KR101307583B1 - 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템, 그 구동방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 장비제어 및 통신 기술을 개시한다. 즉, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템은 인터넷망을 통해 전달된 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 일부가 변경됨을 인지할 경우, 입출력 셋탑박스를 거쳐 장비 제어부로 전달되는 적어도 하나의 명령신호를 이용해 반도체 장비를 원격으로 통제 및 관리함으로써, 반도체 장비에 대한 동작상태를 실시간 모니터링을 통해 더욱 원활히 관리감독하며, 반도체 장비에 대한 관리감독시 반도체 장비가 설치된 지정장소에서만 이행하는 것에 국한시키지 않고 인터넷망을 통해 동영상 정보와 장비제어 프로그램 UI의 화상을 볼 수 있는 곳이라면 그 장소가 어디든 간에 반도체 장비를 원격 제어할 수 있다.
Description
본 발명은 장비제어 및 통신 기술에 관한 것으로, 특히 인터넷망을 통해 전달된 장비제어 프로그램 UI(User Interface)의 화상 중 일부가 변경됨을 인지할 경우, 입출력 셋탑박스를 거쳐 장비 제어부로 전달되는 적어도 하나의 명령신호를 이용해 반도체 장비를 원격으로 통제 및 관리하는 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템, 그 구동방법에 관한 것이다.
오늘날 영상 감시 시스템은 복잡하고 빠르게 변화하는 현대 사회에서 인적 혹은 기술적 자원을 보호 또는 감시할 필요성이 증가함에 따라 그 중요성이 나날이 높아져 가고 있다.
이러한 영상 감시 시스템의 보안 성능은 그 시스템의 자동화성과 시스템의 결과로 얻어지는 영상으로 나타난다.
자동화성은 점차 감시구역이 나날이 넓어져가고 복잡해져 가는 것과 모든 감시영역을 감시자가 지켜봐야 하는 초기 보안 및 감시 시스템의 문제점에서 그 필요성이 대두되었다.
이러한 영상 감시 시스템의 구조는 각 고정식 카메라별 움직임 대상 감지가 제한된 개수의 고정식 카메라의 제한적인 시야 내에서 가능하므로 전체적인 감시 시스템의 움직임 감지 자동화를 이루기에 어려움이 많은 구조이다.
이러한 종래의 원격 감시 시스템의 경우, 그 제어 프로그램의 기능이 카메라를 통한 영상의 수신, 출력, 저장 등의 단순 감시 기능에 한정되어 있으므로, 원격 감시 시스템을 효율적으로 운용하기 위한 기능, 즉 시스템의 관리, 보안 감시, 영상 검색 기능을 충분히 지원하지 못하는 것이 현실이다.
그 예를 들면, 각 카메라 화면상에 이벤트 사항(예를 들어, 이상한 움직임, 범죄 경보 등)이 발생하였을 경우에, 종래에는 사용자가 상기 발생된 이벤트 당시에 대한 영상을 얻기 위하여, 제어 프로그램에 의하여 저장된 영상을 사용자가 일일이 검색하여 확인하여야 한다.
또한, 이러한 이벤트 사항의 발생을 사용자가 일일이 체크해야 하고, 이벤트 내용도 사용자가 별도로 구분하여야 하는 등 사용자가 이벤트 발생에 대한 전반적 내용을 한눈에 파악할 수 없는 문제점이 있다.
따라서, 상술한 원격 감시 시스템의 기능을 체계적으로 분류하고, 발생되는 이벤트 사항에 따라 상기 기능들이 상호 연동 가능하도록 하여 원격 감시 시스템을 효율적이고 편리하게 제어 관리할 수 있도록 하는 원격 제어 관리 시스템의 개발이 요구되고 있는 실정이다.
본 발명의 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템, 그 구동방법은 앞서 본 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 제 1 목적은 인터넷망을 통해 전달된 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 일부가 변경됨을 인지할 경우, 입출력 셋탑박스를 거쳐 장비 제어부로 전달되는 적어도 하나의 명령신호를 이용해 반도체 장비를 원격으로 통제 및 관리함으로써 반도체 장비에 대한 동작상태를 실시간 모니터링을 통해 더욱 원활히 관리감독하기 위함이다.
또한, 본 발명의 제 2 목적은 반도체 장비에 대한 관리감독을 반도체 장비가 설치된 지정장소에서만 이행하는 것에 국한시키지 않고 인터넷망을 통해 동영상 정보와 장비제어 프로그램 UI의 화상을 볼 수 있는 곳이라면 어디든 간에 반도체 장비를 원격 제어할 수 있기 위함이다.
또한, 본 발명의 제 3 목적은 중앙관리 서버 내에 별도의 제어 프로그램을 설치하지 않더라도 장비 제어부 내 설치된 장비제어 프로그램 UI의 화상에서 일어나는 변화들을 인지해 그로부터 자동 발생된 적어도 하나의 명령신호로 가상거리상에 놓은 반도체 장비를 관장할 수 있어, 반도체 장비 내 스핀들 또는 노즐이 오동작 또는 고장으로 판명되었다 하더라도 적어도 하나의 명령신호 중 하나인 동작멈춤 명령신호로 스핀들 또는 노즐의 현 동작상태를 멈추도록 지시하기 위함이다.
상기의 과제를 달성하기 위한 본 발명은 다음과 같은 구성을 포함한다.
