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JPS61150923A - 液中搬送装置 - Google Patents

液中搬送装置

Info

Publication number
JPS61150923A
JPS61150923A JP27159484A JP27159484A JPS61150923A JP S61150923 A JPS61150923 A JP S61150923A JP 27159484 A JP27159484 A JP 27159484A JP 27159484 A JP27159484 A JP 27159484A JP S61150923 A JPS61150923 A JP S61150923A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
stage
liquid
magnetic
article
force
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP27159484A
Other languages
English (en)
Inventor
Terutaka Sawara
佐原　輝隆
Takumi Sugiura
匠 杉浦
Tadashi Yamazaki
山崎　征
Yasuhiro Komatsu
康宏 小松
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Plant Technologies Ltd
Original Assignee
Hitachi Plant Technologies Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Plant Technologies Ltd filed Critical Hitachi Plant Technologies Ltd
Priority to JP27159484A priority Critical patent/JPS61150923A/ja
Publication of JPS61150923A publication Critical patent/JPS61150923A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G51/00—Conveying articles through pipes or tubes by fluid flow or pressure; Conveying articles over a flat surface, e.g. the base of a trough, by jets located in the surface
    • B65G51/02—Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases
    • B65G51/03—Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases over a flat surface or in troughs
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G54/00—Non-mechanical conveyors not otherwise provided for
    • B65G54/02—Non-mechanical conveyors not otherwise provided for electrostatic, electric, or magnetic

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Non-Mechanical Conveyors (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 イ・産業上の利用分野 この発明は、物体の搬送装置に係り、特に、ウェハ、半
導体用フォトマスクなどの物体を液中で水平方向に搬送
するための装置に関する。
口、従来の技術 従来、シリコンウェハや半導体フォトマスクなどを、液
中で水平方向に移動、搬送させる場合。
１枚ずつ噴射水流で押し流したり、複数枚を収納したキ
ャリヤごと、チェーン、又はベルトコンベヤで搬送した
り、液外から搬送用アームを液中に挿入し、このアーム
でキャリヤを搬送していた。
上記従来方式には少なくとも１ケ所以上の摺動部があり
、この摺動部からの発塵が液を汚染し。
ひいては、液中の物品表面を汚染する欠点がある。
ハ０発明が解決しようとする問題点 この発明の目的は、上記従来技術の欠点を解消り９発塵
することなく液中で物品を搬送するための装置を提供す
ることにある。
二０問題点を解決するための手段 この発明は、前記従来技術における発車の原因が、その
液中における摺動部にあるととに着目し。
物品を反撥する磁力によって液中に浮上させ、水力によ
って駆動力を与えることにより、摺動部を作ることなく
、物品を液中で搬送できるように構成したものである。
ホ、実施例 第１図はこの発明に係る液中搬送装置の斜視図を示す。
ステージ１は、上面に物品を乗せて搬送するものであり
、　７ｒ型断面を有する非磁性体である。ステージ１の
下部には磁性体の板２を取り付ける。
磁性は例えば板２の上端面をＮ極、下端面をＳ極とする
。又、ステージ１の上面の中央部には、長このステージ
１を磁力の反撥力によって浮上させる為に、水槽４の底
面に、非磁性体の凹型断面のレール５を２本、スペーサ
６を介して隣接して設置しである。このレール５の上端
面に沿って磁性体の板７を取シ付ける。磁性は例えば板
７の上端面をＳ極、下端面をＮ極とする。
ステージ１に駆動力を与える為に、スペーサ６に水路８
と項部動方向への斜め上方に向う複数個の分岐水路９と
を開口させる。
またスペーサ６に水路１０と逆駆動方向への斜め上方に
向う複数個の分岐水路１１とを開口させる。上記の分岐
水路９，１１のピッチはスリット３のピッチに等しくす
る。
物品はステージ１の上に積載して搬送する。ステージ１
はレール５との間には磁性体の板２の下端面のＳ極と、
板７の上端面のＳ極との間に働く磁力による反撥力が働
くため、ステージｌはレ一方向の駆動液は送液管１２Ｂ
より送液し、切替弁１３Ａ、１３Ｂを付設する。
順方向の駆動力は１分岐水路９より噴出する液流がスリ
ット３の斜面３Ａに衝突することにより与えられる。逆
方向の駆動力は分岐水路１１よシ噴出する液流がスリッ
ト３の斜面３Ｂに衝突することによシ与えられる。
順方向の運動を停止させるためには、駆動液量を減少さ
せるか、または停止させる位置の手前で逆方向の駆動液
を噴射させて制動させてもよい。
ステージ１とレール５との間に幸擦力ははたらかないた
め、駆動液の流速はステージ１と物品とに及ぼされる水
の抵抗力を多少上まわる駆動力をステージ１に与えられ
るものであれば良い。又。
駆動用の液は、槽内、液の更新も兼ねるため、別途。
更新用液を供給する必要はない。これによ９９発塵がな
く、かつ、新たに動力源を必要とすることなく物品を液
中で搬送することができる。
前記実施例においてはステージにスリットを設けたが、
水流による力を適確にステージに与え。
所要駆動力を得られるならばスリットを設けなくても良
い。また反撥する磁力の発生方法については、非磁性体
の部分を用いずに磁性体のみを用いてもよく、また電磁
石を用いてもよい。
へ０発明の効果 以上、この発明によれば、磁力による反撥力を利用して
、摩擦部をなくすことによ９１発塵を防止して物品を汚
染することなく、液中を搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明に係る液中搬送装置の斜視図。 第２図は第１図の■−■矢視断面図、第３図は第１図の
ＩＩＩ−ＩＩＩ矢視断面図を示す。 １・・・ステージ　　　　　２・・・磁性体の板３・・
・スリット　　　　　５・・・レール６・・・スペーサ
　　　　　７・・・磁性体の板８・・・水　路　　　　
　　９・・・分岐水路１０・・・水　路　　　　　１１
・・・分岐水路２・・・送液管　　　　　１３・・・切
替弁。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 液中の物体を水平方向に搬送する装置において、液中に
    配設された磁性体のレールと、このレールの上方に配設
    されて磁力によつて反撥して浮上する磁性体のステージ
    と、このステージに駆動力を与える水路と送液管とより
    なることを特徴とする液中搬送装置。
JP27159484A 1984-12-22 1984-12-22 液中搬送装置 Pending JPS61150923A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP27159484A JPS61150923A (ja) 1984-12-22 1984-12-22 液中搬送装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP27159484A JPS61150923A (ja) 1984-12-22 1984-12-22 液中搬送装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS61150923A true JPS61150923A (ja) 1986-07-09

Family

ID=17502247

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP27159484A Pending JPS61150923A (ja) 1984-12-22 1984-12-22 液中搬送装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS61150923A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4978253A (en) * 1988-06-08 1990-12-18 Commissariat A L'energie Atomique Air cushion conveying device with magnetic guidance
JP2015009982A (ja) * 2013-07-02 2015-01-19 トヨタ自動車株式会社 搬送システム
CN113098330A (zh) * 2021-05-21 2021-07-09 上海隐冠半导体技术有限公司 位移装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN113098330A (zh) * 2021-05-21 2021-07-09 上海隐冠半导体技术有限公司 位移装置
CN113098330B (zh) * 2021-05-21 2022-06-07 上海隐冠半导体技术有限公司 位移装置

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