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KR101327509B1 - 집적회로 소자 제조 장치 - Google Patents

집적회로 소자 제조 장치 Download PDF

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Publication number
KR101327509B1
KR101327509B1 KR1020120099634A KR20120099634A KR101327509B1 KR 101327509 B1 KR101327509 B1 KR 101327509B1 KR 1020120099634 A KR1020120099634 A KR 1020120099634A KR 20120099634 A KR20120099634 A KR 20120099634A KR 101327509 B1 KR101327509 B1 KR 101327509B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
chuck
substrate
storage battery
charging
input terminal
Prior art date
Application number
KR1020120099634A
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English (en)
Inventor
박근영
구교욱
박상환
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
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Publication of KR101327509B1 publication Critical patent/KR101327509B1/ko

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Abstract

집적회로 소자 제조 장치는 전기를 공급함에 의해 형성되는 힘을 이용하여 기판을 파지하는 일면을 구비하는 척, 상기 척에 전기를 공급하도록 상기 기판의 파지 및 이송에 간섭을 끼치지 않는 상기 척의 일부분에 구비되는 축전지, 및 상기 축전지를 충전하도록 상기 축전지와 연결되는 충전 입력 단자를 포함하는 이송체; 그리고 상기 축전지에 전기를 공급하는 전기 공급부, 및 상기 전기 공급부와 연결됨과 아울러 상기 충전 입력 단자와 마주할 수 있는 상기 이송체의 이송 경로에 구비되는 충전 출력 단자를 포함하는 충전부를 구비할 수 있다.

Description

집적회로 회로 소자 제조 장치{Apparatus of manufacturing integrated circuit device}
본 발명은 집적회로 소자 제조 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 전기를 공급함에 의해 형성되는 힘을 이용하여 기판을 파지하는 척을 구비하는 집적회로 소자 제조 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조에서는 전기를 공급함에 의해 형성되는 힘을 이용하여 기판을 파지하는 척을 이송체로 구비하는 제조 장치를 사용한다. 특히, 유기 박막 디스플레이 소자와 같은 평판 디스플레이 소자의 제조에서는 패턴 형성을 위한 기판 일면이 아래를 향하게 언급한 기판 일면의 반대면인 기판 타면을 파지하도록 구비되는 척을 이송체로 사용한다.
언급한 척을 구비하는 이송체에 대한 일 예로서는 본 출원인이 발명하고, 대한민국 특허청에 출원한 특허출원 2012-0046143호 등에 개시되어 있다. 아울러, 언급한 이송체를 사용한 패턴 형성 등과 같은 단위 공정의 수행에서는 기판을 파지한 상태로 이송이 이루어질 수 있다. 즉, 기판을 파지한 상태에서 단위 공정을 수행하는 이송 경로를 따라 이송체 자체의 이송이 이루어질 수 있는 것이다.
여기서, 언급한 이송체는 주로 전기를 공급함에 의해 형성되는 힘을 이용하여 기판을 파지하기 때문에 이송체로 전기가 계속적으로 공급되어야 한다. 이에, 이송체는 언급한 전기의 공급을 위하여 케이블 등을 사용하여 외부 전기 공급원과 전기적으로 연결되는 구조를 갖는다. 그러나 언급한 바와 같이 전기를 공급함에 의해 형성되는 힘을 이용하여 기판을 파지하는 이송체를 사용할 경우 케이블이 이송체의 이송을 방해하는 문제점이 있다.
이에, 종래에는 전기를 공급함에 의해 형성되는 힘을 이용하는 이송체 대신 접착력 또는 자기력을 이용하는 이송체를 사용하고 있다. 그러나 언급한 접착력 또는 자기력을 이용하는 이송체는 기판을 충분하게 파지한 상태로 이송하는 것이 불안정할 수 있고, 그 결과 접착력 또는 자기력에 의해 파지되는 기판이 낙하 및 파손되는 상황이 빈번하게 발생하는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 전기를 공급함에 의해 형성되는 힘을 이용하여 기판을 파지하는 이송체를 사용하여도 이송에 따른 제약 요소가 없는 집적회로 소자 제조 장치를 제공하는데 있다.
