WO2006009055A1

WO2006009055A1 - サージアブソーバ

Info

Publication number: WO2006009055A1
Application number: PCT/JP2005/012993
Authority: WO
Inventors: Miki Adachi; Toshiaki Ueda
Original assignee: Mitsubishi Materials Corporation
Priority date: 2004-07-15
Filing date: 2005-07-14
Publication date: 2006-01-26
Also published as: TW200625743A; EP1788680A1; EP1788680A4; US7570473B2; US20080049370A1; KR20070034097A

Abstract

　封止工程及び主放電時に高温領域で化学的安定性に優れ、かつ主放電面に対する付着力の優れた酸化物層が被覆されたことにより、長寿命化したサージアブソーバを提供する。　放電ギャップ２を介して導電性被膜３が分割形成された円柱状セラミックス４と、対向配置されて導電性被膜３に接触する一対の主放電電極部材５と、内部に円柱状セラミックス４を封止ガス７と共に封入する筒型セラミックス８とを備え、筒型セラミックス８の内部に、ガラス部材が封入されている。

Description

明細書

サージァブソーバ

技術分野

[0001] 本発明は、サージから様々な機器を保護し、事故を未然に防ぐのに使用するサージァブソーバに関する。

背景技術

[0002] 電話機、ファクシミリ、モデム等の通信機器用の電子機器が通信線との接続する部分、電源線、アンテナ或いは CRT駆動回路等、雷サージや静電気等の異常電流（サージ電流)や異常電圧 (サージ電圧）による電撃を受けやすい部分には、異常電圧によって電子機器やこの機器を搭載するプリント基板の熱的損傷又は発火等による破壊を防止するために、サージァブソーバが接続されて、る。

[0003] 従来、例えばマイクロギャップを有するサージ吸収素子を用いたサージァブソーバが提案されている。このサージァブソーバは、導電性被膜で被覆した円柱状のセラミックス部材の周面に、いわゆるマイクロギャップが形成され、セラミックス部材の両端に一対のキャップ電極を有するサージ吸収素子が封止ガスと共にガラス管内に収容され、円筒状のガラス管の両端にリード線を有する封止電極が高温加熱で封止された放電型サージァブソーバである。

[0004] 近年、このような放電タイプのサージァブソーバにおいても、長寿命化が進んでいる。上記サージァブソーバに適応した例としては、ギャップ電極の主放電が行われる面にキャップ電極よりも放電時の揮散性が低い SnOを被覆層としたものがある。この

2

ようにすることによって、主放電時にキャップ電極の金属成分がマイクロギャップゃガラス管の内壁に飛散することを抑制して長寿命化を図っている（例えば、特許文献 1 参照。）。

[0005] また、機器の小型化に伴い、表面実装化が進んでいる。上記サージァブソーバに適応した例としては、面実装型 (メルフ型）として、封止電極にリード線がなぐ実装するときは封止電極と基板側とをノヽンダ付けで接続して固定するものがある（例えば、特許文献 2参照)。このサージァブソーバ 300は、図 30に示すように、一面に中央の放電ギャップ 151 を介して導電性被膜 152が分割形成された板状セラミックス 153と、この板状セラミツタス 153の両端に配置された一対の封止電極 155と、これら封止電極 155を両端に配して板状セラミックス 153を封止ガス 156と共に封止する筒型セラミックス 157とを備えている。

この封止電極 155は、端子電極部材 158と、この端子電極部材 158と電気的に接続して導電性被膜 152に接触する板パネ導体 159とによって構成されている。

特許文献 1 :特開平 10— 106712号公報（第 5頁、第 1図）

特許文献 2 :特開 2000— 268934号公報（第 1図）

[0006] しかしながら、上記従来のサージァブソーバには、以下の課題が残されている。すなわち、上記従来のサージァブソーバでは、例えば化学蒸着 (CVD)法等の薄膜形成法によって SnO被膜が形成された力 SnO被膜のキャップ電極に対する付着力

2 2

が弱いために、主放電時の SnO被膜の剥離により、 SnO被膜の特性を十分に発

2 2

揮させることができな力つた。

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0007] 本発明は、前述の課題に鑑みてなされたもので、封止工程及び主放電時に高温領域で化学的安定性に優れ、かつ主放電面に対する付着力の優れた酸化物層が被覆されたことにより、長寿命化したサージァブソーバを提供することを目的とする。課題を解決するための手段

[0008] 本発明は、前記課題を解決するために以下の構成を採用した。すなわち、本発明にかかるサージァブソーバは、放電ギャップを介して導電性被膜が分割形成された絶縁性部材と、対向配置されて前記導電性被膜に接触する一対の主放電電極部材と、内部に前記絶縁性部材を封止ガスと共に封入する絶縁性管とを備えるサージァブソーバであって、前記絶縁性管の内部に、ガラス部材が封入されていることを特徴とする。

発明の効果 [0009] この発明によれば、外部から侵入したサージ等の異常電流及び異常電圧は、放電ギャップでの放電をトリガとし、一対の主放電電極部材の対向する面である主放電面間で主放電が行われることで吸収される。ここで、絶縁性部材を封止ガスと共に絶縁性管内に封止する封止工程や主放電時において、ガラス部材が加熱溶融する。これにより、ガラス部材が被覆剤として機能することで、主放電面が溶融したガラス部材で被覆される。また、ガラス部材が酸化剤として機能することで、主放電面を主放電面の金属成分で形成された酸化物層で被覆する。このように、主放電面がガラス部材あるいは酸化物層によって被覆されることで、主放電時に主放電面の金属成分が飛散して放電ギャップや絶縁性管の内壁などに付着することを抑制する。

さらに、主放電によって主放電面を被覆しているガラス部材あるいは酸ィ匕物層が損傷した場合であっても、加熱溶融した他の部分のガラス部材が損傷した箇所を被覆する。

以上より、主放電面の金属成分の飛散が抑制されることで、サージァブソーバの長寿命化が図れる。

また、高温領域でィ匕学的安定性に優れる高価な金属を主放電電極部材として使用する必要がな、ため、主放電電極部材に安価な金属材料を用いることができる。

[0010] また、本発明に力かるサージァブソーバは、前記ガラス部材が、前記絶縁 ¾管の内壁を被覆してヽることが好まヽ。

この発明によれば、封止工程や主放電時において、絶縁性管の内壁を被覆しているガラス部材が加熱溶融して、主放電面を被覆する。また、ガラス部材が酸化剤として機能することで、主放電面が主放電面の金属成分で形成された酸化物層で被覆される。

