WO2006073132A1 - 流量調整装置 - Google Patents

Description

明 細 書 流量調整装置 技術分野

本発明は、 流体、 特に高温 · 高圧の蒸気の流量を調整する流量調 整装置に関する。 背景技術

半導体製造時、 特にウェハーの洗浄時には、 高純度流体、 例えば 塩酸等を所望の流量で供給することが必要とされている。 このため

、 従来技術においては、 図 8に示されるような流量調整装置、 すな わちレギユレ一夕を用いて、 供給すべき流体の流量を調整していた 図 8は、 特開 2 0 0 4— 1 6 2 7 7 4公報に開示されるような従 来技術の流量調整装置の断面図である。 流量調整装置 1 0 0のハウ ジング 1 9 0は樹脂材料により成形されており、 この外側には流体 の入口ポート 1 1 0 と流体の出口ポ一ト 1 2 0 とがそれぞれ設けら れている。 ハウジング 1 9 0の内部には入口ポート 1 1 0 に連通す る第一室 2 1 0 と出口ポ一ト 1 2 0に連通する第二室 2 2 0 とが形 成されている。 また、 第一室 2 1 0 と第二室 2 2 0 との間には弁座 3 1 0 と弁座 3 1 0 に対応する弁体 3 2 0 とが設けられている。 図 示されるように、 弁体 3 2 0に上端面にはダイヤフラム 4 1 0が固 定されており、 また、 弁体 3 2 0を弁座 3 1 0 に押当てて付勢する バネ 3 9 0が弁体 3 2 0の下方端部に取付けられている。

ダイヤフラム 4 1 0 を挟んで第二室 2 2 0の反対側、 つまりダイ ャフラム 4 1 0の上方には密閉された圧力室 2 9 0が形成されてい る。 この圧力室 2 9 0はハウジング 1 9 0の頂面に形成された圧力 導入ポート 1 8 0 に連通している。

そして、 圧力導入ポート 1 8 0からエア等が導入されると、 圧力 室 2 9 0が加圧され、 ダイヤフラム 4 1 0がバネ 3 9 0に抗して弁 体 3 2 0を下方に押し下げる。 これにより、 弁体 3 2 0が弁座 3 1 0から離間し、 第一室 2 1 0内の流体が第二室 2 2 0に流入して、 出口ポート 1 2 0から排出されるようになる。 圧力導入ポート 1 8 0 に導入されるエア圧力を調整することによってダイヤフラム 4 1 0 に基づく弁体 3 2 0の移動距離が制御され、 それにより、 出口ポ ート 1 2 0から排出される流体の流量を調整することができる。

しかしながら、 特開 2 0 0 4 一 1 6 2 7 7 4公報に開示されるよ うな樹脂製の流量調整装置は常温でかつ常圧の流体の流量を調整す ることを想定しているので、 高温 · 高圧の流体、 例えば蒸気の流量 を長期間にわたって調整するのに使用すると、 流量調整装置の一部 が破損する可能性がある。 特に、 流量調整装置の弁体は高温 · 高圧 の流体内で往復運動するので、 弁体および該弁体に対応する弁座は 耐久性の面で最も不安のある部品である。 弁体および/または弁座 に生じた破損が軽微である場合であっても、 流量調整装置により供 給される流量が所望の流量から大幅に変化することにもなりかねな い。

さらに、 特開 2 0 0 4— 1 6 2 7 7 4公報に開示されるような流 量調整装置においては、 ダイヤフラムの一面に流量を調整すべき流 体がさらされており、 ダイヤフラムの他面に圧力室内の流体がさら されている。 このため、 高温 · 高圧の流体、 例えば蒸気の流量を調 整する場合には、 高温 · 高圧の流体と圧力室内の流体とが比較的薄 膜である単一のダイヤフラムを介して隣接することとなり、 ダイヤ フラムが破損することも想定される。 本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、 高温 · 高 圧の流体、 例えば蒸気の流量を調整するのに使用する場合であって も、 流量の調整を安定して行う ことのできる流量調整装置を提供す ることを目的とする。 発明の開示

前述した目的を達成するために 1番目の態様によれば、 入口ポー 卜に連通する第一室と、 出口ポートに連通する第二室とを含むハウ ジングと、 前記第二室内に延びていて前記第一室と前記第二室とを 連通する筒状部と、 該筒状部の先端に設けられた弁座と、 該弁座を 開閉する弁体とを具備し、 前記弁座および前記弁体のうちの少なく とも一方が、 前記筒状部を形成する材料よりも熱変形量が小さい材 料から形成されている流量調整装置が提供される。

すなわち 1番目の態様においては、 弁座および/または弁体の材 料の熱変形量が小さいので、 高温 · 高圧の流体、 例えば蒸気の流量 を調整するために 1番目の態様に基づく流量調整装置を使用した場 合であっても、 弁座および/または弁体の耐久性が確保され、 弁座 および Zまたは弁体が破損することなしに、 流量の調整を安定して 行うことができる。 筒状部の材料が樹脂である場合には、 弁体およ び/または弁座の材料は金属、 例えばチタンまたはポリエーテルエ

—テルケトン （P E E K ) であるのが好ましい。

2番目の態様によれば、 入口ポートに連通する第一室と、 出口ポ —トに連通する第二室とを含むハウジングと、 前記第二室内に延び ていて前記第一室と前記第二室とを連通する筒状部と、 該筒状部の 先端に設けられた弁座と、 該弁座を開閉する弁体とを具備し、 前記 筒状部には、 該筒状部を形成する材料よりも熱変形量が小さい材料 からなる補強部材が少なく とも部分的に埋込まれている流量調整装 置が提供される。

すなわち 2番目の態様においては、 筒状部を高温 · 高圧の流体が 通過して筒状部が半径方向に拡張するのが、 補強部材によって防止 される。 特に、 筒状部を形成する材料がフッ素樹脂である場合には 、 高温 ， 高圧の薬液を供給するのが可能となる。 なお、 補強部材の 材料は金属、 例えばチタンまたはポリエーテルエーテルケトン （ P E E K ) であるのが好ましい。

3番目の態様によれば、 入口ポー hに連通する第一室と、 出口ポ

、ヽ、

一トに連通する第二室とを含むハウンングと、 刖記第二室内に延び ていて前記第一室と刖 pni第二室とを 通する筒状部と、 該筒状部の 先端に設けられた弁座と、 該弁座を開閉する弁体と、 前記筒状部の 基端を閉鎖する閉鎖部と、 前記閉鎖部を受容しつつ前記筒状部の側 壁を取囲んで支持するカツプ型支持部とを具備する流量 Ϊ5周整装置が 提供される。

すなわち 3番目の態様においては 、 筒状部が力ップ型支持部によ つて支持されるので、 蒸気供給時であつても、 部品の変形に伴う蒸 気の漏洩を抑制することができる。

4番目の態様によれば、 1番目から 3番目のいずれかの態様にお いて、 さらに、 前記筒状部の先端周りを締付ける締付手段を具備す る。

すなわち 4番目の態様においては、 筒状部を高温 · 高圧の流体が 通過する場合に筒状部が半径方向に拡張して弁体と弁座との間に隙 間が形成されるのを防止できる。

5番目の態様によれば、 1番目から 4番目のいずれかの態様にお いて、 さらに、 前記弁座に接触する前記弁体の一部分には、 弁体シ ール手段が設けられている。

すなわち 5番目の態様においては、 筒状部を高温 · 高圧の流体が 通過して弁体と弁座との間の隙間がわずかながら形成された場合で あつても 、 弁体シール手段、 例 ば οリングによってこの隙間を吸 収することが可能となる。