언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조 장치는 전기를 공급함에 의해 형성되는 힘을 이용하여 기판을 파지하는 일면을 구비하는 척, 상기 척에 전기를 공급하도록 상기 기판의 파지 및 이송에 간섭을 끼치지 않는 상기 척의 일부분에 구비되는 축전지, 및 상기 축전지를 충전하도록 상기 축전지와 연결되는 충전 입력 단자를 포함하는 이송체; 그리고 상기 축전지에 전기를 공급하는 전기 공급부, 및 상기 전기 공급부와 연결됨과 아울러 상기 충전 입력 단자와 마주할 수 있는 상기 이송체의 이송 경로에 구비되는 충전 출력 단자를 포함하는 충전부를 구비할 수 있다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조 장치에서, 상기 척은 상기 기판의 공정 대상면이 하부를 향하도록 상기 기판을 파지할 수 있다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조 장치에서, 상기 척은 정전기력에 의해 상기 기판을 파지하는 척 또는 전자기력에 의해 상기 기판을 파지하는 척을 포함할 수 있다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조 장치에서, 상기 축전지는 상기 척에 내장되는 구조로 구비되거나 또는 상기 척의 일면과 반대면인 상기 척의 타면에 배치되는 구조로 구비될 수 있다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조 장치에서, 상기 이송체의 이송 경로는 계속적으로 반복되는 무한 루프 경로 또는 일지점으로부터 타지점까지로 한정되는 한정 경로일 수 있다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조 장치에서, 상기 충전 입력 단자 및 상기 충전 출력 단자 각각은 접점형 단자 구조 또는 레일형 단자 구조를 갖도록 구비되고, 상기 충전 입력 단자 및 상기 충전 출력 단자가 서로 마주할 수 있는 이송 경로를 지날 때 슬라이딩 방식으로 서로 비접촉 또는 접촉함에 의해 충전이 이루어질 수 있다.
언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 집적회로 소자 제조 장치는 정전기력에 의해 기판을 파지하는 일면을 구비하는 척, 상기 척에 전기를 공급하도록 상기 기판의 파지 및 이송에 간섭을 끼치지 않는 상기 척의 일부분에 구비되는 축전지, 및 상기 축전지를 충전하도록 상기 축전지와 연결되는 충전 입력 단자를 포함하고, 계속적으로 반복되는 무한 이송 경로를 따라 이송이 이루어지는 이송체; 그리고 상기 축전지에 전기를 공급하는 전기 공급부, 및 상기 전기 공급부와 연결됨과 아울러 상기 충전 입력 단자와 마주할 수 있는 상기 이송체의 무한 이송 경로에 구비되는 충전 출력 단자를 포함하는 충전부를 구비할 수 있다.
언급한 본 발명의 다른 실시예에 따른 집적회로 소자 제조 장치에서, 상기 척은 상기 기판의 공정 대상면이 하부를 향하도록 상기 기판을 파지할 수 있다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조 장치에서, 상기 축전지는 상기 척에 내장되는 구조로 구비되거나 또는 상기 척의 일면과 반대면인 상기 척의 타면에 배치되는 구조로 구비될 수 있다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조 장치에서, 상기 충전 입력 단자 및 상기 충전 출력 단자 각각은 접점형 단자 구조 또는 레일형 단자 구조를 갖도록 구비되고, 상기 충전 입력 단자 및 상기 충전 출력 단자가 서로 마주할 수 있는 무한 이송 경로를 지날 때 슬라이딩 방식으로 서로 비접촉 또는 접촉함에 의해 충전이 이루어질 수 있다.
언급한 바와 같이, 본 발명의 집적회로 소자 제조 장치는 이송체가 이송 경로를 따라 이송할 때 이송체의 충전 입력 단자가 외부에 구비되는 충전기와 연결되는 충전 출력 단자를 경유할 수 있기 때문에 충전 입력 단자와 연결되는 이송체의 축전지를 안정적으로 충전할 수 있고, 이에 척은 축전지로부터 안정적으로 기판을 파지할 수 있는 힘의 생성을 위한 전기를 공급받을 수 있다.
