DE1572836A1 - Anordnung zur holographischen Aufnahme und Wiedergabe von Objekten - Google Patents
Anordnung zur holographischen Aufnahme und Wiedergabe von ObjektenInfo
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Description
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT München 2, den -3JUL 1969
Berlin und München Wittelsbacherplatz 2
Akt.Z.: P 15 72 836.6 PA 67/2711
Anordnung zur holographischen Aufnahme und Wiedergabe
von Objekten
Die Erfindung bezieht sich auf eine Anordnung zur holographischen Aufnahme eines Objektes einschlieiBlich seiner Rekonstruktion
aus dem Hologramm, vorzugsweise in Form eines reellen Bildes.
Anordnungen dieser Art kommt insbesondere zuv kontaktfreien
Projektion von Ä'tzmasken auf die photoempfindliche Schicht von Halbleitergrimdplättchen im Zuge der Herstellung integrierter
Schaltkreise Bedeutung zu. Ätzmasken v/erden im allgemeinen auf photographischem VJege von einer in geeignet großem Maßstab
gezeichneten Ätzschablone gewonnen, wobei die Ätzschablone in ein auf die gewünschte Originalgröße verkleinertes Diapositiv
umgesetzt wird. Aus Gründen der Rationalisierung und der Materialersparnis werden dabei meist mehrere hundert identische
Ätzmasken neben- und übereinander auf ein Diapositiv dadurch aufgebracht, daß die Photoplatte von Aufnähme zu Aufnahme
up einen vorgegebenen Rasterabstand gegenüber dem verkleinerten Bild der Ätzschablone verschoben wird. Die hierfür erforderliche
mechanische Einrichtung, Repeater genannt, muß höchstens Anforderungen an die Präzision genügen.
Die originalgroßen Ätzmasken auf dem Diapositiv können nicht durch Projektion mit Linsen auf die Photoresist-Schicht übertrafen
v/erden, weil durch Beugung des Lichtes an den Rändern jedes Objektives ein unvermeidlicher, untragbarer Verlust
an Auflösung auftritt. Es muß deshalb hier vom Verfahren der
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Kontaktkopie Gebrauch gemacht werden, bei dem das Diapositiv mit der Seite seiner photographischen Emulsion fest
auf die Photoresist-Schicht gedrückt und mit Licht bestrahlt wird. Abgesehen davon, daß es nicht gelingt, das Diapositiv
über die ganze Fläche mit der Photoresist-Schicht in Kontakt zu bringen und dadurch Schärfeverluste in Kauf
genommen werden müssen, entstehen beim Zusammenpressen und Auseinandernehmen der Schichten unvermeidliche Beschädigungen
des Diapositivs durch Kratzer und eingedrückte Staubkörner, die zu erheblichem Ausschuß unter den hergestellten
Bauteilen führen.
In der Zeitschrift "Electronic Design", 21. Juni 1966, Seiten 17 und 18, ist deshalb vorgeschlagen worden, die
beim Verfahren nach der Kontaktkopie bei der Herstellung integrierter Schaltkreise auftretenden Schwierigkeiten
durch ein holographisches Projektionsverfahren zu ersetzen. Dieses Verfahren gestattet nämlich eine kontaktfreie Projektion
der Bilder der iltzmasken auf die Photoresist-Echicht.
Außerdem sind Hologramme gegen Staub und kleine Kratzer unempfindlich.
Unter Holographie wird ein mit kohärenten Licht arbeitendes optisches Aufnahme- und Wiedergabeverfahren verstanden,
das durch Ausnutzung von Interferen.^phänomenen die von einem beleuchteten Gegenstand ausgehenden Lichtwellen
nach Amplitude und Phase aufzunehmen und getreu zu rekonstruieren gestattet. Bei der Wiedergabe von nach diesem'
Verfahren aufgenommenen Gegenständen entstehen dreidimensionale Bilder dieser Gegenstände.
Die Aufnahme einer von einem mit kohärentem Licht beleuchteten Gegenstand ausgehenden Lichtwelle nach Amplitude
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und Phase wird als "Hologramm" bezeichnet. Dieses ¥ort
stammt aus dem Griechischen "Holos" (= £anz) und deutet
an, daß die ganze in der Lichtv.Telle über den Gegenstand
vorhandene Information zur Wiedergabe in der Aufnahme gespeichert ist.
