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WO2015060572A1 - 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템 - Google Patents

반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템 Download PDF

Info

Publication number
WO2015060572A1
WO2015060572A1 PCT/KR2014/009608 KR2014009608W WO2015060572A1 WO 2015060572 A1 WO2015060572 A1 WO 2015060572A1 KR 2014009608 W KR2014009608 W KR 2014009608W WO 2015060572 A1 WO2015060572 A1 WO 2015060572A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
computer
semiconductor automation
remote control
data
automation facility
Prior art date
Application number
PCT/KR2014/009608
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
박기범
유명수
Original Assignee
(주)바론시스템
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)바론시스템 filed Critical (주)바론시스템
Publication of WO2015060572A1 publication Critical patent/WO2015060572A1/ko

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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/033—Pointing devices displaced or positioned by the user, e.g. mice, trackballs, pens or joysticks; Accessories therefor
    • G06F3/038—Control and interface arrangements therefor, e.g. drivers or device-embedded control circuitry
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]

Definitions

  • the present invention relates to a real-time remote control technology of a semiconductor automation facility, and more particularly, it is possible to reliably connect a plurality of semiconductor automation facility computers by monitoring the operating state of the semiconductor automation facility in real time, and sharing IP.
  • Semiconductor automation equipment relates to a real-time remote control system.
  • a remote control system refers to a system for controlling an automated device by using a wired or wireless communication path away from the automated device.
  • RCS remote control system
  • Remote transmission is widely used for customer support after-sales service or remote server management, and especially for semiconductor automation facility control.
  • the keyboard and mouse control when controlling a semiconductor automation facility from a remote location, sends and receives signals to a USB or PS / 2 port installed in a PC.
  • a conventional USB or PS / It does not support 2 ports and uses a method of transmitting touch signals input to the touchmonitor.
  • RS-232C communication format is used between the front computer and the rear computer.
  • USB / PS2 port is not supported, only the touch input is possible. Not applicable, there is a problem that the mouse can not be used in the remote computer.
  • the remote control system of the conventional semiconductor automation equipment by the RCS when using the existing router, the public IP from the lower communication unit is automatically assigned from the lower to change the internal communication IP, in this case Since fixed IP is not available, communication with higher level communication unit is impossible.
  • the remote control method of the conventional semiconductor automation equipment can be divided into a software method and a hardware method.
  • the software method the software for remote control is installed in the remote computer and the local computer.
  • operating systems of the remote computer and the local computer If not the same, there is a problem that can not be connected.
  • the object of the semiconductor automation equipment real-time remote control system according to the present invention is to transfer the mouse signal of the remote computer through the serial port of the semiconductor automation equipment computer, and It provides real-time signal to monitor or control the operation of semiconductor automation equipment without IP assignment work.
  • the real-time remote control system of a semiconductor automation facility connects a semiconductor automation facility computer and a remote computer to transmit a signal for monitoring or controlling the operation of the semiconductor automation facility and the remote control converter and the remote control converter. And converts a mouse signal of a remote computer into touch panel data of a semiconductor automation facility computer, and transmits a touch panel signal between a front and rear computer of the semiconductor automation facility.
  • the control converter is a serial port output unit for outputting the mouse event data of the remote computer to the serial port, the process data and configuration data transmitted from the semiconductor automation facility computer to the remote computer and the transmission status and the semiconductor from the remote computer
  • Network transmission processor for controlling data transmission and reception by setting MAC address and IP address that are transmitted from the upper level according to the situation of input device control signal to the moving device computer and image output of the semiconductor automation facility
  • a video processor for converting the image data to be processed by the remote computer, wherein the remote computer converts the relative coordinate data of the mouse event occurrence point into absolute coordinates when a mouse event of the remote computer occurs. It characterized in that it comprises a coordinate conversion unit.
  • the semiconductor automation equipment real-time remote control system transmits the mouse signal of the remote computer through the serial port of the semiconductor automation equipment computer, so that even the semiconductor automation equipment that does not support the USB / PS2 port remote computer Remote control signal transmission is possible through the mouse, and there is an effect that can transmit the signal to monitor or control the operation of the semiconductor automation equipment in real time without a separate IP assignment.
  • FIG. 1 is a conceptual diagram illustrating a connection state of a serial distributor in a semiconductor automation facility real-time remote control system according to the present invention.
  • FIG. 2 is a detailed configuration diagram of a remote control converter in a semiconductor automation facility real-time remote control system according to the present invention.
  • FIG. 3 is a conceptual diagram illustrating a signal transmission process of a serial distributor in a semiconductor automation facility real-time remote control system according to the present invention.
  • FIG. 4 is a conceptual diagram showing the concept of relative coordinates and absolute coordinates of the mouse in the real-time remote control system for semiconductor automation equipment according to the present invention.
  • FIG. 5 is an embodiment showing a communication speed of a serial distributor in a semiconductor automation facility real-time remote control system according to the present invention.
  • FIG. 6 is a diagram illustrating an output signal generation process according to an input signal generation of a serial distributor in a semiconductor automation facility real-time remote control system according to the present invention.
  • FIG. 7 is a diagram illustrating a concept of IP sharing of a network transmission processing unit of a remote control converter in a semiconductor automation facility real-time remote control system according to the present invention.
  • FIG 8 and 9 is an embodiment illustrating the operation of the network transmission processing unit of the remote control converter in the semiconductor automation facility real-time remote control system according to the present invention.
  • FIG. 10 is a detailed configuration diagram of an image processing unit in a semiconductor automation facility real-time remote control system according to the present invention.
  • FIG. 11 is a conceptual diagram illustrating an operation of an image processing unit in a semiconductor automation facility real-time remote control system according to the present invention.
  • FIG. 12 is a conceptual diagram illustrating a problem caused by the non-support of the USB / PS2 port in the conventional semiconductor automation equipment real-time remote control system.
  • FIG. 13 is a conceptual diagram illustrating problems of IP automatic allocation and IP expansion according to RCS application in a conventional semiconductor automation facility real-time remote control system.
  • the real-time remote control system of a semiconductor automation facility connects a semiconductor automation facility computer and a remote computer to transmit a signal for monitoring or controlling the operation of the semiconductor automation facility and the remote control converter and the remote control converter. And a serial distributor for converting and transmitting a mouse signal of a remote computer into touch panel data of a semiconductor automation facility computer and transferring a touch panel signal between a front and rear computer of the semiconductor automation facility.
  • the USB / PS2 port is not supported and is connected to the rear computer 11 and the front computer 12 which transmit the touch signal of the monitor to the serial port, respectively. It is connected to the serial port output unit 31 of the remote control converter (30).
  • the rear computer 11 is equipped with a system for controlling semiconductor automation equipment, and transmits a monitor touch signal to the front computer 12.
  • the remote computer 40 is a mouse event. When generated, it includes a coordinate conversion unit 41 for converting the relative coordinate data of the mouse event occurrence point to absolute coordinates.
