JP2017505385A - 銅箔、これを含む電気部品及び電池 - Google Patents
銅箔、これを含む電気部品及び電池 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017505385A JP2017505385A JP2016561982A JP2016561982A JP2017505385A JP 2017505385 A JP2017505385 A JP 2017505385A JP 2016561982 A JP2016561982 A JP 2016561982A JP 2016561982 A JP2016561982 A JP 2016561982A JP 2017505385 A JP2017505385 A JP 2017505385A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- copper foil
- surface treatment
- layer
- metal oxide
- metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 172
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 title claims abstract description 159
- 239000002335 surface treatment layer Substances 0.000 claims abstract description 58
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 46
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims abstract description 46
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims abstract description 26
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 55
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 43
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 38
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 38
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 claims description 37
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 28
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 26
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 21
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 21
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 19
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims description 16
- 229910018553 Ni—O Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 13
- 150000003868 ammonium compounds Chemical class 0.000 claims description 12
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 8
- BFNBIHQBYMNNAN-UHFFFAOYSA-N ammonium sulfate Chemical compound N.N.OS(O)(=O)=O BFNBIHQBYMNNAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052921 ammonium sulfate Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 235000011130 ammonium sulphate Nutrition 0.000 claims description 7
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 7
- DHMQDGOQFOQNFH-UHFFFAOYSA-N Glycine Chemical compound NCC(O)=O DHMQDGOQFOQNFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910020647 Co-O Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910020704 Co—O Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 238000007788 roughening Methods 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 239000004471 Glycine Substances 0.000 claims description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 3
- XPPKVPWEQAFLFU-UHFFFAOYSA-N diphosphoric acid Chemical compound OP(O)(=O)OP(O)(O)=O XPPKVPWEQAFLFU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229940005657 pyrophosphoric acid Drugs 0.000 claims description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 18
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 28
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 26
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 26
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 16
