KR101738003B1

KR101738003B1 - 기판 적재 카세트의 서포트 바를 지지하기 위한 인서트 구조체 및 이를 구비한 카세트

Info

Publication number: KR101738003B1
Application number: KR1020160105077A
Authority: KR
Inventors: 정인창; 김형훈
Original assignee: (주)상아프론테크
Priority date: 2016-08-18
Filing date: 2016-08-18
Publication date: 2017-05-22
Also published as: CN107758041A

Abstract

인서트 구조체가 제공된다. 본 발명의 예시적인 실시예에 따른 인서트 구조체는 기판을 지지하며 내부에 중공부를 갖는 서포트 바를 기판 적재용 카세트의 일측에 결합시키도록 서포트 바에 결합되기 위해서, 서포트 바의 중공부와 연결된 개구부에 삽입되는 삽입부 및 삽입부와 결합되며 삽입부를 카세트의 일측에 체결시키는 체결부를 포함하고, 삽입부에 서포트 바의 중공부와 서포트 바 외부가 연통되도록 홀이 형성된다.

Description

기판 적재 카세트의 서포트 바를 지지하기 위한 인서트 구조체 및 이를 구비한 카세트{Insert structure for supporting a support bar and substrate loading cassette having the same}

본 발명은 기판 적재 카세트의 서포트 바를 지지하기 위한 인서트 구조체에 관한 것이다.

일반적으로, 액정표시장치의 액정패널은 게이트 배선 및 데이터 배선에 의해 정의된 화소 영역에 박막 트랜지스터와 화소 전극을 구비한 박막 트랜지스터 기판과, 컬러필터층과 공통전극을 구비한 컬러필터 기판과, 상기 두 기판 사이에 개재된 액정층으로 구성된다.

이와 같이 구성된 액정표시장치의 제조공정은 기판 제조공정, 셀 제조공정 및 모듈 공정의 세 가지 공정으로 나눌 수 있다.

먼저, 기판 제조공정은 박막 트랜지스터 제작공정과 컬러필터 제작 공정으로 세분화 된다. 박막 트랜지스터 제작공정은 하부 기판상에 복수의 박막 트랜지스터와 화소전극을 제작하는 공정을 말하는 것이며, 컬러필터 제작공정은 블랙 매트릭스가 형성된 상부 기판상에 염료나 안료를 사용하여 R, G, B 색상의 컬러 필터층을 형성하고 공통전극을 형성하는 공정을 일컫는다.

또한, 셀 공정은 박막 트랜지스터 공정이 완료된 하부 기판과 컬러필터 공정이 완료된 상부 기판의 두 기판 사이에 일정한 간격이 유지되도록 스페이서를 산포하여 합착하고 액정을 주입하여 액정표시장치의 셀을 제조하는 공정을 말한다.

마지막으로, 모듈 공정은 신호 처리를 위한 회로부를 제작하고 액정표시장치 패널과 신호처리 회로부를 연결시켜 모듈을 제작하는 공정을 말한다.

이와 같은 액정표시장치의 제조 공정은 각각의 공정을 수행하기 위해 해당 공정 장비로 기판을 이송 받고 다음 공정 장비로 기판을 이송할 때 상기 기판을 일시 저장할 수 있는 수단을 필요로 한다.

이에 부합되는 수단으로서 카세트(Cassette)가 주로 사용되는데, 이를 통해 다수의 기판은 각각 낱장으로 적재되어 한꺼번에 이송될 수 있다. 이때, 카세트에는 다수의 서포트 바가 높이방향으로 부설되어 다수의 기판이 상호 이격된 형태로 적재될 수 있도록 한다.

