DE4002154A1 - Verfahren und vorrichtung zum reinigen von chemisch behandelten teilen, z. b. leiterplatten - Google Patents
Verfahren und vorrichtung zum reinigen von chemisch behandelten teilen, z. b. leiterplattenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum
Reinigen von im Rahmen eines chemischen Prozesses behandelten
Teilen, z. B. Leiterplatten, gemäß dem Oberbegriff der Ansprüche 1
oder 6.
Eine Vielzahl von Produkten, die im Rahmen ihrer Herstellung
einem chemischen Prozeß ausgesetzt werden, müssen hinterher ge
reinigt und getrocknet werden. Je nach Art des chemischen Pro
zesses werden für das Reinigen chemische Lösungsmittel, die we
niger umweltverträglich sind, oder auch Wasser verwendet. Um
den Bedarf an Reinigungsflüssigkeit dabei gering zu halten,
wird die Reinigungsflüssigkeit zwischenzeitlich aufbereitet,
d.h. selbst gereinigt, und dem Reinigungsprozeß wieder zur Ver
fügung gestellt. Will man dabei Unterbrechungen des Reinigungs
prozesses vermeiden, arbeitet man in einem geschlossenen Kreis
lauf, d.h. die dem Reinigungsprozeß jeweils zugeführte Reini
gungsflüssigkeit wird nach Verbrauch unmittelbar aufbereitet
und dem Reinigungsprozeß wieder zugeführt.
Bei Verwendung von Wasser als Reinigungsflüssigkeit dienen zur
Aufbereitung in der Regel Ionenaustauscher. Werden jedoch Ionen
austauscher ständig mit nicht ausreichend verschmutztem Wasser
belastet, dann wird der pH-Wert mit der Zeit ungünstig beein
flußt, so daß eine zusätzliche pH-Wert-Steuerung erforderlich
wird, was wiederum zu einer zusätzlichen Belastung der Reini
gungsflüssigkeit und zu einer verringerten Reinigungswirkung
des Prozesses führt.
Günstiger ist daher eine vom Verschmutzungsgrad der Reinigungs
flüssigkeit gesteuerte zeitweilige Wirksamschaltung der Aufbe
reitung durch den Ionenaustauscher.
Kann andererseits kein kontinuierlicher Reinigungsbetrieb si
chergestellt werden, weil z.B. die pro Zeiteinheit zu reinigen
de Menge dafür nicht ausreicht, dann werden die Pausen zwischen
den Aufbereitungsphasen vielfach zu groß. Die im Ionenaustau
scher verbleibende Reinigungsflüssigkeit verschmutzt daher stär
ker und verunreinigt bei Inbetriebnahme der Aufbereitung die dem
Reinigungsprozeß zugeführte Reinigungsflüssigkeit vorübergehend
noch stärker, was die Reinigungswirkung des Prozesses ebenfalls
beeinträchtigt. Außerdem werden die Harze des Ionenaustauschers
schneller unbrauchbar, was den Harzverbrauch erhöht.
Aufgabe der Erfindung ist es daher, ein Verfahren und eine ent
sprechend arbeitende Vorrichtung für einen, eine wässrige, durch
einen Ionenaustauscher aufbereitbare Reinigungsflüssigkeit be
nutzenden Reinigungsprozeß zu schaffen, der auch diskontinuier
lich ablaufen kann, ohne daß damit eine stärkere Verschmutzung
der Reinigungsflüssigkeit und ein größerer Verbrauch an teuren
Harzen für den Ionenaustauscher verbunden ist.
Diese Aufgabe wird bezüglich des neuen Verfahrens durch die
kennzeichnenden Merkmale des Patentanspruches 1 gelöst.
Danach erfolgt die Speisung des Reinigungsprozesses mit Reini
gungsflüssigkeit wechselweise aus zwei Quellen, wobei die Rei
nigungsflüssigkeit der jeweils nicht in den Reinigungsprozeß
eingeschalteten Quelle für die Aufbereitung zur Verfügung
steht. Die Aufbereitung ist dadurch unabhängig vom laufenden
Reinigungsprozeß und kann beendet werden, ohne daß die im
Ionenaustauscher verbleibende und mit der Zeit stärker ver
schmutzende Reinigungsflüssigkeit den Reinigungsprozeß beein
trächtigen kann, da bei Wiederaufnahme der Aufbereitung die
Reinigungsflüssigkeit aus dem Ionenaustauscher immer der aus
dem Reinigungsprozeß ausgeschalteten Quelle zugeführt wird,
nicht aber der speisenden Quelle.
