[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

JP2005123388A - ボンディング構造及びボンディング方法、並びに半導体装置及びその製造方法 - Google Patents

ボンディング構造及びボンディング方法、並びに半導体装置及びその製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2005123388A
JP2005123388A JP2003356433A JP2003356433A JP2005123388A JP 2005123388 A JP2005123388 A JP 2005123388A JP 2003356433 A JP2003356433 A JP 2003356433A JP 2003356433 A JP2003356433 A JP 2003356433A JP 2005123388 A JP2005123388 A JP 2005123388A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bonding
wire
conductive layer
conductive
chip
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2003356433A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroaki Hosokawa
広陽 細川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP2003356433A priority Critical patent/JP2005123388A/ja
Publication of JP2005123388A publication Critical patent/JP2005123388A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L24/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/02Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/04Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
    • H01L2224/04042Bonding areas specifically adapted for wire connectors, e.g. wirebond pads
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/02Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/04Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
    • H01L2224/05Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
    • H01L2224/0554External layer
    • H01L2224/0555Shape
    • H01L2224/05552Shape in top view
    • H01L2224/05553Shape in top view being rectangular
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/02Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/04Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
    • H01L2224/05Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
    • H01L2224/0554External layer
    • H01L2224/0555Shape
    • H01L2224/05552Shape in top view
    • H01L2224/05554Shape in top view being square
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/02Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/04Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
    • H01L2224/05Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
    • H01L2224/0554External layer
    • H01L2224/05599Material
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/321Disposition
    • H01L2224/32135Disposition the layer connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
    • H01L2224/32145Disposition the layer connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being stacked
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/45001Core members of the connector
    • H01L2224/45099Material
    • H01L2224/451Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
    • H01L2224/45117Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 400°C and less than 950°C
    • H01L2224/45124Aluminium (Al) as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/45001Core members of the connector
    • H01L2224/45099Material
    • H01L2224/451Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
    • H01L2224/45138Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/45144Gold (Au) as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/45001Core members of the connector
    • H01L2224/45099Material
    • H01L2224/451Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
    • H01L2224/45138Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/45147Copper (Cu) as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4807Shape of bonding interfaces, e.g. interlocking features
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/4813Connecting within a semiconductor or solid-state body, i.e. fly wire, bridge wire
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/4813Connecting within a semiconductor or solid-state body, i.e. fly wire, bridge wire
    • H01L2224/48132Connecting within a semiconductor or solid-state body, i.e. fly wire, bridge wire with an intermediate bond, e.g. continuous wire daisy chain
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48135Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
    • H01L2224/48137Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being arranged next to each other, e.g. on a common substrate
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48135Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
    • H01L2224/48145Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being stacked
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48135Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
    • H01L2224/48145Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being stacked
    • H01L2224/48147Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being stacked with an intermediate bond, e.g. continuous wire daisy chain
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/484Connecting portions
    • H01L2224/48455Details of wedge bonds
    • H01L2224/48456Shape
    • H01L2224/48458Shape of the interface with the bonding area
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/484Connecting portions
    • H01L2224/4846Connecting portions with multiple bonds on the same bonding area
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/484Connecting portions
    • H01L2224/48463Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/484Connecting portions
    • H01L2224/4847Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a wedge bond
    • H01L2224/48471Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a wedge bond the other connecting portion not on the bonding area being a ball bond, i.e. wedge-to-ball, reverse stitch
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/484Connecting portions
    • H01L2224/48475Connecting portions connected to auxiliary connecting means on the bonding areas, e.g. pre-ball, wedge-on-ball, ball-on-ball
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/484Connecting portions
    • H01L2224/48475Connecting portions connected to auxiliary connecting means on the bonding areas, e.g. pre-ball, wedge-on-ball, ball-on-ball
    • H01L2224/48476Connecting portions connected to auxiliary connecting means on the bonding areas, e.g. pre-ball, wedge-on-ball, ball-on-ball between the wire connector and the bonding area
    • H01L2224/48477Connecting portions connected to auxiliary connecting means on the bonding areas, e.g. pre-ball, wedge-on-ball, ball-on-ball between the wire connector and the bonding area being a pre-ball (i.e. a ball formed by capillary bonding)
    • H01L2224/48478Connecting portions connected to auxiliary connecting means on the bonding areas, e.g. pre-ball, wedge-on-ball, ball-on-ball between the wire connector and the bonding area being a pre-ball (i.e. a ball formed by capillary bonding) the connecting portion being a wedge bond, i.e. wedge on pre-ball
    • H01L2224/48479Connecting portions connected to auxiliary connecting means on the bonding areas, e.g. pre-ball, wedge-on-ball, ball-on-ball between the wire connector and the bonding area being a pre-ball (i.e. a ball formed by capillary bonding) the connecting portion being a wedge bond, i.e. wedge on pre-ball on the semiconductor or solid-state body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/485Material
    • H01L2224/48505Material at the bonding interface
    • H01L2224/48599Principal constituent of the connecting portion of the wire connector being Gold (Au)
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/485Material
    • H01L2224/48505Material at the bonding interface
    • H01L2224/48699Principal constituent of the connecting portion of the wire connector being Aluminium (Al)
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/485Material
    • H01L2224/48505Material at the bonding interface
    • H01L2224/48799Principal constituent of the connecting portion of the wire connector being Copper (Cu)
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491Disposition
    • H01L2224/4911Disposition the connectors being bonded to at least one common bonding area, e.g. daisy chain
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491Disposition
    • H01L2224/4911Disposition the connectors being bonded to at least one common bonding area, e.g. daisy chain
    • H01L2224/49112Disposition the connectors being bonded to at least one common bonding area, e.g. daisy chain the connectors connecting a common bonding area on the semiconductor or solid-state body to different bonding areas outside the body, e.g. diverging wires
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491Disposition
    • H01L2224/4912Layout
    • H01L2224/49175Parallel arrangements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/494Connecting portions
    • H01L2224/4941Connecting portions the connecting portions being stacked
    • H01L2224/49425Wedge bonds
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/494Connecting portions
    • H01L2224/4945Wire connectors having connecting portions of different types on the semiconductor or solid-state body, e.g. regular and reverse stitches
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/74Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
    • H01L2224/78Apparatus for connecting with wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/74Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
    • H01L2224/78Apparatus for connecting with wire connectors
    • H01L2224/7825Means for applying energy, e.g. heating means
    • H01L2224/783Means for applying energy, e.g. heating means by means of pressure
    • H01L2224/78301Capillary
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/74Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
    • H01L2224/78Apparatus for connecting with wire connectors
    • H01L2224/7855Mechanical means, e.g. for severing, pressing, stamping
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/85Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/85Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
    • H01L2224/85009Pre-treatment of the connector or the bonding area
    • H01L2224/8503Reshaping, e.g. forming the ball or the wedge of the wire connector
    • H01L2224/85035Reshaping, e.g. forming the ball or the wedge of the wire connector by heating means, e.g. "free-air-ball"
    • H01L2224/85045Reshaping, e.g. forming the ball or the wedge of the wire connector by heating means, e.g. "free-air-ball" using a corona discharge, e.g. electronic flame off [EFO]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/85Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
    • H01L2224/85009Pre-treatment of the connector or the bonding area
    • H01L2224/85051Forming additional members, e.g. for "wedge-on-ball", "ball-on-wedge", "ball-on-ball" connections
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/85Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
    • H01L2224/8512Aligning
    • H01L2224/85148Aligning involving movement of a part of the bonding apparatus
    • H01L2224/85169Aligning involving movement of a part of the bonding apparatus being the upper part of the bonding apparatus, i.e. bonding head, e.g. capillary or wedge
    • H01L2224/8518Translational movements
    • H01L2224/85181Translational movements connecting first on the semiconductor or solid-state body, i.e. on-chip, regular stitch
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/85Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
    • H01L2224/8512Aligning
    • H01L2224/85148Aligning involving movement of a part of the bonding apparatus
    • H01L2224/85169Aligning involving movement of a part of the bonding apparatus being the upper part of the bonding apparatus, i.e. bonding head, e.g. capillary or wedge
    • H01L2224/8518Translational movements
    • H01L2224/85186Translational movements connecting first outside the semiconductor or solid-state body, i.e. off-chip, reverse stitch
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/85Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
    • H01L2224/8512Aligning
    • H01L2224/85148Aligning involving movement of a part of the bonding apparatus
    • H01L2224/85169Aligning involving movement of a part of the bonding apparatus being the upper part of the bonding apparatus, i.e. bonding head, e.g. capillary or wedge
    • H01L2224/8518Translational movements
    • H01L2224/85191Translational movements connecting first both on and outside the semiconductor or solid-state body, i.e. regular and reverse stitches
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/85Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
    • H01L2224/8512Aligning
    • H01L2224/85148Aligning involving movement of a part of the bonding apparatus
    • H01L2224/85169Aligning involving movement of a part of the bonding apparatus being the upper part of the bonding apparatus, i.e. bonding head, e.g. capillary or wedge
    • H01L2224/8518Translational movements
    • H01L2224/85196Translational movements involving intermediate connecting steps before cutting the wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/85Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
    • H01L2224/852Applying energy for connecting
    • H01L2224/85201Compression bonding
    • H01L2224/85205Ultrasonic bonding
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/85Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
    • H01L2224/85909Post-treatment of the connector or wire bonding area
    • H01L2224/85951Forming additional members, e.g. for reinforcing
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2225/00Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
    • H01L2225/03All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
    • H01L2225/04All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers
    • H01L2225/065All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
    • H01L2225/06503Stacked arrangements of devices
    • H01L2225/06506Wire or wire-like electrical connections between devices
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2225/00Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
    • H01L2225/03All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
    • H01L2225/04All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers
    • H01L2225/065All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
    • H01L2225/06503Stacked arrangements of devices
    • H01L2225/0651Wire or wire-like electrical connections from device to substrate
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/02Bonding areas ; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/04Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
    • H01L24/05Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/03Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
    • H01L25/04Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
    • H01L25/065Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
    • H01L25/0655Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00 the devices being arranged next to each other
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/00014Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01004Beryllium [Be]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01005Boron [B]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01006Carbon [C]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01013Aluminum [Al]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01015Phosphorus [P]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01029Copper [Cu]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01033Arsenic [As]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01079Gold [Au]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01082Lead [Pb]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/12Passive devices, e.g. 2 terminal devices
    • H01L2924/1204Optical Diode
    • H01L2924/12041LED
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/14Integrated circuits
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/19Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/1901Structure
    • H01L2924/1904Component type
    • H01L2924/19041Component type being a capacitor

