[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

KR100880291B1 - 자동 재료 핸들링 시스템 - Google Patents

자동 재료 핸들링 시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR100880291B1
KR100880291B1 KR1020057006248A KR20057006248A KR100880291B1 KR 100880291 B1 KR100880291 B1 KR 100880291B1 KR 1020057006248 A KR1020057006248 A KR 1020057006248A KR 20057006248 A KR20057006248 A KR 20057006248A KR 100880291 B1 KR100880291 B1 KR 100880291B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
delete delete
overhead hoist
overhead
track
shelf
Prior art date
Application number
KR1020057006248A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20050072758A (ko
Inventor
제프리 티. 타웨어
브라이언 제이. 도허티
Original Assignee
브룩스 오토메이션, 인크.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=32094132&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=KR100880291(B1) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by 브룩스 오토메이션, 인크. filed Critical 브룩스 오토메이션, 인크.
Publication of KR20050072758A publication Critical patent/KR20050072758A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100880291B1 publication Critical patent/KR100880291B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
    • B66C17/00—Overhead travelling cranes comprising one or more substantially horizontal girders the ends of which are directly supported by wheels or rollers running on tracks carried by spaced supports
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769—Storage means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은 매달린 트랙에 의해 지지되는 오버헤드 호이스트가 트랙 옆의 저장 위치들로부터 재공품(WIP) 부품들에 접근할 수 있도록 하는 개선된 자동 재료 핸들링 시스템에 관한 것이다. 자동 재료 핸들링 시스템은 매달린 트랙 상에 오버헤드 호이스트를 수송하기 위한 오버헤드 호이스트 수송 차량, 및 트랙 옆에 배치된 WIP 부품들을 저장하기 위한 하나 이상의 저장 용기(bin)들을 포함한다. 각각의 저장 용기는 이동 선반이거나 고정 선반이다. 선택된 선반으로부터 WIP 부품에 접근하기 위하여, 오버헤드 호이스트 수송 차량은 매달린 트랙을 따라 선반 측면에 있는 위치로 이동한다. 다음, 이동 선반은 오버헤드 호이스트 아래의 위치로 이동한다. 대안적으로, 오버헤드 호이스트는 고정 선반 위의 위치로 이동한다. 그 다음, 오버헤드 호이스트는 선반으로부터 직접 목적하는 WIP 부품을 집거나 또는 하나 이상의 WIP 부품들을 선반으로 직접 배치하도록 작동된다. 일단 WIP 부품이 오버헤드 호이스트에 의해 유지된다면, 오버헤드 호이스트 수송 차량은 제품 제조 플로어 상에 있는 워크스테이션 또는 프로세싱 기계로 WIP 부품을 이동시킨다.