Bei der Herstellung eines Hologramms wird der aufzunehmende Gegenstand G nach der Pip. 1 mit von einer Laseranordnung
La erzeugtem kohärenten, vorzugsweise monochromatischen Licht beleuchtet. Dieser Lichtstrahl sei
ale Beleuchtungsstrahl Ls bezeichnet. Das von der Oberfläche
des Gegenstandes zurückgestreute Licht fällt in Form des Objektstrahls Os auf den Hologrammträger Ht,
eine Platte mit einer lichtempfindlichen Schicht, z.B.
eine Photoplatte, Im Strahlengang des Laserlichts ist
oberhalb des Gegenstandes G ein Spiegel Sp angeordnet, der das als Bezugsstrahl Bs zu bezeichnende Laserlicht
zum Hologrammtrager Ht hin ablenkt. Der Laseranordmm^
La ist ausgangsseitig eine Sammellinse Li zugeordnet,
die dem parallel aus der Laseranordnunr austretenden kohärenten Licht eine Kugelwellengeometrie gibt. An
Stelle des Spiegels Sp, der bei der Anordnung nach der Fig. 1 der Ableitung des BezugsStrahls von einer dem
Beleuchtungsstrahl Ls und dem Bezugsstrahl Bs gemeinsamen
Lichtquelle dient, können auch zwei getrennte, zueinander kohärente Lichtquellen für den Beleuchtungsstrahl L-ε
und den Bezugsstrahl Bs in geeigneter Anordnung vorgesehen
sein.
Der vom Gegenstand G her kommende Objektstrahl Os und
der Bezugsstrahl Bs überlagern sich am Ort des Hologramm-
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trägers Ht. liegen der Kohärenzeigenschaften der beiden
Lichtstrahlen entsteht in dem Raum, in dem sich die beiden Wellen überlappen, also auch am Ort des HoIogrpmmträgers
Ht, ein stationäres Interferenzfeld. Dieses Interferenzfeld stellt sich nach Belichten und Entwickeln
der lichtempfindlichen Schicht des Hologrammträgers in Form einer der Intensitätsverteilung dieses Feldes entsprechenden
Schv/ärzungsverteilung über der Oberfläche dar-, die alle zur Rekonstruktion des Objekstrahls nach
Amplituden- und Phasenverteilung nötige Information enthält.
Bei Beleuchtung des Hologramms mit dem Bezugsstrahl nach der Fig. 1, also einem kohärenten Lichtstrahl mit einer
dem bei der Aufnahme verwendeten Licht entsprechenden Wellenlänge und räumlichen Geometrie, werden die bei der
Aufnahme vom Gegenstand ausgegangenen Wellenfronten amplituden- und phasengetreu rekonstruiert. Eine entsprechende
Anordnung ist in der Fig. 2 dargestellt. Als Lichtquelle-' v/ird wiederum eine Laseranordnung Laf mit
vorgeschalteter Sammellinse Li' verwendet. Der die Wiedergabe des aufgenommenen Objektes hervorrufende, dem Bezugsstrahl Bs nach der Fig. 1 entsprechende Wiedergabestrahl
ist mit Bs1 bezeichnet. Im allgemeinen erzeugt der Wiedergabestrahl
Bs* zwei verschieden verlaufende Objektwellen
Os1 und Os", die dem Betrachter in Abhängigkeit seiner
Stellung zum Hologramm den Gegenstand räumlich originalgetreu als "direktes" Bild DB oder als "konjugiertes*
Bild KB darbieten. Im wesentlichen ist nur das virtuelle direkte Bild DB von Interesse, das dem Betrachter hinter
dem Hologrammträger Ht erscheint.
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Das direkte Bild DB läßt sich dadurch als reelles Bild vor dem Hologrammträger Ht erzeugen, daß der Hologrammtrnger
Ht aus der entgegengesetzten Richtung vom Wiedergabestrahl
Bsf ausgeleuchtet wird, bzw. nach der Fig.
um 180° gedreht wird, Dieses reelle Bild ist dann zur Auswertung mit Lupe und Mikroskop erreichbar und kann
auch auf eine Fläche projiziert werden. Das auf diese Weise gewonnene reelle Bild ist jedoch nur dann abbild.ungsfehlerfrpi,
wenn die Wellenfronten des Bezugsstrabis Bs trotz entgegengesetzter Ausbreitungsrichtung gleiche
Krümmung wie die des Triedergabestrahls Bs' haben, was
technisch nur schwierig und ungenau realisierbar ist.
