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KR101458433B1 - 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템 - Google Patents

반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템 Download PDF

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Publication number
KR101458433B1
KR101458433B1 KR1020140117174A KR20140117174A KR101458433B1 KR 101458433 B1 KR101458433 B1 KR 101458433B1 KR 1020140117174 A KR1020140117174 A KR 1020140117174A KR 20140117174 A KR20140117174 A KR 20140117174A KR 101458433 B1 KR101458433 B1 KR 101458433B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
automation equipment
computer
semiconductor automation
data
remote control
Prior art date
Application number
KR1020140117174A
Other languages
English (en)
Inventor
박기범
유명수
Original Assignee
(주)바론시스템
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Filing date
Publication date
Application filed by (주)바론시스템 filed Critical (주)바론시스템
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Application granted granted Critical
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Priority to US14/606,587 priority patent/US9785265B2/en
Priority to SG10201500659WA priority patent/SG10201500659WA/en
Priority to TW104103566A priority patent/TWI661286B/zh
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Abstract

본 발명은 반도체 자동화 설비의 가동상태를 실시간으로 모니터링하고, IP를 공유가 가능하도록 하여 다수의 반도체 자동화 설비 컴퓨터를 안정적으로 연결할 수 있는 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템에 관한 것으로, 원격지 컴퓨터의 마우스 신호를 반도체 자동화 설비 컴퓨터의 시리얼 포트를 통해 전달함으로써, USB/PS2 포트를 지원하지 않는 반도체 자동화 설비도 원격지 컴퓨터의 마우스를 통해 원격 제어 신호 전달이 가능하며, 별도의 IP 할당 작업 없이 반도체 자동화 설비의 동작을 모니터링 또는 제어하는 신호를 실시간으로 전달할 수 있는 기술적 효과가 있다.

Description

반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템{Realtime remote control system and for automation equipment}
본 발명은 반도체 자동화 설비의 실시간 원격 제어 기술에 관한 것이며, 더 상세하게는 반도체 자동화 설비의 가동상태를 실시간으로 모니터링하고, IP를 공유가 가능하도록 하여 다수의 반도체 자동화 설비 컴퓨터를 안정적으로 연결할 수 있는 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 원격 제어 시스템(RCS-Remote control system)은 자동화된 기기로부터 멀리 떨어진 곳에서 유선 또는 무선의 통신로를 이용하여, 자동화기기를 제어하는 시스템을 말하며, RCS를 활용하여, 컴퓨터 화면의 영상을 원거리로 전송하는 방법은 고객지원 애프터서비스 또는 원격서버 관리 등에 많이 사용되며, 특히 반도체 자동화 설비 제어에 많이 주로 사용된다.
일반적으로 원격지에서 반도체 자동화 설비를 제어할 경우, 키보드 및 마우스 제어는 PC에 설치된 USB 또는 PS/2 포트로 신호를 주고 받는데, 종래 반도체 자동화 설비 PC는 도 12에 도시된 바와 같이, USB 또는 PS/2 포트를 지원하지 않고, 터치모니터에 입력되는 터치 신호를 전달하는 방식을 사용하고 있다.
이 경우, 프론트(front) 컴퓨터와 리어(rear) 컴퓨터 간에는 RS-232C 통신 포맷으로 이루어지며, 이 경우, USB/PS2 포트를 지원하지 않으므로 터치 입력만 가능함에 따라 종래 USB/PS2 포트만 지원하는 RCS의 적용이 불가능하며, 원격지 컴퓨터에서는 마우스 사용이 불가능한 문제점이 있다.
또한, RCS에 의한 종래 반도체 자동화 설비의 원격 제어 시스템은 도 13에 도시된 바와 같이, 기존 공유기를 사용 시, 상위 통신부에서 내려오는 공인 IP를 하위에서 자동 할당 받아 내부 통신용 IP로 변경되며, 이 경우, 고정 IP를 사용이 불가하므로 상위 통신부와의 통신이 불가능하게 된다.
따라서, IP 변경 없이 원격 시스템을 사용하기 위해서는 원격 제어용 IP를 증설해 사용해야 하는 문제점이 있다.
