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KR20210003432A - 반송 장치, 이를 포함하는 반송 모듈 - Google Patents

반송 장치, 이를 포함하는 반송 모듈 Download PDF

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KR20210003432A
KR20210003432A KR1020190079197A KR20190079197A KR20210003432A KR 20210003432 A KR20210003432 A KR 20210003432A KR 1020190079197 A KR1020190079197 A KR 1020190079197A KR 20190079197 A KR20190079197 A KR 20190079197A KR 20210003432 A KR20210003432 A KR 20210003432A
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hand
magnet
container
positioning pin
coupled
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최중길
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세메스 주식회사
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Publication date
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Abstract

본 발명은 물품이 수납된 용기, 그리고 용기를 이송하는 반송 장치를 포함하는 반송 모듈을 제공한다. 반송 모듈은, 상기 반송 장치는, 천정에 설치되는 주행 레일과; 자기 경로 제어 방식을 이용하여 용기를 착탈 가능하도록 파지하는 반송 유닛과; 상기 반송 유닛과 결합되고, 상기 주행 레일을 따라 이동되는 구동 유닛을 포함하되, 상기 반송 유닛은, 용기와 착탈되는 핸드와; 상기 핸드를 상하 방향으로 이동시키는 승강 수단과; 상기 핸드의 상면에 결합되는 제1자석과; 상기 핸드의 하면에 결합되는 제2자석을 포함할 수 있다.

Description

반송 장치, 이를 포함하는 반송 모듈{A transferring apparatus, and A transferring module including the transferring apparatus}
본 발명은 반송 장치, 이를 포함하는 반송 모듈에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위해서는 증착, 사진, 그리고 식각 공정과 같은 다양한 종류의 공정들이 수행되며, 이들 각각의 공정을 수행하는 장치들은 반도체 제조 라인 내에 배치된다. 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 웨이퍼들은 캐리어에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치에 제공되거나 캐리어를 이용하여 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다.
캐리어는 오버 헤드 트랜스퍼(Overhead Hoist Transport, 이하 OHT)에 의해 이송된다. 오버 헤드 트랜스퍼(OHT)는 대상물이 수납된 캐리어를 이용하여 반도체 공정 장치들의 로드 포트로 이송하고, 공정 처리된 대상물이 수납된 캐리어를 로드 포트로부터 픽업하여 외부로 반송한다. 오버 헤드 트랜스퍼(OHT)는 캐리어를 파지하는 핸드 그립을 가진다. 핸드 그립은 캐리어를 그립 방식으로 파지한다. 캐리어를 파지한 핸드 그립은 핸드 그립에 결합된 벨트에 의해 상승된다. 그리고, 핸드 그립에 파지된 캐리어는 구동기에 의해 주행 레일을 따라 이동된다.
최근 캐리어의 이송 시간을 단축하기 위해, 캐리어는 고속 주행된다. 캐리어가 핸드 그립에 완전 고정되지 않은 경우 캐리어는 흔들린다. 이에 캐리어 내에 수납된 대상물도 마찬가지로 흔들린다. 이에 캐리어 내 공간에서는 파티클(Particle) 등의 입자가 발생한다. 이러한 파티클들은 대상물을 오염시킨다. 또한, 캐리어가 핸드 그립으로부터 이탈되어 아래 방향으로 낙하하는 것을 방지하기 위해 낙하 방지 장치가 오버 헤드 트랜스퍼(OHT)에 장착된다. 이러한 낙하 방지 장치는 오버 헤드 트랜스퍼(OHT)의 구성을 복잡하게 하고, 캐리어의 고속 주행을 어렵게 한다.
