KR20180134805A - Light emitting device, light emitting device package, and light unit - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 236
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims abstract description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 100
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 100
- 239000000463 material Substances 0.000 description 47
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 41
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 32
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 26
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 17
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 17
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 16
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 16
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 16
- -1 Si 3 N 4 Inorganic materials 0.000 description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 description 14
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 14
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 13
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 13
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 12
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 11
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 11
- 230000008569 process Effects 0.000 description 11
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 10
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 9
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 9
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 9
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 9
- JAONJTDQXUSBGG-UHFFFAOYSA-N dialuminum;dizinc;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3].[Zn+2].[Zn+2] JAONJTDQXUSBGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 8
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 8
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 8
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 8
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 8
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 8
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 7
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 7
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 7
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 7
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 7
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 7
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 6
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 6
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 6
- SKRWFPLZQAAQSU-UHFFFAOYSA-N stibanylidynetin;hydrate Chemical compound O.[Sn].[Sb] SKRWFPLZQAAQSU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 6
- 229960001296 zinc oxide Drugs 0.000 description 6
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 5
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 5
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 5
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 5
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 5
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 5
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 5
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 4
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 4
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 4
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 4
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 4
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 4
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 4
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 4
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910005540 GaP Inorganic materials 0.000 description 3
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 3
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 3
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 3
- 229910003465 moissanite Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910017944 Ag—Cu Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000980 Aluminium gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002668 Pd-Cu Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910019897 RuOx Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000577 Silicon-germanium Inorganic materials 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RNQKDQAVIXDKAG-UHFFFAOYSA-N aluminum gallium Chemical compound [Al].[Ga] RNQKDQAVIXDKAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000071 blow moulding Methods 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 2
- YZZNJYQZJKSEER-UHFFFAOYSA-N gallium tin Chemical compound [Ga].[Sn] YZZNJYQZJKSEER-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- HRHKULZDDYWVBE-UHFFFAOYSA-N indium;oxozinc;tin Chemical compound [In].[Sn].[Zn]=O HRHKULZDDYWVBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VRIVJOXICYMTAG-IYEMJOQQSA-L iron(ii) gluconate Chemical compound [Fe+2].OC[C@@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)C([O-])=O.OC[C@@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)C([O-])=O VRIVJOXICYMTAG-IYEMJOQQSA-L 0.000 description 2
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Substances [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 239000002096 quantum dot Substances 0.000 description 2
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 108010043121 Green Fluorescent Proteins Proteins 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N Orthosilicate Chemical compound [O-][Si]([O-])([O-])[O-] BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 239000002223 garnet Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/36—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes
- H01L33/38—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes with a particular shape
- H01L33/387—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes with a particular shape with a plurality of electrode regions in direct contact with the semiconductor body and being electrically interconnected by another electrode layer
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- H01L33/02—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/20—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a particular shape, e.g. curved or truncated substrate
- H01L33/22—Roughened surfaces, e.g. at the interface between epitaxial layers
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- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
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Abstract
Description
실시 예는 발광소자, 발광소자 패키지 및 라이트 유닛에 관한 것이다.Embodiments relate to a light emitting device, a light emitting device package, and a light unit.
발광소자의 하나로서 발광 다이오드(LED: Light Emitting Diode)가 많이 사용되고 있다. 발광 다이오드는 화합물 반도체의 특성을 이용해 전기 신호를 적외선, 가시광선, 자외선과 같은 빛의 형태로 변환한다.Light emitting diodes (LEDs) are widely used as light emitting devices. Light emitting diodes convert electrical signals into light, such as infrared, visible, and ultraviolet, using the properties of compound semiconductors.
발광소자의 광 효율이 증가됨에 따라 표시장치, 조명기기를 비롯한 다양한 분야에 발광소자가 적용되고 있다.As the light efficiency of a light emitting device is increased, a light emitting device is applied to various fields including a display device and a lighting device.
실시 예는 전기적인 신뢰성을 향상시키고 광 출력을 향상시킬 수 있는 발광소자, 발광소자 패키지, 라이트 유닛을 제공한다.Embodiments provide a light emitting device, a light emitting device package, and a light unit that can improve electrical reliability and improve light output.
실시예에 따른 발광소자는 금속을 포함하는 지지부재와, 상기 지지부재 상에 배치되는 본딩층과, 상기 본딩층 상에 배치되는 제2 금속층과, 상기 제2 금속층 상에 배치되는 제2 도전형 반도체층, 상기 제2 도전형 반도체층 상에 배치되는 활성층 및 상기 활성층 상에 배치되는 제1 도전형 반도체층을 포함하는 발광구조물과, 상기 제2 도전형 반도체층과 전기적으로 연결되는 제1 금속층과, 상기 제2 도전형 반도체층, 상기 활성층을 관통하고 상기 제1 도전형 반도체층의 일부를 관통하는 제1 홈과, 상기 제1 홈과 이격되어 배치되며, 상기 제2 도전형 반도체층, 상기 활성층을 관통하고 상기 제1 도전형 반도체층의 일부를 관통하는 제2 홈과, 상기 제1 홈에 배치되며, 상기 제1 도전형 반도체층 및 상기 제2 금속층에 전기적으로 연결된 컨택부와, 상기 제1 홈에 배치되는 제1 부(40a) 및 상기 제1 부(40a)에서 상기 발광구조물의 측면으로 연장되는 제2부(40b)를 포함하는 제1 절연층(40) 및 상기 제2 홈에 배치된 제2 절연층(42)을 포함할 수 있다.A light emitting device according to an embodiment includes a support member including a metal, a bonding layer disposed on the support member, a second metal layer disposed on the bonding layer, and a second conductive layer disposed on the second metal layer, A light emitting structure including a first conductive semiconductor layer, a semiconductor layer, an active layer disposed on the second conductive semiconductor layer, and a first conductive semiconductor layer disposed on the active layer; A second conductive semiconductor layer, a second conductive semiconductor layer, a first groove penetrating the active layer and passing through a part of the first conductive semiconductor layer, A contact hole electrically connected to the first conductivity type semiconductor layer and the second metal layer; a second groove formed in the first groove and penetrating the active layer and penetrating a part of the first conductivity type semiconductor layer; In the first groove A first
상기 제2 홈에 의해 노출된 상기 제1 도전형 반도체층의 모든 면은 상기 제2 절연층과 접촉될 수 있다.And all surfaces of the first conductive semiconductor layer exposed by the second trench may be in contact with the second insulating layer.
상기 제1 금속층은 상기 제1 절연층의 제2 부(40b)와 상기 제2 절연층 사이에 배치될 수 있다.The first metal layer may be disposed between the
상기 제2 금속층, 상기 제1 절연층의 제2 부(40b) 및 상기 제2 절연층은 수직방향으로 중첩될 수 있다.The second metal layer, the
상기 지지부재는 Ti, Cr, Ni, Al, Pt, Au, W, Cu, Mo, Cu-W 중에 적어도 어느 하나로 형성될 수 있다.The support member may be formed of at least one of Ti, Cr, Ni, Al, Pt, Au, W, Cu, Mo and Cu-W.
상기 제1 절연층과 상기 제2 절연층은 동일 물질을 포함할 수 있다.The first insulating layer and the second insulating layer may include the same material.
상기 제1 절연층과 상기 제2 절연층은 SiO2, Si3N4, Al2O3, TiO2 중 적어도 어느 하나로 형성될 수 있다.The first insulating layer and the second insulating layer may be formed of at least one of SiO 2 , Si 3 N 4 , Al 2 O 3 , and TiO 2 .
상기 제2 홈과 상기 발광구조물의 측면 사이에 상기 활성층의 일부가 배치될 수 있다.A part of the active layer may be disposed between the second groove and the side surface of the light emitting structure.
상기 제2 홈은 상기 제1홈과 상기 발광구조물의 측면 사이에 배치되며, 상기 활성층(12)의 일부는 상기 제2 홈에 의해 발광영역(12a)과 비발광영역(12b)으로 분기될 수 있다.The second groove is disposed between the first groove and the side surface of the light emitting structure and a part of the
상기 발광영역(12a)의 폭은 상기 비발광영역(12b)의 폭보다 클 수 있다.The width of the
상기 제2 홈은 상기 제1 홈보다 상기 발광구조물의 측면에 가깝게 배치될 수 있다.The second groove may be disposed closer to a side surface of the light emitting structure than the first groove.
상기 제2 홈은 상기 제1 홈의 외측으로 이격된 둘레영역에 배치될 수 있다.The second groove may be disposed in a peripheral region spaced apart from the first groove.
상기 제2 홈은 폐루프로 형성될 수 있다.The second groove may be formed as a closed loop.
상기 제2 절연층은 상기 제2 홈에 배치된 제3 부(42a) 및 상기 제3 부(42a)에서 제1 홈까지 연장되어 상기 제1 홈에 배치된 제4 부(42b)를 포함할 수 있다.The second insulating layer includes a
상기 제2 절연층의 제4부(42b)는 상기 제1 절연층의 제1 부(40a)와 접촉될 수 있다.The
상기 제1 홈에 의해 노출된 상기 제1 도전형 반도체층의 모든 면은 상기 컨택부, 상기 제1 절연층의 제1 부(40a) 및 상기 제2 절연층의 제4 부(42b)와 접촉될 수 있다.All surfaces of the first conductive semiconductor layer exposed by the first trench are in contact with the contact portion, the
상기 제1 홈에서 상기 제1 절연층의 제1 부(40a)는 상기 컨택부와 상기 제2 절연층의 제4 부(42b)의 사이에 배치될 수 있다.In the first groove, the
상기 제1 홈은 복수로 형성될 수 있다. The first grooves may be formed in plural.
상기 제2 홈은 복수로 형성될 수 있다.The second grooves may be formed in plural.
상기 제1 홈에 의해 노출된 상기 제1 도전형 반도체층의 깊이는 상기 제2 홈에 의해 노출된 상기 제1 도전형 반도체층의 깊이보다 깊을 수 있다.The depth of the first conductive type semiconductor layer exposed by the first groove may be deeper than the depth of the first conductive type semiconductor layer exposed by the second groove.
또한 실시예에 따른 발광소자는, 몸체와, 상기 몸체에 배치되며, 전기적으로 분리된 제1 리드전극 및 제2 리드전극과, 상기 제1 리드 전극 상에 배치되는 발광소자 및 상기 발광소자와 상기 제2 리드전극을 전기적으로 연결하는 와이어를 포함할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, there is provided a light emitting device comprising: a body; a first lead electrode and a second lead electrode which are disposed on the body and are electrically separated; a light emitting element disposed on the first lead electrode; And a wire electrically connecting the second lead electrode.
상기 발광소자는, 금속을 포함하는 지지부재; 상기 지지부재 상에 배치되는 본딩층; 상기 본딩층 상에 배치되는 제2 금속층; 상기 제2 금속층 상에 배치되는 제2 도전형 반도체층, 상기 제2 도전형 반도체층 상에 배치되는 활성층 및 상기 활성층 상에 배치되는 제1 도전형 반도체층을 포함하는 발광구조물; 상기 제2 도전형 반도체층과 전기적으로 연결되는 제1 금속층; 상기 제2 도전형 반도체층, 상기 활성층을 관통하고 상기 제1 도전형 반도체층의 일부를 관통하는 제1 홈; 상기 제1 홈과 이격되어 배치되며, 상기 제2 도전형 반도체층, 상기 활성층을 관통하고 상기 제1 도전형 반도체층의 일부를 관통하는 제2 홈; 상기 제1 홈에 배치되며, 상기 제1 도전형 반도체층 및 상기 제2 금속층에 전기적으로 연결된 컨택부; 상기 제1 홈에 배치되는 제1 부 및 상기 제1 부에서 상기 발광구조물의 측면으로 연장되는 제2부를 포함하는 제1 절연층; 및 상기 제2 홈에 배치된 제2 절연층;을 포함할 수 있다.The light emitting device includes: a support member including a metal; A bonding layer disposed on the support member; A second metal layer disposed on the bonding layer; A light emitting structure including a second conductive type semiconductor layer disposed on the second metal layer, an active layer disposed on the second conductive type semiconductor layer, and a first conductive type semiconductor layer disposed on the active layer; A first metal layer electrically connected to the second conductive semiconductor layer; The second conductivity type semiconductor layer, a first groove penetrating the active layer and penetrating a part of the first conductivity type semiconductor layer; A second groove that is disposed apart from the first groove and penetrates the second conductivity type semiconductor layer, the active layer, and penetrates a part of the first conductivity type semiconductor layer; A contact disposed in the first groove and electrically connected to the first conductive type semiconductor layer and the second metal layer; A first insulating layer including a first portion disposed in the first groove and a second portion extending in a side surface of the light emitting structure in the first portion; And a second insulating layer disposed in the second groove.
상기 제2 홈에 의해 노출된 상기 제1 도전형 반도체층의 모든 면은 상기 제2 절연층과 접촉될 수 있다.And all surfaces of the first conductive semiconductor layer exposed by the second trench may be in contact with the second insulating layer.
상기 제1 금속층은 상기 제1 절연층의 제2 부와 상기 제2 절연층 사이에 배치될 수 있다.The first metal layer may be disposed between the second portion of the first insulating layer and the second insulating layer.
상기 제2 금속층, 상기 제1 절연층의 제2 부 및 상기 제2 절연층은 수직방향으로 중첩될 수 있다.The second metal layer, the second portion of the first insulating layer, and the second insulating layer may overlap in a vertical direction.
상기 제2 홈은 상기 제1 홈의 외측으로 이격된 둘레영역에 배치되며, 폐루프로 형성될 수 있다.The second groove may be disposed in a circumferential area spaced outside the first groove and may be formed as a closed loop.
상기 발광소자는 상기 제1 리드전극 상에 다이 본딩에 의해 전기적으로 연결될 수 있다.The light emitting device may be electrically connected to the first lead electrode by die bonding.
상기 지지부재는 Ti, Cr, Ni, Al, Pt, Au, W, Cu, Mo, Cu-W 중 적어도 어느 하나로 형성될 수 있다.The support member may be formed of at least one of Ti, Cr, Ni, Al, Pt, Au, W, Cu, Mo and Cu-W.
상기 제1 절연층과 상기 제2 절연층은 동일 물질을 포함할 수 있다.The first insulating layer and the second insulating layer may include the same material.
상기 제1 절연층과 상기 제2 절연층은 SiO2, Si3N4, Al2O3, TiO2 중 적어도 어느 하나로 형성될 수 있다.The first insulating layer and the second insulating layer may be formed of at least one of SiO 2 , Si 3 N 4 , Al 2 O 3 , and TiO 2 .
상기 제2 홈과 상기 발광구조물의 측면 사이에 상기 활성층의 일부가 배치될 수 있다.A part of the active layer may be disposed between the second groove and the side surface of the light emitting structure.
상기 제2 홈은 상기 제1홈과 상기 발광구조물의 측면 사이에 배치되며, 상기 활성층의 일부는 상기 제2 홈에 의해 발광영역과 비발광영역으로 분기될 수 있다.The second groove may be disposed between the first groove and the side surface of the light emitting structure, and a part of the active layer may be branched into the light emitting region and the non-emitting region by the second groove.
상기 발광영역의 폭은 상기 비발광영역의 폭보다 클 수 있다.The width of the light emitting region may be greater than the width of the non-emitting region.
상기 제1 홈과 상기 제2 홈 사이에 상기 활성층의 일부가 배치될 수 있다.And a part of the active layer may be disposed between the first groove and the second groove.
상기 제2 절연층은 상기 제2 홈에 배치된 제3 부 및 상기 제3 부에서 상기 제1 홈까지 연장되어 상기 제1 홈에 배치된 제4 부를 포함하며, 상기 제2 절연층의 제4부는 상기 제1 절연층의 제1 부와 접촉될 수 있다.Wherein the second insulating layer includes a third portion disposed in the second groove and a fourth portion extending from the third portion to the first groove and disposed in the first groove, May be in contact with the first portion of the first insulating layer.
상기 제1 홈에 의해 노출된 상기 제1 도전형 반도체층의 모든 면은 상기 컨택부, 상기 제1 절연층의 제1 부 및 상기 제2 절연층의 제4 부와 접촉될 수 있다.All surfaces of the first conductive type semiconductor layer exposed by the first trench may be in contact with the contact portion, the first portion of the first insulating layer, and the fourth portion of the second insulating layer.
