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JP2006271098A - 電力変換装置 - Google Patents

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JP2006271098A JP2005085176A JP2005085176A JP2006271098A JP 2006271098 A JP2006271098 A JP 2006271098A JP 2005085176 A JP2005085176 A JP 2005085176A JP 2005085176 A JP2005085176 A JP 2005085176A JP 2006271098 A JP2006271098 A JP 2006271098A
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直樹 桜井
Mutsuhiro Mori
睦宏 森
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Abstract

【課題】
本発明は、IGBTの主電流を精度良く検出する手段を備えた電力変換器を提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明の電力変換装置は、主電流を流すエミッタと、主電流に比例したセンス電流が流れるセンスエミッタとを備えたIGBTと同じ半導体基板に、温度測定手段のダイオードを配置し、この温度測定手段の出力と、前記センス電流と、予めメモリ手段に記憶させた半導体基板温度と主電流とセンス電流との関係の情報とを用いて、主電流を推定する主電流推定手段を有する。
【選択図】図1

Description

本発明は、IGBTを備えた電力変換装置に関わり、特に高い精度の電流測定を必要とする電流変換装置を備えた電力変換装置に関わる。
エンジンとモータを組み合わせた次世代自動車としてハイブリッド自動車が注目されている。ハイブリッド自動車用モータには、小型で高トルクが出せる、永久磁石を埋め込んだ同期モータが採用されている。この同期モータのトルクを最大限に引き出すため、ベクトル制御が一般的に使われている。図8はこのようなベクトル制御の制御ブロック図の一例である。アクセル、あるいはブレーキ指令により発生するトルク指令τrと、速度ωから電流指令演算し、3相の出力電流と磁極位置検出器18により検出した磁極位置θで、3相電流をd−q座標に座標変換しiq、idを作成する。Iq、idと電流指令idr、iqrにより電流制御信号Vqr、Vdrを発生し、さらにd−q座標から3相に再変換し、ドライバIC50がPWM信号を発生し、インバータの絶縁ゲートバイポーラトランジスタ(以下IGBTと称す)19を駆動する。このとき、d−q座標から3相に再変換した信号にデッドタイムによる誤差を補償する。
このようなベクトル制御には、インバータの出力電流を測定するための電流センサ17が必須である。このような電流センサでは、図示しないコアとホール素子とアンプとを備え、電流母線の周囲に配置されたコアの一部にギャップを設け、このギャップ内に配置したホール素子により、被検出電流によって発生した磁界を検出し、電圧に変換している。
また、電流センサを使わない電流検出手段として、IGBT19やパワーMOSFETの主電流を流す部分とは別に検出専用(センス)の部分を設け、その電流を検出して、主電流の検出手段とすることが特許文献1に記載されている。
図9にセンス部分をもつIGBTの断面構造の例を示す。主電流を流す部分のp層103A、n+層104Bは主エミッタ電極120により複数個が接続されている。センス電流を流す部分のp層103B、n+層104Bはセンスエミッタ電極121と接続されている。図示されていないが、ゲート電極111A、111Bは全て接続されている。IGBTに流れる電流はn+層104A、104Bの幅(ゲート幅)に比例する。従って、センス部分の電流(センス電流)を測定すれば、センス部分のn+層104Bのゲート幅と、主エミッタのn+層104Aのゲート幅との比より、主電流を測定することができる。
