JPS61271411A - 静電容量型エンコ−ダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は静電容量型エンコーダ、特に回転板の回転変位
量を電気的に検出する静電客足型エンコーダの改良に関
する。

［従来技術］ 従来よりエンコーダを用いた各種の測定装置が周知であ
り、この測定装置は装置本体上を移動し被測定物に接触
する測定子を含み、該測定子の移動量をエンコーダを用
いて測定し、その値を表示器上にデジタル表示している
。

ところで、この種の測定装置に用いられるエンコーダと
して、従来より静電容量型エンコーダが周知であり、今
日このような静電容量型エンコーダに対しては装置の携
帯性及び換作性の向上を図る上からその小型化及び軽量
化が要請されている。

１１血１旦１」 第４図及び第５図にはこのような従来の静電容量型エン
コーダが示されており、このエンコーダは、測定子の移
動量に応じて回転する回転軸１０ａにより本体に回転可
能に取り付けられた回転板１０と、この回転板１０に対
向配回するよう本体に取り付けられた固定板１２と、を
含み、固定板１２に対する回転板１０の回転変位量を検
出するものである。

このため、前記固定板１２の表面には、複数の単位電極
板１４ａがその円周方向に沿って等間隔に輪状配回され
送信型ｆｆ１１４を形成している。これら各単位電極板
１４ａには電圧印加回路１６により所定の位相、実施例
においては４５゛ずつ位相をずらせた正弦波あるいは矩
形波の交流電圧が印加され、８組分の単位電極板１４ａ
を１単位とする電極ユニット１００が複数組形成されて
いる。

また回転板１０の表面には、前記電極ユニット数と同数
の受信電極１８が設けられ、各受信電極１８はそれぞれ
各電極ユニット１００に含まれる連続した所定枚数の単
位電極板１４ａと対向するよう形成されている。

第５図に示すエンコーダにおいて、この受信電極１８は
、４個の連続した単位電極板群、すなわち基準電圧ｖ１
と、この基準電圧ｖ１に対し４５°。

９０’　、　　１３５”　ｆツ位相がｆｔｌに＝Ｖ２．
Ｖ３．Ｖ４の各電圧が印加される４枚の単位電極板１４
ａに跨がって対向配置されている。

また回転板１０の表面には、各受信電極１８の間に位置
するアース電極２０が設けられており、各受信電極１８
及びその他からの静電容量の干渉による悪影響を防止し
ている。

以上の構成とすることにより、回転板１ｏを回転さじる
と、送信電極１４と受信電極１８とが相対移動すること
になり、受信電極１８からは周知のように回転板１０の
回転変位量に応じた周期変化を有する静電各回信号Ｖ。

が検出される。

このようにして回転板１０上の受信電極１８にて得られ
る電圧■。を本体側に取り出すため、固定板１２の表面
には、送信電極１４の内側に位置してリング状の出力１
＆２２が設けられ、前記受信電極１８は、固定板１２上
に設けられた送信電極１４及び出力電極２２の双方に跨
がって対向するよう形成されている。

以上の構成とすることにより、このエンコーダによれば
、受信電極１８にて得られる静電容母信号■ｏを、回転
板１０と固定板１２との機械的な接触を用いることなく
静電結合を介して本体側に出力し回転板１０の回転変位
間を正確に測定することができる。

しかし、この従来の静電容量型エンコーダは、単に１枚
の固定板１２上にほぼリング状に形成された１個の送信
電極１４及び出力電極２２を設けているのみであるため
良好な測定精度、検出分解能を維持しようとする場合は
、固定板１２を小さくすることができず、この結実装置
を固定板１２の幅方向へ向は小型化することができない
という欠点があった。

すなわち、このように１枚の固定板１２上に送信電極１
４及び出力電極２２の双方を設けると、これら両電極１
４．２２の間に静電容量の干渉による悪影響が発生しや
すい。このような問題を除去するためには、固定板１２
上において送信電極１４と出力電極２２の極間距離を大
きく設定し、かつ両電極１４．２２間にリング状のアー
ス電極２４を設けてやることが必要となる。この結果、
このような従来のエンコーダでは、固定板１２の形状が
大きくしかもこの表面電極構造が複雑となることが避け
られず、この結果固定板１２が大きくなり装置全体の回
転半径方向へ向けた小型化を図ることができないとう問
題があった。

