CN102132202A - 有源矩阵基板、液晶面板、液晶显示装置、液晶显示单元、电视接收机 - Google Patents
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Abstract
在1个像素区域中具备第1和第2像素电极(17a、17b),第1像素电极(17a)经过晶体管(12)连接到数据信号线(15),第2像素电极(17b)经过在与电连接到第1像素电极(17a)的耦合电容电极(67)之间形成的电容连接到第1像素电极(17a),并且隔着绝缘膜与保持电容配线(18)重叠,在上述绝缘膜中的不与耦合电容电极(67)重叠的部分的至少一部分形成有薄膜部(51a)。
Description
技术领域
本发明涉及在1个像素区域设置多个像素电极的有源矩阵基板和使用它的液晶显示装置(像素分割方式)。
背景技术
为了提高液晶显示装置的γ特性的视角依存性(例如,抑制画面的浮白等),提出如下液晶显示装置:将在1个像素内所设置的多个子像素控制为不同的亮度,通过这些子像素的面积灰度级来显示中间灰度级(像素分割方式,例如,参照专利文献1)。
在专利文献1记载的有源矩阵基板(参照图27)中,在1个像素区域内,3个像素电极121a~121c沿着源极总线115排列,晶体管116的源极电极116s连接到接触电极117a,接触电极117a和控制电极511通过引出配线连接,控制电极511和接触电极117b通过引出配线连接,接触电极117a和像素电极121a通过接触孔120a连接,接触电极117b和像素电极121c通过接触孔120b连接,处于电悬浮的像素电极112b通过绝缘膜与控制电极511重叠,像素电极121b与像素电极121a、121c分别进行电容耦合(电容耦合型像素分割方式)。另外,配置辅助电容电极512,使其与控制电极511在行方向(栅极总线112的延伸方向)上相邻,该辅助电容电极512通过接触孔513连接到像素电极121b。在此,在控制电极511与辅助电容总线113重叠的部分形成像素电极121a、121c和辅助电容总线113之间的保持电容,在辅助电容电极512与辅助电容总线113重叠的部分形成像素电极121b和辅助电容总线113之间的保持电容。
在使用该有源矩阵基板的液晶显示装置中,可以使与像素电极121a、121c对应的各个子像素成为亮子像素,使与像素电极121b对应的子像素成为暗子像素,可以通过这些亮子像素(2个)、暗子像素(1个)的面积灰度级来显示中间灰度级。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本国公开专利公报“特开2006-39290号公报(2006年2月9日公开)”
发明内容
发明要解决的问题
然而,在上述现有的有源矩阵基板中,控制电极511和辅助电容电极512在像素区域内在行方向上接近排列,因此会发生这些控制电极511和辅助电容电极512的短路,有可能导致有源矩阵基板的成品率降低。
鉴于上述问题,在本发明中,针对电容耦合型的像素分割方式的有源矩阵基板,提出能提高其成品率的结构。
用于解决问题的方案
本发明的有源矩阵基板具备数据信号线、扫描信号线、连接到上述数据信号线和上述扫描信号线的晶体管以及保持电容配线,其特征在于:具备形成于1个像素区域内的第1像素电极和第2像素电极,上述第1像素电极经过上述晶体管连接到上述数据信号线,上述第2像素电极经过在与电连接到上述第1像素电极的耦合电容电极之间形成的电容连接到该第1像素电极,并且隔着绝缘膜与上述保持电容配线重叠,在上述绝缘膜中的不与上述耦合电容电极重叠的部分的至少一部分形成有薄膜部。
在本有源矩阵基板中,在夹在第2像素电极和保持电容配线之间的绝缘膜中的不与耦合电容电极重叠的部分配置有薄膜部。因此,不用设置保持电容形成用的电极(辅助电容电极)就能形成保持电容,因此不用使第2像素电极和保持电容配线间的保持电容的值变小,就能避免现有的结构(参照图27)中的控制电极(耦合电容电极)与辅助电容电极的短路。由此,能提高有源矩阵基板的制造成品率。
在本有源矩阵基板中,也可以是如下结构:上述绝缘膜具有第1区域、第2区域和第3区域,上述第1区域、第2区域和第3区域分别与上述保持电容配线和上述第2像素电极重叠,在上述第1区域和第3区域形成上述薄膜部,在上述第2区域形成上述耦合电容电极和上述第2像素电极的重叠部,上述第1区域、第2区域和第3区域能按该顺序在扫描信号线的延伸方向上排列形成。
在本有源矩阵基板中,也可以是如下结构:从上述晶体管的导通电极引出的引出配线与上述耦合电容电极在同层连接,并且上述引出配线与上述第1像素电极经过接触孔连接。
在本有源矩阵基板中,也可以是如下结构:上述绝缘膜是对晶体管的沟道进行覆盖的层间绝缘膜和栅极绝缘膜中的至少任一方。
在本有源矩阵基板中,也可以是如下结构:上述绝缘膜是上述层间绝缘膜,上述层间绝缘膜包括无机绝缘膜和有机绝缘膜,上述绝缘膜中的上述薄膜部是上述有机绝缘膜变薄或者该有机绝缘膜被除去而形成的。
在本有源矩阵基板中,也可以是如下结构:上述绝缘膜是上述层间绝缘膜,上述层间绝缘膜还在与上述第2像素电极和上述耦合电容电极重叠的部分的至少一部分变薄。
在本有源矩阵基板中,也可以是如下结构:上述层间绝缘膜包括无机绝缘膜和有机绝缘膜,在与上述第2像素电极和上述耦合电容电极重叠的部分的至少一部分,上述有机绝缘膜变薄或者该有机绝缘膜被除去。
在本有源矩阵基板中,也可以是如下结构:上述绝缘膜是上述栅极绝缘膜,上述栅极绝缘膜包括无机绝缘膜和有机绝缘膜,上述绝缘膜中的上述薄膜部是上述有机绝缘膜变薄或者该有机绝缘膜被除去而形成的。
在本有源矩阵基板中,也可以是如下结构:上述绝缘膜是上述栅极绝缘膜,上述栅极绝缘膜还在与上述第2像素电极和上述耦合电容电极重叠的部分的至少一部分变薄。
在本有源矩阵基板中,也可以是如下结构:上述栅极绝缘膜包括无机绝缘膜和有机绝缘膜,在与上述第2像素电极和上述耦合电容电极重叠的部分的至少一部分,上述有机绝缘膜变薄或者该有机绝缘膜被除去。
在本有源矩阵基板中,也可以是如下结构:上述有机绝缘膜中包括丙烯酸树脂、环氧树脂、聚酰亚胺树脂、聚氨酯树脂、酚醛树脂和硅氧烷树脂中的至少一种。
在本有源矩阵基板中,也可以是如下结构:上述第1像素电极和上述扫描信号线有一部分重叠。
在本有源矩阵基板中,也可以是如下结构:还具备从上述保持电容配线引出的保持电容延伸部,上述保持电容延伸部,当俯视时,从上述保持电容配线沿着上述数据信号线延伸,与上述第2像素电极的边缘重叠,或者通过该边缘的外侧。