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 12
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 9
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 8
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 7
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 5
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 5
- 150000004756 silanes Chemical class 0.000 description 5
- 239000001509 sodium citrate Substances 0.000 description 5
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 5
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 5
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 5
- ZCDOYSPFYFSLEW-UHFFFAOYSA-N chromate(2-) Chemical compound [O-][Cr]([O-])(=O)=O ZCDOYSPFYFSLEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- NLJMYIDDQXHKNR-UHFFFAOYSA-K sodium citrate Chemical compound O.O.[Na+].[Na+].[Na+].[O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O NLJMYIDDQXHKNR-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 3
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 description 3
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 3
- 150000003839 salts Chemical group 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- JHWIEAWILPSRMU-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-3-pyrimidin-4-ylpropanoic acid Chemical compound OC(=O)C(C)CC1=CC=NC=N1 JHWIEAWILPSRMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N Ammonia chloride Chemical compound [NH4+].[Cl-] NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021578 Iron(III) chloride Inorganic materials 0.000 description 2
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N boric acid Chemical compound OB(O)O KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004327 boric acid Substances 0.000 description 2
- -1 citrate ions Chemical class 0.000 description 2
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K iron trichloride Chemical compound Cl[Fe](Cl)Cl RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- KMUONIBRACKNSN-UHFFFAOYSA-N potassium dichromate Chemical compound [K+].[K+].[O-][Cr](=O)(=O)O[Cr]([O-])(=O)=O KMUONIBRACKNSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOC(=O)C(C)=C XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KBQVDAIIQCXKPI-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropyl prop-2-enoate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOC(=O)C=C KBQVDAIIQCXKPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KWSLGOVYXMQPPX-UHFFFAOYSA-N 5-[3-(trifluoromethyl)phenyl]-2h-tetrazole Chemical compound FC(F)(F)C1=CC=CC(C2=NNN=N2)=C1 KWSLGOVYXMQPPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- USFZMSVCRYTOJT-UHFFFAOYSA-N Ammonium acetate Chemical compound N.CC(O)=O USFZMSVCRYTOJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005695 Ammonium acetate Substances 0.000 description 1
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-K Citrate Chemical compound [O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 229910020630 Co Ni Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002440 Co–Ni Inorganic materials 0.000 description 1
- FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N Dextrotartaric acid Chemical compound OC(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C(O)=O FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N 0.000 description 1
- HBBGRARXTFLTSG-UHFFFAOYSA-N Lithium ion Chemical compound [Li+] HBBGRARXTFLTSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229940043376 ammonium acetate Drugs 0.000 description 1
- 235000019257 ammonium acetate Nutrition 0.000 description 1
- 235000019270 ammonium chloride Nutrition 0.000 description 1
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 description 1
- 238000004873 anchoring Methods 0.000 description 1
- PLKYGPRDCKGEJH-UHFFFAOYSA-N azane;2-hydroxypropane-1,2,3-tricarboxylic acid;iron Chemical compound N.[Fe].OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O PLKYGPRDCKGEJH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FNAQSUUGMSOBHW-UHFFFAOYSA-H calcium citrate Chemical compound [Ca+2].[Ca+2].[Ca+2].[O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O.[O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O FNAQSUUGMSOBHW-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
- 239000001354 calcium citrate Substances 0.000 description 1
- KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L chromic acid Substances O[Cr](O)(=O)=O KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 229910001430 chromium ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZGDWHDKHJKZZIQ-UHFFFAOYSA-N cobalt nickel Chemical compound [Co].[Ni].[Ni].[Ni] ZGDWHDKHJKZZIQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 239000007822 coupling agent Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- PPTYNCJKYCGKEA-UHFFFAOYSA-N dimethoxy-phenyl-prop-2-enoxysilane Chemical compound C=CCO[Si](OC)(OC)C1=CC=CC=C1 PPTYNCJKYCGKEA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002845 discoloration Methods 0.000 description 1
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- WOXXJEVNDJOOLV-UHFFFAOYSA-N ethenyl-tris(2-methoxyethoxy)silane Chemical compound COCCO[Si](OCCOC)(OCCOC)C=C WOXXJEVNDJOOLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N furo[3,4-b]pyrazine-5,7-dione Chemical compound C1=CN=C2C(=O)OC(=O)C2=N1 AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- NPFOYSMITVOQOS-UHFFFAOYSA-K iron(III) citrate Chemical compound [Fe+3].[O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O NPFOYSMITVOQOS-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 229910001416 lithium ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- PHQOGHDTIVQXHL-UHFFFAOYSA-N n'-(3-trimethoxysilylpropyl)ethane-1,2-diamine Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCNCCN PHQOGHDTIVQXHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MQWFLKHKWJMCEN-UHFFFAOYSA-N n'-[3-[dimethoxy(methyl)silyl]propyl]ethane-1,2-diamine Chemical compound CO[Si](C)(OC)CCCNCCN MQWFLKHKWJMCEN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LNOPIUAQISRISI-UHFFFAOYSA-N n'-hydroxy-2-propan-2-ylsulfonylethanimidamide Chemical compound CC(C)S(=O)(=O)CC(N)=NO LNOPIUAQISRISI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 1
