KR101642423B1

KR101642423B1 - 차압센서

Info

Publication number: KR101642423B1
Application number: KR1020140142844A
Authority: KR
Inventors: 김상주; 김민수; 김정민; 이상빈; 박환; 서동균
Original assignee: 주식회사 코멧네트워크
Priority date: 2014-10-21
Filing date: 2014-10-21
Publication date: 2016-07-28
Also published as: KR20160046648A

Abstract

본 발명은 차압센서에 관한 것이다. 본 발명에 따른 차압센서는 몸체와 커버를 포함하며, 그 내부에 서로 분리된 제1챔버와 제2챔버가 형성된 하우징과, 상기 제1챔버와 연통된 제1압력채널 및 상기 제2챔버와 연통되며, 상기 제1압력채널에 유입되는 가스에 비해서 압력이 높은 가스가 유입되는 제2압력채널과, 상기 제2챔버와 면하는 제1면과 그 제1면과 나란하며 상기 제1챔버와 면하는 제2면을 구비하며, 상기 제1면과 제2면을 관통하는 비아홀이 형성되며, 상기 제1면에 전자부품이 설치되고, 단자가 형성된 기판과, 상기 기판의 제2면에 설치되어, 상기 제1챔버의 내부에 배치되며, 상기 제1챔버와 제2챔버의 압력 차이에 따른 전기신호를 발생시키며, 상기 기판의 제1면에 설치된 전자부품과 상기 기판의 비아홀을 통해서 전기적으로 연결되는 센서소자와, 상기 하우징에 설치되고, 그 일단이 상기 제2챔버 내부로 연장되며, 상기 센서소자의 전기신호를 외부 장치에 전달하도록 구성된 리드 프레임과, 상기 센서소자의 전기신호를 상기 리드 프레임에 전달하기 위해, 상기 기판의 단자와 상기 리드 프레임을 제2챔버 내에서 연결하는 도선과, 상기 몸체와 커버가 접하는 영역에 배치되어, 상기 제2챔버를 외부에 대해서 밀봉하는 제1밀봉부와, 상기 기판과 상기 몸체가 접하는 영역에 배치되어, 상기 제1챔버를 상기 제2챔버에 대해서 밀봉하는 제2밀봉부를 포함한다.

Description

차압센서{Differential pressure sensor}

본 발명은 배기계 후처리장치 등에 사용되는 차압센서에 관한 것이다.

차량의 배기시스템에는 배기가스 중 입자상물질을 물리적으로 포집하고 연소시켜 제거하는 배기계 후처리장치와 배기가스를 냉각시키는 저압 배기가스 재순환 장치 쿨러(Low pressure exhaust gas recirculation cooler, LP EGR cooler)가 설치된다. 그리고 배기계 후처리장치와 저압 배기가스 재순환 장치 쿨러의 전단과 후단의 압력차를 측정하기 위한 차압센서가 설치된다. 배기계 후처리장치나 배기가스 재순환 장치 쿨러에 이상이 생기면 차압센서에서 측정된 차압이 증가한다.

등록특허공보 제1011098호에는 제1하우징 챔버, 제2하우징 챔버 및 제3하우징 챔버를 포함하는 하우징을 구비한 차압센서에 있어서, 제1밀봉부가 제1하우징 챔버에 대해서 제3하우징 챔버를 밀봉하고, 하우징의 몸체인 제1하우징부와 덮개인 제2하우징부가 접하는 영역 내에 배열되는 제2밀봉부가 제1하우징 챔버를 제2하우징 챔버로부터 밀봉하는 것을 특징으로 하는 차압센서가 개시되어 있다.

상기 차압센서는 제2밀봉부가 하우징을 외측으로 밀봉시키는 동시에 제2하우징 챔버에 대해서 센서 요소를 갖는 제1하우징 챔버를 밀봉시키므로 접착과정이 줄어든다.

또한, 공개특허공보 제2013-0018570호에는 감지 요소를 갖는 감지 요소 캐리어 요소와 전자부품이 탑재되는 전자 모듈 캐리어 요소를 각각 구비한 전자 모듈 조립체와 이를 수용하는 하우징 조립체를 포함하고, 감지 요소 캐리어 요소와 전자 모듈 캐리어 요소 사이에는 전기 연결부가 제공되는 센서 시스템이 개시되어 있다.

