KR102700264B1 - Base attached blade - Google Patents
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Abstract
본 발명은, 접착제가 삐져나오는 것에 따른 수율 저하를 억제할 수 있는 베이스 부착 블레이드를 제공하는 것을 목적으로 한다.
회전축에 장착하여 사용되는 절삭용 베이스 부착 블레이드로서, 제1 면측으로부터 제2 면측으로 관통하는 개구부가 중앙에 형성된 원반형의 베이스와, 베이스의 제1 면측에 고정되는 환형의 블레이드를 포함하고, 베이스의 제1 면측에는, 개구부를 둘러싸는 환형으로 형성되어 블레이드를 베이스에 고정하기 위한 접착제가 도포되는 오목부와, 오목부보다 베이스의 외주측에서 블레이드에 접하는 접촉면이 형성되어 있고, 베이스의 외주측에 위치하는 오목부의 측면은, 오목부의 바닥면으로부터 오목부의 가장자리를 향해 오목부의 외경이 커지도록 접촉면에 대하여 경사져 있다.The present invention aims to provide a base attachment blade capable of suppressing yield reduction due to adhesive protrusion.
A cutting base-attached blade used by being mounted on a rotating shaft, comprising: a disc-shaped base having an opening formed in the center thereof that penetrates from a first surface side to a second surface side; and an annular blade fixed to the first surface side of the base, wherein the first surface side of the base has a concave portion formed in a ring shape surrounding the opening and to which an adhesive for fixing the blade to the base is applied, and a contact surface that contacts the blade on an outer peripheral side of the base relative to the concave portion is formed, wherein a side surface of the concave portion located on the outer peripheral side of the base is inclined with respect to the contact surface so that the outer diameter of the concave portion increases from a bottom surface of the concave portion toward an edge of the concave portion.
Description
본 발명은, 회전축이 되는 스핀들에 장착하여 사용되는 절삭용의 베이스 부착 블레이드에 관한 것이다.The present invention relates to a base-attached blade for cutting, which is mounted on a spindle that serves as a rotation axis.
IC, LSI 등의 전자 회로가 형성된 반도체 웨이퍼는, 예컨대, 분할 예정 라인(스트리트)을 따라 절삭되어, 복수의 칩으로 분할된다. 이 절삭에 사용되는 블레이드로는, 지립을 니켈 등의 도금재로 굳힌 허브 타입의 블레이드나, 지립을 수지 등의 결합재(본드재)로 굳힌 와셔 타입의 블레이드 등이 알려져 있다.A semiconductor wafer on which electronic circuits such as ICs and LSIs are formed is cut along a line (street) to be divided, for example, into multiple chips. Known blades used for this cutting include a hub-type blade in which the grains are hardened with a plating material such as nickel, and a washer-type blade in which the grains are hardened with a binding material such as resin.
전술한 허브 타입의 블레이드는, 통상, 알루미늄 등을 포함하는 원반형의 베이스에 대하여 블레이드가 일체로 형성되어 있고, 이 베이스에 대응하는 전용의 마운트를 통해 회전축이 되는 스핀들에 장착된다. 한편, 베이스와 일체화되어 있지 않은 와셔 타입의 블레이드는, 2개의 지그로 끼워지도록 하여 스핀들에 장착된다.The blade of the hub type mentioned above is formed integrally with a disc-shaped base, usually made of aluminum or the like, and is mounted on a spindle that serves as a rotation axis through a dedicated mount corresponding to the base. On the other hand, the blade of the washer type that is not integral with the base is mounted on the spindle by being fitted with two jigs.
그 때문에, 예컨대, 허브 타입의 블레이드를 와셔 타입의 블레이드로 교환하는 경우에는, 스핀들에 고정되어 있는 마운트 등을 함께 교환하지 않으면 안 되어, 작업성이 나쁘다고 하는 문제가 있었다. 이것에 대하여, 최근에는, 와셔 타입의 블레이드를 원반형의 베이스에 접착한 베이스 부착 블레이드가 제안되어 있다(예컨대, 특허문헌 1 참조).Because of this, for example, when replacing a hub-type blade with a washer-type blade, the mount, etc., which is fixed to the spindle must also be replaced, which has the problem of poor workability. In response to this, a base-attached blade in which a washer-type blade is attached to a disc-shaped base has been proposed recently (see, for example, Patent Document 1).
그런데, 전술한 베이스 부착 블레이드에서는, 와셔 타입의 블레이드가 베이스에 대하여 접착제로 접착되기 때문에, 그 제조시에 베이스로부터 접착제가 삐져나와 블레이드에 부착되는 경우가 있다. 베이스로부터 접착제가 삐져나오면, 외관이 나빠져, 가공 정밀도에도 영향을 줄 우려가 있다.However, in the above-mentioned base-attached blade, since the washer-type blade is bonded to the base with adhesive, there are cases where the adhesive protrudes from the base and attaches to the blade during manufacturing. If the adhesive protrudes from the base, the appearance deteriorates and there is a concern that it may affect the processing precision.
따라서, 베이스로부터 접착제가 삐져나온 경우에는, 이 삐져나온 접착제를 작업자가 수작업으로 제거하고 있었다. 그러나, 접착제의 제거에 걸리는 작업은 번잡하여, 생산성을 저하시키는 요인이 된다. 그 때문에, 접착제가 삐져나온 베이스 부착 블레이드를 출하하지 않고 그대로 폐기해 버리는 경우도 있었다.Therefore, when adhesive protruded from the base, the worker manually removed the protruding adhesive. However, the work required to remove the adhesive was cumbersome and was a factor that reduced productivity. Therefore, there were cases where the blade attached to the base with the adhesive protruding was not shipped and was simply discarded.
