[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

JPS5839069B2 - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents

インクジェットヘッドの製造方法

Info

Publication number
JPS5839069B2
JPS5839069B2 JP6657779A JP6657779A JPS5839069B2 JP S5839069 B2 JPS5839069 B2 JP S5839069B2 JP 6657779 A JP6657779 A JP 6657779A JP 6657779 A JP6657779 A JP 6657779A JP S5839069 B2 JPS5839069 B2 JP S5839069B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ink
head
groove
nozzle
substrate glass
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP6657779A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS55158981A (en
Inventor
僖壱 川村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Suwa Seikosha KK
Original Assignee
Suwa Seikosha KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Suwa Seikosha KK filed Critical Suwa Seikosha KK
Priority to JP6657779A priority Critical patent/JPS5839069B2/ja
Publication of JPS55158981A publication Critical patent/JPS55158981A/ja
Publication of JPS5839069B2 publication Critical patent/JPS5839069B2/ja
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1623—Manufacturing processes bonding and adhesion
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1607—Production of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/1617—Production of print heads with piezoelectric elements of disc type
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1632—Manufacturing processes machining
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1635—Manufacturing processes dividing the wafer into individual chips

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はオンデマンド型のインクジェットヘッドに係り
、特にその製造方法に関する。
、ピエゾ素子の撓みを利用して圧力室のインクを加圧し
てノズルよりインク滴を噴射する方式のいわゆるインク
オンデマンド型インクジェット記録装置は簡略な機構で
、低電力で、普通紙に印字できるノンインパクト記録装
置として最近特に注目されてきている。
第１図はかかるインクジェット記録装置用ヘッドの一例
を示したものでａは平面図、ｂは断面図を示し、基板ガ
ラス１に浅い溝２を設け、この溝２は振動板ガラス３を
接着することによってこの溝２は一連のインク供給室７
、インク圧力室４、インク通信５、ノズ／ｌ／６となる
。
この例では、これらが−個のヘッド内に７組構成された
マルチヘッドである。
振動板ガラス３にはインク圧力室４に対応する部分には
ピエゾ素子８が接着されている。
９はインク供給管で図示しないインクタンクより、この
インク供給管９を通じてヘッド内のインク供給室Ｔ、イ
ンク圧力室４、インク通路５、ノズ／Ｌ／６へとインク
が充満される。
この状態でピエゾ素子８の上下電極に電圧パルスを印加
すると、ピエゾ素子８の収縮と振動板ガラス３との作用
でピエゾ素子８が撓み、インク圧力室４内のインクを加
圧する。
加圧されたインクはインク通路５かもノズル６へ圧力を
伝播しノズルからインク滴を噴射する。
こうして必要に応じてピエゾ素子８Ｖｃ電圧パルスを与
えることによってインク滴を噴射できるもので、図のよ
うに７個のノズル６が縦一列に集中した型式のヘッドで
は第２図に示す如き記録装置としてまとめられる。
即ちヘッド１０はプラテン１１に沿って供給される記録
紙１２に対向して配置され、矢印１３の方向に移動しな
がらドツトで印字するシリアルプリンターとして応用さ
れる。
本発明は上に述べた平板を接着した型式のインクジェッ
ト記録用ヘッドについて量産加工上有利な製造方法を提
供するもので図に従って詳細に説明する。
第３図は本発明の一実施例となる原料基板ガラス１４の
平面図であり、矢印１５で囲まれた一区画部分１６が１
コのヘッドの基板ガラスとなる。
基板ガラス１６には前述の如く流路となる溝が形成され
るが、本実施例ではフォトエツチング法によりこの流路
溝が形成される。
即ち原料基板ガラス１４は全面にクロム（下地）と金が
蒸着され、続いてレジストが塗布され、所望の尚路溝を
形成したマスクを用いて露光され、金、クロムラエツチ
ングする。
残された金、クロムがマスクとなってフッ酸を主成分と
するエツチング液に浸漬して所望の流路溝を形成する。
その後、残存する金、クロムを剥離して原料基板ガラス
１４の溝形成が完了する。
ここで原料基板ガラス１４の一区画が一枚の基板ガラス
１６となるので図示のものでは１５枚の基板ガラス１６
の溝形成が同時に行われる。
即ち露光工程においても原料基板ガラス１４に全面同時
露光されるし、エツチング工程に於いてもしかりで、個
々の基板ガラス１６Ｖｃついて行うのに比し１５倍の生
産性が得られる。
なおここで形成する流路溝の詳細を第４図に示す。
破線１５で囲まれる一区画が１個の基板ガラス１６とな