즉, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템은, 1개 이상의 챔버와 상기 챔버에 웨이퍼를 제공하기 위한 웨이퍼 스테이션과 상기 웨이퍼 스테이션에서 상기 챔버로 웨이퍼를 제공하는 로봇으로 포함하며, 상기 챔버에는 상기 로봇이 제공하는 웨이퍼를 장착하여 회전시키는 스핀들과 상기 스핀들에 장착되어 회전하는 웨이퍼에 공정액을 공급하는 노즐로 구성된 시스템으로, 상기 챔버 내부에서 상하 또는 좌우 자세조정이 가능하며, 상기 챔버내 스핀들의 회전상태와 노즐의 작동상태를 실시간으로 촬영하도록 배치된 카메라; 상기 스핀들 또는 노즐의 작동을 각각 제어 및 감시하는 장비 제어부; 상기 카메라에 의해 촬영된 동영상 정보와 상기 반도체 장비를 제어하는 장비제어 프로그램 UI(User Interface)를 제 1 관리자용 모니터를 통해 각각 디스플레이시키며, 키보드 또는 마우스를 이용해 상기 장비제어 프로그램 UI 상에 제공되는 기능버튼들 중 적어도 하나를 선택함에 따라 자동 생성된 적어도 하나의 제어신호를 상기 장비 제어부에 전달하는 입출력 수단; 상기 제 1 관리자용 모니터에 나타난 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상으로부터 입수된 다수의 픽셀정보와 상기 적어도 하나의 제어신호를 인터넷망으로 송출하거나, 상기 인터넷망을 통해 수신된 적어도 하나의 명령신호를 상기 장비 제어부에 전달하는 입출력 셋탑박스; 상기 카메라로부터 상기 동영상 정보를 제공받아 상기 인터넷망으로 송출하는 영상 셋탑박스; 및 상기 인터넷망을 통해 전달된 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상, 적어도 하나의 제어신호 및 동영상 정보를 제 2 관리자용 모니터를 통해 디스플레이시키며, 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 일부가 변경됨을 인지할 경우, 상기 입출력 셋탑박스를 거쳐 상기 장비 제어부로 전달되는 상기 적어도 하나의 명령신호를 자동 생성시킴으로써, 상기 반도체 장비를 원격으로 통제 및 관리하는 중앙관리 서버를 포함한다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템의 구동방법은, 1개 이상의 챔버와 상기 챔버에 웨이퍼를 제공하기 위한 웨이퍼 스테이션과 상기 웨이퍼 스테이션에서 상기 챔버로 웨이퍼를 제공하는 로봇으로 포함하며, 상기 챔버에는 상기 로봇이 제공하는 웨이퍼를 장착하여 회전시키는 스핀들과 상기 스핀들에 장착되어 회전하는 웨이퍼에 공정액을 공급하는 노즐로 구성된 시스템의 구동방법으로, 카메라가 상기 챔버 내부에서 상하 또는 좌우로 자세조정하며, 상기 챔버내 스핀들의 회전상태와 노즐의 작동상태를 실시간으로 촬영하는 단계; 장비 제어부가 상기 스핀들 또는 노즐의 작동을 각각 제어 및 감시하는 단계; 입출력 수단이 상기 카메라에 의해 촬영된 동영상 정보와 상기 반도체 장비를 제어하는 장비제어 프로그램 UI(User Interface)를 제 1 관리자용 모니터를 통해 각각 디스플레이하는 단계; 상기 입출력 수단이 키보드 또는 마우스를 이용해 상기 장비제어 프로그램 UI 상에 제공되는 기능버튼들 중 적어도 하나를 선택함에 따라 자동 생성된 적어도 하나의 제어신호를 상기 장비 제어부에 전달하는 단계; 입출력 셋탑박스가 상기 제 1 관리자용 모니터에 나타난 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상으로부터 입수된 다수의 픽셀정보와 상기 적어도 하나의 제어신호를 인터넷망으로 송출하거나, 상기 인터넷망을 통해 수신된 적어도 하나의 명령신호를 상기 장비 제어부에 전달하는 단계; 영상 셋탑박스가 상기 카메라로부터 상기 동영상 정보를 제공받아 상기 인터넷망으로 송출하는 단계; 중앙관리 서버가 상기 인터넷망을 통해 전달된 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상, 적어도 하나의 제어신호 및 동영상 정보를 제 2 관리자용 모니터를 통해 디스플레이하는 단계; 및 상기 중앙관리 서버가 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 일부가 변경됨을 인지할 경우, 상기 입출력 셋탑박스를 거쳐 상기 장비 제어부로 전달되는 상기 적어도 하나의 명령신호를 자동 생성시킴으로써, 상기 반도체 장비를 원격으로 통제 및 관리하는 단계를 포함한다.
본 발명의 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템, 그 구동방법은 인터넷망을 통해 전달된 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 일부가 변경됨을 인지할 경우, 입출력 셋탑박스를 거쳐 장비 제어부로 전달되는 적어도 하나의 명령신호를 이용해 반도체 장비를 원격으로 통제 및 관리함으로써 반도체 장비에 대한 동작상태를 실시간 모니터링을 통해 더욱 원활히 관리감독하는 제 1 효과를 준다.
또한, 본 발명은 반도체 장비에 대한 관리감독을 반도체 장비가 설치된 지정장소에서만 이행하는 것에 국한시키지 않고 인터넷망을 통해 동영상 정보와 장비제어 프로그램 UI의 화상을 볼 수 있는 곳이라면 그 장소가 어디든 간에 반도체 장비를 원격 제어할 수 있는 제 2 효과를 준다.
또한, 본 발명은 중앙관리 서버 내에 별도의 제어 프로그램을 설치하지 않더라도 장비 제어부 내 설치된 장비제어 프로그램 UI의 화상에서 일어나는 변화들을 인지해 그로부터 자동 발생된 적어도 하나의 명령신호로 가상거리상에 놓은 반도체 장비를 관장할 수 있어, 반도체 장비 내 스핀들 또는 노즐이 오동작 또는 고장으로 판명되었다 하더라도 적어도 하나의 명령신호 중 하나인 동작멈춤 명령신호로 스핀들 또는 노즐의 현 동작상태를 멈추도록 지시하는 제 3 효과를 준다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템을 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템의 중앙관리 서버를 도시한 상세도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템의 구동방법을 나타낸 순서도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템 내 구비된 중앙관리 서버의 구동방법을 나타낸 순서도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템의 중앙관리 서버를 도시한 상세도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템의 구동방법을 나타낸 순서도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템 내 구비된 중앙관리 서버의 구동방법을 나타낸 순서도이다.
[실시예]
이하, 본 발명의 실시예에 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템을 도시한 도면이다.
도 1를 참조하면, 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템(1000)은 1개 이상의 챔버(120)와, 상기 챔버(120)에 웨이퍼를 제공하기 위한 웨이퍼 스테이션(140), 웨이퍼 스테이션(140)에서 챔버(120)로 웨이퍼를 제공하는 로봇(130)으로 포함하며, 상기 챔버(120)에는 로봇(130)이 제공하는 웨이퍼를 장착하여 회전시키는 스핀들(121)과 상기 스핀들(121)에 장착되어 회전하는 웨이퍼에 공정액을 공급하는 노즐(122)로 구성된 반도체 장비(100)를 포함하는 원격제어 및 장비 성능관리 시스템으로, 반도체 장비(100), 카메라(110), 챔버(120), 장비 제어부(150), 입출력 수단(200), 입출력 셋탑박스(300), 영상 셋탑박스(400), 중앙관리 서버(500) 및 감시 스테이션(600)을 포함한다.
먼저, 카메라(110)는 챔버(120) 내부에서 상하 또는 좌우 자세조정이 가능하며, 챔버(120)내 스핀들(121)의 회전상태와 노즐(122)의 작동상태를 실시간으로 촬영하도록 배치되면서 인터넷망과도 연결 가능한 IP 카메라로써, 카메라 모듈, 디코더, 영상 압축 칩, CPU, 네트워크 전송 칩 등으로 구성된다.
장비 제어부(150)는 스핀들(121) 또는 노즐(122)의 작동을 각각 제어 및 감시한다.
입출력 수단(200)은 키보드(201), 마우스(202) 및 제 1 관리자용 모니터(203)를 통칭하는 것으로, 카메라(110)에 의해 촬영된 동영상 정보와 반도체 장비(100)를 소프트웨어적으로 제어하는 장비제어 프로그램 UI(User Interface)를 제 1 관리자용 모니터(203)를 이용해 각각 디스플레이한다.
또한, 입출력 수단(200)은 키보드(201) 및 마우스(202)를 이용해 장비제어 프로그램 UI 상에 제공되는 기능버튼들 중 적어도 하나를 선택함에 따라 자동 생성된 적어도 하나의 제어신호를 장비 제어부(150)에 전달하는 역할을 수행한다.