6番目の態様によれば、 1番百から 5番目のいずれかの態様にお いて 、 さらに、 前記ハウジングには、 刖 0ΰ第二室に連通していて圧 カポ一卜を備えた圧力室が形成されており、 前記第二室と目 IJ記圧力 室とを封止可能に分離する互いに連結された第一および第二の可撓 性分離手段を具備し、 前記第一の可撓性分離手段は前記圧力室内の 流体にさらされると共に前記第二の可撓性分離手段は前記第二室内 の流体にさらされていて前記弁体に連結されており、 さらに、 前記 第一および第二の可撓性分離手段の間に配置されるべッ ドを具備す る。

すなわち 6番目の態様においては、 第一および第二の可撓性分離 手段の間の空間が存在するので、 第二室内の高温 · 高圧の流体と圧 力室内の流体とが単一の可撓性分離手段を介して隣接することはな く、 これら可橈性分離手段が问 ΐΐΠί 问圧の流体により破損するのが 防止される o

7番目の 匕

H 様によれば、 6番目の態様において、 前記第一の可撓 性分離手段と前記べッ ドとの間および前記第二の可撓性分離手段と 前記べッ ドとの間の少なく とも一方に 、 弾性部材が配置されている o

すなわち 7番目の態様においては、 弾性部材によつて 一および 第二の可撓性分離手段が損傷するのを防止できる。

8番目の態様によれば、 6番目または 7番目の態様において、 前 記第一および第二の可撓性分離手段の間において排気通路が前記ハ ウジングに形成されている。

すなわち 8番目の態様においては、 第一および第二の可撓性分離 手段の間の空間を大気開放し、 それにより、 第一および第二の可撓 性分離手段が熱変形するのを或る程度抑制することが可能となる。

9番目の態様によれば、 6番目から 8番目のいずれかの態様にお いて、 さらに、 前記筒状部の基端を閉鎖する閉鎖部を具備し、 前記 弁体は前記閉鎖部に移動可能に連結されており、 前記筒状部の内壁 と前記閉鎖部との間および前記筒状部の基端縁部と前記閉鎖部との 間の少なく とも一方に、 シール手段が設けられている。

すなわち 9番目の態様においては、 筒状部を高温 · 高圧の流体が 通過して筒状部が半径方向に拡張した場合に流体が閉鎖部と筒状部 との間から漏洩するのを防止できる。 例えば、 前記筒状部の内壁と 前記閉鎖部との間に設けられるシール手段は Oリ ングであり、 前記 筒状部の基端縁部と前記閉鎖部との間に設けられるシール手段は突 起と該突起を受容する凹部である。

1 0番目の態様によれば、 入口ポートに連通する第一室と、 出口 ポートに連通する第二室とを含むハウジングを具備し、 前記ハウジ ングには、 前記第二室に連通していて圧力ポートを備えた圧力室が 形成されており、 さらに、 前記第二室内に延びていて前記第一室と 前記第二室とを連通する筒状部と、 該筒状部の先端に設けられた弁 座と、 該弁座を開閉する弁体と、 前記第二室と前記圧力室とを封止 可能に分離する互いに連結された第一および第二の可撓性分離手段 とを具備し、 前記第一の可撓性分離手段は前記圧力室内の流体にさ らされると共に前記第二の可撓性分離手段は前記第二室内の流体に さらされていて前記弁体に連結されており、 さらに、 前記第一およ び第二の可撓性分離手段の間に配置されるべッ ドを具備する流量調 整装置が提供される。

すなわち 1 0番目の態様においては、 第一および第二の可撓性分 離手段の間の空間が存在するので、 第二室内の高温 · 高圧の流体と 圧力室内の流体とが単一の可撓性分離手段を介して隣接する とは なく、 これら可撓性分離手段が高温 · 高圧の流体により破損するの が防止される。

1 1番目の態様によれば、 1 0番目の態様において、 前記第一の 可撓性分離手段と前記べッ ドとの間および前記第二の可撓性分離手 段と前記べッ ドとの間の少なく とも一方に、 弾性部材が配置されて いる。

すなわち 1 1番目の態様においては、 弾性部材によって第一およ び第二の可撓性分離手段が損傷するのを防止できる

1 2番目の態様によれば、 1 0番目または 1 1番目の態様におい て、 前記第一および第二の可撓性分離手段の間において排気通路が 前記ハウジングに形成されてい

すなわち 1 2番目の態様においては、 第一および第二の可撓性分 離手段の間の空間を大気開放し、 それにより、 第一および第二の可 橈性分離手段が熱変形するのを或る程度抑制することが可能となる

1 3番目の態様によれば、 1 0番目から 1 2番目のいずれかの態 様において、 さらに、 前記筒状部の基端を閉鎖する閉鎖部を具備し 、 前記弁体は前記閉鎖部に移動可能に連結されており、 前記筒状部 の内壁と前記閉鎖部との間および前記筒状部の基端縁部と前記閉鎖 部との間の少なく とも一方に、 シール手段が設けられている。

すなわち 1 3番目の態様においては、 筒状部を高温 · 高圧の流体 が通過して筒状部が半径方向に拡張した場合に流体が閉鎖部と筒状 部との間から漏洩するのを防止できる。 例えば、 前記筒状部の内壁 と前記閉鎖部との間に設けられるシール手段は Oリングであり、 前 記筒状部の基端緣部と前記閉鎖部との間に設けられるシール手段は 突起と該突起を受容する凹部である。 1 4番目の態様によれば、 1 0番目から 1 3番目のいずれかの態 様において、 前記筒状部には、 該筒状部を形成する材料よりも熱変 形量が小さい材料からなる補強部材が少なく とも部分的に埋込まれ ている。

すなわち 1 4番目の態様においては、 筒状部を高温 · 高圧の流体 が通過して筒状部が半径方向に拡張するのが、 補強部材によって防 止される。 従って、 供給される液体が接触する部分を全てフッ素樹 脂から形成することができ、 高温 · 高圧の薬液、 特に高純度薬液を 供給する場合であっても、 薬液に接触する部分から金属イオンが流 出するのを防止することができる。

1 5番目の態様によれば、 1 0番目から 1 3番目のいずれかの態 様において、 前記弁座および前記弁体のうちの少なく とも一方が、 前記筒状部を形成する材料よりも熱変形量が小さい材料から形成さ れている。

すなわち 1 5番目の態様においては、 弁座および Zまたは弁体の 材料の熱変形量が小さいので、 高温 ' 高圧の流体、 例えば蒸気の流 量を調整するために 1番目の態様に基づく流量調整装置を使用した 場合であっても、 弁座および/または弁体の耐久性が確保され、 弁 座および または弁体が破損することなしに、 流量の調整を安定し て行うことができる。

1 6番目の態様によれば、 1 0番目から 1 5番目のいずれかの態 様において、 さらに、 前記筒状部の先端周りを締付ける締付手段を 具備する。

すなわち 1 6番目の態様においては、 筒状部を高温 · 高圧の流体 が通過する場合に筒状部が半径方向に拡張して弁体と弁座との間に 隙間が形成されるのを防止できる。

1 7番目の態様によれば、 1 0番目から 1 5番目のいずれかの態 様において、 さらに、 前記弁座に接触する前記弁体の一部分には、 弁体シール手段が設けられている。

すなわち 1 7番目の態様においては、 筒状部を高温 · 高圧の流体 が通過して弁体と弁座との間の隙間がわずかながら形成された場合 であっても、 弁体シール手段、 例えば〇リ ングによってこの隙間を 吸収することが可能となる。

各態様によれば、 高温 ， 高圧の流体、 例えば蒸気の流量を調整す るのに使用する場合であっても、 流量の調整を安定して行うことが できるという共通の効果を奏しうる。