第２の背景技術 このような静電容量の干渉による影響を除去し、エンコ
ーダの回転半径方向に対する小型化を図るため、昭和５
９年１０月２９日付で特願昭５９−２２８７８５号に係
る出願を行った。

第６図及び第７図にはこの出願に係る静電容置型エンコ
ーダが示されており、前記第１の背景技術と対応する部
材には同一符号を付しその説明は省略する。

このエンコーダは、回転軸１０ａにより本体に回転可能
に設けられた回転板１０と、この回転板１０を介して互
いに対向配置するよう本体に固定された第１の固定板３
０及び第２の固定板３２と、を含む。

第７図には、第１の固定板３０．回転板１０及び第２の
固定板３２の各表面構造が示されており、同図において
回転板１０の表面は、第１の固定板３０への対向面と第
２の固定板３２への対向面とに分解して図示している。

前記第１の固定板１２及び回転板１０の各表面には、前
記第１の背景技術と同様に、送信電極１４、受信電極１
８及びアース電極２０がそれぞれ形成されている。

回転板１０上に形成された受信電極１８にて得られる電
圧■。を本体側に取り出すために、回転板１０の第２の
固定板３２の対向面に結合電極３４が設けられ、該結合
電極３４は各受信電極１８と電気的に接続されている。

ここにおいて前記結合電極３４は回転板１０の表面に円
周方向に沿ってリング状に形成されている。

そして、第２の固定板３２の表面には、前記結合電極３
４と対向するようリング状に形成された出力電極２２が
設けられ、この出力７ｊ５極２２と結合電極３４との静
電結合により受信電極１８にて誘起される静電各回信号
Ｖ。を出力電極２２から出力する。

そして、この出力電極２２から出力される信号■ｏと、
検出回路３６内において設定された基準電圧■１と比較
することにより、その位相差φに基づき回転板１０の回
転変位量を検出することができる。

このように該エンコーダによれば、送信電極１４、受信
電極１８．結合電極３４及び出力電極２２を、それぞれ
第１の固定板３０．回転板１０及び第２の固定板３２の
各表面にそれぞれ設（プでいる。このため、これら各固
定板３０．３２及び回転板１０の表面上に設けられた各
電極は他の種類の電極との静電容量の干渉を考慮する必
要がなく、この面から各電極１４．１８．３４及び２２
を検出精度を損わない範囲で小型化することができる。

特に、このエンコーダは、前記第１の背景技術のように
送信電極１４と出力電極２２との静電容量による干渉を
考慮する必要がないため、前記第１の従来技術と同一の
検出精度であるならばこの送信電極１４の半径を大幅に
小さくすることができ、この結果エンコーダの回転半径
方向への小型化を図ることが可能どなる。

なＪ３、このエンコーダは、前記第１の背景技術に比し
、第２の固定板３２を設けているため回転軸１０ａ方向
にこの分だけ厚くなるが、回転板ゴ０とこれら第１及び
第２の固定板３０．３２の間隔は極めて小さく、具体的
には１／１０ｍｍ程度であるため、このように第２の固
定板３２を設けることにより発生する軸方向への厚みの
増加はほとんど無視することができる。

［発明が解決しようとする問題点コ ところで、このような静電容量型エンコーダにおいて、
その検出分解能を高めるためには、送信電極１４を構成
する各単位電極板１４ａの面積及び間隔を適切な値に維
持したまま、この電極板１４ａの枚数を増加することが
必要となる。

従って、従来のように、単位電極板１４ａを輪状配列し
てなる送信電極１４を有するエンコーダでは、その検出
分解能を高めようとすると送信電極１４の半径が大きく
なることが避けられず、回転半径方向へ向けた小型化と
検出分解能の向上という２つの要求を同時に満たすこと
ができないという欠点があった。