Description

단일 트랙 위치로부터 오버헤드 호이스트 수송 차량에 의한 하나 이상의 재료 저장 선반 레벨로의 접근{ACCESS TO ONE OR MORE LEVELS OF MATERIAL STORAGE SHELVES BY AN OVERHEAD HOIST TRANSPORT VEHICLE FROM A SINGLE TRACK POSITION}
본 출원은 2002년 10월 11일 출원되고, 발명의 명칭이 "OFFSET ZERO FOOTPRINT STORAGE(ZFS) USING MOVING SHELVES OR A TRANSLATING HOIST PLATFORM"인 미국 가출원 제 60/417,993호의 우선권을 주장한다.
본 출원은 일반적으로 자동 재료 핸들링 시스템(AMHS ; automated material handling system)들, 특히 매달린(suspend) 트랙 상의 오버헤드 호이스트(overhead hoist)를 트랙 옆에 저장된 재공품(WIP ; Work-In-Process) 부품들에 접근하도록 하는 자동 재료 핸들링 시스템에 관한 것이다.
WIP 부품들을 저장하고 상기 부품들을 제품 제조 환경 내의 워크스테이션들 및/또는 프로세싱 기계 사이에 전달하기 위하여 WIP 저장 유닛들 및 오버헤드 호이스트들을 사용하는 WIP 자동 재료 핸들링 시스템들은 공지되었다. 예를 들어, 상기 자동 재료 핸들링 시스템은 집적 회로(IC) 칩들의 제조시 사용될 수 있다. IC 칩들을 제조하는 일반적인 방법은 증착, 세척, 이온 주입, 에칭 및 패시베이션 단계들 같은 여러 프로세싱 단계들을 포함한다. IC 칩 제조 방법에서 각각의 이들 단계들은 화학 기상 증착 챔버, 이온 주입 챔버, 또는 에칭기 같은 여러 프로세싱 기계에 의해 수행될 수 있다. 게다가, WIP 부품들, 이 경우 반도체 웨이퍼들은 통상적으로 IC 칩들을 제조하는데 요구되는 다양한 단계들을 수행하기 위하여 여러 워크스테이션 및/또는 프로세싱 기계 사이에서 수회 수송된다.
IC 칩 제조 처리에서 사용된 종래 자동 재료 핸들링 시스템은 반도체 웨이퍼들을 저장하기 위한 다수의 WIP 저장 유닛들, 및 IC 칩 제조 플로어 상에서 워크스테이션들 및 프로세싱 기계 사이에서 웨이퍼들을 이동시키기 위한 각각의 오버헤드 호이스트들을 포함하는 하나 이상의 수송 차량(transport vehicle)들을 포함한다. WIP 저장 유닛들에 저장된 반도체 웨이퍼들은 통상적으로 전방 개방 통합 포드(FOUP ; Front Opening Unified Pod)들 같은 캐리어들에 적재되고, 상기 웨이퍼들 각각은 매달린 트랙 상에서 이동하는 각각의 오버헤드 호이스트 수송 차량에 의해 수송되는 오버헤드 호이스트를 통하여 선택적으로 접근될 수 있다. 종래 시스템 구성에서, FOUP들은 트랙 아래에 배치된 WIP 저장 유닛들에 저장된다. 따라서, 오버헤드 호이스트 수송 차량은 통상적으로 매달린 트랙을 따라 선택된 FOUP상 바로 위 위치로 이동되고, 오버헤드 호이스트는 FOUP쪽으로 낮추어지고 WIP 저장 유닛으로부터 FOUP를 집거나 FOUP를 WIP 저장 유닛에 배치하도록 동작된다.
상기된 종래 자동 재료 핸들링 시스템의 한가지 단점은 오버헤드 호이스트가 매달린 트랙 아래에서 단지 하나의 WIP 저장 레벨에만 접근할 수 있다는 것이다. 이것은 제품 제조 플로어 상에서 단지 하나의 WIP 저장 레벨만을 제공하는 것이 플로어 공간의 불충분한 사용으로 인해 비용을 증가시키기 때문에 문제가 된다. 트랙 아래에서 WIP 저장소의 다수의 레벨들에 접근하기 위하여, WIP 저장 유닛은 저장 유닛의 현재 위치로부터 오버헤드 호이스트에 접근할 수 있는 레벨의 위치로 선택된 FOUP를 이동시키도록 구성되어야 한다. 그러나 선택된 FOUP를 오버헤드 호이스트가 접근할 수 있는 트랙 아래 레벨로 이동시키도록 WIP 저장 유닛에게 요구하는 것은 재료 핸들링 시스템의 작업 처리량을 현저히 낮춘다. 게다가, 상기 WIP 저장 유닛은 통상적으로 결함을 가질 수 있는 롤러들, 베어링들 및 모터들 같은 많은 이동부들을 가지며, 이것은 비용을 증가시킬 뿐 아니라, 전체 시스템의 신뢰성을 감소시킨다.
게다가, 종래 자동 재료 핸들링 시스템들에 포함된 오버헤드 호이스트들이 매달린 트랙 아래에 배치된 저장 유닛들로부터 WIP 부품들을 접근하기 때문에, 최소량의 공간은 트랙 및 오버헤드 호이스트 수송 차량들을 수용하기 위하여 제조 설비의 천장 및 플로어 사이에서 요구된다. 이것은 WIP 부품들을 저장하는데 사용되는 제조 설비에서 공간량을 추가로 제한시킨다. 게다가, WIP 저장소의 하나의 레벨만이 각각의 오버헤드 호이스트에 접근 가능하기 때문에, 다수의 오버헤드 호이스트들은 저장 유닛으로부터 WIP 부품들을 접근하도록 WIP 저장 유닛에서 줄을 지어 있어야 하고; 그것에 의해 추가로 시스템 작업 처리량을 감소시킨다.
그러므로 종래 자동 재료 핸들링 시스템들의 단점을 극복하면서 개선된 재료 핸들링 효율성을 제공하는 자동 재료 핸들링 시스템을 제공하는 것이 바람직하다.
본 발명에 따라, 매달린 트랙에 의해 지지되는 오버헤드 호이스트가 트랙 옆의 저장 위치들로부터 재공품(WIP) 부품들을 접근하도록 하는 개선된 자동 재료 핸들링 시스템은 제공된다. 오버헤드 호이스트들이 트랙 옆 WIP 부품들을 접근하도록 하기 위해, 현재 개시된 자동 재료 핸들링 시스템은 보다 효율적으로 공간을 활용하게 하고 보다 높은 작업 처리량, 개선된 신뢰성, 및 감소된 비용들을 제공한다.
제 1 실시예에서, 개선된 자동 재료 핸들링 시스템은 매달린 트랙 상에 오버헤드 호이스트를 수송하기 위한 적어도 하나의 오버헤드 호이스트 수송 차량, 및 트랙 옆에 배치된 WIP 부품들을 저장하기 위한 다수의 저장 용기(bin)들을 포함한다. 다수의 저장 용기들은 오버헤드 호이스트가 저장 용기들 중 선택된 용기로부터 직접적으로 하나 이상의 WIP 부품들을 접근하도록 구성된다. 제 1 실시예에서, 각각의 저장 용기는 이동 가능한 선반을 포함한다. 다수의 이동 가능한 선반들은 트랙 옆의 단일 행 또는 다수의 행들로 실질적으로 상기 트랙에 평행하게 배치될 수 있다. 게다가, 하나 이상의 이동 가능한 선반들의 행들은 매달린 트랙의 어느 한 측면 또는 양쪽 측면들 상에 배치될 수 있다. 선택된 선반으로부터 하나 이상의 WIP 부품들을 접근하기 위하여, 오버헤드 호이스트를 수송하는 오버헤드 호이스트 수송 차량은 매달린 트랙을 따라 선택된 선반의 측면 상 하나의 위치로 이동한다. 다음, 선택된 선반은 오버헤드 호이스트 바로 아래 위치로 이동한다. 그 다음 오버헤드 호이스트는 선반으로부터 직접적으로 목표된 WIP 부품을 집거나, 하나 이상의 WIP 부품들을 직접적으로 선반에 배치하도록 동작된다. 바람직한 실시예에서, 오버헤드 호이스트가 목표된 WIP 부품들 위를 통과하도록 요구되지 않기 때문에, 선택된 선반은 실질적으로 오버헤드 호이스트와 동일한 높이에 있다. 이 경우, WIP 부품은 선반이 오버헤드 호이스트 아래 위치로 이동할 때 오버헤드 호이스트 수송 차량의 덮개(cowl) 개구부를 통하여 통과한다. 일단 WIP 부품이 오버헤드 호이스트에 의해 유지되면, 선반은 선반들의 행의 본래 위치로 다시 이동한다.
자동 재료 핸들링 시스템이 이동 가능한 선반들의 다수의 행들을 포함하는 경우, 각각의 선반들의 행은 선반들의 인접한 행들 바로 위 또는 아래에 있고, 이것에 의해 이동 가능한 선반들의 다수의 행들 및 다수의 열들을 포함하는 적어도 하나의 선반 어레이가 형성된다. 선반 어레이에서 선반들의 최상부 행은 실질적으로 오버헤드 호이스트와 동일한 높이에 있을 수 있다. 선반들의 최상부 행의 선택된 선반으로부터 하나 이상의 WIP 부품들을 접근하기 위하여, 오버헤드 호이스트를 수송하는 오버헤드 호이스트 수송 차량은 매달린 트랙을 따라 선택된 선반의 측면 상 하나의 위치로 이동하고, 선택된 선반은 오버헤드 호이스트 바로 아래 위치로 이동하고, 오버헤드 호이스트는 선반으로부터 직접적으로 목표된 WIP 부품들을 집거나 하나 이상의 WIP 부품들을 선반에 직접적으로 배치한다. 그 다음 선택된 선반은 선반 어레이의 본래 위치로 다시 이동한다.
선반들의 최상부 행 아래 행의 선택된 선반으로부터 WIP 부품들을 접근하기 위하여, 오버헤드 호이스트 수송 차량은 매달린 트랙을 따라 선택된 선반을 포함하는 열의 측면 상 하나의 위치로 이동한다. 다음, 선택된 선반은 오버헤드 호이스트 바로 아래 위치로 이동하고, 그 다음 선반으로부터 직접 목표된 WIP 부품을 집거나 하나 이상의 WIP 부품들을 선반에 직접 배치하도록 선반쪽으로 하강된다. 그 다음 오버헤드 호이스트는 매달린 트랙 상 동일 위치로부터 동일한 선반들의 열의 여러 선반들 상 WIP 부품들을 접근할 수 있다. 선택적으로, 오버헤드 호이스트는 여러 선반들의 열에 인접한 트랙 상 위치로 이동할 수 있고, 상기 열상 하나 이상의 선반들의 WIP 부품들에 접근할 수 있다. 목표된 WIP 부품이 오버헤드 호이스트에 의해 유지되면, 선택된 선반은 선반 어레이의 본래 위치로 다시 이동한다.
제 2 실시예에서, 개선된 자동 재료 핸들링 시스템은 트랙 근처에 배치된 다수의 WIP 저장 용기들 및 매달린 트랙을 따라 오버헤드 호이스트를 수송하기 위한 적어도 하나의 오버헤드 호이스트 수송 차량을 포함하고, 여기에서 각각의 저장소는 수동 또는 고정 선반을 포함한다. 제 2 실시예에서, 오버헤드 호이스트는 호이스트를 실질적으로 고정된 선반들의 선택된 선반 바로 위 위치로 이동시키도록 구성된 이동 스테이지(translating stage) 상에 장착된다. 다수의 고정된 선반들은 트랙 근처에서 단일 행 또는 다수의 행들 또는 실질적으로 상기 트랙에 평행하게 배치될 수 있다. 게다가, 하나 이상의 고정된 선반들의 행들은 트랙의 어느 한 측면 또는 양쪽 측면들 상에 배치될 수 있다. 선택된 고정 선반으로부터 하나 이상의 WIP 부품들을 접근하기 위하여, 오버헤드 호이스트 수송 차량은 매달린 트랙을 따라 선택된 선반의 일 측면의 위치로 이동한다. 다음, 이동 스테이지는 오버헤드 호이스트를 오버헤드 호이스트 수송 차량 내의 제 1 위치로부터 선택된 선반 바로 위 제 2 위치로 이동시킨다. 그 다음 오버헤드 호이스트는 선반으로부터 직접적으로 목표된 WIP 부품을 집거나, 하나 이상의 WIP 부품들을 선반에 직접적으로 배치하도록 동작된다. 선택된 선반은 오버헤드 호이스트와 실질적으로 동일한 높이에 있을 수 있다. WIP 부품이 오버헤드 호이스트에 의해 유지되면, 이동 스테이지는 오버헤드 호이스트를 선반 상의 위치로부터 오버헤드 호이스트 수송 차량 내의 본래 위치로 이동시킨다.
바람직한 실시예에서, WIP 부품들을 저장하기 위한 다수의 저장 용기들은 제품 제조 설비의 플로어 상에 매달린다. 예를 들어, 다수의 저장 용기들은 트랙 구조로부터 매달리거나, 제품 제조 설비의 천장으로부터 매달리거나, 제조 설비의 플로어로부터 지지된다. 저장 용기들이 트랙의 어느 한 측면 또는 양쪽 측면들 상에 매달리기 때문에, 다수의 매달린 저장 용기들은 WIP 부품들에 대한 오프셋 제로 풋프린트 저장소(ZFS)를 제공하고, 이러한 저장소는 제품 제조 설비 공간의 보다 효율적인 이용을 유도한다. 여기에서 "오프셋 제로 풋프린트 저장소(offset zero footprint storage)"는, WIP 부품들을 저장하기 위한 저장 용기(storage bin)가 매달린 트랙으로부터 수평으로 변위되고(오프셋된) 매달리는 위치에 배치되어 플로어 공간의 어떠한 영역도 저장소에 의해 취해지지 않는(제로 풋프린트) 저장소를 의미한다.
매달린 트랙들에 의해 지지되는 오버헤드 호이스트들이 트랙들 옆에 저장된 WIP 부품들에 접근하도록 오버헤드 호이스트 메커니즘 및 WIP 저장 용기들을 구성함으로써, 개선된 자동 재료 핸들링 시스템이 달성되어 공간을 보다 효율적으로 사용하고, 보다 높은 작업 처리량, 개선된 신뢰성 및 감소된 비용을 제공한다.
본 발명의 다른 특징들, 기능들 및 측면들은 다음 본 발명의 상세한 설명으로부터 명백할 것이다.
본 발명은 도면과 관련하여 본 발명의 다음 상세한 설명을 참조하여 완전히 이해될 것이다.
도 1은, 본 발명에 따른 자동 재료 핸들링 시스템을 포함하는 IC 칩 제조 환경의 블록도이다.
도 2a~2b는, 도 1의 자동 재료 핸들링 시스템에 사용된 오프셋 제로 풋프린트 저장소의 제 1 실시예의 블록도이고, 여기서 상기 오프셋 제로 풋프린트 저장소는 이동 가능한 선반들의 제 1 행을 포함한다.
도 3a~3b는, 도 2의 오프셋 제로 풋프린트 저장소의 제 1 실시예의 블록도이고, 여기에서 오프셋 제로 풋프린트 저장소는 이동 가능한 선반들의 다수의 행들을 포함한다.
도 4a~4b는, 도 1의 자동 재료 핸들링 시스템에 사용된 오프셋 제로 풋프린트 저장소의 제 2 실시예의 블록도이고, 여기에서 오프셋 제로 풋프린트 저장소는 고정된 선반들의 단일 행 및 이동 스테이지 상에 장착된 오버헤드 호이스트 메커니즘을 포함한다.
도 5는, WIP 저장 유닛과 관련하여 사용된 도 4의 오버헤드 호이스트 메커니즘의 블록도이다.
도 6은, WIP 부품 전달 시스템과 관련하여 사용된 도 4의 오버헤드 호이스트 메커니즘의 블록도이다.
도 7은, 도 4의 오버헤드 호이스트 메커니즘의 다른 실시예의 사시도이다.
도 8은, 고정된 선반들의 어레이와 관련하여 사용된 도 7의 오버헤드 호이스트 메커니즘의 사시도이다.
도 9는, 오버헤드 호이스트 메커니즘이 동일한 트랙 상에서 이동하고 고정된 선반들의 어레이와 관련하여 사용되는, 도 7의 오버헤드 호이스트 메커니즘과 같은 다수의 오버헤드 호이스트 메커니즘의 사시도이다.
도 10은, 도 7의 오버헤드 호이스트 메커니즘과 같은 다수의 오버헤드 호이스트 기구들의 사시도이고, 여기에서 상기 오버헤드 호이스트 기구들은 각각의 트랙들 상에서 이동하고 고정된 선반들의 등을 맞댄 어레이들과 관련하여 사용된다.
도 11은, 오프셋 제로 풋프린트 저장소의 제 3 실시예를 나타내는 사시도로서, 다수의 열들의 고정 선반들과 연계하여 도 7의 오버헤드 호이스트가 사용된다.
도 12a~12b는, 도 1의 자동 재료 핸들링 시스템을 작동하는 예시적인 방법들의 흐름도들이다.
도 13은, 도 1의 자동 재료 핸들링 시스템을 제어하는 예시적인 방법의 흐름도이다.
도 14a~14b는, 도 4a~4b의 이동 스테이지의 사시도이다.
"OFFSET ZERO FOOTPRINT STORAGE (ZFS) USING MOVING SHELVES OR A TRANSLATING HOIST PLATFORM"란 명칭으로 2002년 10월 11일자로 출원된 미국 가특허출원번호 제 60/417,993호는 본 발명에 참조로 포함된다.
매달린 트랙에 의해 지지되는 오버헤드 호이스트 메커니즘이 트랙에서 떨어져 위치된 저장 용기들로부터 재공품(WIP) 부품들을 접근할 수 있도록 하는 개선된 자동 재료 핸들링 시스템이 개시된다. 본 발명에 개시되는 자동 재료 핸들링 시스템은 보다 많은 처리량, 향상된 신뢰성 및 비용 절감을 제공하면서 공간의 효율적인 사용을 가능하게 한다.
도 1은 본 발명에 따른 자동 재료 핸들링 시스템(AMHS)(100)을 포함하는 제품 제조 환경의 예시적인 실시예를 도시한다. 도시된 실시예에서, AMHS(100)는 예를 들어, 제품 제조 환경 내에서 각각 입력/출력 포트(118~119)들을 갖는 프로세싱 기계(114~115)들과 같은, 다양한 워크스테이션들 및/또는 프로세싱 기계들 사이에서 WIP 부품들을 자동 저장 및 수송하도록 구성된다.
AMHS(100)는 200mm 또는 300mm FAB 플랜트와 같은 집적회로(IC) 칩들을 제조하기 위한 클린 환경, 또는 임의의 다른 적절한 제품 제조 환경에서 사용될 수 있다는 것을 유의한다. 도 1에 도시된 것처럼, IC 칩 제조 환경은 천장(104), 및 통상 전기적으로 비전도성인 물질로 덮이고 특정 부하 및 진동 요구조건들을 충족시키도록 설계되는 플로어(105)를 포함한다. 또한, 프로세싱 기계(114~115)들은 IC 칩들을 제조하기 위한 다양한 프로세싱 단계들을 수행하도록 구성된다. 예를 들어, 천장(104)은 플로어(105) 상부에서 약 3.5m의 거리(120)에 위치될 수 있고, 프로세싱 기계(114~115)들은 적어도 약 1.9m 떨어진 거리(126)만큼 이격될 수 있으며, 입력/출력 포트(118~119)들의 상부 표면은 플로어(105)로부터 약 0.9m의 거리(124)일 수 있다.
도시된 실시예에서, AMHS(100)는 트랙(106a~106b)들 각각에 이동가능하게 결합된 오버헤드 호이스트 수송 차량(102a~102b)들을 포함하고, 상기 트랙들은 천장(104)으로부터 매달린다. 오버헤드 호이스트 수송 차량(102a~102b)들은 WIP 부품들, 즉 반도체 웨이퍼들을 유지하도록 설계되는 전방 개방 통합 포드(FOUP)들과 같은 캐리어들을 접근하기 위해 트랙(106a~106b)들을 따라 각각의 오버헤드 호이스트들을 이동시키도록 구성된다. 도 1에 도시된 것처럼, FOUP(108a~108b)들은 각각 선반(110a~110b)들과 같은 저장 용기들에 저장된다. 또한, 매달린 트랙(106a~106b)들은 각각 선반(110a~110b)들의 측면에서 통과하는 미리 결정된 루트들을 규정함으로써, 오버헤드 호이스트 수송 차량(102a~102b)들이 각각의 선반(110a~110b)들로부터 FOUP(108a~108b)들에 직접 접근할 수 있도록 한다. 예를 들어, 오버헤드 호이스트 수송 차량(102a~102b)들은 플로어(105) 상부에서 약 2.6m의 거리(122)에 배치될 수 있다.
