手段と、 該検出手段により着色不良が検出された場合に、インク
    ジェットヘッドの位置を調整する位置調整手段とを具備
    し、 前記着色不良が、吐出したインクの位置ずれであった場
    合には、前記位置調整手段により、前記インクジェット
    ヘッドを前記位置ずれが生じない位置に移動することを
    特徴とするカラーフィルタの製造装置。