[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

KR20140119603A - 카세트 이송용 수동대차 - Google Patents

카세트 이송용 수동대차 Download PDF

Info

Publication number
KR20140119603A
KR20140119603A KR1020130056519A KR20130056519A KR20140119603A KR 20140119603 A KR20140119603 A KR 20140119603A KR 1020130056519 A KR1020130056519 A KR 1020130056519A KR 20130056519 A KR20130056519 A KR 20130056519A KR 20140119603 A KR20140119603 A KR 20140119603A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cassette
main body
support frame
bracket
cassettes
Prior art date
Application number
KR1020130056519A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101504760B1 (ko
Inventor
안승욱
강명일
김명진
Original Assignee
주식회사 티이에스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 티이에스 filed Critical 주식회사 티이에스
Publication of KR20140119603A publication Critical patent/KR20140119603A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101504760B1 publication Critical patent/KR101504760B1/ko

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6734Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders specially adapted for supporting large square shaped substrates
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773Conveying cassettes, containers or carriers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

카세트 이송용 수동대차가 개시된다. 본 발명에 따른 카세트 이송용 수동대차는, 2개의 카세트를 상하로 간격을 가지면서 탑재 지지할 수 있고, 2개의 카세트는 승강된다. 그러므로, 하나의 수동대차를 이용하여 한번에 챔버로부터 사용후의 마스크가 적재된 카세트를 전달받을 수 있고, 챔버로 사용전의 마스크가 적재된 카세트를 전달할 수 있다. 따라서, 생산성이 향상되는 효과가 있다. 그리고, 상하로 간격을 가지면서 탑재 지지된 2개의 카세트가 승강되므로, 컨베이어의 높이 및 챔버의 높이에 따라 카세트의 높이를 조절하여 사용할 수 있다. 그러므로, 하나의 수동대차를 이용하여 다양한 높이를 가지는 장비에 적용하여 사용할 수 있으므로, 경제적인 효과가 있다.

