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KR20200022562A - 서포트바 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트 - Google Patents

서포트바 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트 Download PDF

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Publication number
KR20200022562A
KR20200022562A KR1020180098284A KR20180098284A KR20200022562A KR 20200022562 A KR20200022562 A KR 20200022562A KR 1020180098284 A KR1020180098284 A KR 1020180098284A KR 20180098284 A KR20180098284 A KR 20180098284A KR 20200022562 A KR20200022562 A KR 20200022562A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
support bar
substrate
support
coupling
present
Prior art date
Application number
KR1020180098284A
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English (en)
Inventor
오세동
정인창
Original Assignee
(주)상아프론테크
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)상아프론테크 filed Critical (주)상아프론테크
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Priority to CN201821819548.9U priority patent/CN210259207U/zh
Priority to TW107216517U priority patent/TWM579379U/zh
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Abstract

본 발명의 예시적인 실시예에 따른 서포트바는 기판 적재용 카세트에 결합되어 기판을 지지하는 몸체를 구비하고, 상기 몸체는 일면에 상기 기판이 안착되는 안착면을 구비하는 안착부 및 상기 안착부와 일측이 연결되고 상기 카세트와 나사 또는 리벳 결합되기 위해 일면에 결합홀이 형성되는 결합부를 포함한다.

Description

서포트바 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트{Support bar and substrate loading cassette having the same}
본 발명은 서포트바 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트에 관한 것이다.
일반적으로, 액정표시장치의 액정패널은 게이트 배선 및 데이터 배선에 의해 정의된 화소 영역에 박막 트랜지스터와 화소 전극을 구비한 박막 트랜지스터 기판과, 컬러필터 층과 공통전극을 구비한 컬러필터 기판과, 상기 두 기판 사이에 개재된 액정층으로 구성된다.
이와 같이 구성된 액정표시장치의 제조공정은 기판 제조공정, 셀 제조공정 및 모듈 공정의 세 가지 공정으로 나눌 수 있다. 먼저, 기판 제조공정은 박막 트랜지스터 제작공정과 컬러필터 제작 공정으로 세분화된다.
박막 트랜지스터 제작공정은 하부 기판상에 복수의 박막 트랜지스터와 화소 전극을 제작하는 공정을 말하는 것이며, 컬러필터 제작공정은 블랙 매트릭스가 형성된 상부 기판상에 염료나 안료를 사용하여 R, G, B 색상의 컬러 필터층을 형성하고 공통전극을 형성하는 공정을 일컫는다.
또한, 셀 공정은 박막 트랜지스터 공정이 완료된 하부 기판과 컬러필터 공정이 완료된 상부 기판의 두 기판 사이에 일정한 간격이 유지되도록 스페이서를 산포하여 합착하고 액정을 주입하여 액정표시장치의 셀을 제조하는 공정을 말한다.
마지막으로, 모듈 공정은 신호 처리를 위한 회로부를 제작하고 액정표시장치 패널과 신호처리 회로부를 연결시켜 모듈을 제작하는 공정을 말한다. 이와 같은 액정표시장치의 제조 공정은 각각의 공정을 수행하기 위해 해당 공정 장비로 기판을 이송 받고 다음 공정 장비로 기판을 이송할 때 상기 기판을 일시 저장할 수 있는 수단을 필요로 한다.
이에 부합되는 수단으로서 카세트(Cassette)가 주로 사용되는데, 이를 통해 복수개의 기판은 각각 낱장으로 적재되어 한꺼번에 이송될 수 있다. 이때, 카세트에는 복수개의 서포트바가 높이방향으로 부설되어 복수개의 기판이 상호 이격된 형태로 적재될 수 있도록 한다.
이때, 종래의 서포트바는 기판 생산라인에서 일정주기마다 카세트에 대한 정기적인 세정이 실시되는데, 세정 과정에서 사용되는 물이 이후 과정에서 팁이 결합된 부분을 통해 서포트바 내부로 침투하게 되며 이 때문에 서포트바 아래에 적재된 기판 위로 물이 떨어지게 되어 기판의 불량을 일으킬 수 있다.