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

【課題】 ICチップ同士等の電極パッドが、金属ワイヤによって良好に接続が可能なボンディング構造及びボンディング方法、並びに半導体装置及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 第1ボンド部に接続後の金属ワイヤ2を引き出して第2ボンド部に接続する際に、金属ワイヤ2をキャピラリーの一方の下端線1aで押し付けてICチップ4の電極パッド3に仮圧着してから、キャピラリー1の他方の下端縁1aで金属ワイヤ2を折り重なるように折り返し、この折り返し部20において仮圧着部6aと同じ位置に本圧着6bすることにより、折り返し部20における金属ワイヤ2の厚みが増すため、この厚みによってキャピラリー1の押圧力が吸収され、電極パッド3の下部等にダメージを与えることもなく、接合強度が向上する。
【選択図】 図1

Description

本発明は、例えば半導体チップの電極等を接続するためのボンディング構造及びボンディング方法、並びに上記ボンディング構造を有する半導体装置及びその製造方法に関するものである。
近年、携帯電子機器の発展により、小型/高密度実装技術を使用した製品の要求が強くなってきており、同時にこれら製品は低コストであることが望まれている。
この製造技術としては、半導体チップの製造時に、例えば図9に示すように、一つのICチップ4上に機能の異なる素子(MOSやRF等)を形成し、これらの素子間を配線でつないで一つの機能ブロックを作るシステム、即ちSoC(System on Chip)が知られていた。しかし、多額のウェーハプロセス開発費や、開発期間に1年以上を要することが多く、また、機能ブロックの性能を追い込めないなどの問題があった。
これに比べ、既存の設備や技術を最大限に活用して異なる機能の素子を個別にチップとして作製し、例えば図10に示すように、複数のICチップ(能動素子)や受動部品(抵抗やコンデンサー等)を同一パッケージ内に収納するシステム、即ちSiP(System in Package)技術が注目されている。また、複数のICチップ間を直接ワイヤーボンドして結線し、電気的な接続を実現する技術もそのひとつである。
具体的には、SoCの場合は例えば図9に示すように、ICチップ(以下、チップと称することがある。)4をプリント基板10に搭載し、チップ4の電極パッド3とプリント基板10の電極パッド14とが金属ワイヤ(以下、ワイヤ又はボンディングワイヤと称することがある。)2によるワイヤボンディングによって接続された後に、全体が樹脂封止(図示省略)される。また、SiPの場合は例えば図10に示すように、個別に作製されたチップがプリント基板10に搭載され、チップ4aの電極パッド14とチップ4bの電極パッド3との間、及びチップ4cの電極パッド3とプリント基板10の電極パッド14との間が、金属ワイヤ2によるワイヤボンディングによって接続された後に、全体が樹脂封止(図示省略)される。
しかし、ICチップ間を直接ワイヤーボンドする従来の技術は、以下に示す手法にて行われているが種々の問題があった。
図11により、通常のICチップ間のワイヤボンドプロセスについて説明する。図11は、プリント基板10に搭載されたICチップ4aの電極パッド14とICチップ4bの電極パッド3とをワイヤボンディングするために、キャピラリー(中心に貫通孔5を有する円筒形のワイヤボンディングツール)1に挿通した金属ワイヤ2(例えば、金線又は銅線)を上方に配し、ワイヤボンディングする状態を示している。なお、同図において矢印は工程の順序又はキャピラリー1の動作を示す。
プリント基板10上に搭載されたICチップ4a、4bの電極パッド同士を金属ワイヤにより接続するには、まず図11(a)に示すように、スパーク手法によりワイヤ2の先端にボール9を形成し、ボール9を形成されたワイヤ2の先端が同図(b)に示すように、第1のICチップ4aの電極パッド14にボールボンド11によって接続される。
次に同図(c)に示すように、キャピラリー1を上昇させてから、同図(d)に示すように、クランパー17を閉じてワイヤ2を緊締し、キャピラリー1を第2のICチップ4bの方へ移動させ、同図(e)に示すように、キャピラリー1を下降させ、キャピラリー1の下端縁にてワイヤ2を第2のICチップ4bの電極パッド3に押しつけ、超音波振動を与えることによりワイヤ2が固着される。
次に同図(f)に示すように、クランパー17を緩めてキャピラリー1を上方に移動し、同図(g)に示すように再度クランパー17を閉じてワイヤ2を固定し、キャピラリー1を上昇させることにより、ワイヤ2が切断され、ワイヤ2が第2のICチップ4bの電極パッド3にウェッジボンド12によって接続される。
しかる後、同図(h)に示すように、ワイヤの2の先端には次のボールボンディングに備えてスパーク手法によってボール9が形成される。ワイヤボンディング終了後のチップは同図(i)に示すように、モールド樹脂19により樹脂封止される。
図12は、上記のプロセスにおける図11(e)を拡大図示し、(a)は概略断面図、(b)はワイヤ切断後の要部の平面図を示すものである。即ち、ワイヤ2の一方端が第1のICチップ4aの電極パッド14に対してボールボンド11された後、ワイヤ2がキャピラリー1によって第2のICチップ4bの方へ導びかれ、このICチップ4bの電極パッド3にウェッジボンド12された状態であるが、同図(b)に示すように、ウェッジボンド12により、圧接部6にはキャピラリー圧痕7(詳細は後述する)が形成されたり、次図にて説明するようにチップ4に悪影響を及ぼし易い。
図13は、図12における第2のICチップ4b側の電極パッド3近傍のみを更に拡大図示した断面図である。図13に示すように、ICチップ4の電極パッド3は層間膜15の表面に形成され、パッシベーション膜16の開口部に露出しており、ウェッジボンディング時には円筒形のキャピラリー1の一方の下端縁1aによって、ワイヤ2が電極パッド3に押圧されると同時に、ワイヤ2に接触していない反対側の下端縁1aによっても電極パッド3が押圧される。
従って、図13に示すように、キャピラリー1の押圧力Pに応じた圧力がキャピラリー1の下端縁1aを介して、矢印で示すようにICチップ4に作用するため、この押圧によるストレスにより、ICチップ4にクラックが生じ易く、また内部構造が変形し易い。このため、例えば内蔵回路を静電気から保護するためにソエナーダイオード(定電圧素子)等が電極パッド3の直下又はその近傍に組み込まれている場合、そうした保護素子が破壊されて機能不能となることがある。また、上記の押圧力により隣接した電極パッド3も変形等が生じ易くなるため、電極パッド3−3間の間隔を狭くすることができない。