따라서 본 발명의 집적회로 소자 제조 장치를 사용할 경우에는 언급한 바와 같이 전기를 공급함에 의해 형성되는 힘을 이용하여 기판을 파지한 척을 사용하여도 기판의 이송에 지장을 받지 않는다.
그러므로 본 발명의 집적회로 소자 제조 장치는 전기를 공급함에 의해 형성되는 힘을 이용하여도 안정적으로 기판을 파지할 수 있을 뿐만 아니라 이송에 별다른 제약 없이 기판을 파지한 상태에서 이송체를 안정적으로 이송시킬 수 있다. 특히, 본 발명의 집적회로 소자 제조 장치는 기판의 이송에 따른 용이성을 확보할 수 있기 때문에 생산성의 향상도 기대할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 구비되는 이송체를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 3은 도 1에 구비되는 이송체의 충전 입력 단자가 충전부의 충전 출력 단자를 지나가는 상황을 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 도 1의 집적회로 소자 제조 장치의 이송 경로 및 충전 구간을 설명하기 위한 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
실시예
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 집적회로 소자 제조 장치는 주로 평판 디스플레이 소자의 제조 라인에 구비되는 것으로써, 특히 유기 박막을 증착할 때 기판(11)을 파지 및 이송하기 위한 것일 수 있다. 본 발명의 집적회로 소자 제조 장치에서 이송체(13)는 유기 박막의 패턴 형성을 위한 기판(11) 일면이 하부 방향인 아래를 향하도록 기판(11) 일면의 반대면인 기판(11) 타면을 파지하는 구조를 갖는다. 이는, 도시하지는 않았지만 유기 박막의 증착시 기판(11)으로 증착 물질을 공급하는 증착원이 기판(11) 아래인 하부 방향에 배치되기 때문이다. 여기서, 언급한 증착원은 열원에 의해 증발 물질을 기화시켜 공급하는 것일 수 있다.
언급한 집적회로 소자 제조 장치는 이송체(13), 충전부(21) 등을 구비할 수 있다. 그리고 이송체(13)는 척(15), 축전지(17), 충전 입력 단자(19) 등을 포함할 수 있고, 충전부(21)는 전기 공급부(23), 충전 출력 단자(25) 등을 포함할 수 있다.
도 2는 도 1에 구비되는 이송체를 나타내는 개략적인 구성도이고, 도 3은 도 1에 구비되는 이송체의 충전 입력 단자가 충전부의 충전 출력 단자를 지나가는 상황을 설명하기 위한 도면이다.
도 2 및 도 3를 참조하면, 이송체(13)에서 척(15)은 전기를 공급함에 의해 형성되는 힘을 이용하여 기판(11)을 파지하는 일면을 구비한다. 즉, 척(15)은 패턴 형성을 위한 기판(11) 일면이 아래를 향하도록 기판(11) 일면의 반대면인 기판(11) 타면을 파지하도록 구비된다. 이에, 척(15)은 전기를 공급함에 의해 형성되는 힘을 이용하여 척(15)의 일면에 기판(11)의 타면을 면접시킴에 따라 파지가 이루어질 수 있는 것이다. 그리고 언급한 척(15)의 예로서는 정전기력에 의해 기판(11)을 파지하는 척, 전자기력에 의해 기판(11)을 파지하는 척 등을 들 수 있다.
축전지(17)는 기판(11)을 파지하기 위함 힘을 생성하기 위한 전기를 척(15)으로 공급하도록 구비된다. 즉, 축전지(17)는 척(15)에 전기를 공급하는 것으로써 축전지(17)로부터 척(15)으로 전기가 공급됨에 따라 척(15)이 기판(11)을 파지할 수 있는 힘을 생성할 수 있다. 특히, 언급한 축전지(17)는 기판(11)의 파지 및 이송에 간섭을 끼치지 않는 척(15)의 일부분에 구비될 수 있다. 이에, 축전지(17)는 주로 척(15)의 일면과 반대면인 척(15)의 타면에 구비되거나 또는 척(15)에 내장되도록 구비될 수 있다. 이와 같이, 본 발명의 집적회로 소자 제조 장치는 언급한 축전지(17)를 구비함으로써 척(15)으로 안정적으로 전기를 공급할 수 있다.
