KR20220041279A - 제진대용 콘크리트 패드 - Google Patents

Abstract

제진대용 콘크리트 패드가 개시된다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 제진대용 콘크리트 패드는 보강재의 안정적인 정렬과 함께 콘크리트의 이음 타설량이 최소화된 제진대용 콘크리트 패드에 관한 것이다.

Description

제진대용 콘크리트 패드{Shock absorbing desk}

본 발명은 반도체 장비를 안정적으로 안착 시키기 위해 사용되는 제진대용 콘크리트 패드에 관한 것이다.

일반적으로 이중마루가 설치된 크린룸은 반도체 또는 디스플레이 제조와 같은 첨단 제품의 제조 공장으로 사용되고 이러한 공장에는 매우 정밀한 측정 장비와 수 마이크론 내지 나노 수준의 직접회로를 제작하는 초정밀 가공장비가 설치된다.

이러한 초정밀 장비는 환경진동에 매우 민감하여 특정 주파수대역에서 불량이 발생하거나, 작동 자체가 불가해 지는 문제가 발생하기 때문에 각 장비마다 요구되는 환경진동 수준으로 환경진동을 조절하여 주는 것이 필요하다.

환경진동의 수준은 ISO2631이 제공하는 VC(vibartion criteria)-Curve의 Class구분인 주파수 대역별 가속도의 크기에 따른 등급 구분이 적용되고 있다.

각 장비마다의 요구되는 환경진동수준을 조성하기 위해서는 댐핑 장치와 감쇠 기술이 사용되고 있으나 일반적으로는 장비의 바닥투영면적과 동일한 수준의 크기를 가지는 콘크리트 패드를 장비 하부에 설치하고 허용되는 환경진동의 요구 특성에 맞게 콘크리트 패드의 하부에 강성 구조물을 설치하거나 하부 강성 구조물과 콘크리트 패드 사이에 댐퍼를 설치하는 방법이 주로 이용되고 있으며, 콘크리트 패드와 댐퍼와 하부 강성 구조물이 복합된 구조체로 이중마루용 제진대용 콘크리트 패드가 구성된다.

상기 콘크리트 패드는 부식과 분진 발생을 억제할 목적으로 바닥과 네 측면이 일정두께의 철판으로 밀봉된 케이스 형태로 제작되고, 내부는 철근이 배근된 콘크리트가 채워지며, 상부면에는 대전방지용 타일이나 도료, 또는 전도체로 마감된다.

제진대용 콘크리트 패드의 상부에 설치되는 장비의 하부에 장비의 하중을 바닥으로 전달하는 수많은 캐스터(지지점)가 불규칙하게 배치되어 있고, 장비 내부의 질량도 각 캐스터의 위치마다 크기가 다르기 때문에 외부로부터 전달되는 진동에너지에 대한 응답도 각위치의 캐스터 마다 다르게 되어 이로 인하여 공진이 발생되거나 특정 주파수의 가속도가 증폭되는 문제 발생할 가능성이 있다.

어느 한 장비의 하부에 있는 캐스터는 어느 지점의 캐스터라도 모두 동일한 동특성을 갖는 구조물위에 설치되는 것이 중요한 요건이 되고 이를 위해 콘크리트 패드는 하나의 질량체로 구성되는 것이 매우 중요한 요건이나, 장비의 바닥 투영면적이 매우 크거나 복잡한 경우 운반과 설치의 문제로 인하여 각각의 크기로 제작된 콘크리트 패드를 현장에서 맞대어 볼팅으로 고정하는 방법이 사용되고 있다.

이러한 핀 접합으로 연결된 콘크리트 패드는 서로 다른 동특성을 보이는 문제가 있고, 또 다른 방법으로는 철재 케이스를 외부에서 제작하여 설비가 설치될 장소에서 조립한 후 콘크리트를 타설하는 방법이 있다. 이 경우 동특성의 문제는 크게 없으나 현장 타설 과정에서 콘크리트 분진과 오염수로 인하여 크린룸이 오염되는 문제와 콘크리트의 완전 경화에 약 28일이 소요되어 장비 설치까지 상당한 대기 시간이 발생한다는 문제가 야기 되었다.

최근 이러한 문제를 해결하기 위한 방법으로 콘크리트 패드를 여러 조각으로 만들되 조각과 조각이 이어져야 하는 면에 철판으로 내측과 구분되는 별도의 연결공간을 형성하고 콘크리트 내부의 철근을 연결부 공간으로 돌출시켜 철근 커플러와 바닥 철판의 덧대기 이음으로 콘크리트 조각과 조각을 이은 후 연결부 공간에 콘크리트를 타설하여 일체화하는 공법들이 시도되고 있다.

