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JP2968742B2 - 自動保管棚及び自動保管方法 - Google Patents

自動保管棚及び自動保管方法

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JP2968742B2
JP2968742B2 JP9011078A JP1107897A JP2968742B2 JP 2968742 B2 JP2968742 B2 JP 2968742B2 JP 9011078 A JP9011078 A JP 9011078A JP 1107897 A JP1107897 A JP 1107897A JP 2968742 B2 JP2968742 B2 JP 2968742B2
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圭一 安藤
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NEC Yamagata Ltd
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    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/66—Containers specially adapted for masks, mask blanks or pellicles; Preparation thereof
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
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    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/137—Storage devices mechanical with arrangements or automatic control means for selecting which articles are to be removed
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
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    • G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
    • G03F7/70741—Handling masks outside exposure position, e.g. reticle libraries
    • H—ELECTRICITY
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    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769—Storage means
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S414/00—Material or article handling
    • Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
    • Y10S414/14—Wafer cassette transporting

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  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置の製造
工程における処理されるウェハや露光装置のレチクルな
どの複数の板状のワークを収納する搬送用の収納キャリ
アを収納ボックスに入れこの収納ボックスを保管棚に入
出庫させる自動保管棚及び自動保管方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】通常、半導体製造ラインでは、半導体素
子の微細化及び高集積化に伴ないワークであるウェハへ
の塵埃付着を極力防止するために、ラインの製造装置で
ウェハが処理する直前までウェハを収納するウェハキャ
リアを収納ボックスに入れ外気から遮断して保管を行な
っていた。また、人体から発塵する埃を避けるために、
収納ボックスの開口の開閉やウェハキャリアの搬送は人