Bei der holographischen Projektion von Ji/bzroasken wird das
Bild der Ätzmaske durch Verkleinerung der Ätzschabions mittels einer konventionellen Optik gewonnen. Es ist
bereits vorgeschlagen worden, den Hologrammträger bei der Aufnahme dieses verkleinerten Bildes der Ätzschablone
im Strahlengang der Optik zwischen der Optik und dem Bild anzuordnen. In diesem Falle braucht nämlich der Hologrammträger bei der Wiedergabe nicht herumgedreht zu werden,
um das reelle Bild zu erhalten. Es kann also für den Bezugs- und Wiedergabestrahl die gleiche Welle mit der
gleichen Ausbreitungsrichtung verwendet werden, ohne daß Abbildungsfehler auftreten.
Wie bei dem einleitend beschriebenen Verfahren der Kontaktkopie
mittels Diapositiven ist es denkbar, auch beim holographischen Projektionsverfahren bei der Aufnahme mit
Hilfe eines Repeaters ein Bildraster des ■"•erkleinerten
Bilden der i"'tz schablone herzustellen. "Dabei verschiebt
der Pepeater den Hologrammträger von Aufnahme zu Aufnahme
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im.Sinne des gewünschten Rasters relativ zum aufzunehmenden
Bild. Dieses Verfahren ist außerordentlich zeitraubend und hat darüber hinaus den Nachteil, daß sich die an den
Repeater zu stellenden Präzisionsanforderungen nicht in
dem Maße verwirklichen lassen, daß Fehlerquellen ausgeschlorsen
sind,
Dor ""rflndung .liegt die Aufgabe zugrunde, für eine Anordnung
zur holographischen Projektion von Bildern von Gegenständen,
insbesondere zur holographischen Projektion von Ätzmasken der einleitend beschriebenen Art, eire einfache
Lösung für die ^rzeugung. von zvrei und mehr nebeneinander
und/oder über- und untereinander angeordneten Bildern
an^ug^ben, die ^4λ in Verbindung mit dem Repeater gegebenen
beschilderten Sclr'"7''.R^i^keitpn
Diese Aufgab« '-'ircl gem?ß der I>
fir dung dadurch gelöst, daß ZtI^ Gewinn ir>
7 "/on zvrei und r.,-3br nebeneinende" und/nder
über- und untereinander angeordneten Bildern ein ^r- Objektes
der den Hologramintr".ger bei der Aufnahme des Objektes
ausleuchtende Bezugsstrahl oder der bei der Wiedergabe des Hologramms verv;endete 'vJiedergabestrahl in eine der
Anzahl der gewünschten Bilder entsprechende Zahl von Teilstrahlen aufgeteilt ist, die sich hinsichtlich der
Orientierung ihrer ^rregungszentren, bezogen auf den
Schnittpunkt der senkrecht zur Hologramntr?ger^nene verlaufenden
optischen Achse !"'it dem Hologranrtrflge^ voneinander
in einer durch die gewünrente gegenseitige räumliche
Anordnung der Einzelbilder des aufgenommeren Objekts
bei der ^i^de^gabe des Ho7 ogT*p mn,s unter roh ei den.
Der Frfindivnρ· Ί ί'pgt die t-'eppntliche ^kenntnis zugrunde,
daß die räumlich0 La^e den rekonrtruie^ten PlIr1PR-eines
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holographisch aufgenommenen Objektes von der gegenseitigen
räumlichen Anordnung des Bezugs- und dec ' iodergabestrahls
in definierter Weise abhängig ist. Bei Verwendung mehrerer Bezugsstrnhlen während der Aufnahme bildet jeder Bezugsptrahl
mit dem Objektntrahl ein EinzelhoUogramm. Alle
Einzelhologramme überlagern rieh in der Photoschicht
des Hologrammträgers, Sie liefern somit auch bei der Wiedergabe durch einen einzigen Wiedergabestrahl jeweils
ein Bild des aufgenommenen Gegenstandes..Bei geeigneter
räumlicher gegenseitiger Orientierung der einzelnen Bezugsstrahlen lassen sich also mittels eines einzigen
Wiedergabestrahls räumlich getrennte Bilder des einen Objektes rekonstruieren, und zvar in praktisch jeder
gewünschten Anordnung, Insbesondere läßt sich die Orientierung der ErregungsZentren der Bezugsteilstrahlen
für ein zweidimensionales Raster bemessen, das bei der Wiedergabe des Hologramms zur einem entsprechenden Rastervielfach des Bildes des aufgenommenen Objektes führt.
