JPS62116435A - Ｉｃシ−ト給排装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔目　次〕 概要 産業上の利用分野 従来の技術及 発明が解決しようとする問題点 問題点を解決するための手段 作用 実施例 ＣＩ）第１実施例（第１図〜第８図） （１）ＩＣ自動切断成形装置（第８図）ｆ２）ＩＣシー
トローダ（第１図〜第７図）（ａｌ　　マガジン（第１
図、第７図）（ｂｌ　　マガジンストック部（第１図、
第４、図） （ｃ１マガジン給送機構（第１図、第４図第５図） （ｄｌＩｃシート供給機構（第１図、第３図、第４図） （ｅ）　　マガジン返送機構（第１図、第３図）〔■〕
第２実施例 発明の効果 〔概　要〕 ＩＣシート処理部に対するＩＣシートの供給または排出
を行うＩＣシート給排装置であって、上部にＩＣシート
出入口を有しＩＣシートを上下に積み重ねて収容可能な
マガジンを複数個水平方向へ同一ピッチで並列させた状
態でストックし、このマガジン列をその配列ピッチに相
当する距離ずつステップ送りして各マガジンをｒＣシー
ト出入位置へ順送りし、その位置でマガジンとＩＣシー
ト処理部間のＩＣシート給排を行い、ＩＣシート給排が
済んだマガジンはマガジン列最後尾に返送するような構
成とすることにより、ＩＣシートの大量ストックおよび
高速給排を実現したものである。

〔産業上の利用分野〕

本発明はＩＣ（集積回路）の製造技術、特に複数のＩＣ
がリードフレームで相互連結された状態のＩＣシートの
処理技術に関し、更に詳しくはＩＣシートのＩＣシート
処理部への供給またはＩＣシート処理部からの排出（以
下これらを「ＩＣシートの給排」と総称する）を自動的
に行うＩＣシート給排装置に関する。

ＩＣシートの処理には、ＩＣを個々に切り離してリード
端子の曲げ加工を行うＩＣ切断成形処理（いわゆるプロ
ブレ処理）の他に、ＩＣシートに各種のマークや記号を
捺印するマーキング等、種々の処理がある。これらの処
理を自動的に行う装置は各種実用化されているが、これ
らの装置を効率良く稼動させるためにはＩＣシートの効
率的且つ長時間の自動連続給排が不可欠である。

〔従来の技術〕

従来、ＩＣシートをストック部にストックしておき、こ
のストック部とＩＣシート処理部との間でＩＣシート給
排を行うようにしたＩＣシート給排装置が実用化されて
いる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来装置は、ストック部の構造や、ストック部とＩＣシ
ート処理部間のＩＣシート給排方式の点から、ＩＣシー
トのストック量が少なかったり、ＩＣシート給排に時間
がかかったりするため、ＩＣシート処理装置の長時間無
人運転ができなかったり、あるいは生産性が低い等の問
題があった。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明のｒｃレシート排装置は、上記問題点を解決する
ために、 上部にＩＣシート出入口を有しＩＣシートを上下に積み
重ねて収容可能なマガジンを複数個水平方向へ同一ピッ
チで並列させた状態でストック可能なマガジンストック
部と、 前記マガジンストック部内のマガジン列をそれの配列ピ
ッチに相当する距離ずつステップ送りして各マガジンを
マガジンストック部一端側のＩＣシート出入位置へ順送
りするマガジン給送機構と、前記ＩＣシート出入位置の
マガジンと前記ＩＣシート処理部との間のＩＣシート給
排を行うＩＣシート給排機構と、 ＩＣシート給排が完了したＩＣシート出入位置のマガジ
ンをマガジンストック部他端側のマガジン列最後尾位置
へ返送するマガジン返送機構と、を具備してなる構成と
したものである。

〔作　用〕

上記の構造によれば、マガジン及びマガジンストック部
の構造上、ＩＣシートを小さな容積で高密度にストック
することができ、ＩＣシートストック量の大容量化が可
能である。