さらに、 4番目および 1 6番目の態様によれば、 弁体と弁座との 間に隙間が形成されるのを防止できるという効果を奏しうる。

さらに、 5番目および 1 7番目の態様によれば、 弁体シール手段 によって弁体と弁座との間の隙間を吸収することが可能となるとい う効果を奏しうる。

さらに、 6番目の態様によれば、 可撓性分離手段が高温 · 高圧の 流体により破損するのを防止することができるという効果を奏しう る。

さらに、 7番目の態様によれば、，弾性部材によって第一および第 二の可撓性分離手段が損傷するのを防止できるという効果を奏しう る。

さらに、 8番目の態様によれば、 第一および第二の可撓性分離手 段が熱変形するのを或る程度抑制することができるという効果を奏 し 5る。

さらに、 9番目の態様によれば、 流体が閉鎖部と筒状部との間か ら漏洩するのを防止できるという効果を奏しうる。

さらに、 1 0番目の態様によれば、 橈性分離手段が高温 · 高圧の 流体により破損するのが防止できるという効果を奏しうる。 さらに、 1 1番目の態様によれば、 弾性部材によって第一および 第二の可撓性分離手段が損傷するのを防止できるという効果を奏し うる。

さらに、 1 2番目の態様によれば、 第一および第二の可撓性分離 手段が熱変形するのを或る程度抑制することが可能となるという効 果を奏しうる。

さらに、 1 3番目の態様によれば、 流体が閉鎖部と筒状部との間 から漏洩するのを防止できるという効果を奏しうる。

さらに、 1 4番目の態様によれば、 筒状部を高温 · 高圧の流体が 通過して筒状部が半径方向に拡張するのが、 補強部材によって防止 されるという効果を奏しうる。

添付図面に示される本発明の典型的な実施形態の詳細な説明から 、 本発明のこれら目的、 特徴および利点ならびに他の目的、 特徴お よび利点がさらに明解になるであろう。 図面の簡単な説明 ' 図 1 aは、 本発明の第一の実施形態に基づく流量調整装置の側面 図である。

図 l bは、 図 1 aに示される流量調整装置の頂面図である。

図 2は、 本発明の第一の実施形態に基づく流量調整装置の開弁状 態を示す側断面図である。

図 3は、 本発明の第一の実施形態に基づく流量調整装置の閉弁状 態を示す側断面図である。

図 4は、 流量調整装置の弁体を拡大して示す部分拡大図である。 図 5 aは、 筒状部の基端を拡大して示す部分拡大図である。

図 5 bは、 筒状部の基端を拡大して示す他の部分拡大図である。 図 6は、 本発明の第二の実施形態に基づく流量調整装置の開弁状 態を示す側断面図である。

図 7 aは、 本発明の第三の実施形態に基づく流量調整装置の開弁 状態を示す側断面図である。

図 7 bは、 図 7 aに示される流量調整装置の端面図である。

図 8は、 従来技術における流量調整装置の側断面図である。 発明を実施するための最良の形態

以下、 添付図面を参照して本発明の実施形態を説明する。 以下の 図面において同一の部材には同一の参照符号が付けられている。 理 解を容易にするために、 これら図面は縮尺を適宜変更している。

図 1 aは本発明の第一の実施形態に基づく流量調整装置の側面図 であり、 図 l bは図 l aに示される流量調整装置の頂面図である。 本発明の第一の実施形態に基づく流量調整装置 1 0のハウジング 1 9はハウジング蓋部 1 9 a、 ハウジング環状部 1 9 b、 ハウジング 胴部 1 9 cおよびハウジング底部 1 9 dの四つの部品より構成され ている。 ハウジング環状部 1 9 bは後述する第一ダイヤフラム 4 1 および第二ダイヤフラム 5 1 を流量調整装置 1 0内に支持する役目 を果たしている。 また、 ハウジング胴部 1 9 c には外方に延びる入 口ポート 1 1および出口ポート 1 2がそれぞれ形成されている。 後 述するように流量調整装置 1 0により供給される流体の通路はハウ ジング胴部 1 9 c内にのみ形成される。

ハゥジング胴部 1 9 cはポリプロピレン樹脂またはフッ素樹脂な どの耐薬品性に優れた材料より形成されている。 他の部品、 すなわ ちハウジング蓋部 1 9 a、 ハウジング環状部 1 9 bおよびハゥジン グ底部 1 9 dは強度を高める目的で金属材料、 例えばステンレス材 料より形成されているが、 ハウジング胴部 1 9 c と同一の材料から 形成されていてもよい。 図 1 aおよび図 1 bに示されるように、 これらハウジング環状部 1 9 bおよびハウジング胴部 1 9 cはハウジング蓋部 1 9 aとハウ ジング底部 1 9 dとにより挟み込まれるように配置される。 これに より形成されるハウジング 1 9は全体で略円筒形状をなしている。 図 2および図 3は本発明の第一の実施形態に基づく流量調整装置 の開弁状態および閉弁状態をそれぞれ示す側断面図である。 図 1か ら図 3より分かるように、 周方向に等間隔に設けられた複数のネジ 9 1がこれらハウジングの部品 1 9 a〜 1 9 dを締め付けるように 支持している。 なお、 図示されるように、 ハウジング環状部 1 9 b とハウジング底部 1 9 dとを別のネジ 9 2により締め付けることに よっても、 ハウジング環状部 1 9 b とハウジング底部 1 9 dとの間 のハウジング胴部 1 9 cが支持されている。 図 2におけるネジ 9 2 の胴部周りにはパイプ 9 3が配置されているものとする。

図 2および図 3に示されるように、 入口ポート 1 1 はハウジング 胴部 1 9 c に一体的に形成された筒状部 2 5の第一室 2 1 に連通し ている。 また、 出口ポート 1 2はハウジング胴部 1 9 c に形成され た第二室 2 2に連通している。 筒状部 2 5は第二室 2 2内に延びて いる。 図示されるように、 筒状部 2 5 の基端 2 5 bは閉鎖部 8 0 に より閉鎖されている。 一方、 筒状部 2 5の先端 2 5 aには後述する 弁座が設けられており、 筒状部 2 5の弁座を通じて第一室 2 1 と第 二室 2 2 とが連通している。 さらに、 この弁座に係合する弁体 3 2 は第一室 2 1 において筒状部 2 5の軸線方向に往復運動可能に配置 されている。

本実施形態における弁体 3 2は筒状部 2 5 と同一の材料から形成 されている。 前述したように筒状部 2 5はハゥジング胴部 1 9 c と 同一の材料から形成されているので、 筒状部 2 5の材料は例えばポ リプロピレン樹脂またはフッ素樹脂である。 ただし、 弁体 3 2が筒 状部 2 5よりも熱変形量が小さい材料、 例えばチタンまたは P E E Kなどから形成されていてもよい。

第一ダイャフラム 4 1はハウジング蓋部 1 9 aとハウジング環状 部 1 9 bとを封止可能に分離している。 第一ダイヤフラム 4 1はデ イスク状の本体周りに配置された環状薄膜部 4 5 と、 環状薄膜部 4 5周りに配置された環状縁部 4 3 とからなる一体的な樹脂製部材で ある。 環状薄膜部 4 5は第二室 2 2に向かって突出するようにわず かながら湾曲している。 また、 環状縁部 4 3はハウジング蓋部 1 9 aとハウジング環状部 1 9 bとの両方に形成された凹溝に配置され 、 それにより、 第一ダイヤフラム 4 1がハウジング蓋部 1 9 aとハ ウジング環状部 1 9 bとの間に支持されるようになる。

