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EP0354359B1 - Spülblock - Google Patents

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Publication number
EP0354359B1
EP0354359B1 EP89112534A EP89112534A EP0354359B1 EP 0354359 B1 EP0354359 B1 EP 0354359B1 EP 89112534 A EP89112534 A EP 89112534A EP 89112534 A EP89112534 A EP 89112534A EP 0354359 B1 EP0354359 B1 EP 0354359B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
gas
flushing
valve
cylinder
connection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
EP89112534A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP0354359A1 (de
Inventor
Dieter Linz
Peter Elsner
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Messer Griesheim GmbH
Original Assignee
Messer Griesheim GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Messer Griesheim GmbH filed Critical Messer Griesheim GmbH
Publication of EP0354359A1 publication Critical patent/EP0354359A1/de
Application granted granted Critical
Publication of EP0354359B1 publication Critical patent/EP0354359B1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C13/00—Details of vessels or of the filling or discharging of vessels
    • F17C13/04—Arrangement or mounting of valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C13/00—Details of vessels or of the filling or discharging of vessels
    • F17C13/12—Arrangements or mounting of devices for preventing or minimising the effect of explosion ; Other safety measures
    • F17C13/123—Arrangements or mounting of devices for preventing or minimising the effect of explosion ; Other safety measures for gas bottles, cylinders or reservoirs for tank vehicles or for railway tank wagons
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
    • F17C2205/03—Fluid connections, filters, valves, closure means or other attachments
    • F17C2205/0302—Fittings, valves, filters, or components in connection with the gas storage device
    • F17C2205/0382—Constructional details of valves, regulators
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/4238—With cleaner, lubrication added to fluid or liquid sealing at valve interface
    • Y10T137/4245—Cleaning or steam sterilizing
    • Y10T137/4259—With separate material addition

