[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

RU2378715C2 - Модуляция массива по площади и уменьшение выводов в интерференционных модуляторах - Google Patents

Модуляция массива по площади и уменьшение выводов в интерференционных модуляторах Download PDF

Info

Publication number
RU2378715C2
RU2378715C2 RU2006124545/28A RU2006124545A RU2378715C2 RU 2378715 C2 RU2378715 C2 RU 2378715C2 RU 2006124545/28 A RU2006124545/28 A RU 2006124545/28A RU 2006124545 A RU2006124545 A RU 2006124545A RU 2378715 C2 RU2378715 C2 RU 2378715C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
sub
elements
interference
array
light modulator
Prior art date
Application number
RU2006124545/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2006124545A (ru
Inventor
Джеффри Брайан СЕМПСЕЛЛ (US)
Джеффри Брайан СЕМПСЕЛЛ
Клэренс ЧУЙ (US)
Клэренс ЧУЙ
Маниш КОТХАРИ (US)
Маниш КОТХАРИ
Original Assignee
АйДиСи, ЭлЭлСи
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by АйДиСи, ЭлЭлСи filed Critical АйДиСи, ЭлЭлСи
Publication of RU2006124545A publication Critical patent/RU2006124545A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2378715C2 publication Critical patent/RU2378715C2/ru

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/20—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
    • G09G3/34—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/20—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
    • G09G3/34—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source
    • G09G3/3433—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source using light modulating elements actuated by an electric field and being other than liquid crystal devices and electrochromic devices
    • G09G3/3466—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source using light modulating elements actuated by an electric field and being other than liquid crystal devices and electrochromic devices based on interferometric effect
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/001—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements based on interference in an adjustable optical cavity
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/20—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/20—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
    • G09G3/2007—Display of intermediate tones
    • G09G3/2077—Display of intermediate tones by a combination of two or more gradation control methods
    • G09G3/2081—Display of intermediate tones by a combination of two or more gradation control methods with combination of amplitude modulation and time modulation
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G2300/00—Aspects of the constitution of display devices
    • G09G2300/06—Passive matrix structure, i.e. with direct application of both column and row voltages to the light emitting or modulating elements, other than LCD or OLED
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G2310/00—Command of the display device
    • G09G2310/02—Addressing, scanning or driving the display screen or processing steps related thereto
    • G09G2310/0264—Details of driving circuits
    • G09G2310/0267—Details of drivers for scan electrodes, other than drivers for liquid crystal, plasma or OLED displays
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G2310/00—Command of the display device
    • G09G2310/02—Addressing, scanning or driving the display screen or processing steps related thereto
    • G09G2310/0264—Details of driving circuits
    • G09G2310/0297—Special arrangements with multiplexing or demultiplexing of display data in the drivers for data electrodes, in a pre-processing circuitry delivering display data to said drivers or in the matrix panel, e.g. multiplexing plural data signals to one D/A converter or demultiplexing the D/A converter output to multiple columns
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/20—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
    • G09G3/2007—Display of intermediate tones
    • G09G3/2074—Display of intermediate tones using sub-pixels

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Control Of Indicators Other Than Cathode Ray Tubes (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Micromachines (AREA)

Abstract

Изобретение относится к интерференционным модуляторам света. Модулятор света содержит массив, содержащий строки и столбцы интерференционных элементов отображения, множество линий соединения массива, сконфигурированных для передачи рабочих сигналов в элементы отображения, и множество переключателей. Каждый интерференционный элемент отображения является разделенным на подстроки одного или большего количества подэлементов. Каждая линия соединения соответствует строке элементов отображения. Переключатели сконфигурированы для передачи рабочих сигналов из каждой линии соединения массива в выбранную одну из указанных подстрок. Технический результат - обеспечение модуляции со шкалой полутонов, понижение числа выводов в модуляторе. 9 н. и 31 з.п. ф-лы, 12 ил., 1 табл.

