JPS6199790A - オ−ルメタル超高真空継手 - Google Patents
オ−ルメタル超高真空継手Info
- Publication number
- JPS6199790A JPS6199790A JP21852084A JP21852084A JPS6199790A JP S6199790 A JPS6199790 A JP S6199790A JP 21852084 A JP21852084 A JP 21852084A JP 21852084 A JP21852084 A JP 21852084A JP S6199790 A JPS6199790 A JP S6199790A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fitting
- wedge
- tube
- high vacuum
- aluminum alloy
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Joints With Pressure Members (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は超高真空管路に用いられるオールメタル超高
真空継手に関するものである。
真空継手に関するものである。
従来、水圧機器や空気圧機器に用いられるアルミニウム
合金からなるオールメタル継手として、中空のねじ金具
の一端部に管体を挿入し、かつねじ金具の一端部のテー
パー孔と管体と゛の間に楔状カラーを嵌入すると共に、
その楔状カラーの厚肉端部に環状ベース金具を係合し、
前記ねじ金具の一端部に螺合した内側フランジ付きナツ
トにより環状ベース金具を介して楔状カラーを管体とね
じ金具のテーパー孔との間に圧入した構造のものが知ら
れている。
合金からなるオールメタル継手として、中空のねじ金具
の一端部に管体を挿入し、かつねじ金具の一端部のテー
パー孔と管体と゛の間に楔状カラーを嵌入すると共に、
その楔状カラーの厚肉端部に環状ベース金具を係合し、
前記ねじ金具の一端部に螺合した内側フランジ付きナツ
トにより環状ベース金具を介して楔状カラーを管体とね
じ金具のテーパー孔との間に圧入した構造のものが知ら
れている。
そしてこの構造のオールメタル継手の表面には、流体等
による腐食を防止するために、アルマイト処理によるク
ロム酸皮膜または硫酸皮膜を設けている。これらの皮膜
はポーラスでかつ水利皮膜であるので、空気圧、水圧等
に対するシール性能は充分であるが、真空として特に超
高真空としてのベーキングによる水分の蒸発によって皮
膜のポーラス状シール面よシのリークが発生するという
問題があり、また超高真空では前記皮膜からガスが放出
されるという問題がある。
による腐食を防止するために、アルマイト処理によるク
ロム酸皮膜または硫酸皮膜を設けている。これらの皮膜
はポーラスでかつ水利皮膜であるので、空気圧、水圧等
に対するシール性能は充分であるが、真空として特に超
高真空としてのベーキングによる水分の蒸発によって皮
膜のポーラス状シール面よシのリークが発生するという
問題があり、また超高真空では前記皮膜からガスが放出
されるという問題がある。
一方、シール部の材質については、ねじ金具および楔状
カラーの双方を同一材質にすると、シール性能として１
回のシールには有効であるが、繰返しシール性能は不完
全であるので、通常は、ねじ金具として、ＪＩＳ、Ａ７
０７５のようにアルミニウム合金の中でも比較的硬質の
ものを使用している。
カラーの双方を同一材質にすると、シール性能として１
回のシールには有効であるが、繰返しシール性能は不完
全であるので、通常は、ねじ金具として、ＪＩＳ、Ａ７
０７５のようにアルミニウム合金の中でも比較的硬質の
ものを使用している。
ねじ金具を前記Ａ７０７５により製作した場合、Ａ７０
７５の耐食性は他のアルミニウム合金に比べて劣り、か
つＡ７０７５はＺｎ′５ｃ含有しておシ、超高真空にお
いてはＺｎのガスが放出されるので、超高真空継手のね
じ金具に前記Ａ７０７５’に使用するのは不適当である
。
７５の耐食性は他のアルミニウム合金に比べて劣り、か
つＡ７０７５はＺｎ′５ｃ含有しておシ、超高真空にお
いてはＺｎのガスが放出されるので、超高真空継手のね
じ金具に前記Ａ７０７５’に使用するのは不適当である
。
またねじ金具を他の材質例えばステンレスのような異種
材質にすることも考えられるが、この場合は、ねじ金具