Definitions

  • the invention relates to a flushing block according to the preamble of claim 1.
  • Compressed gas cylinder connections are used to connect compressed gas cylinders to filling or dispensing systems, which are screwed onto the cylinder valve, for example, by means of a union nut.
  • a connecting line leads from the compressed gas cylinder connection to the filling or extraction system.
  • the invention is therefore based on the object of providing a flushing block which makes it possible to displace the process gases exclusively from the dead volumes of a fitting, in particular a cylinder valve.
  • the advantages achieved by the invention are that instead of a large number of fittings and connecting lines, only the bottle valve can be flushed in the form of an open ring flush.
  • the sampling line is shut off via a shut-off valve, so that no process gas can escape from the connected connecting lines and gas sampling fittings and no air or moisture can enter. It is advantageous here that during the flushing process no flushing gas enriched with moisture and process gas through the gas sampling fittings, e.g. B. pressure regulator or metering valve flows.
  • flushing gas outlets and inlets as well as the removal bore can be opened or closed via the flushing block, so that if necessary, for. B. if the empty gas cylinder contains the same process gas as the new one Pressurized gas cylinder to be connected, only the cylinder valve - on the other hand, however, the entire filling or dispensing system can also be flushed.
  • shut-off valves and the purge gas inlet and outlet are combined in one housing, the dead volume is reduced and operation is made easier. Contamination components such as particles and moisture are minimized, the purge gas consumption is reduced and the purge time when changing the gas cylinder is reduced.
  • Fig. 1 is a longitudinal sectional view of the flushing block according to the invention.
  • FIG. 2 shows a sectional illustration along the line II-II of FIG. 1.
  • Fig. 3 shows a device for process gases with a disposal bottle and a purge block according to the invention.
  • the flushing block 10 shown in FIGS. 1 and 2 consists of a connecting part 11 on which a union nut 12 is arranged.
  • the flushing block 10 is screwed onto the bottle valve 14 by means of the union nut 12, which can be placed against a flange 13 projecting radially from the connecting part.
  • the housing 15 of the flushing block 10 z. B. welded on.
  • Connection part 11 and housing 15 have a removal bore 16 which is connected to the outlet 17 of the cylinder valve 14.
  • the extraction bore 16 is connected to a process gas outlet 20 via a shut-off valve 19 arranged in the housing 15.
  • the housing 15 also has a purge gas inlet 21, which is connected to the outlet 17 of the cylinder valve 14 via a shut-off valve 22 arranged in the housing 15.
  • the connection is made by a tube 23 running in the extraction bore 16 and arranged in the housing 15 and a bore 24.
  • the outlet 17 of the cylinder valve is connected to a purge gas outlet 27 via a bore 25 branching off from the extraction bore 16 and a shut-off valve 26 arranged in the housing 15.
  • shut-off valves 19, 22 and 26 are shown as manually operated valves. It goes without saying and does not require a detailed description that these shut-off valves can also be operated automatically, for example pneumatically or hydraulically.
  • flushing block With the flushing block according to the invention, compressed gas cylinders with dangerous contents can be exchanged safely.
  • a flushing or inert gas flows in through the flushing gas inlet 21.
  • the shut-off valves 22 and 26 When the shut-off valves 22 and 26 are open, this passes through the bore 24 and the pipe 23 into the connection 17 of the cylinder valve 14.
  • the process gas in the dead volume there is mixed with the purge gas and flows through the bore 25 to the purge gas outlet 27.
  • the purging gas supply is interrupted by closing the shut-off valve 22.
  • the compressed gas bottle can then be safely exchanged for a freshly filled one.
  • shut-off valve 22 is arranged in the same horizontal plane over the corner to the shut-off valve 26 and on the same central axis of the tube 23.
  • the shut-off valve 19 is arranged in the intersection of the central axes of the shut-off valves 22, 26 perpendicular to these in the housing 15.
  • the purge gas inlet 21 and the purge gas outlet 27 emerge from the housing 15 on a common side 28.
  • shut-off valves 19, 22, 26 are advantageously arranged opposite the connection 12, 13, 17 of the bottle valve, while the shut-off valves 19, 26 are each arranged to the left or right of it.
  • the process gas flows perpendicularly to the shut-off valves 19, 22, 26 and passes from the flushing gas outlet or inlet 21 or 27 to a fitting, for example a pressure regulator.
  • a fitting for example a pressure regulator.
  • the Pressure gauges assigned to pressure regulators are advantageously arranged in the correct reading position.
  • the flushing block 10 has a flushing gas outlet 27, so that the flushing can be carried out in the form of an annular flush.
  • shut-off valves 22 and 26 are closed.
  • Process gas flows with the cylinder valve open via the extraction bore 16 and the open shut-off valve 19 to the process gas outlet 20.
  • FIG. 3 shows a device for the process gases with a purge block 10, the purge gas inlet 21 of which is connected to a purge gas bottle 31 via a pressure reducer 29 and a cylinder valve 30.
  • the connection 11, 12, 13 of the flushing block 10 is connected to the bottle valve 14 of the process gas bottle 18.
  • the flushing block With the process gas outlet 20, which exits in FIG. 3, for example on the upper side of the flushing block, the flushing block is connected to a gas extraction or filling system 32.
  • a pressure intensifier 36 can be arranged in the connecting line 35 arranged between the flushing block 10 and the disposal gas bottle 34, by means of the flushing gas pressure in the back pressure line as the flushing gas pressure decreases and the disposal bottle pressure increases is increased.
  • the disposal gas bottle can also be filled when the purge gas pressure decreases.
  • Another method consists in liquefying the process-purging gas mixture or atmosphere-purging gas mixture before its disposal by means of a disposal gas container.
  • the process purging gas mixture or atmospheric purging gas mixture can also be solidified using a chemical reaction process and likewise disposed of using a disposal gas container. In all disposal processes, toxic components can be neutralized using appropriate chemicals.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)

