JPS5931943A - 画像形成材料 - Google Patents
画像形成材料Info
- Publication number
- JPS5931943A JPS5931943A JP57141038A JP14103882A JPS5931943A JP S5931943 A JPS5931943 A JP S5931943A JP 57141038 A JP57141038 A JP 57141038A JP 14103882 A JP14103882 A JP 14103882A JP S5931943 A JPS5931943 A JP S5931943A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mask layer
- image
- layer
- forming material
- binder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/54—Absorbers, e.g. of opaque materials
- G03F1/56—Organic absorbers, e.g. of photo-resists
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、画像形成材料の改良に関する。訂し7く11
114層中に特定の物質を含有せしめることによ1ハマ
スク層の耐有機溶剤性を向上せしめた、画像形成用の新
規な感光拐料に閂する。
114層中に特定の物質を含有せしめることによ1ハマ
スク層の耐有機溶剤性を向上せしめた、画像形成用の新
規な感光拐料に閂する。
従来、網点画像や腺画に適した画像形成材料・(として
は、主にハロゲン化銀乳剤を用いたリスフィルム(リス
現[゛ン計によって現r象されるリス型)・ρゲン化銀
写、lへ材料−が用いられてきたが、近年、印刷用感′
)Y:利1Fへの業界のi9Jとしては、作!猶の安全
のためにも、所flll P 8版を塩1ノ扱う程度の
明室作業への移行が望まれており、また非銀塩感光材料
を用いて上記の問題点を解決することは、限りある資σ
?を有効に活用する漉からも非常に望まれている。
は、主にハロゲン化銀乳剤を用いたリスフィルム(リス
現[゛ン計によって現r象されるリス型)・ρゲン化銀
写、lへ材料−が用いられてきたが、近年、印刷用感′
)Y:利1Fへの業界のi9Jとしては、作!猶の安全
のためにも、所flll P 8版を塩1ノ扱う程度の
明室作業への移行が望まれており、また非銀塩感光材料
を用いて上記の問題点を解決することは、限りある資σ
?を有効に活用する漉からも非常に望まれている。
非釧塩感光利料の画像形成方法には、例えば、支持体上
に可視光あるいは原稿として使用される時の露光光源に
対して吸収をもつマスク層を有し、該1イイの上に、露
光された時に未露光部と露光部の間に現像液に対する溶
解性の変化が生じ、どちらか一方が現住後残存するフメ
トレジストMを有した拐料に像露光し、その後膣フォト
レジスト層を現像すると共にあるいは現像したのちに、
該フォトレジスト層の残存硬化(レンスト)部分を溶解
せづ゛且つ該マスクJ書を溶解しうる溶りiLで処理す
ることによりフォトレジスト層が溶出した部分の該マス
ク層を溶解除去させ、画像を形成させる方法がある。
に可視光あるいは原稿として使用される時の露光光源に
対して吸収をもつマスク層を有し、該1イイの上に、露
光された時に未露光部と露光部の間に現像液に対する溶
解性の変化が生じ、どちらか一方が現住後残存するフメ
トレジストMを有した拐料に像露光し、その後膣フォト
レジスト層を現像すると共にあるいは現像したのちに、
該フォトレジスト層の残存硬化(レンスト)部分を溶解
せづ゛且つ該マスクJ書を溶解しうる溶りiLで処理す
ることによりフォトレジスト層が溶出した部分の該マス
ク層を溶解除去させ、画像を形成させる方法がある。
一方、印刷用感光材料の分野では、印刷板を得るための
19、稿作成過程において、ある文字や絵柄の画像をも
つフィルムの上に別の文字や絵柄の画像をもつフィルム
、例えばストリッピングフィルムを貼り込む作業、すな
わち「貼り込み」と称するものがあり、かかるストリッ
ピングフィルムは貼り込んだ後、動かないように、スト
リッピングセメンI・と称するもので固盾される。スト
リッピングセメントに(:1、例えばメタノール、−r
−タノールといった溶剤が使われており、スト!J ソ
ピングフィルムが貼り込まれるフィルムは、上記溶剤等
にtシされないこと、すなJ)も耐溶剤性が要求される
。
19、稿作成過程において、ある文字や絵柄の画像をも
つフィルムの上に別の文字や絵柄の画像をもつフィルム
、例えばストリッピングフィルムを貼り込む作業、すな
わち「貼り込み」と称するものがあり、かかるストリッ
ピングフィルムは貼り込んだ後、動かないように、スト
リッピングセメンI・と称するもので固盾される。スト
リッピングセメントに(:1、例えばメタノール、−r
−タノールといった溶剤が使われており、スト!J ソ
ピングフィルムが貼り込まれるフィルムは、上記溶剤等
にtシされないこと、すなJ)も耐溶剤性が要求される
。
ストリソピンクセメントは、銀塩感光材料に合わせて作
られているため、銀塩感光材料がス)IJッピングセメ
ントの溶剤に浸される心配はないが、前述の画像形成方
法による非銀塩感光材料の場合は、例えば特開昭52−
89916公報に示されるように、支持体上のマスクl
、Iの現f↑液可溶[1成分がバ・rンダーボリマーか