본 발명은 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 바는, 접착제가 삐져나오는 것에 따른 수율 저하를 억제할 수 있는 베이스 부착 블레이드를 제공하는 것이다.The present invention has been made in consideration of such problems, and its purpose is to provide a base attachment blade capable of suppressing a decrease in yield due to adhesive protruding.
본 발명에 따르면, 회전축에 장착하여 사용되는 절삭용의 베이스 부착 블레이드로서, 제1 면측으로부터 제2 면측으로 관통하는 개구부가 중앙에 형성된 원반형의 베이스와, 상기 베이스의 상기 제1 면측에 고정되는 환형의 블레이드를 포함하고, 상기 베이스의 상기 제1 면측에는, 상기 개구부를 둘러싸는 환형으로 형성되어 상기 블레이드를 상기 베이스에 고정하기 위한 접착제가 도포되는 오목부와, 상기 오목부보다 상기 베이스의 외주측에서 상기 블레이드에 접하는 접촉면이 형성되어 있고, 상기 베이스의 외주측에 위치하는 상기 오목부의 측면은, 상기 오목부의 바닥면으로부터 상기 오목부의 가장자리를 향해 상기 오목부의 외경(外徑)이 커지도록 상기 접촉면에 대하여 경사져 있는 베이스 부착 블레이드가 제공된다.According to the present invention, a base-attached blade for cutting, which is mounted on a rotating shaft and used, comprises: a disc-shaped base having an opening formed in the center thereof that penetrates from a first surface side to a second surface side; and an annular blade fixed to the first surface side of the base, wherein on the first surface side of the base, a concave portion is formed in a ring shape surrounding the opening and to which an adhesive for fixing the blade to the base is applied; and a contact surface that contacts the blade on an outer peripheral side of the base rather than the concave portion is formed, and a side surface of the concave portion located on the outer peripheral side of the base is inclined with respect to the contact surface so that the outer diameter of the concave portion increases from a bottom surface of the concave portion toward an edge of the concave portion.
본 발명에 있어서, 상기 오목부의 상기 바닥면에는, 상기 베이스에 대한 상기 접착제의 접착력을 높이는 앵커부가 형성되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 상기 오목부의 상기 바닥면의 표면 거칠기는, 상기 접촉면의 표면 거칠기보다 큰 것이 바람직하다.In the present invention, it is preferable that an anchor portion is formed on the bottom surface of the concave portion to increase the adhesive strength of the adhesive to the base. In addition, it is preferable that the surface roughness of the bottom surface of the concave portion is greater than the surface roughness of the contact surface.
본 발명에 따른 베이스 부착 블레이드는, 블레이드를 고정하기 위한 접착제가 도포되는 환형의 오목부와, 오목부보다 외주측에서 블레이드에 접하는 접촉면을 갖는 원반형의 베이스를 포함하고, 외주측에 위치하는 오목부의 측면은, 오목부의 바닥면으로부터 오목부의 가장자리를 향해 오목부의 외경이 커지도록 접촉면에 대하여 경사져 있다.A base attachment blade according to the present invention comprises a disc-shaped base having an annular concave portion to which an adhesive for fixing a blade is applied, and a contact surface that contacts the blade on an outer side of the concave portion, wherein a side surface of the concave portion located on the outer side is inclined with respect to the contact surface such that the outer diameter of the concave portion increases from a bottom surface of the concave portion toward an edge of the concave portion.
그 때문에, 예컨대, 오목부의 바닥면에 대응하는 분량의 접착제를 공급하는 경우에, 접착제의 공급량이 과잉이 되었다고 해도, 여분의 접착제는 오목부의 측면에 상당하는 영역에 수용되어, 오목부로부터 접착제가 삐져나올 가능성을 낮게 억제할 수 있다. 즉, 접착제가 삐져나오는 것에 따른 수율 저하를 억제할 수 있다.Therefore, for example, when supplying an amount of adhesive corresponding to the bottom surface of a concave portion, even if the amount of adhesive supplied becomes excessive, the excess adhesive is accommodated in an area corresponding to the side surface of the concave portion, so that the possibility of the adhesive protruding from the concave portion can be suppressed to a low level. In other words, a decrease in yield due to adhesive protruding can be suppressed.
도 1은 베이스 부착 블레이드의 구성예를 나타낸 분해 사시도이다.
도 2는 베이스 부착 블레이드의 구성예를 나타낸 단면도이다.
도 3은 베이스의 일부를 확대하여 나타낸 단면도이다.
도 4는 베이스 부착 블레이드가 사용되는 절삭 장치의 구성예를 나타낸 사시도이다.
도 5는 베이스 부착 블레이드가 절삭 유닛에 장착되는 모습을 나타낸 사시도이다.
도 6은 베이스 부착 블레이드가 장착된 절삭 유닛을 나타낸 일부 단면 측면도이다.
도 7은 변형례에 따른 베이스 부착 블레이드의 구성예를 나타낸 단면도이다.Figure 1 is an exploded perspective view showing an example of the configuration of a base attachment blade.
Figure 2 is a cross-sectional view showing an example of the configuration of a base attachment blade.
Figure 3 is an enlarged cross-sectional view showing a portion of the base.
Figure 4 is a perspective view showing an example of a configuration of a cutting device in which a base attachment blade is used.
Figure 5 is a perspective view showing the base attachment blade mounted on the cutting unit.
Figure 6 is a partial cross-sectional side view showing a cutting unit equipped with a base attachment blade.
Figure 7 is a cross-sectional view showing an example of a configuration of a base attachment blade according to a modified example.