입출력 셋탑박스(300)는 제 1 관리자용 모니터(203)에 나타난 장비제어 프로그램 UI의 화상으로부터 입수된 다수의 픽셀정보와 적어도 하나의 제어신호를 인터넷망으로 송출하거나, 인터넷망을 통해 수신된 적어도 하나의 명령신호를 장비 제어부(150)에 전달한다.
영상 셋탑박스(400)는 카메라(110)에 의해 촬영된 동영상 정보를 제공받아 기연결된 인터넷망으로 송출한다.
감시 스테이션(600)은 장비제어 프로그램 UI의 화상, 적어도 하나의 제어신호 및 동영상 정보를 인터넷망을 통해 수신하고, 기설치된 감시용 모니터(610)를 통해 장비제어 프로그램 UI의 화상 및 동영상 정보를 디스플레이한다.
계속해서, 중앙관리 서버(500)는 인터넷망으로부터 전달된 장비제어 프로그램 UI의 화상, 적어도 하나의 제어신호 및 동영상 정보를 제 2 관리자용 모니터(560)에 디스플레이시키며, 디스플레이되는 동영상 정보를 근거로 스핀들(121)의 현 동작상태 또는 노즐(120)의 현 동작상태를 실시간으로 모니터링한다.
중앙관리 서버(500)는 제 2 관리자용 모니터(560)의 일부 화면에 자세제어 프로그램 UI(User Interface)창을 지원함에 따라, 자세제어 프로그램 UI창 내 배치된 자세조정버튼들을 활용해 카메라(110)의 자세조정을 원격으로 제어한다.
즉, 중앙관리 서버는 자세조정버튼들 중 적어도 하나를 선택해 반도체 장비(100) 내 탑재된 카메라(110)를 자세 조정할 수 있다.
여기서, 카메라(110)의 자세조정은 카메라(110)에 탑재된 렌즈가 직시하는 방향을 상하 또는 좌우로 조정하거나, 스핀들(121) 또는 노즐(120)을 대상으로 영점 조정, 360도 회전 또는 원근거리 조정하는 것임에 유의한다.
중앙관리 서버(500)는 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 일부가 변경됨을 인지할 경우, 입출력 셋탑박스(300)를 거쳐 장비 제어부(150)로 전달되는 적어도 하나의 명령신호를 자동 생성시킨 후 적어도 하나의 명령신호를 이용해 반도체 장비(100)를 원격으로 통제 및 관리한다.
일예로, 중앙관리 서버(500)는 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 일부 변경에 의해 독출된 픽셀정보를 스핀들(121) 또는 노즐(120)이 오동작 또는 고장됨을 가리키는 데이터 값으로 파악함에 따라, 적어도 하나의 명령신호 중 하나이며 데이터 값과 1:1 매칭되는 동작멈춤 명령신호를 자동으로 생성시킨다.
픽셀정보는 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 일부가 RGB(Red, Green, Blue) 중 어느 하나 혹은 RGB가 혼용된 색상으로 변경되면서 제 2 관리자용 모니터 중 정해진 위치상에 표시되는 그래픽 데이터라 정의할 수 있다.
또한, 동작멈춤 명령신호가 자동으로 생성될 시, 중앙관리 서버(500)는 스핀들(121) 또는 노즐(122)이 동작불능 상태임을 알리는 안내문구를 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 다른 일부에 자동 디스플레이시키거나 혹은 별도의 경고음을 발산시킨다.
이에 따라, 장비 제어부(150)는 동작멈춤 명령신호를 인터넷망과 기연결된 입출력 셋탑박스를 통해 수신한 후, 동작멈춤 명령신호를 반도체 장비(100)에 적용시켜 스핀들(121) 또는 노즐(122)의 현 동작을 강제로 멈추도록 지시한다.
다른 일예로, 중앙관리 서버(500)는 스핀들(121) 또는 노즐(122)이 동작불능 상태임을 동영상 정보를 통해 파악할 경우, 통칭해 입력수단(510)이라 할 수 있는 관리자용 키보드(511) 또는 관리자용 마우스(512)로 장비제어 프로그램 UI의 화상에 나타난 기능버튼들 중 하나를 체크한다.
이때, 중앙관리 서버(500)는 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 일부 변경으로 독출된 픽셀정보와 1:1 매칭된 동작멈춤 명령신호를 도 2에서도 언급되는 메모리부로부터 호출한다.
또한, 동작멈춤 명령신호가 메모리부로부터 호출될 경우, 중앙관리 서버(500)는 스핀들(121) 또는 노즐(122)이 동작불능 상태임을 알리는 안내문구를 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 다른 일부에 디스플레이시키거나 혹은 별도의 경고음을 발산시킨다.
마지막으로, 장비 제어부(150)는 인터넷망과 기연결된 입출력 셋탑박스(300)를 통해 동작멈춤 명령신호를 수신한 후, 동작멈춤 명령신호를 반도체 장비(100)에 적용시켜 스핀들(121) 또는 노즐(122)의 현 동작을 강제로 멈추도록 지시한다.
바람직하게는, 중앙관리 서버(500)는 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 일부 변경에 의해 독출된 픽셀정보를 오동작 또는 동작불능 상태로만 인식하는 것이 아니라 스핀들(121) 또는 노즐(122)에서 일어나는 모든 동작 상태를 인지할 수 있을 뿐만 아니라, 이에 적합한 적어도 하나의 명령신호를 자동 생성시키는 방식을 채택하거나 혹은 관리자용 키보드, 관리자용 모니터를 이용해 적어도 하나의 명령신호를 생성시키는 방식 중 하나를 채택해 스핀들(121) 또는 노즐(122)의 모든 동작을 원격에서 제어할 수 있다 하겠다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템의 중앙관리 서버를 도시한 상세도면이다.
도 2를 참조하면, 중앙관리 서버(500)는 인터넷망을 통해 전달된 장비제어 프로그램 UI의 화상, 적어도 하나의 제어신호 및 동영상 정보를 디스플레이하며, 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 일부가 변경됨을 인지할 경우, 자동 생성된 적어도 하나의 명령신호로 스핀들(121) 또는 노즐(120)의 현 동작상태를 제어하도록 원격에서 지시하는 장치로, 입력수단(510), 판단부(520), 연산부(530), 메모리부(540), 제어부(550) 및 출력수단(560)을 포함한다.
입력수단(510)은 장비제어 프로그램 UI의 화상에 나타난 기능버튼들 중 적어도 하나를 선택한다.
판단부(520)는 적어도 하나의 선택버튼과, 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 적어도 하나의 선택버튼에 의해 일부 변경된 적어도 하나의 픽셀정보와의 일치 여부를 판단한다.
연산부(530)는 적어도 하나의 선택버튼과 적어도 하나의 픽셀정보가 서로 일치할 경우에 한해, 적어도 하나의 픽셀정보마다 각기 부여된 적어도 하나의 데이터값을 읽어온다.
