JPH048103Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 【産業上の利用分野】

本考案は、粉塵の発生をきらう半導体等を搬送
するのに適した搬送設備に関し、特に、半導体等
の被搬送物を搬送体に載置する一方、エアー等の
気体を搬送路たるダクトから噴射して搬送体を浮
上させるとともに、この搬送体をリニアモータ機
構による推進力を利用して搬送する気体浮上式搬
送設備に関する。

【従来の技術】

前述のような搬送設備では、粉塵の発生を極力
抑えるべく搬送体を横振れのない安定した状態で
搬送させることが要求される。そして例えば、特
開昭60−19616号公報記載のものは、この横振れ
を防止するために、搬送ダクトを一体に形成し
た、断面角形でその水平面たる項面及び垂直面た
る両側面にノズルを設けた搬送テーブルと、該両
側面間に配置したリニアモータと、該搬送テーブ
ルに跨がるように、該搬送テーブルに対応した水
平部と垂直部を有する搬送体たる搬送パレツトか
ら構成してある。この従来例のものは、項面のノ
ズルから噴出する圧縮空気によつて搬送パレツト
を浮上させるとともに、両側面のノズルから噴出
する圧縮空気の吐出圧によつて横振れを防いでい
る。

【考案が解決しようとする課題】

前述の従来例のものは、搬送テーブルの両側面
のノズルから噴出した空気が、該両側面と搬送パ
レツトの両垂直部の各下縁間から下方の間隙を通
つて短時間のうちに排出されるので、圧縮空気を
多量に必要とするとともに、前記項面及び両側面
の各ノズルから噴出された空気の流れが、搬送テ
ーブルと搬送パレツト間で乱流になりやすく、こ
の乱流によつて搬送パレツトに振動が生じるとい
う問題点がある。 本考案の課題は、前記のような問題点を解消す
ることであり、また本考案の目的は、簡単な構成
で安定した走行が可能な搬送体を用いた気体浮上
式搬送設備を提供するところにある。

【課題を解決するための手段】

本考案は前述の目的を達成するために、搬送路
を上面がほぼ水平に伸び、かつ、両側面を有する
るダクトで形成するとともに前記上面に気体を噴
射するための噴射孔を設ける一方、このダクトに
載置される搬送体は、前記ダクト上面に対応位置
する被搬送物を載置するための載置部と、この載
置部の幅方向に被搬送物載置面とは反対方向に伸
びるよう対称的に設けられた一対の側部とを備
え、これら各側部は、前記載置部に向けて前記ダ
クト上面から噴射された気体が前記各側部方向に
流入すべく、少なくとも下端縁を除いた部分とダ
クト面との間隔を、浮上状態における載置部とダ
クト上面との間隔よりも広く設定して構成したも
のである。

【作用】

本考案においては、搬送体の載置部に向けてダ
クト上面から噴射された気体が、前記搬送体の一
対の側部方向に流入するので、この流入した気体
により前記一対の側部には一定圧が付与されるこ
とになり、この作用によつて搬送体の走行中の横
振れを防止し、安定した走行を確保することがで
きる。

