201217139 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關一種用於由濃液形成用作相位差膜之膜 的流延裝置及溶液製膜方法。 【先前技術】 通常，液晶顯示器上使用相位差膜，由於液晶顯示器的 大晝面化和高精細化，對相位差膜所要求之品質亦越來越 嚴格。作爲所要求之品質備受重視的是光學特性，作爲光 學特性有Re、Rth、慢軸的方向（取向角）的均勻性等。 其中，對慢軸的方向的均勻性之要求非常嚴格。具體而言， 要求在長形膜中的寬度方向上，將慢軸的偏離量（以下， 稱爲軸偏離量）相對於目的慢軸的方向抑制在_15。以上 1.5°以内的範圍，進一步要求在膜整個區域内將轴偏離量 抑制在-1。以上1。以内的範圍，抑制在_〇 4。以上〇 4。以内爲 較佳。再者，Re是膜面内的光學各向異性，Rth是膜面内 和膜厚方向的光學各向異性。對於連續進行難造而得到 之長形膜，在將nx設爲朗長邊方向的折射率、町設爲 膜的寬度方向的折射率、似設爲膜的厚度方向的折射率、 d設爲膜的厚度時，分別以如下公式求出⑸和尬。
Re= (ny-nx) xd
Rth= ((ny+nx) /2-nz) xd 作爲盤造用作相介r莫睹ηϋ n ..
的市場越來越擴大，隨著該市場的擴大， 溶液製膜中膜的 4 201217139 39227pif 製造效率亦需要提高。 溶液製财法在工紅以連續方式進行H，連續 濃液來作爲流延膜並剝離流延膜爲止的流延製程 離流延膜亦即膜進行乾燥之乾燥製程。流延製程 ^眺程t提高流延製財的速度__製造效率的提 因此’爲了提高流延_乾騎度，以往使風像日本 ’J公開日召61-110520號公報或曰本專利公開昭 -055214號公報那樣流動。在日本專利公開昭61损汹 琥公報中，使乾燥風相對流延膜平行地流動，並使其 =以相對於流賴的行進方向成爲逆流或賴之^式流 ^。另外，在日本專利公開昭64_〇55214號公報中，對在 行進之支龍上由特定濃液形成之流賴噴吹垂直於 祺之乾燥風。 ' 此外，在日本專利公開昭64_〇55214號公報中，爲了 乾燥而對流賴喷吹風，將風的方向與支撐體表面所成之 角設爲45。〜80。或90。。在日本專利公開2〇〇3·1〇3544號 公報中，將從噴嘴朝向流延膜送出之風的方向設 5。〜 9〇〇 〇 ”’ 然而，藉由吹送風而使流延膜乾燥之方法中，爲了有 欸果甚至高效率地進行其乾燥，加熱作爲風喷吹之空氣並 而其變暖。如此，若將已加熱空氣吹送至流延膜，則支撑 體中未形成有流延膜之露出部份會慢慢昇溫。若支撐體的 路出部份的溫度過度昇高，則流延膜的各側部的溫度亦過 201217139 度上昇，產生起泡。 因此，爲了防止因向流延膜喷吹之風引起這種支撐體 侧部的露出部份的溫度上昇，在日本專利公開2〇〇5 〇47 i4丄 號公報中，設置遮風板，以免風接觸支撐體的露出部份。 然而，使風相對於流延膜平行地流動之方法與不喷吹 風之情況相比，乾燥速度較快，但存在於流延膜上產生向 流延方向延伸之細小條紋之類的問題。並且，在曰本專利 公開2003-103544號公報中，若對流延膜垂直地喷吹風， 貝J導致在風接觸到流延膜之後朝向上游側。被指出因該流 動而弓丨起膜厚變得不均勻之情況。 在此，日本專利公開2003-103544號公報的方法中， ，了^一步加快乾燥速度就要提高喷吹之氣體的溫度。但 疋，若如此提高氣體溫度，則在反復進行流延和剝離期間， 有=·支樓體的溫度在寬度方向上變得不均勻，所得到之膜 的光學特性、尤其是軸偏離量變成較大且在寬度方向上不 均勻者，或者支撐體的侧部逐漸翹曲。支撐體一旦開始翹 曲:則其翹起隨著繼續行進而慢慢變大，行進中的矯正幾 ^疋不可能的。並且，近年來，還有對膜的寬幅化的要求， =上的問題在伴隨朗寬幅化之支雜的寬幅化或用於謀 二進-步提高製造效率之支碰的長雜上，變得更加顯 【。另外，在日本專利公開2005_047141號公報的方法中， ^體相對於流延膜並行地流動於1對遮風板的一方與另— 之間，因此，氣體的溫度在流延膜的寬度方向上變得不 =勻。由於氣體的溫度在流延膜的寬度方向上變得不均勻， 6 201217139 39227pif 存在膜的光學特性巾尤妓#偏離量在寬度M上變得不 均勻之問題。 【發明内容】 因此’鑒於上述問題’本發明的目的在於提供一種， 爲了提咼基於溶液製膜的膜製造效率而謀求進一步提高流 延膜的乾騎度’並且謀求_慢軸的方向在寬度方向上 的均勻化，從而防止支撐體的翹曲之流延裝置和溶液製膜 方法。 、 爲了解決上述課題，本發明的流延裝置具備流延支撐 體、第1供氣部及1對第i遮風構件。