Description

Уровень техники
Интерференционные модуляторы, такие как iMoDTM, модулируют свет посредством управления собственными помехами света, который попадает на переднюю поверхность модулятора. Эти типы модуляторов обычно используют полость, имеющую по меньшей мере одну подвижную или отклоняемую стенку. Эти отклоняемые стенки движутся по плоскостям, параллельным передней стенке полости стенки, которая встречается при попадании света на переднюю поверхность модулятора. Когда подвижная стенка, обычно состоящая по меньшей мере частично из металла и высоко отражающая, движется по направлению к передней поверхности полости, внутри полости возникают собственные помехи света и изменяющееся расстояние между передней и подвижной стенкой воздействует на цвет света, который выходит из полости через переднюю поверхность. Поскольку интерференционные модуляторы обычно являются устройствами прямого наблюдения, передняя поверхность обычно является поверхностью, где появляется изображение, наблюдаемое наблюдающим.
Как правило, интерференционные модуляторы сконструированы из мембран, сформированных над опорами, опоры определяют индивидуальные механические элементы, соответствующие элементам изображения (пикселям). В монохромном дисплее, таком как дисплей, который переключает между черным и белым, один элемент может соответствовать одному пикселю. В цветном дисплее каждый пиксель могут составлять три элемента, один для красного, один для зеленого и один для синего. Для создания требуемой отражательной способности пикселя отдельно управляют индивидуальными элементами.
В одном примере работы на подвижную стенку полости подают напряжение, вызывая ее электростатическое притяжение к передней поверхности, что в свою очередь воздействует на цвет пикселя, наблюдаемого наблюдателем. Существует трудность в создании модуляторов с точными и стабильными прочностными свойствами, так чтобы определенные аналогичные подаваемые напряжения создавали определенные аналогичные смещения подвижной стенки, которая действует, как зеркало в задней части интерференционной полости.
Для создания точных и стабильных комбинаций цвета обычные модуляторы используют только двойное смещение подвижного зеркала. В этом режиме работы любая заданная подвижная стенка-зеркало будет обнаружена неподвижной или в своем состоянии покоя, где она создает одно из цветных состояний, упомянутых выше, или в своем полностью отклоненном состоянии, где она создает черное оптическое состояние.
Соответственно, эти модуляторы с двоичным режимом работы обеспечивают возможность отображения только двух серых уровней на пиксель, таких как черный и белый в случае монохромного модулятора, или восьми цветов на пиксель, таких как, например, красный, зеленый, синий, голубой, желтый, сиреневые, черный и белый в случае цветного модулятора. Желательно отображать дополнительные оттенки серого в монохромном дисплее и дополнительные цвета в случае цветного дисплея. Так как управление аналогичным отклонением единственного монохромного зеркала на пиксель или трех цветных зеркал на пиксель может быть необоснованно затруднительным, становится необходимой разработка архитектуры модулятора с более сложной структурой пикселя.
Сущность изобретения
В одном варианте осуществления изобретения предусмотрен модулятор света, содержащий множество интерференционных модуляторов, в котором интерференционные модуляторы размещены в строках и столбцах, определяющих массив, множество линий соединения, сконфигурированных для передачи рабочего сигнала в интерференционные модуляторы, и множество переключателей, сконфигурированных для переключения рабочего сигнала на выбранную одну строку из строк интерференционных модуляторов.
В другом варианте осуществления изобретения предусмотрен способ управления модулятором света, включающий в себя формирование рабочего сигнала для установки состояния множества интерференционных модуляторов света, размещенных в массиве из строк и столбцов, и переключение рабочего сигнала на выбранную одну строку из строк интерференционного модулятора света.
В другом варианте осуществления изобретения предусмотрен способ изготовления интерференционного модулятора света, включающий в себя обеспечение массива интерференционных элементов отображения, размещенных в строках и столбцах, каждый элемент отображения содержит предварительно определенное количество подстрок подэлементов, причем предварительно определенное количество подстрок зависит от требуемой битовой глубины для отображения, и предварительно определенное количество подстолбцов внутри каждой подстроки, размещающих линии соединения массива для каждой строки так, чтобы каждая линия соединения соответствовала одной строке массива, и обеспечение электрического соединения между линией соединения массива для каждой строки с одной из подстрок соответствующей строки массива.
В другом варианте осуществления изобретения предусмотрен модулятор света, содержащий множество интерференционных модуляторов и по меньшей мере одну линию соединения массива, сконфигурированную для передачи рабочего сигнала по меньшей мере в один из интерференционных модуляторов, причем по меньшей мере один из интерференционных модуляторов сконфигурирован для избирательного соединения линии соединения массива по меньшей мере с одним другим интерференционным модулятором.
В другом варианте осуществления изобретения предусмотрен способ изготовления модулятора света, включающий в себя обеспечение массива интерференционных элементов отображения, размещенных в строках и столбцах, каждый элемент содержит по меньшей мере один каскад подэлементов предварительно определенного количества подэлементов, так чтобы по меньшей мере один подэлемент был сконфигурирован для избирательного формирования электрического соединения, соединяющего линию соединения массива по меньшей мере с одним другим подэлементом, и электрическое соединение первого элемента в каждом каскаде подэлементов в строке с соответствующей линией соединения для этой строки.
В другом варианте осуществления изобретения предусмотрен способ управления модулятором света, включающий в себя формирование рабочего сигнала, содержащего импульс напряжения для установки состояния множества интерференционных модуляторов света, к которым относится рабочий сигнал, и установку состояния части из множества интерференционных модуляторов в ответ на рабочий сигнал, причем эту часть выбирают на основе длительности импульса напряжения.
В другом варианте осуществления изобретения предусмотрен модулятор света, содержащий множество средств интерференционной модуляции света, причем средства интерференционной модуляции света размещены в массиве, состоящем из строк и столбцов, средство передачи рабочего сигнала и средство переключения средства передачи на выбранную одну из строк средств модуляции света.
В другом варианте осуществления изобретения предусмотрен модулятор света, содержащий множество средств интерференционной модуляции света и средство передачи рабочего сигнала по меньшей мере в одно из средств модуляции света, причем по меньшей мере одно из средств модуляции света сконфигурировано для избирательного соединения средства передачи по меньшей мере с одним другим средством модуляции света. В дополнительном варианте осуществления изобретения модулятор света дополнительно содержит средство электрического соединения одного из одного или нескольких средств интерференционной модуляции света по меньшей мере с одним другим из одного или нескольких средств интерференционной модуляции света.
Краткое описание чертежей
Варианты осуществления изобретения могут стать более понятными при изучении описания со ссылками на чертежи.
Фиг.1 изображает пример интерференционного модулятора.
Фиг.2 на основе правила площадей ЖК (LCD) модулятора изображает известное из уровня техники осуществление пикселей, включая соответствующие ему соединительные выводы.
Фиг.3 изображает вариант осуществления интерференционного модулятора, использующего модуляцию массива на основе площади, имеющего сокращенные выводы.
Фиг.4 изображает временную диаграмму для интерференционного модулятора с мультиплексированием.
Фиг.5 изображает другой вариант осуществления интерференционного модулятора, использующего модуляцию массива на основе площади, имеющего сокращенные выводы.
Фиг.6 изображает временную диаграмму для интерференционного модулятора, использующего одинаково взвешенные площади.
Фиг.7 изображает другой вариант осуществления интерференционного модулятора, использующего модуляцию массива на основе площади.
Фиг.8a-8c изображают вариант осуществления элементов электрически каскадированного интерференционного модулятора.
Фиг.9 изображает вариант осуществления отклоняемых элементов, подобных элементам интерференционного модулятора, используемых как переключатели.
Фиг.10 изображает график, иллюстрирующий, как могут быть избирательно адресованы отклоняемые элементы посредством изменения амплитуды и продолжительности импульса напряжения.
Предпочтительный вариант осуществления изобретения
Фиг.1 изображает пример интерференционного модулятора света. Этим определенным примером является iMoDTM, но варианты осуществления изобретения могут использовать любой интерференционный модулятор. Не подразумеваются или не предусматривается никакое ограничение до модуляторов iMoDTM.
Модулятор обычно состоит из массива индивидуальных элементов, размещенных в строках и столбце(ах). Один элемент, изображенный на фиг.1, имеет слой 12 электрода на прозрачной подложке, обычно стекле. Одна поверхность 14 модулятора является оптически резонирующей, интерференционная полость изготовлена на слое электрода, и эту поверхность покрывает оксидный слой 16. Поверхность, параллельная полости, зеркала 20 подвешена над полостью посредством опоры 18. При работе, когда активизируют слой электрода на стеклянной подложке, зеркало 20 электростатически притягивается к стеклянной подложке. Отклонение зеркала 20 изменяет размеры полости и вызывает модуляцию света внутри полости посредством интерференции.
Результирующий элемент изображения (пиксель) из дисплея прямого наблюдения будет составлен из элементов, таких как изображен на фиг.1. Каждый из этих элементов модулятора с зеркалом 20 в неотклоненном состоянии будет ярким или включенным. Когда зеркало 20 передвигается до своей полной разработанной глубины в полости в направлении передней поверхности полости, изменение в полости приводит к тому, что результирующий пиксель становится темным или выключенным. Для цветных пикселей во включенном состоянии индивидуальный элемент модуляции может быть белым, красным, зеленым, синим или другого цвета в зависимости от конфигурации модулятора и комбинации взаимодополняющих цветов для элементов экрана (дисплея). Обычно один цветной пиксель будет состоять из некоторого количества элементов модулятора, которые создают интерференционный синий свет, идентичного количества элементов, которые создают интерференционный красный свет, и идентичного количества (элементов), которые создают интерференционный зеленый свет. Посредством передвижения зеркал согласно информации дисплея модулятор может создавать многоцветные изображения.
Основной дисплей одновременно активизирует все элементы модулятора заданного цвета в пределах пикселя, в результате возможны восемь цветов на пиксель. Настоящее изобретение обеспечивает активацию некоторых элементов заданного цвета в пределах пикселя, отдельно от других элементов того же самого цвета. Это обеспечивает возможность смешения в пределах заданного пикселя многих интенсивностей красного света, многих интенсивностей синего света и многих интенсивностей зеленого света. Результатом будет то, что интерференционный дисплей скорее будет обеспечивать возможность тысяч цветов на пиксель, чем будет ограничен 8 цветами на пиксель.
Подобные типы модуляции с взвешиванием по площади были осуществлены на практике в других типах дисплеев. Например, фиг.2, которая соответствует фиг.9 в патенте США №5499037, изображает способ с взвешиванием по площади. В этом примере обеспечиваются 16 уровней интенсивности посредством создания подпикселя, содержащего 9 отдельных элементов пикселя, адресованных шестью электродами, из которых три сформированы как горизонтальные соединительные выводы и три сформированы как вертикальные соединительные выводы. Многоцветный пиксель, сформированный таким образом, может иметь 9 вертикальных выводов, три для красного, три для зеленого и три для синего, и на фиг.2 изображено три идентичных горизонтальных вывода. Этот пиксель обеспечивает 4096 цветов (16×16×16), но при использовании 12 выводов это приведет к гораздо более сложной системе дисплея, чем пиксель с четырьмя выводами, обеспечивающий восемь цветов.
Поскольку индивидуальные элементы интерференционных модуляторов имеют тенденцию работать в двоичном режиме, ярком в состоянии покоя и темном в полностью отклоненном состоянии, аналогичная операция не является
легкодоступной. Следовательно, интерференционные модуляторы, вероятно, должны получить преимущество от способа работы на основе правила площадей. Одной задачей варианта осуществления данного изобретения является обеспечение способа работы на основе правила площадей, который однозначно соответствует для применения для интерференционных модуляторов и который уменьшает сложность, требуемую предыдущими осуществлениями.
На фиг.3 изображен один вариант осуществления архитектуры интерференционного модулятора на основе правила площадей, требующий меньшего количества выходных контактов и продолжающий обеспечивать более высокую битовую глубину. Задающее устройство 50 имеет один выходной контакт на строку дисплея, и между каждым выходным контактом задающего устройства и соответствующей строкой массива модуляторов обеспечивается линия соединения. Соединение одной строки мультиплексировано между подэлементами, которые содержат подстроки элемента отображения. Термин "элемент отображения" был введен здесь для определения некоторой площади полной поверхности дисплея. Элемент отображения является совокупностью подэлементов, которая обычно решается, как часть дисплея, представляющая последовательный набор информации изображения. Наиболее обычный элемент отображения должен соответствовать единственному пикселю в результирующем изображение. На фиг.3, в случае, где 40 представляет пиксель, элемент 40 отображения был разделен не более, чем на три столбца 42, 44 и 46, обычно один для каждого цвета, такого как красный, зеленый и синий. Дополнительно, каждый столбец был разделен не более, чем на 4 подэлемента, размещенных в подстроках.
Для понимания того, как функционирует система на фиг.3, полагается, что выходы выбора строки задающего устройства 50, обычно, становятся активны в последовательной схеме, начиная с выхода 1, затем переходя к выходу 2 и так далее. Когда сигналы синхронизации приводят к тому, что становится активнее строка 5, переключатель 56 замыкается и переключать 58 становится разомкнутым, вызывая подачу активного напряжения контактов задающего устройства на подстроку подэлементов 42a, 44a и 46a. Чтобы вызвать переключение подэлементов 42a, 44a, и 46a в состояния, соответствующие текущему содержимому изображения, ассоциированному с элементом 40 отображения, одновременно возбуждаются соответствующими напряжениями линии 43, 45 и 47 передачи данных, которые могут быть соединены с замыкающим устройством, не изображенным на фиг.3.