[0011] また、本発明に力かるサージァブソーバは、前記一対の主放電電極部材の対向する面である主放電面に、酸化処理による酸化膜が形成されてヽることが好ましヽ。この発明によれば、高温領域でィ匕学的安定性に優れた主放電面とすることができる。また、この酸ィ匕膜は主放電面との付着力が優れているので、酸化膜の特性を発揮することができる。

[0012] 本発明にかかるサージァブソーバは、放電ギャップを介して導電性被膜が分割形成された絶縁性部材と、対向配置されて前記導電性被膜に接触する一対の主放電電極部材と、内部に前記絶縁性部材を封止ガスと共に封入する絶縁性管とを備えるサージァブソーバであって、前記絶縁性管の内部に、一方の前記一対の主放電電極部材力他方の該一対の主放電電極部材にわたつて、ガラス部材が装填されて、ることを特徴とする。

[0013] また、本発明に力かるサージァブソーバは、前記ガラス部材が、粒状であることが好ましい。

また、本発明にかかるサージァブソーバは、前記ガラス部材が、発泡ガラスであることが好ましい。

この発明によれば、粒状のガラス部材あるいは発泡ガラスを絶縁性管の内部に装填する。

[0014] また、本発明に力かるサージァブソーバは、前記一対の主放電電極部材の対向する面である主放電面に、酸ィ匕処理による酸ィ匕膜が形成されていることが好ましい。この発明によれば、高温領域でィ匕学的安定性に優れた主放電面とすることができる。また、この酸ィ匕膜は主放電面との付着力が優れているので、酸化膜の特性を発揮することがでさる。

[0015] 本発明にかかるサージァブソーバは、放電ギャップを介して導電性被膜が分割形成された絶縁性部材と、対向配置されて前記導電性被膜に接触する一対の主放電電極部材と、内部に前記絶縁性部材を封止ガスと共に封入する絶縁性管とを備えるサージァブソーバであって、前記一対の主放電電極部材の対向する面である主放電面が、ガラス部材で被覆されてヽることを特徴とする。

[0016] また、本発明に力かるサージァブソーバは、前記一対の主放電電極部材の対向する面である主放電面に、酸化処理による酸化膜が形成されてヽることが好まヽ。この発明によれば、高温領域でィ匕学的安定性に優れた主放電面とすることができる。また、この酸ィ匕膜は主放電面との付着力が優れているので、酸化膜の特性を発揮することができる。

図面の簡単な説明

[0017] [図 1]本発明の第 1の実施形態におけるサージァブソーバを示す断面図である。 [図 2]図 1における主放電電極部材を示すもので、（a)は平面図、（b)は（a)の X— X 線矢視断面図である。

[図 3]図 1のサージァブソーバを基板上に実装したときの断面図である。

圆 4]本発明の第 2の実施形態におけるサージァブソーバを示す断面図である。圆 5]本発明の第 3の実施形態におけるサージァブソーバを示す断面図であ圆 6]本発明の第 4の実施形態におけるサージァブソーバを示す断面図である。圆 7]本発明の第 5の実施形態におけるサージァブソーバを示す断面図である。圆 8]本発明の第 5の実施形態の変更例 1のサージァブソーバを示す断面図である。圆 9]本発明の第 5の実施形態の変更例 2のサージァブソーバを示す断面図である。圆 10]本発明の第 5の実施形態の変更例 3のサージァブソーバを示す断面図である圆 11]本発明の第 6の実施形態におけるサージァブソーバを示すもので、 (a)は断面図、（b)は主放電電極部材と円柱状セラミックスとの接触部分の拡大図である。

[図 12]本発明の第 6の実施形態の変更例 1のサージァブソーバを示すもので、（a)は断面図、（b)は主放電電極部材と円柱状セラミックスとの接触部分の拡大図である。

[図 13]本発明の第 6の実施形態の変更例 2のサージァブソーバを示すもので、（a)は断面図、 (b)は端子電極部材とキャップ電極との接触部分の拡大図である。

圆 14]本発明の第 7の実施形態におけるサージァブソーバを示すもので、 (a)は断面図、 (b)は端子電極部材とキャップ電極との接触部分の拡大図である。

[図 15]本発明の第 7の実施形態の変更例 1のサージァブソーバを示すもので、（a)は断面図、 (b)は端子電極部材とキャップ電極との接触部分の拡大図である。

[図 16]本発明の第 7の実施形態の変更例 2のサージァブソーバを示すもので、（a)は断面図、 (b)は端子電極部材とキャップ電極との接触部分の拡大図である。

[図 17]本発明の第 7の実施形態の変更例 3のサージァブソーバを示すもので、（a)は断面図、 (b)は端子電極部材とキャップ電極との接触部分の拡大図である。

圆 18]本発明にかかる第 8の実施形態におけるサージァブソーバを示す断面図である。

圆 19]本発明にかかる第 8の実施形態の変更例 1のサージァブソーバを示す断面図である。

圆 20]本発明の第 8の実施形態の変更例 2のサージァブソーバを示す断面図である圆 21]本発明の第 8の実施形態の変更例 3のサージァブソーバを示す断面図である

[図 22]本発明に力かる実施例におけるサージ電流の時間と電流値との関係を示すグラフである。

圆 23]本発明の第 5の実施形態の実施例におけるサージァブソーバの放電回数と放電開始電圧との関係を示すグラフである

[図 24]本発明の第 5の実施形態の変更例 2の実施例におけるサージァブソーバの放電回数と放電開始電圧との関係を示すグラフである。

[図 25]本発明の第 5の実施形態の変更例 3の実施例におけるサージァブソーバの放電回数と放電開始電圧との関係を示すグラフである。

圆 26]本発明の実施形態以外の、本発明を適用可能なサージァブソーバを示す断面図である。

圆 27]同じぐ本発明の実施形態以外の、本発明を適用可能なサージァブソーバを示す断面図である。

圆 28]本発明の実施形態以外の、本発明を適用可能なサージァブソーバを示す断面図である。

圆 29]本発明の実施形態以外の、本発明を適用可能なサージァブソーバを示す断面図である。

[図 30]従来のサージァブソーバを示す断面図である。

符号の説明

1、 20、 30、 40、 50、 60、 70、 80、 90、 100、 110、 120、 130、 140、 150、 160、 1 70、 180、 190、 200、 210、 220、 230、 300 サージアブノーノ

