KR101337843B1

KR101337843B1 - 프로브 장치 및 프로브 장치의 조정 방법

Info

Publication number: KR101337843B1
Application number: KR1020060110919A
Authority: KR
Inventors: 다카시 아메미야; 슈이치 츠카다
Original assignee: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Priority date: 2005-11-11
Filing date: 2006-11-10
Publication date: 2013-12-06
Anticipated expiration: 2026-11-10
Also published as: TWI317019B; US20070108996A1; KR20070050841A; TW200728729A; JP2007132846A; JP4860242B2; EP1785733A1; US8063652B2

Abstract

본 발명은 프로브 핀과 웨이퍼와의 접촉을 안정적으로 유지하는 것을 목적으로 한다.

프린트 배선 기판(13)의 외주부의 복수 지점에 나사(50)가 설치된다. 나사(50)는 보강판(25)에 나사 결합되고, 프린트 배선 기판(13)의 외주부를 관통하고 있다. 프린트 배선 기판(13)의 외주부의 하면측에는 누름판(60)이 마련되고, 나사(50)의 하단면은 누름판(60)에 의해 눌려져 있다. 누름판(60)은 스페이서(61)를 매개로 하여 카드 홀더(14)에 고정되어 있다. 나사(50)의 상단부측에는 너트(51)가 부착되어 있다. 나사(50)의 하단면을 누름판(60)으로 누른 상태에서 나사(50)를 돌림으로써, 프린트 배선 기판(13)의 외주부가 승강한다. 복수 지점의 각 나사(50)를 돌려 프린트 배선 기판(13)의 외주부의 높이를 조정함으로써, 프로브 카드(2) 전체의 웨이퍼에 대한 평행도를 조정할 수 있다.

Description

프로브 장치 및 프로브 장치의 조정 방법{PROBING APPARATUS AND METHOD FOR ADJUSTING PROBING APPARATUS}

도 1은 프로브 장치의 구성의 개략을 도시한 종단면의 설명도.

도 2는 프로브 카드의 평면도.

도 3은 평행도 조정 기구가 있는 프로브 카드의 외주부를 도시한 종단면의 설명도.

도 4는 스토퍼 기구가 있는 프로브 카드의 외주부를 도시한 종단면의 설명도.

도 5는 웨이퍼가 프로브 핀에 접촉했을 때의 프로브 장치를 도시한 종단면의 설명도.

도 6은 너트가 헐거워진 상태의 평행도 조정 기구가 있는 프로브 카드의 외주부를 도시한 종단면의 설명도.

〈도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명〉

1 : 프로브 장치

2 : 프로브 카드

10 : 프로브 핀

11 : 콘택터

12 : 인터포저

13 : 프린트 배선 기판

14 : 카드 홀더

50 : 나사

51 : 너트

60 : 누름판

70 : 스토퍼용 나사

76 : 스토퍼용 너트

W : 웨이퍼

본 발명은 피검사체의 전기적 특성을 검사하는 프로브 장치에 관한 것이다.

예컨대, 반도체 웨이퍼상에 형성된 IC, LSI 등의 전자회로의 전기적 특성의 검사는 프로브 장치에 장착된 프로브 카드를 이용하여 행해지고 있다. 프로브 카드는 통상 다수의 프로브 핀을 지지하는 콘택터와, 이 콘택터와 전기적으로 접속되어 있는 회로 기판을 갖고 있다. 웨이퍼의 전기적 특성의 검사는 웨이퍼의 전극을 프로브 핀에 접촉시켜, 회로 기판으로부터 콘택터와 프로브 핀을 통해 웨이퍼에 대하여 검사용 전기 신호를 송수신함으로써 행해지고 있다.

그런데, 전술한 전기적 특성의 검사를 적정하게 또한 안정적으로 행하기 위해서는 프로브 핀과 웨이퍼와의 접촉을 안정시킬 필요가 있다. 이것을 실현하기 위해서 콘택터와 회로 기판 사이에 상하로 움직일 수 있는 접속 링을 개재하는 것이 제안되어 있다(특허 문헌 1 참조).