또한, 종래의 서포트바는 평판 디스플레이가 대형화되면서 기판 중량의 증가와 함께 무게가 무거워지는 추세였고, 이에 따라, 일단에서 타단으로 갈수록 폭 방향 단면적이 줄어드는 테이퍼 형상의 구현이 어려웠다. 또한, 서포트바의 무게가 무거워지며, 리크(leak) 테스트 등의 공정으로 인한 공정 비용이 증가하는 문제점이 있다.
또한, 종래의 서포트바는 길이가 증가하면 카세트의 전체적인 무게가 증가하게 되고, 서포트바가 설치되어 있는 지지대 등의 구조적인 변형이 증가할 수 있으며, 소요되는 소재의 양이 증가함에 따라 제조 원가가 상승하게 되는 문제점이 있다.
본 발명의 일 실시예는 무게가 가볍고, 테이퍼 형상 구현이 가능하며, 엔드캡, 맴브레인 또는 물의 내부 유입을 방지하기 위한 별도의 구성이 불필요한 솔리드 타입의 서포트 바 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시예는 질량 대비 처짐량이 우수하고 리크(leak) 테스트 등의 불필요한 공정을 줄여, 공정 비용의 간소화가 가능할 수 있는 서포트 바 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 기판 적재용 카세트에 결합되어 기판을 지지하는 몸체를 구비하는 서포트바로서, 상기 몸체는 일면에 상기 기판이 안착되는 안착면을 구비하는 안착부 및 상기 안착부와 일측이 연결되고 상기 카세트와 나사 또는 리벳 결합되기 위해 일면에 결합홀이 형성되는 결합부를 포함하는 서포트바를 제공한다.
또한, 상기 몸체는 인발 제작될 수 있다.
또한, 상기 결합부의 타측에 연결되는 지지부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 안착부, 상기 지지부는 내측방향으로 갈수록 두께가 증가할 수 있다.
또한, 상기 안착부와 상기 결합부의 연결부분 및 상기 지지부 및 상기 결합부의 연결부분은 테이퍼 형상 또는 R 형상일 수 있다.
또한, 상기 결합부는 한 쌍으로 형성되고 상기 한 쌍의 결합부는 상기 안착부의 타면에 이격 배치될 수 있다.
또한, 상기 몸체가 GFRP 및 CFRP 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
또한, 상기 카세트와 결합되는 체결부 및 상기 체결부의 일면에 돌출 형성되고 일측에 결합부가 삽입되어 결합되도록 삽입홀이 형성되는 돌출부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 돌출부의 일면에는 상기 결합홀과 함께 나사 또는 리벳 결합되도록 대응결합홀이 형성될 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 상기 기판 적재용 카세트에 결합되어 기판을 지지하는 몸체를 구비하고 상기 몸체는 상기 기판이 안착되는 안착면을 구비하는 안착부 및 상기 안착부와 일측이 연결되고, 내부에 중공부가 형성되며, 일단부에 상기 중공부와 연결된 삽입구가 형성되는 결합부를 포함하는 서포트바를 제공한다.
또한, 상기 결합부의 타측에 연결되는 지지부를 포함하는 포함할 수 있다.
또한, 상기 결합부는 한 쌍으로 형성되고 상기 한 쌍의 결합부는 상기 안착부의 타면에 이격 배치될 수 있다.
