KR100978550B1

KR100978550B1 - 전기 검사 장치와 평탄도 조절 방법

Info

Publication number: KR100978550B1
Application number: KR1020080029421A
Authority: KR
Inventors: 백승엽
Original assignee: 티에스씨멤시스(주)
Priority date: 2008-03-31
Filing date: 2008-03-31
Publication date: 2010-08-27
Also published as: KR20090104149A

Abstract

개시된 전기 검사 장치와 평탄도 조절 방법은 피검사체와 접촉하는 표면을 갖는 제1 기판과 상기 제1 기판과 전기적으로 연결되는 제2 기판을 보강하는 보강 플레이트 사이에서 상기 보강 플레이트와 상기 제1 기판 사이의 간격을 조정함으로써 상기 제1 기판의 피검사체와 접촉하는 표면의 평탄도를 조절 및 유지하는 제1 조절부, 및 상기 제1 기판과 상기 보강 플레이트 사이에서 상기 보강 플레이트로부터 상기 제1 기판으로 탄성력을 제공함으로써 상기 제1 조절부에 의해 일차 조절 및 유지된 평탄도를 계속적으로 조절 및 유지하는 제2 조절부를 포함한다.

Description

전기 검사 장치와 평탄도 조절 방법{Apparatus for inspecting electric condition and Method of controlling uniformity of the same}

본 발명은 전기 검사 장치와 평탄도 조절 방법에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 피검사체와 접촉에 의해 전기 검사가 이루어지는 전기 검사 장치와 평탄도 조절 방법에 관한 것이다.

일반적으로, 프로브 카드(probe card) 등과 같은 전기 검사 장치는 주로 피검사체인 회로 패턴이 형성된 반도체 기판과 접촉 가능한 표면(접촉 표면)을 갖는 제1 기판, 상기 제1 기판과 마주하게 위치하는 제2 기판 및 상기 제1 기판과 제2 기판을 전기적으로 연결하는 전기-연결부 등을 포함한다. 그리고 상기 전기 검사 장치를 사용한 전기 검사에는 피검사체와 접촉하는 제1 기판의 접촉 표면의 평탄도가 중요한 스펙(spec)으로 작용한다. 이는, 상기 제1 기판의 접촉 표면의 평탄도가 오차 범위를 벗어나면 피검사체와의 충분한 접촉이 이루어지지 않기 때문인 것이다.

따라서 상기 전기 검사 장치는 상기 제1 기판을 비-탄성적으로 가압하는 나사와 상기 제1 기판을 탄성적으로 가압하는 스프링, 특히 판-스프링 등을 구비하 고, 상기 나사의 가압과 상기 판-스프링의 가압을 이용하여 상기 평탄도를 조절 및 유지하고 있다.

상기 전기 검사 장치의 제1 기판의 평탄도의 조절을 위하여 상기 나사와 판-스프링 등을 구비하는 전기 검사 장치에 대한 예들은 대한민국 공개특허 2002-95151호, 대한민국 공개특허 2006-126773호 등에 개시되어 있다.

여기서 상기 전기 검사 장치는 전기 검사를 수행할 때 상기 제1 기판의 접촉 표면과 상기 피검사체와의 충분한 접촉을 위하여 상기 나사에 의한 가압과 상기 판-스프링에 의한 가압에 의해 조절 및 유지되는 평탄도를 이용할 뿐이다.

아울러 상기 전기 검사 장치는 출하를 위한 초기 세팅시의 평탄도를 정확하게 조절 및 유지하지 못하는 단점이 있다. 이는, 상기 전기 검사 장치의 전기-연결부에 의한 상기 제1 기판의 가압, 상기 전기 검사 장치의 이송 및 사용에 따른 외부 충격 등에 의하여 상기 평탄도가 틀어질 수 있는 상황을 충분하게 고려하지 않기 때문이다. 다시 말해, 상기 전기 검사 장치는 상기 전기-연결부에 의한 가압, 상기 이송 및 사용에 따른 외부 충격 등에 의하여 상기 제1 기판으로 가해지는 힘을 적절하게 흡수, 분산시키지 못하기 때문에 상기 초시 세팅시의 평탄도를 정확하게 조절 및 유지하지 못하는 것이다.

본 발명의 제1 목적은 사용에 따른 평탄도뿐만 아니라 초기 세팅시의 평탄도 까지도 용이하게 조절 및 유지할 수 있는 전기 검사 장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 제2 목적은 언급한 전기 검사 장치의 평탄도 조절 방법을 제공하는데 있다.

언급한 제1 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 전기 검사 장치는 피검사체와 접촉하는 표면을 갖는 제1 기판과 상기 제1 기판과 전기적으로 연결되는 제2 기판을 보강하는 보강 플레이트 사이에서 상기 보강 플레이트와 상기 제1 기판 사이의 간격을 조정함으로써 상기 제1 기판의 피검사체와 접촉하는 표면의 평탄도를 조절 및 유지하는 제1 조절부, 및 상기 제1 기판과 상기 보강 플레이트 사이에서 상기 보강 플레이트로부터 상기 제1 기판으로 탄성력을 제공함으로써 상기 제1 조절부에 의해 일차 조절 및 유지된 평탄도를 계속적으로 조절 및 유지하는 제2 조절부를 포함한다.

상기 일 실시예에서, 상기 제1 조절부는 상기 보강 플레이트와 상기 제1 기판 사이의 간격 조정이 가능하게 상기 제1 기판으로부터 상기 보강 플레이트로 향하게 설치되는 나사부를 포함할 수 있고, 특히 상기 제1 조절부의 나사부는 상기 제1 기판을 통하여 상기 보강 플레이트에 나사 결합되게 설치될 수 있고, 상기 제1 조절부의 나사부를 사용하여 상기 보강 플레이트와 상기 제1 기판 사이의 간격 조 정을 조정할 때 상기 제1 기판으로부터 상기 보강 플레이트로 탄성력의 제공이 가능하게 상기 제1 조절부의 나사부를 둘러싸는 스프링을 더 포함할 수 있다.

상기 일 실시예에서, 상기 제2 조절부는 상기 보강 플레이트로부터 상기 제1 기판으로 향하게 설치되는 나사부 및 상기 나사부의 조절에 따라 탄성력을 제공하는 스프링을 포함할 수 있고, 특히 상기 제2 조절부의 나사부는 상기 보강 플레이트에 나사 결합되면서 상기 제1 기판과는 그 단부가 접촉하게 설치되고, 상기 제2 조절부의 스프링은 상기 나사부에 내장되도록 설치되거나 또는 상기 제1 기판과 접촉하는 부분이 점-접촉이 가능한 볼 및 상기 스프링이 상기 나사부에 내장되는 볼 플런저를 포함할 수도 있다.