  • the remote control converter 30 includes a serial port output unit 31, a network transmission processing unit 32 and an image processing unit 33, as shown in Figure 2, the serial port output The unit 31 serves to transmit the mouse point signal according to the mouse event occurrence of the remote computer 40 to the serial distributor 20.
  • FIG 3 is a diagram illustrating a signal transmission process according to the occurrence of a mouse event of the remote computer 40 in the present invention.
  • the coordinate converting unit 41 is used. Convert relative coordinate data according to mouse movement to absolute coordinate data.
  • relative coordinate data according to the present invention is calculated as a coordinate value moved from a reference point, that is, ⁇ x and ⁇ y values, and the calculated relative coordinate data is transmitted to the remote computer 40. Delivered and displayed on the display.
  • the absolute coordinate data starts at the origin (0, 0) of the x-axis and y-axis of the monitor, as shown in Fig. 4B, and ends of each axis (0xFFF, 0x).
  • FFFF is a coordinate value set at regular intervals, and may be expressed as a unique coordinate value (eg, 200 and 300) with respect to a specific point of the monitor.
  • the mouse signal converted into absolute coordinate data through the coordinate conversion unit 41 is transmitted to the remote control converter 30 through Ethernet, and the serial port output unit 31 of the remote control converter 30. It is transmitted to the serial distribution unit 20 through.
  • the serial distribution unit 20 converts the received absolute coordinate data into touch panel data, and is a touch panel that is a one-to-one monitor touch signal between a conventional rear computer 11 and a front computer 12. The priority between the data is determined, and the touch panel data is transmitted to the front computer 12.
  • FIG. 5 is a view showing an embodiment of the serial distribution unit 20 according to the present invention, which is implemented in the form of a gender connecting at least three serial ports, and the RS-232C port of the rear computer 11.
  • the communication speed according to the one-to-one touch signal transmission between the rear computer 11 and the front computer 12 is measured at 9.6 Kbps, and the serial distribution unit 20 at the remote control converter 30 is measured.
  • the communication speed according to the absolute coordinate data transmission was measured at 57Kbps.
  • FIG. 6 is a diagram illustrating an output signal generation concept according to an input signal of a serial distribution unit according to an embodiment of the present invention.
  • the first terminal 21 connected to the rear computer 11 is performed three times (first signal, third signal, The touch signal of the fifth signal is input, and a total of three remote mouse signals (second signal, fourth signal, and sixth signal) are input through the third terminal 23 connected to the remote control converter 30.
  • the first to sixth signals are sequentially output at a predetermined time interval (10 ms in the embodiment of the present invention), so that the touch signal and the remote computer 40 of the rear computer 11 are displayed. Can be transmitted to the front computer 12 without missing a mouse signal.
  • non-PC based semiconductor automation facility such as a remote PC and Linux, Linux, Lynx, Touch screen, and non-Windows
  • serial distributor 20 it is possible to transmit a remote mouse signal even if the PS / 2 or USB mouse port is not supported in the semiconductor automation facility system, and it can have its own response according to the communication protocol for each semiconductor automation facility.
  • FIG. 7 is a diagram illustrating a concept of IP sharing of a network transmission processing unit 32 of the remote control converter 30 in the semiconductor automation facility real-time remote control system according to the present invention, wherein the network transmission processing unit 32 is the semiconductor automation system.
  • a port for transmitting the process data and setting data of the facility and a port for transmitting the input device control signal transmitted from the remote computer to the semiconductor automation facility computer are communicated to the same IP address.
  • the operation of the network transmission processor 32 according to the present invention will be described in detail as follows.
  • the remote control converter 30 uses the network transmission processing unit 32. Set the MAC address (00-00-00-00-00-00-00-00-12-34) and host IP address (10.10.10.1) of the host 50, the upper communication unit, at the same time. In this case, since the target MAC becomes the MAC of the semiconductor automation equipment and the source MAC becomes the MAC of the host, the host and MAC are checked as the semiconductor automation equipment computer 10 checks the MAC of the host.
  • the remote control converter 30 having the same / IP is recognized as the host so that normal communication is possible.
  • the remote control converter 30 is the network transmission processor 32.
  • the MAC (MAC) address (00-00-00-00-00-00-00-AA-AA) and the authorized IP (IP) address (10.10.10.100) of the semiconductor automation equipment computer 10 at the same time.
  • the host 50 checks the MAC of the semiconductor automation facility computer 10. Accordingly, the remote control converter 30 having the same MAC / IP as the semiconductor automation facility computer 10 is recognized as the semiconductor automation facility computer 10, so that normal communication is possible.
  • the network transmission processor 32 uses the communication method of the beer station and the IP copy communication method at the same time, the data transmitted to the remote computer and the data transmitted to the lower semiconductor automation facility can be separated. Communication using only the public IP delivered from is possible, there is an advantage that does not require the expansion of public IP as in the prior art.
  • the 10 is an image processing unit 33 according to the present invention receives the image data output from the semiconductor automation facility 10 serves to convert the image data that can be processed by the remote computer 40, the image data
  • the distribution unit 331 includes an image encoding unit 332, an image data transmission unit 333, and an image capture unit 334.
  • the image data distribution unit 331 receives a VGA output from the semiconductor automation facility 10, converts it into a set image scale, and distributes the same to a monitor device.
  • the image encoding unit 332 Compresses an image output by 16, 8, 4, 2, 1 bit video encoding (applies with H.264 image compression technology), and sets a color depth.
  • the image data transmitter 333 serves to transmit the image data compressed by the image encoder 332 to the outside, and the image capture unit 334 is connected to the image encoder 333. , And captures an output image of the semiconductor automation facility 10.
  • FIG. 11 is a flowchart illustrating an operation of the image processing unit 33.
  • the image data output from the semiconductor automation facility 10 is compressed through the image processing unit 33, and the image data without distortion is stored in the remote computer 40. ) Can be provided.
  • the semiconductor automation equipment real-time remote control system when applying the semiconductor automation equipment real-time remote control system according to the present invention, by transmitting the mouse signal of the remote computer through the serial port of the semiconductor automation equipment computer, the semiconductor automation equipment that does not support the USB / PS2 port Also, the remote control signal can be transmitted through a mouse of a remote computer, and a signal for monitoring or controlling the operation of a semiconductor automation facility can be transmitted in real time without a separate IP assignment.
  • the system described with reference to FIGS. 1 to 12 may be implemented in the form of a record carrier containing computer executable instructions, such as an application or module executed by a computer.
  • Computer readable media can be any available media that can be accessed by a computer and includes both volatile and nonvolatile media, removable and non-removable media.
  • computer readable media may include both computer storage media and communication media.
  • Computer storage media includes both volatile and nonvolatile, removable and non-removable media implemented in any method or technology for storage of information such as computer readable instructions, data structures, modules or other data.
  • Communication media typically include computer readable instructions, data structures, program modules or other data in a modulated data signal such as carrier waves, or other transmission mechanisms, and includes any information delivery media.
  • a module may refer to hardware capable of performing functions and operations according to each name described in the specification, and may also mean computer program code capable of performing specific functions and operations. It may also mean an electronic recording medium, for example, a processor, on which computer program code capable of performing specific functions and operations is mounted.