이러한 기존의 시도인 콘크리트 블록을 분할 제작 한 후 재조립하여 일체화하는 방법들이 제공하는 연결부 조성방법은 콘크리트에서 발생하는 분진이 콘크리트 블록의 취급과정에서 크린룸을 오염시키지 못하도록 철판을 이용하여 모든 면을 밀폐하여 반입되고 있으며, 분진 억제를 위해 연결부도 철판이 접합되게 되고 철판과 콘크리트 접합면 사이의 경계면 분리(크랙)를 억제할 목적으로 철망이나, 앵커류 등을 철판의 양면에 접합하는 방법을 사용하고 있어 자재와 가공, 조립비용이 매우 크다는 문제가 있고, 철근의 연결 방법에 있어서 1점식 철근 연결방법을 사용하므로 연결부에 설치된 철판을 통과하여 연결부 중간 지점까지 철근이 돌출되어 상대 콘크리트 블록에블 돌출되어있는 철근과 나사식 커플러로 조립되는 방법을 사용하고 있는데, 기계가공이 아니라 수작업으로 배치되고 엮어지는 철근의 설치 작업의 부정확한 특성으로 각각 따로 제작되어진 콘크리트 블록에서 돌출된 철근이 서로 정확한 각도와 거리를 가지고 만나기 어려워 나사식 커플러가 조립되지 않는 문제가 빈번하게 발생하기 때문에, 연결될 콘크리트 블록을 맞대어 커플러를 체결한 상태로 각 조각의 내부 타설을 진행한 후 다시 각 조각을 분리하여, 설치되어야 하는 위치로 운반후 재조립한 후 연결부를 타설하는 방법을 사용하기 때문에 제작기간 감소 효과는 적어지고 오히려 비용이 증가하는 문제가 발생되어 이에 대한 대책이 필요하게 되었다.

대한민국등록특허 제10-0791079호

본 발명의 실시 예들은 이중마루가 설치된 크린룸과 같은 뜬바닥 구조에 설치되는 장비(설비, 기계)의 진동 전달을 최소화 하기 위한 제진대용 콘크리트 패드를 제공하고자 한다.

본 발명의 일 실시 예에 의한 제진대용 콘크리트 패드는 바닥면(10)에서 서로 마주보며 위치된 제1 본체부(100, 100a); 상기 제1 본체부(100, 100a) 사이에서 상기 제1 본체부(100, 100a)와 일체로 콘크리트 양생으로 성형되는 제2 본체부(200); 상기 제1 본체부(100, 100a)의 내측에 강도 보강을 위해 구비된 보강재(300, 300a); 상기 보강재(300, 300a)의 연장된 단부에서 상기 제1 본체부(100, 100a)의 내측을 향해 소정의 깊이로 형성된 소켓 홈부(400, 400a); 및 상기 제2 본체부(200)에 구비되고, 이격된 제1 본체부(100, 100a)가 서로 간에 연결되도록 상기 소켓 홈부(400, 400a)에 양단이 결합된 연결부(500)를 포함하되, 상기 제1 본체부(100, 100a)는 상기 바닥면(10)과 접한 바닥판(102, 102a)에서 상기 제2 본체부(200)를 바라보는 위치를 제외한 나머지 위치에서 상측을 향해 소정의 길이로 절곡된 외측판(104, 104a)이 일체 형성된다.

상기 제1 본체부(100, 100a)에는 상기 외측판(104, 104a)과 마주보는 반대편 위치에서 상기 바닥판(102, 102a) 및 상기 외측판(104, 104a)과 연결되고, 홈부(111, 111a)가 형성된 제1,2 측면 프레임(110, 110a); 상기 홈부(111, 111a)에 끼움 결합되고, 상기 보강재(300, 300a)와 마주보는 위치에 제1,2 삽입부(122, 122a)가 형성된 제1,2 지지 프레임(120, 120a)을 포함한다.

상기 제1,2 측면 프레임(110, 110a)은 상기 제1 본체부(100, 100a)가 수평 방향에서 서로 간에 결합되기 위해 구비된 결합 부재(20)에 의해 체결이 이루어지는 것을 특징으로 한다.

상기 제1 본체부(100, 100a)가 성형되기 이전에 상기 제1,2 삽입부(122, 122a)의 외측에서 내측으로 결합되어 상기 보강재(300, 300a)가 정 위치에 위치되도록 단부와 결합되는 소켓부(600, 600a)가 구비된다.

상기 소켓부(600, 600a)는 외형을 이루는 바디부(602, 602a); 상기 보강재(300, 300a)와 동축을 이루며 단부와 마주보는 상기 바디부(602, 602a)의 내측 중앙에 형성되고, 축 방향을 따라 내측면에 나사산이 형성된 제1 소켓 홈(610, 610a); 상기 제1 소켓 홈(610, 610a)을 기준으로 반경 방향 외측으로 이격된 위치에 소정의 깊이로 개구되어 상기 제1 본체부(100, 100a)에 대한 양생이 종료된 이후에 상기 소켓부(600, 600a)를 상기 제1,2 측면 프레임(110, 110a)의 외측으로 인출하기 위한 공구가 삽입되는 공간을 제공하는 제2 소켓 홈(622, 622a)이 구비된 플랜지(620, 620a)를 포함한다.

상기 제1 본체부(100, 100a)에는 상기 제2 본체부(200)와 마주보는 가장 자리를 따라 내측 수직 방향으로 다각형의 요철 홈(G)이 형성된다.

상기 요철 홈(G)은 상기 연결부(500)를 기준으로 좌우측 방향에서 동일 간격으로 이격된다.

상기 요철 홈(G)은 서로 마주보며 위치된 제1 본체부(100, 100a)에서 대칭 형태로 배치된다.

상기 요철 홈(G)은 서로 마주보며 위치된 제1 본체부(100, 100a)에서 서로 엇갈리게 배치된다.

상기 연결부(500)는 축 방향 양단에 나사산이 가공된 제1 커플러(510); 상기 제1 커플러(510)의 좌우 양단에 상기 보강재(300, 300a)가 각각 결합되도록 내주면에 나사산이 형성된 너트부(N)를 포함한다.