2、 151 放電ギャップ

3、 152 導電性被膜

4 円柱状セラミックス (絶縁性部材） 5、 31、 51、 71、 91、 155 主放電電極部材

5A 周縁部

6 円筒状ガラス部材

7、 156 封止ガス

8、 157 筒型セラミックス (絶縁性管）

10A、 33A、 159A 主放電面

10B、 33B、 92C、 159B 酸ィ匕膜

21 ガラス被膜 (ガラス部材）

11、 25、 43、 110 ガラス被膜 (ガラス部材）

92A 底面（主放電面）

106 粒状ガラス部材

111 板状ガラス部材

153 板状セラミックス (絶縁性部材）

155 封止電極（主放電電極部材）

発明を実施するための最良の形態

[0019] 以下、本発明にかかるサージァブソーバの第 1の実施形態を、図 1から図 3を参照しながら説明する。

本実施形態によるサージァブソーバ 1は、図 1に示すように、いわゆるマイクロギヤップを使用した放電型サージァブソーバであって、周面に中央の放電ギャップ 2を介して導電性被膜 3が分割形成された円柱状セラミックス (絶縁性部材) 4と、この円柱状セラミックス 4の両端に対向配置されて導電性被膜 3に接触する一対の主放電電極部材 5と、一対の主放電電極部材 5を両端に配して、円柱状セラミックス 4及び円筒状ガラス部材 6を内部に所望の電気特性を得るために組成などを調整された、例えば、 Ar (アルゴン)などの封止ガス 7と共に封入する筒型セラミックス (絶縁性管） 8とを備えている。

[0020] 円柱状セラミックス 4は、ムライト焼結体等のセラミックス材料力もなり、表面に導電性被膜 3として物理蒸着 (PVD)法、化学蒸着 (CVD)法の薄膜形成技術による TiN ( 窒化チタン)などの薄膜が形成されて、る。放電ギャップ 2は、レーザカット、ダイシング、エッチングなどの加工によって 0. 01 力 1. 5mmの幅で 1から 100本形成される力本実施形態では、 150 /z mのものを 1本形成している。

[0021] 一対の主放電電極部材 5は、 Fe (鉄）、 Ni (ニッケル）、及び Co (コバルト）の合金であるコバール (KOVAR：登録商標）で構成されて、る。

この一対の主放電電極部材 5は、図 2に示すように、それぞれ筒型セラミックス 8の端面とロウ材 9で接着される縦横比が 1以下とされた長方形状の周縁部 5Aと、筒型セラミックス 8の内側且つ軸方向に突出すると共に円柱状セラミックス 4を支持する突出支持部 10とを備え、突出支持部 10に囲まれて円柱状セラミックス 4の端部に対向する位置には中央領域 5Bが形成されている。

突出支持部 10は、径方向内側面と円柱状セラミックス 4の端部とを圧入又は嵌合させやすいように、径方向内側面がわずかにテーパ形状を有することが望ましい。また、突出支持部 10の先端の互いに対向する面が主放電面 10Aとされて、る。

ここで、主放電電極部材 5の主放電面 10Aに、大気中で 500°C、 30分間酸化処理を行うことにより平均膜厚 0. 6 mの酸ィ匕膜 10Bが形成されている。

[0022] 円筒状ガラス部材 6は、円筒形状であって、 SiO (酸化ケィ素）を含有しており、

2 一対の主放電電極部材 5の主放電面 10Aの間に配置されている。なお、この円筒状ガラス部材 6は、主放電電極部材 5及び筒型セラミックス 8によって形成された放電空間の圧力に影響を及ぼすことがな、ように構成されて！、る。

[0023] 筒型セラミックス 8は、例えば Al O (アルミナ）等の絶縁性セラミックス力なり、断

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面長方形を有し、両端面外形が周縁部 5Aの外周寸法とほぼ一致して、る。

[0024] 次に、以上の構成力なる本実施形態のサージァブソーバ 1の製造方法について説明する。

まず、一対の主放電電極部材 5を抜き打ち加工によって所望の形状に一体成形する。そして、主放電面 10Aに対し、大気中で 500°C、 30分間酸化処理を行うことにより平均膜厚 0. 6 μ mの酸化膜 10Bを形成する。

[0025] 続いて、筒型セラミックス 8の両端面に、ロウ材 9とのぬれ性を向上させるために、例えば、 Mo (モリブデン）—W (タングステン)層と Ni層とを各 1層ずつ備えるメタライズ層を形成する。

そして、一方の主放電電極部材 5の中央領域 5B上に、円柱状セラミックス 4を載置して径方向内側面と円柱状セラミックス 4の端面とを接触させる。また、円筒状ガラス部材 6を主放電面 10A上に載置する。その後、周縁部 5Aと筒型セラミックス 8の端面との間にロウ材 9を挟んだ状態で、筒型セラミックス 8を他方の主放電電極部材 5の周縁部 5A上に載置する。

さらに、円柱状セラミックス 4の上方が中央領域 5Bと対向するように主放電電極部材 5を載置して径方向内側面と主放電電極部材 5とを接触させる。そして、周縁部 5A と筒型セラミックス 8の端面との間にロウ材 9を挟んだ状態とする。

[0026] 上述のように仮組した状態で十分に真空引きを行った後、封止ガス雰囲気として口ゥ材 9が溶融するまで加熱し、ロウ材 9の溶融により円柱状セラミックス 4を封止し、その後急速に冷却を行う。以上のようにして、サージァブソーバ 1を製造する。

このようにして製造したサージァブソーバ 1を、例えば、図 3に示すように、プリント基板等の基板 B上に筒型セラミックス 8の一側面である実装面 8Aを基板 B上に載置し、基板 Bと一対の主放電電極部材 5の外面とをノヽンダ Sによって接着固定して使用する

[0027] このように構成されたサージァブソーバ 1によれば、封止工程や主放電時において加熱溶融した円筒状ガラス部材 6が被覆剤として機能することで、主放電面 10Aがガラス部材で被覆されると共に、円筒状ガラス部材 6が酸化剤として機能することで、主放電面 10Aが主放電面 10Aの金属成分で形成された酸化物層で被覆される。これにより、主放電時に主放電面 10Aの金属成分が飛散して放電ギャップ 2や筒型セラミックス 8の内壁などに付着することを抑制できる。また、主放電面 10Aに高温領域で化学的 (熱力学的）に安定した酸ィ匕膜 10Bが形成されていることによつても、主放電面 10Aの金属成分の飛散を抑制できる。さらに、主放電によって主放電面 10Aを被覆して、るガラス部材あるいは酸ィ匕膜 10Bが損傷した場合であっても、加熱溶融した他の部分の円柱状ガラス部材 6によって損傷した箇所が被覆される。したがって、サージァブソーバ 1の長寿命化が図れる。