Das Volumen der beiden Quellen ist dabei auf einen, einen konti
nuierlichen Reinigungsbetrieb sichernden Wert begrenzt, so daß
auch der maximale Bedarf an Reinigungsflüssigkeit entsprechend
begrenzt ist. Dieser Wert läßt sich in einfacher Weise aus der
Tatsache ableiten, daß die Aufbereitung der Reinigungsflüssig
keit aus der einen Quelle abgeschlossen sein muß, bevor die
Reinigungsflüssigkeit aus der anderen Quelle durch den Reini
gungsprozeß bei kontinuierlichem Betrieb so verschmutzt ist,
daß eine Umschaltung auf die andere Quelle mit aufbereiteter
Reinigungsflüssigkeit erforderlich wird. Durch diese Begrenzung
wird auch bei einem weniger kontinuierlich verlaufenden Reini
gungsprozeß die Verweildauer der restlichen Reinigungsflüssig
keit im Ionenaustauscher verringert, da es wegen der begrenzten
Volumen der beiden Quellen schneller zu einer Umschaltung zwi
schen den Quellen kommt. Die Harze des Ionenaustauschers werden
daher auch weniger schnell unbrauchbar.
Die Umschaltung zwischen den beiden Quellen zur Speisung des
Reinigungsprozesses erfolgt zweckmäßig abhängig vom Verschmut
zungsgrad der Reinigungsflüssigkeit selbsttätig gesteuert. Auch
wird die Aufbereitung der Reinigungsflüssigkeit zweckmäßig unab
hängig von der Bereitstellung für den Reinigungsprozeß beendet,
wenn ein vorgegebener Reinheitsgrad erreicht ist. Der jeweils
erreichte Verschmutzungs- oder Reinheitsgrad kann dabei in
üblicher Weise durch Messung des Leitwertes der Reinigungsflüs
sigkeit überwacht werden.
Auch läßt sich die Effektivität der Aufbereitung vergrößern,
wenn sowohl feste als auch organische Bestandteile aus der Rei
nigungsflüssigkeit herausgefiltert werden, bevor diese dem
Ionenaustauscher zugeführt wird. Dazu können in herkömmlicher
Weise z.B. Sandfilter und Aktiv-Kohle-Filter verwendet werden.
Eine entsprechend diesem Verfahren arbeitende Vorrichtung er
gibt sich aus den Merkmalen der Patentansprüche 6 bis 10.
Kennzeichnend für eine solche neue Vorrichtung sind zwei gleich
bemessene Vorratsbehälter für die Reinigungsflüssigkeit als
die den Reinigungsprozeß speisenden Quellen und ein vom Flüs
sigkeitskreislauf für den Reinigungsprozeß unabhängiger Aufbe
reitungskreislauf mit dem Ionenaustauscher, wobei die beiden
Vorratsbehälter über Steuerventile wechselweise in jeweils ei
nen der beiden Kreisläufe einschaltbar sind. Zur Überwachung
des Verschmutzungs- bzw. Reinheitsgrades sind beide Kreisläufe
zweckmäßig mit einer Meßeinrichtung versehen, die jeweils mit
einer Steuereinheit zur Umschaltung der Quellen bzw. zur Been
digung der Aufbereitung gekoppelt sind.
Einzelheiten der Erfindung seien nachfolgend anhand eines in
der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispieles näher erläu
tert.
Die einzige Figur zeigt in prinzipieller Darstellung eine Rei
nigungsvorrichtung, die gemäß der Erfindung ausgebildet ist und
gemäß dem der Erfindung zugrundeliegenden Verfahren arbeitet.
Diese Reinigungsvorrichtung kann vorzugsweise ein integraler
Bestandteil einer mehrstufigen Prozeßanlage sein, die aus einer
der Reinigungsvorrichtung vorgeschalteten Vorrichtung für die
Durchführung eines chemischen Arbeitsprozesses und einer der
Reinigungsvorrichtung nachgeschalteten Trockenvorrichtung be
steht.
Die Reinigungsvorrichtung besteht aus einem oberen Behandlungs
raum 1, der auf einem Unterteil 2 angebracht ist, in dem die
notwendigen Aggregate für die Bereitstellung und Aufbereitung
der Reinigungsflüssigkeit und für die Steuerung untergebracht
sind.
