JPH1184652A

JPH1184652A - 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント

Info

Publication number: JPH1184652A
Application number: JP25114797A
Authority: JP
Inventors: Yoji Tanaka; 庸司田中; Tatsuo Chiba; 達男千葉; Mitsuaki Watanabe; 満明渡辺; Yoshitaka Minami; 好隆南
Original assignee: Hitachi Chemical Co Ltd
Current assignee: Resonac Corp
Priority date: 1997-07-08
Filing date: 1997-09-16
Publication date: 1999-03-26
Anticipated expiration: 2017-09-16
Also published as: JP4055224B2

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】プリント配線板の製造、金属の精密加工等に
用いられるエッチングレジスト又はめっきレジストとし
て、特に優れた密着性、解像度、可とう性、膜強度及び
膜伸度を有する感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光
性エレメントを提供する。【解決手段】（Ａ）（メタ）アクリル酸１０〜１５
重量％及び一般式［Ｉ］で表される化合物８５〜９０重
量％を共重合成分として共重合して得られるポリマー５
０〜７０重量部、（式中、Ｒ¹は水素原子又はメチル基を表し、Ｒ²は炭素
数１〜１２のアルキル基を表す。）（Ｂ）エチレン性不飽和化合物３０〜５０重量部、
（Ｃ）光重合開始剤０．５〜１０重量部、（Ｄ）可塑剤
１．０〜１０重量部及び（Ｅ）顔料又は染料０．０１〜
３．０重量部を含有してなる感光性樹脂組成物及びこの
感光性樹脂組成物を支持体上に塗布、乾燥して得られる
感光性エレメント。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は感光性樹脂組成物、
更に詳しくは、プリント配線板の製造、金属の精密加工
等に用いられるエッチングレジスト又はめっきレジスト
として、特に優れた密着性、解像度、可とう性、膜強度
及び膜伸度を有する感光性樹脂組成物及びこれを用いた
感光性エレメントに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、プリント配線板の製造、金属の精
密加工等の分野において、エッチング、めっき等に用い
られるレジスト材料としては、感光性樹脂組成物及びこ
れを支持体上に製膜し、その上に保護フィルムを設けた
感光性エレメントが広く用いられている。プリント配線
板は、上記感光性樹脂組成物又は感光性エレメントを用
いて得られる感光性フィルムを銅基板上にラミネートし
て、パターン露光した後、未露光部を現像液で除去し、
エッチング又はめっき処理を施してパターンを形成させ
た後、硬化部分を基板上から剥離する方法によって製造
されている。

【０００３】この未露光部の除去を行う現像液は炭酸ナ
トリウム水溶液等を使用するアルカリ現像型が主流にな
っている。

【０００４】近年、プリント配線板の高密度化に伴い、
感光性フィルムをラミネートする際発生するレジストチ
ップの飛散による欠陥、感光性フィルムの基材との密着
不足及び解像不足による欠陥並びにレジスト膜強度、膜
伸度不足による欠陥が多く発生している。これらの欠陥
の発生を防止するためには、感光性樹脂組成物の基材に
対する密着性、解像度、可とう性、膜強度及び膜伸度を
向上させることが必要である。

【０００５】この種の感光性樹脂組成物又は感光性エレ
メントは特公平１−５６９１号公報、特公昭５２−９４
３８８号公報、特公昭５４−２５９５７号公報、特公昭
５４−３４３７２号公報に記載されている。しかしなが
ら、前記の感光性樹脂組成物は企図された目的には非常
に有用であるが、近年のプリント配線板の高密度化に対
応できる密着性、解像度、可とう性、膜強度及び膜伸度
を有していない。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記した従
来技術の問題点を解決するものであり、プリント配線板
の製造、金属の精密加工等に用いられるエッチングレジ
スト又はめっきレジストとして、特に優れた密着性、解
像度、可とう性、膜強度及び膜伸度を有する感光性樹脂
組成物及びこれを用いた感光性エレメントを提供するこ
とを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、
（Ａ）（メタ）アクリル酸１０〜１５重量％及び一般
式［Ｉ］で表される化合物８５〜９０重量％を共重合成
分として共重合して得られる重量平均分子量が３０，０
００〜７０，０００、重量平均分子量／数平均分子量の
値（分散度）が２．０〜３．０のフィルム性付与ポリマ
ー５０〜７０重量部、

