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JP2003016696A - 光情報記録媒体、光情報記録媒体用原盤およびその製造方法 - Google Patents

光情報記録媒体、光情報記録媒体用原盤およびその製造方法

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JP2003016696A
JP2003016696A JP2001200498A JP2001200498A JP2003016696A JP 2003016696 A JP2003016696 A JP 2003016696A JP 2001200498 A JP2001200498 A JP 2001200498A JP 2001200498 A JP2001200498 A JP 2001200498A JP 2003016696 A JP2003016696 A JP 2003016696A
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information recording
groove
land
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忠男 鈴木
Yoshihito Fukushima
義仁 福島
Hiroshi Nakayama
比呂史 中山
Atsushi Takeuchi
竹内　　厚
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Sony Corp
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  • Manufacturing & Machinery (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ランド・グルーブ両面を記録トラックとする
信号品質の高い光情報記録媒体を提供する。 【解決手段】 ランドおよびグルーブの両方を記録トラ
ックとして基板上に有し、基板の裏面側からレーザ光を
照射して記録および再生を行う光情報記録媒体であっ
て、グルーブ側面の傾斜角が２５°以上、４０°以下
で、かつ前記ランド面および前記グルーブ面の面粗度
（Ｒａ）がいずれも０．２〜０．７ｎｍとする。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光情報記録媒体に
関し、さらに詳しくはランドおよびグルーブの両方を記
録トラックとして有する光情報記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】書き換え可能でリムーバブルな光情報記
録媒体（以下、光ディスクと略す）は、パソコン用ファ
イルメモリなどとして、広く用いられるようになってい
る。そのニーズに応えるために、記録容量を増加させる
ための様々な技術が開発されている。記録容量を高める
方法としては、半径方向と周方向に記録密度を高める手
法がある。
【０００３】半径方向に記録密度を高める方法として、
ランド（平坦部分）・グルーブ（溝部分）の双方を記録
トラックとして使用するランド・グルーブ記録フォーマ
ットがある。この方法は従来、ランドもしくはグルーブ
の一方のみを記録トラックとしてきたものを、双方とも
記録トラックとして用いることにより、記録密度を高め
る方法である。
【０００４】このランド・グルーブ記録方法において
は、ランドおよびグルーブそれぞれ単独での信号品質で
あるＣＮＲ（Ｃａｒｒｉｅｒ ｔｏ Ｎｏｉｓｅ Ｒａ
ｔｉｏ）や、ジッタ（Ｊｉｔｔｅｒ）、あるいはクロス
トークが問題となるばかりでなく、隣接するトラックに
記録された信号間の、即ちランドに隣接するグルーブか
らのクロストーク、あるいはグルーブに隣接するランド
に記録された信号からのクロストークの影響が表れる。
【０００５】また一般に、ランド・グルーブ記録におい
ては、再生レーザの入射面から見て凹面であるランドト
ラックと、凸面であるグルーブトラックとの間でクロス
トークの特性に差が見られる。そして、ランドからグル
ーブへ漏れ込む信号量とグルーブからランドへ漏れ込む