また、高温領域で化学的安定性に優れる高価な金属を主放電電極部材 5として使用する必要がなヽため、本発明では主放電電極部材 5に安価な金属材料を用いることがでさる。

[0028] 次に、第 2の実施形態について、図 4を参照しながら説明する。

なお、ここで説明する実施形態はその基本的構成が上述した第 1の実施形態と同様であり、上述の第 1の実施形態に別の要素を付加したものである。したがって、図 4 においては、図 1と同一構成要素に同一符号を付し、この説明を省略する。

[0029] 第 2の実施形態と第 1の実施形態との異なる点は、第 1の実施形態では円筒状ガラス部材 6がー対の主放電面 10Aの間に配置されている力第 2の実施形態におけるサージァブソーバ 20は、筒型セラミックス 8の内壁がガラス被膜 (ガラス部材） 21によつて被覆されて、る点である。

[0030] このように構成されたサージァブソーバ 20は、上述した第 1の実施形態におけるサージァブソーバ 1と同様の作用、効果を有する。

[0031] 次に、第 3の実施形態について、図 5を参照しながら説明する。

なお、上述した第 2実施例と同様、ここで説明する実施形態はその基本的構成が上述した第 1の実施形態と同様であるため、図 5においても、図 1と同一構成要素に同一符号を付し、この説明を省略する。

[0032] 第 3の実施形態と第 1の実施形態との異なる点は、第 1の実施形態では円筒状ガラス部材 6がー対の主放電面 10Aの間に配置されている力第 3の実施形態におけるサージァブソーバ 30は、 SiO (酸ィ匕ケィ素）を含有する粒状ガラス部材 106が、主放

2

電電極部材 5及び筒型セラミックス 8によって形成される放電空間内に、一対の主放電電極部材 5の一方力も他方にわたって装填されている点である。

[0033] このように構成されたサージァブソーバ 30は、上述した第 1の実施形態におけるサージァブソーバ 1と同様の作用、効果を有すると共に、筒型セラミックス 8の内部に粒状ガラス部材 106を装填することによって、高い放電開始電圧を有するサージアブソーバとすることができる。

[0034] 次に、第 4の実施形態について、図 6を参照しながら説明する。

なお、上述した第 2実施例と同様、ここで説明する実施形態はその基本的構成が上述した第 1の実施形態と同様であるため、図 6においても、図 1と同一構成要素に同一符号を付し、この説明を省略する。

[0035] 第 4の実施形態と第 1の実施形態との異なる点は、第 1の実施形態では円筒状ガラス部材 6がー対の主放電面 1 OAの間に配置されて、るが、第 4の実施形態におけるサージァブソーノ Oは、主放電面 10Aの表面にガラスペーストを印刷'焼成することにより、 SiO (酸ィ匕ケィ素）を含有するガラス被膜 (ガラス部材） 11が被覆されている

2

点である。また、ガラスを被膜する方法としては、物理蒸着 (PVD)法や印刷'焼成法などを使用している。

[0036] このように構成されたサージァブソーノ 0によれば、主放電面 10Aがガラス被膜 1 1及び高温領域で化学的 (熱力学的）に安定した酸ィ匕膜 10Bによって被覆されていることで、主放電時に主放電面 10Aの金属成分が飛散して放電ギャップ 2や筒型セラミックス 8の内壁などに付着することを抑制できる。また、主放電時に、ガラス被膜 1 1及び酸ィ匕膜 10Bが損傷しても、加熱溶融した他の部分のガラス被膜 11が被覆剤として機能することで、この損傷箇所を被覆すると共に、酸化剤として機能することで、主放電面 10Aの金属成分で形成された酸化物層で被覆する。これによつても、主放電面 10Aの金属成分の飛散が抑制される。したがって、サージァブソーバの長寿命化が図れる。

また、上述した第 1の実施形態と同様、高温領域で化学的安定性に優れる高価な金属を主放電電極部材 5として使用する必要がな、ため、本発明では主放電電極部材 5に安価な金属材料を用いることができる。

[0037] 次に、第 5の実施形態について、図 7を参照しながら説明する。

なお、ここで説明する実施形態はその基本的構成が上述した第 1の実施形態と同様であり、上述の第 1の実施形態に別の要素を付加したものである。したがって、図 7 においては、図 1と同一構成要素に同一符号をし、この説明を省略する。

[0038] 第 5の実施形態と第 1の実施形態との異なる点は、第 1の実施形態では主放電電極部材 5の突出支持部 10によって円柱状セラミックス 4が支持された構成であるのに対して、第 5の実施形態におけるサージァブソーバ 50は、主放電電極部材 31が第 1 の実施形態における主放電電極部材 5と同様の構成である端子電極部材 32とキヤップ電極 33とを有しており、円柱状セラミックス 4がキャップ電極 33を介して端子電極部材 32に設けられた突出支持部 34に支持されている点である。

[0039] 一対のキャップ電極 33は、円柱状セラミックス 4よりも硬度が低ぐ塑性変形できる、例えばステンレス等の金属力なり、外周部が端子電極部材 32の突出支持部 34の先端よりも軸方向内方に延びて断面略 U字状に形成され、主放電面 33Aとされて、る。

この一対のキャップ電極 33の表面は、所定酸素濃度に制御された還元雰囲気で 7 00°C、 40分間酸ィ匕処理を行うことにより、酸化膜 33Bが 0. 6 m形成されている。

[0040] 次に、以上の構成力もなる本実施形態のサージァブソーバ 50の製造方法について説明する。

まず、一対の端子電極部材 32に対し焼鈍処理を施した後、抜き打ち加工によって一体成形する。

そして、一対のキャップ電極 33の表面に、所定酸素濃度に制御された還元雰囲気で 700°C、 40分間酸ィ匕処理を行うことにより酸ィ匕膜 33Bを形成する。

その後、一対のキャップ電極 33を円柱状セラミックス 4の両端に係合させ、第 1の実施形態と同様の方法でサージァブソーバ 50を製造する。

[0041] このように構成されたサージァブソーバ 50は、上述した第 1の実施形態に力かるサージァブソーバ 1と同様の作用、効果を有する力円柱状セラミックス 4よりも硬度の低いキャップ電極 33が円柱状セラミックス 4と突出支持部 34との両面に密着して良好な接触面が得られる。これにより、十分なォーミックコンタクトを得ることができ、サージァブソーバ 50の放電開始電圧などの電気特性が安定する。