第一ダイヤフラム 4 1 はハウジング篕部 1 9 aとハウジング環状 部 1 9 bとを封止可能に分離しているので、 ハウジング蓋部 1 9 a と第一ダイヤフラム 4 1 との間には、 第二室 2 2から分離された圧 力室 2 9が形成される。 この圧力室 2 9は、 ハウジング蓋部 1 9 a 頂部に形成された圧力導入ポート 1 8に連通している。

図示されるように、 第一ダイヤフラム 4 1の底部には孔 4 2が形 成されている。 ベッ ド 7 5の突出端部 7 6が第一ダイヤフラム 4 1 の孔 4 2に嵌合されている。 嵌合後においては図示しないネジを嵌 合部に通すことにより上部ダイヤフラム 4 1 とべッ ド 7 5 とを連結 してもよい。 ベッ ド 7 5はディスク状の本体周りに配置された環状 湾曲部 7 7を含んでいる。 図示されるように、 環状湾曲部 7 7の上 面は第一ダイヤフラム 4 1の環状薄膜部 4 5に対応する凹面になつ ており、 環状湾曲部 7 7の下面はベッ ド 7 5の本体から下方に向か つて湾曲している。 環状湾曲部 7 7の下面は後述する第二ダイヤフ ラム 5 1 の環状薄膜部 5 5に対応する形状になっている。

さらに、 弾性部材、 例えばゴムシート 7 1がベッ ド 7 5の環状湾 曲部 7 7 と第一ダイヤフラム 4 1の環状薄膜部 4 5 との間に挟み込 まれている。 図示されるように、 ベッ ド 7 5の突出端部 7 6がゴム シート 7 1 に形成された孔に挿入されているので、 ゴムシート 7 1 は第一ダイヤフラム 4 1 の本体とべッ ド 7 5の本体との間において も存在している。

さらに、 第一ダイヤフラム 4 1 と同様な構成の第二ダイヤフラム 5 1がベッ ド 7 5に連結されている。 図示されるように第二ダイヤ フラム 5 1 の本体がべッ ド 7 5 の環状湾曲部 7 7 の内周面に挿入さ れている。 また、 第二ダイヤフラム 5 1の環状縁部 5 3はハウジン グ環状部 1 9 bとハウジング胴部 1 9 c との両方に形成された凹溝 に配置されて、 それにより、 第二ダイヤフラム 5 1がハウジング環 状部 1 9 bとハウジング胴部 1 9 c との間に支持されるようになる 。 さらに、 図 2および図 3から分かるように、 環状の弾性部材、 例 えばゴムシート 7 2がベッ ド 7 5の環状湾曲部 7 7 と第二ダイヤフ ラム 5 1の環状薄膜部 5 5 との間に挟み込まれている。 また、 図示 されるように第二ダイヤフラム 5 1 の下面に設けられた孔 5 2が、 弁体 3 2 の先端 3 3に螺合している。

べッ ド 7 5が配置される空間は第一ダイヤフラム 4 1 と第二ダイ ャフラム 5 1 とによって圧力室 2 9および第二室 2 2の両方から封 止可能に隔離されている。 従って、 第一ダイヤフラム 4 1 の上面は 圧力室 2 9内の流体にさらされ、 また第二ダイヤフラム 5 1 の下面 は第二室 2 2内の流体にさらされるようになつている。 なお、 第一 ダイヤフラム 4 1 は入口ポート 1 1から流入される流体に接してお らず、 圧力導入ポート 1 8からの操作圧力が加えられるだけである ので、 第一ダイヤフラム 4 1 を排除すると共に、 第一ダイヤフラム 4 1 とゴムシート 7 1 とが一体的になった形状の別のゴムシートを 代わりに使用するようにしてもよい。 図 2および図 3において左方に示されるように、 ハウジング環状 部 1 9 bに形成された通気口 1 7がべッ ド 7 5が配置される空間ま で延びている。 なお、 第一ダイヤフラム 4 1 の環状縁部 4 3周りに は、 シール部材、 例えば Oリングが配置されるのが好ましく、 それ により、 圧力室 2 9 とベッ ド 7 5の空間とをさらに完全に隔離でき る。 同様に、 第二ダイヤフラム 5 1の環状縁部 5 3周りにも同様な シール部材を配置して、 ベッ ド 7 5が配置される空間と第二室 2 2 とをさらに完全に隔離するのが好ましい。

図 4は流量調整装置の弁体を拡大して示す部分拡大図である。 図 4に示されるように弁体 3 2の下端に連結された連結部材 3 5が摺 動部材 3 6 に連結されている。 これら連結部材 3 5および摺動部材 3 6は例えばポリプロピレン樹脂またはフッ素樹脂から形成されて いる。 弁体 3 2がポリプロピレン樹脂またはフッ素樹脂から形成さ れている場合には、 弁体 3 2 と連結部材 3 5 と摺動部材 3 6 とを一 体部品としてもよい。 摺動部材 3 6の下方端部は閉鎖部 8 0 を通つ て、 ハウジング底部 1 9 dに形成された摺動溝 1 5 aまで延びてい る。 さらに摺動溝 1 5 a内には凹部 1 5 bが形成されており、 弾性 部材、 例えばパネ 3 9が摺動部材 3 6の下方端部と凹部 1 5 bとの 間に配置されている。 このバネ 3 9は通常は摺動部材 3 6 を上方に 付勢している。 つまり、 連結部材 3 5 を介して摺動部材 3 6 に連結 された弁体 3 2がパネ 3 9 によって通常は弁座に押し付けられてい る。 また、 弁座に係合する弁体 3 2 の表面にはシール手段、 例えば 〇リ ング 3 8が設けられている。 この Oリ ング 3 8は、 特に高温 · 高圧の流体が筒状部 2 5を通過するときに弁体 3 2 と弁座 6 1 との 間に生じうる隙間を吸収して閉弁時に弁孔を完全に閉鎖する役目を 果たす。 なお、 摺動部材 3 6の側面に設けられたべローズ 3 7は、 第一室 2 1内の流体が摺動部材 3 6 と閉鎖部 8 0 との間の隙間から 漏洩するのを防止している。

図 4に示されるように弁体 3 2 に対応する弁座 6 1 は弁体 3 2 に 係合する内側傾斜面 6 3を備えた略スリーブ状の部材である。 また 、 弁座 6 1の外周部には半径方向内側に向かって段差部 6 4が形成 されている。

図 1から図 4に示される第一の実施形態においては、 弁座 6 1 は 筒状部 2 5より も熱変形量が小さい材料から形成されている。 前述 したように筒状部 2 5はハウジング胴部 1 9 c と同一の材料、 例え ばボリプロピレン樹脂またはフッ素樹脂から形成されているので、 弁座 6 1 の材料は例えばチタンまたは P E E Kなどである。 弁座 6 1 は弁体 3 2 と同一の材料から形成されているのが好ましいが、 筒 状部 2 5よりも熱変形量が小さい材料であれば弁座 6 1が弁体 3 2 とは異なる材料から形成されていてもよい。

一方、 筒状部 2 5 の先端 2 5 aは半径方向内側に延びており、 先 端 2 5 aの外周面には半径方向内側に向かって段差部 2 6が形成さ れている。 従って、 図示されるように弁座 6 1 の外周面 6 2は筒状 部 2 5の内周面 2 5 c に係合し、 弁座 6 1 の段差部 6 4は筒状部 2 5の半径方向内側に延びる部分 2 5 aの下面に係合する。 なお、 〇 リング 8 1が弁座 6 1 の段差部 6 4と筒状部 2 5の半径方向内側に 延びる部分 2 5 aの下面との間に配置されている。 〇リ ング 8 1 は 、 第一室 2 1 内の流体が弁座 6 1 と部分 2 5 aとの間の隙間から漏 洩して第二室 2 2に流入するのを防止する役目を果たす。