【０００８】

【化２】（式中、Ｒ¹は水素原子又はメチル基を表し、Ｒ²は炭素
数１〜１２のアルキル基を表す。）（Ｂ）エチレン性不飽和化合物３０〜５０重量部（但
し、（Ａ）成分と（Ｂ）成分との総量が１００重量部と
なるようにする。）、（Ｃ）光重合開始剤を（Ａ）成分
と（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して０．５〜１０
重量部、（Ｄ）可塑剤を（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量
１００重量部に対して１．０〜１０重量部及び（Ｅ）顔
料又は染料を（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１００重量
部に対して０．０１〜３．０重量部を含有してなる感光
性樹脂組成物を提供するものである。

【０００９】また、本発明は、上記感光性樹脂組成物を
支持体上に塗布、乾燥して得られる感光性エレメントを
提供するものである。

【００１０】

【発明の実施の形態】本発明に用いられる（Ａ）成分の
フィルム性付与ポリマーの共重合成分である（メタ）ア
クリル酸はメタクリル酸及び／又はアクリル酸を意味す
る。

【００１１】一般式［Ｉ］で表される化合物としては、
例えば、（メタ）アクリル酸メチルエステル、（メタ）
アクリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル酸プロピ
ルエステル、（メタ）アクリル酸ブチルエステル、（メ
タ）アクリル酸２−エチルヘキシルエステル、（メタ）
アクリル酸アミルエステル、（メタ）アクリル酸ヘキシ
ルエステル、（メタ）アクリル酸オクチルエステル等が
挙げられる。

【００１２】（Ａ）成分のフィルム性付与ポリマーはア
ルカリ水溶液（例えば、０．５〜２．０重量％の炭酸ナ
トリウム又は炭酸カリウム水溶液）に可溶又は膨潤可能
であることが好ましく、フィルム性付与ポリマーの共重
合成分中の（メタ）アクリル酸の共重合量は１０〜１５
重量％であり、好ましくは１１〜１４重量％である。フ
ィルム性付与ポリマー中の（メタ）アクリル酸の共重合
量が１５重量％を超えると密着性が低下し、１０重量％
未満では現像時間が長くなるとともに解像度が低下す
る。

【００１３】また、フィルム性付与ポリマーの重量平均
分子量は３０，０００〜７０，０００であり、好ましく
は４０，０００〜６０，０００である。フィルム性付与
ポリマーの重量平均分子量が７０，０００を超えると現
像時間が長くなるとともに解像度が低下し、３０，００
０未満では密着性が低下するとともに膜強度が低下す
る。また、フィルム性付与ポリマーの分散度は２．０〜
３．０であり、好ましくは２．２〜２．８である。フィ
ルム性付与ポリマーの分散度が３．０を超えると解像度
が低下し、２．０未満では密着性が低下する。

【００１４】本発明において、（Ａ）成分の配合量は
（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して５
０〜７０重量部、好ましくは５５〜６７重量部である。
（Ａ）成分の配合量が７０重量部を超えると、感光性樹
脂組成物の硬化性が不十分となり、密着性が低下する。
また５０重量部未満では光硬化物が脆くなり易く、また
感光性エレメントの保存安定性が低下する。