Description

  • Die Erfindung betrifft einen Spülblock nach dem Oberbegriff des Anspruches 1.
  • Zum Verbinden von Druckgasflaschen mit Abfüll- oder Entnahmesystemen dienen Druckgasflaschenanschlüsse, die beispielsweise mittels einer Überwurfmutter an das Flaschenventil angeschraubt werden. Von dem Druckgasflaschenanschluß führt eine Verbindungsleitung zum Abfüll- oder Entnahmesystem. Wenn die Druckgasflasche leer ist, wird das Flaschenventil geschlossen und der Druckgasflaschenanschluß vom Flaschenventil abgenommen. Dann wird eine gefüllte Druckgasflasche angeschlossen und das Flaschenventil geöffnet. Dann kann weiter Gas in das Abfüll- oder Entnahmesystem gespeist werden.
  • Dieser einfache Austausch der Druckgasflaschen ist bei explosiblen, selbstentzündlichen und insbesondere bei toxischen Gasen, deren MAK-Werte, je nach Medium, niedriger als 0,1 ppm liegen, nicht möglich. In den Totvolumina, insbesondere zwischen Flaschenventil und Druckgasflaschenanschluß sowie im Druckgasflaschenanschluß und der anschließenden Verbindungsleitung selbst, befindet sich nämlich soviel Gas, daß dieses nicht gefahrlos an die Umgebung abgegeben werden kann. Immer mehr wird daher deren Gestaltung auch beeinflußt, von der Notwendigkeit durch intensive Spülung mit einem Spülgas die Gefahren zu vermeiden. Außerdem ist es in vielen Fällen erforderlich, eingeströmte Athmosphäre (Luftfeuchtigkeit) durch Spülen zu entfernen, um bei korrosiven Gasen Salzbildung zu vermeiden. So ist es bekannt, das Flaschenventil mit einer Spül-gasleitung zu versehen. Die Spülgasleitung ist dabei mit einem Spülventil ausgestattet (DE-C-36 22 527).
  • Nach dem DE-U-86 22 871 wird vorgeschlagen, den Druckgasflaschenanschluß mit einer Spülgasleitung zu versehen. Die Spülgasleitung ist über einen Spülanschluß an eine Spülgasversorgung angeschlossen.
  • Über diese Spülgasanschlüsse muß man das Spülgas aber solange in die Spülgasleitung ein- und über die Entnahmebohrung des Flaschenventiles in die sich anschließenden Verbindungsleitungen und Armaturen weiterströmen lassen, bis das gesamte Prozeßgas verdrängt ist.
  • Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen Spülblock zu schaffen, welcher es ermöglicht, die Prozeßgase ausschließlich aus den Totvolumina einer Armatur, insbesondere eines Flaschenventiles, zu verdrängen.
  • Ausgehend von dem im Oberbegriff des Anspruches 1 berücksichtigten Stand der Technik ist diese Aufgabe erfindungsgemäß gelöst mit den im kennzeichnenden Teil des Anspruches 1 angegebenen Merkmalen. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
  • Die mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen darin, daß statt einer Vielzahl von Armaturen und Verbindungsleitungen nur das Flaschenventil in Form einer offenen Ringspülung gespült werden kann. Beim Spülen mit einem Inert- oder Spülgas wird über ein Absperrventil die Entnahmeleitung abgesperrt, so daß aus den angeschlossenen Verbindungsleitungen und Gasentnahmearmaturen kein Prozeßgas aus- und keine Luft bzw. Feuchtigkeit eintreten kann. Vorteilhaft ist hierbei, daß bei dem Spülvorgang kein mit Feuchtigkeit und Prozeßgas angereichertes Spülgas durch die Gasentnahmearmaturen, z. B. Druckregler oder Feindosierventil, strömt.