在本有源矩阵基板中,也可以是如下结构:上述第1像素电极和第2像素电极的间隙具有限制取向的功能。
在本有源矩阵基板中,也可以是如下结构:还具备形成于上述像素区域内的第3像素电极,上述第3像素电极与上述第1像素电极电连接。
在本有源矩阵基板中,也可以是如下结构:上述第1像素电极、第2像素电极和第3像素电极按该顺序在数据信号线的延伸方向上排列。
本有源矩阵基板的特征在于:具备:连接到扫描信号线的晶体管;和保持电容配线,在1个像素区域中设有:第1像素电极,其与上述晶体管的一方导通电极连接;第2像素电极,其重叠于上述保持电容配线;以及耦合电容电极,其与该保持电容配线和第2像素电极分别重叠,上述晶体管的一方或者另一方导通电极与上述耦合电容电极电连接,在上述第2像素电极与上述保持电容配线重叠而不与上述耦合电容电极重叠的区域的一部分,配置在上述保持电容配线和上述第2像素电极之间的多个绝缘膜中的至少一个形成得比周围薄。
本液晶面板的特征在于:具备上述有源矩阵基板和与其相对的相对基板,在上述相对基板的表面,与上述有源矩阵基板的层间绝缘膜变薄的区域相对的部分隆起。
本液晶面板的特征在于:具备上述有源矩阵基板和与其相对的相对基板,在上述相对基板的表面,与上述有源矩阵基板的栅极绝缘膜变薄的区域相对的部分隆起。
在本液晶面板中,也可以是如下结构:上述保持电容配线在行方向上延伸,使相对基板表面的隆起的部分在投射到保持电容配线的形成层的情况下收纳于保持电容配线的沿着行方向的2个边缘之间。
本液晶面板的特征在于具备上述有源矩阵基板。另外,本液晶显示单元的特征在于具备上述液晶面板和驱动器。另外,本液晶显示装置的特征在于具备上述液晶显示单元和光源装置。另外,电视接收机的特征在于具备上述液晶显示装置和接收电视播放的调谐部。
发明效果
如上所述,根据本有源矩阵基板,能避免耦合电容电极和辅助电容电极的短路,能提高有源矩阵基板的制造成品率。
附图说明
图1是表示本液晶面板的结构(具体例1)的平面图。
图2是图1示出的液晶面板的X-Y向视截面图。
图3是表示图1示出的液晶面板的其它具体例的X-Y向视截面图。
图4是表示图1示出的液晶面板的其它具体例的X-Y向视截面图。
图5是图1示出的液晶面板的等效电路图。
图6是表示具备图1示出的液晶面板的液晶显示装置的驱动方法的时序图。
图7是表示用图6的驱动方法的情况下的每帧的显示状态的示意图。
图8是表示图1示出的液晶面板的其它具体例(具体例2)的平面图。
图9是图8示出的液晶面板的X-Y向视截面图。
图10是表示图1示出的液晶面板的另一具体例(具体例3)的平面图。
图11是图10示出的液晶面板的X-Y向视截面图。
图12是表示图1示出的液晶面板的另一具体例(具体例4)的平面图。
图13是表示图1示出的液晶面板的另一具体例(具体例5)的平面图。
图14是表示图13示出的液晶面板的其它具体例的平面图。
图15是表示图1示出的液晶面板的另一具体例(具体例6)的平面图。
图16是表示本液晶面板的另一结构(具体例7)的平面图。
图17是表示图16示出的液晶面板的其它具体例的平面图。
图18是表示图8示出的液晶面板的其它具体例(具体例8)的平面图。
图19是图18示出的液晶面板的X-Y向视截面图。
图20是表示图10示出的液晶面板的其它具体例(具体例9)的平面图。
图21是图20示出的液晶面板的X-Y向视截面图。
图22的(a)是表示本液晶显示单元的结构的示意图,(b)是表示本液晶显示装置的结构的示意图。
图23是说明本液晶显示装置的整体结构的框图。
图24是说明本液晶显示装置的功能的框图。
图25是说明本电视接收机的功能的框图。
图26是表示本电视接收机的结构的分解立体图。
图27是表示现有的液晶面板的结构的平面图。
图28是表示图1示出的液晶面板的其它具体例(具体例10)的平面图。
具体实施方式
用附图如下说明本发明的实施方式的例子。此外,为了便于说明,下面将扫描信号线的延伸方向作为行方向。但是,在具备本液晶面板(或者其所用的有源矩阵基板)的液晶显示装置的使用(视听)状态下,当然该扫描信号线可以在横向上延伸,也可以在纵向上延伸。此外,在液晶面板的各图中,适当地省略取向限制用构造物的记载。
图5是表示本实施方式的液晶面板的一部分的等效电路图。如图5所示,本液晶面板具备在列方向上(图中上下方向)上延伸的数据信号线15、在行方向(图中左右方向)上延伸的扫描信号线16、在行和列方向上排列的像素(101~104)、保持电容配线18以及共用电极(相对电极)com,各像素的结构是相同的。此外,包括像素101、102的像素列与包括像素103、104的像素列相邻,包括像素101、103的像素行与包括像素102、104的像素行相邻。
在本液晶面板中,对应1个像素设置1个数据信号线15、1个扫描信号线16以及1个保持电容配线18,在1个像素内设置3个像素电极(17a~17c),这3个像素电极在列方向上排列。
例如在像素101中,像素电极17a经过连接到扫描信号线16的晶体管12连接到数据信号线15,像素电极17a、17c电连接,像素电极17a、17c与像素电极17b经过耦合电容Cc连接,在像素电极17a、17c与保持电容配线18之间形成保持电容Ch1,在像素电极17b和保持电容配线18之间形成保持电容Ch2,在像素电极17a、17c和共用电极com之间形成液晶电容Cl1,在像素电极17b和共用电极com之间形成液晶电容Cl2。
在具备本液晶面板的液晶显示装置中,当选择扫描信号线16时,像素电极17a(经过晶体管12)连接到数据信号线15。在此,像素电极17a、17c与像素电极17b经过耦合电容Cc耦合,因此如果设晶体管12截止后的像素电极17a和像素电极17c的电位为Vac,晶体管12截止后的像素电极17b的电位为Vb,则有|Vac|≥|Vb|(此外,例如|Vb|意味着Vb与com电位=Vcom之间的电位差),因此在中间灰度级显示时,使包括像素电极17a的子像素为亮子像素,使包括像素电极17b的子像素为暗子像素,使包括像素电极17c的子像素为亮子像素,能利用这2个亮子像素和1个暗子像素的面积灰度级来进行显示。由此,能提高本液晶显示装置的视角特性。
(液晶面板的具体例1)