종래 반도체 자동화 설비의 원격 제어 방식에는 소프트웨어 방식과 하드웨어 방식으로 나눌 수 있는데 소프트웨어 방식의 경우, 대한민국 공개특허공보 제10-2010-0011763호(2010. 02. 03.)에 개시된 바와 같이, 원격지컴퓨터와 로컬컴퓨터 내에 원격제어를 위한 소프트웨어를 설치하는 방식인데 이 경우, 원격지컴퓨터와 로컬컴퓨터의 운영 체제가 동일하지 않을 경우, 연결이 불가능한 문제점이 있다.
대한민국 공개특허 공보 10-2010-0011763A, 2010. 02. 03, 4쪽 내지 5쪽.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로, 본 발명에 따른 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템의 목적은 원격지 컴퓨터의 마우스 신호를 반도체 자동화 설비 컴퓨터의 시리얼 포트를 통해 전달하고, 별도의 IP 할당 작업 없이 반도체 자동화 설비의 동작을 모니터링 또는 제어하는 신호를 실시간으로 전달하는데 있다.
본 발명에 따른 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템은 반도체 자동화 설비 컴퓨터와 원격지 컴퓨터를 연결하여, 반도체 자동화 설비의 동작을 모니터링 또는 제어하는 신호를 전달하기 위한 원격제어변환기 및 상기 원격제어변환기에서 전달되는 상기 원격지 컴퓨터의 마우스 신호를 반도체 자동화 설비 컴퓨터의 터치판넬 데이터로 변환하여 전달하고, 상기 반도체 자동화 설비의 프론트(front) 및 리어(rear) 컴퓨터 간의 터치판넬 신호를 전달하는 시리얼분배기를 포함하며, 상기 원격제어변환기는 상기 원격지 컴퓨터의 마우스 이벤트 데이터를 시리얼 포트로 출력하는 시리얼포트 출력부, 상기 반도체 자동화 설비 컴퓨터에서 상기 원격지 컴퓨터로 전송되는 공정 데이터 및 설정데이터를 전송 상황 및 상기 원격지 컴퓨터에서 상기 반도체 자동화 설비 컴퓨터로 입력 장치 제어 신호를 전송하는 상황에 따라 상위에서 전달되는 맥(MAC) 주소 및 동일한 아이피(IP) 주소를 설정하여 데이터 송수신 작업을 제어하는 네트워크 전송처리부 및 상기 반도체 자동화 설비의 영상 출력부와 연결되어, 상기 원격지 컴퓨터에서 처리할 수 있는 영상데이터로 변환하는 영상처리부를 포함하며, 상기 원격지 컴퓨터는 원격지 컴퓨터의 마우스 이벤트 발생 시, 마우스 이벤트 발생 지점의 상대 좌표 데이터를 절대 좌표로 변환하는 좌표변환부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템은 원격지 컴퓨터의 마우스 신호를 반도체 자동화 설비 컴퓨터의 시리얼 포트를 통해 전달함으로써, USB/PS2 포트를 지원하지 않는 반도체 자동화 설비도 원격지 컴퓨터의 마우스를 통해 원격 제어 신호 전달이 가능하며, 별도의 IP 할당 작업 없이 반도체 자동화 설비의 동작을 모니터링 또는 제어하는 신호를 실시간으로 전달할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 본 발명에 따른 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템에 있어서, 시리얼분배기의 연결 상태를 나타내는 개념도.
도 2는 본 발명에 따른 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템에 있어서, 원격제어변환기의 상세 구성도.
도 3은 본 발명에 따른 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템에 있어서, 시리얼분배기의 신호 전달 과정을 나타내는 개념도.
도 4는 본 발명에 따른 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템에 있어서, 마우스 상대 좌표 및 절대 좌표의 개념을 나타내는 개념도.
도 5는 본 발명에 따른 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템에 있어서, 시리얼분배기의 통신 속도를 나타내는 실시예.
도 6은 본 발명에 따른 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템에 있어서, 시리얼분배기의 입력 신호 발생에 따른 출력 신호 발생 과정을 나타내는 도면.
도 7은 본 발명에 따른 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템에 있어서, 원격제어변환기의 네트워크 전송처리부의 IP 공유 개념을 나타내는 도면.
도 8 및 도 9는 본 발명에 따른 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템에 있어서, 원격제어변환기의 네트워크 전송처리부의 동작을 설명하는 일실시예 도면.
도 10은 본 발명에 따른 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템에 있어서, 영상처리부의 상세 구성도.