상기 일 실시예에서, 상기 제1 기판의 가장 자리를 파지하는 파지부를 더 포함할 수도 있고, 이 경우 상기 제1 조절부는 상기 파지부와 상기 보강 플레이트 사이의 간격을 조정 가능하게 설치될 수 있고, 상기 제2 조절부는 상기 보강 플레이트로부터 상기 파지부로 탄성력을 제공 가능하게 설치될 수 있다. 특히, 언급한 바와 같이 상기 파지부를 더 포함할 경우 상기 제1 조절부는 상기 파지부로부터 상기 보강 플레이트로 향하게 설치되는 나사부 및 상기 나사부의 조절에 따라 상기 파지부로부터 상기 보강 플레이트로 탄성력을 제공하는 스프링을 포함할 수 있고, 상기 제2 조절부는 상기 보강 플레이트로부터 상기 파지부로 향하게 설치되는 나사부 및 상기 나사부의 조절에 따라 상기 보강 플레이트로부터 상기 파지부로 탄성력을 제공하는 스프링을 포함할 수 있다.

상기 일 실시예에서, 상기 제1 기판의 피검사체와 접촉하는 표면과 면접하는 파지부의 일 부위는 상기 제1 기판의 피검사체와 접촉하는 표면과 점-접촉이 가능하게 형성할 수 있다.

상기 일 실시예에서, 상기 파지부는 제1 파지부 및 제2 파지부를 포함할 수 있고, 이 경우 상기 제1 조절부는 상기 제1 파지부와 상기 보강 플레이트 사이의 간격을 조정 가능하게 설치될 수 있고, 상기 제2 조절부는 상기 보강 플레이트로부터 상기 제2 파지부로 탄성력을 제공 가능하게 설치될 수 있다.

언급한 제1 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기 검사 장치는 제1 표면에는 피검사체와 전기적으로 접촉하는 프로브 팁들을 갖고, 상기 제1 표면과 대향하는 제2 표면에는 상기 프로브 팁들과 전기적으로 연결되는 패드들을 갖는 제1 기판과, 상기 제1 기판의 제2 표면과 마주하는 제3 표면 그리고 상기 제3 표면에 대향하는 제4 표면을 갖는 제2 기판과, 상기 제1 기판의 제2 표면과 상기 제2 기판의 제3 표면 사이에 개재되고, 상기 제1 기판의 제2 표면에 형성된 패드들과 접촉하여 상기 제1 기판과 제2 기판을 전기적으로 연결하는 전기-연결부와, 상기 제2 기판의 제3 표면에 면접하게 설치되어 상기 제2 기판을 보강하는 보강 플레이트, 및 상기 제1 기판과 상기 보강 플레이트 사이에서 상기 보강 플레이트와 상기 제1 기판의 간격을 조정함으로써 상기 제1 기판의 제1 표면의 평탄도를 조절 및 유지하는 제1 조절부와, 상기 제1 기판과 상기 보강 플레이트 사이에서 상기 보강 플레이트로부터 상기 제1 기판으로 탄성력을 제공함으로써 상기 제1 조절부에 의해 조절 및 유지된 평탄도를 계속적으로 조절 및 유지하는 제2 조절부를 갖는 제1 평탄도 조절부를 포함한다.

상기 다른 실시예에서, 상기 제1 조절부는 상기 보강 플레이트와 상기 제1 기판 사이의 간격 조정이 가능하게 상기 제1 기판으로부터 상기 보강 플레이트로 향하게 설치되는 나사부 및 상기 나사부를 사용하여 상기 보강 플레이트와 상기 제1 기판 사이의 간격 조정을 조정할 때 상기 제1 기판으로부터 상기 보강 플레이트로 탄성력의 제공이 가능하게 상기 나사부를 둘러싸는 스프링을 포함할 수 있다.

상기 다른 실시예에서, 상기 제2 조절부는 상기 보강 플레이트로부터 상기 제1 기판으로 향하게 설치되는 나사부 및 상기 나사부의 조절에 따라 탄성력을 제공하는 스프링을 포함하고, 상기 나사부는 상기 보강 플레이트에 나사 결합되면서 상기 제1 기판과는 그 단부가 접촉하게 설치되고, 상기 제2 조절부의 스프링은 상기 나사부에 내장되도록 설치될 수 있다. 특히, 상기 제2 조절부가 상기 보강 플레이트에 나사 결합될 때, 상기 제2 조절부가 위치하는 상기 제2 기판에는 상기 보강 플레이트에 나사 결합된 제2 조절부를 노출시키는 관통홀 구조의 노출부가 형성될 수도 있다.

상기 다른 실시예에서, 상기 제1 평탄도 조절부는 상기 전기 검사 장치의 초기 세팅시 상기 제1 기판의 제1 표면 자체의 평탄도를 조절하는 것이 바람직하다.

상기 다른 실시예에서, 상기 제1 기판의 가장 자리를 파지하는 파지부를 더 포함할 때, 상기 제1 평탄도 조절부의 제1 조절부는 상기 파지부와 상기 보강 플레이트 사이의 간격을 조정 가능하게 설치될 수 있고, 상기 제1 평탄도 조절부의 제2 조절부는 상기 보강 플레이트로부터 상기 파지부로 탄성력의 제공이 가능하게 설치될 수 있다.

상기 다른 실시예에서, 상기 제1 기판의 제1 표면과 면접하는 파지부의 일 부위는 상기 제1 기판의 피검사체와 접촉하는 표면과 점-접촉이 가능하게 형성할 수 있다.

상기 다른 실시예에서, 상기 전기 검사 장치는 상기 제2 기판으로부터 상기 보강 플레이트로 향하게 설치되고, 상기 보강 플레이트의 위치를 조절함에 의해 상기 전기 검사 장치 자체가 갖는 평탄도를 조절하는 제2 평탄도 조절부를 더 포함할 수 있고, 이 경우 상기 제2 평탄도 조절부는 상기 제2 기판으로부터 상기 보강 플레이트로 나사 결합되도록 설치되는 나사부 및 상기 나사부를 둘러싸도록 설치되어 상기 나사부의 조절에 따라 제3 탄성력을 제공하는 스프링을 포함할 수 있다.