流延支樓體爲環狀( 前述流延支雜在流延濃液之流延面形成流賴。前述流 延支樓體向長邊方向連續行進，並以從_位置返回流延 位置之方式循環。剝離位置是剝下前述流延膜之位置 述流延位置是流延前述毅之位置。前述第丨供氣 已加熱氣體。前述第1供氣部從與前述流延支 開口送出前述氣體。前述第i供氣部向相對於前述流延膜 的膜面垂直之方向送出前述氣體。前述丨對第i 件 沿f述流延支碰的行進路延伸1述第1遮 於如述流賴嫩的通過管—㈣述通過牛責ς 前述流延支禮體的寬度方向之内側。前述第 制前述氣體從前述流延膜__近向前^ t抑 部的露出部份流出。 支樓體侧 前述第1供氣部具有供氣導管和複數 前述供氣導管的底面與前述流延切體胃巧較佳。 _ 而配设，以便 201217139 39227pif = 流=，复:述:嘴向前述供氣導管的前 行進方向F /置。别述複數個噴嘴在前述流延支稽體的 前端。i述;開間隔而排列。前述開口設置於前述喷嘴的 縫狀。前述二口爲向前述流延支樓體的寬度方向延伸之狭 供氣導管^位Ϊ構件设置於距前述流延面的高度低於前述 開口二氣=爲較佳。排氣部從複數個 口在各個前述喷触十w 排氣相刖述複數個開 流延裝置間對置而設置。 述第2供氣部;出^!^°第2遮風構件爲較佳。前 氣=前述流延支撐體二 === 第2供氣部向相對於前述流”體別迷 前述第2姐構件介由麵的仃祕延伸。 件呈對向設置。前述第2 而與剛述第1遮風構 2:，非流延面中對應於前述露第 =?:;!述流延面的相反-側的表; -延裝置在别述第！供 較佳。前述第1供氣部設 :轉:、傷第3供氣部爲 面朝上而行進之第！扞、隹」延支撐體使前述流延 前述流延支樓體的行3 _部具有朝向 丁進方向上的上游側之開口。前述第3 201217139 39227pif 從別述開σ送出成騎所通過之前述流延膜的膜面 千灯的逆流之氣體。 述第3供㈣設置於前述歧支撐體使前述流延面 朝下而行進之第2行進區域爲較佳。 =發_雜製财法具備歧卿齡驟（Α步 =、_後的乾齡驟（B步驟）、__乾燥步驟（c 抑制步驟（D步驟）QA步驟，於向長邊方向連續 ^"^_之¥狀/711·延支撲體u延濃液而形成流延膜。B步驟， =述μ延支樓體剝下前述流延膜並進行乾燥。對剝下前 述延膜之後㈣賴延找體再次騎前述A步驟。c 2在相雜前賴賴_面垂直之料上似氣體來 對刚述流延膜進行乾燥。D步驟在前述c步驟巾進行。D 步驟藉由1對第i遮風構件抑制前述氣體從前述流延膜的 膜面附近向前述流延支撐體侧部的露出部份流出。前述i 對第1遮風構件配設於前述流延膜側緣的通過管路上或比 ^述通過管路更靠近前述流延讀體的寬度方向之内侧。 前述第1遮風構件沿前述流延支撐體的行進路延伸。 從具有供氣導管和在前端形成有開口之複數個喷嘴之 第1供氣部的前述開口送出前述氣體爲較佳。前述供氣導 管的底面與如述流延支撐體對置而配設，以便覆蓋所通過 之前述流延膜。前述喷嘴向前述供氣導管的前述底面突出 而設置。前述複數個噴嘴在前述流延支撐體的行進方向上 隔開間隔而排列。前述開口爲向前述支禮體的眘译 伸之狹縫狀。前述遮風構件設置於距流延面之高^低二前 201217139 jyzz/pif 述供氣導管之位置。前述流延面是 前述濃液之表面。 延炫體中流延 於高於前述第1遮風構件且與各個前述喷嘴 嘴之^置之位置則前述流延關邊的氣_較=嘴 溶液製膜方法進-步具備以下E步驟和 佳。E步驟對正從前述第1供氣部被喷吹前述氣體 流延膜喷吹已加熱氣體來使前述流延膜的溫度 步驟的前述氣體向相對於非流延面垂直之方㈣吹。：E 非流延面是前述流延支樓體的前述流延面的相反-側2 面:F步驟藉由第2遮風構件抑制前述氣體向前述= 面中對應於前述露出部份之侧部流出。前 流延纖的行進路延伸。前述第2遮風構：： 刚述〜延支賴而與前述第丨遮風構件呈對向設置。 C步=3綠=町G步驟爲較佳。G步驟在前述 c Y驟之魏π。G步簡由送 逆流之氣體來乾燥前述流延膜。前述c步驟 Μ μ」 體的别錢延膜進行。 撑體I的前述流延面朝下而行進之前述流延支 茯體上的剛述流延獏進行爲較佳。 依本發明，由於提高基於溶液 ==進一步提高流延膜的乾燥迷度=上 止支標體的翹曲。 輯低’並且防 【實施方式】 201217139 39227pif ，由第1圖所示之溶液製膜設備1〇實施本發明的第】 ^態樣爲較佳。溶液製膜設備職上游側依次具備流延 裝置u、第1拉幅機17、輥乾燥裝置21、第2拉幅機23、 ^機=及捲取裝置27。流延裝置15由聚合物溶解於溶 d中之/辰液11形成聚合物膜（以下，僅稱爲“膜，，）12。 