상기 제1 본체부(100, 100a)에는 일단이 상기 외측판(104, 104a)에 지지되고, 타단이 상기 바닥판(102, 120a)의 상면에 지지된 보강판(50)이 설치되는 것을 특징으로 한다.

상기 제1 본체부(100, 100a)에는 상기 외측판(104, 104a)의 내측면을 따라 상기 보강판(50)의 타단이 지지되는 지지 판(106, 106a)이 구비된다.

본 발명의 실시 예들은 대면적의 제진대용 콘크리트 패드를 취급이 용이한 면적으로 나누어 사전 제작하여 설치장소에서 조립 후 연결 및 타설할 수 있게 되어, 운반과 설치가 용이하고 납기가 빨라지게 된다.

본 발명의 실시 예 들은 제진대용 콘크리트 패드 제작을 위한 작업자의 안전성이 향상되고, 제작이 용이하며, 진동 발생으로 인한 구조적 강도가 향상된다.

본 발명의 실시 예들은 보강재의 정렬이 안정적으로 이루어지고, 제2 본체부로 타설되는 콘크리트의 이음 타설량이 최소화 된다.

본 발명의 실시 예들은 제진대용 콘크리트 패드의 구조적인 강성이 향상되어 반도체 장비를 안정적으로 지지할 수 있으며 조립 공차 범위 이내에서 제작이 가능하여 치수 정확도가 향상된다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 의한 제진대용 콘크리트 패드로 콘크리트가 타설되기 이전에 보강재가 내부에 설치된 상태를 도시한 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 의한 제진대용 콘크리트 패드가 제작된 상태를 도시한 사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 의한 제진대용 콘크리트 패드에 구비된 소켓부를 도시한 단면도.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 의한 제진대용 콘크리트 패드의 제2 본체부로 콘크리트가 타설되기 이전 상태를 도시한 평면도.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 의한 제진대용 콘크리트 패드의 내부를 도시한 평면도.
도 6은 도 5의 A-A선 단면도.
도 7 내지 도 8은 본 발명의 일 실시 예에 의한 제진대용 콘크리트 패드의 결합 상태 및 내부를 도시한 사시도.
도 9는 본 발명의 일 실시 예에 의한 제진대용 콘크리트 패드에 구비된 연결부가 보강재와 결합된 상태를 도시한 단면도.
도 10 내지 도 13는 본 발명의 일 실시 예에 의한 제진대용 콘크리트 패드의 제작 과정을 도시한 사시도.

본 발명의 일 실시 예에 따른 제진대용 콘크리트 패드에 대해 도면을 참조하여 설명한다.

첨부된 도 1 내지 도 7을 참조하면, 본 실시 예에 의한 제진대용 콘크리트 패드(1)는 진동에 취약한 반도체 장비가 안정적으로 안착 되도록 바닥면(10)에 다수개가 서로 간에 조립 되는 제1 본체부(100, 100a)가 구비된다.

상기 제1 본체부(100, 100a)는 실제 반도체 장비가 설치되는 장소가 아닌 다른 장소에서 선 제작된 이후에 별도의 중장비를 통해 상기 반도체 장비가 설치될 장소로 옮겨 설치 위치가 셋팅된 후에 제2 본체부(200)에 대한 타설 및 양생으로 최종 조립이 완료된다.

또한 본 실시 예는 제1 본체부(100, 100a)가 반도체 장비가 설치될 장소의 크기에 맞춰 가로 및 세로 길이가 도면에 도시된 길이 이외에도 다양하게 변경되어 현장에서 사전 제작이 가능하므로 도면에 도시된 형태 및 길이로 한정하지 않는다.

상기 제1 본체부(100, 100a)는 도면에 도시된 형태로 반드시 한정하지 않고 다양하게 변경될 수 있으며, 일 예로 다각의 직육면체 형태 또는 원판 형태와 같이 다양한 형태로 변경될 수 있다.

또한 본 실시 예는 제1 본체부(100, 100a)가 전술한 바와 같이 다양한 형태로 변경될 경우 제2 본체부(200) 또한 서로 간의 맞물림을 위해 형태가 변경될 수 있다.

따라서 본 실시 예는 일 예로 판 형태의 직육면체 형태로 도시하였으나 이에 반드시 한정하는 것은 아니며 다양한 형태 및 길이로 제작이 가능할 수 있으며 후술할 제2 본체부(200)를 매개로 서로 간에 조립된다.

일 예로 본 실시 예는 제1 본체부(100, 100a)에 대한 조립 및 콘크리트 타설이 이루어진 이후에 제2 본체부(200)에 대한 콘크리트 타설을 통해 제작이 이루어진다.

본 실시 예는 제1 본체부(100, 100a)와 제2 본체부(200)의 접합면에서의 강도가 안정적으로 유지되도록 제2 본체부(200)의 폭을 최소화 하고, 보강재(300, 300a)의 배치를 최초 설계안 대로 오차 없이 정확히 유지하기 위해 후술할 소켓부(600, 600a)를 이용하여 보강재(300, 300a)에 대한 정확한 정렬을 실시할 수 있다.