본 발명은 용기의 이송을 효율적으로 수행할 수 있는 반송 장치, 이를 포함하는 반송 모듈을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 용기를 반송 유닛에 장착하는 것이 용이하게 이루어 질 수 있는 반송 장치, 이를 포함하는 반송 모듈을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 용기의 이송시 용기의 흔들림을 최소화 할 수 있는 반송 장치, 그리고 이를 포함하는 반송 모듈을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명은 물품이 수납된 용기, 그리고 용기를 이송하는 반송 장치를 포함하는 반송 모듈을 제공한다. 반송 모듈은, 상기 반송 장치는, 천정에 설치되는 주행 레일과; 자기 경로 제어 방식을 이용하여 용기를 착탈 가능하도록 파지하는 반송 유닛과; 상기 반송 유닛과 결합되고, 상기 주행 레일을 따라 이동되는 구동 유닛을 포함하되, 상기 반송 유닛은, 용기와 착탈되는 핸드와; 상기 핸드를 상하 방향으로 이동시키는 승강 수단과; 상기 핸드의 상면에 결합되는 제1자석과; 상기 핸드의 하면에 결합되는 제2자석을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 핸드 내에 제공되며 상기 제1자석 및 상기 제2자석 사이에 제공되는 절연체를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 반송 장치는, 상기 구동 유닛과 결합되고, 상기 승강 수단이 제공되는 바디를 포함하되, 상기 바디에는 상기 제1자석과 대응하게 위치되는 제1자성체가 결합될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 핸드의 상면에는 제1위치 결정핀이 제공되고, 상기 제1자성체에는 상기 제1위치 결정핀이 삽입 가능한 제1위치 결정홈이 형성될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 핸드의 상면에는 상기 제1위치 결정핀이 상기 제1위치 결정홈에 삽입되어 상기 핸드가 상기 바디에 정위치로 장착되었는지를 감지하는 제1안착 센서가 제공될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 용기의 상면에 제공되고, 용기를 상기 핸드에 장착시키는 결합 부재가 제공되고, 상기 결합 부재에는 상기 제2자석과 대응되게 위치되는 제2자성체가 결합될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 핸드의 하면에는 제2위치 결정핀이 제공되고, 상기 제2자성체에는 상기 제2위치 결정핀이 삽입 가능한 제2위치 결정홈이 형성될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 핸드의 하면에는 상기 제2위치 결정핀이 상기 제2위치 결정홈에 삽입되어 상기 용기가 상기 핸드에 정위치로 장착되었는지를 감지하는 제2안착 센서가 제공될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 승강 수단에는, 상기 제1자석의 자기 경로를 변경하여 상기 제1자성체를 상기 제1자석에 접착시키거나, 상기 제2자석의 자기 경로를 변경하여 상기 제2자성체를 상기 제2자석에 접착시키는 전자기력을 전달하는 전력 라인이 제공될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 반송 장치는, 상기 반송 유닛을 제어하는 제어기를 더 포함하되, 상기 제어기는, 상기 핸드를 하강시켜 상기 제2위치 결정핀을 상기 제2위치 결정홈에 삽입시키고, 상기 제2자석의 자기 경로를 변경하여 상기 용기를 상기 핸드에 장착시킬 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제어기는, 상기 핸드를 상승시켜 상기 제1위치 결정핀을 상기 제1위치 결정홈에 삽입시키고, 상기 제1자석의 자기 경로를 변경하여 상기 핸드를 상기 바디에 장착할 수 있다.
또한, 본 발명은 물품이 수납된 용기를 반송하는 장치를 제공한다. 반송 장치는, 천정에 설치되는 주행 레일과; 자기 경로 제어 방식을 이용하여 용기를 착탈 가능하도록 파지하는 반송 유닛과; 상기 반송 유닛과 결합되고, 상기 주행 레일을 따라 이동되는 구동 유닛을 포함하되, 상기 반송 유닛은, 용기와 착탈되는 핸드와; 상기 핸드를 상하 방향으로 이동시키는 승강 수단과; 상기 핸드의 상면에 결합되는 제1자석과; 상기 핸드의 하면에 결합되는 제2자석을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 핸드 내에 제공되며 상기 제1자석 및 상기 제2자석 사이에 제공되는 절연체를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 반송 장치는, 상기 구동 유닛과 결합되고, 상기 승강 수단이 제공되는 바디를 포함하되, 상기 바디에는 상기 제1자석과 대응하게 위치되는 제1자성체가 결합될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 핸드의 상면에는 제1위치 결정핀이 제공되고, 상기 제1자성체에는 상기 제1위치 결정핀이 삽입 가능한 제1위치 결정홈이 형성될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 핸드의 상면에는 상기 제1위치 결정핀이 상기 제1위치 결정홈에 삽입되어 상기 핸드가 상기 바디에 정위치로 장착되었는지를 감지하는 제1안착 센서가 제공될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 핸드의 하면에는 제2위치 결정핀이 제공될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 핸드의 하면에는 용기가 상기 핸드에 정위치로 장착되었는지를 감지하는 제2안착 센서가 제공될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 승강 수단에는, 상기 제1자석 또는 상기 제2자석의 자기 경로를 변경하는 전자기력을 전달하는 전력 라인이 제공될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 핸드에는, 상기 제1자석 또는 상기 제2자석의 자기 경로가 변경되었는지 여부를 감지하는 자기 경로 감지 센서가 제공될 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 의하면, 용기의 이송을 효율적으로 수행할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 용기를 반송 유닛에 장착하는 것이 용이하게 이루어 질 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 용기의 이송시 용기의 흔들림을 최소화 할 수 있다.
본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 않은 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 반송 장치가 주행하는 것을 상부에서 바라본 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 반송 모듈을 보여주는 도면이다.
도 3은 도 2의 'A'영역을 하부에서 바라본 도면이다.
도 4는 도 2의 핸드와 승강 수단을 보여주는 도면이다.
도 5는 도 4의 핸드를 상부에서 바라본 도면이다.
도 6은 도 2의 용기를 보여주는 도면이다.
도 7은 도 6의 용기를 상부에서 바라본 도면이다.
도 8은 용기가 핸드에 장착될 때의 모습을 보여주는 도면이다.
도 9는 용기가 핸드에 장착된 모습을 보여주는 도면이다.