상기 다른 실시예에서, 상기 제2 평탄도 조절부는 상기 전기 검사 장치가 적용되는 기기에 부합되는 평탄도를 조절하는 것이 바람직하다.

언급한 제2 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 전기 검사 장치의 평탄도 조절 방법은 피검사체와 접촉하는 표면을 갖는 제1 기판과 상기 제1 기판과 전기적으로 연결되는 제2 기판을 보강하는 보강 플레이트 사이에서 상기 보강 플레이트와 상기 제1 기판 사이의 간격을 조정함과 아울러 상기 보강 플레이트로부터 상기 제1 기판으로 탄성력을 제공함으로써 상기 제1 기판의 피검사체와 접촉하는 표면 자체의 평탄도를 조절하고, 상기 제2 기판과 상기 보강 플레이트 사이에서 상기 제2 기판과 상기 보강 플레이트 사이의 위치를 조절함에 의해 전기 검사 장치 자체의 평탄도를 조절한다.

상기 일 실시예에 따른 전기 검사 장치의 평탄도 조절 방법에서, 상기 전기 검사 장치의 초기 세팅시 상기 제1 기판의 피검사체와 접촉하는 표면 자체의 평탄도를 조절함과 아울러 상기 전기 검사 장치가 적용되는 기기에 부합되는 평탄도를 조절한다.

언급한 바와 같이, 본 발명에 따른 전기 검사 장치와 평탄도 조절 방법에서는 제1 기판의 표면 자체의 평탄도 조절이 가능한 제1 조절부와, 제2 조절부를 포함하고, 이들을 이용한다. 이에, 상기 제1 조절부와, 제2 조절부를 사용하여 전기 검사 장치의 초기 세팅시의 평탄도를 조절한다. 특히, 상기 제2 조절부에 의해 제공 및 조절되는 탄성력이 전기 검사 장치의 전기-연결부에 의한 가압, 전기 검사 장치의 이송 및 사용에 따른 외부 충격 등에 따른 힘을 적절하게 흡수 및 분산함으로써 초기 세팅에 의해 조절된 평탄도를 계속적으로 유지할 수 있다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. 아울러, 도면들에 있어서, 부재들 각각은 그 명확성을 기하기 위하여 다소 과장되어진 것이다.

실시예 1

도 1은 본 발명의 실시예 1에 따른 전기 검사 장치를 나타내는 개략적인 구 성도이고, 도 2는 도 1의 Ⅱ 영역을 확대한 도면이다.

도 1 및 도2를 참조하면, 전기 검사 장치(100)는 프로브 카드 등으로 통칭할 수 있는 것으로써, 실시예 1에서의 전기 검사 장치(100)는 제1 기판(10), 제2 기판(12), 보강 플레이트(17, 19), 제1 조절부(21), 제2 조절부(23) 등을 포함한다. 또한, 실시예 1에서의 전기 검사 장치(100)는 전기-연결부(15), 프로브 팁(16), 제3 조절부(25) 등을 더 포함한다. 여기서 제1 조절부(21) 및 제2 조절부(23)는 제1 평탄도 조절부로 표현할 수도 있고, 제3 조절부(25)는 제2 평탄도 조절부로 표현할 수도 있다. 아울러 보강 플레이트(17, 19)는 제1 보강 플레이트(17)와 제2 보강 플레이트(19)를 포함하고, 제1 보강 플레이트(17)는 제1 기판(10)과 제2 기판(12) 사이에 위치하고, 제2 보강 플레이트(19)는 제2 기판(12) 상에 위치한다.

그리고 실시예 1의 전기 검사 장치(100)에서 제1 기판(10), 제1 보강 플레이트(17), 제1 조절부(21) 및 제2 조절부(23)는 하나의 몸체로 이해할 수 있다.

구체적으로, 제1 기판(10)은 마이크로 프로브 헤드(micro probe head : MPH), 스페이스 트랜스포머(space transformer : 공간변형기) 등으로 통칭할 수 있는 것으로써, 실시예 1에서의 제1 기판(10)은 피검사체와 접촉 가능한 제1 표면(10a) 그리고 제1 표면(10a)과 대향하는 제2 표면(10b)을 갖는다. 여기서, 피검사체의 예로서는 반도체 메모리 소자 등과 같은 집적 회로 소자를 들 수 있다. 그리고 제1 기판(10)의 제1 표면(10a)에는 피검사체와 전기적으로 접촉하는 프로브 팁(16)들이 구비될 수 있다. 아울러, 제1 기판(10)의 제2 표면(10b)에는 프로브 팁(16)들과 전기적으로 연결되는 패드(18)들이 구비될 수 있다.

제2 기판(12)은 전기 검사 장치(100)인 프로브 카드에 포함되는 부재인 인쇄회로기판을 통칭하는 것으로써, 실시예 1에서의 제2 기판(12)은 제1 기판(10)의 제2 표면(10b)과 마주하게 위치한다. 이때, 제2 기판(12)은 제3 표면(12a) 그리고 제3 표면(12a)과 대향하는 제4 표면(12b)을 갖는다. 특히, 제2 기판(12)과 제1 기판(10)을 마주하게 위치시킬 때 제2 기판(12)의 제3 표면(12a)과 제1 기판(10)의 제2 표면(10b)을 마주하게 위치시킨다.

이에, 언급한 전기 검사 장치(100)는 제1 기판(10)의 프로브 팁(16)들에 의해 피검사체와 전기적으로 접촉하고, 그 신호를 제1 기판(10)으로부터 제2 기판(12)을 통하여 테스터 콘트롤러(도시되지 않음)로 전달하는 구성을 갖는다.

그러므로 제1 기판(10)과 제2 기판(12) 사이에서는 전기적 신호가 용이하게 전달되어야 한다. 이때, 제1 기판(10)과 제2 기판(12) 사이에서의 전기적 신호의 전달은 다양한 부재들을 사용하여 달성할 수 있다. 그러므로 실시예 1에서의 전기 검사 장치(100)는 언급한 바와 같이 제1 기판(10)과 제2 기판(12)을 전기적으로 연결하는 전기-연결부(15)를 구비한다. 즉, 전기-연결부(15)를 제1 기판(10)의 제2 표면(10b)과 제2 기판(12)의 제3 표면(12a) 사이에 개재시키는 것이다. 특히, 제1 기판(10)의 제2 표면(10b)으로 연결되는 전기-연결부(15)는 제1 기판(10)의 제2 표면(10b)에 형성된 패드(18)들과 전기적으로 연결되는 구조를 갖는다. 여기서, 전기-연결부(15)의 예로서는 인터포저(interposer), 포고-핀(pogo pin) 등을 들 수 있다.