が介在しないように自動化されていた。このように埃の
付着を嫌う露光装置のレチクルも同様な保管管理がなさ
れていた。ここでは、ウェハに限定して説明する。
【０００３】図６は従来の自動保管棚及び自動保管方法
の一例を説明するための斜視図である。従来、この種の
保管棚への入出庫方法は、例えば、図６に示すように、
前工程で処理が終了したウェハを収納するウェハキャリ
ア６は次の処理を行なうまでの間、収納ボックス１に入
れられた状態で保管棚８内に収納して保管していた。ま
た、次の工程の処理を行なうために、保管棚８から出庫
する際には、収納ボックス１からウェハキャリア６を取
出し、ウェハキャリア６は搬送車１１にて次の製造装置
に運ばれ製造装置のステーションに移載していた。
【０００４】なお、製造装置１２で処理されたウェハを
収納するウェハキャリア６は、搬送車１１にて保管棚８
に運ばれ保管棚８の入庫口１３の手前のステーションに
移載され、収納ボックス１にウェハキャリア６が収めら
れてから保管棚８内に搬送され、図示してないスタッカ
クレーンにより保管棚８の所定の棚部に移載され保管さ
れる。
【０００５】また、ウエハが処理済みで保管棚８に入庫
されたウェハキャリア６を次の工程の保管棚へ搬送する
場合は、スタッカクレーンにより保管棚８からウェハキ
ャリアを収納する収納ボックスを取り出し、出庫口１４
のステーションに収納ボックスを移載し、開閉機構７に
よりケース３を取り除き、ウェハキャリア６を露呈させ
る。そして、搬送車１１のロボットアームによりウェハ
キャリア６が搬送車１１の荷台に移載され、次工程に搬
送される。
【０００６】このウェハキャリアの搬送が行なわれると
同時に開閉機構３が動作しケース３を台２に載置し空の
状態の収納ボックスに組立てる。組立てられた空の収納
ボックスは保管棚８内のスタッカクレーンのフォークに
拾われ、出庫口１４から保管棚８内に搬送され所定の棚
に収納される。
【０００７】このように、比較的に短い時間で搬送され
るウェハキャリア６は、埃が付く機会が少ないのでウェ
ハキャリア６を裸の状態で搬送しているが、長時間停留
する保管棚８内のウェハキャリア６は、埃がウェハに付
着しないように収納ボックス１に入れた状態で保管棚に
収納され保管されていた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年、
半導体装置はカスタムＩＣなどのように多品種少量生産
の傾向となり、一ロットに対するウェハ枚数が減少し、
例えば、一つのウェハキャリアに対しウェハ枚数が１乃
至３枚程度といった極めて少ない枚数のウェハを収納す
るに至った。このため上述した従来の自動保管棚では以
下に述べる問題点が生ずる結果となった。
【０００９】まず、第１の問題点としては、小ロットの
ＩＣを作製するのに、ウェハキャリアに収納するウェハ
の枚数が減じるので、一ウェハキャリア当りの製造装置
による処理時間が極端に短くなる。その結果、ウェハキ
ャリアの単位時間当りの搬送回数が増大し、保管棚の能
力を圧迫する。保管棚の能力不足を解消するために、保
管棚の台数増加が必要になってくるが、製造装置間のス
ペース間に限りがあり、設置できないことになる。
【００１０】また、第２の問題として、スタッカクレー
ンによる空の収納ボックスの保管棚の入出庫口への搬送
及び棚への受渡し動作時間が含むので、ウェハキャリア
の搬送時間が短いのに対し保管棚内の搬送時間が長くか
かり、保管棚の前にウェハキャリアが渋滞し、裸のまま
放置されたウェハに塵埃が付着する機会が増加し品質に
重大な欠陥をもたらす。
【００１１】さらに、第３の問題として、この渋滞のた
めに、工程内に仕掛かり残が増加し、製造能力を低下さ
せリードタイムを悪化させるとともに製造装置が稼働率
が低下し生産効率を悪化させることになる。。
【００１２】従って、本発明の目的は、保管棚を増加さ
せることなくかつワークを収納する収納キャリアの渋滞
の無く円滑に収納ボックスの入出庫が行なえる自動保管
棚およひ自動保管方法を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、搬送車
で搬送されるとともに複数枚の板状ワークを一方向に並
べて収納する箱状のキャリアを収納する収納ボックスを
入庫し一時的に保管してから再び前記収納ボックスから
前記キャリアを取出し前記搬送車に移載して出庫する自
動保管棚において、前記収納ボックスが出入りする入出
庫口を有するとともに前記収納ボックスが収納される複
数の棚部を具備する保管棚と、この保管棚の該入出庫口