信号量とに差異があって、それらに留意しながら複雑な
設計がなされているのが現状である。また、ランドおよ
びグルーブが記録トラックとして隣接しているために、
ＣＮＲやジッタの現象も、より複雑になる。
【０００６】一方、周方向に記録密度を高めていく手法
として、磁気的超解像（ＭＳＲ＝Ｍａｇｎｅｔｉｃ Ｓ
ｕｐｅｒ Ｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎ）がある。これは、再
生光の回折限界よりも微細に記録された記録マークを、
上層（いわゆる再生層）に磁気的に形成された開口を通
して読み出す技術である。これによって、回折限界以下
で隣接するマークを、分離して読み出すことが可能にな
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このラ
ンド・グルーブ記録と上記ＭＳＲを組み合わせた場合、
ランド・グルーブ双方のトラックにおけるクロストーク
とジッタおよびＭＳＲの磁気的な特性とは、トレードオ
フの関係となっていて、全てを同時に満足させる設計手
法、あるいは最適設計の手法がなく、解決が困難な問題
であった。部分的には例えばクロストークはランド・グ
ルーブ間の傾斜角に関係し、ジッタおよびＭＳＲの磁気
的な特性はランド・グルーブの面粗度とパターンの形状
に起因することが予想されていた。しかしながら、それ
らについての最適な組合せ、あるいは制御可能なパラメ
ータは得られていなかった。
【０００８】また、そのような最適な組合せが得られて
いなかったため、該光情報記録媒体を製造するための光
情報記録媒体用原盤およびその製造方法も得られていな
かった。
【０００９】本発明は、上記事情に鑑みてなされてもの
であって、その目的は、ランド・グルーブ両方を記録ト
ラックとする信号品質の高い光情報記録媒体を提供する
ことである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題は、以下に述べ
る本発明に係る光情報記録媒体、光情報記録媒体用原盤
およびその製造方法によって達成される。
【００１１】即ち請求項１に係る光情報記録媒体は、ラ
ンドおよびグルーブの両方を記録トラックとして基板上
に有する光情報記録媒体であって、前記基板のグルーブ
側面の傾斜角が２５°以上、４０°以下で、かつ前記基
板のランド面およびグルーブ面の面粗度（Ｒａ）がいず
れも０．２〜０．７ｎｍであることを特徴とする。この
ような構成の光情報記録媒体は、良好な信号品質特性、
即ち良好なジッタ、消去磁界特性、クロストーク特性を
有する。
【００１２】請求項１に記載の光情報記録媒体は該ラン
ド面および該グルーブ面の面粗度（Ｒａ）の差が０．２
ｎｍ以下であることが望ましい（請求項２）。このよう
な構成による光情報記録媒体は、ランド−グルーブ間に
おける磁気的バランスが良くなり、良好な信号品質特性
を有する。
【００１３】また、請求項１に記載の光情報記録媒体
は、情報の再生が磁気的な超解像（ＭＳＲ）を用いて行
われることが望ましい（請求項３）。このような構成の
光情報記録媒体は、ＭＳＲの使用により、より高密度な
記録を良好な信号品質特性で行うことができる。
【００１４】また請求項４に係る発明は、ランドおよび
グルーブの両方を記録トラックとして有する光情報記録
媒体用基板を転写作製する光情報記録媒体用原盤であっ
て、該グルーブ側面に対応する原盤面の傾斜角が２５°
以上、４０°以下で、かつ該ランド面および該グルーブ
面に対応する原盤面の面粗度（Ｒａ）がいずれも０．２
〜０．７ｎｍであることを特徴とする。このような構成
の光情報記録媒体の原盤によって良好な信号品質を有す
る光情報記録媒体を複製することができる。
【００１５】請求項５に係る光情報記録媒体用原盤の製
造方法は、ランドおよびグルーブの両方を記録トラック
として有する光情報記録媒体用基板を転写作製する光情
報記録媒体用原盤の製造方法であって、原盤素材表面に
ランド−グルーブ形状を作製する工程と、該ランド−グ
ルーブ形状が形成された原盤素材表面をプラズマエッチ
ング処理して該グルーブ側面に対応する原盤面の傾斜角
を２５°以上、４０°以下とし、かつ該ランド面および
該グルーブ面に対応する原盤面の面粗度（Ｒａ）をいず
れも０．２〜０．７ｎｍとする工程とを備えたことを特