이 때, 기판 생산라인에서 일정주기마다 카세트에 대한 정기적인 세정이 실시되는데, 세정 과정에서 사용되는 물이 이후 건조과정에서 중공부로 형성되는 서포트 바 내부와 서포트 바 외부의 압력차에 의하여 서포트 바의 중공부 내부로 침투하게 되며 이 때문에 서포트 바 아래에 적재된 기판 위로 물이 떨어지게 되어 기판의 불량을 일으킬 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 카세트 세척 과정 및 건조 과정에서 액체가 서포트 바에 유입되지 않도록 서포트 바를 지지할 수 있는 기판 적재 카세트용 인서트 구조체 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트를 제공한다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 서포트 바의 중공부 압력과 서포트 바 외부 압력 차이를 감소시킬 수 있는 인서트 구조체 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트를 제공한다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 기판을 지지하며 내부에 중공부를 갖는 서포트 바를 기판 적재용 카세트의 일측에 결합시키도록 상기 서포트 바에 결합되는 인서트 구조체로서, 상기 서포트 바의 상기 중공부와 연결된 개구부에 삽입되는 삽입부 및 상기 삽입부와 결합되며 상기 삽입부를 상기 카세트의 일측에 체결시키는 체결부를 포함하고, 상기 삽입부에 상기 서포트 바의 중공부와 상기 서포트 바 외부가 연통되도록 홀이 형성되는 인서트 구조체가 제공된다.

이 때, 상기 서포트 바는 연장 방향으로 볼 때 일측 단부가 폐쇄되고, 타측 단부에 개방부가 형성된 봉형 부재로 이루어지고, 상기 체결부는 상기 서포트 바의 상기 타측 단부 외측에 위치되도록 형성될 수 있다.

이 때, 상기 체결부는 일측부에 상기 삽입부가 연결되며, 상기 삽입부의 종방향 단면보다 넓은 단면을 갖는 제 1 체결 몸체 및 상기 제 1 체결 몸체의 타 측부에 결합되는 제 2 체결 몸체를 포함하며, 상기 제 2 체결 몸체에는 상기 제 2 체결 몸체를 상기 카세트의 일측에 결합시키기 위한 체결 부재가 결합되는 적어도 하나의 체결홈이 형성될 수 있다.

이 때, 상기 제 2 체결 몸체는 하측으로 개방된 ㄷ 자형 측면을 갖도록 형성되고, 상기 ㄷ 자형 측면에 상기 적어도 하나의 체결홈이 형성될 수 있다.

이 때, 상기 제 1 체결 몸체의 상기 제 2 체결 몸체가 결합된 타 측면의 중앙부에는 하측 방향을 향하도록 경사진 경사면이 형성되고, 상기 경사면에 상기 홀이 연통되도록 개구가 형성될 수 있다.

이 때, 상기 제 1 체결 몸체의 상기 경사면에 형성된 개구는 상기 기판 적재용 카세트의 상기 기판이 삽입되는 방향의 반대 방향을 향하도록 개방될 수 있다.

이 때, 상기 개구에 상기 중공부 내부로 액체를 유입시키지 않으면서 기체는 통과시킬 수 있도록 설치되는 에어벤트를 더 포함할 수 있다.

이 때, 상기 에어벤트는 공기 투과성인 제 1 커버부재 및 복수의 기공이 형성된 다공성 플라스틱으로 이루어지는 제 2 커버부재를 포함할 수 있다.

이 때, 상기 제 2 커버부재의 기공 사이즈는 0.01 내지 1.0 ㎛일 수 있다.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 전술한 인서트 구조체를 포함하는 기판 적재용 카세트가 제공된다.

본 발명의 일 실시예에 따른 인서트 구조체는 에어벤트를 포함하여 서포트 바 외부와 내부의 압력차를 완화시켜 물이 서포트 바 내부로 유입되지 않도록 한다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바는 내부의 압력과 외부의 압력의 차를 줄여 세척 후 건조과정에서 내부공기 팽창으로 인한 서포트 바의 파손을 사전에 차단시킬 수 있다.

이를 통해 평판 디스플레이 장치의 제조 공정을 안정화시킬 수 있고, 고품질의 제품을 생산할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바를 구비한 기판 적재용 카세트를 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 인서트 구조체를 구비반 기판 적재용 카세트의 측면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 인서트 구조체를 포함하는 기판 적재용 카세트의 배면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 인서트 구조체를 포함하는 기판 적재용 카세트에 기판이 적재된 것을 도시한 정면도이다.
도 5은 본 발명의 일 실시예에 따른 인서트 구조체를 도시한 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 인서트 구조체와 서포트 바의 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 인서트 구조체와 서포트 바의 결합 사시도이다.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.