구체적으로는, 선반(110a)은 열 위에 배치되고 매달린 트랙(106a)에 실질적으로 평행한 다수의 고정 선반들 중 하나일 수 있다. 하나 이상의 열들의 고정 선반들은 트랙(106a)의 일 측면 또는 양 측면들 상에 배치될 수 있다는 것을 이해하여야 한다. 도시된 실시예에서, 고정 선반(110a)으로부터 FOUP(108a)에 접근하기 위해, 오버헤드 호이스트 수송 차량(102a)은 매달린 트랙(106a)을 따라 선반(110a)의 측면의 위치로 이동한다. 그 다음, 오버헤드 호이스트 수송 차량(102a)에 포함되는 이동 스테이지(112)는 화살표 방향(109a)으로 나타낸 것처럼, 오버헤드 호이스트 수송 차량(102a) 내의 제 1 위치에서 실질적으로 고정 선반(110a)의 바로 상부에 있는 제 2 위치로 상기 오버헤드 호이스트를 측방향으로 이동시킨다. 그리고 상기 오버헤드 호이스트는 IC 칩 제조 플로어 상의 워크스테이션 또는 프로세싱 기계로의 순차적인 수송을 위해 선반(110a)에서 FOUP(108a)를 직접 집도록(pick up) 동작된다. 상기 오버헤드 호이스트는 선반(110a)에 하나 이상의 FOUP들을 선택적으로 배치할 수 있다는 것을 이해해야 한다. 또한, 이동 스테이지(112)는 상기 오버헤드 호이스트가 오버헤드 호이스트 수송 차량(102a)의 일 측면에서/부터 FOUP를 집거나 배치할 수 있도록 한다는 것을 유의한다.
바람직한 실시예에서, 고정 선반(110a)은 오버헤드 호이스트 수송 차량(102a)과 실질적으로 동일한 높이로 플로어(105) 상부에 위치될 수 있다. 이러한 실시예에서, 오버헤드 호이스트 수송 차량(102a)은 이동 스테이지(112)가 상기 수송 차량 내에서부터 고정 선반(110a) 상부의 위치로 이동할 수 있도록 관통 형성되는 개구를 갖는 덮개(cowl)(103a)를 포함한다. 선반(110a)으로부터 픽업된 FOUP(108a)를 구비한 후, 이동 스테이지(112)가 오버헤드 호이스트 수송 차량(102a) 내의 원래 위치로 다시 이동됨에 따라, FOUP(108a)는 상기 덮개(103a)의 개구를 관통한다.
선반(110a)은 고정 선반을 포함하는 반면에, 선반(110b)은 이동 선반이다. 고정 선반(110a)과 같이, 이동 선반(110b)은 열 위에 배치되고 실질적으로 매달린 트랙(106b)과 평행한 다수의 이동 선반들 중 하나일 수 있다. 또한, 하나 이상의 열들의 이동 선반들은 트랙(106b)의 일 측면 또는 양 측면들 상에 배치될 수 있다. 도시된 실시예에서, 이동 선반(110b) 상에 FOUP(108b)를 접근하기 위해, 오버헤드 호이스트 수송 차량(102b)은 매달린 트랙(106b)을 따라 선반(110b)의 측면의 위치로 이동한다. 그 다음, 선반(106b)은 화살표 방향(109b)으로 나타낸 것처럼, 트랙(106) 위의 제 1 위치에서 실질적으로 오버헤드 호이스트 수송 차량(102b) 내의 상기 오버헤드 호이스트 바로 아래의 제 2 위치로 측방향으로 이동한다. 예를 들어, 트랙(106b) 위의 제 1 위치에서 상기 트랙 및 오버헤드 호이스트 아래의 제 2 위치 사이에서 측 제어되는 공압식 스테퍼 모터 또는 서보 모터를 따라 선반(110b)을 이동시키기 위한 메커니즘이 이동 선반(110b)에 제공될 수 있다. 그 다음, 상기 오버헤드 호이스트는 IC 칩 제조 플로어 상의 워크스테이션 또는 프로세싱 기계로의 순차적인 수송을 위해 선반(110b)으로부터 직접 FOUP(108b)를 직접 픽업하도록 동작된다. 상기 오버헤드 호이스트는 선반(110b)에 하나 이상의 FOUP들을 선택적으로 배치할 수 있다는 것을 이해해야 한다.
고정 선반(110a)과 같이, 이동 선반(110b)은 오버헤드 호이스트 수송 차량(102b)과 동일한 높이로 플로어(105) 상부에 위치될 수 있다. 또한, 오버헤드 호이스트 수송 차량(102b)은 FOUP(108b)를 유지하는 이동 선반(110b)이 수송 차량(102b) 내에서 상기 오버헤드 호이스트 아래의 위치로 이동될 수 있도록 관통 형성된 개구를 갖는 덮개(103b)를 포함한다. FOUP(108b)가 오버헤드 호이스트에 의해 유지되면, 선반(110b)은 매달린 트랙(106b) 위의 원래 위치로 다시 이동한다.
본 발명에서 기술되는 자동 재료 핸들링 시스템은 컴퓨터 제어하에서 동작된다는 것을 이해해야 한다. 예를 들어, AMHS(100)는 메모리로부터의 명령어들을 실행하기 위한 하나 이상의 프로세서들을 포함하는 컴퓨터 시스템을 포함할 수 있다. 본 발명에 기술되는 동작들을 수행하는데 실행되는 명령어들은 운영 시스템의 일부로 고려되는 프로그램 코드로서 저장되는 명령어들, 애플리케이션의 일부로 고려되는 프로그램 코드로서 저장되는 명령어들, 또는 운영 시스템과 애플리케이션 사이에 할당되는 프로그램 코드로서 저장되는 명령어들을 포함할 수 있다. 또한, 메모리는 RAM, RAM과 ROM의 조합, 또는 임의의 다른 적절한 프로그램 저장소를 포함할 수 있다.
도 2a~2b는 도 1의 IC 칩 제조 환경에 사용될 수 있는 자동 재료 핸들링 시스템(AMHS)(200)을 도시한다. 도시된 실시예에서, AMHS(200)는 매달린 트랙(206), 및 트랙(206) 상에서 이동하도록 구성되는 오버헤드 호이스트 수송 차량(202)을 포함한다. 오버헤드 호이스트 수송 차량(202)은 이동 선반(210)으로부터/으로 FOUP(208)를 집거나 배치하도록 구성된다. 예를 들어, 오버헤드 호이스트 수송 차량(202)은 천장(204) 아래에서 약 0.9m의 거리(221)만큼 연장될 수 있고, 이동 선반(210)은 플로어(205) 상부에서 약 2.6m의 거리(222)에 배치될 수 있다. 따라서, 천장(204)은 플로어(205) 상부에서 약 3.5m의 거리(220)일 수 있다.
바람직한 실시예에서, 이동 선반(210)은 IC 칩 제조 설비의 플로어(205) 상부에 매달린다. 예를 들어, 이동 선반(210)은 트랙(206)의 구조물, 천장(204), 또는 임의의 다른 적절한 구조물에서 매달릴 수 있다. 선반(210)과 같은 이동 선반들은 트랙(206)의 일 측면 또는 양 측면들 상에 매달릴 수 있기 때문에, 선반(210b)은 FOUP(208)에 대해 오프셋 제로 풋프린트 저장소(ZFS)를 제공함으로써, IC 칩 제조 환경에서 보다 효율적인 공간 사용을 제공할 수 있다.
상술한 바와 같이, 오버헤드 호이스트 수송 차량(202)은 이동 선반(210)으로부터/으로 FOUP(208)를 집거나 배치하도록 구성된다. 결국, 오버헤드 호이스트 수송 차량(202)은 매달린 트랙(206)을 따라 선반(210)의 측면의 위치로 이동한다. 도 2a에 도시된 것처럼, 트랙(206) 위에 배치된 선반(210)은 오버헤드 호이스트 수송 차량(202)과 실질적으로 동일한 높이일 수 있다. 그 다음, 선반(210)은 화살표 방향(209)으로 도시된 것처럼(도 2b 참조), 오버헤드 호이스트 수송 차량(202) 내에서 실질적으로 오버헤드 호이스트 바로 아래에 있는 위치로 측방향으로 이동한다. 오버헤드 호이스트 수송 차량(202)은 선반(210)으로부터/으로 직접 FOUP(208)를 집거나 배치하도록 구성되는 호이스트 그리퍼(gripper)(예를 들어, 도 5의 호이스트 그리퍼(426)를 참조한다)를 포함한다. FOUP(208)가 호이스트 그리퍼에 의해 유지되면, 오버헤드 호이스트 수송 차량(202)은 상기 FOUP를 IC 칩 제조 플로어 상의 워크스테이션 또는 프로세싱 기계로 이동시킬 수 있다.
도 3a~3b는 도 1의 IC 칩 제조 환경에 사용될 수 있는 자동 재료 핸들링 시스템(AMHS)(300)을 도시한다. AMHS(200)와 같이(도 2a~2b 참조), AMHS(300)는 매달린 트랙(306), 및 상기 트랙(306) 상에서 이동하도록 구성되는 오버헤드 호이스트 수송 차량(302)을 포함한다. 그러나 AMHS(200)에 포함되는 오버헤드 호이스트 수송 차량(202)가 단일 열의 선반들에 배치된 이동 선반(210)으로부터/으로 FOUP(208)를 집거나 배치하는 반면에, 오버헤드 호이스트 수송 차량(302)은 선반들의 각 열들에 배치된 선택된 이동 선반(310~311)으로부터/으로 FOUP(308)들을 집거나 배치하도록 구성된다. 예를 들어, 오버헤드 호이스트 수송 차량(302)은 천장(304) 아래의 약 0.9m의 거리(321)만큼 연장될 수 있고, 선반(310)은 오버헤드 호이스트 수송 차량(302)과 실질적으로 동일한 높이에 배치될 수 있으며, 선반(311)은 선반(310b) 아래의 약 0.4m의 거리(323) 및 플로어(305) 상부의 약 2.6m의 거리(322)에 배치될 수 있다. 따라서, 천장(304)은 플로어(305) 상부에서 약 3.9m의 거리에 위치될 수 있다.
이동 선반(310~311)들은 트랙(306)의 구조물, 천장(304), 또는 임의의 다른 적절한 구조물로부터 매달릴 수 있으며, 선반(310~311)들은 FOUP(308)들에 대해 오프셋 제로 풋프린트 저장소(ZFS)의 다수의 열들 또는 레벨들을 제공한다. 또한, 선반들의 각 열은 실질적으로 인접 열의 선반들 바로 위 또는 아래에 있기 때문에, 다수의 열들 및 다수의 행들의 선반들을 포함하는 적어도 하나의 선반 어레이를 형성할 수 있다. (선반(310)을 포함하는) 선반 어레이에서 상부 열의 선반들은 오버헤드 호이스트 수송 차량(302)과 실질적으로 동일한 높이에 위치될 수 있다는 것을 유의한다.
도시된 실시예에서, 오버헤드 호이스트 수송 차량(302)은 이동 선반(310~311)들로부터/로 FOUP(308)들을 집거나 배치하도록 구성된다. 선반(310)으로부터 FOUP(308)를 집기 위해, 오버헤드 호이스트 수송 차량(302)은 매달린 트랙(306)을 따라 선반(310)의 측면의 위치로 이동한다. 그 다음, 선반(310)은 화살표 방향(309)으로 나타낸 것처럼(도 3b 참조), 오버헤드 호이스트 수송 차량(302) 내에서 오버헤드 호이스트 바로 아래의 위치로 측방향으로 이동한다. 오버헤드 호이스트 수송 차량(202)과 마찬가지로, 오버헤드 호이스트 수송 차량(302)은 선반(310)으로부터/으로 FOUP(308)를 집거나 배치하도록 구성되는 호이스트 그리퍼(예를 들어, 도 5의 호이스트 그리퍼(426) 참조)를 포함한다. FOUP(308)가 선반(310)으로부터 픽업되어 호이스트 그리퍼에 의해 유지되면, 오버헤드 호이스트 수송 차량(302)은 상기 FOUP를 IC 칩 제조 플로어 상의 워크스테이션 또는 프로세싱 기계로 이동시킬 수 있다.
선반(310)과 동일한 행이지만 선반(310) 아래의 열의 선반(311)으로부터 FOUP(308)를 집기 위해, 오버헤드 호이스트 수송 차량(302)은 선반(310)의 측면에 위치된다. 그 다음, 선반(311)은 화살표 방향(309)으로 도시된 것처럼, 오버헤드 호이스트 수송 차량(302) 내에서 실질적으로 오버헤드 호이스트 바로 아래의 위치로 측방향으로 이동한다. 그리고 상기 오버헤드 호이스트는 호이스트 그리퍼를 이용하여 선반(311)으로부터 FOUP(308)를 집기 위해 종래의 방식으로 선반(311)을 향해 하강된다. 그 다음, 상기 오버헤드 호이스트는 오버헤드 호이스트 수송 차량(302) 내에서 호이스트 그리퍼에 의해 FOUP(308)가 유지되도록 상승된 다음, 상기 FOUP를 IC 칩 제조 플로어 상의 워크스테이션 또는 프로세싱 기계로 이동시킬 수 있다. 마지막으로, 선반(311)은 선반 어레이의 원래 위치로 다시 이동한다.
오버헤드 호이스트 수송 차량(302)에 포함되는 상기 오버헤드 호이스트는 매달린 트랙(306) 상의 동일한 위치로부터 동일한 행의 선반들에 배치되는 선택된 이동 선반들(예를 들어, 선반(310~311)들) 상에 저장되는 WIP 부품들을 접근할 수 있다. 이러한 방식으로, 오버헤드 호이스트 수송 차량(302)은 단일 트랙 위치에서 하나 이상의 레벨들의 WIP 저장소에 접근할 수 있다.
도 4a~4b는 도 1의 IC 칩 제조 환경에 사용될 수 있는 자동 재료 핸들링 시스템(AMHS)(400)을 도시한다. 도시된 실시예에서, AMHS(400)는 매달린 트랙(406), 및 트랙(406) 상에서 이동하도록 구성되는 오버헤드 호이스트 수송 차량(402)을 포함한다. 오버헤드 호이스트 수송 차량(402)은 수동 또는 고정 선반(410)으로부터/으로 FOUP(408)를 집거나 배치하도록 구성된다. 예를 들어, 오버헤드 호이스트 수송 차량(402)은 천장(404) 아래의 약 0.9m의 거리(421)만큼 연장될 수 있고, 고정 선반(410a)은 플로어(405) 상부의 약 2.6m의 거리(422)에 배치될 수 있다. 선반(410)은 오버헤드 호이스트 수송 차량(402)과 실질적으로 동일한 높이로 플로어 상부에 위치될 수 있다는 것을 유의한다. 따라서, 천장(404)은 플로어(405) 상부의 약 3.5m의 거리(420)일 수 있다.
선반(410)과 같은 다수의 고정 선반들은 트랙(406) 위에서 상기 트랙에 실질적으로 평행한 단일 열 또는 다수의 열들에 배치될 수 있다. 더욱이, 하나 이상의 열들의 고정 선반들은 트랙(406)의 일 측면 또는 양 측면들 상에 위치될 수 있다. 다수의 열들의 고정 선반들이 트랙 구조물, 천장(404), 또는 임의의 다른 적절한 구조물로부터 트랙(406) 위에서 매달릴 수 있기 때문에, 고정 선반들은 FOUP(408)에 대해 다수의 레벨들의 오프셋 제로 풋프린트 저장소(ZFS)를 제공한다.
도시된 실시예에서, 오버헤드 호이스트 수송 차량(402)에 포함되는 오버헤드 호이스트는 수송 차량(402)의 위 및 선택된 고정 선반의 실질적으로 바로 상부의 위치로 상기 호이스트를 이동시키도록 구성되는 이동 스테이지(412) 상에 장착된다. 도 14a는 접혀진 구성으로 이동 스테이지(412)를 도시하고, 도 14b는 측방향으로 확장된 구성으로 상기 이동 스테이지(412)를 도시한다. 선반(410)으로부터 FOUP(408)를 집기 위해(도 4a~4b 참조), 오버헤드 호이스트 수송 차량(402)은 매달린 트랙(406)을 따라 선반(410)의 측면의 위치로 이동한다. 그 다음, 이동 스테이지(412)는 화살표 방향(409)으로 도시된 것처럼(도 4a 참조), 선반(410) 상부의 위치로 측방향으로 이동한다. 그리고 호이스트 그리퍼(426)(도 5 참조)는 선반(410)으로부터/으로 직접 FOUP(408)를 집거나 배치하도록 동작된다. FOUP(408)가 선반(410)으로부터 픽업되어 호이스트 그리퍼(426)에 의해 유지되면, 이동 스테이지(412)는 오버헤드 호이스트 수송 차량(402) 내의 원래 위치로 다시 이동한다. 이동 스테이지(412)가 수송 차량(402) 내에서 원래 위치로 되돌아감에 따라, FOUP(408)는 덮개 개구(403)(도 4b 참조)를 통해 수송 차량(402)으로 이동한다는 것을 유의한다. 그 다음, 오버헤드 호이스트 수송 차량(402)은 IC 칩 제조 플로어 상의 워크스테이션 또는 프로세싱 기계로 상기 FOUP(408)를 이동시킬 수 있다.
오버헤드 호이스트 수송 차량(402) 내에 포함되는 오버헤드 호이스트는 매달린 트랙(406) 상의 동일한 위치로부터 동일한 행의 선반들에 배치되는 선택된 고정 선반들(예를 들어, 선반(410a)) 상에 배치되는 WIP 부품들을 접근할 수 있다는 것을 이해해야 한다. 예를 들어, 선반(410)과 동일한 행이지만 선반(410) 아래의 열에 있는 고정 선반에 배치되는 FOUP를 접근하기 위해, 상기 오버헤드 호이스트는 하부 선반의 측면의 적절한 레벨로 종래의 방식으로 하강될 수 있으며, 이동 스테이지(412)는 호이스트 그리퍼(426)가 선반으로부터/으로 상기 FOUP를 집거나 배치할 수 있도록 측방향으로 이동될 수 있다. 이러한 방식으로, 상기 오버헤드 호이스트 수송 차량(402)은 단일 트랙 위치로부터 하나 이상의 레벨들의 WIP 저장소에 접근할 수 있다.
도 5는 WIP 저장 유닛(500)("스토커(stocker)")과 연계하여 사용되는 AMHS(400)의 예시적인 애플리케이션을 도시한다(도 4a~4b 또한 참조). 도시된 실시예에서, 스토커(500)는 스토커 하우징 내에 배치되는 선반(510)과 같은 다수의 저장 용기들을 포함한다. 스토커(500) 내의 저장 용기들은 중심축을 중심으로 회전되고 오버헤드 호이스트 수송 차량(402)에 의해 추출할 수 있는 저장 유닛 위치에 위치된다. 선반(510)으로부터 FOUP(508)를 집기 위해, 오버헤드 호이스트 수송 차량(402)은 매달린 트랙(406)을 따라 선반(510)의 측면의 위치로 이동한다. 그 다음, 이동 스테이지(412)는 화살표 방향(409)으로 도시된 것처럼, 실질적으로 선반(510)의 바로 상부 위치로 측방향으로 이동한다. 그 다음, 호이스트 그리퍼(426)는 스토커(500)로부터 FOUP(508)를 추출하기 위해 선반(510)으로부터 직접 FOUP(508)를 픽업하도록 동작된다. 호이스트 그리퍼(426)가 스토커(500) 내의 선반(510)에 FOUP를 배치하도록 선택적으로 사용될 수 있다는 것을 이해해야 한다. FOUP(508)가 선반(510)으로부터 픽업되어 호이스트 그리퍼(426)에 의해 유지되면, 이동 스테이지(412)는 오버헤드 호이스트 수송 차량(402) 내의 원래 위치로 다시 이동하고, IC 칩 제조 플로어 상의 워크스테이션 또는 프로세싱 기계로 FOUP(408)를 순차적으로 이동시킨다.