1，機17 -邊以作爲保持手段之夾子16保_ 12的各 則j，-邊進行膜12的乾燥。餘燥裝置2卜邊以 支稽膜12，一邊進行乾燥。第2拉幅機23以作爲 之夾子22保持膜12的各側部，對膜12職予J 心j張力。分切機26切除藉由第1拉幅機17的夾子 ^ 機23的保持手段22保持之各側部的保持痕 跡將膜12捲繞於卷芯上，並作成輥狀。 旦美中’溶劑含有率（單位；％)是干 = A 具而S ’將溶劑的質量設爲Χ、膜12的質 劑含有率(單位;%)爲以{χ/㈣}_ 體之備形絲軸之作爲無端的流延支撐 捲繞於第1輥31和第2輕32 ^ f第2親32。帶30 輥32中至少任意一方爲 該驅動輥關向補來傳送接X之·駆純即可。藉由 送，帶3〇觀且向㈣方向m。之㈣。藉由該傳 流延模35向被傳送之::出連農二1:之流延模35。藉由從 連續流出濃液11，濃液U在 11 201217139 39227pif 帶30上流延而形成流延膜36。再者’以下將濃液u開始 接觸於帶30之位置稱爲流延位置pc。 第1輥31和第2輥32分別具備控制周面溫度之溫度 ^制器（未圖示）。第1親31簡面溫度成預定範圍之方 式冷卻。藉由冷卻第，帶3〇按每i周冷卻。由此， 即使連續打進而被後述之第1上游域供排氣單元41、第】 :游域供排氣單元42及第2下游域供排氣單元43持續加 熱’亦可更可靠地防止帶30的兩侧部3〇s (辦第3圖） 的溫度上昇。流延模35設置於第w3l上的帶3〇的上方， 流延位置PC設在第1輥31上。第2 ft 32以周面溫度成 == 的方式加熱。藉由加熱第2觀 效地乾 燥流延膜36。 第1輥31的周面溫度設爲3以上3 〇 較佳，5°C以上25t以下的制爲更佳 ^下 的範圍爲進一步較佳。第2棍32沾田C 乂上20 C以下 上5(TC以下的範圍爲較佳，坑以^面溫度設爲2〇°C以 佳省听町的範關的範圍爲更 流延模35不限於設置在位於第1觀31上之帶⑽的上 广設置於從第1轉31朝向第2報32 30的下方配設輥33，並在由輥33支：親:: 流延模35爲較佳。 Κ帶30#上方㈣ 關於從流延模35至帶3〇之濃液u 於帶30的行進方向上的上游設置減壓室，=示ί 12 201217139 jyzz /pif 減壓室吸引從流延模35流出之濃液il的上游侧區的氣團 並對前述區進行減壓。 將流延膜36固化至可向第1拉幅機17傳送之程度之 後，以包含溶劑之狀態從帶3〇剝下。在溶劑含有率較佳爲 20質量％以上50質量％以下的範圍、進一步較佳爲25質 量％以上45質量％以下的範圍内進行剝離爲更佳。藉由在 達到50質量％這樣的低溶劑含有率之後剝離，與以大於 5〇質量％之溶劑含有率剝離時相比，能夠使慢軸的方向更 可靠地均勻。另外，以20質量％以上剝離時，與以不到 20質量％剝離時相比，能夠更可靠地提高製造效率。 剝離時，用剝離用輥（以下，稱爲剝離輥）37支撐膜 12，將從帶30剝下流延膜36之剝離位置pp保持爲恒定。 剝離親37亦可以是具備驅動手段並沿周向旋轉之驅動輕。 再者，剝離在第1輕31上的帶3G上實施。若帶3〇循環而 從剝離位置返_流延位置pc，縣次流延新的濃液 行進之帶30的流延面朝上而 :進之第1仃進£域，包含流延膜形 :====置心。 行進區域’包含流延膜二 =二下而行進之第2 處具:更靠近下游 元-的下游具備有-下游域供二1元上:r:下氣: 13 201217139 ^yz-Δ /pif ί^ο氣的單42和第2下游域供排氣單元43。如此，沿 „ 行進路，從上游侧依次設置有第1上/〇 早元41、第1弟上游域供排氣 單元43。2料供魏單元42及第2下游域供排氣 ^是Γί;下游域供排氣單元的數量並不限定於; 用其他附圖in。和上游域供魏單元41，將利 第1下游域供排氣單元42具備流出已乾燥氣體 二二=氣體並排氣之排氣部47及控制器48。控制器 向=、乳。卩46送出氣體，並獨立調整其氣體的溫度、濕 度、來自供氣部46之流量及排氣部47中的吸引力。第^ 下游，供排氣單元43亦與第1下游域供排氣單元相同，具 備供氣部49、排氣部5〇及控制器51。 供氣部46、49配設於帶30的第2行進區域中比剝離 位置PP更罪近上游之位置。排氣部47配設於供氣部46 的上游’排氣部50配設於供氣部49的上游。流出氣體之 供氣部46、49的各流出口 46a、49a和吸引氣體之排氣部 47、50的各吸引口 47a、50a同爲向帶30的寬度方向延伸 之狹縫狀開口。供氣部46、49以流出口 46a、49a朝向帶 30行進方向上的上游侧之方式配設。排氣部47、50以吸 引口 47a、50a與帶30對置之方式配設。 