- 238000005554 pickling Methods 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000001508 potassium citrate Substances 0.000 description 1
- 229960002635 potassium citrate Drugs 0.000 description 1
- QEEAPRPFLLJWCF-UHFFFAOYSA-K potassium citrate (anhydrous) Chemical compound [K+].[K+].[K+].[O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O QEEAPRPFLLJWCF-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 235000011082 potassium citrates Nutrition 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 125000002924 primary amino group Chemical group [H]N([H])* 0.000 description 1
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 1
- 229910001379 sodium hypophosphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000005211 surface analysis Methods 0.000 description 1
- 229940095064 tartrate Drugs 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 235000013337 tricalcium citrate Nutrition 0.000 description 1
- HQYALQRYBUJWDH-UHFFFAOYSA-N trimethoxy(propyl)silane Chemical compound CCC[Si](OC)(OC)OC HQYALQRYBUJWDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DQZNLOXENNXVAD-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[2-(7-oxabicyclo[4.1.0]heptan-4-yl)ethyl]silane Chemical compound C1C(CC[Si](OC)(OC)OC)CCC2OC21 DQZNLOXENNXVAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOCC1CO1 BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HRXKRNGNAMMEHJ-UHFFFAOYSA-K trisodium citrate Chemical compound [Na+].[Na+].[Na+].[O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O HRXKRNGNAMMEHJ-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 229940038773 trisodium citrate Drugs 0.000 description 1
- UKRDPEFKFJNXQM-UHFFFAOYSA-N vinylsilane Chemical compound [SiH3]C=C UKRDPEFKFJNXQM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/09—Use of materials for the conductive, e.g. metallic pattern
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B15/00—Layered products comprising a layer of metal
- B32B15/04—Layered products comprising a layer of metal comprising metal as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B15/00—Layered products comprising a layer of metal
- B32B15/20—Layered products comprising a layer of metal comprising aluminium or copper
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/03—Conductive materials
- H05K2201/0332—Structure of the conductor
- H05K2201/0335—Layered conductors or foils
- H05K2201/0355—Metal foils
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/38—Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal
- H05K3/382—Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal by special treatment of the metal
- H05K3/385—Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal by special treatment of the metal by conversion of the surface of the metal, e.g. by oxidation, whether or not followed by reaction or removal of the converted layer
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
Description
*析出面(M面)の表面粗度(Rz)1.5μm以下、厚さ12umの電解銅箔を100g/Lの硫酸で5秒間浸漬して酸洗処理後純水で洗浄した。
用意した銅箔の表面に、下記条件のめっき浴でCuメッキによる微細粗化粒子層を形成した。
硫酸濃度:100g/L
めっき浴温度:30℃
電流密度:15A/dm2
通電時間:3秒
形成された銅微細粗化粒子層の厚さは0.5μmであった。
下記条件のめっき浴でNiメッキによるNi−O金属酸化物層を形成した。