[특허 문헌 1] 일본 특허 공개 평성 제5-264589호 공보

웨이퍼와 프로브 핀과의 접촉을 안정시키기 위해서는, 회로 기판이나 콘택터가 원래 갖고 있는 가공시의 변형이나 기울기를 흡수할 뿐만 아니라, 프로브 장치로의 장착시에 생기는 프로브 카드 전체의 웨이퍼에 대한 변형이나 기울기에도 대응할 필요가 있다. 그러나, 전술한 접속 링에서는, 프로브 카드 전체의 변형이나 기울기에는 대응할 수 없고, 웨이퍼와 프로브 핀과의 접촉을 충분히 안정시킬 수는 없었다.

본 발명은 이러한 점을 감안하여 이루어진 것으로서, 웨이퍼 등의 피검사체와 프로브 핀과의 접촉을 충분히 안정시키는 것을 그 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 피검사체의 전기적 특성을 검사하는 프로브 장치로서, 피검사체에 접촉하는 프로브 핀을 하면에 지지하는 콘택터와, 콘택터의 상면측에 배치되고, 상기 프로브 핀과의 사이에서 상기 콘택터를 통해 전기 신호를 주고받는 회로 기판을 구비한 프로브 카드와, 상기 피검사체에 대한 상기 프로브 카드 전체의 평행도를 조정하는 평행도 조정 기구를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 평행도 조정 기구에 의해 프로브 카드 전체의 피검사체에 대한 변형이나 기울기를 수정할 수 있다. 이에 따라, 피검사체와 프로브 핀과의 접촉을 안정시킬 수 있다.

상기 프로브 장치는 상기 프로브 카드의 외주부가 부착되는 프로브 장치 본체측의 부착부를 포함하고, 상기 평행도 조정 기구는 상기 프로브 카드의 외주부의 복수 지점에 설치된 나사를 구비하여, 상기 나사를 돌림으로써 프로브 카드의 외주부를 상기 부착부에 대하여 승강시킬 수 있도록 구성되어 있어도 좋다.

상기 나사는 상기 회로 기판의 외주부에 상하 방향을 향해 설치되고, 이 나사를 돌림으로써 상기 회로 기판을 나사에 대하여 상하 이동시킬 수 있으며, 상기 평행도 조정 기구는 상기 나사의 하단면을 아래에서 누르는 누름 부재를 구비하고, 상기 누름 부재는 상기 부착부에 대하여 고정되어 있어도 좋다. 또한, 누름 부재는 상기 부착부에 직접적으로 고정되어 있어도 좋고, 간접적으로 고정되어 있어도 좋다.

상기 회로 기판의 외주부의 상면에는 상기 회로 기판에 고정된 나사 부착용 부재가 마련되고, 상기 나사 부착용 부재에는 상기 나사가 상하 방향으로 나사 결합하여 관통하는 나사 구멍이 형성되며, 상기 회로 기판의 외주부에는 상기 나사 구멍을 관통한 상기 나사가 상하 방향으로 관통하는 관통 구멍이 형성되고, 상기 누름 부재는 상기 관통 구멍의 아래쪽에 배치되어 있어도 좋다.

상기 부착부는 상기 회로 기판의 외주부의 상면측에 위치하고, 상기 누름 부재는 상기 회로 기판의 외주부를 상하 방향으로 관통하는 접속체에 의해 상기 부착부에 접속되어 있어도 좋다.

상기 나사는 평면에서 보아 상기 프로브 카드의 중심을 원심으로 하는 동일 원주상에 등간격으로 배치되어 있어도 좋다. 또한, 상기 나사는 3 지점 이상에 배치되어 있어도 좋다.

상기 나사에는 상기 회로 기판을 위쪽에서 누르는 너트가 마련되어 있어도 좋다.

상기 프로브 장치는 상기 프로브 카드의 위쪽으로의 움직임을 규제하는 스토퍼 기구를 포함하고 있어도 좋다.