藉由如上配設供氣部46、49和排氣部47、50，來自 供氣部46、49之氣體以相對於被傳送而通過之流延膜36 的膜面平行之逆流方式流動。藉由設爲逆流’能夠比順風 更有效地乾燥流延膜36。 201217139 jyZZ./pif 從第2輥32朝向剝離位置PP之帶3〇因爲於朝向下 方之可面上形成有流延膜36 ’所以無法用支撐手段從下方 支撐。因此，從苐2槪32朝向剝離位置pp之帶採取 因自重而向下突出的行進路徑。另外，在乾燥效率這一點 上’向相對於流延膜36垂直之方向噴吹氣體之情況比並行 流，的情況更優異。然而’爲了以比並行流動時更能提高 乾燥效率之程度的流量向垂直方向噴吹氣體，需要在流延 膜=6的下方设置較多的供氣手段。供氣手段配設得越多， 供氣手段與帶30相接觸之擔憂就越高。因此，藉由將供氣 =46、49均配設於從第2親32朝向制離位置pp之㈣ 的下方，財行之驗氣體賴第2親32躺剝離 PP之流延膜36進行乾燥。 1 游域於對於岐膜36平狀縣氣體之下 量’並不像本實施方式那樣限定於2, 本實施方式中，藉由控制器48 地控制第1下游域供排氣單元42和第二祕刀別獨立 43,但亦可以藉由1_制（下_供排氣單元 來自供氣部獨立地控制。 藉由使如此城之溫36 =、51加熱。 36，並進行乾燥。 、上"丨<動，加熱流延膜 在流延裝置15與第〗# 配設送風裝置（未圖示）。藉由^自之間的傳送路上亦可 行臈12的乾;^ 藉由來自錢風裝置之送風來進 15 201217139 ^y^z/pif 用剝離親37剝離流延膜36。被剝離之流延膜36、即 膜12被引導至第1拉幅機17。 第1拉幅機17用夾子16保持膜12並沿長邊方向傳送， 同時賦予寬度方向上的張力，擴展膜12的寬度。第1拉幅 機Π上從上游側依次形成有預熱區、拉伸區及鬆弛區。再 者’亦可沒有鬆弛區。 第1拉幅機17具備1對導軌（未圖示）及鏈條（未圖 示）導執δ又置於膜12的傳送路兩側，1對導執以預定間 隔分隔而配設。該導軌間隔在預熱區中爲恒定，在拉伸區 中隨著朝向下游而逐漸變寬，在鬆弛區中爲恒定。再者， 鬆弛區的導軌間隔亦可隨著朝向下游而逐漸變窄。 鏈條架設於驅動鏈輪及從動鏈輪（未圖示），且沿導執 移動自如地安裝。複數個夾子16以預定間隔安裝於鍵條 上。藉由驅動鏈輪的旋轉，夾子16沿導轨循環移動。 夾子16在第丨純機17的人明賴 並朝向出。移動，在出口附近解除保持。丨： 持之夾子16再次移動至人σ附近，保持新引導過來之 預熱區、拉伸區及鬆弛區是藉 的送错㈣自料54之乾燥風 外罢: 成者，並沒有明確的邊界。導管54 设置於膜12的傳送路上方。導 您1導管54 縫，從送職W具有送出餘風之狹 ^ 仏給。送風機將調整爲預定溫度 4庶度之乾紐風送至導管5 又 送路對置之方式配設。各狹_‘12^^=: 16 201217139 wzz/pif i伸t狀’在傳送方向上相互隔開預定間隔而形成。再 ::具有相同結構之導管設置於膜12的傳送路的下 方，^可設置於膜12的傳送路的上方和下方雙方。 之史極拉巾罐17中，邊傳送膜邊藉由來自導管54 度。U進行乾燥’並且藉由夾子b在預定時刻改變寬 %以，中膜12的溶劑含有率爲7質量％以上30質量 拉伸處理時的拉伸率ER1 (κ拉伸後的 較ί啦伸處理則中的膜宽^)}xl00)大於5%且在30°/❶以下爲 佳。處切U的溫度在8(rc以上16(rc以下爲較 機二:ft的在内:氣團，其溫度或濕度等藉由空調 複數個輥20上二/輥乾燥裝置21中，膜12被捲繞於 蒸發溶劑。在二^置21中，亦從臈12 率成爲5質量^至溶劑含有 再者，當從輥乾燥裝置21送出 =裝置21與第2拉幅機23之間設置2捧曲時’ ^ n料正_正捲曲，並裝置（未 第2拉幅機23向寬度方向拉伸膜 , 成爲具有所希朗光料性謂u 伸， 爲相位差_用。第2拉幅機23 12例如作 =構。再者，設置於第2拉幅機有d= (未圖示）⑽加減狀溫度之乾料 17 201217139 jy22/pif 流動。 ㈣if幅機23中的拉伸時的拉伸率ER2 (={(拉伸 (拉伸前的寬度）}xlG。）大於_上且在 。/以°下s 4較佳。拉伸開始_12的溶劑含有率在3質量 較佳。拉伸時膜12的溫度在130°C以上200°c以 下爲較佳》 作爲製造目的之膜12的光學特性，可以不使用第 二23。例如’在基於第i拉幅機17之拉伸中顯現作 爲目=之特性時’相不使用第2拉幅機23。 若膜12被引導過來，則第2拉幅機23的下游的分切 機^刀除包含因第1拉幅機Π或第2拉幅機23的各夾子 16、產生之保持痕跡之側部。將切除側部之膜12送至 捲置27 ’並捲取成輥狀。