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KR102013320B1 - 디스플레이 패널 제조장치 - Google Patents

디스플레이 패널 제조장치 Download PDF

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Publication number
KR102013320B1
KR102013320B1 KR1020120157330A KR20120157330A KR102013320B1 KR 102013320 B1 KR102013320 B1 KR 102013320B1 KR 1020120157330 A KR1020120157330 A KR 1020120157330A KR 20120157330 A KR20120157330 A KR 20120157330A KR 102013320 B1 KR102013320 B1 KR 102013320B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
stage
test substrate
unit
droplet
substrate
Prior art date
Application number
KR1020120157330A
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English (en)
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KR20140086621A (ko
Inventor
신혜원
Original Assignee
삼성디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
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Priority to US13/917,533 priority patent/US9610779B2/en
Priority to TW102121643A priority patent/TWI617018B/zh
Priority to CN201310268287.1A priority patent/CN103915575B/zh
Priority to JP2013254129A priority patent/JP6521563B2/ja
Publication of KR20140086621A publication Critical patent/KR20140086621A/ko
Priority to US15/459,485 priority patent/US10714687B2/en
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Abstract

본 발명은 디스플레이 패널 제조장치를 개시한다. 본 발명은, 스테이지 슬라이딩부와, 상기 스테이지 슬라이딩부에 슬라이딩 가능하도록 설치되며, 테스트 기판이 안착되는 제 1 스테이지와, 상기 스테이지 슬라이딩부에 설치되며, 메인 기판이 안착하는 제 2 스테이지와, 상기 스테이지 슬라이딩부로부터 이격되도록 설치되어 상기 테스트 기판에 유기물 액적을 토출한 후 상기 유기물 액적의 패턴을 검사하여 토출되는 상기 유기물 액적의 패턴을 수정하여 상기 메인 기판에 토출하는 패터닝부를 포함한다.

Description

디스플레이 패널 제조장치{Display panel manufacturing device}
본 발명은 제조장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 디스플레이 패널 제조장치에 관한 것이다.
이동성을 기반으로 하는 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 이동용 전자 기기로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 최근 들어 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.
이와 같은 이동형 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위하여, 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 디스플레이 장치를 포함한다. 최근, 디스플레이 장치를 구동하기 위한 기타 부품들이 소형화됨에 따라, 디스플레이 장치가 전자 기기에서 차지하는 비중이 점차 증가하고 있는 추세이며, 평평한 상태에서 소정의 각도를 갖도록 구부릴 수 있는 구조도 개발되고 있다.
한편, 상기와 같은 디스플레이 장치는 내부에 발광부를 구비하는 디스플레이 패널을 구비할 수 있다. 이때, 디스플레이 패널은 다양한 형태로 형성될 수 있으며, 다양한 제조방법으로 제조될 수 있다.
이러한 디스플레이 패널에는 다양한 층이 형성될 때 다양한 공정이 사용될 수 있다. 특히 디스플레이 패널의 다양한 층 중에서 유기물을 사용하는 경우 프린팅 공정을 통하여 유기물을 적층하거나 구조물을 형성할 수 있다. 이때, 일반적으로 프린팅 기법에서는 유기물 액적을 토출하여 다양한 층 또는 구조물을 형성할 수 있다. 특히 상기와 같은 프린팅 기법에서는 유기물 액적의 패턴을 어떻게 형성하느냐에 따라 디스플레이 패널의 해상도 등과 같은 인자를 결정할 수 있으므로 미리 테스트 기판에 유기물 액적을 패터닝한 후 메인 기판에 패터닝하는 것이 일반적이다. 그러나 일반적으로 상기와 같이 테스트 기판에 유기물 액적을 패터닝하는 경우 메인 기판의 제조 공정 중에 하는 것이 아닌 별도의 공간에서 진행된다.
본 발명의 실시예들은 유기물 액적의 정밀한 토출이 가능한 디스플레이 패널 제조장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 측면은, 스테이지 슬라이딩부와, 상기 스테이지 슬라이딩부에 슬라이딩 가능하도록 설치되며, 테스트 기판이 안착되는 제 1 스테이지와, 상기 스테이지 슬라이딩부에 설치되며, 메인 기판이 안착하는 제 2 스테이지와, 상기 스테이지 슬라이딩부로부터 이격되도록 설치되어 상기 테스트 기판에 유기물 액적을 토출한 후 상기 유기물 액적의 패턴을 검사하여 토출되는 상기 유기물 액적의 패턴을 수정하여 상기 메인 기판에 토출하는 패터닝부를 포함하는 액적 토출장치를 제공할 수 있다.
또한, 상기 제 1 스테이지에 설치되어 상기 테스트 기판을 상기 제 1 스테이지로부터 이격시키는 테스트 기판 승강 유닛을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 테스트 기판을 상기 제 1 스테이지로 로딩 또는 상기 제 1 스테이지로부터 언로딩시키거나 상기 메인 기판을 상기 제 2 스테이지로 로딩 또는 상기 제 2 스테이지로부터 언로딩시키는 기판제공유닛을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 스테이지 슬라이딩부로부터 이격되어 설치되며, 상기 테스트 기판에 토출된 상기 유기물 액적을 건조시키는 액적건조유닛을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 액적건조유닛과 대향하도록 배치되어 상기 테스트 기판이 안착하는 제 3 스테이지를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 패터닝부는, 상기 스테이지 슬라이딩부로부터 일정 간격 이격되도록 배치되며, 상기 스테이지 슬라이딩부의 길이 방향 및 길이 방향과 수직한 방향으로 이동 가능하도록 설치되는 메인 프레임과, 상기 메인 프레임에 설치되어 상기 테스트 기판 또는 상기 메인 기판에 상기 유기물 액적을 토출하는 액적토출부를 구비할 수 있다.
또한, 상기 패터닝부는, 상기 메인 프레임에 설치되어 상기 액적토출부에서 상기 테스트 기판에 토출된 상기 유기물 액적의 패턴을 분석하는 패턴분석부를 더 구비할 수 있다.
또한, 상기 패터닝부는, 상기 메인프레임 및 상기 스테이지 슬라이딩부로부터 이격되도록 설치되며, 상기 테스트 기판에 토출된 상기 유기물 액적의 패턴을 분석하는 패턴분석부를 더 구비할 수 있다.
또한, 상기 패턴분석부의 하면에 배치되어 상기 유기물 액적의 패턴이 형성된 상기 테스트 기판이 안착하는 제 4 스테이지를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 제 1 스테이지에는 언라인마크가 형성될 수 있다.
또한, 상기 제 1 스테이지 내부에 설치되어 상기 제 1 스테이지의 표면 온도를 제어하는 테스트기판가열유닛을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 제 1 스테이지와 상기 제 2 스테이지는 서로 이격되어 설치되거나 상기 연결되도록 설치될 수 있다.
본 발명의 다른 측면은, 스테이지 슬라이딩부와, 상기 스테이지 슬라이딩부에 설치되며, 테스트 기판 및 메인 기판이 안착되는 제 2 스테이지와, 상기 스테이지 슬라이딩부로부터 이격되어 설치되어 상기 테스트 기판에 유기물 액적을 토출한 후 상기 유기물 액적의 패턴을 검사하여 토출되는 상기 유기물 액적의 패턴을 수정하여 상기 메인 기판에 토출하는 패터닝부를 포함하는 액적 토출장치를 제공할 수 있다.
또한, 상기 제 2 스테이지는 상기 테스트 기판이 안착하는 테스트 기판 안착부를 구비할 수 있다.
또한, 상기 테스트 기판 안착부는 상기 테스트 기판을 가열하여 상기 유기물 액적을 경화시키는 테스트기판가열유닛을 구비할 수 있다.