메모리부(540)는 적어도 하나의 명령신호 중 하나이며, 적어도 하나의 데이터값 중 어느 하나와 1:1 매칭된 동작멈춤 명령신호를 조회한다.
제어부(550)는 메모리부(540)를 통해 호출된 동작멈춤 명령신호를 인터넷망으로 송출하여 스핀들 또는 노즐의 현 동작을 멈춤 제어한다.
출력수단(560)은 제 2 관리자용 모니터를 활용해 적어도 하나의 선택버튼 또는 스핀들 또는 노즐이 동작불능 상태임을 알리는 안내문구를 장비제어 프로그램 UI의 화상에 디스플레이한다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템의 구동방법을 나타낸 순서도이다.
도 3를 참조하면, 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템의 구동방법은 1개 이상의 챔버와 상기 챔버에 웨이퍼를 제공하기 위한 웨이퍼 스테이션과 상기 웨이퍼 스테이션에서 챔버로 웨이퍼를 제공하는 로봇으로 포함하며, 상기 챔버에는 로봇이 제공하는 웨이퍼를 장착하여 회전시키는 스핀들과 스핀들에 장착되어 회전하는 웨이퍼에 공정액을 공급하는 노즐로 구성된 반도체 장비를 포함하는 원격제어 및 장비 성능관리 시스템의 구동방법이다.
먼저, 카메라는 챔버 내부에서 상하 또는 좌우로 자세조정하며, 챔버내 스핀들의 회전상태와 노즐의 작동상태를 실시간으로 촬영한다(S100, S110).
장비 제어부는 스핀들 또는 노즐의 작동을 각각 제어 및 감시한다(S120).
입출력 수단은 카메라에 의해 촬영된 동영상 정보 또는 반도체 장비를 제어하는 장비제어 프로그램 UI(User Interface)를 제 1 관리자용 모니터를 이용해 각각 디스플레이한다(S130).
입출력 수단은 키보드 또는 마우스를 이용해 장비제어 프로그램 UI 상에 제공되는 기능버튼들 중 적어도 하나를 선택함에 따라 자동 생성된 적어도 하나의 제어신호를 장비 제어부에 전달한다(S140, S150).
입출력 셋탑박스는 제 1 관리자용 모니터에 나타난 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상으로부터 입수된 다수의 픽셀정보와 적어도 하나의 제어신호를 인터넷망으로 송출하거나, 인터넷망을 통해 수신된 적어도 하나의 명령신호를 장비 제어부에 전달한다(S160, S170).
영상 셋탑박스는 카메라로부터 동영상 정보를 제공받아 인터넷망으로 송출한다(S180).
중앙관리 서버는 인터넷망을 통해 전달된 장비제어 프로그램 UI의 화상, 적어도 하나의 제어신호 및 동영상 정보를 제 2 관리자용 모니터를 통해 디스플레이한다(S190).
중앙관리 서버는 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 일부가 변경됨을 인지할 경우, 입출력 셋탑박스를 거쳐 장비 제어부로 전달되는 적어도 하나의 명령신호를 자동 생성시킴으로써, 반도체 장비를 원격으로 통제 및 관리한다(S200, S210, S220).
상기 S200, 내지 S220에 대한 좀 더 구체적인 설명으로, 중앙관리 서버는 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 일부 변경에 의해 독출된 픽셀정보를 스핀들 또는 노즐이 오동작 또는 고장됨을 가리키는 데이터 값으로 파악한다.
중앙관리 서버는 적어도 하나의 명령신호 중 하나이며, 데이터 값과 1:1 매칭되는 동작멈춤 명령신호를 자동으로 생성시킬 경우, 스핀들 또는 노즐이 동작불능 상태임을 알리는 안내문구를 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 다른 일부에 자동 디스플레이시키거나 혹은 별도의 경고음을 발산시킨다.
그에 따라, 반도체 장비 내 탑재된 장비 제어부는 인터넷망과 기연결된 입출력 셋탑박스를 통해 수신된 동작멈춤 명령신호를 반도체 장비에 적용시켜 스핀들 또는 노즐의 현 동작을 강제로 멈추도록 지시한다.
본 발명의 실시예에 따른 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템의 구동방법은 이하 기재된 바와 같이 추가적인 동작을 더 실시하는데 용이하다.
즉, 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템 내 더 구비된 감시 스테이션은 장비제어 프로그램 UI의 화상, 적어도 하나의 제어신호 및 동영상 정보를 인터넷망을 통해 수신하여 기설치된 감시용 모니터를 이용해 장비제어 프로그램 UI의 화상 및 동영상 정보를 디스플레이시킨다.
중앙관리 서버는 동영상 정보의 디스플레이로 스핀들 또는 노즐의 현 동작상태를 실시간으로 모니터링하며, 제 2 관리자용 모니터의 일부 화면에 자세제어 프로그램 UI창을 지원함에 따라, 자세제어 프로그램 UI창 내 배치된 자세조정버튼들을 활용해 상기 카메라의 자세조정을 원격으로 제어한다.
중앙관리 서버는 자세조정버튼들 중 적어도 하나를 선택해 카메라의 자세조정을 실시할 경우, 카메라에 탑재된 렌즈가 직시하는 방향을 상하 또는 좌우로 조정하거나, 스핀들 또는 노즐을 대상으로 한 영점 조정, 360도 회전 또는 원근거리 조정을 실시한다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템 내 구비된 중앙관리 서버의 구동방법을 나타낸 순서도이다.
도 4를 참조하면, 중앙관리 서버는 인터넷망을 통해 전달된 장비제어 프로그램 UI의 화상, 적어도 하나의 제어신호 및 동영상 정보를 디스플레이하며, 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 일부가 변경됨을 인지할 경우, 자동 생성된 적어도 하나의 명령신호를 반도체 장비에 전송하여 반도체 장비 내 탑재된 장비 제어부가 스핀들 또는 노즐의 현 동작상태를 제어하도록 원격에서 지시하는 구동방법이다.
즉, 중앙관리 서버로 내 기구비된 입력수단은 장비제어 프로그램 UI의 화상에 나타난 기능버튼들 중 적어도 하나를 선택한다(S100').
판단부는 적어도 하나의 선택버튼과, 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 적어도 하나의 선택버튼에 의해 일부 변경된 적어도 하나의 픽셀정보와의 매칭 여부를 판단한다(S110').
적어도 하나의 선택버튼과 적어도 하나의 픽셀정보가 서로 일치할 경우에 한해, 연산부는 적어도 하나의 픽셀정보마다 각기 부여된 적어도 하나의 데이터값을 읽어온다(S120').
메모리부는 적어도 하나의 명령신호 중 하나이며, 적어도 하나의 데이터값 중 어느 하나와 1:1 매칭된 동작멈춤 명령신호를 조회한다(S130').
제어부는 메모리부를 통해 호출된 동작멈춤 명령신호를 인터넷망으로 송출하여 스핀들 또는 노즐의 현 동작이 멈추도록 지시한다.