また、マガジンに対するＩＣシートの出し入れが容易で
、しかもＩＣシート出入の済んだマガジンと次のマガジ
ンとの入れ替えが迅速に行われるので、ＩＣシート給排
速度の高速化が可能である。

〔実施例〕

（１）第１実施例（第１図〜第８図） 以下、本発明の一実施例として、ｒｃ自動切断成形装置
（以下「プロダレ装置」と称する）用のＩＣシートロー
ダを例にとって説明する。

（１）　ＩＣ自動切断成形装置（第８図）まずプロダレ
装置について節単に説明すれば、これは第８図に示すよ
うに基本的にはＩＣシートローダＡ１切断プレスＢ、曲
げプレスＣ１及び■ＣアンローダＤから構成されており
、第６図に示す如く複数のＩＣがリードフレームＦで相
互連結された状態のＩＣシートＳをマガジンＭに収容し
てＩＣシートローダＡに多数ストックしておき、それを
１枚ずつ切断プレスＢに供給してそこでＩＣを個々に切
り離し、更に曲げプレスＣで各ＩＣのリード端子Ｌ（第
６図）を曲げ成形した後、ＩＣアンローダＤへ排出して
そこにストックしておくように構成されている。

＋２１１Ｃシートローダ（第１図〜第７図）次に、ＩＣ
シートローダＡについて説明すると、これは第１図から
第４図に示すように基本的にはマガジンＭをストックす
るマガジンストック部１（以下単に「ストック部」と略
記）と、ストック部１の一端側に位置するマガジンＭか
らＩＣシートＳを１枚ずつ取り出して切断プレスＢ（第
８図）に供給するＩＣシート供給機構２と、ＩＣシート
Ｓを供給し終って空になったマガジンをストック部１の
他端側の位置に返送するマガジン返送機構３とを有する
。尚、符号４は操作パネルを示す。

以下、各部の構成及び作用を詳細に説明する。

（ａ）　　マガジン（第１図、第７図）マガジンＭは特
に第１図から明らかなように全体的には高さ、横幅に比
べて厚さが小さな直方体の形状であり、その具体例を第
７図に平面図で示しである。尚、ＩＣシートＳ（第６図
）にはその長さや幅寸法の異なる多くの種類があり、マ
ガジンＭはそれに応じて多数種類用意され、第７図には
そのうちの２種類Ｍｌ、Ｍ２を例示しである。

しかしマガジンＭ（Ｍｌ、Ｍ２）の基本構造は同じであ
り、いずれも底板５１、前板５２、後板５３、外側Ｆｉ
５４、内側板５５から構成されていて、ＩＣシートＳ（
第７図にはＳｌ、Ｓ２をそれぞれ半分のみ仮想線で且つ
ハツチングを付して示しである）をそれぞれ水平状態に
て上下に積み重ねて収容可能となっている。マガジンＭ
の上部は開放したＩＣシート出入口になっており、ここ
からＩＣシートＳが出し入れされる。また前板５２は両
側部分にだけ設けられていて中央部は開放し、且つ底板
５１には左右２箇所に切欠５６が形成されていて、後述
するようにマガジンＭ内のＩＣシートＳをリフト２２（
第１図、第３図、第４図）によって出入口に向って上昇
させられるようにしである。

更に、マガジンＭ（ＭＬ、Ｍ２）の寸法は、それらの厚
さＴ、、　Ｔｉならびに内法幅Ｗ、、Ｗ。

はＩＣシート５（Ｓｌ、Ｓ２）の外形寸法に対応させて
異ならしめであるが、外法幅Ｗ及び高さは共通として後
述するようにどの種類のマガジンでもストック部１に収
納できるようにしである。

（ｂ）　　マガジンストック部（第１図〜第４図）第２
図及び第４図から明らかなようにストック部ｌは左右両
側壁１１及び底壁１２で形成された上方が開放した室で
あり、第１図及び第３図に示すように複数のマガジンＭ
がそれぞれ縦向きに且つ互いに平行な状態で水平方向へ
一定の配列ピッチｐ　（第３図）で−列に並べてス）７
りされる。