상기 스토퍼 기구는, 상기 회로 기판의 외주부를 상하 방향으로 관통하고 또한 하단부가 상기 부착부에 대하여 고정된 스토퍼용 나사와, 상기 스토퍼용 나사에 마련되고 상기 회로 기판을 위쪽에서 누르는 스토퍼용 너트를 갖도록 하여도 좋다.

상기 스토퍼 기구는 평면에서 보아 상기 각 나사의 양측에 마련되어 있어도 좋다.

상기 프로브 카드에는, 상기 콘택터와 상기 회로 기판 사이에 개재되고, 상기 콘택터와 상기 회로 기판을 전기적으로 접속하며, 또한 상하 방향으로 탄성을 갖는 개재체가 마련되어 있어도 좋다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 대해서 설명한다. 도 1은 본 실시예에 따른 프로브 장치(1)의 구성의 개략을 도시한 종단면의 설명도이다.

프로브 장치(1)에는, 예컨대 프로브 카드(2)와, 피검사체로서의 웨이퍼(W)를 적재하는 적재대(4)가 마련되어 있다. 프로브 카드(2)는, 예컨대 전체가 대략 원반 형상으로 형성되고, 적재대(3)의 위쪽에 적재대(3)의 상면에 대향하도록 마련되 어 있다.

프로브 카드(2)는, 예컨대 복수의 프로브 핀(10)을 지지하는 콘택터(11)와, 개재체로서의 인터포저(12)와, 회로 기판으로서의 프린트 배선 기판(13)을 아래에서부터 차례로 구비하고 있다. 프로브 카드(2)는, 프로브 카드(2)의 외주에 배치된 부착부로서의 카드 홀더(14)에 의해 프로브 장치(1) 본체에 장착되어 있다.

콘택터(11)는, 예컨대 대략 원반 형상으로 형성되고, 프로브 카드(2)의 하면에 마련되어 있다. 콘택터(11) 하면의 소정 위치에는 복수의 프로브 핀(10)이 접합되어 지지되어 있다. 콘택터(11)의 내부에는 하면측의 각 프로브 핀(10)과 상면측의 인터포저(12)를 전기적으로 접속하는 접속 배선(11a)이 마련되어 있다.

인터포저(12)는, 예컨대 평판 형상의 유지 부재(20)와, 유지 부재(20)의 상면과 하면에 부착된 복수의 접촉부(21)에 의해 구성되어 있다. 접촉부(21)는, 예컨대 유지 부재(20)의 각 면으로부터 볼록 형상으로 돌출되어 있다. 하면측의 접촉부(21)는 콘택터(11)에 접촉하고, 상면측의 접촉부(21)는 프린트 배선 기판(13)에 접촉되어 있다. 하면측의 접촉부(21)와 상면측의 접촉부(21)는, 유지 부재(20)를 사이에 두고 서로 대향하는 위치에 쌍으로 마련되어 있다.

각 접촉부(21)는, 예컨대 도전성이 있는 고무에 의해 형성되어 있다. 이와 같이 각 접촉부(21)는 탄성을 갖고 있기 때문에, 인터포저(12)는 상하 방향으로 자유자재로 신축할 수 있으며, 상하의 콘택터(11)나 프린트 배선 기판(13)이 갖는 고유의 변형이나 기울기를 흡수할 수 있다. 또한, 유지 부재(20)의 내부에는 상하의 접촉부(21)를 통전시키기 위한 통전로(20a)가 형성되어 있다. 인터포저(12)는 도 전성의 접촉부(21)와 유지 부재(20)의 통전로(20a)를 통해 콘택터(11)와 회로 기판(13) 사이를 통전할 수 있다.

프린트 배선 기판(13)은, 예컨대 대략 원반 형상으로 형성되고, 콘택터(11)와 대략 평행하게 되도록 배치되어 있다. 프린트 배선 기판(13)은 콘택터(11)보다도 직경이 크고 외측으로 돌출되어 있다. 프린트 배선 기판(13)의 내부에는, 프로브 핀(10)에 대하여 전기적 특성의 검사를 행하기 위한 전기 신호를 송수신하는 회로가 형성되어 있다.