첨부 도면을 참조하여, 본 발명의 실시형태에 대해서 설명한다. 도 1은 베이스 부착 블레이드(2)의 구성예를 나타낸 분해 사시도이고, 도 2는 베이스 부착 블레이드(2)의 구성예를 나타낸 단면도이다. 또한, 도 2에서는, 원반형의 베이스 부착 블레이드(2)를 직경 방향으로 절단한 단면을 나타내고 있다.Referring to the attached drawings, an embodiment of the present invention will be described. Fig. 1 is an exploded perspective view showing an example of the configuration of a base attachment blade (2), and Fig. 2 is a cross-sectional view showing an example of the configuration of a base attachment blade (2). In addition, Fig. 2 shows a cross-section of a disc-shaped base attachment blade (2) cut in the diametric direction.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 실시형태에 따른 절삭용의 베이스 부착 블레이드(2)는, 알루미늄 등을 포함하는 원반형(원환형)의 베이스(4)를 구비하고 있다. 베이스(4)는, 서로 대략 평행한 제1 면(4a) 및 제2 면(4b)을 가지며, 그 중앙 부근에는, 베이스(4)를 제1 면(4a)에서 제2 면(4b)까지 관통하는 개구부(4c)가 형성되어 있다. 개구부(4c)의 형상은, 예컨대, 제1 면(4a) 측에서 보아 원형이다.As illustrated in FIGS. 1 and 2, the base attachment blade (2) for cutting according to the present embodiment has a base (4) of a disc shape (circular shape) made of aluminum or the like. The base (4) has a first surface (4a) and a second surface (4b) that are substantially parallel to each other, and an opening (4c) that penetrates the base (4) from the first surface (4a) to the second surface (4b) is formed near the center thereof. The shape of the opening (4c) is, for example, circular when viewed from the first surface (4a) side.
베이스(4)의 직경 방향에 있어서 개구부(4c)보다 외측의 영역에는, 제1 면(4a)으로부터 돌출되는 볼록부(4d)가 형성되어 있다. 이 볼록부(4d)는, 예컨대, 개구부(4c)와 동심 환형으로 구성되어 있다. 즉, 볼록부(4d)는, 제1 면(4a) 측에서 보아 개구부(4c)를 둘러싸는 양태로 형성되어 있다.In the area outside the opening (4c) in the diametric direction of the base (4), a convex portion (4d) protruding from the first surface (4a) is formed. This convex portion (4d) is configured, for example, in a concentric ring shape with the opening (4c). That is, the convex portion (4d) is formed in a manner that surrounds the opening (4c) when viewed from the first surface (4a) side.
베이스(4)의 직경 방향에 있어서 볼록부(4d)의 외측에 인접한 영역에는, 제1 면(4a)보다 오목하게 들어간 오목부(4e)가 형성되어 있다. 이 오목부(4e)는, 예컨대, 개구부(4c) 및 볼록부(4d)와 동심 환형으로 구성되어 있다. 즉, 오목부(4e)는, 제1 면(4a) 측에서 보아 개구부(4c) 및 볼록부(4d)를 둘러싸는 양태로 형성되어 있다. 이 오목부(4e)에는, 베이스(4)에 대하여 블레이드(6)를 고정하기 위한 접착제(8)가 도포된다. 또한, 접착제(8)는, 비도전 재료 및 도전 재료 중 어느 하나로 구성되어도 좋다.In the area adjacent to the outer side of the convex portion (4d) in the radial direction of the base (4), a concave portion (4e) that is more concave than the first surface (4a) is formed. This concave portion (4e) is, for example, configured in a concentric ring shape with the opening (4c) and the convex portion (4d). That is, the concave portion (4e) is formed in a manner that surrounds the opening (4c) and the convex portion (4d) when viewed from the first surface (4a) side. An adhesive (8) for fixing the blade (6) to the base (4) is applied to this concave portion (4e). In addition, the adhesive (8) may be configured from either a non-conductive material or a conductive material.
베이스(4)의 직경 방향에 있어서 오목부(4e)의 외측에 인접한 영역에는, 블레이드(6)와 접촉하는 접촉면(4f)이 형성되어 있다. 접촉면(4f)은, 예컨대, 제1 면(4a)에 대하여 대략 평행 또한 평탄하게 구성되어 있다. 또한, 이 접촉면(4f)은, 개구부(4c), 볼록부(4d), 및 오목부(4e)와 동심 환형으로 구성되어 있다. 즉, 접촉면(4f)은, 제1 면(4a) 측에서 보아 개구부(4c), 볼록부(4d), 및 오목부(4e)를 둘러싸는 양태로 형성되어 있다.In the area adjacent to the outer side of the concave portion (4e) in the radial direction of the base (4), a contact surface (4f) that comes into contact with the blade (6) is formed. The contact surface (4f) is configured to be, for example, substantially parallel and flat with respect to the first surface (4a). In addition, this contact surface (4f) is configured in a concentric ring shape with the opening (4c), the convex portion (4d), and the concave portion (4e). That is, the contact surface (4f) is formed in a manner that surrounds the opening (4c), the convex portion (4d), and the concave portion (4e) when viewed from the first surface (4a) side.
베이스(4)의 제1 면(4a) 측에는, 블레이드(6)가 접착, 고정된다. 블레이드(6)는, 예컨대, 금속, 세라믹스, 수지 등의 결합재에, 다이아몬드, CBN(Cubic Boron Nitride) 등의 지립을 혼합하여 원반형(원환형)으로 형성되어 있다. 단, 블레이드(6)를 구성하는 결합재나 지립에 제한은 없고, 결합재 및 지립은, 베이스 부착 블레이드(2)의 사양 등에 맞춰 선택, 변경된다.On the first surface (4a) of the base (4), a blade (6) is bonded and fixed. The blade (6) is formed into a disk shape (circular shape) by mixing abrasive particles such as diamond or CBN (Cubic Boron Nitride) with a binder such as metal, ceramics, or resin, for example. However, there is no limitation on the binder or abrasive particles that constitute the blade (6), and the binder and abrasive particles are selected or changed according to the specifications of the base-attached blade (2), etc.