ら成るものは、このバインダーポリマーがメタノール、
エタノール等の溶剤にIQされJ・5いものが少なくな
い。このように、マスク層のバインダーポリマーが上記
溶剤等で浸され易いということは、ストリッピングフィ
ルムを・ス)・リッピングセメントで非fn 41 r
光材料の上に「貼り込み」を行なった時、非GJ[感光
材料の画像が損なわれるといった不都合を生じる。
られているため、銀塩感光材料がス)IJッピングセメ
ントの溶剤に浸される心配はないが、前述の画像形成方
法による非銀塩感光材料の場合は、例えば特開昭52−
89916公報に示されるように、支持体上のマスクl
、Iの現f↑液可溶[1成分がバ・rンダーボリマーか
ら成るものは、このバインダーポリマーがメタノール、
エタノール等の溶剤にIQされJ・5いものが少なくな
い。このように、マスク層のバインダーポリマーが上記
溶剤等で浸され易いということは、ストリッピングフィ
ルムを・ス)・リッピングセメントで非fn 41 r
光材料の上に「貼り込み」を行なった時、非GJ[感光
材料の画像が損なわれるといった不都合を生じる。
本発明者らは、支持体上にマスク層を有し、該J−の上
にフォトレジスト層を有する画像形成材料において、マ
スク層に面1有機溶剤性を付力する両イ7ヤ形成オ(第
1の開発に研究を重」また結果、該マスク層に着色剤、
現像液可711ポリマ・−及び無機結着剤を含有させる
ことで所期の目的が達成されろことを見出シフ、本発明
を完成するに至った。
にフォトレジスト層を有する画像形成材料において、マ
スク層に面1有機溶剤性を付力する両イ7ヤ形成オ(第
1の開発に研究を重」また結果、該マスク層に着色剤、
現像液可711ポリマ・−及び無機結着剤を含有させる
ことで所期の目的が達成されろことを見出シフ、本発明
を完成するに至った。
本発明の目的は、耐有機溶剤性の向上し7たマスク層を
有する画像形成材料を提供することにある。
有する画像形成材料を提供することにある。
本発明の他の目的は、v(1像液溶解性を有し、かつ耐
有機溶剤性を有する、物理的特性の改良された画像形成
材料を提供することにある。
有機溶剤性を有する、物理的特性の改良された画像形成
材料を提供することにある。
かかる目的は、支持体上にマスク層4の上にフォトレジ
スト層を有する画像形成4.t 1・′1において、^
11記マスク層が着色剤、現像液用済ポリマー及び無嵌
結漬剤を含有することを’l”i Rとする画イ’、?
]W成材料によって達成さえする。
スト層を有する画像形成4.t 1・′1において、^
11記マスク層が着色剤、現像液用済ポリマー及び無嵌
結漬剤を含有することを’l”i Rとする画イ’、?
]W成材料によって達成さえする。
本発明の好ましい実施態(2)に従えば、 nil記無
機結束剤がノ“ルミナであること、又はソリ力であるこ
とである。また、他の好ましい実施態様に従えば、水系
溶液又は水で現像さノすることてある。
機結束剤がノ“ルミナであること、又はソリ力であるこ
とである。また、他の好ましい実施態様に従えば、水系
溶液又は水で現像さノすることてある。
以斗、本発明につい”〔詳細に説明する。
本発明の画11!形成旧T1における支持体1r1.
、 自己支上、7性のある材料であり、自己支持性を備
えることにより核皮」、〕体上に設けられるマスク層等
のrli1〜3層を伸1111さ毬ることなく支持し得
ることへ7意味づる。たとえばガラス仮やプラスチック
フィルム、紙などがあるが、作業上の取り扱いの面から
プラスチックフィルム、紙など自己支持性かつ柔イ((
性を持ったものが良い。例えば、ポリエチレンテレフタ
レート、ポリカーボネート、ポリ塩化ビニル、ポリスチ
レン、ポリプロピレン、三酢酸セルロース、バライタ紙
、レジンコート紙などを挙げることができる。また支持
体として用いられる拐料は、成る目的のため着色された
ものでも良い。
、 自己支上、7性のある材料であり、自己支持性を備
えることにより核皮」、〕体上に設けられるマスク層等
のrli1〜3層を伸1111さ毬ることなく支持し得
ることへ7意味づる。たとえばガラス仮やプラスチック
フィルム、紙などがあるが、作業上の取り扱いの面から
プラスチックフィルム、紙など自己支持性かつ柔イ((
性を持ったものが良い。例えば、ポリエチレンテレフタ
レート、ポリカーボネート、ポリ塩化ビニル、ポリスチ
レン、ポリプロピレン、三酢酸セルロース、バライタ紙
、レジンコート紙などを挙げることができる。また支持
体として用いられる拐料は、成る目的のため着色された
ものでも良い。
本発明では、支持体上にマスク層が設けられるが、支持
体上へのマスク層の塗布性、接層性等を改良Jるため支
持体を火炎処理又はコロナ放i1i等の処理をした1ハ
あるいは両者の間に下引1i+5を設けても良い。下引
層は、適当なポリマー溶e組成物の溶液を支持体上に塗
布することによって形成させる。下引層に用いられる水
利の例としては、塩化ヒニリデンーアクリpニトリル−
イタコン酸コポリマー、グリシジルアクリレートまたV
、F、グリシジルメタクリレートのポリマーまたはコポ
リマー、7クリル酸アミドまたはメタクリル酸アミドハ
・1・を体とアクリル酸またはメタクリル酸のエステル
ポリマー、塩化ビニル−酢酸ビニル−無水マレイン配フ
ボリマー、脂肪酸ビニルエステル、フタル酸またはイソ
フタル酸とグリフール類とのエステルコポリマー、スチ
ト・ンコボリマー、アクリロニトリルコポリ−z −1
zとを楢げ、で)ことができ、ビラチンイ、丁引素材と
して有効である。下引層を設けるための方法については
、写真製造J’!4では周知の技術が力)1ハそれらを