  • Weitere Vorteile ergeben sich dadurch, daß über den Spülblock die Spülgasaus- und -eingänge sowie die Entnahmebohrung geöffnet oder geschlossen werden können, so daß bei Bedarf, z. B. wenn die leere Druckgasflasche das gleiche Prozeßgas enthält, wie die neu anzuschließende Druckgasflasche, nur das Flaschenventil - andererseits jedoch auch das gesamte Abfülloder Entnahmesystem gespült werden können.
  • Dadurch, daß die Absperrventile und der Spülgaseinund ausgang in einem Gehäuse vereinigt sind, werden die Totvolumen verringert und die Bedienung erleichtert. Verunreinigungskomponenten wie Partikel und Feuchtigkeit werden minimiert, der Spülgasverbrauch verringert und die Spülzeit beim Druckgasflaschenwechsel reduziert sich.
  • Ein Ausführungsbeispiel ist in der Zeichnung dargestellt und wird im folgenden näher beschrieben.
  • Es zeigen:
       Fig. 1 eine Längsschnittdarstellung des Spülblockes nach der Erfindung.
  • Fig. 2 eine Schnittdarstellung entlang der Linie II-II der Fig. 1.
  • Fig. 3 eine Darstellung einer Vorrichtung für Prozeßgase mit einer Entsorgungsflasche und einem Spülblock nach der Erfindung.
  • Der in den Fig. 1 und 2 dargestellte Spülblock 10 besteht aus einem Anschlußteil 11, auf dem eine Überwurfmutter 12 angeordnet ist. Mittels der Überwurfmutter 12, die an einen radial von dem Anschlußteil abstehenden Flansch 13 anlegbar ist, wird der Spülblock 10 an das Flaschenventil 14 angeschraubt. An das Anschlußteil 11 ist das Gehäuse 15 des Spülblockes 10 z. B. angeschweißt.
  • Anschlußteil 11 und Gehäuse 15 weisen eine Entnahmebohrung 16 auf, die mit dem Ausgang 17 des Flaschenventiles 14 in Verbindung steht. Erfindungsgemäß ist die Entnahmebohrung 16 über ein in dem Gehäuse 15 angeordnetes Absperrventil 19 mit einem Prozeßgasausgang 20 verbunden.
  • Das Gehäuse 15 weist ferner einen Spülgaseingang 21 auf, der über ein in dem Gehäuse 15 angeordnetes Absperrventil 22 mit dem Ausgang 17 des Flaschenventiles 14 verbunden ist. Die Verbindung erfolgt durch ein in der Entnahmebohrung 16 verlaufendes und in dem Gehäuse 15 angeordnetes Rohr 23 und eine Bohrung 24.
  • Über eine von der Entnahmebohrung 16 abzweigende Bohrung 25 und ein in dem Gehäuse 15 angeordnetes Absperrventil 26 ist der Ausgang 17 des Flaschenventiles mit einem Spülgasausgang 27 verbunden.
  • In den Figuren sind die Absperrventile 19, 22 und 26 als handbetätigte Ventile dargestellt. Es ist selbstverständlich und bedarf keiner ausführlichen Beschreibung, daß diese Absperrventile auch automatisch, beispielsweise pneumatisch oder hydraulich betätigt werden können.
  • Mit dem erfindungsgemäßen Spülblock lassen sich gefahrlos Druckgasflaschen mit gefährlichem Inhalt austauschen. Hierzu schließt man zunächst das Flaschenventil 14 und das Absperrventil 19 und läßt dann durch den Spülgaseingang 21 ein Spül- oder Inertgas einströmen. Dieses gelangt bei geöffneten Absperrventilen 22 und 26 durch die Bohrung 24 und das Rohr 23 in den Anschluß 17 des Flaschenventiles 14. Das in den dortigen Totvolumen befindliche Prozeßgas wird mit dem Spülgas vermischt und strömt durch die Bohrung 25 zu dem Spülgasausgang 27. Man läßt das Spülgas durch den Spülgaseingang 21 solange einströmen, bis das gesamte Prozeßgas in dem Flaschenventil und dem Spülblock verdrängt ist. Danach unterbricht man die Spülgaszufuhr durch Schließen des Absperrventiles 22. Die Druckgasflasche kann hiernach gefahrlos gegen eine frisch gefüllte getauscht werden.