프린터 배선 기판(13)의 상면에는 프린트 배선 기판(13)을 보강하는 보강판(25)이 마련되어 있다. 보강판(25)은, 예컨대 대략 원반 형상으로 형성되고, 예컨대 도 2에 도시된 바와 같이 동심원의 2중 링부(25a, 25b)와, 그 링부(25a, 25b) 사이를 직경 방향을 따라 접속하는 복수의 접속부(25c)에 의해 형성되어 있다. 또한, 도 1은 도 2에 도시된 X-X'선을 따라 절단한 경우의 프로브 카드(2)의 종단면을 나타내고 있다.

도 1에 도시된 바와 같이 콘택터(11)의 외주에는, 예컨대 콘택터(11)의 외주부를 지지하는 링 형상의 지지 부재(30)가 마련되어 있다. 지지 부재(30)는 예컨대 볼트(31)에 의해 프린트 배선 기판(13)의 하면에 고정되어 있다. 지지 부재(30)의 하면에는 볼트(32)에 의해 판 스프링(33)이 고정되어 있고, 이 판 스프링(33)에 의해 콘택터(11)의 외주부가 아래에서 지지되어 있다. 지지 부재(30)에는, 지지 부재(30)의 하면으로부터 지지 부재(30)와 프린트 배선 기판(13)을 관통하고, 보강판(25)에 도달하는 볼트(34)가 마련되어 있다. 이 볼트(34)에 의해 보 강판(25)은 프린트 배선 기판(13)의 상면에 고정되어 있다. 또한, 본 실시예에 있어서는 보강판(25)이 프린트 배선 기판(13)의 상면에 고정되는 나사 부착용 부재를 구성하고 있다.

적재대(3)는, 예컨대 좌우 및 상하로 3차원 이동이 가능하게 구성되어 있다. 적재대(3)는, 적재된 웨이퍼(W)를 상승시켜 프로브 핀(10)에 압박함으로써 웨이퍼(W)를 프로브 핀(10)에 접촉시킬 수 있다.

또한, 본 실시예에 있어서, 프로브 카드(2)는, 예컨대 콘택터(11), 인터포저(12), 프린트 배선 기판(13), 보강판(25), 지지 부재(30), 볼트(31, 32, 34) 및 판 스프링(33)에 의해 구성되어 있다.

프로브 장치(1)에는, 웨이퍼(W)에 대한 프로브 카드(2) 전체의 평행도를 유지하기 위한 평행도 조정 기구와, 아래로부터의 압력에 의해 프로브 카드(2)의 위쪽으로의 움직임을 규제하는 스토퍼 기구가 마련되어 있다. 이하, 이 평행도 조정 기구와 스토퍼 기구에 대해서 설명한다.

예컨대, 도 1 및 도 3에 도시된 바와 같이 프로브 카드(2)의 프린트 배선 기판(13)의 외주부에는, 보강판(25)과 프린트 배선 기판(13)을 상하 방향으로 관통하는 나사(50)가 설치되어 있다. 나사(50)는, 도 2에 도시된 바와 같이 평면에서 보아 프로브 카드(2)의 중심을 원심으로 하는 동일 원주상의 복수 지점에 등간격으로 배치되어 있다. 나사(50)는 예컨대 4 지점에 90°간격으로 배치되어 있다. 도 3에 도시된 바와 같이 나사(50)는, 예컨대 보강판(25)의 나사 구멍(25a)에 나사 결합되어 있다. 이에 따라, 나사(50)를 돌림으로써 보강판(25)을 나사(50)에 대하여 상하로 움직일 수 있다. 나사(50)는 프린트 배선 기판(13)에 형성된 관통 구멍(13a)을 관통하고 있다. 관통 구멍(13a)은 나사(50)보다도 큰 직경으로 형성되고, 나사(50)는 프린트 배선 기판(13)과 나사 결합하지 않는다. 나사(50)의 보강판(25)보다도 상측에는 너트(51)가 마련되어 있다.