도 11은 본 발명에 따른 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템에 있어서, 영상처리부의 동작을 나타내는 개념도.
도 12는 종래 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템에 있어서, USB/PS2 포트 미지원에 따른 문제점을 설명하는 개념도.
도 13은 종래 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템에 있어서, RCS 적용에 따른 IP 자동 할당 및 IP 증설의 문제점을 설명하는 개념도.
이하, 본 발명에 따른 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템을 실시하기 위한 구체적인 내용을 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템은 반도체 자동화 설비 컴퓨터와 원격지 컴퓨터를 연결하여, 반도체 자동화 설비의 동작을 모니터링 또는 제어하는 신호를 전달하기 위한 원격제어변환기 및 상기 원격제어변환기에서 전달되는 상기 원격지 컴퓨터의 마우스 신호를 반도체 자동화 설비 컴퓨터의 터치판넬 데이터로 변환하여 전달하고, 상기 반도체 자동화 설비의 프론트(front) 및 리어(rear) 컴퓨터 간의 터치판넬 신호를 전달하는 시리얼분배기를 포함한다.
도 1은 본 발명에 따른 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템에 있어서, 시리얼분배기(20), 원격제어변환기(30) 및 원격지 컴퓨터(40)의 연결 상태를 나타내는 도면으로, 본 발명에 따른 상기 시리얼분배기(20)는 반도체 자동화 설비에 있어서, USB/PS2 포트가 지원되지 않고, 모니터의 터치 신호를 시리얼 포트로 전달하는 리어(Rear) 컴퓨터(11) 및 프론트(Front) 컴퓨터(12)와 각각 연결되며, 원격제어변환기(30)의 시리얼포트 출력부(31)와 연결된다.
본 발명에 따른 상기 리어 컴퓨터(11)는 반도체 자동화 설비를 제어하는 시스템을 탑재하고 있으며, 모니터 터치 신호를 상기 프론트 컴퓨터(12)에 전달하며, 본 발명에 있어서, 원격지 컴퓨터(40)는 마우스 이벤트 발생 시, 마우스 이벤트 발생 지점의 상대 좌표 데이터를 절대 좌표로 변환하는 좌표변환부(41)를 포함한다.
또한, 본 발명에 따른 상기 원격제어변환기(30)는 도 2에 도시된 바와 같이, 시리얼포트 출력부(31), 네트워크 전송처리부(32) 및 영상처리부(33)를 포함하며, 상기 시리얼포트 출력부(31)는 원격지 컴퓨터(40)의 마우스 이벤트 발생에 따른 마우스 포인트 신호를 상기 시리얼분배기(20)에 전달하는 역할을 한다.
도 3은 본 발명에 있어서, 상기 원격지 컴퓨터(40)의 마우스 이벤트 발생에 따른 신호 전달 과정을 나타내는 도면으로, 먼저 원격지 컴퓨터(40)에서 마우스 이벤트가 발생하면, 상기 좌표변환부(41)를 통해 마우스 이동에 따른 상대좌표 데이터를 절대좌표 데이터로 변환한다.
본 발명에 따른 상대좌표 데이터는 도 4의 (a)에 도시된 바와 같이, 기준점에서 이동한 좌표값 즉, △x, △y 값으로 산출되고, 산출된 상대좌표 데이터는 원격지 컴퓨터(40)에 전달되어 디스플레이 상에 표시된다. 또한, 본 발명에 있어서, 절대좌표 데이터는 도 4의 (b)에 도시된 바와 같이, 모니터의 x축 및 y 축의 원점(0, 0)에서 시작하여, 각 축의 말단(0×FFF, 0×FFFF)까지 일정 간격으로 설정된 좌표값으로, 모니터의 특정 지점에 관하여 고유의 좌표값(예-200, 300)으로 표현할 수 있다.
상기 좌표 변환부(41)를 통해 절대좌표 데이터로 변환된 마우스 신호는 이더넷(Ethernet)을 통해 상기 원격제어변환기(30)에 전달되고, 상기 원격제어변환기(30)의 시리얼포트 출력부(31)를 통해 시리얼분배부(20)에 전달된다.
또한, 상기 시리얼분배부(20)는 전달받은 절대좌표 데이터를 터치판넬 데이터로 변환하고, 기존의 리어(Rear) 컴퓨터(11) 및 프론트(Front) 컴퓨터(12) 간의 일대일 모니터 터치 신호인 터치판넬 데이터 간의 우선순위를 판단하여, 프론트(Front) 컴퓨터(12)에 터치판넬 데이터를 전달한다.