また、静電容量型エンコーダでは、回転板１０、第１及
び第２の固定板３０．３２を偏心、振れ及び傾きなどを
発生させることなく形成することが難しく、これらが誤
差要因として働き、測定誤差を引き起こすという問題が
あった。

発明の目的 本発明は、このような従来の課題に鑑みなされたもので
あり、その目的は、測定精度が高くしかも回転半径方向
へ向けた小型化を図ることが可能な静電容量型エンコー
ダを提供することにある。

［問題点を解決するための手段］ 前記目的を達成するため、本発明の静電８聞型エンコー
ダは、本体に回転可能に設けられた回転板と、この回転
板を介して互いに対向するよう本体に固定された第１の
固定板及び第２の固定板と、を含む。

前記第１の固定板には、位相の異なる交流電圧が印加さ
れる複数の単位電極板を円周方向に沿って等間隔に輪状
配列してなる第１の送信電極と、この第１の送信電極の
内周側にシールドリングを介して配置された第１の出力
電極と、が設けられる。

また、前記第２の固定板には、前記第１の送信電極の各
単位電極板と１８０°位相の異なる交流電極が印加され
る複数の単位電極板を円周方向に沿って等間隔に輪状配
列してなる第２の送信電極と、この送信電極の内周側に
シールドリングを介して配置された第２の出力電極と、
が設けられる。

また、前記回転板には、前記第１の送信電極及び第１の
出力電極にまたがって対向する第１の受信電極と、前記
第２の送信電極及び第２の出力電極にまたがって対向す
る第２の受信電極と、が設けらる。

そして、これら第１の受信電極及び第２の受信電極は共
に共通位相交流電圧が印加される所定の単位電極板に対
し対向するよう形成される。

［作用］ このように、本発明によれば、検出精度を決定する送信
電極として、第１の送信電極及び第２の送信電極という
２系列の送信電極を設け、これらを第１の固定板及び第
２の固定板上に分離形成しているため、送信電極が１系
列しかない従来のエンコーダに比し、その半径方向の大
きさが同一であれば約２倍の精度で回転板の回転変位量
を検出するとができ、また従来のエンコーダと同一精度
である場合には各送信電極を構成する単位電極板の数が
約１７２となり、その結果エンコーダを半径方向に向は
大幅に小型化することが可能となる。

なお、本発明のエンコーダは、前記第１の従来技術に比
し第２の固定板を設けているため、回転軸方向へこの分
だけ厚くなることは避けられないが、回転板とこの第２
の固定板の間隔は一般的に極めて小さく、具体的には１
／１０ｍｍ程度であることが多いため、このように第２
の固定板を設しプることにより発生する軸方向への厚み
の増加はほとんど無視することができる。

また、本発明によれば、第１の送信電極及び第２の送信
電極にそれぞれ１８０゛位相の異なる交流電圧が印加さ
れ、このような第１及び第２の送信電極に対し第１の受
信電極及び第２の受信電極はそれぞれ同位相の電圧信号
を静電結合により受信している。

従って、第１の固定板、第２の固定板及び回転板の間に
偏心、振れあるいは傾きなどの誤差要因が存在しても、
このような誤差要因により引き起される測定誤差は前記
第１及び第２の受信電極の出力を第１及び第２の出力電
極から取り出し、その出力信号を合成することにより互
いに相殺され、前記誤差要因の有無に拘りなく正確な測
定を行うことが可能となる。

［実施例］ 次に本発明の好適な実施例を図面に基づき説明する。な
お、前記第４図及び第５図に示す従来装置と対応する部
材には同一符号を付しその説明は省略する。

第１及び第２図には、本発明に係る静電容邑型エンコー
ダの好適な実施例が示されており、実施例のエンコーダ
は、回転軸１０ａにより本体に回転可能に設けられた回
転板１０と、この回転板１０を介して互いに対向するよ
う本体に固定された第１の固定板３０及び第２の固定板
３２と、を含む。