と前記保管棚内を走行し前記棚部に前記収納ボックスを
移載したり取出したりして前記収納ボックスを搬送する
スタッカクレーンと、前記入出庫口の前に停留する前記
収納ボックスを開閉する開閉機構と、予じめ設定された
前記収納ボックスの入出庫スケジュールに基づき前記ス
タッカクレーンを動作させ前記収納ボックスの入庫ある
いは出庫を行ないかつ空の収納ボックスは前記保管棚内
に戻すことなく前記入出庫口の前に前記空の収納ボック
スを停留させる制御部とを備える自動保管棚である。
【００１４】また、前記空の収納ボックスの収納すべき
前記棚部が前記入出庫口に近い前記保管棚内にあること
が望ましい。前記ワークが半導体基板であるウェハであ
るかあるいは露光装置のレチクルである。
【００１５】本発明の他の特徴は、搬送車で搬送される
とともに複数枚の板状ワークを一方向に並べて収納する
箱状のキャリアを収納する収納ボックスが出入りする入
出庫口を有するとともに前記収納ボックスが収納される
複数の棚部を具備する保管棚と、この保管棚の該入出庫
口と前記保管棚内を走行し前記棚部に前記収納ボックス
を移載したり取出したりして前記収納ボックスを搬送す
るスタッカクレーンと、前記入出庫口の前に停留する前
記収納ボックスを開閉する開閉機構とを備える自動保管
棚において、予じめ設定された前記収納ボックスの入出
庫スケジュールに基づき搬送されてくる前記キャリアを
予じめ前記入出庫口の前に置かれた空の収納ボックスに
収納し、前記キャリアを収納した該収納ボックスを前記
保管棚に収納してから、前記保管棚に保管されていた他
の収納ボックスを前記スタッカクレーンで取出し前記入
出庫口に搬送し、前記開閉機構により前記他の収納ボッ
クスを開け前記キャリアを取出し、空になった前記他の
収納ボックスを前記入出庫口の前に残す自動保管方法で
ある。また、前記入出庫口の前に残された空になった前
記他の収納ボックスに搬送されてくる他の前記キャリア
を収納し、しかる後に前記スタッカクレーンにより前記
保管棚に入れ保管するステップを含むことが望ましい。
【００１６】
【発明の実施の形態】次に、本発明について図面を参照
して説明する。
【００１７】図１（ａ）および（ｂ）は本発明の自動保
管棚の一実施の形態を説明するための斜視図および模式
断面図である。この自動保管棚は、図１に示すように、
ウェハキャリア６を入れる収納ボックス１が収納される
棚部１７の複数が上下左右に配置される密閉構造の長尺
な保管棚８と、処理済みのウェハが入られたウェハキャ
リア６が搬送車１１で搬送され台２を介して移載される
保管棚８の入出庫口１５のステージ１８と、保管棚８内
を長尺方向に往復走行し上下動して任意の棚部１７への
収納ボックス１の受け渡しを行なうフォークを具備する
スタッカクレーン１６と、ステージ１８に移載される収
納ボックス１のケース３を開けたりあるいはウェハキャ
リア６にケース３を被せたりし収納ボックス１を開閉す
る開閉機構７と、図面には示さないが、ウェハキャリア
６を入出庫口１５から保管棚８のいずれかの棚部１７の
収納ボックス１を出庫させるかあるいは製造装置から入
出庫口１５へウェハキャリア６を搬送させいずれかの保
管棚８の棚部１７に入庫するかを予じめ設定される入出
庫スケジュールに基づき開閉機構７およびスタッカクレ
ーン１６の動作を制御する制御部とを備えている。
【００１８】保管棚８は、スタッカクレーン１６が走行
する中央部分の両側に複数の棚部１７が上下左右に配置
されている。これら棚部１７の位置は指定の製造装置に
分けられている。従って、スタッカクレーン１６の走行
距離を出来るだけ短くするために、製造装置の指定の頻
度が多い棚部１７は入出庫口１５に近い位置の棚部１７
に配置することが望ましい。また、入出庫口１４の開閉
機構により開閉される収納ボックス１以外に清浄化され
た余分の収納ボックス１ａを入出庫口１４に近い位置の
棚部１７に収納することが望ましい。また、ステージ１
８に台２が有るか否かを検知するセンサを設け、入出庫
口１５の前に空の収納ボックスが停留しているか否かを
確認する。さらに、ケース３が開いているか否かは、開
閉機構７のセンサで確認する。
【００１９】図２（ａ）および（ｂ）は図１の自動保管
棚への収納ボックスの入出庫動作のみを説明するための
フローチャートである。次に、自動保管棚における収納
ボックスの出庫動作を図１および図２（ａ）を参照して
説明する。まず、図２（ａ）のステップＡで、図１の入
出庫口１４のステージ１８に空の収納ボックスの有無を
判定する。もし、収納ボックスが無ければ、図２（ａ）
のステップＤで、図１のスタッカクレーン１６で所定の