상기 제1 홈에서 상기 제1 절연층의 제1 부는 상기 컨택부와 상기 제2 절연층의 제4 부와 사이에 배치될 수 있다.The first portion of the first insulating layer in the first groove may be disposed between the contact portion and the fourth portion of the second insulating layer.
상기 제1 홈에 의해 노출된 상기 제1 도전형 반도체층의 깊이는 상기 제2 홈에 의해 노출된 상기 제1 도전형 반도체층의 깊이보다 깊을 수 있다.The depth of the first conductive type semiconductor layer exposed by the first groove may be deeper than the depth of the first conductive type semiconductor layer exposed by the second groove.
실시예에 따른 발광소자 제조방법은 금속을 포함하는 지지부재를 형성하는 단계; 상기 지지부재 상에 본딩층을 형성하는 단계; 상기 본딩층 상에 제2 금속층을 형성하는 단계; 상기 제2 금속층 상에 제2 도전형 반도체층, 상기 제2 도전형 반도체층 상에 배치되는 활성층 및 상기 활성층 상에 배치되는 제1 도전형 반도체층을 포함하는 발광구조물을 형성하는 단계; 상기 제2 도전형 반도체층과 전기적으로 연결되는 제1 금속층을 형성하는 단계; 상기 제2 도전형 반도체층, 상기 활성층을 관통하여 제거하고, 상기 제1 도전형 반도체층의 일부영역을 식각하여 서로 이격된 제1 홈 및 제2 홈을 형성하는 단계; 상기 제1 홈에 배치되며, 상기 제1 도전형 반도체층에 전기적으로 연결되는 컨택부를 형성하는 단계; 상기 제1 홈에 배치되는 제1 부 및 상기 제1 부에서 상기 발광구조물의 측면으로 연장되는 제2부를 포함하는 제1 절연층을 형성하는 단계; 및 상기 제2 홈에 배치되는 제2 절연층을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.A method of manufacturing a light emitting device according to an embodiment includes forming a support member including a metal; Forming a bonding layer on the support member; Forming a second metal layer on the bonding layer; Forming a light emitting structure including a second conductive semiconductor layer on the second metal layer, an active layer disposed on the second conductive semiconductor layer, and a first conductive semiconductor layer disposed on the active layer; Forming a first metal layer electrically connected to the second conductive semiconductor layer; Removing the second conductive semiconductor layer through the active layer to form a first groove and a second groove spaced apart from each other by etching a part of the first conductive semiconductor layer; Forming a contact disposed in the first groove and electrically connected to the first conductive semiconductor layer; Forming a first insulating layer including a first portion disposed in the first groove and a second portion extending from a side of the light emitting structure in the first portion; And forming a second insulating layer disposed in the second groove.
상기 제2 홈에 의해 노출된 상기 제1 도전형 반도체층의 모든 면은 상기 제2 절연층과 접촉되며, 상기 제1 금속층은 상기 제1 절연층의 제2 부와 상기 제2 절연층 사이에 배치되고, 상기 제2 금속층, 상기 제1 절연층의 제2 부 및 상기 제2 절연층은 수직방향으로 중첩될 수 있다.Wherein all surfaces of the first conductive semiconductor layer exposed by the second trench are in contact with the second insulating layer and the first metal layer is between the second portion of the first insulating layer and the second insulating layer And the second metal layer, the second portion of the first insulating layer, and the second insulating layer may overlap in a vertical direction.
또한 실시예에 따른 반도체 발광소자는, 제1 도전형 반도체층, 상기 제1 도전형 반도체층 아래에 활성층, 상기 활성층 아래에 제2 도전형 반도체층을 포함하는 발광구조물; 상기 활성층과 상기 제2 도전형 반도체층을 관통하여 상기 제1 도전형 반도체층에 전기적으로 연결된 컨택부; 상기 컨택부 둘레에 배치된 제1 절연층; 및 상기 제1 절연층 둘레에 배치된 제2 절연층을 포함하고, 상기 제1 절연층과 상기 제2 절연층의 적어도 일부 영역은 소정 간격으로 이격되어 배치되며, 상기 제1절연층과 상기 제2절연층 사이에 상기 제1도전형 반도체층, 상기 활성층, 상기 제2도전형 반도체층이 배치될 수 있다.The semiconductor light emitting device according to the embodiment may further include: a light emitting structure including a first conductive semiconductor layer, an active layer below the first conductive semiconductor layer, and a second conductive semiconductor layer below the active layer; A contact portion electrically connected to the first conductivity type semiconductor layer through the active layer and the second conductivity type semiconductor layer; A first insulating layer disposed around the contact portion; And a second insulating layer disposed around the first insulating layer, wherein at least a part of the first insulating layer and the second insulating layer are spaced apart from each other by a predetermined distance, and the first insulating layer and the second insulating layer The first conductivity type semiconductor layer, the active layer, and the second conductivity type semiconductor layer may be disposed between the first and second insulating layers.
또한 실시예에 따른 발광소자는 제1 도전형 반도체층, 상기 제1 도전형 반도체층 아래에 활성층, 상기 활성층 아래에 제2 도전형 반도체층을 포함하는 발광구조물과, 상기 제2 도전형 반도체층, 상기 활성층을 관통하고 상기 제1 도전형 반도체층의 일부를 관통하는 제1 홈과, 상기 제1 홈과 이격되어 배치되며, 상기 제2 도전형 반도체층, 상기 활성층을 관통하고 상기 제1 도전형 반도체층의 일부를 관통하는 제2 홈과, 상기 제1 홈에 배치되며, 상기 제1 도전형 반도체층에 전기적으로 연결된 컨택부와, 상기 제1 홈에 배치되며, 상기 컨택부 둘레에 배치된 제1 절연층과, 상기 제1 홈에 배치되며, 상기 제1 절연층 둘레에 배치된 제2-1 절연층 및 상기 제2 홈에 배치된 제2-2 절연층을 포함할 수 있다.The light emitting device according to the embodiment includes a light emitting structure including a first conductive semiconductor layer, an active layer below the first conductive semiconductor layer, and a second conductive semiconductor layer below the active layer, A first groove penetrating the active layer and penetrating a part of the first conductivity type semiconductor layer; and a second groove, which is disposed apart from the first groove, penetrates the second conductivity type semiconductor layer, the active layer, Type semiconductor layer; a contact portion disposed in the first groove and electrically connected to the first conductivity type semiconductor layer; and a contact portion disposed in the first groove and disposed around the contact portion And a second-2 insulating layer disposed in the first groove and disposed around the first insulating layer and a second-2 insulating layer disposed in the second groove.
또한 실시예는 상기 제1 홈에 배치된 상기 제1 절연층과 상기 제2 홈에 배치된 상기 제2-2 절연층 사이에 배치된 상기 제1 도전형 반도체층, 상기 활성층, 상기 제2 도전형 반도체층을 포함할 수 있다.Further, the embodiment may further include: the first conductive semiconductor layer disposed between the first insulating layer disposed in the first groove and the second insulating layer disposed in the second groove, the active layer, Type semiconductor layer.
상기 제2 홈은 상기 제1 홈의 둘레에 배치될 수 있다.The second groove may be disposed around the first groove.
상기 제2-1 절연층과 상기 제2-2 절연층은 같은 물질을 포함할 수 있다.The 2-1 insulating layer and the 2-2 insulating layer may include the same material.
상기 제2-1 절연층과 상기 제2-2 절연층은 상호 연결될 수 있다.The 2-1 insulating layer and the 2-2 insulating layer may be interconnected.
상기 제1 홈에 배치된 상기 제1 절연층은 상기 제1 홈에 배치된 상기 제2-1 절연층과 접촉할 수 있다.And the first insulating layer disposed in the first groove may contact the second-1 insulating layer disposed in the first groove.
상기 제1 홈에 배치된 상기 제1 절연층은 상기 제2 홈에 배치된 상기 제2-2 절연층과 이격될 수 있다.The first insulating layer disposed in the first groove may be spaced apart from the second insulating layer disposed in the second groove.
상기 제1 홈에 의해 노출된 상기 제1 도전형 반도체층의 모든 면은 상기 컨택부, 상기 제1 절연층, 상기 제2-1 절연층과 접촉할 수 있다.All surfaces of the first conductive type semiconductor layer exposed by the first trench may contact the contact portion, the first insulating layer, and the second-1 insulating layer.
상기 제2 홈에 의해 노출된 상기 제1 도전형 반도체층의 모든 면은 상기 제2-2 절연층과 접촉할 수 있다.And all the surfaces of the first conductive type semiconductor layer exposed by the second trench can contact the second-second insulating layer.
또한 실시예는 상기 제2 도전형 반도체층과 전기적으로 연결되는 제1 금속층 및 상기 컨택부와 전기적으로 연결되는 제2 금속층을 포함할 수 있다.Also, the embodiment may include a first metal layer electrically connected to the second conductive type semiconductor layer and a second metal layer electrically connected to the contact portion.
상기 제1 절연층은 상기 제1 금속층과 상기 제2 금속층 사이에 배치되는 영역을 포함할 수 있다.The first insulating layer may include a region disposed between the first metal layer and the second metal layer.
또한 실시예는 상기 제2 금속층 아래에 배치되는 본딩층을 포함할 수 있다.Embodiments may also include a bonding layer disposed below the second metal layer.
또한 실시예는 상기 본딩층 아래에 배치되는 지지부재를 포함할 수 있다.Embodiments may also include a support member disposed below the bonding layer.
상기 본딩층과 상기 지지부재는 금속을 포함할 수 있다.The bonding layer and the support member may include a metal.
상기 지지부재는 Ti, Cr, Ni, Al, Pt, Au, W, Cu, Mo, Cu-W 에서 적어도 어느 하나로 형성될 수 있다.The supporting member may be formed of at least one of Ti, Cr, Ni, Al, Pt, Au, W, Cu, Mo and Cu-W.
상기 제1 홈에 배치된 상기 제2-1 절연층과 상기 제2 홈에 배치된 상기 제2-2 절연층은 일체로 형성될 수 있다.The 2-1 insulating layer disposed in the first groove and the 2-2 insulating layer disposed in the second groove may be integrally formed.
상기 컨택부와 상기 제2-1 절연층은 이격되어 배치될 수 있다.The contact portion and the 2-1 insulating layer may be spaced apart from each other.
또한 실시예는 상기 컨택부와 상기 제2-1 절연층 사이에 배치된 상기 제1 절연층을 포함할 수 있다.The embodiment may further include the first insulating layer disposed between the contact portion and the 2-1 insulating layer.
또한 실시예는 상기 제2 홈과 상기 발광구조물의 최외측 사이에 배치된 상기 제1 도전형 반도체층, 상기 활성층, 상기 제2 도전형 반도체층을 포함할 수 있다.In addition, the embodiment may include the first conductive type semiconductor layer, the active layer, and the second conductive type semiconductor layer disposed between the second groove and the outermost side of the light emitting structure.
상기 제1 절연층과 상기 제2-1 절연층 및 상기 제2-2 절연층은 동일 물질을 포함할 수 있다.The first insulating layer, the second-1 insulating layer, and the second-2 insulating layer may include the same material.
상기 제1 절연층과 상기 제2-1 절연층 및 제2-2 절연층은 SiO2, Si3N4, Al2O3, TiO2 중 적어도 어느 하나로 형성될 수 있다.The first insulating layer, the second-1 insulating layer, and the second-2 insulating layer may be formed of at least one of SiO 2 , Si 3 N 4 , Al 2 O 3 , and TiO 2 .
또한 실시예에 따른 발광소자 패키지는, 몸체와, 상기 몸체에 배치되며, 전기적으로 분리된 제1 리드전극 및 제2 리드전극과, 상기 제1 리드전극 상에 배치되는 발광소자 및 상기 발광소자와 상기 제2 리드전극을 전기적으로 연결하는 와이어를 포함할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, there is provided a light emitting device package including: a body; a first lead electrode and a second lead electrode which are disposed on the body and are electrically separated; a light emitting element disposed on the first lead electrode; And a wire electrically connecting the second lead electrode.
상기 발광소자는, 제1 도전형 반도체층, 상기 제1 도전형 반도체층 아래에 활성층, 상기 활성층 아래에 제2 도전형 반도체층을 포함하는 발광구조물과, 상기 제2 도전형 반도체층, 상기 활성층을 관통하고 상기 제1 도전형 반도체층의 일부를 관통하는 제1 홈과, 상기 제1 홈과 이격되어 배치되며, 상기 제2 도전형 반도체층, 상기 활성층을 관통하고 상기 제1 도전형 반도체층의 일부를 관통하는 제2 홈과, 상기 제1 홈에 배치되며, 상기 제1 도전형 반도체층에 전기적으로 연결된 컨택부와, 상기 제1 홈에 배치되며, 상기 컨택부 둘레에 배치된 제1 절연층과, 상기 제1 홈에 배치되며, 상기 제1 절연층 둘레에 배치된 제2-1 절연층 및 상기 제2 홈에 배치된 제2-2 절연층을 포함할 수 있다.The light emitting device includes a light emitting structure including a first conductive type semiconductor layer, an active layer below the first conductive type semiconductor layer, and a second conductive type semiconductor layer below the active layer, And a second conductive type semiconductor layer formed on the first conductive type semiconductor layer, the first conductive type semiconductor layer including a first conductive type semiconductor layer, a first conductive type semiconductor layer, A contact portion electrically connected to the first conductivity type semiconductor layer and disposed in the first groove, and a second groove formed in the first groove, disposed in the first groove, An insulating layer, a second-1 insulating layer disposed in the first groove, disposed around the first insulating layer, and a second-2 insulating layer disposed in the second groove.
또한 실시예는 상기 제1 홈에 배치된 상기 제1 절연층과 상기 제2 홈에 배치된 상기 제2-2 절연층 사이에 배치된 상기 제1 도전형 반도체층, 상기 활성층, 상기 제2 도전형 반도체층을 포함하며, 상기 몸체는 금속 재질을 포함할 수 있다.Further, the embodiment may further include: the first conductive semiconductor layer disposed between the first insulating layer disposed in the first groove and the second insulating layer disposed in the second groove, the active layer, Type semiconductor layer, and the body may include a metal material.
상기 발광소자는 상기 제1 리드전극 상에 다이 본딩에 의해 전기적으로 연결될 수 있다.The light emitting device may be electrically connected to the first lead electrode by die bonding.
상기 제2 홈은 상기 제1 홈의 둘레에 배치될 수 있다.The second groove may be disposed around the first groove.
상기 제1 홈에 배치된 상기 제1 절연층은 상기 제1 홈에 배치된 상기 제2-1 절연층과 접촉할 수 있다.And the first insulating layer disposed in the first groove may contact the second-1 insulating layer disposed in the first groove.
상기 제1 홈에 배치된 상기 제1 절연층은 상기 제2 홈에 배치된 상기 제2-2 절연층과 이격될 수 있다.The first insulating layer disposed in the first groove may be spaced apart from the second insulating layer disposed in the second groove.
상기 제1 홈에 의해 노출된 상기 제1 도전형 반도체층의 모든 면은 상기 컨택부, 상기 제1 절연층, 상기 제2-1 절연층과 접촉할 수 있다.All surfaces of the first conductive type semiconductor layer exposed by the first trench may contact the contact portion, the first insulating layer, and the second-1 insulating layer.
상기 제2 홈에 의해 노출된 상기 제1 도전형 반도체층의 모든 면은 상기 제2-2 절연층과 접촉할 수 있다.And all the surfaces of the first conductive type semiconductor layer exposed by the second trench can contact the second-second insulating layer.
또한 실시예는 상기 제2 도전형 반도체층과 전기적으로 연결되는 제1 금속층 및 상기 컨택부와 전기적으로 연결되는 제2 금속층을 포함할 수 있다.Also, the embodiment may include a first metal layer electrically connected to the second conductive type semiconductor layer and a second metal layer electrically connected to the contact portion.
또한 실시예에서 상기 제1 절연층은 상기 제1 금속층과 상기 제2 금속층 사이에 배치되는 영역을 포함할 수 있다.In an embodiment, the first insulating layer may include a region disposed between the first metal layer and the second metal layer.