本発明の特徴的事項は、回転板１０．第１及び第２の固
定板３０．３２の表面に設けられる電極構造を改良する
ことにより、静電容量型エンコーダを小型化し、かつそ
の検出精度を向上させたことにある。

第２図には、第１の固定板３０９回転板１ｏ及び第２の
固定板３２の各表面構造が示されており、同図において
回転板１０の表面は、第１の固定板３０への対向面と第
２の固定板３２への対向面とに分解して図示している。

本発明において、前記第１の固定板３０の表面には、複
数の単位電極板１４ａを円周方向に沿って等間隔に輪状
配列してなる第１の送信電極１４Ａが設けられている。

また、第２の固定板３２の表面には、前記第１の送信電
極１４Ａと同数の単位電極板１４ｂを等間隔に輪状配列
してなる第２の送信電極１４Ｂが設けられている。

実施例において、前記第１の送信電極１４Ａ及び第２の
送信電極１４Ｂは、共に１６枚の単位電極板１４ａ及び
１４ｂからなり、これら各単位電極板１４ａと１４ｂと
は互いに回転板１０を介して１対１に相対向するように
、各固定板３０及び３２上に取り付は固定されている。

そして、第１の送信１ｗ１１４の各単位電極板１４ａに
は、電圧印加回路１６により、所定の位相、実施例にお
いては４５°ずつ位相をずらＶた正弦波あるいは矩形波
の交流電圧が印加され、０〜３１５°までの８ｍ電極板
を１単位とする２組の電極ユニットが形成されている。

また、前記第２の送信電極１４．８の各単位電極板１４
ｂには、電圧印加回路１６により前記各単位電極板１４
ａに対し１８０°位相をずらせた正弦波あるいは矩形波
からなる交流電圧が印加され、同様にして０〜３１５°
までの８層電極板を１単位とする２組の電極ユニットが
形成されている。

すなわち、第２図に示ずように、第１の送信電極１４Ａ
には、中心線Ａ上に位置する単位電極板１４Ａを始点と
して０．４５”　、　９０°・・・と順次位相させた交
流電圧が印加され、これに対し第２の送信電極１４Ｂに
は前記中心線Ａに対し電気角で１８０°だけ位相をずら
せた中心線Ｂ上に位置する単位電極板１４ｂを始点とし
て、０．４５°、９０゜・・・と順次位相をずらせた交
流電圧が印加されることになる。

また、前記回転板１０の第１の固定板側表面には、前記
第１の送信電極１４Ａの電極ユニット数と同数の２紺の
第１の受信電極１８Ａ、１８Ａが設けられ、この２組の
受信電１４！１８Ａ、１８Ａは回転中心を挟んで点対称
に配置され、第１の送信電極１４Ａに含まれる２組の連
続した４個の単位電極板１４ａとそれぞれ対向している
。

また、この回転板１０の第２の固定板側表面には、前記
第２の送信電極１４Ｂの電極ユニット数と同数の２絹の
第２の受信電極１８８．１８Ｂが設けられ、この２組の
受信電極１８Ｂ、１８Ｂは回転中心を挟んで点対称に配
置され、第２の送信電極’１４．８に含まれる２組の連
続した４個の単位電極板１４ｂとそれぞれ対向している
。

ここにおいて、前記第１及び第２の受信電極１８Ａ及び
１８Ｂはそれぞれ同位相の信号を受信可能とするため、
回転中心に対し機械的に９０°位相の異なる位置にそれ
ぞれ設けられている。このようにすることにより、例え
ば第１の受信電極１８Ａが第１の送信電極１４Ａの０〜
１３５°の範囲の交流電圧が印加されている４枚の単位
電極対１４ａと対向している場合には、同様に第２の受
信電極１８Ｂは第２の送信電極１４Ｂのθ〜１３５°の
範囲の４枚の単位電極板１４Ｂと対向し、再受信電極１
８Ａ及び１８Ｂからは同位相の信号を出力することがで
きる。