또한, 상기 카세트와 결합되는 체결부 및 상기 체결부의 일면에서 상기 삽입구에 삽입되어 결합되도록 돌출 형성된 돌출부를 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 측면에 따르면 상부 프레임; 하부 프레임; 상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임을 상하방향으로 연결하기 위하여 상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임의 일측면에 수직 방향으로 결합되는 지지대 및 상기 지지대에 수직 방향으로 연결되어 기판을 지지하는 전술한 서포트바를 포함하는 기판 적재용 카세트를 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트는 기판을 반입하여 적재해두고 적재된 기판을 다시 반출하는 과정 동안 기판을 안정적으로 적재해 두고 일련의 생산 과정 동안 기판의 불량을 발생시키는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바는 무게가 가볍고 세정 과정 중 사용되는 물이 서포트 바 내부로 유입되지 않으며 엔드캡, 맴브레인 또는 물의 내부 유입을 방지하기 위한 별도의 구성이 불필요할 수 있다. 또한 질량 대비 처짐량이 우수하고 리크(leak) 테스트 등의 불필요한 공정을 줄여 공정 비용의 간소화가 가능할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바는 테이퍼 형상 또는 R형상의 몸체를 통해서 구조역학적 및 기하학적으로 최적화된 형상 및 구조를 갖게 되어 하중 또는 자중에 의한 처짐량을 최소화할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바는 인발 제작됨으로써 질량 대비 처짐량이 우수하고 리크(leak) 테스트 등의 공정감소로 공정 비용의 간소화가 가능할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트의 사시도이다.
도 2는 도 1의 A부분을 확대한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바를 도시한 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바를 도시한 평면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바의 제1 변형예를 도시한 평면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바의 제2 변형예를 도시한 평면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바의 제3 변형예를 도시한 평면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바의 제4 변형예를 도시한 평면도이다.
도 9는 도 1의 A부분을 확대한 사시도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바를 도시한 사시도이다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 서포트바의 제5 변형예를 도시한 평면도이다.
도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 서포트바의 제6 변형예를 도시한 평면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트의 사시도이다. 도 2는 도 1의 A부분을 확대한 사시도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재용 카세트를 설명함에 있어, 도 1에 도시된 바와 같이, 수직 프레임(8)에서 서포트바(10) 쪽을 전방이라고 규정하여 설명하고 서포트바(10)에서 수직 프레임(8) 쪽을 후방이라고 규정하여 설명한다.
도 1을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바(10)를 구비한 기판 적재용 카세트(1)는 상부 프레임(2), 하부 프레임(3), 지지대(7), 수직 프레임(8), 봉 부재(9) 및 서포트바(10)를 포함할 수 있다.
이를 통해, 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바(10)를 구비한 기판 적재용 카세트(1)는 기판(5)을 반입하여 적재해두고 적재된 기판을 다시 반출하는 과정 동안 기판을 안정적으로 적재해 두고 일련의 생산 과정 동안 기판의 불량을 발생시키는 것을 방지할 수 있다.
도 1을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)은 각각 판 형상으로 형성될 수 있다. 이때, 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)은 각각 기판(5)과 유사하게 형성되어 기판을 안정적으로 지지할 수 있다.
즉, 도 1에 도시된 바와 같이 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)은 직사각형 형상으로 형성될 수 있다. 또한, 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)을 상하방향으로 연결하기 위하여 상부 프레임 및 하부 프레임의 양 측면에 복수개의 지지대(7)가 수직 방향으로 결합될 수 있다.
이때, 복수개의 지지대(7)는 바 형상으로 형성되고, 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)의 횡 방향으로 나란하게 이격되도록 배치될 수 있다. 또한 복수개의 지지대(7)에는 상하 방향을 따라 일정 간격으로 복수개의 봉 부재(9)가 설치되어 직사각형 형상인 기판(5)의 주변부를 지지할 수 있다.
도 1을 참고하면, 봉 부재(9)는 봉 형상으로 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)의 내측 방향으로 돌출 형성되고, 상부 프레임 및 하부 프레임과 나란하게 복수개가 설치되어 기판(5)을 지지할 수 있다. 이때 봉 부재(9)는 기판(5)의 측면과 수직하게 배치되어 기판을 지지할 수 있다.
한편 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)을 상하 "?袖막* 연결하고 서포트바(10)를 설치하기 위하여 상부 프레임 및 하부 프레임의 후면에 복수개의 수직 프레임(8)이 수직 방향으로 결합될 수 있다. 이때, 수직 프레임(8)은 종단면이 H자 형상으로 형성되어 후술할 서포트바(10)의 체결부재(21)와 결합될 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바를 도시한 사시도이다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바를 도시한 평면도이다.