ストック部１にはマガジン給送機構が設けられており、
これによりマガジン列はその配列ピッチｐを保ったまま
配列ピッチｐに相当する距離ずつステップ送りされ、各
マガジンＭはストック部１の一端側のＩＣシート供給機
構２と対応するＩＣシート取出位置ＴＰ（第１図、第３
図）へと順送りされる。

（ｃ）　　マガジン給送機構（第１図、第４図、第５図
） 第１図及び第４図に明示するように、ストック部１の左
右両側壁１１にはそれぞれマガジン保持杆１３及びマガ
ジン給送杆１４（以下それぞれ単に「保持杆」、「給送
杆」と略記）が配置されている。これらの保持杆１３及
び給送杆１４は基本的に同形状であり、第５図に示すよ
うに平板状の部材の内縁に複数の角形のガイド溝１５を
形成してなるものである。これらのガイド溝１５はマガ
ジンＭの配列ピッチｐと同ピッチで形成されており、マ
ガジンＭの両側縁に設けられた角形のガイドレール５７
　（第７図参照）が嵌合するようになっている。このマ
ガジンＭのガイドレール５７の寸法形状はマガジンの種
類に関係なく共通としてあり、従ってどの種類のマガジ
ンでも保持杆１３及び給送杆１４のガイド溝１５に係合
可能である。

第１図に示すように、保持杆１３はマガジンＭに対しそ
の横方向ａ、ｂへ往復移動可能であり、また給送杆１４
はマガジンＭに対しその横力向ｄ。

ｆへ往復移動可能であると共にマガジン配列方向ｃ、ｅ
へも往復移動可能であり、これらの保持杆１３および給
送杆１４が例えばエアーシリンダあるいは油圧シリンダ
などで一定の順序で駆動されることによりマガジンＭは
矢印Ｃ方向へ配列ピッチｐに相当する距離だけステップ
送りされる。このマガジンのステップ送りは以下の如く
である。

（ｉ）通常は保持杆１３及び給送杆１４は第１図に実線
で示す如くマガジンＭに係合した位置にある。

（ｉｉ）マガジン給送に際し、まず保持杆１３が矢印ａ
方向へ移動しく点線１３ａ）、マガジンＭから離脱する
。

（ｉｉｉ　）次に給送杆１４がマガジンＭと係合したま
ま矢印Ｃ方向へ距離ｐだけ移動し、これにより全部のマ
ガジンＭが矢印Ｃ方向へ順送りされる。

（ｉｖ）そうすると保持杆１３が矢印す方向へ復帰し、
再びマガジンＭに係合する。

（ｖ）しかる後に給送杆１４が矢印ｄ方向へ移動してマ
ガジンＭから離脱し、続いて矢印ｅ方向へ移動しく点線
１４ａ）、更に矢印ｆ方向へ移動して再びマガジンＭに
係合し、前記（ｉ）の状態に復帰する。

以上の（ｉ）〜（Ｖ）の一連の動作を繰り返すことによ
りマガジンＭは互いに一定の配列ピッチｐを保った状態
で距離ｐずつステップ送りされ、ＩＣシート取出位置Ｔ
Ｐへ順送りされることになる。

尚、給送杆１４は保持杆１３を中央にして上下２段に設
けると一層有利である。つまり給送杆を上下２段構造と
することによりマガジンの搬送時の倒れを確実に防止で
きるからである。

（ｄ）ＩＣシート供給機ｔＪＩ　（第１図、第３図、第
４図） ＩＣシート供給機構２は、ＩＣシート取出位置ＴＰの上
方に位置する真空吸着式のｉｃレシート送ヘッド２１を
有する。第１図に示すようにＩＣシーＮＦＲ送ヘッド２
１は上下に往復移動可能であり、まず矢印ｇ方向へ下降
してＩＣシート取出位置ＴＰに位置するマガジンＭＡ内
の最上側のＩＣシートＳを吸着し、そして矢印り方向へ
上昇してそのＩＣシートをマガジンＭＡから取り出す。