图1示出图5的像素101的具体例。在图1中,为了容易观看,省略滤色器基板(相对基板)侧的部件而仅记载了有源矩阵基板的部件。如该图所示,在数据信号线15和扫描信号线16的交叉部附近配置晶体管12,在用两个信号线(15、16)划分的像素区域中设有3个像素电极(第1~第3像素电极17a~17c)和与数据信号线形成于同层的耦合电容电极67。第1~第3像素电极17a~17c分别是长方形形状,按该顺序在列方向上排列。另外,保持电容配线18横穿像素中央(与第2像素电极17b重叠地)地在行方向上延伸。并且,第2像素电极17b隔着绝缘膜(栅极绝缘膜、层间绝缘膜)(未图示)与保持电容配线18重叠,在该绝缘膜中形成有膜厚比其它部分小的薄膜部51a。
在此,耦合电容电极67隔着栅极绝缘膜(未图示)与保持电容配线18重叠设置,隔着层间绝缘膜(未图示)与第2像素电极17b重叠。即,耦合电容电极67配置在第2像素电极17b下,在相邻的2个数据信号线中的一方(数据信号线15)与耦合电容电极67之间配置有薄膜部51a。另外,晶体管12的源极电极8连接到数据信号线15,漏极电极9经过漏极引出配线27连接到引出电极29a,引出电极29a经过中继配线37连接到耦合电容电极67,并且经过接触孔11a连接到像素电极17a。并且,耦合电容电极67经过中继配线47连接到中继电极29c,中继电极29c经过接触孔11c连接到像素电极17c。由此,晶体管12的漏极电极9、第1像素电极17a和耦合电容电极67电连接,在耦合电容电极67与第2像素电极17b的重叠部分形成耦合电容Cc(参照图5)。
并且,在耦合电容电极67与保持电容配线18的重叠部分形成保持电容Ch1,在与薄膜部51a对应的、第2像素电极17b与保持电容配线18的重叠部分形成保持电容Ch2。
图2是图1的X-Y向视截面图。如该图所示,本液晶面板具备:有源矩阵基板3、与其相对的滤色器基板30以及配置在两个基板(3,30)之间的液晶层40。在有源矩阵基板3中,在玻璃基板31上形成扫描信号线16和保持电容配线18,覆盖它们而形成无机栅极绝缘膜22。在无机栅极绝缘膜22的上层形成有漏极引出配线27、引出电极29a、中继配线37、耦合电容电极67以及数据信号线15。此外,在截面中虽未包括,在无机栅极绝缘膜22的上层形成有半导体层(i层和n+层)以及与n+层接触的源极电极和漏极电极。并且,覆盖该金属层而形成无机层间绝缘膜25。在无机层间绝缘膜25上形成第1和第2像素电极17a、17b,并且还覆盖这些像素电极而形成取向膜19。此外,接触孔11a贯通无机层间绝缘膜25,由此连接像素电极17a和引出电极29a。另外,耦合电容电极67隔着无机层间绝缘膜25与像素电极17b重叠,由此形成耦合电容Cc(参照图5)。另外,耦合电容电极67隔着无机栅极绝缘膜22与保持电容配线18重叠,由此形成保持电容Ch1(参照图5),在薄膜部51a中,第2像素电极17b隔着无机栅极绝缘膜22和无机层间绝缘膜25与保持电容配线18重叠,由此形成保持电容Ch2(参照图5)。
另一方面,在滤色器基板30中,在玻璃基板32上形成着色层(滤色器层)14,在其上层形成共用电极(com)28,并且还覆盖它而形成取向膜19。
在此,薄膜部51a是通过使夹在第2像素电极17b和保持电容配线18之间的绝缘膜(无机栅极绝缘膜22和无机层间绝缘膜25)部分地变薄而形成的。由此,薄膜部51a可以如图2所示使无机层间绝缘膜25变薄来形成,也可以如图3所示使无机栅极绝缘膜22变薄来形成。并且,也可以通过使无机层间绝缘膜25和无机栅极绝缘膜22两者变薄来形成。
另外,薄膜部51a也可以如图4所示,将夹在第2像素电极17b和保持电容配线18之间的绝缘膜(无机栅极绝缘膜22和无机层间绝缘膜25)中的无机层间绝缘膜25部分地除去来形成。在这种情况下,薄膜部51a是第2像素电极隔着无机栅极绝缘膜22与保持电容配线18重叠来构成。
并且,在图1的结构中,薄膜部51a在扫描信号线16的延伸方向上与耦合电容电极67排列配置,但是不限于此,只要配置在第2像素电极17b的形成保持电容Ch2(参照图5)的区域即可。因此,也可以根据保持电容配线18的线宽度和配置而配置在例如扫描信号线16与耦合电容电极67之间。
(关于驱动方法)
图6是表示具备图1示出的液晶面板的本液晶显示装置(常黑模式的液晶显示装置)的驱动方法的时序图。此外,Sv和SV示出分别提供给相邻的2个数据信号线的信号电位,Gp表示提供给扫描信号线16的栅极导通脉冲信号,Va~Vc分别表示像素电极17a~17c的电位。
在该驱动方法中,如图6所示,依次选择扫描信号线,使提供给数据信号线的信号电位的极性按每1水平扫描期间(1H)翻转,并且使在各帧的相同序位的水平扫描期间提供的信号电位的极性以1帧为单位翻转,并且在同一水平扫描期间中对相邻的2个数据信号线提供反极性的信号电位。
具体地说,对于连续的帧F1、F2中,在F1,依次选择扫描信号线,对相邻的2个数据信号线中的一方,在第1序位的水平扫描期间(例如包括像素电极17a的写入期间)提供正极性的信号电位,在第2序位的水平扫描期间提供负极性的信号电位,对上述2个数据信号线中的另一方,在第1序位的水平扫描期间提供负极性的信号电位,在第2序位的水平扫描期间提供正极性的信号电位。由此,如图6所示,成为|Va|=|Vc|≥|Vb|,例如,包括像素电极17a(正极性)的子像素成为亮子像素(以下表示为“亮”),包括像素电极17b(正极性)的子像素成为暗子像素(以下表示为“暗”),包括像素电极17c(正极性)的子像素成为“亮”,整体如图7(a)那样。
另外,在F2中,依次选择扫描信号线,对相邻的2个数据信号线中的一方,在第1序位的水平扫描期间(例如包括像素电极17a的写入期间)提供负极性的信号电位,在第2序位的水平扫描期间提供正极性的信号电位,对上述2个数据信号线中的另一方,在第1序位的水平扫描期间提供正极性的信号电位,在第2序位的水平扫描期间提供负极性的信号电位。由此,如图6所示,成为|Va|=|Vc|≥|Vb|,例如,包括像素电极17a(负极性)的子像素成为亮子像素(以下表示为“亮”),包括像素电极17b(负极性)的子像素成为暗子像素(以下表示为“暗”),包括像素电极17c(负极性)的子像素成为“亮”,整体如图7(b)那样。
此外,在图1~图4中省略了取向限制用构造物的记载,例如在MVA(多畴垂直取向)方式的液晶面板中,在各像素电极中设有取向限制用的狭缝,在滤色器基板上设有取向限制用的肋。此外,也可以在滤色器基板的共用电极中设置取向限制用的狭缝来代替设置上述取向限制用的肋。