Description

카세트 이송용 수동대차 {MANUAL GUIDED VEHICLE FOR TRANSFERRING CASSETTE}
본 발명은 장비와 장비 사이에서 카세트를 이송하는 카세트 이송용 수동대차에 관한 것이다.
반도체 소자 또는 유기 전계 발광 소자의 제조시에는 집적 회로나 인쇄 배선판을 형성하기 위하여 소정의 패턴이 형성된 금속재의 마스크(Mask)를 이용하여 노광 공정을 수행하거나 스퍼터링 공정을 수행한다.
마스크는 복수개가 카세트(Cassette)에 적재 저장되며, 카세트는 수동대차(MGV: Manual Guided Vehicle)에 탑재되어 장비와 장비 사이에서 이송된다.
도 1a는 종래의 카세트 이송용 수동대차의 사시도로서, 이를 설명한다.
도시된 바와 같이, 종래의 카세트 이송용 수동대차(10)는 대략 육면체를 이루는 프레임(11)과 프레임(11)의 전면, 후면, 좌측면 및 우측면에 각각 결합된 도어(13)를 포함할 수 있다.
프레임(11)과 도어(13)에 의하여 형성되는 공간에 카세트(50)가 탑재 지지되며, 카세트(50)에는 복수의 마스크(60)가 상하로 간격을 가지면서 적재 지지된다.
종래의 수동대차를 이용하여 카세트(50)를 이송하는 방법을 도 1a 및 도 1b를 참조하여 설명한다. 도 1b는 도 1a에 도시된 수동대차를 이용하여 카세트를 이송하는 것을 보인 사시도이다.
도시된 바와 같이, 사용전의 복수의 마스크(60)가 적재된 카세트(50)가 컨베이어(70)에 탑재되어 이송되면, 수동대차(10)를 컨베이어(70)측으로 밀어서 이동시킨다. 그리고, 컨베이어(70)에 탑재된 카세트(50)를 수동대차(10) 측으로 밀어서 수동대차(10)의 내부에 카세트(50)를 탑재시킨다.
그 후, 수동대차(10)를 크린룸(80)의 일측에 설치된 마스크용 챔버(85)로 밀어서 이동시킨 다음, 수동대차(10)의 카세트(50)를 챔버(85)측으로 밀어서 챔버(85)로 이송시킨다. 챔버(85)로 이송된 카세트(50)에 적재된 마스크(60)는 필요로 하는 공정에서 사용된 다음, 다시 카세트(50)에 적재 보관된다.
그 후, 사용전의 새로운 마스크(60)가 적재된 카세트(50)를 챔버(85)측으로 이송하기 위해서는, 카세트(50)가 탑재되지 않은 빈 수동대차(10)를 챔버(85)측으로 이동시켜 사용된 마스크(60)가 적재된 카세트(50)를 챔버(85)로부터 빼낸 후, 전술한 방법으로, 사용전의 마스크(60)가 적재된 카세트(50)를 챔버(85)로 이송시킨다.
상기와 같은 종래의 카세트 이송용 수동대차는 하나의 카세트(50) 만을 탑재 지지할 수 있으므로, 사용된 마스크(60)가 적재된 카세트(50)를 챔버(85)로부터 빼내어 이송한 다음, 사용전의 마스크(60)가 적재된 카세트(50)를 챔버(85)로 이송시켜야 한다. 이로 인해, 생산성이 저하되는 단점이 있다.
그리고, 바닥에서부터 수동대차(10)에 탑재된 카세트(50)의 하면까지의 높이를 조절할 수 없다. 이로 인해, 컨베이어(70)의 높이 및 챔버(80)의 높이에 따라 이에 대응되는 수동대차(10)를 사용하여야 하므로, 각 장비의 사양별로 별개의 수동대차(10)를 제작하여야 한다. 따라서, 비경제적인 단점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점들을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 생산성을 향상시킬 수 있음과 동시에 경제적인 카세트 이송용 수동대차를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 카세트 이송용 수동대차는, 바닥에 대하여 이동가능하게 설치되며, 내부에는 마스크가 각각 적재된 복수의 카세트가 탑재되는 본체; 상기 본체의 내부에 승강가능하게 설치되며 어느 하나의 상기 카세트가 탑재 지지되는 제1승강브라켓; 상기 제1승강브라켓 상측의 상기 본체의 내부에 승강가능하게 설치되며 다른 하나의 상기 카세트가 탑재 지지되는 제2승강브라켓을 포함한다.
본 발명에 따른 카세트 이송용 수동대차는, 2개의 카세트를 상하로 간격을 가지면서 탑재 지지할 수 있고, 2개의 카세트는 승강된다. 그러므로, 하나의 수동대차를 이용하여 한번에 챔버로부터 사용후의 마스크가 적재된 카세트를 전달받을 수 있고, 챔버로 사용전의 마스크가 적재된 카세트를 전달할 수 있다. 따라서, 생산성이 향상되는 효과가 있다.