クエン酸ナトリウム:35g/L
硫酸アンモニウム濃度:20g/L
pH:5.1
めっき浴温度:30℃
電流密度:25A/dm2
通電時間:5秒
形成された金属酸化物層の金属付着量は2,000μg/dm2、金属酸化物層の全体組成は、Niは60wt%及び酸素は40wt%であった。
析出面(M面)の表面粗度(Rz)1.5μm以下、厚さ12μmの電解銅箔を100g/Lの硫酸で5秒間浸漬して酸洗処理後純水で洗浄した。
用意した銅箔の表面に、実施例1と同じ条件のめっき浴でCuメッキによる微細粗化粒子層を形成した。
下記の条件のめっき浴でCoメッキによるCo−O金属酸化物層を形成した。
クエン酸ナトリウム:35g/L
硫酸アンモニウム濃度:20g/L
pH:5.0
めっき浴温度:30℃
電流密度:25A/dm2
通電時間:5秒
形成された金属酸化物層の金属付着量は4,000μg/dm2、金属酸化物層の全体組成はCoは70wt%、酸素は30wt%であった。
析出面(M面)の表面粗度(Rz)1.5μm以下、厚さ12μmの電解銅箔を100g/Lの硫酸で5秒間浸漬して酸洗処理後純水で洗浄した。
用意した銅箔の表面に、実施例1と同じ条件のめっき浴でCuメッキによる微細粗化粒子層を形成した。
下記条件のめっき浴でCo−NiメッキによるCo−Ni−O金属酸化物層を形成した。
クエン酸ナトリウム:35g/L
硫酸アンモニウム濃度:20g/L
pH:4.7
めっき浴温度:30℃
電流密度:25A/dm2
通電時間:7秒
形成された金属酸化物層の金属付着量は8,000μg/dm2、金属酸化物層の全体組成はCoが55wt%、Niが35wt%及び酸素は10wt%であった。
1.銅箔の準備
析出面(M面)の表面粗度(Rz)1.5μm以下、厚さ12μmの電解銅箔を100g/Lの硫酸で5秒間浸漬して酸洗処理後純水で洗浄した。
用意した銅箔の表面に、実施例1と同じ条件のめっき浴でCuメッキによる微細粗化粒子層を形成した。
1.銅箔の準備
光沢面(S面)の表面粗度(Rz)1.5μm以下、厚さ18μmの電解銅箔を100g/Lの硫酸で5秒間浸漬して酸洗処理後純水で洗浄した。
用意した銅箔の表面に、下記条件のめっき浴でCuメッキによる微細粗化粒子層を形成した。
硫酸濃度:100g/L
めっき浴温度:30℃
流密度:15A/dm2
通電時間:3秒
形成された銅微細粗化粒子層の厚さは0.5μmであった。
下記条件のめっき浴でNiメッキによるNi金属層を形成した。
次亜リン酸ナトリウム:15g/L
硼酸:25g/L
pH:4.5
めっき浴温度:45℃
電流密度:0.5A/dm2
通電時間:3秒
形成された金属酸化物層の金属付着量は500μg/dm2、金属層のNiは100重量%であった。
実施例1乃至3及び比較例1乃至2で製造された銅箔に対してオージェ深さ(Auger depth)分析を実施した。オージェ深さ(Auger depth)分析方法は、数百Å大きさの電子ビーム(Electron beam)を材料の表面に入射して放出されるオージェ電子(Auger electron)のエネルギーを測定して材料表面を構成している元素の種類及び量を分析し出す表面分析装備である。
実施例1乃至3及び比較例1乃至2で製造された銅箔に対して、肉眼で表面を観察して残渣の分離如何を観察した。
残渣存在如何は下記基準によって評価された。評価結果を下記表1に示した。
実施例1乃至3及び比較例1乃至2で製造された銅箔に対して耐熱性評価は次のように実施した。
実施例1乃至3及び比較例1乃至2で製造された銅箔に対して樹脂透明性評価を次のように実施した。
実施例1乃至3及び比較例1乃至2で製造された銅箔に対して光透過率評価を次のように実施した。
Claims (23)
- 少なくとも一面に金属酸化物を含む表面処理層と、を含む銅箔。
- 前記金属酸化物は、Cu、Co、Ni、Fe、Sn、Zn、In及びWのうちで少なくとも一つの金属を含む請求項1に記載の銅箔。
- 前記金属酸化物はCo−O、Ni−O、Co−Ni−O、及びCu−Co−Ni−Oのうちで少なくとも一つの金属酸化物を含む請求項1に記載の銅箔。
- 前記表面処理層は、金属被膜量が500乃至20,000μg/dm2である請求項1に記載の銅箔。
- 前記表面処理層は酸素含量が1乃至40wt%である請求項1に記載の銅箔。
- 前記表面処理層は酸素含量が銅箔と接する面で一番大きくて、外部に露出した面で一番小さな請求項1に記載の銅箔。
- 前記銅箔で表面処理層と接触する面を表面処理面と言えば、前記表面処理面の表面粗度Rzは0.1乃至1.5μmである請求項1に記載の銅箔。
- 剥離強度が0.4乃至0.6kgf/cmである請求項1に記載の銅箔。
- 光透過度が65%以上である請求項1に記載の銅箔。
- 前記銅箔で表面処理層と接触する面を表面処理面と言えば、前記表面処理面には銅粒子を含む微細粗化粒子層が形成されている請求項1に記載の銅箔。
- 前記銅粒子の粒径は0.01乃至2μmである請求項10に記載の銅箔。
- 前記微細粗化粒子層の厚さは0.01乃至2μmである請求項10に記載の銅箔。
- 絶縁性基材と、
前記絶縁性基材の一表面に付着された前記請求項1乃至請求項12のうちでいずれか一つによる銅箔と、を含む電気部品。 - 前記請求項1乃至請求項12のうちでいずれか一つによる銅箔を含む電池。
- 銅箔を準備する段階と、
前記銅箔の少なくとも一面に金属酸化物を含む表面処理層を形成する段階と、を含む銅箔の表面処理方法。 - 前記表面処理層を形成する段階は、
前記銅箔を金属、アンモニウム化合物及び着火剤を含む表面処理液に浸漬して電解する段階である請求項15に記載の銅箔の表面処理方法。 - 前記金属はCu、Co、Ni、Fe、Sn、Zn、In及びWのうちで少なくともいずれか一つである請求項16に記載の銅箔の表面処理方法。
- 前記アンモニウム化合物は硫酸アンモニウムである請求項16に記載の銅箔の表面処理方法。
- 前記着火剤はクエン酸、グリシン及びピロリン酸のうちで少なくともいずれか一つの請求項16に記載の銅箔の表面処理方法。
- 前記金属は1乃至50g/lの含量で含まれるものである請求項16に記載の銅箔の表面処理方法。
- 前記アンモニウム化合物は1乃至100g/lの含量で含まれるものである請求項16に記載の銅箔の表面処理方法。
- 前記着火剤は1乃至100g/lの含量で含まれるものである請求項16に記載の銅箔の表面処理方法。
- 前記表面処理層を形成する段階前に、前記表面処理層が形成される面に銅粒子を含む微細粗化粒子層を形成する段階と、をさらに含む請求項16に記載の銅箔の表面処理方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2013-0166914 | 2013-12-30 | ||
KR1020130166914A KR20150077943A (ko) | 2013-12-30 | 2013-12-30 | 동박, 이를 포함하는 전기부품 및 전지 |