根据上述图1的液晶面板的结构,耦合电容电极67配置在第2像素电极17b(悬浮像素电极)下,薄膜部51a配置为重叠于第2像素电极17b和保持电容配线18,并且不重叠于耦合电容电极67。因此,不用设置保持电容形成用的电极(辅助电容电极)就能形成保持电容,因此第2像素电极17b和保持电容配线18间的保持电容的值不会变小,能避免现有的结构(参照图27)中的控制电极511(耦合电容电极67)和辅助电容电极512的短路。
在此,薄膜部51a也可以配置在无机层间绝缘膜25中的还与耦合电容电极67重叠的部分。根据该结构,能使用于得到所希望的耦合电容值的耦合电容电极67的面积变小,因此也会得到以下效果:与数据信号线之间的距离变大,能降低耦合电容电极67和数据信号线15的短路的可能性。
另外,该无机层间绝缘膜25也发挥晶体管的沟道保护膜的功能,因此在除配置薄膜部51a的部分以外的区域中,也可以使其厚度变厚。由此,也能得到提高晶体管的可靠性的效果。
这样,关于无机层间绝缘膜25,从减小耦合电容电极67的面积来得到所希望的电容值的观点出发,优选其厚度较薄,从晶体管的可靠性的观点出发,优选其厚度较厚。关于这一点,在上述的结构中,在厚的无机层间绝缘膜25中,在与耦合电容电极67重叠的部分配置薄的薄膜部51a,由此能得到上述两种效果。
此外,为了得到上述效果,也可以是如下结构:使无机层间绝缘膜25为二层构造,在耦合电容电极67与第2像素电极17b的重叠部分除去成为上层的无机层间绝缘膜25或者使其变薄。
另外,在无机栅极绝缘膜22中形成薄膜部51a的结构中,也能得到与上述同样的效果。即,在厚的无机栅极绝缘膜22中,在与耦合电容电极67重叠的部分配置薄的薄膜部51a,由此能抑制扫描信号线16和数据信号线15的交叉部的短路、寄生电容的增加,并且能得到所希望的电容值。此外,与上述二层构造的无机层间绝缘膜25同样,也可以使无机栅极绝缘膜22为二层构造。
(关于液晶面板的制造方法)
下面说明本液晶面板的制造方法。液晶面板的制造方法包括如下工序:有源矩阵基板制造工序、滤色器基板制造工序、使两个基板贴合而填充液晶的组装工序。
首先,通过溅射法在玻璃、塑料等基板上形成钛、铬、铝、钼、钽、钨、铜等金属膜、它们的合金膜、或者它们的层叠膜(厚度为),然后通过光刻技术(Photo Engraving Process,以下称为“PEP技术”)进行图案化,形成扫描信号线、晶体管的栅极电极(也有扫描信号线兼作栅极电极的情况)和保持电容配线。
接着,在栅极绝缘膜上(基板整体)通过CVD法连续形成本征非晶硅膜(厚度为)和掺杂有磷的n+非晶硅膜(厚度为),然后通过PEP技术进行图案化,在栅极电极上岛状地形成包括本征非晶硅层和n+非晶硅层的硅层叠体。
接着,对形成有硅层叠体的基板整体,通过溅射法形成钛、铬、铝、钼、钽、钨、铜等金属膜、它们的合金膜、或者它们的层叠膜(厚度为),然后利用PEP技术进行图案化,形成数据信号线、晶体管的源极电极、漏极电极、漏极引出配线、引出电极、中继配线和耦合电容电极。
并且,将源极电极和漏极电极作为掩模,蚀刻除去构成硅层叠体的n+非晶硅层,形成晶体管的沟道。在此,半导体层可以如上述那样利用非晶硅膜形成,也可以形成多晶硅膜,另外,也可以对非晶硅膜和多晶硅膜进行激光退火处理来提高结晶性。由此,能加快半导体层内的电子的移动速度,提高晶体管(TFT)的特性。
然后,通过PEP技术蚀刻除去层间绝缘膜,形成接触孔和薄膜部51a。此外,也可以进行半曝光,使得在薄膜部51a中保留较薄的层间绝缘膜。接着,通过溅射法在形成有接触孔和薄膜部51a的层间绝缘膜上的基板整体上形成包括ITO(Indium Tin Oxide:铟锡氧化物)、IZO(Indium Zinc Oxide:铟锌氧化物)、氧化锌、氧化锡等的透明导电膜(厚度为),然后,通过PEP技术进行图案化,形成各像素电极。
下面说明滤色器基板制造工序。
首先,在玻璃、塑料等的基板上(基板整体)形成铬薄膜或者含有黑色颜料的树脂膜之后,通过PEP技术进行图案化,形成黑矩阵。然后,在黑矩阵的间隙中用颜料分散法等形成红色、绿色和蓝色的滤色器层(厚度为2μm程度)的图案。
下面说明组装工序。
首先,对有源矩阵基板和滤色器基板中的一方通过丝网印刷将包括热固化性环氧树脂等的密封材料涂敷成留出液晶注入口的部分的框状图案,对另一方基板撒布具有与液晶层的厚度相当的直径、包括塑料或者二氧化硅的球状的隔离物。
然后使有源矩阵基板和滤色器基板贴合,使密封材料固化。
最后,对用有源矩阵基板和滤色器基板以及密封材料围成的空间通过减压法注入液晶材料之后,对液晶注入口涂敷UV固化树脂,利用UV照射来密封液晶材料而形成液晶层。如上所述制造液晶面板。
(液晶面板的具体例2)
返回图2,在图2的无机层间绝缘膜25上设有比无机层间绝缘膜25厚的有机层间绝缘膜26,如图9所示,也可以使层间绝缘膜(沟道保护膜)为二层(25、26)构造。这样一来,能得到降低各种寄生电容、防止配线之间短路以及降低平坦化造成的像素电极开裂等的效果。在这种情况下,如图8、9所示,对于有机层间绝缘膜26,优选挖穿与耦合电容电极67重叠的部分K。这样一来,能充分确保耦合电容(图5的Cc)的电容值,并且能得到上述效果。此外,根据本结构,降低了扫描信号线和像素电极间的寄生电容,因此如图8、9那样能使扫描信号线16和第1像素电极17a重叠来提高开口率。
图9的无机层间绝缘膜25、有机层间绝缘膜26、接触孔和薄膜部51a例如能如下那样形成。即,在形成晶体管和数据信号线之后,用SiH4气体、NH3气体和N2气体的混合气体用CVD覆盖基板整个面地形成厚度约为的包括SiNx的无机层间绝缘膜25(钝化膜)。然后,用旋涂法、模具涂敷法来形成厚度约为3μm的包括正型感光性丙烯酸树脂的有机层间绝缘膜26。接着,进行光刻,形成有机层间绝缘膜26的挖穿部分和薄膜部51a以及各种接触用图案,并且将图案化的有机层间绝缘膜26作为掩模,用CF4气体和O2气体的混合气体对无机层间绝缘膜25进行干式蚀刻。具体地说,例如,对有机层间绝缘膜的挖穿部分和薄膜部51a用光刻工序进行半曝光,由此在显影结束时保留薄的有机层间绝缘膜,另一方面,对接触孔部分用上述光刻工序进行全曝光,由此在显影结束时不保留有机层间绝缘膜。在此,如果用CF4气体和O2气体的混合气体进行干式蚀刻,就会对有机层间绝缘膜的挖穿部分和薄膜部51a除去(有机层间绝缘膜的)残膜,对接触孔部分除去有机层间绝缘膜下的无机层间绝缘膜。此外,有机层间绝缘膜26也可以是例如包括SOG(旋涂玻璃)材料的绝缘膜,另外,有机层间绝缘膜26中也可以包括丙烯酸树脂、环氧树脂、聚酰亚胺树脂、聚氨酯树脂、酚醛树脂和硅氧烷树脂中的至少一种。