次いでＩＣシー）ＩＩＩ送ヘッド２１は矢印ｉ方向へ水
平移動し、点線２１ａの位置でＩＣシートを切断ブレス
ＢのＩＣシート供給部（図示せず）へ載置した後、矢印
ｊ方向へ復帰する。そしてマガジンＭＡ内のＩＣシート
を全て供給し終るまでこの動作を繰り返す。

またＩＣシート供給機構２はＩＣシート取出位置ＴＰに
おいて上下動するリフト２２を具備しており、マガジン
ＭＡ内のＩＣシート数が減るにつれてリフト２２が上昇
してＩＣシート堆積体を押し上げ、ＩＣシート搬送へノ
ド２１によるＩＣシート取出しを最後まで円滑に行うこ
とができるようになっている。

尚、マガジンＭＡにＩＣシートが残っているか否か、つ
まりマガジンＭＡが空になったか否かは、ＩＣシート取
出位置ＴＰの上下位置に透過式光センサ（図示せず）を
設けておき、それのセンサ光がマガジンＭＡを透過する
か否かによって検知する。そのために第７図に示すよう
にマガジンＭ（Ｍｌ、Ｍ２）の底板５１の一定の位置に
セッサ光透過用の穴５８を設けである。ＩＣシー１−３
（ＳＬ、３２）がマガジンＭＡ内に残っている間はセン
サ光はＩＣシートに遮られて検知されず、マガジンが空
になるとセンサ光が穴５８を透過して検知され、マガジ
ンが空になったこと（つまりＩＣシート取出が終了した
こと）が検知される。

ＩＣシート取出位置ＴＰのマガジンからのＩＣシート供
給が終了すると、空になったマガジンＭＡは次に説明す
るマガジン返送機構３によってストック部１の他端側の
位置、つまりマガジン列の最後尾に戻される一方で、前
述したマガジン給送機構によって次のマガジンＭがＩＣ
シート取出位置ＴＰへ送られ、ＩＣシート供給機構２に
よるＩＣシート供給が開始される。

尚、第３図及び第４図の符号２３はＩＣシート吸着へノ
ド２１の部分を覆う安全カバーを示す。

（８１マガジン返送機構（第１図、第３図）マガジン返
送機構３は、第１図及び第３図から明らかなようにスト
ック部１のＩＣシート取出位置ＴＰ及びマガジン列最後
尾位置の下方にそれぞれ配置された第１及び第２のエレ
ベータ３１　、３２を有する。第１エレベータ３１はそ
の上下の位置３１３．３１ｂ　（第３図）の間を上下動
可能であり、通常は上方位置３１ａに静止していてＩＣ
シート取出位置ＴＰＯマガジンＭＡを支持している。一
方、第２エレベータ３２もやはり上下の位置３２ａ、３
２ｂ（第３図）の間を上下動可能であり、通常は上方位
置３２ａに静止していてマガジン列最後尾のマガジンを
支持している。

このマガジン返送機構３による空マガジンの返送は以下
のとおりである。

（：）前述のようにＩＣシート取出位置ＴＰのマガジン
ＭＡが空になったことがセンサで検知されると、第１エ
レベータ３１が矢印に方向に下方位置３１ｂへ下降して
マガジンＭＡを下降させる。

（ｉｉ　）下降させられたマガジンＭＡ、はエアシリン
ダまたは油圧シリンダなど（図示せず）で第１エレベー
タ３１から水平搬送体（図示せず）へと移し換えられ、
第１エレベータ３１は矢印！方向へ上昇して再び上方位
置３１ａへ復帰する。そうすると前述したストック部１
でのマガジン給送機構によるマガジン列のステップ送り
がなされ、次のマガジンが第１エレベータ３１上のＩＣ
シート取出位置ＴＰに送られて支持されることになる。