図10にセンス電流から主電流を測定するための回路の例を示す。センス電流Isにより抵抗Rsに発生する電圧を電圧検出器16により測定し、センス電流Isに、主エミッタのn+層104Aのゲート幅の比を乗じて主電流Imを測定する。本回路は電圧検出器の電圧がある設定電圧以上であると、過電流と見なしてIGBTを遮断するようになっている。
特開平10−32476号公報(図1から図4の記載。)
前記の電流センサを用いる方法では、電流センサが複数個の部品から構成されているため、価格が高く、さらに、磁性体のコアを使っているため、高温では磁力がなくなるために、高温では使えない問題がある。
図11にIGBTとパワーMOSFETの出力特性を示す。パワーMOSFETは0Vから電圧に対して電流が比例している。一方、IGBTは電圧が低い間は電流がほとんど流れず、ある電圧から急激に電流が流れる。また、パワーMOSFETは温度に反比例して電流が減少するという特性をもつ。これに対して、IGBTは電流が立ち上がる電圧が温度とともに下がるが、立ち上がった後の電圧に対する電流の傾きは小さくなる。このようにIGBTの電圧、電流特性が非線形であり、かつ温度によって特性が非線形に変わるため、センス電流から正確に主電流を測定することが難しい。
本発明は、IGBTの主電流を精度良く検出する手段を備えた電力変換器を提供することを目的とする。
本発明の電力変換装置は、主電流を流すエミッタと該主電流に比例したセンス電流が流れるセンスエミッタとを備えたIGBTと同じ半導体基板に、温度測定手段を配置し、この温度測定手段の出力と、センス電流とを、入力して前記主電流を推定する主電流推定手段を有する。
本発明の電力変換装置では、正確に主エミッタに流れる電流を測定できる。
以下、本発明の詳細を図面を用いながら説明する。
本実施例を図1に示す。図1は、3相の周波数可変の交流電力を出力するインバータを構成する6個のIGBTのうちの1つのIGBTを示し、電力変換装置を構成する、IGBTのゲート駆動回路部と、このゲート駆動回路にPWM信号を出力する制御部を省いている。本実施例ではIGBTが、電力変換装置の主電流を制御する主IGBT1と主IGBT1よりゲート幅が小さいセンスIGBT2とから構成されている。主IGBT1とセンスIGBT2の制御端子であるゲートと、一方の主端子であるコレクタとは共通である。センスIGBT2には抵抗10が接続され、その一端が主IGBTのエミッタと同電位になっており、図1の例では接地されている。抵抗10の両端には差動増幅器11が接続されている。差動増幅器11の出力はマイコン20のA/D変換器21Aに入力されている。マイコン20は演算器22とメモリ23を備えている。マイコン20のメモリ23には主IGBT1に流れる電流と、センスIGBT2に流れる電流の比の温度依存特性が格納されている。さらに、マイコン20にはIGBTの温度情報が温度センサ30からA/D変換器21Bを介して伝達されている。
本実施例の動作を説明する。センスIGBT2には主IGBT1に比例した電流が流れ、さらに抵抗10で電流を電圧に変換する。抵抗10の電圧が大きいと、主IGBT1とセンスIGBT2のオン電圧に誤差が生じ、主IGBT1とセンスIGBT2のゲート幅と電流比が崩れる。このため、抵抗10両端に発生する電圧はIGBTのオン電圧に対して十分小さいことが望ましい。具体的には0.2V 以下が望ましい。このような小さな電圧はA/D変換器21Aでは変換するのに電圧が小さすぎるため、差動増幅器11でA/D変換器21Aが読める電圧まで増幅する。マイコン20はA/D変換器21Aからのセンス電流の情報と、A/D変換器21Bからの温度情報により予めメモリに格納しておいた、センスIGBT2に流れる電流と主電流に流れる電流比の温度依存性のデータテーブルあるいは換算式より主電流を推定する。このように本実施例では、電流センサ17を使用せずに、高い精度で主電流を測定できる。
図2に本実施例の好ましい温度センサの断面図の例を示す。以下、半導体基板にシリコン基板を用いた場合を説明するが、これ以外の半導体基板を用いても良い。p層100上にn層101が形成され、n−層102中には複数のp層103Aが形成されている。p層103A層中にはn+層104Aが形成されている。p層103A層、n+層104A、n−層102に渡ってゲート酸化膜110Aが形成され、さらにゲート酸化膜110Aには、ゲート電極111Aが形成されている。複数のp層103A層、n+層104Aにオーミック接続された、主エミッタ電極120が形成されている。
