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KR20230023301A - 선반 이동 모듈을 갖는 스토리지 시스템 - Google Patents

선반 이동 모듈을 갖는 스토리지 시스템 Download PDF

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Publication number
KR20230023301A
KR20230023301A KR1020210105300A KR20210105300A KR20230023301A KR 20230023301 A KR20230023301 A KR 20230023301A KR 1020210105300 A KR1020210105300 A KR 1020210105300A KR 20210105300 A KR20210105300 A KR 20210105300A KR 20230023301 A KR20230023301 A KR 20230023301A
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KR
South Korea
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shelf
module
shelves
horizontal frame
guides
Prior art date
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Pending
Application number
KR1020210105300A
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English (en)
Inventor
이후종
박민수
최지민
류건진
유병국
이승준
장민구
정연부
Original Assignee
삼성전자주식회사
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Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
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Priority to US17/670,907 priority patent/US11881422B2/en
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Abstract

스토리지 시스템은 보관 장치 및 이송 장치를 포함한다. 상기 보관 장치는 가이드 바(Guide Bar); 상기 가이드 바에 연결되고, 반송물이 보관되는 다수의 상단 선반; 상기 다수의 상단 선반 아래에 배치되고 상기 반송물이 보관되는 다수의 하단 선반; 상기 다수의 상단 선반에 연결된 다수의 가이드(Guide); 및 상기 다수의 상단 선반 중 선택된 하나에 연결된 선반 복귀 장치를 포함한다. 상기 이송 장치는 몸체; 상기 몸체에 부착되고 상기 이송 장치를 상기 보관 장치에 인접하게 이동하는 주행 모듈; 상기 몸체에 부착되고 상기 반송물을 취급하는 취급 모듈; 및 상기 몸체 또는 상기 취급 모듈에 부착되고 상기 다수의 가이드 중 선택된 하나에 접촉되는 선반 이동 모듈을 포함한다.

Description

선반 이동 모듈을 갖는 스토리지 시스템{STORAGE SYSTEM INCLUDING SHELF MOVING MODULE}
선반 이동 모듈을 갖는 스토리지 시스템 및 그 운전 방법에 관한 것이다.
반도체 제조 공정의 물류 자동화를 위하여 이송 장치 및 보관 장치가 연구되고 있다. 상기 보관 장치의 공간 활용 효율을 높이기 위하여 다단 저장 구조를 채택할 수 있다. 상기 다단 저장 구조는 다수의 상단 선반 및 다수의 하단 선반을 포함할 수 있다. 상기 다수의 하단 선반 상에 반송물을 적재하려면 상기 다수의 상단 선반의 위치 이동이 필요할 수 있다. 상기 다수의 상단 선반의 위치 이동을 위하여 별도의 구동 장치를 설치하는 것은 제작 비용 증가 및 전력 소모 증가와 같은 다수의 문제를 유발한다.
본 발명 기술적 사상의 실시예들에 따른 과제는 제작 비용 및 운영 비용을 최소화할 수 있는 스토리지 시스템 및 그 운전 방법을 제공하는데 있다.
본 발명 기술적 사상의 실시예들에 따른 스토리지 시스템은 보관 장치 및 이송 장치를 포함한다. 상기 보관 장치는 가이드 바(Guide Bar); 상기 가이드 바에 연결되고, 반송물이 보관되는 다수의 상단 선반; 상기 다수의 상단 선반 아래에 배치되고 상기 반송물이 보관되는 다수의 하단 선반; 상기 다수의 상단 선반에 연결된 다수의 가이드(Guide); 및 상기 다수의 상단 선반 중 선택된 하나에 연결된 선반 복귀 장치를 포함한다. 상기 이송 장치는 몸체; 상기 몸체에 부착되고 상기 이송 장치를 상기 보관 장치에 인접하게 이동하는 주행 모듈; 상기 몸체에 부착되고 상기 반송물을 취급하는 취급 모듈; 및 상기 몸체 또는 상기 취급 모듈에 부착되고 상기 다수의 가이드 중 선택된 하나에 접촉되는 선반 이동 모듈을 포함한다.
본 발명 기술적 사상의 실시예들에 따른 스토리지 시스템 운전 방법은 상기 스토리지 시스템을 제공하고, 상기 이송 장치를 상기 보관 장치에 인접하게 접근시키는 것을 포함한다. 상기 선반 이동 모듈을 상기 다수의 가이드 중 선택된 하나에 접촉한다. 상기 이송 장치의 주행력을 이용하여 상기 다수의 상단 선반 중 선택된 적어도 하나를 회피 구동한다. 상기 이송 장치를 상기 다수의 하단 선반 중 대응하는 하나의 상부에 인접하게 정렬한다. 상기 다수의 하단 선반 중 대응하는 하나 상에 상기 반송물을 적재한다. 상기 이송 장치를 출발한다. 상기 선반 복귀 장치를 이용하여 상기 다수의 상단 선반 중 선택된 적어도 하나를 복귀시킨다.
본 발명 기술적 사상의 실시예들에 따른 스토리지 시스템은 보관 장치 및 이송 장치를 포함한다. 상기 보관 장치는 가이드 바; 상기 가이드 바에 연결되고, 반송물이 보관되는 다수의 상단 선반; 상기 다수의 상단 선반 아래에 배치되고 상기 반송물이 보관되는 다수의 하단 선반; 및 상기 다수의 상단 선반에 연결된 다수의 가이드를 포함한다. 상기 이송 장치는 몸체; 상기 몸체에 부착되고 상기 이송 장치를 상기 보관 장치에 인접하게 이동하는 주행 모듈; 상기 몸체에 부착되고 상기 반송물을 취급하는 취급 모듈; 및 상기 몸체 또는 상기 취급 모듈에 부착되고 상기 다수의 가이드 중 선택된 하나에 접촉되는 선반 이동 모듈을 포함한다.
본 발명 기술적 사상의 실시예들에 따른 스토리지 시스템은 하부 수평 프레임, 상기 하부 수평 프레임 상의 중간 수평 프레임, 및 상기 중간 수평 프레임 상의 상부 수평 프레임을 갖는 메인 프레임을 포함한다. 상기 중간 수평 프레임에 가이드 바가 연결된다. 상기 가이드 바에 연결되고, 반송물이 보관되는 다수의 상단 선반이 제공된다. 상기 하부 수평 프레임에 연결되고 상기 반송물이 보관되는 다수의 하단 선반이 제공된다. 상기 다수의 상단 선반에 다수의 가이드가 연결된다. 상기 다수의 상단 선반 중 선택된 하나에 선반 복귀 장치가 연결된다. 상기 선반 복귀 장치는 상기 다수의 상단 선반 중 선택된 하나에 연결된 연결 핀; 상기 중간 수평 프레임에 연결된 유동 바퀴(Idler); 상기 연결 핀에 연결되고 상기 유동 바퀴에 접촉된 벨트; 및 상기 벨트에 연결된 카운터 웨이트(Counter Weight)를 포함한다.