再者，在流延裝置15與第1 拉幅機17之間或第1拉幅機Π與報乾燥裝置21之間亦可 設置分切機。 參考第2〜第4圖，對第丨上游域供排氣單元41進行 説明。再者’爲了避免圖的繁雜化，在第3、第4圖中省 略第1輥31的圖示。 第^上游域供排氣單元41設置於流延位置PC的下游， 具備，氣部61、作爲遮風構件之遮風板62及排氣部63。 供氣。P 61向相對於在帶3G上形成之流賴36的膜面垂直 之方向噴吹氣體。如第3圖所示，形成於流延模35之狹縫 狀的濃液流出D 35a的長度小於帶3G的寬度。由此，流延 膜36形成於帶30的寬度方向上的中央部30c，以便帶30 201217139 观27pif 的:部3〇s露出。遮風板62抑制氣體從流延膜％的膜面 ^向帶3__部份流出。排氣㈣吸引流延膜 =周邊的_。以下分別對這些供氣部6卜遮風板62、 排氣β卩63進行詳細說明。 供氣部61具有供氣導管66、設置於供氣導管的上之 7個喷，67、送風機68及送風控制器69。送風機68 66l€di亂體°送風控制器69控制從送風機68 向供虱導⑽送出之氣體的溫度、濕度及流量。藉由該控 =調&來自嘴嘴67之氣體的流量及流速。氣體藉由送風控 |器69加熱。藉由將已加熱氣體作爲溫風並喷吹至流延膜 36來進行流延膜36的乾燥。 、 、供氣導管66是底面66a與帶30對置，以便覆蓋所通 過之抓延膜36之箱狀導管。複數個喷嘴67以在帶3〇的行 進方向上闕間隔㈣列之方式S&設。各喷嘴67在帶30 ^ ί度方向上成爲較長形狀，使前端朝向帶，且向供氣 導管66的底面6如突出而設置。在與帶30對置之前端形 成有將供氣導管66中的氣體送至外部之開口 67a。開口 67a 爲在帶30的寬度方向上較長之狹縫狀。 藉由從與帶30對置之開口 67a送出氣體，在相對於流 延膜=6的膜面垂直之方向上送出氣體。藉由在垂直方向上 ^吹氣體’能夠比以與膜面並行之流向喷吹時更有效地乾 燥流延膜36。因此，膜12的製造效率提高。再者，爲了 在垂直方向上送出氣體，可以不是來自噴嘴67之送風，例 如可以是在供氣導管66的底面66a形成開口（未圖示）並 201217139 從該開口送出之風。 另外’藉由在垂直方向上對膜面噴吹氣體來提高乾燥 效率。由此，能夠進一步降低剝離時的流延膜36、亦即流 延膜36在剝離位置Pp中的溶媒含有率，甚至能夠降低至 50質量％以下。如此，越是降低流延膜％在剝離位置pp 中的溶媒含有帛，越能夠使慢轴的方向在膜12喊度方向 上均勻。具體而言，能夠將與作爲目的之慢轴的方向所成 之角抑制在-1。以上1。以下的範圍，甚至較小地抑制在_04。 以上0.4。以下的範圍。流延膜36在剝離位置pp中的溶媒 含有率設爲20質量％以上50質量％以下的範圍爲較佳。 藉由以流延膜36在剝離位置pp中的溶媒含有率成爲5〇 ^量％以下之方式進行乾燥，能夠將慢軸的軸偏離量更可 靠地抑制在-1。以上1。以下的範圍。 開口 67a的形狀設爲狹縫狀爲較佳，但未必一定是狹 縫。例如，可以在噴嘴67的前端以向帶3〇的寬度方向排 列之方式形成圓形或矩形的複數個開口（未圖示）。 第3、第4圖中，將開口 67a的長度圖示爲短於設置 在兩侧之1對遮風板62的距離。但是，亦可將噴嘴67的 開口 67a形成爲長於1對遮風板62的距離，且比遮風板 62更堵住外側，從而使其短於丨對遮風板62的距離來使 用。 在本實施方式中’沿帶30的行進路排列設置有複數個 供氣導管66。但是，亦可利用向帶3〇的行進方向較長地 延伸至第2輥32之1個供氣導管，並在該供氣導管上設置 20 201217139 3y227pif 來储該態樣。另外，本實施方式中的各個供 別限定。上5又置有6個喷嘴Ο ’但噴嘴67的數量並未特 =液^的溶媒彿點設爲Tvb夺，來自供氣導管的 圍凰度设爲（TV_2〇C；> 以上(Tv+100。。) 以下的範 由設爲（TV_2(rC)以上，更加可靠地提高流 =的乾燥效率。並且，藉由設爲（Tv+贿）以下， 月^^可靠地防止流延膜％起泡。另外，當濃液11的 數個成份時，在溶媒成份的沸點中將沸點最低 來自噴嘴67之氣體的吹出速度、亦即流速設爲-=上25m/秒以下的範圍爲較佳。藉由設爲-秒以上的 1，更加可靠地提高流延膜36的乾燥效率。並且，藉由 ㈣25m/_下的流速’㈣更加可靠地防止流延膜36 起泡，或者能夠更加可靠地得到表面平滑之膜12。 遮風板62沿帶30的行進路延伸。遮風板62以豎立的 f勢配攻於流延膜36側緣的通過管路上或比通過管路更 罪近帶30的寬度方向之内側。由此，抑制來自供氣導管 66之已加熱氣體從流延膜36的膜面附近向帶3〇的側部 30s的露出部份流出。