(液晶面板的具体例3)
返回图2,在图2的无机栅极绝缘膜22下设有比它厚的有机栅极绝缘膜21,如图11所示,也能使栅极绝缘膜为二层(21、22)构造。这样一来,能得到降低各种寄生电容、防止配线之间短路和降低平坦化导致的数据信号线、漏极引出配线等的断线率的效果。在这种情况下,如图10、11所示,对于在有机栅极绝缘膜21,优选挖穿重叠于耦合电容电极67的部分、重叠于第2像素电极17b和保持电容配线18的部分(薄膜部51a)(挖穿部F)。这样一来,能充分确保保持电容(图5的Ch1、Ch2)的电容值并且得到上述效果。此外,在本结构中降低了扫描信号线和像素电极间的寄生电容,因此如图10、11所示,能使扫描信号线16和第1像素电极17a重叠来提高开口率。
(液晶面板的具体例4)
图12是表示本液晶面板的其它结构的平面图。在图12示出的液晶面板中,与保持电容配线18和第2像素电极17b重叠的绝缘膜具有第1~第3区域,各区域按该顺序在扫描信号线16的延伸方向上排列形成,在第1区域形成薄膜部51a,在第2区域形成耦合电容电极67和第2像素电极17b的重叠部,在第3区域形成薄膜部51b。
根据该结构,在相邻的2个数据信号线中的一方(数据信号线15)与耦合电容电极67之间配置薄膜部51a,并且在另一方数据信号线与耦合电容电极67之间配置薄膜部51b。由此,在耦合电容电极67与保持电容配线18的重叠部分形成保持电容Ch1,在与薄膜部51a、51b对应的第2像素电极17b与保持电容配线18的重叠部分形成保持电容Ch2。由此,不用使第2像素电极17b和保持电容配线18间的保持电容的值变小,就能避免现有的结构(参照图27)中的控制电极511(耦合电容电极67)和辅助电容电极512的短路。并且,在耦合电容电极67与数据信号线15之间形成薄膜部51a、51b,因此也能得到耦合电容电极67与数据信号线(一方数据信号线(15)和另一方数据信号线)难以发生短路的效果。
(液晶面板的具体例5)
图13是表示本液晶面板的其它结构的平面图。在图13示出的液晶面板中,从保持电容配线18延伸出俯视时沿着数据信号线15的保持电容配线延伸部18p和俯视时沿着数据信号线15的相邻的数据信号线的保持电容配线延伸部18q,保持电容配线延伸部18p与第2像素电极17b的沿着数据信号线的2个边缘中的一方(数据信号线15侧的边缘)重叠,保持电容配线延伸部18q与上述2个边缘中的另一方重叠。这样,保持电容配线延伸部18p、18q发挥像素电极17b(悬浮像素电极)屏蔽电极的功能,因此能更有效地抑制电荷飞入像素电极17b。由此,能防止包括像素电极17b的子像素(暗子像素)的残影。
此外,在图13的液晶面板中,也能使层间绝缘膜(沟道保护膜)成为无机层间绝缘膜和有机层间绝缘膜的二层构造。这样,能得到降低各种寄生电容、防止配线之间的短路和降低平坦化导致像素电极开裂等的效果。在这种情况下,如图14所示,对于有机层间绝缘膜,优选挖穿与耦合电容电极67重叠的部分K以及与保持电容配线延伸部18p、18q重叠的部分R1、R2。这样,能充分确保耦合电容(图5的Cc)的电容值并且担保保持电容配线延伸部18p、18q的屏蔽效果,还能得到上述效果。此外,在本结构中,扫描信号线和像素电极间的寄生电容降低,因此如图14所示,能使扫描信号线16与第1像素电极17a重叠来提高开口率。
(液晶面板的具体例6)
图15是表示本液晶面板的其它结构的平面图。如该图所示,也可以是从图1的液晶面板除去第3像素电极17c、中继配线47、中继电极29c和接触孔11c的结构。在具备图15的液晶面板的液晶显示装置中,在中间灰度级显示时,使包括像素电极17a的子像素为亮子像素,使包括像素电极17b的子像素为暗子像素,能利用这1个亮子像素和1个暗子像素的面积灰度级来进行显示。
(液晶面板的具体例7)
图16是表示本液晶面板的其它结构的平面图。如该图所示,在用数据信号线15和扫描信号线16划分的像素区域中,在行方向上看去为台形形状的第2像素电极17b和与它嵌合的形状的第1像素电极17a在行方向上排列,保持电容配线18横穿像素中央(与第2像素电极17b重叠地)地在行方向上延伸。
即,第2像素电极17b的外周包括:第1边,其与保持电容配线18交叉,相对于行方向成大致90°;第2边,其从第1边的一端相对于行方向成大致45°延伸;第3边,其从第1边的另一端相对于行方向成大致315°延伸;以及第4边,其平行于第1边而与保持电容配线18交叉,第1边是台形的上底,第4边是台形的下底,连结第1和第4边的中点之间的线通过保持电容配线18上。
另外,在第1像素电极17a的外周,除了沿着数据信号线15的边、沿着扫描信号线16的边和沿着扫描信号线16的相邻的扫描信号线的边以外,还包括与上述第1~第3边相对的3个边,第2像素电极17b的第1边和与其相对的第1像素电极17a的外周的一边之间的间隙是第1间隙S1,第2像素电极17b的第2边和与其相对的第1像素电极17a的外周的一边之间的间隙是第2间隙S2,第2像素电极17b的第3边和与其相对的第1像素电极17a的外周的一边之间的间隙是第3间隙S3。
在本液晶面板中,第2像素电极17b也隔着绝缘膜(栅极绝缘膜、层间绝缘膜)(未图示)与保持电容配线18重叠,薄膜部51a形成于该绝缘膜。另外,耦合电容电极67隔着栅极绝缘膜(未图示)与保持电容配线18重叠设置,隔着层间绝缘膜(未图示)与第2像素电极17b重叠。即,耦合电容电极67配置在第2像素电极17b下,在相邻的2个数据信号线中的一方(数据信号线15)和耦合电容电极67之间配置有薄膜部51a。另外,晶体管12的源极电极8连接到数据信号线15,漏极电极9经过漏极引出配线27连接到引出电极29a,引出电极29a经过中继配线37连接到耦合电容电极67,并且经过接触孔11a连接到像素电极17a。由此,晶体管12的漏极电极9、第1像素电极17a和耦合电容电极67电连接,在耦合电容电极67与第2像素电极17b的重叠部分形成耦合电容Cc(参照图5)。
并且,在耦合电容电极67和保持电容配线18的重叠部分形成保持电容Ch1,在与薄膜部51a对应的第2像素电极17b和保持电容配线18的重叠部分形成保持电容Ch2。