또한 실시예는 상기 제2 금속층 아래에 배치되는 본딩층을 포함할 수 있다.Embodiments may also include a bonding layer disposed below the second metal layer.
또한 실시예는 상기 본딩층 아래에 배치되는 지지부재를 포함할 수 있다.Embodiments may also include a support member disposed below the bonding layer.
또한 실시예는 상기 본딩층과 상기 지지부재는 금속을 포함할 수 있다.In an embodiment, the bonding layer and the supporting member may include a metal.
상기 지지부재는 Ti, Cr, Ni, Al, Pt, Au, W, Cu, Mo, Cu-W 에서 적어도 어느 하나로 형성될 수 있다.The supporting member may be formed of at least one of Ti, Cr, Ni, Al, Pt, Au, W, Cu, Mo and Cu-W.
상기 제1 홈에 배치된 상기 제2-1 절연층과 상기 제2 홈에 배치된 상기 제2-2 절연층은 일체로 형성될 수 있다.The 2-1 insulating layer disposed in the first groove and the 2-2 insulating layer disposed in the second groove may be integrally formed.
상기 컨택부와 상기 제2-1 절연층은 이격되어 배치될 수 있다.The contact portion and the 2-1 insulating layer may be spaced apart from each other.
또한 실시예는 상기 컨택부와 상기 제2-1 절연층 사이에 배치된 상기 제1 절연층을 포함할 수 있다.The embodiment may further include the first insulating layer disposed between the contact portion and the 2-1 insulating layer.
또한 실시예는 상기 제2 홈과 상기 발광구조물의 최외측 사이에 배치된 상기 제1 도전형 반도체층, 상기 활성층, 상기 제2 도전형 반도체층을 포함할 수 있다.In addition, the embodiment may include the first conductive type semiconductor layer, the active layer, and the second conductive type semiconductor layer disposed between the second groove and the outermost side of the light emitting structure.
상기 제1 절연층과 상기 제2-1 절연층 및 상기 제2-2 절연층은 동일 물질을 포함할 수 있다.The first insulating layer, the second-1 insulating layer, and the second-2 insulating layer may include the same material.
상기 제1 절연층과 상기 제2-1 절연층 및 상기 제2-2 절연층은 SiO2, Si3N4, Al2O3, TiO2 중 적어도 어느 하나로 형성될 수 있다.The first insulating layer, the second-1 insulating layer, and the second-2 insulating layer may be formed of at least one of SiO 2 , Si 3 N 4 , Al 2 O 3 , and TiO 2 .
또한 실시예에 따른 발광소자의 제조방법은, 기판 상에 제1 도전형 반도체층, 상기 제1 도전형 반도체층 아래에 활성층, 상기 활성층 아래에 제2 도전형 반도체층을 포함하는 발광구조물을 형성하는 단계와, 상기 발광구조물을 일부 제거하여 서로 이격된 제1 홈 및 제2 홈을 형성하는 단계와, 상기 제1 홈에 배치되며, 상기 제1 도전형 반도체층에 전기적으로 연결되는 컨택부를 형성하는 단계와, 상기 제1 홈에 배치되며, 상기 컨택부의 둘레에 배치되는 제1 절연층을 형성하는 단계와, 상기 제1 홈에 배치되며, 상기 제1 절연층 둘레에 배치되는 제2-1 절연층을 형성하는 단계와, 상기 제2 홈에 배치되는 제2-2 절연층을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.A method of manufacturing a light emitting device according to an embodiment of the present invention includes forming a light emitting structure including a first conductive semiconductor layer on a substrate, an active layer below the first conductive semiconductor layer, and a second conductive semiconductor layer below the active layer Forming a first groove and a second groove spaced apart from each other by partially removing the light emitting structure; forming a contact portion disposed in the first groove and electrically connected to the first conductivity type semiconductor layer Forming a first insulating layer disposed in the first groove and disposed around the contact portion; forming a second insulating layer disposed in the first groove, Forming an insulating layer, and forming a second-2 insulating layer disposed in the second groove.
상기 발광구조물을 일부 제거하여 서로 이격된 제1 홈 및 제2 홈을 형성하는 단계는, 상기 제2 도전형 반도체층, 상기 활성층을 관통하여 제거하고 상기 제1 도전형 반도체층의 일부영역을 식각하여 서로 이격된 제1 홈 및 제2 홈을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.Forming a first groove and a second groove apart from each other by partially removing the light emitting structure may include removing the second conductive semiconductor layer and the active layer through the first conductive semiconductor layer and partially etching the first conductive semiconductor layer, Thereby forming first grooves and second grooves spaced apart from each other.
상기 제1 홈은, 상기 제2 도전형 반도체층, 상기 활성층을 관통하고 상기 제1 도전형 반도체층의 일부를 관통할 수 있다.The first groove may penetrate the second conductivity type semiconductor layer and the active layer and may penetrate a part of the first conductivity type semiconductor layer.
상기 제2 홈은, 상기 제1 홈과 이격되어 배치되며, 상기 제2 도전형 반도체층, 상기 활성층을 관통하고 상기 제1 도전형 반도체층의 일부를 관통할 수 있다.The second grooves may be spaced apart from the first grooves and penetrate the second conductivity type semiconductor layer and the active layer and may penetrate a part of the first conductivity type semiconductor layer.
상기 제1 홈에 배치된 상기 제1 절연층과 상기 제2 홈에 배치된 상기 제2-2 절연층 사이에 상기 발광구조물의 일부가 배치될 수 있다.A part of the light emitting structure may be disposed between the first insulating layer disposed in the first groove and the second insulating layer disposed in the second groove.
상기 제2 홈은 상기 제1 홈의 둘레에 배치될 수 있다.The second groove may be disposed around the first groove.
상기 제2-1 절연층과 상기 제2-2 절연층은 같은 물질을 포함하며 상호 연결될 수 있다.The 2-1 insulating layer and the 2-2 insulating layer include the same material and can be interconnected.
상기 제1 홈에 배치된 상기 제1 절연층은 상기 제1 홈에 배치된 상기 제2-1 절연층과 접촉할 수 있다.And the first insulating layer disposed in the first groove may contact the second-1 insulating layer disposed in the first groove.
상기 제1 홈에 배치된 상기 제1 절연층은 상기 제2 홈에 배치된 상기 제2-2 절연층과 이격될 수 있다.The first insulating layer disposed in the first groove may be spaced apart from the second insulating layer disposed in the second groove.
또한 실시예는 상기 제2 도전형 반도체층과 전기적으로 연결되는 제1 금속층 및 상기 컨택부와 전기적으로 연결되는 제2 금속층을 각각형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.The embodiment may further include forming a first metal layer electrically connected to the second conductive type semiconductor layer and a second metal layer electrically connected to the contact portion.
상기 제1 절연층은 상기 제1 금속층과 상기 제2 금속층 사이에 배치되는 영역을 포함할 수 있다.The first insulating layer may include a region disposed between the first metal layer and the second metal layer.
상기 제1 절연층과 상기 제2-1 절연층 및 상기 제2-2 절연층은 동일 물질을 포함할 수 있다.The first insulating layer, the second-1 insulating layer, and the second-2 insulating layer may include the same material.
실시 예에 따른 발광소자, 발광소자 패키지, 라이트 유닛은 전기적인 신뢰성을 향상시키고 광 출력을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.The light emitting device, the light emitting device package, and the light unit according to the embodiments have an advantage of improving the electrical reliability and improving the light output.
도 1은 실시 예에 따른 발광소자를 나타낸 도면이다.
도 2 내지 도 7은 실시 예에 따른 발광소자 제조방법을 나타낸 도면이다.
도 8 및 도 9는 실시 예에 따른 발광소자의 변형 예를 나타낸 도면이다.
도 10은 실시 예에 따른 발광소자 패키지를 나타낸 도면이다.
도 11은 실시 예에 따른 표시장치를 나타낸 도면이다.
도 12는 실시 예에 따른 표시장치의 다른 예를 나타낸 도면이다.
도 13 내지 도 15는 실시 예에 따른 조명장치를 나타낸 도면이다.
도 16 및 도 17은 실시 예에 따른 조명장치의 다른 예를 나타낸 도면이다. 1 is a view illustrating a light emitting device according to an embodiment.
2 to 7 are views showing a method of manufacturing a light emitting device according to an embodiment.
8 and 9 are views showing a modification of the light emitting device according to the embodiment.
10 is a view illustrating a light emitting device package according to an embodiment.
11 is a view showing a display device according to the embodiment.
12 is a view showing another example of the display device according to the embodiment.
13 to 15 are views showing a lighting apparatus according to an embodiment.
16 and 17 are views showing another example of the lighting apparatus according to the embodiment.
실시 예의 설명에 있어서, 각 층(막), 영역, 패턴 또는 구조물들이 기판, 각 층(막), 영역, 패드 또는 패턴들의 "상/위(on)"에 또는 "하/아래(under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, "상/위(on)"와 "하/아래(under)"는 "직접(directly)" 또는 "다른 층을 개재하여 (indirectly)" 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 각 층의 상/위 또는 하/아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다.In the description of the embodiments, it is to be understood that each layer (film), region, pattern or structure may be referred to as being "on" or "under" a substrate, each layer It is to be understood that the terms " on "and " under" include both " directly "or" indirectly " do. In addition, the criteria for the top / bottom or bottom / bottom of each layer are described with reference to the drawings.
도면에서 각층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시될 수 있다. 또한 각 구성요소의 크기는 실제크기를 전적으로 반영하는 것은 아니다.The thickness and size of each layer in the drawings may be exaggerated, omitted, or schematically shown for convenience and clarity of explanation. Also, the size of each component does not entirely reflect the actual size.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 실시 예들에 따른 발광소자, 발광소자 패키지, 라이트 유닛 및 발광소자 제조방법에 대해 상세히 설명하도록 한다.Hereinafter, a light emitting device, a light emitting device package, a light unit, and a method of manufacturing a light emitting device according to embodiments will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 실시 예에 따른 발광소자를 나타낸 도면이다.1 is a view illustrating a light emitting device according to an embodiment.
실시 예에 따른 발광소자는, 도 1에 도시된 바와 같이, 발광구조물(10), 제1 절연층(40), 제2 절연층(42), 컨택부(80)를 포함할 수 있다.The light emitting device according to the embodiment may include the
상기 발광구조물(10)은 제1 도전형 반도체층(11), 활성층(12), 제2 도전형 반도체층(13)을 포함할 수 있다. 상기 활성층(12)은 상기 제1 도전형 반도체층(11)과 상기 제2 도전형 반도체층(13) 사이에 배치될 수 있다. 상기 활성층(12)은 상기 제1 도전형 반도체층(11) 아래에 배치될 수 있으며, 상기 제2 도전형 반도체층(13)은 상기 활성층(12) 아래에 배치될 수 있다.The