또한 상기 제2 본체부(200)는 짧아진 폭만큼 정확하게 연결부(500)(도 7 참조)가 보강재(300, 300a)와 결합되도록 구조를 변경하여 진동 및 균열로 인한 구조적인 강성이 저하되는 것을 방지하여 인장 강도 향상을 통한 내구성을 향상시킬 수 있다.

상기 제1 본체부(100, 100a)는 최종 조립 현장이 아닌 제작단계에서 제2 본체부(200)보다 먼저 성형된 이후에 제2 본체부(200)에 대한 콘크리트 주입 및 양생이 이루어지게 되므로 최종 조립 현장의 다양한 크기에 대해 보다 정확하게 대처할 수 있다.

또한 본 실시 예는 제2 본체부(200)를 사전에 제작하지 않고 상기 제1 본체부(100, 100a)만을 사전에 규격화 하여 다수개로 제작하고, 현장에서 제2 본체부(200)를 제작하는 방법도 가능하므로 현장에서 설치가 손쉽게 이루어질 수 있다.

또한 상기 제1 본체부(100, 100a)는 반도체 장비가 안착될 위치로 차량을 통해 이동될 때 후술할 보강재(300, 300a)가 외측으로 돌출되지 않아 이동 및 보관이 유리해진다.

상기 제1 본체부(100, 100a)와 제2 본체부(200)는 콘크리트로 형성되나 다른 재질로 변경되는 것도 가능할 수 있다.

이를 위해 본 실시 예에 의한 제진대용 콘크리트 패드(1)는 바닥면(10)에서 서로 마주보며 위치된 제1 본체부(100, 100a)와, 상기 제1 본체부(100, 100a) 사이에서 상기 제1 본체부(100, 100a)와 일체로 콘크리트 양생으로 성형되는 제2 본체부(200)와, 상기 제1 본체부(100, 100a)의 내측에 강도 보강을 위해 구비된 보강재(300, 300a)와, 상기 보강재(300, 300a)의 연장된 단부에서 상기 제1 본체부(100, 100a)의 내측을 향해 소정의 깊이로 형성된 소켓 홈부(400, 400a) 및 상기 제2 본체부(200)에 구비되고, 이격된 제1 본체부(100, 100a)가 서로 간에 연결되도록 상기 소켓 홈부(400, 400a)에 양단이 결합된 연결부(500)를 포함하되, 상기 제1 본체부(100, 100a)는 상기 바닥면(10)과 접한 바닥판(102, 102a)에서 상기 제2 본체부(200)를 바라보는 위치를 제외한 나머지 위치에서 상측을 향해 소정의 길이로 절곡된 외측판(104, 104a)이 일체 형성된다.

제1 본체부(100, 100a)는 동일한 크기로 형성되며 바닥판(102, 102a)과 일체로 형성된 외측판(104, 104a)을 제외한 나머지 위치에는 제1,2 지지 프레임(120, 120a)이 후술할 제1,2 측면 프레임(110, 110a)에 끼움 결합된다.

상기 제1,2 지지 프레임(120, 120a)은 제1 본체부(100, 100a)가 콘크리트로 양생 될 때 까지만 제1,2 측면 프레임(110, 110a)에 결합되고, 상기 제1 본체부(100, 100a)에 대한 양생이 종료된 이후에는 제1,2 측면 프레임(110, 110a)에서 분리된다.

본 실시 예에 의한 제1 본체부(100, 100a)는 외형을 이루는 별도의 프레임이 전체적으로 형성되지 않고, 제2 본체부(200)와 마주보는 위치를 제외한 나머지 위치에만 바닥판(102, 102a)에서 연결된 외측판(104, 104a)이 구비되므로 보강재(300, 300a)에 대한 정렬을 정확하게 실시할 수 있다.

상기 제1 본체부(100, 100a)는 콘크리트로 형성되고, 도면 기준으로 외측 마감이 있는 외측변과, 내측 연결부를 갖는 변으로 구성된다.

상기 외측변은 a1과 b1, a2와 b2로 도시된 위치에 해당되고, 내측 연결부는 본체부(200)로 형성될 위치에 해당된다.

본 실시 예는 상기 외측변이 하나의 철판을 절곡하여 커버하고, 다른 부분은 오픈된 노출 콘크리트 상태로 제작하며, 상기 제2 본체부(200)에 콘크리트를 타설하여 전체적으로 상기 제1 본체부(100, 100a)와 제2 본체부(200)가 서로 간에 접합되는 형태로 제작된다.

제1 본체부(100, 100a)에는 상기 보강재(300, 300a)가 내부에 함께 성형된다. 상기 보강재(300, 300a)는 제1 본체부(100, 100a)의 외측으로 돌출되지 않고 후술할 연결부(500)와 각각 결합되므로 외부 노출로 인한 부식 발생 이나 변형 발생이 방지된다.

상기 보강재(300, 300a)가 제1 본체부(100, 100a)의 외측으로 미 노출될 경우 상기 제1 본체부(100, 100a)의 구조적인 강도가 시간이 경과해도 유지되므로 최초 설계시 반영된 강도가 일정하게 유지된다.

또한 제1 본체부(100, 100a)가 이동될 때 상기 보강재(300, 300a)의 파손 또는 상기 보강재(300, 300a)와 연결된 제1 본체부(100, 100a)의 파손으로 인한 문제점이 발생되지 않아 구조적인 강도가 항시 일정하게 유지된다.