본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "아래에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 아래에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인서트 구조체를 구비한 기판적재용 카세트를 도시한 사시도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 인서트 구조체를 구비반 기판 적재용 카세트의 측면도이다.

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재용 카세트를 설명함에 있어, 본 명세서에서 카세트에 기판이 적재되는 방향을 카세트의 전방이라 하고, 그 반대 방향을 후방이라고 규정하여 설명한다.

도 1을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 인서트 구조체(20)를 구비한 기판 적재용 카세트(1)는 상부 프레임(2), 하부 프레임(3), 지지대(7), 수직프레임(8), 봉부재(9) 및 서포트 바(10)를 포함할 수 있다.

기판 적재용 카세트(1)는 기판(도 1의 5)을 반입하여 적재해두고 적재된 기판(5)을 다시 반출하는 과정 동안 기판(5)을 안정적으로 적재해 두고 일련의 생산 과정 동안 기판(5)의 불량을 발생시키는 것을 방지할 수 있다.

도 1을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)은 각각 판 형상으로 형성될 수 있다. 이때, 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)은 각각 기판(5)과 유사하게 형성되어 기판(5)을 안정적으로 지지할 수 있다.

즉, 도 1에 도시된 바와 같이 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)은 직사각형 형상으로 형성될 수 있다. 또한 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)을 상하방향으로 연결하기 위하여 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)의 양 측면에 복수개의 지지대(7)가 수직 방향으로 결합될 수 있다.

이때 복수개의 지지대(7)는 바 형상으로 형성되고, 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)의 횡 방향으로 나란하게 이격되도록 배치될 수 있다.

또한 복수개의 지지대(7)에는 상하 방향을 따라 일정 간격으로 복수개의 봉부재(9)가 설치되어 직사각형 형상인 기판(5)의 주변부를 지지할 수 있다.

도 1을 참조하면, 봉부재(9)는 봉 형상으로 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)의 내측 방향으로 돌출 형성되고, 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)과 나란하게 복수개가 설치되어 기판(5)을 지지할 수 있다.

이때 봉부재(9)는 기판(5)의 측면과 수직하게 배치되어 기판(5)을 지지할 수 있다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 인서트 구조체를 포함하는 기판 적재용 카세트의 배면도이다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 인서트 구조체를 포함하는 기판 적재용 카세트의 정면도이다.

도 3 및 도 4를 참조하면, 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)을 상하 "?袖막? 연결하고 서포트 바(10)을 설치하기 위하여 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)의 후면에 복수개의 수직프레임(8)이 수직 방향으로 결합될 수 있다.

이때 수직프레임(8)은 종단면이 H자 형상으로 형성되어 후술할 서포트 바(10)를 수평하게 지지하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 인서트 구조체(20) 와 결합될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에서 서포트 바(10)는 복수개의 수직프레임(8)의 상하방향을 따라 일정 간격으로 설치되어 기판(5)을 지지할 수 있다.

도 1 및 도 3을 참고하면 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바(10)는 복수개의 봉부재(9) 사이에 배치될 수 있다. 이는 봉부재(9) 만으로 기판(5)의 양 단부를 지지하는 경우 기판(5)의 중앙부가 아래로 처져 카세트에 기판(5)을 적재 또는 반출하는 로봇 등과 기판(5)이 충돌될 수 있으므로 복수개의 서포트 바(10)를 복수개의 봉부재(9) 사이에 배치하여 이러한 위험을 방지하기 위함이다.

이때, 도 3에 도시된 바와 같이 서포트 바(10)는 기판(5)을 지지하는 봉부재(9)와 동일한 높이에 배치되어 봉부재(9)와 함께 기판(5)이 아래로 휘지 않고 평행하게 적재되도록 할 수 있다.

도 5은 본 발명의 일 실시예에 따른 인서트 구조체를 도시한 사시도이다. 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 인서트 구조체와 서포트 바의 단면도이다. 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 인서트 구조체와 서포트 바가 분리된 상태를 나타낸 사시도이다.