또한, 공개특허공보 제2012-0062363호에는 차압센서에 있어서, 배기가스로부터 센서 칩을 보호하기 위한 수단으로 필터를 구비한 것을 특징으로 하는 차압 센서가 개시되어 있다.

공개특허공보 제2013-0018570호 공개특허공보 제2012-0062363호 등록특허공보 제1011098호

본 발명은 센서소자의 수명을 늘릴 수 있는 종래의 차압센서와 다른 새로운 구조의 개선된 차압센서를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 차압센서는 몸체와 커버를 포함하며, 그 내부에 서로 분리된 제1챔버와 제2챔버가 형성된 하우징과, 상기 제1챔버와 연통된 제1압력채널 및 상기 제2챔버와 연통되며, 상기 제1압력채널에 유입되는 가스에 비해서 압력이 높은 가스가 유입되는 제2압력채널과, 상기 제2챔버와 면하는 제1면과 그 제1면과 나란하며 상기 제1챔버와 면하는 제2면을 구비하는 기판과, 상기 기판의 제2면에 설치되어, 상기 제1챔버의 내부에 배치되며, 상기 제1챔버와 제2챔버의 압력 차이에 따른 전기신호를 발생시켜, 상기 기판에 전달하는 센서소자와, 상기 하우징에 설치되고, 그 일단이 상기 제2챔버 내부로 연장되며, 상기 기판과 전기적으로 연결되어 상기 센서소자의 전기신호를 외부 장치에 전달하도록 구성된 리드 프레임과, 상기 몸체와 커버가 접하는 영역에 배치되어, 상기 커버를 상기 몸체에 결합시키며, 상기 제2챔버를 외부에 대해서 밀봉하는 제1밀봉부와, 상기 기판의 제2면과 상기 몸체가 접하는 영역에 배치되어, 상기 기판을 상기 몸체에 결합시키며, 상기 제1챔버를 상기 제2챔버에 대해서 밀봉하는 제2밀봉부를 포함한다.
또한, 상기 기판의 제1면에 설치된 전자부품과, 상기 센서소자의 전기신호를 상기 리드 프레임에 전달하기 위해, 상기 기판과 상기 리드 프레임을 제2챔버 내에서 전기적으로 연결하는 도선과, 상기 전자부품 및 도선을 보호하도록, 상기 전자부품 및 도선을 감싸는 충진제를 더 포함하는 것이 바람직하다. 상기 충진제는 겔 상태인 것이 바람직하다.

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또한, 상기 센서소자와 상기 단자 사이에서, 상기 기판으로부터 상기 커버 방향으로 돌출된 배리어를 더 포함하며, 상기 충진제는 상기 배리어와 상기 하우징의 내벽들에 의해서 둘러싸인 영역에 도포될 수 있다.

상기 전자부품은 적층세라믹콘덴서를 포함하며, 상기 도선은 알루미늄 와이어일 수 있다.

또한, 상기 기판은 세라믹 기판인 것이 바람직하다.

또한, 복수의 단자들, 상기 단자들에 대응하는 리드 프레임들 및 상기 단자들과 리드 프레임들을 서로 연결하는 도선들을 포함하며, 상기 리드 프레임들의 핀 맵이 변화할 경우 상기 도선들의 길이와 상기 도선들과 상기 리드 프레임들의 본딩 위치를 조절하면 상기 도선들의 교차 없이 상기 복수의 단자들와 상기 리드 프레임들을 전기적으로 연결할 수 있도록, 인접하는 적어도 한 쌍의 리드 프레임들은 일단부들의 적어도 일부분이 서로 엇갈리도록 구성된 것이 바람직하다.

본 발명에 따른 차압센서는 조립이 용이하며, 구조가 간단하다는 장점이 있다. 또한, 센서소자가 오염도가 상대적으로 낮은 저압의 챔버에 배치되므로 센서소자의 수명이 증가하는 장점이 있다.

도 1과 2는 본 발명에 따른 차압센서의 일실시예의 분해 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 차압센서의 단면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 차압센서의 일부분을 나타낸 도면이다.
도 5 내지 9는 도 1에 도시된 차압센서의 조립방법을 설명하기 위한 도면들이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 다음에 소개되는 실시예는 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되는 것이다. 따라서, 본 발명은 이하 설명되는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다.