또한 제1 본체부(100, 100a)는 블록화 시켜 다수개를 사전에 제작할 경우 적층이 용이하여 보관의 편리성도 향상된다.

상기 제1 본체부(100, 100a)에는 상기 외측판(104, 104a)과 마주보는 반대편 위치에서 상기 바닥판(102, 102a) 및 상기 외측판(104, 104a)과 연결되고, 홈부(111, 111a)가 형성된 제1,2 측면 프레임(110, 110a)과, 상기 홈부(111, 111a)에 끼움 결합되며, 상기 보강재(300, 300a)와 마주보는 위치에 제1,2 삽입부(122, 122a)가 형성된 제1,2 지지 프레임(120, 120a)이 구비된다.

상기 홈부(111, 111a)는 폭 방향에서 제1,2 측면 프레임(110, 110a)의 폭 방향 길이 보다 상대적으로 길게 연장되어 제2 본체부(200)의 폭 방향 길이를 구성한다.

또한 홈부(111, 111a)는 제1,2 측면 프레임(110, 110a)을 기준으로 보강재(300, 300a)가 설치된 내측 영역은 콘크리트가 타설되고, 외측 영역은 연결부(500)의 설치 작업을 위한 공간을 제공하게 되므로 작업자가 제1 본체부(100, 100a)에 대한 작업과 제2 본체부(200)를 타설하기 이전 작업을 실시할 수 있어 별도의 분리 작업이 가능해 진다.

본 실시 예는 제1 본체부(100, 100a)가 성형되기 이전에 상기 제1,2 삽입부(122, 122a)의 외측에서 내측으로 결합되어 상기 보강재(300, 300a)가 정 위치에 위치되도록 단부와 결합되는 소켓부(600, 600a)가 구비된다.

소켓부(600, 600a)는 보강재(300, 300a)에 대한 작업이 완료된 이후에 제1,2 측면 프레임(110, 110a)에 선 삽입되어 상기 보강재(300, 300a)에 대한 정확한 정렬 상태를 유지시켜 오차 범위 이내에서 정확한 설치가 이루어질 수 있다.

상기 소켓부(600, 600a)는 외형을 이루는 바디부(602, 602a)와, 상기 보강재(300, 300a)와 동축을 이루며 단부와 마주보는 상기 바디부(602, 602a)의 내측 중앙에 형성되고, 축 방향을 따라 내측면에 나사산이 형성된 제1 소켓 홈(610, 610a)과, 상기 제1 소켓 홈(610, 610a)을 기준으로 반경 방향 외측으로 이격된 위치에 소정의 깊이로 개구되어 상기 제1 본체부(100, 100a)에 대한 양생이 종료된 이후에 상기 소켓부(600, 600a)를 상기 제1,2 측면 프레임(110, 110a)의 외측으로 인출하기 위한 공구가 삽입되는 공간을 제공하는 제2 소켓 홈(622, 622a)이 구비된 플랜지(620, 620a)를 포함한다.

상기 소켓부(600, 600a)는 제1 본체부(100, 100a)에 대한 콘크리트 타설 전에 제1,2 지지 프레임(120, 120a)에 설치된 후에, 제1 본체부(100, 100a)에 대한 양생이 종료된 이후에 상기 제1,2 지지 프레임(120, 120a)에서 분리된다.

상기 소켓부(600, 600a)는 가로 및 세로 방향으로 배치된 다수개의 보강재(300, 300a)가 공차 범위 이내에서 동일한 위치에 위치되도록 정렬하기 위해 구비된다.

상기 보강재(300, 300a)는 소켓부(600, 600a)가 설치될 경우 연장된 일측 단부가 상기 소켓부(600, 600a)에 형성된 제1 소켓 홈(610, 610a)의 정 중앙으로 결합되므로 상기 보강재(300, 300a)의 위치가 서로 간에 비뚤어지거나 정렬이 불일치 되어 오조립되는 현상이 예방된다.

바디부(602, 602a)는 제1 본체부(100, 100a)의 내측으로 갈수록 중심을 향해 원추 형태로 경사지게 형성되므로, 상기 제1,2 지지 프레임(120, 120a)에서 분리될 때 제2 소켓 홀(622, 622a)에 공구를 삽입한 후에 회전시킬 경우 손쉽게 분리된다.

상기 제1 소켓 홀(610, 610a)은 내측에 나사산이 형성되어 있어 보강재(300, 300a)가 결합될 때 나사 결합 형태로 결합될 수 있다.

상기 플랜지(620, 620a)는 제1,2 지지 프레임(120, 120a)의 외측면에 밀착된 상태가 유지되므로 안정적인 설치 상태가 유지된다.

본 실시 예에 의한 제1 본체부(100, 100a)에는 상기 제2 본체부(200)와 마주보는 가장 자리를 따라 내측 수직 방향으로 다각형의 요철 홈(G)이 형성된다.

상기 요철 홈(G)은 콘크리트가 제1 본체부(100, 100a)로 타설될 경우 콘크리트가 주입되지 않고 공간으로 형성되는 공간으로, 제2 본체부(200)가 타설될 때 주입된 콘크리트로 채워진다.

요철 홈(G)은 제2 본체부(200)를 바라보는 방향으로 개구 영역이 형성되어 있어 제2 본체부(200)로 콘크리트가 타설될 경우 개구 영역이 콘크리트로 채워진다.