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Abstract

본 발명은 반도체 자동화 설비의 가동상태를 실시간으로 모니터링하고, IP를 공유가 가능하도록 하여 다수의 반도체 자동화 설비 컴퓨터를 안정적으로 연결할 수 있는 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템에 관한 것으로, 원격지 컴퓨터의 마우스 신호를 반도체 자동화 설비 컴퓨터의 시리얼 포트를 통해 전달함으로써, USB/PS2 포트를 지원하지 않는 반도체 자동화 설비도 원격지 컴퓨터의 마우스를 통해 원격 제어 신호 전달이 가능하며, 별도의 IP 할당 작업 없이 반도체 자동화 설비의 동작을 모니터링 또는 제어하는 신호를 실시간으로 전달할 수 있는 기술적 효과가 있다.

Description

반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템
본 발명은 반도체 자동화 설비의 실시간 원격 제어 기술에 관한 것이며, 더 상세하게는 반도체 자동화 설비의 가동상태를 실시간으로 모니터링하고, IP를 공유가 가능하도록 하여 다수의 반도체 자동화 설비 컴퓨터를 안정적으로 연결할 수 있는 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 원격 제어 시스템(RCS-Remote control system)은 자동화된 기기로부터 멀리 떨어진 곳에서 유선 또는 무선의 통신로를 이용하여, 자동화기기를 제어하는 시스템을 말하며, RCS를 활용하여, 컴퓨터 화면의 영상을 원거리로 전송하는 방법은 고객지원 애프터서비스 또는 원격서버 관리 등에 많이 사용되며, 특히 반도체 자동화 설비 제어에 많이 주로 사용된다.
일반적으로 원격지에서 반도체 자동화 설비를 제어할 경우, 키보드 및 마우스 제어는 PC에 설치된 USB 또는 PS/2 포트로 신호를 주고 받는데, 종래 반도체 자동화 설비 PC는 도 12에 도시된 바와 같이, USB 또는 PS/2 포트를 지원하지 않고, 터치모니터에 입력되는 터치 신호를 전달하는 방식을 사용하고 있다.
이 경우, 프론트(front) 컴퓨터와 리어(rear) 컴퓨터 간에는 RS-232C 통신 포맷으로 이루어지며, 이 경우, USB/PS2 포트를 지원하지 않으므로 터치 입력만 가능함에 따라 종래 USB/PS2 포트만 지원하는 RCS의 적용이 불가능하며, 원격지 컴퓨터에서는 마우스 사용이 불가능한 문제점이 있다.
또한, RCS에 의한 종래 반도체 자동화 설비의 원격 제어 시스템은 도 13에 도시된 바와 같이, 기존 공유기를 사용 시, 상위 통신부에서 내려오는 공인 IP를 하위에서 자동 할당 받아 내부 통신용 IP로 변경되며, 이 경우, 고정 IP를 사용이 불가하므로 상위 통신부와의 통신이 불가능하게 된다.
따라서, IP 변경 없이 원격 시스템을 사용하기 위해서는 원격 제어용 IP를 증설해 사용해야 하는 문제점이 있다.
종래 반도체 자동화 설비의 원격 제어 방식에는 소프트웨어 방식과 하드웨어 방식으로 나눌 수 있는데 소프트웨어 방식의 경우, 원격지컴퓨터와 로컬컴퓨터 내에 원격제어를 위한 소프트웨어를 설치하는 방식인데 이 경우, 원격지컴퓨터와 로컬컴퓨터의 운영 체제가 동일하지 않을 경우, 연결이 불가능한 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로, 본 발명에 따른 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템의 목적은 원격지 컴퓨터의 마우스 신호를 반도체 자동화 설비 컴퓨터의 시리얼 포트를 통해 전달하고, 별도의 IP 할당 작업 없이 반도체 자동화 설비의 동작을 모니터링 또는 제어하는 신호를 실시간으로 전달하는데 있다.
본 발명에 따른 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템은 반도체 자동화 설비 컴퓨터와 원격지 컴퓨터를 연결하여, 반도체 자동화 설비의 동작을 모니터링 또는 제어하는 신호를 전달하기 위한 원격제어변환기 및 상기 원격제어변환기에서 전달되는 상기 원격지 컴퓨터의 마우스 신호를 반도체 자동화 설비 컴퓨터의 터치판넬 데이터로 변환하여 전달하고, 상기 반도체 자동화 설비의 프론트(front) 및 리어(rear) 컴퓨터 간의 터치판넬 신호를 전달하는 시리얼분배기를 포함하며, 상기 원격제어변환기는 상기 원격지 컴퓨터의 마우스 이벤트 데이터를 시리얼 포트로 출력하는 시리얼포트 출력부, 상기 반도체 자동화 설비 컴퓨터에서 상기 원격지 컴퓨터로 전송되는 공정 데이터 및 설정데이터를 전송 상황 및 상기 원격지 컴퓨터에서 상기 반도체 자동화 설비 컴퓨터로 입력 장치 제어 신호를 전송하는 상황에 따라 상위에서 전달되는 맥(MAC) 주소 및 동일한 아이피(IP) 주소를 설정하여 데이터 송수신 작업을 제어하는 네트워크 전송처리부 및 상기 반도체 자동화 설비의 영상 출력부와 연결되어, 상기 원격지 컴퓨터에서 처리할 수 있는 영상데이터로 변환하는 영상처리부를 