  • Für einen kompakten Aufbau und eine einfache Bedienung des Spülblockes ist es von Vorteil, daß das Absperrventil 22 in der gleichen horizontalen Ebene über Eck zu dem Absperrventil 26 und auf der gleichen Mittelachse des Rohres 23 angeordnet ist. Das Absperrventil 19 ist im Kreuzungsbereich der Mittelachsen der Absperrventile 22, 26 senkrecht zu diesen im Gehäuse 15 angeordnet. Dabei treten der Spülgaseingang 21 und der Spülgasausgang 27 an einer gemeinsamen Seite 28 aus dem Gehäuse 15 aus.
  • Es ist selbstverständlich auch vorteilhaft möglich, alle Absperrventile 19, 22, 26 in der gleichen horizontalen Ebene über Eck zueinander anzuordnen. Dabei ist vorteilhaft das Absperrventil 22 dem Anschluß 12, 13, 17 des Flaschenventiles gegenüberliegend angeordnet, während die Absperrventile 19,26 jeweils links bzw. rechts von ihm angeordnet sind. Durch diese Maßnahme strömt das Brauchgas senkrecht zu den Absperrventilen 19, 22, 26 und gebenüberliegend von dem Spülgasaus bzw. -eingang 21 bzw. 27 aus dem Spülblock zu einer Armatur, beispielsweise ein Druckregler. Dabei sind die dem Druckregler zugeordneten Manometer vorteilhaft in der richtigen Ableseposition angeordnet.
  • Für eine schnelle und wirksame Spülung des Flaschenventiles ist es von großem Vorteil, daß der Spülblock 10 über einen Spülgasausgang 27 verfügt, so daß die Spülung in Form einer Ringspülung vorgenommen werden kann.
  • Unter Betriebsbedingungen werden, wie in den Fig. 1 und 2 dargestellt, die Absperrventile 22 und 26 geschlossen. Prozeßgas strömt bei geöffnetem Flaschenventil über die Entnahmebohrung 16 und das geöffnete Absperrventil 19 zu dem Prozeßgasausgang 20.
  • In Fig.3 ist eine Vorrichtung für die Prozeßgase mit einem Spülblock 10 dargestellt, dessen Spülgaseingang 21 über einen Druckminderer 29 und ein Flaschenventil 30 mit einer Spülgasflasche 31 verbunden ist. Der Anschluß 11, 12, 13 des Spülblockes 10 ist an das Flaschenventil 14 der Prozeßgasflasche 18 angeschlossen. Mit dem Prozeßgasausgang 20, der in Fig.3, beispielsweise auf der oberen Seite des Spülblockes austritt, ist der Spülblock mit einem Gasentnahme- oder Abfüllsystem 32 verbunden. Erfindungsgemäß wird nunmehr weiter vorgeschlagen, den Spülgasausgang 27 über ein Rückschlagventil 33 mit einer leeren Entsorgungsgasflasche 34 bzw. einem Entsorgungsgasbehälter zu verbinden, in die das Prozeß-Spülgasgemisch bzw. das Atmosphären-Spülgasgemisch beim Spülvorgang strömt. Dabei kann in der zwischen Spülblock 10 und Entsorgungsgasflasche 34 angeordneten Verbindungsleitung 35 ein Druckübersetzer 36 angeordnet werden, mittels dem bei abnehmenden Spülgas- und ansteigendem Entsorgungsflaschendruck der Spülgasdruck in der Hinterdruckleitung erhöht wird. Durch diese Maßnahme kann die Entsorgungsgasflasche auch bei abnehmendem Spülgasdruck gefüllt werden. Ein weiteres Verfahren besteht in der Verflüssigung des Prozeß-Spülgasgemisches bzw. Atmosphären-Spülgasgemisches vor dessen Entsorgung mittels eines Entsorgungsgasbehälters. Neben der Verflüssigung kann das Prozeß-Spülgasgemisch bzw. Atmosphären-Spülgasgemisch auch über ein chemisches Reaktionsverfahren verfestigt und ebenfalls mittels eines Entsorgungsgasbehälters entsorgt werden. Bei allen Entsorgungsverfahren können dabei toxische Bestandteile mittels entsprechender Chemikalien neutralisiert werden. Nach dem Befüllen der Entsorgungsgasflasche 34 wird deren Flaschenventil 38 geschlossen, die Verbindung zu der Hinterdruckleitung 37 gelöst und die volle Entsorgungsgasflasche gegen eine leere Entsorgungsgasflasche ausgetauscht.