요철 홈(G)은 제1 본체부(100, 100a)와 제2 본체부(200)의 수직 방향과 수평 방향으로 가해지는 응력을 지지 보강하기 위해 형성되므로 반도체 장비로 전달되는 진동 또는 반복적인 충격으로 인한 제1,2 본체부(100, 100a, 200)의 균열 발생을 감소시킨다.

요철 홈(G)은 도면에 도시된 바와 같이 다각형태로 형성되나 다른 형태로 변경될 수 있으며 연결부(500)를 기준으로 좌우측 방향에서 동일 간격으로 이격될 수 있다.

이 경우 요철 홈(G)을 향해 좌측 또는 우측 어느 방향에서 진동이 가해지는 경우에도 특정 위치로 응력 집중이 가해지지 않아서 제1 본체부(100, 100a) 및 제2 본체부(200)의 구조적 안정성과 강도가 향상된다.

본 실시 예에 의한 요철 홈(G)은 서로 마주보며 위치된 제1 본체부(100, 100a)에서 대칭 형태로 배치될 수 있다. 또한 요철 홈(G)은 서로 마주보며 위치된 제1 본체부(100, 100a)에서 서로 엇갈리게 배치될 수 있으며 이와 같이 요철 홈(G)이 다양한 형태로 배치되는 이유는 불특정 위치에서 진동 및 충격이 발생될 경우를 대비하기 위해서이다.

본 실시 예에 의한 제1 본체부(100, 100a)에는 일단이 상기 외측판(104, 104a)에 지지되고, 타단이 상기 바닥판(102, 120a)의 상면에 지지된 보강판(50)이 설치된다.

상기 보강판(50)은 제1,2 지지 프레임(120, 120a)이 설치된 위치를 제외한 외측판(104, 104a)에만 설치되며, 복수개가 동일 간격으로 이격 된다.

보강판(50)은 전술한 바닥판(102, 102a)과 외측판(104, 104a)의 변형을 방지하고, 타설된 콘크리트와 접합되어 제1 본체부(100, 100a) 중 외측판(104, 104a)의 위치에 대한 지지 강성을 보강하여 외부 진동 및 충격으로부터 제1 본체부(100, 100a)의 변형 및 균열 발생을 방지할 수 있다.

상기 제1 본체부(100, 100a)에는 상기 외측판(104, 104a)의 내측면 중 최상단 에서 하측으로 이격된 위치를 따라 상기 보강판(50)의 연장된 단부가 지지되는 지지 판(106, 106a)이 구비된다.

상기 지지 판(106, 106a)은 외측판(104, 104a)에 대한 구조적 강성을 보강하는 리브재 역할을 함과 동시에 상기 보강판(50)의 상측 단부가 상기 외측판(104, 104a) 및 지지 판(106, 106a)에 밀착된 상태로 용접될 수 있어 안정적인 설치가 이루어질 수 있다.

본 실시 예에 의한 보강재(300, 300a)는 이형 철근이 사용되므로 콘크리트와의 부착 강도가 향상되고 구조적인 강도가 증가되어 인장 및 압축 응력에 의한 변형이 최소화 될 수 있다.

상기 보강재(300, 300a)는 상기 본체부(100, 100a)의 내측 가로 방향(장변방향)을 향해 상하로 서로 마주보며 배치된 제1 철근(310, 310a)과, 상기 제1 철근(310, 310a)과 직교하며 세로 방향(단변 방향)에 상하로 마주보며 배치된 제2 철근(320, 320a)을 포함한다.

상기 제1 철근(310, 310a)과 제2 철근(320, 320a)은 격자 형태로 서로 간에 동일한 제1 간격(D1)으로 이격 되므로 반도체 장비의 하중이 가해질 경우 제1 본체부(100, 100a)의 특정 위치에 하중이 집중되지 않고 안정적으로 지지될 수 있다.

상기 제1,2 철근(310, 310a, 320, 320a)이 제1 간격(D1)으로 배치될 경우 제1 본체부(100, 100a)는 상면 어느 위치에 반도체 장비가 위치되는 경우에도 진동에 의한 영향을 최소한으로 받게 되므로 안정적인 장비 운영과 함께 반도체 장비가 가동될 때 발생될 수 있는 오차 발생을 줄일 수 있다.

만약 전술한 실시 예와 같이 동일하게 제1 간격(D1)이 유지되지 않고 서로 다른 간격이 유지될 경우 제1 철근(310, 310a) 또는 제2 철근(320, 320a)의 이격된 간격이 상대적으로 멀리 이격된 구간에 집중 하중이 가해지면서 제1 본체부(100, 100a)에서 변형이 발생되거나 진동 흡수 측면에서 불리해지므로 본 실시 예와 같이 제1,2 철근(310, 310a, 320, 320a)이 서로 간에 동일한 제1 간격(D1)으로 이격 되는 것이 유리해 진다.

상기 제1,2 측면 프레임(110, 110a)은 상기 제1 본체부(100, 100a)가 수평 방향에서 서로 간에 결합되기 위해 구비된 결합 부재(20)에 의해 체결이 이루어진다.

상기 제1,2 측면 프레임(110, 110a)이 수평 방향에서 결합 부재(20)에 의해 체결될 경우 작업자가 체결을 위한 작업이 용이하게 이루어지고, 바닥판(102, 102a)에서 상측으로 작업하는 방식이 아닌 측면 위치에서 작업이 이루어지므로 작업자의 안전 사고로 인한 인명 피해 발생이 방지되어 안전한 작업환경이 유지된다.