さらに、 図 4には筒状部 2 5 の外周部を締付ける締付部材 6 5が 示されている。 締付部材 6 5も弁座 6 1 と同様に、 筒状部 2 5より も熱変形量が小さい材料、 例えばチタンまたは P E E Kから形成さ れている。 この締付部材 6 5は弁体 3 2および弁座 6 1 と同一の材 料から形成されているのが好ましいが、 筒状部 2 5よりも熱変形量 が小さい材料であれば締付部材 6 5が弁体 3 2および弁座 6 1 とは 異なる材料から形成されていてもよい。

締付部材 6 5を備えることなしに弁座 6 1が筒状部 2 5 にネジ込 まれている流量調整装置 1 0 に高温 · 高圧の流体、 例えば蒸気が供 給されることを想定すると、 筒状部 2 5が熱および圧力により変形 するので、 流体が筒状部 2 5の部分 2 5 aと弁座 6 1 との間の隙間 を通って漏洩する可能性がある。 これに対し、 締付部材 6 5 を備え る流量調整装置 1 0においては締付部材 6 5が筒状部 2 5 を周りか ら締付けて筒状部 2 5が半径方向に拡張するのを防止する。 このた め、 熱変形量が比較的小さい弁座 6 1 に加えて、 熱変形量が同様に 小さい締付部材 6 5 を使用するのが好ましく、 それにより、 流体が 部分 2 5 aと弁座 6 1 との間の隙間から漏洩することも防止できる 略リング型の締付部材 6 5は下方に延びる延長部 6 6 を有してい る。 図示されるように、 締付部材 6 5 の下面は筒状部 2 5 の先端 2 5 aの頂面に係合する。 また、 締付部材 6 5の延長部 6 6は筒状部 2 5の段差部 2 6 に係合し、 それにより、 締付部材 6 5 の外周面と 筒状部 2 5の外周面とが同一平面になる。 さらに、 締付部材 6 5の 内周面 6 8にはネジ山部が形成されており、 このネジ山部は弁座 6 1 の外周面に形成された対応するネジ山部と螺合している。 なお、 図 4に示されるように締付部材 6 5は、 締付部材 6 5に形成された 孔を通るネジ 6 7 によって筒状部 2 5の先端 2 5 aに固定されてい る。

従って、 ハウジング胴部 1 9 c内部の部品を組み付けるときには 、 はじめに、 弁座 6 1 を筒状部 2 5の基端 2 5 bから通して筒状部 2 5の先端 2 5 aに係合させる。 次いで、 閉鎖部 8 0 と一緒に予め 組み付けられた弁体 3 2 を弁座 6 1 の弁孔に通過させ、 閉鎖部 8 0 によって筒状部 2 5の基端 2 5 bを閉鎖する。 その後、 締付部材 6 5 を弁体 3 2の先端 3 3に挿入させて、 締付部材 6 5 を筒状部 2 5 の先端 2 5 aに配置し、 締付部材 6 5 を回転させて締付部材 6 5 と 弁座 6 1 とを螺合する。 最終的に、 ネジ 6 7 によって締付部材 6 5 を筒状部 2 5の先端 2 5 aに固定し、 それにより、 ハウジング胴部 1 9 cの図 4に示される部分が形成されるようになる。 その後、 ハ ゥジング蓋部 1 9 a、 ハウジング環状部 1 9 bおよびハゥジング胴 部 1 9 c を適切に組み付けて、 図 1 に示される流量調整装置 1 ◦ を 組み立てる。

流量調整装置 1 0の使用時には、 入口ポート 1 1および出口ポー 卜 1 2 を所定の配管系に接続する。 当初は弁体 3 2は弁座 6 1 に係 合した閉弁状態にある （図 3 を参照されたい） ので、 配管系からの 流体は入口ポート 1 1 を通って第一室 2 1 まで到達する。 次いで、 圧力導入ポー ト 1 8に他の流体、 例えば空気を導入すると、 圧力室

2 9が加圧される。 これにより、 第一ダイヤフラム 4 1が圧力室 2 9内の圧力により下方、 つまり開弁方向に付勢される。 前述したよ うに第一ダイヤフラム 4 1 はべッ ド 7 5を介して第二ダイヤフラム 5 1 に連結されており、 また、 第二ダイヤフラム 5 1 に連結された 弁体 3 2の摺動部材 3 6の下端にはパネ 3 9が配置されている。 従 つて、 圧力室 2 9内の圧力が所定の圧力を越えると、 第一ダイヤフ ラム 4 1 とべッ ド 7 5 と第二ダイヤフラム 5 1 と弁体 3 2 とがバネ

3 9 に杭して一体的に開弁方向に移動する。

これにより、 図 2に示されるように弁体 3 2 と弁座 6 1 との間に 環状の隙間、 つまり弁孔が形成され、 第一室 2 1内の流体はこの弁 孔を通って第二室 2 2に流入する。 次いで、 第二室 2 2内の流体は 流量調整装置 1 0の出口ポート 1 2から排出される。 図 2から分か るように、 弁体 3 2 と弁座 6 1 との間の弁孔の面積は第一ダイヤフ ラム 4 1等を移動させればされるほど増大し、 出口ポート 1 2から 排出される流体の流量もこれに応じて増加する。 すなわち、 本発明 に基づく流量調整装置 1 0においては、 一体的に移動する第一ダイ ャフラム 4 1 とべッ ド 7 5 と第二ダイヤフラム 5 1 と弁体 3 2 との 移動量を調整することにより、 出口ポート 1 2からの流体の流量を 調整している。

前述したように本発明においては少なく とも弁座 6 1は筒状部 2 5よりも熱変形量の小さい材料から形成されている。 従って、 流量 調整装置 1 0に高温 ， 高圧の流体、 例えば蒸気が供給される場合に 筒状部 2 5が半径方向に拡張したとしても、 弁座 6 1 はほとんど熱 変形しない。 つまり、 弁座 6 1が比較的熱変形量の小さい材料から 形成されているために、 弁座 6 1の耐久性が確保されることになる また、 本発明の第一の実施形態においては締付部材 6 5が弁座 6 1周りに固定して配置されているので、 筒状部 2 5が拡張するのに 十分な温度になった場合でも、 筒状部 2 5は実際にはほとんど熱変 形しない。 従って、 弁体 3 2 と弁座 6 1 との間に余分な隙間が生ず ることはなく、 弁体 3 2および弁座 6 1が破損することもない。 こ のような構成であるために、 本発明の流量調整装置 1 0においては 、 高温 · 高圧の流体を供給する場合であっても流量の調整を安定し て行うことができる。

なお、 前述したように弁体 3 2を筒状部 2 5よりも熱変形量の小 さい材料から形成した場合には、 弁体 3 2の耐久性を確保すること もできる。

図 2および図 3から分かるように、 ゴムシート 7 1が第一ダイヤ フラム 4 1 の環状薄膜部 4 5とベッ ド 7 5の環状湾曲部 7 7 との間 に配置されており、 さらに、 ゴムシート' 7 2がベッ ド 7 5の環状湾 曲部 7 7 と第二ダイヤフラム 5 1の環状薄膜部 5 5 との間に配置さ れている。 これらゴムシート 7 1、 ゴムシート 7 2は第一ダイヤフ ラム 4 1 とベッ ド 7 5 との間、 およびベッ ド 7 5 とゴムシート 7 2 との間の隙間を充填する役目を果たしている。

ゴムシー卜 7 1が存在していなくて第一ダイヤフラム 4 1 とべッ ド 7 5 との間に隙間が存在する場合には、 圧力室 2 9の圧力が高ま ると環状薄膜部 4 5が下方に大幅に湾曲しうるので、 長期間の使用 により第一ダイヤフラム 4 1 の環状薄膜部 4 5が破損する可能性が ある。 一方、 第一ダイャフラム 4 1 とベッ ド 7 5 とが隣接している 場合には、 第一ダイヤフラム 4 1の環状薄膜部 4 5はほとんど変化 しない。