프린트 배선 기판(13)의 외주부의 아래쪽에는, 나사(50)의 하단면을 아래에서 누르는 누름 부재로서의 누름판(60)이 마련되어 있다. 이 누름판(60)은, 카드 홀더(14)에 대하여 고정되어 있다. 예컨대 누름판(60)은, 프린트 배선 기판(13)의 상면측으로 돌출된 카드 홀더(14)와, 접속체로서의 스페이서(61)를 통해 접속되어 있다. 스페이서(61)는 프린트 배선 기판(13)의 두께보다 길게 형성되고, 카드 홀더(14)와 누름판(60)과의 간극을 일정하게 유지한다. 스페이서(61)는 프린트 배선 기판(13)의 관통 구멍(13a) 보다 외주에 형성된 외주 관통 구멍(13b)을 관통하고 있다. 스페이서(61)는 예컨대 원관형으로 형성되고, 이 스페이서(61) 내에 삽입 관통된 볼트(62)에 의해 누름판(60)과 카드 홀더(14)가 고정되어 있다.

누름판(60)에 의해 나사(50)의 하단부를 누른 상태에서 나사(50)를 돌림으로써, 보강판(25)을 통해 프린트 배선 기판(13)의 외주부를 승강시켜 프린트 배선 기판(13)의 외주부의 높이를 조정할 수 있다. 각 나사(50)에 있어서의 프린트 배선 기판(13)의 외주부의 높이를 조정함으로써, 프로브 카드(2) 전체의 평행도를 조정할 수 있다.

본 실시예에 있어서는, 전술한 나사(50), 너트(51), 누름판(60), 스페이서(61) 및 볼트(62)에 의해 평행도 조정 기구가 구성되어 있다. 이 평행도 조정 기구는 전술한 바와 같이 프로브 카드(2)에 형성되어 있다.

도 1 및 도 4에 도시된 바와 같이 프린트 배선 기판(13)의 외주부에는. 보강판(25)과 프린트 배선 기판(13)을 상하 방향으로 관통하는 스토퍼용 나사(70)가 설치되어 있다. 스토퍼용 나사(70)는, 예컨대 도 2에 도시된 바와 같이 나사(50)와 동일한 동일 원주상의 복수 지점, 예컨대 8 지점에 설치되어 있다. 스토퍼용 나사(70)는 각 나사(50)를 사이에 두도록 각 나사(50)의 양측에 배치되어 있다. 스토퍼용 나사(70)는, 예컨대 4개의 각 나사(50)로부터 30°떨어진 양측에 배치되어 있다.

스토퍼용 나사(70)는, 도 4에 도시된 바와 같이 보강판(25)과 프린트 배선 기판(13)에 상하 방향으로 형성된 관통 구멍(25b), 관통 구멍(13c)을 관통하고 있다. 스토퍼용 나사(70)는, 예컨대 나사 머리 부분이 아래가 되도록 아래쪽으로부터 관통 구멍(13c, 25b)에 삽입되어 있다. 스토퍼용 나사(70)의 하단부는 프린트 배선 기판(13)의 하면측에 마련된 고정판(71)에 고정되어 있다. 고정판(71)은 프린트 배선 기판(13)의 상면측으로 돌출한 카드 홀더(14)에 스페이서(72)를 통해 접속되어 있다. 스페이서(72)는, 전술한 스페이서(61)와 마찬가지로 프린트 배선 기판(13)의 관통 구멍(13c) 보다 외측에 있는 외주 관통 구멍(13d)을 관통하고 있다. 스페이서(72)는 원관형으로 형성되어 있다. 스페이서(72)의 내부에는 볼트(73)가 삽입 관통되고, 이 볼트(73)에 의해 고정판(71)과 카드 홀더(14)가 고정되어 있다. 이와 같이, 스토퍼용 나사(70)는 카드 홀더(14)에 대하여 고정되어 있다.