본 발명 기술적 사상의 실시예들에 따르면, 보관 장치 및 이송 장치를 포함하는 스토리지 시스템이 제공된다. 상기 보관 장치는 다수의 상단 선반에 연결된 다수의 가이드 및 상기 다수의 상단 선반 중 선택된 하나에 연결된 선반 복귀 장치를 포함할 수 있다. 상기 선반 복귀 장치는 카운터 웨이트(Counter Weight)를 포함할 수 있다. 상기 이송 장치는 상기 다수의 가이드 중 선택된 하나에 접촉되는 선반 이동 모듈을 포함할 수 있다. 상기 선반 이동 모듈은 상기 이송 장치의 주행력을 이용하여 상기 다수의 상단 선반의 위치를 이동하는 역할을 할 수 있다. 상기 선반 복귀 장치는 카운터 웨이트의 무게를 이용하여 상기 다수의 상단 선반의 위치를 복귀하는 역할을 할 수 있다. 제작 비용 및 운영 비용을 최소화할 수 있는 스토리지 시스템 및 그 운전 방법이 제공될 수 있다.
도 1은 본 발명 기술적 사상의 실시예들에 따른 스토리지 시스템 및 그 운전 방법을 설명하기 위한 사시도이다.
도 2는 본 발명 기술적 사상의 실시예들에 따른 보관 장치 및 그 운전 방법을 설명하기 위한 정면도이다.
도 3은 본 발명 기술적 사상의 실시예들에 따른 선반 및 가이드를 설명하기 위한 사시도이다.
도 4는 본 발명 기술적 사상의 실시예들에 따른 이송 장치 및 그 운전 방법을 설명하기 위한 정면도이다.
도 5내지 도 10은 본 발명 기술적 사상의 실시예들에 따른 이송 장치 및 그 운전 방법을 설명하기 위한 측면도들이다.
도 11은 본 발명 기술적 사상의 실시예들에 따른 이송 장치 및 그 운전 방법을 설명하기 위한 정면도이다.
도 12 및 도 13은 본 발명 기술적 사상의 실시예들에 따른 선반 이동 모듈 및 그 운전 방법을 설명하기 위한 사시도들이다.
도 14 내지 도 16은 본 발명 기술적 사상의 실시예들에 따른 선반 복귀 장치 및 그 운전 방법을 설명하기 위한 사시도들이다.
도 17은 본 발명 기술적 사상의 실시예들에 따른 반송물의 구성을 설명하기 위한 사시도이다.
도 18은 본 발명 기술적 사상의 실시예들에 따른 스토리지 시스템의 운전 방법을 설명하기 위한 플로우차트이다.
도 19는 본 발명 기술적 사상의 실시예들에 따른 보관 장치 및 그 운전 방법을 설명하기 위한 정면도이다.
도 20 내지 도 22는 본 발명 기술적 사상의 실시예들에 따른 보관 장치 및 그 운전 방법을 설명하기 위한 상면도들이다.
도 23 내지 도 30은 본 발명 기술적 사상의 실시예들에 따른 보관 장치 및 그 운전 방법을 설명하기 위한 정면도들이다.
도 1은 본 발명 기술적 사상의 실시예들에 따른 스토리지 시스템(100) 및 그 운전 방법을 설명하기 위한 사시도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명 기술적 사상의 실시예들에 따른 스토리지 시스템(100)은 이송 장치(20) 및 보관 장치(40)를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 이송 장치(20)는 천장에 설치된 레일(95)을 따라 이동할 수 있다. 상기 이송 장치(20)는 오버헤드 호이스트 트랜스퍼(Overhead Hoist Transfer; OHT)와 같은 천장형 이송 장치를 포함할 수 있다. 상기 보관 장치(40)는 다수의 반송물(81)을 보관하는 역할을 할 수 있다. 일 실시예에서, 상기 보관 장치(40)는 상기 레일(95)과 인접하게 배치될 수 있다. 상기 보관 장치(40)는 다수의 설치 봉(93)을 이용하여 천장에 부착될 수 있다. 상기 보관 장치(40)는 사이드 트랙 버퍼(Side Track Buffer; STB)와 같은 천장형 반송물 저장 장치를 포함할 수 있다. 상기 다수의 반송물(81)의 각각은 전방 개방 통합 포드(Front Opening Unified Pod; FOUP) 또는 전방 개방 배송 상자(Front Opening Shipping Box; FOSB)를 포함할 수 있다.
도 2는 본 발명 기술적 사상의 실시예들에 따른 보관 장치(40) 및 그 운전 방법을 설명하기 위한 정면도이다.
도 2를 참조하면, 상기 보관 장치(40)는 메인 프레임(41), 가이드 바(Guide Bar; 43), 다수의 상단 선반(51, 52, 53), 다수의 가이드(Guide; 56, 57, 58), 다수의 하단 선반(61, 62, 63, 64), 및 선반 복귀 장치(72)를 포함할 수 있다. 상기 다수의 상단 선반(51, 52, 53) 및 상기 다수의 하단 선반(61, 62, 63, 64) 상에 다수의 반송물(81)이 보관될 수 있다.
상기 메인 프레임(41)은 하부 수평 프레임(41A), 중간 수평 프레임(41B), 상부 수평 프레임(41C), 및 다수의 수직 프레임(41D)을 포함할 수 있다. 상기 하부 수평 프레임(41A), 상기 중간 수평 프레임(41B), 및 상기 상부 수평 프레임(41C)의 각각은 상기 다수의 수직 프레임(41D)에 연결될 수 있다. 상기 중간 수평 프레임(41B)은 상기 하부 수평 프레임(41A) 상에 배치될 수 있다. 상기 상부 수평 프레임(41C)은 상기 중간 수평 프레임(41B) 상에 배치될 수 있다. 상기 중간 수평 프레임(41B)은 상기 하부 수평 프레임(41A) 및 상기 상부 수평 프레임(41C) 사이에 배치될 수 있다.
상기 다수의 하단 선반(61, 62, 63, 64)의 각각은 상기 하부 수평 프레임(41A)에 연결될 수 있다. 상기 다수의 하단 선반(61, 62, 63, 64)은 제1 하단 선반(61), 제2 하단 선반(62), 제3 하단 선반(63), 및 제4 하단 선반(64)을 포함할 수 있다. 상기 제1 하단 선반(61), 상기 제2 하단 선반(62), 상기 제3 하단 선반(63), 및 상기 제4 하단 선반(64)은 상기 하부 수평 프레임(41A)에 수평 방향으로 순차적으로 연결될 수 있다. 상기 다수의 하단 선반(61, 62, 63, 64)은 상기 하부 수평 프레임(41A)을 따라 일렬로 수평 정렬될 수 있다. 상기 다수의 하단 선반(61, 62, 63, 64)의 각각은 상기 하부 수평 프레임(41A)의 지정된 위치에 고정될 수 있다.