도 10은 핸드가 바디에 장착될 때의 모습을 보여주는 도면이다.
도 11은 반송 유닛이 이동하는 모습을 보여주는 도면이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. 또한, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다.
어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다. 구체적으로, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.
본 실시예의 장치는 용기를 반송하는데 사용될 수 있다. 특히, 본 실시예의 반송 장치는 기판이 수납된 캐리어 용기를 이송하는데 사용될 수 있다. 아래에서는, 반송 장치가 기판이 수납된 캐리어 용기를 반도체 설비 라인에 제공되는 반도체 공정 장치에 캐리어 용기를 반송하는 경우를 예로 들어 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 반송 장치(1000)가 주행하는 것을 상부에서 바라본 도면이다. 도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 반송 장치(1000)가 가지는 반송 유닛(500)은 주행 레일(100)을 따라 정해진 경로를 주행하게 된다. 도 1의 실시 예에서는 육각형의 형태로 주행 레일(100)이 도시 되었으나, 주행 레일(100)의 형상은 원형, 사각형 등 다양하게 제공될 수 있다. 주행 레일(100)은 반도체 제조 라인의 천장에 설치되어 기판 처리 설비들(50)을 상부에서 확인할 수 있도록 설치될 수 있다. 주행 레일(100)의 설치 범위는 기판 처리 설비들(50)을 전체적으로 조망할 수 있도록 넓은 영역으로 배치될 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 반송 모듈을 보여주는 도면이다. 이하에서, 반송 모듈은 물품이 수납된 용기(700), 그리고 용기를 이송하는 반송 장치(1000)를 포함하는 것으로 정의한다.
반송 장치(1000)는 주행 레일(100), 구동 유닛(300), 반송 유닛(500), 그리고 제어기를 포함할 수 있다.
주행 레일(100)은 천정에 설치될 수 있다. 주행 레일(100)은 반도체 제조 라인의 천정에 설치될 수 있다. 주행 레일(100)의 형상은 다양하게 변형될 수 있다. 주행 레일(100)은 이하에서 설명하는 구동 유닛(300)이 이동하는 이동 경로를 제공할 수 있다. 주행 레일(100)은 공지된 주행 레일로 다양하게 변형될 수 있다.
구동 유닛(300)은 반송 유닛(500)과 결합될 수 있다. 구동 유닛(300)은 반송 유닛(500)을 이동시킬 수 있다. 구동 유닛(300)은 반송 유닛(500)의 주행에 필요한 구동력을 전달할 수 있다. 구동 유닛(300)은 구동기(310), 바퀴(320), 그리고 결합 프레임(330)을 포함할 수 있다. 구동기(310)는 구동력을 발생시킬 수 있다. 구동기(310)는 모터로 제공될 수 있다. 구동기(310)는 구동력을 발생시킬 수 있는 공지의 장치로 다양하게 변형될 수 있다. 바퀴(320)는 구동기(310)가 발생시키는 구동력을 전달받아 이동할 수 있다. 바퀴(320)는 주행 레일(100)에 접할 수 있다. 구동기(310)가 구동력을 발생시키면 바퀴(320)는 회전할 수 있다. 이에, 바퀴(320)는 주행 레일(100)을 따라 이동될 수 있다. 결합 프레임(330)은 반송 유닛(500)과 결합될 수 있다. 결합 프레임(330)은 반송 유닛(500)의 바디(510)와 결합될 수 있다. 결합 프레임(330)은 구동기(310)와 결합될 수 있다. 이에, 구동기(310)가 구동력을 발생시키면 반송 유닛(500)은 주행 레일(100)을 따라 이동될 수 있다.
반송 유닛(500)은 용기(700)를 착탈 가능하게 파지할 수 있다. 반송 유닛(500)은 자기 경로 제어 방식을 이용하여 용기(700)를 착탈할 수 있다. 반송 유닛(500)이 이용하는 자기 경로 제어 방식은 영구 자석, 그리고 자성체를 구성으로 하고, 영구 자석의 자기 경로를 변경하여 용기(700)를 착탈할 수 있다. 이에, 반송 유닛(500)이 용기(700)를 장착하는데 과도한 전력이 소비되는 것을 최소화 할 수 있다. 또한, 자기 경로 제어 방식을 이용하여 반송 유닛(500)에 용기(700)가 완전히 장착될 수 있다.
반송 유닛(500)은 바디(510), 승강 수단(520), 그리고 핸드(530)를 포함할 수 있다. 바디(510)는 구동 유닛(300)과 결합될 수 있다. 바디(510)는 구동 유닛(300)의 결합 프레임(330)과 결합될 수 있다. 바디(510)는 전체적으로 직육면체의 형상을 가질 수 있다. 바디(510)는 하부가 개방된 형상을 가질 수 있다. 바디(510)는 전방과 후방이 개방된 형상을 가질 수 있다. 바디(510)는 도전성을 가지는 재질로 제공될 수 있다. 바디(510)는 금속 재질을 포함하는 재질로 제공될 수 있다.