并且,从保持电容配线18延伸出俯视时沿着数据信号线15的保持电容配线延伸部18p和俯视时沿着数据信号线15的相邻的数据信号线的保持电容配线延伸部18q,保持电容配线延伸部18p与第2像素电极17b的外周的第1边重叠,保持电容配线延伸部18q与第2像素电极17b的外周的第4边重叠。
图16的液晶面板能避免现有的结构(参照图27)中的控制电极511(耦合电容电极67)和辅助电容电极512的短路。
在此,在将图16的液晶面板在MVA方式下使用的情况下,第2间隙S2或第3间隙S3能发挥取向限制用构造物的功能。并且,保持电容配线延伸部18p、18q发挥第2像素电极17b(悬浮像素电极)的屏蔽电极的功能,因此能更有效地抑制电荷飞入第2像素电极17b。由此,能防止包括第2像素电极17b的子像素(暗子像素)的残影。
此外,在图16的液晶面板中能使层间绝缘膜(沟道保护膜)成为无机层间绝缘膜和有机层间绝缘膜的二层构造。这样,能得到降低各种寄生电容、防止配线之间短路和降低平坦化导致的像素电极开裂等的效果。在这种情况下,如图17所示,对于有机层间绝缘膜,优选挖穿与耦合电容电极67重叠的部分K以及与保持电容配线延伸部18p、18q重叠的部分W1、W2。这样,能充分确保耦合电容(图5的Cc)的电容值并且担保保持电容配线延伸部18p、18q的屏蔽效果,还能得到上述效果。此外,本结构能降低扫描信号线和像素电极间的寄生电容,因此如图17所示,能使扫描信号线16与第1像素电极17a重叠来提高开口率。
(液晶面板的具体例8)
也能使图8、9示出的液晶面板成为图18、19那样的结构。在图18、19示出的液晶面板的滤色器基板的表面,与有源矩阵基板3的有机层间绝缘膜26的挖穿部K相对的部分D隆起。这样,填补挖穿部K在有源矩阵基板表面的凹陷,能使隆起部D下的液晶层的厚度与周围成为相同程度。由此,能使液晶层的厚度均匀化,能减少液晶的使用量。在图19(a)中,在相对电极28上设置突起部件i,由此形成滤色器基板表面的隆起部D。由此,即使导电性异物落入挖穿部K在有源矩阵基板表面的凹陷,也能防止相对电极28和第2像素电极17b的短路。此外,如果是MVA的液晶面板,就能用与取向限制用的肋相同的工序来形成突起部件i。另外,在图19(b)中,在着色层14上(相对电极28下)设置突起部件j,由此形成滤色器基板表面的隆起部D。也可以将突起部件j设为与着色层14颜色不同的着色层,利用这些着色层(例如,R的着色层和G的着色层)的重叠来形成隆起部D。在图19(b)的结构中,与不形成隆起部D的结构相比较,能缩短隆起部D下的第2像素电极17b和相对电极28之间的距离,因此能使液晶电容变大。
此外,如图18所示,为了不会看到滤色器基板的隆起部D造成的液晶分子的取向混乱,优选采用在将隆起部D投射到保持电容配线18的形成层的情况下,隆起部D收纳于保持电容配线18的沿着行方向的2个边缘之间的结构。
(液晶面板的具体例9)
也能使图10、11示出的液晶面板成为如图20、21所示的结构。在图20、21示出的液晶面板的滤色器基板的表面,与有源矩阵基板3的有机栅极绝缘膜21的挖穿部F相对的部分D隆起。这样,填补挖穿部F在有源矩阵基板表面的凹陷,能使隆起部D下的液晶层的厚度与周围成为相同程度。由此,能使液晶层的厚度均匀化,能减少液晶的使用量。在图21(a)中,在相对电极28上设置突起部件i,由此形成滤色器基板表面的隆起部D。由此,即使导电性异物落入挖穿部F在有源矩阵基板表面的凹陷,也能防止相对电极28和第2像素电极17b的短路。此外,如果是MVA的液晶面板,能够用与取向限制用的肋相同的工序形成突起部件i。另外,在图21(b)中,在着色层14上(相对电极28下)设置突起部件j,由此形成滤色器基板表面的隆起部D。也可以将突起部件j设为与着色层14颜色不同的着色层,利用这些着色层(例如R的着色层和G的着色层)的重叠来形成隆起部D。在图21(b)的结构中,与不形成隆起部D的结构相比较,能缩短隆起部D下的第2像素电极17b和相对电极28之间的距离,因此能使液晶电容变大。
此外,如图20所示,为了不会看到滤色器基板的隆起部D造成的液晶分子的取向混乱,优选采用在将隆起部D投射到保持电容配线18的形成层的情况下,隆起部D收纳于保持电容配线18的沿着行方向的2个边缘之间的结构。
(液晶面板的具体例10)
图28是表示本液晶面板的其它结构的平面图。图28的液晶面板的有源矩阵基板具备:连接到扫描信号线16的晶体管112、212和连接到扫描信号线16的下一级的扫描信号线116的晶体管312,在1个像素区域中具备像素电极17a、17b和2个电容电极266、267。在此,电容电极266、267分别隔着栅极绝缘膜与保持电容配线18重叠,并且分别隔着沟道保护膜与像素电极17b重叠,晶体管312的源极电极308和电容电极267经过引出电极227连接,并且晶体管312的漏极电极309和像素电极17a经过接触孔连接,在像素电极17b不与电容电极266、277重叠而与保持电容配线18重叠的重叠部288中,栅极绝缘膜和沟道保护膜中的至少一方形成得比周围薄。
具体地说,在重叠部288的周围,沟道保护膜由无机绝缘膜和比它厚的有机绝缘膜构成,但是在重叠部288中,有机绝缘膜被挖穿,保持电容配线18和像素电极17b仅隔着栅极绝缘膜和无机绝缘膜重叠。此外,晶体管112、212的共用源极电极128连接到数据信号线15,晶体管112的漏极电极109经过引出电极127p连接到电容电极266,电容电极266经过漏极引出电极127q和接触孔连接到像素电极17a。此外,晶体管212的漏极电极209经过接触孔连接到像素电极17b。在此,在电容电极266和保持电容配线18的重叠部分形成像素电极17a和保持电容配线18之间的保持电容,在重叠部288形成像素电极17b和保持电容配线18之间的保持电容,在电容电极267和像素电极17b的重叠部分形成像素电极17a和像素电极17b的耦合电容。
当驱动图28的液晶面板时,在扫描信号线16的扫描时对像素电极17a、17b写入相同的数据信号电位,但是在扫描信号线116的(下一级)扫描时,这些像素电极17a、17b经过电容连接。由此,形成像素电极17a的暗子像素和像素电极17b的亮子像素。
并且,在本液晶面板中,设有保持电容配线18和像素电极17b仅隔着栅极绝缘膜和无机绝缘膜重叠的重叠部288,因此能在维持像素电极17b和保持电容配线18之间的保持电容的情况下,使电容电极267和数据信号线115的距离变大。由此,能抑制电容电极267和数据信号线115产生短路,能提高液晶面板的成品率。