[0042] なお、本実施形態の変更例 1として、上述した第 2の実施形態と同様に、図 8に示すように、筒型セラミックス 8の内壁を被覆するガラス被膜 21が設けられたサージアブソーバ 60であってもよぐこのような構成であっても、上述と同様の効果を得ることができる。

[0043] また、本実施形態の変更例 2として、上述した第 3実施形態と同様に、図 9に示すように、筒型セラミックス 8の内部に粒状ガラス部材 106を装填したサージァブソーバ 70 であってもよぐこのような構成であっても、上述と同様の効果を得ることができる。

[0044] さらに、本実施形態の変更例 3として、上述した第 4の実施形態と同様に、図 10に示すように、主放電面 33Aの表面に、物理蒸着 (PVD)法によりガラス被膜 25を被覆するサージァブソーバ 80であってもよぐこのような構成であっても、上述と同様の効果を得ることができる。

[0045] 次に、第 6の実施形態について、図 11を参照しながら説明する。

なお、ここで説明する実施形態は、その基本的構成が上述した第 1の実施形態と同様であり、上述の第 1の実施形態に別の要素を付加したものである。したがって、図 1 1においては、図 1と同一構成要素に同一符号を付し、この説明を省略する。

[0046] 第 6の実施形態と第 1の実施形態との異なる点は、第 1の実施形態では主放電電極部材 5がー体的に形成された突出支持部 10を有しているのに対して、第 6の実施形態におけるサージァブソーバ 90では、図 11 (a)に示すように、主放電電極部材 51 が平板状となってヽる点である。

[0047] そして、この一対の主放電電極部材 51の互いに対向する内面には、ロウ材 53が塗布されている。

このロウ材 53は、図 11 (b)に示すように、一対の主放電電極部材 51と円柱状セラミックス 4との接触面に形成された間隙 54を埋める充填部 55と、円柱状セラミックス 4の両端で円柱状セラミックス 4の外周面を保持する保持部 56とを備えている。なお、この間隙 54は、一対の主放電電極部材 51と円柱状セラミックス 4とに寸法精度、傷、加ェ時の変形などによって発生した凹凸によって形成されたものである。

保持部 56は、主放電電極部材 51と円柱状セラミックス 4とを接触させた際に、ロウ材 53が円柱状セラミックス 4の外周面を覆うように盛り上がることによって形成されている。

なお、この保持部 56の盛り上がり高さ hは、主放電電極部材 51の端面から盛り上がり最上部までの寸法であり、この最上部が主放電部となるために、所定の寿命特性によって規定されている。

[0048] 次に、以上の構成力もなる本実施形態のサージァブソーバ 90の製造方法について説明する。

まず、主放電電極部材 51の一面に保持部 56を形成するのに十分な量のロウ材 53 を塗布し、主放電電極部材 51の中央領域上に、円柱状セラミックス 4を載置して主放電電極部材 51と円柱状セラミックス 4とを接触させる。次に、円筒状ガラス部材 6を載置して、筒型セラミックス 8の端面を載置する。

さらに、筒型セラミックス 8のもう一方の端面にロウ材 53が塗布されたもう一方の主放電電極部材 51を載置することで仮組みの状態とする。

[0049] 続、て、封止工程につ!、て説明する。上述のように仮組みした状態の素子を封止ガス雰囲気中で加熱処理することで、ロウ材 53が溶融し、主放電電極部材 51と円柱状セラミックス 4とが密着する。このとき、溶融によりロウ材 53の充填部 55が、円柱状セラミックス 4と主放電電極部材 51との間に存在する間隙 54を埋める。また、ロウ材 5 3の表面張力により形成された保持部 56が、円柱状セラミックス 4の両端部を埋め込むようにして保持する。

その後、上述した第 1の実施形態と同様に冷却工程を行ってサージアブノーノ 90 を製造する。

[0050] このサージァブソーバ 90は、上述した第 1の実施形態に力かるサージァブソーバ 1 と同様の作用、効果を有するが、寸法精度、傷、加工時の変形などによって主放電電極部材 51と円柱状セラミックス 4との接触面に形成された間隙 54をロウ材 53で埋めることにより、主放電電極部材 51と円柱状セラミックス 4との接触面積が増大する。これにより、十分なォーミックコンタクトを得ることができ、サージァブソーバ 90の放電開始電圧などの電気特性が安定する。

[0051] なお、本実施形態の変更例 1として、、上述した第 2の実施形態と同様に、図 12に示すように、筒型セラミックス 8の内壁を被覆するガラス被膜 21が設けられたサージァブソーバ 100であってもよい。このような構成であっても、上述と同様の作用、効果を得ることができる。

[0052] また、本実施形態の変更例 2として、上述した第 3実施形態と同様に、図 13に示すように、筒型セラミックス 8の内部に粒状ガラス部材 106を装填したサージァブソーバ 110であってもよい。このような構成であっても、上述と同様の作用、効果を得ることができる。

[0053] なお、本実施の形態において、ロウ材 53と同じ部材によって保持部 56及び充填部 55を形成していた力充填部 55がロウ材 53とは異なる材料によって形成されていてもよぐ例えば活性銀ロウのように円柱状セラミックス 4と主放電電極部材 51とを接着可能である導電性の接着剤であってもよい。このようにすることで、円柱状セラミックス 4と主放電電極部材 51とが接着し、主放電電極部材 51と導電性被膜 3とのより十分なォーミックコンタクトを得ることができる。したがって、サージァブソーバ 50の放電開始電圧などの電気特性が安定する。

また、保持部 56も充填部 55と同様にロウ材 53とは異なる材料で形成されてもよぐ例えばロウ材 53や活性銀ロウに対してぬれにくいガラス材を用いてもよい。このようにすることで、円柱状セラミックス 4がより確実に主放電電極部材 51の中央付近またはその周辺部に固定される。

[0054] 次に、第 7の実施形態について、図 14を参照しながら説明する。

なお、ここで説明する実施形態は、その基本的構成が上述した第 6の実施形態と同様であり、上述の第 6の実施形態に別の要素を付加したものである。したがって、図 1 4においては、図 11と同一構成要素に同一符号を付し、この説明を省略する。

[0055] 第 7の実施形態と第 6の実施形態との異なる点は、第 6の実施形態では平板状の主放電電極部材 51のみによって構成されているのに対して、第 7の実施形態におけるサージァブソーバ 120では、図 14 (a)に示すように、主放電電極部材 71が平板状の端子電極部材 72とキャップ電極 33とで構成されている点である。