도 5의 오버헤드 호이스트는 스토커(500) 외부의 선반으로부터/선반으로 FOUP를 선택적으로 집거나 배치할 수 있다. 예를 들어, 스토커(500)는 하나 이상의 이동 선반들을 포함할 수 있으며, 그 각각의 선반은 상기 FOUP에 접근하는 오버헤드 호이스트를 제공하기 위해 스토커(500) 내부의 제 1 위치에서 스토커(500) 외부의 제 2 위치로 측방향으로 이동하도록 구성된다. 상기 FOUP가 선반으로부터 픽업되어 호이스트 그리퍼(426)에 의해 유지되면, 선반은 스토커(500) 내의 원래 위치로 다시 이동한다. 스토커(500)로부터 직접 FOUP들을 접근하는 도 5의 오버헤드 호이스트를 이용하면, 입력/출력 포트(118~119)들(도 1 참조)과 같은 전통적인 I/O 장치들에 대한 필요성이 없고, 이에 따라 시스템 비용을 절감할 수 있다.
도 6은 오버헤드 WIP 컨베이어(610)와 연계하여 사용되는 AMHS(400)의 예시적인 애플리케이션을 도시한다(도 4a~4b 참조). 도시된 실시예에서, 이동 스테이지(412)에 장착된 오버헤드 호이스트는 레일(606)을 따라 이동하도록 구성되는 WIP 컨베이어(610)로부터/WIP 컨베이어(610)로 직접 FOUP(608)를 집거나 배치하는데 사용된다. 레일(606)은 도 6의 평면에 수직인 방향으로 연장한다는 것을 이해해야 한다. 상기 오버헤드 호이스트는 또한 레일-기반의 컨베이어(610)로부터 FOUP(608)를 픽업하고, 그 반대로 예를 들어, 프로세스 툴 적재 포트(635)로 FOUP(608)를 배치하는데 사용될 수 있다. 예를 들어, 오버헤드 호이스트 수송 차량(402)은 레일-기반의 컨베이어(610) 상부의 약 0.35m의 거리(624)에 배치될 수 있다. 또한, 오버헤드 레일(606)은 IC 제조 설비의 플로어(605) 상부의 약 2.6m의 거리(626)에 배치될 수 있다.
여기서, 매달린 트랙들, 예를 들어 트랙(406) 상에서 이동하는 오버헤드 호이스트(hoist) 수송 차량들은 인접 워크스테이션들과 프로세싱 기계들 사이에 FOUP의 "홉-투-홉(hop-to-hop)" 수송을 제공하는데 통상 이용된다. 이에 반해, 레일 기반 컨베이어(610)는 IC 칩 제조 플로어 상에서 실질적으로 떨어져 위치하는 프로세싱 기계들과 워크스테이션들 사이에 FOUP의 급행 수송을 제공하는데 이용될 수 있다. IC 칩 제조 설비에서 FOUP를 실질적으로 멀리 이동시키는데 레일 기반 컨베이어(610)를 사용함으로써, 수송 시스템 폭주가 현저히 감소할 수 있다.
상술한 바와 같이, 이동 스테이지(412)에 장착된 오버헤드 호이스트는 레일 기반 컨베이어(610)로부터/컨베이어(610)에 FOUP(608)를 집거나 배치하는데 사용될 수 있다. 이 때문에, 오버헤드 호이스트 수송 차량(402) 및 레일 기반 컨베이어(610)는 FOUP(608)가 배치된 수송 차량(402)이 컨베이어(610) 측에 위치하도록 이동한다. 다음에, 이동 스테이지(412)는 방향 화살표(409)로 나타낸 바와 같이 측방향으로 이동하여 FOUP(608)를 실질적으로 컨베이어(610) 표면 바로 위에 배치한다. 이어서 오버헤드 호이스트는 방향 화살표(628)로 나타낸 바와 같이 종래 방식으로 컨베이어(610) 쪽으로 하강한다. 다음에, 오버헤드 호이스트는 FOUP(608)를 컨베이어(610)에 배치하도록 동작하며, 컨베이어(610)는 IC 칩 제조 플로어에서 FOUP(608)를 실질적으로 수송한다.
도 7은 도 4a~4b의 AMHS(400)의 다른 실시예(700)를 나타낸다. AMHS(400)과 같이 AMHS(700)는 수동 또는 고정 선반으로부터/선반에 FOUP를 집거나 배치하도록 구성된다. 도시한 실시예에서, AMHS(700)는 매달린 트랙(706) 및 상기 트랙(706)에 의해 지지되는 오버헤드 호이스트 수송 차량(702)을 포함한다. 도 7에 나타낸 바와 같이, 오버헤드 호이스트 수송 차량(702)은 인접 단부(744), 말단 단부(746), 및 인접 단부(744)와 말단 단부(746) 사이에 결합된 매달림 부재(748)를 포함한다. 오버헤드 호이스트 수송 차량(702)은 또한 말단 단부(746)에 장착된 호이스트 그리퍼(726), 및 인접 단부(744)에 이동 가능하게 결합되어 수송 차량(702)이 트랙(706)을 주행할 수 있도록 구성된 수송 부재(742)를 포함한다.
구체적으로, 인접 단부(744)는 방향 화살표(709)로 나타낸 바와 같이 트랙(706)에 실질적으로 수직인 방향으로 수송 부재(742)와 관련하여 측방향으로 이동하도록 구성된다. 예를 들어, 인접 단부(744)는 Y-테이블, 뉴매틱(pneumatic) 메커니즘, 스텝퍼 서보 메커니즘, 또는 비교적 긴 측방향 왕복 이동을 제공하는 임의의 다른 적당한 메커니즘으로서 동작할 수 있다. 또한, 말단 단부(746)는 방향 화살표(728)로 나타낸 바와 같이 수직 방향으로 이동하도록 구성된다. 예를 들어, 말단 단부(746)는 매달림 부재(748)의 단부에 결합될 수 있으며, 매달림 부재(748)는 말단 단부(746)가 원하는 수직 방향으로 이동할 수 있게 끼워넣어 지도록 구성될 수 있다. 이에 따라, 인접 단부(744) 및 매달림 부재(748)의 결합은 호이스트 그리퍼(726)를 가진 말단 단부(746)가 방향 화살표(709, 728)로 나타낸 바와 같이 2의 자유도로 이동할 수 있게 한다.
도 8은 수동 또는 고정 선반들의 어레이(800)와 함께 이용되는 도 7의 AMHS(700)를 나타낸다. 도시한 실시예에서, 오버헤드 호이스트 수송 차량(702)은 어레이(800) 내의 선택된 선반들로부터/선반들에 FOUP들, 예를 들어 FOUP(808)를 집거나 배치하도록 구성되며, 어레이(800)는 선반(810)과 같은 고정 선반들로 이루어진 다수의 행 및 다수의 열을 포함한다. 도 8에 나타낸 바와 같이, 선반 어레이(800)는 매달린 트랙(706) 옆에 실질적으로 평행하게 배치된다. 또한, 각각의 선반은 플로어에 고정될 수 있는 수직 지지 부재(760)에 단일 에지를 따라 부착되며, 선반들의 인접한 열들은 일정한 간격을 두어 각각의 매달림 부재(748)가 인접한 열들 사이의 간격에 맞춰질 수 있게 한다. 이러한 구성에서, FOUP(808)는 경우에 따라 수동 접근을 위해 노출된다.
예를 들어, 선반(810)으로부터 FOUP(808)를 집기 위해, 오버헤드 호이스트 수송 차량(702)은 매달린 트랙(706)을 따라 선반(810)을 포함하는 열 쪽의 위치로 이동한다. 다음에, 호이스트 그리퍼(726)를 포함하는 말단 단부(746)는 방향 화살표(728)로 나타낸 바와 같이 FOUP(808)를 유지하는 선반(810) 쪽의 위치로 아래로 이동한다. 이어서 인접 단부(744)는 방향 화살표(709)로 나타낸 바와 같이 트랙(706) 옆 선반(810)의 실질적으로 바로 위에 호이스트 그리퍼(726)를 배치하도록 측방향으로 이동한다. 인접 단부(744)가 그 측방향으로 이동함에 따라, 각각의 매달림 부재(748)는 선반들의 열의 각 면의 공간에 수용된다.
FOUP(808)가 호이스트 그리퍼(726)에 의해 선반(810)으로부터 픽 되면, 인접 단부(744)는 트랙(706) 아래의 그 원래 위치로 되돌아감으로써, FOUP(808)를 유지하는 호이스트 그리퍼(726)를 가진 말단 단부(746)가 트랙(706)을 향해 위로 다시 이동할 수 있게 한다. 이어서 수송 부재(702)는 FOUP(808)를 IC 칩 제조 플로어 상의 워크스테이션 또는 프로세싱 기계로 이동시킬 수 있다. 오버헤드 호이스트 수송 차량(702)은 매달린 트랙(706) 상의 동일한 위치로부터 동일한 선반 열에 배치된 선택된 선반들에 저장된 WIP부에 접근할 수 있다. 이와 같이, 오버헤드 호이스트 수송 차량(702)은 단일 트랙 위치로부터 WIP 저장부의 하나 이상의 레벨에 접근할 수 있는 것으로 이해해야 한다.
도 9는 선반 어레이(800)와 함께 사용되는 다수의 자동 재료 핸들링 시스템(AMHS)(700a~700b)을 나타낸다. 각각의 AMHS(700a~700b)는 도 7의 AMHS(700)와 같은 것으로 이해해야 한다. 도시한 실시예에서, AMHS(700a~700b)는 선반 어레이(800)에 저장된 FOUP(808)의 동시 접근이 가능하게 단일 매달린 트랙(706) 상에서 이동하도록 구성됨으로써, 높은 시스템 처리량을 확보한다.
도 10은 증가된 저장 밀도를 위한 백-투-백(back-to-back) 구조에서 2개의 선반 어레이(800a~800b)와 함께 사용되는 AMHS(700a~700b)를 나타낸다. 도 10에 나타낸 바와 같이, 선반 어레이(800a~800b)의 각각의 선반은 플로어에 고정될 수 있는 수직 지지 부재(1060)에 단일 에지를 따라 부착된다. 선반 어레이(800a~800b) 각각은 인접한 선반 열들이 일정한 간격을 두어 각각의 매달림 부재(748)가 인접한 열들 사이의 간격에 맞춰질 수 있게 하는 선반 어레이(800)(도 8 참조)와 같은 것으로 이해해야 한다. 도시한 실시예에서, AMHS(700a~700b)는 선반 어레이(800a~800b)에 저장된 FOUP(808)의 동시 접근이 가능하게 매달린 트랙(706a~706b) 상에서 각각 이동하도록 구성됨으로써, 높은 시스템 처리량을 확보한다. 도 8~10의 시스템 구성은 (종래의 재료 처리 시스템에서와 같은) FOUP 접근용 로봇을 필요로 하지 않기 때문에, 플로어 공간 요구 조건 및 시스템 비용이 절감되는 한편, 시스템 안정성은 향상된다.
도 11은 고정 선반 어레이(1100)와 함께 사용되는 도 7의 AMHS(700)를 나타낸다. 선반 어레이(800)(도 8 참조)와 같이, 선반 어레이(1100)는 매달린 트랙(706) 옆에 실질적으로 평행하게 배치된다. 또한, 각각의 선반은 하나 이상의 수직 지지 부재(1160a~1160b)에 단일 에지를 따라 부착되며, 선반들의 인접한 열들은 일정한 간격을 두어 각각의 매달림 부재(748)가 인접한 열들 사이의 간격에 맞춰질 수 있게 한다. 그러나 선반 어레이(800)는 플로어에 고정되는 반면, 선반 어레이(1100)는 지지 부재(1160a~1160b)에 의해 트랙(706)의 구조로부터 매달린다. 선반 어레이(1100)는 천장 또는 다른 임의의 적당한 구조로부터 다르게 매달리는 것으로 이해된다. 그 결과, 선반 어레이(1100)는 저장된 FOUP에 대한 오프셋 제로 풋프린트 저장부(ZFS)의 다수의 행 또는 레벨을 제공한다.
현재 개시된 자동 재료 핸들링 시스템을 작동시키는 제 1 방법에 대해 도 12a를 참조로 설명한다. 단계(1202)에 나타낸 바와 같이, 오버헤드 호이스트 수송(OHT) 수송 차량은 선반 어레이에서 선택된 이동 가능 선반 쪽의 위치로 매달린 트랙을 따라 이동한다. 선반 상부에는 적어도 하나의 FOUP가 배치된다. 다음에, 단계(1204)에 나타낸 바와 같이, 선반은 OHT 수송 차량에 포함된 오버헤드 호이스트 아래 위치로 이동한다. 이어서 오버헤드 호이스트는 단계(1206)에 나타낸 바와 같이 선반으로부터 FOUP를 집도록 작동한다. 다음에, 선반은 단계(1208)에 나타낸 바와 같이 선반 어레이에서 그 원래의 위치로 다시 이동한다. 마지막으로, OHT 수송 차량은 단계(1210)에 나타낸 바와 같이 FOUP를 제품 제조 플로어 상의 워크스테이션 또는 프로세싱 기계로 이동시킨다.
현재 개시된 자동 재료 핸들링 시스템을 작동시키는 제 2 방법에 대해 도 12b를 참조로 설명한다. 단계(1212)에 나타낸 바와 같이, OHT 수송 차량은 선반 어레이에서 선택된 고정 선반 쪽의 위치로 매달린 트랙을 따라 이동한다. 선반 상부에는 적어도 하나의 FOUP가 배치된다. 다음에, 상부에 오버헤드 호이스트가 장착된 이동 스테이지는 단계(1214)에 나타낸 바와 같이 선반 상부 위치로 이동한다. 이어서 오버헤드 호이스트는 단계(1216)에 나타낸 바와 같이 선반으로부터 FOUP를 집도록 작동한다. 다음에, 이동 스테이지는 단계(1218)에 나타낸 바와 같이 OHT 수송 차량에서 그 원래의 위치로 다시 이동한다. 이어서 OHT 수송 차량은 단계(1220)에 나타낸 바와 같이 FOUP를 제품 제조 플로어 상의 워크스테이션 또는 프로세싱 기계로 이동시킨다. 다음에, 오버헤드 호이스트는 단계(1222)에 나타낸 바와 같이 FOUP를 프로세싱 기계의 I/O 포트에 배치하도록 작동하며, 이는 이동 스테이지를 I/O 포트 상부 위치로 이동시키고, FOUP를 I/O 포트에 배치하고, 이동 스테이지를 다시 OHT 수송 차량 내의 그 원래의 위치로 이동시키는 것을 포함한다. 이어서 오버헤드 호이스트는 단계(1224)에 나타낸 바와 같이 프로세싱 기계의 I/O 포트로부터 FOUP를 집도록 작동한다. 다음에, OHT 수송 차량은 단계(1226)에 나타낸 바와 같이 레일 기반 컨베이어 쪽 위치로 이동한다. 이어서 이동 스테이지는 단계(1228)에 나타낸 바와 같이 FOUP를 레일 기반 컨베이어 상부에 배치한다. 다음에, FOUP를 유지하는 오버헤드 호이스트는 단계(1230)에 나타낸 바와 같이 컨베이어 쪽으로 하강하고, 오버헤드 호이스트는 단계(1232)에 나타낸 바와 같이 FOUP를 컨베이어에 배치하도록 작동한다. 이동 스테이지가 OHT 수송 차량 내의 그 원래의 위치로 되돌아 간 후, 레일 기반 컨베이어는 단계(1234)에 나타낸 바와 같이 제품 제조 플로어에서 확장된 거리로 FOUP를 수송하도록 이동한다.
현재 개시된 자동 재료 핸들링 시스템을 제어하는 방법에 대해 도 13을 참조로 설명한다. 저장 위치들은 특정 툴, 툴 그룹 또는 베이로부터 오버플로 FOUP들을 처리하도록 구성될 수 있다. 저장 유닛은 하나 이상의 저장 위치이다. 시스템 컨트롤러는 목적지 툴 근처에 FOUP를 저장하고 저장 위치 유닛 내의 저장부를 핸들링하기 위하여 유닛 내의 다른 FOUP들의 신속한 검색 및 배치를 최적화하고자 하게 된다. 단계(1302)에 나타낸 바와 같이, AMHS 컨트롤러는 FOUP를 가진 오버헤드 호이스트 수송 차량을 프로세스 툴로 보낸다. 다음에, 프로세스 툴은 단계(1304)에 나타낸 바와 같이 FOUP를 수락하도록 이용할 수 없게 된다. 이어서 단계(1306)에 나타낸 바와 같이 프로세스 툴과 관련된 저장 유닛들이 FOUP를 유지할 수 있는지 여부에 관한 판단이 이루어진다. 만일 그렇다면, AMHS 컨트롤러는 단계(1310)에 나타낸 바와 같이 FOUP를 프로세스 툴의 저장 유닛에 할당한다. 그렇지 않으면, 단계(1308)에 나타낸 바와 같이 프로세스 툴 그룹과 관련된 저장 유닛이 FOUP를 유지할 수 있는지 여부에 관한 판단이 이루어진다. 만일 그렇다면, AMHS 컨트롤러는 단계(1312)에 나타낸 바와 같이 FOUP를 프로세스 툴 그룹의 저장 유닛에 할당한다. 그렇지 않으면, AMHS 컨트롤러는 단계(1314)에 나타낸 바와 같이 FOUP를 반도체 베이의 저장 유닛에 할당한다. 각각의 단계(1310, 1312, 1314) 다음에, AMHS 컨트롤러는 단계(1316)에 나타낸 바와 같이 AMHS 컨트롤러 계산 장치에 포함된 알고리즘을 실행함으로써 AMHS 시스템 내의 FOUP의 배치 및 검색을 효과적으로 스케줄링한다.
상기 도시한 실시예들을 설명했지만, 다른 실시예들이나 변형이 이루어질 수도 있다. 예를 들어, 자동 재료 핸들링 시스템은 IC 칩 제조 환경에서 FOUP(Front Opening Unified Pods)와 같은 캐리어들에 접근하기 위한 오버헤드 호이스트들을 이동시키도록 구성된 오버헤드 호이스트 수송 차량을 포함하는 것으로 설명하였다. 그러나 상술한 자동 재료 핸들링 시스템은 물품들이 여기저기로 저장 및 이동되는 임의의 적당한 환경에 채용될 수 있는 것으로 인식해야 한다. 예를 들어, 본원에서 설명한 자동 재료 핸들링 시스템은 자동 제조 설비에 채용될 수도 있고, 시스템에 의해 저장 및 이동된 WIP 부품들은 자동차 부품들을 포함할 수도 있다.
또한, 단일 트랙 위치로부터 오버헤드 호이스트 수송 차량에 의해 선반들의 하나 이상의 레벨에 접근하는 상술한 시스템 및 방법에 대한 추가 변형 및 개조가 본원에 개시된 발명의 개념을 벗어나지 않으면서 이루어질 수 있는 것으로 당업자들에 의해 인식될 것이다. 이에 따라, 본 발명은 첨부된 청구항의 범위 및 사상에 의해 한정되는 것을 제외하고 한정되는 것으로 간주하지 않아야 한다.