그리고, 상하로 간격을 가지면서 탑재 지지된 2개의 카세트가 승강되므로, 컨베이어의 높이 및 챔버의 높이에 따라 카세트의 높이를 조절하여 사용할 수 있다. 그러므로, 하나의 수동대차를 이용하여 다양한 높이를 가지는 장비에 적용하여 사용할 수 있으므로, 경제적인 효과가 있다.
도 1a는 종래의 카세트 이송용 수동대차의 사시도.
도 1b는 도 1a에 도시된 수동대차를 이용하여 카세트를 이송하는 것을 보인 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 이송용 수동대차의 사시도.
도 3은 도 2에 도시된 수동대차의 전면측 도어를 제거하고, 상측의 카세트를 인출한 상태의 사시도.
도 4는 도 3에 도시된 수동대차의 우측면측 도어를 제거하고, 카세트를 제거한상태의 사시도.
도 5는 도 4의 저면 사시도.
도 6 및 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 이송용 수동대차를 이용하여 카세트를 이송하는 것을 보인 사시도.
후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예에 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭하며, 길이 및 면적, 두께 등과 그 형태는 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 이송용 수동대차를 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 이송용 수동대차의 사시도이고, 도 3은 도 2에 도시된 수동대차의 전면측 도어를 제거하고, 상측의 카세트를 인출한 상태의 사시도이며, 도 4는 도 3에 도시된 수동대차의 우측면측 도어를 제거하고, 카세트를 제거한상태의 사시도이고, 도 5는 도 4의 저면 사시도이다.
도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 카세트 이송용 수동대차는 카세트(50)가 탑재 지지되는 공간이 내부에 형성된 본체(110)를 포함한다. 본체(110)의 내부에는 복수의 카세트(50)가 탑재 지지될 수 있으나, 2개의 카세트(50)가 상하로 간격을 가지면서 탑재 지지되는 것이 바람직하다.
카세트(50)에는 복수의 마스크(60)가 상하로 간격을 가지면서 적재 보관된다.
본체(110)는 전면, 후면, 좌측면 및 우측면이 개방되어 대략 육면체 형상으로 형성된 지지프레임(111), 지지프레임(111)의 전면, 후면, 좌측면 및 우측면에 각각 결합되어 지지프레임(111)의 전면, 후면, 좌측면 및 우측면을 각각 개폐하는 도어(113) 및 지지프레임(111)의 하면 모서리부측 설치된 복수의 수동이송롤러(115)를 포함할 수 있으며, 바닥에 대하여 이동가능하게 설치된다.
본체(110)의 지지프레임(111)의 내부에는 제1승강브라켓(120)이 승강가능하게 설치되고, 제1승강브라켓(120) 상측의 본체(110)의 지지프레임(111)의 내부에는 제2승강브라켓(130)이 승강가능하게 설치된다. 2개의 카세트(50) 중, 어느 하나의 카세트(50)는 제1승강브라켓(120)에 탑재 지지되고, 다른 하나의 카세트(50)는 제2승강브라켓(130)에 탑재 지지된다.
제1승강브라켓(120)은 상호 대향하는 한쌍으로 마련되어, 어느 하나는 지지프레임(111)의 좌측면에 설치되고, 다른 하나는 지지프레임(111)의 우측면측에 설치된다.
제2승강브라켓(130)은 제1승강브라켓(120)과 동일하게 마련된다. 즉, 제2승강브라켓(130)도 상호 대향하는 한쌍으로 마련되어, 어느 하나는 지지프레임(111)의 좌측면에 설치되고, 다른 하나는 지지프레임(111)의 우측면측에 설치된다.
이때, 제1승강브라켓(120) 및 제2승강브라켓(130)은 본체(110)의 전후방향과 평행하게 설치된다.