Die gleiche Wirkung läßt sich auch dadurch erzielen, daß bei Aufnahme nur mit einem einzigen Bezugsstrehl gearbeitet
wird, während die Wiedergabe mit einem entsprechenden Vielfach aus Wiedergabeteilstrahlen erfolgt. Er ist
auch möglich und auf das Ergebnis oline Einfluß, die
Teilstrahlen des Vielfachs nicht gleichzeitig, sondern zeitlich nacheinander zur Wirkung zu bringen.
Bei der bevorzugten Anwendung der Erfindung zur Projektion von Xtzmasken in der Halbleiterherstellung ist es technisch
zweckmäßig, den Bezugsstrahl als Bezugsstrahlenvielfach
auszubilden und eine einfache Welle als Wiedergabestrahl
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zu benutzen, da die erforderliche Genauigkeit beim Aufbau des Rasters der Erregungszentren des Teilwellenvielfachs
nur einmal bei der Aufnahme des Hologramms verwirklicht werden muß, während die Wiedergabe mit geringem Aufwand
beliebig oft möglich ist.
Bei der holographischen Projektion von Ätzmasken ist es bei der Anwendung der Lehre nach der Erfindung somit
in außerordentlich vorteilhafter Weise möglich, unter Fortfall des Repeaters das auf einen Hologrammträger
aufzubringende Rastervielfach einer Ätzmaske im Verlauf einer Aufnahme herzustellen. Darüber hinaus kommt dem
Erfindungsgegenstand jedoch auch eine allgemeinere Bedeutung zu. Neben seiner Anwendung bei der holographischen
Projektion von Bildern auf photoeppfindliche Schichten läßt sich der Erfindungsgegenstand überall dort einsetzen, i
wo gleichzeitig zwei und mehr Bilder des gleichen aufgenom-^ menen Gegenstandes erzeugt werden sollen, also beispielsweise
bei der Anwendung der Holographie in Film, Fernsehen und Werbung.
Bei einer bevorzugten Anwendung des Erfindungsgegenstandes
zur kontaktfreien Projektion eines Bildrasters eines Aufnahmeobjektes auf eine Fläche, das das durch eine konventionelle
Optik verkleinerte Bild eines Gegenstandes, ist, 1st der HoJLogrammträger in Richtung des Objektstrahls zwischen
Optik und Bild angeordnet. Diese Anordnung ermöglicht die Verwendung von Bezugsteilstrahlen bzw. vor! Wiedergabeteil*
strahlen mit divergierender Kugelwellencharakterietlk·
Im Gegensatz zu Bezugsteilstrahlen bzw. Wiedergabtttiletrahlen
mit ebener Wellencharakteristik ist es hier lh tinfacher
Weise möglich, die Erregungszentren der Teilstrahlen In
..— einem zweidimensionalen Raster so anzuordnen, daß bei .'
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der Wiedergabe des Hologramms das den Teilstrahlen entsprechende Bildraster in einer Ebene liegt.
Bei der Anordnung nach der Erfindung entspricht die räumliche
Anordnung zwischen Wiedergabestrahl bzw. Wiedergabeteilstrahlen und Hologrammträger im allgemeinen nicht der
räumlichen gegenseitigen Anordnung der Bezugsteilstrahlen bzw. des Bezugsstrahls hinsichtlich des Hologrammträgers
bei der Aufnahme. Kleine Abbildungsfehler der rekonstruierten Rasterbilder des aufgenommenen Objektes sind daher
grundsätzlich vorhanden. Die Größe dieser Abbildungsfehler läßt sich jedoch durch geschickte räumliche Orientierung
der Srregungszentren der Bezugsteilstrahlen hinsichtlich des Schnittpunktes der optischen Achse mit dem Hologrammträger in für viele Anwendungsfälle vernachlässigbar
kleinen Grenzen halten. Zweckmäßig ist es in diesem Falle, den Abstand des Erregungszentrums des Bezugsstrahls bzw.
der Erregungszentren sämtlicher Bezugsteilstrahlen, des aufzunehmenden Gegenstandes und sämtlicher Erregungszentren
der Wiedergabeteilstrahlen bzw. des Erregungszentrums des Wiedergabestrahls vom Schnittpunkt der optischen
Achse mit dem Hologrammträger gleich groß zu wählen. Bei sehr hohen Anforderungen an die Abbildungsfehlerfreiheit
ist es zweckmäßig, die Bezugsteilstrahlen im Sinne einer Kompensation von Abbildungsfehlern der ihnen entsprechenden
Einzelbilder bei der Wiedergabe des Hologramms in geeigneter Weise, gegebenenfalls durch im Strahlengang der
Bezugsteilstrahlen angeordnete Hilfshologramme, vorzuverzerren.