Claims (123)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 삭제
  13. 자동 재료 핸들링 시스템으로서,
    오버헤드 트랙, 이동 부재를 포함하는 오버헤드 호이스트, 및 오버헤드 호이스트 수송 차량을 포함하는 하나 이상의 오버헤드 호이스트 수송 서브시스템; 및
    상기 오버헤드 트랙의 제 1 측면에 배치되고, 하나 이상의 재료 유닛을 저장하도록 구성된 하나 이상의 재료 저장 위치를 포함하고,
    상기 오버헤드 호이스트 수송 차량은, 상기 재료 저장 위치에 인접한 상기 오버헤드 트랙을 따라 제 1 위치로 상기 오버헤드 호이스트를 운반하도록 구성되며, 그리고 상기 재료 저장 위치가 상기 오버헤드 호이스트의 레벨보다 더 낮은 레벨에 배치되는 경우에는 상기 이동 부재를 포함하는 상기 오버헤드 호이스트를 상기 재료 저장 위치의 레벨에 근접하게 하강시키도록 구성되고,
    상기 이동 부재를 포함하는 상기 오버헤드 호이스트는 상기 재료 저장 위치의 레벨에 근접하게 하강되는 동안 상기 오버헤드 호이스트 수송 차량으로부터 하강되도록 구성되며,
    상기 이동 부재는 상기 재료 저장 위치에 인접하게 자체적으로 위치설정되기 위해 상기 오버헤드 트랙에 대해 측방향으로 연장되도록 구성 및 동작되고, 상기 오버헤드 트랙을 따라 상기 제 1 위치로부터 상기 재료 저장 위치로 재료 유닛을 배치하거나 상기 재료 저장 위치로부터 재료 유닛을 집을 수 있도록 구성 및 동작되며,
    상기 자동 재료 핸들링 시스템은 하나 이상의 재료 유닛을 운반하도록 구성되며 상기 트랙의 제 1 측면에 배치되는 컨베이어 서브시스템을 더 포함하고,
    상기 오버헤드 호이스트 수송 차량은 상기 컨베이어 서브시스템에 인접한 상기 오버헤드 트랙을 따라 제 2 위치로 상기 오버헤드 호이스트를 운반하도록 동작되며,
    상기 이동 부재는 상기 컨베이어 서브시스템에 인접하게 자체적으로 위치설정되기 위해 상기 오버헤드 트랙에 대해 측방향으로 연장되도록 구성 및 동작되며 상기 컨베이어 서브시스템에 재료 유닛을 배치하거나 상기 컨베이어 서브시스템으로부터 상기 재료 유닛을 집을 수 있도록 구성 및 동작되며, 그리고
    상기 컨베이어 서브시스템은 하나 이상의 레일을 포함하고, 상기 컨베이어 서브시스템은 상기 레일을 따라 상기 재료 유닛을 운반하도록 구성되는,
    자동 재료 핸들링 시스템.
  14. 삭제
  15. 삭제
  16. 삭제
  17. 삭제
  18. 삭제
  19. 삭제
  20. 삭제
  21. 삭제
  22. 삭제
  23. 삭제
  24. 삭제
  25. 삭제
  26. 삭제
  27. 자동 재료 핸들링 시스템으로서,
    오버헤드 트랙, 그 상부에 장착된 호이스트 그리퍼를 갖는 이동 부재 및 그리퍼 부분을 갖는 오버헤드 호이스트, 및 오버헤드 호이스트 수송 차량을 포함하는 오버헤드 호이스트 수송 서브시스템으로서, 상기 오버헤드 호이스트 수송 차량은 상기 오버헤드 트랙을 따라 다수의 위치들로 상기 오버헤드 호이스트를 운반하고 다수의 레벨들로 상기 오버헤드 호이스트를 승강 및 하강시키도록 구성 및 작동되며, 각각의 상기 레벨은 상기 트랙 위치들 중 하나 이상에 상응하는, 오버헤드 호이스트 수송 서브시스템; 및
    하나 이상의 재료 유닛을 저장하도록 구성되는 하나 이상의 재료 저장 위치로서, 상기 트랙의 제 1 측면 상의 미리 결정된 레벨에 배치되는 하나 이상의 재료 저장 위치;
    를 포함하고,
    상기 오버헤드 호이스트 수송 차량은, 상기 오버헤드 트랙을 따라 상기 이동 부재를 포함하는 상기 오버헤드 호이스트 및 상기 호이스트 그리퍼를 상기 재료 저장 위치에 인접한 제 1 트랙 위치로 운반하도록, 그리고 상기 재료 저장 위치의 미리 결정된 레벨에 근접하게 상기 이동 부재 및 상기 호이스트 그리퍼를 위치 설정하기 위해 상기 오버헤드 호이스트를 승강시키는 단계 및 하강시키는 단계 중 하나 이상을 수행하도록, 추가로 작동되고,
    상기 이동 부재는 적어도 상기 호이스트 그리퍼가 상기 재료 저장 위치의 레벨에 근접하게 위치되는 동안, 상기 오버헤드 트랙의 제 1 측면을 향해 측방향으로 연장됨으로써 상기 오버헤드 호이스트 수송 차량에 인접한 제 1 위치로부터 상기 재료 저장 위치에 인접한 제 2 위치로 상기 호이스트 그리퍼를 이동시키도록 구성 및 작동됨으로써, 상기 호이스트 그리퍼가 상기 재료 저장 위치로부터 하나 이상의 재료 유닛을 집거나 상기 재료 저장 위치에 하나 이상의 재료 유닛을 배치할 수 있도록 하며,
    상기 하나 이상의 재료 저장 위치는 상기 오버헤드 트랙의 제 1 측면 상의 미리 결정된 레벨에 배치된 제 1 재료 저장 위치, 및 상기 오버헤드 트랙의 제 2 측면 상의 미리 결정된 레벨에 배치된 제 2 재료 저장 위치를 포함하고, 상기 오버헤드 트랙의 제 2 측면은 상기 오버헤드 트랙의 제 1 측면에 대향하며,
    상기 이동 부재는 상기 오버헤드 트랙의 제 2 측면을 향해 측방향으로 연장됨으로써 상기 오버헤드 호이스트 수송 차량에 인접한 상기 제 1 위치로부터 상기 제 2 재료 저장 위치에 인접한 제 3 위치로 상기 호이스트 그리퍼를 이동시키도록 추가로 작동됨으로써, 상기 호이스트 그리퍼가 상기 제 2 재료 저장 위치로부터 하나 이상의 재료 유닛을 집거나 상기 제 2 재료 저장 위치에 하나 이상의 재료 유닛을 배치할 수 있도록 하는,
    자동 재료 핸들링 시스템.
  28. 삭제
  29. 삭제
  30. 삭제
  31. 삭제
  32. 삭제
  33. 삭제
  34. 삭제
  35. 삭제
  36. 삭제
  37. 삭제
  38. 삭제
  39. 삭제
  40. 삭제
  41. 삭제
  42. 삭제
  43. 삭제
  44. 삭제
  45. 삭제
  46. 삭제
  47. 삭제
  48. 삭제
  49. 삭제
  50. 삭제
  51. 삭제
  52. 삭제
  53. 삭제
  54. 삭제
  55. 삭제
  56. 삭제
  57. 삭제
  58. 삭제
  59. 삭제
  60. 삭제
  61. 삭제
  62. 삭제
  63. 삭제
  64. 삭제
  65. 삭제
  66. 삭제
  67. 삭제
  68. 삭제
  69. 삭제
  70. 삭제
  71. 삭제
  72. 삭제
  73. 삭제
  74. 삭제
  75. 삭제
  76. 삭제
  77. 삭제
  78. 삭제
  79. 삭제
  80. 삭제
  81. 삭제
  82. 삭제
  83. 삭제
  84. 삭제
  85. 삭제
  86. 삭제
  87. 삭제
  88. 삭제
  89. 삭제
  90. 삭제
  91. 삭제
  92. 삭제
  93. 삭제
  94. 삭제
  95. 삭제
  96. 삭제
  97. 삭제
  98. 삭제
  99. 삭제
  100. 삭제
  101. 삭제
  102. 삭제
  103. 삭제
  104. 삭제
  105. 삭제
  106. 삭제
  107. 삭제
  108. 삭제
  109. 삭제
  110. 삭제
  111. 삭제
  112. 삭제
  113. 삭제
  114. 삭제
  115. 삭제
  116. 삭제
  117. 삭제
  118. 삭제
  119. 삭제
  120. 삭제
  121. 삭제
  122. 삭제
  123. 삭제
KR1020057006248A 2002-10-11 2003-10-09 자동 재료 핸들링 시스템 KR100880291B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US41799302P 2002-10-11 2002-10-11
US60/417,993 2002-10-11