예로써, 상기 제1 도전형 반도체층(11)이 제1 도전형 도펀트로서 n형 도펀트가 첨가된 n형 반도체층으로 형성되고, 상기 제2 도전형 반도체층(13)이 제2 도전형 도펀트로서 p형 도펀트가 첨가된 p형 반도체층으로 형성될 수 있다. 또한 상기 제1 도전형 반도체층(11)이 p형 반도체층으로 형성되고, 상기 제2 도전형 반도체층(13)이 n형 반도체층으로 형성될 수도 있다.For example, the first conductivity
상기 제1 도전형 반도체층(11)은 예를 들어, n형 반도체층을 포함할 수 있다. 상기 제1 도전형 반도체층(11)은 화합물 반도체로 구현될 수 있다. 상기 제1 도전형 반도체층(11)은 예로서 II족-VI족 화합물 반도체 또는 III족-V족 화합물 반도체로 구현될 수 있다. The first
예컨대, 상기 제1 도전형 반도체층(11)은 InxAlyGa1-x-yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재료로 구현될 수 있다. 상기 제1 도전형 반도체층(11)은, 예를 들어 GaN, AlN, AlGaN, InGaN, InN, InAlGaN, AlInN, AlGaAs, GaP, GaAs, GaAsP, AlGaInP 등에서 선택될 수 있으며, Si, Ge, Sn, Se, Te 등의 n형 도펀트가 도핑될 수 있다.For example, the first conductivity
상기 활성층(12)은 상기 제1 도전형 반도체층(11)을 통해서 주입되는 전자(또는 정공)와 상기 제2 도전형 반도체층(13)을 통해서 주입되는 정공(또는 전자)이 서로 만나서, 상기 활성층(12)의 형성 물질에 따른 에너지 밴드(Energy Band)의 밴드갭(Band Gap) 차이에 의해서 빛을 방출하는 층이다. 상기 활성층(12)은 단일 우물 구조, 다중 우물 구조, 양자점 구조 또는 양자선 구조 중 어느 하나로 형성될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.The
상기 활성층(12)은 화합물 반도체로 구현될 수 있다. 상기 활성층(12)은 예로서 II족-VI족 또는 III족-V족 화합물 반도체로 구현될 수 있다.상기 활성층(12)은 예로서 InxAlyGa1-x-yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재료로 구현될 수 있다. 상기 활성층(12)이 상기 다중 우물 구조로 구현된 경우, 상기 활성층(12)은 복수의 우물층과 복수의 장벽층이 적층되어 구현될 수 있으며, 예를 들어, InGaN 우물층/GaN 장벽층의 주기로 구현될 수 있다.The
상기 제2 도전형 반도체층(13)은 예를 들어, p형 반도체층으로 구현될 수 있다. 상기 제2 도전형 반도체층(13)은 화합물 반도체로 구현될 수 있다. 상기 제2 도전형 반도체층(13)은 예로서 II족-VI족 화합물 반도체 또는 III족-V족 화합물 반도체로 구현될 수 있다. The second
예컨대, 상기 제2 도전형 반도체층(13)은 InxAlyGa1-x-yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재료로 구현될 수 있다. 상기 제2 도전형 반도체층(13)은, 예를 들어 GaN, AlN, AlGaN, InGaN, InN, InAlGaN, AlInN, AlGaAs, GaP, GaAs, GaAsP, AlGaInP 등에서 선택될 수 있으며, Mg, Zn, Ca, Sr, Ba 등의 p형 도펀트가 도핑될 수 있다.For example, the second conductivity
한편, 상기 제1 도전형 반도체층(11)이 p형 반도체층을 포함하고 상기 제2 도전형 반도체층(13)이 n형 반도체층을 포함할 수도 있다. 또한, 상기 제2 도전형 반도체층(13) 아래에는 n형 또는 p형 반도체층을 포함하는 반도체층이 더 형성될 수도 있다. 이에 따라, 상기 발광구조물(10)은 np, pn, npn, pnp 접합 구조 중 적어도 어느 하나를 가질 수 있다. 또한, 상기 제1 도전형 반도체층(11) 및 상기 제2 도전형 반도체층(13) 내의 불순물의 도핑 농도는 균일 또는 불균일하게 형성될 수 있다. 즉, 상기 발광구조물(10)의 구조는 다양하게 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.Meanwhile, the first
또한, 상기 제1 도전형 반도체층(11)과 상기 활성층(12) 사이에는 제1 도전형 InGaN/GaN 슈퍼래티스 구조 또는 InGaN/InGaN 슈퍼래티스 구조가 형성될 수도 있다. 또한, 상기 제2 도전형 반도체층(13)과 상기 활성층(12) 사이에는 제2 도전형의 AlGaN층이 형성될 수도 있다.Also, a first conductive InGaN / GaN superlattice structure or an InGaN / InGaN superlattice structure may be formed between the first
상기 발광구조물(10) 아래에 상기 반사전극(17)이 배치될 수 있다. 상기 반사전극(17)은 상기 제2 도전형 반도체층(13)에 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 발광구조물(10)과 상기 반사전극(17) 사이에 오믹접촉층(15)이 더 배치될 수 있다. 상기 발광구조물(10) 아래 및 상기 오믹접촉층(15) 둘레에 제1 금속층(30)이 배치될 수 있다. 상기 제1 금속층(30)은 상기 발광구조물(10)의 하부 둘레에 배치될 수 있다. 상기 제1 금속층(30)은 상기 반사전극(17)의 둘레에 배치될 수 있다. The
상기 오믹접촉층(15)은 예컨대 투명 전도성 산화막층으로 형성될 수 있다. 상기 오믹접촉층(15)은 예로서 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), AZO(Aluminum Zinc Oxide), AGZO(Aluminum Gallium Zinc Oxide), IZTO(Indium Zinc Tin Oxide), IAZO(Indium Aluminum Zinc Oxide), IGZO(Indium Gallium Zinc Oxide), IGTO(Indium Gallium Tin Oxide), ATO(Antimony Tin Oxide), GZO(Gallium Zinc Oxide), IZON(IZO Nitride), ZnO, IrOx, RuOx, NiO, Pt, Ag 중에서 선택된 적어도 하나의 물질로 형성될 수 있다.The
상기 반사전극(17)은 고 반사율을 갖는 금속 재질로 형성될 수 있다. 예컨대 상기 반사전극(17)은 Ag, Ni, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Cu, Au, Hf 중 적어도 하나를 포함하는 금속 또는 합금으로 형성될 수 있다. 또한, 상기 반사전극(17)은 상기 금속 또는 합금과 ITO(Indium-Tin-Oxide), IZO(Indium-Zinc-Oxide), IZTO(Indium-Zinc-Tin-Oxide), IAZO(Indium-Aluminum-Zinc-Oxide), IGZO(Indium-Gallium-Zinc-Oxide), IGTO(Indium-Gallium-Tin-Oxide), AZO(Aluminum-Zinc-Oxide), ATO(Antimony-Tin-Oxide) 등의 투광성 전도성 물질을 이용하여 다층으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 실시 예에서 상기 반사전극(17)은 Ag, Al, Ag-Pd-Cu 합금, 또는 Ag-Cu 합금 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.The
상기 오믹접촉층(15)은 상기 발광구조물(10)과 오믹 접촉이 되도록 형성될 수 있다. 또한 상기 반사전극(17)은 상기 발광구조물(10)로부터 입사되는 빛을 반사시켜 외부로 추출되는 광량을 증가시키는 기능을 수행할 수 있다.The
상기 제1 금속층(30)은 Cu, Ni, Ti, Ti-W, Cr, W, Pt, V, Fe, Mo, Au 물질 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 제1 금속층(30)은 확산장벽층의 기능을 수행할 수도 있다. 상기 제1 금속층(30)은 상기 반사전극(17)과 상기 오믹접촉층(15)을 안정적으로 지지할 수 있다.The
한편, 실시 예에 따른 발광소자는 상기 제1 도전형 반도체층(11)에 전기적으로 연결된 컨택부(80)를 포함할 수 있다. 상기 컨택부(80)는 상기 제1 도전형 반도체층(11)에 접촉되어 배치될 수 있다. 상기 컨택부(80)의 제1 영역은 상기 제1 도전형 반도체층(11) 내에 배치될 수 있다. 상기 컨택부(80)는 상기 제2 도전형 반도체층(13)과 상기 활성층(12)을 관통하여 배치될 수 있다. 상기 컨택부(80)는 상기 제1 도전형 반도체층(11)의 하부 영역에 접촉될 수 있다. Meanwhile, the light emitting device according to the embodiment may include a
실시 예에 의하면, 상기 반사전극(17) 및 상기 컨택부(80)를 통하여 상기 발광구조물(10)에 전원이 인가될 수 있게 된다. 실시 예에 의하면, 상기 컨택부(80)는 다층 구조로 구현될 수도 있다. 상기 컨택부(80)는 Cr, V, W, Ti, Zn, Ni, Cu, Al, Pt, Au 등에서 선택된 물질로 구현될 수 있다. According to the embodiment, power can be applied to the
실시 예에 따른 발광소자는 상기 컨택부(80) 아래에 배치된 제2 금속층(50)을 포함할 수 있다. 상기 제2 금속층(50)은 상기 컨택부(80)에 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 제2 금속층(50)은 상기 컨택부(80)에 접촉될 수 있다. 상기 제2 금속층(50)은 상기 컨택부(80) 하부에 접촉되어 배치될 수 있다. 상기 제2 금속층(50)의 타단은 외부 전원과 연결될 수 있으며, 상기 제2 금속층(50)을 통하여 상기 컨택부(80)에 외부 전원이 인가될 수 있다.The light emitting device according to the embodiment may include a
상기 컨택부(80) 둘레에 상기 제1 절연층(40)이 배치될 수 있다. 상기 제1 절연층(40)은 상기 컨택부(80)의 측면에 배치될 수 있다. 상기 제1 절연층(40)은 상기 발광구조물(10)과 상기 컨택부(80) 사이에 배치될 수 있다. 상기 제1 절연층(40)은 상기 컨택부(80)와 상기 제2 도전형 반도체층(13)을 전기적으로 절연시킬 수 있다. 상기 제1 절연층(40)은 상기 컨택부(80)와 상기 활성층(12)을 전기적으로 절연시킬 수 있다. 상기 제1 절연층(40)은 산화물 또는 질화물을 포함할 수 있다. 상기 제1 절연층(40)은 SiO2, Si3N4, Al2O3, TiO2 등에서 선택된 적어도 하나의 물질로 형성될 수 있다.The first insulating
한편, 상기 제1 절연층(40)이 절연 기능을 정상적으로 수행하지 못하는 경우, 상기 컨택부(80)는 상기 제1 도전형 반도체층(11)에 전기적으로 연결될 뿐만 아니라 상기 제2 도전형 반도체층(13) 또는 상기 활성층(12)에 전기적으로 연결될 수도 있다. 이와 같이 상기 제1 절연층(40) 형성 시에 상기 제1 절연층(40)에 결함이 발생되는 경우 발광소자는 정상적인 동작을 수행할 수 없게 된다.If the first insulating
이에 따라 전기적인 신뢰성을 확보하기 위하여 실시 예에 따른 발광소자는 제2 절연층(42)을 더 포함할 수 있다. 상기 제2 절연층(42)은 상기 제1 절연층(40) 둘레에 배치될 수 있다. 상기 제1 절연층(40)과 상기 제2 절연층(42)는 소정 간격으로 이격되어 배치될 수 있다. 상기 제2 절연층(42)은 산화물 또는 질화물을 포함할 수 있다. 상기 제2 절연층(42)은 SiO2, Si3N4, Al2O3, TiO2 등에서 선택된 적어도 하나의 물질로 형성될 수 있다.Accordingly, in order to secure electrical reliability, the light emitting device according to the embodiment may further include a second insulating
상기 제2 절연층(42)은 상기 제1 절연층(40)과 같은 물질로 형성될 수도 있으며, 또한 다른 물질로 형성될 수도 있다. 상기 제1 절연층(40)과 상기 제2 절연층(42)은 SiO2, Si3N4, Al2O3, TiO2 등에서 각각 독립적으로 선택된 물질로 형성될 수 있다.The second insulating
상기 제2 절연층(42)은 상기 제2 도전형 반도체층(13)과 상기 활성층(12)을 관통하여 형성될 수 있다. 상기 제2 절연층(42)의 제1 영역은 상기 제1 도전형 반도체층(11) 내에 배치될 수 있다. 상기 제2 절연층(42)은 상기 제1 금속층(30)과 상기 제2 도전형 반도체층(13) 사이에 배치될 수 있다. 상기 제1 금속층(30)은 상기 제1 절연층(40) 둘레에 배치될 수 있다. 상기 제1 절연층(40)과 상기 제2 절연층(42) 사이에 반도체층(45)이 배치될 수 있다. 상기 반도체층(45)은 제1 도전형 반도체층, 활성층, 제2 도전형 반도체층을 포함할 수 있다. 그리고, 상기 제2 절연층(42)의 제2 영역은 상기 제1 절연층(40) 둘레에 배치될 수 있다. 상기 제2 절연층(42)의 제2 영역은 상기 제1 절연층(40)의 측면에 접촉되어 배치될 수 있다. 상기 제1 절연층(40)은 상기 제1 금속층(30)과 상기 제2 금속층(50)을 절연시킬 수 있다. The second insulating
상기 제2 금속층(50)은 Cu, Ni, Ti, Ti-W, Cr, W, Pt, V, Fe, Mo 물질 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 제2 금속층(50)은 확산장벽층의 기능을 수행할 수도 있다. 상기 제2 금속층(50) 아래에 본딩층(60), 지지부재(70)가 배치될 수 있다. The
상기 제2 금속층(50)은 상기 본딩층(60)이 제공되는 공정에서 상기 본딩층(60)에 포함된 물질이 상기 반사전극(17) 방향으로 확산되는 것을 방지하는 기능을 수행할 수 있다. 상기 제2 금속층(50)은 상기 본딩층(60)에 포함된 주석(Sn) 등의 물질이 상기 반사전극(17)에 영향을 미치는 것을 방지할 수 있다. The
상기 본딩층(60)은 베리어 금속 또는 본딩 금속 등을 포함하며, 예를 들어, Ti, Au, Sn, Ni, Cr, Ga, In, Bi, Cu, Ag, Nb, Pd 또는 Ta 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 지지부재(70)는 실시 예에 따른 발광구조물(10)을 지지하며 방열 기능을 수행할 수 있다. 상기 본딩층(60)은 시드층으로 구현될 수도 있다.The
상기 지지부재(70)는 예를 들어, Ti, Cr, Ni, Al, Pt, Au, W, Cu, Mo, Cu-W 또는 불순물이 주입된 반도체 기판(예: Si, Ge, GaN, GaAs, ZnO, SiC, SiGe 등) 중에서 적어도 어느 하나로 형성될 수 있다. 상기 지지부재(70)는 예로서 절연물질로 구현될 수도 있다.The supporting
상기 발광구조물(10)의 상부면에 광 추출 패턴이 제공될 수 있다. 상기 발광구조물(10)의 상부면에 요철 패턴이 제공될 수 있다. 상기 발광구조물(10)에 제공되는 광 추출 패턴은 하나의 예로서 PEC (Photo Electro Chemical) 식각 공정에 의하여 형성될 수 있다. 이에 따라 실시 예에 의하면 외부 광 추출 효과를 상승시킬 수 있게 된다.A light extracting pattern may be provided on the upper surface of the
실시 예에 따른 발광소자는 상기 제1 도전형 반도체층(11)에 상기 컨택부(80)를 통하여 제1 극성을 갖는 전원 단자가 연결되고, 상기 제2 도전형 반도체층(13)에 상기 반사전극(17)을 통하여 제2 극성을 갖는 전원 단자가 연결됨에 따라 발광소자가 동작될 수 있게 된다. 상기 반사전극(17)의 일단 또는 상기 제1 금속층(30)의 일단에 상기 제2 극성을 갖는 전원 단자가 연결될 수 있다. 도한 상기 컨택부(80)와 전기적으로 연결된 상기 제2 금속층(50)의 일단에 상기 제1 극성을 갖는 전원 단자가 연결될 수 있다.The power source terminal having the first polarity is connected to the first conductivity
이때 실시 예에 의하면, 상기 컨택부(80) 둘레에 상기 제1 절연층(40)과 상기 제2 절연층(42)을 이중으로 배치시킴으로써, 상기 컨택부(80)가 상기 제2 도전형 반도체층(13) 또는 상기 활성층(12)과 전기적으로 연결되어 불량이 발생되는 것을 방지할 수 있게 된다. 이와 같이 실시 예에 의하면 발광소자의 불량 발생을 줄일 수 있게 되므로 제조 수율을 향상시킬 수 있게 된다.According to the embodiment, the first insulating
그러면 도 2 내지 도 7을 참조하여 실시 예에 따른 발광소자 제조방법을 설명하기로 한다.A method of manufacturing a light emitting device according to an embodiment will now be described with reference to FIGS. 2 to 7. FIG.