応用することができる。
体上へのマスク層の塗布性、接層性等を改良Jるため支
持体を火炎処理又はコロナ放i1i等の処理をした1ハ
あるいは両者の間に下引1i+5を設けても良い。下引
層は、適当なポリマー溶e組成物の溶液を支持体上に塗
布することによって形成させる。下引層に用いられる水
利の例としては、塩化ヒニリデンーアクリpニトリル−
イタコン酸コポリマー、グリシジルアクリレートまたV
、F、グリシジルメタクリレートのポリマーまたはコポ
リマー、7クリル酸アミドまたはメタクリル酸アミドハ
・1・を体とアクリル酸またはメタクリル酸のエステル
ポリマー、塩化ビニル−酢酸ビニル−無水マレイン配フ
ボリマー、脂肪酸ビニルエステル、フタル酸またはイソ
フタル酸とグリフール類とのエステルコポリマー、スチ
ト・ンコボリマー、アクリロニトリルコポリ−z −1
zとを楢げ、で)ことができ、ビラチンイ、丁引素材と
して有効である。下引層を設けるための方法については
、写真製造J’!4では周知の技術が力)1ハそれらを
応用することができる。
一般には上51ド1−7たt5なポリマーを水又は有機
沼11^によってR+腋に(2〔、これを「「−ル、ホ
布、工7一ノイノゆ布、スプレー塗布などσ)伶布方1
′ノ;によって支持体上硫塗布第2)。
沼11^によってR+腋に(2〔、これを「「−ル、ホ
布、工7一ノイノゆ布、スプレー塗布などσ)伶布方1
′ノ;によって支持体上硫塗布第2)。
J−、、lIs L、た支持体−ヒには、着色剤、現1
オ、τ)・−可溶ポリマー及びブ、モ(戊結沼剤を含有
するマスク層が設けられる。a色剤は、画像が形成さね
4ていイ)ことが判定できるために、あて)いは印刷版
への焼付ができるように++1ii fT部に祝1度を
、L5える目的でマスクRtI中に含有せしめられ、マ
スク層の濃度が紫外光あるいは可視う“0領域で10以
上になるよう入れもれのが好まし2い。
オ、τ)・−可溶ポリマー及びブ、モ(戊結沼剤を含有
するマスク層が設けられる。a色剤は、画像が形成さね
4ていイ)ことが判定できるために、あて)いは印刷版
への焼付ができるように++1ii fT部に祝1度を
、L5える目的でマスクRtI中に含有せしめられ、マ
スク層の濃度が紫外光あるいは可視う“0領域で10以
上になるよう入れもれのが好まし2い。
本発明に用いられる11色剤は、染料又は顔料のことで
あり %4 G剤の色に’肩は特に限定されないが、画
酸ハニ成1料が画イi:1 %成された後、n光の原稿
とし℃使用される時の5驚光光源に対して吸収をもつ必
要カ人あるため、少なくとも3 (1(1〜4 (10
n rnあるいVj、べ(1(1〜6 (l On m
の師、囲に吸収を持つのが好ましい。
あり %4 G剤の色に’肩は特に限定されないが、画
酸ハニ成1料が画イi:1 %成された後、n光の原稿
とし℃使用される時の5驚光光源に対して吸収をもつ必
要カ人あるため、少なくとも3 (1(1〜4 (10
n rnあるいVj、べ(1(1〜6 (l On m
の師、囲に吸収を持つのが好ましい。
本発明に用いらJIろ箔色剤の例としては、カーボンブ
ラック(プレ月1白またはグラフト化カーボンフラック
を含むに’ % j8j鉛、鉄黒、アニリンブラック、
シアニンブラック、コバルト紫、マンガン紫、ファスト
バイオL/ット13、メヂルバイオレソト1.− キ、
ジオ・■−リンパイーうレット、群青、相青、コバルト
グルー、セルリアンブルー、7.11カリブ/1−1−
’−八へ、フタロシアニンブルー、インジゴアルミニウ
ノ、粉、銅粉などを挙げろことができる。
ラック(プレ月1白またはグラフト化カーボンフラック
を含むに’ % j8j鉛、鉄黒、アニリンブラック、
シアニンブラック、コバルト紫、マンガン紫、ファスト
バイオL/ット13、メヂルバイオレソト1.− キ、
ジオ・■−リンパイーうレット、群青、相青、コバルト
グルー、セルリアンブルー、7.11カリブ/1−1−
’−八へ、フタロシアニンブルー、インジゴアルミニウ
ノ、粉、銅粉などを挙げろことができる。
その他層、知の顔料、染ギ・1の中から適宜選択づるこ
2ができろ。これら頒色剤d坪独で用いてル、良いが、
2稍以−)こ用いても構わない。
2ができろ。これら頒色剤d坪独で用いてル、良いが、
2稍以−)こ用いても構わない。
本発明のマスク層中には、親1国時にフ、1. l−1
,、/シスト層i’(+ It旨ti(i+’除去さt
するよう現像液可溶ポリマーカ(含まれる。未露光部を
除去するための現1象液は、作某安全件、公害の間か[
)有% (+’z Q’lを用いることeよ好fL、<
ブx<、アルカリなどの水系溶液を用い<’J (〕)
iJ’火川上Or用1.1.<、水な用いることはI
紅(、ζ好ましい、1本開明に用い1)れる現区汀(、
可溶ポリマーiqi、具体的((け水」、た(、1水系
酎11(17nJ’ +’l(な2Jニリン−を、15
口上ず2)。ここζス水系fd液とは、水を主成分占j
−イ)L・i ?’;’iで、dlc肖段は、具体的に
は水ち50 j+jj、fi!5′5以上7Fh、残り
カー、1911えば炭ri2水;:七ナトリウム、水酸
化り−1・リウム、メタケイ酸ナトリウノベCとの浴質
、あるいC14、例えばメクノーノ1ハベンジ・I2゛
ル」・−ルなと゛の水混和性有機r+7媒、更に必戟に
より昇面活性剤等本會イjする?′0.液である。
,、/シスト層i’(+ It旨ti(i+’除去さt
するよう現像液可溶ポリマーカ(含まれる。未露光部を
除去するための現1象液は、作某安全件、公害の間か[
)有% (+’z Q’lを用いることeよ好fL、<