と他の部材との線膨張係数が異なるので、常温（一定温
度）ではシール性を有するが、急激な温度変化において
はシール性能が低下する。
材質にすることも考えられるが、この場合は、ねじ金具
と他の部材との線膨張係数が異なるので、常温（一定温
度）ではシール性を有するが、急激な温度変化において
はシール性能が低下する。
この発明は前述の問題を有利に解決できるオールメタル
超高真空継手を提供することを目的とするものであって
、この発明の要旨とするところは、アルミニウム合金の
ねじ金具１に設けられた管体嵌合孔２に管体６の端部が
嵌入され、その管体６の外周面とねじ金具１のテーパー
孔４との間にアルミニウム合金の楔状カラー５が嵌入さ
れ、ねじ金具１に螺合された内側フランジ付きナツト６
により環状ベース金具７を介して楔状カラー５が締付け
られているオールメタル継手において、前記ねじ金具１
の内面に、イオンブレーティング処理による窒化チタン
または窒化クロムの硬質皮膜８が設けられ、かつ前記楔
状カラー５の材質が、ねじ金具１．管体６および環状ベ
ース金具７よシも軟質であることを特徴とするオールメ
タル超高真空継手にある。
超高真空継手を提供することを目的とするものであって
、この発明の要旨とするところは、アルミニウム合金の
ねじ金具１に設けられた管体嵌合孔２に管体６の端部が
嵌入され、その管体６の外周面とねじ金具１のテーパー
孔４との間にアルミニウム合金の楔状カラー５が嵌入さ
れ、ねじ金具１に螺合された内側フランジ付きナツト６
により環状ベース金具７を介して楔状カラー５が締付け
られているオールメタル継手において、前記ねじ金具１
の内面に、イオンブレーティング処理による窒化チタン
または窒化クロムの硬質皮膜８が設けられ、かつ前記楔
状カラー５の材質が、ねじ金具１．管体６および環状ベ
ース金具７よシも軟質であることを特徴とするオールメ
タル超高真空継手にある。
次にこの発明を図示の例によって詳細に説明する。
図面はこの発明の実施例を示すものであって、一端部に
ナツト螺合用雄ねじ９と管体嵌合孔２とその管体嵌合孔
２に連続するテーパー孔４とを備えかつ他端部に継手連
結用雄ねじ１０を備えている中空のねじ金具１が、ＪＩ
Ｓ、Ａ２２１９−Ｔａ２のような高強度のアルミニウム
合金により製作され、は、イオンブレーティング処理に
より３〜１０μの厚さの窒化チタンまたは窒化クロムの
硬質皮膜８が一体に設けられている。
ナツト螺合用雄ねじ９と管体嵌合孔２とその管体嵌合孔
２に連続するテーパー孔４とを備えかつ他端部に継手連
結用雄ねじ１０を備えている中空のねじ金具１が、ＪＩ
Ｓ、Ａ２２１９−Ｔａ２のような高強度のアルミニウム
合金により製作され、は、イオンブレーティング処理に
より３〜１０μの厚さの窒化チタンまたは窒化クロムの
硬質皮膜８が一体に設けられている。
前記管体嵌合孔２にアルミニウム合金の管体３の端部が
嵌入され、かつアルミニウム合金からなる楔状カラー５
は前記テーパー孔４と管体６との間に嵌入され、その楔
状カラー５の厚肉端部にはアルミニウム合金の環状ベー
ス金具７が係合され、さらにアルミニウム合金からなる
内側フランジ付きナツト６はねじ金具１におけるナツト
螺合用雄ねじ９に螺合され、その内側フランジ付きナツ
ト乙の締付力により環状ベース金具７を介して楔状カラ
ー５が押圧されて前記テーパー孔４と管体６との間に強
力に圧入され、また楔状カラー５の厚肉端部は環状ベー
ス金具７により押し拡げられて内側７ランジ付きナツト
乙の内面に押付けられている。
嵌入され、かつアルミニウム合金からなる楔状カラー５
は前記テーパー孔４と管体６との間に嵌入され、その楔
状カラー５の厚肉端部にはアルミニウム合金の環状ベー
ス金具７が係合され、さらにアルミニウム合金からなる
内側フランジ付きナツト６はねじ金具１におけるナツト
螺合用雄ねじ９に螺合され、その内側フランジ付きナツ
ト乙の締付力により環状ベース金具７を介して楔状カラ
ー５が押圧されて前記テーパー孔４と管体６との間に強
力に圧入され、また楔状カラー５の厚肉端部は環状ベー
ス金具７により押し拡げられて内側７ランジ付きナツト
乙の内面に押付けられている。
前記管体３を構成するアルミニウム合金としては例えば
ＪＩＳ、Ａ ６０６６が用いられ、前記内側フランジ付
きナツト６を構成するアルミニウム合金としては例えば
ＪＩＳ、Ａ ６０６１が用いられ。
ＪＩＳ、Ａ ６０６６が用いられ、前記内側フランジ付
きナツト６を構成するアルミニウム合金としては例えば