바디(510)에는 승강 수단(520)이 제공될 수 있다. 승강 수단(520)은 핸드(530)를 상하 방향으로 이동시킬 수 있다. 승강 수단(520)의 일단은 핸드(530)와 결합될 수 있다. 승강 수단(520)은 복수로 제공될 수 있다. 예컨대, 승강 수단(520)은 3 개로 제공될 수 있다. 이에 승강 수단(520)은 핸드(530)와 3 지점에서 결합될 수 있다. 승강 수단(520) 내에는 전력 라인(미도시)이 제공될 수 있다. 전력 라인은 전자기력을 전달할 수 있다. 전력 라인은 후술하는 제1자석(531) 또는 제2자석(535)의 자기 경로를 변경할 수 있다.
바디(510) 내의 공간에서, 상부 영역의 내측면에는 제1안착홈(512)이 형성될 수 있다. 또한, 바디(510)에는 제1자성체(514)가 결합될 수 있다. 도 3은 도 2의 'A' 영역을 하부에서 바라본 도면이다. 도 3을 참조하면, 제1안착홈(512)은 바디(510)의 내측면에서 위를 향하는 방향으로 만입되어 형성될 수 있다. 제1안착홈(512)은 경사지게 만입되어 형성될 수 있다. 제1안착홈(512)은 핸드(530)에 제공되는 제1안착 센서(533)와 대응하는 형상으로 제공될 수 있다. 또한, 제1안착홈(512)은 핸드(530)에 제공되는 제1안착 센서(533)가 삽입 가능한 형상으로 제공될 수 있다. 또한, 제1안착홈(512)은 핸드(530)에 제공되는 제1안착 센서(533)와 대응하는 위치에 형성될 수 있다.
제1자성체(514)는 바디(510)에 결합될 수 있다. 제1자성체(514)는 바디(510)에 형성된 홈에 삽입되어 결합될 수 있다. 제1자성체(514)는 링 형상을 가질 수 있다. 제1자성체(514)는 핸드(530)의 제1자석(531)과 대응하게 위치될 수 있다. 제1자성체(514)에는 제1위치 결정홈(516)이 형성될 수 있다. 제1위치 결정홈(516)은 핸드(530)의 제1위치 결정핀(532)이 삽입 가능한 형상을 가질 수 있다.
도 4는 도 2의 핸드와 승강 수단을 보여주는 도면이고, 도 5는 도 4의 핸드를 상부에서 바라본 도면이다. 도 4와 도 5를 참조하면, 핸드(530)는 전체적으로 육면체의 형상을 가질 수 있다. 핸드(530)는 상부에서 바라볼 때 사각의 형상을 가질 수 있다. 핸드(530)에는 자기 경로 제어를 이용하여 용기(700)를 핸드에 착탈 할 수 있는 다양한 구성들이 제공될 수 있다. 핸드(530)에는 자기 경로 제어를 이용하여 핸드(530)를 바디(510)에 착탈할 수 있는 다양한 구성들이 제공될 수 있다.
핸드(530)에는 제1자석(531), 제1위치 결정핀(532), 제1안착 센서(533), 제1자기 경로 감지 센서(534), 제2자석(535), 제2위치 결정핀(536), 제2안착 센서(537), 제2자기 경로 감지 센서(538), 그리고 절연체(539)가 제공될 수 있다.
제1자석(531), 제1위치 결정핀(532), 제1안착 센서(533), 제1자기 경로 감지 센서(534)는 자기 경로 제어를 이용하여 핸드(530)를 바디(510)에 착탈하는 구성들이다.
제1자석(531)은 핸드(530)의 상면에 결합될 수 있다. 제1자석(531)은 핸드(530)의 상면으로부터 아래 방향으로 만입되어 형성되는 홈에 삽입될 수 있다. 제1자석(531)은 전체적으로 링 형상을 가질 수 있다. 제1자석(531)은 영구 자석일 수 있다. 제1자석(531)은 상술한 제1자성체(514)와 대응하는 형상을 가질 수 있다. 제1자석(531)은 제1자성체(514)의 위치와 대응하도록 핸드(530)에 결합될 수 있다.
제1위치 결정핀(532)은 핸드(530)의 상면에 제공될 수 있다. 제1위치 결정핀(532)은 핸드(530)가 바디(510)에 정위치로 장착될 수 있도록 한다. 제1위치 결정핀(532)은 핸드(530)의 상면에 제공되고, 제1자석(531)에 형성되는 홀에 삽입되도록 제공될 수 있다. 제1위치 결정핀(532)은 핸드(530)의 상면에서 위 방향으로 돌출되도록 제공될 수 있다. 제1위치 결정핀(532)은 상술한 제1위치 결정홈(516)과 대응하는 형상을 가질 수 있다. 즉, 핸드(530)가 상승하면 제1위치 결정핀(532)은 제1위치 결정홈(516)에 삽입될 수 있다.