출력수단은 제 2 관리자용 모니터를 활용해 적어도 하나의 선택버튼 또는 스핀들 또는 노즐이 동작불능 상태임을 알리는 안내문구을 장비제어 프로그램 UI의 화상에 디스플레이한다(S150')
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
1000 : 원격제어 및 장비 성능관리 시스템
100 : 반도체 장비 110 : 카메라
120 : 챔버 150 : 장비 제어부
200 : 입출력 수단 300 : 입출력 셋탑박스
400 : 영상 셋탑박스 500 : 중앙관리 서버
600 : 감시 스테이션
100 : 반도체 장비 110 : 카메라
120 : 챔버 150 : 장비 제어부
200 : 입출력 수단 300 : 입출력 셋탑박스
400 : 영상 셋탑박스 500 : 중앙관리 서버
600 : 감시 스테이션
Claims (17)
1개 이상의 챔버와 상기 챔버에 웨이퍼를 제공하기 위한 웨이퍼 스테이션과 상기 웨이퍼 스테이션에서 상기 챔버로 웨이퍼를 제공하는 로봇으로 포함하며, 상기 챔버에는 상기 로봇이 제공하는 웨이퍼를 장착하여 회전시키는 스핀들과 상기 스핀들에 장착되어 회전하는 웨이퍼에 공정액을 공급하는 노즐로 구성된 반도체 장비를 포함하는 시스템으로,
상기 챔버 내부에서 상하 또는 좌우 자세조정이 가능하며, 상기 챔버내 스핀들의 회전상태와 노즐의 작동상태를 실시간으로 촬영하도록 배치된 카메라;
상기 스핀들 또는 노즐의 작동을 각각 제어 및 감시하는 장비 제어부;
상기 카메라에 의해 촬영된 동영상 정보와 상기 반도체 장비를 제어하는 장비제어 프로그램 UI(User Interface)를 제 1 관리자용 모니터를 통해 각각 디스플레이시키며, 키보드 또는 마우스를 이용해 상기 장비제어 프로그램 UI 상에 제공되는 기능버튼들 중 적어도 하나를 선택함에 따라 자동 생성된 적어도 하나의 제어신호를 상기 장비 제어부에 전달하는 입출력 수단;
상기 제 1 관리자용 모니터에 나타난 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상으로부터 입수된 다수의 픽셀정보와 상기 적어도 하나의 제어신호를 인터넷망으로 송출하거나, 상기 인터넷망을 통해 수신된 적어도 하나의 명령신호를 상기 장비 제어부에 전달하는 입출력 셋탑박스;
상기 카메라로부터 상기 동영상 정보를 제공받아 상기 인터넷망으로 송출하는 영상 셋탑박스; 및
상기 인터넷망을 통해 전달된 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상, 적어도 하나의 제어신호 및 동영상 정보를 제 2 관리자용 모니터를 통해 디스플레이시키며, 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 일부가 변경됨을 인지할 경우, 상기 입출력 셋탑박스를 거쳐 상기 장비 제어부로 전달되는 상기 적어도 하나의 명령신호를 자동 생성시킴으로써, 상기 반도체 장비를 원격으로 통제 및 관리하는 중앙관리 서버를 포함하는 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템.
상기 챔버 내부에서 상하 또는 좌우 자세조정이 가능하며, 상기 챔버내 스핀들의 회전상태와 노즐의 작동상태를 실시간으로 촬영하도록 배치된 카메라;
상기 스핀들 또는 노즐의 작동을 각각 제어 및 감시하는 장비 제어부;
상기 카메라에 의해 촬영된 동영상 정보와 상기 반도체 장비를 제어하는 장비제어 프로그램 UI(User Interface)를 제 1 관리자용 모니터를 통해 각각 디스플레이시키며, 키보드 또는 마우스를 이용해 상기 장비제어 프로그램 UI 상에 제공되는 기능버튼들 중 적어도 하나를 선택함에 따라 자동 생성된 적어도 하나의 제어신호를 상기 장비 제어부에 전달하는 입출력 수단;
상기 제 1 관리자용 모니터에 나타난 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상으로부터 입수된 다수의 픽셀정보와 상기 적어도 하나의 제어신호를 인터넷망으로 송출하거나, 상기 인터넷망을 통해 수신된 적어도 하나의 명령신호를 상기 장비 제어부에 전달하는 입출력 셋탑박스;
상기 카메라로부터 상기 동영상 정보를 제공받아 상기 인터넷망으로 송출하는 영상 셋탑박스; 및
상기 인터넷망을 통해 전달된 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상, 적어도 하나의 제어신호 및 동영상 정보를 제 2 관리자용 모니터를 통해 디스플레이시키며, 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 일부가 변경됨을 인지할 경우, 상기 입출력 셋탑박스를 거쳐 상기 장비 제어부로 전달되는 상기 적어도 하나의 명령신호를 자동 생성시킴으로써, 상기 반도체 장비를 원격으로 통제 및 관리하는 중앙관리 서버를 포함하는 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템.
제 1 항에 있어서,
상기 장비제어 프로그램 UI의 화상, 적어도 하나의 제어신호 및 동영상 정보를 상기 인터넷망을 통해 수신하여 기설치된 감시용 모니터를 이용해 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상 및 동영상 정보를 디스플레이시키는 감시 스테이션을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템.
상기 장비제어 프로그램 UI의 화상, 적어도 하나의 제어신호 및 동영상 정보를 상기 인터넷망을 통해 수신하여 기설치된 감시용 모니터를 이용해 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상 및 동영상 정보를 디스플레이시키는 감시 스테이션을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템.
제 1 항에 있어서, 상기 중앙관리 서버는,
상기 동영상 정보의 디스플레이로 상기 스핀들 또는 노즐의 현 동작상태를 실시간으로 모니터링하고, 상기 제 2 관리자용 모니터의 일부 화면에 자세제어 프로그램 UI창을 지원함에 따라 상기 자세제어 프로그램 UI창 내 배치된 자세조정버튼들로 상기 카메라의 자세조정을 원격으로 제어하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템.
상기 동영상 정보의 디스플레이로 상기 스핀들 또는 노즐의 현 동작상태를 실시간으로 모니터링하고, 상기 제 2 관리자용 모니터의 일부 화면에 자세제어 프로그램 UI창을 지원함에 따라 상기 자세제어 프로그램 UI창 내 배치된 자세조정버튼들로 상기 카메라의 자세조정을 원격으로 제어하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템.
제 3 항에 있어서, 상기 카메라의 자세조정은,
상기 자세조정버튼들 중 적어도 하나의 선택에 의해 상기 카메라에 탑재된 렌즈가 직시하는 방향을 상기 상하 또는 좌우로 조정하거나, 상기 스핀들 또는 노즐을 대상으로 한 영점 조정, 360도 회전 또는 원근거리 조정을 실시하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템.
상기 자세조정버튼들 중 적어도 하나의 선택에 의해 상기 카메라에 탑재된 렌즈가 직시하는 방향을 상기 상하 또는 좌우로 조정하거나, 상기 스핀들 또는 노즐을 대상으로 한 영점 조정, 360도 회전 또는 원근거리 조정을 실시하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템.