徴とする。このような光情報記録媒体の原盤の製造方法
によって、良好な信号品質特性を有する光情報記録媒体
を複製し得る光情報記録媒体用原盤が製造可能となる。
【００１６】また、請求項５記載の光情報記録媒体用原
盤の製造方法は、プラズマエッチング処理工程における
プラズマ発生ガスがＡｒ、Ｎ２、ＨｅまたはＯ２である
ことを特徴とする（請求項６）。また、請求項５に記載
の光情報記録媒体用原盤の製造方法では、ランド面およ
びグルーブ面の面粗度（Ｒａ）の差を０．２ｎｍ以下と
することが望ましい（請求項７）。このような光情報記
録媒体の原盤の製造方法によって、ランド面とグルーブ
面の面粗度をバランスよく整えることができ、良好な信
号品質特性を有する光情報記録媒体を複製する光情報記
録媒体用原盤を作製できる。
【００１７】
【発明の実施の形態】本発明の光情報記録媒体（光ディ
スクと略す）は、グルーブ（溝）とランドとの両方を記
録トラックとして基板上に有し、該基板の裏面側からレ
ーザ光を照射して記録および再生を行う構成をなすもの
である。
【００１８】以下、本発明の光ディスクの１例を図面を
参照して説明するが、本発明の光ディスクは実施の形態
や実施例に限定されるものではない。即ち、本発明の光
ディスクは記録トラックとして基板上にグルーブとラン
ドが形成されてなるものであれば適用可能である。例え
ば、光磁気ディスクの他、記録信号に応じた所定の微細
凹凸パターンが信号記録層に形成された再生専用の光デ
ィスクでもよく、相変化型あるいは色素を用いた光ディ
スクなどでもよい。
【００１９】第１の実施の形態（請求項１） 図１は、本実施の形態による光情報記録媒体１（以下光
ディスクと略す）の部分切り欠き斜視図である。本発明
の光ディスク１は、記録信号の記録および再生を複数回
行うことができるものであり、例えば、ディスクカート
リッジ（図示せず）に収納されて、記録再生装置（図示
せず）に対して着脱自在に用いられる。
【００２０】本発明の光ディスク１は図２に示すよう
に、透明ディスク基板２上に、第１の誘電体層３，信号
記録・再生層４，第２の誘電体層５，熱拡散層６が順次
積層されて形成される。信号記録・再生層４は再生層、
中間層そして記録層からなる。
【００２１】透明ディスク基板２は、図３に示すよう
に、断面が溝状のグルーブ２ａおよび断面が台形状のラ
ンド２ｂが、円周方向にスパイラル状に形成されてい
る。そして、光ディスク１は、グルーブ２ａおよびラン
ド２ｂに沿って、信号の記録および再生が行われるよう
構成されている。
【００２２】透明ディスク基板２においては、グルーブ
２ａに沿って、記録信号の記録再生が行われる記録用ト
ラックが形成されている。そして、本発明に係る透明デ
ィスク基板２においては、グルーブおよびランドの両方
における信号記録を行う。
【００２３】図４は、図３におけるランド−グルーブ形
状の拡大断面を模式的に示す図である。図４においてＲ
ａＬ、ＲａＧはそれぞれランドの面粗度およびグルーブ
の面粗度を示し、θは、グルーブ側面が、透明ディスク
基板２の水平面となす角である。ここで、グルーブ側面
傾斜角θは２５°以上４０°以下であり、かつランド部
面粗度ＲａＬおよびグルーブ面粗度ＲａＧはいずれも
０．２〜０．７ｎｍである。
【００２４】また、本実施の形態においては、上記構成
の光ディスク１において、情報の再生は磁気的な超解像
（ＭＳＲ）を用いた（請求項３）。
【００２５】以上のように構成された透明ディスク基板
２上に、図２に示すように、第１の誘電体層３，信号記
録・再生層４，第２の誘電体層５，熱拡散層６を常法に
より順次形成して光ディスク１を作製した。ここで各層
の厚さは、基板は１．２ｍｍ、第１の誘電体層３は８０
ｎｍとした。信号記録・再生層４は再生層４０ｎｍ、中
間層３０ｎｍそして記録層５０ｎｍからなる。また、第
２の誘電体層５は２０ｎｍ，熱拡散層６は１０ｎｍとし
た。
【００２６】光ディスク１を構成する信号記録・再生層
４は、本実施の形態においては、光磁気記録層を備え
る。光磁気記録層は単層で形成されていてもよく、ある
いは多層構造で形成されても良い。又、信号記録・再生
層４には、透明ディスク基板２のグルーブ２ａ−ランド
２ｂの凹凸形状が転写されている。
【００２７】実験は、表１に示すような面粗度および傾