제1위치 결정핀(532)은 복수로 제공될 수 있다. 제1위치 결정핀(532)은 링 형상의 제1자석(531)의 중심을 기준으로, 원주 방향을 따라 서로 이격되게 제공될 수 있다. 제1위치 결정핀(532)들은 서로 동일한 간격으로 이격될 수 있다.
제1안착 센서(533)는 핸드(530)의 상면에 제공될 수 있다. 제1안착 센서(533)는 상부에서 바라볼 때 링 형상의 제1자석(531) 내부에 제공될 수 있다. 즉, 상부에서 바라볼 때 제1자석(531)은 제1안착 센서(533)의 둘레를 감싸도록 제공될 수 있다. 또한, 제1안착 센서(533)는 제1위치 결정핀(532)과 함께 핸드(530)가 바디(510)에 정위치로 장착될 수 있게 한다. 제1안착 센서(533)는 핸드(530)가 바디(510)에 정위치로 장착되었는지를 감지할 수 있다. 제1안착 센서(533)는 제1위치 결정핀(532)이 제1위치 결정홈(516)에 삽입되어 핸드(530)가 정위치로 장착되었는지를 감지할 수 있다. 제1안착 센서(533)는 제1위치 결정핀(532)보다 높이가 높을 수 있다. 제1안착 센서(533)는 바디(510)에 형성된 제1안착홈(512)과 대응하는 형상을 가질 수 있다. 제1안착 센서(533)는 바디(510)에 형성된 제1안착홈(512)에 대응하는 위치에 제공될 수 있다. 제1안착 센서(533)는 위 방향으로 경사진 형상을 가질 수 있다. 제1안착 센서(533)는 측면에서 바라볼 때 사다리꼴의 형상을 가질 수 있다.
제1자기 경로 감지 센서(534)는 핸드(530)에 제공될 수 있다. 제1자기 경로 감지 센서(534)는 제1자석(531)의 자기 경로가 변화하는 것을 감지할 수 있다. 즉, 승강 수단(520)에 제공되는 전력 라인이 전자기력을 발생시켜 제1자석(531)의 자기 경로를 변경하면, 자기 경로가 어느 방향으로 변경 되었는지를 감지할 수 있다. 제1자기 경로 감지 센서(534)는 사용자가 자기 경로의 변화를 인식할 수 있도록 일부가 외부로 노출될 수 있다. 제1자기 경로 감지 센서(534)는 빛, 또는 소리 등으로 제1자석(531)의 자기 경로 상태 정보를 사용자에게 전달할 수 있다.
제2자석(535), 제2위치 결정핀(536), 제2안착 센서(537), 제2자기 경로 감지 센서(538)는 자기 경로 제어를 이용하여 용기(700)를 핸드(530)에 착탈하는 구성들이다. 또한, 제2자석(535), 제2위치 결정핀(536), 제2안착 센서(537), 제2자기 경로 감지 센서(538)는 절연체(539)를 기준으로 대칭되도록 핸드(530)에 제공될 수 있다. 즉, 제2자석(535)은 핸드(530)의 하면에 결합될 수 있다. 제2위치 결정핀(536)은 핸드(530)의 하면에 제공될 수 있다. 또한, 제2안착 센서(537)는 핸드(530)의 하면에 제공될 수 있다. 제2안착 센서(537)는 핸드(530)의 하면에 제공되어 제2위치 결정핀(536)이 후술하는 제2위치 결정홈(716)에 삽입되어 용기(700)가 핸드(530)에 정위치로 장착되었는지를 감지할 수 있다. 이외, 제2자석(535), 제2위치 결정핀(536), 제2안착 센서(537), 제2자기 경로 감지 센서(538)의 구조 및 기능들은 각각 제1자석(531), 제1위치 결정핀(532), 제1안착 센서(533), 제1자기 경로 감지 센서(534)와 동일 또는 유사하므로 자세한 설명은 생략한다.
절연체(539)는 핸드(530) 내에 제공될 수 있다. 절연체(539)는 핸드(530) 내에 제공되며, 제1자석(531)과 제2자석(535) 사이에 제공될 수 있다. 절연체(539)는 판 형상을 가질 수 있다. 절연체(539)는 절연성을 가지는 재질로 제공될 수 있다. 또한 절연체(539)는 자석의 자기 경로를 차단할 수 있는 재질로 제공될 수 있다. 절연체(539)는 제1자석(531)과 제2자석(535) 사이에 제공되어 제1자석(531)의 자기 경로와 제2자석(535)의 자기 경로가 서로 간섭되는 것을 방지할 수 있다. 절연체(539)는 제1자석(531)과 제2자석(535) 중 어느 하나의 자기 경로가 변경되는 경우, 나머지 하나에 영향을 주는 것을 방지할 수 있다.