블레이드(6)는, 서로 대략 평행한 제1 면(6a) 및 제2 면(6b)을 가지며, 그 중앙 부근에는, 블레이드(6)를 제1 면(6a)에서 제2 면(6b)까지 관통하는 개구부(6c)가 형성되어 있다. 개구부(6c)의 형상은, 예컨대, 제1 면(6a) 측에서 보아 원형이며, 그 직경은, 베이스(4)의 볼록부(4d)의 외경과 동등하다.The blade (6) has a first surface (6a) and a second surface (6b) that are approximately parallel to each other, and an opening (6c) is formed near the center thereof, which penetrates the blade (6) from the first surface (6a) to the second surface (6b). The shape of the opening (6c) is, for example, circular when viewed from the first surface (6a) side, and its diameter is equal to the outer diameter of the convex portion (4d) of the base (4).
이 개구부(6c)에는, 오목부(4e)에 접착제(8)가 도포된 상태에서, 제1 면(6a) 측으로부터 볼록부(4d)가 삽입된다. 이것에 의해, 블레이드(6)의 제1 면(6a)의 일부에 베이스(4)의 접촉면(4f)이 접촉하고, 이 접촉면(4f)과 볼록부(4d)에 의해 블레이드(6)가 지지된다. 또한, 오목부(4e)에 도포된 접착제(8)에 의해 블레이드(6)는 베이스(4)에 고정된다.In this opening (6c), a convex portion (4d) is inserted from the first surface (6a) side while adhesive (8) is applied to the concave portion (4e). As a result, a contact surface (4f) of the base (4) comes into contact with a part of the first surface (6a) of the blade (6), and the blade (6) is supported by this contact surface (4f) and the convex portion (4d). In addition, the blade (6) is fixed to the base (4) by the adhesive (8) applied to the concave portion (4e).
또한, 블레이드(6)의 외경은, 베이스(4)의 외경보다 커지고 있다. 그 때문에, 블레이드(6)를 베이스(4)에 접착, 고정하면, 블레이드(6)의 외주(6d)는, 베이스(4)의 직경 방향에 있어서 베이스(4)보다 외측에 위치하게 된다. 즉, 블레이드(6)의 외주(6d) 측의 일부가 베이스(4)로부터 바깥쪽으로 돌출된 상태가 된다.In addition, the outer diameter of the blade (6) is larger than the outer diameter of the base (4). Therefore, when the blade (6) is bonded and fixed to the base (4), the outer circumference (6d) of the blade (6) is positioned outside the base (4) in the diameter direction of the base (4). That is, a part of the outer circumference (6d) of the blade (6) protrudes outward from the base (4).
도 3은 베이스(4)의 오목부(4e)를 확대하여 나타낸 단면도이다. 또한, 도 3에서는, 베이스(4)를 직경 방향으로 절단한 단면을 나타내고 있다. 도 1, 도 2, 및 도 3에 도시된 바와 같이, 오목부(4e)는, 접촉면(4f)에 대하여 대략 평행한 바닥면(4g)과, 베이스(4)의 내주측(볼록부(4d)측)에 위치하는 측면(4h)과, 베이스(4)의 외주측(접촉면(4f))에 위치하는 측면(4i)을 포함하고 있다.Fig. 3 is a cross-sectional view showing an enlarged view of a concave portion (4e) of a base (4). In addition, Fig. 3 shows a cross-section cut along the diameter of the base (4). As shown in Figs. 1, 2, and 3, the concave portion (4e) includes a bottom surface (4g) that is approximately parallel to a contact surface (4f), a side surface (4h) located on the inner side (convex side (4d)) of the base (4), and a side surface (4i) located on the outer side (contact surface (4f)) of the base (4).
예컨대, 접착제(8)는, 바닥면(4g)의 면적에 맞춰 오목부(4e)에 도포된다. 이 바닥면(4g)은, 평탄하게 형성되어도 좋지만, 예컨대, 접촉면(4f) 등과 비교하여 거칠게 형성되는 것이 바람직하다. 즉, 오목부(4e)의 바닥면(4g)의 표면 거칠기는, 접촉면(4f)의 표면 거칠기보다 큰 경우가 있다. 이 경우에는, 접착제(8)와 바닥면(4g)의 접촉 면적이 증가하기 때문에, 베이스(4)에 대한 접착제(8)의 접착력은 높아진다.For example, the adhesive (8) is applied to the concave portion (4e) according to the area of the bottom surface (4g). The bottom surface (4g) may be formed flat, but it is preferable that it be formed rougher, for example, compared to the contact surface (4f). That is, the surface roughness of the bottom surface (4g) of the concave portion (4e) may be greater than the surface roughness of the contact surface (4f). In this case, since the contact area between the adhesive (8) and the bottom surface (4g) increases, the adhesive strength of the adhesive (8) to the base (4) increases.
내측의 측면(4h)은, 예컨대, 바닥면(4g)에 대하여 대략 수직인 영역을 포함하고, 볼록부(4d)의 외주면에 접속되어 있다. 또한, 바닥면(4g)과 측면(4h)의 접속부는, 약간 라운딩을 띠고 있다. 단, 측면(4h)의 형상에 특별한 제한은 없다. 예컨대, 바닥면(4g)과 측면(4h)의 접속부는, 반드시 라운딩을 띠고 있지는 않아도 된다.The inner side surface (4h) includes, for example, an area that is approximately perpendicular to the bottom surface (4g), and is connected to the outer surface of the convex portion (4d). In addition, the connection portion between the bottom surface (4g) and the side surface (4h) is slightly rounded. However, there is no particular limitation on the shape of the side surface (4h). For example, the connection portion between the bottom surface (4g) and the side surface (4h) does not necessarily have to be rounded.