도 2를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바(10)는 몸체(30), 팁 부재(50) 및 체결부재(70)를 포함할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서 서포트바(10)는 복수개의 수직프레임(8)의 상하방향을 따라 일정 간격으로 설치되어 기판(5)을 지지할 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바(10)는 복수개의 봉 부재(9) 사이에 배치될 수 있다. 이는 봉 부재(9) 만으로 기판(5)의 양 단부를 지지하는 경우 기판의 중앙부가 아래로 처져 카세트(1)에 기판을 적재 또는 반출하는 로봇 등과 기판이 충돌될 수 있으므로 복수개의 서포트바(10)를 복수개의 봉 부재(9) 사이에 배치하여 이러한 위험을 방지할 수 있다.
이때, 도 1에 도시된 바와 같이 서포트바(10)는 기판(5)을 지지하는 봉 부재(9)와 동일한 높이에 배치되어 봉 부재(9)와 함께 기판이 아래로 휘지 않고 평행하게 적재되도록 할 수 있다.
한편, 도 3 및 도 4를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바(10)는 바 형상의 몸체(30)로 형성될 수 있다. 또한, 본 발명의 일 실시예에서 몸체(30)는 안착부(31), 결합부(33) 및 지지부(35)를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서 몸체(30)는 I자 형상의 단면으로 형성될 수 있다. 또한, 안착부(31)는 판 형상으로서 전후 방향으로 연장 형성될 수 있다. 이때 안착부(31)는 상부면에 기판이 안착되도록 안착면(32)이 형성될 수 있다. 또한 안착면(32)에는 팁 부재(50)가 삽입될 수 있도록 팁 삽입홀(52)이 형성될 수 있다.
한편, 결합부(33)는 판 형상으로 전후 방향으로 연장 형성될 수 있다. 이때 결합부(33)는 상부측이 안착부(31)의 하부면에 수직 방향으로 결합될 수 있다. 또한 결합부(33)는 안착부(31)의 하부면 중심부에 결합될 수 있다. 이때, 결합부(33)의 측면에는 체결부재(70)와 나사 또는 리벳 결합되기 위해서 적어도 하나의 결합홀(34)이 형성될 수 있다.
이를 통해 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바(10)는 무게가 가볍고 세정 과정 중 사용되는 물이 서포트 바 내부로 유입되지 않으며 엔드캡 및 맴브레인이 불필요할 수 있다.
또한 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바(10)는 질량 대비 처짐량이 우수하고 리크(leak) 테스트 등의 공정감소로 공정 비용의 간소화가 가능할 수 있다.
도 3 및 도 4를 참고하면 지지부(35)는 판 형상으로 전후 방향으로 연장 형성될 수 있다. 이때 지지부(35)의 상부면은 결합부(33)의 하부측에 수직 방향으로 결합될 수 있다. 또한, 지지부(35)는 상부면 중심부에 결합부(33)가 결합될 수 있다.
이때 본 발명의 일 실시예에서 지지부(35)는 안착부(31)와 동일한 폭 및 길이로 형성될 수 있으나 이에 한정되지는 않는다. 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바(10)는 지지부(35)를 통해서 체결부재(70)의 하부측을 지지함으로써 몸체(30)와 체결부재(70)의 체결력을 견고히 할 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바의 제1 변형예를 도시한 평면도이다. 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바의 제2 변형예를 도시한 평면도이다.
도 5를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 몸체(30a)의 제1 변형예로서, 안착부(31a) 및 지지부(35a)는 양 단부측에서 내측 방향으로 갈수록 단면적이 증가할 수 있다. 즉 안착부(31a) 및 지지부(35a)는 양단부에서 중심부로 갈수록 단면적이 증가할 수 있다.