포함하며, 상기 원격지 컴퓨터는 원격지 컴퓨터의 마우스 이벤트 발생 시, 마우스 이벤트 발생 지점의 상대 좌표 데이터를 절대 좌표로 변환하는 좌표변환부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템은 원격지 컴퓨터의 마우스 신호를 반도체 자동화 설비 컴퓨터의 시리얼 포트를 통해 전달함으로써, USB/PS2 포트를 지원하지 않는 반도체 자동화 설비도 원격지 컴퓨터의 마우스를 통해 원격 제어 신호 전달이 가능하며, 별도의 IP 할당 작업 없이 반도체 자동화 설비의 동작을 모니터링 또는 제어하는 신호를 실시간으로 전달할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템에 있어서, 시리얼분배기의 연결 상태를 나타내는 개념도.
도 2는 본 발명에 따른 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템에 있어서, 원격제어변환기의 상세 구성도.
도 3은 본 발명에 따른 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템에 있어서, 시리얼분배기의 신호 전달 과정을 나타내는 개념도.
도 4는 본 발명에 따른 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템에 있어서, 마우스 상대 좌표 및 절대 좌표의 개념을 나타내는 개념도.
도 5는 본 발명에 따른 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템에 있어서, 시리얼분배기의 통신 속도를 나타내는 실시예.
도 6은 본 발명에 따른 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템에 있어서, 시리얼분배기의 입력 신호 발생에 따른 출력 신호 발생 과정을 나타내는 도면.
도 7은 본 발명에 따른 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템에 있어서, 원격제어변환기의 네트워크 전송처리부의 IP 공유 개념을 나타내는 도면.
도 8 및 도 9는 본 발명에 따른 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템에 있어서, 원격제어변환기의 네트워크 전송처리부의 동작을 설명하는 일실시예 도면.
도 10은 본 발명에 따른 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템에 있어서, 영상처리부의 상세 구성도.
도 11은 본 발명에 따른 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템에 있어서, 영상처리부의 동작을 나타내는 개념도.
도 12는 종래 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템에 있어서, USB/PS2 포트 미지원에 따른 문제점을 설명하는 개념도.
도 13은 종래 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템에 있어서, RCS 적용에 따른 IP 자동 할당 및 IP 증설의 문제점을 설명하는 개념도.
이하, 본 발명에 따른 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템을 실시하기 위한 구체적인 내용을 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템은 반도체 자동화 설비 컴퓨터와 원격지 컴퓨터를 연결하여, 반도체 자동화 설비의 동작을 모니터링 또는 제어하는 신호를 전달하기 위한 원격제어변환기 및 상기 원격제어변환기에서 전달되는 상기 원격지 컴퓨터의 마우스 신호를 반도체 자동화 설비 컴퓨터의 터치판넬 데이터로 변환하여 전달하고, 상기 반도체 자동화 설비의 프론트(front) 및 리어(rear) 컴퓨터 간의 터치판넬 신호를 전달하는 시리얼분배기를 포함한다.
도 1은 본 발명에 따른 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템에 있어서, 시리얼분배기(20), 원격제어변환기(30) 및 원격지 컴퓨터(40)의 연결 상태를 나타내는 도면으로, 본 발명에 따른 상기 시리얼분배기(20)는 반도체 자동화 설비에 있어서, USB/PS2 포트가 지원되지 않고, 모니터의 터치 신호를 시리얼 포트로 전달하는 리어(Rear) 컴퓨터(11) 및 프론트(Front) 컴퓨터(12)와 각각 연결되며, 원격제어변환기(30)의 시리얼포트 출력부(31)와 연결된다.
본 발명에 따른 상기 리어 컴퓨터(11)는 반도체 자동화 설비를 제어하는 시스템을 탑재하고 있으며, 모니터 터치 신호를 상기 프론트 컴퓨터(12)에 전달하며, 본 발명에 있어서, 원격지 컴퓨터(40)는 마우스 이벤트 발생 시, 마우스 이벤트 발생 지점의 상대 좌표 데이터를 절대 좌표로 변환하는 좌표변환부(41)를 포함한다.