제 1 항에 있어서, 상기 중앙관리 서버는,
상기 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 일부 변경에 의해 독출된 상기 픽셀정보를 상기 스핀들 또는 노즐이 오동작 또는 고장됨을 가리키는 데이터 값으로 파악함에 따라, 상기 적어도 하나의 명령신호 중 하나이며, 상기 데이터 값과 1:1 매칭되는 동작멈춤 명령신호를 자동으로 생성시키는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템.
상기 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 일부 변경에 의해 독출된 상기 픽셀정보를 상기 스핀들 또는 노즐이 오동작 또는 고장됨을 가리키는 데이터 값으로 파악함에 따라, 상기 적어도 하나의 명령신호 중 하나이며, 상기 데이터 값과 1:1 매칭되는 동작멈춤 명령신호를 자동으로 생성시키는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템.
제 5 항에 있어서, 상기 장비 제어부는,
상기 동작멈춤 명령신호를 상기 인터넷망과 기연결된 상기 입출력 셋탑박스를 통해 수신한 후, 상기 동작멈춤 명령신호를 상기 반도체 장비에 적용시켜 상기 스핀들 또는 노즐의 현 동작을 강제로 멈추도록 지시하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템.
상기 동작멈춤 명령신호를 상기 인터넷망과 기연결된 상기 입출력 셋탑박스를 통해 수신한 후, 상기 동작멈춤 명령신호를 상기 반도체 장비에 적용시켜 상기 스핀들 또는 노즐의 현 동작을 강제로 멈추도록 지시하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템.
제 5 항에 있어서, 상기 중앙관리 서버는,
상기 동작멈춤 명령신호를 자동으로 생성시킬 경우, 상기 스핀들 또는 노즐이 동작불능 상태임을 알리는 안내문구를 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 다른 일부에 자동 디스플레이시키거나 혹은 별도의 경고음을 발산시키는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템.
상기 동작멈춤 명령신호를 자동으로 생성시킬 경우, 상기 스핀들 또는 노즐이 동작불능 상태임을 알리는 안내문구를 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 다른 일부에 자동 디스플레이시키거나 혹은 별도의 경고음을 발산시키는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템.
제 1 항에 있어서, 상기 중앙관리 서버는,
상기 제 2 관리자용 모니터를 통해 상기 스핀들 또는 노즐이 동작불능 상태임을 모니터링할 경우, 기구비된 관리자용 키보드 혹은 관리자용 마우스로 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상에 나타난 기능버튼들 중 하나를 체크하고, 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 일부 변경으로 독출된 픽셀정보와 1:1 매칭된 동작멈춤 명령신호를 메모리부로부터 호출하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템.
상기 제 2 관리자용 모니터를 통해 상기 스핀들 또는 노즐이 동작불능 상태임을 모니터링할 경우, 기구비된 관리자용 키보드 혹은 관리자용 마우스로 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상에 나타난 기능버튼들 중 하나를 체크하고, 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 일부 변경으로 독출된 픽셀정보와 1:1 매칭된 동작멈춤 명령신호를 메모리부로부터 호출하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템.
제 8 항에 있어서, 상기 장비 제어부는,
상기 인터넷망과 기연결된 상기 입출력 셋탑박스를 통해 상기 동작멈춤 명령신호를 수신한 후, 상기 동작멈춤 명령신호를 상기 반도체 장비에 적용시켜 상기 스핀들 또는 노즐의 현 동작을 강제로 멈추도록 지시하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템.
상기 인터넷망과 기연결된 상기 입출력 셋탑박스를 통해 상기 동작멈춤 명령신호를 수신한 후, 상기 동작멈춤 명령신호를 상기 반도체 장비에 적용시켜 상기 스핀들 또는 노즐의 현 동작을 강제로 멈추도록 지시하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템.
제 8 항에 있어서, 상기 중앙관리 서버는,
상기 동작멈춤 명령신호를 상기 메모리부로부터 호출할 경우, 상기 스핀들 또는 노즐이 동작불능 상태임을 알리는 안내문구를 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 다른 일부에 디스플레이시키거나 혹은 별도의 경고음을 발산시키는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템.
상기 동작멈춤 명령신호를 상기 메모리부로부터 호출할 경우, 상기 스핀들 또는 노즐이 동작불능 상태임을 알리는 안내문구를 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 다른 일부에 디스플레이시키거나 혹은 별도의 경고음을 발산시키는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템.
제 1 항에 있어서, 상기 중앙관리 서버는,
상기 장비제어 프로그램 UI의 화상에 나타난 기능버튼들 중 적어도 하나를 선택하는 입력수단;
상기 적어도 하나의 선택버튼과, 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 상기 적어도 하나의 선택버튼에 의해 일부 변경된 적어도 하나의 픽셀정보와의 매칭 여부를 판단하는 판단부;
상기 적어도 하나의 선택버튼과 적어도 하나의 픽셀정보가 서로 일치할 경우에 한해, 상기 적어도 하나의 픽셀정보마다 각기 부여된 적어도 하나의 데이터값을 읽어오는 연산부;
상기 적어도 하나의 명령신호 중 어느 하나이며, 상기 적어도 하나의 데이터값 중 어느 하나와 1:1 매칭된 동작멈춤 명령신호를 조회하는 메모리부;
상기 메모리부를 통해 호출된 상기 동작멈춤 명령신호를 상기 인터넷망으로 송출시켜 상기 스핀들 또는 노즐의 현 동작이 멈추도록 지시하는 제어부; 및
상기 적어도 하나의 선택버튼을 비롯해 상기 스핀들 또는 노즐이 동작불능 상태임을 알리는 안내문구를 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상에 디스플레이하는 출력수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템.
상기 장비제어 프로그램 UI의 화상에 나타난 기능버튼들 중 적어도 하나를 선택하는 입력수단;
상기 적어도 하나의 선택버튼과, 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 상기 적어도 하나의 선택버튼에 의해 일부 변경된 적어도 하나의 픽셀정보와의 매칭 여부를 판단하는 판단부;
상기 적어도 하나의 선택버튼과 적어도 하나의 픽셀정보가 서로 일치할 경우에 한해, 상기 적어도 하나의 픽셀정보마다 각기 부여된 적어도 하나의 데이터값을 읽어오는 연산부;
상기 적어도 하나의 명령신호 중 어느 하나이며, 상기 적어도 하나의 데이터값 중 어느 하나와 1:1 매칭된 동작멈춤 명령신호를 조회하는 메모리부;
상기 메모리부를 통해 호출된 상기 동작멈춤 명령신호를 상기 인터넷망으로 송출시켜 상기 스핀들 또는 노즐의 현 동작이 멈추도록 지시하는 제어부; 및
상기 적어도 하나의 선택버튼을 비롯해 상기 스핀들 또는 노즐이 동작불능 상태임을 알리는 안내문구를 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상에 디스플레이하는 출력수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템.
