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TWI445059B - 熱處理裝置 - Google Patents

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Publication number
TWI445059B
TWI445059B TW96138315A TW96138315A TWI445059B TW I445059 B TWI445059 B TW I445059B TW 96138315 A TW96138315 A TW 96138315A TW 96138315 A TW96138315 A TW 96138315A TW I445059 B TWI445059 B TW I445059B
Authority
TW
Taiwan
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preventing member
contact preventing
cover
throat
heat treatment
Prior art date
Application number
TW96138315A
Other languages
English (en)
Chinese (zh)
Other versions
TW200839852A (en
Inventor
Kiichi Takahashi
Yuichiro Sase
Izumi Sato
Kiyohiko Takahashi
Original Assignee
Tokyo Electron Ltd
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Publication date
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