【００１５】本発明に用いられる（Ｂ）エチレン性不飽
和化合物としては、例えば、多価アルコールにα，β−
不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物（ポリエ
チレングリコールジ（メタ）アクリレート（エチレン基
の数が２〜１４のもの）、トリメチロールプロパンジ
（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ
（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンエトキ
シトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパン
プロポキシトリ（メタ）アクリレート、テトラメチロー
ルメタントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロール
メタンテトラ（メタ）アクリレート、ポリプロピレング
リコールジ（メタ）アクリレート（プロピレン基の数が
２〜１４のもの）、ジペンタエリスリトールペンタ（メ
タ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メ
タ）アクリレート等）、グリシジル基含有化合物にα，
β−不飽和カルボン酸を付加して得られる化合物（ビス
フェノールＡジオキシエチレンジ（メタ）アクリレー
ト、ビスフェノールＡトリオキシエチレンジ（メタ）ア
クリレート、ビスフェノールＡデカオキシエチレンジ
（メタ）アクリレート等のビスフェノールＡポリオキシ
エチレンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロ
パントリグリシジルエーテルトリアクリレート、ビスフ
ェノールＡジグリシジルエーテルジアクリレート等）、
多価カルボン酸（無水フタル酸等）と水酸基及びエチレ
ン性不飽和基を有する化合物（β−ヒドロキシエチル
（メタ）アクリレート等）とのエステル化物、（メタ）
アクリル酸のアルキルエステル（（メタ）アクリル酸メ
チルエステル、（メタ）アクリル酸エチルエステル、
（メタ）アクリル酸ブチルエステル、（メタ）アクリル
酸２−エチルヘキシルエステル等）、ウレタン（メタ）
アクリレート（トリレンジイソシアネートと２−ヒドロ
キシエチル（メタ）アクリル酸エステルとの反応物、ト
リメチルヘキサメチレンジイソシアネートとシクロヘキ
サンジメタノールと２−ヒドロキシエチル（メタ）アク
リル酸エステルとの反応物等）などが挙げられる。これ
らは単独で又は２種以上を組み合わせて使用され、その
組み合わせについては特に制限はない。

【００１６】本発明において、（Ｂ）成分の配合量は
（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して３
０〜５０重量部、好ましくは３３〜４５重量部とする。
（Ｂ）成分の配合量が５０重量部を超えると、光硬化物
が脆くなり易く、また感光性エレメントの保存安定性が
低下する。また３０重量部未満では感光性樹脂組成物の
硬化性が不十分となり密着性が低下したり、現像時間が
長くなったりする。

【００１７】本発明に用いられる（Ｃ）光重合開始剤と
しては、例えば、芳香族ケトン（ベンゾフェノン、Ｎ，
Ｎ′−テトラメチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノ
ン（ミヒラーケトン）、Ｎ，Ｎ′−テトラエチル−４，
４′−ジアミノベンゾフェノン、４−メトキシ−４′−
ジメチルアミノベンゾフェノン、２−エチルアントラキ
ノン、フェナントレンキノン等）、ベンゾイン（ベンゾ
インメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベン
ゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル、メチ
ルベンゾイン、エチルベンゾイン等）、ベンジル誘導体
（ベンジルジメチルケタール等）、２，４，５−トリア
リールイミダゾール二量体（２−（ｏ−クロロフェニ
ル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−
（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（ｍ−メトキシフ
ェニル）イミダゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフェ
ニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−
（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダ
ゾール二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５
−ジフェニルイミダゾール二量体、２，４−ビス（ｐ−
メトキシフェニル）−５−フェニルイミダゾール二量
体、２−（２，４−ジメトキシフェニル）−４，５−ジ
フェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メチルメルカ
プトフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量
体等）、アクリジン誘導体（９−フェニルアクリジン、
１，７−ビス（９，９′−アクリジニル）ヘプタン
等）、チオキサントン、ジエチルチオキサントンなどが
挙げられる。これらは単独で又は２種以上を組み合わせ
て使用され、その組み合わせについては特に制限はな
い。

【００１８】本発明において、（Ｃ）成分の配合量は
（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して
０．５〜１０重量部、好ましくは１．０〜５．０重量部
とする。（Ｃ）成分の配合量が１０重量部を超えると、
感光性樹脂組成物の底部硬化性が不十分となり、密着性
が低下し、また０．５重量部未満では硬化時間が長くな
る。

【００１９】本発明で用いられる（Ｄ）可塑剤として
は、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコー
ル、ポリエチレングリコールとポリプロピレングリコー
ルのブロック共重合体等のポリアルキレングリコール、
ポリエチレングリコールジアセテート、ポリプロピレン
グリコールジアセテート等のポリアルキレングリコール
ジアセテートなどの公知の可塑剤が使用でき、特にフィ
ルム性付与ポリマー、エチレン性不飽和化合物に対する
相溶性を考慮して選択される。

【００２０】本発明において、（Ｄ）成分の配合量は
（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して
１．０〜１０重量部、好ましくは１．５〜８．０重量部
とする。（Ｄ）成分の配合量が１０重量部を超えると、
感光性樹脂組成物の密着性が低下し、膜強度が弱くな
る。また１．０重量部未満では膜の可とう性が低下す
る。