ブx<、アルカリなどの水系溶液を用い<’J (〕)
iJ’火川上Or用1.1.<、水な用いることはI
紅(、ζ好ましい、1本開明に用い1)れる現区汀(、
可溶ポリマーiqi、具体的((け水」、た(、1水系
酎11(17nJ’ +’l(な2Jニリン−を、15
口上ず2)。ここζス水系fd液とは、水を主成分占j
−イ)L・i ?’;’iで、dlc肖段は、具体的に
は水ち50 j+jj、fi!5′5以上7Fh、残り
カー、1911えば炭ri2水;:七ナトリウム、水酸
化り−1・リウム、メタケイ酸ナトリウノベCとの浴質
、あるいC14、例えばメクノーノ1ハベンジ・I2゛
ル」・−ルなと゛の水混和性有機r+7媒、更に必戟に
より昇面活性剤等本會イjする?′0.液である。
ここで、水または水系溶液に可溶なポリマーの例として
、メチルセルロース、ヒトr+ =fジエチルー137
+11−ス、カルボA゛ンメゾ゛ルーにル「J−ス、ヒ
ト[7,ヤシブ(Jビルメチノt、、−cノドロースフ
タ1/−ト、ヒドロギソブロビルメチルセルローズヘキ
リヒド(+ツタレート笠のセル(J−ス誘尋体や、ポリ
アクリル岐エステル、ポリメタクリル酸エステノ[、ポ
リビニルブチラール、ポリメチルヒニルケトン、ナイロ
ン66、ポリアミ1゛、ポリビニルアルコール、ポリビ
ニルピロリドン、ポリビニルメトキシアセクール、ポリ
酢酸ビニル、エボキシリ1脂、ポリウレタンや、側錠h
((カルボギシルノんを有する付加重合体、例えばメタ
クリル酸共用合体、アクリル酸共重合体、イクコン酸共
重合体、マレイン酸共重合体、り11・ン酸共重合体4
4.7i’Lげろことかでき、また Ifll鎖に水酸
]・(、カルバモイル基、ジメチル7ミノシ(、を有す
る(−J加1(合イ4−1例えばビニルアルコール共s
L 合体、ヒニルアリルフルコール共車合体、メチレン
ジエチルマロネート共重合体(還元物)、無水マレイン
酸共重合体(還元物)、アクリルアミ)・共重合体、メ
タクリル7ミド共重合体、N、N−巳ンメブールアクリ
ルアミド共重合体、N、N−ジメゾ”ルアミノメブルア
クリレート共爪合体、N、N−ジメチルアミノメチルメ
タクリレート共重合体、N、N−ジメチルアミノエチル
アクリレート共重合体、N、N−ジメチルアミノエチル
アクリレート共重合体、ビニルピロリドン共重合体など
を挙げることができる1、その仙、重合体の高分子バイ
ンダーとして((1、例えばポリステ1/ンク、ルホン
酸、ポリアクリル酸、ポリメタクリル酸、ポリグルタミ
ン酸、スチレンーマ1/イン酸共爪合体1.1すに、−
ルリン酸、アルギンI’l”l ’、9の下りアニオン
とポリ7ン七ニウム+:A++I’リスルポニ・クム塩
、ポリホスホニウノ・±に等のポリカチオンの′M’f
’F体等を挙げることができる。これも、現像液可溶ポ
リマーけ、 、qt独でマスクR・う中に用いてもrシ
フ、あ2)いは2欅以上イ(同時に用い゛〔も構わない
。
、メチルセルロース、ヒトr+ =fジエチルー137
+11−ス、カルボA゛ンメゾ゛ルーにル「J−ス、ヒ
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タ1/−ト、ヒドロギソブロビルメチルセルローズヘキ
リヒド(+ツタレート笠のセル(J−ス誘尋体や、ポリ
アクリル岐エステル、ポリメタクリル酸エステノ[、ポ
リビニルブチラール、ポリメチルヒニルケトン、ナイロ
ン66、ポリアミ1゛、ポリビニルアルコール、ポリビ
ニルピロリドン、ポリビニルメトキシアセクール、ポリ
酢酸ビニル、エボキシリ1脂、ポリウレタンや、側錠h
((カルボギシルノんを有する付加重合体、例えばメタ
クリル酸共用合体、アクリル酸共重合体、イクコン酸共
重合体、マレイン酸共重合体、り11・ン酸共重合体4
4.7i’Lげろことかでき、また Ifll鎖に水酸
]・(、カルバモイル基、ジメチル7ミノシ(、を有す
る(−J加1(合イ4−1例えばビニルアルコール共s
L 合体、ヒニルアリルフルコール共車合体、メチレン
ジエチルマロネート共重合体(還元物)、無水マレイン
酸共重合体(還元物)、アクリルアミ)・共重合体、メ
タクリル7ミド共重合体、N、N−巳ンメブールアクリ
ルアミド共重合体、N、N−ジメゾ”ルアミノメブルア
クリレート共爪合体、N、N−ジメチルアミノメチルメ
タクリレート共重合体、N、N−ジメチルアミノエチル
アクリレート共重合体、N、N−ジメチルアミノエチル
アクリレート共重合体、ビニルピロリドン共重合体など
を挙げることができる1、その仙、重合体の高分子バイ
ンダーとして((1、例えばポリステ1/ンク、ルホン
酸、ポリアクリル酸、ポリメタクリル酸、ポリグルタミ
ン酸、スチレンーマ1/イン酸共爪合体1.1すに、−
ルリン酸、アルギンI’l”l ’、9の下りアニオン
とポリ7ン七ニウム+:A++I’リスルポニ・クム塩
、ポリホスホニウノ・±に等のポリカチオンの′M’f
’F体等を挙げることができる。これも、現像液可溶ポ
リマーけ、 、qt独でマスクR・う中に用いてもrシ
フ、あ2)いは2欅以上イ(同時に用い゛〔も構わない
。
本発明のマスク層中にd、耐有機溶剤性!、: (1−
リする目的で無機結着剤が含有される。二こ((イ壓機
結着剤とは、粒子径が1. +n /L〜1μの範囲に
あり、マス15′層中で結翳性、11(目す、該粒子同
志が互い圧接着し11す、他のりロク質に固着する性質
なイ1する無機物質のことである。この無機結着剤にマ
スク層中に含有させ:?+ +ことにより、マスク層θ
、)li4.’+ ’;li度を向上させることかでと
、その結果マスク層に耐有(サセ溶剤性を付与できるも