상기 가이드 바(Guide Bar; 43)는 상기 메인 프레임(41)에 연결될 수 있다. 일 실시예에서, 상기 가이드 바(43)는 상기 중간 수평 프레임(41B)에 연결될 수 있다. 상기 가이드 바(43)는 상기 하부 수평 프레임(41A) 및 상기 상부 수평 프레임(41C) 사이에 배치될 수 있다.
상기 다수의 상단 선반(51, 52, 53)은 상기 가이드 바(43)에 연결될 수 있다. 상기 다수의 상단 선반(51, 52, 53)은 상기 가이드 바(43)를 따라 일렬로 수평 정렬될 수 있다. 상기 다수의 상단 선반(51, 52, 53)의 각각은 상기 가이드 바(43)를 따라 수평 이동할 수 있다. 상기 다수의 상단 선반(51, 52, 53)의 수는 상기 다수의 하단 선반(61, 62, 63, 64)의 수보다 작을 수 있다. 상기 다수의 하단 선반(61, 62, 63, 64)의 수는 N개일 수 있으며, 상기 다수의 상단 선반(51, 52, 53)의 수는 N-1개일 수 있다(여기서, N는 양의 정수). 예를들면, 상기 다수의 하단 선반(61, 62, 63, 64)의 수는 4개일 수 있으며, 상기 다수의 상단 선반(51, 52, 53)의 수는 3개일 수 있다.
상기 다수의 상단 선반(51, 52, 53)은 제1 상단 선반(51), 제2 상단 선반(52), 및 제3 상단 선반(53)을 포함할 수 있다. 상기 제1 상단 선반(51), 상기 제2 상단 선반(52), 및 상기 제3 상단 선반(53)은 상기 가이드 바(43)에 수평 방향으로 순차적으로 연결될 수 있다. 상기 제1 상단 선반(51)은 상기 제3 하단 선반(63) 상에 수직 정렬될 수 있으며, 상기 제2 상단 선반(52)은 상기 제2 하단 선반(62) 상에 수직 정렬될 수 있고, 그리고 상기 제3 상단 선반(53)은 상기 제1 하단 선반(61) 상에 수직 정렬될 수 있다.
상기 제4 하단 선반(64) 상에 빈공간(54V)이 존재할 수 있다. 상기 빈공간(54V)은 상기 제4 하단 선반(64) 상에 수직 정렬될 수 있다. 상기 빈공간(54V)의 수평 폭은 상기 제4 하단 선반(64)의 수평 폭과 동일하거나 클 수 있다. 상기 다수의 하단 선반(61, 62, 63, 64)의 각각과 상기 다수의 상단 선반(51, 52, 53)의 각각은 실질적으로 동일한 수평 폭을 가질 수 있다. 상기 가이드 바(43)는 상기 제4 하단 선반(64) 상에 연장될 수 있다. 상기 가이드 바(43)는 상기 빈공간(54V)에 인접하게 연장될 수 있다.
상기 다수의 가이드(Guide; 56, 57, 58)의 각각은 상기 다수의 상단 선반(51, 52, 53) 중 대응하는 하나에 장착될 수 있다. 상기 다수의 가이드(56, 57, 58)는 제1 가이드(56), 제2 가이드(57), 및 제3 가이드(58)를 포함할 수 있다. 상기 제1 가이드(56)는 상기 제1 상단 선반(51) 상에 장착될 수 있으며, 상기 제2 가이드(57)는 상기 제2 상단 선반(52) 상에 장착될 수 있고, 그리고 상기 제3 가이드(58)는 상기 제3 상단 선반(53) 상에 장착될 수 있다.
상기 선반 복귀 장치(72)는 연결 핀(73), 유동 바퀴(Idler; 74), 벨트(75), 다수의 지지 바아(76), 및 카운터 웨이트(Counter Weight; 77)를 포함할 수 있다. 상기 연결 핀(73)은 상기 다수의 상단 선반(51, 52, 53) 중 선택된 하나에 장착될 수 있다. 예를들면, 상기 연결 핀(73)은 상기 제1 상단 선반(51)에 장착될 수 있다. 상기 제1 상단 선반(51)은 상기 다수의 상단 선반(51, 52, 53) 중 상기 빈공간(54V)에 가장 가깝게 배치될 수 있다.
상기 유동 바퀴(Idler; 74)는 상기 중간 수평 프레임(41B)에 장착될 수 있다. 상기 유동 바퀴(74)는 상기 중간 수평 프레임(41B)의 상기 제1 상단 선반(51)과 인접한 위치에 장착될 수 있다. 상기 유동 바퀴(74)는 상기 연결 핀(73)에 인접하게 배치될 수 있다. 상기 카운터 웨이트(Counter Weight; 77)는 상기 연결 핀(73)에 인접하게 배치될 수 있다. 상기 다수의 지지 바아(76)는 상기 중간 수평 프레임(41B) 및 상기 카운터 웨이트(77) 사이에 연결될 수 있다. 상기 벨트(75)는 상기 연결 핀(73) 및 상기 카운터 웨이트(77) 사이에 연결될 수 있다. 상기 벨트(75)는 상기 유동 바퀴(74)에 접촉될 수 있다. 상기 카운터 웨이트(77)는 바아 모양, 구 모양, 다각뿔 모양, 또는 이들의 조합을 포함할 수 있다. 상기 카운터 웨이트(77)는 1킬로그램(Kg) 내지 10Kg의 무게일 수 있다. 예를들면, 상기 카운터 웨이트(77)는 약7Kg 내지 8Kg일 수 있다. 상기 다수의 지지 바아(76)는 생략될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 선반 복귀 장치(72)는 생략될 수 있다.
도 3은 본 발명 기술적 사상의 실시예들에 따른 선반 및 가이드를 설명하기 위한 사시도이다.
도 3을 참조하면, 제1 상단 선반(51)은 평평한 판을 포함할 수 있다. 제2 상단 선반(52), 제3 상단 선반(53), 및 다수의 하단 선반(61, 62, 63, 64)의 각각은 상기 제1 상단 선반(51)과 유사한 평평한 판을 포함할 수 있다. 다수의 가이드(Guide; 56, 57, 58)의 각각은 다수의 상단 선반(51, 52, 53) 중 대응하는 하나에 부착될 수 있다. 예를들면, 제1 가이드(56)는 상기 제1 상단 선반(51) 상에 부착될 수 있다. 상기 제1 가이드(56)의 일부분은 상기 제1 상단 선반(51)의 외측으로 돌출될 수 있다.