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020087020783A Division KR101323337B1 (ko) 2002-10-11 2003-10-09 자동 재료 핸들링 시스템

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20050072758A KR20050072758A (ko) 2005-07-12
KR100880291B1 true KR100880291B1 (ko) 2009-01-23

Family

ID=32094132

Family Applications (10)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020087020783A KR101323337B1 (ko) 2002-10-11 2003-10-09 자동 재료 핸들링 시스템
KR1020147014468A KR101515775B1 (ko) 2002-10-11 2003-10-09 오버헤드 호이스트를 탑재한 오버헤드 호이스트 수송 차량
KR1020147016337A KR101544699B1 (ko) 2002-10-11 2003-10-09 오버헤드 호이스트를 탑재한 오버헤드 호이스트 수송 차량
KR1020127021492A KR101475662B1 (ko) 2002-10-11 2003-10-09 오버헤드 호이스트를 탑재한 오버헤드 호이스트 수송 차량
KR1020137010807A KR101510614B1 (ko) 2002-10-11 2003-10-09 오버헤드 호이스트를 탑재한 오버헤드 호이스트 수송 차량
KR1020107004083A KR20100040746A (ko) 2002-10-11 2003-10-09 단일 트랙 위치로부터 오버헤드 호이스트 수송 차량에 의한 하나 이상의 재료 저장 선반 레벨로의 접근
KR1020057006248A KR100880291B1 (ko) 2002-10-11 2003-10-09 자동 재료 핸들링 시스템
KR1020137013825A KR101446511B1 (ko) 2002-10-11 2003-10-09 자동 재료 핸들링 시스템
KR1020127001230A KR20120026129A (ko) 2002-10-11 2003-10-09 오버헤드 호이스트를 탑재한 오버헤드 호이스트 수송 차량
KR1020137032375A KR101458520B1 (ko) 2002-10-11 2003-10-09 자동 재료 핸들링 시스템

Family Applications Before (6)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020087020783A KR101323337B1 (ko) 2002-10-11 2003-10-09 자동 재료 핸들링 시스템
KR1020147014468A KR101515775B1 (ko) 2002-10-11 2003-10-09 오버헤드 호이스트를 탑재한 오버헤드 호이스트 수송 차량
KR1020147016337A KR101544699B1 (ko) 2002-10-11 2003-10-09 오버헤드 호이스트를 탑재한 오버헤드 호이스트 수송 차량
KR1020127021492A KR101475662B1 (ko) 2002-10-11 2003-10-09 오버헤드 호이스트를 탑재한 오버헤드 호이스트 수송 차량
KR1020137010807A KR101510614B1 (ko) 2002-10-11 2003-10-09 오버헤드 호이스트를 탑재한 오버헤드 호이스트 수송 차량
KR1020107004083A KR20100040746A (ko) 2002-10-11 2003-10-09 단일 트랙 위치로부터 오버헤드 호이스트 수송 차량에 의한 하나 이상의 재료 저장 선반 레벨로의 접근

Family Applications After (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020137013825A KR101446511B1 (ko) 2002-10-11 2003-10-09 자동 재료 핸들링 시스템
KR1020127001230A KR20120026129A (ko) 2002-10-11 2003-10-09 오버헤드 호이스트를 탑재한 오버헤드 호이스트 수송 차량
KR1020137032375A KR101458520B1 (ko) 2002-10-11 2003-10-09 자동 재료 핸들링 시스템

Country Status (8)

Country Link
US (1) US10957569B2 (ko)
EP (2) EP1573778B1 (ko)
JP (1) JP4626302B2 (ko)
KR (10) KR101323337B1 (ko)
CN (1) CN1849251B (ko)
AU (1) AU2003284051A1 (ko)
TW (1) TWI302902B (ko)
WO (1) WO2004034438A2 (ko)

Families Citing this family (69)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2790210A3 (en) 2002-06-19 2014-12-31 Murata Machinery, Ltd. Automated material handling system
US20070092359A1 (en) * 2002-10-11 2007-04-26 Brooks Automation, Inc. Access to one or more levels of material storage shelves by an overhead hoist transport vehicle from a single track position
KR101323337B1 (ko) 2002-10-11 2013-10-30 무라타 기카이 가부시키가이샤 자동 재료 핸들링 시스템
JP4045451B2 (ja) * 2003-12-26 2008-02-13 村田機械株式会社 天井走行車システム
DE102004032659B4 (de) * 2004-07-01 2008-10-30 Atotech Deutschland Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum chemischen oder elektrolytischen Behandeln von Behandlungsgut sowie die Verwendung der Vorrichtung
JP4337683B2 (ja) * 2004-08-16 2009-09-30 村田機械株式会社 搬送システム
JP4221603B2 (ja) * 2005-03-31 2009-02-12 村田機械株式会社 天井走行車システム
JP4394027B2 (ja) * 2005-04-05 2010-01-06 村田機械株式会社 天井走行車システム
US7661919B2 (en) 2005-09-28 2010-02-16 Muratec Automation Co., Ltd. Discontinuous conveyor system
JP2009514235A (ja) * 2005-10-27 2009-04-02 アシスト テクノロジーズ インコーポレイテッド 水平方向配列ストッカ
US8267634B2 (en) * 2005-11-07 2012-09-18 Brooks Automation, Inc. Reduced capacity carrier, transport, load port, buffer system
US20080107507A1 (en) * 2005-11-07 2008-05-08 Bufano Michael L Reduced capacity carrier, transport, load port, buffer system
KR20140091768A (ko) * 2005-11-07 2014-07-22 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 반도체 작업대상물 공정처리 시스템
CN100435310C (zh) * 2005-12-19 2008-11-19 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 半导体制造用自动化物料运输系统
JP2007191235A (ja) * 2006-01-17 2007-08-02 Murata Mach Ltd 天井走行車システム
KR20140069354A (ko) 2006-08-18 2014-06-09 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 용량이 축소된 캐리어, 이송, 로드 포트, 버퍼 시스템
JP5041207B2 (ja) * 2006-11-14 2012-10-03 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP4849331B2 (ja) * 2006-11-14 2012-01-11 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP4277287B2 (ja) * 2006-11-27 2009-06-10 村田機械株式会社 天井走行車
JP2008195471A (ja) * 2007-02-09 2008-08-28 Daifuku Co Ltd 物品搬送設備
JP4389181B2 (ja) * 2007-03-07 2009-12-24 株式会社ダイフク 物品処理設備
JP4378655B2 (ja) * 2007-03-07 2009-12-09 株式会社ダイフク 物品処理設備
JP4378656B2 (ja) * 2007-03-07 2009-12-09 株式会社ダイフク 物品搬送設備
US20090067957A1 (en) * 2007-09-06 2009-03-12 Mitsuhiro Ando Transport system with buffering
JP4543338B2 (ja) 2007-11-13 2010-09-15 村田機械株式会社 天井走行車システムとそのバッファの施工方法
US7992734B2 (en) * 2008-01-11 2011-08-09 International Business Machines Corporation Semiconductor automation buffer storage identification system and method
US9633881B2 (en) 2008-02-05 2017-04-25 Brooks Automation, Inc. Automatic handling buffer for bare stocker
US9048274B2 (en) * 2008-12-08 2015-06-02 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Portable stocker and method of using same
KR100959505B1 (ko) * 2009-08-12 2010-05-27 (주) 엠에스피 반도체 웨이퍼 운송용 자동 로드버퍼
JP5445015B2 (ja) * 2009-10-14 2014-03-19 シンフォニアテクノロジー株式会社 キャリア移載促進装置
US8977387B2 (en) * 2009-10-29 2015-03-10 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. System and method for overhead cross-system transportation
JP5273118B2 (ja) * 2010-10-04 2013-08-28 村田機械株式会社 搬送車及び搬送システム
WO2012060291A1 (ja) * 2010-11-04 2012-05-10 ムラテックオートメーション株式会社 搬送システム及び搬送方法
JP5750926B2 (ja) * 2011-02-15 2015-07-22 村田機械株式会社 天井搬送車
JP5472209B2 (ja) * 2011-05-31 2014-04-16 株式会社ダイフク 物品搬送設備
US8888434B2 (en) * 2011-09-05 2014-11-18 Dynamic Micro System Container storage add-on for bare workpiece stocker
KR20130098688A (ko) * 2012-02-28 2013-09-05 삼성전자주식회사 호이스트 장치 및 이를 갖는 호이스트 시스템
US9558978B2 (en) * 2012-05-04 2017-01-31 Kla-Tencor Corporation Material handling with dedicated automated material handling system
PL2754357T4 (pl) * 2013-01-09 2019-04-30 Hauni Maschinenbau Gmbh Sposób sterowanego zapotrzebowaniem dostarczania do i odprowadzania z co najmniej dwóch stanowisk produkcyjnych w przemyśle przetwórstwa tytoniu pełnych i/lub pustych jednostek transportowych
US9852934B2 (en) 2014-02-14 2017-12-26 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Semiconductor wafer transportation
US10332770B2 (en) 2014-09-24 2019-06-25 Sandisk Technologies Llc Wafer transfer system
JP6048686B2 (ja) * 2014-09-25 2016-12-21 村田機械株式会社 一時保管装置と搬送システム及び一時保管方法
WO2016169694A1 (de) * 2015-04-22 2016-10-27 Integrated Dynamics Engineering Gmbh Serviceeinrichtung
SG11201801076VA (en) * 2015-08-14 2018-03-28 Murata Machinery Ltd Conveyance system
CN105173504A (zh) * 2015-09-29 2015-12-23 扬中中科维康智能科技有限公司 一种自动仓储机器人系统
CN105564442B (zh) * 2016-01-15 2018-03-02 彭红廷 空铁运输系统及空铁运输方法
KR102326782B1 (ko) * 2016-06-28 2021-11-17 무라다기카이가부시끼가이샤 오버헤드 제조, 프로세싱 및 스토리지 시스템
CN106743016B (zh) * 2016-12-29 2018-10-09 库控（上海）实业有限公司 一种机械化存取仓库
KR102037950B1 (ko) * 2017-08-17 2019-10-29 세메스 주식회사 웨이퍼 공급 모듈 및 이를 포함하는 다이 본딩 장치
US11027944B2 (en) * 2017-09-08 2021-06-08 Otis Elevator Company Climbing elevator transfer system and methods
JP6844715B2 (ja) * 2017-11-02 2021-03-17 村田機械株式会社 天井搬送車システム及び天井搬送車システムでの物品の一時保管方法
US11465840B2 (en) 2017-11-14 2022-10-11 Hai Robotics Co., Ltd. Handling robot
SG11202004495PA (en) * 2017-11-14 2020-06-29 Hai Robotics Co Ltd Handling robot and method for retrieving inventory item based on handling robot
US12103771B2 (en) 2017-11-14 2024-10-01 Hai Robotics Co., Ltd. Handling robot
US12006143B2 (en) * 2017-11-14 2024-06-11 Hai Robotics Co., Ltd. Handling robot
US11396424B2 (en) 2017-11-14 2022-07-26 Hai Robotics Co., Ltd. Handling robot
CN108423352A (zh) * 2017-12-16 2018-08-21 楚天科技股份有限公司 车间隐蔽式智能转运系统
US11437258B2 (en) * 2018-08-30 2022-09-06 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Workpiece storage system, method of storing workpiece, and method of transferring workpiece using the same
JP6814412B2 (ja) * 2018-10-23 2021-01-20 村田機械株式会社 搬送システム
US11597598B2 (en) 2019-02-01 2023-03-07 Hai Robotics Co., Ltd. Handling robot
US11542135B2 (en) 2019-02-01 2023-01-03 Hai Robotics Co., Ltd. Handling robot
KR102501706B1 (ko) * 2019-03-22 2023-02-17 무라다기카이가부시끼가이샤 반송차 시스템
KR102242361B1 (ko) 2019-12-10 2021-04-20 제닉스주식회사 이송 시스템 및 이것의 제어 방법
KR20220063853A (ko) 2020-11-10 2022-05-18 삼성전자주식회사 반송물 보관 장치
CN114823442A (zh) * 2021-01-27 2022-07-29 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 一种半导体自动化物料搬运系统
KR20230023301A (ko) 2021-08-10 2023-02-17 삼성전자주식회사 선반 이동 모듈을 갖는 스토리지 시스템
CN113467199B (zh) * 2021-09-06 2021-11-12 宁波润华全芯微电子设备有限公司 一种便于拆卸的防止反溅液体污染晶圆的装置
WO2023218757A1 (ja) * 2022-05-10 2023-11-16 村田機械株式会社 天井搬送車
EP4432336A1 (de) * 2023-02-23 2024-09-18 Fabmatics GmbH Shuttlelager und verfahren zum herstellen desselben