또한, 상기 제 2 스테이지에 설치되어 상기 테스트 기판을 상기 스테이지로부터 이격시키는 테스트 기판 승강 유닛을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 스테이지 슬라이딩부의 길이 방향으로 이동 가능하도록 설치되며, 상기 테스트 기판을 상기 제 2 스테이지에 로딩 또는 상기 제 2 스테이지로부터 언로딩시키는 기판제공유닛을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 스테이지 슬라이딩부로부터 이격되어 설치되며, 상기 테스트 기판에 토출된 상기 유기물 액적을 건조시키는 액적건조유닛을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 액적건조유닛과 대향하도록 배치되어 상기 테스트 기판이 안착하는 제 3 스테이지를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 패터닝부는, 상기 스테이지 슬라이딩부로부터 일정 간격 이격되도록 배치되며, 상기 스테이지 슬라이딩부의 길이 방향 및 길이 방향과 수직한 방향으로 이동 가능하도록 설치되는 메인 프레임과, 상기 메인 프레임에 설치되어 상기 테스트 기판 또는 상기 메인 기판에 상기 유기물 액적을 토출하는 액적토출부를 구비할 수 있다.
또한, 상기 패터닝부는, 상기 메인 프레임에 설치되어 상기 액적토출부에서 상기 테스트 기판에 토출된 상기 유기물 액적의 패턴을 분석하는 패턴분석부를 더 구비할 수 있다.
또한, 상기 패터닝부는, 상기 메인프레임 및 상기 스테이지 슬라이딩부로부터 이격되도록 설치되며, 상기 테스트 기판에 토출된 상기 유기물 액적의 패턴을 분석하는 패턴분석부를 더 구비할 수 있다.
또한, 상기 패턴분석부의 하면에 배치되어 상기 유기물 액적의 패턴이 형성된 상기 테스트 기판이 안착하는 제 4 스테이지를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 제 2 스테이지에는 언라인마크가 형성될 수 있다.
본 발명의 실시예들은 별도로 테스트 기판(T)을 외부에서 테스트한 후 메인 기판에 적용하지 않아도 되므로 물류 비용 및 제조시간을 절감할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예들은 메인 기판의 제조와 동일한 조건에서 테스트 기판의 테스트가 가능하므로 정확한 검사가 가능하고 피드백을 통하여 검사 결과를 바로 적용 가능하므로 디스플레이 패널의 정밀한 제조가 가능하고, 불량률을 저감시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 디스플레이 패널 제조장치를 보여주는 개념도이다.
도 2는 도 1에 도시된 디스플레이 패널 제조장치를 통하여 디스플레이 패널을 제조하는 순서를 보여주는 개념도이다.
도 3은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 디스플레이 패널 제조장치를 보여주는 개념도이다.
도 4는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 디스플레이 패널 제조장치를 보여주는 개념도이다.
도 5는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 디스플레이 패널 제조장치를 보여주는 개념도이다.
도 6은 본 발명의 제 5 실시예에 따른 디스플레이 패널 제조장치를 보여주는 개념도이다.
도 7은 본 발명의 제 6 실시예에 따른 디스플레이 패널 제조장치를 보여주는 개념도이다.
본 발명은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 한편, 본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 디스플레이 패널 제조장치(100)를 보여주는 개념도이다. 도 2는 도 1에 도시된 디스플레이 패널 제조장치(100)를 통하여 디스플레이 패널을 제조하는 순서를 보여주는 개념도이다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 디스플레이 패널 제조장치(100)는 스테이지 슬라이딩부(110)를 포함할 수 있다. 이때, 스테이지 슬라이딩부(110)는 후술할 제 1 스테이지(120) 또는 제 2 스테이지(130)가 슬라이딩 가능하도록 설치될 수 있다. 특히 스테이지 슬라이딩부(110)는 리니어 모션 가이드(LM guide)를 구비할 수 있다.
한편, 디스플레이 패널 제조장치(100)는 스테이지 슬라이딩부(110)에 슬라이딩 가능하도록 설치되며, 테스트 기판(T)이 안착되는 제 1 스테이지(120)를 포함할 수 있다. 이때, 제 1 스테이지(120)에는 테스트 기판(T)을 정렬하기 위하여 언라인마크(151)가 형성될 수 있다.
또한, 디스플레이 패널 제조장치(100)는 스테이지 슬라이딩부(110)에 설치되어 메인 기판(M)이 안착하는 제 2 스테이지(130)를 포함할 수 있다. 이때, 제 1 스테이지(120) 및 제 2 스테이지(130) 중 적어도 하나는 스테이지 슬라이딩부(110)에 선형운동하도록 설치될 수 있다.
디스플레이 패널 제조장치(100)는 스테이지 슬라이딩부(110)로부터 이격되도록 설치되어 테스트 기판(T)에 유기물 액적(O)을 토출하는 패터닝부(140)를 포함할 수 있다. 이때, 패터닝부(140)는 테스트 기판(T)에서 토출된 유기물 액적(O)의 패턴을 검사한 후 유기물 액적(O)의 패턴을 수정한 후 메인 기판(M)에 토출할 수 있다.
특히 패터닝부(140)는 스테이지 슬라이딩부(110)로부터 일정 간격 이격되도록 배치되며, 스테이지 슬라이딩부(110)의 길이 방향 및 길이 방향과 수직한 방향으로 이동 가능하도록 설치되는 메인 프레임(141)을 포함할 수 있다. 이때, 메인 프레임(141)은 외부에 고정되도록 설치되는 고정프레임(미도시) 상에 상기와 같이 이동 가능하도록 설치될 수 있다.
또한, 패터닝부(140)는 메인 프레임(141)에 설치되어 테스트 기판(T) 또는 메인 기판(M)에 유기물 액적(O)을 토출하는 액적토출부(142)를 구비할 수 있다. 특히 패터닝부(140)는 메인 프레임(141)에 설치되어 액적토출부(142)에서 테스트 기판(T)에 토출된 유기물 액적(O)의 패턴을 분석하는 패턴분석부(143)를 포함할 수 있다. 이때, 패턴분석부(143)는 카메라 등을 구비함으로써 유기물 액적(O)의 패턴을 촬영하거나 센서를 구비하여 유기물 액적(O)의 패턴을 감지할 수 있다.
한편, 디스플레이 패널 제조장치(100)는 제 1 스테이지(120)에 설치되어 테스트 기판(T)을 제 1 스테이지(120)로부터 이격시키는 테스트 기판 승강 유닛(150)을 포함할 수 있다. 이때, 테스트 기판 승강 유닛(150)은 복수개 구비될 수 있으며, 복수개의 테스트 기판 승강 유닛(150)은 서로 일정 간격을 유지하도록 제 1 스테이지(120)에 설치될 수 있다. 또한, 테스트 기판 승강 유닛(150)은 유압 또는 공압으로 작동하는 실린더를 구비할 수 있으며, 샤프트와 기어 모듈, 모터 등을 통하여 테스트 기판(T)을 승강시키는 구성도 가능하다.
디스플레이 패널 제조장치(100)는 스테이지 슬라이딩부(110)로부터 일정 간격 이격되도록 설치되는 기판제공유닛(160)을 포함할 수 있다. 이때, 기판제공유닛(160)은 테스트 기판(T)을 제 1 스테이지(120)로 로딩시키거나 제 1 스테이지(120)로부터 언로딩시킬 수 있다. 또한, 기판제공유닛(160)은 메인 기판(M)을 제 2 스테이지(130)로 로딩시키거나 제 2 스테이지(130)로부터 언로딩시킬 수 있다.
상기와 같은 기판제공유닛(160)은 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 기판제공유닛(160)은 로봇암 형태로 형성될 수 있다. 특히 기판제공유닛(160)이 로봇암 형태로 형성되는 경우 일부가 회전 가능하도록 형성되어 테스트 기판(T) 또는 메인 기판(M)을 로딩 또는 언로딩할 수 있다.