[0056] ロウ材 53は、図 14 (b)に示すように、一対の端子電極部材 72とキャップ電極 33との接触面に形成された間隙 54を埋める充填部 55と、キャップ電極 33の両端でキヤップ電極 33の外周面を保持する保持部 56とを備えている。

なお、保持部 56の高さ hは、キャップ電極 33の高さよりも低く形成されている。これにより、キャップ電極 33の互いに対向する面力主放電面 33Aとなる。

[0057] 次に、以上の構成からなる本実施形態のサージァブソーバ 120の製造方法について説明する。

まず、上述した第 5の実施形態と同様に一対のキャップ電極 33の表面に酸ィ匕膜 33 Bを形成し、円柱状セラミックス 4の両端に係合させる。

その後、一対のキャップ電極 33を円柱状セラミックス 4の両端に係合させ、第 4の実施形態と同様の方法でサージァブソーバ 120を製造する。 [0058] このサージァブソーバ 120は、上述した第 6の実施形態に力かるサージァブソーバ 90と同様の作用、効果を有する。

なお、本実施形態の変更例 1として、上述した第 6の実施形態と同様に、図 15に示すように、筒型セラミックス 8の内壁を被覆するガラス被膜 21が設けられたサージアブソーバ 130であってもよい。このような構成であっても、上述と同様の作用、効果を得ることがでさる。

[0059] また、本実施形態の変更例 2として、上述した第 6の実施形態と同様に、図 16に示すように、筒型セラミックス 8の内部に粒状ガラス部材 106を装填したサージァブソーバ 140であってもよい。このような構成であっても、上述と同様の作用、効果を得ることがでさる。

[0060] また、第 6の実施形態と同様に、充填部 55がロウ材 53とは異なる材料によって形成されて、てもよく、例えば活性銀ロウのように酸ィ匕膜 33Bと端子電極部材 72とを接着可能である導電性の接着剤であってもよ、。

さらに、保持部 56も充填部 55と同様にロウ材 53とは異なる材料で形成されてもよく、例えばロウ材 53や活性銀ロウに対してぬれにくいガラス材を用いてもょ、。

[0061] さらに、本実施形態の変更例 3として、図 17を参照しながら説明する。

なお、ここで説明する実施形態は、その基本的構成が上述した第 5の実施形態の変更例 3と同様であり、上述の第 5の実施形態の変更例 3に別の要素を付加したものである。したがって、図 17においては、図 10と同一構成要素に同一符号を付し、この説明を省略する。

[0062] 第 7の実施形態の変更例 3と第 5の実施形態の変更例 3との異なる点は、第 5の実施形態の変更例 3では端子電極部材 32がー体的に形成された突出支持部 34を有しているのに対して、第 7の実施形態の変更例 3におけるサージァブソーバ 150では、図 17 (a)に示すように、主放電電極部材 71が平板状の端子電極部材 72とキャップ電極 33とで構成されて、る点である。

[0063] そして、この一対の端子電極部材 72の互いに対向する内面には、ロウ材 53が塗布されている。

このロウ材 53は、図 17 (b)に示すように、一対の端子電極部材 72とキャップ電極 3 3との接触面に形成された間隙 54を埋める充填部 55と、キャップ電極 33の両端でキヤップ電極 33の外周面を保持する保持部 56とを備えている。

[0064] 次に、以上の構成からなる本実施形態のサージァブソーバ 150の製造方法について説明する。

まず、上述した第 2の実施形態と同様に一対のキャップ電極 33の表面に酸ィ匕膜 33 Bを形成し、主放電面 33Aを、物理蒸着 (PVD)法によりガラス被膜 25で被覆する。そして、円柱状セラミックス 4の両端に係合させる。

次に、端子電極部材 72の一面に保持部 56を形成するのに十分な量のロウ材 53を塗布し、端子電極部材 72の中央領域上に、キャップ電極 33が係合された円柱状セラミックス 4を載置して端子電極部材 72とキャップ電極 33とを接触させる。そして、筒型セラミックス 8の端面を載置する。

さらに、筒型セラミックス 8のもう一方の端面にロウ材 53が塗布されたもう一方の端子電極部材 72を載置することで仮組みの状態とする。

[0065] 上述のように仮組みした状態で十分に真空引きを行った後、封止ガス雰囲気として加熱処理することで、ロウ材 53が溶融し、端子電極部材 72とキャップ電極 33とが密着する。このとき、溶融によりロウ材 53の充填部 55が、キャップ電極 33と端子電極部材 72との間に存在する間隙 54を埋める。また、ロウ材 53の表面張力により形成された保持部 56が、キャップ電極 73の両端部を埋め込むようにして保持する。

その後、上述した第 1の実施形態と同様に冷却工程を行つてサージァブソーバ 15 0を製造する。

[0066] このサージァブソーバ 150は、上述した第 4の実施形態に力かるサージァブソーバ 40と同様の作用、効果を有するが、寸法精度、傷、加工時の変形などによって端子電極部材 72とキャップ電極 33との接触面に形成された間隙 54をロウ材 53で埋めることにより、端子電極部材 72とキャップ電極 33との接触面積が増大する。これにより、十分なォーミックコンタクトを得ることができ、サージァブソーバ 150の放電開始電圧などの電気特性が安定する。 [0067] なお、本実施形態において、ロウ材 53と同じ部材によって保持部 56及び充填部 5 5を形成していた力充填部 55がロウ材 53とは異なる材料によって形成されていてもよぐ例えば活性銀ロウのように酸ィ匕膜 33Bと端子電極部材 72とを接着可能である導電性の接着剤であってもよい。このような構成としても、キャップ電極 33と端子電極部材 72とが接着し、主放電電極部材 71と導電性被膜 3とのより十分なォーミックコンタタトを得ることができる。

また、保持部 56も充填部 55と同様にロウ材 53とは異なる材料で形成されてもよぐ例えばロウ材 53や活性銀ロウに対してぬれにくいガラス材を用いてもよい。このようにすることで、円柱状セラミックス 4がより確実に端子電極部材 72の中央付近またはその周辺部に固定される。

[0068] 次に、第 8の実施形態について、図 18を参照しながら説明する。

なお、ここで説明する実施形態は、その基本的構成が上述した第 1の実施形態と同様であり、上述の第 1の実施形態に別の要素を付加したものである。したがって、図 1 8においては、図 1と同一構成要素に同一符号を付し、この説明を省略する。