【実施例】

以下、本考案の好適な実施例を添付図面の第１
図乃至第３図に基づいて詳細に説明する。 ここにおいて、第１図は本考案の一実施例にお
ける設備全体を示す概略的な斜視図、第２図は浮
上状態の搬送体と搬送路たるエアーダクトとの位
置関係を示す部分断面図、第３図は他の実施例に
おける浮上状態の搬送体と搬送路たるエアーダク
トとの位置関係を示す部分断面図である。 第１図及び第２図において、エアーを噴射する
エアーダクト１は断面四角形状であり、所定長さ
毎に区画されており、各区画部分にはそれぞれエ
アー供給筐２を介してエアー供給管３から分岐さ
れた分岐管４が接続されている。前記エアー供給
管３はエアーダクト１にエアーを供給するためブ
ロア５に接続され、また、エアーの供給を各区画
部分毎に制御するため、各分岐管３には制御弁６
が設けられている。 第２図でよく理解できるように、エアーダクト
１の各区画部分における水平方向に伸びる上面１
ａには凹部７が形成されるとともに、この凹部７
を除いて浮上用のエアー噴射孔８が複数列透設さ
れている。そして、前記エアーダクト１に載置さ
れる非磁性体からなる搬送体９に推進力を付与す
るリニアモータ機構は、前記搬送体９の被搬送物
１０を載置するための載置部９ａの下面に埋設し
た磁性体からなる可動子１１と、この可動子１１
に対応位置すべく前記エアーダクト１の各凹部７
内に配置された固定子１２とから構成される。 前記搬送体９は、その載置部９ａが水平でエア
ーダクト１の幅よりやや広い幅を有する一方、こ
の載置部９ａの両側には、対称的に垂下された前
記エアーダクト１の両側面１ｂ，１ｃにそれぞれ
対応位置する一対の側部９ｂ，９ｃを有してい
る。前記一対の側部９ｂ，９ｃは、第２図で明ら
かなように、搬送体９が浮上状態にあるときに、
前記エアーダクト１のエアー噴射孔８から載置部
９ａに向けて噴射されたエアーが、前記エアーダ
クト１の両側面１ｂ，１ｃ方向、換言すれば各側
部９ｂ，９ｃ方向に流入すべく、前記両側面１
ｂ，１ｃとの間隔を、前記載置部９ａと前記エア
ーダクト１の上面１ａとの間隔よりも広く設定す
るとともに、流入したエアーが下端縁方向から逃
げ難くするために前記下端縁を前記エアーダクト
１の両側面１ｂ，１ｃに近接するよう構成してあ
る。 本実施例は以上のように構成したので、搬送体
９の位置するエアーダクト１の区画部分にエアー
が供給され、そのエアー噴射孔８からエアーが噴
射されることによつて、前記搬送体９は浮上する
一方、リニアモータ機構による推進力で走行す
る。ここで、載置部９ａに向けて噴射されたエア
ーは、エアーダクト１上面１ａと前記載置部９ａ
との間隙よりも、一対の側部９ｂ，９ｃと、エア
ーダクト１の両側面１ｂ，１ｃとの間隙の方が広
いので、このより広い間隙に向けて流入し、しか
もこの間隙空間の下端部分の間隙は他の部分より
も狭いから、流入したエアーは前記一対の側部９
ｂ，９ｃに対し一定圧をかけたうえ、搬送体９の
反進行方向に移動しその端部から流出する。した
がつて、走行中の搬送体９の一対の側部９ｂ，９
ｃには、前述したエアーの作用によつて常に一定
圧が付与されるので、この作用によつて、搬送体
９の走行中における横振れが防止され、安定した
走行が可能になるものである。 第３図は、搬送体９の一対の側部９ｄ，９ｅに
関する他の実施例を示すものである。この一対の
側部９ｄ，９ｅは、高さ方向のほぼ中央でエアー
ダクト１の両側面１ｂ，１ｃと最も広い間隔をお
くよう、断面くの字状に対称的に形成されてい
る。 本実施例においても、搬送体９が浮上状態にあ
るときに、エアーダクト１の上面１ａに設けたエ
アー噴射孔８から載置部９ａに向けて噴射された
エアーが、前記エアーダクト１の両側面１ｂ，１
ｃ方向に流入すべく、一対の側部９ｄ，９ｅと前
記両側面１ｂ，１ｃとのそれぞれの間隔を、前記
載置部９ａと前記エアーダクト１上面１ａとの間
隔よりも広く設定するとともに、流入したエアー
が下端縁から逃げ難くするために前記下端縁を前
記エアーダクト１の両側面１ｂ，１ｃに近接する
よう構成してある。 したがつて、本実施例にあつても、前述した実
施例と同様にして、走行中の搬送体９の一対の側
部９ｄ，９ｅに対しエアーの作用によつて常に一
定圧が付与されるので、搬送体９の走行中におけ
る横振れが防止され、安定した走行が可能になる
ものである。 なお、本考案は上述した各実施例に限定される
ものではなく、例えば、エアー噴射孔８から搬送
体９の載置部９ａに向けて噴射されたエアーが、
エアーダクト１の両側面１ｂ，１ｃに向けて効率
良く流入するよう、前記載置部９ａの下面におけ
る進行方向両端部に、乱流を形成してエアーの流
出を防止すべく溝を凹設しても良く、また、カバ
ー体は搬送体９の前端ではなく、後端、あるいは
前後端に設けてもよい。さらに、エアーダクト１
の断面形状が四角形に限定されないほか、噴射す
る気体はエアーに限られない等、多くの改変を施
すことができるものである。

【考案の効果】

以上説明したところで明らかなように、本考案
によれば、ダクト内から上方に向けて噴射された
気体は、側部の広い間隙に向けて流入し前記一対
の側部に対し一定圧をかけたうえ、搬送体の進行
方向の何れか一方端から流出する。したがつて、
走行中の搬送体の一対の側部には、常に一定圧が
付与されるので搬送体の走行中における横振れが
防止され、安定した走行が可能になるものであ
る。また、前記のようにダクトの両側面と搬送体
の両側部間に流入した気体は下方に排出しにくい
ため、前記広い間隙に従来のものに比べて長い時
間保持されることになるので、圧縮気体の消費量
を少なく抑えることができ、省力化が可能であ
る。さらに、前記ダクトの両側面には気体の噴射
孔を設ける必要がないので簡単な構成となり、従
来のものに比べて工作コストも軽減できるという
勝れた効果を奏することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の好適な一実施例における設備
の全体構成を示す概略的な斜視図、第２図は同じ
く搬送体とダクトとの位置関係を示す部分断面図
側面図、第３図は他の実施例における搬送体とダ
クトとの位置関係を示す部分断面図である。 １……エアーダクト、１ａ……上面、１ｂ，１
ｃ……側面、８……エアー噴射孔、９……搬送
体、９ａ……載置部、９ｂ，９ｃ，９ｄ，９ｅ…
…側部、１１……可動子、１２……固定子。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 被搬送物を搬送するための搬送体に向けて、搬
   送路から気体を噴射して前記搬送体を浮上させ、
   前記搬送体に対してリニアモータ機構によつて推
   進力を与えることにより、前記被搬送物を搬送す
   る搬送体を用いた気体浮上式搬送設備において、
   前記搬送路を上面がほぼ水平に伸び、かつ両側面
   を有するダクトで形成するとともに前記上面に気
   体を噴射するための噴射孔を設ける一方、前記搬
   送体は、前記ダクト上面に対応位置する被搬送物
   を載置するための載置部と、この載置部の幅方向
   に被搬送物載置面とは反対方向に伸びるよう対称
   的に設けられた一対の側部とを備え、これら各側
   部は、前記載置部に向けて前記ダクト上面から噴
   射された気体が前記各側部方向に流入すべく、少
   なくとも下端縁を除いた部分とダクト面との間隔
   を、浮上状態における載置部とダクト上面との間
   隔よりも広く設定して構成したことを特徴とする
   搬送体を用いた気体浮上式搬送設備。