기판제공유닛(160)은 제 1 스테이지(120)의 위치 또는 제 2 스테이지(130)의 위치에 따라서 선형운동 가능하도록 설치될 수 있다. 이때, 기판제공유닛(160)은 상기 고정프레임에 선형 운동 가능하도록 설치될 수 있다.
또한, 기판제공유닛(160)은 스테이지 슬라이딩부(110)로부터 이격되어 설치되는 액적건조유닛(170)을 포함할 수 있다. 이때, 액적건조유닛(170)은 스테이지 슬라이딩부(110) 상으로부터 이격되어 설치될 수 있다. 또한, 액적건조유닛(170)은 테스트 기판(T)에 토출된 유기물 액적(O)을 건조시킬 수 있다. 구체적으로 액적건조유닛(170)은 이동 가능하도록 설치되어 테스트 기판(T)에 유기물 액적(O)이 토출된 후 테스트 기판(T)과 접촉하여 진공상태를 유지시키고 열을 가하여 유기물 액적(O)을 건조시킬 수 있다.
한편, 도 2a 및 도 2b를 참고하여 상기와 같이 형성되는 디스플레이 패널 제조장치(100)의 작동방법을 살펴보면, 우선 테스트 기판(T)과 메인 기판(M)을 각각 제 1 스테이지(120) 및 제 2 스테이지(130)에 각각 언라인할 수 있다.
이때, 테스트 기판(T)은 기판제공유닛(160)에 의하여 제 1 스테이지(120)에 제공될 수 있다. 특히 기판제공유닛(160)은 언라인마크(151)에 대응되도록 테스트 기판(T)을 제 1 스테이지(120)에 안착시킬 수 있다. 상기와 같은 경우 기판제공유닛(160)의 작동에 따라 어느 정도 정밀도가 보장되므로 테스트 기판(T)은 언라인마크(151)와 대응되도록 제 1 스테이지(120)에 안착될 수 있다.
또한, 상기와 같이 기판제공유닛(160)을 통하여 테스트 기판(T)을 로딩하는 경우 테스트 기판 승강 유닛(150)은 상승하여 테스트 기판(T)을 지지할 수 있다. 이때, 테스트 기판 승강 유닛(150)은 테스트 기판(T)이 안착하면, 하강하여 테스트 기판(T)을 제 1 스테이지(120)에 안착시킬 수 있다.
도 2c를 참고하면, 패터닝부(140)를 통하여 유기물 액적(O)을 테스트 기판(T)에 토출할 수 있다. 특히 액적토출부(142)는 유기물 액적(O)을 테스트 기판(T) 상에 토출할 수 있다. 이때, 유기물 액적(O)을 형성하는 유기물은 디스플레이 패널을 제조할 때 사용되는 모든 유기물을 포함할 수 있다. 구체적으로 유기물은 화소 정의막을 형성하는 유기물, 패시베이션 층을 형성하는 유기물, 유기 발광층을 형성하는 유기물 등과 같이 디스플레이 패널의 제조에 있어서 사용하는 모든 유기물을 포함할 수 있다.
한편, 상기와 같이 유기물 액적(O)을 토출하여 유기물 액적(O)의 패턴을 테스트 기판(T) 상에 형성한 후 도 2d와 같이 제 1 스테이지(120)를 이동하여 액적건조유닛(170)의 하면에 배치시킬 수 있다. 이때, 제 1 스테이지(120)는 스테이지 슬라이딩부(110)를 슬라이딩하여 이동할 수 있다. 특히 제 1 스테이지(120)는 다양한 구동장치에 의하여 이동될 수 있다. 예를 들면, 상기 구동장치는 모터, 실린더 등을 구비함으로써 제 1 스테이지(120)를 이동시킬 수 있다.
상기의 과정이 완료되면, 도 2e와 같이 액적건조유닛(170)은 하강하여 테스트 기판(T)과 접촉할 수 있다. 이때, 테스트 기판(T)은 액적건조유닛(170)과 접촉하지 않고, 액적건조유닛(170)의 내부로 완전히 삽입되는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 액적건조유닛(170)과 테스트 기판(T)이 접촉하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
액적건조유닛(170)과 테스트 기판(T)이 접촉하면, 액적건조유닛(170)은 테스트 기판(T)과 접촉하는 부분의 환경을 진공 상태로 유지시킬 수 있다. 또한, 액적건조유닛(170)은 테스트 기판(T)과 접촉하는 부분에 열을 가하여 테스트 기판(T) 상의 유기물 액적(O)의 패턴을 경화시킬 수 있다. 특히 액적건조유닛(170)은 상기와 같이 테스트 기판(T) 상에 유기물 액적(O)의 패턴을 경화시킴으로써 유기물 액적(O)의 패턴을 자연적으로 건조할 때 필요한 시간을 단축함으로써 작업시간을 단축할 수 있다.
한편, 상기와 같이 테스트 기판(T) 상의 유기물 액적(O)의 패턴이 경화된 후 액적건조유닛(170)을 상승시켜 액적건조유닛(170)과 테스트 기판(T)을 분리할 수 있다. 또한, 상기의 과정이 완료되면, 제 1 스테이지(120)를 다시 이송시킬 수 있다. 이때, 제 1 스테이지(120)는 스테이지 슬라이딩부(110)를 슬라이딩하여 패터닝부(140)의 하면에 다시 위치할 수 있다.
상기와 같이 제 1 스테이지(120)가 위치하면, 도 2f와 같이 메인 프레임(141)을 스테이지 슬라이딩부(110)의 길이 방향과 수직한 방향으로 이동시켜 패턴분석부(143)가 테스트 기판(T) 상에 배치시킬 수 있다.
패턴분석부(143)는 테스트 기판(T)의 유기물 액적(O)의 패턴을 분석할 수 있다. 이때, 패턴분석부(143)는 유기물 액적(O)의 패턴을 촬영한 후 기 설정된 유기물 액적(O)의 패턴과 비교함으로써 테스트 기판(T) 상의 유기물 액적(O)의 패턴을 분석할 수 있다.
상기와 같이 분석한 유기물 액적(O)의 패턴을 근거로 패턴분석부(143)는 액적토출부(142)에서 토출되는 유기물 액적(O)의 패턴을 수정할 수 있다. 구체적으로 패턴분석부(143)는 기 설정된 유기물 액적(O)의 패턴과 토출되어 형성되는 유기물 액적(O)의 패턴을 서로 비교한 후 유기물 액적(O)의 토출 속도, 토출량, 토출 위치 등을 수정할 수 있다.
상기와 같이 테스트 기판(T) 상의 유기물 액적(O)의 패턴 분석이 완료되면, 도 2g와 같이 테스트 기판 승강 유닛(150)을 통하여 테스트 기판(T)을 제 1 스테이지(120)로부터 분리시킬 수 있다. 이때, 테스트 기판 승강 유닛(150)의 작동이 완료되면, 기판제공유닛(160)을 통하여 테스트 기판(T)을 언로딩하여 외부로 인출할 수 있다.
상기의 과정이 완료되면, 패터닝부(140)를 이송시킬 수 있다. 구체적으로 메인 프레임(141)은 스테이지 슬라이딩부(110)의 길이 방향으로 선형 운동하여 액적토출부(142)를 메인 기판(M) 상에 위치시킬 수 있다. 이때, 액적토출부(142)는 복수개 구비될 수 있으며, 복수개의 액적토출부(142)는 서로 일정 간격 이격되도록 배치될 수 있다. 특히 복수개의 액적토출부(142)는 각각 메인 프레임(141)에 고정될 수 있으며, 이동 가능하게 설치되는 것도 가능하다. 구체적으로 복수개의 액적토출부(142)는 디스플레이 패널의 제조 시 필요한 유기물 액적(O)의 패턴에 따라 다양하게 배치될 수 있다.