도 1과 2는 본 발명에 따른 차압센서의 일실시예의 분해 사시도이며, 도 3는 도 1에 도시된 차압센서의 단면도이다. 도 1 내지 3을 참고하면, 본 발명에 따른 차압센서의 일실시예는 하우징(10), 제1압력채널(24) 및 제2압력채널(25), 기판(30), 센서소자(40), 리드 프레임(50), 도선(60), 제1밀봉부(70), 제2밀봉부(80) 및 충진제(90)를 포함한다.

하우징(10)은 몸체(20)와 커버(21)를 포함한다. 커버(21)는 몸체(20)에 끼워져 몸체(20)의 개방된 상단을 외부로부터 밀봉하는 역할을 한다. 하우징(10)의 내부에는 제1챔버(11)와 제2챔버(12)가 형성된다. 몸체(20)의 중심부에 형성된 분리벽(13)은 제2챔버(12)를 제1챔버(11)로부터 분리시킨다. 제1챔버(11)의 도면(도 3 참조)상 우측에는 지지부(14)가 형성된다. 몸체(20)의 한쪽 측부에는 노즐 형상의 제1압력채널(24)과 제2압력채널(25)이 나란하게 결합된다. 제1압력채널(24)은, 예를 들어, 배기계 후처리장치의 후단과 연결되고, 제2압력채널(25)은 배기가스 후처리장치의 전단과 연결될 수 있다. 제1챔버(11)는 제1압력채널(24)과 연통되며, 제2챔버(12)는 제2압력채널(25)과 연통된다. 따라서 제1챔버(11)와 제2챔버(12)의 차압을 측정하면, 배기계 후처리장치의 전단과 후단 사이의 차압을 측정할 수 있다. 제1챔버(11)는 배기계 후처리장치의 후단과 연결되므로, 상대적으로 압력이 낮으며, 오염도가 낮다.

기판(30)은 몸체(20)의 내부에 제1챔버(11)를 덮을 수 있도록 배치된다. 기판(30)은 분리벽(13)과 지지부(14)에 의해서 지지된다. 기판은(30)은 배선회로가 상면과 하면 모두에 형성되고, 상면과 하면의 배선회로가 비아홀을 통해서 서로 연결된 양면 기판이다. 기판(30)에는 센서소자(40), 적층세라믹콘덴서와 같은 전자부품(31), 단자(32) 등이 설치된다. 센서소자(40)은 도면상 기판(30)의 하면에 설치되며, 전자부품(31)과 단자(32)는 기판(30)의 상면에 설치된다. 센서소자(40)와 전자부품(31) 및 단자(32)는 기판(30)의 비아홀(미도시)을 통해서 전기적으로 연결될 수 있다. 본 실시예에 있어서, 센서소자(40)는 기판(30)의 하면에 설치되어, 오염도가 낮은 제1챔버(11) 내부에 배치되므로, 오염물질에 의한 센서소자(40)의 손상을 최소화하여 센서소자(40)의 수명을 연장할 수 있다는 장점이 있다.

하우징(10)에는 고온의 배기가스에 유입되므로, 기판(30)은 세라믹 기판인 것이 바람직하다. 기판(30)은 센서소자(40)를 지지하는 역할 뿐 아니라 제2밀봉부(80)와 함께 제1챔버(11)를 제2챔버(12)에 대해서 밀봉하는 역할을 한다.

기판(30)에는 개구(33)가 형성되며, 센서소자(40)는 이 개구(33)가 형성된 부분에 설치된다. 개구(33)는 센서소자(40)의 하부(기판과 접한 쪽)에 제2챔버(12)의 압력을 전달하기 위한 것이다. 센서소자(40)의 둘레에는 사각형 틀 형태의 센서소자 배리어(34)가 배치되고, 센서소자 배리어(34)의 내부에는 배기가스 내의 유해물질로부터 센서소자(40)를 보호하기 위한 겔(35)이 채워질 수 있다. 겔은 플루오르 실리콘 겔일 수 있다.