藉由抑制加熱氣體向側部30s流出， 能夠抑制側部30s的溫度上昇。因此，能夠得到慢軸方向 在寬度方向上均勻，甚至在膜整個區域中均勻之膜12，同 時能夠防止因帶30的溫度上昇引起之翹曲。再者，第3、 第4圖中’圖示有遮風板62配設於比流延膜36侧緣的通 21 201217139 39227pif 過管路更#近帶3Q的寬度方向之_之情況。 作爲遮風構件，可以使用像由底面覆蓋從流延膜36 的側緣36e遍及帶3〇的側部3〇s的區域那樣的塊形狀者來 代替遮風板62。 ，帶3〇的流延面30a爲高度基準遮風板62設爲低 ^供氣導管66。亦即，遮風板62的離帶3()最遠之緣部的 回度低於供氣導f 66的底面的高度。因此，如第2圖所示 般從帶3〇的側方觀察時，配設於供氣導管66的底面66a 嘴67並未被遮風板62覆蓋，而是在遮風板&與供氣 ΐ 66之間看得見。如此，各個噴嘴67與喷嘴67之間的 二間透過遮風板62與供氣導管66之間，與遮風板62的上 方或側方的㈣相通，此，流延膜36的膜面附近的空間 與遮風，62的上方或側方的空間空間性地連接，由此，若 來自供氣導管66之氣體接觸於流延膜36或遮風板62的内 壁’則被引導至遮風板62的上方或側方。 被夾在配設於流延臈36的兩侧緣36e附近之 1對遮風 板62之空間’由於來自供氣導管的之供氣，其壓力高於 比遮風板62更靠近侧方之外部空間。再者，如前所述，流 延膜36的膜_近的空間與遮風板62的上方或侧方的外 4空間空間性地連接。由於這些，流延膜36的周邊氣團被 迅速地取代爲從供氣導管66重新流出之氣體，因此更有效 地進行流延膜36的乾燥。 遮風板62以與帶30的距離m成爲1〇mm以上5〇mm 以下範圍之方式配設爲較佳，以成爲1〇mm以上4〇mma 22 201217139 •jyzz /pif Γί!圍之方式配設爲更佳。藉由將m設爲iGmm以上， 更可罪地防止遮風板62與帶30的接觸。藉由將 <»又，50mm以下，與大於5〇醜時相比，能夠更可靠地抑 制氣體從流延膜36的膜面附近向帶30的侧部3〇s流出。 遮風板62配設於流延膜36的侧緣36e的通過管路上 或比通過管路更靠近内側50mm的管路與通過管路之間的 上方爲較佳:亦即，遮風板62的外面與流延膜36的側緣 36e的通過管路的距離〇2設爲〇_以上5〇匪以下的範 圍爲較佳。藉由設爲通過管路上（D2=〇mm)或其内侧（D2 >0mm) ’能夠更可靠地抑制氣體從流延膜％的膜面附近 向帶30的側部3〇s流出。若使D2大於5〇mm，則與5〇mm 以下時相比，膜12的光學特性、尤其是慢軸的方向變成與 目的方向不同的方向之側部的寬度變大，有時不得不增大 應該用分切機26切除之寬度。 排氣部63具有吸引導管72、吸引機73及排氣控制器 74。吸引機73吸引氣體。排氣控制器74控制吸引機73 中的吸引力。藉由該控制，調整來自形成於吸引導管72 之開口 72a之氣體的吸引力。氣體藉由排氣控制器74被清 潔化並進行排氣。再者，被清潔化之排氣可以送至送風機 68 ’並用於來自供氣導管66之供氣。 複數個吸引導管72設置在高於遮風板62之位置。各 吸引喷嘴的各開口 72a在喷嘴67與喷嘴67之間對置。如 此’開口 67a配設於空間性地連接之流延膜36的膜面附近 的空間與遮風板62的上方或側方的外部空間之間。因此， 23 201217139 /pif 流延膜36周邊的氣團更迅速地被引導至遮風板62的上方。 由此，流延膜36周邊的氣團更迅速地取代爲來自供氣導管 66之新的氣體，流延膜36的乾燥進一步有效地進行。並 且，由於吸引導管72設置在高於遮風板62之位置，因此 可以更可靠地抑制氣體從流延膜36的膜面附近向帶30的 侧部30s的露出部份流出。因此，可以更可靠地防止侧部 30s的溫度上昇，並且能夠更可靠地謀求慢軸方向在膜12 的寬度方向上的均勻化。 再者，吸引導管72在帶30表面的法線方向上，以成 爲尚於遮風板62之位置之方式配設即可。例如，可以如本 實施方式，以開口 72a的下端低於供氣導管66的底面66; 之方式配設吸引導管72，或者亦可爲吸引導管72的底g 氣導管66的底面66a相同之高度，亦即開口 72a的下 鈿π於供氣導管66的底面66a。此外，吸引導管72在帶 3〇的行進方向上，以開口 72a位於喷嘴67與噴嘴之間 之方式配設即可。 土第1上游域供排氣單元41在供氣部61的上游、亦gF =延位置PC與供氣部61之間進一步具備供氣部77爲 具树嘴78、送風機79及魏控制器80 H 78送出之㈣的溫度、濕度及流量 調整來自噴嘴78之氣體的流量及流速。