KR0119919B1 - 웨이퍼 이송장치 - Google Patents
웨이퍼 이송장치Info
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Abstract
본 발명은 반도체 제조용 장비에서 웨이퍼를 이송하는 장치에 관한 것으로, 특히 질소에 의하여 장비에 웨이퍼면이 접촉하지 않고 웨이퍼를 이송하는 웨이퍼 이송장치에 관한 것으로 소정의 개스가 그 상부면에 흐르게 하여 올려놓은 웨이퍼(2)를 이송시키는 프레임(4) ; 상기 프레임(4)내부에 비독성 개스를 주입하는 개스 주입구(6) ; 상기 프레임(4)의 측면에 장착되어 이송되는 상기 웨이퍼(2)가 이탈되지 않도록 하는 지지대; 상기 프레임(4) 내부에 형성되어 주입된 개스를 프레임(4)전체에 분포시키는 공동(8); 및 상기 프레임(4)의 상부면에 대하여 소정의 각도를 가지며, 소정의 직경으로 상기 프레임(4)의 상부표면에서 내부로 형성되어 상기 공동(8)과 연결되는 다수의 홀(10)을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
Description
제1도 본 발명에 의한 웨이퍼 이송장치의 일부를 나타내는 평면도.
제2도 제1도의 A-A선을 따른 단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
2 : 웨이퍼 4 : 프레임
6 : 개스 주입구 8 : 공동
10 : 홀
본 발명은 반도체 제조용 장비에서 웨이퍼를 이송하는 장치에 관한 것으로, 특히 질소에 의하여 장비에 웨이퍼면이 접촉하지 않고 웨이퍼를 이송하는 웨이퍼 이송장치에 관한 것이다.
종래에는 반도체 제조장비에서 웨이퍼를 이송하기 위하여 로봇 아암과 롤러에 의하여 구동되는 벨트를 사용하였다. 로봇 아암에 의하여 웨이퍼를 이송할 경우에는 로보트의 아암위에 웨이퍼가 로딩되어 미리 입력된 지점가지 웨이퍼를 이송한다. 로버트 아암에 의하여 웨이퍼를 이송하는 경우 로보트 아암의 일부분이 웨이퍼 카세트내의 웨이퍼와 직접적으로 접촉이 이루어져야 하므로 아주 정밀한 조정이 필요하다. 또한, 롤러에 의하여 구동되는 벨트에 의하여 웨이퍼를 이송할 경우에는 벨트 상에 웨이퍼를 올려놓고 벨트의 직선운동에 의하여 원하는 지점가지 웨이퍼를 이송한다.
그러나, 로보트 아암에 의하여 웨이퍼를 이송하는 경우 웨이퍼 카세트 내에서 웨이퍼를 움직이거나 오정렬로 인하여 에러가 발생되었을 대 웨이퍼의 깨어짐 및 웨이퍼의 뒷면에 긁힘 등의 현상이 일어나는 문제점이 있었다. 또한, 롤러에 의하여 구동되는 벨트에 의하여 웨이퍼를 이송하는 경우에는 벨트의 계속적인 회전에 의하여 분진이 상당수 발생하여 웨이퍼가 오염되는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 평평한 면위에 질소를 일정한 방향으로 유출시킴으로써, 질소 개스에 의하여 웨이퍼가 실려나가도록 하여 웨이퍼를 원하는 지점까지 이송하는 웨이퍼 이송장치를 제공함에 그 목적을 두고 있다.
본 발명은 상기 목적을 달성하기 위하여, 소정의 개스가 그 상부면에 흐르게 하며, 올려놓은 웨이퍼를 이송시키는 프레임 ; 상기 프레임 내부에 비독성 개스를 주입하는 개스 주입구 ; 상기 프레임의 측면에 장착되어 이송되는 상기 웨이퍼가 이탈되지 않도록 하는 지지대 ; 상기 프레임 내부에 형성되어 주입된 개스를 프레임 전체에 분포시키는 공동 ; 및 상기 프레임의 상부면에 대하여 소정의 각도를 가지며, 소정의 직경으로 상기 프레임의 상부표면에서 내부로 형성되어 상기 공동과 연결되는 다수의 홀을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치를 제공한다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 일실시예를 상세히 설명하기 한다. 제1도는 본 발명에 의한 웨이퍼 이송장치의 일부를 나타내는 평면도이며, 제2도는 제1도의 A-A선을 따른 단면도이며, 도면에서, 2는 웨이퍼, 4는 프레임, 6은 개스 주입구, 8은 공동, 10은 홀을 각각 나타낸다.
제1도와 제2도에 도시된 바와 같이, 직경 1mm이내의 홀(10)을 프레임(4) 윗면에서 30o-45o의 각도로 20-25mm간격으로 다수 형성한다.
개스 주입구(6)를 통하여 소정의 압력으로 주입된 질소는 프레임(4)내부의 공동(8)에 퍼지고 상기 공동(8)에 존재하는 질소는 각 홀(10)을 통하여 프레임(4)상부면으로 유출된다. 질소의 유출 방향은 웨이퍼 카세트에서 플랫 존 얼라이너 쪽으로 움직인다. 이때, 웨이퍼(2)의 측면은 웨이퍼가 밖으로 빠져나가지 못하게 지지대(도면에 도시되지 않음)로 막아주어야 한다. 웨이퍼가 이송되는 경우 프레임 면과 웨이퍼는 서로 질소에 의하여 분리되어 움직이며, 프레임 면과 웨이퍼의 간격은 공급되는 질소 유출비에 의하여 결정되며 웨이퍼의 이송속도 역시 질소 유출비에 의하여 정해진다.
이상에서 언급한 바와 같이, 본 발명은 평평한 면위에 질소를 일정한 방향으로 유출시킴으로써, 질소개스에 의하여 웨이퍼를 원하는 지점까지 이송하여 웨이퍼의 긁힘과 분진에 의한 오염을 방지할 수 있는 우수한 효과가 있다.
Claims (2)
- 웨이퍼 이송장치에 있어서, 소정의 개스가 그 상부면에 흐르게 하여 올려놓은 웨이퍼(2)를 이송시키는 프레임(4) ; 상기 프레임(4)내부에 비독성 개스를 주입하는주입구(6) ; 상기 프레임(4)의 측면에 장착되어 이송되는 상기(2)가 이탈되지 않도록 하는 지지대 ; 상기 프레임(4)내부에 형성되어 주입된 개스를 프레임(4)전체에 분포시키는 공동(8) ; 및 상기 프레임(4)의 상부면에 대하여 소정의 각도를 가지며, 소정의 직경으로 상기 프레임(4)의 상부표면에서 내부로 형성되어 상기 공동(8)과 연결되는 다수의 홀(10)을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치.
- 제1항에 있어서, 상기 홀은 상기 프레임(4)의 수평면에 대하여 30o-45o의 각도와 1mm이하의 직경으로 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940011331A KR0119919B1 (ko) | 1994-05-24 | 1994-05-24 | 웨이퍼 이송장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940011331A KR0119919B1 (ko) | 1994-05-24 | 1994-05-24 | 웨이퍼 이송장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR950034554A KR950034554A (ko) | 1995-12-28 |
| KR0119919B1 true KR0119919B1 (ko) | 1997-10-17 |
Family
ID=19383697
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019940011331A KR0119919B1 (ko) | 1994-05-24 | 1994-05-24 | 웨이퍼 이송장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0119919B1 (ko) |
-
1994
- 1994-05-24 KR KR1019940011331A patent/KR0119919B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR950034554A (ko) | 1995-12-28 |
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