또한 결합부(33a)는 내측에서 양 단부측으로 갈수록 단면적이 증가할 수 있다. 이때, 본 발명의 일 실시예에서 몸체(30a)는 안착부(31a)와 결합부(33a)의 연결부분 및 결합부(33a)와 지지부(35a)의 연결부분이 테이퍼 형상 또는 R 형상일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바(10)는 테이퍼 형상 또는 R형상의 몸체(30)를 통해서 구조역학적 및 기하학적으로 최적화된 형상 및 구조를 갖게 되어 하중 또는 자중에 의한 처짐량을 최소화할 수 있다.
도 6을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 몸체(30b)의 제2 변형예로서, 안착부(31b)의 안착면(32a)은 상부 방향으로 돌출된 형상으로 형성될 수 있다. 이때 안착면(32a)이 돌출되도록 형성됨으로써 후술할 팁 부재(50)의 역할을 수행할 수 있으므로 별도의 팁 부재(50)가 불필요할 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바의 제3 변형예를 도시한 평면도이다. 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바의 제4 변형예를 도시한 평면도이다.
도 7을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 몸체(30c)의 제3 변형예로서, 본 발명의 일 실시예에서 몸체(30c)는 안착부(31) 및 결합부(33)를 포함할 수 있다. 이때, 몸체(30c)는 T자 형상의 단면으로 형성될 수 있다. 이를 통해 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바(10)는 무게가 가볍고 세정 과정 중 사용되는 물이 서포트 바 내부로 유입되지 않으며 엔드캡 및 맴브레인이 불필요할 수 있다.
또한 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바(10)는 질량 대비 처짐량이 우수하고 리크(leak) 테스트 등의 공정감소로 공정 비용의 간소화가 가능할 수 있다.
한편, 안착부(31)는 판 형상으로서 전후 방향으로 연장 형성될 수 있다. 이때 안착부(31)의 상부면에는 기판이 안착되도록 안착면(32)이 형성될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서 안착면(32)에는 팁 부재(50)가 삽입될 수 있도록 팁 삽입홀(52)이 형성될 수 있다.
또한, 결합부(33)는 판 형상으로 전후방향으로 연장 형성될 수 있다. 이때 결합부(33)는 상부측이 안착부(31)의 하부면에 수직 방향으로 결합될 수 있다. 또한 결합부(33)는 안착부(31)의 하부면 중심부에 결합될 수 있다. 이때, 결합부(33)의 측면에는 체결부재(70)와 나사 또는 리벳 결합되기 위해서 적어도 하나의 결합홀(34)이 형성될 수 있다.
도 8을 참고하면 몸체(30d)의 제4 변형예로서 결합부(33)가 한 쌍으로 형성될 수 있다. 또한, 한 쌍의 결합부(33)는 안착부(31)의 하부면에서 서로 이격 배치될 수 있다. 이때, 도 8에 도시된 바와 같이 몸체(30d)는 한 쌍의 결합부(33)가 안착부(31)의 양 단부에 연결될 수 있으나 이에 한정되지 않고 안착부(31)의 하부면 내측에 연결될 수도 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바(10)는 결합부(33)를 통해서 몸체(30d)와 체결부재(70)의 체결력을 견고히 할 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에서 몸체(30,30a,30b,30c,30d)의 일단부 예를 들어 도 3에 도시된 바와 같이 몸체의 후방측 단부에는 몸체를 카세트(1)의 수직 프레임(8)에 결합하기 위해서 체결부재(70)가 형성될 수 있다.
이를 통해 본 발명의 일 실시예에서 서포트바(10)를 지지대(7)에 고정시켜 서포트바의 상부면에 기판(5)을 적재할 수 있도록 한다. 이때 서포트바(10)는 체결부재(70)와 일체로 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않고 체결부재와 별도로 결합될 수 있다.
한편 도 3을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 체결부재(70)는 체결부(71) 및 돌출부(73)를 포함할 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에서 체결부(71)는 단면이 원형 또는 육각형으로 형성되고 알루미늄 합금, 스테인리스 합금과 같은 비철금속으로 이루어질 수 있다.