主エミッタ電極120とゲート酸化膜110Aとは、絶縁膜112Aで絶縁分離されている。p層100にはコレクタ電極122がオーミック接触している。p層103A、n+層104A、n−層102、ゲート酸化膜110A、ゲート電極111A、絶縁膜112A、主エミッタ電極120により、主IGBT1が形成されている。同様にp層103B、n+層104B、n−層102、ゲート酸化膜110B、ゲート電極111B、絶縁膜112B、センスエミッタ電極121により、センスIGBT2が形成されている。
さらに、絶縁膜123上には、ポリシリコンによりn+層105とp層106とが形成されている。n+層105にカソード電極124がオーミック接続されている。p層106にはアノード電極125がオーミック接触している。これらのn+層105、p層106、カソード電極124、アノード電極125によりダイオードが形成されている。
本実施例では、このダイオードに所定の値の電流を流し、その順方向電圧降下により温度を測定する。すなわち、ダイオードの順方向電圧降下は温度とともに低下するので、予め順方向電圧降下と温度との関係を測定しておき、それをメモリ23に格納しておくことで正確な温度を検出する。また、温度検知用のダイオードと主IGBT1とセンスIGBT2とが同一チップに配置されているため、サーミスタのように別部品で温度を測定する場合と異なり、より高精度かつ高速に温度測定ができる。
図3にターンオフ時の主IGBT1に流れる電流と、センスIGBT2に流れる電流波形を示す。センスIGBT2に流れる電流Isは、過渡的に増加した後に、主IGBT1の主電流と同様に減衰していく。
図2を用いてその理由を説明する。パワーMOSFETは電流の担い手が電子、あるいはホールのみのユニポーラデバイスである。電子はn−層102厚さと同等だけ横方向に広がる。このため、主IGBT1とセンスIGBT2の、チップ面積と蓄積されているホール(正孔)との比を比較すると、センスIGBT1の方が相対的に多くのホールを蓄積している。定常状態では、電流は電子流に比例するため、主IGBT1とセンスIGBT2の電流は、n+層104A、104Bの幅に比例する。一方ターンオフ時には、センスIGBT2は、主IGBT1より面積の相対比で見ると多くのホールを吐き出さすため、過渡的に大きな電流が流れる。そこで、本実施例では図4に示すように、フィルタ31を差動増幅器11の出力とA/D変換器21Aとの間に設けた。このフィルタ31は、差動増幅器11の出力信号から急激な変化の成分、すなわち、高い周波数成分を阻止するローパスフィルタである。ローパスフィルタの遮断周波数はIGBTを駆動するゲート信号が通過できる周波数より高くなければならない。具体的には、PWM信号の搬送波の周波数より高く、好ましくは搬送波の2倍より高い周波数であればよい。また、フィルタ31は、抵抗やコンデンサやコイルで構成した受動フィルタであってもよい、トランジスタやFET等のディスクリートの素子やオペアンプ等のICを用いた能動フィルタであっても良い。
本実施例では、このようにフィルタを配置して、過渡的に主IGBTとセンスIGBTに流れる電流比が崩れることを低減した。図4に示すように、フィルタ31により、過渡的に主IGBTとセンスIGBTの電流比がずれた情報を除去してマイコン20に伝えることで、より正確な電流測定ができる。
本実施例では、3相インバータを電力変換器の例にして説明したが、この他にも直流/直流コンバータ、交流/直流コンバータ等の電力変換器の半導体電力スイッチング素子の主電流検出に適用できる。
図5に本実施例を示す。本実施例が実施例1と異なる部分は、差動増幅器11の出力をパルス幅変調してマイコン20に伝送していることである。差動増幅器11の出力は比較器12の一端である+側に入力されている。比較器12の他端である−側には三角波発生器13の信号が入力されている。比較器12の出力はマイコン20に内蔵されたカウンタ32に入力されている。カウンタ32の代わりにタイマに入力しても良い。
本実施例は次のように動作する。差動増幅器11の出力と三角波発生器13の信号を比較することで、差動増幅器11の出力をそれに対応したパルス幅に変換する。カウンタ32は、このパルス幅を測定することで、差動増幅器の電圧を測定できる。このように、差動増幅器11の出力をパルス幅に変換することで、ノイズ成分が三角波周期で平均化されるために、ノイズの影響が小さくなる。