실시 예에 따른 발광소자 제조방법에 의하면, 도 2에 도시된 바와 같이, 기판(5) 위에 제1 도전형 반도체층(11), 활성층(12), 제2 도전형 반도체층(13)을 형성한다. 상기 제1 도전형 반도체층(11), 상기 활성층(12), 상기 제2 도전형 반도체층(13)은 발광구조물(10)로 정의될 수 있다.2, a first conductivity
상기 기판(5)은 예를 들어, 사파이어 기판(Al2O3), SiC, GaAs, GaN, ZnO, Si, GaP, InP, Ge 중 적어도 하나로 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. 상기 제1 도전형 반도체층(11)과 상기 기판(5) 사이에는 버퍼층이 더 형성될 수 있다. The
예로써, 상기 제1 도전형 반도체층(11)이 제1 도전형 도펀트로서 n형 도펀트가 첨가된 n형 반도체층으로 형성되고, 상기 제2 도전형 반도체층(13)이 제2 도전형 도펀트로서 p형 도펀트가 첨가된 p형 반도체층으로 형성될 수 있다. 또한 상기 제1 도전형 반도체층(11)이 p형 반도체층으로 형성되고, 상기 제2 도전형 반도체층(13)이 n형 반도체층으로 형성될 수도 있다.For example, the first conductivity
상기 제1 도전형 반도체층(11)은 예를 들어, n형 반도체층을 포함할 수 있다. 상기 제1 도전형 반도체층(11)은 InxAlyGa1-x-yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재료로 형성될 수 있다. 상기 제1 도전형 반도체층(11)은, 예를 들어 InAlGaN, GaN, AlGaN, AlInN, InGaN, AlN, InN 등에서 선택될 수 있으며, Si, Ge, Sn, Se, Te 등의 n형 도펀트가 도핑될 수 있다.The first
상기 활성층(12)은 상기 제1 도전형 반도체층(11)을 통해서 주입되는 전자(또는 정공)와 상기 제2 도전형 반도체층(13a)을 통해서 주입되는 정공(또는 전자)이 서로 만나서, 상기 활성층(12a)의 형성 물질에 따른 에너지 밴드(Energy Band)의 밴드갭(Band Gap) 차이에 의해서 빛을 방출하는 층이다. 상기 활성층(12)은 단일 우물 구조, 다중 우물 구조, 양자점 구조 또는 양자선 구조 중 어느 하나로 형성될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.The
상기 활성층(12)은 InxAlyGa1-x-yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재료로 형성될 수 있다. 상기 활성층(12)이 상기 다중 우물 구조로 형성된 경우, 상기 활성층(12)은 복수의 우물층과 복수의 장벽층이 적층되어 형성될 수 있으며, 예를 들어, InGaN 우물층/GaN 장벽층의 주기로 형성될 수 있다.The
상기 제2 도전형 반도체층(13)은 예를 들어, p형 반도체층으로 구현될 수 있다. 상기 제2 도전형 반도체층(13)은 InxAlyGa1-x-yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재료로 형성될 수 있다. 상기 제2 도전형 반도체층(13)은, 예를 들어 InAlGaN, GaN, AlGaN, InGaN, AlInN, AlN, InN 등에서 선택될 수 있으며, Mg, Zn, Ca, Sr, Ba 등의 p형 도펀트가 도핑될 수 있다.The second
한편, 상기 제1 도전형 반도체층(11)이 p형 반도체층을 포함하고 상기 제2 도전형 반도체층(13)이 n형 반도체층을 포함할 수도 있다. 또한, 상기 제2 도전형 반도체층(13) 위에는 n형 또는 p형 반도체층을 포함하는 반도체층이 더 형성될 수도 있으며, 이에 따라, 상기 발광구조물(10)은 np, pn, npn, pnp 접합 구조 중 적어도 어느 하나를 가질 수 있다. 또한, 상기 제1 도전형 반도체층(11) 및 상기 제2 도전형 반도체층(13) 내의 불순물의 도핑 농도는 균일 또는 불균일하게 형성될 수 있다. 즉, 상기 발광구조물(10)의 구조는 다양하게 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.Meanwhile, the first
또한, 상기 제1 도전형 반도체층(11)과 상기 활성층(12) 사이에는 제1 도전형 InGaN/GaN 슈퍼래티스 구조 또는 InGaN/InGaN 슈퍼래티스 구조가 형성될 수도 있다. 또한, 상기 제2 도전형 반도체층(13)과 상기 활성층(12) 사이에는 제2 도전형의 AlGaN층이 형성될 수도 있다.Also, a first conductive InGaN / GaN superlattice structure or an InGaN / InGaN superlattice structure may be formed between the first
다음으로, 도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 상기 발광구조물(10)에 제1 홈(31)과 제2 홈(33)을 형성할 수 있다. 예컨대 상기 제1 홈(31)은 원 기둥 형상으로 형성될 수 있으나, 그 형상은 다양하게 변형될 수 있으며 이에 한정되지는 않는다. 상기 제1 홈(31)과 상기 제2 홈(33)은 복수로 형성될 수 있다. 도 4에는 4 개의 제1 홈(31)과 제2 홈(33)이 형성된 경우를 나타내었으나, 그 숫자는 3 개 이하로 형성될 수도 있으며 또한 5 개 이상으로 형성될 수도 있다.Next, as shown in FIGS. 3 and 4, the
상기 제1 홈(31)과 상기 제2 홈(33)은 건식 식각 또는 습식 식각에 의하여 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 홈(31)과 상기 제2 홈(33)은 ICP(Inductively Coupled Plasma)와 같은 건식 식각에 의해 실시될 수 있으나, 이에 대해 한정하지는 않는다. The
상기 제1 홈(31)은 상기 제2 도전형 반도체층(13)과 상기 활성층(12)을 관통하여 형성될 수 있다. 상기 제1 홈(31)은 상기 제1 도전형 반도체층(11)의 일부 영역까지 식각하여 노출시킬 수 있다. The
상기 제2 홈(33)은 상기 제1 홈(31)의 둘레에 형성될 수 있다. 상기 제2 홈(33)은 상기 제2 도전형 반도체층(13)과 상기 활성층(12)을 관통하여 형성될 수 있다. 상기 제2 홈(33)은 상기 제1 도전형 반도체층(11)의 일부 영역까지 식각하여 노출시킬 수 있다. 예로서, 상기 제1 홈(31)이 상기 제2 홈(33)에 비하여 더 깊게 형성될 수 있다.The
상기 제1 홈(31)과 상기 제2 홈(33) 사이에 반도체층(45)이 배치될 수 있다. 상기 제1 홈(31)과 상기 제2 홈(33) 사이에 상기 제1 도전형 반도체층(11), 상기 활성층(12), 상기 제2 도전형 반도체층(13)의 일부 영역이 배치될 수 있다.A
예컨대, 상기 제1 홈(31)은 10 마이크로 미터 내지 50 마이크로 미터의 폭으로 형성될 수 있으며, 상기 제2 홈(33)은 1 마이크로 미터 내지 3 마이크로 미터의 폭으로 형성될 수 있다. 또한, 상기 반도체층(45)은 2 마이크로 미터 내지 4 마이크로 미터의 폭으로 형성될 수 있다. For example, the
그리고, 도 5에 나타낸 바와 같이, 상기 제2 홈(33)에 제2 절연층(42), 오믹접촉층(15), 반사전극(17), 제1 금속층(30)을 형성한다.5, a second insulating
예로서, 상기 제2 절연층(42)은 상기 제1 홈(31) 및 상기 제2 홈(33)을 모두 채우도록 형성될 수도 있다. 상기 제2 절연층(42) 위에 상기 오믹접촉층(15), 상기 반사전극(17), 상기 제1 금속층(30)이 순차적으로 형성될 수 있다.For example, the second insulating
상기 제2 절연층(42)은 산화물 또는 질화물을 포함할 수 있다. 상기 제2 절연층(42)은 SiO2, Si3N4, Al2O3, TiO2 등에서 선택된 적어도 하나의 물질로 형성될 수 있다.The second insulating
상기 제2 절연층(42)은 상기 제2 도전형 반도체층(13)과 상기 활성층(12)을 관통하여 형성될 수 있다. 상기 제2 절연층(42)의 제1 영역은 상기 제1 도전형 반도체층(11) 내에 배치될 수 있다. 상기 제2 절연층(42)은 상기 제1 금속층(30)과 상기 제2 도전형 반도체층(13) 사이에 배치될 수 있다.The second insulating
상기 오믹접촉층(15)은 예컨대 투명 전도성 산화막층으로 형성될 수 있다. 상기 오믹접촉층(15)은 예로서 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), AZO(Aluminum Zinc Oxide), AGZO(Aluminum Gallium Zinc Oxide), IZTO(Indium Zinc Tin Oxide), IAZO(Indium Aluminum Zinc Oxide), IGZO(Indium Gallium Zinc Oxide), IGTO(Indium Gallium Tin Oxide), ATO(Antimony Tin Oxide), GZO(Gallium Zinc Oxide), IZON(IZO Nitride), ZnO, IrOx, RuOx, NiO, Pt, Ag 중에서 선택된 적어도 하나의 물질로 형성될 수 있다.The
상기 반사전극(17)은 고 반사율을 갖는 금속 재질로 형성될 수 있다. 예컨대 상기 반사전극(17)은 Ag, Ni, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Cu, Au, Hf 중 적어도 하나를 포함하는 금속 또는 합금으로 형성될 수 있다. 또한, 상기 반사전극(17)은 상기 금속 또는 합금과 ITO(Indium-Tin-Oxide), IZO(Indium-Zinc-Oxide), IZTO(Indium-Zinc-Tin-Oxide), IAZO(Indium-Aluminum-Zinc-Oxide), IGZO(Indium-Gallium-Zinc-Oxide), IGTO(Indium-Gallium-Tin-Oxide), AZO(Aluminum-Zinc-Oxide), ATO(Antimony-Tin-Oxide) 등의 투광성 전도성 물질을 이용하여 다층으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 실시 예에서 상기 반사전극(17)은 Ag, Al, Ag-Pd-Cu 합금, 또는 Ag-Cu 합금 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.The
또한, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 반사전극(17) 위에 제1 금속층(30)이 형성될 수 있다. 상기 제1 금속층(30)은 상기 오믹접촉층(15) 둘레 및 상기 반사전극(17) 위에 배치될 수 있다. 상기 제1 금속층(50)은 Cu, Ni, Ti, Ti-W, Cr, W, Pt, V, Fe, Mo 물질 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 제1 금속층(50)은 확산장벽층의 기능을 수행할 수도 있다.Also, as shown in FIG. 5, a
그리고, 도 5에 도시된 바와 같이, 컨택부(80) 및 제1 절연층(40)이 형성될 수 있다.5, the
실시 예에 따른 발광소자는 상기 제1 도전형 반도체층(11)에 전기적으로 연결된 컨택부(80)를 포함할 수 있다. 상기 컨택부(80)는 상기 제1 도전형 반체층(11)에 접촉되어 배치될 수 있다. 상기 컨택부(80)의 제1 영역은 상기 제1 도전형 반도체층(11) 내에 배치될 수 있다. 상기 컨택부(80)는 상기 제2 도전형 반도체층(13)과 상기 활성층(12)을 관통하여 배치될 수 있다. 상기 컨택부(80)는 상기 제1 도전형 반도체층(11)의 상부 영역에 접촉될 수 있다. 실시 예에 의하면, 상기 컨택부(80)는 다층 구조로 구현될 수도 있다. 상기 컨택부(80)는 Cr, V, W, Ti, Zn, Ni, Cu, Al, Pt, Au 등에서 선택된 물질로 구현될 수 있다. The light emitting device according to the embodiment may include a
상기 컨택부(80) 둘레에 상기 제1 절연층(40)이 배치될 수 있다. 상기 제1 절연층(40)은 상기 컨택부(80)의 측면에 배치될 수 있다. 상기 제1 절연층(40)은 상기 발광구조물(10)과 상기 컨택부(80) 사이에 배치될 수 있다. 상기 제1 절연층(40)은 상기 컨택부(80)와 상기 제2 도전형 반도체층(13)을 전기적으로 절연시킬 수 있다. 상기 제1 절연층(40)은 상기 컨택부(80)와 상기 활성층(12)을 전기적으로 절연시킬 수 있다. 상기 제1 절연층(40)은 산화물 또는 질화물을 포함할 수 있다. 상기 제1 절연층(40)은 SiO2, Si3N4, Al2O3, TiO2 등에서 선택된 적어도 하나의 물질로 형성될 수 있다.The first insulating
다음으로, 도 6에 도시된 바와 같이 상기 컨택부(80) 및 상기 제1 절연층(40) 위에 제2 금속층(50)이 형성될 수 있다.Next, a
상기 제2 금속층(50)은 상기 컨택부(80)에 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 제2 금속층(50)은 상기 컨택부(80)에 접촉될 수 있다. 상기 제2 금속층(50)은 상기 컨택부(80) 위에 접촉되어 배치될 수 있다. 상기 제2 금속층(50)의 타단은 외부 전원과 연결될 수 있으며, 상기 제2 금속층(50)을 통하여 상기 컨택부(80)에 외부 전원이 인가될 수 있다.The
한편, 위에서 설명된 각 층의 형성 공정은 하나의 예시이며, 그 공정 순서는 다양하게 변형될 수 있다.On the other hand, the forming process of each layer described above is one example, and the process sequence can be variously modified.
다음으로, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 제2 금속층(50) 위에 본딩층(60), 지지부재(70)가 형성될 수 있다. 상기 제2 금속층(50)은 상기 본딩층(60)이 제공되는 공정에서 상기 본딩층(60)에 포함된 물질이 상기 반사전극(17) 방향으로 확산되는 것을 방지하는 기능을 수행할 수 있다. 상기 제2 금속층(50)은 상기 본딩층(60)에 포함된 주석(Sn) 등의 물질이 상기 반사전극(17)에 영향을 미치는 것을 방지할 수 있다. Next, as shown in FIG. 6, a
상기 본딩층(60)은 베리어 금속 또는 본딩 금속 등을 포함하며, 예를 들어, Ti, Au, Sn, Ni, Cr, Ga, In, Bi, Cu, Ag, Nb, Pd 또는 Ta 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 지지부재(70)는 실시 예에 따른 발광구조물(10)을 지지하며 방열 기능을 수행할 수 있다. 상기 본딩층(60)은 시드층으로 구현될 수도 있다.The
상기 지지부재(70)는 예를 들어, Ti, Cr, Ni, Al, Pt, Au, W, Cu, Mo, Cu-W 또는 불순물이 주입된 반도체 기판(예: Si, Ge, GaN, GaAs, ZnO, SiC, SiGe 등) 중에서 적어도 어느 하나로 형성될 수 있다. 또한, 상기 지지부재(70)는 절연성 물질로 구현될 수도 있다.The supporting
다음으로 상기 제1 도전형 반도체층(11)으로부터 상기 기판(5)을 제거한다. 하나의 예로서, 상기 기판(5)은 레이저 리프트 오프(LLO: Laser Lift Off) 공정에 의해 제거될 수 있다. 레이저 리프트 오프 공정(LLO)은 상기 기판(5)의 하면에 레이저를 조사하여, 상기 기판(5)과 상기 제1 도전형 반도체층(11)을 서로 박리시키는 공정이다.Next, the
그리고, 도 7에 도시된 바와 같이, 아이솔레이션 에칭을 수행하여 상기 발광구조물(10)의 측면을 식각하고 개별 발광소자를 분리할 수 있다. 이때, 아이솔레이션 에칭을 통하여 상기 오믹접촉층(15) 또는 상기 제1 금속층(30)의 일부 영역이 상기 발광구조물(10)의 하부 둘레에 노출될 수도 있다. 상기 아이솔레이션 에칭은 예를 들어, ICP(Inductively Coupled Plasma)와 같은 건식 식각에 의해 실시될 수 있으나, 이에 대해 한정하지는 않는다. Then, as shown in FIG. 7, isolation etching may be performed to etch the side surfaces of the
또한, 상기 발광구조물(10)의 상부면에 광 추출 패턴이 제공될 수 있다. 상기 발광구조물(10)의 상부면에 요철 패턴이 제공될 수 있다. 예로서 상기 광 추출 패턴은 PEC 식각 공정에 의하여 형성될 수 있다. 이에 따라 실시 예에 의하면 외부 광 추출 효과를 상승시킬 수 있게 된다. 실시 예에 의하면, 상기 발광구조물(10)의 상부면이 N 면으로 형성될 수 있으며, Ga 면으로 형성되는 경우에 비하여 표면 거칠기가 크므로 광 추출 효율이 더 향상될 수 있게 된다.Also, a light extracting pattern may be provided on the upper surface of the
실시 예에 따른 발광소자는 상기 제1 도전형 반도체층(11)에 상기 컨택부(80)를 통하여 제1 극성을 갖는 전원 단자가 연결되고, 상기 제2 도전형 반도체층(13)에 상기 반사전극(17)을 통하여 제2 극성을 갖는 전원 단자가 연결됨에 따라 발광소자가 동작될 수 있게 된다. 상기 반사전극(17)의 일단 또는 상기 제1 금속층(30)의 일단에 상기 제2 극성을 갖는 전원 단자가 연결될 수 있다. 또한 상기 컨택부(80)와 전기적으로 연결된 상기 제2 금속층(50)의 일단에 상기 제1 극성을 갖는 전원 단자가 연결될 수 있다.The power source terminal having the first polarity is connected to the first conductivity
이때 실시 예에 의하면, 상기 컨택부(80) 둘레에 상기 제1 절연층(40)과 상기 제2 절연층(42)을 이중으로 배치시킴으로써, 상기 제1 절연층(40)에 절연 불량이 발생되는 경우에도, 상기 컨택부(80)가 상기 제2 도전형 반도체층(13) 또는 상기 활성층(12)과 전기적으로 연결되어 불량이 발생되는 것을 방지할 수 있게 된다. 이와 같이 실시 예에 의하면 발광소자의 불량 발생을 줄일 수 있게 되므로 제조 수율을 향상시킬 수 있게 된다.The
도 8은 실시 예에 따른 발광소자의 다른 예를 나타낸 도면이다. 도 8에 도시된 실시 예에 따른 발광소자를 설명함에 있어, 도 1을 참조하여 설명된 부분과 중복되는 부분에 대해서는 설명을 생략하기로 한다.8 is a view showing another example of the light emitting device according to the embodiment. In the following description of the light emitting device according to the embodiment shown in FIG. 8, a description of portions overlapping with those described with reference to FIG. 1 will be omitted.