외측의 측면(4i)은, 예컨대, 오목부(4e)의 바닥면(4g)으로부터 오목부(4e)의 가장자리를 향해 오목부(4e)의 외경이 커지도록, 접촉면(4f)이나 바닥면(4g)에 대하여 경사져 있다. 즉, 측면(4i)의 상단부는, 측면(4i)의 기단부(바닥면(4g)측)보다 베이스(4)의 외주측에 위치하고 있다.The outer side surface (4i) is inclined with respect to the contact surface (4f) or the bottom surface (4g), for example, such that the outer diameter of the concave portion (4e) increases from the bottom surface (4g) of the concave portion (4e) toward the edge of the concave portion (4e). That is, the upper end of the side surface (4i) is located closer to the outer periphery of the base (4) than the base end (bottom surface (4g) side) of the side surface (4i).
이와 같이, 접촉면(4f)이나 바닥면(4g)에 대하여 측면(4i)을 경사시킴으로써, 예컨대, 바닥면(4g)에 대응하는 분량의 접착제(8)를 공급하는 경우에, 접착제(8)의 공급량이 과잉이 되었다고 해도, 여분의 접착제(8)는 측면(4i)에 상당하는 영역에 수용된다. 따라서, 오목부(4e)로부터 접착제(8)가 삐져나올 가능성을 낮게 억제하여, 베이스 부착 블레이드(2)의 제조에 따른 수율 저하를 억제할 수 있다.In this way, by slanting the side surface (4i) with respect to the contact surface (4f) or the bottom surface (4g), even if the amount of adhesive (8) supplied is excessive, for example, when supplying an amount of adhesive (8) corresponding to the bottom surface (4g), the excess adhesive (8) is accommodated in an area corresponding to the side surface (4i). Accordingly, the possibility of the adhesive (8) protruding from the concave portion (4e) is suppressed to a low level, and a decrease in the yield due to the manufacture of the base attachment blade (2) can be suppressed.
오목부(4e)를 적절한 크기로 유지하면서 접착제(8)가 밀려나오는 것을 억제한다고 하는 관점에서는, 베이스(4)를 직경 방향으로 절단한 단면(도 3)에 있어서, 접촉면(4f)이나 바닥면(4g)에 대하여 측면(4i)이 이루는 각도(θ)를 10° 이상 45° 이하로 하는 것이 바람직하다. 또한, 도 3에서는, 각도(θ)가 20° 정도인 경우를 나타내고 있다.From the viewpoint of suppressing the adhesive (8) from being pushed out while maintaining the concave portion (4e) to an appropriate size, it is preferable that the angle (θ) formed by the side surface (4i) with respect to the contact surface (4f) or the bottom surface (4g) in the cross-section (Fig. 3) cut in the radial direction of the base (4) be 10° or more and 45° or less. In addition, Fig. 3 shows a case where the angle (θ) is approximately 20°.
도 4는 베이스 부착 블레이드(2)가 사용되는 절삭 장치(12)의 구성예를 나타낸 사시도이다. 도 4에 도시된 바와 같이, 절삭 장치(12)는, 각 구조를 지지하는 베이스(14)를 구비하고 있다. 베이스(14)의 위쪽에는, 베이스(14)를 덮는 커버(16)가 설치되어 있다. 커버(16)의 내측에는, 공간이 형성되어 있고, 전술한 베이스 부착 블레이드(2)를 포함하는 절삭 유닛(18)이 수용되어 있다.Fig. 4 is a perspective view showing an example of a configuration of a cutting device (12) in which a base attachment blade (2) is used. As shown in Fig. 4, the cutting device (12) has a base (14) that supports each structure. A cover (16) that covers the base (14) is installed on the upper side of the base (14). A space is formed on the inside of the cover (16), and a cutting unit (18) including the base attachment blade (2) described above is accommodated therein.
절삭 유닛(18)은, 절삭 유닛 이동 기구(도시하지 않음)에 의해 전후 방향(Y축 방향, 인덱싱 이송 방향)으로 이동한다. 절삭 유닛(18)의 아래쪽에는, 피가공물(11)을 유지하는 척 테이블(20)이 설치되어 있다. 척 테이블(20)은, 척 테이블 이동 기구(도시하지 않음)에 의해 X축 방향(가공 이송 방향)으로 이동하고, 회전 기구(도시하지 않음)에 의해 Z축 방향(수직 방향)에 평행한 회전축 주위로 회전한다.The cutting unit (18) moves in the forward and backward direction (Y-axis direction, indexing feed direction) by a cutting unit moving mechanism (not shown). A chuck table (20) that holds a workpiece (11) is installed below the cutting unit (18). The chuck table (20) moves in the X-axis direction (working feed direction) by a chuck table moving mechanism (not shown) and rotates around a rotation axis parallel to the Z-axis direction (vertical direction) by a rotation mechanism (not shown).
피가공물(11)은, 대표적으로는, 실리콘 등의 반도체 재료를 포함하는 원반형의 웨이퍼이다. 이 피가공물(11)의 표면은, 예컨대, 격자형으로 배열된 분할 예정 라인(스트리트)에 의해 복수의 영역으로 구획되어 있고, 각 영역에는, IC(Integrated Circuit), MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) 등의 디바이스가 형성되어 있다.The workpiece (11) is, for example, a disk-shaped wafer containing a semiconductor material such as silicon. The surface of this workpiece (11) is divided into a plurality of regions by, for example, grid-like dividing lines (streets), and in each region, a device such as an IC (Integrated Circuit) or MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) is formed.