本実施例では、パルスの幅と三角波の周期の比と差動増幅器の電圧との関係をマイコン20のメモリ23に予め格納しておいて、演算器22でパルス幅を電圧に復元することが望ましい。
なお、周囲の温度が変わると三角波発生器の周期や上限、下限値が変動してパルス幅も温度とともに変動するが、パルスの幅と三角波の周期との比の変動は小さいため、十分な精度が確保できる。
図6に本実施例を示す。本実施例では、比較器12の出力とカウンタ32の間に、信号絶縁伝達手段である絶縁回路33を配置したことが実施例2と相違する。本実施例では、絶縁回路33によりIGBTのアースとマイコン20のアース電位が異なる場合、例えばIGBTがインバータの上アームにある場合でも電流を測定することができる。絶縁回路33としてはフォトカプラあるいはパルストランスが望ましい。
本実施例では絶縁回路33としてフォトカプラあるいはパルストランスを用いるが、これらの絶縁回路33ではアナログ信号を伝えることができない。そこで、本実施例では、実施例2と同様に、電流信号を対応するパルス幅の信号に変換し、IGBTからの電流情報を、デジタル信号に変換している。このように、本実施例では絶縁回路33としてフォトカプラあるいはパルストランスを用いてIGBTからの電流情報を、異なるアース電位を持つマイコン20に伝えることができる。
図7に本実施例を示す。本実施例が実施例2と相違する点は、主IGBTの配線インダクタンス40に誘起される電圧を増幅する差動増幅器14と、その電圧を積分する積分器15と、積分した結果を入力するマイコン20に内蔵されたA/D変換器22とである。
インダクタンスLに電流がdI/dtで時間変化すると、(数1)式に示す電圧Vが生じる。
V=L×dI/dt (数1)
これより、(数2)式に示すように、
I=∫(V/L)dt (数2)
主IGBTの配線インダクタンス40に誘起される電圧をインダクタンスの値で割り算し、この値を積分することで、電流が得られる。ただし、積分するため、応答が遅くなりがちなので、実施例1から実施例3に示した方法でセンスIGBTに流れる電流を測定する方法を併用することが好ましい。このようにすると応答性が向上するとともに電流の測定系が2重系となるため信頼性も一層高まる。
実施例1の電流検出回路の説明図。 実施例1の温度センサと電流センス領域とを持つIGBTの断面説明図。 ターンオフ時の主IGBT1と、センスIGBT2とに流れる電流波形の説明図。 実施例1の別の電流検出回路の説明図。 実施例2の電流検出回路の説明図。 実施例3の電流検出回路の説明図。 実施例4の電流検出回路の説明図。 従来技術の同期モータの制御ブロック説明図。 従来技術のセンス領域を持つIGBTの断面説明図。 従来技術のセンスIGBTを使った電流検出回路の説明図。 IGBTとパワーMOSFETの特性説明図。
符号の説明
1…主IGBT、2…センスIGBT、10…抵抗、11、14…差動増幅器、12…比較器、13…三角波発生器、15…積分器、16…電圧検出器、17…電流センサ、18…磁極位置検出器、19…IGBT、20…マイコン、21A、21B…A/D変換器、22…演算器、23…メモリ、30…温度センサ、31…フィルタ、32…カウンタ、33…絶縁回路、40…配線インダクタンス、50…ドライバIC、51…駆動回路、60…モータ、100、103A、103B、106…p層、101…n層、102…n−層、104A、104B、105…n+層、110A、110B…ゲート酸化膜、111A、111B…ゲート電極、112A、112B…絶縁膜、120…主エミッタ電極、121…センスエミッタ電極、122…コレクタ電極、124…カソード電極、125…アノード電極。

Claims (13)

  1. 少なくとも1つのIGBTと、該IGBTの駆動手段とを備えた電力変換装置において、
    前記IGBTが、主電流を流すエミッタと、該主電流に比例したセンス電流が流れるセンスエミッタと、温度測定手段とを同じ半導体基板に備え、
    前記温度測定手段の出力と、前記センスエミッタに流れる電流とを、入力して前記主電流を推定する主電流推定手段を有することを特徴とする電力変換装置。
  2. 請求項1に記載の電力変換装置において、
    前記主電流推定手段が、
    前記センス電流を電圧に変換する電流電圧変換手段と