【００２１】本発明で用いられる（Ｅ）顔料又は染料と
しては、公知の顔料又は染料が使用でき、特にフィルム
性付与ポリマー、エチレン性不飽和化合物に対する相溶
性、目標とする色相、光透過性を考慮して選択される。

【００２２】本発明において、（Ｅ）成分の配合量は
（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して
０．０１〜３．０重量部、好ましくは０．０５〜２．５
重量部とする。（Ｅ）成分の配合量が３．０重量部を超
えると、光透過率が低下し、密着性が低下し、０．０１
重量部未満では着色が不十分となる。

【００２３】本発明の感光性樹脂組成物には、トリブロ
モメチルフェニルスルホン、ロイコクリスタルバイオレ
ット等の発色剤、さらに安定剤、密着性付与剤、香料、
消泡剤等の添加剤を必要に応じて添加してもよい。

【００２４】本発明の感光性樹脂組成物は、前記各成分
を、これを溶解する溶剤、例えば、トルエン、アセト
ン、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）、メチルイソブチル
ケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、クロロ
ホルム、塩化メチレン、ジメチルホルムアミド、メタノ
ール、エタノール等に溶解することにより、均一な溶液
とすることができる。

【００２５】本発明の感光性樹脂組成物は、これを支持
体上に塗布、乾燥し、感光性エレメントとして使用する
こともできる。

【００２６】支持体としては、重合体フィルム、例え
ば、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポ
リエチレン等からなるフィルムが用いられ、中でもポリ
エチレンテレフタレートフィルムが好ましい。

【００２７】これらの重合体フィルムは、後に感光層か
ら除去可能でなくてはならないため、除去が不可能とな
るような表面処理が施されたものであったり、材質であ
ったりしてはならない。また、これらの重合体フィルム
の厚さは、５〜２０μｍとすることが好ましく、７〜１
６μｍとすることがより好ましい。

【００２８】これらの重合体フィルムを２枚用い、その
一枚は感光層の支持体として、他の一つは感光層の保護
フィルムとして感光層の両面に積層してもよい。

【００２９】本発明の感光性エレメントを用いてフォト
レジスト画像を製造するに際しては、前記の保護フィル
ムが存在している場合には、保護フィルムを除去後、感
光層を加熱しながら基板に圧着させることにより積層す
る。積層される表面は、通常金属面であるが、特に制限
はない。

【００３０】感光層の加熱圧着の温度は、特に制限はな
いが、通常、９０〜１３０℃とされる。また、感光層の
加熱圧着の圧力は、特に制限はないが、通常３〜５ｋｇ
／ｃｍ²とされる。

【００３１】感光層を前記のように加熱すれば、予め基
板を予熱処理することは必要でないが、積層性を更に向
上させるために基板の予熱処理を行うこともできる。

【００３２】このように積層が完了した感光層は、次い
で、ネガフィルム又はポジフィルムを用いて活性光によ
り画像的に露光される。この際、感光層上に存在する重
合体フィルムが透明の場合には、そのまま露光してもよ
く、また、不透明の場合には、除去する必要がある。感
光層の保護という点からは、重合体フィルムは透明で、
この重合体フィルムを残存させたまま、それを通して露
光することが好ましい。

【００３３】活性光は、公知の活性光源、例えば、カー
ボンアーク、水銀蒸気アーク、キセノンアーク等から発
生する光が用いられる。感光層に含まれる光重合開始剤
の感受性は、通常、紫外線領域において最大であるの
で、その場合は活性光源は紫外線を有効に放射するもの
にすべきである。

【００３４】光重合開始剤が可視光線に感受するもの、
例えば、９，１０−フェナンスレンキノン等である場合
には、活性光としては可視光が用いられ、その光源とし
ては前記のもの以外に写真用フラッド電球、太陽ランプ
等も用いられる。

【００３５】次いで、露光後、感光層上に重合体フィル
ム等が存在している場合には、これを除去した後、アル
カリ水溶液を用いて、例えば、スプレー、揺動浸漬、ブ
ラッシング、スクラッビング等の公知の方法により未露
光部を除去して現像する。