ウェッジボンドにおいて上記のような現象が生じるメカニズムを図14により説明する。図14(a)〜(c)は上述した図11(e)〜(g)のプロセスに対応するものであって、第2のICチップの電極パッド近傍のみを誇張した図であり、太線の矢印はキャピラリー1の動きを示す。なお、以下の各図もこれと同様の図を用いて説明する。
即ち、図14(a)に示すように、キャピラリー1を下降させて金属ワイヤ2を電極パッド3に押し付け、同時に超音波をかけて加熱圧着する。この場合、上記したようにワイヤ2を押しつけているキャピラリー1の一方の下端縁1aのみならず、反対側の下端縁1aも電極パッド3を押圧してしまう
従って、金属ワイヤ2はキャピラリー1により電極パッド3に押し付けられた際に、押圧部25に圧接部6が三日月状(図14(d)参照)に変形して形成される。そして変形しながらワイヤ2と電極パッド3の金属とが双方共に変形して拡大し、図14(d)のように圧接部6に合金部分(斜線部分)を生成して接合する。
このようにウェッジボンディングされる側の電極パッドにおいては、ワイヤ2が押圧によって変形し拡大するため、電極パッド3は例えば110μm×140μmの大面積に形成され、ボールボンディングされる第1のチップの電極パッド14(例えば70×70μm)の面積に比べて大きく形成されている。
そして、図14(b)に示すように、その後キャピラリー1が上昇し、ある一定の長さの金属ワイヤ2を引き出したところで、図14(c)に示すようにワイヤ2をクランプして切断する。図14(c)における符号2a、2bはワイヤ2の切断端を示す。
ワイヤ2の切断が確実に行われるために、またワイヤ2と電極パッド3との接合強度を確保するために、キャピラリー1は電極パッド3に接触させる必要があり、その結果、図14(d)に示すようなキャピラリー圧痕7がパッド上に残ると共に、圧接により電極パッド3が変形して隣接パッドに影響を与えるおそれがあるため、電極パッド3同士の間隔を狭くすることができない。
また、このようにキャピラリー1が電極パッド3に接触することによる図13に示したような機械的ダメージが、電極パッド3の下部や周辺の回路素子へ電気特性上の影響を与える。そこで、ダメージを低減すべくキャピラリー1の荷重等を低くすると、今度はワイヤ2の接合強度が確保できなくなったりする危険性があった。
そこで、上記の点を改善したワイヤーボンド方法として、ウェッジボンド側の電極パッド上に予め金属バンプを形成し、その上にウェッジボンドする方法が知られている(後記の特許文献1参照)。
これにより、キャピラリー1によるダメージは、バンプが電極パッド3とキャピラリー1との間に介在することで吸収される。また、ワイヤ2の接合強度もバンプに金属ワイヤ2と同材料のスタッドバンプを採用したりすることで改善することができる。図15及び図16は、この方法を示す図であり、上記した図14に対応する図である。
即ち、図15(a)に示すように、ウェッジボンディングされる側の電極パッド3の上に金属バンプ8を予め形成しておき、これに対して図14(a)〜(c)と同様のプロセスで接合する。つまり、次に図15(b)に示すように、キャピラリー1を下降させてワイヤ2を電極パッド3に押し付け、同時に超音波をかけて加熱圧着する。
従って、このとき図14の場合と違い、キャピラリー1の下端縁1aはワイヤ2を押し付けている側のみが押圧作用し、他方の下端縁1aは何も接触せず、ワイヤ2を押圧している側の下端縁も電極パッド3との間に金属バンプ8が介在しているので、キャピラリー1の押圧力が金属バンプ8に吸収され、電極パッド3及びチップ4内への影響が緩和される。
次に図15(c)に示すように、キャピラリー1を上昇させてワイヤ2を引き出し、図16(d)に示すようにワイヤ2をクランプして切断するが、図16(e)(要部の平面図)に示すように、電極パッド3上において、押圧により径が拡大された金属バンプ8の上に、ワイヤ2も押圧部25が押し潰される。そしてこの状態でキャピラリー1の下端縁1aで押圧されたワイヤ2の圧接部6が金属バンプ8を挟んで電極パッド3に接続される。押圧部25における先端の凹状はワイヤ2の切断端2bの形状を示す。
しかし、この方法の場合、予め電極パッド3の上にバンプを形成しておくことが必要なため、バンプを打つことができる専用設備が必要となる。また、バンプを打つための余分な時間やワイヤ材料が必要なため、生産性、コスト面では不利であると共に、潰れたバンプが隣接パッドとの間に入り込むことによって電極パッド同士が短絡する可能性があるため、パッド間の間隔を確保しておくことが必要である。
特開平10−335368号公報(第2頁特許請求の範囲及び図3)
しかしながら、上記したように複数のICチップ間を直接ワイヤーボンドで接続する従来の技術は問題点が多い。
図13及び図14に示したワイヤーボンド方法では、ウェッジボンドする際、金属ワイヤ2を切断するためにキャピラリー1を電極パッド3に押し付ける必要があるので、キャピラリー1による機械的ダメージが、電極パッド3の下部や周辺の回路素子へ影響を与えたり、ダメージを低減しようとキャピラリー1の荷重等を低くすると、今度はワイヤ2の接合強度が確保できなくなったりする問題があった。
また、図15及び図16に示したワイヤーボンド方法は、予め電極パッド3の上に金属バンプ8を形成しておくことが必要であり、そのための専用設備が必要なこと、及びバンプ形成のための余分な時間やワイヤ材料が必要であり、生産性、コスト面で不利である。
また、図14の場合、キャピラリー1がICチップ4に与えるダメージを考慮して、電極パッド3周辺の素子や隣接パッドを一定の間隔で離さなければならず、図15及び図16の場合は、潰れたバンプが大きくなることにより、潰れたバンプが隣接パッドとの間に入り込む可能性があるため、図14と同様に間隔をとる必要があった。このため、いずれもICチップ4の間を複数本の金属ワイヤで接続する場合、狭ピッチ化に限界があった。
本発明は、上述したような問題を解決するためになされたものであって、導電層間が導線によって良好に接続が可能なボンディング構造及びボンディング方法、並びに半導体装置及びその製造方法を提供することを目的とするものである。
即ち、本発明は、第1の導電層と第2の導電層との間を導線で接続したボンディング構造において、前記第1の導電層に前記導線が接続されると共に、前記第2の導電層上で前記導線が折り重なるように折り返された状態で、少なくともこの折り返し部分にて前記導線が前記第2の導電層に接続されていることを特徴とする、ボンディング構造(以下、本発明のボンディング構造と称する。)に係るものである。