실시 예에 따른 발광소자는, 도 8에 도시된 바와 같이, 볼륨 에미팅층(83), Ti 산화물층(85), 형광체(87)를 더 포함할 수 있다.The light emitting device according to the embodiment may further include a
상기 볼륨 에미팅층(83)은 상기 발광구조물(10) 위에 배치될 수 있다. 상기 볼륨 에미팅층(83)은 상기 발광구조물(10) 상부에 접촉되어 배치될 수 있다. 상기 볼륨 에미팅층(83)은 상기 발광구조물(10)로부터 제공되는 빛을 외부로 방출하는 기능을 수행할 수 있다. The
상기 볼륨 에미팅층(83)은 빛 투과물질로 구현될 수 있다. 예로서 상기 볼륨 에미팅층(83)은 10 마이크로 미터 내지 500 마이크로 미터의 두께로 형성될 수 있다. 이에 따라 상기 볼륨 에미팅층(83)의 상부면 및 측면으로 빛이 방출될 수 있게 되며, 상기 발광구조물(10)로부터 빛이 방출되는 경우에 대비하여 지향각을 확장시킬 수 있게 된다. The volume-emitting
상기 볼륨 에미팅층(83)은 상부에 요철구조가 형성될 수 있다. 상기 볼륨 에미팅층(83)의 상부면이 굴곡을 갖는 구조로 형성될 수 있다. 이에 따라 상기 볼륨 에미팅층(83)으로부터 외부로 추출되는 광 효율을 향상시킬 수 있게 된다. 상기 요철구조는 예로서 요부의 상부 폭이 1 마이크로 미터 내지 100 마이크로 미터로 형성될 수 있다. 또한 상기 요철구조는 예로서 요부의 깊이가 1 마이크로 미터 내지 100 마이크로 미터로 형성될 수 있다. 상기 요철구조는 예로서 요부의 깊이가 상기 볼륨 에미팅층(83)의 두께에 배하여 1/5 정도로 형성될 수 있다. The volume-emitting
예컨대, 도 8에 나타낸 바와 같이, 상기 볼륨 에미팅층(83)에 형성된 요철구조는 경사면을 포함하고, 상기 경사면은 수평면에 비하여 70도 내지 85도의 경사각을 갖도록 구현될 수 있다.For example, as shown in FIG. 8, the concavo-convex structure formed on the volume-emitting
상기 볼륨 에미팅층(83)은 예로서 산화물을 포함할 수 있다. 예컨대, 상기 볼륨 에미팅층(83)은 상기 발광구조물(10)에 비하여 더 낮은 굴절율을 갖는 물질로 구현될 수 있다. 상기 볼륨 에미팅층(83)은 SiO2 물질을 포함할 수 있다. 상기 볼륨 에미팅층(83)은 ZnO 물질을 포함할 수 있다.The volume-emitting
상기 볼륨 에미팅층(83) 위에 Ti 산화물층(85)이 배치될 수 있다. 상기 볼륨 에미팅층(83)의 측면에 상기 Ti 산화물층(85)이 배치될 수 있다. 상기 Ti 산화물층(85)이 상기 볼륨 에미팅층(83)에 접촉되어 배치될 수 있다. 상기 Ti 산화물층(85)은 상기 볼륨 에미팅층(83)의 요철구조를 따라 배치될 수 있다. 예로서 상기 Ti 산화물층(85)은 상기 볼륨 에미팅층(83) 위에 균일한 두께를 갖도록 배치될 수 있다. 상기 Ti 산화물층(85)은 예컨대 1 나노미터 내지 100 나노미터의 두께로 형성될 수 있다.A
실시 예에 의하면, 상기 Ti 산화물층(85) 위에 형광체(87)가 배치될 수 있다. 상기 형광체(87)는 상기 발광구조물(10)로부터 발광되는 빛을 입사 받아, 파장 변환된 빛을 방출할 수 있다. 예컨대, 상기 발광구조물(10)에서 청색광이 발광되고, 상기 형광체(87)가 황색광을 발광하는 경우, 전체적으로 백색광이 발광될 수 있게 된다. 상기 발광구조물(10)에 발광 되는 빛의 파장 대역과 상기 형광체(87)에서 발광 되는 파장 대역은 실시 예에 따라 다양하게 변형될 수 있다.According to the embodiment, the
실시 예에 의하면, 상기 형광체(87)가 상기 Ti 산화물층(85)에 접촉되어 배치될 수 있다. 상기 형광체(87)가 상기 Ti 산화물층(85)에 접촉되어 배치되는 경우 상기 형광체(87)의 광 흡수효율이 향상될 수 있게 된다. 이에 따라 상기 발광구조물(10)로부터 발광되는 제1 파장 대역의 빛이 상기 형광체(87)에 효율적으로 흡수될 수 있게 되며, 상기 형광체(87)로부터 파장 변환된 제2 파장 대역의 빛이 방출될 수 있게 된다. 결과적으로 상기 발광구조물(10)로부터 발광되는 제1 파장 대역의 빛과 상기 형광체(87)로부터 방출되는 제2 파장 대역의 빛이 혼합되어 타겟광이 외부로 제공될 수 있게 된다.According to the embodiment, the
상기 형광체(87)는 입자 형태로 상기 Ti 산화물층(85) 위에 배치될 수 있다. 또한 상기 형광체(87)는 레진에 포함되어 상기 Ti 산화물층(85)에 균일하게 배치될 수도 있다. 예로서, 상기 레진은 에폭시 또는 실리콘을 포함할 수 있다.The
실시 예에 따른 발광소자는 상기 제1 도전형 반도체층(11)에 상기 컨택부(80)를 통하여 제1 극성을 갖는 전원 단자가 연결되고, 상기 제2 도전형 반도체층(13)에 상기 반사전극(17)을 통하여 제2 극성을 갖는 전원 단자가 연결됨에 따라 발광소자가 동작될 수 있게 된다. 상기 반사전극(17)의 일단 또는 상기 제1 금속층(30)의 일단에 상기 제2 극성을 갖는 전원 단자가 연결될 수 있다. 또한 상기 컨택부(80)와 전기적으로 연결된 상기 제2 금속층(50)의 일단에 상기 제1 극성을 갖는 전원 단자가 연결될 수 있다.The power source terminal having the first polarity is connected to the first conductivity
이때 실시 예에 의하면, 상기 컨택부(80) 둘레에 상기 제1 절연층(40)과 상기 제2 절연층(42)을 이중으로 배치시킴으로써, 상기 제1 절연층(40)에 절연 불량이 발생되는 경우에도, 상기 컨택부(80)가 상기 제2 도전형 반도체층(13) 또는 상기 활성층(12)과 전기적으로 연결되어 불량이 발생되는 것을 방지할 수 있게 된다. 이와 같이 실시 예에 의하면 발광소자의 불량 발생을 줄일 수 있게 되므로 제조 수율을 향상시킬 수 있게 된다.The
도 9는 실시 예에 따른 발광소자의 다른 예를 나타낸 도면이다. 도 9에 도시된 실시 예에 따른 발광소자를 설명함에 있어, 도 1을 참조하여 설명된 부분과 중복되는 부분에 대해서는 설명을 생략하기로 한다.9 is a view showing another example of the light emitting device according to the embodiment. In the following description of the light emitting device according to the embodiment shown in FIG. 9, the description of the parts overlapping with those described with reference to FIG. 1 will be omitted.
실시 예에 의하면, 상기 발광구조물(10) 위에 상기 지지부(93)가 배치될 수 있다. 상기 지지부(93)는 상기 발광구조물(10) 위에 접촉되어 배치될 수 있다. 상기 지지부(93)는 예로서 상기 발광구조물(10)의 외곽부 둘레에 배치될 수 있다. 상기 지지부(93)는 상기 제1 도전형 반도체층(11)에 접촉되어 배치될 수 있다. 상기 지지부(93)는 상기 발광구조물(10)에 제공된 광추출 구조 위에 배치될 수 있다. 예컨대, 상기 지지부(93)는 10 마이크로 미터 내지 500 마이크로 미터의 높이로 형성될 수 있다. 상기 지지부(93)는 상기 발광구조물(10)의 상부 면으로부터 10 마이크로 미터 내지 500 마이크로 미터의 높이로 형성될 수 있다.According to the embodiment, the
예로서, 상기 지지부(93)는 무기 절연물 또는 유기 절연물을 포함할 수 있다. 상기 지지부(93)는 금속을 포함할 수 있다. 상기 지지부(93)는 Al2O3, SiO2, 포토 레지스트, 레진, 금속, 산화물, 질화물 등에서 적어도 하나의 물질을 포함할 수 있다. 상기 레진은 실리콘 또는 에폭시를 포함할 수 있다.For example, the
상기 지지부(93)의 측면은 경사면을 포함할 수 있다. 상기 지지부(93)의 측면은 예로서 상기 발광구조물(10)의 수평면으로부터 70도 내지 85도의 경사로 형성될 수 있다.The side surface of the
상기 지지부(93) 위에 상기 반사층(95)이 배치될 수 있다. 상기 반사층(95)은 상기 지지부(93)의 상부면에 배치될 수 있다. 상기 반사층(95)은 상기 지지부(93)의 측면에 배치될 수 있다. 상기 반사부(95)는 금속 물질을 포함할 수 있다. 예컨대 상기 반사부(95)는 Ag, Al, Pt, Rh, Ir, Au 등에서 선택된 적어도 하나의 물질을 포함할 수 있다.The
상기 지지부(93) 및 상기 반사층(95)에 의하여 상기 발광구조물(10)로부터 발광되는 빛이 상기 반사층(95)에 반사됨으로써 외부로 추출되는 빛의 광출사 방향이 조정될 수 있게 된다. 상기 반사층(95)에 의하여 지향각이 조정될 수 있게 된다. 상기 반사층(95)은 상기 지지부(93)의 상부면 및 측면에 균일한 두께로 형성될 수 있다. 상기 지지부(93)의 측면이 경사면으로 형성됨에 따라, 상기 반사층(95)이 수평면에 대해 경사면으로 배치될 수 있으며 외부로 추출되는 빛의 출사 방향을 조정할 수 있게 된다. 예컨대, 상기 지지부(93)의 높이는 상기 발광구조물(10)의 폭에 비하여 0.3 내지 1.0 배의 높이로 구현될 수 있다. 또한 상기 지지부(93)의 측면은 수평면에 대하여 예로서 70도 내지 85도의 각도로 구현될 수 있다.The light emitted from the
또한, 실시 예에서는 상기 지지부(93) 및 상기 반사층(95)이 상기 발광구조물(10)의 외곽부 둘레에 배치된 경우를 기준으로 설명되었으나, 상기 지지부(93) 및 상기 반사층(95)은 상기 발광구조물(10)의 가장자리뿐만 아니라 중심 영역에 배치될 수도 있다. 상기 지지부(90) 및 상기 반사층(95)의 배치 구조는 다양하게 변형될 수 있다. 또한, 상기 반사층(95)은 상기 지지부(93)의 안쪽 측면에 형성될 수도 있으며, 상기 지지부(93)의 바깥쪽 측면에 배치될 수도 있다. 상기 지지부(93)의 바깥쪽 측면도 경사면을 갖도록 형성될 수 있다. Although the
또한, 실시 예에 의하면, 상기 발광구조물(10)의 하부 둘레에 상기 오믹접촉층(15) 또는 상기 제1 금속층(30)이 노출되어 배치될 수도 있다. 이때, 상기 지지부(90)의 일부 영역은 상기 발광구조물(10)의 측면에 배치될 수도 있다. 상기 지지부(90)의 일부 영역은 상기 오믹접촉층(15) 또는 상기 제1 금속층(30) 위에 접촉되어 배치될 수 있다.In addition, according to the embodiment, the
실시 예에 따른 발광소자는 상기 제1 도전형 반도체층(11)에 상기 컨택부(80)를 통하여 제1 극성을 갖는 전원 단자가 연결되고, 상기 제2 도전형 반도체층(13)에 상기 반사전극(17)을 통하여 제2 극성을 갖는 전원 단자가 연결됨에 따라 발광소자가 동작될 수 있게 된다. 상기 반사전극(17)의 일단 또는 상기 제1 금속층(30)의 일단에 상기 제2 극성을 갖는 전원 단자가 연결될 수 있다. 또한 상기 컨택부(80)와 전기적으로 연결된 상기 제2 금속층(50)의 일단에 상기 제1 극성을 갖는 전원 단자가 연결될 수 있다.The power source terminal having the first polarity is connected to the first conductivity
이때 실시 예에 의하면, 상기 컨택부(80) 둘레에 상기 제1 절연층(40)과 상기 제2 절연층(42)을 이중으로 배치시킴으로써, 상기 제1 절연층(40)에 절연 불량이 발생되는 경우에도, 상기 컨택부(80)가 상기 제2 도전형 반도체층(13) 또는 상기 활성층(12)과 전기적으로 연결되어 불량이 발생되는 것을 방지할 수 있게 된다. 이와 같이 실시 예에 의하면 발광소자의 불량 발생을 줄일 수 있게 되므로 제조 수율을 향상시킬 수 있게 된다.The
도 10은 실시 예에 따른 발광소자가 적용된 발광소자 패키지를 나타낸 도면이다.10 is a view illustrating a light emitting device package to which the light emitting device according to the embodiment is applied.
도 10을 참조하면, 실시 예에 따른 발광소자 패키지는 몸체(120)와, 상기 몸체(120)에 배치된 제1 리드전극(131) 및 제2 리드전극(132)과, 상기 몸체(120)에 제공되어 상기 제1 리드전극(131) 및 제2 리드전극(132)과 전기적으로 연결되는 실시 예에 따른 발광소자(100)와, 상기 발광소자(100)를 포위하는 몰딩부재(140)를 포함할 수 있다.10, a light emitting device package according to an embodiment includes a
상기 몸체(120)는 실리콘 재질, 합성수지 재질, 또는 금속 재질을 포함하여 형성될 수 있으며, 상기 발광소자(100)의 주위에 경사면이 형성될 수 있다.The
상기 제1 리드전극(131) 및 제2 리드전극(132)은 서로 전기적으로 분리되며, 상기 발광소자(100)에 전원을 제공한다. 또한, 상기 제1 리드전극(131) 및 제2 리드전극(132)은 상기 발광소자(100)에서 발생된 빛을 반사시켜 광 효율을 증가시킬 수 있으며, 상기 발광소자(100)에서 발생된 열을 외부로 배출시키는 역할을 할 수도 있다.The first
상기 발광소자(100)는 상기 몸체(120) 위에 배치되거나 상기 제1 리드전극(131) 또는 제2 리드전극(132) 위에 배치될 수 있다.The
상기 발광소자(100)는 상기 제1 리드전극(131) 및 제2 리드전극(132)과 와이어 방식, 플립칩 방식 또는 다이 본딩 방식 중 어느 하나에 의해 전기적으로 연결될 수도 있다. The
상기 몰딩부재(140)는 상기 발광소자(100)를 포위하여 상기 발광소자(100)를 보호할 수 있다. 또한, 상기 몰딩부재(140)에는 형광체가 포함되어 상기 발광소자(100)에서 방출된 광의 파장을 변화시킬 수 있다.The
실시 예에 따른 발광소자 또는 발광소자 패키지는 복수 개가 기판 위에 어레이될 수 있으며, 상기 발광소자 패키지의 광 경로 상에 광학 부재인 렌즈, 도광판, 프리즘 시트, 확산 시트 등이 배치될 수 있다. 이러한 발광소자 패키지, 기판, 광학 부재는 라이트 유닛으로 기능할 수 있다. 상기 라이트 유닛은 탑뷰 또는 사이드 뷰 타입으로 구현되어, 휴대 단말기 및 노트북 컴퓨터 등의 표시 장치에 제공되거나, 조명장치 및 지시 장치 등에 다양하게 적용될 수 있다. 또 다른 실시 예는 상술한 실시 예들에 기재된 발광소자 또는 발광소자 패키지를 포함하는 조명 장치로 구현될 수 있다. 예를 들어, 조명 장치는 램프, 가로등, 전광판, 전조등을 포함할 수 있다.A plurality of light emitting devices or light emitting device packages according to the embodiments may be arrayed on a substrate, and a lens, a light guide plate, a prism sheet, a diffusion sheet, etc., which are optical members, may be disposed on the light path of the light emitting device package. Such a light emitting device package, a substrate, and an optical member can function as a light unit. The light unit may be implemented as a top view or a side view type and may be provided in a display device such as a portable terminal and a notebook computer, or may be variously applied to a lighting device and a pointing device. Still another embodiment may be embodied as a lighting device including the light emitting device or the light emitting device package described in the above embodiments. For example, the lighting device may include a lamp, a streetlight, an electric signboard, and a headlight.
실시 예에 따른 발광소자는 라이트 유닛에 적용될 수 있다. 상기 라이트 유닛은 복수의 발광소자가 어레이된 구조를 포함하며, 도 11 및 도 12에 도시된 표시 장치, 도 13 내지 도 17에 도시된 조명 장치를 포함할 수 있다. The light emitting device according to the embodiment can be applied to a light unit. The light unit includes a structure in which a plurality of light emitting elements are arrayed, and may include the display apparatus shown in Figs. 11 and 12, and the illumination apparatus shown in Figs. 13 to 17.