센서소자(40)는, 예를 들어, 압력에 민감한 멤브레인을 구비한 실리콘계 반도체 압력센서를 포함할 수 있다. 센서소자(40)의 하부에는 기판(30)의 개구(33)를 통해서 제2챔버(12)의 압력이 전해지고, 센서소자(40)의 상부에는 제1챔버(11)의 압력이 겔(35)을 통해서 전달된다. 센서소자(40)는 상부와 하부의 압력차에 따른 전기신호를 발생시키고, 이 전기신호는 기판(30)에 형성된 배선과 전자부품(31)을 통해서 기판(30)의 단자(32)로 전달된다.

몸체(20)의 좌측에는 외부 장치와의 결합을 위한 커넥터부(16)가 형성되어 있으며, 커넥터부(16)에는 리드 프레임(50)이 설치된다. 리드 프레임(50)의 일단은 하우징(10)의 내부로 연장되고, 타단은 하우징(10)의 외부를 향해 연장된다. 리드 프레임(50)의 하우징(10) 내부로 연장된 일단과 기판(30)의 단자(32)는 도선(60)에 의해서 전기적으로 연결된다. 도선(60)은 와이어 본딩에 의해서 리드 프레임(50) 및 단자(32)와 연결된다. 도선(60)은 알루미늄 와이어일 수 있다. 센서소자(40)의 전기신호는 리드 프레임(50)을 통해서 센서소자(40)의 전기신호를 처리할 수 있는 외부 장치에 전달된다.

도 4는 도 1에 도시된 차압센서의 일부분을 나타낸 도면이다. 도 4에 도시된 바와 같이, 리드 프레임(50)은 전기적으로 분리된 제1리드 프레임(51), 제2리드 프레임(52) 및 제3리드프레임(53)을 포함한다. 여기서, 제2리드 프레임(52)와 제3리드 프레임(53)의 단자 측 일단부는 서로 엇갈리도록 구성된다. 좀 더 상세히 설명하면, 제3리드 프레임(53)은 제2리드 프레임(52) 방향으로 연장된 제3리드 프레임 연장부(531)을 포함하며, 제2리드 프레임(52)은 제3리드 프레임 연장부(531)와 나란하며, 제3리드 프레임(53) 방향으로 연장된 제2프레임 연장부(521)을 포함한다. 또한, 제2리드 프레임(52)의 제2프레임 연장부(521)의 반대방향 끝단(522)은 제2리드 프레임(52)과 제1리드 프레임(51) 사이의 공간으로 연장된다.

이러한 구성은 리드 프레임(50)의 핀 맵(pin map)의 변화에 관계 없이 단자(32)와 리드 프레임(50)을 연결하는 도선이 교차되지 않도록 하기 위한 것이다. 도 4에 도시된 바와 같이, 핀 맵이 변화할 경우 도선(60)의 길이와 본딩 위치만 조절하면 도선의 교차 없이 단자(32)와 리프 프레임(50)을 전기적으로 연결할 수 있다.

도 4의 (a)에 도시된 바와 같이, 제1리드 프레임(51)이 전압 입력단과 연결되고, 제2리드 프레임(52)와 제3리드 프레임(53)이 각각 전압출력단 및 접지와 연결되는 경우에는 기판의 단자(32) 중 가운데 단자를 제3리드 프레임 연장부(531)와 연결하고, 오른쪽 단자를 제2리드 프레임 연장부(521)와 연결한다. 엇갈린 일단부에 도선(60)을 연결하므로 도선이 교차되지 않는다는 장점이 있다. 도선이 교차되면 합선될 수 있다. 도 4의 (b)에 도시된 바와 같이, 제2리드 프레임(52)와 제3리드 프레임(53)이 각각 접지 및 전압출력단과 연결되는 경우에는 일반적인 연결방법과 동일하게 기판의 단자(32) 중 가운데 단자를 제2리드 프레임(52)과 연결하고, 오른쪽 단자를 제3리드 프레임(53)과 연결한다.

다시, 도 1 내지 3을 참고하면, 몸체(20)과 커버(21)가 접하는 영역에는 몸체(20)를 밀봉하기 위한 제1밀봉부(70)가 배치된다. 제1밀봉부(70)는 접착 본드로 이루어질 수 있다. 제1밀봉부(70)는 몸체(20)의 외벽을 따라서 형성된 결합 홈(17) 안에 도포된다. 제1밀봉부(70)는 대체로 사각형 형태가 된다.