のと考えられる。無機結着剤の例として、アルミナ、シ
リカ、クレー、金属酸化物等をり→りけることができる
。特にアルミナ、シリカの似粒子が水に分散しているコ
ロイダルアルミナやコロイタルシリ力は一般に良く知ら
れており、本発明にも好ましく用いられる。本発明にお
いて、この焦艶結着剤はll!+ 、Ijl(で用いC
も良いが、2挿μmヒのf〕[用でも楢わない、また、
本発明のマスク層には、その他、(希酸バリウム、炭酸
カルシウム、白土などの体質顔料や、酸化亜鉛、酸化チ
タ:/、酸化7ンヂモンなどの白色顔料を無(幾結f剤
と併用して含有しても良い。
リする目的で無機結着剤が含有される。二こ((イ壓機
結着剤とは、粒子径が1. +n /L〜1μの範囲に
あり、マス15′層中で結翳性、11(目す、該粒子同
志が互い圧接着し11す、他のりロク質に固着する性質
なイ1する無機物質のことである。この無機結着剤にマ
スク層中に含有させ:?+ +ことにより、マスク層θ
、)li4.’+ ’;li度を向上させることかでと
、その結果マスク層に耐有(サセ溶剤性を付与できるも
のと考えられる。無機結着剤の例として、アルミナ、シ
リカ、クレー、金属酸化物等をり→りけることができる
。特にアルミナ、シリカの似粒子が水に分散しているコ
ロイダルアルミナやコロイタルシリ力は一般に良く知ら
れており、本発明にも好ましく用いられる。本発明にお
いて、この焦艶結着剤はll!+ 、Ijl(で用いC
も良いが、2挿μmヒのf〕[用でも楢わない、また、
本発明のマスク層には、その他、(希酸バリウム、炭酸
カルシウム、白土などの体質顔料や、酸化亜鉛、酸化チ
タ:/、酸化7ンヂモンなどの白色顔料を無(幾結f剤
と併用して含有しても良い。
本発明のマスク層1は、チ、11.−機結メ1削と現像
ht可溶ポリマーの水浴液または水系rd液あるいは有
機浴媒沼液、もしくはこれらの混合浴液を混合し、さら
に着色剤を均一(・こ?′l)解または分散させたもの
を塗布液とし“C1通7:’rの(真布技術、?fll
えばロー)口〜布、エアーナイフ塗布、スライドホッパ
ー塗布、℃クストルーダー塗布、ドクターゾ1/−ド塗
布などによって前述の支持体上へ塗布し乾燥rることに
よって形成される。
ht可溶ポリマーの水浴液または水系rd液あるいは有
機浴媒沼液、もしくはこれらの混合浴液を混合し、さら
に着色剤を均一(・こ?′l)解または分散させたもの
を塗布液とし“C1通7:’rの(真布技術、?fll
えばロー)口〜布、エアーナイフ塗布、スライドホッパ
ー塗布、℃クストルーダー塗布、ドクターゾ1/−ド塗
布などによって前述の支持体上へ塗布し乾燥rることに
よって形成される。
前述したように本発明のマスク層には、着色剤、現像液
可溶ポリマー及び無機結着剤が含有されるが、マスク層
に紫外光及び’iiJ視光領域で濃度10以上を持たせ
るためには、マスク層中圧着色剤が5〜60重謙%、好
ましくは1()〜50重版免含有されるのが良い。また
現像液用済ポリマーはマスク層中にIO〜60爪墓%、
好ましく1i15〜5()電照0%含有されるのが良<
、](l亀倣%に満たない場合はフォトレジスト層溶出
部の除去が困難になり、60止t、1%より多い場合は
、耐有機浴剤性を向上できなくなり本発+31の所期の
目的に反する。さら(にまた、無(41結着剤はマスク
114中に10〜70重間%、好まL <は20〜60
重−ト1%含有されるのが良<、7(1重電1%、[り
多い場合目、)炙ルジスト溶出部の除去が困難になり、
10重反%に満たない場合は、内j有機溶剤性を向上で
きなくなり本発明の所期の目的に反する。
可溶ポリマー及び無機結着剤が含有されるが、マスク層
に紫外光及び’iiJ視光領域で濃度10以上を持たせ
るためには、マスク層中圧着色剤が5〜60重謙%、好
ましくは1()〜50重版免含有されるのが良い。また
現像液用済ポリマーはマスク層中にIO〜60爪墓%、
好ましく1i15〜5()電照0%含有されるのが良<
、](l亀倣%に満たない場合はフォトレジスト層溶出
部の除去が困難になり、60止t、1%より多い場合は
、耐有機浴剤性を向上できなくなり本発+31の所期の
目的に反する。さら(にまた、無(41結着剤はマスク
114中に10〜70重間%、好まL <は20〜60
重−ト1%含有されるのが良<、7(1重電1%、[り
多い場合目、)炙ルジスト溶出部の除去が困難になり、
10重反%に満たない場合は、内j有機溶剤性を向上で
きなくなり本発明の所期の目的に反する。
本発明のマスクJ!’HJ:、 e:>度10以上を得
るためには05μ以上の1ψさが必要であり、05〜8
μ程度σ入1ツさがあれば充分である。余りマスクIn
が厚くなると、税、像による除去の際にマスク;皆のザ
イドエッチングが7起こり、忠実な画像幅の再現が −
11られなくなる。。
るためには05μ以上の1ψさが必要であり、05〜8
μ程度σ入1ツさがあれば充分である。余りマスクIn
が厚くなると、税、像による除去の際にマスク;皆のザ
イドエッチングが7起こり、忠実な画像幅の再現が −
11られなくなる。。
本発明のマスク層はfJl、f’ff 液M解性を持た
せたまま、有を幾溶剤への耐性を高めることができ、こ
れによって「貼り込み」時のストリッピングセメントに
よるマスク画1?の損傷を防ぐことができる。
せたまま、有を幾溶剤への耐性を高めることができ、こ
れによって「貼り込み」時のストリッピングセメントに
よるマスク画1?の損傷を防ぐことができる。
つまり、マスクJjに耐有機溶剤性を付与することがで
きる。
きる。