ＪＩＳ、Ａ ６０６１が用いられ。
前記環状ベース金具７を構成するアルミニウム合金とし
ては例えばＪＩＳ、Ａ ７０７５が用いられ、また前記
楔状カラー５を構成するアルミニウム合金としては、ね
じ金具１．管体６．環状ベース金具７および内側７ラン
ジ付きナツト６を構成するアルミニウム合金よりも軟質
のもの例えばＪＩＳ。
ては例えばＪＩＳ、Ａ ７０７５が用いられ、また前記
楔状カラー５を構成するアルミニウム合金としては、ね
じ金具１．管体６．環状ベース金具７および内側７ラン
ジ付きナツト６を構成するアルミニウム合金よりも軟質
のもの例えばＪＩＳ。
Ａ１０５０−ＨＩ３．Ａ３０５２−ＨＩ３゜Ａ２０２４
−Ｔ４等が用いられる。
−Ｔ４等が用いられる。
前記ねじ金具１に設ける窒化チタンまたは窒化クロムの
硬質皮膜８の厚さが６μ未満であるときは、シール性能
の繰返し特性に劣り、また前記硬質皮膜８の厚さが１０
μを越えると、急激な温度変化の際に、硬質皮膜と母材
との温度膨張係数の差異により硬質皮膜にクラックが発
生する。したがって、硬質皮膜の厚さを３〜１０μの範
囲に設定するのが好ましく、この範囲に設定すれば、常
温から液体窒素、液体ヒリウム等への急激な温度変化が
あっても、優れ几シール性能を有し、特に極低温用超高
真空継手としても使用することができる。
硬質皮膜８の厚さが６μ未満であるときは、シール性能
の繰返し特性に劣り、また前記硬質皮膜８の厚さが１０
μを越えると、急激な温度変化の際に、硬質皮膜と母材
との温度膨張係数の差異により硬質皮膜にクラックが発
生する。したがって、硬質皮膜の厚さを３〜１０μの範
囲に設定するのが好ましく、この範囲に設定すれば、常
温から液体窒素、液体ヒリウム等への急激な温度変化が
あっても、優れ几シール性能を有し、特に極低温用超高
真空継手としても使用することができる。
この発明によれば、アルミニウム合金からなるオールメ
タル超高真空継手におけるねじ金具１の内面にイオンブ
レーティング処理による窒化チタンま几は窒化クロムの
硬質皮膜８を設は友ので、その硬質皮膜によってアルミ
ニウム合金からなるねじ金具１の内面からのガスの放出
を防止することができ、かつねじ金具ＩＫ硬質皮膜が設
けられると共に、楔状カラー５がねじ金具１．管体６お
よび環状ベース金具７よりも軟質であるので、ねじ金具
１．環状ベース金具７および管体６に対する楔状カラー
５のなじみが良くなり、そのため優れ几繰返しシール性
能が得られ、さらに摩耗変形等により交換を必要とする
部品は楔状カラー５だけであるので経済的である等の効
果が得られる。
タル超高真空継手におけるねじ金具１の内面にイオンブ
レーティング処理による窒化チタンま几は窒化クロムの
硬質皮膜８を設は友ので、その硬質皮膜によってアルミ
ニウム合金からなるねじ金具１の内面からのガスの放出
を防止することができ、かつねじ金具ＩＫ硬質皮膜が設
けられると共に、楔状カラー５がねじ金具１．管体６お
よび環状ベース金具７よりも軟質であるので、ねじ金具
１．環状ベース金具７および管体６に対する楔状カラー
５のなじみが良くなり、そのため優れ几繰返しシール性
能が得られ、さらに摩耗変形等により交換を必要とする
部品は楔状カラー５だけであるので経済的である等の効
果が得られる。
図面はこの発明の実施例を示すものであって、第１図は
オールメタル超高真空継手の一部縦断側面図、第２図は
そのオールメタル超高真空継手を分解して示す一部縦断
側面図、第６図は硬質皮膜を有するねじ金具の一部を拡
大して示す断面図である。 図において、１はねじ金具、２は管体嵌合孔、６は管体
、４はテーパー孔、５は楔状カラー、６は内側フランジ
付きナツト、７は環状ベース金具、８は硬質皮膜、９は
ナツト螺合用雄ねじ、１０は継手連結用雄ねじである。 。 Ｌ」
オールメタル超高真空継手の一部縦断側面図、第２図は
そのオールメタル超高真空継手を分解して示す一部縦断
側面図、第６図は硬質皮膜を有するねじ金具の一部を拡
大して示す断面図である。 図において、１はねじ金具、２は管体嵌合孔、６は管体
、４はテーパー孔、５は楔状カラー、６は内側フランジ
付きナツト、７は環状ベース金具、８は硬質皮膜、９は
ナツト螺合用雄ねじ、１０は継手連結用雄ねじである。 。 Ｌ」
Claims (1)
- アルミニウム合金のねじ金具１に設けられた管体嵌合孔
２に管体３の端部が嵌入され、その管体３の外周面とね
じ金具１のテーパー孔４との間にアルミニウム合金の楔
状カラー５が嵌入され、ねじ金具１に螺合された内側フ