도 5 및 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 인서트 구조체(20)는 중공부(13)가 형성된 서포트 바(10) 내부로 삽입되어 결합될 수 있다.

이 때, 서포트 바(10)의 내부는 중공부(13)가 형성되는데, 이는 대형화 되는 기판(5)의 추세에 맞춰 서포트 바(10)도 길어지는 상황을 고려할 때, 서포트 바(10) 자체 하중으로 인한 처짐을 최소화 하기 위함이다. 처짐이 발생하는 경우 기판(5) 적재시 기판(5)의 파손 우려가 높아지기 때문이다.

이때, 서포트 바(10)는 단면이 사각형 형상인 사각 기둥 형상으로 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않고 단면이 원형, 타원형, 다각형 등으로 형성될 수 있다. 이 때, 서포트 바(10)의 단면이 사각형 형상인 경우 기판(5)과의 면 접촉이 발생될 수 있어 접촉면에 팁 부재가 더 형성될 수 있다.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 인서트 구조체(20)는 서포트 바(10)의 일단에 형성된 개구부(12)에 삽입되어 고정 될 수 있다. 구체적으로, 서포트 바(10) 일단에 형성된 개구부(12)의 크기와 대응되는 단면을 가지도록 인서트 구조체(20)가 형성될 수 있다. 이는 서포트 바(10) 내부에 형성된 중공부(13)를 완전히 밀폐되도록 하기 위함이며, 밀폐 되지 않는 경우 카세트(1) 세척과정 중 중공부(13)로 액체가 유입될 수 있어 기판(5)의 불량률이 증가 할 수 있기 때문이다.

한편, 본 발명의 일 실시예에서 서포트 바(10)는 탄소 섬유 강화플라스틱(carbon fiber reinforced plastic, CFRP), 카본 필름, 유리강화필름, 아라미드 필름 및 금속 박막으로 단층 또는 다층으로 형성될 수 있다.

이 때, 탄소 섬유 강화플라스틱(CFRP)이란 비강도(specific strength), 강성(rigidity), 파단강도(rupture strength)가 매우 우수한 것으로 알려진 탄소섬유로 이루어진 직물 또는 시트에 에폭시 수지를 함침시켜 경화시킨 것이다.

본 발명의 일 실시예에 따른 인서트 구조체(20)는 삽입부(21)와 삽입부(21)와 결합되는 체결부(22)를 포함할 수 있다. 전술한대로, 삽입부(21)는 서포트 바(10) 일단에 형성된 개구부(12)측으로 삽입되어 서포트 바(10)와 인서트 구조체(20)가 결합될 수 있으며, 중공부(13)가 밀폐되기 위해 개구부(12)의 크기와 대응되도록 인서트 구조체(20) 단면이 형성될 수 있다. 또한, 삽입부(21)는 서포트 바(10)의 길이방향으로 연장된 형상으로 이루어질 수 있다.

이 때, 삽입부(21)는 내부에 기체가 유동하는 관(28)을 포함할 수 있다. 도 6을 참조하면, 삽입부(21) 내부에 형성된 관(28)은 기판 적재 방향으로 형성되어 삽입부(21) 양 단면을 관통 할 수 있다.

이 때, 삽입부(21) 내부에 형성된 관(28)의 일단은 서포트 바(10) 내부의 중공부(13)와 연통 될 수 있고, 타단은 체결부(22)의 외측면에 홀(31)을 형성 할 수 있다.

다시 도 6을 참조하면, 인서트 구조체(20)는 삽입부(21) 및 삽입부(21)의 일측부에 연결된 체결부(22)가 형성될 수 있다. 체결부(22)를 통해 카세트(1)의 수직프레임(8)과 인서트 구조체가 삽입된 서포트 바(10)를 체결 할 수 있다.

또한, 체결부(22) 내부에는 삽입부(21) 내부에 형성된 관(28)과 연통되는 관(28)이 형성될 수 있다. 이 때, 전술한 바와 같이 체결부(22) 내부로 연장되는 관(28)은 체결부(22)의 서포트 바(10) 외측면에 홀(31)을 형성할 수 있다.