Как только подэлементы 42a, 42b и 42c достигают своих вновь адресованных позиций, переключатель 56 становится разомкнутым, и переключатель 58 замыкается. Сразу после этого переключатель 57 замыкается и переключатель 59 размыкается, и линии 43, 45 и 47 передачи данных возбуждаются для соответствующих значений для подпикселей 42b, 44b и 46b. Эта последовательность продолжается, пока эти три линии передачи данных не были возбуждены четырьмя различными наборами данных, для обновления двенадцати подпикселей в элементе 40 отображения. Затем эта последовательность повторяется для строк 6, 7 и так далее.
Как изображено на фиг.3, сигналы синхронизации/активацизации - переключения совместно используются всеми другими строками по всему дисплею так, чтобы переключатели для первой подстроки каждой строки переключались, когда является активной первая подстрока любой строки, и так далее для вторых, третьих и четвертых подстрок. Однако под напряжением уровня активного адресного напряжения находятся только выходной контакт задающего устройства для активной строки. Все неактивные строки поддерживаются при напряжении смещения отсутствия выбора в то время, как активная строка поднимается до напряжения выбранных данных. Таким образом, элементы во всех подстроках кроме активной подстроки принимают одинаковое напряжение отсутствия выбора независимо от состояния сигналов синхронизации и, следовательно, независимо от позиций переключателей в пределах подстроки. Следует отметить, что в случаях, где требуется максимально малый расход энергии, посредством схем маскировки можно избежать переключения неактивных переключателей выбора строки.
Как может быть отмечено согласно фиг.3, переключатели 56 и 58, также как другие переключатели, соединенные с линиями передачи сигнала синхронизации, изготовлены так, чтобы быть микроэлектромеханическими устройствами, подобными интерференционным элементам, таким как изображен на фиг.1. Поскольку массив подвергается микроэлектромеханической обработке для создания интерференционных элементов дисплея, изготовление этих "дополнительных" элементов на площади, окружающей массив, не должно создавать дополнительной сложности или обязательного повышения стоимости устройства. Возможно, что мультиплексирование подстрок может быть осуществлено с использованием других типов переключателей, включая микроэлектромеханические переключатели, изготовленные способом, не подобным изготовлению интерференционных элементов, и более обычные электронные переключатели, изготовленные с использованием тонких кремниевых пленок, осажденных на стеклянной подложке модулятора, и т.д.
Используемый здесь термин "подобный" означает, что устройства имеют идентичную основную структуру электрода, полости и зеркала, подвешенного над полостью. При конструировании электрического переключателя не требуется изготовление в элементе интерференционной модуляции оптической функциональности около стеклянной подложки и может быть предпочтительным устранить эту оптическую функциональность. Для этого требуется только, чтобы при полном отклонении зеркало входило в контакт (и, следовательно, электрически соединялось) с двумя проводящими площадями, более вероятно, изготовленными из тонких слоев пленки, используемых для изготовления электродов адресации и/или проводящего слоя, используемого для формирования передней стенки оптически резонансной полости. Это отлично от того, как может работать интерференционный элемент, поэтому структура переключателя является скорее "подобной", чем идентичной элементу дисплея.
На фиг.4 изображена временная диаграмма для одной возможной операции строки 5. В t0 сигналы для строки 4 являются высокими, как видно из модулятора. В t1 сигнал для строки 4 снижается и становится активной строка 5. Подобным образом линия для строки 5A становится активной. В t2 строка 5A снижается и становится активной строка 5B. Это продолжается последовательно для строк 5C и 5D.
Этот вариант осуществления изобретения приводит к уменьшенному количеству соединений между массивом и задающим устройством. Соединения, необходимые для возбуждения индивидуальных подэлементов в подстроках сделаны на площади, окружающей массив модуляторов, что приводит скорее к их встраиванию в одну микросхему вместе с массивом, чем требует обеспечения задающим устройством отдельных выходных контактов для каждого подэлемента.
Подэлементы, изображенные на фиг.3, были нарисованы приблизительно равными по площади. Другая полезная геометрия использует подэлементы с двоичным "физическим" взвешиванием относительно друг друга. Как можно заметить в элементе 70 отображения фиг.7, битовая глубина 4 обеспечивается при использовании только 4 таких подэлементов. Например, площадь 78 имеет размер, приблизительно равный половине полного размера элемента 70 отображения. Подэлемент 74 имеет размер, приблизительно равный половине размера следующего наиболее большого подэлемента, в данном случае подэлемента 78, что задает для подэлемента 74 размер в одну четверть от полноразмерного элемента дисплея. Каждый последующий подэлемент имеет размер, приблизительно равный половине размера следующего наиболее большого подэлемента. Подэлемент 72 составляет половину от 74, или одну восьмую от 70. Подэлемент 71 составляет половину от 72 или одну шестнадцатую от 70.
Элементы, имеющие различные физические размеры, активизируют, как это требуется для получения полного пикселя отображения с заданной интенсивностью цвета. Таблица, приведенная ниже, изображает включенные подэлементы согласно номеру для каждого уровня интенсивности цвета.
Интенсивность цвета Включенные подэлементы
0 Нет
1 71
2 72
3 71, 72
4 74
5 71, 74
6 72, 74
7 71, 72, 74
8 78
9 71, 78
10 72, 78
11 71, 72, 78
12 74, 78
13 71, 74, 78
14 72, 74, 78
15 71, 72, 74, 78
Это осуществление взвешивания площадей, хотя оно описано здесь в отношении способа мультиплексирования фиг.3, может использоваться отдельно от способа мультиплексирования, описанного выше. В результате увеличится сложность взаимосвязи, но этот относительно низкий уровень сложности будет приемлемым для многих систем.
В альтернативном варианте осуществления битовая глубина 4 получается посредством разделения каждого подстолбца для элемента дисплея на 16 (24) подэлементов. Каждый набор из 16 подэлементов в каждом подстолбце соединен совместно каскадным образом и поэтому определен как "каскады подэлементов". Индивидуальные каскадированные подэлементы могут быть изготовлены, чтобы служить в качестве элементов интерференционной модуляции и электрических переключателей, таких как изображены на фиг.3. Альтернативно, для каждого индивидуального интерференционного подэлемента может существовать электрический переключатель, изготовленный непосредственно смежно.
На фиг.5 изображен пример элемента 60 отображения, имеющего каскады подэлементов для глубины 4 бита. Три линии столбцов соединены с первым элементом в каскаде подэлементов; подэлемент 61r является первым элементом в красном каскаде, 61g в зеленом каскаде и 61b в синем каскаде, последними элементами для красного каскада являются 615r и 616r. Управление интенсивностью цвета обеспечивается посредством длительности адресующего импульса, подаваемого на линию столбца. Это может быть понято при просмотре двух возможных конфигураций подэлементов, изображенных на фиг.8 и 9.
На фиг.8a члены подэлементов подстолбца, таких как подэлементов 61r, 62r и 63r, изображенных на фиг.5, изображены в поперечном сечении. Интерференционная полость определена подвешенными подвижными элементами зеркала, такими как 82, и стеками оптической пленки передней поверхности, такими как 84. В этом случае подвешенный подвижный элемент функционирует также, как замыкатель переключателя, также, как и переключатели, изображенные на фиг.3. Проводящие элементы 86a-86e упорядочены в массив внутри каждого подэлемента, смежно со стеком оптических пленок. Когда подвижное зеркало 82 входит в контакт со стэком 84 оптических пленок, подэлемент переключается из одного оптического состояния во второе оптическое состояние. Дополнительно цепь является замкнутой, так как подвижное зеркало теперь соединяет проводник 86a с проводником 86b.
Каскад подэлементов адресуется посредством подачи адресного напряжения одной полярности на перемещающееся зеркало 84 и неподвижный контакт 86a. Адресное напряжение второй полярности подают на электрод в пределах или ниже стека 84 оптических пленок. Результирующая разность потенциалов вызывает отклонение зеркала 82, замыкающее соединение между проводниками 86a и 86b, как изображено на фиг.8b. Теперь при подаче на проводник 86b напряжения с первой полярностью (через зеркало 82) зеркало 92 должно в итоге отклониться, как изображено на фиг.8c. Этот процесс будет продолжаться до тех пор, пока все каскадированные зеркала не разрушатся или пока не исчезнет адресующий импульс. Соответственно, отражательная интенсивность элемента дисплея управляется посредством управления продолжительностью времени (или длительностью импульса) адресующего импульса.
Фиг.6 изображает временную диаграмму для трех последовательных последовательностей адресации каскада подэлементов со значениями цвета 12, 13 и 3, соответственно. Значение цвета 0 означает "черный" или выключено, и значение цвета 16 может представлять включение всех подэлементов каскада. Адресующий импульс изображен на верхней линии. Как может быть отмечено, с увеличением продолжительности времени адресующего импульса активизируется большее количество элементов зеркала, передвигаясь в "черное" или "выключенное" состояние. В течение первого адресующего импульса четыре элемента перемещаются в "черное" состояние и достигается значение цвета 12, 12 элементов остаются в ярком состоянии. В соответствии с фиг.5 это может соответствовать подэлементам 61r, 62r, 63r и 64r, переключенным последовательно в "черное" состояние.
Во время второй адресации адресующий импульс короче, и только три элемента переключаются в "черное" состояние. При конечной адресации 13 элементов переключаются в "черное" состояние, оставляя очень темное значение отражательного цвета, равное трем. Разрывность в временной диаграмме представляет относительно длительный период (обычно "время кадра" в видеотерминах), при котором зеркала остаются в своих адресованных состояниях. Именно в течение этого времени интеграции глаз наблюдателя замечает значение интенсивности, взвешенной по площади.
В конце времени каждого кадра согласно фиг.6 все зеркала вновь восстанавливаются в свои позиции покоя перед их адресацией заново. Интерференционное устройство можно адресовать так, чтобы это восстановление не требовалось. Здесь оно включено, чтобы подчеркнуть операции переключения, которые имеют место в течение каждого "времени линии" адресации. Следует отметить, что адресующий импульс должен превышать некоторую минимальную продолжительность времени, чтобы вызвать "включение" первого элемента в каскаде подэлементов. Очень короткий адресующий импульс, такой как переходной сигнал, который короче, чем время ответа подэлементов, не вызовет переключения первого подэлемента.
Когда адресующий импульс был активен достаточно долго для переключения первого подэлемента, сигнал адресации “переходит к” следующему элементу в массиве. Вновь чтобы вызвать переключение второго элемента, адресующий импульс должен быть активен достаточно долго после переключения первого элемента. Поскольку времена ответов подэлементов предполагаются приблизительно идентичными, каскад подэлементов должен быть управляемым для обеспечения "включения" требуемого количества подэлементов при обеспечении относительно высокой устойчивости к паразитным сигналам. Совокупным результатом должен быть вызов формирования элементом отображения надлежащей интенсивности цвета в результирующем пикселе. Таким образом, элемент отображения с плотностью битов 4 был сделан, возможно, без каких-либо дополнительных линий соединения или дополнительных соединений из задающего устройства.
Каскадный эффект, описанный выше, основан на подвижных элементах зеркала, которые обеспечивают оптическую функцию дисплея, а также непосредственно каскад электрического переключения. Альтернативный вариант, изображенный на фиг.9, обеспечивает смежно с каждым интерференционным подэлементом, таким как 100, отдельный электрический выключатель, такой как 102, который переключается одновременно с оптическим элементом. Вариант осуществления фиг.9 изображает микромеханический переключатель, но также могут использоваться другие типы переключателей, такие как кремний(евый) или другие транзисторные полупроводниковые переключатели. Соответственно, могут быть отдельно оптимизированы параметры оптического элемента и параметры электрического элемента. Формы сигнала адресации и значение цвета, возникающие в результате системы согласно фиг.9, идентичны обеспечиваемым системой по фиг.8. Системы согласно фиг.8 и 9 обе являются примерами получения различных уровней битовой глубины посредством управления поведением модулятора по прошествии времени.
На фиг.10 обеспечивается график для иллюстрации того, что посредством изменения продолжительности времени адресующих импульсов, а также уровней напряжения этих импульсов может быть осуществлено более совершенное управление адресацией подвижного зеркала для переключения битовой глубины. Фиг.10 применяется к элементу дисплея, состоящему из нескольких индивидуальных перемещающихся зеркал. Зеркала обозначены как b1, b2, b3 и т.д. Структура механической опоры зеркал, а также непосредственно элемент зеркала могут быть изготовлены с использованием ряда различных способов, таких как изменение толщины пленки и остаточного напряжения внутри пленки, для обеспечения возможности отклонения индивидуальных зеркал при различных смещениях относительно времени и при различных смещениях относительно приложенного напряжения.
Как изображено на фиг.10, подвижный элемент b1 отклоняется после короткой подачи напряжения V1. Зеркало b2 реагирует медленнее и становится активизированным после более длительной подачи V1. Оба зеркала b1 и b3 будут реагировать на краткую подачу V2, и зеркало b4 способно реагировать на очень быструю подачу V2, на которую ни одно из других зеркал не может среагировать. Соответственно, различные комбинации зеркал могут отклоняться при формировании адресующего импульса в пространстве времени/напряжения, где термин "комбинация" заключает в себе переключение отдельного элемента. Если эти зеркала имеют различные площади, такие как площади, изображенные на фиг.7, то посредством адресации многосегментного элемента дисплея с одной парой электрических соединений могут быть достигнуты многочисленные уровни яркости.
Во всех этих вариантах альтернативные способы обеспечения битовой глубины интенсивности намного более одного бита могут быть выполнены для интерференционных элементов. Хотя вышеупомянутые осуществления были описаны в отношении битовой глубины 4, при наличии 16 уровней интенсивности цвета эти осуществления могут использоваться для любой битовой глубины, большей 1.
Соответственно, хотя для этой задачи были описаны определенные варианты осуществления способа и устройства для модуляции массива и пониженного количества выводов в интерференционных модуляторах не предусмотрено, что такие определенные ссылки должны рассматриваться как ограничения на контекст этого изобретения, за исключением изложенного в последующей формуле изобретения.