도 5는 본 발명에 따른 상기 시리얼분배부(20)의 일실시예를 나타내는 도면으로, 적어도 세 개 이상의 시리얼 포트를 연결하는 젠더 형태로 구현되며, 상기 리어 컴퓨터(11)의 RS-232C 포트와 연결되는 제1단자(21), 프론트 컴퓨터(12)의 RS-232C 포트와 연결되는 제2단자(22) 및 상기 원격제어변환기의 RS-232C 포트와 연결되는 제3단자(23)를 포함하며, 본 발명의 실시예에서 상기 리어 컴퓨터(11)에서 상기 프론트 컴퓨터(12)간의 일대일 터치 신호 전달에 따른 통신 속도는 9.6Kbps로 측정되고, 상기 원격제어변환기(30)에서 상기 시리얼분배부(20)간의 절대좌표 데이터 전송에 따른 통신 속도는 57Kbps로 측정되었다.
도 6은 본 발명에 따른 시리얼분배부의 입력 신호에 따른 출력 신호 발생 개념을 나타내는 실시예로 상기 리어 컴퓨터(11)와 연결된 제1단자(21)를 총 3번(제1신호, 제3신호, 제5신호)의 터치 신호가 입력되고, 상기 원격제어변환기(30)와 연결된 제3단자(23)를 통해 총 3번(제2신호, 제4신호, 제6신호)의 원격지 마우스 신호가 입력되면 입력 시간을 우선순위로 인식하여, 제1신호 내지 제6신호를 일정한 시간간격(본 발명의 실시예에서는 10ms임)으로 순차적으로 출력함으로써, 리어 컴퓨터(11)의 터치 신호 및 원격지 컴퓨터(40)의 마우스 신호의 누락 없이 상기 프론트 컴퓨터(12)에 전달이 가능하다.
이처럼 본 발명에 따른 시리얼분배기(20)의 구성을 통해 원격지의 PC와 리눅스(Linux), 링크스(Lynx), 터치스크린(Touch screen), 비윈도우와 같은 비PC 기반의 반도체 자동화 설비와의 통신이 가능하고, 반도체 자동화 설비 시스템에 PS/2, 또는 USB 마우스 포트가 지원되지 않아도 원격지의 마우스 신호를 전달할 수 있으며, 반도체 자동화 설비별 통신 프로토콜에 따라 자체적인 대응이 가능한 장점이 있는 것이다.
도 7은 본 발명에 따른 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템에 있어서, 상기 원격제어변환기(30)의 네트워크 전송처리부(32)의 IP 공유 개념을 나타내는 도면으로 상기 네트워크 전송처리부(32)는 상기 반도체 자동화 설비의 공정 데이터 및 설정데이터를 전송하는 포트와 상기 원격지 컴퓨터에서 전송된 입력 장치 제어 신호를 상기 반도체 자동화 설비 컴퓨터로 전달하는 포트를 동일한 아이피(IP) 주소로 통신하도록 한다.
이러한 본 발명에 따른 상기 네트워크 전송처리부(32)의 동작을 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 8은 상기 원격지 컴퓨터(40)에서 상기 반도체 자동화 설비 컴퓨터(10)로 데이터를 전송하는 동작을 나타내는 도면으로, 본 발명에 따른 상기 원격제어변환기(30)는 상기 네트워크 전송처리부(32)를 통해 상위 통신부인 호스트(50)의 맥(MAC) 주소(00-00-00-00-00-00-12-34)와 공인 아이피(IP) 주소(10.10.10.1)를 동시에 설정한다. 이 경우, 타겟 맥(Target MAC)은 상기 반도체 자동화 설비의 맥이 되고 소스 맥(Source MAC)은 호스트의 맥이 되므로, 상기 반도체 자동화 설비 컴퓨터(10)가 호스트의 맥을 체크함에 따라 호스트와 MAC/IP가 동일한 상기 원격제어변환기(30)를 상기 호스트로 인식하게 되어 정상적인 통신이 가능하다.