스토퍼용 나사(70)의 고정판(71)과 프린트 배선 기판(13) 사이에는 너트(74) 가 부착되어 있다. 이 너트(74)에 의해 스토퍼용 나사(70)가 고정판(71)에 확실하게 고정된다. 프린트 배선 기판(13)의 하면에는 너트(74)가 수용할 수 있는 오목부(13e)가 형성되어 있다. 스토퍼용 나사(70)의 보강판(25)의 상면측에는, 스토퍼용 너트(76)와 헐거움 방지 너트(77)가 아래에서부터 차례로 부착되어 있다. 이 스토퍼용 너트(76)에 의해 보강판(25) 및 프린트 배선 기판(13)을 위쪽에서 누름으로써, 프로브 카드(2)의 위쪽 방향으로의 움직임을 규제할 수 있다.

본 실시예에 있어서, 스토퍼 기구는 예컨대 스토퍼용 나사(70), 고정판(71), 스페이서(72), 볼트(73), 너트(74), 스토퍼용 너트(76) 및 헐거움 방지 너트(77)로 구성되어 있다. 이 스토퍼 기구는 프로브 카드(2)에 형성되어 있다.

이상과 같이 구성된 프로브 장치(1)에 있어서, 웨이퍼(W)상의 전자 소자의 전기적 특성이 검사될 때에는, 웨이퍼(W)가 적재대(3)상에 적재되고, 도 5에 도시된 바와 같이 웨이퍼(W)가 적재대(3)에 의해 콘택터(11)측으로 상승된다. 그리고, 웨이퍼(W)의 각 전극이 대응하는 프로브 핀(10)에 접촉된다. 프린트 배선 기판(13), 인터포저(12) 및 콘택터(11)를 매개로 하여 프로브 핀(10)을 통해 웨이퍼(W)와의 사이에서 전기 신호를 주고받게 되어, 웨이퍼(W)상의 전자 소자의 전기적 특성이 검사된다.

다음에, 프로브 장치(1)에 있어서의 프로브 카드(2) 전체의 평행도를 조정하는 경우에 대해서 설명한다. 우선, 4 지점의 각 나사(50)의 너트(51), 8 지점의 각 스토퍼용 나사(70)의 스토퍼용 너트(76)와 헐거움 방지 너트(77)가 헐겁게 되어 있다. 그리고, 도 6에 도시된 바와 같이 각 나사(50)가 돌려져, 각 나사(50)에 있 어서의 프린트 배선 기판(13)의 외주부의 높이가 조정되고, 프로브 카드(2) 전체가 적재대(3)상의 웨이퍼(W)에 대하여 평행한 상태로 조정된다. 이 상태에서 각 나사(50)의 너트(51)가 체결되고, 프린트 배선 기판(13)의 위치가 고정된다. 또한, 도 4에 도시된 바와 같이 스토퍼용 나사(70)의 스토퍼용 너트(76)와 헐거움 방지 너트(77)가 체결되고, 보강판(25)과 프린트 배선 기판(13)이 위쪽에서부터 압박된다. 이에 따라, 도 5에 도시된 바와 같이 웨이퍼(W)가 프로브 카드(2)에 압박되었을 때에 프로브 카드(2)의 위치가 위쪽으로 어긋나는 것을 방지할 수 있다.

이상의 실시예에 따르면, 프린트 배선 기판(13)의 외주부에 설치된 나사(50)에 의해 프로브 카드(2)의 전체의 평행도를 조정할 수 있기 때문에, 콘택터(11)와 웨이퍼(W)를 평행하게 조정하고, 웨이퍼 표면과 프로브 핀(10)과의 접촉을 안정시킬 수 있다. 또한, 웨이퍼(W)와 프로브 카드(2)를 평행하게 유지하기 위해서 예컨대 인터포저(12)의 상하 폭을 넓힐 필요가 없기 때문에, 인터포저(12)나 프로브 카드(2) 전체를 소형화할 수 있다. 또한, 인터포저(12)의 상하 폭을 넓힌 경우와 같이 콘택터(11)와 프린트 배선 기판(13)과의 전기 신호의 응답이 지연되는 일이 없고, 검사 속도나 검사 정밀도의 저하가 방지된다.