도 6은 도 2의 용기를 보여주는 도면이고, 도 7은 도 6의 용기를 상부에서 바라본 도면이다. 도 6과 도 7을 참조하면, 용기(700)에는 물품이 수납될 수 있다. 용기(700)에 수납되는 물품의 예로는 반도체 기판, 다이들이 부착되기 위한 인쇄회로 기판, 인쇄회로기판에 다이들이 본딩된 반도체 패키지 등을 들 수 있다. 용기(30)의 예로는 복수의 반도체 기판을 수납하기 위한 풉(Front Opening Unified Pod : FOUP) 및 쉬핑 박스(Front Opening Shipping Box : FOSB), 복수의 인쇄회로 기판들을 수납하기 위한 매거진, 복수의 반도체 패키지들을 수납하기 위한 트레이 등을 들 수 있다.
용기(700)의 상면에는 결합 부재(710)가 제공될 수 있다. 결합 부재(710)는 용기(700)와 결합 될 수 있다. 결합 부재(710)는 용기(700)에 고정 결합될 수 있다. 결합 부재(710)는 용기(700)를 핸드(530)에 결합시킬 수 있다.
결합 부재(710)의 상면에는 제2안착홈(712)이 형성될 수 있다. 또한, 결합 부재(710)에는 제2자성체(714)가 결합될 수 있다. 제2안착홈(712)은 결합 부재(710)의 상면에서 아래를 향하는 방향으로 만입되어 형성될 수 있다. 제2안착홈(712)은 경사지게 만입되어 형성될 수 있다. 제2안착홈(712)은 핸드(530)에 제공되는 제2안착 센서(537)와 대응하는 형상으로 제공될 수 있다. 또한, 제2안착홈(712)은 핸드(530)에 제공되는 제2안착 센서(537)가 삽입 가능한 형상으로 제공될 수 있다. 또한, 제2안착홈(712)은 핸드(530)에 제공되는 제2안착 센서(537)와 대응하는 위치에 형성될 수 있다.
제2자성체(714)는 결합 부재(710)에 결합될 수 있다. 제2자성체(714)는 결합 부재(710)에 형성된 홈에 삽입되어 결합될 수 있다. 제2자성체(714)는 링 형상을 가질 수 있다. 제2자성체(714)는 핸드(530)의 제2자석(535)과 대응하게 위치될 수 있다. 제2자성체(714)에는 제2위치 결정홈(716)이 형성될 수 있다. 제2위치 결정홈(716)은 핸드(530)의 제2위치 결정핀(536)이 삽입 가능한 형상을 가질 수 있다.
제어기(미도시)는 반송 장치(1000)를 제어할 수 있다. 제어기는 구동 유닛(300), 그리고 반송 유닛(500)을 제어할 수 있다. 제어기는 이하에서 설명하는 반송 장치(1000)의 구동을 수행하도록 구동 유닛(300), 그리고 반송 유닛(500)을 제어할 수 있다.
도 8은 용기가 핸드에 장착될 때의 모습을 보여주는 도면이다. 도 8을 참조하면 제어기는 반송 유닛(500)을 제어한다. 제어기는 핸드(530)를 하강시킬 수 있다. 핸드(530)의 하면에 제공된 제2안착 센서(537)는 제2안착홈(712)에 삽입될 수 있다. 또한, 제2위치 결정핀(536)은 제2위치 결정홈(716)에 삽입될 수 있다. 제2안착 센서(537)의 아래 방향으로의 높이는 제2위치 결정핀(536)보다 높다. 이에, 제2안착 센서(537)에 의해 용기(700)의 위치는 1차 조정되고 제2위치 결정핀(536)에 의해 용기(700)의 위치가 2차 조정될 수 있다. 제2위치 결정핀(536)은 용기(700)의 위치를 정밀하게 조정할 수 있다.
도 9는 용기가 핸드에 장착된 모습을 보여주는 도면이다. 도 9를 참조하면, 핸드(530)는 하강하여 결합 부재(710)와 접한다. 이후, 승강 수단(520)에 제공되는 전력 라인은 전자기력을 발생시킬 수 있다. 이에 제2자석(535)의 자기 경로는 제2자성체(714)를 통과하여 흐르도록 변경될 수 있다. 제2자석(535)의 자기 경로가 제2자성체(714)를 통과하여 흐르면 제2자석(535)과 제2자성체(714)는 서로 접착될 수 있다. 이에 용기(700)는 핸드(530)에 장착될 수 있다. 제2자석(535)과 제2자성체(714)가 서로 접착되면 전력 라인은 전자기력 발생을 중단할 수 있다.
도 10은 핸드가 바디에 장착될 때의 모습을 보여주는 도면이다. 제어기는 반송 유닛(500)을 제어한다. 제어기는 핸드(530)를 상승시킬 수 있다. 핸드(530)의 상면에 제공된 제1안착 센서(533)는 제1안착홈(512)에 삽입될 수 있다. 또한, 제1위치 결정핀(532)은 제1위치 결정홈(516)에 삽입될 수 있다. 제1안착 센서(533)의 위 방향으로의 높이는 제1위치 결정핀(532)보다 높다. 이에, 제1안착 센서(533)에 의해 핸드(530)의 위치는 1차 조정되고 제1위치 결정핀(532)에 의해 핸드(530)의 위치가 2차 조정될 수 있다. 제1위치 결정핀(532)은 핸드(530)의 위치를 정밀하게 조정할 수 있다.