Beim vorliegenden Ausführungsbeispiel handelt es sich um eine
Reinigungsvorrichtung für plattenförmige Teile, z.B. beschich
tete Kunststoffplatten oder Leiterplatten. Der Behandlungsraum 1
ist daher mit einem Walzenbahnförderer ausgestattet, dem die
plattenförmigen Teile über eine Offnung L zugeführt und in
Pfeilrichtung F durch den Behandlungsraum gefördert werden und
die dann über eine Öffnung R den Behandlungsraum 1 wieder ver
lassen. Die Erfindung ist in gleicher Weise auch für andere
Produkte geeignet, wobei der Fördermechanismus dann entsprechend
in an sich bekannter Weise ausgebildet ist.
Zwischen den dem Walzenbahnförderer bildenden Walzenpaaren 4
können zusätzliche Bürstenwalzen B vorgesehen sein, um den Rei
nigungseffekt zu verstärken. Die Reinigungsflüssigkeit wird
über eine Zuführungsleitung 6 aus dem Unterteil 2 den Austritts
düsen 7 zugeführt, die ober- und unterhalb der Förderebene an
geordnet sind. Die so freigesetzte Reinigungsflüssigkeit sam
melt sich dann in dem als Wanne 3 ausgebildeten unteren Teil
des Behandlungsraumes 1 und wird über einen Anschluß 8 aus die
sem wieder abgeleitet.
Zwischen dem Anschluß 8 und der Zuführungsleitung 6 schließen
die gemäß der Erfindung vorgesehenen beiden Vorratsbehälter VB1
und VB2 für die Reinigungsflüssigkeit wechselweise den Speise
kreislauf für den Behandlungsraum 1. Der Anschluß 8 ist daher
über die Leitung 9 und ein Drei-Wege-Ventil V2 mit dem Zufüh
rungsanschluß 9a für den einen Vorratsbehälter VB1 oder mit dem
Zuführungsanschluß 9b für den anderen Vorratsbehälter VB2 ver
bindbar. Ebenso ist ein Abflußanschluß 5a des Vorratsbehälters
VB1 und ein Abflußanschluß 5b des Vorratsbehälters VB2 über ein
Drei-Wege-Ventil V1 auf die Leitung 5 durchschaltbar, die über
eine Pumpe P1 die Zuführungs- und Verteilerleitung 6 für den
Behandlungsraum 1 speist.
Beide Ventile V1 und V2 sind jeweils auf den selben Vorratsbe
hälter VB1 oder VB2 umgesteuert, so daß der im Behandlungsraum 1
ablaufende Reinigungsprozeß immer nur aus einem der beiden Vor
ratsbehälter VB1 oder VB2 gespeist wird.
Zwischen dem Anschluß 8 und der Leitung 9 ist außerdem eine
Meßeinrichtung M1 vorgesehen, die in an sich bekannter Weise
den Verschmutzungsgrad der Reinigungsflüssigkeit im Speisekreis
lauf überwacht, indem z.B. fortlaufend der Leitwert der Reini
gungsflüssigkeit gemessen wird. Mit der Meßeinrichtung M1 ist
eine elektrische Steuereinrichtung ST1 gekoppelt, die das Er
reichen eines vorgegebenen Verschmutzungsgrades überwacht und
dann die beiden Ventile V1 und V2 auf den jeweils anderen Vor
ratsbehälter umschaltet.
Neben diesem Speisekreislauf ist ein davon unabhängiger Aufbe
reitungskreislauf für die beiden Vorratsbehälter VB1 und VB2
vorgesehen, der in ähnlicher Weise wie der Speisekreislauf ge
staltet ist und über ein Ionenaustauschfilter IO-A geschlossen
wird. Diesem Ionenaustauschfilter IO-A ist zweckmäßig ein
Aktiv-Kohle-Filter AKF zur Ausfilterung von organischen Stof
fen und ein mechanisches Filter MF zur Ausfilterung von festen
Stoffen vorgeschaltet, so daß der Ionenaustauscher IO-A nicht
unnötig mit Fremdstoffen belastet wird.