(本液晶显示单元和液晶显示装置)
在本实施方式中,如下那样构成本液晶显示单元和液晶显示装置。即,在本液晶面板的两个面,使偏振光板A的偏振光轴与偏振光板B的偏振光轴相互正交地贴附2张偏振光板A、B。此外,根据需要,也可以对偏振光板层叠光学补偿片等。然后,如图22(a)所示,连接驱动器(栅极驱动器202、源极驱动器201)。在此,作为一个例子,说明用TCP方式连接驱动器。首先,将ACF临时压接到液晶面板的端子部。然后,将装载有驱动器的TCP从载带上冲切下来,使其与面板端子对准位置,对其进行加热、正式压接。然后,以ACF进行连接用于连结驱动器TCP彼此的电路基板203(PWB)和TCP的输入端子。由此,完成液晶显示单元200。然后,如图22(b)所示,对液晶显示单元的各驱动器(201、202)经过电路基板203连接显示控制电路209,与照明装置(背光源单元)204成为一体,由此形成液晶显示装置210。
图23是表示本液晶显示装置的结构的框图。如该图所示,本液晶显示装置具备:显示部(液晶面板)、源极驱动器(SD)、栅极驱动器(GD)以及显示控制电路。源极驱动器驱动数据信号线,栅极驱动器驱动扫描信号线,显示控制电路控制源极驱动器和栅极驱动器。
显示控制电路从外部的信号源(例如调谐器)接受表示要显示的图像的数字视频信号Dv、与该数字视频信号Dv对应的水平同步信号HSY和垂直同步信号VSY以及用于控制显示动作的控制信号Dc。另外,显示控制电路根据接受的这些信号Dv、HSY、VSY、Dc生成:数据启动脉冲信号SSP、数据时钟信号SCK、表示要显示的图像的数字图像信号DA(与视频信号Dv对应信号)、栅极启动脉冲信号GSP、栅极时钟信号GCK、栅极驱动器输出控制信号(扫描信号输出控制信号)GOE作为用于将该数字视频信号Dv所表示的图像显示于显示部的信号,并输出它们。
更详细地说,在内部存储器中根据需要对视频信号Dv进行定时调整等之后,作为数字图像信号DA从显示控制电路输出,生成数据时钟信号SCK作为由与该数字图像信号DA所表示的图像的各像素对应的脉冲构成的信号,生成数据启动脉冲信号SSP作为根据水平同步信号HSY按每1水平扫描期间在规定期间成为高电平(H电平)的信号,根据垂直同步信号VSY生成栅极启动脉冲信号GSP作为按每1帧期间(1垂直扫描期间)在规定期间成为H电平的信号,根据水平同步信号HSY生成栅极时钟信号GCK,根据水平同步信号HSY和控制信号Dc生成栅极驱动器输出控制信号GOE。
如上述那样在显示控制电路中生成的信号中,数字图像信号DA、控制信号电位(数据信号电位)的极性的极性翻转信号POL、数据启动脉冲信号SSP和数据时钟信号SCK被输入源极驱动器,栅极启动脉冲信号GSP、栅极时钟信号GCK和栅极驱动器输出控制信号GOE被输入栅极驱动器。
源极驱动器根据数字图像信号DA、数据时钟信号SCK、数据启动脉冲信号SSP和极性翻转信号POL,按每1水平扫描期间依次生成与数字图像信号DA所表示的图像的各扫描信号线中的像素值相当的模拟电位(信号电位),将这些数据信号输出到数据信号线。
栅极驱动器根据栅极启动脉冲信号GSP和栅极时钟信号GCK以及栅极驱动器输出控制信号GOE生成栅极导通脉冲信号,将它们输出到扫描信号线,由此选择性地驱动扫描信号线。
如上述那样利用源极驱动器和栅极驱动器来驱动显示部(液晶面板)的数据信号线和扫描信号线,由此经过连接到所选择的扫描信号线的晶体管(TFT)将信号电位从数据信号线写入像素电极。由此,对各子像素的液晶层施加电压,由此控制来自背光源的光的透过量,将数字视频信号Dv所表示的图像显示于各子像素。
下面说明将本液晶显示装置应用于电视接收机时的一个结构例。图24是表示电视接收机用的液晶显示装置800的结构的框图。液晶显示装置800具备:液晶显示单元84、Y/C分离电路80、视频色度电路81、A/D转换器82、液晶控制器83、背光源驱动电路85、背光源86、微机(微型计算机)87以及灰度级电路88。此外,液晶显示单元84由液晶面板、用于驱动液晶面板的源极驱动器和栅极驱动器构成。
在上述结构的液晶显示装置800中,首先,将作为电视信号的复合彩色视频信号Scv从外部输入Y/C分离电路80,在此分离为亮度信号和色度信号。这些亮度信号和色度信号由视频色度电路81变换为与光的3原色对应的模拟RGB信号,并且,该模拟RGB信号由A/D转换器82变换为数字RGB信号。该数字RGB信号被输入液晶控制器83。另外,在Y/C分离电路80中,从自外部输入的复合彩色视频信号Scv也取出水平和垂直同步信号,这些同步信号也经过微机87输入液晶控制器83。
对于液晶显示单元84,与基于上述同步信号的定时信号一起在规定的定时从液晶控制器83输入数字RGB信号。另外,在灰度级电路88中,生成彩色显示的3原色R、G、B各自的灰度级电位,这些灰度级电位也被提供给液晶显示单元84。在液晶显示单元84中,根据这些RGB信号、定时信号和灰度级电位,利用内部的源极驱动器、栅极驱动器等生成驱动用信号(数据信号=信号电位、扫描信号等),根据这些驱动用信号将彩色图像显示于内部的液晶面板。此外,为了利用该液晶显示单元84显示图像,需要从液晶显示单元内的液晶面板的后方照射光,在该液晶显示装置800中,在微机87的控制下背光源驱动电路85驱动背光源86,由此对液晶面板的背面照射光。包括上述处理,微机87进行系统整体的控制。此外,作为从外部输入的视频信号(复合彩色视频信号),不仅能用基于电视播放的视频信号,也能用利用照相机拍摄的视频信号、经过互联网线路提供的视频信号等,在该液晶显示装置800中能进行基于各种视频信号的图像显示。
在用液晶显示装置800显示基于电视播放的图像的情况下,如图25所示,液晶显示装置800连接有调谐部90,由此构成本电视接收机601。该调谐部90从用天线(不图示)接收的接收波(高频信号)中提取要接收的信道的信号,变换为中频信号,对该中频信号进行检波来取出作为电视信号的复合彩色视频信号Scv。该复合彩色视频信号Scv如上所述输入液晶显示装置800,由该液晶显示装置800显示基于该复合彩色视频信号Scv的图像。
图26是表示本电视接收机的一个结构例的分解立体图。如该图所示,本电视接收机601作为其结构要素除了液晶显示装置800以外还具有第1箱体801和第2箱体806,用1箱体801和第2箱体806包围地夹持液晶显示装置800。在第1箱体801中形成有使由液晶显示装置800显示的图像透过的开口部801a。另外,第2箱体806覆盖液晶显示装置800的背面侧,设有用于操作该显示装置800的操作用电路805,并且在下方安装有支撑用部件808。