충전 입력 단자(19)는 축전지(17)를 충전하도록 축전지(17)와 연결된다. 그리고 충전 입력 단자(19)는 언급한 바와 같이 이송체(13)의 파지 및 이송에 따른 간섭 등과 같은 영향을 끼치지 않도록 이송체(13)의 일부분에 구비될 수 있다. 이에, 본 발명에서는 언급한 충전 입력 단자(19)를 주로 척(15)의 측면 부위에 배치되도록 구비될 수 있다. 즉, 언급한 충전 입력 단자(19)는 축전지(17)와 연결됨과 아울러 척(15)의 측면 부위에 배치되도록 구비될 수 있는 것이다. 이와 같이, 충전 입력 단자(19)를 척(15)의 측면 부위에 배치되도록 구비하는 것은 충전 입력 단자(19)를 다른 부분에 배치되도록 구비하는 것에 비해 이송체(13)의 이송 경로를 기준할 때 후술하는 충전 출력 단자(25)와 이송 경로에서 보다 용이하게 마주할 수 있기 때문이다.
언급한 바와 같이, 본 발명에서의 이송체(13)는 척(15), 축전지(17), 충전 입력 단자(19) 등을 포함함으로써 외부로부터 보다 용이하게 전기를 공급받아 기판(11)을 안정적으로 파지할 수 있다.
충전부(21)에서, 전기 공급부(23)는 축전지(17)에 전기를 공급하도록 구비된다. 여기서, 공정 챔버를 기준할 때 언급한 이송체(13)는 공정 챔버 내부에 배치되도록 구비될 수 있고, 전기 공급부(23)는 공정 챔버 외부에 배치되도록 구비될 수 있다. 그리고 언급한 공정 챔버는 이송 챔버로 이해할 수 있다. 이와 같이, 언급한 전기 공급부(23)를 공정 챔버 외부에 구비하는 것은 이송체(13)를 이용한 기판(11)의 파지 및 이송에 간섭 등과 같은 영향을 끼치지 않기 위함이다.
그리고 충전부(21)의 충전 출력 단자(25)는 전기 공급부(23)와 연결됨과 아울러 충전 입력 단자(19)와 마주할 수 있는 이송체(13)의 이송 경로에 구비될 수 있다. 즉, 충전 출력 단자(25)는 이송체(13)가 지나가는 이송 경로에 배치되도록 구비될 수 있는 것이다. 이에, 언급한 바와 같이 이송체(13)가 이송 경로를 따라 이송하면서 충전 출력 단자(25)를 지나갈 때 이송체(13)의 충전 입력 단자(19)와 충전부(21)의 충전 출력 단자(25)가 마주함에 의해 전기 공급부(23)로부터 축전지(17)로 전기 공급이 이루어질 수 있는 것이다.
여기서, 언급한 충전 입력 단자(19)는 접점형 단자 구조를 갖도록 구비되거나 또는 레일형 단자 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 아울러, 언급한 충전 출력 단자(25)의 경우에도 접점형 단자 구조를 갖도록 구비되거나 또는 레일형 단자 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 이에, 충전 입력 단자(19) 및 충전 출력 단자(21)가 서로 마주할 수 있는 이송 경로를 지날 때 슬라이딩 방식으로 비접촉 또는 접촉함에 의해 충전이 이루어질 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 집적회로 소자 제조 장치는 이송체(13)가 언급한 이송 경로를 따라 이송할 때 이송체(13)의 충전 입력 단자(19)가 충전부(21)의 충전 출력 단자(25)를 슬라이딩 방식으로 비접촉 또는 접촉하도록 지나감으로써 전기 공급부(23)를 통하여 축전지(17)로 전기가 공급되고, 이에 척(15)은 언급한 축전지(17)로부터 공급되는 전기를 사용하여 기판(11)을 파지할 수 있는 힘을 형성할 수 있다.