Zur Speisung dieses Aufbereitungskreislaufes sind die beiden
Vorratsbehälter VB1 und VB2 mit je einem weiteren Abflußan
schluß 11a bzw. 11b versehen, die über ein Drei-Wege-Ventil V3
wechselweise mit einer Pumpe P2 verbindbar sind, die über die
Leitung 12 das Filtersystem speist. Von diesem führt dann die
Leitung 13 die aufbereitete Reinigungsflüssigkeit über ein
weiteres Drei-Wege-Ventil V4 entweder über den Zuführungsan
schluß 14a für den Vorratsbehälter VB1 oder den Zuführungsan
schluß 14b für den Vorratsbehälter VB2 dem jeweils in den Auf
bereitungskreislauf eingeschalteten Vorratsbehälter zu. Die
Ventilpaare V1/V2 und V3/V4 werden dazu von der Steuereinheit
ST1 wechselweise umgeschaltet.
Damit nun die Aufbereitung wirkungsvoll betrieben werden kann,
ist mit der Leitung 13 ebenfalls eine Meßeinrichtung M2 zur
Messung des Reinheitsgrades der aufzubereitenden Reinigungs
flüssigkeit verbunden, so daß über die Steuereinheit ST2 bei
Erreichen des vorgegebenen Reinheitsgrades die Pumpe P2 wieder
abgeschaltet und damit die Aufbereitung beendet wird. Um bei
einer derartigen wechselweise erfolgenden Speisung einen kon
tinuierlichen Reinigungsbetrieb zu ermöglichen und den Ionen
austauscher IO-A optimal zu nutzen, muß das Volumen beider
Vorratsbehälter VB1 und VB2 so bemessen sein, daß während der
Dauer für die Aufbereitung der Reinigungsflüssigkeit aus dem
einen Vorratsbehälter der andere Vorratsbehälter den Reinigungs
prozeß kontinuierlich in ausreichendem Maße speisen kann, die
Aufbereitung also jeweils gerade beendet ist, bevor die Um
schaltung durch die Steuereinheit ST1 erfolgt, die auch jeweils
die Pumpe P2 wieder einschaltet. Eine derartige Dimensionierung
der Volumen der Vorratsbehälter sichert auch den geringstmögli
chen Bedarf an Reinigungsflüssigkeit für die Reinigungsvorrich
tung.
Kann die Reinigungsvorrichtung nicht kontinuierlich arbeiten,
dann vergrößert sich zwangsläufig der Zeitabstand zwischen der
Beendigung der Aufbereitung und der Umschaltung auf den jeweils
anderen Vorratsbehälter. Der vom Filtersystem gebundene Anteil
der Reinigungsflüssigkeit eines Vorratsbehälters verschmutzt
dann zunehmend. Jedoch bleibt dies für den Reinigungsprozeß
ohne Auswirkung, da dieser Teil der Reinigungsflüssigkeit nicht
in den den Reinigungsprozeß gerade speisenden Vorratsbehälter
zurückgeleitet wird, sondern immer in den Vorratsbehälter mit
der nunmehr aufzubereitenden Reinigungsflüssigkeit.
Andererseits steigt mit optimaler Bemessung der Volumen der
Vorratsbehälter die Wahrscheinlichkeit, daß auch bei einem
diskontinuierlich verlaufenden Reinigungsprozeß schneller umge
schaltet wird, so daß gleichzeitig die Belastung des Harzes im
Ionenaustauscher IO-A verringert und dieses weniger schnell
unbrauchbar wird.
Claims (10)
1. Verfahren zum Reinigen von im Rahmen eines chemischen Pro
zesses behandelten Teilen, z.B. Leiterplatten, mit einer
wässrigen Reinigungsflüssigkeit, die durch einen Ionenaus
tauscher zwischenzeitlich aufbereitet und dem Reinigungsprozeß
wieder zugeführt wird,
dadurch gekennzeichnet, daß der Reini
gungsprozeß wechselweise von zwei getrennten Quellen mit einem,
einen kontinuierlichen Betrieb sichernden begrenzten Volumen
mit Reinigungsflüssigkeit gespeist wird und daß während der
Speisung des Reinigungsprozesses durch die eine Quelle (z.B.
VB1) die Reinigungsflüssigkeit der anderen Quelle (VB2) über
den Ionenaustauscher (IO-A) geleitet und wieder aufbereitet
wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die Um
schaltung von einer Quelle (z.B. VB1) auf die andere (VB2)
zur Speisung des Reinigungsprozesses abhängig von einem vorge
gebenen Verschmutzungsgrad der von der den Reinigungsprozeß
speisenden Quelle (VB1) gelieferten Reinigungsflüssigkeit ge
steuert wird.