한편, 상기와 같이 패터닝부(140)의 위치가 정렬되면, 액적토출부(142)를 통하여 메인 기판(M) 상에 유기물 액적(O)을 토출하여 디스플레이 패널을 제조할 수 있다. 이때, 디스플레이 패널을 제조하는 방법은 일반적인 방법과 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
따라서 디스플레이 패널 제조장치(100)는 별도로 테스트 기판(T)을 외부에서 테스트한 후 메인 기판(M)에 적용하지 않아도 되므로 물류 비용 및 제조시간을 절감할 수 있다. 또한, 디스플레이 패널 제조장치(100)는 메인 기판(M)의 제조와 동일한 조건에서 테스트 기판(T)의 테스트가 가능하므로 정확한 검사가 가능하고 피드백을 통하여 검사 결과를 바로 적용 가능하므로 디스플레이 패널의 정밀한 제조가 가능하고, 불량률을 저감시킬 수 있다.
도 3은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 디스플레이 패널 제조장치(200)를 보여주는 개념도이다.
도 3을 참고하면, 디스플레이 패널 제조장치(200)는 디스플레이 패널 제조장치(200)는 스테이지 슬라이딩부(210), 제 1 스테이지(220), 제 2 스테이지(230), 패터닝부(240), 테스트 기판 승강 유닛(250), 기판제공유닛(260) 및 액적건조유닛(270)을 포함할 수 있다. 이때, 스테이지 슬라이딩부(210), 제 1 스테이지(220), 제 2 스테이지(230), 테스트 기판 승강 유닛(250), 기판제공유닛(260) 및 액적건조유닛(270)은 상기 도 1 및 도 2에서 설명한 스테이지 슬라이딩부(110), 제 1 스테이지(120), 제 2 스테이지(130), 테스트 기판 승강 유닛(150), 기판제공유닛(160) 및 액적건조유닛(170)과 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
한편, 패터닝부(240)는 메인 프레임(241), 액적토출부(242) 및 패턴분석부(243)를 구비할 수 있다. 이때, 메인 프레임(241) 및 액적토출부(242)는 상기 도 1 및 도 2에서 설명한 메인 프레임(141) 및 액적토출부(142)와 동일하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
패터닝부(240)는 상기에서 설명한 바와 같이 패턴분석부(243)를 포함할 수 있다. 이때, 패턴분석부(243)는 메인 프레임(241) 및 스테이지 슬라이딩부(210)로부터 이격되도록 설치될 수 있다. 구체적으로 패턴분석부(243)는 상기 고정프레임에 고정되도록 설치도리 수 있다. 이때, 패턴분석부(243)는 상기에서 설명한 바와 같이 테스트 기판(T)에 토출된 유기물 액적(O)의 패턴을 분석할 수 있다.
디스플레이 패널 제조장치(200)는 패턴분석부(243)의 하면에 배치되어 테스트 기판(T)이 안착하는 제 4 스테이지(290)를 포함할 수 있다. 이때, 제 4 스테이지(290)는 제 1 스테이지(220)에서 유기물 액적(O)의 패턴이 형성된 후 기판제공유닛(260)을 통하여 이송된 테스트 기판(T)이 안착할 수 있다. 또한, 제 4 스테이지(290)는 제 1 스테이지(220)와 일진석 상에 배치될 수 있으며, 제 1 스테이지(220)와 제 4 스테이지(290) 사이에는 기판제공유닛(260)이 배치될 수 있다.
한편, 디스플레이 패널 제조장치(200)의 작동 방법을 살펴보면, 상기에서 설명한 것과 유사하게 수행될 수 있다. 구체적으로 기판제공유닛(260)을 통하여 테스트 기판(T)을 제 1 스테이지(220) 상에 로딩할 수 있다. 이때, 테스트 기판 승강 유닛(250)이 승강한 후 테스트 기판(T)이 안착되면, 하강하여 테스트 기판(T)를 제 1 스테이지(220) 상에 안착할 수 있다.
상기의 과정이 완료되면, 액적토출부(242)에서 유기물 액적(O)을 테스트 기판(T) 상에 토출하고, 제 1 스테이지(220)가 이동하여 테스트 기판(T)을 액적건조유닛(270)의 하면에 배치시킬 수 있다. 이때, 액적건조유닛(270)은 상기에서 설명한 것과 유사하게 테스트 기판(T) 상의 유기물 액적(O)을 건조시킬 수 있다.
한편, 상기와 같이 유기물 액적(O)의 건조가 완료되면, 테스트 기판(T)을 제 1 스테이지(220)에서 제 4 스테이지(290)로 이송시킬 수 있다. 이때, 테스트 기판(T)을 이송시키는 방법은 다양할 수 있다. 예를 들면, 제 1 스테이지(220)를 이송시킨 후 기판제공유닛(260)을 통하여 제 4 스테이지(290)로 이송시킬 수 있다. 또한, 제 1 스테이지(220)의 위치를 고정한 후 기판제공유닛(260)을 통하여 테스트 기판(T)을 언로딩한 후 기판제공유닛(260)을 이송시켜 테스트 기판(T)을 제 4 스테이지(290)에 이송시키는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제 1 스테이지(220)가 이송된 후 테스트 기판(T)을 제 1 스테이지(220)로부터 제 4 스테이지(290)로 이송시키는 방법을 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
구체적으로 테스트 기판(T) 상의 유기물 액적(O)의 건조가 완료되면, 제 1 스테이지(220)는 다시 원위치로 이동할 수 있다. 이때, 테스트 기판 승강 유닛(250)이 작동하여 테스트 기판(T)을 제 1 스테이지(220)로부터 이격시킨 후 기판제공유닛(260)은 테스트 기판(T)을 제 4 스테이지(290)로 이송시킬 수 있다.
한편, 상기와 같이 테스트 기판(T)이 제 4 스테이지(290)에 안착되면, 패턴분석부(243)에서는 유기물 액적(O)의 패턴을 검사할 수 있다. 이때, 패턴분석부(243)가 검사하는 방법은 상기에서 설명한 바와 유사하게 수행되므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
상기와 같이 유기물 액적(O)의 패턴을 분석한 후 상기의 결과를 근거로 액적토출부(242)에서 토출되는 유기물 액적(O)을 조절하도록 액적토출부(242)를 제어할 수 있다. 이때, 유기물 액적(O)의 조절방법 및 조절되는 인자는 상기에서 설명한 바와 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. 이때, 메인 프레임(241)은 메인 기판(M) 상에 위치할 수 있으며, 액적토출부(242)는 수정된 유기물 액적(O)의 패턴을 메인 기판(M)상에 토출할 수 있다.
따라서 디스플레이 패널 제조장치(200)는 별도로 테스트 기판(T)을 외부에서 테스트한 후 메인 기판(M)에 적용하지 않아도 되므로 물류 비용 및 제조시간을 절감할 수 있다. 또한, 디스플레이 패널 제조장치(200)는 메인 기판(M)의 제조와 동일한 조건에서 테스트 기판(T)의 테스트가 가능하므로 정확한 검사가 가능하고 피드백을 통하여 검사 결과를 바로 적용 가능하므로 디스플레이 패널의 정밀한 제조가 가능하고, 불량률을 저감시킬 수 있다.
도 4는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 디스플레이 패널 제조장치(300)를 보여주는 개념도이다.