핸드(530)가 상승하면 바디(510)와 접할 수 있다. 핸드(530)가 바디(510)와 접한다. 이후, 승강 수단(520)에 제공되는 전력 라인은 전자기력을 발생시킬 수 있다. 이에 제1자석(531)의 자기 경로는 제1자성체(514)를 통과하여 흐르도록 변경될 수 있다. 제1자석(531)의 자기 경로가 제1자성체(514)를 통과하여 흐르면 제1자석(531)과 제1자성체(514)는 서로 접착될 수 있다. 이에 핸드(530)는 바디(510)에 장착될 수 있다. 제1자석(531)과 제1자성체(514)가 서로 접착되면 전력 라인은 전자기력 발생을 중단할 수 있다.
도 11은 반송 유닛이 이동하는 모습을 보여주는 도면이다. 도 11을 참조하면, 용기(700)는 핸드(530)에 자기 경로 제어 방식으로 장착될 수 있다. 핸드(530)는 바디(510)에 자기 경로 제어 방식으로 장착될 수 있다. 자기 경로 제어 방식은 자기 경로를 변경할 때에만 전자기력을 발생시키기 때문에 전력의 낭비를 최소화 할 수 있다. 또한, 용기(700)는 핸드(530)에 완전히 장착되고, 핸드(530)는 바디(510)에 완전히 장착될 수 있다. 즉, 용기(700)를 반송 유닛(500)에 장착하는 것을 용이하게 수행할 수 있다.
또한, 용기(700)가 핸드(530)에 완전히 장착되고, 핸드(530)가 바디(510)에 완전히 장착된 상태에서 반송 유닛(500)은 이동할 수 있다. 즉, 핸드(530)를 기준으로 상부와 하부가 완전히 장착될 수 있다. 이에, 용기(700)가 주행 중에 흔들리는 현상을 최소화할 수 있다. 이에, 용기(700) 내에서 파티클 등이 발생하는 것을 최소화 할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면 핸드(530)에는 절연체(539)가 제공될 수 있다. 절연체(539)는 제1자석(531)의 자기와 제2자석(535)의 자기가 서로 간섭되는 것을 방지할 수 있다. 이에, 제1자석(531)과 제2자석(535)의 자기 경로 변경을 더욱 용이하게 할 수 있다. 또한, 제1자석(531)과 제2자석(535)의 자기가 서로 간섭되지 않아 주행 중에 용기(700)가 낙하하는 것을 방지할 수 있다. 예컨대, 제1자석(531)의 자기가 제2자석(535)의 자기 경로를 변경하게 되면 핸드(530)로부터 용기(700)는 이탈될 수 있다. 즉, 절연체(539)는 이러한 문제점을 방지할 수 있다.
즉, 본 발명의 일 실시 예에 의하면 별도의 낙하 방지 장치가 요구되지 않아 장치의 구성을 단순화할 수 있다. 이에, 장치의 제작 비용을 최소화 할 수 있다.
상술한 예에서는 결합 부재(710)가 용기(700)의 상면에 결합되는 것을 예로 들어 설명하였으나 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 결합 부재(710)는 용기(700)와 일체로 제공될 수 있다.
상술한 예에서는 전력 라인이 전자기력을 발생시켜 제1자석(531) 또는 제2자석(535)의 자기 경로를 변경하는 것을 예로 들어 설명하였으나 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 제1자석(531), 그리고 제2자석(535)과 다른 영구 자석을 이용하여 제1자석(531) 또는 제2자석(535)의 자기 경로를 변경할 수도 있다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
반송 장치 : 1000
주행 레일 : 100
구동 유닛 : 300
구동기 : 310
바퀴 : 320
결합 프레임 : 330
반송 유닛 : 500
바디 : 510
제1안착홈 : 512
제1자성체 : 514
제1위치 결정홈 : 516
핸드 : 530
제1자석 : 531
제1위치 결정핀 : 532
제1안착 센서 : 533
제1자기 경로 감지 센서 : 534
제2자석 : 535
제2위치 결정핀 : 536
제2안착 센서 : 537
제2자기 경로 감지 센서 : 538
절연체 : 539
용기 : 700
결합 부재 : 710
제2안착홈 : 712
제2자성체 : 714
제2위치결정홈 : 716

Claims (20)

  1. 물품이 수납된 용기, 그리고 용기를 이송하는 반송 장치를 포함하는 반송 모듈에 있어서,
    상기 반송 장치는,
    천정에 설치되는 주행 레일과;
    자기 경로 제어 방식을 이용하여 용기를 착탈 가능하도록 파지하는 반송 유닛과;
    상기 반송 유닛과 결합되고, 상기 주행 레일을 따라 이동되는 구동 유닛을 포함하되,
    상기 반송 유닛은,
    용기와 착탈되는 핸드와;
    상기 핸드를 상하 방향으로 이동시키는 승강 수단과;
    상기 핸드의 상면에 결합되는 제1자석과;
    상기 핸드의 하면에 결합되는 제2자석을 포함하는 반송 모듈.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 핸드 내에 제공되며 상기 제1자석 및 상기 제2자석 사이에 제공되는 절연체를 포함하는 반송 모듈.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 반송 장치는,
    상기 구동 유닛과 결합되고, 상기 승강 수단이 제공되는 바디를 포함하되,
    상기 바디에는 상기 제1자석과 대응하게 위치되는 제1자성체가 결합되는 반송 모듈.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 핸드의 상면에는 제1위치 결정핀이 제공되고,
    상기 제1자성체에는 상기 제1위치 결정핀이 삽입 가능한 제1위치 결정홈이 형성되는 반송 모듈.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 핸드의 상면에는 상기 제1위치 결정핀이 상기 제1위치 결정홈에 삽입되어 상기 핸드가 상기 바디에 정위치로 장착되었는지를 감지하는 제1안착 센서가 제공되는 반송 모듈.