3. Verfahren nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, daß die Aufbe
reitung der verschmutzten Reinigungsflüssigkeit der jeweils vom
Reinigungsprozeß abgekoppelten Quelle (z.B. VB2) durch den
Ionenaustauscher (IO-A) abhängig vom Erreichen eines vorgege
benen Reinheitsgrades der Reinigungsflüssigkeit beendet wird.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet, daß in der
aufzubereitenden Reinigungsflüssigkeit vorhandene feste Be
standteile herausgefiltert werden, bevor sie dem Ionenaustau
scher (IO-A) zugeführt wird.
5. Verfahren nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet, daß in der,
von festen Bestandteilen befreiten aufzubereitenden Reinigungs
flüssigkeit außerdem vorhandene organische Bestandteile her
ausgefiltert werden, bevor die Reinigungsflüssigkeit dem Ionen
austauscher (IO-A) zugeführt wird.
6. Vorrichtung zum Reinigen vom im Rahmen eines chemischen
Prozesses behandelten Teilen, z.B. Leiterplatten, mit einer
wässrigen Reinigungsflüssigkeit, die durch einen Ionenaustau
scher zwischenzeitlich aufbereitet und danach für den Reini
gungsprozeß wieder bereitgestellt wird,
dadurch gekennzeichnet, daß für die Be
reitstellung der Reinigungsflüssigkeit zwei getrennte Vorrats
behälter (VB1 und VB2) vorgesehen sind, die über Steuerventile
(V1, V2 bzw. V3, V4) wechselweise in den Flüssigkeitskreislauf
des Reinigungsprozesses oder in einen über den Ionenaustauscher
(IO-A) verlaufenden Aufbereitungskreislauf schaltbar sind, und
daß die Vorratsbehälter (VB1, VB2) so dimensioniert sind, daß
die Füllung eines Vorratsbehälters für die Dauer der Aufberei
tung der Füllung des anderen Vorratsbehälters die unterbre
chungsfreie Speisung des Reinigungsprozesses ermöglicht.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet, daß im Flüs
sigkreislauf des Reinigungsprozesses eine Meßeinrichtung (M1)
zur Überwachung des Verschmutzungsgrades der Reinigungsflüs
sigkeit vorgesehen ist und daß mit dieser Meßeinrichtung (M1)
eine Steuereinheit (ST1) zur Umsteuerung der Steuerventile (V1
bis V4) für die beiden Vorratsbehälter (VB1 und VB2) bei Er
reichen eines vorgegebenen Verschmutzungsgrades gekoppelt ist.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet, daß im Aufbe
reitungskreislauf eine Meßeinrichtung (M2) zur Überwachung des
Reinigungsgrades der aufzubereitenden Reinigungsflüssigkeit
vorgesehen ist und daß mit dieser Meßeinrichtung (M2) eine
Steuereinheit (ST2) zur Abschaltung des Aufbereitungsprozesses
bei Erreichen eines vorgegebenen Reinheitsgrades gekoppelt ist.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 8,
dadurch gekennzeichnet, daß vor dem
Ionenaustauscher (IO-A) ein Filter (MF) zur Ausfilterung fester
Bestandteile aus der verschmutzten Reinigungsflüssigkeit ange
ordnet ist.