또한 본 실시 예와 같이 바닥판(102, 102a)의 크기가 큰 경우 작업자가 보다 손쉽게 결합 부재(20)를 설치할 수 있어 작업자의 작업성도 향상된다.

본 실시 예는 제1 본체부(100, 100a) 사이가 제1,2 측면 프레임(110, 110a)을 통해 서로 간에 밀착된 상태로 결합 부재(20)를 매개로 밀착됨으로써 연결부(500) 단독으로 이격된 제1 본체부(100, 100a) 사이를 결합하지 않고, 상기 연결부(500)와 함께 상기 제1,2 측면 프레임(110, 110a) 및 결합 부재(20)를 통해 용이한 조립과 동시에 결합 강도 향상을 동시에 도모할 수 있다.

상기 제1,2 측면 프레임(110, 110a)은 단면을 잘라서 정면에서 바라볼 때 L자 형태로 바닥판(102, 102a)의 상면에 접합되므로 상기 제1,2 지지 프레임(120, 120a)이 제거된 이후에 제2 본체부(200)에 대한 타설을 위해 콘크리트가 주입된 후에 상기 제2 본체부(200)의 수평 및 수직 방향에서 접합된 상태가 유지되므로 특정 방향에서 전달된 진동에 대한 저항성과 접착 강도를 동시에 향상시킬 수 있다.

첨부된 도 7 내지 도 9를 참조하면, 본 실시 예에 의한 연결부(500)는 축 방향 양단에 나사산이 가공된 제1 커플러(510)와, 상기 제1 커플러(510)의 좌우 양단에 상기 보강재(300, 300a)가 각각 결합되도록 내주면에 나사산이 형성된 너트부(N)를 포함한다.

상기 연결부(500)는 제2 본체부(200)에 보강재(300, 300a)가 노출되지 않도록 함으로써 상기 제2 본체부(200)에서의 노출량이 최소화 된다. 상기 보강재(300, 300a)는 제2 본체부(200)에서 미 노출된 상태가 유지되는 것이 노출길이를 감소할 수 있어 상기 제2 본체부(200)의 폭 방향 길이를 최소화 할 수 있다.

또한 보강재(300, 300a)가 제2 본체부(200)로 노출되는 길이는 최소화 되면서 제1 커플러(510)와 너트부(N)를 통해 결합과 길이 조절이 보다 용이해지고 정확해 진다.

이를 통해 보강재(300, 300a)의 동심이 일치되고, 제1 커플러(510)의 휘어짐이 방지되며, 제2 본체부(200)는 콘크리트 주입을 위한 타설량이 최소화 될 수 있어 반도체 장비가 설치되는 클린룸에서의 분진 발생이 최소화 되어 오염 발생을 방지할 수 있다.

또한 보강재(300, 300a)가 제2 본체부(200)에서 미 노출될 경우 서로 간에 연결을 위한 연결부(500)의 연장 길이도 감소될 수 있어 상기 연결부(500)의 연장된 경로가 휘어지는 문제가 예방된다.

상기 연결부(500)는 보강재(300, 300a)와 동심이 일치하도록 2개의 너트부(N)를 이용하여 제1 커플러(510)의 축 방향 좌우측 양단에 결합되고, 상기 너트부(N)에 보강재(300, 300a)가 각각 결합된다.

연결부(500)는 도면에 도시된 바와 같이 너트부(N)가 제외된 길이로 연장되므로, 제2 본체부(200)의 폭 방향 길이 또한 기존에 비해 짧아질 수 있다.

너트부(N)는 축 방향 중앙을 기준으로 내부에 격벽(W)이 형성되고, 내주면에 나사산이 형성되어 있어 보강재(300, 300a)와 연결부(500)가 각각 나사결합 되고, 최대 결합 깊이가 격벽(W)에 의해 제한되므로 제한된 삽입 깊이 이내에서 안정적으로 결합된다.

너트부(N)는 도면에 도시된 바와 같이 소정의 길이로 연장되어 있고, 보강재(300, 300a)와 연결부(500)의 양측 단부가 각각 삽입되는 길이가 축 방향에서 손쉽게 조절 가능하여 공차 범위 이내에서 정확하게 결합이 가능해 진다.

따라서 보강재(300, 300a)는 연결부(500)와 동일 축선을 유지할 수 있고 축 방향에서 서로 간에 정렬된 상태가 결합된 상태가 유지된다.

상기 연결부(500)가 너트부(N)를 매개로 보강재(300, 300a)와 결합된 이후에는 제2 본체부(200)의 내부로 콘크리트의 타설이 이루어진다.

첨부된 도 10 내지 도 11을 참조하면, 본 실시 예는 제1 본체부(100, 100a)와 제2 본체부(200)에 대한 제작을 위해 제1 본체부(100, 100a)에 형성된 홈부(111, 111a)에 제1,2 측면 프레임(110, 110a)을 설치한다.

제1 본체부(100, 100a)에 제1,2 측면 프레임(110, 110a)이 설치될 경우 제2 본체부(200)를 바라보는 부분이 막힌 상태로 유지되면서 상기 제1 본체부(100, 100a)의 콘크리트 주입을 위한 가장자리를 따라 일종의 거푸집이 형성된다.