1개 이상의 챔버와 상기 챔버에 웨이퍼를 제공하기 위한 웨이퍼 스테이션과 상기 웨이퍼 스테이션에서 상기 챔버로 웨이퍼를 제공하는 로봇으로 포함하며, 상기 챔버에는 상기 로봇이 제공하는 웨이퍼를 장착하여 회전시키는 스핀들과 상기 스핀들에 장착되어 회전하는 웨이퍼에 공정액을 공급하는 노즐로 구성된 반도체 장비를 포함하는 시스템의 구동방법으로,
카메라가 상기 챔버 내부에서 상하 또는 좌우로 자세조정하며, 상기 챔버내 스핀들의 회전상태와 노즐의 작동상태를 실시간으로 촬영하는 단계;
장비 제어부가 상기 스핀들 또는 노즐의 작동을 각각 제어 및 감시하는 단계;
입출력 수단이 상기 카메라에 의해 촬영된 동영상 정보와 상기 반도체 장비를 제어하는 장비제어 프로그램 UI(User Interface)를 제 1 관리자용 모니터를 통해 각각 디스플레이하는 단계;
상기 입출력 수단이 키보드 또는 마우스를 이용해 상기 장비제어 프로그램 UI 상에 제공되는 기능버튼들 중 적어도 하나를 선택함에 따라 자동 생성된 적어도 하나의 제어신호를 상기 장비 제어부에 전달하는 단계;
입출력 셋탑박스가 상기 제 1 관리자용 모니터에 나타난 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상으로부터 입수된 다수의 픽셀정보와 상기 적어도 하나의 제어신호를 인터넷망으로 송출하거나, 상기 인터넷망을 통해 수신된 적어도 하나의 명령신호를 상기 장비 제어부에 전달하는 단계;
영상 셋탑박스가 상기 카메라로부터 상기 동영상 정보를 제공받아 상기 인터넷망으로 송출하는 단계;
중앙관리 서버가 상기 인터넷망을 통해 전달된 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상, 적어도 하나의 제어신호 및 동영상 정보를 제 2 관리자용 모니터를 통해 디스플레이하는 단계; 및
상기 중앙관리 서버가 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 일부가 변경됨을 인지할 경우, 상기 입출력 셋탑박스를 거쳐 상기 장비 제어부로 전달되는 상기 적어도 하나의 명령신호를 자동 생성시킴으로써, 상기 반도체 장비를 원격으로 통제 및 관리하는 단계를 포함하는 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템의 구동방법.
카메라가 상기 챔버 내부에서 상하 또는 좌우로 자세조정하며, 상기 챔버내 스핀들의 회전상태와 노즐의 작동상태를 실시간으로 촬영하는 단계;
장비 제어부가 상기 스핀들 또는 노즐의 작동을 각각 제어 및 감시하는 단계;
입출력 수단이 상기 카메라에 의해 촬영된 동영상 정보와 상기 반도체 장비를 제어하는 장비제어 프로그램 UI(User Interface)를 제 1 관리자용 모니터를 통해 각각 디스플레이하는 단계;
상기 입출력 수단이 키보드 또는 마우스를 이용해 상기 장비제어 프로그램 UI 상에 제공되는 기능버튼들 중 적어도 하나를 선택함에 따라 자동 생성된 적어도 하나의 제어신호를 상기 장비 제어부에 전달하는 단계;
입출력 셋탑박스가 상기 제 1 관리자용 모니터에 나타난 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상으로부터 입수된 다수의 픽셀정보와 상기 적어도 하나의 제어신호를 인터넷망으로 송출하거나, 상기 인터넷망을 통해 수신된 적어도 하나의 명령신호를 상기 장비 제어부에 전달하는 단계;
영상 셋탑박스가 상기 카메라로부터 상기 동영상 정보를 제공받아 상기 인터넷망으로 송출하는 단계;
중앙관리 서버가 상기 인터넷망을 통해 전달된 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상, 적어도 하나의 제어신호 및 동영상 정보를 제 2 관리자용 모니터를 통해 디스플레이하는 단계; 및
상기 중앙관리 서버가 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 일부가 변경됨을 인지할 경우, 상기 입출력 셋탑박스를 거쳐 상기 장비 제어부로 전달되는 상기 적어도 하나의 명령신호를 자동 생성시킴으로써, 상기 반도체 장비를 원격으로 통제 및 관리하는 단계를 포함하는 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템의 구동방법.
제 12 항에 있어서, 상기 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템 내 더 구비된,
감시 스테이션이 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상, 적어도 하나의 제어신호 및 동영상 정보를 상기 인터넷망을 통해 수신하여 기설치된 감시용 모니터를 이용해 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상 및 동영상 정보를 디스플레이시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템의 구동방법.
감시 스테이션이 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상, 적어도 하나의 제어신호 및 동영상 정보를 상기 인터넷망을 통해 수신하여 기설치된 감시용 모니터를 이용해 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상 및 동영상 정보를 디스플레이시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템의 구동방법.
제 12 항에 있어서, 상기 중앙관리 서버가,
상기 동영상 정보의 디스플레이로 상기 스핀들 또는 노즐의 현 동작상태를 실시간으로 모니터링하는 단계;
상기 제 2 관리자용 모니터의 일부 화면에 자세제어 프로그램 UI창을 지원하여 상기 자세제어 프로그램 UI창 내 배치된 자세조정버튼들로 상기 카메라의 자세조정을 원격으로 제어하는 단계; 및
상기 자세조정버튼들 중 적어도 하나를 선택해 상기 카메라의 자세조정을 실시할 경우, 상기 카메라에 탑재된 렌즈가 직시하는 방향을 상기 상하 또는 좌우로 조정하거나, 상기 스핀들 또는 노즐을 대상으로 한 영점 조정, 360도 회전 또는 원근거리 조정을 실시하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템의 구동방법.
상기 동영상 정보의 디스플레이로 상기 스핀들 또는 노즐의 현 동작상태를 실시간으로 모니터링하는 단계;
상기 제 2 관리자용 모니터의 일부 화면에 자세제어 프로그램 UI창을 지원하여 상기 자세제어 프로그램 UI창 내 배치된 자세조정버튼들로 상기 카메라의 자세조정을 원격으로 제어하는 단계; 및
상기 자세조정버튼들 중 적어도 하나를 선택해 상기 카메라의 자세조정을 실시할 경우, 상기 카메라에 탑재된 렌즈가 직시하는 방향을 상기 상하 또는 좌우로 조정하거나, 상기 스핀들 또는 노즐을 대상으로 한 영점 조정, 360도 회전 또는 원근거리 조정을 실시하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템의 구동방법.
제 12 항에 있어서,
상기 중앙관리 서버가 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 일부 변경에 의해 독출된 상기 픽셀정보를 상기 스핀들 또는 노즐이 오동작 또는 고장됨을 가리키는 데이터 값으로 파악하는 단계;
상기 중앙관리 서버가 상기 적어도 하나의 명령신호 중 하나이며, 상기 데이터 값과 1:1 매칭되는 동작멈춤 명령신호를 자동으로 생성시키는 단계
상기 중앙관리 서버가 상기 스핀들 또는 노즐이 동작불능 상태임을 알리는 안내문구를 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 다른 일부에 자동 디스플레이시키거나 혹은 별도의 경고음을 발산시키는 단계; 및
상기 장비 제어부가 상기 인터넷망과 기연결된 상기 입출력 셋탑박스를 통해 수신된 상기 동작멈춤 명령신호를 상기 반도체 장비에 적용시켜 상기 스핀들 또는 노즐의 현 동작을 강제로 멈추도록 지시하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템의 구동방법.