제2밀봉부(80)는 몸체(20)의 분리벽(13)과 지지부(14) 등 제1챔버(11)의 측벽을 이루는 구조의 상면에 형성된 대체로 사각형인 홈(15)에 도포된다. 제2밀봉부(80)는 제1챔버(11)를 제2챔버(12)에 대해서 밀봉하는 역할을 한다. 제2밀봉부(80)는 기판(30)의 하면에 설치되며, 기판(30)의 상면의 압력(제2챔버의 압력)이 기판의 하면의 압력(제1챔버의 압력)에 비해서 높으므로, 기판(30)이 제1챔버(11) 방향으로 밀착되고, 제2밀봉부(80)에는 압축력이 가해진다. 제2밀봉부(80)에 인장력이 가해지면 장시간 사용 시 제2밀봉부(80)가 파손될 우려가 있으므로, 압축력이 가해지는 것이 바람직하다.

또한, 센서소자(40)와 단자(32) 사이의 기판(30)에는 커버(21) 방향으로 돌출된 배리어(18)가 설치된다. 배리어(18)는 하우징(10)의 내벽들과 함께 기판(30)에 설치된 전자부품(31)들과 단자(32), 도선(60) 및 리드 프레임(50)의 일부를 둘러싸는 영역을 형성한다. 이 영역에는 전자부품(31), 단자(32), 도선(60) 및 리드 프레임(50)을 배기가스로부터 보호하기 위한 충진제(90)가 채워진다. 충진제(90)는 플루오르 실리콘 겔일 수 있다. 배리어(18)는 몸체(20)의 내벽에 형성된 가이드(19)에 끼워질 수 있다.

이하, 상술한 구성의 차압센서의 조립방법을 도면을 참고하여 설명한다.

우선, 도 5에 도시된 바와 같이, 몸체(20)의 제1챔버(11) 둘레의 분리벽(13)과 지지부(14) 등에 형성된 홈(15)에 제2밀봉부(80)를 이루는 접착제를 도포한다.

다음, 도 6에 도시된 바와 같이, 센서소자(40)와 전자부품(31)들이 설치된, 기판(30)으로 제1챔버(11)의 개방된 상면을 덮는다. 기판(30)과 제1챔버(11)의 접촉부는 제2밀봉부(80)에 의해서 밀봉된다.

다음, 도 7에 도시된 바와 같이, 와이어 본딩을 통해서 기판(30)의 단자(32)와 리드 프레임(50)의 일단을 전기적으로 연결한다.

다음, 도 8에 도시된 바와 같이, 기판(30)에 접착제를 도포한 후, 배리어(18)를 몸체(20)의 내벽에 형성된 가이드(19)에 끼워 고정시킨다.

다음, 도 9에 도시된 바와 같이, 배리어(18)와 몸체(20)의 내벽에 의해서 형성된 공간에 충진제(90)를 채운다.

마지막으로, 도 10에 도시된 바와 같이, 몸체(20)의 결합 홈(17)에 제1밀봉부(70)를 이루는 접착제를 도포하고, 커버(21)를 몸체(20)에 끼워 몸체(20) 상부를 밀봉한다.

이하, 상술한 차압센서의 설치 및 작동에 대해서 설명한다.

제1압력채널(24)을 배기계 후처리장치의 후단에 연결하고, 제2압력채널(25)을 전단에 연결하면, 센서소자(40)의 하부(기판에서 가까운 쪽)에는 기판(30)의 개구(33)를 통해서 제2챔버(12)(제2압력채널)의 압력이 전달되고, 센서소자(40)의 상부(기판에서 먼 쪽)에는 센서소자(40)를 덮고 있는 겔(35)을 통해서 제1챔버(11)(제1압력채널)의 압력이 전달된다. 센서소자(40)는 차압에 따른 전기신호를 발생시킨다. 이 전기신호는 기판(30)의 배선 및 전자부품(31)을 통해 기판(30)의 단자(32)에 전달된다. 그리고 단자(32)와 리드 프레임(50)을 전기적으로 연결하는 도선(60)을 통해서 리드 프레임(50)에 전달된다. 리드 프레임(50)에 전달된 전기신호는 몸체(20)의 커넥터부(16)에 연결된 외부장치에 전달된다. 외부장치는 차압을 측정하여 배기계 후처리장치의 이상 여부를 판단한다.