[0069] 第 8の実施形態と第 1の実施形態との異なる点は、第 1の実施形態では主放電電極部材 5がー体的に形成された突出支持部 10を有し、円柱状セラミックス 4をこの突出支持部 10に圧入または嵌合させているのに対して、第 8の実施形態におけるサージァブソーバ 160は、主放電電極部材 91が端子電極部材 72と、突出支持部材 92とで構成されて、る点である。

[0070] 突出支持部材 92は、ほぼ有底円筒形状を有しており、底面 92Aの中央に開口 92 Bが形成されている。この開口 92Bの開口径は、円柱状セラミックス 4よりもやや小さく形成されている。そして、円柱状セラミックス 4を開口 92Bに揷通して底面 92Aを軸方向外方に向力つて弾性的に屈曲させることで、突出支持部材 92と導電性被膜 3との良好なォーミックコンタクトが得られるように構成されて、る。

なお、この一対の突出支持部材 92の表面は、上述した第 1の実施形態と同様の酸化処理により酸化膜 92Cが 0. 形成されており、互いに対向する面である底面 92Aが主放電面となって!/、る。

[0071] このサージァブソーバ 90は、上述した第 1の実施形態におけるサージァブソーバ 1 と同様の作用、効果を有する。

なお、本実施形態の変更例 1として、上述した第 2の実施形態と同様に、図 19に示すように、筒型セラミックス 8の内壁を被覆するガラス被膜 21が設けられたサージアブソーバ 170であってもよい。このような構成であっても、上述と同様の効果を得ることができる。

[0072] また、本実施形態の変更例 2として、上述した第 3実施形態と同様に、図 20に示すように、筒型セラミックス 8の内部に粒状ガラス部材 106を装填したサージァブソーバ 180であってもよい。このような構成であっても、上述と同様の作用、効果を得ることができる。

[0073] さらに、本実施形態の変更例 3として、上述した第 4の実施形態と同様に、図 21に示すように、底面 92Aの表面には、ガラスペーストの印刷'焼成法によりガラス被膜 4 3が被覆されているサージァブソーバ 190であってもよぐこのような構成であっても、上述と同様の効果を得ることができる。

実施例 1

[0074] 次に、本発明に力かるサージァブソーバを、実施例により図 22及び図 23を参照して具体的に説明する。

[0075] 上述した第 3の実施形態に力かるサージァブソーバ 50と、酸ィ匕膜 33B及び円筒状ガラス部材 6のない従来のサージァブソーバとをそれぞれ基板などに実装した際の寿命を比較した。

具体的には、実施例として図 22に示すようなサージ電流を繰り返しサージァブソーバに所定回数印加して、そのときのギャップ間での放電開始電圧 (V)を測定した結果を図 33に示す。

[0076] 従来のサージァブソーバは、サージ電流を繰り返し印加されると、主放電電極部材の金属電極の金属成分が多く飛散し、比較的短時間でマイクロギャップにおいて、それら金属成分が堆積するために、ギャップ間の放電開始電圧が低下して寿命に至る。一方、本発明に力かるサージァブソーバ 50は、円筒状ガラス部材 6が封止工程で加熱溶融することで主放電面 33Aがガラス部材で被覆される。また、ガラス部材が酸ィ匕剤として機能することで、主放電面が主放電面の金属成分で形成された酸化物層で被覆される。さら〖こ、主放電によって主放電面 33Aを被覆しているガラス部材あるいは酸ィ匕膜 33Bが損傷した場合であっても、加熱溶融した他の部分の円筒状ガラス部材 6によって損傷した箇所が被覆される。このため、主放電時のキャップ電極 33の金属成分の飛散が抑制されるので、放電ギャップ 2における金属成分の堆積があまりない。これにより、ギャップ間の放電開始電圧が安定し、サージァブソーバの長寿命化が図れる。

[0077] なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなぐ本発明の趣旨を逸脱しな、範囲にぉ、て種々の変更をカ卩えることが可能である。

例えば、図 26に示すように、一対の板パネ導体 159の互いに対向する面である主放電面 159Aに上述した第 1の実施形態と同様の酸ィ匕処理によって酸ィ匕膜 159Bを形成し、この一対の主放電面 159Aの間に板状ガラス部材 111を配置したサージァブソーバ 200であってもよい。このような構成であっても、上述と同様の作用、効果を有する。

また、図 27に示すように、筒型セラミックス 157の内壁を被覆するガラス被膜 21が設けられたサージァブソーバ 210であってもよい。このような構成であっても、上述と同様の作用、効果を有する。

実施例 2

[0078] 次に、本発明に力かるサージァブソーバを、他の実施例 2により図 22及び図 24を参照して具体的に説明する。

[0079] 上述した第 5の実施形態の変更例 2にかかるサージァブソーバ 70と、酸化膜 33B 及び粒状ガラス部材 106のない従来のサージァブソーバとをそれぞれ基板などに実装した際の寿命を比較した。

具体的には、実施例として図 22に示すようなサージ電流を繰り返しサージァブソーバに所定回数印加して、そのときのギャップ間での放電開始電圧 (V)を測定した結果を図 24に示す。

[0080] 従来のサージァブソーバは、サージ電流を繰り返し印加されると、主放電面の金属成分が多く飛散し、比較的短時間でマイクロギャップにおいて、それら金属成分が堆積するために、ギャップ間の放電開始電圧が低下して寿命に至る。一方、本発明に力かるサージァブソーバ 70は、粒状ガラス部材 106が加熱溶融することで主放電面 33Aがガラス部材で被覆される。また、粒状ガラス部材 106が酸化剤として機能することで、主放電面が主放電面の金属成分で形成された酸化物層で被覆される。このため、キャップ電極 33の金属成分の飛散が抑制されるので、放電ギャップ 2における金属成分の堆積があまりない。これにより、ギャップ間の放電開始電圧が安定し、サージァブソーバの長寿命化が図れる。

[0081] なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなぐ本発明の趣旨を逸脱しな、範囲にぉ、て種々の変更をカ卩えることが可能である。

例えば、粒状ガラス部材の形状は、粒状に限らず、円柱や円筒、不定形などでもよい。

また、図 28に示すように、一対の板パネ導体 159の互いに対向する面である主放電面 159Aに上述した第 1の実施形態と同様の酸ィ匕処理によって酸ィ匕膜 159Bを形成し、粒状ガラス部材 106を装填したサージァブソーバ 220であってもよい。このようにしても上述と同様の作用、効果を有する。