また、本発明は、第1の導電層と第2の導電層との間を導線で接続するボンディング方法において、
前記第1の導電層に前記導線を接続する工程と、
前記導線を前記第2の導電層上に導びき、前記導線を折り重ねるように折り返す工程 と、
少なくともこの折り返し部分にて前記導線を前記第2の導電層に接続する工程と
を有することを特徴とする、ボンディング方法(以下、本発明のボンディング方法と称する。)に係るものである。
また、本発明は、上記した本発明のボンディング構造を有する半導体装置(以下、本発明の半導体装置と称する。)に係るものである。
また、本発明は、上記した本発明のボンディング方法を用いる半導体装置の製造方法(以下、本発明の製造方法と称する。)に係るものである。
本発明のボンディング構造及びボンディング方法によれば、第1の導電層(例えばICチップの電極パッド等)に接続された導線(例えば金属ワイヤ)が第2の導電層(例えばICチップの電極パッド等)上に導びかれ、この導線が第2の導電層上で折り重なるように折り返された状態で、少なくともこの折り返し部分にて導線が第2の導電層に接続されるので、この折り返し部分において導線が折り重なることにより導線の厚みが増すため、バンプの如き接続手段を設ける必要もなく、この部分をキャピラリーの如きツールを用いて機械的に加熱圧着しても、折り返し部分における導線の厚みによって圧力が吸収され、第2の導電層下の回路素子等にダメージを与えることがなく、圧着部への圧着力を高めて接合強度を向上させることができる。
従って、バンプを予め形成する必要がなく、このための専用設備や材料を要せず、製造工程を簡素化して生産性の向上及び低コスト化できると共に、圧着による第2の導電層の変形やダメージを防止できるため、導電層間を狭めることも可能となり、結線の狭ピッチ化が可能となる。
また、本発明の半導体装置及びその製造方法によれば、上述した本発明のボンディング構造を有する半導体装置が、本発明のボンディング方法によって作製されるので、本発明のボンディング構造と同様に優れた作用効果を奏する半導体装置及びその製造方法を提供できる。
上記した本発明のボンディング構造、ボンディング方法、半導体装置及びその製造方法においては、前記導線(金属ワイヤ)を前記第2の導電層(第2ボンド側の電極パッド)に仮圧着し、前記折返し部分にて前記第2の導電層に本圧着することにより、仮圧着にて本圧着し易くなる一方、折り返し部において導線の厚みが大きくなるため、本圧着時の圧力が前記厚みで吸収されて緩和されると共に、接合強度が向上する点で望ましい。
この場合、前記仮圧着と前記本圧着とを同一位置又は異なる位置で行ってもよい。
そして、前記第2の導電層への接続状態で前記導線が切断されていてもよく、また、前記第2の導電層への接続後にこの接続部分を中継して、前記導線を第3の導電層(第3ボンド側の電極パッド)上に導びいてこの第3の導電層に接続してもよい。
この場合、前記第3の導電層上において、前記導線を折り重なるように折り返した状態で接続することが、折り返し分において導線の厚みが増すことにより、圧着時の圧力が吸収されるため圧力が緩和されると共に、接合強度を高めることができる点で望ましい。
そして、前記第1の導電層(第1ボンド側の電極パッド)及び前記第2の導電層が共に半導体チップ上の電極であってもよく、前記第1の導電層が実装基板上の電極又はこの実装基板に実装された半導体チップ上の電極であり、前記第2の導電層が前記半導体チップ上の電極又は前記実装基板上の電極であってもよい。
また、前記半導体チップの複数個が実装基板上に並置又は積層されている場合にも、上記により良好に接続することができる。
更に、前記実装基板上の前記第1の導電層に前記導線を接続し、この導線を前記半導体チップ上の前記第2の導電層に接続し、更にこの接続部分から前記実装基板上の導電層に接続することができる。
この場合、前記導線がボンディングワイヤであり、前記第1の導電層上でボールボンディングされていることが望ましい。
これにより、システム・イン・パッケージ(SiP)又はシステム・オン・チップ(SoC)に良好に適用できる。
ここにおいて、半導体装置とは、SiP又はSoCは勿論、ICチップをプリント基板に実装した他の混成集積回路装置や、積層型のMCM構造もしくは並置型のMCM構造等も含む意味である。
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面参照下で具体的に説明する。
実施の形態1
図1及び図2は、本実施の形態のボンディング構造を示し、従来例として示した図14に対応するプロセスの概略図である。なお、理解容易のために接続する部分を電極パッド同士として説明するが、それ以外のものでもよく、例えば、電極パッドとリードフレーム、または基板上の導電パターンとの間の接続等何でもよい。後述する他の実施の形態も同様である。
本実施の形態によるボンディング方法は、引き出した金属ワイヤをそのまま電極パッドに押し付けてウェッジボンディングする従来のワイヤボンディングとは異なり、ワイヤを折り返してボンディングを行うことが大きな特徴(後記する他の実施の形態も同様)であり、その圧着を本実施の形態は同一の場所で2回行うものである。
まず、図1(a)に示すように、キャピラリー1を下降させてキャピラリーの下端縁1aにより、金属ワイヤ2を電極パッド3に仮圧着する。この時、キャピラリー1は金属ワイヤ2の仮圧着部6aを変形させるが、キャピラリー1の下端縁1aは電極パッド3には接触させない。仮圧着後は同図(b)に示すように、キャピラリー1を上方に移動させ、金属ワイヤ2を引き出す。なお、この図において太線の矢印はキャピラリー1の動きを示す。以下同様。
次に、同図(c)に示すように、金属ワイヤ2を折り返し、仮圧着部6aを形成した時とは反対側のキャピラリー1の下端部1aで、折り返した金属ワイヤ2を再び超音波をかけて本圧着する。この時、仮圧着部6aと、ワイヤ2を折り返した後の本圧着部6bの場所は同じにし、キャピラリー1は電極パッド3には接触させない。このため、折り返し部でのワイヤ2の厚みが増えてバンプのように機能することにより、本圧着の際にもキャピラリー1の押圧力を吸収して圧力を緩和することができる。
従って、例えばICチップ4の内蔵回路を静電気から保護するために、ツエナーダイオード等が電極パッド3の直下又はその周辺に組み込まれていても、このような保護素子が破壊されて機能不能になるようなこともなく、またキャピラリー1の押圧力により隣接した電極パッド3が変形等を生じることがないため、素子又は回路の保持と共に電極パッド同士の間隔を狭めることが可能になる。
この場合、仮圧着及び本圧着共に、十分な接合強度が得られる押圧力及び超音波をかけて圧着することが重要である。