更に、この回転板１４の第１の送信電極１８Ａ。

１８Ａ間には第１のアース電極２０△、２０Ａが設けら
れており、またこの回転板１４を他方の表面には、第２
の受信電極１８Ｂ、１８Ｂ間に第２のアース電極２０Ｂ
、２０Ｂが設けられ、各受信電極１８Ａ、１８８間及び
その他からの静電容量の干渉による悪影響を防止してい
る。

このようにして、これら第１及び第２の受信電極１８Ａ
及び１８Ｂには、回転板１０の回転変位量に対する同位
相の電圧Ｖ。が誘起されることになる。

そして、回転板１０上に設置ノられた第１の受信電極１
８Ａ及び第２の受信電極１８Ｂにて得られる各電圧■。

を本体側に取り出すために、第１の固定板３０及び第２
の固定板３２の各表面には第１の出力電極２２Ａ及び第
２の出力電極２２Ｂが設けられている。

前記第１の出力電極２２Ａは、第１の固定板３０の表面
に、第１の送信電極１４Ａの内周側に第１のアース電極
２４Ａを介してリング状に設けられている。また前記第
２の出力筒ｆｆ１２２Ｂは、第２の固定板３２の表面に
、第２の送信電極１４Ｂの内側にアース電極２４Ｂを介
してリング状に設けられている。

そして、前記第１の受信電極１８Ａは、第１の固定板３
０上に設けられた第１の送信電極１４Ａ及び第１の出力
電極２２Ａの双方にまたがって対向するように形成され
ており、同様にして第２の受信電極１８Ｂは、第２の固
定板３２上に設けられた第２の送信電極１４Ｂ及び第２
の出力電極２２Ｂの双方にまたがって対向するよう形成
されている。

このようにして、これら第１及び第２の受信型Ｆｉ１８
Ａ及び１８Ｂと、前述した第１及び第２の出力電極２２
Ａ及び２２Ｂとが静電結合し、これら第１及び第２の出
力電極２２Ａ及び２２Ｂからは第１及び第２の受信電極
１８Ａ及び１８Ｂにて誘起された電圧Ｖ。が出力される
ことになる。

そして、これら第１及び第２の出力電極２２Ｂから出力
される検出信号Ｖ。は検出回路３６内において合成され
た後基準電圧Ｖ１と比較され、その位相差φに基づき回
転板１０の回転変位量が検出される。

このように、本発明よれば、第１及び第２の固定板３０
及び３２上に２組の送信電極、すなわち第１及び第２の
送信電極１４Ａ及び１４Ｂを設け、回転板１０上に設け
られた第１及び第２の受信電極１８Ａ及び１８Ｂにより
回転板１０の回転変位■に対応した信号Ｖ。をそれぞれ
得ることができる。

そして、第１及び第２の受信電極１８Ａ及び１８Ｂの信
号Ｖ。を、第１及び第２の固定板３０及び３２上に設け
た２組の出力電極２２Ａ及び２２Ｂとの静電結合により
固定板３０及び３２側から取り出し回転板１０の回転変
位量の検出を行っている。

このように、本発明によれば、２系列の静電結合を介し
て回転板１０の回転変位量に対応した信号Ｖ。を２組発
生させ、これら両系列から得られる信号Ｖ。を出力電極
２２側にて合成し回転板１０の回転変位量を検出してい
るため、送信電極１４と出力電極２２との静電結合部を
１系列しか設けないエンコーダに比し約２倍の検出分解
能をもって回転板１０の回転変位量を検出することがで
きる。

従って、例えば第６図及び第７図に示すように、３２枚
の単位電極板を輪状配列してなる１個の送信電極１４の
みを有するエンコーダと同一の検出分解能を得ようとす
る場合には、本実施例のごとく第１の送信電極１４Ａ及
び第２の送信電極１４Ｂをそれぞれ１６枚の単位電極板
１４ａ及び１４ｂを用いて形成すればよい。このとき１
６枚の単位電極板を輪状配列してなる第１及び第２の送
信電極１４Ａ及び１４Ｂは、３２枚の単位電極板を輪状
配列してなる送信電極１４に比しその半径が大幅に小さ
くなり、従って本発明のエンコーダは、従来のエンコー
ダに比し同一の分解能を得る場合には、その回転半径方
向への大きさを十分に小さくしエンコーダ自体の小型化
を図ることが可能となる。