斜角を有するディスク基板を用いた実施例１、比較例
１、および比較例２について行った。膜構成は全て同一
である。ここで比較例２は従来品である。
【００２８】
【表１】
【００２９】図５乃至７はこれらの３点での実験結果を
示すグラフである。図５は各例のジッタの特性を示し、
図６は消去磁界特性を示し、そして図７はパワーマージ
ン特性を示す。ここで、パワーマージン特性はクロスト
ークの発生しにくさを結果的に表す。実験条件について
は、全項目に共通の条件として、読み取りレーザ光の波
長は６５０ｎｍ、ＮＡは０．５５、線速度は毎秒７．５
ｍである。
【００３０】ジッタに関する実験は、以下のステップで
行った。 １．ランド（グルーブ）とその両端のグルーブ（ラン
ド）の記録を消去する。 ２．ランド（グルーブ）に最適条件でランダム記録を行
い、最適条件で再生してジッタを測定する（最適条件と
は、ジッタの値が最小になる条件）。 実験結果は、図５に示した通りである。
【００３１】消去磁界特性の実験は、以下のステップで
行った。 １．ランド（グルーブ）とその両端のグルーブ（ラン
ド）の記録を消去する。 ２．ランド（グルーブ）に最適パワーで記録する。 ３．最適再生パワーで再生しジッタを計測する（これを
ジッタ６００とおく）。 ４．最大消去磁界（６００Ｏｅ）で消去後、最適パワー
で記録する。 ５．消去磁界（３００Ｏｅ）で消去後、最適パワーで記
録する。 ６．最適再生パワーで再生しジッタを計測する（これを
ジッタ３００とおく）。 ７．消去率を（ジッタ３００／ジッタ６００）で計測す
る。 実験結果は、図６に示す通りである。
【００３２】パワーマージン特性についての実験は、以
下のステップで行った。 １．ランド（グルーブ）とその両端のグルーブ（ラン
ド）の記録を消去する。 ２．ランド（グルーブ）に最適条件で記録する。 ３．両端のグルーブ（ランド）に最適記録パワーの５％
アップで記録する。 ４．Radial Tilt=3.5mrad、Detrack=Track Pitchの５％
をシフトさせて、以下を計測する。 ５．ランド（グルーブ）にて再生パワーを変化させて再
生し、ジッタを測定する。 ６．ジッタの立下がり（Prmin）から、ジッタの立ち上
がり（Prmax）を計測する。 ７．Prmargin={（Prmax-Prmin）／Prmin}x100%をＸＴマ
ージンとする。 ８．ジッタの立上がり、立下がりはジッタ値が１１％を
切ったときの値とする。その実験結果は、図７に示す通
りである。
【００３３】図５乃至７の実験結果を考察する。ジッタ
については、図５に示すように、実施例１および比較例
１におけるランド・グルーブのジッタについては、その
ランド・グルーブ双方のジッタが調和的に低く押さえら
れていることが分かる。
【００３４】それに反して、比較例２では、グルーブで
のジッタは低いもののランドでのジッタは高く、両方の
調和がとれているとはいえない。このようなアンバラン
スなジッタ特性は、ランドおよびグルーブの両方を記録
トラックとして使用するのには適していない。実施例１
においてはランドの面粗度が向上して、グルーブの面粗
度とのバランスが良くなったためと考えられる。
【００３５】図６が示す消去磁界特性を見ると、実施例
１および比較例１はランド、およびグルーブとも比較例
２よりも低く押さえられていることが分かる。この原
因、即ちプラズマエッチングによってランド部は面粗度
が向上したが、グルーブにおいては面粗度が悪化したの
にも関わらず消去特性が向上した原因についての詳細は
不明であるが、磁化反転が容易な面状態になったために
消去特性が向上したと推測される。
【００３６】図７はパワーマージン特性を示し、クロス
トークに対する抵抗力を示す。傾斜角θは一般には、よ
り緩やかになることによって、そのクロストークが増加
して読み取り特性が低下する、即ちパワーマージンが低
下すると推測される。しかし、実施例１および比較例
１，２の実験結果によると、傾斜角２５°では悪化せず
に維持された。そして、ランド・グルーブ双方のバラン
スがとれているといえる。但し、比較例１の１９°では
大幅に悪化した。以上の結果を定性的にまとめると、以
下の表２のようになる。
【００３７】
【表２】
【００３８】以上の実験から、本実施例１によると、記