첨부된 도 12 내지 도 13을 참조하면, 작업자는 제1 본체부(100, 100a)의 내측에 보강재(300, 300a)를 도면에 도시된 바와 같이 격자 형태로 설치한다.

그리고 소켓부(600, 600a)를 제1,2 삽입부(122, 122a)에 결합시켜 상기 보강재(300, 300a)에 대한 정렬을 실시한다.

그리고 제1 본체부(100, 100a)의 내측으로 콘크리트를 타설한 후에 양생이 완료되면 도 13에 도시된 상태로 제작이 완료된다.

작업자는 콘크리트에 대한 양생 상태를 확인하고 소켓부(600, 600a)를 제1,2 삽입부(122, 122a)에서 모두 분리한 후에 제2 본체부(200)에 대한 작업을 실시하여 제1 본체부(100, 100a)와 제2 본체부(200)에 대한 작업을 실시하면 된다.

이상, 본 발명의 일 실시 예에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.

100, 100a : 제1 본체부
102, 102a : 바닥판
104, 104a : 외측판
110, 110a : 제1,2 측면 프레임
120, 120a : 제1,2 지지 프레임
122, 122a : 제1,2 삽입부
200 : 제2 본체부
300, 300a : 보강재
400, 400a : 소켓 홈부
500 : 연결부
600, 600a : 소켓부
610, 610a : 제1 소켓 홈
620, 620a : 플랜지
622, 622a : 제2 소켓 홈

Claims (6)

1. 바닥면(10)에서 서로 마주보며 위치된 제1 본체부(100, 100a);
   상기 제1 본체부(100, 100a) 사이에서 상기 제1 본체부(100, 100a)와 일체로 콘크리트 양생으로 성형되는 제2 본체부(200);
   상기 제1 본체부(100, 100a)의 내측에 강도 보강을 위해 구비된 보강재(300, 300a);
   상기 보강재(300, 300a)의 연장된 단부에서 상기 제1 본체부(100, 100a)의 내측을 향해 소정의 깊이로 형성된 소켓 홈부(400, 400a); 및
   상기 제2 본체부(200)에 구비되고, 이격된 제1 본체부(100, 100a)가 서로 간에 연결되도록 상기 소켓 홈부(400, 400a)에 양단이 결합된 연결부(500)를 포함하되,
   상기 제1 본체부(100, 100a)는 상기 바닥면(10)과 접한 바닥판(102, 102a)에서 상기 제2 본체부(200)를 바라보는 위치를 제외한 나머지 위치에서 상측을 향해 소정의 길이로 절곡된 외측판(104, 104a)이 일체 형성된 제진대용 콘크리트 패드.
2. 제1 항에 있어서,
   상기 제1 본체부(100, 100a)에는 상기 외측판(104, 104a)과 마주보는 반대편 위치에서 상기 바닥판(102, 102a) 및 상기 외측판(104, 104a)과 연결되고, 홈부(111, 111a)가 형성된 제1,2 측면 프레임(110, 110a);
   상기 홈부(111, 111a)에 끼움 결합되고, 상기 보강재(300, 300a)와 마주보는 위치에 제1,2 삽입부(122, 122a)가 형성된 제1,2 지지 프레임(120, 120a)을 포함하는 제진대용 콘크리트 패드.
3. 제2 항에 있어서,
   상기 제1,2 측면 프레임(110, 110a)은 상기 제1 본체부(100, 100a)가 수평 방향에서 서로 간에 결합되기 위해 구비된 결합 부재(20)에 의해 체결이 이루어지는 제진대용 콘크리트 패드.
4. 제2 항에 있어서,
   상기 제1 본체부(100, 100a)가 성형되기 이전에 상기 제1,2 삽입부(122, 122a)의 외측에서 내측으로 결합되어 상기 보강재(300, 300a)가 정 위치에 위치되도록 단부와 결합되는 소켓부(600, 600a)가 구비되고,
   상기 소켓부(600, 600a)는 외형을 이루는 바디부(602, 602a);
   상기 보강재(300, 300a)와 동축을 이루며 단부와 마주보는 상기 바디부(602, 602a)의 내측 중앙에 형성되고, 축 방향을 따라 내측면에 나사산이 형성된 제1 소켓 홈(610, 610a);
   상기 제1 소켓 홈(610, 610a)을 기준으로 반경 방향 외측으로 이격된 위치에 소정의 깊이로 개구되어 상기 제1 본체부(100, 100a)에 대한 양생이 종료된 이후에 상기 소켓부(600, 600a)를 상기 제1,2 측면 프레임(110, 110a)의 외측으로 인출하기 위한 공구가 삽입되는 공간을 제공하는 제2 소켓 홈(622, 622a)이 구비된 플랜지(620, 620a)를 포함하는 제진대용 콘크리트 패드.
5. 제1 항에 있어서,
   상기 제1 본체부(100, 100a)에는 상기 제2 본체부(200)와 마주보는 가장 자리를 따라 내측 수직 방향으로 다각형의 요철 홈(G)이 형성된 제진대용 콘크리트 패드.
6. 제1 항에 있어서,
   상기 연결부(500)는 축 방향 양단에 나사산이 가공된 제1 커플러(510);
   상기 제1 커플러(510)의 좌우 양단에 상기 보강재(300, 300a)가 각각 결합되도록 내주면에 나사산이 형성된 너트부(N)를 포함하는 제진대용 콘크리트 패드.
   

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