更に、本発明によれば、物理的な経路の異なる２系列の
静電結合を介して、回転板１０の回転変位量に対応した
２組の信号■。を発生させているため、この２組の信号
を合成することによりその誤差成分は互いに相殺され、
各固定板３０．３２及び回転板１０に偏心、振れ又は傾
きなどが存在しても、これらの影響を受けることなく回
転板１０の回転変位量を正確に検出することが可能とな
る。

具体的な応用例 第３図には、本発明に係る静電容量型エンコーダを、ワ
ークの内径を測定する測定装置に用いた場合が示されて
いる。

実施例の測定装置は、円筒形状に形成されたフレーム本
体４０の先端に設けられ矢印Ｙで示す半径方向に進退す
る内径測定子４２と、フレーム本体４６内に収納され矢
印Ｚで示す軸方向に進退しその先端部４４にて測定子４
２の内側と当接するスピンドル４６と、を含む。

実施例において、前記測定子４２は、フレーム本体４０
の先端部に１２０°の角度間隔をもって３個設けられて
おり、各測定子４２は板バネ４８によりその内側に付勢
されスピンドル４６の先端部４４と当接している。

ここにおいて、スピンドル４６の先端部４４は円錐形状
に形成されており、各測定子４２の内面は先端部４４の
円錐形状に沿って当接するよう切り欠き形成されている
。

そして、実施例の測定装置は、スピンドル４６に一体的
に設けられたシンプル５０を回転操作し、スピンドル４
６を矢印Ｚで示す軸方向に向は進退させることにより、
その先端部４４により測定子４２を半径方向に向けて進
退させている。

従って、フレーム本体４０の先端部に設けられた３個の
測定子４２がワークの内面と３点接触する状態を検出す
ることにより、ワークの内径をスピンドル４６の７方向
への変位量として検出することができる。

実施例の装置は、このようなスピンドル４６の変位量を
本発明に係るエンコーダを用いて検出し、検出変位量に
応じた電気信号パルスを計数回路に入力している。計数
回路は、エンコーダの出力する電気信号パルス信号を計
数し、その計数値をフレーム本体４０の側面に設けられ
たデジタル表示器上にデジタル表示している。

本実施例の装置に用いられる、エンコーダは、フレーム
本体４０に固定された第１及び第２の固さ板３０．３２
と、これら第１及び第２の固定板３０．３２の間に設け
られスピンドル４６の移動岳に応じ回動する回転板１０
と、を含む。

前記第１及び第２の固定板３０．３２は、はぼドーナツ
型に形成され、その中央に設けられた挿通穴３０ａ、３
２ａにスピンドル４６が進退自在に挿通された状態でフ
レーム本体４０の基台５２に固定されている。

また、回転板１０もほぼドーナツ型に形成され、スピン
ドル４６の周囲に回動可能に設けられた回転円筒５４上
に前記第１及び第２の固定板３０゜３２と対向するよう
配置されている。

ここにおいて、回転円筒５４には、その内周に係合ビン
５６が設けられ、このビン５６がスピンドル４６の外周
にその進退方向に沿って設けられたキー溝５８に係合さ
れている。

また、回転円筒５４のスピンドル軸方向変位を阻止する
ためのスラストアンギュラコンタクトベアリング６０が
設けられている。

従って、シンプル５０を回転操作し、スピンドル４６を
回転させながら図中７で示す軸方向に進退させると、ビ
ン５６とキー溝５８との係合により回転円筒５４がスピ
ンドル軸方向に変位することなく回転され、該スピンド
ル４６の変位量に応じて回転板１０が第１及び第２の固
定板３０，３２との間に一定のクリアランスを保ったま
ま回転されることになる。