録面の形状、即ち透明ディスク基板の形状を制御するこ
とによって、光ディスクの磁気的な特性において以下の
ような効果を得ることができることが分かった。 １．ランド部のジッタが向上すると共に、ランド・グル
ーブ双方間のバランスが良くなる。 ２．ランド部、グルーブ部ともに消去磁界特性が向上す
る。 ３．ランド部およびグルーブ部のクロストーク特性を悪
化させずに維持できる。
【００３９】即ち、本発明に係る実施の形態によって、
基板面のグルーブおよびランド形状の制御によって、今
まで困難であったランド、グルーブ双方トラックのクロ
ストークとジッタおよび磁気的な性能を同時に満足する
ことが可能となった。
【００４０】第２の実施の形態（請求項４、請求項５） 本発明による光情報記録媒体１は、前記したような形状
を有する透明ディスク基板２を用いることで作製できる
が、このディスク基板は次に述べるような光情報記録媒
体用原盤を製造し、使用することで得ることができる。
成型後の光ディスクの形状（傾斜角・面粗度）も、スタ
ンパ（原盤）の相似形となるからである。
【００４１】即ち、光情報記録媒体用原盤の製造方法
は、ランドおよびグルーブの両方を記録トラックとして
有する光情報記録媒体の基板を転写作製する光情報記録
媒体用原盤の製造方法であって、原盤素材表面にランド
−グルーブ形状を作製する工程と、該ランド−グルーブ
形状が形成された原盤素材表面をプラズマエッチング処
理して該グルーブ側面の傾斜角を２５°以上、４０°以
下とし、かつ該ランド面および該グルーブ面の面粗度
（Ｒａ）をいずれも０．２〜０．７ｎｍとする工程とを
備えたことを特徴とする。
【００４２】この光情報記録媒体用原盤の製造方法を、
図８を参照しながら述べる。この方法は、以下のステッ
プからなる。まず、原盤作製のもとになるガラス板１０
の表面を研磨、洗浄し（図８（ａ）、ガラス板１０の表
面にレジスト１１を塗布する（図８（ｂ））。ついで、
レジスト１１の面に対して、トラックの形状が残るよう
に、レーザビーム１７で露光してカッティングを行い
（図８（ｃ））、レジスト１１を現像して洗浄し、表面
にレジスト残部１２による凹凸状のトラックが形成され
たガラス板１８が出来上がる（図８（ｄ））。
【００４３】このガラス板１８のトラック面に、ニッケ
ルメッキを施すための準備として、例えばスパッタリン
グ無電解メッキなどによって薄いニッケル膜１３を付着
させて、表面を導体化させ（図８（ｅ））、その上にニ
ッケルメッキを施してニッケルメッキ層１４を形成する
（図８（ｆ））。そのニッケルメッキ層１４をガラス板
１８から剥離させ、洗浄および裏面研磨を行い、ニッケ
ル製の原盤１５が出来上がる（図８（ｇ），図８
（ｈ））。このニッケルの原盤１５の表面全面にわたっ
て、プラズマエッチング処理を行う（図８（ｉ））。
【００４４】本実施の形態における原盤素材表面にラン
ド−グルーブ形状を作製する工程（第１工程と略す）
は、上記図８（ａ）から（ｈ）のステップである。この
ステップについては、公知技術で様々な方法が可能であ
る。ここで述べたニッケルメッキによる方法はその１つ
である。また、原盤素材は上記のニッケル材に限定され
ない。
【００４５】第１工程で出来上がったニッケル原盤１５
の特徴は、そのランド面が面状態の粗いレジスト表面に
メッキされているため、面粗度が粗いことである。即ち
図９にその模式的断面図を示すように、ランド面はグル
ーブ面よりも粗い状態であって、面粗度のバランスがと
れていない。ここで得た光ディスクは従来例であり、前
述表１，２における比較例２に相当する。
【００４６】本発明では図８（ｉ）に示すように、ラン
ド−グルーブ形状が形成された原盤素材表面を、さらに
プラズマエッチング処理する。この工程（第２工程と称
す）によって、グルーブ側面の傾斜角を２５°以上、４
０°以下とし、かつランド面およびグルーブ面の面粗度
（Ｒａ）をいずれも０．２〜０．７ｎｍとする。
【００４７】本実施の形態においては、プラズマエッチ
ング処理として平行平板型で基板陰極設置タイプの装置
を用いた。使用したプラズマエッチングガスは、Ａｒガ
スである。実施例１および比較例１についての、ＲＦパ
ワー、Ａｒガス圧、処理時間はそれぞれ、１５０Ｗ、１
０Ｐａ、３min（実施例１）、および１５０Ｗ、１０Ｐ