또한, 피가공물(11)의 재질, 형상, 구조, 크기 등에 제한은 없다. 예컨대, 다른 반도체, 세라믹스, 수지, 금속 등의 재료를 포함하는 기판 등을 피가공물(11)로서 이용할 수도 있다. 마찬가지로, 디바이스의 종류, 수량, 형상, 구조, 크기, 배치 등에도 제한은 없다. 피가공물(11)에는, 디바이스가 형성되어 있지 않는 경우도 있다.In addition, there is no limitation on the material, shape, structure, size, etc. of the workpiece (11). For example, a substrate including other semiconductors, ceramics, resins, metals, etc. may be used as the workpiece (11). Likewise, there is no limitation on the type, quantity, shape, structure, size, arrangement, etc. of the device. In some cases, a device is not formed on the workpiece (11).
베이스(14)의 각부에는, 카세트 지지대(22)가 설치되어 있다. 카세트 지지대(22)의 상면에는, 복수의 피가공물(11)을 수용 가능한 카세트(24)가 배치된다. 카세트 지지대(22)의 높이(Z축 방향의 위치)는, 피가공물(11)을 적절하게 반출, 반입할 수 있도록 승강 기구(도시하지 않음) 등에 의해 제어된다.In each part of the base (14), a cassette support (22) is installed. On the upper surface of the cassette support (22), a cassette (24) capable of accommodating a plurality of workpieces (11) is arranged. The height (position in the Z-axis direction) of the cassette support (22) is controlled by a lifting mechanism (not shown) or the like so that the workpieces (11) can be appropriately taken out and brought in.
커버(16)의 전면(16a)에는, 사용자 인터페이스가 되는 터치 패널식 모니터(26)가 설치되어 있다. 이 모니터(26)는, 전술한 절삭 유닛(18), 절삭 유닛 이동 기구, 척 테이블(20), 척 테이블 이동 기구, 회전 기구, 카세트 지지대(22), 승강 기구 등과 함께, 절삭 장치(12)의 각부를 제어하는 제어 유닛(도시하지 않음)에 접속되어 있다.On the front surface (16a) of the cover (16), a touch panel type monitor (26) that serves as a user interface is installed. This monitor (26) is connected to a control unit (not shown) that controls each part of the cutting device (12) together with the cutting unit (18), cutting unit moving mechanism, chuck table (20), chuck table moving mechanism, rotating mechanism, cassette support (22), and lifting mechanism described above.
도 5는 베이스 부착 블레이드(2)가 절삭 유닛(18)에 장착되는 모습을 나타낸 사시도이고, 도 6은 베이스 부착 블레이드(2)가 장착된 절삭 유닛(18)을 모식적으로 나타낸 일부 단면 측면도이다. 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 절삭 유닛(18)은, Y축 주위로 회전하는 스핀들(32)을 구비하고 있다.Fig. 5 is a perspective view showing a base attachment blade (2) mounted on a cutting unit (18), and Fig. 6 is a partial cross-sectional side view schematically showing a cutting unit (18) to which a base attachment blade (2) is mounted. As shown in Figs. 5 and 6, the cutting unit (18) is equipped with a spindle (32) that rotates around the Y-axis.
이 스핀들(32)은, 통형의 스핀들 하우징(34)에 수용되어 있다. 스핀들(32)의 선단부(일단부)는, 스핀들 하우징(34)의 외부에 노출되어 있고, 이 스핀들(32)의 선단부에는, 와셔(36), 볼트(38) 등을 통해 블레이드 마운트(40)가 부착되어 있다. 한편, 스핀들(32)의 타단측(기단측)에는, 스핀들(32)을 회전시키기 위한 모터(도시하지 않음)가 연결되어 있다.This spindle (32) is accommodated in a cylindrical spindle housing (34). The tip end (one end) of the spindle (32) is exposed to the outside of the spindle housing (34), and a blade mount (40) is attached to the tip end of the spindle (32) via a washer (36), a bolt (38), etc. Meanwhile, a motor (not shown) for rotating the spindle (32) is connected to the other end (base end) of the spindle (32).
블레이드 마운트(40)는, 직경 방향 바깥쪽으로 넓어지는 플랜지부(42)와, 플랜지부(42)의 제1 면(42a)의 중앙으로부터 돌출되는 보스부(44)를 포함한다. 제1 면(42a)의 외주 가장자리 근방의 영역에는, 제1 면(42a)으로부터 돌출되는 환형의 볼록부(42b)가 형성되어 있다. 이 볼록부(42b)는, 예컨대, 베이스 부착 블레이드(2)의 접촉면(4f)에 대응하는 위치 및 형상으로 형성되어 있다. 또한, 볼록부(42b)의 선단면(42c)은, 제1 면(42a)에 대하여 대략 평행 또한 평탄하게 형성되어 있다.The blade mount (40) includes a flange portion (42) that expands radially outwardly, and a boss portion (44) that protrudes from the center of a first surface (42a) of the flange portion (42). In a region near the outer peripheral edge of the first surface (42a), an annular convex portion (42b) that protrudes from the first surface (42a) is formed. This convex portion (42b) is formed in a position and shape corresponding to, for example, a contact surface (4f) of a base-attached blade (2). In addition, a tip end surface (42c) of the convex portion (42b) is formed to be substantially parallel and flat with respect to the first surface (42a).
보스부(44)는, 원통형으로 형성되어 있고, 그 선단측의 외주면(44a)에는, 나사산이 형성되어 있다. 이 보스부(44)를 베이스 부착 블레이드(2)의 개구부(4c)에 통과시킴(계합시킴)으로써, 베이스 부착 블레이드(2)는, 블레이드 마운트(40)에 장착된다.The boss portion (44) is formed in a cylindrical shape, and a screw thread is formed on the outer surface (44a) of the tip side. By passing (engaging) this boss portion (44) through the opening (4c) of the base attachment blade (2), the base attachment blade (2) is mounted on the blade mount (40).