또한, 실시예 1의 전기 검사 장치(100)는 전기 검사 장치(100) 자체의 구조 를 보강하기 위한 일환으로 언급한 보강 플레이트(17, 19)를 포함한다. 특히, 제1 보강 플레이트(17)는 제2 기판(12)의 제3 표면(12a)에 면접하게 설치되고, 제2 보강 플레이트(19)는 제2 기판(12)의 제4 표면(12b)에 전부 또는 일부가 면접하게 설치된다.

그리고 도 2에 도시된 바와 같이, 실시예 1의 전기 검사 장치(100)에서 제1 평탄도 조절부인 제1 조절부(21)는 제1 기판(10)과 제1 보강 플레이트(17) 사이에서 제1 보강 플레이트(17)와 제1 기판(10) 사이의 간격 조절이 가능하게 설치되고, 제2 조절부(23)는 제1 기판(10)과 보강 플레이트(17) 사이에서 보강 플레이트(17)로부터 제1 기판(10)으로 탄성력의 제공이 가능하게 설치된다.

구체적으로, 제1 조절부(21)는 제1 기판(10)의 제1 표면(10a)으로부터 제1 보강 플레이트(17)로 향하게 설치되고, 나사 결합이 가능한 나사부(21a)를 포함한다. 아울러 제1 조절부(21)는 나사부(21a)뿐만 아니라 스프링(21b)을 더 포함하기도 한다. 즉, 제1 조절부(21)는 나사부(21a) 단독으로도 설치가 가능하고, 더불어 스프링(21b)을 더 포함하기도 하는 것이다. 이에, 제1 조절부(21)의 나사부(21a)는 제1 기판(10)을 관통하여 제1 보강 플레이트(17)에 나사 결합되게 설치되고, 제1 조절부(21)의 스프링(21b)은 나사부(21a)의 조절에 따라 탄성력을 제공하도록 설치된다. 여기서 언급한 제1 조절부(21)의 스프링(21b)에 의한 탄성력은 후술하는 제2 조절부(23)의 스프링(23b)에 의한 탄성력과 구분하기 위하여 편의상 제1 조절부(21)의 스프링(21b)에 의한 탄성력을 제1 탄성력으로 표현하고, 제2 조절부(23)의 스프링(23b)에 의한 탄성력을 제2 탄성력으로 표현한다.

특히, 실시예 1에서는 스프링(21b)이 나사부(21a)를 둘러싸는 구조로 설치되고, 이에 제1 조절부(21)의 나사부(21a)를 조절함에 의해 제1 보강 플레이트(17)와 제1 기판(10) 사이의 간격이 조정될 뿐만 아니라 제1 조절부(21)의 스프링(21b)이 제1 기판(10)과 제1 보강 플레이트(17) 사이에서 제1 탄성력을 제공한다. 아울러 제1 조절부(21)가 제1 기판(10)으로부터 제1 보강 플레이트(17)로 나사 결합되는 구조를 갖기 때문에 상기 제1 탄성력은 제1 기판(10)으로부터 제1 보강 플레이트(17)로 제공되는 것으로 이해할 수도 있다.

그리고 제2 조절부(23)는 제1 보강 플레이트(17)로부터 제1 기판(10)의 제2 표면(10b)으로 향하게 설치된다. 아울러 제2 조절부(23)의 경우에도 나사부(23a) 및 스프링(23b)을 포함한다. 제2 조절부(23)의 나사부(23a)는 제1 보강 플레이트(17)에 나사 결합되면서 제1 기판(10)의 제2 표면(10b)으로 접촉하게 설치되고, 제2 조절부(23)의 스프링(23b)은 나사부(23a)의 조절에 따라 탄성력을 제공하도록 설치된다. 특히, 실시예 1에서는 제2 조절부(23)가 제1 기판(10)의 제2 표면(10b)과 점-접촉해야 한다. 그러므로 제1 기판(10)의 제2 표면(10b)과 접촉하는 제2 조절부(23)의 단부는 점-접촉이 가능한 구조, 예를 들면 구형, 반구형 등의 구조를 갖도록 형성한다. 이에, 제2 조절부(23)는 제1 기판(10)의 제2 표면(10b)과 접촉하는 부분이 점-접촉이 가능한 볼(23c) 그리고 스프링(23b)이 나사부(23a)에 내장되는 볼 플런저(ball plunger)를 포함한다. 여기서, 제2 조절부(23)가 제1 기판(10)의 제2 표면(10b)과 점-접촉하는 것은 전기 검사 장치(100)에 가해지는 힘을 적절하게 흡수 및 분산시키기 위함이다. 그리고 실시예 1에서 제2 조절부(23)의 용이한 조절을 위하여 제2 조절부(23)가 위치하는 제2 기판(12)에 관통홀 구조의 노출부(27)를 형성하고, 노출부(27)를 통하여 제1 보강 플레이트(17)에 나사 결합된 제2 조절부(23)의 나사부(23a)의 조절을 수행한다. 즉, 실시예 1에서는 제2 조절부(23)의 나사부(23a)의 노출이 가능하게 제2 기판(12)에 노출부(27)를 형성하는 것이다.

또한, 실시예 1에서는 제1 기판(10) 또는 제2 기판(12)을 기준으로 제1 조절부(21)가 제2 조절부(23)보다 외곽 부위에 위치하게 설치한다. 이는, 제2 조절부(23)가 제1 조절부(21)보다 내측 부위에 설치될 경우 전기 검사 장치(100)에 가해지는 힘을 보다 적절하게 흡수 및 분산시킬 수 있기 때문이다.

아울러 실시예 1의 전기 검사 장치(100)에서 제2 평탄도 조절부인 제3 조절부(25)는 제2 기판(12)으로부터 제1 보강 플레이트(17)로 향하게 설치된다. 이때, 제3 조절부(25)는 제1 보강 플레이트(17)의 높이에 따른 위치를 조절할 수 있도록 설치된다. 즉, 제3 조절부(25)는 제2 기판(12)과 제1 보강 플레이트(17) 사이에서 제2 기판(12)과 제1 보강 플레이트(17) 사이의 간격을 조절하는 것이다. 아울러 실시예 1에서는 제2 보강 플레이트(19)를 포함하기 때문에 제3 조절부(25)가 제2 보강 플레이트(19)를 통하여 제2 기판(12)으로부터 제1 보강 플레이트(17)로 향하게 설치된다. 그리고 제3 조절부(25) 또한 나사부(25a)와 스프링(25b)을 포함하고, 나사부(25a)는 제1 보강 플레이트(17)로 나사 결합되게 설치되고, 스프링(25b)은 나사부(25a)를 둘러싸도록 설치된다.