このようにして設()られた本発明のマスク層の上K
r、i 、 フメトレジス1層デ(4,作けらtする。
r、i 、 フメトレジス1層デ(4,作けらtする。
゛°フォト!7・ジス11ζメ°“とは :r;、 7
じ°j1告業界でVi既に知もf+でいる■飴であるが
、こ#l IJ: I+’に光件の皮+1L+\形成性
物質から成り、露光によって感光部と未露光部の性質が
り1なり、例えば1尚な溶i!It/[よりどちらか一
方を層から除去することができ、残る一方はモの溶媒に
対してレジスト(不酵)性を示すものである。このよう
なフォ) l/ ;スト層の一例とし壱 て・ヘロゲン化銀写真乳剤層やフメトポリマ一層などが
あ1ハフオドポリマ一層を利用する場合は、未露光部分
が除去される“′ネガ型′°や(“l先部分が除去され
るパンドジ型パがあり、例えば水粉、乾著「感光性高分
子J(RJ9f:’ζ社)、角田、山岡等著しオトポリ
マ−J (CNI C)に詳細に記されており、これら
は本発明に使用され得る1、 市販品の例として、米国ノソゾ1/・r社製フォトポリ
マー“’ A Z + 35 (1”、米[i!1
イー ストマンコタツク社クリフォトポリマ・−” K
P ]t″、東京応化(!1)製フォトポリマー °
“i’ P R,”、富士薬品物製” F P P I
t ”、旭化成n 剋” ニー’ r (:/ コ−)
Il+、?光液°゛などが力)す、本発明のノ第1レ
ンストハイとしてこれらの素(1をオ+j 10 する
ことかできるが、作業安全性、公害の面から)Aトン1
.゛スト層の除去液は、水またtま、−1(系で、f−
)るのが好ましい。これらハロゲン化鏑チクA乳剤層や
フォトポリマーJ・膚へのレジスト自作形成の技術につ
いては従来か1:)知らit゛Cおり、本発明にもそれ
らを利用することができる。
じ°j1告業界でVi既に知もf+でいる■飴であるが
、こ#l IJ: I+’に光件の皮+1L+\形成性
物質から成り、露光によって感光部と未露光部の性質が
り1なり、例えば1尚な溶i!It/[よりどちらか一
方を層から除去することができ、残る一方はモの溶媒に
対してレジスト(不酵)性を示すものである。このよう
なフォ) l/ ;スト層の一例とし壱 て・ヘロゲン化銀写真乳剤層やフメトポリマ一層などが
あ1ハフオドポリマ一層を利用する場合は、未露光部分
が除去される“′ネガ型′°や(“l先部分が除去され
るパンドジ型パがあり、例えば水粉、乾著「感光性高分
子J(RJ9f:’ζ社)、角田、山岡等著しオトポリ
マ−J (CNI C)に詳細に記されており、これら
は本発明に使用され得る1、 市販品の例として、米国ノソゾ1/・r社製フォトポリ
マー“’ A Z + 35 (1”、米[i!1
イー ストマンコタツク社クリフォトポリマ・−” K
P ]t″、東京応化(!1)製フォトポリマー °
“i’ P R,”、富士薬品物製” F P P I
t ”、旭化成n 剋” ニー’ r (:/ コ−)
Il+、?光液°゛などが力)す、本発明のノ第1レ
ンストハイとしてこれらの素(1をオ+j 10 する
ことかできるが、作業安全性、公害の面から)Aトン1
.゛スト層の除去液は、水またtま、−1(系で、f−
)るのが好ましい。これらハロゲン化鏑チクA乳剤層や
フォトポリマーJ・膚へのレジスト自作形成の技術につ
いては従来か1:)知らit゛Cおり、本発明にもそれ
らを利用することができる。
このようにし〔調製された本発明に係る画像形成材料は
、そのフォトレジスト層側から像露光し、その後フォト
レジスト層を現像し、さらにフォトレジスト層か#l像
除去された部分のマスク層を現博除去することでネガま
たはポジ画1ネ゛が形成される。
、そのフォトレジスト層側から像露光し、その後フォト
レジスト層を現像し、さらにフォトレジスト層か#l像
除去された部分のマスク層を現博除去することでネガま
たはポジ画1ネ゛が形成される。
1′へ4九の光源には、高圧水銀す]、メタルハライド
ランプ、タングステンランプ、ジアゾ感材用螢光ランプ
、ヨードランプ、ギセノンランプ、レーザー光源など各
種の)γ、州が用いられる。露光方法tJ5、原(?、
域と重ねて密着露光しても、引伸し話光し−(、もよく
、また反射1客光しても良い。この霧光さハた4・発明
に係る画像ノヒ成材¥1は、ドυえはフォトポリマ一層
の場合は、レジスト部分区1溶’?+’lせず、Jトレ
ジ・ス)・tjli分を溶h′〆する処理液で、非レジ
スト部分を机r?除去し、さらに非レジスト部分のマス
ク+G、6を溶確し一目つフォ)ポリマ一層のレジスト
部分ヤ溶解しない処理?良で%iλ像除去ゴることによ
り、所望の画像を形成する。非レジスト部分の現像除去
とマスク層の現像除去が同一の処理液でなされることは
実用上さらに好ましい。
ランプ、タングステンランプ、ジアゾ感材用螢光ランプ
、ヨードランプ、ギセノンランプ、レーザー光源など各
種の)γ、州が用いられる。露光方法tJ5、原(?、
域と重ねて密着露光しても、引伸し話光し−(、もよく
、また反射1客光しても良い。この霧光さハた4・発明
に係る画像ノヒ成材¥1は、ドυえはフォトポリマ一層
の場合は、レジスト部分区1溶’?+’lせず、Jトレ
ジ・ス)・tjli分を溶h′〆する処理液で、非レジ
スト部分を机r?除去し、さらに非レジスト部分のマス
ク+G、6を溶確し一目つフォ)ポリマ一層のレジスト
部分ヤ溶解しない処理?良で%iλ像除去ゴることによ
り、所望の画像を形成する。非レジスト部分の現像除去
とマスク層の現像除去が同一の処理液でなされることは
実用上さらに好ましい。
以1″、A−発明の実施例を述べるが・、本発明の実施