또한, 본 발명에 따른 상기 원격제어변환기(30)는 도 2에 도시된 바와 같이, 시리얼포트 출력부(31), 네트워크 전송처리부(32) 및 영상처리부(33)를 포함하며, 상기 시리얼포트 출력부(31)는 원격지 컴퓨터(40)의 마우스 이벤트 발생에 따른 마우스 포인트 신호를 상기 시리얼분배기(20)에 전달하는 역할을 한다.
도 3은 본 발명에 있어서, 상기 원격지 컴퓨터(40)의 마우스 이벤트 발생에 따른 신호 전달 과정을 나타내는 도면으로, 먼저 원격지 컴퓨터(40)에서 마우스 이벤트가 발생하면, 상기 좌표변환부(41)를 통해 마우스 이동에 따른 상대좌표 데이터를 절대좌표 데이터로 변환한다.
본 발명에 따른 상대좌표 데이터는 도 4의 (a)에 도시된 바와 같이, 기준점에서 이동한 좌표값 즉, △x, △y 값으로 산출되고, 산출된 상대좌표 데이터는 원격지 컴퓨터(40)에 전달되어 디스플레이 상에 표시된다. 또한, 본 발명에 있어서, 절대좌표 데이터는 도 4의 (b)에 도시된 바와 같이, 모니터의 x축 및 y 축의 원점(0, 0)에서 시작하여, 각 축의 말단(0×FFF, 0×FFFF)까지 일정 간격으로 설정된 좌표값으로, 모니터의 특정 지점에 관하여 고유의 좌표값(예-200, 300)으로 표현할 수 있다.
상기 좌표 변환부(41)를 통해 절대좌표 데이터로 변환된 마우스 신호는 이더넷(Ethernet)을 통해 상기 원격제어변환기(30)에 전달되고, 상기 원격제어변환기(30)의 시리얼포트 출력부(31)를 통해 시리얼분배부(20)에 전달된다.
또한, 상기 시리얼분배부(20)는 전달받은 절대좌표 데이터를 터치판넬 데이터로 변환하고, 기존의 리어(Rear) 컴퓨터(11) 및 프론트(Front) 컴퓨터(12) 간의 일대일 모니터 터치 신호인 터치판넬 데이터 간의 우선순위를 판단하여, 프론트(Front) 컴퓨터(12)에 터치판넬 데이터를 전달한다.
도 5는 본 발명에 따른 상기 시리얼분배부(20)의 일실시예를 나타내는 도면으로, 적어도 세 개 이상의 시리얼 포트를 연결하는 젠더 형태로 구현되며, 상기 리어 컴퓨터(11)의 RS-232C 포트와 연결되는 제1단자(21), 프론트 컴퓨터(12)의 RS-232C 포트와 연결되는 제2단자(22) 및 상기 원격제어변환기의 RS-232C 포트와 연결되는 제3단자(23)를 포함하며, 본 발명의 실시예에서 상기 리어 컴퓨터(11)에서 상기 프론트 컴퓨터(12)간의 일대일 터치 신호 전달에 따른 통신 속도는 9.6Kbps로 측정되고, 상기 원격제어변환기(30)에서 상기 시리얼분배부(20)간의 절대좌표 데이터 전송에 따른 통신 속도는 57Kbps로 측정되었다.
도 6은 본 발명에 따른 시리얼분배부의 입력 신호에 따른 출력 신호 발생 개념을 나타내는 실시예로 상기 리어 컴퓨터(11)와 연결된 제1단자(21)를 총 3번(제1신호, 제3신호, 제5신호)의 터치 신호가 입력되고, 상기 원격제어변환기(30)와 연결된 제3단자(23)를 통해 총 3번(제2신호, 제4신호, 제6신호)의 원격지 마우스 신호가 입력되면 입력 시간을 우선순위로 인식하여, 제1신호 내지 제6신호를 일정한 시간간격(본 발명의 실시예에서는 10ms임)으로 순차적으로 출력함으로써, 리어 컴퓨터(11)의 터치 신호 및 원격지 컴퓨터(40)의 마우스 신호의 누락 없이 상기 프론트 컴퓨터(12)에 전달이 가능하다.
이처럼 본 발명에 따른 시리얼분배기(20)의 구성을 통해 원격지의 PC와 리눅스(Linux), 링크스(Lynx), 터치스크린(Touch screen), 비윈도우와 같은 비PC 기반의 반도체 자동화 설비와의 통신이 가능하고, 반도체 자동화 설비 시스템에 PS/2, 또는 USB 마우스 포트가 지원되지 않아도 원격지의 마우스 신호를 전달할 수 있으며, 반도체 자동화 설비별 통신 프로토콜에 따라 자체적인 대응이 가능한 장점이 있는 것이다.
도 7은 본 발명에 따른 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템에 있어서, 상기 원격제어변환기(30)의 네트워크 전송처리부(32)의 IP 공유 개념을 나타내는 도면으로 상기 네트워크 전송처리부(32)는 상기 반도체 자동화 설비의 공정 데이터 및 설정데이터를 전송하는 포트와 상기 원격지 컴퓨터에서 전송된 입력 장치 제어 신호를 상기 반도체 자동화 설비 컴퓨터로 전달하는 포트를 동일한 아이피(IP) 주소로 통신하도록 한다.
이러한 본 발명에 따른 상기 네트워크 전송처리부(32)의 동작을 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 8은 상기 원격지 컴퓨터(40)에서 상기 반도체 자동화 설비 컴퓨터(10)로 데이터를 전송하는 동작을 나타내는 도면으로, 본 발명에 따른 상기 원격제어변환기(30)는 상기 네트워크 전송처리부(32)를 통해 상위 통신부인 호스트(50)의 맥(MAC) 주소(00-00-00-00-00-00-12-34)와 공인 아이피(IP) 주소(10.10.10.1)를 동시에 설정한다. 이 경우, 타겟 맥(Target MAC)은 상기 반도체 자동화 설비의 맥이 되고 소스 맥(Source MAC)은 호스트의 맥이 되므로, 상기 반도체 자동화 설비 컴퓨터(10)가 호스트의 맥을 체크함에 따라 호스트와 MAC/IP가 동일한 상기 원격제어변환기(30)를 상기 호스트로 인식하게 되어 정상적인 통신이 가능하다.