그리고 언급한 제1 조절부(21), 제2 조절부(23) 및 제3 조절부(25)는 그 개 수에 제한적이지 않고, 필요에 따라 적절한 개수를 전기 검사 장치(100)에 배치시킬 수 있다.

특히 다시 언급하지만 실시예 1에서는 제1 기판(10), 제1 보강 플레이트(17), 제1 조절부(21) 및 제2 조절부(23)는 하나의 몸체로 이해할 수 있고, 언급한 하나의 몸체와 제2 기판(12) 그리고 기타 부재들을 포함하여 하나의 전기 검사 장치(100)로 이해할 수 있다.

이에, 본 발명의 실시예 1에 따른 전기 검사 장치(100)는 제1 기판(10)의 제1 표면(10a)에 형성된 프로브 팁(16)들의 평탄도를 조절하기 위한 부재들로써 제1 평탄도 조절부인 제1 조절부(21)와 제2 조절부(23)를 포함하고, 제2 평탄도 조절부인 제3 조절부(25)를 포함한다.

여기서 제1 평탄도 조절부인 제1 조절부(21)와 제2 조절부(23)는 평탄도의 절대 좌표를 조절하기 위한 것이고, 제2 평탄도 조절부인 제3 조절부(25)는 평탄도의 상대 좌표를 조절하기 위한 것이다. 즉, 제1 평탄도 조절부인 제1 조절부(21)와 제2 조절부(23)를 사용하여 언급한 하나의 몸체 자체의 평탄도를 조절하고, 제2 평탄도 조절부인 제3 조절부(25)를 사용하여 언급한 하나의 전기 검사 장치 자체의 평탄도를 조절한다.

구체적으로, 제1 평탄도 조절부인 제1 조절부(21)와 제2 조절부(23)에 의한 평탄도 조절은 언급한 하나의 몸체 자체의 평탄도를 조절하기 위한 것으로써 주로 전기 검사 장치(100)의 출하를 위한 초기 세팅시 이루어진다. 즉, 전기 검사 장치(100)를 출하를 위한 초기 세팅시 제1 조절부(21)와 제2 조절부(23)를 이용하여 제1 기판(10)의 제1 표면(10a)에 형성된 프로브 팁(16)들의 평탄도(절대 좌표)를 조절하는 것이다. 여기서, 언급한 초기 세팅시의 절대 좌표로 표현되는 평탄도는 일정하게 유지될 필요가 있다. 만약 초기 세팅시의 평탄도를 조절 및 유지하지 못할 경우에는 전기 검사 장치(100)를 사용한 전기 검사에서 심각한 문제를 초래할 수 있다. 즉, 언급한 절대 좌표로 표현되는 평탄도가 일정하게 유지되지 못하고, 오차 범위를 벗어날 경우에는 사용자가 아무리 평탄도를 조절하여도 만족한 결과를 얻지 못하기 때문이다.

특히 본 발명의 실시예 1에서의 전기 검사 장치(100)는 제1 조절부(21) 이외에도 제2 조절부(23)를 포함함으로써 초기 세팅시 조절된 평탄도를 일정하게 유지할 수 있다. 이는, 초기 세팅시 평탄도가 주로 전기-연결부(15)에 의한 제1 기판(10)의 가압, 전기 검사 장치(100)의 이송 및 사용에 따른 외부 충격 등에 의해 오차 범위를 벗어나는데, 본 발명의 실시예 1에서의 전기 검사 장치(100)는 제2 조절부(23)가 언급한 전기-연결부(15)에 의한 제1 기판(10)의 가압, 전기 검사 장치(100)의 이송 및 사용에 따른 외부 충격 등에 따른 힘을 적절하게 흡수 및 분산시킬 수 있기 때문이다. 다시 말해, 제1 평탄도 조절부인 제1 조절부(21)와 제2 조절부(23)를 이용함으로써 하나의 몸체로써의 제1 기판(10)의 제1 표면(10A)의 평탄도를 조절 및 유지를 하는 것이다.

아울러 본 발명의 실시예 1에 따른 전기 검사 장치(100)는 제2 평탄도 조절부인 제3 조절부(25)를 이용함에 의해 전기 검사 장치(100)가 탑재되는 프로브 스테이션 등과 같은 부재의 환경에 따른 평탄도(상대 좌표)도 용이하게 조절할 수 있 다. 즉, 전기 검사 장치(100)가 언급한 절대 좌표로 표현되는 평탄도를 조절 및 유지한다 하더라도 프로브 스테이션 등과 같은 부재 등에 부합되게 언급한 상대 좌표로 표현되는 평탄도 또한 조절해야 하기 때문에 제3 조절부(25)를 이용하는 것이다.

즉, 언급한 전기 검사 장치(100)의 경우에는 제1 평탄도 조절부인 제1 조절부(21)와 제2 조절부(23)를 이용하여 제1 기판(10)과 제1 보강 플레이트(17) 사이에서 제1 기판(10)과 제1 보강 플레이트(17) 사이의 간격을 조정할 뿐만 아니라 제1 탄성력과 제2 탄성력을 함께 제공함으로써 제1 기판(10)의 제1 표면(10a) 자체의 평탄도를 조절하고, 그리고 제2 평탄도 조절부인 제3 조절부(25)를 이용하여 제2 기판(12)과 제1 보강 플레이트(17) 사이에서 제1 보강 플레이트(17)의 높이에 따른 위치를 조절함에 의해 전기 검사 장치(100) 자체가 갖는 평탄도를 조절하는 것이다. 다시 말해, 제1 평탄도 조절부를 사용하여 전기 검사 장치(100)의 초기 세팅시 제1 기판(10)의 제1 표면 자체의 평탄도를 조절하고, 제2 평탄도 조절부를 사용하여 전기 검사 장치(100)가 적용되는 기기에 부합되도록 전기 검사 장치(100) 자체의 평탄도를 조절하는 것이다.