氣體藉由^ 几技制器80加熱，將該已加熱氣 、 膜％，從而進行流延膜36:作爲-風而噴吹蝴 24 201217139 jyzz/pif 喷嘴;78以開口 78a朝向帶30的行進方向上的下游側 、之細目對於所通過之 抓延膜36作爲順風在流延膜36上 可以抑制氣流對液珠的影響。其中 #由成爲順風， 是猶微向流延膜36側傾斜之方^ Q汗口 ^的方向可以 流延膜36之順風，則== 要氣體的流動成爲向 行之流動。 對於流的膜面平 來自喷嘴78之氣體流入供氣導管 延膜36之間，其大多數被吸引導管乃 卜6:/、抓 導管吸引。如此’藉由設置供氣部77並從：:二々二個 行流延膜30的乾燥，進一步提古後不久就進 並進-步提高膜12的㈣％的乾燥效率， 如以上，在本發明中，到從帶30剝離流延膜36爲止， 實施第1流賴錢製程和第2流賴錢·。第爲^ = 第？上游侧供排氣單元41在相對: 流延膜乾雜程是，藉㈣丨、f 2 τ 第 43，對經過第1流賴乾_程之後的流賴3=出成爲 無面平狀逆叙㈣心進雜賴36的乾 程。 、取 形成有流延膜36之帶3〇的中央部3 膜36之蒸發潛熱，其溫度不易上昇。所以，欲進 流延膜36的賴效率時1下第2實施態樣錄佳。° 在本發明的第2實施態樣巾，在流延裝置Μ上進一步 201217139 d f 設置有第2上游域供排氣單元 90設置於流延位置Pc的下漱 上游域供排氣單元 供排氣單元41呈對向配設。'，丨由帶30 *與第1上游域 第2上游域供排氣單元9〇鱼 41相同，具備供氣部9][、作爲碑、上游域供排氣單元 氣部（未圖示）。由於供氣部^風構件之遮風板％及排 92及排氣部的各結構基本技第、丨作爲^構件之遮風板 的供氣部6卜錢板62及_ 明與這些不同之處》 U 口此以下僅說 供氣部9i向相對於帶3〇的流延面*的相反 非=面3%垂直之方向噴吹氣體。遮風板 而與遮風板62呈對向，且以豎立的姿勢設置“ 92抑制從供氣部91的喷嘴％送出之氣體向側部 流延面30b流出。側部3〇s的非流延面·與侧部3〇s的 流延面3〇a對應，是招當於侧部30s的流延面3〇a的里侧 之區域。 遮風板92以與非流延面3〇b的距離D3等於遮風板62 與流延面30a的距離D1之方式，配設成1〇mm以上5〇mm 以下的範圍爲較佳，配設成1〇mm以上4〇mm以下的範圍 爲更佳。 複數個喷嘴93設置於與供氣導管96的非流延面3〇b 對置之對置面。排氣部的吸引導管97在帶3〇的行進方向 上設置成開口在噴嘴93與喷嘴93之間對置。該吸引導管 97在帶的非流延面3〇b的法線方向上，以開口成爲低於遮 26 201217139 3y22/pif 風板92，位置之方式配設即可。排氣部從 開口吸引流延膜36周邊的氣團。 丨等s 97的 如此’藉由利用第2上游域供排氣單元9 成有流延膜36之帶3G㈣央部施更可靠^使形 與第1實施態樣相比，進一牛接古、ώ 麦因此， 媪古膜12的创延膜的乾燥效率，並 H t 另夕卜，藉由提高流延膜％的乾焊 軸偏離量可以更可靠地抑制⑹。以上1〇以下的範 可以較小地抑制在-0.4。以上〇4以下的範圍。並且，在該 實施態樣中’亦藉由遮風板92抑制來自側部3〇s的非流^ 面之加熱，因此可以防止帶3〇的翹曲。 本發明中’帶30的寬度越寬越有效，製造之膜的寬度 越寬越有效。 本發明在製造用作液晶顯示器等的相位差膜之膜時爲 尤佳。 纖維素酿化物並未特別限定。纖維素醯化物的醯基可 以僅爲1種，或者亦可具有2種以上的醯基。當醯基爲2 種以上時，其中1個爲乙醯基爲較佳。用羧酸酯化纖維素 的經基之比例、亦即酿基的取代度滿足所有下述公式（j)〜 (ΙΠ)者爲較佳。再者，在以下公式（幻〜（ΠΙ)中，A 及B表示醯基的取代度’ a爲乙醯基的取代度，此外b爲 碳原子數3〜22的醯基的取代度。 (I) 2.0<A+B<3.0 (II) 1.0<A<3.0 27 201217139 jyzz /pif (III) 0<B<2.0 醯基的全取代度A+B在2.20以上2.90以下爲更佳， 在2.40以上2·88以下爲尤佳。另外，碳原子數3〜22的 醯基的取代度Β在0.30以上爲更佳，在〇 5以上爲尤佳。 其中，本發明在使用二醋酸纖維素（DAC)作爲纖維素醯 化物時，有尤其較大效果。 ，以下，舉出本發明的實施例及相對本發明之比較例。 詳細内容記載於實施例1中，在其他實施例及比較例中僅 記載與實施例1不同之條件。 [實施例1] 在第1圖所示之溶液製膜設備上追加第5圖所示之第 2上游域供排氣單元9〇，由濃液u製造出用作相位差膜之 膜12。