るもので、斜線部２１０が溝であり、この溝２１０は夫
々の部分でインク供給室２０、インク圧力室１７、イン
ク通路１８、ノズル１９となる。
そこでこの流路溝２１０の特徴は、隣接する基板ガラス
部とノズル部分はノズルとインク供給室側は同じくイン
ク供給室と境をなすように形成されていること、及びイ
ンク供給室の接続部は多数の島２１が残され、多数の細
い溝で接続されている点にある。
この特徴により生ずる効果について後述する。
さて、こうして流路溝が形成された原料基板ガラス１４
は図示しないが、はぼ同じ平目形状の原料振動板ガラス
と接着され、インク圧力室１７に対向する夫々の部分に
ピエゾ素子が接着される。
しかる後に薄い（０，１〜０．２ ｍｍ ）ダイヤモン
ドブレードによって原料基板ガラス１４の破線１５Ｖｃ
沿って切断され、個々のヘッドとして分離される。
これらは、第１図のインク供給管９及び各ピエゾ素子に
電圧パルス印加用のリード端子の配線などを施せばヘッ
ドとして完成する。
第５図はダイヤモンドブレード２４Ｖｃよる切断の模様
を示したもので、第４図のインク供給室２０のところの
切断で、もし島２１がない場合は第５図ａの如く、原料
基板ガラス１４と原料振動板ガラス２３との間に溝２１
があり、この溝２１は切断するほぼ全域に存在する。
この様な部分を切断したとき、溝２１０対向面が不安定
に振動しく切断後のコーナーが欠けて、しかも、その微
ｌトなカケが溝の中に入り込み、これをヘッドとして完
成したときそれらのカケがノズル部迄達し、ノズルの詰
りとなって、歩留り悪化の大きな原因となる。
しかるに本実施例では特に島２１を設けたため第５図す
に示す切断となり、細い溝が存在するだけであり、切断
面は殆んど剛体となって安定した切断面が得られ欠けな
どは殆んど発生せず、従って溝内に異物の侵入も見られ
ずａの場合のノズル詰りの要因を解消することができた
。
さらにこの島２１を設けた効果としてヘッドとして完成
したときこれがフィルタ：とし作用することである。
即ち細い直路２２より大きい異物がインク供給管などか
ら侵入しようとしてもこの部分で阻止され、ノズルのつ
まりなどを防止できる。
従ってこの部分の流路溝２２はノズル１９と同等以下の
断面積にすることが望ましい。
次にノズル１９での切断は、このノズル１９の小さな溝
の切断となり、これは今述べたｂの切断と同様、安定な
切断を行なうことができる。
第６図は、基板ガラス２５の周囲に流路溝２６゜２７を
形成し、両面に振動板ガラス２８．２９を接着した両面
ノズルインクジェットヘッドであるが、上に述べた実施
例を、この型式のヘッドに適用できることは説明を要し
ないであろう。
第７図はさらに他の型式のヘッドであり、基板ガラス３
０に溝３１を形成し振動板ガラス３２さらにはピエゾ素
子３３を接着したもので、溝３１はインク圧力室３５、
ノズル３６などの部分が存する。
３４はインク供給管でインクタンクからのインクが供給
される。
ノズル３６は図の如く横に一定の間隔をおいて並んでお
り、この型式のヘッドは、第８図に示す如き記録装置と
して応用される。
ヘッド３１はその長手方向をプラテン３８の軸と平行に
置かれ矢印４０の如く振動しながら記録紙３９上にライ
ンプリンター的に記録される。
この型式のヘッドは第９図に示す原料基板ガラス４１に
第３図で示したと同様に同時に多数の基板ガラス４３の
溝をフォトエツチングで形成されるが、横に長いヘッド
であるので破線４２で分割するだけで個々のヘッドにす
ることができ、即ち平行な直線で切断するのみでよく切
断工程では先の実施例のものより楽である。
第１０図は、この原料基板ガラス４１の溝３１の斜線部
の詳細図であり図の如くインク圧力室３５、ノズル３６
、インク供給部４４より溝３１が構成されており、第４
図と同様隣接する基板ガラス４３同志はノズル同志、イ
ンク供給部同志で接続している。
従って薄いダイヤモンドブレードで切断するだけで個々
に分割できる。
ノズル３６は細い溝であり、又、インク供給部４４もそ
れより若干太い程度の溝であるので切断の安定性が良い
。
（第５図すで述べた切断条件と同等である。
）以上本発明につき実施例を述べたが、本発明は実施例
に述べたヘッド及びその製造方法に限定されるものでは
なく、例えばヘッドはガラス以外にもセラミック、ステ
ンレスなどの金属板で構成してもよいし、流路溝は必ず
しもフォトエツチングで形成する必要はなく他の方法で
形成しても良い。
その他ノズルの数、流路溝の形状についても限定はない
。
以上詳説した如く本発明のインクジェットヘッド製造方
法によれば、同時に多数のヘッドの力任な行い最終工程
に近いところで切断分離して個々のヘッドとするもので
、量産加工上特に秀れた製造方法を提供するものである
。
【図面の簡単な説明】
第１図はインクジェットヘッドの一例で、第２図はそれ
を用いた記録装置、第３図は本発明の一実施例となるヘ
ッド構成部材の平面図、第４図はその詳細図、第５図は
本発明の実施例となる切断状況図、第６図は本発明を適
用し得る他のインクジェットヘッドの例、第７図は本発
明を適用し得るさらに他のインクジェットヘッドの例、
第８図はその記録装置、第９図は第７図のヘッドを本発
明の実施例となる方式で製造するときの一構成部品の平
面図、第１０図は第９図の詳細図である。 １・・・・・・基板ガラス、２・・・・・・溝、３・・
・・・・振動板ガラス、８・・・・・・ピエゾ素子、１
４・・・・・・原料基板ガラス、２１・・・・・・島、
２４・・・・・・ダイヤモンドブレード。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １ 浅い溝を設けた一方の平板と他方の平板とを接着し
    て、前記溝により一連のインク供給室、インク圧力室、
    インク流路、ノズルなどを構成してなるオンデマンド型
    インクジェットヘッドにおいて、一枚の平面円に複数の
    ヘッド用流路溝を設け、この平板を他の平板とを接着し
    た後、切断分離して個々のヘッドとすることを特徴とす
    るインクジェットヘッドの製造方法。
JP6657779A 1979-05-29 1979-05-29 インクジェットヘッドの製造方法 Expired JPS5839069B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6657779A JPS5839069B2 (ja) 1979-05-29 1979-05-29 インクジェットヘッドの製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6657779A JPS5839069B2 (ja) 1979-05-29 1979-05-29 インクジェットヘッドの製造方法