도 4는 본 발명 기술적 사상의 실시예들에 따른 이송 장치(20) 및 그 운전 방법을 설명하기 위한 정면도이다.
도 4를 참조하면, 상기 이송 장치(20)는 몸체(21), 주행 모듈(Drive Module; 23), 취급 모듈(25), 및 선반 이동 모듈(32)을 포함할 수 있다. 상기 취급 모듈(25)은 수평 이동 모듈(26), 승강 모듈(27), 및 핸드 모듈(Hand Module; 28)을 포함할 수 있다.
상기 주행 모듈(23)은 상기 몸체(21) 상에 배치될 수 있다. 상기 주행 모듈(23)은 상기 몸체(21)에 부착될 수 있다. 상기 주행 모듈(23)은 레일(95)에 접촉될 수 있다. 상기 주행 모듈(23)은 상기 레일(95)을 따라 상기 이송 장치(20)를 목표 지점으로 이동하는 역할을 수행할 수 있다. 예를들면, 상기 주행 모듈(23)은 상기 레일(95)을 따라 상기 이송 장치(20)를 상기 보관 장치(40)에 인접한 목표 지점으로 이동하는 역할을 수행할 수 있다.
상기 취급 모듈(25)은 상기 몸체(21)의 하면에 부착될 수 있다. 상기 취급 모듈(25)은 반송물(81)을 취급하는 역할을 할 수 있다. 일 실시예에서, 상기 수평 이동 모듈(26)은 상기 몸체(21)의 하면에 부착될 수 있다. 상기 수평 이동 모듈(26)은 슬라이드 모듈(Slide Module)을 포함할 수 있다. 상기 승강 모듈(27)은 상기 수평 이동 모듈(26)의 하면에 부착될 수 있다. 상기 수평 이동 모듈(26)은 상기 승강 모듈(27)을 수평 이동하는 역할을 수행할 수 있다. 상기 승강 모듈(27)은 호이스트 모듈(Hoist Module)을 포함할 수 있다. 상기 핸드 모듈(28)은 상기 승강 모듈(27)의 하면에 부착될 수 있다. 상기 승강 모듈(27)은 상기 핸드 모듈(28)을 수직 이동하는 역할을 수행할 수 있다. 상기 핸드 모듈(28)은 상기 반송물(81)을 그립(Grip)하거나 내려놓는 역할을 할 수 있다.
상기 선반 이동 모듈(32)은 상기 취급 모듈(25)에 부착될 수 있다. 일 실시예에서, 상기 선반 이동 모듈(32)은 상기 수평 이동 모듈(26)에 부착될 수 있다. 상기 선반 이동 모듈(32)은 상기 다수의 가이드(도 2의 56, 57, 58) 중 선택된 하나에 접촉될 수 있다. 상기 선반 이동 모듈(32)은 상기 다수의 상단 선반(도 2의 51, 52, 53) 중 적어도 하나를 이동하는 역할을 할 수 있다. 예를들면, 상기 선반 이동 모듈(32)은 상기 이송 장치(20)의 주행력을 이용하여 상기 다수의 상단 선반(도 2의 51, 52, 53) 중 적어도 하나를 이동하는 역할을 할 수 있다. 상기 선반 이동 모듈(32)은 상기 주행 모듈(23)의 주행력을 이용하여 상기 다수의 상단 선반(도 2의 51, 52, 53) 중 적어도 하나를 이동하는 역할을 할 수 있다.
도 5 내지 도 10은 본 발명 기술적 사상의 실시예들에 따른 이송 장치(20) 및 그 운전 방법을 설명하기 위한 측면도들이다.
도 5를 참조하면, 상기 이송 장치(20)는 몸체(21), 주행 모듈(23), 취급 모듈(25), 및 선반 이동 모듈(32)을 포함할 수 있다. 상기 취급 모듈(25)은 수평 이동 모듈(26), 승강 모듈(27), 및 핸드 모듈(Hand Module; 28)을 포함할 수 있다. 상기 주행 모듈(23)은 레일(95)에 접촉될 수 있다. 상기 핸드 모듈(28)은 반송물(81)을 그립(Grip)하거나 내려놓는 역할을 할 수 있다. 상기 선반 이동 모듈(32)은 상기 취급 모듈(25)에 부착될 수 있다. 일 실시예에서, 상기 선반 이동 모듈(32)은 상기 수평 이동 모듈(26)에 부착될 수 있다.
상기 몸체(21)는 상기 취급 모듈(25) 및 상기 반송물(81)의 상면 및 측면들을 덮을 수 있다. 상기 몸체(21)는 상기 취급 모듈(25) 및 상기 반송물(81)의 상면 및 측면들을 보호할 수 있다. 일 실시예에서, 상기 선반 이동 모듈(32)이 상기 수평 이동 모듈(26)에 부착된 경우, 상기 몸체(21)는 상기 선반 이동 모듈(32)의 상면 및 측면들을 덮을 수 있다. 상기 주행 모듈(23)은 상기 레일(95)을 따라 상기 이송 장치(20)를 목표 지점으로 이동하는 역할을 수행할 수 있다.
도 6을 참조하면, 상기 선반 이동 모듈(32)의 적어도 일부분은 상기 몸체(21)의 외측으로 돌출되도록 제어될 수 있다. 일 실시예에서, 상기 선반 이동 모듈(32)이 상기 수평 이동 모듈(26)에 부착된 경우, 상기 수평 이동 모듈(26)의 일부분 및 상기 선반 이동 모듈(32)의 일부분은 상기 몸체(21)의 외측으로 돌출되도록 제어될 수 있다.
상기 선반 이동 모듈(32)의 일부분은 상기 다수의 가이드(도 2의 56, 57, 58) 중 선택된 하나에 접촉될 수 있다. 상기 선반 이동 모듈(32)은 상기 다수의 상단 선반(도 2의 51, 52, 53) 중 적어도 하나를 이동하는 역할을 할 수 있다. 예를들면, 상기 선반 이동 모듈(32)은 상기 이송 장치(20)의 주행력을 이용하여 상기 다수의 상단 선반(도 2의 51, 52, 53) 중 적어도 하나를 이동하는 역할을 수행할 수 있다. 상기 선반 이동 모듈(32)은 상기 주행 모듈(23)의 주행력을 이용하여 상기 다수의 상단 선반(도 2의 51, 52, 53) 중 적어도 하나를 이동하는 역할을 수행할 수 있다.