従って、実施例の測定装置によれば、矢印Ｙで示す測定
子４２の半径方向への変位分を、本発明のエンコーダを
用いて回転板１０の回転変位坦として正確に検出し、こ
の結果、ワークの各種内径の測定を正確に行うことが可
能となる。

また、前記実施例においては、本発明のエンコーダを、
ワークの内径測定用の測定装置に適用した場合を例にと
り説明したが、本発明はこれに限らず、マイクロメータ
、ダイヤルゲージ、マイクロゲージ及びその他の測定装
置に適用可能であることは言うまでもない。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、装置全体を小型
化しかつ高い検出精度で回転板の回転変位門を検出する
ことが可能な静電容量型エンコーダを得ることができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る静電容酊型エンコーダの好適な実
施例を示づ゛説明図、 第２図は第１図に示すエンコーダの電極構造°を示す説
明図、 第３図は本発明のエンコーダを用いた測定装置の構造説
明図、 第４図及び第５図は静電客層型エンコーダの第１の前提
技術を示づ“説明図、 第６図及び第７図は静電容量型エンコーダの第２の前提
技術を示す説明図である。 １０　・・・　回転板 １４Ａ　　・・・　第１の送信電極 １４Ｂ　　・・・　第２の送信電極 １４ａ　　・・・　単位電極板 １４ｂ　　・・・　単位電極板 １８Ａ　　・・・　第１の受信電極 １８Ｂ　・・・　第２の受信電極 ２２Ａ　　・・・　第１の出力電極 ２２Ｂ　　・・・　第２の出力電極 ３０　・・・　第１の固定板 ３２　・・・　第２の固定板。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）本体に回転可能に設けられた回転板と、この回転
   板を介して互いに対向するよう本体に固定された第１の
   固定板及び第２の固定板と、を含み、 前記第１の固定板には、位相の異なる交流電圧が印加さ
   れる複数の単位電極板を円周方向に沿って等間隔に輪状
   配列してなる第１の送信電極と、この第１の送信電極の
   内周側にシールドリングを介して配置された第１の出力
   電極と、が設けられ、前記第２の固定板には、前記第１
   の送信電極の各単位電極板と１８０°位相の異なる交流
   電極が印加される複数の単位電極板を円周方向に沿って
   等間隔に輪状配列してなる第２の送信電極と、この送信
   電極の内周側にシールドリングを介して配置された第２
   の出力電極と、が設けられ、 前記回転板には、前記第１の送信電極及び第１の出力電
   極にまたがって対向する第１の受信電極と、前記第２の
   送信電極及び第２の出力電極にまたがって対向する第２
   の受信電極と、が設けられ、前記第１の受信電極及び第
   ２の受信電極は共に共通位相交流電圧が印加される所定
   の単位電極板に対し対向するよう形成され、 回転板の回転により変化する第１及び第２の出力電極の
   出力信号に基づき回転板の回転変位量を検出することを
   特徴とする静電容量型エンコーダ。
2. （２）特許請求の範囲（１）記載のエンコーダにおいて
   、 第１の送信電極は、それぞれ４５°位相の異なる交流電
   圧が印加される１６個の単位電極板からなり、前記第２
   の送信電極は、第１の送信電極の各単位電極板に対し１
   ８０°位相の異なる交流電圧が印加される１６個の単位
   電極板からなることを特徴とする静電容量型エンコーダ
   。
3. （３）特許請求の範囲（２）記載のエンコーダにおいて
   、 前記第１の受信電極は、回転板上に回転中心を介して点
   対称に位置し、前記第１の送信電極の２組の連続した４
   枚の単位電極板とそれぞれ対向するよう形成された２枚
   の電極板を含み、 前記第２の受信電極は、回転板上に回転中心を介して点
   対称に位置し、かつ前記第１の受信電極に対し９０°位
   相が異なるように設けられ、前記第２の送信電極の２組
   の連続した４枚の単位電極板とそれぞれ対向するように
   形成された２枚の電極板を含むことを特徴とする静電容
   量型エンコーダ。