도 4를 참고하면, 디스플레이 패널 제조장치(300)는 디스플레이 패널 제조장치(300)는 스테이지 슬라이딩부(310), 제 1 스테이지(320), 제 2 스테이지(330), 제 4 스테이지(390), 패터닝부(340), 테스트 기판 승강 유닛(350), 기판제공유닛(360) 및 액적건조유닛(370)을 포함할 수 있다. 이때, 스테이지 슬라이딩부(310), 제 1 스테이지(320), 제 2 스테이지(330), 제 4 스테이지(390), 테스트 기판 승강 유닛(350), 기판제공유닛(360) 및 액적건조유닛(370)은 상기 도 3에서 설명한 스테이지 슬라이딩부(210), 제 1 스테이지(220), 제 2 스테이지(230), 제 4 스테이지(290), 테스트 기판 승강 유닛(250), 기판제공유닛(260) 및 액적건조유닛(270)과 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
한편, 패터닝부(340)는 메인 프레임(341), 액적토출부(342) 및 패턴분석부(343)를 구비할 수 있다. 이때, 메인 프레임(341), 액적토출부(342) 및 패턴분석부(343)는 상기 도 3에서 설명한 메인 프레임(241), 액적토출부(242) 및 패턴분석부(243)와 동일하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
디스플레이 패널 제조장치(300)는 액적건조유닛(370)과 대향하도록 배치되어 테스트 기판(T)이 안착하는 제 3 스테이지(380)를 포함할 수 있다. 이때, 제 3 스테이지(380)는 액적건조유닛(370)이 테스트 기판(T)을 건조할 때, 테스트 기판(T)이 안착되어 지지할 수 있다. 또한, 상기와 같이 제 3 스테이지(380)가 설치되는 경우 액적건조유닛(370)은 스테이지 슬라이딩부(310) 상에 배치되는 것이 아니라 제 3 스테이지(380)와 대향하도록 배치될 수 있다. 또한, 상기와 같이 제 3 스테이지(380)와 액적건조유닛(370)이 배치되는 경우 제 3 스테이지(380)와 액적건조유닛(370)은 스테이지 슬라이딩부(310), 제 1 스테이지(320), 제 2 스테이지(330) 등과 별도의 공간에 설치되는 것도 가능하다.
한편, 디스플레이 패널 제조장치(300)의 작동 방법을 살펴보면, 상기에서 설명한 것과 유사하게 수행될 수 있다. 구체적으로 기판제공유닛(360)을 통하여 테스트 기판(T)을 제 1 스테이지(320) 상에 로딩할 수 있다. 이때, 테스트 기판 승강 유닛(350)이 승강한 후 테스트 기판(T)이 안착되면, 하강하여 테스트 기판(T)를 제 1 스테이지(320) 상에 안착할 수 있다.
상기의 과정이 완료되면, 액적토출부(342)에서 테스트 기판(T) 상에 유기물 액적(O)을 토출할 수 있다. 또한, 제 1 스테이지(320) 상의 테스트 기판(T)에 유기물 액적(O)의 토출이 완료되면, 테스트 기판 승강 유닛(350)은 테스트 기판(T)을 상승시킬 수 있다. 이때, 기판제공유닛(360)은 테스트 기판 승강 유닛(350) 상의 테스트 기판(T)을 로딩하여 제 1 스테이지(320)로부터 제 3 스테이지(380)로 테스트 기판(T)을 이동시킬 수 있다.
제 3 스테이지(380)에 테스트 기판(T)이 이동하면, 액적건조유닛(370)이 하강하여 테스트 기판(T)을 건조시킬 수 있다. 이때, 액적건조유닛(370)이 테스트 기판(T)을 건조시키는 경우는 상기에서 설명한 것과 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
한편, 상기와 같이 유기물 액적(O)의 건조가 완료되면, 테스트 기판(T)을 제 3 스테이지(380)에서 제 4 스테이지(390)로 이송시킬 수 있다. 이때, 테스트 기판(T)을 이송시키는 방법은 다양할 수 있다. 예를 들면, 제 3 스테이지(380)를 이송시킨 후 기판제공유닛(360)을 통하여 제 4 스테이지(390)로 이송시킬 수 있다. 또한, 제 3 스테이지(380)의 위치를 고정한 후 기판제공유닛(360)을 통하여 테스트 기판(T)을 언로딩한 후 기판제공유닛(360)을 이송시켜 테스트 기판(T)을 제 4 스테이지(390)에 이송시키는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 기판제공유닛(360)으로 테스트 기판(T)을 제 3 스테이지(380)로부터 제 4 스테이지(390)로 이송시키는 방법을 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
구체적으로 테스트 기판(T) 상의 유기물 액적(O)의 건조가 완료되면, 기판제공유닛(360)을 통하여 테스트 기판(T)을 제 3 스테이지(380)로부터 제 4 스테이지(390)로 이송시킬 수 있다. 이때, 제 3 스테이지(380)와 제 4 스테이지(390) 상에는 테스트 기판 승강 유닛(350)과 유사한 구조물을 통하여 테스트 기판(T)을 승하강시킬 수 있다.
한편, 상기와 같이 테스트 기판(T)이 제 4 스테이지(390)에 안착되면, 패턴분석부(343)에서는 유기물 액적(O)의 패턴을 검사할 수 있다. 이때, 패턴분석부(343)가 검사하는 방법은 상기에서 설명한 바와 유사하게 수행되므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
상기와 같이 유기물 액적(O)의 패턴을 분석한 후 상기의 결과를 근거로 액적토출부(342)에서 토출되는 유기물 액적(O)을 조절하도록 액적토출부(342)를 제어할 수 있다. 이때, 유기물 액적(O)의 조절방법 및 조절되는 인자는 상기에서 설명한 바와 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. 이때, 메인 프레임(341)은 메인 기판(M) 상에 위치할 수 있으며, 액적토출부(342)는 수정된 유기물 액적(O)의 패턴을 메인 기판(M)상에 토출할 수 있다.
따라서 디스플레이 패널 제조장치(300)는 별도로 테스트 기판(T)을 외부에서 테스트한 후 메인 기판(M)에 적용하지 않아도 되므로 물류 비용 및 제조시간을 절감할 수 있다. 또한, 디스플레이 패널 제조장치(300)는 메인 기판(M)의 제조와 동일한 조건에서 테스트 기판(T)의 테스트가 가능하므로 정확한 검사가 가능하고 피드백을 통하여 검사 결과를 바로 적용 가능하므로 디스플레이 패널의 정밀한 제조가 가능하고, 불량률을 저감시킬 수 있다.
특히 디스플레이 패널 제조장치(300)는 테스트 기판(T)을 건조시키기 위한 액적건조유닛(370)을 별도로 형성됨으로써 테스트 기판(T) 건조로 인한 메인 기판(M)의 공정에 영향을 미칠 수 있는 인자를 제거할 수 있다.
도 5는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 디스플레이 패널 제조장치(400)를 보여주는 개념도이다.
도 5를 참고하면, 디스플레이 패널 제조장치(400)는 디스플레이 패널 제조장치(400)는 스테이지 슬라이딩부(410), 제 1 스테이지(420), 제 2 스테이지(430), 패터닝부(440), 테스트 기판 승강 유닛(450) 및 기판제공유닛(460)을 포함할 수 있다. 이때, 스테이지 슬라이딩부(410), 제 1 스테이지(420), 테스트 기판 승강 유닛(450) 및 기판제공유닛(460)은 상기 도 1 및 도 2에서 설명한 스테이지 슬라이딩부(110), 제 1 스테이지(120), 테스트 기판 승강 유닛(150) 및 기판제공유닛(160)과 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
이때, 제 1 스테이지(420)와 제 2 스테이지(430)는 서로 인접하도록 설치될 수 있다. 구체적으로 제 1 스테이지(420)와 제 2 스테이지(430)는 서로 연결되도록 설치될 수 있으며, 제 1 스테이지(420)와 제 2 스테이지(430)가 서로 일체로 형성되는 것도 가능하다.