구체적으로, 체결부(22)는 삽입부(21)의 종방향 단면보다 넓은 단면을 갖는 제 1 체결몸체(23) 및 제 1 체결몸체(23)의 타 측부에 결합되는 제 2 체결몸체(24)를 포함할 수 있다.

이 때, 제 1 체결몸체(23)의 내부에는 삽입부(21) 내부에 형성된 관(28)이 더 연장 될 수 있다. 연장된 관(28)은 후술하는 바, 제 1 체결몸체(23)와 제 2 체결몸체(24)가 결합된 타 측면의 중앙부에 홀(31)을 형성할 수 있다.

이 때, 홀(31)은 서포트 바(10) 내부의 중공부(13)와 서포트 바(10) 외부의 압력의 차이를 감소시켜 서포트 바(10)를 포함하는 서포트 바(10)의 손상을 방지하는 기능을 할 수 있다.

이 때, 제 2 체결몸체(24)는 홀(31) 또는 에어벤트(32)를 감싸도록, 하측으로 개방된 ㄷ 자형 측면을 갖도록 형성될 수 있다. 이는 제 2 체결몸체(24)가 카세트(1)의 수직프레임(8)과 결합시 기체가 유동할 수 있는 공간을 확보하기 위함이다.

이 때, 제 2 체결몸체(24)의 ㄷ 자형 측면에는 적어도 하나의 체결홈(25)이 형성될 수 있다. 이 때, 제 2 체결몸체(24)의 측면에 형성된 체결홈(25)과 대응되는 홈(미도시)이 카세트 수직프레임에 형성될 수 있으며 이를 통해 서포트 바(10)가 카세트(1)에 결합될 수 있다. 이 때, 제 2 체결몸체(24) 및 카세트(1)의 수직 프레임(8)에 형성된 홈(미도시)에 결합될 수 있다. 따라서, 나사결합 등을 통하여, 카세트(1)의 수직프레임(8)과 인서트 구조체(20)가 체결될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 인서트 구조체(20)는 제 1 체결몸체(23)와 제 2 체결몸체(24)가 결합되는 타 측면의 중앙부에 하측 방향을 향하도록 경사진 경사면(27)이 형성 될 수 있다.

이 때, 도 5 및 도 6을 참조하면 경사면(27)은 하측 방향을 향하도록 경사질 수 있다. 이는 기판 적재용 카세트(1)의 세척과정에서 상측으로부터 흐르는 액체가 경사면(27)에 형성된 홀(31)을 통해 서포트 바 내부로 유입되는 것을 막기 위함이다.

하지만 반드시 경사면(27)이 형성될 것은 아니고 제 2 체결몸체(24) 내부에 형성된 관(28)이 외부로 돌출된 경우, 관(28)의 개구가 하측 방향을 향한다면 대체될 수 있다.

이 때, 경사면(27)에는 제 1 체결몸체(23) 내부에 형성된 관(28)이 홀(31)을 형성 할 수 있다. 결국, 서포트 바(10) 내부에 형성된 중공부(13)으로부터 제 1 및 제 2 체결몸체(23, 24)를 관통하여 관(28)이 형성될 수 있다. 이 때, 관(28)이 형성하는 홀(31)은 서포트 바(10) 내부의 중공부(13)와 서포트 바(10) 외부의 압력차이를 감소시킬 수 있다.

이 때, 홀(31)은 인서트 구조체의 강도에 영향을 주지 않을 수 있는 정도, 예를 들어 인서트 구조체에 크랙 등이 발생하지 않을 정도의 넓이로 형성되되, 서포트 바(10) 내부의 중공부(13)와 서포트 바(10) 외부가 충분히 연통될 수 있어 서포트 바 내부의 압력 해소에 지장을 주지 않는 정도의 넓이로 형성될 수 있다. 이와 같은 홀의 넓이는 서포트 바가 지지하는 기판의 크기, 무게 및 카세트 전체의 구조를 고려하여 결정될 수 있다.