이상의 실시예에 따르면, 복수의 나사(50)를 프린트 배선 기판(13)의 외주부의 복수 지점에 설치하여, 나사(50)의 하단면을 카드 홀더(14)측에 간접적으로 고정된 누름판(60)에 의해 누르고 있다. 이 때문에, 나사(50)를 회전함으로써, 각 부분의 프린트 배선 기판(13)의 외주부를 승강시켜 프로브 카드(2) 전체의 평행도를 조정할 수 있다. 이와 같이, 프로브 카드(2) 전체의 평행도의 조정을 비교적 간단한 기구로 실현할 수 있다.

나사(50)는 프린트 배선 기판(13)에 고정된 보강판(25)에 나사 결합되고, 프린트 배선 기판(13)을 관통하도록 하였기 때문에, 프린트 배선 기판(13)에 나사를 형성할 필요가 없어 프린트 배선 기판(13)의 가공이 간단해진다.

나사(50)는 평면에서 보아 프로브 카드(2)의 중심을 원심으로 하는 동일 원주상의 복수 지점에 등간격으로 배치되기 때문에, 프로브 카드(2)의 평행도의 조정을 행하기 쉽다.

나사(50)에 너트(51)를 마련하였기 때문에, 프린트 배선 기판(13)을 위쪽에서 누를 수 있다. 또한, 프린트 배선 기판(13)의 외주부의 나사(50)와는 다른 위치에 스토퍼용 나사(70)와 스토퍼용 너트(76)를 마련하였기 때문에, 이것에 의해서도 프린트 배선 기판(13)을 위쪽에서 누를 수 있다. 그 결과, 웨이퍼(W)가 프로브 핀(10)에 강하게 압박되어 프로브 카드(2)에 상방의 강한 압력이 걸린 경우라도, 프로브 카드(2) 전체가 위쪽으로 어긋나는 것이 방지된다. 또한, 이상의 실시예에서 기재한 스토퍼용 나사(70)는 스터드 볼트라도 좋다. 이 경우, 너트(74)나 그 너트(74)를 위한 프린트 배선 기판(13)의 오목부(13e)는 없어도 좋다.

스토퍼용 나사(70)와 스토퍼용 너트(76)는 각 나사(50)를 사이에 두고 양측에 배치되었기 때문에, 아래에서부터 압력이 가해졌을 때에 나사(50)의 부분을 지점으로 프린트 배선 기판(13)이 변형되는 것을 억제할 수 있다. 또한, 스토퍼용 나사(70)와 스토퍼용 너트(76)는 나사(50)의 동일 원주상의 양측에 배치되어 있지만, 동일 원주상에 한정되지 않고, 나사(50)를 지나는 직선상에서 나사(50)를 사이 에 두고 양측에 배치되어 있어도 좋다.

이상, 첨부 도면을 참조하면서 본 발명의 적합한 실시예에 대해서 설명하였지만, 본 발명은 이러한 예에 한정되지 않는다. 당업자라면, 특허청구범위에 기재된 사상의 범주 내에서, 각종 변경예 또는 수정예에 상도할 수 있는 것은 분명하고, 이들에 대해서도 당연히 본 발명의 기술적 범위에 속하는 것이라고 양해된다. 예컨대 이상의 실시예에서는, 콘택터(11)와 프린트 배선 기판(13) 사이에 인터포저(12)가 마련되었지만, 인터포저(12)는 없어도 좋다. 인터포저(12)를 이용하지 않더라도, 본 발명은 프로브 카드(2)의 웨이퍼(W)에 대한 변형이나 기울기를 수정할 수 있다고 하는 이점을 갖는다. 이상의 실시예에서는, 나사(50)에 의해 프로브 카드(2)의 외주부를 승강시키고 있었지만, 다른 기구에 의해 승강시켜도 좋다. 또한, 나사(50)가 보강판(25)에 나사 결합되어 있지만, 프린트 배선 기판(13)에 직접 나사 결합되어 있어도 좋다. 나사(50), 스토퍼용 나사(70) 및 스토퍼용 너트(76)의 위치나 수는 본 실시예에 한정되지 않고, 임의로 선택할 수 있다. 본 발명은 피검사체가 웨이퍼(W) 이외의 FPD(플랫 패널 디스플레이), 포토마스크용 마스크 레티클 등의 다른 기판인 경우에도 적용할 수 있다.