한편, 패터닝부(440)는 메인 프레임(441), 액적토출부(442) 및 패턴분석부(443)를 구비할 수 있다. 이때, 패터닝부(440)는 상기 도 1 및 도 2에서 설명한 메인 프레임(141), 액적토출부(142) 및 패턴분석부(143)을 구비할 수 있다. 또한, 패터닝부(440)는 상기 도 3 및 도 4에서 설명한 메인 프레임(241), 액적토출부(242) 및 패턴분석부(243)를 구비할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 패터닝부(440)가 상기 도 1 및 도 2에서 설명한 메인 프레임(141), 액적토출부(142) 및 패턴분석부(143)을 구비하는 경우를 중심으로 상세히 설명하며, 메인 프레임(441), 액적토출부(442) 및 패턴분석부(443)는 상기 도 1 및 도 2에서 설명한 것과 동일하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
디스플레이 패널 제조장치(400)는 제 1 스테이지(420) 내부에 설치되어 제 1 스테이지(420)의 표면 온도를 제어하는 테스트기판가열유닛(421)을 포함할 수 있다. 특히, 테스트기판가열유닛(421)은 제 1 스테이지(420) 내부에 설치되는 열선, 히터 등과 같은 가열장치를 구비할 수 있다. 이때, 상기 도 1 및 도 2에서 설명한 바와 같이 디스플레이 패널 제조장치(400)는 별도의 액적건조유닛(170)을 구비하지 않을 수 있다.
또한, 디스플레이 패널 제조장치(400)는 제 3 스테이지(미도시)와 제 4 스테이지(미도시)를 구비하는 것도 가능하다. 이때, 상기 제 3 스테이지와 상기 제 4 스테이지는 상기 도 3 및 도 4에서 설명한 것과 동일 또는 유사하게 형성될 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 상기 제 3 스테이지와 상기 제 4 스테이지가 별도로 구비되는 경우가 아닌 제 1 스테이지(420) 및 제 2 스테이지(430)만 구비하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
한편, 디스플레이 패널 제조장치(400)의 작동 방법을 살펴보면, 상기에서 설명한 것과 유사하게 수행될 수 있다. 구체적으로 기판제공유닛(460)을 통하여 테스트 기판(T)을 제 1 스테이지(420) 상에 로딩할 수 있다. 이때, 테스트 기판 승강 유닛(450)이 승강한 후 테스트 기판(T)이 안착되면, 하강하여 테스트 기판(T)를 제 1 스테이지(420) 상에 안착할 수 있다.
상기의 과정이 완료되면, 테스트 기판(T) 상에 액적토출부(442)를 통하여 유기물 액적(O)을 토출할 수 있다. 또한, 제 1 스테이지(420) 상의 테스트 기판(T)에 유기물 액적(O)의 토출이 완료되면, 테스트기판가열유닛(421)을 통하여 제 1 스테이지(420) 상의 테스트 기판(T)을 가열할 수 있다. 상기와 같은 가열을 통하여 테스트 기판(T) 상의 유기물 액적(O)은 건조되면서 경화될 수 있다.
상기와 같이 테스트 기판(T) 상의 유기물 액적(O)을 건조한 후 패턴분석부(443)를 통하여 유기물 액적(O)의 패턴을 분석할 수 있다. 이때, 패턴분석부(443)가 검사하는 방법은 상기에서 설명한 바와 유사하게 수행되므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
상기의 과정이 완료되면, 메인 프레임(441)을 스테이지 슬라이딩부(410)의 길이방향으로 선형 운동시켜 액적토출부(442)를 메인 기판(M) 상에 배치할 수 있다.
이때, 상기와 같이 유기물 액적(O)의 패턴을 분석한 후 상기의 결과를 근거로 액적토출부(442)에서 토출되는 유기물 액적(O)을 조절하도록 액적토출부(442)를 제어할 수 있다. 유기물 액적(O)의 조절방법 및 조절되는 인자는 상기에서 설명한 바와 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. 이때, 메인 프레임(441)은 메인 기판(M) 상에 위치할 수 있으며, 액적토출부(442)는 수정된 유기물 액적(O)의 패턴을 메인 기판(M)상에 토출할 수 있다.
따라서 디스플레이 패널 제조장치(400)는 별도로 테스트 기판(T)을 외부에서 테스트한 후 메인 기판(M)에 적용하지 않아도 되므로 물류 비용 및 제조시간을 절감할 수 있다. 또한, 디스플레이 패널 제조장치(400)는 메인 기판(M)의 제조와 동일한 조건에서 테스트 기판(T)의 테스트가 가능하므로 정확한 검사가 가능하고 피드백을 통하여 검사 결과를 바로 적용 가능하므로 디스플레이 패널의 정밀한 제조가 가능하고, 불량률을 저감시킬 수 있다.
도 6은 본 발명의 제 5 실시예에 따른 디스플레이 패널 제조장치(500)를 보여주는 개념도이다.
도 6을 참고하면, 디스플레이 패널 제조장치(500)는 디스플레이 패널 제조장치(500)는 스테이지 슬라이딩부(510), 제 2 스테이지(530), 패터닝부(540), 테스트 기판 승강 유닛(미도시), 액적건조유닛(570) 및 기판제공유닛(560)을 포함할 수 있다. 이때, 스테이지 슬라이딩부(510), 제 2 스테이지(530), 상기 테스트 기판 승강 유닛, 액적건조유닛(570) 및 기판제공유닛(560)은 상기 도 1 및 도 2에서 설명한 스테이지 슬라이딩부(110), 제 2 스테이지(130), 테스트 기판 승강 유닛(150), 액적건조유닛(170) 및 기판제공유닛(160)과 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
한편, 패터닝부(540)는 메인 프레임(541), 액적토출부(542) 및 패턴분석부(543)를 구비할 수 있다. 이때, 패터닝부(540)는 상기 도 1 및 도 2에서 설명한 메인 프레임(141), 액적토출부(142) 및 패턴분석부(143)을 구비할 수 있다. 또한, 패터닝부(540)는 상기 도 3 및 도 4에서 설명한 메인 프레임(241), 액적토출부(242) 및 패턴분석부(243)를 구비할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 패터닝부(540)가 상기 도 1 및 도 2에서 설명한 메인 프레임(141), 액적토출부(142) 및 패턴분석부(143)을 구비하는 경우를 중심으로 상세히 설명하며, 메인 프레임(541), 액적토출부(542) 및 패턴분석부(543)는 상기 도 1 및 도 2에서 설명한 것과 동일하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
또한, 디스플레이 패널 제조장치(500)는 제 3 스테이지(미도시)와 제 4 스테이지(미도시)를 구비하는 것도 가능하다. 이때, 상기 제 3 스테이지와 상기 제 4 스테이지는 상기 도 3 및 도 4에서 설명한 것과 동일 또는 유사하게 형성될 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 상기 제 3 스테이지와 상기 제 4 스테이지가 별도로 구비되는 경우가 아닌 제 2 스테이지(530)만 구비하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제 2 스테이지(530) 상에는 테스트 기판(T)을 언라인하기 위한 언라인마크(미도시)가 형성될 수 있다. 이때, 상기 언라인마크는 상기 도 1 및 도 2에서 설명한 제 1 스테이지(120) 상에 형성되는 언라인마크(151)와 동일 유사하게 형성되고 작동하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
한편, 디스플레이 패널 제조장치(500)의 작동 방법을 살펴보면, 상기에서 설명한 것과 유사하게 수행될 수 있다. 구체적으로 기판제공유닛(560)을 통하여 테스트 기판(T)을 제 2 스테이지(530) 상에 로딩할 수 있다. 이때, 상기 테스트 기판 승강 유닛이 승강한 후 테스트 기판(T)이 안착되면, 하강하여 테스트 기판(T)를 제 2 스테이지(530) 상에 안착할 수 있다.