ａ、５min（比較例１）である。この条件のニッケル膜
のエッチングレートは約１０ｎｍ／ｍｉｎであり、測定
はＡＦＭを用いた。
【００４８】実験の結果は、図１０および図１１に示
す。図１０は、本実施例によるプラズマエッチング時間
と傾斜角の関係を示すグラフであり、図１１は本実施例
によるプラズマエッチング時間と面粗度の関係を示すグ
ラフである。
【００４９】図１０に示すように、グルーブ面の傾斜角
θは、異方性エッチングにおけるエッチング速度の角度
依存性により、処理時間と共に鈍化していく。初期状態
は４０°であるが、例えば実施例１の３分では約２５°
（図１０のＡの部分）であり、比較例１の５分では１９
°（図１０のＢの部分）である。
【００５０】図１１に示すように、面粗度Ｒａは基本的
に、イオンの衝撃で悪化していく方向にある。しかし、
ランド面は第１工程において、面状態の粗いレジスト表
面にメッキされて形成されたため、初期状態においては
粗い。そのため、プラズマ処理の初期においては面粗度
は向上する。つまり、プラズマエッチングによって粗か
った初期状態のランド面粗度は、一時的に向上するから
である。その後、そのままプラズマエッチングを続ける
と、プラズマエッチングの効果によって表面は荒れてい
く、即ち粗度は単調増加的に粗くなっていく。
【００５１】そのため、一定時間経過後にエッチングを
停止して、粗度をランド・グルーブともに近づいた状態
にとどめるのが、クロストーク特性の向上など信号品質
の向上に資することになる。このようにプラズマエッチ
ング法を用いてランド・グルーブ面の粗度を制御でき、
そのような粗度の制御が信号品質を向上させ得る。
【００５２】なお、上記実施の形態ではＡｒガスによる
プラズマエッチングを用いたが、他のガス種、例えばＮ
２、Ｈｅ、Ｏ２を用いることもできる。
【００５３】以上により作製した本発明のディスクと、
従来品のディスクの特性との比較は、前述の表２に示し
た通りである。即ち実施例１はエッチング時間が３分
で、傾斜角２５°であり、グルーブ・ランド面ともに粗
度は低く押さえられてバランスがとれている。そのた
め、ジッタなどの信号品質は良好である。
【００５４】比較例２は、従来品であり、本発明におけ
るプラズマエッチング処理を施されていない状態のた
め、傾斜角は大きく、かつランド・グルーブ面の粗度の
バランスはとれていない。そのため、クロストーク特性
には優れるものの、ジッタと磁気消去特性は不良であ
る。
【００５５】比較例１は、本発明におけるエッチング処
理時間を５分間としたため、傾斜角が１９°となり、そ
のため、クロストーク特性が落ちた。
【００５６】
【発明の効果】以上詳細に説明したとおり、本発明によ
る光情報記録媒体、および光情報記録媒体用原盤とその
製造方法によれば、次のような効果を奏することができ
る。請求項１に係る光情報記録媒体によって、ランド・
グルーブ両面における記録が、その記録品質を低下させ
ずに可能となった。即ち、ランド・グルーブ両面の関連
するジッタ、消去磁気およびパワーマージン特性を好適
にバランスさせ、しかも、信号記録膜の性質に関係なく
形状のみによってそれらを向上させることができる。本
発明の光情報記録媒体は、周方向に記録密度を高めるＭ
ＳＲ方式において特にその効果が発揮される。
【００５７】請求項４，５に係る光情報記録媒体用原盤
およびその製造方法によれば、上記の記録媒体の大量生
産が可能となり、またプラズマエッチングを用いること
によって面粗度の制御が容易となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による光情報記録媒体の一例の部分切り
欠き斜視図である。
【図２】本発明による光情報記録媒体の一例の模式的断
面図である。
【図３】本発明による光情報記録媒体の透明ディスク基
板の部分模式斜視図である。
【図４】本発明による光情報記録媒体の透明ディスク基
板の部分模式断面図である。
【図５】実施例１、比較例１および２のジッタ特性を示
すグラフである。
【図６】実施例１、比較例１および２の消去磁界特性を
示すグラフである。
【図７】実施例１、比較例１および２のパワーマージン
特性を示すグラフである。
【図８】本発明による光情報記録媒体用原盤の製造方法
を示す工程断面図である。