次に、図2(d)に示すように、キャピラリー1を上方に移動させ、金属ワイヤ2を引き出し、同図(e)に示すように、折り返しボンド13を行った後に金属ワイヤ2をクランプして切断する。これにより、ワイヤ2の切断端2bが形成され、折り返しボンド13を行った折り返し部20は、通常のウェッジボンディングに比べてワイヤ2の厚みが増した構造となり、ワイヤの強度が増加する。
そして、同図(f)((e)の要部の平面図)に示すように、折り返しボンド13により折り返して切断されたワイヤ2の端部には、本圧着部6bが破線にて示した仮圧着部6a上に形成され、強固に接合される。また、この押圧に伴いワイヤ2の押圧部25も変形し拡大されるが、折り返し部20がバンプのように機能することにより、この変形の度合は従来(図14、図16参照)に比べて小さく、しかも電極パッド3は変形しないので、隣接パッドにも影響を及ぼすことがなくなり、結線の狭ピッチ化が可能となる。
本実施の形態によれば、キャピラリー1は電極パッド3に接触しないので、その押圧力による機械的ダメージが電極パッド下部や周辺の回路素子へ影響を与えたりすることがない。また、通常のウェッジボンドに比べ、ワイヤ2を折り返した分だけ接合部分のワイヤ2の厚みが大となるので、押圧力を高めて接合強度を大きくすることができる。また、折り返し部のワイヤ2の厚みがバンプと同等に機能するため、予めバンプを設ける必要がなく、このための専用の設備や材料を要せず、結線を狭ピッチ化することができる。
実施の形態2
図3及び図4は本実施の形態のボンディング構造を示し、実施の形態1に対応するプロセスの概略図である。
本実施の形態が上記した実施の形態1と異なる点は、金属ワイヤを横方向に引き出して折り返す位置と、金属ワイヤの仮圧着の場所と本圧着の場所が異なることのみである。従って、異なる点を記述し、同様な点の説明は省略することがある。
即ち、図3(a)に示すように、キャピラリー1を下降させてキャピラリー1の一方の下端縁1aで金属ワイヤ2を電極パッド3に仮圧着するが、キャピラリー1の下端縁1aは電極パッド3には接触させない。そして、仮圧着が図示省略した第1の電極パッド側(同図における左側)寄りの位置で行われる。
次に、同図(b)に示すように、仮圧着部6aとは反対側の位置までワイヤ2を引き出し、この位置で同図(c)に示すようにワイヤ2を折り返し、続いて同図(d)に示すように、折り返し部20に直近の本圧着部6bの位置で本圧着する。
従って、折り返し部においてワイヤ2の厚みが増えてこの部分がバンプのように機能するため、本圧着時のキャピラリー1の押圧力が吸収されることにより、圧力を緩和することができる。これにより、例えばICチップ4の内蔵回路を静電気から保護するために、ツエナーダイオード等が電極パッド3の直下又はその周辺に組み込まれていても、このような保護素子が破壊されて機能不能になるようなこともなく、またキャピラリー1の押圧力により隣接した電極パッド3が変形等を生じることがないため、素子又は回路の保持と共に電極パッド同士の間隔を狭めることが可能になる。
次に、図4(e)に示すように、キャピラリー1を移動させてワイヤ2を引き出し、同図(f)に示すように、折り返しボンド13後にワイヤ2をクランプして切断する。
従って、同図(g)((f)の要部の平面図)に示すように、実施の形態1よりも圧接部6の領域が大きく形成され、圧着領域の小さい仮圧着部6aと圧着領域の大きい本圧着部6bとが形成される。この場合も仮圧着及び本圧着共に、十分な接合強度が得られる押圧力及び超音波をかけて圧着することが重要である。
これにより、位置の異なる2ヶ所で圧着され、また、折り返し部20で折り返しボンド13により本圧着されるので、折り返し部20がバンプと同様に機能するため、予めバンプを設ける必要がなく、このための専用の設備や材料も必要がなく、しかも、電極パッド3やその下部及び周辺の回路素子に影響することもなく、押圧力を高めて接合強度を更に大きくすることができると共に、ワイヤ2の押圧部25の変形、拡大の度合が従来例に比べて小さいので、隣接パッドとの間隔を縮小して結線の狭ピッチ化も可能になる。
本実施の形態によれば、場所が異なる2ヶ所で圧着されるので、実施の形態1に比べ、金属ワイヤ2と電極パッド3との接合面積が大きくとれるため、接合強度を更に向上させ易いという利点がある。また、実施の形態1と同様に金属ワイヤ2を折り返してキャピラリー1で押し潰すだけであるので、予めバンプを形成するなどの工程が不要で、特別な設備や余分な材料の必要がなく、通常のウェッジボンドよりも、金属ワイヤ2と電極パッド3の接合部分の幅が小さくできるので、結線の狭ピッチ化が実現できる。
実施の形態3
図5〜図8は本実施の形態のボンディング方法を示す概略図である。上記した実施の形態では、ワイヤボンディング後に金属ワイヤを切断していたが、これを切断しないで中継ボンドした例であり、いずれも上記した実施の形態1又は2のボンディング構造を適用し、同一のICチップ上又はプリント基板とICチップ間において、電極パッド3ヶ所を中継ボンドして結線した例である。
従来、中継ボンドを行う際には、第2の電極パッドにウェッジボンドした後、その上にボールボンドを行って、次々と結線していくのが一般的であった(特開2002ー353267号公報参照)。しかし、上記公報のように、毎回金属ワイヤ2を切断し、ボールを形成しなくても連続してワイヤーボンドすることができる。また、金属ワイヤを切断しないで、次々と接続していく方法(上記公報の図2参照)もあるが、接続部の接合強度が低かった。しかし、本実施の形態により良好に実施することができる。
図5はその一例を示し、同一チップ4上の電極パッド3ヶ所を中継ボンドで接続した例である。即ち、チップ4上に設けられた電極パッド3に対して、左端の電極パッド3aにはボールボンド11により接続し、中央の電極パッド3bにおいては、ワイヤ2を折り返し構造に形成した上で、ワイヤ2を切断しないで中継させた中継ボンド13Aによって接続し、更に右端の電極パッド3cにワイヤ2を延設してウェッジボンド12により接続している。
同図(b)はこの平面図を示す。これにより、ICチップ上の回路配線では流せない大電流を、この結線で流せるようにしたり、ジャンパー線(本来の経路以外の線)として活用できる。
同図(b’)は変形例を示す図であり、上記した例における第3の電極パッド3cへの接続方法は、同図(b’)のようにウェッジボンドに代えて実施の形態1及び2における第2ボンドと同様に、折り返して切断する折り返しボンド13の方式で行ってもよい。後述する他の例についても同様である。