도 7을 참조하면, 상기 수평 이동 모듈(26)은 상기 몸체(21)의 외측으로 돌출되도록 제어될 수 있다. 일 실시예에서, 상기 승강 모듈(27) 및 상기 핸드 모듈(28)은 상기 수평 이동 모듈(26)에 의하여 상기 몸체(21)의 외측으로 이동될 수 있다. 상기 반송물(81)은 상기 승강 모듈(27) 및 상기 핸드 모듈(28)과 함께 상기 몸체(21)의 외측으로 이동될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 선반 이동 모듈(32)이 상기 수평 이동 모듈(26)에 부착된 경우, 상기 선반 이동 모듈(32)은 상기 수평 이동 모듈(26)을 따라 이동될 수 있다. 상기 선반 이동 모듈(32)의 일부분은 상기 다수의 가이드(도 2의 56, 57, 58) 중 선택된 하나에 접촉될 수 있다.
도 8을 참조하면, 상기 반송물(81)은 상기 수평 이동 모듈(26)에 의하여 상기 다수의 상단 선반(51, 52, 53) 및 상기 다수의 하단 선반(61, 62, 63, 64) 중 선택된 하나의 상부에 수직 정렬될 수 있다. 상기 승강 모듈(27)은 상기 핸드 모듈(28)을 수직 이동하는 역할을 수행할 수 있다. 상기 승강 모듈(27)은 상기 핸드 모듈(28)을 하강하여 상기 반송물(81)이 상기 다수의 상단 선반(51, 52, 53) 및 상기 다수의 하단 선반(61, 62, 63, 64) 중 선택된 하나의 상면에 안착되도록 제어될 수 있다.
도 9를 참조하면, 상기 핸드 모듈(28)은 상기 반송물(81)을 그립(Grip)하거나 내려놓는 역할을 할 수 있다. 상기 반송물(81)은 상기 다수의 상단 선반(51, 52, 53) 및 상기 다수의 하단 선반(61, 62, 63, 64) 중 선택된 하나의 상면에 안착될 수 있다. 상기 핸드 모듈(28)은 상기 승강 모듈(27)에 의하여 복귀될 수 있다.
도 10을 참조하면, 상기 취급 모듈(25)은 상기 몸체(21)의 내부로 복귀할 수 있다. 일 실시예에서, 상기 선반 이동 모듈(32)이 상기 수평 이동 모듈(26)에 부착된 경우, 상기 선반 이동 모듈(32)은 상기 몸체(21)의 내부로 복귀할 수 있다.
도 11은 본 발명 기술적 사상의 실시예들에 따른 이송 장치(20) 및 그 운전 방법을 설명하기 위한 정면도이다.
도 11을 참조하면, 상기 이송 장치(20)는 몸체(21), 주행 모듈(23), 취급 모듈(25), 및 선반 이동 모듈(32)을 포함할 수 있다. 상기 취급 모듈(25)은 수평 이동 모듈(26), 승강 모듈(27), 및 핸드 모듈(28)을 포함할 수 있다. 상기 선반 이동 모듈(32)은 상기 몸체(21)에 부착될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 선반 이동 모듈(32)은 상기 몸체(21) 및 상기 취급 모듈(25)의 다양한 위치에 다수 개 부착될 수 있다.
도 12 및 도 13은 본 발명 기술적 사상의 실시예들에 따른 선반 이동 모듈(32) 및 그 운전 방법을 설명하기 위한 사시도들이다.
도 12를 참조하면, 선반 이동 모듈(32)은 이송 장치(20)의 취급 모듈 또는 몸체에 부착될 수 있다. 상기 선반 이동 모듈(32)의 일부분은 다수의 가이드(56, 57, 58) 중 선택된 하나에 접촉될 수 있다. 상기 선반 이동 모듈(32)은 다수의 상단 선반(51, 52, 53) 중 적어도 하나를 이동하는 역할을 할 수 있다. 예를들면, 상기 선반 이동 모듈(32)은 상기 이송 장치(20)의 주행력을 이용하여 상기 다수의 상단 선반(51, 52, 53) 중 적어도 하나를 가이드 바(43)를 따라 수평 이동하는 역할을 수행할 수 있다.
도 13을 참조하면, 상기 선반 이동 모듈(32)은 돌출부(33) 및 롤러(34)를 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 상기 돌출부(33)는 수평 이동 모듈(26)에 연결될 수 있다. 상기 롤러(34)는 상기 돌출부(33)의 일단에 연결될 수 있다. 상기 롤러(34)는 상기 다수의 가이드(56, 57, 58) 중 선택된 하나에 접촉될 수 있다. 상기 롤러(34)는 분진, 마모, 및 소음 발생을 최소화 하고, 수명을 연장하는 역할을 할 수 있다.
도 14 내지 도 16은 본 발명 기술적 사상의 실시예들에 따른 선반 복귀 장치(72) 및 그 운전 방법을 설명하기 위한 사시도들이다.
도 14를 참조하면, 상기 선반 복귀 장치(72)는 연결 핀(73), 유동 바퀴(Idler; 74), 벨트(75), 다수의 지지 바아(76), 및 카운터 웨이트(Counter Weight; 77)를 포함할 수 있다. 가이드 바(Guide Bar; 43)는 메인 프레임(41)의 중간 수평 프레임(41B)에 장착될 수 있다. 제1 상단 선반(51)은 상기 가이드 바(43)에 연결될 수 있다. 상기 제1 상단 선반(51) 상에 반송물(81)이 적재될 수 있다. 상기 제1 상단 선반(51) 상에 제1 가이드(56)가 장착될 수 있다. 상기 제1 상단 선반(51)은 상기 가이드 바(43)를 따라 수평 이동할 수 있다.
상기 연결 핀(73)은 상기 제1 상단 선반(51)에 장착될 수 있다. 상기 유동 바퀴(Idler; 74)는 상기 중간 수평 프레임(41B)에 장착될 수 있다. 상기 유동 바퀴(74)는 상기 중간 수평 프레임(41B)의 상기 제1 상단 선반(51)과 인접한 위치에 장착될 수 있다. 상기 유동 바퀴(74)는 상기 연결 핀(73)에 인접하게 배치될 수 있다. 상기 카운터 웨이트(Counter Weight; 77)는 상기 연결 핀(73)에 인접하게 배치될 수 있다. 상기 다수의 지지 바아(76)는 상기 중간 수평 프레임(41B) 및 상기 카운터 웨이트(77) 사이에 연결될 수 있다. 상기 벨트(75)는 상기 연결 핀(73) 및 상기 카운터 웨이트(77) 사이에 연결될 수 있다. 상기 벨트(75)는 상기 유동 바퀴(74)에 접촉될 수 있다. 상기 카운터 웨이트(77)는 바아 모양, 구 모양, 다각뿔 모양, 또는 이들의 조합을 포함할 수 있다. 상기 카운터 웨이트(77)는 1킬로그램(Kg) 내지 10Kg의 무게일 수 있다. 예를들면, 상기 카운터 웨이트(77)는 약7Kg 내지 8Kg일 수 있다. 상기 지지 바아(76)는 생략될 수 있다.