作爲目的之膜12的厚度爲58μηι。 第1輥31的周面溫度設爲15¾，第2輥32的周面溫 度設爲40°C。 遮風板62與帶30的流延面3〇a的距離D1設爲l〇mm。 f 30到喷嘴67的開口 67a的距離設爲i50mm。遮風板62 的外面與'"il延膜36的侧緣的距離D2設爲0mm。從喷嘴 67送出之氣體的溫度設爲l35t，將風速設爲25m/秒。 在第1拉幅機17中’向寬度方向以8%的加寬率拉伸 包含溶媒之膜12。將溶媒含有率不到5質量％之膜12引 導至第2拉幅機23。在第2拉幅機23中，以在寬度方向 上成爲21%的加寬率之方式拉伸膜12。 在該實施例1中’未在流延膜36上確認到起泡。並且， 28 201217139 j^zz/pif ^帶30上確認到側部3〇s的翹曲或變形。剝離位置pp 處的，媒含有率爲33質量％。所得到之膜12的慢轴的轴 偏離量，在膜12的寬度方向上被抑制在·〇〇5。以上〇仍。 以下的fell内，在臈12的整個區域被抑制在]。以上1〇以 下的範圍内。 [實施例2] 遮風板62與帶30的流延面3〇a的距離m設爲4〇匪。 其他條件與實施例1相同。 在该貫施例2中味在流延膜36上確認到起泡。並且， 未在帶30上確認到側部30s的翹曲或變形。剝離位置pp 處的溶媒含有率爲33質量％。所得到之膜12的慢轴的轴 偏離罝，在膜12的寬度方向上被抑制在·〇 〇5。以上〇 〇5〇 以下的範圍内，在膜12的整個區域中被抑制在丨。以上1〇 以下的範圍内。 [實施例3] 遮風板62的外面與流延膜36的側緣36e的距離D2 設爲50mm。其他條件與實施例1相同。 在該實施例3中味在流延膜36上確認到起泡。並且， 未在帶30上確認到侧部30s的翹曲或變形。剝離位置pp 處的溶媒含有率爲33質量％。所得到之膜12的慢軸的軸 偏離量，在膜12的寬度方向上被抑制在_〇〇5。以上〇〇5。 以下的範圍内，在膜12的整個區域被抑制在_丨。以上1〇以 下的範圍内。 [比較例1] 29 201217139 /pif 才同未设置遮風板62和遮風板92。其他條件與實施例1 在該比較例1中，在反復實施流延和剝離期間，帶3〇 的側，30s翹曲，導致側部3〇s未接觸到第丨輥31。其結 果’流延膜36的側部溫度成爲溶媒的沸點以上，側部產生 了起泡。因此’未能製造出作爲目的之膜12。 [比較例2] 不運轉送風機68，不從喷嘴67送出氣體。並且，不 運轉吸引機73 ’氣團不會吸引至吸引導管72。藉由噴嘴 78，以成爲相對於流延膜並行之順風之方式對氣體進行供 氣。藉由喷嘴78供氣之氣體的溫度設爲135。(：，風速設爲 25m/秒。使被供氣之氣體在1對遮風板62之間流動，^ 從排氣部47的吸引口 47a吸引唭他條件與實施例j相同。 在該比較例2中，由於被供氣之氣體在丨對遮風板62 的其中一方與另一方之間流動，因此雖然未在流延膜上確 認到起泡，但剝離位置PP處的溶媒含有率爲6〇質量％ , 乾燥效率差。再者，由於在1對遮風板62之間流動之氣體 在寬度方向上的溫度中，從遮風板62的内側朝向外側存在 放熱，因此越是從中央朝向側部越變高，所得到之膜的軸 偏離量在膜的寬度方向上大到-0.5。以上0.5。以下。在膜的 整個區域亦大到-2°以上2。以下的範圍。 [比較例3] 使喷嘴67的角度相對於流延膜傾斜45。，並使從喷嘴 67供氣之氣體以45角度噴吹至流延膜。噴吹之後的氣體 201217139 jy2^/pif 流延臈並行之順風之方式流動。其 的其中-方與氣之氣體在1龍風板67 認到起泡，但_位置^處絲在流延膜上確 乾烨效率罢处的/谷媒3有率爲50質量％， 向=中=二 _側朝向外側存在放熱，因 3= Γ部越變高，所得到之膜的軸偏離量在 向上大_。以上02。以 亦大到-1.6。以上1.6。以下的範圍。 【圖式簡單說明】 细、、„術人員通過參考附圖並閱讀較佳實施例的詳 細說明’可以容易理解上述目的及優點。 第1圖是溶液製膜設備的概要圖。 第2圖是第1上游域供排氣單元的侧面概要圖。 第3圖是第1上游域供排氣單元的俯視概要圖。 第4圖是沿第3圖及第4圖的IV_IV線之截面圖。 第5圖是第2上游域供排氣單元的侧面概要圖。 【主要元件符號說明】 10 :溶液製膜設備 11 :濃液 12 :膜 15 :流延裝置 30 :帶 31 201217139 ^yzz/pif 41、 90 :第1、第2上游域供排氣單元 42、 43 :第1、第2下游域供排氣單元 46、 49、61、91 :供氣部 47、 50、63 :排氣部 66、 96 :供氣導管 72、97 :吸引導管 67、 93 :喷嘴 32