ワイヤボンディング後のチップ4は、図5(a)に仮想線で示すようにモールド樹脂19で封止されるが、一般的にプリント基板にチップ4を搭載して実装するSiPの場合、プリント基板が型の一部として機能するため、プリント基板の裏側への樹脂の流入がなく、プリント基板上での樹脂の流動性が良好となるため、ワイヤ2の接合部が破断することがなく、断線のおそれがない(このことは以下の例でも同様)。
なお、図示省略したが、本実施の形態とは異なり、例えば電極パッドとリードフレームとの接続、又はフリップチップボンディングのように、チップの裏側へモールド樹脂が回り込むような場合にも発明を適用してもよいが、この場合でも、本実施の形態による上記したワイヤボンディング構造は上記したと同様の効果を発揮する。
図6は他の一例で(a)は概略図、(b)は平面図を示し、同じくICチップ上の電極パッドを中継ボンドで結線した例であり、最初のボールボンドをチップ近傍の基板の導電パターン上、最後のウェッジボンドをICチップ中央寄りにし、普通のワイヤーボンドでは結線できない2ヶ所を中継ボンドを介して結線した例である。
即ち、同図(a)及び(b)に示すように、プリント基板10の電極パッド14はボールボンド11によって接続し、チップ4の端部の電極パッド3aは中継ボンド13Aで接続し、チップ4の電極パッド3bではウェッジボンド12によって接続している。
このように、プリント基板10の電極パッド14と、搭載したチップ4の電極パッド3とをワイヤボンディングで接続する場合は、段差があるので通常のワイヤーボンドでは接続できない。従って、金属ワイヤとICチップ4のエッジとの接触を防止するために、特殊なワイヤーループを用いて基板上のボンド点をチップエッジから離す必要があったが、本実施の形態による中継ボンドを行うことにより、プリント基板10上の最もチップ4に近い位置と、ICチップ4上のチップエッジから遠い位置とが接続できる。
図7は他の一例で(a)は概略図、(b)は平面図を示し、チップスタックされたICチップに中継ボンドした例である。即ち、プリント基板10の上に積層状態で搭載された2個のICチップ4a、4bの電極パッド3a、3bと、プリント基板10の電極パッド14とを中継ボンド13Aで接続したものであり、プリント基板10の電極パッド14はボールボンド11によって接続し、ICチップ4aの電極パッド3aには中継ボンド13Aで接続し、ICチップ4bの電極パッド3bはウェッジボンド12で接続している。
このように、プリント基板10の電極パッド14と、基板上に積み重ねて搭載した複数のICチップの電極との接続において、上段と下段のICチップを一括して接続したい場合に有効である。
図8は他の一例で(a)は概略図、(b)は平面図を示し、プリント基板上の2ヶ所の電極パッドからICチップの一つの電極パッドにダブルボンドした例である。即ち、プリント基板10の電極パッド14aはボールボンド11で接続し、そのワイヤ2を基板上のICチップ4上に引き出してチップの電極パッド3に中継ボンド13Aにて接続し、更にプリント基板10の電極パッド14bはウェッジボンド12で接続している。
従って、このようなボンディング方法により、ICチップ4の電極パッドは1個でプリント基板10の2個の電極パッドに結線することができるため、作業性が向上すると共に、不要な電極パッドの設置を省略できることにより、省略したスペースは他の用途の入出力端子を設置する等の要素に活用できる。
本実施の形態によれば、複数の電極パッドを中継ボンドで接続するために、毎回金属ワイヤを切断し、その都度ボールを形成して切断部にボールボンドにより接続しなくても、連続してワイヤーボンドすることができる。
そして、中継ボンド13Aによる接続部分において、ワイヤ2を折り返した分だけ接合部分のワイヤ2の厚みが増すので、金属ワイヤ2と電極パッドとの接合強度を大きくすることができると共に、ワイヤ2を切断することなく、連続してワイヤーボンドできることにより、高生産性や低コストを維持しながら、高信頼性が実現できる。
上記した各実施の形態は、本発明の技術的思想に基づいて種々に変形することができる。
例えば、実施の形態1、2においては折り返してボンディング後にワイヤ2を切断した際に、ワイヤ2の切断端がボンディング部に突起状に形成され易いので、この突起を再度キャピラリー1の下端縁で押し潰して平坦化してもよい。これにより隣接ワイヤ等との接触による短絡等を防止できる。
また、ワイヤ2の折り返し方法は実施の形態以外に、例えば専用のツール等を用いて折り返し状に形成した後に、キャピラリー1で圧着することも可能である。
また、実施の形態3の中継ボンディングにおける第3の電極パッド等の終電極においては、ウェッジボンディング12に限らず、実施の形態1又は2のように折り返してボンド13Aを行ってもよい。
また、例えば第1ボンド部ではボールボンディングに限らずバンプを用いたボンディングでもよく、第2ボンド部以降のボンディング部においてもバンプを併用してもよい。
また、ボンディング用の金属ワイヤ2は金線又は銅線以外に例えばアルミニウムを用いてもよい。
なお、実施の形態における仮圧着と本圧着の場所及び圧着回数、又はワイヤ2の折り返し位置及びキャピラリー1の動作等は実施の形態に限らず、適宜であってよい。
本発明の実施の形態1によるボンディングプロセスを示す要部の概略図である。 同、ボンディングプロセスを示す要部の概略図である。 本発明の実施の形態2によるボンディングプロセスを示す要部の概略図である。 同、ボンディングプロセスを示す要部の概略図である。 本発明の実施の形態3による中継ボンディングの一例を示す概略図である。 同、中継ボンディングの一例を示す断面図である。 同、中継ボンディングの一例を示す断面図である。 同、中継ボンディングの一例を示す断面図である。 SoC(システム・オン・チップ)の一例を示す概略平面図である。 SiP(システム・イン・パッケージ)の一例を示す概略平面図である。 ICチップ間のワイヤボンディングプロセスを示す概略図である。 図11におけるワイヤボンディングプロセスの一工程の状態の拡大図である。 同ボンディングプロセスにおける要部の拡大断面図である。 従来例によるボンディングプロセスの一例を示す概略図である。 同、ボンディングプロセスにおける改善例を示す概略図である。 同、ボンディングプロセスにおける改善例を示す概略図である。
符号の説明
1…キャピラリー、1a…下端縁、2…金属ワイヤ、2a、2b…切断端、
3、14…電極パッド、4…ICチップ、5…貫通孔、6…圧接部、6a…仮圧着部、
6b…本圧着部、7…圧痕、8…金属バンプ、9…ボール、10…プリント基板、
11…ボールボンド、12…ウェッジボンド、13…折り返しボンド、
13A…中継ボンド、15…層間膜、16…パッシベーション膜、17…クランパー、
19…モールド樹脂、20…折り返し部、25…押圧部、P…圧力