PCT/KR2014/012941 WO2015102322A1 (ko) | 2013-12-30 | 2014-12-26 | 동박, 이를 포함하는 전기부품 및 전지 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017505385A true JP2017505385A (ja) | 2017-02-16 |
JP2017505385A5 JP2017505385A5 (ja) | 2017-09-07 |
Family
ID=53493612
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016561982A Pending JP2017505385A (ja) | 2013-12-30 | 2014-12-26 | 銅箔、これを含む電気部品及び電池 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2017505385A (ja) |
KR (1) | KR20150077943A (ja) |
CN (1) | CN105873759A (ja) |
WO (1) | WO2015102322A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105002530A (zh) * | 2015-08-10 | 2015-10-28 | 灵宝华鑫铜箔有限责任公司 | 一种提高铜箔高温防氧化性能的表面处理工艺 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0641761A (ja) * | 1992-07-28 | 1994-02-15 | Matsushita Electric Works Ltd | 銅箔の表面処理法 |
JP2002368365A (ja) * | 2001-06-04 | 2002-12-20 | Nikko Materials Co Ltd | 銅又は銅合金の支持体を備えた複合銅箔及び該複合銅箔を使用したプリント基板 |
WO2004049476A1 (ja) * | 2002-11-27 | 2004-06-10 | Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. | 非水電解液二次電池用負極集電体およびその製造方法 |
JP2005344207A (ja) * | 2004-06-02 | 2005-12-15 | Iljin Copper Foil Co Ltd | 電磁波遮蔽用黒化表面処理銅箔の製造方法 |
WO2006004299A1 (en) * | 2004-04-02 | 2006-01-12 | Iljin Copper Foil Co., Ltd. | Method for manufacturing black surface-treated copper foil for emi shield |
JP2009117706A (ja) * | 2007-11-08 | 2009-05-28 | Hitachi Cable Ltd | フレキシブルプリント配線板用銅箔及びその製造方法、並びにフレキシブルプリント配線板 |
JP2012033475A (ja) * | 2010-06-28 | 2012-02-16 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 電解銅箔、リチウムイオン二次電池用電解銅箔、該電解銅箔を用いたリチウムイオン二次電池用電極、該電極を使用したリチウムイオン二次電池 |
WO2013002279A1 (ja) * | 2011-06-30 | 2013-01-03 | 古河電気工業株式会社 | 電解銅箔、該電解銅箔の製造方法及び該電解銅箔を集電体とするリチウムイオン二次電池 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7026059B2 (en) * | 2000-09-22 | 2006-04-11 | Circuit Foil Japan Co., Ltd. | Copper foil for high-density ultrafine printed wiring boad |
JP3973197B2 (ja) * | 2001-12-20 | 2007-09-12 | 三井金属鉱業株式会社 | キャリア箔付電解銅箔及びその製造方法 |
US6852427B1 (en) * | 2003-09-02 | 2005-02-08 | Olin Corporation | Chromium-free antitarnish adhesion promoting treatment composition |
KR100603428B1 (ko) * | 2004-04-01 | 2006-07-20 | 일진소재산업주식회사 | 전자파 차폐용 흑화표면처리 동박의 제조방법 |
JP4994634B2 (ja) * | 2004-11-11 | 2012-08-08 | パナソニック株式会社 | リチウムイオン二次電池用負極、その製造方法、およびそれを用いたリチウムイオン二次電池 |
US8142905B2 (en) * | 2008-06-17 | 2012-03-27 | Jx Nippon Mining & Metals Corporation | Copper foil for printed circuit board and copper clad laminate for printed circuit board |
KR101168613B1 (ko) * | 2009-12-21 | 2012-07-30 | 엘에스엠트론 주식회사 | 표면처리층의 구조가 개선된 전해동박 및 그 제조방법과, 동장적층판 및 인쇄회로기판 |
-
2013
- 2013-12-30 KR KR1020130166914A patent/KR20150077943A/ko not_active Application Discontinuation
-
2014
- 2014-12-26 WO PCT/KR2014/012941 patent/WO2015102322A1/ko active Application Filing
- 2014-12-26 CN CN201480071796.8A patent/CN105873759A/zh active Pending
- 2014-12-26 JP JP2016561982A patent/JP2017505385A/ja active Pending
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0641761A (ja) * | 1992-07-28 | 1994-02-15 | Matsushita Electric Works Ltd | 銅箔の表面処理法 |
JP2002368365A (ja) * | 2001-06-04 | 2002-12-20 | Nikko Materials Co Ltd | 銅又は銅合金の支持体を備えた複合銅箔及び該複合銅箔を使用したプリント基板 |