態様はこれらに限定されない。面、実施f11にス・3
いて特別の表示のない限り、成分の割合の「部」は、「
′ri(知4部」を表わす。
態様はこれらに限定されない。面、実施f11にス・3
いて特別の表示のない限り、成分の割合の「部」は、「
′ri(知4部」を表わす。
実施例1
−F引り’lを設げた三酢酸七ル1フー7、フィルム上
に下WtrのR1成から成る1塗布液−■〕を内布、乾
燥してIgさ約3 /lのマスク層を設けた。
に下WtrのR1成から成る1塗布液−■〕を内布、乾
燥してIgさ約3 /lのマスク層を設けた。
この−112層の土に、光重合ネガ型のシャインコート
感光液〔無化成■製〕を塗布乾燥して厚さ約3μのフォ
トレジスト層を設けた。このようにし【作成した本発明
に係る画像形成材料−1を原稿と重ね合わせて、明室プ
リンター〔上野化学■製、[I P −6、<i KW
、メタルハライドランプ〕で45秒間W 毘したのち2
0′Cのアルカリ現(′ll液5DP−1(小西六写真
工栗(イ))製、PS版用f11f(p液〕の20倍希
釈液で現イ*L、その後25°Cの水道水で未j(4光
部を水洗除去しネガ画イ9;を得た。この自作の上に、
ストリッピングセメント〔小西六写真工業6菊製〕を使
ってストリッピングフィルム(ザクラCUS )を貼り
込んだが、自作は何ら損(j%を受けなかった。
感光液〔無化成■製〕を塗布乾燥して厚さ約3μのフォ
トレジスト層を設けた。このようにし【作成した本発明
に係る画像形成材料−1を原稿と重ね合わせて、明室プ
リンター〔上野化学■製、[I P −6、<i KW
、メタルハライドランプ〕で45秒間W 毘したのち2
0′Cのアルカリ現(′ll液5DP−1(小西六写真
工栗(イ))製、PS版用f11f(p液〕の20倍希
釈液で現イ*L、その後25°Cの水道水で未j(4光
部を水洗除去しネガ画イ9;を得た。この自作の上に、
ストリッピングセメント〔小西六写真工業6菊製〕を使
ってストリッピングフィルム(ザクラCUS )を貼り
込んだが、自作は何ら損(j%を受けなかった。
比較fす]
実施例1のマスク層に用いた〔塗布液−I〕の代わりに
、下記の組成の塗布液でマスク層を設け、その他は実施
例1と同様の方法で比較の1itii像W成拐料を作成
し、実施例1と同じ<tlで光、現(J水洗除去を行な
い、「貼り込み」を行なったところ、7、ドリッピング
七メン)による損傷が両fψに認められた。
、下記の組成の塗布液でマスク層を設け、その他は実施
例1と同様の方法で比較の1itii像W成拐料を作成
し、実施例1と同じ<tlで光、現(J水洗除去を行な
い、「貼り込み」を行なったところ、7、ドリッピング
七メン)による損傷が両fψに認められた。
実施例2
下記の組成から成る〔塗布液−■〕を181!j整し、
下引1;・7タ設けたポリエチレンテレフタレートフィ
ルム上に塗布乾燥して厚さ約2μのマスクバくを設けた
。
下引1;・7タ設けたポリエチレンテレフタレートフィ
ルム上に塗布乾燥して厚さ約2μのマスクバくを設けた
。
このマスクINの上に、下1113の組成から成る塗布
液を調整し、塗布乾P10ノ(厚さ約2μのネガ型)]
トレジスト層を設けた。
液を調整し、塗布乾P10ノ(厚さ約2μのネガ型)]
トレジスト層を設けた。
このようにして作成した本発明に係る画像形成材料を明
室プリンター(実施例1と同じ)で40秒間像様It’
< )Y、 したのち、25°Cの水道水に浸11(シ
ieからスポンジで軒くこ1り未r(元部を除去して、
イガ画像を得た。この111仰の十に実施例1と同様に
[貼り込み]を行なったが、画像l、何ら損傷を受けな
かった。
室プリンター(実施例1と同じ)で40秒間像様It’
< )Y、 したのち、25°Cの水道水に浸11(シ
ieからスポンジで軒くこ1り未r(元部を除去して、
イガ画像を得た。この111仰の十に実施例1と同様に
[貼り込み]を行なったが、画像l、何ら損傷を受けな
かった。
比較例2
実施例2のマスク層に用いた〔塗布液−n)の代わりに
、下記の組成の塗布液でマスク層を設け、その他は実施
例2と同(5の方法で比較σ)画像形成材料を作成し、
実施例2と同じく露光、現像除去を行ない「貼り込み」
を行なったところ、ストリッピングセメントによる損傷
が画像に認められた。
、下記の組成の塗布液でマスク層を設け、その他は実施
例2と同(5の方法で比較σ)画像形成材料を作成し、
実施例2と同じく露光、現像除去を行ない「貼り込み」
を行なったところ、ストリッピングセメントによる損傷
が画像に認められた。
実施例3
下記ノftl 成力’) 成力(塗布rib、 −II
I 、l vi+’Iyq t、、下引層を設けたポリ
エチレンテレフタレートフィルム上に塗布、乾燥り、
−(l Iすさ約4μのマスクJc’jを設けた。
I 、l vi+’Iyq t、、下引層を設けたポリ
エチレンテレフタレートフィルム上に塗布、乾燥り、
−(l Iすさ約4μのマスクJc’jを設けた。
〔塗布液−m )
このマスク層の上に下記の組成から成る塗布液をi14
’lりvしてjすさ約371のネガ型フォI・レジスト
111を設けた。
’lりvしてjすさ約371のネガ型フォI・レジスト
111を設けた。
このようにして作成した本発明に係る1ifii (’
9彩成利Y′+を実施例Jと同じ方法で、露光、現Vf
J、水洗除去を行ないネガ画イ9を得た。この画像の上
に513施例1と同様に1−貼り込み」を行なったが、
画イCQは何らi:Q 傷を受けなかった。
9彩成利Y′+を実施例Jと同じ方法で、露光、現Vf
J、水洗除去を行ないネガ画イ9を得た。この画像の上