Claims (4)

  1. Spülblock (10), welcher einen mit einem Absperrventil einer Prozeßgasflasche verbindbaren Anschluß (11, 12, 13) aufweist, welcher eine in den Anschluß (11, 12, 13) hineinragende Entnahmebohrung (16) und eine mit der Entnahmebohrung verbundene Spülgasleitung (23, 24) aufweist, die über einen Spügasanschluß (21) an eine Spülgasversorgung (31) angeschlossen werden kann,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß der Spülblock (10) einen mit der Entnahmebohrung (16) verbundenen Spülgasausgang (27) aufweist, der mit einem im Spülblock (10) angeordneten Absperrventil (26) geöffnet oder geschlossen wird, daß die Entnahmebohrung (16) über ein in dem Spülblock (10) angeordnetes Absperrventil (19) mit einem Prozeßgasausgang (20) verbunden ist, und daß die Spülgasleitung (23, 24) über ein in dem Spülblock (10) angeordnetes Absperrventil (22) mit dem Spülgasanschluß (21) verbunden ist.
  2. Spülblock nach Anspruch 1,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß der Spülgasausgang (27) über eine Leitung (35, 37) an eine Entsorgungsgasflasche (34) angeschlossen ist, in der das Spülgas aufgenommen wird.
  3. Spülblock nach Anspruch 2,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß in der Leitung (35, 37) zwischen Spülgasausgang (27) und Entsorgungsgasflasche (34) ein Rückschlagventil (33) und auf der Entsorgungsgasflasche (34) ein Flaschenventil (30) angeordnet ist.
  4. Vorrichtung für Prozeßgase, mit:
    - einem Spülblock (10) gemäß einem der Ansprüche 1 - 3,
    - einer Prozeßgasflasche (18), die in der Nähe ihres Absperrventils mit dem Anschluß (11, 12, 13) des Spülblockes (10) verbunden ist,
    - einer Spülgasflasche (31), welche an dem Spülgasanschluß (21) des Spülblockes (10) angeschlossen ist,
    - einer Entsorgungsgasflasche (34), die an dem Spülgasausgang (27) des Spülblockes (10) angeschlossen ist,
    - und einer Armatur (32), die mit dem Prozeßgasausgang (20) des Spülblockes (10) verbunden ist.
EP89112534A 1988-08-12 1989-07-08 Spülblock Expired - Lifetime EP0354359B1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE8810259U DE8810259U1 (de) 1988-08-12 1988-08-12 Spülblock
DE8810259U 1988-08-12

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP0354359A1 EP0354359A1 (de) 1990-02-14
EP0354359B1 true EP0354359B1 (de) 1992-11-25

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Application Number Title Priority Date Filing Date
EP89112534A Expired - Lifetime EP0354359B1 (de) 1988-08-12 1989-07-08 Spülblock

Country Status (4)

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US (1) US4957133A (de)
EP (1) EP0354359B1 (de)
JP (1) JPH02125200A (de)
DE (2) DE8810259U1 (de)

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