Related Child Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9065584A Division JPS59229347A (ja) 1984-05-07 1984-05-07 インクジエツトヘツド
JP9065484A Division JPS59229346A (ja) 1984-05-07 1984-05-07 インクジエツトヘツドの製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS55158981A JPS55158981A (en) 1980-12-10
JPS5839069B2 true JPS5839069B2 (ja) 1983-08-27

Family

ID=13319942

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6657779A Expired JPS5839069B2 (ja) 1979-05-29 1979-05-29 インクジェットヘッドの製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5839069B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63114192A (ja) * 1986-10-31 1988-05-19 阪神エレクトリツク株式会社 ジヤンパ線装着方法

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3104077A1 (de) * 1981-02-06 1982-09-09 Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg "schreibkopf fuer tintenstrahldrucker"
NL8102227A (nl) * 1981-05-07 1982-12-01 Philips Nv Werkwijze voor het vervaardigen van straalpijpkanalen en inktstraaldrukker met een volgens die werkwijze vervaardigd straalpijpkanaal.
JPS585261A (ja) * 1981-06-13 1983-01-12 Konishiroku Photo Ind Co Ltd インクジエツトプリンタ用噴射ヘツド
JPS60259456A (ja) * 1984-06-07 1985-12-21 Nec Corp インクジエツトヘツド
JPH064324B2 (ja) * 1984-06-11 1994-01-19 キヤノン株式会社 液体噴射記録ヘツド
JPH0698772B2 (ja) * 1984-12-06 1994-12-07 キヤノン株式会社 液体噴射記録ヘツドの製造方法
EP0678387B1 (en) 1994-04-20 1998-12-02 Seiko Epson Corporation Inkjet recording apparatus and method of producing an inkjet head

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63114192A (ja) * 1986-10-31 1988-05-19 阪神エレクトリツク株式会社 ジヤンパ線装着方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPS55158981A (en) 1980-12-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4985710A (en) Buttable subunits for pagewidth "Roofshooter" printheads
US5992978A (en) Ink jet recording apparatus, and an ink jet head manufacturing method
US4829324A (en) Large array thermal ink jet printhead
US5041190A (en) Method of fabricating channel plates and ink jet printheads containing channel plates
GB2182611A (en) Impulse ink jet print head and methods of making the same
JPS6280054A (ja) インクジェット式印字ヘッド及びその製造方法
JPH01208146A (ja) インクジェット記録ヘッド
JPH06218917A (ja) インクジェットヘッド
JPS5839069B2 (ja) インクジェットヘッドの製造方法
JPH05286142A (ja) インクジェットヘッド及びその製造方法
EP1029679B1 (en) Method of manufacturing an ink jet recording head
JP3555653B2 (ja) インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法
JP3175269B2 (ja) インクジェット式印字ヘッド
JP2004034293A (ja) 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JPH0825628A (ja) インクジェットヘッド
JPH06320725A (ja) インクジェット式記録ヘッド
EP0037624B1 (en) A head for an ink jet printer
JPH11314366A (ja) インクジェットヘッド及びその製造方法
JP3168474B2 (ja) インクジェットヘッド
JPH09300635A (ja) インクジェット記録装置
JPH0430349B2 (ja)
JP2638780B2 (ja) インクジェット記録ヘッド
JPH06278279A (ja) インクジェットヘッドとその製造方法
JPH08142327A (ja) インクジェット記録装置の記録ヘッド
JPS6358095B2 (ja)