棚部１７から収納ボックス１を取り出し入出庫口１５に
搬送しステージ１８に移載する。そして、ステップＥ
で、開閉機構７を動作させケース３を開き、引続きステ
ップＦで、搬送車１１のアームで台２からウェハキャリ
ア６を搬送車１１の荷台に移載する。もし、ステップＡ
で空の収納ボックスが有れば、ステップＢで、開閉機構
７によりケース３により台２を閉じ、ステップＣで、空
の収納ボックス１ａをスタッカクレーン１６で保管棚８
内に入れ所定の棚部１７に収納する。
【００２０】また、保管棚８に入庫する際は、図２
（ｂ）のステップＡで、図１の入出庫口１５の前のステ
ージ１８に空の収納ボックスが有るか無いかを判定す
る。この判定で、空の収納ボックスが無ければ、ステッ
プＢで、保管棚８の所定の棚部１７からスタッカクレー
ン１６により空の収納ボックス１ａを取出し、入出庫口
１５のステージ１８へ搬送する。そして、ステップＣ
で、開閉機構７により空の収納ボックスのケース３が持
ち上げられる。また、ステップＡで、ケース３が開かれ
ている状態の空の収納ボックスが有る場合は、すぐにス
テップＤに進み、搬送車１１で運ばれてくるウェハキャ
リア６を台２に移載する。そして、ステップＥで、ケー
ス３を閉じ、ステップＦで、ウェハキャリア６を収納す
る収納ボックス１をスタッカクレーン１６により保管棚
８の所定の棚部１７に移載する。
【００２１】このように、一つの入出庫口を保管棚に設
け、必ず出庫後には入出庫口１５の前に空の収納ボック
スを停留させ、保管棚への入庫および出庫を分けて動作
させることによって、一つのスタッカクレーンを有効に
動作させ、入出庫動作の効率を上げることができる。
【００２２】図３は図１の自動保管棚への収納ボックス
の入出庫スケジュールである搬送要求テーブルを示す
表、図４は図３の搬送要求テーブルに基づく動作を説明
するためのフローチャートである。前述の入出庫動作に
おいては、単に入出庫口１５に空の収納ボックスがある
ことを前提として行なっていたが、さらに、実際の入出
庫動作を図１、図３および図４を参照して説明する。
【００２３】まず、図４のステップＡで、制御部（図示
せず）の設定記憶部に入出庫スケジュールである図３の
搬送要求テーブルが登録されているか否かを判定する。
もし、登録されていなければ、何の動作も行なわず搬送
要求が登録されるまで待つ。搬送要求が登録されていれ
ば、ステップＢに進み、図１の入出庫口１５の前に空の
収納ボックスが有るか否かを確認する。もし有れば、ス
テップＤにより、図３の搬送要求テーブルから入庫要求
を検索する。引続きステップＥにより入庫要求の有無を
調べる。ここで、図３の搬送要求テーブルから、例え
ば、登録番号３，４，５のように有れば、ステップＨに
進み、登録番号の小さい番号の入庫要求を選びウェハキ
ャリアを搬送させ収納ボックスの入庫を、図２（ｂ）に
示すように、開始する。
【００２４】また、ステップＥで、図３の搬送要求テー
ブルに入庫要求が無い場合は、ステップＧに進み、図２
（ａ）で示したフローチャートのように動作させ、ウェ
ハキャリアを収納する収納ボックス１を出庫させる。一
方、ステップＢで、空の収納ボックスが入出庫口１５に
無い場合は、ステップＣに進み、図３の搬送要求テーブ
ルを検索し、ステップＦで出庫要求の有無を調べる。そ
して、出庫要求が、登録番号１，２，６のように有れ
ば、登録の早い番号の出庫要求を選びステップＧで図２
（ａ）に示す動作で収納ボックスを出庫する。また、登
録番号が無ければ、ステップＨに進み、図２（ｂ）のよ
うに収納ボックスの入庫動作を行なう。
【００２５】このように、空の収納ボックスが入出庫口
１５の前に存在するか否かを確認し、有無によって入庫
あるいは出庫を決めることにより不必要な空の収納ボッ
クスの搬送動作が無くなり、保管棚８内での搬送効率が
挙がるという利点がある。
【００２６】図５（ａ）および（ｂ）は図１の自動保管
棚へのウェハキャリアの入出庫動作である自動保管方法
の実施の形態を説明するためのフローチャートである。
この入出庫動作による自動保管方法は、まず、図５
（ａ）のステップＡで、図１の入出庫口１５の前に空の
収納ボックスの有無を確認する。もし、有れば、ステッ
プＢに進み、図３の搬送要求テーブルに入庫要求を検索
する。次に、搬送要求テーブルに入庫要求が有れば、ス
テップＤおよびステップＥと進み、図１の製造装置から
搬送車１１に乗せ送られてくるウェハキャリア６を空の
収納ボックスの台２に移載する。そして、ステップＦお
よびＧで、ウェハキャリア６を載置する台２にケース３
を被せ、スタッカクレーン１６より収納ボックス１を保