Claims (40)

1. Модулятор света, содержащий:
массив, содержащий строки и столбцы интерференционных элементов отображения, при этом каждый элемент является разделенным на подстроки одного или большего количества подэлементов,
множество линий соединения массива, сконфигурированных для передачи рабочих сигналов в элементы отображения, причем одна линия соединения соответствует одной строке элементов отображения, и
множество переключателей, сконфигурированных для передачи рабочих сигналов из каждой линии соединения массива в выбранную одну из указанных подстрок.
2. Модулятор света по п.1, в котором линии соединения массива дополнительно содержат три линии соединения столбцов, каждую одну для красного, для зеленого и для синего подэлементов в каждом элементе.
3. Модулятор света по п.1, в котором один или более количество подэлементов содержит подэлемент в каждой строке для красного, зеленого и синего.
4. Модулятор света по п.1, в котором упомянутое множество переключателей содержит микроэлектромеханические переключатели.
5. Модулятор света по п.1, в котором упомянутое множество переключателей содержит переключатели конфигурации, подобной подэлементам.
6. Модулятор света по п.1, в котором множество переключателей содержит подэлементы такие, что при отклонении выбранного подэлемента выбранный подэлемент вызывает соединение рабочего сигнала от выбранного подэлемента к смежному подэлементу.
7. Модулятор света по п.1, в котором множество переключателей дополнительно содержит полупроводниковые транзисторные переключатели.
8. Способ управления модулятором света, включающий в себя:
формирование рабочего сигнала для установки состояния множества интерференционных элементов отображения, размещенных в строках и столбцах, определяющих массив, при этом каждый элемент является разделенным на подстроки одного или большего количества подэлементов, и
переключение упомянутого рабочего сигнала на выбранную одну из подстрок.
9. Способ по п.8, в котором упомянутое переключение включает в себя управление состоянием по меньшей мере одного микроэлектромеханического переключателя.
10. Способ по п.8, в котором упомянутое переключение включает в себя обеспечение сигнала управления для управления состоянием по меньшей мере одного переключателя.
11. Способ изготовления интерференционного модулятора света, содержащий:
обеспечение массива интерференционных элементов отображения, размещенных в строках и столбцах, каждый элемент отображения содержит:
предварительно определенное количество подстрок подэлементов, причем предварительно определенное количество подстрок зависит от требуемой битовой глубины для отображения, и
предварительно определенное количество подстолбцов подэлементов, размещенных внутри каждой подстроки,
размещение линий соединения массива для каждой строки, так чтобы каждая линия соединения соответствовала одной строке массива, и обеспечение электрического соединения между линией соединения массива для каждой строки с одной из подстрок соответствующей строки массива.
12. Способ по п.11, в котором предварительно определенное количество подстолбцов соответствует требуемому количеству цветов для отображения.
13. Способ по п.11, в котором упомянутое размещение линий соединения массива для каждой строки дополнительно включает в себя размещение линий соединения массива между массивом и задающим устройством.
14. Способ по п.11, в котором упомянутое обеспечение электрического соединения между линией соединения массива дополнительно включает в себя обеспечение соединения с набором микроэлектромеханических переключателей.
15. Способ по п.14, в котором микроэлектромеханические переключатели дополнительно содержат переключатели конфигурации, подобной интерференционным элементам отображения.
16. Способ по п.11, в котором упомянутое обеспечение электрического соединения между линией соединения массива дополнительно включает в себя обеспечение соединения с набором полупроводниковых переключателей.
17. Способ по п.11, в котором упомянутое обеспечение электрического соединения дополнительно включает в себя отклонение подэлемента подстроки, вследствие этого формирующее соединение между подэлементом и смежным подэлементом.
18. Модулятор света, выполненный согласно способу по п.11.
19. Модулятор света, содержащий:
массив элементов отображения, при этом каждый элемент содержит множество интерференционных модуляторов, и
по меньшей мере одну линию соединения массива, сконфигурированную для передачи рабочего сигнала по меньшей мере в один из интерференционных модуляторов, причем по меньшей мере один из упомянутых интерференционных модуляторов сконфигурирован для избирательного соединения упомянутой линии соединения массива по меньшей мере с одним другим интерференционным модулятором.
20. Модулятор света по п.19, дополнительно содержащий электрические соединения между интерференционными модуляторами, таким образом, что электрические соединения формируют каскад подэлементов.
21. Модулятор света по п.19, в котором каждый элемент содержит предварительно определенное количество каскадов подэлементов, и предварительно определенное количество каскадов соответствует количеству цветов в элементе.
22. Модулятор света по п.21, дополнительно содержащий схему адресации для обеспечения адресующего импульса в каждый каскад подэлементов, причем количество подэлементов в каскаде, которые становятся активными, зависит от длительности адресующего импульса.
23. Модулятор света по п.19, дополнительно содержащий:
набор переключателей, электрически подсоединенных между элементом отображения и интерференционными модуляторами,
при этом один или большее количество интерференционных модуляторов разного размера, соответствующего разному двоичному весу информации отображения, причем количество интерференционных модуляторов зависит от требуемой битовой глубины, и
при этом упомянутая линия соединения массива содержит одну линию соединения для каждого элемента отображения, и
при этом модулятор света сконфигурирован так, чтобы интерференционные модуляторы, требуемые для создания взвешивания пикселя, активизировались в соответствии с информацией отображения.
24. Способ изготовления модулятора света, включающий в себя:
обеспечение массива интерференционных элементов отображения, размещенных в строках и столбцах, каждый элемент содержит по меньшей один каскад подэлементов предварительно определенного количества подэлементов так, чтобы по меньшей мере один подэлемент был сконфигурирован для избирательного формирования электрического соединения, соединяющего упомянутую линию соединения массива по меньшей мере с одним другим подэлементом, и
электрическое соединение первого элемента в каждом каскаде подэлементов в строке с соответствующей линией соединения для этой строки.
25. Способ по п.24, в котором упомянутый по меньшей мере один каскад подэлементов содержит по меньшей мере один каскад подэлементов для каждого требуемого цвета.
26. Способ по п.24, дополнительно включающий в себя электрическое соединение линий соединения для каждой строки с задающим устройством.
27. Способ по п.24, в котором каждый подэлемент содержит один подвижный слой, имеющий площадь поверхности, причем площадь поверхности соответствует разному двоичному весу информации отображения, и при этом количество подэлементов зависит от требуемой битовой глубины.
28. Способ по п.27, в котором по меньшей мере один интерференционный элемент содержит четыре подэлемента, первый подэлемент размера приблизительно в половину размера упомянутого по меньшей мере одного элемента, второй подэлемент размера приблизительно в одну четвертую размера упомянутого по меньшей мере одного элемента, третий подэлемент размера приблизительно в одну восьмую размера упомянутого по меньшей мере одного элемента, и четвертый подэлемент размера приблизительно в одну шестнадцатую размера упомянутого по меньшей мере одного элемента.
29. Способ по п.24, дополнительно включающий:
формирование внутри каждого элемента подэлементов размера, приблизительно равного половине элемента, и
формирование дополнительных подэлементов, на основании требуемой битовой глубины, при этом каждый дополнительный подэлемент имеет подвижный слой, имеющий площадь поверхности, приблизительно равную половине площади поверхности следующего наиболее большого подвижного слоя другого подэлемента.
30. Способ по п.29, дополнительно включающий в себя формирование линии соединения для каждого элемента отображения и обеспечение мультиплексных переключателей в электрическом соединении между линией соединения и подэлементами.
31. Способ по п.29, в котором подвижный слой содержит зеркало.
32. Модулятор света, выполненный согласно способу по п.24.
33. Способ управления модулятором света, содержащий формирование рабочего сигнала, содержащего импульс напряжения для установки состояния множества интерференционных модуляторов света, установку состояния части из множества интерференционных модуляторов в ответ на рабочий сигнал, причем упомянутую часть выбирают на основе длительности импульса напряжения.
34. Способ по п.33, в котором установка состояния упомянутой части упомянутых интерференционных модуляторов включает в себя переключение рабочего сигнала на первую часть упомянутой части упомянутых интерференционных модуляторов с использованием второй части упомянутой части упомянутых интерференционных модуляторов.
35. Способ по п.33, в котором упомянутое переключение включает в себя обеспечение сигнала управления для управления состоянием по меньшей мере одного переключения.
36. Модулятор света, содержащий множество средств интерференционной модуляции света, и средство передачи рабочего сигнала по меньшей мере в одно из средств модуляции света, причем упомянутое по меньшей мере одно из средств модуляции света сконфигурировано для избирательного соединения упомянутого средства передачи по меньшей мере с одним другим средством модуляции света.
37. Модулятор света по п.36, в котором упомянутое множество средств интерференционной модуляции света содержит массив элементов отображения, размещенных в строках и столбцах, каждый элемент содержит предварительно определенное количество упомянутых средств интерференционной модуляции света, причем количество упомянутых средств интерференционной модуляции света определено требуемой битовой глубиной, и каждый элемент имеет приблизительно одинаковый размер.
38. Модулятор света по п.37, в котором средство передачи содержит линию соединения массива, соответствующую каждой строке элементов отображения, причем каждая линия соединения массива электрически соединена с подэлементом в каждом элементе отображения.
39. Модулятор света по п.36, дополнительно содержащий средство электрического соединения одного из одного или большего количества средств интерференционной модуляции света по меньшей мере с одним другим из упомянутых одного или большего количества средств интерференционной модуляции света.
40. Модулятор света по п.39, в котором упомянутое средство электрического соединения содержит электрические соединения между подэлементами, такие как электрические соединения из каскада подэлементов.
RU2006124545/28A 2003-12-09 2004-11-22 Модуляция массива по площади и уменьшение выводов в интерференционных модуляторах RU2378715C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/731,989 2003-12-09
US10/731,989 US7161728B2 (en) 2003-12-09 2003-12-09 Area array modulation and lead reduction in interferometric modulators