따라서, 기체는 통과하지만 경사면(27)이 하측 방향을 향하도록 경사지므로 액체가 유입될 수 없어 서포트 바(10) 내부와 외부의 압력차이는 감소하되 세척시 액체의 유입을 방지할 수 있다.

추가적으로, 체결부(22) 외측면에 형성된 홀(31)에 에어벤트(32)가 더 형성될 수 있다. 에어벤트(32)는 기체는 통과시키되, 액체의 유입을 방지하는 기능을 할 수 있다면 가능하다. 또한 에어벤트(32)는 하측 방향을 향하도록 형성되어 카세트(1) 세척시 액체의 유입을 방지할 수 있다.

도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 인서트 구조체의 에어벤트가 결합되는 것을 도시한 사시도이다. 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 인서트 구조체의 에어벤트의 분해 단면도이다. 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 인서트 구조체의 에어벤트의 덮개부재를 도시한 사시도 이다.

본 발명의 일 실시예에 따른 인서트 구조체의 에어벤트(32)는 결합바디(33), 제 1 커버부재(34), 제 2 커버부재(35) 및 덮개부재(36)를 포함할 수 있다. 이 때, 제 1 및 제 2 커버부재(35) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.

에어벤트(32)는 본 발명의 일 실시예에 따른 인서트 구조체가 포함된 카세트의 세척 후 건조과정에서, 내부 공기가 팽창된 후 상온에서 식으면서 수축함에 따라 발생하는 서포트 바 내부의 중공부와 외부의 압력차를 완화하여 세척 과정에서 남아있던 물이 서포트 바 내부로 유입되는 것을 방지할 수 있다.

에어벤트(32)는 전술한 바와 같이 체결부의 외측면에 형성된 홀에 더 형성될 수 있다. 에어벤트(32)의 결합바디(33)의 외주면에는 나사산(33a)이 형성될 수 있고, 체결부 외측면에 형성된 홀의 내주면에는 에어벤트(32)의 결합바디(33)와 결합되도록 대응되는 나사산(33a)이 형성될 수 있다. 또한, 나사결합에 한정될 것은 아니고 열 융착, 초음파 융착 또는 접착제 등으로 고정되어 물이 서포트 바 내부로 유입되는 것을 방지할 수 있다.

이때, 접착제는 에폭시일 수 있으나 이에 한정되지 않고 우레탄 계열 또는 실리콘 재질로 형성될 수 있다.

한편, 결합바디(33)는 내측으로 체결홈이 형성될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서 제1 커버부재, 제2 커버부재 및 덮개부재(36)는 체결홈에 삽입되어 결합될 수 있다. 또한, 본 발명의 일 실시예에서 체결홈의 내주면에는 덮개부재(36)와 나사 결합될 수 있도록 나사산(36a)이 형성될 수 있다.

도 6을 참고하면, 체결홈의 중심부에는 몸체의 중공부와 외부가 연통될 수 있도록 홀이 결합바디(33)의 수직 방향으로 관통 형성될 수 있다.

한편, 결합바디(33)의 일면 예를 들어 도 9를 참조하면 결합바디(33)의 상부면에는 결합바디(33)를 회전시켜 결합바디(33)의 나사산(33a)이 홀에 결합되도록 회전할 수 있도록 복수개의 제 1 고정홈(33b)이 형성될 수 있다.

이때, 회전부재(미도시)를 제 1 고정홈(33b)에 삽입하여 고정시켜 결합바디(33)를 회전시켜 인서트 구조체의 홀에 결합시키거나 분해시킬 수 있다.

한편, 제 1 커버부재(34)는 내부와 외부가 연통되어 제 2 커버부재(35)를 보강할 수 있도록 부직포로서 플라스틱 재질로 형성될 수 있다. 제 1 커버부재(34)는 내열성 및 수분에 강한 합성섬유로 구성될 수 있으며 PET(폴리에틸렌 테레프탈레이트), PP(폴리프로필렌), PC(폴리카보네이트) 및 PE(폴리에틸렌)로 형성될 수 있으나 이에 한정되지는 않고, 플라스틱 재질로 시트 형식으로 형성될 수 있다. 이때, 제 1 커버부재(34)의 두께는 50 내지 150 ㎛로서 공기 투과성이 우수할 수 있다.