管棚に入れ棚部１７に収納する。
【００２７】もし、ステップＣで入庫要求が無ければ、
ステップＦおよびＧで、空の収納ボックスを閉じ、スタ
ッカクレーン１６で空の収納ボックスを保管棚８内に入
れ、収納ボックスを所定の棚部１７に収納する。空の収
納ボックスあるいはウェハキャリアを収納する収納ボッ
クス１が棚部１７に載置されたら、ステップＨで、図３
の登録番号の早い番号の出庫要求の収納ボックスをスタ
ッカクレーン１６で取出し入出庫口１５に搬送する。そ
して、ステップＩおよびステップＪにより、入出庫口１
５の前に載置された収納ボックス１のケース３を開閉機
構７で開け、台２上のウェハキャリア６を搬送車１１に
移載する。
【００２８】また、ステップＡで、入出庫口１５に空の
収納ボックスが無いときは、ステップＨにジャンプし、
保管棚８の棚部１７に収納された若い登録番号の収納ボ
ックス１をスタッカクレーンで取出し入出庫口１５に搬
送し、ケース３を開け、ウェハキャリア６を搬送車に移
載する。
【００２９】このように、ステップＣで入庫要求が有れ
ば、出庫動作を一時中断し入庫動作を行なうことによっ
て、入出庫口１５にある空の収納ボックスにウェハキャ
リアを収納した状態で保管棚８に収納でき、空の状態の
収納ボックスの保管棚８への搬送の必要が無くなる。一
方、空の収納ボックスが無い場合でも、出庫によって空
の収納ボックスが入出庫口に残されるので、保管棚８か
ら空の収納ボックスを取出す必要が無くなり、極めて円
滑に収納ボックスの入出庫が行なわれる。
【００３０】次に、図１および図５（ｂ）を参照して入
出庫動作による他の自動保管方法を説明する。まず、図
５（ｂ）のステップＡで、図１の製造装置１２から搬送
車１１にウェハキャリア６が乗せられ入出庫口１５に送
られてくる。次に、ステップＢで、入出庫口１５のステ
ージ１８に空の収納ボックスが有るか否かを判定する。
もし、無ければ、ステップＣで図３の搬送要求テーブル
から出庫要求を検索する。そして、ステップＤで出庫要
求が有れば、ステップＥで、出庫要求の登録番号の収納
ボックスをスタッカクレーン１６で取出し入出庫口１５
に搬送する。そして、ステップＦおよびＧで、ステージ
１８上の収納ボックスのケース３を開き、ウェハキャリ
ア６を搬送車１１に移載する。そして、ステップＫおよ
びＬならびにＭにより、入出庫口１５の前に残された台
２にウェハキャリア６を移載し、ケース３を被せ保管棚
８の棚部１７に収納ボックス１を収納する。
【００３１】もし、ステップＢで空の収納ボックスが有
れば、ステップＫにジャンプし、ステップＫ、Ｌ、Ｍと
順に進み、入出庫口１５の前に残された台２にウェハキ
ャリア６を移載し、ケース３を被せ保管棚８の棚部１７
に収納ボックス１を収納する。また、ステップＤにおい
て、図３の搬送要求テーブルに出庫要求が無い場合は、
ステップＨで、空の収納ボックスを保管棚８より取出し
入出庫口１５に搬送し、ステップＩで、収納ボックスの
ケース３を開け、ステップＫ、Ｌ、Ｍと進み入庫を完了
させる。
【００３２】このように、ステップＧで、ウェハキャリ
アが搬送車１１に移載され出庫された直後に、入庫すべ
きウェハキャリアを残された空の収納ボックスの台２に
移載することによって、搬送車１１の移動距離が短縮さ
れるし、前述の動作と同様に空の収納ボックスの搬送は
皆無となる。
【００３３】なお、露光装置のレチクルの場合も同様に
この自動保管棚及び保管方法が適用できる。この場合
は、一ロットのウェハに転写すべきパターンをもつ複数
枚のレチクルをキャリアに収納し、このキャリアを収納
する収納ボックスの入出庫動作をすれば、所望の目的を
達成することができる。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、保管棚の
入出庫口を一つにして共通化し、収納ボックスの保管棚
への入出庫スケージュールに基づき収納ボックスの入出
庫の際に、入出庫口に常に空の収納ボックスが残るよう
に制御することによって、従来、行なっていた空の収納
ボックスの保管棚への入出庫が無くなり、収納ボックス
の入出庫時間が短縮し入出庫の効率が向上するという効
果がある。
【００３５】また、保管棚の出入り口を一つにすること
で、保管棚への収納ボックスの入庫と出庫とを入出庫ス
ケジュールに基づいてシーケンシャルに行なえるので、
搬送車の走行が停滞が無く円滑に運用でき、キャリアの
停滞によるワークの塵芥の付着が無くそれによる品質の
欠陥が皆無となる効果が得られた。
【００３６】さらに、保管棚の搬送効率が向上したこと
により、保管棚の能力が向上し、小ロット化に伴ない搬