이와 같이, 본 발명의 실시예 1에 따른 전기 검사 장치(100)는 제1 평탄도 조절부를 이용하여 제1 기판(10)의 제1 표면(10a) 자체의 평탄도를 용이하게 조절할 수 있다. 뿐만 아니라 제1 평탄도 조절부가 제공하는 제1 탄성력과 제2 탄성력을 이용함으로써 전기-연결부(15)에 의한 제1 기판(10)의 가압, 전기 검사 장치(100)의 이송 및 사용에 따른 외부 충격 등이 발생하여도 초기 세팅시의 평탄도 를 조절 및 유지할 수 있다.

따라서 본 발명의 실시예 1에 따른 전기 검사 장치(100)는 평탄도 불량에 의해 발생하는 전기적 검사의 신뢰도가 저하되는 것을 충분히 방지할 수 있다.

실시예 2

도 3은 본 발명의 실시예 2에 따른 전기 검사 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.

본 발명의 실시예 2의 전기 검사 장치(300)는 그 구성이 실시예 1의 전기 검사 장치(100)와 거의 유사하기 때문에 동일 부재에 대해서는 동일 부호를 사용하고, 그 구체적인 설명은 생략하기로 한다.

도 3을 참조하면, 실시예 2의 전기 검사 장치(300)는 실시예 1의 전기 검사 장치(100)와 동일한 제1 기판(10)과 제2 기판(12) 그리고 전기-연결부(15)를 포함한다. 또한, 실시예 2의 전기 검사 장치(10)의 제1 조절부(21)와 제2 조절부(23) 그리고 제3 조절부(25)는 설치 관계를 제외하고는 실시예 1의 그것들과 동일한 구조를 갖는다. 이에, 실시예 2의 제1 조절부(21)는 나사부(21a)와 스프링(21b)을 포함하고, 제2 조절부(23)도 나사부(23a)와 스프링(23b) 그리고 볼(23c)을 갖는 볼 플런저를 포함한다. 아울러 제3 조절부(25)도 나사부(25a) 및 스프링(25b)을 포함한다.

그리고 실시예 2의 전기 검사 장치(300)는 제1 기판(10)의 가장 자리를 파지하는 파지부(31, 33)를 포함한다. 구체적으로, 파지부(31, 33)는 제1 기판(10)의 제1 표면(10a) 가장 자리, 제2 표면(10b) 가장 자리 및 제1 기판(10)의 측면을 연 속적으로 파지하는 구조를 갖는다. 또한, 파지부(31, 33)가 제1 기판(10)의 가장 자리를 파지하기 때문에 파지부(31, 33)와 제2 기판(12)의 제3 표면(12a)이 서로 마주하는 구조를 갖는다.

그러므로 실시예 2의 전기 검사 장치(300)의 제1 조절부(21)는 파지부(31, 33)와 제1 보강 플레이트(17) 사이에서 파지부(31, 33)와 제1 보강 플레이트(17) 사이의 간격을 조정함과 더불어 제1 탄성력의 제공이 가능하게 설치되고, 제2 조절부(23)는 파지부(31, 33)와 제1 보강 플레이트(17) 사이에서 제1 보강 플레이트(17)로부터 파지부(31, 33)로 탄성력의 제공이 가능하게 설치된다. 즉, 실시예 2의 전기 검사 장치(300)의 제1 조절부(21)는 파지부(31, 33)와 제1 보강 플레이트(17) 사이의 간격을 조정할 수 있을 뿐만 아니라 파지부(31, 33)로부터 제1 보강 플레이트(17)로 제1 탄성력의 제공 및 조절이 가능하게 설치되고, 제2 조절부(23)는 제1 보강 플레이트(17)로부터 파지부(31, 33)로 제2 탄성력의 제공 및 조절이 가능하게 설치된다. 여기서 제1 파지부(31, 33)는 제1 보강 플레이트(17)와 면접하게 설치될 수도 있고, 약 2mm 이내로 다소 이격되게 설치될 수도 있다. 그리고 제1 조절부(23)는 파지부(31, 33)를 관통하여 파지부(31, 33)와 마주하는 제1 보강 플레이트(17)에 나사 결합되게 설치되고, 제2 조절부(23)는 제1 보강 플레이트(17)에 나사 결합된 상태에서 파지부(31, 33)로 접촉하게 설치된다. 아울러 제2 조절부(23)는 언급한 바와 같이 볼(23c)을 포함하고, 파지부(31, 33)와 점-접촉하는 구조를 갖는다. 또한 제2 조절부(23)가 위치하는 제2 기판(12)에는 실시예 1에서와 같이 관통홀 구조의 노출부(27)가 형성되어 노출부(27)를 통하여 제1 보강 플레이 트(17)에 나사 결합된 제2 조절부(23)를 조절한다.

아울러 실시예 2의 전기 검사 장치(100)에서도 제2 평탄도 조절부인 제3 조절부(25)는 제2 기판(12)으로부터 제1 보강 플레이트(17)로 향하게 설치된다. 이때, 제3 조절부(25)는 제1 보강 플레이트(17)의 높이에 따른 위치를 조절할 수 있도록 설치된다. 그리고 실시예21에서도 제2 보강 플레이트(19)를 포함하기 때문에 제3 조절부(25)가 제2 보강 플레이트(19)를 통하여 제2 기판(12)으로부터 제1 보강 플레이트(17)로 향하게 설치된다. 제3 조절부(25) 또한 나사부(25a)와 스프링(25b)을 포함하고, 나사부(25a)는 제1 보강 플레이트(17)로 나사 결합되게 설치되고, 스프링(25b)은 나사부(25a)를 둘러싸도록 설치된다.

이에 본 발명의 실시예 2에서의 전기 검사 장치(300)가 파지부(31, 33)를 포함하는 구조를 가져도 언급한 파지부(31, 33)가 제1 기판(10)을 파지하는 구조를 갖기 때문에 언급한 제1 평탄도 조절부인 제1 조절부(21)와 제2 조절부(23)를 이용함에 의해 하나의 몸체로써의 제1 기판의 평탄도를 조절 및 유지할 수 있고, 아울러 제2 평탄도 조절부인 제3 조절부(25)를 이용하여 전기 검사 장치 자체의 평탄도를 조절할 있다. 즉, 실시예 2의 전기 검사 장치(300)의 경우에도 언급한 바와 같이 제1 평탄도 조절부인 제1 조절부(21)와 제2 조절부(23)를 이용하여 초기 세팅시 절대 좌표로 표현되는 평탄도를 조절 및 유지할 수 있고, 제3 조절부(25)를 이용하여 상대 좌표로 표현되는 평탄도를 용이하게 조절 및 유지할 수 있다.