実施例 3

[0082] 次に、本発明に力かるサージァブソーバを、実施例により図 22及び図 25を参照して具体的に説明する。

[0083] 上述した第 5の実施形態の変更例 3にかかるサージァブソーバ 80と、酸化膜 33B 及びガラス被膜 25のない従来のサージァブソーバとをそれぞれ基板などに実装した際の寿命を比較した。

具体的には、実施例として図 22に示すようなサージ電流を繰り返しサージァブソーバに所定回数印加して、そのときのギャップ間での放電開始電圧 (V)を測定した結果を図 25に示す。

[0084] 従来のサージァブソーバは、サージ電流を繰り返し印加されると、主放電面の金属成分が多く飛散し、比較的短時間でマイクロギャップにおいて、それら金属成分が堆積するために、ギャップ間の放電開始電圧が低下して寿命に至る。一方、本発明に力かるサージァブソーバ 80は、ガラス被膜 25及び酸ィ匕膜 33Bによってキャップ電極 33の金属成分の飛散が抑制されるので、放電ギャップ 2における金属成分の堆積があまりない。これにより、ギャップ間の放電開始電圧が安定していることがわかる。

[0085] なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなぐ本発明の趣旨を逸脱しな、範囲にぉ、て種々の変更をカ卩えることが可能である。

例えば、図 29に示すように、一対の板パネ導体 159の互いに対向する面である主放電面 159Aに上述した第 1の実施形態と同様の酸ィ匕処理によって酸ィ匕膜 159Bを形成し、この主放電面 159Aをガラス被膜 110で被覆したサージァブソーバ 330であつてもよい。このようにしても上述と同様の作用、効果を有する。

[0086] 上記 3つの実施例に共通して、導電性被膜は、 Ag (銀)、 Ag (銀) ZPd (パラジウム )合金、 SnO (酸化スズ）、 A1 (アルミニウム）、 Ni (ニッケル）、 Cu (銅）、 Ti (チタン）、

2

Ta (タンタル）、 W (タングステン）、 SiC (炭化シリコン）、 BaAl (バリウム 'アルミナ）、 C (炭素）、 Ag (銀) ZPt (白金)合金、 TiO (酸化チタン)、 TiC (炭化チタン)、 TiCN ( 炭窒化チタン)などでもよい。

また、主放電電極部材は、 Cuや Ni系の合金でもよい。

また、実施例 1における円筒状ガラス部材は、筒型セラミックスの内部に存在していれば、板状ガラス部材ゃ他の形状であってもよぐ実施例 2にいては、粒状ガラス部材を筒型セラミックスの内部に装填したが、発泡ガラスを装填しもよぐ実施例 3においては、ガラス被膜は、主放電面に限らず、主放電電極部材の表面全体を被覆するような構成であってもよ、。

また、 SiOを含有するものに限らず、結晶相のガラスを含有する部材であってもよ

2

い。

また、筒型セラミックス両端面のメタライズ層は、 Ag (銀)、 Cu (銅）、 Au (金)でもよく、また、メタライズ層を用いず活性金属ロウ材だけで封止してもよい。

また、封止ガスは、所望の電気特性を得るために組成等を調整され、例えば、大気 (空気）でもよぐ Ar (アルゴン）、 N (窒素）、 Ne (ネオン）、 He (ヘリウム）、 Xe (キセノ

2

ン）、 H (水素）、 SF、 CF、 C F、 C F、 CO (二酸化炭素）等、及びこれらの混合

2 6 4 2 6 3 8 2

ガスでもよい。

産業上の利用可能性

[0087] 本発明のサージァブソーバによれば、封止工程や主放電時においてガラス部材が溶融して被覆剤あるいは酸化剤として機能し、主放電面がガラス部材あるいは主放電面の金属成分で形成された酸化物層によって被覆される。これにより、主放電面の金属成分が飛散することを抑制する。また、主放電面を被覆しているガラス部材あるいは酸ィ匕物層が損傷した場合であっても、他の部分のガラス部材が加熱溶融することで損傷箇所を被覆する。

さらに、本発明のサージァブソーバによれば、主放電面をガラス部材で被覆することで、主放電面の金属成分の飛散が抑制される。また、主放電時に被覆しているガラス部材が損傷しても、加熱溶融した他の部分のガラス部材が被覆剤あるいは酸化剤として機能することによって主放電面の金属成分が飛散することを抑制する。したがつて、サージァブソーバを長寿命とすることができる。

Claims

請求の範囲

[1] 放電ギャップを介して導電性被膜が分割形成された絶縁性部材と、対向配置されて前記導電性被膜に接触する一対の主放電電極部材と、内部に前記絶縁性部材を封止ガスと共に封入する絶縁性管とを備えるサージァブソーバであって、

前記絶縁性管の内部に、ガラス部材が封入されていることを特徴とするサージアブソーバ。

[2] 前記ガラス部材が、前記絶縁性管の内壁を被覆していることを特徴とする請求項 1 に記載のサージァブソーバ。

[3] 前記一対の主放電電極部材の対向する面である主放電面に、酸化処理による酸化膜が形成されていることを特徴とする請求項 1または 2に記載のサージァブソーバ

[4] 放電ギャップを介して導電性被膜が分割形成された絶縁性部材と、対向配置されて前記導電性被膜に接触する一対の主放電電極部材と、内部に前記絶縁性部材を封止ガスと共に封入する絶縁性管とを備えるサージァブソーバであって、

前記絶縁性管の内部に、一方の前記一対の主放電電極部材力他方の該一対の主放電電極部材にわたつて、ガラス部材が装填されて、ることを特徴とするサージァブソーバ。

[5] 前記ガラス部材が、粒状であることを特徴とする請求項 4に記載のサージァブソーバ。

[6] 前記ガラス部材が、発泡ガラスであることを特徴とする請求項 5に記載のサージァブソーバ。

[7] 前記一対の主放電電極部材の対向する面である主放電面に、酸化処理による酸化膜が形成されて、ることを特徴とする請求項 4力 6の、ずれ力 1項に記載のサージァブソーバ。

[8] 放電ギャップを介して導電性被膜が分割形成された絶縁性部材と、対向配置されて前記導電性被膜に接触する一対の主放電電極部材と、内部に前記絶縁性部材を封止ガスと共に封入する絶縁性管とを備えるサージァブソーバであって、

前記一対の主放電電極部材の対向する面である主放電面力ガラス部材で被覆されて、ることを特徴とするサージァブソーバ。

前記主放電面に、酸化処理による酸化膜が形成されていることを特徴とする請求項

8に記載のサージァブソーバ。