この点に関し、 本発明においては、 ベッ ド 7 5よりも柔軟なゴム シート 7 1 、 7 2が前述したように配置されており、 またこれらゴ ムシ一ト 7 1 、 7 2は適度な弾性を有しているので、 第一および第 二のダイヤフラム 4 1 、 5 1が適度に変形できてべッ ド 7 5 と一体 的に移動でき、 結果的に、 ダイヤフラムの環状薄膜部 4 5 、 5 5を 保護することが可能となる。

また、 本発明においては二つのダイヤフラム 4 1 、 5 1 を使用し ているために、 例えば供給される流体が蒸気または特定の薬液であ る場合であっても、 これら流体が流れる第二室 2 2 と圧力室 2 9 と が単一のダイヤフラムを介して隣接することはない。 すなわち、 本 発明においては二つのダイヤフラム 4 1 、 5 1 を用いることにより 、 ダイヤフラム 4 1 、 5 1 に掛かる負荷を可能な限り低減している また、 図示されるように、 第一ダイヤフラム 4 1 と第二ダイヤフ ラム 5 1 との間の空間は通気口 1 7 により大気開放している。 流量 調整装置 1 0に供給される流体が蒸気である場合には第二室 2 2が 高圧になり、 また他の流体が導入される圧力室 2 9 も高圧になる。 このため、 第一ダイヤフラム 4 1 と第二ダイヤフラム 5 1 との間の 空間が両側から押圧されて比較的高圧になるが、 本発明においては 当該空間を通気口 1 7によって大気開放させている。 従って、 本発 明においては第一ダイヤフラム 4 1 と第二ダイヤフラム 5 1 との間 の空間が比較的高圧になることはなく、 第一および第二ダイャフラ ム 4 1， 5 1の動きがスムーズになり、 圧力室 2 9の圧力を適度に 弁体 3 2に伝達して弁体 3 2 を摺動させられる。 このような場合に は第一ダイヤフラム 4 1 と第二ダイヤフラム 5 1 との間の空間も安 定させられるので、 当該空間に配置されるゴムシート 7 1、 7 2 を 結果的に保護することが可能となる。

特に、 流量調整装置 1 0 に供給される流体が高温 · 高圧の流体、 例えば蒸気である場合には、 第一ダイヤフラム 4 1および第二ダイ ャフラム 5 1が熱変形する可能性があるものの、 本発明においては 第一ダイヤフラム 4 1 と第二ダイヤフラム 5 1 との間の空間を大気 開放することにより、 これらダイヤフラムの変形を或る程度抑制す ることが可能となっている。

また、 通気口 1 7の先端付近にはネジ山部 （図示しない） が形成 されている。 特に、 比較的高温の流体を供給するために流量調整装 置 1 0を使用する場合には、 第一ダイヤフラム 4 1 と第二ダイヤフ ラム 5 1 との間の空間において結露が起こる可能性がある。 このよ うな場合には、 ネジ山部を介して別の継手 （図示しない） を通気口 1 7 に取り付けることにより、 第一ダイヤフラム 4 1 と第二ダイヤ フラム 5 1 との間の空間に生じた結露を通気口 1 7 に通して流量調 整装置 1 0の外部まで排出することもできる。 つまり、 本発明にお いては、 通気口 1 7 を結露ドレンポートとして使用することも可能 である。 なお、 図 2等に示されるように、 流量調整装置 1 0のハウジング 底部 1 9 dには、 バネ 3 9が配置されているバネ室 1 5 cから外部 まで延びる通気口 2 7が形成されている。 通気口 2 7は、 バネ室 1 5 c を大気開放してバネ 3 9の動作をスムーズにする役目を果たし ている。 また、 通気口 1 7の場合と同様に、 通気口 2 7の先端付近 にネジ山部 （図示しない） を形成して別の継手を通気口 2 7 に取り 付けてもよい。 これにより、 比較的高温の流体を供給するときにバ ネ室 1 5 cで生じうる結露を通気口 2 7 に通して流量調整装置 1 0 の外部まで排出することができる。

ところで、 図 5 aは筒状部の基端を拡大して示す部分拡大図であ る。 図 5 aに示されるように 、 筒状部 2 5の内周面に係合する閉鎖 部 8 0の外周面には環状溝 8 3が形成されている。 環状溝 8 3には シール部材、 例えば〇リ ング 8 2が配置されており、 閉鎖部 8 0の 外周面と筒状部 2 5の内周面との間を封止する。 図示されるように

Oリ ング 8 2は筒状部 2 5の内周面によつて半径方向内側に付勢さ れつつ閉鎖部 8 0の環状溝 8 3に揷入されている。

このため、 閉鎖部 8 0の外周面と筒状部 2 5の内周面との間に微 少な隙間が形成された場合に O Uング 8 2は半径方向外側に拡張し てこの隙間を封止する。 特に流虽 f 整装置 1 0が高温 · 高圧の流体

、 例えば蒸気を供給する場合には筒状部 2 5が半径方向外側に拡張 して閉鎖部 8 0 と筒状部 2 5 との間に隙間が形成される可能性があ る。 ところ力 本発明においてはこのような隙間は Oリ ングの拡張 によって吸収されるので、 流体が筒状部 2 5 と閉鎖部 8 0 との間か ら漏洩するのを防止できる。 また、 流量調整装置 1 0が蒸気などを 供給する場合には筒状部 2 5が上下方向にも変形する。 図 5に示さ れるように、 〇リ ング 8 2は半径方向内側に付勢されているので、 筒状部 2 5が上下方向に変形した場合であつても、 〇リング 8 2は この変形を吸収してシール性を保持することができる。

さらに、 筒状部 2 5の基端 2 5 bには凹溝 2 5 dが形成されてい る。 そして、 凹溝 2 5 dに対応した形状の環状突部 8 4が閉鎖部 8 0 に設けられている。 図示されるように、 閉鎖部 8 0の環状突部 8 4は筒状部 2 5の凹溝 2 5 dに係合している。 このような構成であ るために、 筒状部 2 5が半径方向に変形することによって筒状部 2 5 と閉鎖部 8 0 との間から漏洩した流体が Oリ ング 8 2 を越えて筒 状部 2 5の基端 2 5 bまで到達した場合であっても、 流体の流れは 環状突部 8 4により停止する。 このため、 凹溝 2 5 dおよびこれに 対応する環状突部 8 4を備えることによって、 筒状部 2 5が半径方 向に変動した場合に流体が筒状部 2 5 と閉鎖部 8 0 の間から漏洩す るのをさらに防止してシール性を維持することが可能となる。

図 5 bは筒状部の基端を拡大して示す他の部分拡大図である。 図 5 bに示される実施形態においては、 筒状部 2 5の基端 2 5 bに環 状突部 2 5 eが形成されており、 これに対応した凹溝 8 4 'が閉鎖 部 8 0に設けられている。 このような構成においても、 前述したの と同様に筒状部 2 5 と閉鎖部 8 0の間から流体が漏洩するのが防止 され、 半径方向のシール性を保持することができる。