도 15를 참조하면, 상기 제1 가이드(56)를 화살표 방향으로 밀면 상기 제1 상단 선반(51)은 상기 가이드 바(43)를 따라 수평 이동할 수 있다. 상기 제1 상단 선반(51)의 수평 이동에 따라 상기 연결 핀(73) 또한 이동하게 되고, 상기 벨트(75)에 연결된 상기 카운터 웨이트(77)는 상부로 들어올려질 수 있다.
도 16을 참조하면, 상기 제1 가이드(56)에 작용하는 미는 힘을 해제하면, 상기 카운터 웨이트(77)는 중력에 의하여 아래로 내려갈 수 있다. 상기 벨트(75)에 연결된 상기 연결 핀(73)에 끌어당기는 힘이 작용하여, 상기 제1 상단 선반(51)은 상기 가이드 바(43)를 따라 수평 이동하여 원래 위치로 복귀할 수 있다.
도 17은 본 발명 기술적 사상의 실시예들에 따른 반송물의 구성을 설명하기 위한 사시도이다.
도 17을 참조하면, 일 실시예에서, 반송물(81)은 전방 개방 통합 포드(Front Opening Unified Pod; FOUP)를 포함할 수 있다. 상기 반송물(81)은 케이스(82), 캐리어(83), 및 다수의 기판(85)을 포함할 수 있다. 상기 다수의 기판(85)은 실리콘 웨이퍼 또는 에스오아이(Silicon On Insulator; SOI) 웨이퍼와 같은 반도체 기판을 포함할 수 있다. 상기 다수의 기판(85)은 상기 캐리어(83) 내에 서로 이격되도록 적재될 수 있다. 상기 캐리어(83)는 상기 케이스(82) 내에 보관될 수 있다.
도 18은 본 발명 기술적 사상의 실시예들에 따른 스토리지 시스템의 운전 방법을 설명하기 위한 플로우차트이다.
도 18을 참조하면, 본 발명 기술적 사상의 실시예들에 따른 스토리지 시스템의 운전 방법은 이송 장치를 목표 지점에 인접하게 접근시키고(B120), 선반 이동 모듈을 가이드에 접촉하고(B130), 이송 장치의 주행력을 이용하여 상단 선반을 회피 구동하고(B140), 이송 장치를 정렬하고(B150), 하단 선반 상에 반송물을 적재하거나 하단 선반 상의 반송물을 그립(Grip)하고(B160), 이송 장치를 출발하고(B170), 선반 복귀 장치를 이용하여 상단 선반을 복귀시키는 것(B180)을 포함할 수 있다.
도 19는 본 발명 기술적 사상의 실시예들에 따른 보관 장치(40) 및 그 운전 방법을 설명하기 위한 정면도이고, 도 20 내지 도 22는 본 발명 기술적 사상의 실시예들에 따른 보관 장치(40) 및 그 운전 방법을 설명하기 위한 상면도들이며, 도 23 내지 도 30은 본 발명 기술적 사상의 실시예들에 따른 보관 장치(40) 및 그 운전 방법을 설명하기 위한 정면도들이다.
도 18, 도 19, 및 도 20을 참조하면, 상기 제1 하단 선반(61), 상기 제3 하단 선반(63), 상기 제4 하단 선반(64), 및 상기 다수의 상단 선반(51, 52, 53) 상에 다수의 반송물(81)이 보관될 수 있다. 상기 제2 하단 선반(62)은 빈 상태(또는 준비 상태)일 수 있다. 상기 이송 장치(20)는 상기 제2 상단 선반(52) 및 상기 제3 상단 선반(53) 사이에 인접하게 접근할 수 있다(B120).
도 18 및 도 21을 참조하면, 상기 선반 이동 모듈(32)을 상기 제2 상단 선반(52) 상의 상기 제2 가이드(57)에 접촉할 수 있다(B130). 일 실시예에서, 도 6을 참조하여 설명한 바와 유사하게 상기 수평 이동 모듈(26)의 일부분 및 상기 선반 이동 모듈(32)의 일부분은 상기 몸체(21)의 외측으로 돌출되도록 제어될 수 있다. 예를들면, 도 13을 참조하여 설명한 바와 유사하게 상기 선반 이동 모듈(32)의 상기 롤러(34)는 상기 제2 가이드(57)에 접촉될 수 있다
상기 이송 장치(20)의 주행력을 이용하여 화살표 방향으로 상기 제2 가이드(57)에 미는 힘이 인가될 수 있다.
도 18, 도 22, 및 도 23을 참조하면, 상기 이송 장치(20)의 주행력을 이용하여 상기 제2 상단 선반(52)을 회피 구동할 수 있다(B140).
일 실시예에서, 상기 이송 장치(20)의 주행력을 이용하여 상기 제2 가이드(57)에 미는 힘이 인가됨으로써, 상기 제1 상단 선반(51) 및 상기 제2 상단 선반(52)은 상기 가이드 바(43)를 따라 수평 이동할 수 있다. 상기 제1 상단 선반(51)은 상기 빈공간(54V) 내로 이동할 수 있다. 상기 제1 상단 선반(51)은 상기 제4 하단 선반(64) 상에 수직 정렬될 수 있다. 상기 제2 상단 선반(52)은 상기 제3 하단 선반(63) 상에 수직 정렬될 수 있다. 상기 제1 상단 선반(51)의 수평 이동에 따라 상기 연결 핀(73) 또한 이동하게 되고, 상기 벨트(75)에 연결된 상기 카운터 웨이트(77)는 상부로 들어올려질 수 있다.
상기 이송 장치(20)는 상기 제2 상단 선반(52) 및 상기 제3 상단 선반(53) 사이에 정렬될 수 있다(B150). 상기 이송 장치(20)는 상기 제2 하단 선반(62)의 상부에 인접하게 정렬될 수 있다. 상기 선반 이동 모듈(32)은 상기 제2 상단 선반(52) 상의 상기 제2 가이드(57)에 접촉될 수 있다.
도 18 및 도 24를 참조하면, 도 4 내지 도 9를 참조하여 설명한 것과 유사한 방법으로 상기 제2 하단 선반(62) 상에 반송물(81)이 적재될 수 있다(B160).
일 실시예에서, 도 18 내지 도 24를 참조하여 설명된 것의 역순으로 상기 제2 하단 선반(62) 상의 상기 반송물(81)은 상기 이송 장치(20)에 의하여 들어올려질 수 있다.