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1352947A (en) * 1917-10-29 1920-09-14 Jonathan P B Fiske Process for handling clay products
US4934767A (en) * 1986-05-16 1990-06-19 Thermco Systems, Inc. Semiconductor wafer carrier input/output drawer
US5628604A (en) * 1994-05-17 1997-05-13 Shinko Electric Co., Ltd. Conveying system
US6134482A (en) * 1997-10-15 2000-10-17 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Method and apparatus for controlling semiconductor wafer fabrication equipment based on a remaining process time applicable to the processors
US6183184B1 (en) * 1996-09-30 2001-02-06 Murata Machinery, Ltd. Work transport system

Family Cites Families (189)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US343293A (en) 1886-06-08 bowen
US328408A (en) 1885-10-13 isbell
US618318A (en) * 1899-01-24 Coin-case
US2317689A (en) 1941-04-21 1943-04-27 Earl B Spencer Underdrive for traveling cranes, monorails, and the like
US2827189A (en) 1955-10-27 1958-03-18 Robert N Sergeant Lift truck attachment for handling drums
US3049247A (en) 1956-04-10 1962-08-14 Jerome H Lemelson Automated storage
US3042227A (en) 1958-09-26 1962-07-03 Sea Land Service Shipboard freight container transferring apparatus
US3119501A (en) 1961-10-10 1964-01-28 Jerome H Lemelson Automatic warehousing system
US3422967A (en) 1965-10-24 1969-01-21 Peter A Aron Automatic manipulator and positioning system
US3467264A (en) 1966-07-19 1969-09-16 Euclid Crane & Hoist Co The Load transfer and storage mechanism
US3499554A (en) * 1968-02-21 1970-03-10 Commercial Affiliates Stacker crane and warehouse system and method for stacking and storing rolls of material
JPS4831521B1 (ko) 1968-05-07 1973-09-29
US3750804A (en) * 1969-03-07 1973-08-07 Triax Co Load handling mechanism and automatic storage system
US3531002A (en) * 1969-07-15 1970-09-29 Triax Co Automatic storage apparatus
US3583584A (en) 1969-08-18 1971-06-08 Mcneil Corp Warehousing
US3701442A (en) 1970-09-25 1972-10-31 Mcneil Corp Storage and retrieval apparatus
US3700121A (en) 1971-02-22 1972-10-24 Baker Perkins Inc Rack loading and unloading apparatus
US3762531A (en) * 1971-08-26 1973-10-02 Eaton Corp Load stacker
CH542137A (de) 1972-04-19 1973-09-30 Sperry Rand Corp Einrichtung zur Verriegelung und Kontrolle der Verriegelung von Behältern für den Transport auf Trägern in einer Artikelaufbewahrungsanlage
US3770137A (en) 1972-09-01 1973-11-06 I Slutsky Overhead transporter and reloader
US3968885A (en) 1973-06-29 1976-07-13 International Business Machines Corporation Method and apparatus for handling workpieces
US4088232A (en) * 1974-04-01 1978-05-09 Clark Equipment Co. Apparatus with storage cells disposed adjacent vertical shafts having covers and a lift means movable thereabove
US4190013A (en) * 1977-03-22 1980-02-26 Otis Roger W Floating dry storage facility for small boats
US4398630A (en) 1978-07-17 1983-08-16 Brems John Henry Workpiece vertical conveyor system
US4243147A (en) 1979-03-12 1981-01-06 Twitchell Brent L Three-dimensional lift
US4311427A (en) 1979-12-21 1982-01-19 Varian Associates, Inc. Wafer transfer system
US4457661A (en) 1981-12-07 1984-07-03 Applied Materials, Inc. Wafer loading apparatus
JPS5937205A (ja) 1982-08-25 1984-02-29 Hitachi Ltd 車室シ−ル装置
JPS5937205U (ja) * 1982-09-02 1984-03-08 株式会社ダイフク 棚設備
US4540326A (en) 1982-09-17 1985-09-10 Nacom Industries, Inc. Semiconductor wafer transport system
US4682927A (en) 1982-09-17 1987-07-28 Nacom Industries, Incorporated Conveyor system
US4642017A (en) 1982-09-30 1987-02-10 Amca International Corporation Automated in-process pipe storage and retrieval system
US4541769A (en) * 1983-07-18 1985-09-17 Twin City Monorail Stacker crane fork mounting system
US4668484A (en) 1984-02-13 1987-05-26 Elliott David J Transport containers for semiconductor wafers
EP0185829B1 (fr) 1984-12-27 1992-07-01 Institut De Recherches De La Construction Navale Installation automatisée de traitement d'objets de grandes dimensions
DE3504751A1 (de) 1985-02-08 1986-08-14 Bellheimer Metallwerk GmbH, 6729 Bellheim Umlaufregal
US4801236A (en) 1985-04-06 1989-01-31 Karl Mengele & Sohne Gmbh & Co. Mechanical inventory storage and delivery cabinet
JPH0227838Y2 (ko) 1985-08-23 1990-07-26
US4776744A (en) 1985-09-09 1988-10-11 Applied Materials, Inc. Systems and methods for wafer handling in semiconductor process equipment
US4816116A (en) 1985-10-24 1989-03-28 Texas Instruments Incorporated Semiconductor wafer transfer method and arm mechanism
SU1326512A1 (ru) 1986-03-25 1987-07-30 Предприятие П/Я М-5588 Устройство дл перемещени и перегрузки
US4756657A (en) * 1986-04-04 1988-07-12 Interlake, Inc. Stacker bin shuttle
US5083262A (en) 1986-04-28 1992-01-21 International Business Machines Corporation Language bindings for graphics functions to enable one application program to be used in different processing environments
JPH06104554B2 (ja) 1986-06-13 1994-12-21 村田機械株式会社 天井自走車
US5380139A (en) * 1986-06-30 1995-01-10 Kone Oy Load handling method and system
JPH0834235B2 (ja) 1986-07-31 1996-03-29 清水建設株式会社 ウエハの天吊移送ロボット
US4886412A (en) 1986-10-28 1989-12-12 Tetron, Inc. Method and system for loading wafers
GB2198406B (en) 1986-11-26 1990-12-12 Shinko Electric Co Ltd Railway carrier apparatus for semiconductor wafers
US4775281A (en) 1986-12-02 1988-10-04 Teradyne, Inc. Apparatus and method for loading and unloading wafers
US5080549A (en) 1987-05-11 1992-01-14 Epsilon Technology, Inc. Wafer handling system with Bernoulli pick-up
IT1222730B (it) * 1987-09-25 1990-09-12 Savio Spa Metodo ed apparecchio per la rimozione di bobine di filato e loro deposito in un carrello a pioli
JPH01285512A (ja) * 1988-05-12 1989-11-16 Murata Mach Ltd 自動倉庫の在庫管理システム
US5128912A (en) * 1988-07-14 1992-07-07 Cygnet Systems Incorporated Apparatus including dual carriages for storing and retrieving information containing discs, and method
US5064337A (en) 1988-07-19 1991-11-12 Tokyo Electron Limited Handling apparatus for transferring carriers and a method of transferring carriers
DE3825401A1 (de) 1988-07-22 1990-01-25 Bellheimer Metallwerk Gmbh Umlaufregal
US5536128A (en) 1988-10-21 1996-07-16 Hitachi, Ltd. Method and apparatus for carrying a variety of products
JPH02117506A (ja) 1988-10-24 1990-05-02 Itoki Kosakusho Co Ltd 自動保管検索装置
DE3906718A1 (de) * 1989-03-03 1990-09-06 Palitex Project Co Gmbh Transport- und handhabungssystem fuer vielstellen-textilmaschinen insbesondere zwirnmaschinen
JPH0818648B2 (ja) 1989-12-06 1996-02-28 日立造船株式会社 トンネルセグメントの一時保管・搬入設備
JPH03225847A (ja) 1990-01-30 1991-10-04 Mitsubishi Electric Corp ウエハカセツトストツカ
SE466246B (sv) 1990-12-14 1992-01-20 Volvo Ab Anordning foer oeverfoering av arbetsstycken fraan en maskin till en annan, foeretraedesvis pressar
JPH0577183A (ja) 1991-09-24 1993-03-30 Toshiba Corp ロボツトの制御装置
JP2548081Y2 (ja) 1992-01-13 1997-09-17 村田機械株式会社 クリーン搬送システム
JPH05186050A (ja) 1992-01-14 1993-07-27 Sumitomo Metal Mining Co Ltd 版材の吊り上げ移載装置
JP2576398Y2 (ja) † 1992-01-29 1998-07-09 川鉄マシナリー株式会社 橋形クレーン
JPH05278853A (ja) 1992-03-31 1993-10-26 Murata Mach Ltd 天井走行台車
JP2810592B2 (ja) 1992-07-06 1998-10-15 シャープ株式会社 ディジタル情報再生装置
JPH0653578A (ja) 1992-07-30 1994-02-25 I N R Kenkyusho:Kk レーザー装置
JPH0653835A (ja) 1992-08-03 1994-02-25 Mitsubishi Electric Corp Ｄ／ａ変換装置
JPH0661487A (ja) 1992-08-05 1994-03-04 Fuji Xerox Co Ltd 半導体装置及びその製造方法
JPH0653578U (ja) † 1992-12-22 1994-07-22 近藤 彰宏 荷役装置
SG42909A1 (en) * 1993-03-01 1997-10-17 Kawasaki Steel Co Fork system for stacker crane and method and apparatus for controlling the same
US5417537A (en) 1993-05-07 1995-05-23 Miller; Kenneth C. Wafer transport device
US5570990A (en) 1993-11-05 1996-11-05 Asyst Technologies, Inc. Human guided mobile loader stocker
JP3246642B2 (ja) * 1994-05-16 2002-01-15 特種製紙株式会社 段積みしたシート状包装体の自動ピッキング方法及び装置
JPH0817894A (ja) 1994-06-27 1996-01-19 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板表面処理装置
US5741109A (en) 1995-07-07 1998-04-21 Pri Automation, Inc. Wafer transfer system having vertical lifting capability
US5647718A (en) 1995-07-07 1997-07-15 Pri Automation, Inc. Straight line wafer transfer system
US5615988A (en) 1995-07-07 1997-04-01 Pri Automation, Inc. Wafer transfer system having rotational capability
US5738574A (en) 1995-10-27 1998-04-14 Applied Materials, Inc. Continuous processing system for chemical mechanical polishing
US5820237A (en) 1995-10-27 1998-10-13 Bellheimer Metallwerk Gmbh Vertical stacking system using controlled access method
US5751581A (en) 1995-11-13 1998-05-12 Advanced Micro Devices Material movement server
JP3669057B2 (ja) * 1996-06-03 2005-07-06 アシスト シンコー株式会社 ストッカへの搬送システム
JP3436334B2 (ja) * 1996-08-06 2003-08-11 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP3067656B2 (ja) * 1996-09-30 2000-07-17 村田機械株式会社 ワーク搬送システム
JP3067682B2 (ja) 1997-03-13 2000-07-17 村田機械株式会社 天井走行車システム
US6078845A (en) 1996-11-25 2000-06-20 Schlumberger Technologies, Inc. Apparatus for carrying semiconductor devices
JP2968742B2 (ja) 1997-01-24 1999-11-02 山形日本電気株式会社 自動保管棚及び自動保管方法
US6092978A (en) 1997-03-12 2000-07-25 Fishchersips, Inc. Alignment device used to manufacture a plurality of structural insulated panels
US5980183A (en) * 1997-04-14 1999-11-09 Asyst Technologies, Inc. Integrated intrabay buffer, delivery, and stocker system
JPH1116981A (ja) 1997-06-20 1999-01-22 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置
US6579052B1 (en) * 1997-07-11 2003-06-17 Asyst Technologies, Inc. SMIF pod storage, delivery and retrieval system
US5893795A (en) 1997-07-11 1999-04-13 Applied Materials, Inc. Apparatus for moving a cassette
US5993148A (en) 1997-07-22 1999-11-30 Micron Technology, Inc. Article transfer methods
JPH1159829A (ja) 1997-08-08 1999-03-02 Mitsubishi Electric Corp 半導体ウェハカセット搬送装置、半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ、ならびに半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ入庫作業制御方法、ストッカ出庫作業制御方法、自動搬送車制御方法、およびストッカ在庫照合方法
WO1999013495A2 (en) * 1997-09-12 1999-03-18 Novus Corporation Sealed cabinet for storage of semiconductor wafers
US6002840A (en) 1997-09-30 1999-12-14 Brooks Automation Inc. Substrate transport apparatus
JP3637947B2 (ja) * 1997-09-30 2005-04-13 株式会社ダイフク 搬送設備
US5947802A (en) 1997-11-05 1999-09-07 Aplex, Inc. Wafer shuttle system
EP2099061A3 (en) 1997-11-28 2013-06-12 Mattson Technology, Inc. Systems and methods for low contamination, high throughput handling of workpieces for vacuum processing
JPH11180505A (ja) 1997-12-22 1999-07-06 Murata Mach Ltd 有軌道台車システム
JPH11222122A (ja) 1998-02-03 1999-08-17 Shinko Electric Co Ltd 分岐軌道を備えた搬送設備
US6035245A (en) 1998-03-24 2000-03-07 Advanced Micro Devices, Inc. Automated material handling system method and arrangement
TW568879B (en) 1998-04-01 2004-01-01 Asyst Shinko Inc Suspension type hoist
JPH11349280A (ja) * 1998-06-05 1999-12-21 Shinko Electric Co Ltd 懸垂式搬送装置
US6102647A (en) 1998-06-26 2000-08-15 Intel Corporation Cart for transferring objects
JP2000016521A (ja) 1998-07-02 2000-01-18 Murata Mach Ltd 自動倉庫
JP2000053237A (ja) * 1998-08-07 2000-02-22 Shinko Electric Co Ltd 搬送設備
US7023440B1 (en) 1998-09-14 2006-04-04 Fisher Rosemount Systems, Inc. Methods and apparatus for integrated display of process events and trend data
US6604624B2 (en) * 1998-09-22 2003-08-12 Hirata Corporation Work conveying system
KR100646906B1 (ko) 1998-09-22 2006-11-17 동경 엘렉트론 주식회사 기판처리장치 및 기판처리방법
US20010014268A1 (en) 1998-10-28 2001-08-16 Charles S. Bryson Multi-axis transfer arm with an extensible tracked carriage
JP4221789B2 (ja) 1998-11-12 2009-02-12 アシスト テクノロジーズ ジャパン株式会社 ホイスト付天井走行搬送装置
US6068437A (en) 1998-11-24 2000-05-30 Lab-Interlink Automated laboratory specimen organizer and storage unit
JP2000161457A (ja) † 1998-11-30 2000-06-16 Shinko Electric Co Ltd 直進／回転機構
US6283692B1 (en) * 1998-12-01 2001-09-04 Applied Materials, Inc. Apparatus for storing and moving a cassette
JP3375907B2 (ja) 1998-12-02 2003-02-10 神鋼電機株式会社 天井走行搬送装置
US6240335B1 (en) 1998-12-14 2001-05-29 Palo Alto Technologies, Inc. Distributed control system architecture and method for a material transport system
US6481558B1 (en) 1998-12-18 2002-11-19 Asyst Technologies, Inc. Integrated load port-conveyor transfer system
JP2000188316A (ja) 1998-12-24 2000-07-04 Hitachi Ltd 搬送方法および装置ならびにそれを用いた半導体装置の製造方法
DE19900804C2 (de) 1999-01-12 2000-10-19 Siemens Ag Fördersystem
US6356256B1 (en) 1999-01-19 2002-03-12 Vina Technologies, Inc. Graphical user interface for display of statistical data
JP4267742B2 (ja) 1999-03-12 2009-05-27 平田機工株式会社 天井搬送装置及びこれを用いた物流ラインシステム
US6304051B1 (en) 1999-03-15 2001-10-16 Berkeley Process Control, Inc. Self teaching robotic carrier handling system
JP4288747B2 (ja) 1999-04-01 2009-07-01 シンフォニアテクノロジー株式会社 搬送装置
DE19921072A1 (de) * 1999-05-08 2000-11-09 Acr Automation In Cleanroom Einrichtung zum Handhaben von Substraten innerhalb und außerhalb eines Reinstarbeitsraumes
US6361422B1 (en) 1999-06-15 2002-03-26 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for transferring semiconductor substrates using an input module
TW466153B (en) 1999-06-22 2001-12-01 Applied Materials Inc Method and apparatus for measuring a pad profile and closed loop control of a pad conditioning process
JP2001031216A (ja) † 1999-07-26 2001-02-06 Murata Mach Ltd 搬送システム
US6308818B1 (en) 1999-08-02 2001-10-30 Asyst Technologies, Inc. Transport system with integrated transport carrier and directors
EP1079421A1 (en) 1999-08-12 2001-02-28 Semiconductor 300 GmbH & Co. KG Overhead transport system for open cassette transport
JP3769425B2 (ja) 1999-09-21 2006-04-26 シャープ株式会社 電子部品の製造装置および電子部品の製造方法
US7330886B2 (en) 1999-10-27 2008-02-12 American Power Conversion Corporation Network appliance management
JP3458083B2 (ja) 1999-11-17 2003-10-20 株式会社半導体先端テクノロジーズ 基板収納治具搬送システム
JP3716693B2 (ja) * 1999-12-06 2005-11-16 株式会社ダイフク 荷保管設備
JP2001171970A (ja) 1999-12-20 2001-06-26 Tsubakimoto Chain Co 天井走行搬送車におけるワーク旋回方法
DE50009310D1 (de) 2000-01-29 2005-02-24 Abb Research Ltd System und verfahren zur ermittlung der produktionsanlagen-effektivität, von fehlerereignissen und der fehlerursachen
US6421571B1 (en) 2000-02-29 2002-07-16 Bently Nevada Corporation Industrial plant asset management system: apparatus and method
JP2001242978A (ja) 2000-03-02 2001-09-07 Yokogawa Electric Corp グラフ上のデータの属性を表示する方法および装置
TW514618B (en) * 2000-04-12 2002-12-21 Samsung Electronics Co Ltd A transfer system and apparatus for workpiece containers and method of transferring the workpiece containers using the same
US20020025244A1 (en) 2000-04-12 2002-02-28 Kim Ki-Sang Transfer system and apparatus for workpiece containers and method of transferring the workpiece containers using the same
US6303398B1 (en) 2000-05-04 2001-10-16 Advanced Micro Devices, Inc. Method and system of managing wafers in a semiconductor device production facility
US6564120B1 (en) * 2000-05-11 2003-05-13 Cryo-Cell International, Inc. Storage system, particularly with automatic insertion and retrieval
US6364593B1 (en) 2000-06-06 2002-04-02 Brooks Automation Material transport system
US6450318B1 (en) 2000-06-16 2002-09-17 Tec Engineering Corporation Overhead monorail system
US6530735B1 (en) 2000-06-22 2003-03-11 Amkor Technology, Inc. Gripper assembly
US6695120B1 (en) * 2000-06-22 2004-02-24 Amkor Technology, Inc. Assembly for transporting material
EP1202325A1 (en) 2000-10-25 2002-05-02 Semiconductor300 GmbH & Co KG Arrangement for transporting a semiconductor wafer carrier
US6677690B2 (en) * 2001-02-02 2004-01-13 Asyst Technologies, Inc. System for safeguarding integrated intrabay pod delivery and storage system
TW522292B (en) 2001-02-06 2003-03-01 Asml Us Inc Inertial temperature control system and method
JP3514312B2 (ja) * 2001-03-07 2004-03-31 株式会社半導体先端テクノロジーズ ウェハ搬送装置
JP2002270662A (ja) 2001-03-09 2002-09-20 Semiconductor Leading Edge Technologies Inc 基板処理装置、基板処理システム及び基板搬送方法
US6519502B2 (en) 2001-03-28 2003-02-11 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd Apparatus and method for positioning a cassette pod onto a loadport by an overhead hoist transport system
US6453574B1 (en) 2001-03-28 2002-09-24 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd Method for aligning a cassette pod to an overhead hoist transport system
US20020187024A1 (en) * 2001-06-12 2002-12-12 Applied Materials, Inc. Apparatus for storing and moving a carrier
US20020197136A1 (en) 2001-06-21 2002-12-26 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Method and apparatus for aligning the loading/unloading of a wafer cassette to/from a loadport by an overhead hoist transport system
US6904561B1 (en) 2001-07-19 2005-06-07 Microsoft Corp. Integrated timeline and logically-related list view
JP2003188229A (ja) * 2001-12-18 2003-07-04 Hitachi Kasado Eng Co Ltd ウエハ製造システムおよびウエハ製造方法
US6775918B2 (en) 2002-02-06 2004-08-17 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd Wafer cassette pod equipped with position sensing device
US6726429B2 (en) 2002-02-19 2004-04-27 Vertical Solutions, Inc. Local store for a wafer processing station
US6812926B1 (en) 2002-02-26 2004-11-02 Microsoft Corporation Displaying data containing outlying data items
US6923612B2 (en) * 2002-03-29 2005-08-02 TGW Transportgeräte GmbH & Co. KG Load-handling system and telescopic arm therefor
US6715978B2 (en) 2002-04-22 2004-04-06 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd Interbay transfer interface between an automated material handling system and a stocker
US6881020B2 (en) 2002-04-26 2005-04-19 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd Pod transfer system having retractable mast and rotatable and vertically movable hoist
EP2790210A3 (en) 2002-06-19 2014-12-31 Murata Machinery, Ltd. Automated material handling system
US20040191032A1 (en) 2002-07-19 2004-09-30 R. Foulke Development Company, Llc Bi-directional arm and storage system
US7570262B2 (en) 2002-08-08 2009-08-04 Reuters Limited Method and system for displaying time-series data and correlated events derived from text mining
US6748282B2 (en) 2002-08-22 2004-06-08 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd Flexible dispatching system and method for coordinating between a manual automated dispatching mode
KR101323337B1 (ko) 2002-10-11 2013-10-30 무라타 기카이 가부시키가이샤 자동 재료 핸들링 시스템
US20040101386A1 (en) 2002-11-22 2004-05-27 Bellheimer Metallwerk Gmbh Vertical carousel with top and side access stations
SE524799C2 (sv) 2002-11-29 2004-10-05 Zealcore Embedded Solutions Ab Förfarande och dataprogram för debuggning av en programkod
JP3991852B2 (ja) 2002-12-09 2007-10-17 村田機械株式会社 天井搬送車システム
JP4045451B2 (ja) 2003-12-26 2008-02-13 村田機械株式会社 天井走行車システム
US7292245B2 (en) 2004-01-20 2007-11-06 Sensitron, Inc. Method and apparatus for time series graph display
US7446769B2 (en) 2004-02-10 2008-11-04 International Business Machines Corporation Tightly-coupled synchronized selection, filtering, and sorting between log tables and log charts
US7565417B2 (en) 2004-05-20 2009-07-21 Rowady Jr E Paul Event-driven financial analysis interface and system
US20060074598A1 (en) 2004-09-10 2006-04-06 Emigholz Kenneth F Application of abnormal event detection technology to hydrocracking units
US7689918B2 (en) 2005-07-19 2010-03-30 Cisco Technology, Inc. Graphical indicator for the multiplexed display of line graph information
US20080313560A1 (en) 2005-09-16 2008-12-18 Dalal Pankaj B Financial Decision Systems
US7746887B2 (en) 2006-04-12 2010-06-29 Siemens Industry, Inc. Dynamic value reporting for wireless automated systems
US8113844B2 (en) 2006-12-15 2012-02-14 Atellis, Inc. Method, system, and computer-readable recording medium for synchronous multi-media recording and playback with end user control of time, data, and event visualization for playback control over a network
JP5088468B2 (ja) 2007-03-09 2012-12-05 村田機械株式会社 懸垂式搬送台車を用いた搬送システム
US7767767B2 (en) 2007-10-01 2010-08-03 Equistar Chemicals, Lp Modification of polyethylene with ozone
US7805320B2 (en) 2008-01-10 2010-09-28 General Electric Company Methods and systems for navigating a large longitudinal dataset using a miniature representation in a flowsheet
US8271892B2 (en) 2008-07-02 2012-09-18 Icharts, Inc. Creation, sharing and embedding of interactive charts
US8269620B2 (en) 2008-12-19 2012-09-18 Honeywell Internatonal Inc. Alarm trend summary display system and method
JP2011115010A (ja) 2009-11-30 2011-06-09 Sinfonia Technology Co Ltd 電気機器
JP5537245B2 (ja) 2010-04-28 2014-07-02 株式会社ミクニ 冷却液調整弁
JP2014003564A (ja) 2012-06-21 2014-01-09 Panasonic Corp 電子機器と、それを搭載した移動装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1352947A (en) * 1917-10-29 1920-09-14 Jonathan P B Fiske Process for handling clay products
US4934767A (en) * 1986-05-16 1990-06-19 Thermco Systems, Inc. Semiconductor wafer carrier input/output drawer
US5628604A (en) * 1994-05-17 1997-05-13 Shinko Electric Co., Ltd. Conveying system
US6183184B1 (en) * 1996-09-30 2001-02-06 Murata Machinery, Ltd. Work transport system
US6134482A (en) * 1997-10-15 2000-10-17 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Method and apparatus for controlling semiconductor wafer fabrication equipment based on a remaining process time applicable to the processors