상기의 과정이 완료되면, 테스트 기판(T) 상에 액적토출부(542)를 통하여 유기물 액적(O)을 토출할 수 있다. 또한, 제 2 스테이지(530) 상의 테스트 기판(T)에 유기물 액적(O)의 토출이 완료되면, 제 2 스테이지(530)를 스테이지 슬라이딩부(510)의 길이방향으로 선형운동시켜 액적건조유닛(570)의 하면에 테스트 기판(T)을 위치시킬 수 있다. 이때, 액적건조유닛(570)은 상기 도 1 및 도 2에서 설명한 바와 같이 하강하여 테스트 기판(T) 상의 유기물 액적(O)을 건조시켜 경화시킬 수 있다.
상기와 같이 테스트 기판(T) 상의 유기물 액적(O)을 건조한 후 패턴분석부(543)를 통하여 유기물 액적(O)의 패턴을 분석할 수 있다. 이때, 패턴분석부(543)가 검사하는 방법은 상기에서 설명한 바와 유사하게 수행되므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
상기의 과정인 완료되면, 기판제공유닛(560)은 테스트 기판(T)을 제 2 스테이지(530) 상에서 언로딩한 후 제 2 스테이지(530) 상에 메인 기판(M)을 로딩할 수 있다.
상기의 과정이 완료되면, 메인 프레임(541)을 스테이지 슬라이딩부(510)의 길이방향으로 선형 운동시켜 액적토출부(542)를 메인 기판(M) 상에 배치할 수 있다.
이때, 상기와 같이 유기물 액적(O)의 패턴을 분석한 후 상기의 결과를 근거로 액적토출부(542)에서 토출되는 유기물 액적(O)을 조절하도록 액적토출부(542)를 제어할 수 있다. 유기물 액적(O)의 조절방법 및 조절되는 인자는 상기에서 설명한 바와 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. 이때, 메인 프레임(541)은 메인 기판(M) 상에 위치할 수 있으며, 액적토출부(542)는 수정된 유기물 액적(O)의 패턴을 메인 기판(M)상에 토출할 수 있다.
따라서 디스플레이 패널 제조장치(500)는 별도로 테스트 기판(T)을 외부에서 테스트한 후 메인 기판(M)에 적용하지 않아도 되므로 물류 비용 및 제조시간을 절감할 수 있다. 또한, 디스플레이 패널 제조장치(500)는 메인 기판(M)의 제조와 동일한 조건에서 테스트 기판(T)의 테스트가 가능하므로 정확한 검사가 가능하고 피드백을 통하여 검사 결과를 바로 적용 가능하므로 디스플레이 패널의 정밀한 제조가 가능하고, 불량률을 저감시킬 수 있다.
도 7은 본 발명의 제 6 실시예에 따른 디스플레이 패널 제조장치(600)를 보여주는 개념도이다.
도 7을 참고하면, 디스플레이 패널 제조장치(600)는 디스플레이 패널 제조장치(600)는 스테이지 슬라이딩부(610), 제 2 스테이지(630), 패터닝부(640), 테스트 기판 승강 유닛(미도시) 및 기판제공유닛(660)을 포함할 수 있다. 이때, 스테이지 슬라이딩부(610), 제 2 스테이지(630), 상기 테스트 기판 승강 유닛 및 기판제공유닛(660)은 상기 도 6에서 설명한 스테이지 슬라이딩부(510), 제 2 스테이지(530), 상기 테스트 기판 승강 유닛 및 기판제공유닛(560)과 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
한편, 패터닝부(640)는 메인 프레임(641), 액적토출부(642) 및 패턴분석부(643)를 구비할 수 있다. 이때, 패터닝부(640)는 상기 도 1 및 도 2에서 설명한 메인 프레임(141), 액적토출부(142) 및 패턴분석부(143)을 구비할 수 있다. 또한, 패터닝부(640)는 상기 도 3 및 도 4에서 설명한 메인 프레임(241), 액적토출부(242) 및 패턴분석부(243)를 구비할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 패터닝부(640)가 상기 도 1 및 도 2에서 설명한 메인 프레임(141), 액적토출부(142) 및 패턴분석부(143)을 구비하는 경우를 중심으로 상세히 설명하며, 메인 프레임(641), 액적토출부(642) 및 패턴분석부(643)는 상기 도 1 및 도 2에서 설명한 것과 동일하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
또한, 디스플레이 패널 제조장치(600)는 제 3 스테이지(미도시)와 제 4 스테이지(미도시)를 구비하는 것도 가능하다. 이때, 상기 제 3 스테이지와 상기 제 4 스테이지는 상기 도 3 및 도 4에서 설명한 것과 동일 또는 유사하게 형성될 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 상기 제 3 스테이지와 상기 제 4 스테이지가 별도로 구비되는 경우가 아닌 제 2 스테이지(630)만 구비하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제 2 스테이지(630)는 테스트 기판(T)이 안착하는 테스트 기판 안착부(631)가 형성될 수 있다. 이때, 테스트 기판 안착부(631)는 테스트 기판(T)을 가열하여 유기물 액적(O)을 경화시키는 테스트기판가열유닛(632)을 포함할 수 있다. 특히 테스트기판가열유닛(632)은 플레이트 형태로 형성될 수 있으며, 열선이나 히터 등과 같은 가열장치를 포함하는 것도 가능하다.
한편, 디스플레이 패널 제조장치(600)의 작동 방법을 살펴보면, 상기에서 설명한 것과 유사하게 수행될 수 있다. 구체적으로 기판제공유닛(660)을 통하여 테스트 기판(T)을 제 2 스테이지(630) 상에 로딩할 수 있다. 이때, 테스트 기판(T)은 제 2 스테이지(630) 상의 테스트 기판 안착부(631)에 안착할 수 있다. 특히 테스트 기판 안착부(631)에는 상기 테스트 기판 승강 유닛이 설치되어 상기 테스트 기판 승강 유닛이 승강한 후 테스트 기판(T)이 안착된 후 하강하여 테스트 기판(T)를 제 2 스테이지(630) 상에 안착할 수 있다.
상기의 과정이 완료되면, 테스트 기판(T) 상에 액적토출부(642)를 통하여 유기물 액적(O)을 토출할 수 있다. 또한, 제 2 스테이지(630) 상의 테스트 기판(T)에 유기물 액적(O)의 토출이 완료되면, 테스트기판가열유닛(632)이 작동하여 테스트 기판(T) 상의 유기물 액적(O)을 건조시켜 경화시킬 수 있다.
상기와 같이 테스트 기판(T) 상의 유기물 액적(O)을 건조한 후 패턴분석부(643)를 통하여 유기물 액적(O)의 패턴을 분석할 수 있다. 이때, 패턴분석부(643)가 검사하는 방법은 상기에서 설명한 바와 유사하게 수행되므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
상기의 과정인 완료되면, 기판제공유닛(660)은 테스트 기판(T)을 제 2 스테이지(630) 상에서 언로딩한 후 제 2 스테이지(630) 상에 메인 기판(M)을 로딩할 수 있다. 이때, 상기 테스트 기판 승강 유닛이 작동하여 테스트 기판 안착부(631)로부터 테스트 기판(T)을 분리할 수 있다.
상기의 과정이 완료되면, 메인 프레임(641)을 스테이지 슬라이딩부(610)의 길이방향으로 선형 운동시켜 액적토출부(642)를 메인 기판(M) 상에 배치할 수 있다.
이때, 상기와 같이 유기물 액적(O)의 패턴을 분석한 후 상기의 결과를 근거로 액적토출부(642)에서 토출되는 유기물 액적(O)을 조절하도록 액적토출부(642)를 제어할 수 있다. 유기물 액적(O)의 조절방법 및 조절되는 인자는 상기에서 설명한 바와 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. 이때, 메인 프레임(641)은 메인 기판(M) 상에 위치할 수 있으며, 액적토출부(642)는 수정된 유기물 액적(O)의 패턴을 메인 기판(M)상에 토출할 수 있다.