베이스 부착 블레이드(2)를 블레이드 마운트(40)에 장착(계합)한 상태에서, 보스부(44)에는, 고정 너트(46)가 체결된다. 고정 너트(46)에는, 보스부(44)의 직경에 대응하는 원형의 개구부(46a)가 형성되어 있다. 개구부(46a)의 내주면에는, 보스부(44)의 외주면(44a)에 형성된 나사산에 대응하는 나사홈이 형성되어 있다.With the base attachment blade (2) mounted (engaged) on the blade mount (40), a fixing nut (46) is fastened to the boss portion (44). A circular opening (46a) corresponding to the diameter of the boss portion (44) is formed in the fixing nut (46). A screw groove corresponding to the screw thread formed on the outer surface (44a) of the boss portion (44) is formed on the inner surface of the opening (46a).
고정 너트(46)를 보스부(44)에 체결하면, 베이스 부착 블레이드(2)의 제2 면(4b)에 고정 너트(46)가 접촉하고, 베이스 부착 블레이드(2)는 블레이드 마운트(40)의 플랜지부(42)에 압착된다. 그 결과, 블레이드(6)의 제2 면(6b)은, 플랜지부(42)의 선단면(42c)에 접촉한다. 즉, 블레이드(6)는, 베이스(4)의 접촉면(4f)과 플랜지부(42)의 선단면(42c)에 의해 협지, 고정되게 된다.When the fixing nut (46) is fastened to the boss portion (44), the fixing nut (46) comes into contact with the second surface (4b) of the base-attached blade (2), and the base-attached blade (2) is pressed against the flange portion (42) of the blade mount (40). As a result, the second surface (6b) of the blade (6) comes into contact with the leading edge surface (42c) of the flange portion (42). That is, the blade (6) is pinched and fixed by the contact surface (4f) of the base (4) and the leading edge surface (42c) of the flange portion (42).
이상과 같이, 본 실시형태에 따른 베이스 부착 블레이드(2)는, 블레이드(6)를 고정하기 위한 접착제(8)가 도포되는 환형의 오목부(4e)와, 오목부(4e)보다 외주측에서 블레이드(6)에 접하는 접촉면(4f)을 갖는 원반형의 베이스(4)를 포함하고, 외주측에 위치하는 오목부(4e)의 측면(4i)은, 오목부(4e)의 바닥면(4g)으로부터 오목부(4e)의 가장자리를 향해 오목부(4e)의 외경이 커지도록 접촉면(4f)(또는 바닥면(4g))에 대하여 경사져 있다.As described above, the base attachment blade (2) according to the present embodiment includes a disc-shaped base (4) having an annular concave portion (4e) to which an adhesive (8) for fixing a blade (6) is applied, and a contact surface (4f) that contacts the blade (6) on the outer side of the concave portion (4e), and a side surface (4i) of the concave portion (4e) located on the outer side is inclined with respect to the contact surface (4f) (or the bottom surface (4g)) such that the outer diameter of the concave portion (4e) increases from the bottom surface (4g) of the concave portion (4e) toward the edge of the concave portion (4e).
그 때문에, 예컨대, 오목부(4e)의 바닥면(4g)에 대응하는 분량의 접착제(8)를 공급하는 경우에, 접착제(8)의 공급량이 과잉이 되었다고 해도, 여분의 접착제(8)는 오목부(4e)의 측면(4i)에 상당하는 영역에 수용되어, 오목부(4e)로부터 접착제(8)가 빠져나올 가능성을 낮게 억제할 수 있다. 즉, 접착제(8)가 삐져나오는 것에 따른 수율 저하를 억제할 수 있다.Therefore, for example, when supplying an amount of adhesive (8) corresponding to the bottom surface (4g) of the concave portion (4e), even if the amount of adhesive (8) supplied becomes excessive, the excess adhesive (8) is accommodated in an area corresponding to the side surface (4i) of the concave portion (4e), so that the possibility of the adhesive (8) leaking out from the concave portion (4e) can be suppressed. In other words, a decrease in yield due to the adhesive (8) leaking out can be suppressed.
또한, 본 실시형태에 따른 베이스 부착 블레이드(2)에서는, 베이스(4)의 접촉면(4f)과 블레이드 마운트(40)(플랜지부(42))의 선단면(42c)에 의해 블레이드(6)가 협지, 고정되기 때문에, 블레이드(6)의 진동 등을 억제하여 가공 정밀도를 높게 유지할 수 있다.In addition, in the base attachment blade (2) according to the present embodiment, since the blade (6) is pinched and fixed by the contact surface (4f) of the base (4) and the front end surface (42c) of the blade mount (40) (flange portion (42)), vibration of the blade (6) can be suppressed, and the processing precision can be maintained at a high level.
또한, 본 발명은 상기 실시형태의 기재에 한정되지 않고, 여러 가지 변경하여 실시 가능하다. 예컨대, 베이스 부착 블레이드를 구성하는 베이스의 오목부의 바닥면에는, 베이스에 대한 접착제의 접착력을 높이는 어떠한 구조가 형성되어도 좋다. 도 7은 변형례에 따른 베이스 부착 블레이드의 구성예를 나타낸 단면도이다.In addition, the present invention is not limited to the description of the above embodiment, and can be implemented with various modifications. For example, any structure that increases the adhesive strength of the adhesive to the base may be formed on the bottom surface of the concave portion of the base constituting the base attachment blade. Fig. 7 is a cross-sectional view showing an example of the configuration of a base attachment blade according to a modified example.