그리고 언급한 파지부(31, 33)는 제1 파지부(31)와 제2 파지부(33)를 포함한다. 여기서, 제1 파지부(31)는 조각판 구조로써 제1 조절부(21)의 나사부(21a)와 나사 결합에 의해 지지되는 구조를 갖는다. 이에, 제1 조절부(21)는 제1 파지부(31)와 제1 보강 플레이트(17) 사이에서 제1 파지부(31)와 제1 보강 플레이트(17) 사이의 간격을 조정할 수 있을 뿐만 아니라 제1 탄성력의 제공 및 조절이 가능하게 설치된다. 아울러, 제2 파지부(33)는 제1 기판(10)의 가장 자리를 둘러싸는 구조로써 제2 조절부(23)에 의해 지지되는 구조를 갖는다. 이에, 제2 조절부(23)는 제1 보강 플레이트(17)와 제2 파지부(33) 사이에서 제2 탄성력의 제공 및 조절이 가능하게 설치된다. 즉, 제2 조절부(23)는 제1 보강 플레이트(17)로부터 제2 파지부(33)로 제2 탄성력의 제공 및 조절이 가능하게 설치된다.

특히, 언급한 제1 기판(10)의 제1 표면(10a)과 면접하는 제1 파지부(31)의 부위는 제1 기판(10)의 제1 표면(10a)과 점-접촉이 가능한 구조로 형성한다. 이에, 실시예 2에서는 제1 기판(10)의 제1 표면(10a)과 면접하는 제1 파지부(31)의 일 부위(31a)를 구형 또는 반구형으로 형성하여 제1 기판(10)의 제1 표면(10a)과 점-접촉이 가능하게 한다. 즉, 도 3에서와 같이 제2 조절부(23)가 점-접촉하는 부위와 대향하는 제1 파지부(31)의 일 부위를 제1 기판(10)의 제1 표면(10a)과 점-접촉이 가능한 구조를 형성하는 것이다. 따라서 실시예 2에서의 전기 검사 장치(100)는 제2 조절부(23)와 일 부위(31a)에 의해 서로 대향하는 양쪽 부위에서 점-접촉하는 구조를 갖는다.

이와 같이, 제1 기판(10)의 제1 표면(10a)과 면접하는 제1 파지부(31)의 일 부위(31a)를 점-접촉이 가능하게 형성하는 것은 제2 조절부(23)와 마찬가지로 전기-연결부(15)에 의한 제1 기판(10)의 가압, 전기 검사 장치(100)의 이송 및 사용에 따른 외부 충격 등에 따른 힘을 적절하게 흡수 및 분산하기 위함이다.

그러므로 본 발명의 실시예 2에 따른 전기 검사 장치(300)의 경우에도 본 발명의 실시예 1에 따른 전기 검사 장치(100)와 마찬가지로 전기-연결부(15)에 의한 제1 기판(10)의 가압, 이송 및 사용에 따른 외부 충격 등이 발생하여도 초기 세팅시의 평탄도를 조절 및 유지할 수 있다.

따라서 본 발명에 따른 전기 검사 장치는 평탄도 불량에 의해 발생하는 전기적 검사의 신뢰도가 저하되는 것을 충분히 방지할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시예 1에 따른 전기 검사 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.

도 2는 도 1의 Ⅱ 영역을 확대한 도면이다.

Claims

피검사체와 접촉하는 표면을 갖는 제1 기판과 상기 제1 기판과 전기적으로 연결되는 제2 기판을 보강하는 보강 플레이트 사이에서 상기 보강 플레이트와 상기 제1 기판 사이의 간격을 조정함으로써 상기 제1 기판의 피검사체와 접촉하는 표면의 평탄도를 조절 및 유지하도록 상기 보강 플레이트와 상기 제1 기판 사이의 간격 조정이 가능하게 상기 제1 기판으로부터 상기 보강 플레이트로 향하게 설치되는 나사부를 포함하는 제1 조절부; 및

상기 제1 기판과 상기 보강 플레이트 사이에서 상기 보강 플레이트로부터 상기 제1 기판으로 탄성력을 제공함으로써 상기 제1 조절부에 의해 일차 조절 및 유지된 평탄도를 계속적으로 조절 및 유지하도록 상기 보강 플레이트로부터 상기 제1 기판으로 향하게 설치되는 나사부 및 상기 나사부의 조절에 따라 탄성력을 제공하는 스프링을 포함하는 제2 조절부를 포함하는 전기 검사 장치.
삭제
제1 항에 있어서, 상기 제1 조절부의 나사부는 상기 제1 기판을 통하여 상기 보강 플레이트에 나사 결합되게 설치되고, 상기 제1 조절부의 나사부를 사용하여 상기 보강 플레이트와 상기 제1 기판 사이의 간격 조정을 조정할 때 상기 제1 기판으로부터 상기 보강 플레이트로 탄성력의 제공이 가능하게 상기 제1 조절부의 나사부를 둘러싸는 스프링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
삭제
제1 항에 있어서, 상기 제2 조절부의 나사부는 상기 보강 플레이트에 나사 결합되면서 상기 제1 기판과는 그 단부가 접촉하게 설치되고, 상기 제2 조절부의 스프링은 상기 나사부에 내장되도록 설치되는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
제1 항에 있어서, 상기 제2 조절부는 상기 제1 기판과 접촉하는 부분이 점-접촉이 가능한 볼 및 상기 스프링이 상기 나사부에 내장되는 볼 플런저(ball plunger)를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
제1 항에 있어서, 상기 제1 기판의 가장 자리를 파지하는 파지부를 더 포함할 때, 상기 제1 조절부는 상기 파지부와 상기 보강 플레이트 사이의 간격을 조정 가능하게 설치되고, 상기 제2 조절부는 상기 보강 플레이트로부터 상기 파지부로 탄성력을 제공 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
제7 항에 있어서, 상기 제1 조절부는 상기 파지부로부터 상기 보강 플레이트로 향하게 설치되는 나사부 및 상기 나사부의 조절에 따라 상기 파지부로부터 상기 보강 플레이트로 탄성력을 제공하는 스프링을 포함하고, 상기 제2 조절부는 상기 보강 플레이트로부터 상기 파지부로 향하게 설치되는 나사부 및 상기 나사부의 조절에 따라 상기 보강 플레이트로부터 상기 파지부로 탄성력을 제공하는 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
제7 항에 있어서, 상기 제1 기판의 피검사체와 접촉하는 표면과 면접하는 파지부의 일 부위는 상기 제1 기판의 피검사체와 접촉하는 표면과 점-접촉이 가능하게 형성한 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
제7 항에 있어서, 상기 파지부는 제1 파지부 및 제2 파지부를 포함하고, 상기 제1 조절부는 상기 제1 파지부와 상기 보강 플레이트 사이의 간격을 조정 가능하게 설치되고, 상기 제2 조절부는 상기 보강 플레이트로부터 상기 제2 파지부로 탄성력을 제공 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
제1 표면에는 피검사체와 전기적으로 접촉하는 프로브 팁들을 갖고, 상기 제1 표면과 대향하는 제2 표면에는 상기 프로브 팁들과 전기적으로 연결되는 패드들을 갖는 제1 기판;