도 4는 도 1의 집적회로 소자 제조 장치의 이송 경로 및 충전 구간을 설명하기 위한 도면이다.
도 4를 참조하면, 본 발명에서의 충전 구간은 이송 경로 전체에 걸쳐서 배치되는 것이 아니라 어느 특정 부분에만 한정되도록 배치될 수 있다. 이에, 언급한 충전부(21)는 충전 구간에 구비될 수 있는 것으로써, 특히 충전 출력 단자(25)는 충전 구간에만 배치되도록 구비될 수 있다. 이와 같이, 충전 구간을 이송 경로 전체 중에서 특정 부분에 한정되도록 배치할 수 있는 것은 축전지(17)를 구비하기 때문이다. 즉, 언급한 충전 구간에서만 충전이 이루어져도 축전지(17)는 일정 시간 동안 계속해서 척(15)으로 전기를 공급할 수 있기 때문이다.
따라서 본 발명에서의 집적회로 제조 장치는 이송 경로 중에서 특정 구간을 충전 구간으로 한정할 수 있기 때문에 이송체(13)를 이용한 기판(11)의 파지 및 이송에 따른 간섭 등과 같은 영향을 최소화할 수 있다.
또한, 언급한 이송체(13)의 이송 경로는 이송체(13)의 이송이 계속적으로 반복되는 무한 루프 경로일 수 있고, 그리고 일지점으로부터 타지점으로 한정되는 한정 경로일 수 있다. 여기서, 언급한 이송 경로가 무한 루프 경로일 경우에는 이송체(13)를 계속적으로 이송시키면서 충전 구간을 지날 때 충전을 달성할 수 있고, 그리고 이송 경로가 한정 경로일 경우에는 이송체(13)가 일지점 근방에서 충전을 달성한 이후에 일지점으로부터 타지점으로 이송될 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 집적회로 소자 제조 장치는 축전지(17)를 안정적으로 충전할 수 있고, 그리고 척(15)이 축전지로부터 안정적으로 기판(11)을 파지할 수 있는 힘을 형성하기 위한 전기를 공급받을 수 있다. 그러므로 본 발명의 집적회로 소자 제조 장리를 사용할 경우에는 기판(11)을 파지한 상태에서도 기판(11)의 이송에 지장을 받지 않는다. 즉, 본 발명의 집적회로 소자 제조 장치는 척(15)으로의 전기 공급을 위한 케이블 등을 생략할 수 있기 때문에 이송에 별다른 제약 없이 기판을 파지한 상태에서 이송체(13)를 안정적으로 이송시킬 수 있는 것이다.
언급한 바와 같이, 본 발명의 집적회로 소자 제조 장치를 사용할 경우에는 기판을 파지한 상태에서도 기판의 이송에 지장을 받지 않기 때문에 안정적으로 기판을 파지함과 아울러 이송체를 안정적으로 이송시킬 수 있다. 이에, 본 발명의 집적회로 소자 제조 장치는 기판의 이송에 따른 용이성을 확보할 수 있기 때문에 생산성의 향상을 통한 제품의 가격 경쟁력도 확보할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
11 : 기판 13 : 이송체
15 : 척 17 : 축전지
19 : 충전 입력 단자 21 : 충전부
23 : 전기 공급부 25 : 충전 출력 단자

Claims (10)

  1. 전기를 공급함에 의해 형성되는 힘을 이용하여 기판을 파지하는 일면을 구비하는 척, 상기 척에 전기를 공급하도록 상기 기판의 파지 및 이송에 간섭을 끼치지 않는 상기 척의 일부분에 구비되는 축전지, 및 상기 축전지를 충전하도록 상기 축전지와 연결되는 충전 입력 단자를 포함하는 이송체; 그리고
    상기 축전지에 전기를 공급하는 전기 공급부, 및 상기 전기 공급부와 연결됨과 아울러 상기 충전 입력 단자와 마주할 수 있는 상기 이송체의 이송 경로에 구비되는 충전 출력 단자를 포함하는 충전부를 구비하는 것을 특징으로 하는 집적회로 소자 제조 장치.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 척은 상기 기판의 공정 대상면이 하부를 향하도록 상기 기판을 파지하는 것을 특징으로 하는 집적회로 소자 제조 장치.