【図９】従来例による光情報記録媒体の透明ディスク基
板の部分模式断面図である。
【図１０】本発明による光情報記録媒体用原盤の製造工
程におけるプラズマエッチング時間とグルーブ側面傾斜
角の関係を示すグラフである。
【図１１】本発明による光情報記録媒体用原盤の製造工
程におけるプラズマエッチング時間と面粗度の関係を示
すグラフである。
【符号の説明】
１…光情報記録媒体、２…透明ディスク基板、２ａ…グ
ルーブ面、２ｂ…ランド面、２ｆ…透明ディスク基板形
成面、θ…グルーブ側面傾斜角、３…第１の誘導体層、
４…信号記録・再生層、５…第２の誘導体層、６…熱拡
散層、１０…ガラス基板、１１…レジスト層、１５…光
情報記録媒体用原盤
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ１１Ｂ 11/105 Ｇ１１Ｂ 11/105 ５２１Ｆ ５４６ ５４６Ｄ (72)発明者 鈴木 忠男 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 福島 義仁 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 中山 比呂史 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 竹内 厚 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 Ｆターム(参考） 5D029 KB20 MA39 WB02 WB21 WD16 5D075 CC11 EE03 FG17 FG18 GG16 5D121 BB01 CB08 GG04 GG20

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ランドおよびグルーブの両方を記録トラ
    ックとして基板上に有する光情報記録媒体であって、前
    記基板のグルーブ側面の傾斜角が２５°以上、４０°以
    下で、かつ前記基板のランド面およびグルーブ面の面粗
    度（Ｒａ）がいずれも０．２〜０．７ｎｍであることを
    特徴とする光情報記録媒体。
  2. 【請求項２】 前記ランド面および前記グルーブ面の面
    粗度（Ｒａ）の差が０．２ｎｍ以下であることを特徴と
    する請求項１記載の光情報記録媒体。
  3. 【請求項３】 情報の再生が磁気的な超解像（ＭＳＲ）
    を用いて行われることを特徴とする請求項１記載の光情
    報記録媒体。
  4. 【請求項４】 ランドおよびグルーブの両方を記録トラ
    ックとして有する光情報記録媒体用基板を転写作製する
    光情報記録媒体用原盤であって、前記グルーブ側面に対
    応する原盤面の傾斜角が２５°以上、４０°以下で、か
    つ前記ランド面および前記グルーブ面に対応する原盤面
    の面粗度（Ｒａ）がいずれも０．２〜０．７ｎｍである
    ことを特徴とする光情報記録媒体用原盤。
  5. 【請求項５】 ランドおよびグルーブの両方を記録トラ
    ックとして有する光情報記録媒体用基板を転写作製する
    光情報記録媒体用原盤の製造方法であって、原盤素材表
    面にランド−グルーブ形状を作製する工程と、前記ラン
    ド−グルーブ形状が形成された原盤素材表面をプラズマ
    エッチング処理して前記グルーブ側面に対応する原盤面
    の傾斜角を２５°以上、４０°以下とし、かつ前記ラン
    ド面および前記グルーブ面に対応する原盤面の面粗度
    （Ｒａ）をいずれも０．２〜０．７ｎｍとする工程とを
    備えたことを特徴とする光情報記録媒体用原盤の製造方
    法。
  6. 【請求項６】 前記プラズマエッチング処理工程におけ
    るプラズマ発生ガスがＡｒ、Ｎ２、ＨｅまたはＯ２であ
    ることを特徴とする請求項５記載の光情報記録媒体用原
    盤の製造方法。
  7. 【請求項７】 前記ランド面および前記グルーブ面に対
    応する原盤面の面粗度（Ｒａ）の差を０．２ｎｍ以下と
    することを特徴とする請求項５記載の光情報記録媒体用
    原盤の製造方法。
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