또한, 도 2 및 도 3을 참고하면 체결부(71)의 양 측면 및 후면에는 수직 프레임(8)과 나사 결합될 수 있도록 복수개의 볼트 삽입홀(72)이 형성될 수 있다. 또한, 체결부(71)의 볼트 삽입홀(72)에 볼트가 체결되어 수직 프레임(8)에 결합될 수 있다. 이때, 수직 프레임(8)은 체결부(71)와 결합 시 체결부재의 볼트 삽입홀(72)과 대응되는 위치에 볼트홀(미도시)이 형성될 수 있다.
도 3을 참고하면, 체결부(71)의 전면에는 돌출부(73)가 전방으로 돌출 형성될 수 있다. 또한, 돌출부(73)는 바 형상으로 단면이 원형 또는 사각형일 수 있으나 이에 한정되지는 않는다. 이때, 돌출부(73)는 일단부 예를 들어 도 3에 도시된 바와 같이 돌출부(73)의 전방측 단부에는 상하방향으로 관통된 삽입홀(74)이 형성될 수 있다.
이때 본 발명의 일 실시예에서 삽입홀(74)은 후방으로 즉, 돌출부(73)의 길이방향으로 연장 형성될 수 있고 결합부(33)의 적어도 일부가 삽입되어 결합될 수 있도록 결합부(33)의 외측면과 대응되도록 형성될 수 있다. 이를 통해 체결부재(70)와 몸체(30)가 결합될 수 있다.
한편, 돌출부(73)는 일측면 예를 들어 도 3에 도시된 바와 같이 돌출부(73)의 양 측면에 대응결합홀(75)이 형성될 수 있다. 이때, 대응결합홀(75)은 결합부(33)의 결합홀(34)에 대응되도록 형성되어 결합홀(34)과 함께 나사결합 또는 리벳 결합될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바(10)는 삽입홀(74)에 결합부(33)가 삽입되어 결합될 때 서포트바의 팁 부재(50)가 돌출부에 간섭되지 않고 결합될 수 있는 구조일 수 있다.
도 9는 도 1의 A부분을 확대한 사시도이다. 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바를 도시한 사시도이다. 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바의 제5 변형예를 도시한 사시도이다.
도 9 내지 도 11을 참고하면 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바(10)의 제5 변형예는 내부에 중공부가 형성된 바 형상의 몸체(130)로 형성될 수 있다. 이때 몸체(130)는 내부에 중공부가 형성되어 원자재를 절감할 수 있고, 전체적인 무게를 경감시킬 수 있으며 제작이 용이할 수 있다.
한편 본 발명의 일 실시예에서 몸체(130)는 안착부(31) 및 결합부(133)를 포함할 수 있다. 이때, 안착부(31)는 판 형상이고 전후방향으로 연장 형성될 수 있다. 또한, 안착부(31)의 상부면에는 기판이 안착되도록 안착면(32)이 형성될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서 안착면(32)에는 팁 부재(50)가 삽입될 수 있도록 팁 삽입홀(52)이 형성될 수 있다.
또한, 결합부(133)는 도 11에 도시된 바와 같이, 내부에 중공부가 형성될 수 있고 원통 형상으로 전후방향으로 연장 형성될 수 있다. 또한 결합부(133)는 단면이 원형으로 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않고 단면이 사각형, 타원형, 다각형 등으로 형성될 수 있다. 이때, 결합부(133)는 안착부(31)의 하부면 중심부에 결합될 수 있다.
도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 서포트바의 제6 변형예를 도시한 평면도이다.
도 12를 참고하면, 몸체(130a)의 제6 변형예로서 결합부(33a)가 한 쌍으로 형성될 수 있다. 또한, 한 쌍의 결합부(33a)는 안착부(31)의 하부면에서 서로 이격 배치될 수 있다. 이때, 도 12에 도시된 바와 같이 한 쌍의 결합부(33a)는 안착부(31)의 하부면 내측에 연결될 수 있다. 이때 지지부(35a)는 판 형상이고 전후방향으로 연장 형성될 수 있다. 이때 지지부(35a)의 상부면은 결합부(33a)의 하부측에 수직 방향으로 결합될 수 있다.