10. Vorrichtung nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet, daß zwischen
dem Filter (MF) und dem Ionenaustauscher (IO-A) ein Aktiv-
Kohle-Filter (AKF) angeordnet ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19904002154 DE4002154A1 (de) | 1990-01-25 | 1990-01-25 | Verfahren und vorrichtung zum reinigen von chemisch behandelten teilen, z. b. leiterplatten |
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---|---|---|---|
DE19904002154 DE4002154A1 (de) | 1990-01-25 | 1990-01-25 | Verfahren und vorrichtung zum reinigen von chemisch behandelten teilen, z. b. leiterplatten |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4002154A1 true DE4002154A1 (de) | 1991-08-01 |
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ID=6398765
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DE19904002154 Withdrawn DE4002154A1 (de) | 1990-01-25 | 1990-01-25 | Verfahren und vorrichtung zum reinigen von chemisch behandelten teilen, z. b. leiterplatten |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE4002154A1 (de) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4218127A1 (de) * | 1992-06-02 | 1993-12-09 | Heidelberger Druckmasch Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung des Verschmutzungsgrads eines Druckwerks einer Druckmaschine |
DE4300514A1 (de) * | 1993-01-12 | 1994-07-14 | Miele & Cie | Verfahren zur Bestimmung der freien Tenside in wäßrigen Öl-Wasser-Emulsionen |
WO1995010343A1 (en) * | 1993-10-13 | 1995-04-20 | Bp Chemicals Limited | Cleaning method |
AT10855U3 (de) * | 2009-06-10 | 2011-01-15 | Karl Ing Jirenec | Verfahren zur erzielung hochreiner bandoberflächen von warmband-gebeiztem c-stählen und von edelstählen |
CN113637976A (zh) * | 2021-08-20 | 2021-11-12 | 深圳天华机器设备有限公司 | 一种硫酸洗槽药水再生系统 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DD90683A (de) * | ||||
DE2416301A1 (de) * | 1974-04-04 | 1975-10-16 | Heinz Hoelter | Verfahren zur umwandlung von chlorcalcium, das im wasserkreislauf von nasswaeschern in luftreinhalteanlagen anfaellt in oekologisch unbedenkliches natriumchlorid und oder weiterverarbeitung zu duengemitteln |
US4147581A (en) * | 1976-03-29 | 1979-04-03 | Philip A. Hunt Chemical Corp. | Etching of metal |
DE3802486A1 (de) * | 1987-01-29 | 1988-08-11 | Rudolf Schmitz | Vorrichtung zum reinigen mechanischer geraete, kleinteile und/oder elektronischer schalteinheiten |
US4943306A (en) * | 1989-08-25 | 1990-07-24 | Cho Ching Chi | Exhaust gas purifying system |
-
1990
- 1990-01-25 DE DE19904002154 patent/DE4002154A1/de not_active Withdrawn
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DD90683A (de) * | ||||
DE2416301A1 (de) * | 1974-04-04 | 1975-10-16 | Heinz Hoelter | Verfahren zur umwandlung von chlorcalcium, das im wasserkreislauf von nasswaeschern in luftreinhalteanlagen anfaellt in oekologisch unbedenkliches natriumchlorid und oder weiterverarbeitung zu duengemitteln |
US4147581A (en) * | 1976-03-29 | 1979-04-03 | Philip A. Hunt Chemical Corp. | Etching of metal |
DE3802486A1 (de) * | 1987-01-29 | 1988-08-11 | Rudolf Schmitz | Vorrichtung zum reinigen mechanischer geraete, kleinteile und/oder elektronischer schalteinheiten |
US4943306A (en) * | 1989-08-25 | 1990-07-24 | Cho Ching Chi | Exhaust gas purifying system |
Non-Patent Citations (8)
Title |
---|
DE-Z: Reinstwasser für innovative Technologien. In: Oberfläche + JOT, H.4, 1989, S.46,48 * |
DE-Z: WILLMER * |
Einsatz von Ionenaustauschern zur Behandlung von Beizereispritzwässern. In: Stahl u.Eisen 84, Nr.27, S.1849-1852 * |
Frederick C. * |
McCONNELEE, Paul A.: Continuos Deionization in the Preparation of Microelectronics-Grade Water. In: Solid State Technology, H.8, August 1988, S.87-92 * |
PLÜMER, Lothar * |
Theo-Kurt * |
US-Z: WILKINS * |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4218127A1 (de) * | 1992-06-02 | 1993-12-09 | Heidelberger Druckmasch Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung des Verschmutzungsgrads eines Druckwerks einer Druckmaschine |
US5555808A (en) * | 1992-06-02 | 1996-09-17 | Heidelberger Druckmaschinen Ag | Method and device for determining the degree of soiling of a printing unit of a printing machine |
DE4218127B4 (de) * | 1992-06-02 | 2005-09-22 | Heidelberger Druckmaschinen Ag | Verfahren zur Bestimmung des Verschmutzungsgrads eines Druckwerks einer Druckmaschine |
DE4300514A1 (de) * | 1993-01-12 | 1994-07-14 | Miele & Cie | Verfahren zur Bestimmung der freien Tenside in wäßrigen Öl-Wasser-Emulsionen |
WO1995010343A1 (en) * | 1993-10-13 | 1995-04-20 | Bp Chemicals Limited | Cleaning method |
AT10855U3 (de) * | 2009-06-10 | 2011-01-15 | Karl Ing Jirenec | Verfahren zur erzielung hochreiner bandoberflächen von warmband-gebeiztem c-stählen und von edelstählen |
CN113637976A (zh) * | 2021-08-20 | 2021-11-12 | 深圳天华机器设备有限公司 | 一种硫酸洗槽药水再生系统 |
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