ランジ付きナット６により環状ベース金具７を介して楔
状カラー５が締付けられているオールメタル継手におい
て、前記ねじ金具１の内面に、イオンブレーティング処
理による窒化チタンまたは窒化クロムの硬質皮膜８が設
けられ、かつ前記楔状カラー５の材質が、ねじ金具１、
管体３および環状ベース金具７よりも軟質であることを
特徴とするオールメタル超高真空継手。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21852084A JPS6199790A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | オ−ルメタル超高真空継手 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21852084A JPS6199790A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | オ−ルメタル超高真空継手 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6199790A true JPS6199790A (ja) | 1986-05-17 |
| JPH0333952B2 JPH0333952B2 (ja) | 1991-05-20 |
Family
ID=16721216
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21852084A Granted JPS6199790A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | オ−ルメタル超高真空継手 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6199790A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007162879A (ja) * | 2005-12-15 | 2007-06-28 | Tlv Co Ltd | 蒸気トラップの消湯気器 |
| JP2007303627A (ja) * | 2006-05-15 | 2007-11-22 | Tlv Co Ltd | 蒸気トラップの消湯気器 |
| JP2009008338A (ja) * | 2007-06-28 | 2009-01-15 | Shinko Kogyo Co Ltd | 蒸気加湿器 |
| WO2015146406A1 (ja) * | 2014-03-24 | 2015-10-01 | ニッタ株式会社 | 管継手 |
| JP2021048710A (ja) * | 2019-09-19 | 2021-03-25 | 富士精工株式会社 | コイル用線材固定治具 |
-
1984
- 1984-10-19 JP JP21852084A patent/JPS6199790A/ja active Granted
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007162879A (ja) * | 2005-12-15 | 2007-06-28 | Tlv Co Ltd | 蒸気トラップの消湯気器 |
| JP2007303627A (ja) * | 2006-05-15 | 2007-11-22 | Tlv Co Ltd | 蒸気トラップの消湯気器 |
| JP2009008338A (ja) * | 2007-06-28 | 2009-01-15 | Shinko Kogyo Co Ltd | 蒸気加湿器 |
| WO2015146406A1 (ja) * | 2014-03-24 | 2015-10-01 | ニッタ株式会社 | 管継手 |
| JPWO2015146406A1 (ja) * | 2014-03-24 | 2017-04-13 | ニッタ株式会社 | 管継手 |
| JP2021048710A (ja) * | 2019-09-19 | 2021-03-25 | 富士精工株式会社 | コイル用線材固定治具 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0333952B2 (ja) | 1991-05-20 |
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