또한 지지부(35a)는 안착부(31)와 동일한 폭 및 길이로 형성될 수 있으나 이에 한정되지는 않는다. 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바(10)는 지지부(35a)를 통해서 체결부재(70)가 삽입되어 결합될 수 있어
한편 도 10을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 체결부재(70a)는 체결부(71) 및 돌출부(173)를 포함할 수 있다. 도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에서 체결부(71)는 단면이 원형 또는 육각형으로 형성되고 알루미늄 합금, 스테인리스 합금과 같은 비철금속으로 이루어질 수 있다.
또한, 도 9 및 도 10을 참고하면 체결부(71)의 양 측면 및 후면에는 수직 프레임(8)과 나사 결합될 수 있도록 복수개의 볼트 삽입홀(72)이 형성될 수 있다. 이때, 체결부(71)의 볼트 삽입홀(72)에 볼트가 체결되어 수직 프레임(8)에 결합될 수 있다. 이때 수직 프레임(8)은 체결부(71)와 결합 시 체결부재의 볼트 삽입홀(72)과 대응되는 위치에 볼트홀(미도시)이 형성될 수 있다.
도 10을 참고하면, 체결부(71)의 전면에는 돌출부(173)가 전방측으로 돌출 형성될 수 있다. 이때 돌출부(173)는 바 형상으로 단면이 원형 또는 사각형일 수 있으나 이에 한정되지는 않는다.
한편, 몸체(130)는 일단부 예를 들어 도 10에 도시된 바와 같이 몸체의 후방측 단부에는 삽입구(134)가 형성될 수 있다. 이때, 본 발명의 일 실시예에서 삽입구(134)는 돌출부(73)의 외측면과 대응되도록 형성되어 돌출부가 삽입구에 삽입되어 체결부재(70a)와 몸체(130)가 결합될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서 몸체(30, 130)는 탄소 섬유 강화플라스틱(carbon fiber reinforced plastic, CFRP), 유리 섬유 강화플라스틱(Glass Fiber Reinforced Plastic; GFRP), 카본 필름, 유리강화필름, 아라미드 필름 및 금속 박막 중 적어도 하나로 단층 또는 다층으로 형성될 수 있다.
이때, 탄소 섬유 강화플라스틱(CFRP)이란 비강도(specific strength), 강성(rigidity), 파단강도(rupture strength)가 매우 우수한 것으로 알려진 탄소섬유로 이루어진 직물 또는 시트에 에폭시 수지를 함침시켜 경화시킨 것이다.
또한, 유리 섬유 강화플라스틱(Glass Fiber Reinforced Plastic; GFRP)은 강도가 높고 가벼우며, 내구성, 내충격성, 내마모성이 우수한 것으로 알려진 유리섬유로 이루어진 직물 또는 시트에 에폭시 수지를 함침시켜 경화시킨 것이다.
한편, 본 발명의 일 실시예에서 몸체(30, 130)의 일면 예를 들어 상부면에는 기판(5) 적재 시 몸체에 발생하는 충격을 흡수하고 기판에 발생하는 스크래치를 방지하기 위한 팁 부재(50)가 결합될 수 있다. 이때 몸체의 상부면에는 팁 부재가 결합될 수 있도록 팁 삽입홀(52)이 형성될 수 있다.
이때, 팁 부재(50)는 원기둥의 돌기 형상으로 플라스틱 재질로 이루어질 수 있으나 이에 한정되지는 않는다. 또한 팁 부재(50)는 외주면이 팁 삽입홀(52)에 대응되도록 형성되어 팁 삽입홀에 나사결합 또는 끼움 결합될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서 몸체(30, 130)는 인발 공정을 통해 제작될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바(10)는 인발 공정을 통해 제작됨으로써, 솔리드(Solid) 타입의 형태로로 형성될 수 있다.
이를 통해, 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바(10)는 몸체(30, 130)가 솔리드 타입의 형태를 가짐으로써, 세정 과정 중 사용되는 물이 서포트바 내부로 유입되지 않고, 엔드캡 및 맴브레인이 불필요하며, 테이퍼 형상의 구현이 가능할 수 있다.