또한, 도 9는 상기 반도체 자동화 설비 컴퓨터(10)에서 상기 원격지 컴퓨터(40)로 데이터를 전송하는 동작을 나타내는 도면으로, 본 발명에 따른 상기 원격제어변환기(30)는 상기 네트워크 전송처리부(32)를 통해 상기 반도체 자동화 설비 컴퓨터(10)의 맥(MAC) 주소(00-00-00-00-00-00-AA-AA)와 공인 아이피(IP) 주소(10.10.10.100)를 동시에 설정한다. 이 경우, 타겟 맥(Target MAC)은 상기 호스트의 맥이 되고 소스 맥(Source MAC)은 반도체 자동화 설비 컴퓨터의 맥이 되므로, 호스트(50)가 상기 반도체 자동화 설비 컴퓨터(10)의 맥을 체크함에 따라 반도체 자동화 설비 컴퓨터(10)와 MAC/IP가 동일한 상기 원격제어변환기(30)를 상기 반도체 자동화 설비 컴퓨터(10)로 인식하게 되어 정상적인 통신이 가능한 것이다.
이처럼 본 발명에 따른 상기 네트워크 전송처리부(32)는 맥주소의 통신 방식과 IP 복사 통신 방식을 동시에 사용하므로, 원격지 컴퓨터에 전달되는 데이터와 하부 반도체 자동화 설비로 전달되는 데이터를 분리할 수 있으며, 상위에서 전달되는 공인 IP만을 사용한 통신이 가능하며, 종래와 같이 공인 IP의 증설이 필요하지 않은 장점이 있다.
도 10은 본 발명에 따른 상기 영상처리부(33)는 반도체 자동화 설비(10)에서 출력되는 영상 데이터를 전달받아 상기 원격지 컴퓨터(40)에서 처리할 수 있는 영상데이터로 변환시키는 역할을 하며, 영상데이터 분배부(331), 영상인코딩부(332), 영상데이터 전송부(333) 및 영상캡처부(334)를 포함한다.
상기 영상데이터 분배부(331)는 상기 반도체 자동화 설비(10)의 VGA(Video graphic array) 출력을 입력받아 설정된 영상 스케일로 변환 후, 모니터 장치에 분배하는 역할을 하며, 상기 영상인코딩부(332)는 16,8,4,2,1 비트 비디오 인코딩으로 출력된 영상을 압축(H.264 영상 압축 기술 적용)하고, 색심도(color depth)를 설정하는 역할을 한다.
또한, 상기 영상데이터 전송부(333)는 상기 영상인코딩부(332)에서 압축된 영상데이터를 외부로 전송하는 역할을 하며, 상기 영상캡처부(334)는 상기 영상인코딩부(333)와 연결되어, 상기 반도체 자동화 설비(10)의 출력 영상을 캡처하는 역할을 한다.
도 11은 상기 영상처리부(33)의 동작을 나타내는 흐름도로, 이러한 영상처리부(33)를 통해 상기 반도체 자동화 설비(10)에서 출력되는 영상데이터를 압축하여, 왜곡 없는 영상 데이터를 상기 원격지 컴퓨터(40)에 제공할 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템을 적용 시, 원격지 컴퓨터의 마우스 신호를 반도체 자동화 설비 컴퓨터의 시리얼 포트를 통해 전달함으로써, USB/PS2 포트를 지원하지 않는 반도체 자동화 설비도 원격지 컴퓨터의 마우스를 통해 원격 제어 신호 전달이 가능하며, 별도의 IP 할당 작업 없이 반도체 자동화 설비의 동작을 모니터링 또는 제어하는 신호를 실시간으로 전달할 수 있는 것이다.
도 1 내지 도 12를 통해 설명된 시스템은 컴퓨터에 의해 실행되는 애플리케이션이나 모듈과 같은 컴퓨터에 의해 실행가능한 명령어를 포함하는 기록매체의 형태로 구현될 수 있다.
컴퓨터 판독 가능 매체는 컴퓨터에 의해 액세스될 수 있는 임의의 가용 매체일 수 있고, 휘발성 및 비휘발성 매체, 분리형 및 비분리형 매체를 모두 포함한다. 또한, 컴퓨터 판독가능 매체는 컴퓨터 저장 매체 및 통신 매체를 모두 포함할 수 있다.
컴퓨터 저장 매체는 컴퓨터 판독가능 명령어, 데이터 구조, 모듈 또는 기타 데이터와 같은 정보의 저장을 위한 임의의 방법 또는 기술로 구현된 휘발성 및 비휘발성, 분리형 및 비분리형 매체를 모두 포함한다. 통신 매체는 전형적으로 컴퓨터 판독가능 명령어, 데이터 구조, 프로그램 모듈 또는 반송파와 같은 변조된 데이터 신호의 기타 데이터, 또는 기타 전송 매커니즘을 포함하며 임의의 정보 전달 매체를 포함한다.
모듈(module)이라 함은 명세서에서 설명되는 각각의 명치에 따른 기능과 동작을 수행할 수 있는 하드웨어를 의미할 수도 있고, 또한 특정한 기능과 동작을 수행할 수 있는 컴퓨터 프로그램 코드를 의미할 수도 있고, 또한 특정한 기능과 동작을 수행시킬 수 있는 컴퓨터 프로그램 코드가 탑재된 전자적 기록 매체, 예컨데 프로세서를 의미할 수 있다.
이상 본 발명의 실시예로 설명하였으나 본 발명의 기술적 사상이 상기 실시예로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범주에서 다양한 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템으로 구현할 수 있다.