따라서 디스플레이 패널 제조장치(600)는 별도로 테스트 기판(T)을 외부에서 테스트한 후 메인 기판(M)에 적용하지 않아도 되므로 물류 비용 및 제조시간을 절감할 수 있다. 또한, 디스플레이 패널 제조장치(600)는 메인 기판(M)의 제조와 동일한 조건에서 테스트 기판(T)의 테스트가 가능하므로 정확한 검사가 가능하고 피드백을 통하여 검사 결과를 바로 적용 가능하므로 디스플레이 패널의 정밀한 제조가 가능하고, 불량률을 저감시킬 수 있다.
비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되었지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위에는 본 발명의 요지에 속하는 한 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.
100, 200, 300, 400, 500, 600 : 디스플레이 패널 제조장치
110, 210, 310, 410, 510, 610 : 스테이지 슬라이딩부
130, 230, 330, 430, 530, 630 : 제 2 스테이지
140, 240, 340, 440, 540, 640 : 패터닝부
141, 241, 341, 441, 541, 641 : 메인 프레임
142, 242, 342, 442, 542, 642 : 액적토출부
143, 243, 343, 443, 543, 643 : 패터닝부
160, 260, 360, 460, 560, 660 : 기판제공유닛

Claims (24)

  1. 스테이지 슬라이딩부;
    상기 스테이지 슬라이딩부에 슬라이딩 가능하도록 설치되며, 테스트 기판이 안착되는 제 1 스테이지;
    상기 스테이지 슬라이딩부에 설치되며, 메인 기판이 안착하는 제 2 스테이지;
    상기 스테이지 슬라이딩부로부터 이격되도록 설치되어 상기 테스트 기판에 유기물 액적을 토출한 후 상기 유기물 액적의 패턴을 검사하여 토출되는 상기 유기물 액적의 패턴을 수정하여 상기 메인 기판에 토출하는 패터닝부; 및
    상기 스테이지 슬라이딩부로부터 이격되어 설치되며, 상기 테스트 기판과 접촉하여 진공 상태를 유지시키고 상기 테스트 기판에 토출된 상기 유기물 액적을 건조시키는 액적건조유닛;를 포함하는 액적 토출장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 스테이지에 설치되어 상기 테스트 기판을 상기 제 1 스테이지로부터 이격시키는 테스트 기판 승강 유닛;을 더 포함하는 액적 토출장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 테스트 기판을 상기 제 1 스테이지로 로딩 또는 상기 제 1 스테이지로부터 언로딩시키거나 상기 메인 기판을 상기 제 2 스테이지로 로딩 또는 상기 제 2 스테이지로부터 언로딩시키는 기판제공유닛;을 더 포함하는 액적 토출장치.
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 액적건조유닛과 대향하도록 배치되어 상기 테스트 기판이 안착하는 제 3 스테이지;를 더 포함하는 액적 토출장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 패터닝부는,
    상기 스테이지 슬라이딩부로부터 일정 간격 이격되도록 배치되며, 상기 스테이지 슬라이딩부의 길이 방향 및 길이 방향과 수직한 방향으로 이동 가능하도록 설치되는 메인 프레임; 및
    상기 메인 프레임에 설치되어 상기 테스트 기판 또는 상기 메인 기판에 상기 유기물 액적을 토출하는 액적토출부;를 구비하는 액적 토출장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 패터닝부는,
    상기 메인 프레임에 설치되어 상기 액적토출부에서 상기 테스트 기판에 토출된 상기 유기물 액적의 패턴을 분석하는 패턴분석부;를 더 구비하는 액적 토출장치.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 패터닝부는,
    상기 메인프레임 및 상기 스테이지 슬라이딩부로부터 이격되도록 설치되며, 상기 테스트 기판에 토출된 상기 유기물 액적의 패턴을 분석하는 패턴분석부;를 더 구비하는 액적 토출장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 패턴분석부의 하면에 배치되어 상기 유기물 액적의 패턴이 형성된 상기 테스트 기판이 안착하는 제 4 스테이지;를 더 포함하는 액적 토출장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 스테이지에는 언라인마크가 형성된 액적 토출장치.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 스테이지 내부에 설치되어 상기 제 1 스테이지의 표면 온도를 제어하는 테스트기판가열유닛;을 더 포함하는 액적 토출장치.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 스테이지와 상기 제 2 스테이지는 서로 이격되어 설치되거나 서로 연결되도록 설치되는 액적 토출장치.
  13. 스테이지 슬라이딩부;
    상기 스테이지 슬라이딩부에 설치되며, 테스트 기판 및 메인 기판이 안착되는 제 2 스테이지;
    상기 스테이지 슬라이딩부로부터 이격되어 설치되어 상기 테스트 기판에 유기물 액적을 토출한 후 상기 유기물 액적의 패턴을 검사하여 토출되는 상기 유기물 액적의 패턴을 수정하여 상기 메인 기판에 토출하는 패터닝부; 및
    상기 스테이지 슬라이딩부로부터 이격되어 설치되며, 상기 테스트 기판과 접촉하여 진공 상태를 유지시키고 상기 테스트 기판에 토출된 상기 유기물 액적을 건조시키는 액적건조유닛;를 포함하는 액적 토출장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 제 2 스테이지는 상기 테스트 기판이 안착하는 테스트 기판 안착부;를 구비하는 액적 토출장치.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 테스트 기판 안착부는 상기 테스트 기판을 가열하여 상기 유기물 액적을 경화시키는 테스트기판가열유닛;을 구비하는 액적 토출장치.
  16. 제 13 항에 있어서,
    상기 제 2 스테이지에 설치되어 상기 테스트 기판을 상기 스테이지로부터 이격시키는 테스트 기판 승강 유닛;을 더 포함하는 액적 토출장치.
  17. 제 13 항에 있어서,
    상기 스테이지 슬라이딩부의 길이 방향으로 이동 가능하도록 설치되며, 상기 테스트 기판을 상기 제 2 스테이지에 로딩 또는 상기 제 2 스테이지로부터 언로딩시키는 기판제공유닛;을 더 포함하는 액적 토출장치.
  18. 삭제
  19. 제 13 항에 있어서,
    상기 액적건조유닛과 대향하도록 배치되어 상기 테스트 기판이 안착하는 제 3 스테이지;를 더 포함하는 액적 토출장치.
  20. 제 13 항에 있어서,
    상기 패터닝부는,
    상기 스테이지 슬라이딩부로부터 일정 간격 이격되도록 배치되며, 상기 스테이지 슬라이딩부의 길이 방향 및 길이 방향과 수직한 방향으로 이동 가능하도록 설치되는 메인 프레임; 및
    상기 메인 프레임에 설치되어 상기 테스트 기판 또는 상기 메인 기판에 상기 유기물 액적을 토출하는 액적토출부;를 구비하는 액적 토출장치.
  21. 제 20 항에 있어서,
    상기 패터닝부는,
    상기 메인 프레임에 설치되어 상기 액적토출부에서 상기 테스트 기판에 토출된 상기 유기물 액적의 패턴을 분석하는 패턴분석부;를 더 구비하는 액적 토출장치.
  22. 제 20 항에 있어서,
    상기 패터닝부는,
    상기 메인프레임 및 상기 스테이지 슬라이딩부로부터 이격되도록 설치되며, 상기 테스트 기판에 토출된 상기 유기물 액적의 패턴을 분석하는 패턴분석부;를 더 구비하는 액적 토출장치.
  23. 제 22 항에 있어서,
    상기 패턴분석부의 하면에 배치되어 상기 유기물 액적의 패턴이 형성된 상기 테스트 기판이 안착하는 제 4 스테이지;를 더 포함하는 액적 토출장치.
  24. 제 13 항에 있어서,
    상기 제 2 스테이지에는 언라인마크가 형성된 액적 토출장치.
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