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2006124545A RU2006124545A (ru) 2008-01-20
RU2378715C2 true RU2378715C2 (ru) 2010-01-10

Family

ID=34634460

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2006124545/28A RU2378715C2 (ru) 2003-12-09 2004-11-22 Модуляция массива по площади и уменьшение выводов в интерференционных модуляторах

Country Status (14)

Country Link
US (7) US7161728B2 (ru)
EP (4) EP2221800A3 (ru)
JP (3) JP5203608B2 (ru)
KR (3) KR101060269B1 (ru)
CN (2) CN101685201A (ru)
AU (1) AU2004304303A1 (ru)
BR (1) BRPI0417427A (ru)
CA (1) CA2548400C (ru)
HK (1) HK1097636A1 (ru)
IL (2) IL175903A0 (ru)
MX (1) MXPA06006585A (ru)
RU (1) RU2378715C2 (ru)
TW (1) TWI253041B (ru)
WO (1) WO2005062284A1 (ru)

Families Citing this family (178)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6674562B1 (en) * 1994-05-05 2004-01-06 Iridigm Display Corporation Interferometric modulation of radiation
US7907319B2 (en) * 1995-11-06 2011-03-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for modulating light with optical compensation
US7471444B2 (en) * 1996-12-19 2008-12-30 Idc, Llc Interferometric modulation of radiation
US8928967B2 (en) 1998-04-08 2015-01-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for modulating light
KR100703140B1 (ko) 1998-04-08 2007-04-05 이리다임 디스플레이 코포레이션 간섭 변조기 및 그 제조 방법
WO2003007049A1 (en) * 1999-10-05 2003-01-23 Iridigm Display Corporation Photonic mems and structures
US6574033B1 (en) 2002-02-27 2003-06-03 Iridigm Display Corporation Microelectromechanical systems device and method for fabricating same
TWI289708B (en) * 2002-12-25 2007-11-11 Qualcomm Mems Technologies Inc Optical interference type color display
US7417782B2 (en) 2005-02-23 2008-08-26 Pixtronix, Incorporated Methods and apparatus for spatial light modulation
TWI251712B (en) * 2003-08-15 2006-03-21 Prime View Int Corp Ltd Interference display plate
US20080088651A1 (en) * 2003-11-01 2008-04-17 Yoshihiro Maeda Divided mirror pixels for deformable mirror device
US7161728B2 (en) * 2003-12-09 2007-01-09 Idc, Llc Area array modulation and lead reduction in interferometric modulators
US7532194B2 (en) * 2004-02-03 2009-05-12 Idc, Llc Driver voltage adjuster
US7342705B2 (en) * 2004-02-03 2008-03-11 Idc, Llc Spatial light modulator with integrated optical compensation structure
US7855824B2 (en) * 2004-03-06 2010-12-21 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for color optimization in a display
US7256922B2 (en) * 2004-07-02 2007-08-14 Idc, Llc Interferometric modulators with thin film transistors
TWI233916B (en) * 2004-07-09 2005-06-11 Prime View Int Co Ltd A structure of a micro electro mechanical system
US7551159B2 (en) * 2004-08-27 2009-06-23 Idc, Llc System and method of sensing actuation and release voltages of an interferometric modulator
US7560299B2 (en) * 2004-08-27 2009-07-14 Idc, Llc Systems and methods of actuating MEMS display elements
US7515147B2 (en) * 2004-08-27 2009-04-07 Idc, Llc Staggered column drive circuit systems and methods
US7499208B2 (en) 2004-08-27 2009-03-03 Udc, Llc Current mode display driver circuit realization feature
US7889163B2 (en) 2004-08-27 2011-02-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Drive method for MEMS devices
US7602375B2 (en) * 2004-09-27 2009-10-13 Idc, Llc Method and system for writing data to MEMS display elements
US7719500B2 (en) * 2004-09-27 2010-05-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Reflective display pixels arranged in non-rectangular arrays
US8310441B2 (en) 2004-09-27 2012-11-13 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for writing data to MEMS display elements
US7130104B2 (en) 2004-09-27 2006-10-31 Idc, Llc Methods and devices for inhibiting tilting of a mirror in an interferometric modulator
US7424198B2 (en) 2004-09-27 2008-09-09 Idc, Llc Method and device for packaging a substrate
US7679627B2 (en) * 2004-09-27 2010-03-16 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Controller and driver features for bi-stable display
US8362987B2 (en) * 2004-09-27 2013-01-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for manipulating color in a display
US7668415B2 (en) 2004-09-27 2010-02-23 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for providing electronic circuitry on a backplate
US7302157B2 (en) * 2004-09-27 2007-11-27 Idc, Llc System and method for multi-level brightness in interferometric modulation
US7911428B2 (en) * 2004-09-27 2011-03-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for manipulating color in a display
US7525730B2 (en) * 2004-09-27 2009-04-28 Idc, Llc Method and device for generating white in an interferometric modulator display
US7545550B2 (en) * 2004-09-27 2009-06-09 Idc, Llc Systems and methods of actuating MEMS display elements
US8102407B2 (en) * 2004-09-27 2012-01-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for manipulating color in a display
US7928928B2 (en) * 2004-09-27 2011-04-19 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Apparatus and method for reducing perceived color shift
US7898521B2 (en) * 2004-09-27 2011-03-01 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Device and method for wavelength filtering
US7289259B2 (en) 2004-09-27 2007-10-30 Idc, Llc Conductive bus structure for interferometric modulator array
US7405924B2 (en) * 2004-09-27 2008-07-29 Idc, Llc System and method for protecting microelectromechanical systems array using structurally reinforced back-plate
CN100439967C (zh) * 2004-09-27 2008-12-03 Idc公司 用于多状态干涉光调制的方法和设备
US7710636B2 (en) * 2004-09-27 2010-05-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Systems and methods using interferometric optical modulators and diffusers
US7184202B2 (en) * 2004-09-27 2007-02-27 Idc, Llc Method and system for packaging a MEMS device
US7813026B2 (en) * 2004-09-27 2010-10-12 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method of reducing color shift in a display
US8031133B2 (en) * 2004-09-27 2011-10-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for manipulating color in a display
US8878825B2 (en) 2004-09-27 2014-11-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for providing a variable refresh rate of an interferometric modulator display
US7446927B2 (en) 2004-09-27 2008-11-04 Idc, Llc MEMS switch with set and latch electrodes
US7807488B2 (en) * 2004-09-27 2010-10-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display element having filter material diffused in a substrate of the display element
US7893919B2 (en) 2004-09-27 2011-02-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display region architectures
US7310179B2 (en) * 2004-09-27 2007-12-18 Idc, Llc Method and device for selective adjustment of hysteresis window
US8124434B2 (en) * 2004-09-27 2012-02-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for packaging a display
US20060066557A1 (en) * 2004-09-27 2006-03-30 Floyd Philip D Method and device for reflective display with time sequential color illumination
US7345805B2 (en) * 2004-09-27 2008-03-18 Idc, Llc Interferometric modulator array with integrated MEMS electrical switches
US7446926B2 (en) * 2004-09-27 2008-11-04 Idc, Llc System and method of providing a regenerating protective coating in a MEMS device
US7304784B2 (en) 2004-09-27 2007-12-04 Idc, Llc Reflective display device having viewable display on both sides
US7573547B2 (en) * 2004-09-27 2009-08-11 Idc, Llc System and method for protecting micro-structure of display array using spacers in gap within display device
US7944599B2 (en) 2004-09-27 2011-05-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Electromechanical device with optical function separated from mechanical and electrical function
US7136213B2 (en) 2004-09-27 2006-11-14 Idc, Llc Interferometric modulators having charge persistence
US8514169B2 (en) 2004-09-27 2013-08-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Apparatus and system for writing data to electromechanical display elements
US7724993B2 (en) 2004-09-27 2010-05-25 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS switches with deforming membranes
US7321456B2 (en) 2004-09-27 2008-01-22 Idc, Llc Method and device for corner interferometric modulation
US7701631B2 (en) * 2004-09-27 2010-04-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Device having patterned spacers for backplates and method of making the same
US7843410B2 (en) 2004-09-27 2010-11-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for electrically programmable display
US7675669B2 (en) * 2004-09-27 2010-03-09 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for driving interferometric modulators
US7564612B2 (en) * 2004-09-27 2009-07-21 Idc, Llc Photonic MEMS and structures
US7372613B2 (en) 2004-09-27 2008-05-13 Idc, Llc Method and device for multistate interferometric light modulation
US7710632B2 (en) * 2004-09-27 2010-05-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display device having an array of spatial light modulators with integrated color filters
US7532195B2 (en) * 2004-09-27 2009-05-12 Idc, Llc Method and system for reducing power consumption in a display
US20060077148A1 (en) * 2004-09-27 2006-04-13 Gally Brian J Method and device for manipulating color in a display
US7684104B2 (en) * 2004-09-27 2010-03-23 Idc, Llc MEMS using filler material and method
US7420725B2 (en) 2004-09-27 2008-09-02 Idc, Llc Device having a conductive light absorbing mask and method for fabricating same
KR100661347B1 (ko) 2004-10-27 2006-12-27 삼성전자주식회사 미소 박막 구조물 및 이를 이용한 ｍｅｍｓ 스위치 그리고그것들을 제조하기 위한 방법
US8519945B2 (en) 2006-01-06 2013-08-27 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling display apparatus
US9082353B2 (en) 2010-01-05 2015-07-14 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling display apparatus
US8159428B2 (en) 2005-02-23 2012-04-17 Pixtronix, Inc. Display methods and apparatus
US7755582B2 (en) 2005-02-23 2010-07-13 Pixtronix, Incorporated Display methods and apparatus
US8310442B2 (en) 2005-02-23 2012-11-13 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling display apparatus
US7999994B2 (en) 2005-02-23 2011-08-16 Pixtronix, Inc. Display apparatus and methods for manufacture thereof
US9261694B2 (en) 2005-02-23 2016-02-16 Pixtronix, Inc. Display apparatus and methods for manufacture thereof
US9158106B2 (en) 2005-02-23 2015-10-13 Pixtronix, Inc. Display methods and apparatus
US9229222B2 (en) 2005-02-23 2016-01-05 Pixtronix, Inc. Alignment methods in fluid-filled MEMS displays
US20070205969A1 (en) 2005-02-23 2007-09-06 Pixtronix, Incorporated Direct-view MEMS display devices and methods for generating images thereon
US7675665B2 (en) 2005-02-23 2010-03-09 Pixtronix, Incorporated Methods and apparatus for actuating displays
US7742016B2 (en) 2005-02-23 2010-06-22 Pixtronix, Incorporated Display methods and apparatus
US7746529B2 (en) 2005-02-23 2010-06-29 Pixtronix, Inc. MEMS display apparatus
US8482496B2 (en) 2006-01-06 2013-07-09 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling MEMS display apparatus on a transparent substrate
US7920136B2 (en) 2005-05-05 2011-04-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method of driving a MEMS display device
EP1878001A1 (en) 2005-05-05 2008-01-16 QUALCOMM Incorporated, Inc. Dynamic driver ic and display panel configuration
WO2007061406A1 (en) * 2005-11-16 2007-05-31 Idc, Llc Mems switch with set and latch electrodes
US8391630B2 (en) 2005-12-22 2013-03-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for power reduction when decompressing video streams for interferometric modulator displays
US7916980B2 (en) 2006-01-13 2011-03-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interconnect structure for MEMS device
US8194056B2 (en) * 2006-02-09 2012-06-05 Qualcomm Mems Technologies Inc. Method and system for writing data to MEMS display elements
US8526096B2 (en) 2006-02-23 2013-09-03 Pixtronix, Inc. Mechanical light modulators with stressed beams
EP1979268A2 (en) * 2006-04-13 2008-10-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Packaging a mems device using a frame
US8004743B2 (en) * 2006-04-21 2011-08-23 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and apparatus for providing brightness control in an interferometric modulator (IMOD) display
US8049713B2 (en) 2006-04-24 2011-11-01 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Power consumption optimized display update
US7876489B2 (en) 2006-06-05 2011-01-25 Pixtronix, Inc. Display apparatus with optical cavities
US7471442B2 (en) * 2006-06-15 2008-12-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and apparatus for low range bit depth enhancements for MEMS display architectures
US7702192B2 (en) 2006-06-21 2010-04-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Systems and methods for driving MEMS display
US7777715B2 (en) * 2006-06-29 2010-08-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Passive circuits for de-multiplexing display inputs
US7527998B2 (en) * 2006-06-30 2009-05-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method of manufacturing MEMS devices providing air gap control
WO2008033441A2 (en) * 2006-09-12 2008-03-20 Olympus Corporation Divided mirror pixels for deformable mirror device
EP2366946A1 (en) 2006-10-06 2011-09-21 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Optical loss layer integrated in an illumination apparatus of a display
EP1943551A2 (en) 2006-10-06 2008-07-16 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Light guide
WO2008051362A1 (en) 2006-10-20 2008-05-02 Pixtronix, Inc. Light guides and backlight systems incorporating light redirectors at varying densities
US20080111834A1 (en) * 2006-11-09 2008-05-15 Mignard Marc M Two primary color display
US7724417B2 (en) * 2006-12-19 2010-05-25 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS switches with deforming membranes
US20080158648A1 (en) * 2006-12-29 2008-07-03 Cummings William J Peripheral switches for MEMS display test
US7556981B2 (en) * 2006-12-29 2009-07-07 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Switches for shorting during MEMS etch release
US9176318B2 (en) 2007-05-18 2015-11-03 Pixtronix, Inc. Methods for manufacturing fluid-filled MEMS displays
WO2008088892A2 (en) * 2007-01-19 2008-07-24 Pixtronix, Inc. Sensor-based feedback for display apparatus
US7852546B2 (en) 2007-10-19 2010-12-14 Pixtronix, Inc. Spacers for maintaining display apparatus alignment
US7957589B2 (en) * 2007-01-25 2011-06-07 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Arbitrary power function using logarithm lookup table
US7403180B1 (en) * 2007-01-29 2008-07-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Hybrid color synthesis for multistate reflective modulator displays
US20080192029A1 (en) * 2007-02-08 2008-08-14 Michael Hugh Anderson Passive circuits for de-multiplexing display inputs
US8111262B2 (en) 2007-05-18 2012-02-07 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric modulator displays with reduced color sensitivity
US20090015579A1 (en) * 2007-07-12 2009-01-15 Qualcomm Incorporated Mechanical relaxation tracking and responding in a mems driver
US8022896B2 (en) * 2007-08-08 2011-09-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. ESD protection for MEMS display panels
US7847999B2 (en) * 2007-09-14 2010-12-07 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric modulator display devices
KR101415566B1 (ko) 2007-10-29 2014-07-04 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
US7729036B2 (en) * 2007-11-12 2010-06-01 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Capacitive MEMS device with programmable offset voltage control
US8068710B2 (en) 2007-12-07 2011-11-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Decoupled holographic film and diffuser
US8466858B2 (en) 2008-02-11 2013-06-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Sensing to determine pixel state in a passively addressed display array
US20090201282A1 (en) * 2008-02-11 2009-08-13 Qualcomm Mems Technologies, Inc Methods of tuning interferometric modulator displays
CN102037331B (zh) * 2008-02-11 2014-09-17 高通Mems科技公司 用于测量和表征干涉式调制器的方法
US8258800B2 (en) * 2008-02-11 2012-09-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Methods for measurement and characterization of interferometric modulators
BRPI0908464A2 (pt) * 2008-02-11 2015-12-15 Qualcomm Mems Technologies Inc equipamento e método de sensoreamento, medição e caracterização elétrica de elementos de imagem e dispositivos de exibição
KR20100119556A (ko) 2008-02-11 2010-11-09 퀄컴 엠이엠스 테크놀로지스, 인크. Ｍｅｍｓ 기반 디스플레이용의 전기적 구동 변수의 전기적 측정을 위한 방법 및 장치
US8451298B2 (en) * 2008-02-13 2013-05-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Multi-level stochastic dithering with noise mitigation via sequential template averaging
US7643305B2 (en) * 2008-03-07 2010-01-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method of preventing damage to metal traces of flexible printed circuits
US7944604B2 (en) 2008-03-07 2011-05-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric modulator in transmission mode
US7977931B2 (en) 2008-03-18 2011-07-12 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Family of current/power-efficient high voltage linear regulator circuit architectures
US8094358B2 (en) * 2008-03-27 2012-01-10 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Dimming mirror
US8248560B2 (en) 2008-04-18 2012-08-21 Pixtronix, Inc. Light guides and backlight systems incorporating prismatic structures and light redirectors
US7768690B2 (en) * 2008-06-25 2010-08-03 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Backlight displays
US20090323170A1 (en) * 2008-06-30 2009-12-31 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Groove on cover plate or substrate
US7782522B2 (en) * 2008-07-17 2010-08-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Encapsulation methods for interferometric modulator and MEMS devices
US8169679B2 (en) 2008-10-27 2012-05-01 Pixtronix, Inc. MEMS anchors
US8270056B2 (en) * 2009-03-23 2012-09-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display device with openings between sub-pixels and method of making same
WO2010111306A1 (en) * 2009-03-25 2010-09-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Em shielding for display devices
US8736590B2 (en) * 2009-03-27 2014-05-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Low voltage driver scheme for interferometric modulators
US8405649B2 (en) * 2009-03-27 2013-03-26 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Low voltage driver scheme for interferometric modulators
US8248358B2 (en) 2009-03-27 2012-08-21 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Altering frame rates in a MEMS display by selective line skipping
WO2010141767A1 (en) * 2009-06-05 2010-12-09 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for improving the quality of halftone video using an adaptive threshold
US7990604B2 (en) 2009-06-15 2011-08-02 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Analog interferometric modulator
US8379392B2 (en) * 2009-10-23 2013-02-19 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Light-based sealing and device packaging
US20110109615A1 (en) * 2009-11-12 2011-05-12 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Energy saving driving sequence for a display
US20110164068A1 (en) * 2010-01-06 2011-07-07 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Reordering display line updates
US8884940B2 (en) * 2010-01-06 2014-11-11 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Charge pump for producing display driver output
US20110164027A1 (en) * 2010-01-06 2011-07-07 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method of detecting change in display data
US8310421B2 (en) * 2010-01-06 2012-11-13 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display drive switch configuration
JP5569002B2 (ja) * 2010-01-21 2014-08-13 セイコーエプソン株式会社 分析機器および特性測定方法
KR20120132680A (ko) 2010-02-02 2012-12-07 픽스트로닉스 인코포레이티드 저온 실 유체 충전된 디스플레이 장치의 제조 방법
KR20120139854A (ko) 2010-02-02 2012-12-27 픽스트로닉스 인코포레이티드 디스플레이 장치를 제어하기 위한 회로
US8730218B2 (en) * 2010-02-12 2014-05-20 Blackberry Limited Ambient light-compensated reflective display devices and methods related thereto
WO2011112962A1 (en) 2010-03-11 2011-09-15 Pixtronix, Inc. Reflective and transflective operation modes for a display device
JP2013522665A (ja) * 2010-03-12 2013-06-13 クォルコム・メムズ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド ディスプレイのリフレッシュレートを増大可能とするライン逓倍
US8659611B2 (en) * 2010-03-17 2014-02-25 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for frame buffer storage and retrieval in alternating orientations
JP2013524287A (ja) 2010-04-09 2013-06-17 クォルコム・メムズ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド 電気機械デバイスの機械層及びその形成方法
WO2011130718A2 (en) 2010-04-16 2011-10-20 Flex Lighting Ii, Llc Front illumination device comprising a film-based lightguide
CA2796519A1 (en) 2010-04-16 2011-10-20 Flex Lighting Ii, Llc Illumination device comprising a film-based lightguide
US8848294B2 (en) 2010-05-20 2014-09-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and structure capable of changing color saturation
US8670171B2 (en) 2010-10-18 2014-03-11 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display having an embedded microlens array
US8294184B2 (en) 2011-02-23 2012-10-23 Qualcomm Mems Technologies, Inc. EMS tunable transistor
US20120236049A1 (en) * 2011-03-15 2012-09-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Color-dependent write waveform timing
US8345030B2 (en) 2011-03-18 2013-01-01 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for providing positive and negative voltages from a single inductor
US8963159B2 (en) 2011-04-04 2015-02-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Pixel via and methods of forming the same
US9134527B2 (en) 2011-04-04 2015-09-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Pixel via and methods of forming the same
US8659816B2 (en) 2011-04-25 2014-02-25 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Mechanical layer and methods of making the same
US9235047B2 (en) * 2011-06-01 2016-01-12 Pixtronix, Inc. MEMS display pixel control circuits and methods
US8988409B2 (en) 2011-07-22 2015-03-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Methods and devices for voltage reduction for active matrix displays using variability of pixel device capacitance
US9405087B2 (en) 2011-10-01 2016-08-02 Ipg Photonics Corporation Laser head assembly for laser processing system
US8749538B2 (en) 2011-10-21 2014-06-10 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Device and method of controlling brightness of a display based on ambient lighting conditions
US8669926B2 (en) * 2011-11-30 2014-03-11 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Drive scheme for a display
US9135843B2 (en) 2012-05-31 2015-09-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Charge pump for producing display driver output
US9183812B2 (en) 2013-01-29 2015-11-10 Pixtronix, Inc. Ambient light aware display apparatus
US9134552B2 (en) 2013-03-13 2015-09-15 Pixtronix, Inc. Display apparatus with narrow gap electrostatic actuators
US9135867B2 (en) 2013-04-01 2015-09-15 Pixtronix, Inc. Display element pixel circuit with voltage equalization
US11453165B2 (en) * 2019-02-05 2022-09-27 Silicon Light Machines Corporation Stacked PLV driver architecture for a microelectromechanical system spatial light modulator