図 5 aおよび図 5 bには断面が矩形の環状突部 8 4 、 2 5 eおよ びこれに対応した形状の凹溝 2 5 d 、 8 4 'が示されているが、 環 状突部および凹溝の断面が他の形状、 例えば三角形状などであって もよい。 また、 環状突部 8 4 、 2 5 e を排除して、 凹溝 2 5 d 、 8 4 '内に別の〇リングを配置するような構成にしてもよい。 いずれ の場合であっても、 前述したのと同様な効果を得ることができる。 図 6は本発明の第二の実施形態に基づく流量調整装置 1 0 'の開 弁状態を示す側断面図である。 図 6に示される第二の実施形態にお いて前述したのと同一の参照符号により示される部材については説 明を最小限にとどめるかまたは説明を省略する。 本発明の第二の実 施形態においては、 弁体 3 2がハウジング胴部 1 9 c と同様な材料 、 すなわちポリプロピレン樹脂またはフッ素樹脂から形成されてい る。 さらに、 図 4を参照して説明した〇リング 3 8は流量調整装置 1 0 'の弁体 3 2には設けられていない。

さらに、 図 6に示される流量調整装置 1 0 'の弁座 6 1 'の寸法は 第一の実施形態における弁座 6 1 と締付部材 6 5 とを合計した寸法 に概ね等しい。 そして、 弁座 6 1 'は筒状部 2 5 と一体的に形成さ れている。 すなわち、 流量調整装置 1 0 'における弁座 6 1 'はハウ ジング胴部 1 9 c と同一の材料、 すなわちポリプロピレン樹脂また はフッ素樹脂から形成されている。

さらに、 図 6に示されるように、 弁座 6 1 'にはリ ング型の補強 部材 9 0が埋込まれている。 この補強部材 9 0の材料は、 例えばチ タンまたはポリエーテルエーテルケトン （P E E K ) である。 すな わち、 図 6に示される実施形態においては、 ハウジング胴部 1 9 c よりも熱変形量の少ない材料が補強部材 9 0の材料として選択され ている。

図示されるように、 補強部材 9 0の半径方向の寸法は弁座 6 1 ' の頂面の寸法よりも一回り小さい。 また、 補強部材 9 0は弁座 6 1 'の頂面から内側傾斜面 6 3の終点付近まで軸線方向に延びている 。 つまり、 弁体 3 2に接触する弁座 6 1 'の表面の内側に、 補強部 材 9 0は埋込まれている。 さらに、 この補強部材 9 0はその全体が 弁座 6 1 'に埋込まれていて、 図示されるように補強部材 9 0は第 一室 2 1および第二室 2 2の両方に対して露出していない。

高温 · 高圧の流体、 例えば蒸気が流量調整装置 1 0 'に供給され た場合を想定すると、 弁座 6 1 'が樹脂材料から形成されているも のの、 弁座 6 1 'には補強部材 9 0が埋込まれているために、 弁座 6 1 'が半径方向に拡張することはない。 つまり、 流量調整装置 1 0 'においても弁座 6 1 'が破損することなしに、 流量の調整を安定 して行う ことができる。 さらに、 前述したように弁体 3 2 と弁座 6 1 'とは互いに同様な樹脂材料から形成されているので、 流量調整 装置 1 0 'の弁座 6 1 'と弁体 3 2 とが接触するときには、 金属材料 接触時に生じうる摩耗が生じることはない。

また、 本発明の第二の実施形態においては金属材料が露出してい ない構成であるために、 金属材料を腐食する流体、 例えば特定の薬 液などを使用する場合であっても、 第二の実施形態に基づく流量調 整装置 1 0 'を採用することが可能となる。 さらに、 第一の実施形 態の場合よりも熱変形量の少ない材料に関する使用量が小さくなる ので、 流量調整装置 1 0 'は第一の実施形態に基づく流量調整装置 1 0より も低費用にて作成することができる。 なお、 前述した態様 のいくつかを適宜組み合わせることは本発明の範囲に含まれるもの とする。

図 7 aは本発明の第三の実施形態に基づく流量調整装置 1 0 ' 'の 開弁状態を示す側断面図であり、 図 7 bは、 図 7 aに示される流量 調整装置の端面図である。 図 7 aに示される実施形態においては、 閉鎖部 8 0 を下側からカバーするアンダーカバー 9 5が設けられて いる。 アンダーカバ一 9 5は略カップ型部材であり、 カップの底を 構成する端部 9 6 aと、 内周面にネジ山が形成されていてカップの 周面を構成するスリーブ 9 6 bとを含んでいる。 アンダーカバ一 9 5は剛性の高い材料、 例えば S U S 3 0 4等から形成されるのが好 ましい。

また、 第三の実施形態においては、 ハウジング胴部 1 9 cの底部 には部分環状溝 9 7が筒状部 2 5 を取囲むように形成されている。 この部分環状溝 9 7の内周面には、 スリーブ 9 6 bのネジ山に螺合 するネジ山が形成されている。 従って、 アンダーカバ一 9 5が設置 されると、 スリーブ 9 6 bの先端が部分環状溝 9 7 に係合しつつ、 アンダーカバー 9 5は筒状部 2 5の側壁を外部から取囲むようにな る。 前述したようにアンダーカバー 9 5は S U S 3 0 4等から形成 されるので、 筒状部 2 5はアンダ一カバ一 9 5によって側面側およ び下面側から補強される。

また、 アンダーカバー 9 5が筒状部 2 5に螺合されると、 閉鎖部

8 0はカップ型のアンダーカバー 9 5の内部に受容され、 端部 9 6 a上に位置するようになる。 特に図示されるように、 アンダーカバ — 9 5が筒状部 2 5に完全に螺合されると、 閉鎖部 8 0のフランジ 部は筒状部 2 5 とアンダーカバ一 9 5 との間に挟まれるようになる 本実施形態においては、 ハウジング底部 1 9 dには貫通孔 1 9 f が形成されており、 貫通孔 1 9 f の内壁には周方向に突出する環状 突出部 1 9 gが設けられている。 アンダーカバ一 9 5 を螺合させた 後で、 アンダーカバ一 9 5がハウジング底部 1 9 dの貫通孔 1 9 f に受容されるように、 ハウジング底部 1 9 dを前述したようにハウ ジング胴部 1 9 c に組付ける。 これにより、 アンダーカバ一 9 5の 底部はハウジング底部 1 9 dの環状突出部 1 9 gに着座する。

この状態では、 アンダーカバー 9 5は筒状部 2 5に螺合されてい るだけであるので、 アンダーカバー 9 5が回転して緩む可能性があ る。 従って、 図示されるようにフランジ付きのハウジング閉鎖部 1

9 e をアンダーカバ一 9 5 とは反対側からハウジング底部 1 9 dの 貫通孔 1 9 f に挿入し、 それにより、 ハウジング閉鎖部 1 9 eのフ ランジを環状突出部 1 9 gに係合させる。

図示されるように、 アンダーカバ一 9 5の端部 9 6 aには複数の 孔が形成されており、 ハウジング閉鎖部 1 9 eにもこれら孔に対応 する複数の孔が形成されている。 図 7 aおよび図 7 bに示されるよ うに、 ハウジング閉鎖部 1 9 eを組付けた後で、 ネジ 9 4をこれら 孔に通して、 アンダーカバー 9 5 とハウジング閉鎖部 1 9 e とを互 いに固定する。 アンダーカバー 9 5をこのように固定することによ り、 アンダーカバ一 9 5が周方向に回転するのが防止され、 アンダ —カバ一 9 5は緩まないようになる。

この状態においては、 図 7 aから分かるように、 ハウジング底部 1 9 dの環状突出部 1 9 gがアンダーカバー 9 5 とハウジング閉鎖 部 1 9 e との間に挟まれ、 アンダーカバ一 9 5 とハウジング閉鎖部 1 9 e とはネジ 9 4により互いに固定されることになる。 従って、 これら部品は互いに堅固に把持されるようになる。

また、 アンダーカバー 9 5の端部 9 6 aには、 摺動部材 3 6の下 方部分が摺動する開口部が形成されている。 そして、 摺動部材 3 6 のバネ 3 9は、 摺動部材 3 6 とハウジング閉鎖部 1 9 eの凹部 1 5 bとの間に配置される。