카세트(50)를 본체(110)의 내부로 용이하게 인입하고, 본체(110)의 외부로 용이하게 인출할 수 있도록, 제1승강브라켓(120) 및 제2승강브라켓(130)에는 이송/지지롤러(122, 132)가 각각 설치될 수 있다. 이송/지지롤러(122, 132)는 카세트(50)의 하면 테두리부측과 카세트(50)의 측면 하측 부위와 접촉하여 카세트(50)의 이송을 안내함과 동시에 본체(110)에 탑재된 카세트(50)를 지지한다.
제1승강브라켓(120) 및 제2승강브라켓(130)이 안정되게 승강할 수 있도록, 지지프레임(111)의 내부 모서리부측에는 수직안내바(141)가 각각 설치된다. 그리고, 각각의 수직안내바(141)에는 수직안내바(141)를 따라 승강가능하게 제1승강블럭(143a) 및 제2승강블럭(143b)이 각각 설치된다.
각각의 수직안내바(141)에 설치된 제1승강블럭(143a)과 제2승강블럭(143b)은 상하로 간격을 가지면서 각각 설치된다. 그리고, 제1승강블럭(143a)에는 제1승강브라켓(120)이 지지되고, 제2승강블럭(143b)에는 제2승강브라켓(130)이 지지된다. 그리하여, 제1승강블럭(143a)에 의하여 제1승강브라켓(120)이 승강하고, 제2승강블럭(143b)에 의하여 제2승강브라켓(130)이 승강한다.
각각의 수직안내바(141)에 설치된 제1승강블럭(143a)과 제2승강블럭(143b)은 상호 연결되어 연동하는 것이 바람직하다. 이때, 이송하고자 하는 카세트(50)의 높이에 따라 제1승강블럭(143a)과 제2승강블럭(143b) 사이의 간격을 적절하게 조절하면 된다.
지지프레임(110)의 상면에는 제1승강블럭(143a) 및 제2승강블럭(143b)을 승강시키는 구동유닛(145)이 설치된다. 구동유닛(145)은 모터(145a)와 일측은 모터(145a)에 연결되고 타측은 제1승강블럭(143a)에 연결되어 모터(145a)의 회전력을 직선운동으로 변환하는 동력변환부(145b)를 포함할 수 있다. 제1승강블럭(143a)과 제2승강블럭(143b)은 상호 연결되어 연동하므로, 구동유닛(145)은 상측에 위치된 제2승강블럭(143b)과 연결되어 제2승강블럭(143b)만 승강시키면 제2승강블럭(143a)도 승강한다.
복수의 금속재의 마스크(60)가 적재 저장된 카세트(50)가 본체(110)에 탑재 지지되므로, 작업자가 본체(110)를 이동시키기 위해서는 많은 힘이 소요되어 불편하다.
이러한 불편함을 해소하기 위하여, 지지프레임(111)의 하면 외측에는 전동이송롤러(151)가 설치될 수 있고, 지지프레임(111)의 하면 내측에는 전동이송롤러(151)를 구동하기 위한 전원을 공급하는 배터리(153)가 설치될 수 있다.
지지프레임(111)의 외면에는 전동이송롤러(151)로 공급되는 전원을 차단하는 범퍼스위치(155)가 설치될 수 있다. 범퍼스위치(155)는 작용하는 하중에 의하여 작동하면서 전동이송롤러(151)로 공급되는 전원을 차단한다. 전동이송롤러(151)로 전원을 다시 공급하기 위해서는 스위치(미도시)을 동작시키면 된다.
전동이송롤러(151)는 지지프레임(111)의 하면 전방측에 설치되고, 지지프레임(111)의 하면 전방측에 설치된 수동이송롤러(115)는 높이조절가능하게 설치될 수 있다. 이는, 전동이송롤러(151)를 이용하여 본체(110)를 이동시킬 경우에는 지지프레임(111)의 하면 전방측에 설치된 수동이송롤러(115)가 바닥과 접촉되지 않게 하고, 수동이송롤러(115)만을 이용하여 본체(110)를 이동시킬 경우에는 지지프레임(111)의 하면 전방측에 설치된 수동이송롤러(115)가 바닥과 접촉되게 하기 위함이다.
지지프레임(111)의 내부에는 제1승강브라켓(120) 및 제2승강브라켓(130)에 탑재 지지된 카세트(50)의 일측에 걸려서 카세트(50)가 본체(110)의 전후방향으로 이동하는 것을 방지하는 래치(미도시)가 설치될 수 있다.
본체(110)는 컨베이어(210)(도 6 및 도 7 참조) 등과 같은 장비와 챔버(230)(도 6 및 도 7 참조) 등과 같은 장비 사이를 이동하면서 카세트(50)를 이송한다. 이때, 본체(110)가 컨베이어(210)의 정해진 위치에 위치되어야 컨베이어(210)로부터 카세트(50)를 정확하게 전달받을 수 있고, 챔버(230)의 정해진 위치에 위치되어야 챔버(230)로 카세트(50)를 정확하게 전달하거나 전달받을 수 있다.