    該電流電圧変換手段が出力する電圧をアナログ/デジタル変換する第1のA/D変換手段と
    前記IGBTの半導体基板温度と前記主電流とセンス電流との関係を格納しておくメモリ手段と、
    該メモリ手段に格納した、前記半導体基板温度と主電流とセンス電流との関係の情報と、前記第1のA/D変換手段が変換したセンス電流の情報と、前記IGBTの温度情報とを入力し、前記主電流を計算する演算手段とを有することを特徴とする電力変換装置。
  3. 請求項2において、前記温度測定手段は前記半導体基板の一方の主面に絶縁層を介して配置したダイオードであることを特徴とする電力変換装置。
  4. 請求項2において、前記主電流推定手段の電流電圧変換手段の出力がフィルタ手段を介して前記第1のA/D変換手段に入力されることを特徴とする電力変換装置。
  5. 請求項2において、前記主電流推定手段が、前記温度測定手段の出力する電圧をアナログ/デジタル変換する第2のA/D変換手段を備えていることを特徴とする電力変換装置。
  6. 少なくとも1つのIGBTと、該IGBTの駆動手段とを備えた電力変換装置において、
    該電力変換装置が、
    主電流を流すエミッタと、該主電流に比例したセンス電流が流れるセンスエミッタとを備えたIGBTと、
    該IGBTと同じ半導体基板に配置した温度測定手段と、
    前記温度測定手段の出力と、前記センスエミッタに流れる電流とを、入力して前記主電流を推定する主電流推定手段とを備え、
    該主電流推定手段が、
    前記センス電流を電圧に変換する電流電圧変換手段と
    該電流電圧変換手段が出力する電圧に比例したパルス幅に変換するパルス変換手段と、
    該パルス幅をカウントするカウント手段と、
    前記IGBTの半導体基板温度と前記主電流とセンス電流との関係を格納しておくメモリ手段と、
    該メモリ手段に格納した、前記半導体基板温度と主電流とセンス電流との関係の情報と、前記カウント手段が出力するセンス電流の情報と、前記IGBTの温度情報とを入力し、前記主電流を計算する演算手段とを有することを特徴とする電力変換装置。
  7. 請求項6において、前記温度測定手段は前記半導体基板の一方の主面に絶縁層を介して配置したダイオードであることを特徴とする電力変換装置。
  8. 請求項6において、前記主電流推定手段の電流電圧変換手段の出力がフィルタ手段を介して前記カウント手段に入力されることを特徴とする電力変換装置。
  9. 請求項6において、前記パルス変換手段とカウント手段との間に、信号絶縁伝達手段を配置したことを特徴とする電力変換装置。
  10. 請求項6において、前記パルス変換手段が、三角波発生器の電圧と、センスエミッタに流れる電流を変換した電圧とを比較する手段を持つことを特徴とする電力変換装置。
  11. 請求項10において、前記演算手段が、前記三角波発の周期とセンスエミッタに流れる電流とから変換したパルス幅との比により、主エミッタ電流に流れる電流を計算することを特徴とする電力変換装置。
  12. 請求項1において
    前記主電流推定手段が、
    主電流が流れる配線のインダクタンス両端の電圧を測定する別の電圧測定手段と、
    該別の電圧測定手段の電圧信号を積分する積分手段と、
    該積分手段の出力を入力して主電流を計算する演算手段と、
    前記センスエミッタ電流値を用いて計算した主電流と、前記インダクタンス両端の電圧に基づいて計算した主電流と、を用いて主電流を計測することを特徴とする電力変換装置。
  13. 少なくとも1つのIGBTと、該IGBTの駆動手段とを備えた電力変換装置において、
    前記IGBTが、
    半導体基板の一方の主面にコレクタ電極を配置し、
    前記半導体基板の他方の面に、主電流を流すエミッタと、該主電流に比例したセンス電流が流れるセンスエミッタと、温度測定手段とを備え、
    該温度測定手段が絶縁層を介して配置したダイオードあって、
    前記温度測定手段の出力と、前記センスエミッタに流れる電流とを、入力して前記主電流を推定する主電流推定手段を有し、
    該主電流推定手段が、前記温度測定手段の出力する電圧をアナログ/デジタル変換するA/D変換手段を備えていることを特徴とする電力変換装置。

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