An Hand eines in der Zeichnung dargestellten Schemas soll das dem Erfindungsgegenstand zugrundeliegende Prinzip
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für den Fall eines Bezugsteilstrahlenvielfachs noch näher
erläutert v/erden. In den Fig. Ja und 3b ist ein Hologrammträger
Ht dargestellt, dessen optische Achse senkrecht auf der Hologrammträgerebene steht und durch eine strichpunktierte
Linie dargestellt ist. Oberhalb des Hologrammträger s Ht ist ein Gegenstandspunkt G angegeben, der in
der einleitend beschriebenen Weise holographisch aufgenommen und wiedergegeben werden soll.
Wie umfangreiche, der Erfindung zugrunde liegende theoretische
Untersuchungen ergeben haben, bestehen für die Lage des Bildpunktes B frei der Fiedergabe des Hologramms
folgende Gesetzmäßigkeiten. Für diese Gesetzmäßigkeiten ist der Abstand des Gegenstandspunktes G und des Bildpunktes
B vom Durchstoßungspunkt P de1" optischen Achse
in der Ebene des Hologrammträgers Ht einerseits und der entsprechende Abstand der Erregungszentren R des Bezugsstrahls und R1 des Wiedergabestrahls vom Punkt P andererseits
maßgeblich. Zunächst ist festzustellen, daß, gleiche Wellengeometrie zwischen Bezugsstrahl und Wiedergabe-Strahl
vorausgesetzt, der Bildpunkt B mit dem Gegenstandpunkt G zusammenfällt, wenn das SrregungsZentrum
Pf des Wiedergabestrahls bei der Wiedergabe mit dem
Srregungszentrum R des Bezugsstrahls bei der Aufnahme
übereinstimmt. Wird, wie das die Fig. Ja zeigt, der Abstand des Erregungszentrums Rf des WiedergabeStrahls
vom Punkt P konstant gehalten, d.h. wandert das Erregungszentrum R',ausgehend vom Erregungszentrum R,auf einer
Kugelfläche vom Erregungszentrum R weg, dann bleibt auch der Abstand des Bildpunktes B vom Punkt P konstant und B
bewegt sich ebenfalls auf einer Kugelfläche.
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Bewegt eich dagegen das Erregungszentrum R1 des Wiedergabestrahls
vom Erregungszentrum R des Bezugsstrahls auf einer durch den Abstand zwischen dem Erregungszentrum R
und dem Punkt P gegebenen Geraden vom ErregungsZentrum R
weg, dann bewegt sich auch der Bildpunkt B, vom Gegenstandspunkt
G ausgehend, ausschließlich auf der durch
den Abstand zwischen dem Gegenstandspunkt ß und dem Punkt P gegebenen Geraden.
Diese beiden Abbildungsgesetze ermöglichen es, in definierter
Weise bei einer vorgegebenen räumlichen Anordnung der Erregungszentren, Ri mehrerer Bezugsstrahlen, den
Gegenstandapunkt G mittels eines einzigen Wiedergabe-Strahls
in einer der Anzahl der Bezugsstrahlen entsprechenden
Zahl zu rekonstruieren, und zwar praktisch . in jeder gewünschten Anordnung. In der Fig. 4 ist diese
Möglichkeit für neun Bezugsstrahlen mit den Erregungszentren R1 bis R9 angegeben, die hierbei ein zweidimensionalea
Raster bilden und im Raum so angeordnet sind, daß der Gegenstandßpunkt G mit Hilfe des Wiedergabestrahls mit
des Erregungszentrum R1 ein in einer Ebene liegendes Bildraster
von neun Bildpunkten B1 bis B9 ergibt.