이를 위하여, 장비측에는 안내블럭(160)(도 6 및 도 7 참조)이 설치되고, 본체(110)의 하면에는 안내블럭(160)의 일측에 삽입되어 본체(110)의 정지위치를 안내하는 안내돌기(117)가 형성될 수 있다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 이송용 수동대차를 이용하여 카세트를 이송하는 것을 보인 사시도로서, 이를 설명한다.
도 6에 도시된 바와 같이, 사용전의 복수의 마스크(60)가 적재된 카세트(50)가 컨베이어(210)에 탑재되어 이송되면, 본체(110)를 컨베이어(210)측으로 밀어서 이동시키거나 전동이송롤러(151)(도 5 참조)를 이용하여 이동시킨다. 이때, 본체(110)의 안내돌기(117)(도 4 참조)가 컨베이어(210)측에 설치된 안내블럭(160)에 삽입되게 한 다음, 본체(110)를 정지시킨다.
그리고, 컨베이어(210)에 탑재된 카세트(50)를 본체(110) 측으로 밀어서 제1승강브라켓(120)(도 4 참조)에 카세트(50)를 탑재 지지한 다음, 제1승강브라켓(120)과 함께 제2승강브라켓(130)(도 4 참조)을 하강시킨 다음, 또 다른 카세트(50)를 본체(110) 측으로 밀어서 제2승강브라켓(130)에 카세트(50)를 탑재 지지한다.그 후, 도 6에 도시된 바와 같이, 본체(110)를 크린룸의 일측에 설치된 마스크용 챔버(230)로 밀어서 이동시킨 다음, 본체(110)의 카세트(50)를 챔버(230)측으로 밀어서 챔버(230)로 이송시킨다. 챔버(230)에는 카세트(50)를 지지하기 위한 스테이지(미도시)가 설치될 수 있고, 상기 스테이지는 상하로 복수개 마련되어 승강가능하게 설치될 수 있다.
챔버(230)로 이송된 카세트(50)에 적재된 마스크(60)는 필요로 하는 공정에서 사용된 다음, 다시 카세트(50)에 적재 보관된다.
사용전의 마스크(60)가 적재된 새로운 카세트(50)를 이송하기 위해서는, 본체(110)를 컨베이어(210)측으로 다시 이동시켜 사용전의 새로운 마스크(60)가 적재된 카세트(50)를 제1이송브라켓(120)에 탑재 지지한 다음, 본체(110)를 챔버(230)측으로 이동시킨다. 그리고, 챔버(230)에 놓인 사용후의 마스크(50)가 적재된 카세트(50)를 본체(110)측으로 밀어서 제2이송브라켓(130)에 탑재 지지한 다음, 제2이송브라켓(130)과 함께 제1이송브라켓(120)을 상승시켜 제1이송브라켓(120)에 탑재된 사용전의 마스크(60)가 적재된 카세트(50)를 챔버(230)측으로 밀어서 이동시킨다.
그리고, 본체(110)를 세정용 장비측으로 이동시켜 사용후의 마스크(60)가 적재된 카세트(50)를 세정용 장비측으로 이송한 다음, 본체(110)를 컨베이어(210)로 다시 이동시켜 전술한 이송과정을 반복하면 된다. 본체(110)의 도어(113)는 적절한 시기에 개폐하면 된다.
전술한 바와 같이, 제1승강블럭(143a) (도 4 참조)과 제2승강블럭(143b) (도 4 참조)은 상호 연결되어 연동하고, 제1승강블럭(143a) 및 제2승강블럭(143b)은 제1승강브라켓(120) 및 제2승강브라켓(130)과 각각 연결되어 있다. 따라서, 구동유닛(145)(도 4 참조)으로 제2승강블럭(143b)만을 승강시키면 제1승강브라켓(120)과 제2승강브라켓(130)은 연동하여 함께 승강한다.
본 실시예에 따른 카세트 이송용 수동대차는 2개의 카세트를 상하로 간격을 가지면서 탑재 지지할 수 있고, 2개의 카세트는 승강된다. 따라서, 하나의 수동대차를 이용하여 한번에 챔버(230)로부터 사용후의 마스크(60)가 적재된 카세트(50)를 전달받을 수 있고, 챔버(230)로 사용전의 마스크(60)가 적재된 카세트(50)를 전달할 수 있다.
그리고, 상하로 간격을 가지면서 탑재 지지된 2개의 카세트가 승강되므로, 컨베이어(70)의 높이 및 챔버(230)의 높이에 따라 카세트(50)의 높이를 조절하여 사용할 수 있다.
상기와 같이 기술된 본 발명의 실시예들에 대한 도면은 자세한 윤곽 라인을 생략한 것으로서, 본 발명의 기술사상에 속하는 부분을 쉽게 알 수 있도록 개략적으로 도시한 것이다. 또한, 상기 실시예들은 본 발명의 기술사상을 한정하는 기준이 될 수 없으며, 본 발명의 청구범위에 포함된 기술사항을 이해하기 위한 참조적인 사항에 불과하다.
110: 본체
120: 제1승강브라켓
130: 제2승강브라켓