に513施例1と同様に1−貼り込み」を行なったが、
画イCQは何らi:Q 傷を受けなかった。
特M’F 出願人 小西六写真工梨株式会社、代理人
弁理士 坂 ロ イn 昭(ほか1名)
弁理士 坂 ロ イn 昭(ほか1名)
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (1)支持体上にマスク層を有し、該マス?f層の上に
フメトレジストj!4を、1イするuTi+ I紮形成
す(料において、前N+E −v スフJ?4が着色剤
、現+”# 7+k aJ’ *:ポリマー及び無機結
着剤を含・f]することをパ1″r徴とする画像形成イ
If’l。 (2J jail記無侠結滑剤がアルミプである特許
F、Jl求の範囲第1項記載の画像形成材料1゜ (3) s++記無機結イ1剤がシリカである特許請
求の範囲第1項記載の画像形成材料。 (4)水系lrl液でfJl像される(F> lT’r
NN求の範囲第1項〜第3項いずれかに記載の画像形
成材料。 (5)水で現像される特許1flY求の範囲第1項〜第
3項いずれかに記載の画像形成材料。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57141038A JPS5931943A (ja) | 1982-08-16 | 1982-08-16 | 画像形成材料 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57141038A JPS5931943A (ja) | 1982-08-16 | 1982-08-16 | 画像形成材料 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5931943A true JPS5931943A (ja) | 1984-02-21 |
Family
ID=15282785
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57141038A Pending JPS5931943A (ja) | 1982-08-16 | 1982-08-16 | 画像形成材料 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5931943A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5965837A (ja) * | 1982-10-07 | 1984-04-14 | Toppan Printing Co Ltd | 画像形成用材料 |
FR2600434A1 (fr) * | 1986-06-23 | 1987-12-24 | Fuji Photo Film Co Ltd | Materiau de formation d'image |
US5600356A (en) * | 1989-07-25 | 1997-02-04 | Ricoh Company, Ltd. | Liquid jet recording head having improved radiator member |
US5892526A (en) * | 1988-07-15 | 1999-04-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Substrate for liquid jet recording head for producing consistently shaped ink bubbles, liquid jet recording head provided with said substrate and method of recording with said recording head |
-
1982
- 1982-08-16 JP JP57141038A patent/JPS5931943A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5965837A (ja) * | 1982-10-07 | 1984-04-14 | Toppan Printing Co Ltd | 画像形成用材料 |
FR2600434A1 (fr) * | 1986-06-23 | 1987-12-24 | Fuji Photo Film Co Ltd | Materiau de formation d'image |
US5892526A (en) * | 1988-07-15 | 1999-04-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Substrate for liquid jet recording head for producing consistently shaped ink bubbles, liquid jet recording head provided with said substrate and method of recording with said recording head |
US5600356A (en) * | 1989-07-25 | 1997-02-04 | Ricoh Company, Ltd. | Liquid jet recording head having improved radiator member |
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