Family Cites Families (264)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US552924A (en) * 1896-01-14 Electric releasing device
US2534846A (en) 1946-06-20 1950-12-19 Emi Ltd Color filter
DE1288651B (de) * 1963-06-28 1969-02-06 Siemens Ag Anordnung elektrischer Dipole fuer Wellenlaengen unterhalb 1 mm und Verfahren zur Herstellung einer derartigen Anordnung
FR1603131A (ru) * 1968-07-05 1971-03-22
US3813265A (en) * 1970-02-16 1974-05-28 A Marks Electro-optical dipolar material
US3653741A (en) * 1970-02-16 1972-04-04 Alvin M Marks Electro-optical dipolar material
US3982239A (en) 1973-02-07 1976-09-21 North Hills Electronics, Inc. Saturation drive arrangements for optically bistable displays
DE2336930A1 (de) 1973-07-20 1975-02-06 Battelle Institut E V Infrarot-modulator (ii.)
US4099854A (en) 1976-10-12 1978-07-11 The Unites States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Optical notch filter utilizing electric dipole resonance absorption
US4389096A (en) 1977-12-27 1983-06-21 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Image display apparatus of liquid crystal valve projection type
US4445050A (en) * 1981-12-15 1984-04-24 Marks Alvin M Device for conversion of light power to electric power
US4663083A (en) 1978-05-26 1987-05-05 Marks Alvin M Electro-optical dipole suspension with reflective-absorptive-transmissive characteristics
US4228437A (en) 1979-06-26 1980-10-14 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Wideband polarization-transforming electromagnetic mirror
NL8001281A (nl) 1980-03-04 1981-10-01 Philips Nv Weergeefinrichting.
DE3012253A1 (de) 1980-03-28 1981-10-15 Hoechst Ag, 6000 Frankfurt Verfahren zum sichtbarmaschen von ladungsbildern und eine hierfuer geeignete vorichtung
US4377324A (en) * 1980-08-04 1983-03-22 Honeywell Inc. Graded index Fabry-Perot optical filter device
US4441791A (en) * 1980-09-02 1984-04-10 Texas Instruments Incorporated Deformable mirror light modulator
FR2506026A1 (fr) 1981-05-18 1982-11-19 Radant Etudes Procede et dispositif pour l'analyse d'un faisceau de rayonnement d'ondes electromagnetiques hyperfrequence
NL8103377A (nl) 1981-07-16 1983-02-16 Philips Nv Weergeefinrichting.
US4571603A (en) * 1981-11-03 1986-02-18 Texas Instruments Incorporated Deformable mirror electrostatic printer
NL8200354A (nl) 1982-02-01 1983-09-01 Philips Nv Passieve weergeefinrichting.
US4500171A (en) * 1982-06-02 1985-02-19 Texas Instruments Incorporated Process for plastic LCD fill hole sealing
US4482213A (en) 1982-11-23 1984-11-13 Texas Instruments Incorporated Perimeter seal reinforcement holes for plastic LCDs
US4710732A (en) 1984-07-31 1987-12-01 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US4566935A (en) * 1984-07-31 1986-01-28 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US4709995A (en) 1984-08-18 1987-12-01 Canon Kabushiki Kaisha Ferroelectric display panel and driving method therefor to achieve gray scale
US4596992A (en) 1984-08-31 1986-06-24 Texas Instruments Incorporated Linear spatial light modulator and printer
US5061049A (en) 1984-08-31 1991-10-29 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US4662746A (en) 1985-10-30 1987-05-05 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US5096279A (en) * 1984-08-31 1992-03-17 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US4615595A (en) 1984-10-10 1986-10-07 Texas Instruments Incorporated Frame addressed spatial light modulator
US5172262A (en) 1985-10-30 1992-12-15 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US4859060A (en) * 1985-11-26 1989-08-22 501 Sharp Kabushiki Kaisha Variable interferometric device and a process for the production of the same
US5835255A (en) * 1986-04-23 1998-11-10 Etalon, Inc. Visible spectrum modulator arrays
GB8610129D0 (en) 1986-04-25 1986-05-29 Secr Defence Electro-optical device
US4748366A (en) 1986-09-02 1988-05-31 Taylor George W Novel uses of piezoelectric materials for creating optical effects
US4786128A (en) 1986-12-02 1988-11-22 Quantum Diagnostics, Ltd. Device for modulating and reflecting electromagnetic radiation employing electro-optic layer having a variable index of refraction
NL8701138A (nl) 1987-05-13 1988-12-01 Philips Nv Electroscopische beeldweergeefinrichting.
FR2615644B1 (fr) 1987-05-18 1989-06-30 Brunel Christian Dispositif d'affichage electroluminescent a effet memoire et a demi-teintes
US4857978A (en) 1987-08-11 1989-08-15 North American Philips Corporation Solid state light modulator incorporating metallized gel and method of metallization
US4900136A (en) * 1987-08-11 1990-02-13 North American Philips Corporation Method of metallizing silica-containing gel and solid state light modulator incorporating the metallized gel
US4956619A (en) 1988-02-19 1990-09-11 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator
US4856863A (en) 1988-06-22 1989-08-15 Texas Instruments Incorporated Optical fiber interconnection network including spatial light modulator
US5074840A (en) * 1990-07-24 1991-12-24 Inbae Yoon Packing device and method of packing for endoscopic procedures
US5028939A (en) 1988-08-23 1991-07-02 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator system
JP2700903B2 (ja) * 1988-09-30 1998-01-21 シャープ株式会社 液晶表示装置
US5068649A (en) * 1988-10-14 1991-11-26 Compaq Computer Corporation Method and apparatus for displaying different shades of gray on a liquid crystal display
US4982184A (en) * 1989-01-03 1991-01-01 General Electric Company Electrocrystallochromic display and element
DE69012353T2 (de) 1989-01-09 1995-04-20 Matsushita Electric Ind Co Ltd Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung und Verfahren zu ihrer Ansteuerung.
US5446479A (en) 1989-02-27 1995-08-29 Texas Instruments Incorporated Multi-dimensional array video processor system
US5206629A (en) * 1989-02-27 1993-04-27 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and memory for digitized video display
US5214419A (en) 1989-02-27 1993-05-25 Texas Instruments Incorporated Planarized true three dimensional display
KR100202246B1 (ko) * 1989-02-27 1999-06-15 윌리엄 비. 켐플러 디지탈화 비디오 시스템을 위한 장치 및 방법
US5162787A (en) 1989-02-27 1992-11-10 Texas Instruments Incorporated Apparatus and method for digitized video system utilizing a moving display surface
US5272473A (en) 1989-02-27 1993-12-21 Texas Instruments Incorporated Reduced-speckle display system
US5192946A (en) * 1989-02-27 1993-03-09 Texas Instruments Incorporated Digitized color video display system
US5079544A (en) * 1989-02-27 1992-01-07 Texas Instruments Incorporated Standard independent digitized video system
US5214420A (en) 1989-02-27 1993-05-25 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator projection system with random polarity light
US5287096A (en) * 1989-02-27 1994-02-15 Texas Instruments Incorporated Variable luminosity display system
US5170156A (en) 1989-02-27 1992-12-08 Texas Instruments Incorporated Multi-frequency two dimensional display system
US4900395A (en) * 1989-04-07 1990-02-13 Fsi International, Inc. HF gas etching of wafers in an acid processor
US5022745A (en) 1989-09-07 1991-06-11 Massachusetts Institute Of Technology Electrostatically deformable single crystal dielectrically coated mirror
US4954789A (en) 1989-09-28 1990-09-04 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator
US5381253A (en) * 1991-11-14 1995-01-10 Board Of Regents Of University Of Colorado Chiral smectic liquid crystal optical modulators having variable retardation
US5124834A (en) 1989-11-16 1992-06-23 General Electric Company Transferrable, self-supporting pellicle for elastomer light valve displays and method for making the same
US5037173A (en) 1989-11-22 1991-08-06 Texas Instruments Incorporated Optical interconnection network
JP2910114B2 (ja) 1990-01-20 1999-06-23 ソニー株式会社 電子機器
US5500635A (en) * 1990-02-20 1996-03-19 Mott; Jonathan C. Products incorporating piezoelectric material
CH682523A5 (fr) * 1990-04-20 1993-09-30 Suisse Electronique Microtech Dispositif de modulation de lumière à adressage matriciel.
GB9012099D0 (en) 1990-05-31 1990-07-18 Kodak Ltd Optical article for multicolour imaging
US5142405A (en) 1990-06-29 1992-08-25 Texas Instruments Incorporated Bistable dmd addressing circuit and method
US5018256A (en) 1990-06-29 1991-05-28 Texas Instruments Incorporated Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates
DE69113150T2 (de) * 1990-06-29 1996-04-04 Texas Instruments Inc Deformierbare Spiegelvorrichtung mit aktualisiertem Raster.
US5083857A (en) * 1990-06-29 1992-01-28 Texas Instruments Incorporated Multi-level deformable mirror device
US5099353A (en) * 1990-06-29 1992-03-24 Texas Instruments Incorporated Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates
US5216537A (en) 1990-06-29 1993-06-01 Texas Instruments Incorporated Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates
US5153771A (en) 1990-07-18 1992-10-06 Northrop Corporation Coherent light modulation and detector
US5192395A (en) * 1990-10-12 1993-03-09 Texas Instruments Incorporated Method of making a digital flexure beam accelerometer
US5526688A (en) 1990-10-12 1996-06-18 Texas Instruments Incorporated Digital flexure beam accelerometer and method
US5044736A (en) 1990-11-06 1991-09-03 Motorola, Inc. Configurable optical filter or display
US5331454A (en) 1990-11-13 1994-07-19 Texas Instruments Incorporated Low reset voltage process for DMD
US5602671A (en) * 1990-11-13 1997-02-11 Texas Instruments Incorporated Low surface energy passivation layer for micromechanical devices
US5233459A (en) 1991-03-06 1993-08-03 Massachusetts Institute Of Technology Electric display device
CA2063744C (en) * 1991-04-01 2002-10-08 Paul M. Urbanus Digital micromirror device architecture and timing for use in a pulse-width modulated display system
US5142414A (en) 1991-04-22 1992-08-25 Koehler Dale R Electrically actuatable temporal tristimulus-color device
US5226099A (en) 1991-04-26 1993-07-06 Texas Instruments Incorporated Digital micromirror shutter device
US5179274A (en) * 1991-07-12 1993-01-12 Texas Instruments Incorporated Method for controlling operation of optical systems and devices
US5287215A (en) 1991-07-17 1994-02-15 Optron Systems, Inc. Membrane light modulation systems
US5168406A (en) 1991-07-31 1992-12-01 Texas Instruments Incorporated Color deformable mirror device and method for manufacture
US5254980A (en) 1991-09-06 1993-10-19 Texas Instruments Incorporated DMD display system controller
US5358601A (en) 1991-09-24 1994-10-25 Micron Technology, Inc. Process for isotropically etching semiconductor devices
US5563398A (en) 1991-10-31 1996-10-08 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator scanning system
CA2081753C (en) 1991-11-22 2002-08-06 Jeffrey B. Sampsell Dmd scanner
US5233385A (en) 1991-12-18 1993-08-03 Texas Instruments Incorporated White light enhanced color field sequential projection
US5233456A (en) 1991-12-20 1993-08-03 Texas Instruments Incorporated Resonant mirror and method of manufacture
US5228013A (en) 1992-01-10 1993-07-13 Bik Russell J Clock-painting device and method for indicating the time-of-day with a non-traditional, now analog artistic panel of digital electronic visual displays
US5296950A (en) * 1992-01-31 1994-03-22 Texas Instruments Incorporated Optical signal free-space conversion board
US5231532A (en) 1992-02-05 1993-07-27 Texas Instruments Incorporated Switchable resonant filter for optical radiation
US5212582A (en) 1992-03-04 1993-05-18 Texas Instruments Incorporated Electrostatically controlled beam steering device and method
EP0562424B1 (en) 1992-03-25 1997-05-28 Texas Instruments Incorporated Embedded optical calibration system
US5312513A (en) 1992-04-03 1994-05-17 Texas Instruments Incorporated Methods of forming multiple phase light modulators
US5401983A (en) * 1992-04-08 1995-03-28 Georgia Tech Research Corporation Processes for lift-off of thin film materials or devices for fabricating three dimensional integrated circuits, optical detectors, and micromechanical devices
US5311360A (en) 1992-04-28 1994-05-10 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford, Junior University Method and apparatus for modulating a light beam
JPH0651250A (ja) * 1992-05-20 1994-02-25 Texas Instr Inc <Ti> モノリシックな空間的光変調器およびメモリのパッケージ
JPH06214169A (ja) * 1992-06-08 1994-08-05 Texas Instr Inc <Ti> 制御可能な光学的周期的表面フィルタ
US5818095A (en) * 1992-08-11 1998-10-06 Texas Instruments Incorporated High-yield spatial light modulator with light blocking layer
US5293272A (en) * 1992-08-24 1994-03-08 Physical Optics Corporation High finesse holographic fabry-perot etalon and method of fabricating
US5327286A (en) 1992-08-31 1994-07-05 Texas Instruments Incorporated Real time optical correlation system
US5325116A (en) 1992-09-18 1994-06-28 Texas Instruments Incorporated Device for writing to and reading from optical storage media
US5433219A (en) * 1992-09-23 1995-07-18 Spery; Nanette S. Receptive condom assembly
US5296775A (en) 1992-09-24 1994-03-22 International Business Machines Corporation Cooling microfan arrangements and process
US5488505A (en) * 1992-10-01 1996-01-30 Engle; Craig D. Enhanced electrostatic shutter mosaic modulator
CN1057614C (zh) 1993-01-11 2000-10-18 德克萨斯仪器股份有限公司 用于空间光调制器的象素控制电路
US6674562B1 (en) * 1994-05-05 2004-01-06 Iridigm Display Corporation Interferometric modulation of radiation
US5461411A (en) 1993-03-29 1995-10-24 Texas Instruments Incorporated Process and architecture for digital micromirror printer
US5324683A (en) 1993-06-02 1994-06-28 Motorola, Inc. Method of forming a semiconductor structure having an air region
US5475397A (en) 1993-07-12 1995-12-12 Motorola, Inc. Method and apparatus for reducing discontinuities in an active addressing display system
US5489952A (en) 1993-07-14 1996-02-06 Texas Instruments Incorporated Method and device for multi-format television
US5365283A (en) 1993-07-19 1994-11-15 Texas Instruments Incorporated Color phase control for projection display using spatial light modulator
US5619061A (en) * 1993-07-27 1997-04-08 Texas Instruments Incorporated Micromechanical microwave switching
US5526172A (en) 1993-07-27 1996-06-11 Texas Instruments Incorporated Microminiature, monolithic, variable electrical signal processor and apparatus including same
US5581272A (en) 1993-08-25 1996-12-03 Texas Instruments Incorporated Signal generator for controlling a spatial light modulator
US5552925A (en) 1993-09-07 1996-09-03 John M. Baker Electro-micro-mechanical shutters on transparent substrates
US5457493A (en) 1993-09-15 1995-10-10 Texas Instruments Incorporated Digital micro-mirror based image simulation system
US5497197A (en) * 1993-11-04 1996-03-05 Texas Instruments Incorporated System and method for packaging data into video processor
US5526051A (en) 1993-10-27 1996-06-11 Texas Instruments Incorporated Digital television system
US5459602A (en) 1993-10-29 1995-10-17 Texas Instruments Micro-mechanical optical shutter
US5452024A (en) 1993-11-01 1995-09-19 Texas Instruments Incorporated DMD display system
US5517347A (en) 1993-12-01 1996-05-14 Texas Instruments Incorporated Direct view deformable mirror device
CA2137059C (en) 1993-12-03 2004-11-23 Texas Instruments Incorporated Dmd architecture to improve horizontal resolution
US5583688A (en) 1993-12-21 1996-12-10 Texas Instruments Incorporated Multi-level digital micromirror device
US5598565A (en) 1993-12-29 1997-01-28 Intel Corporation Method and apparatus for screen power saving