상기 중앙관리 서버가 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 일부 변경에 의해 독출된 상기 픽셀정보를 상기 스핀들 또는 노즐이 오동작 또는 고장됨을 가리키는 데이터 값으로 파악하는 단계;
상기 중앙관리 서버가 상기 적어도 하나의 명령신호 중 하나이며, 상기 데이터 값과 1:1 매칭되는 동작멈춤 명령신호를 자동으로 생성시키는 단계
상기 중앙관리 서버가 상기 스핀들 또는 노즐이 동작불능 상태임을 알리는 안내문구를 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 다른 일부에 자동 디스플레이시키거나 혹은 별도의 경고음을 발산시키는 단계; 및
상기 장비 제어부가 상기 인터넷망과 기연결된 상기 입출력 셋탑박스를 통해 수신된 상기 동작멈춤 명령신호를 상기 반도체 장비에 적용시켜 상기 스핀들 또는 노즐의 현 동작을 강제로 멈추도록 지시하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템의 구동방법.
제 12 항에 있어서,
상기 중앙관리 서버가 상기 제 2 관리자용 모니터를 통해 상기 스핀들 또는 노즐이 동작불능 상태임을 모니터링할 경우, 기구비된 관리자용 키보드 혹은 관리자용 마우스로 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상에 나타난 기능버튼들 중 하나를 체크하는 단계;
상기 중앙관리 서버가 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 일부 변경으로 독출된 픽셀정보와 1:1 매칭된 동작멈춤 명령신호를 메모리부로부터 호출하는 단계;
상기 중앙관리 서버가 상기 스핀들 또는 노즐이 동작불능 상태임을 알리는 안내문구를 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 다른 일부에 디스플레이시키거나 혹은 별도의 경고음을 발산시키는 단계; 및
상기 장비 제어부가 상기 인터넷망과 기연결된 상기 입출력 셋탑박스를 통해 수신된 상기 동작멈춤 명령신호를 상기 반도체 장비에 적용시켜 상기 스핀들 또는 노즐의 현 동작을 강제로 멈추도록 지시하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템의 구동방법.
상기 중앙관리 서버가 상기 제 2 관리자용 모니터를 통해 상기 스핀들 또는 노즐이 동작불능 상태임을 모니터링할 경우, 기구비된 관리자용 키보드 혹은 관리자용 마우스로 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상에 나타난 기능버튼들 중 하나를 체크하는 단계;
상기 중앙관리 서버가 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 일부 변경으로 독출된 픽셀정보와 1:1 매칭된 동작멈춤 명령신호를 메모리부로부터 호출하는 단계;
상기 중앙관리 서버가 상기 스핀들 또는 노즐이 동작불능 상태임을 알리는 안내문구를 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 다른 일부에 디스플레이시키거나 혹은 별도의 경고음을 발산시키는 단계; 및
상기 장비 제어부가 상기 인터넷망과 기연결된 상기 입출력 셋탑박스를 통해 수신된 상기 동작멈춤 명령신호를 상기 반도체 장비에 적용시켜 상기 스핀들 또는 노즐의 현 동작을 강제로 멈추도록 지시하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템의 구동방법.
제 12 항에 있어서, 상기 중앙관리 서버로 내 기구비된,
입력수단이 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상에 나타난 기능버튼들 중 적어도 하나를 선택하는 단계;
판단부가 상기 적어도 하나의 선택버튼과, 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 상기 적어도 하나의 선택버튼에 의해 일부 변경된 적어도 하나의 픽셀정보와의 매칭 여부를 판단하는 단계;
상기 적어도 하나의 선택버튼과 적어도 하나의 픽셀정보가 서로 일치할 경우에 한해, 연산부가 상기 적어도 하나의 픽셀정보마다 각기 부여된 적어도 하나의 데이터값을 읽어오는 단계;
메모리부가 상기 적어도 하나의 명령신호 중 어느 하나이며, 상기 적어도 하나의 데이터값 중 어느 하나와 1:1 매칭된 동작멈춤 명령신호를 조회하는 단계;
제어부가 상기 메모리부를 통해 호출된 상기 동작멈춤 명령신호를 상기 인터넷망으로 송출시켜 상기 스핀들 또는 노즐의 현 동작이 멈추도록 지시하는 단계; 및
출력수단이 상기 적어도 하나의 선택버튼을 비롯해 스핀들 또는 노즐이 동작불능 상태임을 알리는 안내문구를 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상에 디스플레이하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템의 구동방법.
입력수단이 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상에 나타난 기능버튼들 중 적어도 하나를 선택하는 단계;
판단부가 상기 적어도 하나의 선택버튼과, 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상 중 상기 적어도 하나의 선택버튼에 의해 일부 변경된 적어도 하나의 픽셀정보와의 매칭 여부를 판단하는 단계;
상기 적어도 하나의 선택버튼과 적어도 하나의 픽셀정보가 서로 일치할 경우에 한해, 연산부가 상기 적어도 하나의 픽셀정보마다 각기 부여된 적어도 하나의 데이터값을 읽어오는 단계;
메모리부가 상기 적어도 하나의 명령신호 중 어느 하나이며, 상기 적어도 하나의 데이터값 중 어느 하나와 1:1 매칭된 동작멈춤 명령신호를 조회하는 단계;
제어부가 상기 메모리부를 통해 호출된 상기 동작멈춤 명령신호를 상기 인터넷망으로 송출시켜 상기 스핀들 또는 노즐의 현 동작이 멈추도록 지시하는 단계; 및
출력수단이 상기 적어도 하나의 선택버튼을 비롯해 스핀들 또는 노즐이 동작불능 상태임을 알리는 안내문구를 상기 장비제어 프로그램 UI의 화상에 디스플레이하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템의 구동방법.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR1020130027461A KR101307583B1 (ko) | 2013-03-14 | 2013-03-14 | 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템, 그 구동방법 |
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| KR1020130027461A KR101307583B1 (ko) | 2013-03-14 | 2013-03-14 | 반도체 장비 영상처리에 따른 원격제어 및 장비 성능관리 시스템, 그 구동방법 |
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| KR102319665B1 (ko) | 2020-08-26 | 2021-11-02 | 주식회사 옵티멀 | 반도체 설비용 원격 제어 시스템 |
| KR102319668B1 (ko) | 2020-08-26 | 2021-11-02 | 주식회사 옵티멀 | 딥러닝 기법을 이용한 반도체 설비의 원격 제어 시스템 |
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- 2013-03-14 KR KR1020130027461A patent/KR101307583B1/ko active IP Right Grant
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