Claims (7)

  1. 반도체 자동화 설비 컴퓨터와 원격지 컴퓨터를 연결하여, 반도체 자동화 설비의 동작을 모니터링 또는 제어하는 신호를 전달하기 위한 원격제어변환기 및
    상기 원격제어변환기에서 전달되는 상기 원격지 컴퓨터의 마우스 신호를 반도체 자동화 설비 컴퓨터의 터치판넬 데이터로 변환하여 전달하고, 상기 반도체 자동화 설비의 프론트(front) 및 리어(rear) 컴퓨터 간의 터치판넬 신호를 전달하는 시리얼분배기를 포함하며,
    상기 원격제어변환기는,
    상기 원격지 컴퓨터의 마우스 이벤트 데이터를 시리얼 포트로 출력하는 시리얼포트 출력부;
    상기 반도체 자동화 설비 컴퓨터에서 상기 원격지 컴퓨터로 전송되는 공정 데이터 및 설정데이터를 전송 상황 및 상기 원격지 컴퓨터에서 상기 반도체 자동화 설비 컴퓨터로 입력 장치 제어 신호를 전송하는 상황에 따라 상위에서 전달되는 맥(MAC) 주소 및 동일한 아이피(IP) 주소를 설정하여 데이터 송수신 작업을 제어하는 네트워크 전송처리부 및
    상기 반도체 자동화 설비의 영상 출력부와 연결되어, 상기 원격지 컴퓨터에서 처리할 수 있는 영상데이터로 변환하는 영상처리부를 포함하며,
    상기 원격지 컴퓨터는
    원격지 컴퓨터의 마우스 이벤트 발생 시, 마우스 이벤트 발생 지점의 상대 좌표 데이터를 절대 좌표로 변환하는 좌표변환부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 시리얼분배기는,
    상기 원격제어변환기에서 전달된 원격지 컴퓨터의 모니터 상의 마우스 포인터의 절대 좌표를 반도체 자동화 설비 컴퓨터의 터치판넬 데이터로 변환하며,
    상기 터치판넬 데이터는
    상기 원격제어변환기에서 전달된 절대 좌표의 x축, y축 좌표 정보, 터치 상태 정보와 상기 프론트(front) 및 리어(rear) 컴퓨터 간의 일대일 터치 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 시리얼분배기는,
    상기 반도체 자동화 설비 컴퓨터에서 발생하는 터치 신호와 원격지 컴퓨터에서 발생하는 터치 신호에 관하여, 입력 시간을 기준으로 일정 시간 간격으로 출력 신호를 발생시키는 것을 특징으로 하는 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 시리얼분배기는,
    적어도 세 개 이상의 시리얼 포트를 연결하는 젠더 형태이며,
    상기 반도체 자동화 설비 컴퓨터의 리어 컴퓨터의 RS-232C 포트와 연결되는 제1단자;
    상기 반도체 자동화 설비 컴퓨터의 프론트 컴퓨터의 RS-232C 포트와 연결되는 제2단자 및
    상기 원격제어변환기의 RS-232C 포트와 연결되는 제3단자를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 영상처리부는,
    상기 반도체 자동화 설비의 VGA(Video graphic array) 출력을 입력받아 설정된 영상 스케일로 변환 후, 모니터 장치에 분배하는 영상데이터 분배부;
    16,8,4,2,1 비트 비디오 인코딩으로 출력된 영상을 압축하고, 색심도(color depth)를 설정하는 영상인코딩부;
    상기 영상인코딩부와 연결되어, 상기 반도체 자동화 설비의 출력 영상을 캡처하는 영상캡처부 및
    상기 영상인코딩부에서 압축된 영상데이터를 외부로 전송하는 영상데이터 전송부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 네트워크 전송처리부는
    상기 원격지 컴퓨터에서 상기 반도체 자동화 설비에서 데이터를 전송 시, 상위 통신부인 호스트의 맥 주소와 아이피 주소로 설정하는 것을 특징으로 하는 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 네트워크 전송처리부는
    상기 반도체 자동화 설비 컴퓨터에서 상기 원격지 컴퓨터로 데이터를 전송 시, 상기 반도체 자동화 설비 컴퓨터의 맥 주소와 아이피 주소로 설정하는 것을 특징으로 하는 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템.
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101603708B1 (ko) * 2015-02-05 2016-03-25 주식회사 이준시스템 복수 반도체 제조 장치 제어를 위한 원격제어시스템
CN111870938B (zh) * 2020-07-09 2024-07-30 天津津航计算技术研究所 vxworks系统下基于windml的操纵杆串口驱动设计方法
KR102319665B1 (ko) 2020-08-26 2021-11-02 주식회사 옵티멀 반도체 설비용 원격 제어 시스템
KR102319668B1 (ko) 2020-08-26 2021-11-02 주식회사 옵티멀 딥러닝 기법을 이용한 반도체 설비의 원격 제어 시스템
CN112526911A (zh) * 2020-12-04 2021-03-19 江苏泰治科技股份有限公司 一种非侵入式的设备控制与数据采集方法及工控装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002312021A (ja) * 2001-04-13 2002-10-25 Mitsubishi Electric Corp 半導体製造装置の管理システム
KR100898724B1 (ko) * 2004-11-29 2009-05-20 우완동 반도체생산공장의 원격조정시스템
KR20130096439A (ko) * 2012-02-22 2013-08-30 이규옥 반도체 장비의 원격 모니터링 및 제어 시스템
KR101307583B1 (ko) * 2013-03-14 2013-09-12 주식회사 이즈솔루션 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템, 그 구동방법