  6. 제5항에 있어서,
    용기의 상면에 제공되고, 용기를 상기 핸드에 장착시키는 결합 부재가 제공되고,
    상기 결합 부재에는 상기 제2자석과 대응되게 위치되는 제2자성체가 결합되는 반송 모듈.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 핸드의 하면에는 제2위치 결정핀이 제공되고,
    상기 제2자성체에는 상기 제2위치 결정핀이 삽입 가능한 제2위치 결정홈이 형성되는 반송 모듈.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 핸드의 하면에는 상기 제2위치 결정핀이 상기 제2위치 결정홈에 삽입되어 상기 용기가 상기 핸드에 정위치로 장착되었는지를 감지하는 제2안착 센서가 제공되는 반송 모듈.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 승강 수단에는,
    상기 제1자석의 자기 경로를 변경하여 상기 제1자성체를 상기 제1자석에 접착시키거나, 상기 제2자석의 자기 경로를 변경하여 상기 제2자성체를 상기 제2자석에 접착시키는 전자기력을 전달하는 전력 라인이 제공되는 반송 모듈.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 반송 장치는,
    상기 반송 유닛을 제어하는 제어기를 더 포함하되,
    상기 제어기는,
    상기 핸드를 하강시켜 상기 제2위치 결정핀을 상기 제2위치 결정홈에 삽입시키고,
    상기 제2자석의 자기 경로를 변경하여 상기 용기를 상기 핸드에 장착시키는 반송 모듈.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 제어기는,
    상기 핸드를 상승시켜 상기 제1위치 결정핀을 상기 제1위치 결정홈에 삽입시키고,
    상기 제1자석의 자기 경로를 변경하여 상기 핸드를 상기 바디에 장착 반송 모듈.
  12. 물품이 수납된 용기를 이송하는 반송 장치에 있어서,
    천정에 설치되는 주행 레일과;
    자기 경로 제어 방식을 이용하여 용기를 착탈 가능하도록 파지하는 반송 유닛과;
    상기 반송 유닛과 결합되고, 상기 주행 레일을 따라 이동되는 구동 유닛을 포함하되,
    상기 반송 유닛은,
    용기와 착탈되는 핸드와;
    상기 핸드를 상하 방향으로 이동시키는 승강 수단과;
    상기 핸드의 상면에 결합되는 제1자석과;
    상기 핸드의 하면에 결합되는 제2자석을 포함하는 반송 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 핸드 내에 제공되며 상기 제1자석 및 상기 제2자석 사이에 제공되는 절연체를 포함하는 반송 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 반송 장치는,
    상기 구동 유닛과 결합되고, 상기 승강 수단이 제공되는 바디를 포함하되,
    상기 바디에는 상기 제1자석과 대응하게 위치되는 제1자성체가 결합되는 반송 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 핸드의 상면에는 제1위치 결정핀이 제공되고,
    상기 제1자성체에는 상기 제1위치 결정핀이 삽입 가능한 제1위치 결정홈이 형성되는 반송 장치.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 핸드의 상면에는 상기 제1위치 결정핀이 상기 제1위치 결정홈에 삽입되어 상기 핸드가 상기 바디에 정위치로 장착되었는지를 감지하는 제1안착 센서가 제공되는 반송 장치.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 핸드의 하면에는 제2위치 결정핀이 제공되는 반송 장치.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 핸드의 하면에는 용기가 상기 핸드에 정위치로 장착되었는지를 감지하는 제2안착 센서가 제공되는 반송 장치.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 승강 수단에는,
    상기 제1자석 또는 상기 제2자석의 자기 경로를 변경하는 전자기력을 전달하는 전력 라인이 제공되는 반송 장치.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 핸드에는,
    상기 제1자석 또는 상기 제2자석의 자기 경로가 변경되었는지 여부를 감지하는 자기 경로 감지 센서가 제공되는 반송 장치.



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