또한, 제 2 커버부재(35)는 인서트 구조체가 삽입된 서포트 바의 중공부와 외부가 연통될 수 있도록 다공성의 플라스틱 재질일 수 있고 이때, 제2 커버부재의 기공 사이즈(Pore size)는 0.01 내지 1.0 ㎛일 수 있다. 또한, 제 2 커버부재(35)는 다공성 재질 중에서도 건조공정에서 가열 온도를 충분히 견딜 수 있는 내열성을 갖는 재질일 수 있다.

한편, 제 2 커버부재(35)는 내열성 및 수분에 강한 합성섬유로 구성될 수 있으며 PTFE(폴리테트라플루오로에틸렌, polytetrafluoroethylene)일 수 있으나 이에 한정되지는 않는다.

한편, 제 2 커버부재(35)의 두께는 10 내지 200 ㎛로서 공기 투과성이 우수할 수 있다. 이때, 본 발명의 일 실시예에서 제 2 커버부재(35)를 통한 유체의 유동은 압력 P = 0.01 MPa일 때 1000 m³/m².24hr 일 수 있다.

도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바의 덮개부재(36)를 도시한 사시도이다.

본 발명의 일 실시예에서 덮개부재(36)는 원통 형상으로 결합바디(33)의 체결홈에 나사 결합될 수 있도록 덮개부재(36)의 외주면에는 나사산(33a)이 형성될 수 있다. 이때 덮개부재(36)의 외주면과 체결홈의 내주면은 나사 결합될 수 있도록 대응되게 형성될 수 있다. 덮개부재(36)는 제 1 커버부재(34), 제 2 커버부재(35)를 덮어 제 1 커버부재(34) 및 제 2 커버부재(35)를 체결홈에 고정시킬 수 있다.

도 10을 참고하면, 덮개부재(36)의 중심부에는 내측으로 함몰된 제 2 고정홈(36b)이 형성될 수 있다. 이 때 제 2 고정홈(36b)은 단면이 육각형 형상으로서 형성될 수 있으나 이에 한정되지는 않는다. 또한 본 발명의 일 실시예에서 회전부재(미도시)를 제 2 고정홈(36b)에 삽입하여 고정시켜 덮개부재(36)를 회전시켜 체결홈에 결합시키거나 분해시킬 수 있다.

한편, 도 8을 참조하면, 제2 고정홈의 중심부에는 제 1 커버부재(34), 제 2 커버부재(35), 홀 및 서포트 바의 중공부와 연통될 수 있도록 복수개의 연통홀(37)이 덮개부재(36)의 길이 방향으로 관통 형성될 수 있다. 이때, 복수개의 연통홀(37)은 단면이 사각형으로 연통홀(37)의 단면적은 제 2 고정홈(36b)의 단면적보다 작을 수 있다.

다시 도 1을 참조하면, 카세트(1)의 수직프레임(8)은 전술한대로 단면이 H형으로 이루어질 수 있는데, 제 2 체결몸체(24)의 양 측면이 수직프레임(8)에 접하도록 삽입되되, 수직프레임(8) 및 제 2 체결몸체(24)에 형성된 체결홈(25)에 체결부재(26)가 삽입되어 결합될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 인서트 구조체(20)는, 서포트 바(10) 내부의 중공부(13)를 외부와 연통시키도록 에어벤트(32) 또는 홀(31)이 형성되는바, 평판 디스플레이 제조 공정에 사용될 때, 서포트 바(10)의 파손위험이 현저히 감소할 수 있다.

또한, 홀(31) 또는 에어벤트(32)가 형성된 제 1 및 제 2 체결몸체(23, 24)의 결합면이 하측 방향으로 경사지도록 형성되어, 카세트(1) 세척 시 물이 유입될 수 없어, 세척 이후의 기판(5) 적재 과정에서 내부로부터 새어 나온 물이 기판(5)의 불량을 야기하는 것을 방지할 수 있다. 이를 통해, 평판 디스플레이 장치의 제조 공정을 안정화시킬 수 있고, 고품질의 제품을 생산할 수 있다.