（ｉｉｉ　）一方、上記のマガジン列のステップ送りに
よって第２エレベータ３２は空となり、矢印ｍ方向に下
方位置３２ｂへと下降する。そうすると水平搬送体が矢
印Ｘ（第１図）方向へ移動してマガジンＭ　Ａ　Ｉを水
平搬送し、符号ＭＡＲで示す如く第２エレベータ３２上
に載せる。しかる後、水平搬送体は矢印ｙ（第１図）方
向へ戻る。

（ｉｖ）マガジンＭ　Ａ　ｚを受は取った第２エレベー
タ３２は矢印ｎ方向に上方位置３２ａへ上昇し、マガジ
ンＭＡ、をストック部１のマガジン列最後尾位置へ位置
せしめると共に、マガジン列の次のステップ送りが行わ
れるまでそれを支持する。

以上の（ｉ）〜（ｉｖ）のマガジン返送動作はＩＣシー
ト取出位置ＴＰのマガジンＭＡが空になるたびに行われ
る。

以上の如く、上記のＩＣシートローダではＩＣシートＳ
が収容された加装マガジンＭをストック部ｌに多数スト
ックしておけば、前記のマガジン給送機構によるマガジ
ン列のステップ送りとマガジン返送機構による空マガジ
ンの返送とによってマガジンＭは第３図に矢印ｃ、に、
ｘ、ｎで示す如く矩形の搬送経路に沿って循環送りされ
、従って全てのマガジンＭが空になるまで切断プレスＢ
（第８図）のＩＣシート供給が連続且つ自動的に行われ
る。

また、ストック部ｌはマガジンを縦に且つ並列させてス
トックする構造であり、多重のＩＣシートをストック可
能であることから長時間自動連続運転が可能である。従
って深夜の無人運転や、あるいは−人の作業員が何台も
の装置を担当する省力化運転が可能となる。尚、後者の
運転のためには、ＩＣシートのストック残量が少なくな
ったときにその補充を作業員に警報する手段を設けてお
くことが有利である。これは次のような構造によって容
易に可能である。例えば第４図に示すようにストック部
１の底壁１２のＩＣシート取出位置ＴＰ　（第１図、第
３図）の１ピッチ手而の位置に前記のマガジンＭの底板
５１の穴５８（第７図）と一致する穴１２ａを形成し、
この穴１２ａの下方に反射式光センサ（図示せず）を設
けておく。そうすればセンサ光の反射の有無によって穴
１２ａに位置するマガジン内のＩＣシートの有無が検知
される。従ってＩＣシートが入っている”Ｍ　Ｗマガジ
ンの最後のものがＩＣシート取出位置ＴＰに位置し、既
にＩＣシート供給を終了した空マガジンの最初のものが
穴１２ａ上の位置に戻されてきた場合、それが空マガジ
ンであることが光センサによって検知され、それに基づ
いてＩＣシート補給警報を出すことができる。そうすれ
ば最後の加装マガジンからのＩＣシート供給が行われて
いる間に作業員がストック部１の空マガジンを新たな加
装マガジンと交換することにより、装置の運転を中断せ
ずに引き続き行うことが可能となる。

尚、図示実施例ではストック部１にのみステップ送り式
マガジン給送機構を用い、マガジン返送機ＦＲ３にはマ
ガジンを１つずつ搬送する水平搬送体を用いているが、
マガジン返送機構３にもストック部１のものと同じステ
ップ送り機構を用いれば、マガジンのストック数（つま
りＩＣシートのストック量）がほぼ倍増し、自動連続運
転時間が倍増されることになる。

更に、上記のＩＣシートローダではマガジンを所定のＩ
Ｃシート取出位置へ順送りしてそこでマガジンの上部出
入口からＩＣシートを取り出して切断プレスへ供給する
方式であるからＩＣシートの取出及び供給を迅速にでき
、しがちＩＣシート取出位置での空マガジンと加装マガ
ジンとの入れ替えも迅速にできることから、ＩＣシート
供給を非常に高速で行うことが可能である。特に実施例
のごと＜ＩＣシート供給機構に真空吸着式ヘッドを用い
た場合、ＩＣシート１枚当りの供給時間は０．８５〜０
．９秒程度である。