본 발명은 프로브 핀과 피검사체와의 접촉을 안정적으로 유지할 때에 유용하다. 본 발명에 따르면, 프로브 핀과 피검사체와의 접촉이 안정되고, 피검사체의 전기적 특성의 검사를 높은 정밀도로 행할 수 있다.

Claims

피검사체의 전기적 특성을 검사하는 프로브 장치로서,

피검사체에 접촉하는 프로브 핀을 하면에 지지하는 콘택터와, 콘택터의 상면측에 배치되고 상기 프로브 핀과의 사이에서 상기 콘택터를 통하여 전기 신호를 주고받는 회로 기판을 구비한 프로브 카드와,

상기 피검사체에 대한 상기 프로브 카드 전체의 평행도를 조정하는 평행도 조정 기구와,

상기 프로브 카드의 외주부가 부착되는 프로브 장치 본체측의 부착부와,

상기 프로브 카드의 위쪽으로의 움직임을 규제하는 스토퍼 기구를 포함하고,

상기 평행도 조정 기구는 상기 프로브 카드의 외주부의 복수 지점에 설치된 나사를 구비하며, 상기 나사를 돌림으로써 프로브 카드의 외주부를 상기 부착부에 대하여 승강시킬 수 있도록 구성되고,

상기 스토퍼 기구는 평면에서 보아 상기 각 나사의 양측에 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
제1항에 있어서, 상기 나사는 상기 회로 기판의 외주부에 상하 방향으로 설치되고, 이 나사를 돌림으로써 상기 회로 기판을 나사에 대하여 상하 이동시킬 수 있으며,

상기 평행도 조정 기구는 상기 나사의 하단면을 압박하는 누름 부재를 구비하고,

상기 누름 부재는 상기 부착부에 대하여 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
제2항에 있어서, 상기 회로 기판의 외주부 상면에는 상기 회로 기판에 고정된 나사 부착용 부재가 마련되고,

상기 나사 부착용 부재에는 상기 나사가 상하 방향으로 나사 결합되어 관통하는 나사 구멍이 형성되어 있으며,

상기 회로 기판의 외주부에는 상기 나사 구멍을 관통한 상기 나사가 상하 방향으로 관통하는 관통 구멍이 형성되어 있고,

상기 누름 부재는 상기 관통 구멍의 아래쪽에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 부착부는 상기 회로 기판의 외주부의 상면측에 위치하고,

상기 누름 부재는 상기 회로 기판의 외주부를 상하 방향으로 관통하는 접속체에 의해 상기 부착부에 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 나사는 평면에서 보아 상기 프로브 카드의 중심을 원심으로 하는 동일 원주상에 등간격으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 나사는 3지점 이상에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 나사에는 상기 회로 기판을 위쪽으로부터 압박하는 너트가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 스토퍼 기구는, 상기 회로 기판의 외주부를 상하 방향으로 관통하고 하단부가 상기 부착부에 대하여 고정된 스토퍼용 나사와, 상기 스토퍼용 나사에 설치되며 상기 회로 기판을 위쪽으로부터 압박하는 스토퍼용 너트를 구비하는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 프로브 카드에는, 상기 콘택터와 상기 회로 기판의 사이에 개재되어 상기 콘택터와 상기 회로 기판을 전기적으로 접속하며 상하 방향으로 탄성을 갖는 개재체가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
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