이상에서 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시 예에 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시 예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.

1 : 기판 적재용 카세트 2 : 상부 프레임
3 : 하부 프레임 5 : 기판
7 : 지지대 8 : 수직프레임
9 : 봉 부재 10 : 서포트 바
12 : 개구부 13 : 중공부
20 : 인서트 구조체 21 : 삽입부
22 : 체결부 23 : 제 1 체결 몸체
24 : 제 2 체결 몸체 25 : 체결홈
26 : 체결부재 27 : 경사면
28 : 관 31 : 홀
32 : 에어벤트 33 : 결합바디
34 : 제 1 커버부재 35 : 제 2 커버부재
36 : 덮개부재 37 : 연통홀

Claims

기판을 지지하며 내부에 중공부를 갖는 서포트 바를 기판 적재용 카세트의 일측에 결합시키도록 상기 서포트 바에 결합되는 인서트 구조체로서,
상기 서포트 바의 상기 중공부와 연결된 개구부에 삽입되는 삽입부 및 상기 삽입부와 결합되며 상기 삽입부를 상기 카세트의 일측에 체결시키는 체결부를 포함하고,
상기 서포트 바의 중공부와 서포트 바 외부의 압력 차이를 감소시키기 위하여 상기 삽입부에 상기 서포트 바의 중공부와 상기 서포트 바 외부를 연통시키는 홀이 형성되는 인서트 구조체.
제 1 항에 있어서,
상기 서포트 바는 연장 방향으로 볼 때 일측 단부가 폐쇄되고, 타측 단부가 개방된 봉형 부재로 이루어지고, 상기 체결부는 상기 서포트 바의 상기 타측 단부 외측에 위치되도록 형성되는 인서트 구조체.
제 2 항에 있어서,
상기 체결부는
일측부에 상기 삽입부가 연결되며, 상기 삽입부의 종방향 단면보다 넓은 단면을 갖는 제 1 체결 몸체 및
상기 제 1 체결 몸체의 타 측부에 결합되는 제 2 체결 몸체를 포함하며,
상기 제 2 체결 몸체에는 상기 제 2 체결 몸체를 상기 카세트의 일측에 결합시키기 위한 체결 부재가 결합되는 적어도 하나의 체결홈이 형성되는 인서트 구조체.
제 3 항에 있어서,
상기 제 2 체결 몸체는 측면에 상기 삽입부에 형성된 홀의 상부 및 양측부를 감싸도록 상부벽 및 양 측부벽을 구비하되, 하측이 개방되고, 상기 제 2 체결 몸체의 측면에 적어도 하나의 체결홈이 형성되는 인서트 구조체.
제 3 항에 있어서,
상기 제 1 체결 몸체의 상기 제 2 체결 몸체가 결합된 타 측면의 중앙부에는 하측 방향을 향하도록 경사진 경사면이 형성되고, 상기 경사면에 상기 홀이 연통되도록 개구가 형성되는 인서트 구조체.
제 5 항에 있어서,
상기 제 1 체결 몸체의 상기 경사면에 형성된 개구는 상기 기판 적재용 카세트의 상기 기판이 삽입되는 방향의 반대 방향을 향하도록 개방되는 인서트 구조체.
제 5 항에 있어서,
상기 개구에 상기 중공부 내부로 액체를 유입시키지 않으면서 기체는 통과시킬 수 있도록 설치되는 에어벤트를 더 포함하는 인서트 구조체.
제 7 항에 있어서,
상기 에어벤트는 공기 투과성인 제 1 커버부재 및 복수의 기공이 형성된 다공성 플라스틱으로 이루어지는 제 2 커버부재를 포함하는 인서트 구조체.
제 8 항에 있어서,
상기 제 2 커버부재의 기공 사이즈는 0.01 내지 1.0 ㎛인 인서트 구조체.
제 1 항 내지 제 9항 중 어느 한 항에 따른 인서트 구조체를 포함하는 기판 적재용 카세트.