WO2004049476A1 (ja) * | 2002-11-27 | 2004-06-10 | Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. | 非水電解液二次電池用負極集電体およびその製造方法 |
WO2006004299A1 (en) * | 2004-04-02 | 2006-01-12 | Iljin Copper Foil Co., Ltd. | Method for manufacturing black surface-treated copper foil for emi shield |
JP2007531820A (ja) * | 2004-04-02 | 2007-11-08 | イルジン コッパー ホイル カンパニー リミテッド | 電磁波遮蔽用黒化表面処理銅箔の製造方法 |
JP2005344207A (ja) * | 2004-06-02 | 2005-12-15 | Iljin Copper Foil Co Ltd | 電磁波遮蔽用黒化表面処理銅箔の製造方法 |
JP2009117706A (ja) * | 2007-11-08 | 2009-05-28 | Hitachi Cable Ltd | フレキシブルプリント配線板用銅箔及びその製造方法、並びにフレキシブルプリント配線板 |
JP2012033475A (ja) * | 2010-06-28 | 2012-02-16 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 電解銅箔、リチウムイオン二次電池用電解銅箔、該電解銅箔を用いたリチウムイオン二次電池用電極、該電極を使用したリチウムイオン二次電池 |
WO2013002279A1 (ja) * | 2011-06-30 | 2013-01-03 | 古河電気工業株式会社 | 電解銅箔、該電解銅箔の製造方法及び該電解銅箔を集電体とするリチウムイオン二次電池 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20150077943A (ko) | 2015-07-08 |
WO2015102322A1 (ko) | 2015-07-09 |
CN105873759A (zh) | 2016-08-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7546482B2 (ja) | 表面処理銅箔、銅張積層板及びプリント配線板 | |
JP6945523B2 (ja) | 表面処理銅箔、キャリア付銅箔、並びにそれらを用いた銅張積層板及びプリント配線板の製造方法 | |
US5861076A (en) | Method for making multi-layer circuit boards | |
JP5634103B2 (ja) | 銅張積層板用処理銅箔及び該処理銅箔を絶縁性樹脂基材に接着してなる銅張積層板並びに該銅張積層板を用いたプリント配線板。 | |
US4387006A (en) | Method of treating the surface of the copper foil used in printed wire boards | |
US8530749B2 (en) | Copper foil attached to the carrier foil, a method for preparing the same and printed circuit board using the same | |
JP5885054B2 (ja) | 銅張積層板用処理銅箔及び該処理銅箔を絶縁性樹脂基材に接着してなる銅張積層板並びに該銅張積層板を用いたプリント配線板。 | |
KR101902128B1 (ko) | 표면 처리 동박, 구리 피복 적층판, 프린트 배선판, 전자 기기, 반도체 패키지용 회로 형성 기판, 반도체 패키지 및 프린트 배선판의 제조 방법 | |
CN105556004A (zh) | 铜箔、带有载体箔的铜箔及覆铜层压板 | |
TWI675748B (zh) | 粗糙化處理銅箔,附載體銅箔,銅箔層積板及印刷配線板 | |
KR102647658B1 (ko) | 조화 처리 구리박, 캐리어를 구비한 구리박, 동장 적층판 및 프린트 배선판 | |
JP2017508890A (ja) | 銅箔、これを含む電気部品及び電池 | |
KR20150126008A (ko) | 캐리어 부착 동박, 그것을 사용한 구리 피복 적층판, 프린트 배선판, 전자 기기 및 프린트 배선판의 제조 방법 | |
JP2008109111A (ja) | 対樹脂接着層及びこれを用いた積層体の製造方法 | |
JP2006028635A (ja) | 微細回路基板用表面処理銅箔の製造方法及びその銅箔 | |
TW201942422A (zh) | 表面處理銅箔、覆銅層積板、及印刷配線板的製造方法 | |
JP6090693B2 (ja) | 表面処理銅箔及び当該表面処理銅箔を用いたプリント配線板 | |
JP5298252B1 (ja) | キャリア付銅箔、キャリア付銅箔の製造方法、プリント配線板、プリント回路板、銅張積層板、及び、プリント配線板の製造方法 | |
JP5903446B2 (ja) | キャリア付銅箔、キャリア付銅箔の製造方法、プリント配線板の製造方法、プリント回路板の製造方法、銅張積層板の製造方法及び電子機器の製造方法 | |
JP2017505385A (ja) | 銅箔、これを含む電気部品及び電池 | |
TWI805902B (zh) | 表面處理銅箔、覆銅積層板及印刷線路板 | |
JP3806677B2 (ja) | プリント配線板用銅箔 | |
JPH0314915B2 (ja) | ||
KR20230141859A (ko) | 조화 처리 구리박, 동장 적층판 및 프린트 배선판 | |
WO2018207785A1 (ja) | 電解銅箔及びその製造方法、銅張積層板、プリント配線板及びその製造方法、並びに電子機器及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170407 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170418 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170718 |
|
A524 | Written submission of copy of amendment under article 19 pct |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A524 Effective date: 20170718 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170912 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20180731 |