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07326649A (ja) * 1994-05-30 1995-12-12 Nissin Electric Co Ltd 半導体製造装置の遠隔制御システム
JPH10269055A (ja) * 1997-03-27 1998-10-09 Hitachi Ltd マウスカーソル制御装置
JP2000047962A (ja) * 1998-07-31 2000-02-18 Kawasaki Steel Corp 遠隔制御装置
US20020198964A1 (en) * 2001-06-26 2002-12-26 International Business Machines Corporation Method and system for wireless remote monitoring and control of a manufacturing execution system
US7379031B2 (en) * 2003-11-18 2008-05-27 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Generating pointer position data from position data of a pointing device of a remote console
CN1674504A (zh) * 2004-03-24 2005-09-28 威达电股份有限公司 远程终端机仿真系统及方法
CN2702370Y (zh) * 2004-05-17 2005-05-25 刘洋 一种rs232串口信号与ps/2键盘（鼠标）信号转换线
US7286896B2 (en) * 2004-09-13 2007-10-23 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Multi-function teach pendant for a semiconductor manufacturing environment
WO2006132142A1 (ja) * 2005-06-07 2006-12-14 Nec Corporation リモートアクセスシステム及びそのｉｐアドレス割当方法
KR20100011763A (ko) * 2008-07-25 2010-02-03 학교법인 재능학원 근거리 통신망에서의 컴퓨터 원격 제어 시스템 및 그 방법
CN101790090A (zh) * 2010-01-28 2010-07-28 北京华纬讯电信技术有限公司 远程桌面监视控制系统和方法
CN102722152B (zh) * 2012-06-14 2014-04-02 华东师范大学 一种基于嵌入式系统的远程控制设备的实现方法
KR20150028077A (ko) * 2013-09-05 2015-03-13 에스케이하이닉스 주식회사 반도체 설비서버의 페일오버 시스템 및 그 방법

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002312021A (ja) * 2001-04-13 2002-10-25 Mitsubishi Electric Corp 半導体製造装置の管理システム
KR100898724B1 (ko) * 2004-11-29 2009-05-20 우완동 반도체생산공장의 원격조정시스템
KR20130096439A (ko) * 2012-02-22 2013-08-30 이규옥 반도체 장비의 원격 모니터링 및 제어 시스템
KR101307583B1 (ko) * 2013-03-14 2013-09-12 주식회사 이즈솔루션 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템, 그 구동방법

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