送回数が増加しても保管棚を増加させる必要がなく、床
面積も小さくて済み設備コストが安価になるという効果
がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の自動保管棚の一実施の形態を説明する
ための斜視図および模式断面図である。
【図２】図１の自動保管棚への収納ボックスの入出庫動
作のみを説明するためのフローチャートである。
【図３】図１の自動保管棚への収納ボックスの入出庫ス
ケジュールである搬送要求テーブルを示す表である。
【図４】図３の搬送要求テーブルに基づく図１の自動保
管棚の動作を説明するためのフローチャートである。
【図５】図１の自動保管棚へのウェハキャリアの入出庫
動作である自動保管方法の実施の形態を説明するための
フローチャートである。
【図６】従来の自動保管棚及び自動保管方法の一例を説
明するための斜視図である。
【符号の説明】
１ 収納ボックス １ａ 空の収納ボックス ２ 台 ３ ケース ６ ウェハキャリア ７ 開閉機構 ８ 保管棚 １１ 搬送車 １２ 製造装置 １３ 出庫口 １４ 入庫口 １５ 入出庫口 １６ スタッカクレーン １７ 棚部 １８ ステージ

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 搬送車で搬送されるとともに複数枚の板
    状ワークを一方向に並べて収納する箱状のキャリアを収
    納する収納ボックスを入庫し一時的に保管してから再び
    前記収納ボックスから前記キャリアを取出し前記搬送車
    に移載して出庫する自動保管棚において、前記収納ボッ
    クスが出入りする入出庫口を有するとともに前記収納ボ
    ックスが収納される複数の棚部を具備する保管棚と、こ
    の保管棚の該入出庫口と前記保管棚内を走行し前記棚部
    に前記収納ボックスを移載したり取出したりして前記収
    納ボックスを搬送するスタッカクレーンと、前記入出庫
    口の前に停留する前記収納ボックスを開閉する開閉機構
    と、予じめ設定された前記収納ボックスの入出庫スケジ
    ュールに基づき前記スタッカクレーンを動作させ前記収
    納ボックスの入庫あるいは出庫を行ないかつ空の収納ボ
    ックスは前記保管棚内に戻すことなく前記入出庫口の前
    に前記空の収納ボックスを停留させる制御部とを備える
    ことを特徴とする自動保管棚。
  2. 【請求項２】 前記空の収納ボックスの収納すべき前記
    棚部が前記入出庫口に近い前記保管棚内にあることを特
    徴とする請求項１記載の自動保管棚。
  3. 【請求項３】 前記ワークが半導体基板であるウェハで
    あることを特徴とする請求項１または請求項２記載の自
    動保管棚。
  4. 【請求項４】 前記ワークが露光装置のレチクルである
    ことを特徴とする請求項１または請求項２記載の自動保
    管棚。
  5. 【請求項５】 搬送車で搬送されるとともに複数枚の板
    状ワークを一方向に並べて収納する箱状のキャリアを収
    納する収納ボックスが出入りする入出庫口を有するとと
    もに前記収納ボックスが収納される複数の棚部を具備す
    る保管棚と、この保管棚の該入出庫口と前記保管棚内を
    走行し前記棚部に前記収納ボックスを移載したり取出し
    たりして前記収納ボックスを搬送するスタッカクレーン
    と、前記入出庫口の前に停留する前記収納ボックスを開
    閉する開閉機構とを備える自動保管棚において、予じめ
    設定された前記収納ボックスの入出庫スケジュールに基
    づき搬送されてくる前記キャリアを予じめ前記入出庫口
    の前に置かれた空の収納ボックスに収納し、前記キャリ
    アを収納した該収納ボックスを前記保管棚に収納してか
    ら、前記保管棚に保管されていた他の収納ボックスを前
    記スタッカクレー ンで取出し前記入出庫口に搬送し、前
    記開閉機構により前記他の収納ボックスを開け前記キャ
    リアを取出し、空になった前記他の収納ボックスを前記
    入出庫口の前に残すことを特徴とする自動保管方法。
  6. 【請求項６】 前記入出庫口の前に残された空になった
    前記他の収納ボックスに搬送されてくる他の前記キャリ
    アを収納し、しかる後に前記スタッカクレーンにより前
    記保管棚に入れ保管するステップを含むことを特徴とす
    る請求項５記載の自動保管方法。
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