상기 제1 기판의 제2 표면과 마주하는 제3 표면 그리고 상기 제3 표면에 대향하는 제4 표면을 갖는 제2 기판;

상기 제1 기판의 제2 표면과 상기 제2 기판의 제3 표면 사이에 개재되고, 상기 제1 기판의 제2 표면에 형성된 패드들과 접촉하여 상기 제1 기판과 제2 기판을 전기적으로 연결하는 전기-연결부;

상기 제2 기판의 제3 표면에 면접하게 설치되어 상기 제2 기판을 보강하는 보강 플레이트; 및

상기 제1 기판과 상기 보강 플레이트 사이에서 상기 보강 플레이트와 상기 제1 기판의 간격을 조정함으로써 상기 제1 기판의 제1 표면의 평탄도를 조절 및 유지하도록 상기 보강 플레이트와 상기 제1 기판 사이의 간격 조정이 가능하게 상기 제1 기판으로부터 상기 보강 플레이트로 향하게 설치되는 나사부 및 상기 나사부를 사용하여 상기 보강 플레이트와 상기 제1 기판 사이의 간격 조정을 조정할 때 상기 제1 기판으로부터 상기 보강 플레이트로 탄성력의 제공이 가능하게 상기 나사부를 둘러싸는 스프링을 포함하는 제1 조절부와, 상기 제1 기판과 상기 보강 플레이트 사이에서 상기 보강 플레이트로부터 상기 제1 기판으로 탄성력을 제공함으로써 상기 제1 조절부에 의해 조절 및 유지된 평탄도를 계속적으로 조절 및 유지하도록 상기 보강 플레이트로부터 상기 제1 기판으로 향하게 설치되는 나사부 및 상기 나사부의 조절에 따라 탄성력을 제공하는 스프링을 포함하고, 상기 나사부는 상기 보강 플레이트에 나사 결합되면서 상기 제1 기판과는 그 단부가 접촉하게 설치되고, 상기 제2 조절부의 스프링은 상기 나사부에 내장되도록 설치되는 제2 조절부를 갖는 제1 평탄도 조절부를 포함하는 전기 검사 장치.
삭제
삭제
제11 항에 있어서, 상기 제2 조절부가 상기 보강 플레이트에 나사 결합될 때,

상기 제2 조절부가 위치하는 상기 제2 기판에는 상기 보강 플레이트에 나사 결합된 제2 조절부를 노출시키는 관통홀 구조의 노출부가 형성된 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
제11 항에 있어서, 상기 제1 평탄도 조절부는 상기 전기 검사 장치의 초기 세팅시 상기 제1 기판의 제1 표면 자체의 평탄도를 조절하는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
제11 항에 있어서, 상기 제1 기판의 가장 자리를 파지하는 파지부를 더 포함할 때, 상기 제1 평탄도 조절부의 제1 조절부는 상기 파지부와 상기 보강 플레이트 사이의 간격을 조정 가능하게 설치되고, 상기 제1 평탄도 조절부의 제2 조절부는 상기 보강 플레이트로부터 상기 파지부로 탄성력의 제공이 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
제16 항에 있어서, 상기 제1 기판의 제1 표면과 면접하는 파지부의 일 부위는 상기 제1 기판의 피검사체와 접촉하는 표면과 점-접촉이 가능하게 형성한 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
제11 항에 있어서, 상기 제2 기판으로부터 상기 보강 플레이트로 향하게 설치되고, 상기 보강 플레이트의 위치를 조절함에 의해 상기 전기 검사 장치 자체가 갖는 평탄도를 조절하는 제2 평탄도 조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
제18 항에 있어서, 상기 제2 평탄도 조절부는 상기 제2 기판으로부터 상기 보강 플레이트로 나사 결합되도록 설치되는 나사부 및 상기 나사부를 둘러싸도록 설치되어 상기 나사부의 조절에 따라 제3 탄성력을 제공하는 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
제18 항에 있어서, 상기 제2 평탄도 조절부는 상기 전기 검사 장치가 적용되는 기기에 부합되는 평탄도를 조절하는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
피검사체와 접촉하는 표면을 갖는 제1 기판과 상기 제1 기판과 전기적으로 연결되는 제2 기판을 보강하는 보강 플레이트 사이에서 상기 보강 플레이트와 상기 제1 기판 사이의 간격 조정이 가능하게 상기 제1 기판으로부터 상기 보강 플레이트로 향하게 설치되는 나사부 및 상기 나사부를 사용하여 상기 보강 플레이트와 상기 제1 기판 사이의 간격 조정을 조정할 때 상기 제1 기판으로부터 상기 보강 플레이트로 탄성력의 제공이 가능하게 상기 나사부를 둘러싸는 스프링을 사용하여 상기 보강 플레이트와 상기 제1 기판 사이의 간격을 조정함과 아울러 상기 보강 플레이트로부터 상기 제1 기판으로 탄성력을 제공함으로써 상기 제1 기판의 피검사체와 접촉하는 표면 자체의 평탄도를 조절하는 제1 단계; 및

상기 제2 기판과 상기 보강 플레이트 사이에서 상기 보강 플레이트로부터 상기 제1 기판으로 향하게 설치되는 나사부 및 상기 나사부의 조절에 따라 탄성력을 제공하는 스프링을 사용하여 상기 제2 기판과 상기 보강 플레이트 사이의 위치를 조절함에 의해 전기 검사 장치 자체의 평탄도를 조절하는 제2 단계를 포함하는 전기 검사 장치의 평탄도 조절 방법.
제21 항에 있어서, 상기 제1 단계는 상기 전기 검사 장치의 초기 세팅시 상기 제1 기판의 피검사체와 접촉하는 표면 자체의 평탄도를 조절하고,

상기 제2 단계는 상기 전기 검사 장치가 적용되는 기기에 부합되는 평탄도를 조절하는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치의 평탄도 조절 방법.