도 18 및 도 2를 다시 한번 참조하면, 상기 이송 장치(20)는 상기 보관 장치(40)의 외부를 향하여 출발할 수 있다(B170). 상기 선반 복귀 장치(72)를 이용하여 상기 제1 상단 선반(51) 및 상기 제2 상단 선반(52)은 복귀될 수 있다(B180).
일 실시예에서, 도 10을 참조하여 설명한 바와 유사하게 상기 선반 이동 모듈(32)의 복귀에 따라 상기 제2 가이드(57)에 작용하는 힘은 해제될 수 있다. 상기 카운터 웨이트(77)는 중력에 의하여 아래로 내려갈 수 있다. 상기 벨트(75)에 연결된 상기 연결 핀(73)에 끌어당기는 힘이 작용하여, 상기 제1 상단 선반(51) 및 상기 제2 상단 선반(52)은 상기 가이드 바(43)를 따라 수평 이동하여 원래 위치로 복귀할 수 있다.
도 18 및 도 25를 참조하면, 상기 제1 하단 선반(61), 상기 제2 하단 선반(62), 상기 제4 하단 선반(64), 및 상기 다수의 상단 선반(51, 52, 53) 상에 다수의 반송물(81)이 보관될 수 있다. 상기 제3 하단 선반(63)은 빈 상태(또는 준비 상태)일 수 있다. 상기 이송 장치(20)는 상기 제1 상단 선반(51) 및 상기 제2 상단 선반(52) 사이에 인접하게 접근할 수 있다(B120).
도 18 및 도 26을 참조하면, 상기 선반 이동 모듈(도 21의 32)을 상기 제1 상단 선반(51) 상의 상기 제1 가이드(56)에 접촉할 수 있다(B130). 일 실시예에서, 도 13을 참조하여 설명한 바와 유사하게 상기 선반 이동 모듈(32)의 상기 롤러(34)는 상기 제1 가이드(56)에 접촉될 수 있다
상기 이송 장치(20)의 주행력을 이용하여 상기 제1 상단 선반(51)을 회피 구동할 수 있다(B140).
일 실시예에서, 상기 이송 장치(20)의 주행력을 이용하여 상기 제1 가이드(56)에 미는 힘이 인가됨으로써, 상기 제1 상단 선반(51)은 상기 가이드 바(43)를 따라 수평 이동할 수 있다. 상기 제1 상단 선반(51)은 상기 빈공간(54V) 내로 이동할 수 있다. 상기 제1 상단 선반(51)은 상기 제4 하단 선반(64) 상에 수직 정렬될 수 있다. 상기 제1 상단 선반(51)의 수평 이동에 따라 상기 연결 핀(73) 또한 이동하게 되고, 상기 벨트(75)에 연결된 상기 카운터 웨이트(77)는 상부로 들어올려질 수 있다.
상기 이송 장치(20)는 상기 제1 상단 선반(51) 및 상기 제2 상단 선반(52) 사이에 정렬될 수 있다(B150). 상기 이송 장치(20)는 상기 제3 하단 선반(63)의 상부에 인접하게 정렬될 수 있다. 상기 선반 이동 모듈(도 13의 32)은 상기 제1 상단 선반(51) 상의 상기 제1 가이드(56)에 접촉될 수 있다.
도 18 및 도 27을 참조하면, 상기 제3 하단 선반(63) 상에 반송물(81)이 적재될 수 있다(B160).
도 18 및 도 2를 다시 한번 참조하면, 상기 이송 장치(20)는 상기 보관 장치(40)의 외부를 향하여 출발할 수 있다(B170). 상기 선반 복귀 장치(72)를 이용하여 상기 제1 상단 선반(51)은 복귀될 수 있다(B180).
도 18 및 도 28을 참조하면, 상기 제2 하단 선반(62), 상기 제3 하단 선반(63), 상기 제4 하단 선반(64), 및 상기 다수의 상단 선반(51, 52, 53) 상에 다수의 반송물(81)이 보관될 수 있다. 상기 제1 하단 선반(61)은 빈 상태(또는 준비 상태)일 수 있다. 상기 이송 장치(20)는 상기 제3 상단 선반(53)에 인접하게 접근할 수 있다(B120).
도 18 및 도 29를 참조하면, 상기 선반 이동 모듈(도 21의 32)을 상기 제3 상단 선반(53) 상의 상기 제3 가이드(58)에 접촉할 수 있다(B130). 일 실시예에서, 도 13을 참조하여 설명한 바와 유사하게 상기 선반 이동 모듈(32)의 상기 롤러(34)는 상기 제3 가이드(58)에 접촉될 수 있다
상기 이송 장치(20)의 주행력을 이용하여 상기 제3 상단 선반(53)을 회피 구동할 수 있다(B140).
일 실시예에서, 상기 이송 장치(20)의 주행력을 이용하여 상기 제3 가이드(58)에 미는 힘이 인가됨으로써, 상기 제1 상단 선반(51), 상기 제2 상단 선반(52), 및 상기 제3 상단 선반(53)은 상기 가이드 바(43)를 따라 수평 이동할 수 있다. 상기 제1 상단 선반(51)은 상기 빈공간(54V) 내로 이동할 수 있다. 상기 제1 상단 선반(51)은 상기 제4 하단 선반(64) 상에 수직 정렬될 수 있다. 상기 제2 상단 선반(52)은 상기 제3 하단 선반(63) 상에 수직 정렬될 수 있다. 상기 제3 상단 선반(53)은 상기 제2 하단 선반(62) 상에 수직 정렬될 수 있다. 상기 제1 상단 선반(51)의 수평 이동에 따라 상기 연결 핀(73) 또한 이동하게 되고, 상기 벨트(75)에 연결된 상기 카운터 웨이트(77)는 상부로 들어올려질 수 있다.
상기 이송 장치(20)는 상기 제3 상단 선반(53)에 인접하게 정렬될 수 있다(B150). 상기 이송 장치(20)는 상기 제1 하단 선반(61)의 상부에 인접하게 정렬될 수 있다. 상기 선반 이동 모듈(도 13의 32)은 상기 제3 상단 선반(53) 상의 상기 제3 가이드(58)에 접촉될 수 있다.
도 18 및 도 30을 참조하면, 상기 제1 하단 선반(61) 상에 반송물(81)이 적재될 수 있다(B160).
도 18 및 도 2를 다시 한번 참조하면, 상기 이송 장치(20)는 상기 보관 장치(40)의 외부를 향하여 출발할 수 있다(B170). 상기 선반 복귀 장치(72)를 이용하여 상기 제1 상단 선반(51), 상기 제2 상단 선반(52), 및 상기 제3 상단 선반(53)은 복귀될 수 있다(B180).