이상에서 설명된 실시예는 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한 것에 불과하고, 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상과 특허청구범위 내에서 이 분야의 당업자에 의하여 다양한 변경, 변형 또는 치환이 가능할 것이며, 그와 같은 실시예들은 본 발명의 범위에 속하는 것으로 이해되어야 한다.

10: 하우징 11: 제1챔버
12: 제2챔버 13: 분리벽
14: 지지부 15: 홈
16: 커넥터부 17: 결합 홈
18: 배리어 19: 가이드
20: 몸체 21: 커버
22: 돌출부 24: 제1압력채널
25: 제2압력채널 30: 기판
31: 전자부품 32: 단자
33: 개구 34: 센서소자 배리어
35: 겔 40: 센서소자
50: 리드 프레임 51: 제1리드 프레임
52: 제2리드 프레임 53: 제3리드 프레임
60: 도선 70: 제1밀봉부
80: 제2밀봉부 90: 충진제

Claims

몸체와 커버를 포함하며, 그 내부에 서로 분리된 제1챔버와 제2챔버가 형성된 하우징과,
상기 제1챔버와 연통된 제1압력채널 및 상기 제2챔버와 연통되며, 상기 제1압력채널에 유입되는 가스에 비해서 압력이 높은 가스가 유입되는 제2압력채널과,
상기 제2챔버와 면하는 제1면과 그 제1면과 나란하며 상기 제1챔버와 면하는 제2면을 구비하는 기판과,
상기 기판의 제2면에 설치되어, 상기 제1챔버의 내부에 배치되며, 상기 제1챔버와 제2챔버의 압력 차이에 따른 전기신호를 발생시켜, 상기 기판에 전달하는 센서소자와,
상기 하우징에 설치되고, 그 일단이 상기 제2챔버 내부로 연장되며, 상기 기판과 전기적으로 연결되어 상기 센서소자의 전기신호를 외부 장치에 전달하도록 구성된 리드 프레임과,
상기 몸체와 커버가 접하는 영역에 배치되어, 상기 커버를 상기 몸체에 결합시키며, 상기 제2챔버를 외부에 대해서 밀봉하는 제1밀봉부와,
상기 기판의 제2면과 상기 몸체가 접하는 영역에 배치되어, 상기 기판을 상기 몸체에 결합시키며, 상기 제1챔버를 상기 제2챔버에 대해서 밀봉하는 제2밀봉부를 포함하는 차압센서.
제1항에 있어서,
상기 기판의 제1면에 설치된 전자부품과,
상기 센서소자의 전기신호를 상기 리드 프레임에 전달하기 위해, 상기 기판과 상기 리드 프레임을 제2챔버 내에서 전기적으로 연결하는 도선과,
상기 전자부품 및 도선을 보호하도록, 상기 전자부품 및 도선을 감싸는 충진제를 더 포함하는 차압센서.
제2항에 있어서,
상기 충진제는 겔 상태인 차압센서.
제2항에 있어서,
상기 기판으로부터 상기 커버 방향으로 돌출된 배리어를 더 포함하며, 상기 충진제는 상기 배리어와 상기 하우징의 내벽들에 의해서 둘러싸인 영역에 도포되는 차압센서.
제2항에 있어서,
상기 전자부품은 적층세라믹콘덴서를 포함하며, 상기 도선은 알루미늄 와이어인 차압센서.
제1항에 있어서,
상기 기판은 세라믹 기판인 차압센서.
제1항에 있어서,
복수의 단자들, 상기 단자들에 대응하는 리드 프레임들 및 상기 단자들과 리드 프레임들을 서로 연결하는 도선들을 포함하며,
상기 리드 프레임들의 핀 맵이 변화할 경우 상기 도선들의 길이와 상기 도선들과 상기 리드 프레임들의 본딩 위치를 조절하면 상기 도선들의 교차 없이 상기 복수의 단자들와 상기 리드 프레임들을 전기적으로 연결할 수 있도록, 인접하는 적어도 한 쌍의 리드 프레임들은 일단부들의 적어도 일부분이 서로 엇갈리도록 구성된 차압센서.