US5448314A (en) 1994-01-07 1995-09-05 Texas Instruments Method and apparatus for sequential color imaging
US5500761A (en) * 1994-01-27 1996-03-19 At&T Corp. Micromechanical modulator
US5444566A (en) 1994-03-07 1995-08-22 Texas Instruments Incorporated Optimized electronic operation of digital micromirror devices
JP3298301B2 (ja) * 1994-04-18 2002-07-02 カシオ計算機株式会社 液晶駆動装置
US7123216B1 (en) * 1994-05-05 2006-10-17 Idc, Llc Photonic MEMS and structures
US7550794B2 (en) * 2002-09-20 2009-06-23 Idc, Llc Micromechanical systems device comprising a displaceable electrode and a charge-trapping layer
US7460291B2 (en) * 1994-05-05 2008-12-02 Idc, Llc Separable modulator
US20010003487A1 (en) * 1996-11-05 2001-06-14 Mark W. Miles Visible spectrum modulator arrays
US6040937A (en) * 1994-05-05 2000-03-21 Etalon, Inc. Interferometric modulation
US6710908B2 (en) * 1994-05-05 2004-03-23 Iridigm Display Corporation Controlling micro-electro-mechanical cavities
US6680792B2 (en) * 1994-05-05 2004-01-20 Iridigm Display Corporation Interferometric modulation of radiation
US5497172A (en) * 1994-06-13 1996-03-05 Texas Instruments Incorporated Pulse width modulation for spatial light modulator with split reset addressing
US5454906A (en) 1994-06-21 1995-10-03 Texas Instruments Inc. Method of providing sacrificial spacer for micro-mechanical devices
US5499062A (en) * 1994-06-23 1996-03-12 Texas Instruments Incorporated Multiplexed memory timing with block reset and secondary memory
JPH0823500A (ja) * 1994-07-11 1996-01-23 Canon Inc 空間光変調素子および該素子を用いた投影型表示装置
US5619059A (en) * 1994-09-28 1997-04-08 National Research Council Of Canada Color deformable mirror device having optical thin film interference color coatings
US5552924A (en) 1994-11-14 1996-09-03 Texas Instruments Incorporated Micromechanical device having an improved beam
US5610624A (en) * 1994-11-30 1997-03-11 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator with reduced possibility of an on state defect
US5612713A (en) * 1995-01-06 1997-03-18 Texas Instruments Incorporated Digital micro-mirror device with block data loading
US5726480A (en) * 1995-01-27 1998-03-10 The Regents Of The University Of California Etchants for use in micromachining of CMOS Microaccelerometers and microelectromechanical devices and method of making the same
US5567334A (en) 1995-02-27 1996-10-22 Texas Instruments Incorporated Method for creating a digital micromirror device using an aluminum hard mask
US5610438A (en) * 1995-03-08 1997-03-11 Texas Instruments Incorporated Micro-mechanical device with non-evaporable getter
US5535047A (en) 1995-04-18 1996-07-09 Texas Instruments Incorporated Active yoke hidden hinge digital micromirror device
US5578976A (en) * 1995-06-22 1996-11-26 Rockwell International Corporation Micro electromechanical RF switch
US5739945A (en) * 1995-09-29 1998-04-14 Tayebati; Parviz Electrically tunable optical filter utilizing a deformable multi-layer mirror
JP3799092B2 (ja) * 1995-12-29 2006-07-19 アジレント・テクノロジーズ・インク 光変調装置及びディスプレイ装置
US5790548A (en) 1996-04-18 1998-08-04 Bell Atlantic Network Services, Inc. Universal access multimedia data network
US5710656A (en) * 1996-07-30 1998-01-20 Lucent Technologies Inc. Micromechanical optical modulator having a reduced-mass composite membrane
JPH1068931A (ja) * 1996-08-28 1998-03-10 Sharp Corp アクティブマトリクス型液晶表示装置
DE69806846T2 (de) * 1997-05-08 2002-12-12 Texas Instruments Inc., Dallas Verbesserungen für räumliche Lichtmodulatoren
US6480177B2 (en) * 1997-06-04 2002-11-12 Texas Instruments Incorporated Blocked stepped address voltage for micromechanical devices
US5867302A (en) * 1997-08-07 1999-02-02 Sandia Corporation Bistable microelectromechanical actuator
US5966235A (en) * 1997-09-30 1999-10-12 Lucent Technologies, Inc. Micro-mechanical modulator having an improved membrane configuration
JP3433074B2 (ja) * 1997-11-18 2003-08-04 株式会社東芝 液晶表示装置
US6028690A (en) * 1997-11-26 2000-02-22 Texas Instruments Incorporated Reduced micromirror mirror gaps for improved contrast ratio
US6180428B1 (en) * 1997-12-12 2001-01-30 Xerox Corporation Monolithic scanning light emitting devices using micromachining
JP2001517329A (ja) * 1997-12-16 2001-10-02 ゴスダルストベンニ ナウチニ ツェントル ロシイスコイ フェデラツィイ“ニオピク”（ゲーエヌテーエス エルエフ“ニオピク”） 偏光子及び液晶表示素子
GB9803441D0 (en) 1998-02-18 1998-04-15 Cambridge Display Tech Ltd Electroluminescent devices
US6195196B1 (en) * 1998-03-13 2001-02-27 Fuji Photo Film Co., Ltd. Array-type exposing device and flat type display incorporating light modulator and driving method thereof
DE19811022A1 (de) * 1998-03-13 1999-09-16 Siemens Ag Aktivmatrix-Flüssigkristallanzeige
JP3824290B2 (ja) 1998-05-07 2006-09-20 富士写真フイルム株式会社 アレイ型光変調素子、アレイ型露光素子、及び平面型ディスプレイ、並びにアレイ型光変調素子の駆動方法
JP3403635B2 (ja) 1998-03-26 2003-05-06 富士通株式会社 表示装置および該表示装置の駆動方法
JP2000028938A (ja) * 1998-07-13 2000-01-28 Fuji Photo Film Co Ltd アレイ型光変調素子、アレイ型露光素子、及び平面型ディスプレイの駆動方法
JP4074714B2 (ja) * 1998-09-25 2008-04-09 富士フイルム株式会社 アレイ型光変調素子及び平面ディスプレイの駆動方法
US6323834B1 (en) * 1998-10-08 2001-11-27 International Business Machines Corporation Micromechanical displays and fabrication method
JP3919954B2 (ja) * 1998-10-16 2007-05-30 富士フイルム株式会社 アレイ型光変調素子及び平面ディスプレイの駆動方法
US6391675B1 (en) * 1998-11-25 2002-05-21 Raytheon Company Method and apparatus for switching high frequency signals
US6335831B2 (en) * 1998-12-18 2002-01-01 Eastman Kodak Company Multilevel mechanical grating device
US6590549B1 (en) * 1998-12-30 2003-07-08 Texas Instruments Incorporated Analog pulse width modulation of video data
US6771019B1 (en) 1999-05-14 2004-08-03 Ifire Technology, Inc. Electroluminescent laminate with patterned phosphor structure and thick film dielectric with improved dielectric properties
US6201633B1 (en) * 1999-06-07 2001-03-13 Xerox Corporation Micro-electromechanical based bistable color display sheets
TW473471B (en) * 1999-07-21 2002-01-21 Ind Tech Res Inst Process for preparing pentenoic ester
US6862029B1 (en) * 1999-07-27 2005-03-01 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Color display system
US6507330B1 (en) * 1999-09-01 2003-01-14 Displaytech, Inc. DC-balanced and non-DC-balanced drive schemes for liquid crystal devices
JP3643508B2 (ja) * 1999-09-28 2005-04-27 株式会社東芝 可動フィルム型表示装置
WO2003007049A1 (en) * 1999-10-05 2003-01-23 Iridigm Display Corporation Photonic mems and structures
US6549338B1 (en) * 1999-11-12 2003-04-15 Texas Instruments Incorporated Bandpass filter to reduce thermal impact of dichroic light shift
US6552840B2 (en) * 1999-12-03 2003-04-22 Texas Instruments Incorporated Electrostatic efficiency of micromechanical devices
US6674090B1 (en) * 1999-12-27 2004-01-06 Xerox Corporation Structure and method for planar lateral oxidation in active
US6548908B2 (en) * 1999-12-27 2003-04-15 Xerox Corporation Structure and method for planar lateral oxidation in passive devices
US6545335B1 (en) * 1999-12-27 2003-04-08 Xerox Corporation Structure and method for electrical isolation of optoelectronic integrated circuits
US6466358B2 (en) * 1999-12-30 2002-10-15 Texas Instruments Incorporated Analog pulse width modulation cell for digital micromechanical device
JP2002162652A (ja) * 2000-01-31 2002-06-07 Fujitsu Ltd シート状表示装置、樹脂球状体、及びマイクロカプセル
CN1160684C (zh) * 2000-02-24 2004-08-04 皇家菲利浦电子有限公司 包括光波导的显示器件
EP1181621B1 (en) * 2000-03-14 2005-08-17 Koninklijke Philips Electronics N.V. Liquid crystal display device with means for temperature compensation of operating voltage
US20010051014A1 (en) * 2000-03-24 2001-12-13 Behrang Behin Optical switch employing biased rotatable combdrive devices and methods
SE517550C2 (sv) * 2000-04-17 2002-06-18 Micronic Laser Systems Ab Mönstergenereringssystem användande en spatialljusmodulator
JP3843703B2 (ja) * 2000-06-13 2006-11-08 富士ゼロックス株式会社 光書き込み型記録表示装置
CA2352729A1 (en) * 2000-07-13 2002-01-13 Creoscitex Corporation Ltd. Blazed micro-mechanical light modulator and array thereof
US6853129B1 (en) * 2000-07-28 2005-02-08 Candescent Technologies Corporation Protected substrate structure for a field emission display device
JP2002062490A (ja) * 2000-08-14 2002-02-28 Canon Inc 干渉性変調素子
JP4392970B2 (ja) 2000-08-21 2010-01-06 キヤノン株式会社 干渉性変調素子を用いる表示素子
JP2002072193A (ja) * 2000-08-23 2002-03-12 Seiko Epson Corp 液晶表示装置および電子機器
US6504118B2 (en) * 2000-10-27 2003-01-07 Daniel J Hyman Microfabricated double-throw relay with multimorph actuator and electrostatic latch mechanism
US6859218B1 (en) * 2000-11-07 2005-02-22 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Electronic display devices and methods
US6593934B1 (en) * 2000-11-16 2003-07-15 Industrial Technology Research Institute Automatic gamma correction system for displays
US6433917B1 (en) * 2000-11-22 2002-08-13 Ball Semiconductor, Inc. Light modulation device and system
US6504641B2 (en) * 2000-12-01 2003-01-07 Agere Systems Inc. Driver and method of operating a micro-electromechanical system device
US6756996B2 (en) * 2000-12-19 2004-06-29 Intel Corporation Obtaining a high refresh rate display using a low bandwidth digital interface
FR2818795B1 (fr) * 2000-12-27 2003-12-05 Commissariat Energie Atomique Micro-dispositif a actionneur thermique
US6907167B2 (en) * 2001-01-19 2005-06-14 Gazillion Bits, Inc. Optical interleaving with enhanced spectral response and reduced polarization sensitivity
US6543286B2 (en) 2001-01-26 2003-04-08 Movaz Networks, Inc. High frequency pulse width modulation driver, particularly useful for electrostatically actuated MEMS array
JP4109992B2 (ja) * 2001-01-30 2008-07-02 株式会社アドバンテスト スイッチ、及び集積化回路装置
US6657832B2 (en) * 2001-04-26 2003-12-02 Texas Instruments Incorporated Mechanically assisted restoring force support for micromachined membranes
JP2002328356A (ja) * 2001-04-27 2002-11-15 Sanyo Electric Co Ltd アクティブマトリクス型表示装置
US7116287B2 (en) 2001-05-09 2006-10-03 Eastman Kodak Company Drive for cholesteric liquid crystal displays
US6753196B2 (en) * 2001-06-26 2004-06-22 Matsushita Electric Works, Ltd. Method of and apparatus for manufacturing field emission-type electron source
JP4032216B2 (ja) * 2001-07-12 2008-01-16 ソニー株式会社 光学多層構造体およびその製造方法、並びに光スイッチング素子および画像表示装置
US6862022B2 (en) * 2001-07-20 2005-03-01 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Method and system for automatically selecting a vertical refresh rate for a video display monitor
US6589625B1 (en) * 2001-08-01 2003-07-08 Iridigm Display Corporation Hermetic seal and method to create the same
JP4785300B2 (ja) * 2001-09-07 2011-10-05 株式会社半導体エネルギー研究所 電気泳動型表示装置、表示装置、及び電子機器
KR100816336B1 (ko) 2001-10-11 2008-03-24 삼성전자주식회사 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법
US6870581B2 (en) * 2001-10-30 2005-03-22 Sharp Laboratories Of America, Inc. Single panel color video projection display using reflective banded color falling-raster illumination
CN101676980B (zh) 2001-11-20 2014-06-04 伊英克公司 驱动双稳态电光显示器的方法
US6791735B2 (en) * 2002-01-09 2004-09-14 The Regents Of The University Of California Differentially-driven MEMS spatial light modulator
US6750589B2 (en) * 2002-01-24 2004-06-15 Honeywell International Inc. Method and circuit for the control of large arrays of electrostatic actuators
US6794119B2 (en) * 2002-02-12 2004-09-21 Iridigm Display Corporation Method for fabricating a structure for a microelectromechanical systems (MEMS) device
US6574033B1 (en) * 2002-02-27 2003-06-03 Iridigm Display Corporation Microelectromechanical systems device and method for fabricating same
JP3854182B2 (ja) * 2002-03-28 2006-12-06 東北パイオニア株式会社 発光表示パネルの駆動方法および有機ｅｌ表示装置
US7053519B2 (en) * 2002-03-29 2006-05-30 Microsoft Corporation Electrostatic bimorph actuator
US6791441B2 (en) * 2002-05-07 2004-09-14 Raytheon Company Micro-electro-mechanical switch, and methods of making and using it
US6741377B2 (en) * 2002-07-02 2004-05-25 Iridigm Display Corporation Device having a light-absorbing mask and a method for fabricating same
US7256795B2 (en) * 2002-07-31 2007-08-14 Ati Technologies Inc. Extended power management via frame modulation control
US6674033B1 (en) * 2002-08-21 2004-01-06 Ming-Shan Wang Press button type safety switch
TW544787B (en) * 2002-09-18 2003-08-01 Promos Technologies Inc Method of forming self-aligned contact structure with locally etched gate conductive layer
US6747785B2 (en) * 2002-10-24 2004-06-08 Hewlett-Packard Development Company, L.P. MEMS-actuated color light modulator and methods
US6813060B1 (en) * 2002-12-09 2004-11-02 Sandia Corporation Electrical latching of microelectromechanical devices
TWI289708B (en) * 2002-12-25 2007-11-11 Qualcomm Mems Technologies Inc Optical interference type color display
TWI226504B (en) * 2003-04-21 2005-01-11 Prime View Int Co Ltd A structure of an interference display cell
US6829132B2 (en) * 2003-04-30 2004-12-07 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Charge control of micro-electromechanical device
US6741384B1 (en) 2003-04-30 2004-05-25 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Control of MEMS and light modulator arrays
US6865313B2 (en) * 2003-05-09 2005-03-08 Opticnet, Inc. Bistable latching actuator for optical switching applications
US7348111B2 (en) * 2003-05-14 2008-03-25 Agfa Corporation Reduction of imaging artifacts in a platesetter having a diffractive modulator
TW591716B (en) * 2003-05-26 2004-06-11 Prime View Int Co Ltd A structure of a structure release and manufacturing the same
US7221495B2 (en) * 2003-06-24 2007-05-22 Idc Llc Thin film precursor stack for MEMS manufacturing
US7190380B2 (en) * 2003-09-26 2007-03-13 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Generating and displaying spatially offset sub-frames
US7173314B2 (en) * 2003-08-13 2007-02-06 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Storage device having a probe and a storage cell with moveable parts
US20050057442A1 (en) * 2003-08-28 2005-03-17 Olan Way Adjacent display of sequential sub-images
US6982820B2 (en) * 2003-09-26 2006-01-03 Prime View International Co., Ltd. Color changeable pixel
US20050068583A1 (en) * 2003-09-30 2005-03-31 Gutkowski Lawrence J. Organizing a digital image
US6861277B1 (en) * 2003-10-02 2005-03-01 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Method of forming MEMS device
US20050116924A1 (en) * 2003-10-07 2005-06-02 Rolltronics Corporation Micro-electromechanical switching backplane
US7161728B2 (en) 2003-12-09 2007-01-09 Idc, Llc Area array modulation and lead reduction in interferometric modulators
US7142346B2 (en) 2003-12-09 2006-11-28 Idc, Llc System and method for addressing a MEMS display
EP1571485A3 (en) 2004-02-24 2005-10-05 Barco N.V. Display element array with optimized pixel and sub-pixel layout for use in reflective displays
US7327510B2 (en) 2004-09-27 2008-02-05 Idc, Llc Process for modifying offset voltage characteristics of an interferometric modulator
US7136213B2 (en) * 2004-09-27 2006-11-14 Idc, Llc Interferometric modulators having charge persistence
US7345805B2 (en) * 2004-09-27 2008-03-18 Idc, Llc Interferometric modulator array with integrated MEMS electrical switches
US7139112B2 (en) * 2004-10-27 2006-11-21 United Microdisplay Optronics Corp. Spatial light modulator and method for color management
US7054051B1 (en) 2004-11-26 2006-05-30 Alces Technology, Inc. Differential interferometric light modulator and image display device
US8310442B2 (en) 2005-02-23 2012-11-13 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling display apparatus
US7403180B1 (en) 2007-01-29 2008-07-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Hybrid color synthesis for multistate reflective modulator displays