（ｎ）第２実施例 上記の第１実施例はＩＣシートをストックしておいてそ
れをＩＣシート処理装置に供給するＩＣシートローダで
あるが、これはＩＣシート処理装置から処理済みＩＣシ
ートを排出してそれをストックしておくＩＣシートアン
ローダとして、例えばＩＣシートに各種のマークや記号
を捺印するマーキング装置のＩＣシートアンローダとし
ても適用可能である。

この場合の構成及び作用はほとんど第１実施例と同じで
あり、単にストック部１に空マガジンをストックしてお
き、ＩＣシート供給機構２をＩＣシート排出機構として
作用するように変えるだけで良い。つまり、第１実施例
ではＩＣシート搬送へラド２１はＩＣシート取出位置Ｔ
ＰＴ：ＩＣシートを吸着してマガジンから取り出し、Ｉ
Ｃシート処理装置（切断プレスＢ）でＩＣシートを離す
ように作用するが、これを逆にしてＩＣシート処理装置
（マーキング装置）でＩＣシートを吸着し、ＩＣシート
取出位置（この場合は「ＩＣシート収納位置」となる）
でＩＣシートを離してマガジンに収納するようにする。

また、ＩＣシートを空マガジンに収納し始めるときはリ
フト２２を最上位置に上昇させておき、ＩＣシートの数
が多くなるにつれて下降させるようにする。尚、マガジ
ンがＩＣシートで満杯にあったことを検知するには第１
実施例で説明したような上下方向の透過式光センサでは
不可能であるが、例えば水平方向の透過式光センサを用
いれば可能である。ストック部１におけるマガジン列の
ステップ送りならびに満杯になったマガジンのマガジン
列最後尾への返送は第１実施例の場合と同様である。こ
のようにしてマーキング装置からＩＣシートを排出して
マガジンに収納し、ストック部に大量にストックしてお
くことが可能である。

〔発明の効果〕

以上の如く、本発明によるＩＣシート給排装置は多くの
利点を有する。これを要約すれば以下の如（である。

（イ）　　ＩＣシート処理装置に対するＩＣシートの供
給及び排出のいずれにも使用可能である。

（０）　　マガジン、マガジンストック部、マガジン給
送機構、及びマガジン返送機構の構造上、ＩＣシートを
非常に大量にストックすることができ、長時間自動連続
運転が可能となるため、深夜無人運転や、１人の作業員
が何台もの装置を担当する省力化運転が可能となり、生
産性および省力化の大幅な向上を実現できる。

＆Ｑ　　また、同じくマガジン、マガジンストック部、
マガジン給送機構、マガジン返送機構、及びＩＣシート
給排機構の構造および作用上、マガジンに対するＩＣシ
ートの出し入れならびにｆｃレシート出または収納位置
における空マガジンと衣装マガジン（または満杯マガジ
ン）との入れ替えを迅速に行うことができることから高
速運転が可能であり、高い生産性を実現し得る。