이 변형례에 따른 베이스 부착 블레이드의 기본적인 구조는, 상기 실시형태에 따른 베이스 부착 블레이드(2)의 구조와 동일하다. 따라서, 도 7의 도 3 등과 공통되는 부분에는 동일한 부호를 붙이고, 여기서는, 다른 점에 대해서만 설명한다.The basic structure of the base attachment blade according to this modified example is the same as the structure of the base attachment blade (2) according to the above embodiment. Therefore, parts common to those in Fig. 3 of Fig. 7, etc. are given the same reference numerals, and only the differences are described here.
도 7에 도시된 바와 같이, 변형례에 따른 베이스 부착 블레이드를 구성하는 베이스(4)의 오목부(4e)의 바닥면(4g)에는, 홈(앵커부(4j))이 형성되어 있다. 이 홈(4j)에 접착제(8)가 충전됨으로써, 홈(4j)에 충전된 접착제(8)가 앵커와 같이 기능하여, 베이스(4)에 대한 접착제(8)의 접착력을 높일 수 있다.As illustrated in Fig. 7, a groove (anchor portion (4j)) is formed on the bottom surface (4g) of the concave portion (4e) of the base (4) constituting the base attachment blade according to the modified example. By filling this groove (4j) with adhesive (8), the adhesive (8) filled in the groove (4j) functions as an anchor, thereby increasing the adhesive strength of the adhesive (8) to the base (4).
본 변형례의 홈(4j)은, 오목부(4e)를 따르는 환형으로 형성되어 있다. 또한, 이 홈(4j)의 측면은, 홈(4j)의 바닥면에 대하여 대략 수직이다. 이러한 홈(4j)에 의해, 베이스(4)에 대한 접착제(8)의 접착력을 충분히 높일 수 있다. 단, 오목부에 형성되는 홈의 구체적인 형상, 배치 등에 제한은 없다.The groove (4j) of this modified example is formed in a ring shape following the concave portion (4e). In addition, the side surface of this groove (4j) is approximately perpendicular to the bottom surface of the groove (4j). By means of this groove (4j), the adhesive strength of the adhesive (8) to the base (4) can be sufficiently increased. However, there is no limitation on the specific shape, arrangement, etc. of the groove formed in the concave portion.
그 밖에, 상기 실시형태에 따른 구조, 방법 등은, 본 발명의 목적의 범위를 벗어나지 않는 한 적절하게 변경하여 실시할 수 있다.In addition, the structure, method, etc. according to the above embodiment can be appropriately modified and implemented without departing from the scope of the purpose of the present invention.
2 : 베이스 부착 블레이드 4 : 베이스
4a : 제1 면 4b : 제2 면
4c : 개구부 4d : 볼록부
4e : 오목부 4f : 접촉면
4g : 바닥면 4h : 측면
4i : 측면 4j : 홈(앵커부)
6 : 블레이드 6a : 제1 면
6b : 제2 면 6c : 개구부
6d : 외주 12 : 절삭 장치
14 : 베이스 16 : 커버
18 : 절삭 유닛 20 : 척 테이블
22 : 카세트 지지대 24 : 카세트
26 : 모니터 32 : 스핀들(회전축)
34 : 스핀들 하우징 36 : 와셔
38 : 볼트 40 : 블레이드 마운트
42 : 플랜지부 42a : 제1 면
42b : 볼록부 42c : 선단면
44 : 보스부 44a : 외주면
46 : 고정 너트 46a : 개구부
11 : 피가공물2: Base attachment blade 4: Base
4a: Side 1 4b: Side 2
4c: opening 4d: convex part
4e: Concave part 4f: Contact surface
4g: Bottom surface 4h: Side surface
4i: Side 4j: Home (anchor part)
6: Blade 6a: First side
6b: 2nd side 6c: opening
6d: Outer 12: Cutting device
14: Base 16: Cover
18: Cutting unit 20: Chuck table
22: Cassette support 24: Cassette
26: Monitor 32: Spindle (rotary axis)
34: Spindle housing 36: Washer
38: Bolt 40: Blade Mount
42: Flange part 42a: First side
42b: Convex part 42c: Cross section
44: Boss 44a: Outer perimeter
46: Fixed nut 46a: Opening
11: Workpiece
Claims (3)
서로 평행한 제1 면과 제2 면을 가지고, 상기 제1 면측으로부터 상기 제2 면측으로 관통하는 개구부가 중앙에 형성된 원반형의 베이스와,
상기 베이스의 상기 제1 면측에 고정되는 환형의 블레이드를 포함하고,
상기 베이스의 상기 제1 면측에는, 상기 개구부를 둘러싸는 환형으로 형성되어 상기 블레이드를 상기 베이스에 고정하기 위한 접착제가 도포되는 오목부와, 상기 제1 면에 대하여 평행하게 구성되고 상기 오목부보다 상기 베이스의 외주측에서 상기 블레이드에 접하는 접촉면이 형성되어 있고,
상기 베이스의 외주측에 위치하는 상기 오목부의 환형의 측면은, 상기 오목부의 바닥면으로부터 상기 오목부의 가장자리를 향해 상기 측면의 직경이 커지도록 상기 접촉면에 대하여 경사져 있는 것을 특징으로 하는 베이스 부착 블레이드.A cutting base attachment blade used by mounting on a rotating shaft,
A disc-shaped base having first and second sides that are parallel to each other, and an opening formed in the center that penetrates from the first side to the second side,
Including an annular blade fixed to the first surface side of the above base,
On the first surface side of the base, a concave portion is formed in a ring shape surrounding the opening and an adhesive for fixing the blade to the base is applied, and a contact surface is formed parallel to the first surface and contacts the blade on the outer peripheral side of the base rather than the concave portion.
A base-attached blade, characterized in that the annular side surface of the concave portion located on the outer circumference of the base is inclined with respect to the contact surface so that the diameter of the side surface increases from the bottom surface of the concave portion toward the edge of the concave portion.
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