또한, 도 9는 상기 반도체 자동화 설비 컴퓨터(10)에서 상기 원격지 컴퓨터(40)로 데이터를 전송하는 동작을 나타내는 도면으로, 본 발명에 따른 상기 원격제어변환기(30)는 상기 네트워크 전송처리부(32)를 통해 상기 반도체 자동화 설비 컴퓨터(10)의 맥(MAC) 주소(00-00-00-00-00-00-AA-AA)와 공인 아이피(IP) 주소(10.10.10.100)를 동시에 설정한다. 이 경우, 타겟 맥(Target MAC)은 상기 호스트의 맥이 되고 소스 맥(Source MAC)은 반도체 자동화 설비 컴퓨터의 맥이 되므로, 호스트(50)가 상기 반도체 자동화 설비 컴퓨터(10)의 맥을 체크함에 따라 반도체 자동화 설비 컴퓨터(10)와 MAC/IP가 동일한 상기 원격제어변환기(30)를 상기 반도체 자동화 설비 컴퓨터(10)로 인식하게 되어 정상적인 통신이 가능한 것이다.
이처럼 본 발명에 따른 상기 네트워크 전송처리부(32)는 맥주소의 통신 방식과 IP 복사 통신 방식을 동시에 사용하므로, 원격지 컴퓨터에 전달되는 데이터와 하부 반도체 자동화 설비로 전달되는 데이터를 분리할 수 있으며, 상위에서 전달되는 공인 IP만을 사용한 통신이 가능하며, 종래와 같이 공인 IP의 증설이 필요하지 않은 장점이 있다.
도 10은 본 발명에 따른 상기 영상처리부(33)는 반도체 자동화 설비(10)에서 출력되는 영상 데이터를 전달받아 상기 원격지 컴퓨터(40)에서 처리할 수 있는 영상데이터로 변환시키는 역할을 하며, 영상데이터 분배부(331), 영상인코딩부(332), 영상데이터 전송부(333) 및 영상캡처부(334)를 포함한다.
상기 영상데이터 분배부(331)는 상기 반도체 자동화 설비(10)의 VGA(Video graphic array) 출력을 입력받아 설정된 영상 스케일로 변환 후, 모니터 장치에 분배하는 역할을 하며, 상기 영상인코딩부(332)는 16,8,4,2,1 비트 비디오 인코딩으로 출력된 영상을 압축(H.264 영상 압축 기술 적용)하고, 색심도(color depth)를 설정하는 역할을 한다.
또한, 상기 영상데이터 전송부(333)는 상기 영상인코딩부(332)에서 압축된 영상데이터를 외부로 전송하는 역할을 하며, 상기 영상캡처부(334)는 상기 영상인코딩부(333)와 연결되어, 상기 반도체 자동화 설비(10)의 출력 영상을 캡처하는 역할을 한다.
도 11은 상기 영상처리부(33)의 동작을 나타내는 흐름도로, 이러한 영상처리부(33)를 통해 상기 반도체 자동화 설비(10)에서 출력되는 영상데이터를 압축하여, 왜곡 없는 영상 데이터를 상기 원격지 컴퓨터(40)에 제공할 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템을 적용 시, 원격지 컴퓨터의 마우스 신호를 반도체 자동화 설비 컴퓨터의 시리얼 포트를 통해 전달함으로써, USB/PS2 포트를 지원하지 않는 반도체 자동화 설비도 원격지 컴퓨터의 마우스를 통해 원격 제어 신호 전달이 가능하며, 별도의 IP 할당 작업 없이 반도체 자동화 설비의 동작을 모니터링 또는 제어하는 신호를 실시간으로 전달할 수 있는 것이다.
이상 본 발명의 실시예로 설명하였으나 본 발명의 기술적 사상이 상기 실시예로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범주에서 다양한 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템으로 구현할 수 있다.