本发明不限于上述实施方式,根据技术常识适当变更上述实施方式的方案、将它们组合得到的方案也包含在本发明的实施方式中。
工业上的可利用性
本发明的有源矩阵基板和具备该有源矩阵基板的液晶面板适用于例如液晶电视。
附图标记说明
101~104:像素;12:晶体管;15:数据信号线;16:扫描信号线;17a~17c:第1~第3像素电极;18:保持电容配线;21:有机栅极绝缘膜;22:无机栅极绝缘膜;25:无机层间绝缘膜;26:有机层间绝缘膜;51a、51b:薄膜部67:耦合电容电极;84:液晶显示单元;601:电视接收机;800:液晶显示装置。
Claims (24)
1.一种有源矩阵基板,具备数据信号线、扫描信号线、连接到上述数据信号线和上述扫描信号线的晶体管以及保持电容配线,其特征在于:
具备形成于1个像素区域内的第1像素电极和第2像素电极,
上述第1像素电极经过上述晶体管连接到上述数据信号线,
上述第2像素电极经过在与电连接到上述第1像素电极的耦合电容电极之间形成的电容连接到该第1像素电极,并且隔着绝缘膜与上述保持电容配线重叠,
在上述绝缘膜中的不与上述耦合电容电极重叠的部分的至少一部分形成有薄膜部。
2.根据权利要求1所述的有源矩阵基板,其特征在于:
上述绝缘膜具有第1区域、第2区域和第3区域,
上述第1区域、第2区域和第3区域分别与上述保持电容配线和上述第2像素电极重叠,
在上述第1区域和第3区域形成上述薄膜部,在上述第2区域形成上述耦合电容电极和上述第2像素电极的重叠部,
上述第1区域、第2区域和第3区域按该顺序在扫描信号线的延伸方向上排列形成。
3.根据权利要求1或2所述的有源矩阵基板,其特征在于:
从上述晶体管的导通电极引出的引出配线与上述耦合电容电极在同层连接,并且上述引出配线与上述第1像素电极经过接触孔连接。
4.根据权利要求1~3中的任一项所述的有源矩阵基板,其特征在于:
上述绝缘膜是对晶体管的沟道进行覆盖的层间绝缘膜和栅极绝缘膜中的至少任一方。
5.根据权利要求4所述的有源矩阵基板,其特征在于:
上述绝缘膜是上述层间绝缘膜,
上述层间绝缘膜包括无机绝缘膜和有机绝缘膜,
上述绝缘膜中的上述薄膜部是上述有机绝缘膜变薄或者该有机绝缘膜被除去而形成的。
6.根据权利要求4或5所述的有源矩阵基板,其特征在于:
上述绝缘膜是上述层间绝缘膜,
上述层间绝缘膜还在与上述第2像素电极和上述耦合电容电极重叠的部分的至少一部分变薄。
7.根据权利要求6所述的有源矩阵基板,其特征在于:
上述层间绝缘膜包括无机绝缘膜和有机绝缘膜,
在与上述第2像素电极和上述耦合电容电极重叠的部分的至少一部分,上述有机绝缘膜变薄或者该有机绝缘膜被除去。
8.根据权利要求4所述的有源矩阵基板,其特征在于:
上述绝缘膜是上述栅极绝缘膜,
上述栅极绝缘膜包括无机绝缘膜和有机绝缘膜,
上述绝缘膜中的上述薄膜部是上述有机绝缘膜变薄或者该有机绝缘膜被除去而形成的。
9.根据权利要求4或8所述的有源矩阵基板,其特征在于:
上述绝缘膜是上述栅极绝缘膜,
上述栅极绝缘膜还在与上述第2像素电极和上述耦合电容电极重叠的部分的至少一部分变薄。
10.根据权利要求9所述的有源矩阵基板,其特征在于:
上述栅极绝缘膜包括无机绝缘膜和有机绝缘膜,
在与上述第2像素电极和上述耦合电容电极重叠的部分的至少一部分,上述有机绝缘膜变薄或者该有机绝缘膜被除去。
11.根据权利要求5、7、8和10中的任一项所述的有源矩阵基板,其特征在于:
上述有机绝缘膜中包括丙烯酸树脂、环氧树脂、聚酰亚胺树脂、聚氨酯树脂、酚醛树脂和硅氧烷树脂中的至少一种。
12.根据权利要求5或8所述的有源矩阵基板,其特征在于:
上述第1像素电极和上述扫描信号线有一部分重叠。
13.根据权利要求1~12中的任一项所述的有源矩阵基板,其特征在于:
还具备从上述保持电容配线引出的保持电容延伸部,
上述保持电容延伸部,当俯视时,从上述保持电容配线沿着上述数据信号线延伸,与上述第2像素电极的边缘重叠,或者通过该边缘的外侧。
14.根据权利要求1~13中的任一项所述的有源矩阵基板,其特征在于:
上述第1像素电极和第2像素电极的间隙具有限制取向的功能。
15.根据权利要求1~14中的任一项所述的有源矩阵基板,其特征在于:
还具备形成于上述像素区域内的第3像素电极,
上述第3像素电极与上述第1像素电极电连接。
16.根据权利要求15所述的有源矩阵基板,其特征在于:
上述第1像素电极、第2像素电极和第3像素电极按该顺序在数据信号线的延伸方向上排列。
17.一种有源矩阵基板,其特征在于:
具备连接到扫描信号线的晶体管和保持电容配线,
在1个像素区域中设有:第1像素电极,其与上述晶体管的一方导通电极连接;第2像素电极,其重叠于上述保持电容配线;以及耦合电容电极,其与该保持电容配线和第2像素电极分别重叠,
上述晶体管的一方或者另一方导通电极与上述耦合电容电极电连接,
在上述第2像素电极与上述保持电容配线重叠而不与上述耦合电容电极重叠的区域的一部分,配置在上述保持电容配线和上述第2像素电极之间的多个绝缘膜中的至少一个形成得比周围薄。
18.一种液晶面板,其特征在于:
具备权利要求6所述的有源矩阵基板和与其相对的相对基板,
在上述相对基板的表面,与上述有源矩阵基板的层间绝缘膜变薄的区域相对的部分隆起。
19.一种液晶面板,其特征在于:
具备权利要求9所述的有源矩阵基板和与其相对的相对基板,
在上述相对基板的表面,与上述有源矩阵基板的栅极绝缘膜变薄的区域相对的部分隆起。
20.根据权利要求18或19所述的液晶面板,其特征在于:
上述保持电容配线在行方向上延伸,
使相对基板表面的隆起的部分在投射到上述保持电容配线的形成层的情况下收纳于上述保持电容配线的沿着行方向的2个边缘间。
21.一种液晶面板,具备根据权利要求1~17中的任一项所述的有源矩阵基板。
22.一种液晶显示单元,其特征在于:
具备权利要求18~21中的任一项所述的液晶面板和驱动器。
23.一种液晶显示装置,其特征在于:
具备权利要求22所述的液晶显示单元和光源装置。
24.一种电视接收机,其特征在于:
具备权利要求23所述的液晶显示装置和接收电视播放的调谐部。
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