Claims (26)

  1. 第1の導電層と第2の導電層との間を導線で接続したボンディング構造において、前記第1の導電層に前記導線が接続されると共に、前記第2の導電層上で前記導線が折り重なるように折り返された状態で、少なくともこの折り返し部分にて前記導線が前記第2の導電層に接続されていることを特徴とする、ボンディング構造。
  2. 前記導線が前記第2の導電層に仮圧着され、前記折り返し部分にて前記第2の導電層に本圧着されている、請求項1に記載したボンディング構造。
  3. 前記仮圧着と前記本圧着とが同一位置又は異なる位置で行われている、請求項2に記載したボンディング構造。
  4. 前記第2の導電層への接続状態で前記導線が切断されている、請求項1に記載したボンディング構造。
  5. 前記第2の導電層への接続後にこの接続部分を中継して、前記導線が第3の導電層上に導びかれてこの第3の導電層に接続されている、請求項1に記載したボンディング構造。
  6. 前記第3の導電層上において、前記導線が折り重なるように折り返された状態で接続されている、請求項5に記載したボンディング構造。
  7. 前記第1の導電層及び前記第2の導電層が共に半導体チップ上の電極である、請求項1に記載したボンディング構造。
  8. 前記第1の導電層が実装基板上の電極又はこの実装基板に実装された半導体チップ上の電極であり、前記第2の導電層が前記半導体チップ上の電極又は前記実装基板上の電極である、請求項1に記載したボンディング構造。
  9. 前記半導体チップの複数個が実装基板上に並置又は積層されている、請求項7又は8に記載したボンディング構造。
  10. 前記実装基板上の前記第1の導電層に前記導線が接続され、この導線が前記半導体チップ上の前記第2の導電層に接続され、更にこの接続部分から前記実装基板上の導電層に接続されている、請求項8に記載したボンディング構造。
  11. 前記導線がボンディングワイヤであり、前記第1の導線層上でボールボンディングされている、請求項7又は8に記載したボンディング構造。
  12. システム・イン・パッケージ(SiP)又はシステム・オン・チップ(SoC)に適用される、請求項1に記載したボンディング構造。
  13. 第1の導電層と第2の導電層との間を導線で接続するボンディング方法において、
    前記第1の導電層に前記導線を接続する工程と、
    前記導線を前記第2の導電層上に導びき、前記導線を折り重ねるように折り返す工程 と、
    少なくともこの折り返し部分にて前記導線を前記第2の導電層に接続する工程と
    を有することを特徴とする、ボンディング方法。
  14. 前記導線を前記第2の導電層に仮圧着し、前記折り返し部分にて前記第2の導電層に本圧着する、請求項13に記載したボンディング方法。
  15. 前記仮圧着と前記本圧着とを同一位置又は異なる位置で行う、請求項14に記載したボンディング方法。
  16. 前記第2の導電層への接続状態で前記導線を切断する、請求項13に記載したボンディング方法。
  17. 前記第2の導電層への接続後にこの接続部分を中継して、前記導線を第3の導電層上に導びいてこの第3の導電層に接続する、請求項13に記載したボンディング方法。
  18. 前記第3の導電層上において、前記導線を折り重ねるように折り返した状態で接続する、請求項17に記載したボンディング方法。
  19. 前記第1の導電層及び前記第2の導電層を共に半導体チップ上の電極とする、請求項13に記載したボンディング方法。
  20. 前記第1の導電層を実装基板上の電極又はこの実装基板に実装された半導体チップ上の電極とし、前記第2の導電層を前記半導体チップ上の電極又は前記実装基板上の電極とする、請求項13に記載したボンディング方法。
  21. 前記半導体チップの複数個を前記実装基板上に並置又は積層する、請求項19又は20に記載したボンディング方法。
  22. 前記実装基板上の前記第1の導電層に前記導線を接続し、この導線を前記半導体チップ上の前記第2の導電層に接続し、更にこの接続部分から前記実装基板上の導電層に接続する、請求項20に記載したボンディング方法。
  23. 前記導線がボンディングワイヤであり、前記第1の導線層上でボールボンディングする、請求項19又は20に記載したボンディング方法。
  24. システム・イン・パッケージ(SiP)又はシステム・オン・チップ(SoC)に適用する、請求項13に記載したボンディング方法。
  25. 請求項1〜12のいずれか1項に記載したボンディング構造を有する半導体装置。
  26. 請求項13〜24のいずれか1項に記載したボンディング方法を用いる半導体装置の製造方法。