尚、図示実施例個有お利点として以下の利点が挙げられ
る。

仁）マガジンの外形の一部（特に幅、高さ、両側のガイ
ドレール）をＩＣシートの種類に関係なく共通としたこ
とにより、種々のマガジンをマガジンストック部にスト
ックすることができる。従って単にマガジンを交換する
だけで異種ＩＣシートに共用可能であり、汎用性がある
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の基本構成図、第２図はＩＣ
シートローダの外観斜視図、第３図はＩＣシートローダ
の側面図、 第４図はＩＣシートローダの平面図、 第５図はマガジン給送機構の拡大部分平面図、第６図は
ＩＣシートの一例の平面図、 第７図はマガジンの２つの実施例の平面図、第８図はＩ
Ｃ自動切断成形装置の外観斜視図である。 第１図から第８図において、 ＡはＩＣシートローダ、 Ｍ　、ＭＡはマガジン、 ＳはＩＣシート、 ■はマガジンストック部、 ２はＩＣシート供給機構、 ３はマガジン返送機構、 １３はマガジン保持杆、 １４はマガジン給送杆、 ２１はＩＣシート搬送ヘッド、 ２２はリフト、 ３１　、３２はエレベータである。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、ＩＣシート処理部に対するＩＣシートの供給または
   排出を行うＩＣシート給排装置であって、 （ａ）上部にＩＣシート出入口を有しＩＣシートを上下
   に積み重ねて収容可能なマガジンを複数個水平方向へ同
   一ピッチで並列させた状態でストック可能なマガジンス
   トック部、 （ｂ）前記マガジンストック部内のマガジン列をそれの
   配列ピッチに相当する距離ずつステップ送りして各マガ
   ジンをマガジンストック部一端側のＩＣシート出入位置
   へ順送りするマガジン給送機構、 （ｃ）前記ＩＣシート出入位置のマガジンと前記ＩＣシ
   ート処理部との間のＩＣシート給排を行うＩＣシート給
   排機構、及び （ｄ）ＩＣシート給排が完了したＩＣシート出入位置の
   マガジンをマガジンストック部他端側のマガジン列最後
   尾位置へ返送するマガジン返送機構、を具備してなるこ
   とを特徴とするＩＣシート給排装置。 ２、マガジンの内形はＩＣシートの外形に相応し、また
   マガジンの外形は少なくとも横幅がＩＣシート形状に関
   係なく一定であることを特徴とする特許請求の範囲第１
   項記載のＩＣシート給排装置。 ３、前記マガジン給送機構は、マガジンの横側縁に係脱
   自在な係合部がマガジンの配列ピッチと同一ピッチで複
   数形成されていて且つマガジンに対しそれの横方向へ往
   復動作することによって全マガジンに同時に係脱可能な
   マガジン保持杆と、マガジンの横側縁に対し係脱自在な
   係合部がマガジンの配列ピッチと同一ピッチで複数形成
   されていて且つマガジンに対しそれの横方向へ往復動作
   することによって全マガジンに同時に係脱可能であると
   共にマガジンの配列方向へマガジンの１配列ピッチに相
   当する距離だけ往復動作可能なマガジン給送杆とを有し
   、該マガジン保持杆及びマガジン給送杆が所定の順序で
   動作することによりマガジン列を定ピッチ配列状態に維
   持しながらその配列ピッチに相当する距離ずつステップ
   送りするように構成されていることを特徴とする特許請
   求の範囲第１項または第２項に記載のＩＣシート給排装
   置。 ４、前記マガジンは横側縁に形状が一定のガイドレール
   を有し、前記マガジン保持杆およびマガジン給送杆の係
   合部は該マガジンのガイドレールが係脱自在なガイド溝
   を有することを特徴とする特許請求の範囲第３項記載の
   ＩＣシート給排装置。 ５、前記ＩＣシート給排機構は、ＩＣシートを真空吸着
   可能なヘッドと、該ヘッドをＩＣシート出入位置におい
   て鉛直方向へ上下動させてマガジンに対してそれのＩＣ
   シート出入口からＩＣシートを出し入れすると共に、該
   ヘッドをＩＣシート出入位置とＩＣシート処理部との間
   で搬送するヘッド送り機構とを具備してなることを特徴
   とする特許請求の範囲第１項〜第４項のいずれかに記載
   のＩＣシート給排装置。 ６、前記マガジン返送機構は、ＩＣシート出入位置のマ
   ガジンをその下方位置へ下降させる第１エレベータと、
   該下降されたマガジンをマガジン列最後尾位置の下方位
   置へ送る水平送り機構と、該水平送りされたマガジンを
   マガジン列最後尾位置へ上昇させる第２エレベータとを
   具備してなることを特徴とする特許請求の範囲第１項〜
   第５項までのいずれかに記載のＩＣシート給排装置。