  3. 제2 항에 있어서, 상기 척은 정전기력에 의해 상기 기판을 파지하는 척 또는 전자기력에 의해 상기 기판을 파지하는 척을 포함하는 것을 특징으로 하는 집적회로 소자 제조 장치.
  4. 제1 항에 있어서, 상기 축전지는 상기 척에 내장되는 구조로 구비되거나 또는 상기 척의 일면과 반대면인 상기 척의 타면에 배치되는 구조로 구비되는 것을 특징으로 하는 집적회로 소자 제조 장치.
  5. 제1 항에 있어서, 상기 이송체의 이송 경로는 계속적으로 반복되는 무한 루프 경로 또는 일지점으로부터 타지점까지로 한정되는 한정 경로인 것을 특징으로 하는 집적회로 소자 제조 장치.
  6. 제1 항에 있어서, 상기 충전 입력 단자 및 상기 충전 출력 단자 각각은 접점형 단자 구조 또는 레일형 단자 구조를 갖도록 구비되고, 상기 충전 입력 단자 및 상기 충전 출력 단자가 서로 마주할 수 있는 이송 경로를 지날 때 슬라이딩 방식으로 서로 비접촉 또는 접촉함에 의해 충전이 이루어지는 것을 특징으로 하는 집적회로 소자 제조 장치.
  7. 정전기력에 의해 기판을 파지하는 일면을 구비하는 척, 상기 척에 전기를 공급하도록 상기 기판의 파지 및 이송에 간섭을 끼치지 않는 상기 척의 일부분에 구비되는 축전지, 및 상기 축전지를 충전하도록 상기 축전지와 연결되는 충전 입력 단자를 포함하고, 계속적으로 반복되는 무한 이송 경로를 따라 이송이 이루어지는 이송체; 그리고
    상기 축전지에 전기를 공급하는 전기 공급부, 및 상기 전기 공급부와 연결됨과 아울러 상기 충전 입력 단자와 마주할 수 있는 상기 이송체의 무한 이송 경로에 구비되는 충전 출력 단자를 포함하는 충전부를 구비하는 것을 특징으로 하는 집적회로 소자 제조 장치.
  8. 제7 항에 있어서, 상기 척은 상기 기판의 공정 대상면이 하부를 향하도록 상기 기판을 파지하는 것을 특징으로 하는 집적회로 소자 제조 장치.
  9. 제7 항에 있어서, 상기 축전지는 상기 척에 내장되는 구조로 구비되거나 또는 상기 척의 일면과 반대면인 상기 척의 타면에 배치되는 구조로 구비되는 것을 특징으로 하는 집적회로 소자 제조 장치.
  10. 제7 항에 있어서, 상기 충전 입력 단자 및 상기 충전 출력 단자 각각은 접점형 단자 구조 또는 레일형 단자 구조를 갖도록 구비되고, 상기 충전 입력 단자 및 상기 충전 출력 단자가 서로 마주할 수 있는 무한 이송 경로를 지날 때 슬라이딩 방식으로 서로 비접촉 또는 접촉함에 의해 충전이 이루어지는 것을 특징으로 하는 집적회로 소자 제조 장치.
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KR20010040072A (ko) * 1999-10-14 2001-05-15 하이든 마틴 웨이퍼-접촉 전극을 지닌 정전 척 및 웨이퍼를 처킹하는방법
KR100304127B1 (ko) 1992-07-29 2001-11-30 이노마다 시게오 가반식 밀폐 컨테이너를 사용한 전자기판 처리시스템과 그의 장치
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