3 : 종래 RCS
10 : 반도체 자동화 설비
11 : 반도체 자동화 설비에 있어서, 리어(Rear) 컴퓨터
12 : 반도체 자동화 설비에 있어서, 프론트(Front) 컴퓨터
20 : 시리얼분배기
21 : 제1단자
22 : 제2단자
23 : 제3단자
30 : 원격제어변환기
31 : 시리얼포트 출력부
32 : 네트워크 전송처리부
33 : 영상처리부
40 : 원격지 컴퓨터
41 : 좌표변환부
50 : 호스트
100 : 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템
331 : 영상데이터 분배부
332 : 영상인코딩부
333 : 영상데이터 전송부
334 : 영상캡처부

Claims (7)

  1. 반도체 자동화 설비 컴퓨터와 원격지 컴퓨터를 연결하여, 반도체 자동화 설비의 동작을 모니터링 또는 제어하는 신호를 전달하기 위한 원격제어변환기 및
    상기 원격제어변환기에서 전달되는 상기 원격지 컴퓨터의 마우스 신호를 반도체 자동화 설비 컴퓨터의 터치판넬 데이터로 변환하여 전달하고, 상기 반도체 자동화 설비의 프론트(front) 및 리어(rear) 컴퓨터 간의 터치판넬 신호를 전달하는 시리얼분배기를 포함하며,
    상기 원격제어변환기는,
    상기 원격지 컴퓨터의 마우스 이벤트 데이터를 시리얼 포트로 출력하는 시리얼포트 출력부;
    상기 반도체 자동화 설비 컴퓨터에서 상기 원격지 컴퓨터로 전송되는 공정 데이터 및 설정데이터를 전송 상황 및 상기 원격지 컴퓨터에서 상기 반도체 자동화 설비 컴퓨터로 입력 장치 제어 신호를 전송하는 상황에 따라 상위에서 전달되는 맥(MAC) 주소 및 동일한 아이피(IP) 주소를 설정하여 데이터 송수신 작업을 제어하는 네트워크 전송처리부 및
    상기 반도체 자동화 설비의 영상 출력부와 연결되어, 상기 원격지 컴퓨터에서 처리할 수 있는 영상데이터로 변환하는 영상처리부를 포함하며,
    상기 원격지 컴퓨터는
    원격지 컴퓨터의 마우스 이벤트 발생 시, 마우스 이벤트 발생 지점의 상대 좌표 데이터를 절대 좌표로 변환하는 좌표변환부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 시리얼분배기는,
    상기 원격제어변환기에서 전달된 원격지 컴퓨터의 모니터 상의 마우스 포인터의 절대 좌표를 반도체 자동화 설비 컴퓨터의 터치판넬 데이터로 변환하며,
    상기 터치판넬 데이터는
    상기 원격제어변환기에서 전달된 절대 좌표의 x축, y축 좌표 정보, 터치 상태 정보와 상기 프론트(front) 및 리어(rear) 컴퓨터 간의 일대일 터치 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 시리얼분배기는,
    상기 반도체 자동화 설비 컴퓨터에서 발생하는 터치 신호와 원격지 컴퓨터에서 발생하는 터치 신호에 관하여, 입력 시간을 기준으로 일정 시간 간격으로 출력 신호를 발생시키는 것을 특징으로 하는 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 시리얼분배기는,
    적어도 세 개 이상의 시리얼 포트를 연결하는 젠더 형태이며,
    상기 반도체 자동화 설비 컴퓨터의 리어 컴퓨터의 RS-232C 포트와 연결되는 제1단자;
    상기 반도체 자동화 설비 컴퓨터의 프론트 컴퓨터의 RS-232C 포트와 연결되는 제2단자 및
    상기 원격제어변환기의 RS-232C 포트와 연결되는 제3단자를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 영상처리부는,
    상기 반도체 자동화 설비의 VGA(Video graphic array) 출력을 입력받아 설정된 영상 스케일로 변환 후, 모니터 장치에 분배하는 영상데이터 분배부;
    16,8,4,2,1 비트 비디오 인코딩으로 출력된 영상을 압축하고, 색심도(color depth)를 설정하는 영상인코딩부;
    상기 영상인코딩부와 연결되어, 상기 반도체 자동화 설비의 출력 영상을 캡처하는 영상캡처부 및
    상기 영상인코딩부에서 압축된 영상데이터를 외부로 전송하는 영상데이터 전송부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 네트워크 전송처리부는
    상기 원격지 컴퓨터에서 상기 반도체 자동화 설비에서 데이터를 전송 시, 상위 통신부인 호스트의 맥 주소와 아이피 주소로 설정하는 것을 특징으로 하는 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 네트워크 전송처리부는
    상기 반도체 자동화 설비 컴퓨터에서 상기 원격지 컴퓨터로 데이터를 전송 시, 상기 반도체 자동화 설비 컴퓨터의 맥 주소와 아이피 주소로 설정하는 것을 특징으로 하는 반도체 자동화 설비 실시간 원격 제어 시스템.
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