JP2003356433A 2003-10-16 2003-10-16 ボンディング構造及びボンディング方法、並びに半導体装置及びその製造方法 Pending JP2005123388A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003356433A JP2005123388A (ja) 2003-10-16 2003-10-16 ボンディング構造及びボンディング方法、並びに半導体装置及びその製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003356433A JP2005123388A (ja) 2003-10-16 2003-10-16 ボンディング構造及びボンディング方法、並びに半導体装置及びその製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2005123388A true JP2005123388A (ja) 2005-05-12

Family

ID=34613683

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003356433A Pending JP2005123388A (ja) 2003-10-16 2003-10-16 ボンディング構造及びボンディング方法、並びに半導体装置及びその製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2005123388A (ja)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008091528A (ja) * 2006-09-29 2008-04-17 Sanyo Electric Co Ltd 半導体装置の製造方法及び半導体装置
JP2008288229A (ja) * 2007-05-15 2008-11-27 Citizen Electronics Co Ltd 発光ダイオード及びその製造方法
WO2009034461A2 (en) * 2007-09-13 2009-03-19 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha Semiconductor device and wire bonding method
US8123108B2 (en) 2010-01-27 2012-02-28 Shinkawa Ltd. Method of manufacturing semiconductor device and wire bonding apparatus
EP2525403A1 (en) * 2011-05-18 2012-11-21 SanDisk Semiconductor (Shanghai) Co., Ltd. Waterfall wire bonding
WO2013049965A1 (en) * 2011-10-08 2013-04-11 Sandisk Semiconductor (Shanghai) Co., Ltd. Dragonfly wire bonding
WO2015024597A1 (en) * 2013-08-21 2015-02-26 Osram Opto Semiconductors Gmbh Method for wire bonding and device produced thereby
WO2015125670A1 (ja) * 2014-02-21 2015-08-27 株式会社新川 半導体装置の製造方法、半導体装置及びワイヤボンディング装置
JP2018195622A (ja) * 2017-05-12 2018-12-06 日亜化学工業株式会社 発光装置と発光装置の製造方法

Cited By (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008091528A (ja) * 2006-09-29 2008-04-17 Sanyo Electric Co Ltd 半導体装置の製造方法及び半導体装置
JP2008288229A (ja) * 2007-05-15 2008-11-27 Citizen Electronics Co Ltd 発光ダイオード及びその製造方法
US8432015B2 (en) 2007-09-13 2013-04-30 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha Semiconductor device and wire bonding method
WO2009034461A2 (en) * 2007-09-13 2009-03-19 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha Semiconductor device and wire bonding method
JP2009071043A (ja) * 2007-09-13 2009-04-02 Toyota Motor Corp 半導体装置とワイヤボンディング方法
WO2009034461A3 (en) * 2007-09-13 2009-08-13 Toyota Motor Co Ltd Semiconductor device and wire bonding method
JP4501977B2 (ja) * 2007-09-13 2010-07-14 トヨタ自動車株式会社 半導体装置とワイヤボンディング方法
CN101803013B (zh) * 2007-09-13 2011-12-21 丰田自动车株式会社 半导体装置以及导线焊接方法
US8123108B2 (en) 2010-01-27 2012-02-28 Shinkawa Ltd. Method of manufacturing semiconductor device and wire bonding apparatus
US8196803B2 (en) 2010-01-27 2012-06-12 Shinkawa Ltd. Method of manufacturing semiconductor device and wire bonding apparatus
CN103155143A (zh) * 2011-05-18 2013-06-12 晟碟半导体(上海)有限公司 瀑布引线键合
EP2525403A1 (en) * 2011-05-18 2012-11-21 SanDisk Semiconductor (Shanghai) Co., Ltd. Waterfall wire bonding
KR20140026563A (ko) * 2011-05-18 2014-03-05 샌디스크 세미컨덕터 (상하이) 컴퍼니, 리미티드 워터폴 와이어 본딩
JP2014513870A (ja) * 2011-05-18 2014-06-05 サンディスク セミコンダクター (シャンハイ) カンパニー, リミテッド ウォータフォール・ワイヤボンディング
CN108269792A (zh) * 2011-05-18 2018-07-10 晟碟半导体(上海)有限公司 瀑布引线键合
KR101638676B1 (ko) * 2011-05-18 2016-07-11 샌디스크 세미컨덕터 (상하이) 컴퍼니, 리미티드 워터폴 와이어 본딩
US9704797B2 (en) 2011-05-18 2017-07-11 Sandisk Information Technology (Shanghai) Co., Ltd. Waterfall wire bonding
WO2013049965A1 (en) * 2011-10-08 2013-04-11 Sandisk Semiconductor (Shanghai) Co., Ltd. Dragonfly wire bonding
WO2015024597A1 (en) * 2013-08-21 2015-02-26 Osram Opto Semiconductors Gmbh Method for wire bonding and device produced thereby
JPWO2015125670A1 (ja) * 2014-02-21 2017-03-30 株式会社新川 半導体装置の製造方法、半導体装置及びワイヤボンディング装置
CN106165077A (zh) * 2014-02-21 2016-11-23 株式会社新川 半导体装置的制造方法、半导体装置以及打线装置
US9887174B2 (en) 2014-02-21 2018-02-06 Shinkawa Ltd. Semiconductor device manufacturing method, semiconductor device, and wire bonding apparatus
WO2015125670A1 (ja) * 2014-02-21 2015-08-27 株式会社新川 半導体装置の製造方法、半導体装置及びワイヤボンディング装置
CN106165077B (zh) * 2014-02-21 2019-01-01 株式会社新川 半导体装置的制造方法、半导体装置以及打线装置
JP2018195622A (ja) * 2017-05-12 2018-12-06 日亜化学工業株式会社 発光装置と発光装置の製造方法
US10431572B2 (en) 2017-05-12 2019-10-01 Nichia Corporation Light emitting device and method of manufacturing the light emitting device
US11315913B2 (en) 2017-05-12 2022-04-26 Nichia Corporation Light emitting device and method of manufacturing the light emitting device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6316838B1 (en) Semiconductor device
US8039970B2 (en) Stacked semiconductor device and method of manufacturing the same
KR100789874B1 (ko) 반도체 장치 및 그 제조 방법
JP3935370B2 (ja) バンプ付き半導体素子の製造方法、半導体装置及びその製造方法、回路基板並びに電子機器
JP4175197B2 (ja) フリップチップ実装構造
JP3765952B2 (ja) 半導体装置
JP3631120B2 (ja) 半導体装置
JP3481444B2 (ja) 半導体装置及びその製造方法
JP3865055B2 (ja) 半導体装置の製造方法
US7064425B2 (en) Semiconductor device circuit board, and electronic equipment
JP3573133B2 (ja) 半導体装置及びその製造方法、回路基板並びに電子機器
JP5181261B2 (ja) 集積回路のためのコンタクトパッドおよびコンタクトパッドの形成方法
JP2002134685A (ja) 集積回路装置
JP2005260053A (ja) 半導体装置及び半導体装置の製造方法
JP2005123388A (ja) ボンディング構造及びボンディング方法、並びに半導体装置及びその製造方法
US8217517B2 (en) Semiconductor device provided with wire that electrically connects printed wiring board and semiconductor chip each other
CN100464418C (zh) 半导体装置及其制造方法
JP4216295B2 (ja) バンプ構造およびその形成方法、ならびにそれを用いた半導体装置
JP3075617B2 (ja) 半導体集積回路装置
JP2007214238A (ja) 半導体装置およびその製造方法
US20080136027A1 (en) Method of bonding wire of semiconductor package
JP3510520B2 (ja) 半導体パッケージ及びその製造方法
JP2002076048A (ja) フリップチップ接続によるバンプの配置方法
JP5543071B2 (ja) 半導体装置およびこれを有する半導体モジュール
JP2004014637A (ja) 半導体装置及びワイヤボンディング方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060724

RD13 Notification of appointment of power of sub attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7433

Effective date: 20070125

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20080514

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080522

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080714

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080731

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080924

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090305

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090316

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20090527

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090811

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20091208