Bei Verwendung von Bezugsteilstrahlen und einfen Wiedergabestrahl
mit ebener Wellencharakteristik lifegen alle Erregungszentren im Unendlichen. Dies bedeutet, daß die
Abstände der Erregungszentren der Bezugsteilstrahlen und des Wiedergabestrahls alle den gleichen Abstand vom
Punkt P aufweisen. Die Darstellung eines Bildrasters in einer Ebene entsprechend der Fig. h ist daher in diesem
Falle ausgeschlossen. Das zweidimensionale Bildraster nimmt hier stets eine Kugelfläche ein. Diese Einsehränkung
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verhindert jedoch den Einsatz des Erfindungsgegenstandes bei der holographischen Projektion von Ätzmasken nicht,
da der Krümmungsradius der Kugelfläche des Bildrasters genügend groß gewählt werden kann und außerdem die vom
Bildraster überdeckte Fläche im allgemeinen nur einige QuadratZentimeter umfaßt. Gegebenenfalls kann auch die
Projektionsfläche der Kugelfläche des Bildrasters angepaßt werden.
7 Patentansprüche
5 Figuren
5 Figuren
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BAD ORIGINAL
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Claims (1)
- Patentansprüche1. Anordnung; zur holographischen Aufnahme eines Objektes einschließlich seiner Rekonstruktion aus dem Hologramm, vorzugsweise in Form eines reellen Bildes, insbesondere zur Herstellung ^ron Halbleitern, wie integrierten Schaltkreisen, durch kontaktfreie Projektion von Ätzmasken auf die photoempfindliche Schicht (Photoresist-Schicht) von Halbleitergrundplättchen, dadurch gekennzeichnet, daß zur Gewinnung von zwei und mehr nebeneinander und/oder über- und untereinander angeordneten Bildern eines Objektes der den Hologrammträger bei der Aufnahme des Objektes ausleuchtende Bezugsstrahl oder der bei der !Jiedergabe des Hologramms verwendete Wiedergabestrahl in eine der Anzahl der gewünschten Bilder entsprechende Zahl von Teilstrahlen aufgeteilt ist, die sich hinsichtlich der Orientierung ihrer Frregun^szentren (Ri), bezogen auf den Schnittpunkt (P) der senkrecht zur Hologrammträgerebene verlaufenden optischen Achse mit dem Hologrammträger (Ht) voneinander in einer durch die gewünschte gegenseitige räumliche Anordnung der Einzelbilder (Bi) des aufgenommenen Objektes, bei der Wiedergabe des Hologramms unterscheiden.2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Orientierung, der JZrregungszentren (Ri) der Bezugsteilstrahlen bzw. der Wiedergabeteilstrahlen für ein zweidimensionales Raster bemessen ist.3. Anordnung nach Anspruch 1 oder 2, zur kontaktfreien Projektion eines Bildrasters eines Aufnahmeobjektes- 14 -00 9809/0721 bad originalPA 67/2711auf eine Fläche, das das durch eine konventioneile Optik verkleinerte Bild eines Gegenstandes ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Hologrammträger (Ht) in Richtung des Objektstrahls zwischen Optik und Bild angeordnet ist.Anordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Bezugsteilstrahlen bzw. die Wiedergabeteilstrahlen eine divergierende Kugelwellencharakteristik haben und hinsichtlich ihrer Erregungszentren (Hi) in einem Raster so angeordnet sind, daß bei der !Wiedergabe des Hologramms das den Bezugsteilstrahlen bzw. den Wiedergabeteil strahl en entsprechende Bildraster in einer Ebene liegt.Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß für minimale Abbildungsfehler das rirregungszentrun (R) des Bezugsstrahls bzw. die Erregungszentren sämtlicher Bezugsteilstrahlen (Ri), der aufzunehmende Gegenstand (G) und die Erregun^szentren (R1) der Ticdergabeteilstrahlen bzw. das Erregungszentrum (R') des T*Tiedergabestrahls alle den gleichen Abstand vom Schnittpunkt (P) der optischen Achse nit dem Holograranträger (Ht) haben.Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Bezugsteilstrahlen bzw. Wiedergabestrahlen im Sinne einer Kompensation von Abbildungsfehlern der ihnen entsprechenden Einzelbilder bei der Wiedergabe des Hologramms in geeigneter Weise, gegebenenfalls durch im Strahlen-009809/0721- 15*- BAD ORIGINALPA 67/2711gang der Wiedergabeteilstrahlen bzw. der Bezugsteilstrahlen angeordnete Hilfshologramme oder Hilfslinsen vorverzerrt sind.7. Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß d.ie Bezugsteilstrahlen bjBW. die Wiedergabeteilstrahlen nicht gleichzeitig sondern zeitlich gestaffelt den Hologrammträger ausleuchten.009809/0721
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