Claims (10)

  1. 바닥에 대하여 이동가능하게 설치되며, 내부에는 마스크가 각각 적재된 복수의 카세트가 탑재되는 본체;
    상기 본체의 내부에 승강가능하게 설치되며 어느 하나의 상기 카세트가 탑재 지지되는 제1승강브라켓;
    상기 제1승강브라켓 상측의 상기 본체의 내부에 승강가능하게 설치되며 다른 하나의 상기 카세트가 탑재 지지되는 제2승강브라켓을 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 이송용 수동대차.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 본체는,
    육면체 형상으로 형성된 지지프레임;
    상기 지지프레임의 전면, 후면, 좌측면 및 우측면에 각각 결합된 도어;
    상기 지지프레임의 하면 모서리부측 설치된 복수의 수동이송롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 이송용 수동대차.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 지지프레임의 하면에는 전동이송롤러가 설치되고,
    상기 지지프레임에는 상기 전동이송롤러를 구동하기 위한 전원을 공급하는 배터리가 설치된 것을 특징으로 하는 카세트 이송용 수동대차.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 지지프레임의 외면에는 상기 전동이송롤러로 공급되는 전원을 차단하는 범퍼스위치가 설치된 것을 특징으로 하는 카세트 이송용 수동대차.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 전동이송롤러는 상기 본체의 전면측에 설치되고,
    상기 본체의 전면측에 설치된 상기 수동이송롤러는 높이조절가능하게 설치된 것을 특징으로 하는 카세트 이송용 수동대차.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 제1승강브라켓은 상기 본체의 일측면 및 타측면측에 상호 대향되게 설치된 한쌍으로 마련되고,
    상기 제2승강브라켓은 상기 본체의 일측면 및 타측면측에 상호 대향되게 설치된 한쌍으로 마련되며,
    상기 제1승강브라켓 및 상기 제2승강브라켓에는 상기 카세트의 하면 테두리부측과 상기 카세트의 측면 하측 부위와 접촉하여 상기 카세트의 이송을 안내함과 동시에 상기 카세트를 지지하는 이송/지지롤러가 각각 설치된 것을 특징으로 하는 카세트 이송용 수동대차.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 본체의 내부 모서리부측에는 수직안내바가 각각 설치되고,
    각각의 상기 수직안내바에는 상기 수직안내바를 따라 승강하면서 상기 제1승강브라켓 및 상기 제2승강브라켓을 각각 승강시키는 제1승강블럭 및 제2승강블럭이 각각 설치된 것을 특징으로 하는 카세트 이송용 수동대차.
  8. 제7항에 있어서,
    각각의 상기 수직안내바에 설치된 상기 제1승강블럭과 상기 제2승강블럭은 상호 연결되어 연동하는 것을 특징으로 하는 카세트 이송용 수동대차.
  9. 제2항에 있어서,
    상기 지지프레임에는 상기 제1승강브라켓 및 제2승강브라켓에 탑재 지지된 상기 카세트가 상기 본체의 전후방향으로 이동하는 것을 방지하는 래치가 설치된 것을 특징으로 하는 카세트 이송용 수동대차.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 본체로 상기 카세트를 전달하기 위한 장비 및 상기 본체로부터 상기 카세트를 전달받기 위한 장비측에는 안내블럭이 설치되고,
    상기 본체에는 상기 안내블럭의 일측에 삽입되어 상기 본체의 정지위치를 안내하는 안내돌기가 형성된 것을 특징으로 하는 카세트 이송용 수동대차.
KR1020130056519A 2013-03-28 2013-05-20 카세트 이송용 수동대차 KR101504760B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130033175 2013-03-28
KR20130033175 2013-03-28