Also Published As

Publication number Publication date
EP2221800A3 (en) 2011-05-25
KR20110053287A (ko) 2011-05-19
KR20110086778A (ko) 2011-07-29
US20070291347A1 (en) 2007-12-20
TW200523650A (en) 2005-07-16
JP2010266875A (ja) 2010-11-25
US7864402B2 (en) 2011-01-04
US7545554B2 (en) 2009-06-09
US20090135464A1 (en) 2009-05-28
EP2221800A2 (en) 2010-08-25
KR20060131778A (ko) 2006-12-20
US7489428B2 (en) 2009-02-10
JP5203608B2 (ja) 2013-06-05
US20050122560A1 (en) 2005-06-09
JP2014238585A (ja) 2014-12-18
CA2548400C (en) 2014-04-01
EP2221798A2 (en) 2010-08-25
MXPA06006585A (es) 2006-08-31
KR101060269B1 (ko) 2011-08-29
CN101685201A (zh) 2010-03-31
EP2221798A3 (en) 2011-05-25
BRPI0417427A (pt) 2007-03-06
HK1097636A1 (en) 2007-06-29
US7161728B2 (en) 2007-01-09
EP2221799A2 (en) 2010-08-25
EP2221799A3 (en) 2011-05-25
AU2004304303A1 (en) 2005-07-07
US7782525B2 (en) 2010-08-24
KR101204731B1 (ko) 2012-11-27
US8009347B2 (en) 2011-08-30
CN1890705B (zh) 2010-04-14
TWI253041B (en) 2006-04-11
CN1890705A (zh) 2007-01-03
EP1692683A1 (en) 2006-08-23
US7196837B2 (en) 2007-03-27
JP2007514197A (ja) 2007-05-31
WO2005062284A1 (en) 2005-07-07
EP1692683B1 (en) 2012-10-17
US20110075247A1 (en) 2011-03-31
CA2548400A1 (en) 2005-07-07
IL191510A0 (en) 2008-11-03
US20080252959A1 (en) 2008-10-16
US20050231791A1 (en) 2005-10-20
IL175903A0 (en) 2006-10-05
RU2006124545A (ru) 2008-01-20
US20090213449A1 (en) 2009-08-27
EP2221798B1 (en) 2013-03-27
KR101204730B1 (ko) 2012-11-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2378715C2 (ru) Модуляция массива по площади и уменьшение выводов в интерференционных модуляторах
EP0707303B1 (en) Deformable mirror device driving circuit and method
KR20020017434A (ko) 액정표시장치 및 그 구동방법
EP1719106A2 (en) Driver voltage adjuster
KR20120139702A (ko) 디스플레이 장치를 제어하기 위한 회로
US5049868A (en) Electrochromic display dot drive matrix
KR20060054298A (ko) 전기 영동 디스플레이 패널
US5614924A (en) Ferroelectric liquid crystal display device and a driving method of effecting gradational display therefor
CN1020982C (zh) 对数据存贮元件进行寻址的方法及其装置
KR100708683B1 (ko) 평판 표시장치
CN109906390A (zh) 液体透镜、包括其的相机模块和光学装置
US6243057B1 (en) Deformable mirror device driving circuit and method
JPH0460584A (ja) 液晶表示装置の駆動回路

Legal Events

Date Code Title Description
PC4A Invention patent assignment

Effective date: 20101006

MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20141123