일 실시예에서, 상기 제1 상단 선반(51), 상기 제2 상단 선반(52), 상기 제3 상단 선반(53), 및 상기 제4 하단 선반(64) 상의 상기 다수의 반송물(81)은 도 1 내지 도 10을 참조하여 설명한 것과 유사한 방법으로 적재 또는 이송될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 선반 복귀 장치(72)는 생략될 수 있다. 상기 선반 이동 모듈(도 12의 32)은 도 1 내지 도 13을 참조하여 설명한 것과 유사한 방법으로 상기 다수의 상단 선반(51, 52, 53) 중 선택된 적어도 하나를 회피 구동하거나 복귀시키는 역할을 할 수 있다.
이상, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 기술적 사상에 따른 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 이상에서 기술한 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해하여야 한다.
20: 이송 장치 21: 몸체
23: 주행 모듈 25: 취급 모듈
26: 수평 이동 모듈 27: 승강 모듈
28: 핸드 모듈 32: 선반 이동 모듈
33: 돌출부 34: 롤러
40: 보관 장치 41: 메인 프레임
43: 가이드 바(Guide Bar) 51, 52, 53: 상단 선반
56, 57, 58: 가이드(Guide) 61, 62, 63, 64: 하단 선반
72: 선반 복귀 장치 73: 연결 핀
74: 유동 바퀴(Idler) 75: 벨트
76: 지지 바아
77: 카운터 웨이트(Counter Weight)
81: 반송물 82: 케이스
83: 캐리어 85: 기판
93: 설치 봉 95: 레일
100: 스토리지 시스템

Claims (10)

  1. 보관 장치; 및
    이송 장치를 포함하되,
    상기 보관 장치는
    가이드 바(Guide Bar);
    상기 가이드 바에 연결되고, 반송물이 보관되는 다수의 상단 선반;
    상기 다수의 상단 선반 아래에 배치되고 상기 반송물이 보관되는 다수의 하단 선반;
    상기 다수의 상단 선반에 연결된 다수의 가이드(Guide); 및
    상기 다수의 상단 선반 중 선택된 하나에 연결된 선반 복귀 장치를 포함하고,
    상기 이송 장치는
    몸체;
    상기 몸체에 부착되고 상기 이송 장치를 상기 보관 장치에 인접하게 이동하는 주행 모듈;
    상기 몸체에 부착되고 상기 반송물을 취급하는 취급 모듈; 및
    상기 몸체 또는 상기 취급 모듈에 부착되고 상기 다수의 가이드 중 선택된 하나에 접촉되는 선반 이동 모듈을 포함하는 스토리지 시스템.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 선반 이동 모듈은
    상기 다수의 가이드 중 선택된 하나에 접촉되는 롤러; 및
    상기 롤러와 상기 몸체 사이 또는 상기 롤러와 상기 취급 모듈 사이에 연결된 돌출부를 포함하는 스토리지 시스템.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 취급 모듈은
    상기 몸체에 연결된 수평 이동 모듈;
    상기 수평 이동 모듈에 연결된 승강 모듈; 및
    상기 승강 모듈에 연결된 핸드 모듈을 포함하는 스토리지 시스템.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 선반 이동 모듈은 상기 수평 이동 모듈에 부착된 스토리지 시스템.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 선반 복귀 장치는 카운터 웨이트(Counter Weight)를 포함하는 스토리지 시스템.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 선반 복귀 장치는
    상기 다수의 상단 선반 중 선택된 하나에 연결된 연결 핀;
    상기 중간 수평 프레임에 연결된 유동 바퀴(Idler); 및
    상기 연결 핀 및 상기 카운터 웨이트 사이에 연결되고 상기 유동 바퀴에 접촉된 벨트를 더 포함하는 스토리지 시스템.
  7. 제5 항에 있어서,
    상기 카운터 웨이트는 1Kg 내지 10Kg의 무게를 갖는 스토리지 시스템.
  8. 제1 항의 스토리지 시스템을 제공하고,
    상기 이송 장치를 상기 보관 장치에 인접하게 접근시키고,
    상기 선반 이동 모듈을 상기 다수의 가이드 중 선택된 하나에 접촉하고,
    상기 이송 장치의 주행력을 이용하여 상기 다수의 상단 선반 중 선택된 적어도 하나를 회피 구동하고,
    상기 이송 장치를 상기 다수의 하단 선반 중 대응하는 하나의 상부에 인접하게 정렬하고,
    상기 다수의 하단 선반 중 대응하는 하나 상에 상기 반송물을 적재하고,
    상기 이송 장치를 출발하고, 그리고
    상기 선반 복귀 장치를 이용하여 상기 다수의 상단 선반 중 선택된 적어도 하나를 복귀시키는 것을 포함하는 스토리지 시스템 운전 방법.
  9. 보관 장치; 및
    이송 장치를 포함하되,
    상기 보관 장치는
    가이드 바(Guide Bar);
    상기 가이드 바에 연결되고, 반송물이 보관되는 다수의 상단 선반;
    상기 다수의 상단 선반 아래에 배치되고 상기 반송물이 보관되는 다수의 하단 선반; 및
    상기 다수의 상단 선반에 연결된 다수의 가이드(Guide)를 포함하고,
    상기 이송 장치는
    몸체;
    상기 몸체에 부착되고 상기 이송 장치를 상기 보관 장치에 인접하게 이동하는 주행 모듈;
    상기 몸체에 부착되고 상기 반송물을 취급하는 취급 모듈; 및
    상기 몸체 또는 상기 취급 모듈에 부착되고 상기 다수의 가이드 중 선택된 하나에 접촉되는 선반 이동 모듈을 포함하는 스토리지 시스템.
  10. 하부 수평 프레임, 상기 하부 수평 프레임 상의 중간 수평 프레임, 및 상기 중간 수평 프레임 상의 상부 수평 프레임을 갖는 메인 프레임;
    상기 중간 수평 프레임에 연결된 가이드 바(Guide Bar);
    상기 가이드 바에 연결되고, 반송물이 보관되는 다수의 상단 선반;
    상기 하부 수평 프레임에 연결되고 상기 반송물이 보관되는 다수의 하단 선반;
    상기 다수의 상단 선반에 연결된 다수의 가이드(Guide); 및
    상기 다수의 상단 선반 중 선택된 하나에 연결된 선반 복귀 장치를 포함하되,
    상기 선반 복귀 장치는
    상기 다수의 상단 선반 중 선택된 하나에 연결된 연결 핀;
    상기 중간 수평 프레임에 연결된 유동 바퀴(Idler);
    상기 연결 핀에 연결되고 상기 유동 바퀴에 접촉된 벨트; 및
    상기 벨트에 연결된 카운터 웨이트(Counter Weight)를 포함하는 스토리지 시스템.
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