도 11을 참조하면, 실시 예에 따른 표시 장치(1000)는 도광판(1041)과, 상기 도광판(1041)에 빛을 제공하는 발광 모듈(1031)과, 상기 도광판(1041) 아래에 반사 부재(1022)와, 상기 도광판(1041) 위에 광학 시트(1051)와, 상기 광학 시트(1051) 위에 표시 패널(1061)과, 상기 도광판(1041), 발광 모듈(1031) 및 반사 부재(1022)를 수납하는 바텀 커버(1011)를 포함할 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.11, a
상기 바텀 커버(1011), 반사시트(1022), 도광판(1041), 광학 시트(1051)는 라이트 유닛(1050)으로 정의될 수 있다.The
상기 도광판(1041)은 빛을 확산시켜 면광원화 시키는 역할을 한다. 상기 도광판(1041)은 투명한 재질로 이루어지며, 예를 들어, PMMA(polymethyl metaacrylate)와 같은 아크릴 수지 계열, PET(polyethylene terephthlate), PC(poly carbonate), COC(cycloolefin copolymer) 및 PEN(polyethylene naphthalate) 수지 중 하나를 포함할 수 있다. The
상기 발광모듈(1031)은 상기 도광판(1041)의 적어도 일 측면에 빛을 제공하며, 궁극적으로는 표시 장치의 광원으로써 작용하게 된다.The
상기 발광모듈(1031)은 적어도 하나가 제공될 수 있으며, 상기 도광판(1041)의 일 측면에서 직접 또는 간접적으로 광을 제공할 수 있다. 상기 발광 모듈(1031)은 기판(1033)과 위에서 설명된 실시 예에 따른 발광소자 또는 발광소자 패키지(200)를 포함할 수 있다. 상기 발광소자 패키지(200)는 상기 기판(1033) 위에 소정 간격으로 어레이될 수 있다. At least one light emitting
상기 기판(1033)은 회로패턴을 포함하는 인쇄회로기판(PCB, Printed Circuit Board)일 수 있다. 다만, 상기 기판(1033)은 일반 PCB 뿐 아니라, 메탈 코어 PCB(MCPCB, Metal Core PCB), 연성 PCB(FPCB, Flexible PCB) 등을 포함할 수도 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. 상기 발광소자 패키지(200)는 상기 바텀 커버(1011)의 측면 또는 방열 플레이트 위에 제공될 경우, 상기 기판(1033)은 제거될 수 있다. 여기서, 상기 방열 플레이트의 일부는 상기 바텀 커버(1011)의 상면에 접촉될 수 있다.The
그리고, 상기 다수의 발광소자 패키지(200)는 빛이 방출되는 출사면이 상기 도광판(1041)과 소정 거리 이격되도록 탑재될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. 상기 발광소자 패키지(200)는 상기 도광판(1041)의 일측면인 입광부에 광을 직접 또는 간접적으로 제공할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The plurality of light emitting device packages 200 may be mounted such that the light emitting surface of the light emitting
상기 도광판(1041) 아래에는 상기 반사 부재(1022)가 배치될 수 있다. 상기 반사 부재(1022)는 상기 도광판(1041)의 하면으로 입사된 빛을 반사시켜 위로 향하게 함으로써, 상기 라이트 유닛(1050)의 휘도를 향상시킬 수 있다. 상기 반사 부재(1022)는 예를 들어, PET, PC, PVC 레진 등으로 형성될 수 있으나, 이에 대해 한정하지는 않는다. 상기 반사 부재(1022)는 상기 바텀 커버(1011)의 상면일 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The
상기 바텀 커버(1011)는 상기 도광판(1041), 발광모듈(1031) 및 반사 부재(1022) 등을 수납할 수 있다. 이를 위해, 상기 바텀 커버(1011)는 상면이 개구된 박스(box) 형상을 갖는 수납부(1012)가 구비될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. 상기 바텀 커버(1011)는 탑 커버와 결합될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The
상기 바텀 커버(1011)는 금속 재질 또는 수지 재질로 형성될 수 있으며, 프레스 성형 또는 압출 성형 등의 공정을 이용하여 제조될 수 있다. 또한 상기 바텀 커버(1011)는 열 전도성이 좋은 금속 또는 비 금속 재료를 포함할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The
상기 표시 패널(1061)은 예컨대, LCD 패널로서, 서로 대향되는 투명한 재질의 제1 및 제2 기판, 그리고 제1 및 제2 기판 사이에 개재된 액정층을 포함한다. 상기 표시 패널(1061)의 적어도 일면에는 편광판이 부착될 수 있으며, 이러한 편광판의 부착 구조로 한정하지는 않는다. 상기 표시 패널(1061)은 광학 시트(1051)를 통과한 광에 의해 정보를 표시하게 된다. 이러한 표시 장치(1000)는 각 종 휴대 단말기, 노트북 컴퓨터의 모니터, 랩탑 컴퓨터의 모니터, 텔레비젼 등에 적용될 수 있다. The
상기 광학 시트(1051)는 상기 표시 패널(1061)과 상기 도광판(1041) 사이에 배치되며, 적어도 한 장의 투광성 시트를 포함한다. 상기 광학 시트(1051)는 예컨대 확산 시트, 수평 및 수직 프리즘 시트, 및 휘도 강화 시트 등과 같은 시트 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 확산 시트는 입사되는 광을 확산시켜 주고, 상기 수평 또는/및 수직 프리즘 시트는 입사되는 광을 표시 영역으로 집광시켜 주며, 상기 휘도 강화 시트는 손실되는 광을 재사용하여 휘도를 향상시켜 준다. 또한 상기 표시 패널(1061) 위에는 보호 시트가 배치될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The
여기서, 상기 발광 모듈(1031)의 광 경로 상에는 광학 부재로서, 상기 도광판(1041) 및 광학 시트(1051)를 포함할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.Here, the optical path of the
도 12는 실시 예에 따른 표시 장치의 다른 예를 나타낸 도면이다. 12 is a view showing another example of the display device according to the embodiment.
도 12를 참조하면, 표시 장치(1100)는 바텀 커버(1152), 상기에 개시된 발광소자(100)가 어레이된 기판(1020), 광학 부재(1154), 및 표시 패널(1155)을 포함한다. 12, the
상기 기판(1020)과 상기 발광소자 패키지(200)는 발광 모듈(1060)로 정의될 수 있다. 상기 바텀 커버(1152), 적어도 하나의 발광 모듈(1060), 광학 부재(1154)는 라이트 유닛으로 정의될 수 있다. The
상기 바텀 커버(1152)에는 수납부(1153)를 구비할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The
여기서, 상기 광학 부재(1154)는 렌즈, 도광판, 확산 시트, 수평 및 수직 프리즘 시트, 및 휘도 강화 시트 등에서 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 도광판은 PC 재질 또는 PMMA(Poly methy methacrylate) 재질로 이루어질 수 있으며, 이러한 도광판은 제거될 수 있다. 상기 확산 시트는 입사되는 광을 확산시켜 주고, 상기 수평 및 수직 프리즘 시트는 입사되는 광을 표시 영역으로 집광시켜 주며, 상기 휘도 강화 시트는 손실되는 광을 재사용하여 휘도를 향상시켜 준다. Here, the
상기 광학 부재(1154)는 상기 발광 모듈(1060) 위에 배치되며, 상기 발광 모듈(1060)로부터 방출된 광을 면 광원하거나, 확산, 집광 등을 수행하게 된다.The
도 13 내지 도 15는 실시 예에 따른 조명장치를 나타낸 도면이다.13 to 15 are views showing a lighting apparatus according to an embodiment.
도 13은 실시 예에 따른 조명 장치를 위에서 바라본 사시도이고, 도 14는 도 13에 도시된 조명 장치를 아래에서 바라본 사시도이고, 도 15는 도 13에 도시된 조명 장치의 분해 사시도이다.FIG. 13 is a perspective view of the illumination device according to the embodiment viewed from above, FIG. 14 is a perspective view of the illumination device shown in FIG. 13, and FIG. 15 is an exploded perspective view of the illumination device shown in FIG.
도 13 내지 도 15를 참조하면, 실시 예에 따른 조명 장치는 커버(2100), 광원 모듈(2200), 방열체(2400), 전원 제공부(2600), 내부 케이스(2700), 소켓(2800)을 포함할 수 있다. 또한, 실시 예에 따른 조명 장치는 부재(2300)와 홀더(2500) 중 어느 하나 이상을 더 포함할 수 있다. 상기 광원 모듈(2200)은 실시 예에 따른 발광소자 또는 발광소자 패키지를 포함할 수 있다.13 to 15, the lighting apparatus according to the embodiment includes a
예컨대, 상기 커버(2100)는 벌브(bulb) 또는 반구의 형상을 가지며, 속이 비어 있고, 일 부분이 개구된 형상으로 제공될 수 있다. 상기 커버(2100)는 상기 광원 모듈(2200)과 광학적으로 결합될 수 있다. 예를 들어, 상기 커버(2100)는 상기 광원 모듈(2200)로부터 제공되는 빛을 확산, 산란 또는 여기 시킬 수 있다. 상기 커버(2100)는 일종의 광학 부재일 수 있다. 상기 커버(2100)는 상기 방열체(2400)와 결합될 수 있다. 상기 커버(2100)는 상기 방열체(2400)와 결합하는 결합부를 가질 수 있다.For example, the
상기 커버(2100)의 내면에는 유백색 도료가 코팅될 수 있다. 유백색의 도료는 빛을 확산시키는 확산재를 포함할 수 있다. 상기 커버(2100)의 내면의 표면 거칠기는 상기 커버(2100)의 외면의 표면 거칠기보다 크게 형성될 수 있다. 이는 상기 광원 모듈(2200)로부터의 빛이 충분히 산란 및 확산되어 외부로 방출시키기 위함이다. The inner surface of the
상기 커버(2100)의 재질은 유리(glass), 플라스틱, 폴리프로필렌(PP), 폴리에틸렌(PE), 폴리카보네이트(PC) 등일 수 있다. 여기서, 폴리카보네이트는 내광성, 내열성, 강도가 뛰어나다. 상기 커버(2100)는 외부에서 상기 광원 모듈(2200)이 보이도록 투명할 수 있고, 불투명할 수 있다. 상기 커버(2100)는 블로우(blow) 성형을 통해 형성될 수 있다.The
상기 광원 모듈(2200)은 상기 방열체(2400)의 일 면에 배치될 수 있다. 따라서, 상기 광원 모듈(2200)로부터의 열은 상기 방열체(2400)로 전도된다. 상기 광원 모듈(2200)은 광원부(2210), 연결 플레이트(2230), 커넥터(2250)를 포함할 수 있다.The
상기 부재(2300)는 상기 방열체(2400)의 상면 위에 배치되고, 복수의 광원부(2210)들과 커넥터(2250)이 삽입되는 가이드홈(2310)들을 갖는다. 상기 가이드홈(2310)은 상기 광원부(2210)의 기판 및 커넥터(2250)와 대응된다.The
상기 부재(2300)의 표면은 빛 반사 물질로 도포 또는 코팅된 것일 수 있다. 예를 들면, 상기 부재(2300)의 표면은 백색의 도료로 도포 또는 코팅된 것일 수 있다. 이러한 상기 부재(2300)는 상기 커버(2100)의 내면에 반사되어 상기 광원 모듈(2200)측 방향으로 되돌아오는 빛을 다시 상기 커버(2100) 방향으로 반사한다. 따라서, 실시 예에 따른 조명 장치의 광 효율을 향상시킬 수 있다.The surface of the
상기 부재(2300)는 예로서 절연 물질로 이루어질 수 있다. 상기 광원 모듈(2200)의 연결 플레이트(2230)는 전기 전도성의 물질을 포함할 수 있다. 따라서, 상기 방열체(2400)와 상기 연결 플레이트(2230) 사이에 전기적인 접촉이 이루어질 수 있다. 상기 부재(2300)는 절연 물질로 구성되어 상기 연결 플레이트(2230)와 상기 방열체(2400)의 전기적 단락을 차단할 수 있다. 상기 방열체(2400)는 상기 광원 모듈(2200)로부터의 열과 상기 전원 제공부(2600)로부터의 열을 전달받아 방열한다.The
상기 홀더(2500)는 내부 케이스(2700)의 절연부(2710)의 수납홈(2719)를 막는다. 따라서, 상기 내부 케이스(2700)의 상기 절연부(2710)에 수납되는 상기 전원 제공부(2600)는 밀폐된다. 상기 홀더(2500)는 가이드 돌출부(2510)를 갖는다. 상기 가이드 돌출부(2510)는 상기 전원 제공부(2600)의 돌출부(2610)가 관통하는 홀(2511)을 갖는다. The
상기 전원 제공부(2600)는 외부로부터 제공받은 전기적 신호를 처리 또는 변환하여 상기 광원 모듈(2200)로 제공한다. 상기 전원 제공부(2600)는 상기 내부 케이스(2700)의 수납홈(2719)에 수납되고, 상기 홀더(2500)에 의해 상기 내부 케이스(2700)의 내부에 밀폐된다.The
상기 전원 제공부(2600)는 돌출부(2610), 가이드부(2630), 베이스(2650), 연장부(2670)를 포함할 수 있다.The
상기 가이드부(2630)는 상기 베이스(2650)의 일 측에서 외부로 돌출된 형상을 갖는다. 상기 가이드부(2630)는 상기 홀더(2500)에 삽입될 수 있다. 상기 베이스(2650)의 일 면 위에 다수의 부품이 배치될 수 있다. 다수의 부품은 예를 들어, 외부 전원으로부터 제공되는 교류 전원을 직류 전원으로 변환하는 직류변환장치, 상기 광원 모듈(2200)의 구동을 제어하는 구동칩, 상기 광원 모듈(2200)을 보호하기 위한 ESD(ElectroStatic discharge) 보호 소자 등을 포함할 수 있으나 이에 대해 한정하지는 않는다.The
상기 연장부(2670)는 상기 베이스(2650)의 다른 일 측에서 외부로 돌출된 형상을 갖는다. 상기 연장부(2670)는 상기 내부 케이스(2700)의 연결부(2750) 내부에 삽입되고, 외부로부터의 전기적 신호를 제공받는다. 예컨대, 상기 연장부(2670)는 상기 내부 케이스(2700)의 연결부(2750)의 폭과 같거나 작게 제공될 수 있다. 상기 연장부(2670)에는 "+ 전선"과 "- 전선"의 각 일 단이 전기적으로 연결되고, "+ 전선"과 "- 전선"의 다른 일 단은 소켓(2800)에 전기적으로 연결될 수 있다.The
상기 내부 케이스(2700)는 내부에 상기 전원 제공부(2600)와 함께 몰딩부를 포함할 수 있다. 몰딩부는 몰딩 액체가 굳어진 부분으로서, 상기 전원 제공부(2600)가 상기 내부 케이스(2700) 내부에 고정될 수 있도록 한다.The
도 16 및 도 17은 실시 예에 따른 조명장치의 다른 예를 나타낸 도면이다.16 and 17 are views showing another example of the lighting apparatus according to the embodiment.
도 16은 실시 예에 따른 조명 장치의 사시도이고, 도 17은 도 16에 도시된 조명 장치의 분해 사시도이다.FIG. 16 is a perspective view of a lighting apparatus according to the embodiment, and FIG. 17 is an exploded perspective view of the lighting apparatus shown in FIG.