このように第三の実施形態においては、 アンダーカバ一 9 5がネ ジ 9 4により固定されているので、 蒸気などを供給した場合であつ ても、 ハウジング胴部 1 9 cの筒状部.2 5などが上下方向に変形し ない。 さらに、 アンダーカバー 9 5はハウジング底部 1 9 dの環状 突出部 1 9 gに係合するように貫通孔 1 9 f に受容されているので 、 筒状部 2 5やハウジング胴部 1 9 c、 ハウジング底部 1 9 dなど が周方向に変形することもない。 すなわち、 第三の実施形態の流量 調整装置 1 0 ' 'においては、 各部品が変形しないので、 漏洩するこ となしに蒸気を供給することができる。

また、 部品の変形を伴うことなしに蒸気を供給するために、 標準 P T F Eよりも耐久性の高い高密度 P T F E ( p o 1 y t e t r a f 1 u o r e t h y 1 e n ) からべローズ 3 7 を形成するのが好ま しい

さらに、 第三の実施形態においては、 閉鎖部 8 0において使用さ れる 〇リ ングを受容する凹部の形状を変更する となしに Oリ ン グ 8 2の外周径を可能な限り大きくするのが好ましい のような

¼口には、 Oリング 8 2のつぶししろが従来の場合よりち大きくな り、 その結果、 シール性を高めることができる

と ろで、 締付部材 6 5において使用されるネジ 6 7が P E E K 等から形成される場合には、 蒸気の供給時に P E E K製ネジが溶出 して第二室 2 2内にパーティクルとして流出する可能性がある。 こ のため、 ネジ 6 7はチタンから形成されるのが好ましい。 さらに好 ましくはネジ 6 7はエッチング処理済みのチタン製ネジである。 こ れにより、 蒸気供給時にネジ 6 7が溶出するのを抑制することが可 能となる。

典型的な実施形態を用いて本発明を説明したが、 当業者であれば 、 本発明の範囲から逸脱することなしに、 前述した変更および種々 の他の変更、 省略、 追加を行う ことができるのを理解できるであろ

Ό

Claims

1 . 入口ポートに連通する第一室と、 出口ポートに連通する第二 室とを含むハウジングと、

前記第二室内に延びていて前記第一室と前記第二室とを連通する 筒状部と、

請

該筒状部の先端に設けられた弁座と、

該弁座を開閉する弁体とを具備し、

前記弁座および前記弁体のうちの少なく とも一方が、 前記筒状部 を形成する材料よりも熱変形量が小さい材料から形成されている流 量調整装置。 囲

2 . 入口ポートに連通する第一室と、 出口ポートに連通する第二 室とを含むハウジングと、

前記第二室内に延びていて前記第一室と前記第二室とを連通する 筒状部と、

該筒状部の先端に設けられた弁座と、

該弁座を開閉する弁体とを具備し、

前記筒状部には、 該筒状部を形成する材料よりも熱変形量が小さ い材料からなる補強部材が少なく とも部分的に埋込まれている流量 調整装置。

3 . 入口ポートに連通する第一室と、 出口ポートに連通する第二 室とを含むハウジングと、

前記第二室内に延びていて前記第一室と前記第二室とを連通する 筒状部と、

該筒状部の先端に設けられた弁座と、

該弁座を開閉する弁体と、

前記筒状部の基端を閉鎖する閉鎖部と、 前記閉鎖部を受容しつつ前記筒状部の側壁を取囲んで支持する力 ップ型支持部とを具備する流量調整装置。

4 . さらに、 前記筒状部の先端周りを締付ける締付手段を具備す る請求項 1から 3のいずれか一項に記載の流量調整装置。

5 . さらに、 前記弁座に接触する前記弁体の一部分には、 弁体シ —ル手段が設けられている請求項 1から 4のいずれか一項に記載の 流量調整装置。

6 . さらに、 前記ハウジングには、 前記第二室に連通していて圧 力ポートを備えた圧力室が形成されており、

前記第二室と前記圧力室とを封止可能に分離する互いに連結され た第一および第二の可撓性分離手段を具備し、 前記第一の可撓性分 離手段は前記圧力室内の流体にさらされると共に前記第二の可撓性 分離手段は前記第二室内の流体にさらされていて前記弁体に連結さ れており、

さらに、 前記第一および第二の可撓性分離手段の間に配置される べッ ドを具備する請求項 1から 5のいずれか一項に記載の流量調整 装置。

7 . 前記第一の可撓性分離手段と前記べッ ドとの間および前記第 二の可撓性分離手段と前記べッ ドとの間の少なく とも一方に、 弾性 部材が配置されている請求項 6に記載の流量調整装置。

8 . 前記第一および第二の可撓性分離手段の間において排気通路 が前記ハウジングに形成されている請求項 6または 7 に記載の流量 調整装置。

9 . さらに、 前記筒状部の基端を閉鎖する閉鎖部を具備し、 前記 弁体は前記閉鎖部に移動可能に連結されており、

前記筒状部の内壁と前記閉鎖部との間および前記筒状部の基端縁 部と前記閉鎖部との間の少なく とも一方に、 シール手段が設けられ ている請求項 6から 8のいずれか一項に記載の流量調整装置。

1 0 . 入口ポートに連通する第一室と、 出口ポートに連通する第 二室とを含むハウジングを具備し、 前記ハウジングには、 前記第二 室に連通していて圧力ポートを備えた圧力室が形成されており、 さらに、

前記第二室内に延びていて前記第一室と前記第二室とを連通する 筒状部と、

該筒状部の先端に設けられた弁座と、

該弁座を開閉する弁体と、

前記第二室と前記圧力室とを封止可能に分離する互いに連結され た第一および第二の可撓性分離手段とを具備し、 前記第一の可撓性 分離手段は前記圧力室内の流体にさらされると共に前記第二の可撓 性分離手段は前記第二室内の流体にさらされていて前記弁体に連結 されており、

さらに、

前記第一および第二の可撓性分離手段の間に配置されるべッ ドを 具備する流量調整装置。

1 1 . 前記第一の可撓性分離手段と前記べッ ドとの間および前記 第二の可撓性分離手段と前記ベッ ドとの間の少なく とも一方に、 弾 性部材が配置されている請求項 1 0 に記載の流量調整装置。

1 2 , 前記第一および第二の可撓性分離手段の間において排気通 路が前記ハウジングに形成されている請求項 1 0 または 1 1 に記載 の流量調整装置。

1 3 . さらに、 前記筒状部の基端を閉鎖する閉鎖部を具備し、 前 記弁体は前記閉鎖部に移動可能に連結されており、

前記筒状部の内壁と前記閉鎖部との間および前記筒状部の基端縁 部と前記閉鎖部との間の少なく とも一方に、 シール手段が設けられ ている請求項 1 0から 1 2のいずれか一項に記載の流量調整装置。

1 4 . 前記筒状部には、 該筒状部を形成する材料よりも熱変形量 が小さい材料からなる補強部材が少なく とも部分的に埋込まれてい る請求項 1 0から 1 3のいずれか一項に記載の流量調整装置。

1 5 . 前記弁座および前記弁体のうちの少なく とも一方が、 前記 筒状部を形成する材料よりも熱変形量が小さい材料から形成されて いる請求項 1 0から 1 3のいずれか一項に記載の流量調整装 。

1 6 . さらに、 前記筒状部の先端周りを締付ける締付手段を具備 する請求項 1 0から 1 5のいずれか一項に記載の流量調整装置。

1 7 . さらに、 前記弁座に接触する前記弁体の一部分には、 弁体 シール手段が設けられている請求項 1 0から 1 6のいずれか一項に 記載の流量調整装置。