또한 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바(10)는 질량 대비 처짐량이 우수하고 리크(leak) 테스트 등의 공정감소로 공정 비용의 간소화가 가능할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바는 인발 제작됨으로써 질량 대비 처짐량이 우수하고 리크(leak) 테스트 등의 공정감소로 공정 비용의 간소화가 가능할 수 있다.
이상에서 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시 예에 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시 예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.
1 : 기판 적재용 카세트 2 : 상부 프레임
3 : 하부 프레임 5 : 기판
7 : 지지대 8 : 수직 프레임
9 : 봉 부재 10 : 서포트바
30, 130 : 몸체 31, 31a, 31b : 안착부
32, 32a : 안착면 33, 33a, 133 : 결합부
34 : 결합홀 35, 35a : 지지부
134 : 삽입구 50 : 팁 부재
52 : 팁 삽입홀 70, 70a : 체결부재
71 : 체결부 72 : 볼트 삽입홀
73, 173 : 돌출부 74 : 삽입홀
75 : 대응결합홀

Claims (14)

  1. 기판 적재용 카세트에 결합되어 기판을 지지하는 몸체를 구비하는 서포트바로서,
    상기 몸체는
    일면에 상기 기판이 안착되는 안착면을 구비하는 안착부 및
    상기 안착부와 일측이 연결되고 상기 카세트와 나사 또는 리벳 결합되기 위해 일면에 결합홀이 형성되는 결합부를 포함하는 서포트바.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 서포트바는 인발 제작되는 서포트바.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 결합부의 타측에 연결되는 지지부를 포함하는 서포터바.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 안착부 및 상기 지지부는 내측방향으로 갈수록 두께가 증가하는 서포트바.
  5. 제3 항에 있어서,
    상기 안착부와 상기 결합부의 연결부분 및 상기 지지부 및 상기 결합부의 연결부분은 테이퍼 형상 또는 R 형상인 서포트바.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 결합부는 한 쌍으로 형성되고
    상기 한 쌍의 결합부는 상기 안착부의 타면에 이격 배치되는 서포트바.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 몸체가 GFRP 및 CFRP 중 적어도 하나를 포함하는 서포트바.
  8. 제1 항에 있어서,
    상기 카세트와 결합되는 체결부 및
    상기 체결부의 일면에 돌출 형성되고 일측에 결합부가 삽입되어 결합되도록 삽입홀이 형성되는 돌출부를 포함하는 서포트바.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 돌출부의 일면에는 상기 결합홀과 함께 나사 또는 리벳 결합되도록 대응결합홀이 형성되는 서포트바.
  10. 기판 적재용 카세트에 결합되어 기판을 지지하는 몸체를 구비하는 서포트바로서,
    상기 몸체는
    상기 기판이 안착되는 안착면을 구비하는 안착부 및
    상기 안착부와 일측이 연결되고, 내부에 중공부가 형성되며, 일단부에 상기 중공부와 연결된 삽입구가 형성되는 결합부를 포함하는 서포트바.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 결합부의 타측에 연결되는 지지부를 포함하는 서포터바.
  12. 제11 항에 있어서,
    상기 결합부는 한 쌍으로 형성되고
    상기 한 쌍의 결합부는 상기 안착부의 타면에 이격 배치되는 서포트바.
  13. 제11 항에 있어서,
    상기 카세트와 결합되는 체결부 및
    상기 체결부의 일면에서 상기 삽입구에 삽입되어 결합되도록 돌출 형성된 돌출부를 포함하는 서포트바.
  14. 상부 프레임;
    하부 프레임;
    상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임을 상하방향으로 연결하기 위하여 상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임의 일측면에 수직 방향으로 결합되는 지지대; 및
    상기 지지대에 수직 방향으로 연결되어 기판을 지지하는 제1 항 내지 제13 항 중 어느 한 항에 따른 서포트바를 포함하는 기판 적재용 카세트.
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