도 16 및 도 17을 참조하면, 실시 예에 따른 조명 장치는 커버(3100), 광원부(3200), 방열체(3300), 회로부(3400), 내부 케이스(3500), 소켓(3600)을 포함할 수 있다. 상기 광원부(3200)는 실시 예에 따른 발광소자 또는 발광소자 패키지를 포함할 수 있다. 16 and 17, the illumination device according to the embodiment includes a
상기 커버(3100)는 벌브(bulb) 형상을 가지며, 속이 비어 있다. 상기 커버(3100)는 개구(3110)를 갖는다. 상기 개구(3110)를 통해 상기 광원부(3200)와 부재(3350)가 삽입될 수 있다. The
상기 커버(3100)는 상기 방열체(3300)와 결합하고, 상기 광원부(3200)와 상기 부재(3350)를 둘러쌀 수 있다. 상기 커버(3100)와 상기 방열체(3300)의 결합에 의해, 상기 광원부(3200)와 상기 부재(3350)는 외부와 차단될 수 있다. 상기 커버(3100)와 상기 방열체(3300)의 결합은 접착제를 통해 결합할 수도 있고, 회전 결합 방식 및 후크 결합 방식 등 다양한 방식으로 결합할 수 있다. 회전 결합 방식은 상기 방열체(3300)의 나사홈에 상기 커버(3100)의 나사산이 결합하는 방식으로서 상기 커버(3100)의 회전에 의해 상기 커버(3100)와 상기 방열체(3300)가 결합하는 방식이고, 후크 결합 방식은 상기 커버(3100)의 턱이 상기 방열체(3300)의 홈에 끼워져 상기 커버(3100)와 상기 방열체(3300)가 결합하는 방식이다.The
상기 커버(3100)는 상기 광원부(3200)와 광학적으로 결합한다. 구체적으로 상기 커버(3100)는 상기 광원부(3200)의 발광 소자(3230)로부터의 광을 확산, 산란 또는 여기시킬 수 있다. 상기 커버(3100)는 일종의 광학 부재일 수 있다. 여기서, 상기 커버(3100)는 상기 광원부(3200)로부터의 광을 여기시키기 위해, 내/외면 또는 내부에 형광체를 가질 수 있다. The
상기 커버(3100)의 내면에는 유백색 도료가 코팅될 수 있다. 여기서, 유백색 도료는 빛을 확산시키는 확산재를 포함할 수 있다. 상기 커버(3100)의 내면의 표면 거칠기는 상기 커버(3100)의 외면의 표면 거칠기보다 클 수 있다. 이는 상기 광원부(3200)로부터의 광을 충분히 산란 및 확산시키기 위함이다.The inner surface of the
상기 커버(3100)의 재질은 유리(glass), 플라스틱, 폴리프로필렌(PP), 폴리에틸렌(PE), 폴리카보네이트(PC) 등일 수 있다. 여기서, 폴리카보네이트는 내광성, 내열성, 강도가 뛰어나다. 상기 커버(3100)는 외부에서 상기 광원부(3200)와 상기 부재(3350)가 보일 수 있는 투명한 재질일 수 있고, 보이지 않는 불투명한 재질일 수 있다. 상기 커버(3100)는 예컨대 블로우(blow) 성형을 통해 형성될 수 있다.The
상기 광원부(3200)는 상기 방열체(3300)의 부재(3350)에 배치되고, 복수로 배치될 수 있다. 구체적으로, 상기 광원부(3200)는 상기 부재(3350)의 복수의 측면들 중 하나 이상의 측면에 배치될 수 있다. 그리고, 상기 광원부(3200)는 상기 부재(3350)의 측면에서도 상단부에 배치될 수 있다.The
도 17에서, 상기 광원부(3200)는 상기 부재(3350)의 6 개의 측면들 중 3 개의 측면들에 배치될 수 있다. 그러나 이에 한정하는 것은 아니고, 상기 광원부(3200)는 상기 부재(3350)의 모든 측면들에 배치될 수 있다. 상기 광원부(3200)는 기판(3210)과 발광 소자(3230)를 포함할 수 있다. 상기 발광 소자(3230)는 기판(3210)의 일 면 상에 배치될 수 있다. In FIG. 17, the
상기 기판(3210)은 사각형의 판 형상을 갖지만, 이에 한정되지 않고 다양한 형태를 가질 수 있다. 예를 들면, 상기 기판(3210)은 원형 또는 다각형의 판 형상일 수 있다. 상기 기판(3210)은 절연체에 회로 패턴이 인쇄된 것일 수 있으며, 예를 들어, 일반 인쇄회로기판(PCB: Printed Circuit Board), 메탈 코아(Metal Core) PCB, 연성(Flexible) PCB, 세라믹 PCB 등을 포함할 수 있다. 또한, 인쇄회로기판 위에 패키지 하지 않은 LED 칩을 직접 본딩할 수 있는 COB(Chips On Board) 타입을 사용할 수 있다. 또한, 상기 기판(3210)은 광을 효율적으로 반사하는 재질로 형성되거나, 표면이 광을 효율적으로 반사하는 컬러, 예를 들어 백색, 은색 등으로 형성될 수 있다. 상기 기판(3210)은 상기 방열체(3300)에 수납되는 상기 회로부(3400)와 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 기판(3210)과 상기 회로부(3400)는 예로서 와이어(wire)를 통해 연결될 수 있다. 와이어는 상기 방열체(3300)를 관통하여 상기 기판(3210)과 상기 회로부(3400)를 연결시킬 수 있다.The
상기 발광 소자(3230)는 적색, 녹색, 청색의 광을 방출하는 발광 다이오드 칩이거나 UV를 방출하는 발광 다이오드 칩일 수 있다. 여기서, 발광 다이오드 칩은 수평형(Lateral Type) 또는 수직형(Vertical Type)일 수 있고, 발광 다이오드 칩은 청색(Blue), 적색(Red), 황색(Yellow), 또는 녹색(Green)을 발산할 수 있다.The
상기 발광 소자(3230)는 형광체를 가질 수 있다. 형광체는 가넷(Garnet)계(YAG, TAG), 실리케이드(Silicate)계, 나이트라이드(Nitride)계 및 옥시나이트라이드(Oxynitride)계 중 어느 하나 이상일 수 있다. 또는 형광체는 황색 형광체, 녹색 형광체 및 적색 형광체 중 어느 하나 이상일 수 있다.The
상기 방열체(3300)는 상기 커버(3100)와 결합하고, 상기 광원부(3200)로부터의 열을 방열할 수 있다. 상기 방열체(3300)는 소정의 체적을 가지며, 상면(3310), 측면(3330)을 포함한다. 상기 방열체(3300)의 상면(3310)에는 부재(3350)가 배치될 수 있다. 상기 방열체(3300)의 상면(3310)은 상기 커버(3100)와 결합할 수 있다. 상기 방열체(3300)의 상면(3310)은 상기 커버(3100)의 개구(3110)와 대응되는 형상을 가질 수 있다.The
상기 방열체(3300)의 측면(3330)에는 복수의 방열핀(3370)이 배치될 수 있다. 상기 방열핀(3370)은 상기 방열체(3300)의 측면(3330)에서 외측으로 연장된 것이거나 측면(3330)에 연결된 것일 수 있다. 상기 방열핀(3370)은 상기 방열체(3300)의 방열 면적을 넓혀 방열 효율을 향상시킬 수 있다. 여기서, 측면(3330)은 상기 방열핀(3370)을 포함하지 않을 수도 있다.A plurality of radiating
상기 부재(3350)는 상기 방열체(3300)의 상면(3310)에 배치될 수 있다. 상기 부재(3350)는 상면(3310)과 일체일 수도 있고, 상면(3310)에 결합된 것일 수 있다. 상기 부재(3350)는 다각 기둥일 수 있다. 구체적으로, 상기 부재(3350)는 육각 기둥일 수 있다. 육각 기둥의 부재(3350)는 윗면과 밑면 그리고 6 개의 측면들을 갖는다. 여기서, 상기 부재(3350)는 다각 기둥뿐만 아니라 원 기둥 또는 타원 기둥일 수 있다. 상기 부재(3350)가 원 기둥 또는 타원 기둥일 경우, 상기 광원부(3200)의 상기 기판(3210)은 연성 기판일 수 있다.The
상기 부재(3350)의 6 개의 측면에는 상기 광원부(3200)가 배치될 수 있다. 6 개의 측면 모두에 상기 광원부(3200)가 배치될 수도 있고, 6 개의 측면들 중 몇 개의 측면들에 상기 광원부(3200)가 배치될 수도 있다. 도 15에서는 6 개의 측면들 중 3 개의 측면들에 상기 광원부(3200)가 배치되어 있다. The
상기 부재(3350)의 측면에는 상기 기판(3210)이 배치된다. 상기 부재(3350)의 측면은 상기 방열체(3300)의 상면(3310)과 실질적으로 수직을 이룰 수 있다. 따라서, 상기 기판(3210)과 상기 방열체(3300)의 상면(310)은 실질적으로 수직을 이룰 수 있다. The
상기 부재(3350)의 재질은 열 전도성을 갖는 재질일 수 있다. 이는 상기 광원부(3200)로부터 발생되는 열을 빠르게 전달받기 위함이다. 상기 부재(3350)의 재질로서는 예를 들면, 알루미늄(Al), 니켈(Ni), 구리(Cu), 마그네슘(Mg), 은(Ag), 주석(Sn) 등과 상기 금속들의 합금일 수 있다. 또는 상기 부재(3350)는 열 전도성을 갖는 열 전도성 플라스틱으로 형성될 수 있다. 열 전도성 플라스틱은 금속보다 무게가 가볍고, 단방향성의 열 전도성을 갖는 이점이 있다.The material of the
상기 회로부(3400)는 외부로부터 전원을 제공받고, 제공받은 전원을 상기 광원부(3200)에 맞게 변환한다. 상기 회로부(3400)는 변환된 전원을 상기 광원부(3200)로 공급한다. 상기 회로부(3400)는 상기 방열체(3300)에 배치될 수 있다. 구체적으로, 상기 회로부(3400)는 상기 내부 케이스(3500)에 수납되고, 상기 내부 케이스(3500)와 함께 상기 방열체(3300)에 수납될 수 있다. 상기 회로부(3400)는 회로 기판(3410)과 상기 회로 기판(3410) 상에 탑재되는 다수의 부품(3430)을 포함할 수 있다. The
상기 회로 기판(3410)은 원형의 판 형상을 갖지만, 이에 한정되지 않고 다양한 형태를 가질 수 있다. 예를 들면, 상기 회로 기판(3410)은 타원형 또는 다각형의 판 형상일 수 있다. 이러한 회로 기판(3410)은 절연체에 회로 패턴이 인쇄된 것일 수 있다. 상기 회로 기판(3410)은 상기 광원부(3200)의 기판(3210)과 전기적으로 연결된다. 상기 회로 기판(3410)과 상기 기판(3210)의 전기적 연결은 예로서 와이어(wire)를 통해 연결될 수 있다. 와이어는 상기 방열체(3300)의 내부에 배치되어 상기 회로 기판(3410)과 상기 기판(3210)을 연결할 수 있다. 다수의 부품(3430)은 예를 들어, 외부 전원으로부터 제공되는 교류 전원을 직류 전원으로 변환하는 직류변환장치, 상기 광원부(3200)의 구동을 제어하는 구동칩, 상기 광원부(3200)를 보호하기 위한 ESD(ElectroStatic discharge) 보호 소자 등을 포함할 수 있다.The
상기 내부 케이스(3500)는 내부에 상기 회로부(3400)를 수납한다. 상기 내부 케이스(3500)는 상기 회로부(3400)를 수납하기 위해 수납부(510)를 가질 수 있다. 상기 수납부(3510)는 예로서 원통 형상을 가질 수 있다. 상기 수납부(3510)의 형상은 상기 방열체(3300)의 형상에 따라 달라질 수 있다. 상기 내부 케이스(3500)는 상기 방열체(3300)에 수납될 수 있다. 상기 내부 케이스(3500)의 수납부(3510)는 상기 방열체(3300)의 하면에 형성된 수납부에 수납될 수 있다. The
상기 내부 케이스(3500)는 상기 소켓(3600)과 결합될 수 있다. 상기 내부 케이스(3500)는 상기 소켓(3600)과 결합하는 연결부(3530)를 가질 수 있다. 상기 연결부(3530)는 상기 소켓(3600)의 나사홈 구조와 대응되는 나사산 구조를 가질 수 있다. 상기 내부 케이스(3500)는 부도체이다. 따라서, 상기 회로부(3400)와 상기 방열체(3300) 사이의 전기적 단락을 막는다. 예로서 상기 내부 케이스(3500)는 플라스틱 또는 수지 재질로 형성될 수 있다.The
상기 소켓(600)은 상기 내부 케이스(500)와 결합될 수 있다. 구체적으로, 상기 소켓(3600)은 상기 내부 케이스(3500)의 연결부(3530)와 결합될 수 있다. 상기 소켓(3600)은 종래 재래식 백열 전구와 같은 구조를 가질 수 있다. 상기 회로부(3400)와 상기 소켓(3600)은 전기적으로 연결된다. 상기 회로부(3400)와 상기 소켓(3600)의 전기적 연결은 와이어(wire)를 통해 연결될 수 있다. 따라서, 상기 소켓(3600)에 외부 전원이 인가되면, 외부 전원은 상기 회로부(3400)로 전달될 수 있다. 상기 소켓(3600)은 상기 연결부(3550)의 나사산 구조과 대응되는 나사홈 구조를 가질 수 있다.The socket 600 may be coupled to the inner case 500. Specifically, the
이상에서 실시 예들에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 본 발명의 적어도 하나의 실시 예에 포함되며, 반드시 하나의 실시 예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시 예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시 예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의해 다른 실시 예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The features, structures, effects and the like described in the embodiments are included in at least one embodiment of the present invention and are not necessarily limited to one embodiment. Further, the features, structures, effects, and the like illustrated in the embodiments can be combined and modified by other persons having ordinary skill in the art to which the embodiments belong. Therefore, it should be understood that the present invention is not limited to these combinations and modifications.
또한, 이상에서 실시 예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시 예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시 예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be taken by way of illustration, It can be seen that various modifications and applications are possible. For example, each component specifically shown in the embodiments can be modified and implemented. It is to be understood that all changes and modifications that come within the meaning and range of equivalency of the claims are therefore intended to be embraced therein.
10: 발광구조물
11: 제1 도전형 반도체층
12: 활성층
13: 제2 도전형 반도체층
15: 오믹접촉층
17: 반사전극
30: 제1 금속층
40: 제1 절연층
42: 제2 절연층
50: 제2 금속층
60: 본딩층
70: 지지부재
80: 컨택부
83: 볼륨 에미팅층
85: Ti 산화물층
87: 형광체
93: 지지부
95: 반사층
10: light emitting structure 11: first conductive type semiconductor layer
12: active layer 13: second conductivity type semiconductor layer
15: ohmic contact layer 17: reflective electrode
30: first metal layer 40: first insulating layer
42: second insulating layer 50: second metal layer
60: bonding layer 70: supporting member
80: contact portion 83: volume emitting layer
85: Ti oxide layer 87: Phosphor
93: Support part 95: Reflective layer
Claims (1)
상기 지지부재 상에 배치되는 본딩층;
상기 본딩층 상에 배치되는 제2 금속층;
상기 제2 금속층 상에 배치되는 제2 도전형 반도체층, 상기 제2 도전형 반도체층 상에 배치되는 활성층 및 상기 활성층 상에 배치되는 제1 도전형 반도체층을 포함하는 발광구조물;
상기 제2 도전형 반도체층과 전기적으로 연결되는 제1 금속층;
상기 제2 도전형 반도체층, 상기 활성층을 관통하고 상기 제1 도전형 반도체층의 일부를 관통하는 제1 홈;
상기 제1 홈과 이격되어 배치되며, 상기 제2 도전형 반도체층, 상기 활성층을 관통하고 상기 제1 도전형 반도체층의 일부를 관통하는 제2 홈;
상기 제1 홈에 배치되며, 상기 제1 도전형 반도체층 및 상기 제2 금속층에 전기적으로 연결된 컨택부;
상기 제1 홈에 배치되는 제1 부 및 상기 제1 부에서 상기 발광구조물의 측면으로 연장되는 제2부를 포함하는 제1 절연층; 및
상기 제2 홈에 배치된 제2 절연층;을 포함하는 발광소자.A support member comprising a metal;
A bonding layer disposed on the support member;
A second metal layer disposed on the bonding layer;
A light emitting structure including a second conductive type semiconductor layer disposed on the second metal layer, an active layer disposed on the second conductive type semiconductor layer, and a first conductive type semiconductor layer disposed on the active layer;
A first metal layer electrically connected to the second conductive semiconductor layer;
The second conductivity type semiconductor layer, a first groove penetrating the active layer and penetrating a part of the first conductivity type semiconductor layer;
A second groove that is disposed apart from the first groove and penetrates the second conductivity type semiconductor layer, the active layer, and penetrates a part of the first conductivity type semiconductor layer;
A contact disposed in the first groove and electrically connected to the first conductive type semiconductor layer and the second metal layer;
A first insulating layer including a first portion disposed in the first groove and a second portion extending in a side surface of the light emitting structure in the first portion; And
And a second insulating layer disposed in the second groove.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020180158160A KR102023089B1 (en) | 2018-12-10 | 2018-12-10 | Light emitting device, light emitting device package, and light unit |
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---|---|---|---|
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020180063769A Division KR101929894B1 (en) | 2018-06-01 | 2018-06-01 | Light emitting device, light emitting device package, and method of manufacturing the same |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20180134805A true KR20180134805A (en) | 2018-12-19 |
KR102023089B1 KR102023089B1 (en) | 2019-11-04 |
Family
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR102023089B1 (en) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210143452A (en) | 2020-05-20 | 2021-11-29 | 삼성전자주식회사 | Semiconductor light emitting device and light emitting device package having the same |
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---|---|---|---|---|
KR20100044726A (en) * | 2008-10-22 | 2010-04-30 | 삼성엘이디 주식회사 | Semiconductor light emitting device |
KR20120002894A (en) * | 2010-07-01 | 2012-01-09 | 엘지이노텍 주식회사 | Light emitting device, method for fabricating the light emitting device, light emitting device package and lighting system |
KR20120004876A (en) * | 2010-07-07 | 2012-01-13 | 엘지이노텍 주식회사 | Light emitting device, method for fabricating the light emitting device, light emitting device package and lighting system |
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