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20140119603A true KR20140119603A (ko) 2014-10-10
KR101504760B1 KR101504760B1 (ko) 2015-03-23

Family

ID=51991867

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020130056519A KR101504760B1 (ko) 2013-03-28 2013-05-20 카세트 이송용 수동대차

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101504760B1 (ko)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160049629A (ko) * 2014-10-28 2016-05-10 주식회사 선익시스템 카세트 스토커 및 이를 이용한 카세트 로딩/언로딩 방법
CN109051686A (zh) * 2018-09-29 2018-12-21 苏州精濑光电有限公司 一种工件运转方法
KR102533482B1 (ko) * 2023-02-17 2023-05-17 에스에스오트론 주식회사 반도체패키지 트레이 운반 장치
KR102653120B1 (ko) * 2023-04-27 2024-04-01 (주)한국엔지니어링 운반물 고정장치 및 이를 포함하는 운반대차

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102277209B1 (ko) * 2017-10-30 2021-07-14 세메스 주식회사 스토커

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11255321A (ja) * 1998-03-11 1999-09-21 Shinko Electric Co Ltd 手押し台車

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160049629A (ko) * 2014-10-28 2016-05-10 주식회사 선익시스템 카세트 스토커 및 이를 이용한 카세트 로딩/언로딩 방법
CN109051686A (zh) * 2018-09-29 2018-12-21 苏州精濑光电有限公司 一种工件运转方法
KR102533482B1 (ko) * 2023-02-17 2023-05-17 에스에스오트론 주식회사 반도체패키지 트레이 운반 장치
KR102653120B1 (ko) * 2023-04-27 2024-04-01 (주)한국엔지니어링 운반물 고정장치 및 이를 포함하는 운반대차

Also Published As

Publication number Publication date
KR101504760B1 (ko) 2015-03-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101504760B1 (ko) 카세트 이송용 수동대차
CN107082215B (zh) 物品搬运装置及具备该物品搬运装置的物品搬运设备
TWI314542B (ko)
WO2015190387A1 (ja) コンテナ昇降搬送装置
KR20080020437A (ko) 자동창고
JPH11278607A (ja) 自動倉庫
JP5883359B2 (ja) ワーク加工搬送システム
JP2007056469A (ja) 自動車の入出庫システム及び入出庫方法
KR20140053439A (ko) 반송 시스템 및 그 대차승강장치
KR102624073B1 (ko) 반도체 웨이퍼 캐리어 운송용 oht의 카트 적재 시스템
CN116199155A (zh) 托盘升降货架和托盘搬运系统
JP2006151524A (ja) 昇降型の搬送受け渡し装置
JP5258122B2 (ja) 荷運搬具供給排出装置
JP2000033902A (ja) 梱包ケースへの部品パッケージ積載装置
JP6287514B2 (ja) 物品搬送装置
JP2005247446A (ja) 移載装置
JPS636100Y2 (ko)
WO2021215310A1 (ja) パレット、ガラス板梱包体、及び、輸送用梱包体
CN218619025U (zh) 一种灭火器输送装置的挡料机构
JP2006315829A (ja) 自動倉庫
JP4586790B2 (ja) 板状体処理設備
JP4618513B2 (ja) ピッキング式の物品収納設備
JP4725479B2 (ja) 板状体処理設備
JP4258059B2 (ja) 倉庫設備における入出庫台車装置
KR100635389B1 (ko) 팔레트의 차량적재공간이 확대된 주차설비

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180316

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190307

Year of fee payment: 5