Also Published As

Publication number Publication date
KR101458520B1 (ko) 2014-11-07
CN1849251A (zh) 2006-10-18
KR101446511B1 (ko) 2014-10-07
EP1573778B1 (en) 2013-06-05
EP1573778A3 (en) 2005-11-23
KR101510614B1 (ko) 2015-04-10
KR101544699B1 (ko) 2015-08-18
KR20130061774A (ko) 2013-06-11
JP2006515256A (ja) 2006-05-25
JP4626302B2 (ja) 2011-02-09
EP1573778A2 (en) 2005-09-14
KR20140085603A (ko) 2014-07-07
KR20080089666A (ko) 2008-10-07
KR20140076639A (ko) 2014-06-20
US20040126208A1 (en) 2004-07-01
WO2004034438A2 (en) 2004-04-22
KR20100040746A (ko) 2010-04-20
WO2004034438A3 (en) 2005-10-06
US10957569B2 (en) 2021-03-23
AU2003284051A1 (en) 2004-05-04
EP2615625B1 (en) 2014-04-23
KR20120112800A (ko) 2012-10-11
KR101323337B1 (ko) 2013-10-30
TW200415095A (en) 2004-08-16
EP2615625B2 (en) 2017-05-31
KR20050072758A (ko) 2005-07-12
KR101515775B1 (ko) 2015-04-29
AU2003284051A8 (en) 2004-05-04
EP1573778A4 (en) 2011-09-28
TWI302902B (en) 2008-11-11
KR20120026129A (ko) 2012-03-16
KR20130049838A (ko) 2013-05-14
CN1849251B (zh) 2012-04-18
KR101475662B1 (ko) 2014-12-24
EP2615625A1 (en) 2013-07-17
KR20130139383A (ko) 2013-12-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100880291B1 (ko) 자동 재료 핸들링 시스템
KR100882376B1 (ko) 수직형 회전저장선반 및 오버헤드 호이스트의 조합에 기초한 반도체 제조용 자동식 재료 처리 시스템
JP5333997B2 (ja) 自動材料搬送システム、及び自動材料搬送システムを操作する方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
AMND Amendment
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
A107 Divisional application of patent
AMND Amendment
J201 Request for trial against refusal decision
B701 Decision to grant
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121105

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131205

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150109

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160108

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170106

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180105

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190107

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200103

Year of fee payment: 12