【００３６】アルカリ性水溶液の塩基としては、例え
ば、リチウムの水酸化物、ナトリウムの水酸化物、カリ
ウムの水酸化物等の水酸化アルカリ、リチウムの炭酸塩
又は重炭酸塩、ナトリウムの炭酸塩又は重炭酸塩、カリ
ウムの炭酸塩又は重炭酸塩等の炭酸アルカリ、リン酸カ
リウム、リン酸ナトリウム等のアルカリ金属リン酸塩、
ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウム等のアルカ
リ金属ピロリン酸塩などが用いられ、特に、炭酸ナトリ
ウムが好ましい。

【００３７】現像に用いるアルカリ水溶液のｐＨは、９
〜１１とすることが好ましく、また、その温度は、感光
層の現像性に合わせて調節される。

【００３８】また、アルカリ水溶液中には、表面活性
剤、消泡剤、現像を促進させるための少量の有機溶剤等
を混入させてもよい。

【００３９】更に、印刷配線板を製造するに際しては、
現像されたフォトレジスト画像をマスクとして露光して
いる基板の表面を、エッチング、めっき等の公知の方法
で処理する。次いで、フォトレジスト画像は、通常、現
像に用いたアルカリ水溶液より更に強アルカリ性の水溶
液で剥離される。この強アルカリ性の水溶液としては、
例えば、１〜５重量％の水酸化ナトリウム水溶液等が用
いられる。

【００４０】

【実施例】以下、本発明を実施例及び比較例に基づいて
詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものでは
ない。

【００４１】実施例１、比較例１〜１４フィルム性付与ポリマー（ａ）の合成メチルセロソルブ／トルエン＝重量で３／２溶液（以下
溶液Αとする）１０４．４ｇを３００ｍｌのフラスコに
入れ８５℃に加温する。８５℃で３０分保温後、メタク
リル酸１３．０ｇ、メタクリル酸メチル５７．３ｇ、ア
クリル酸エチル２９．７ｇ、アゾビスイソブチロニトリ
ル１．３ｇを溶液Α１１．４ｇに溶解した溶液Ｂを４時
間でフラスコ内に滴下反応させる。その後２時間保温
し、アゾビスイソブチロニトリル０．１５ｇを溶液Α３
４．２ｇに溶かした溶液Ｃに加え更に５時間保温したの
ち冷却しフィルム性付与ポリマー（ａ）を得た。得られ
たフィルム性付与ポリマー（ａ）のメタクリル酸共重合
量は１３重量％、重量平均分子量は５０，０００、分散
度は２．４であった。

【００４２】フィルム性付与ポリマー（ｂ）の合成４時間滴下反応させる溶液Ｂをメタクリル酸８．０ｇ、
メタクリル酸メチル６２．３ｇ、アクリル酸エチル２
９．７ｇ、アゾビスイソブチロニトリル１．３ｇを溶液
Α１１．４ｇに溶解して得た以外はと同様の方法、条
件にてフィルム性付与ポリマー（ｂ）を得た。得られた
フィルム性付与ポリマー（ｂ）のメタクリル酸共重合量
は８重量％、重量平均分子量は５１，０００、分散度は
２．３であった。

【００４３】フィルム性付与ポリマー（ｃ）の合成４時間滴下反応させる溶液Ｂをメタクリル酸１８ｇ、メ
タクリル酸メチル５２．３ｇ、アクリル酸エチル２９．
７ｇ、アゾビスイソブチロニトリル１．３ｇを溶液Α１
１．４ｇに溶解して得た以外はと同様の方法、条件に
てフィルム性付与ポリマー（ｃ）を得た。得られたフィ
ルム性付与ポリマー（ｃ）のメタクリル酸共重合量は、
１８重量％、重量平均分子量は４９，０００、分散度は
２．４であった。

【００４４】フィルム性付与ポリマー（ｄ）の合成溶液Ｂ中のアゾビスイソブチロニトリル含量を０．５
ｇ、溶液Ｃ中のアゾビスイソブチロニトリル含量を０．
０５ｇとする以外はと同様の方法、条件にてフィルム
性付与ポリマー（ｄ）を得た。得られたフィルム性付与
ポリマー（ｄ）のメタクリル酸共重合量は１３重量％、
重量平均分子量は８２，０００、分散度は２．５であっ
た。

【００４５】フィルム性付与ポリマー（ｅ）の合成溶液Ｂ中のアゾビスイソブチロニトリル含量を５．３
ｇ、溶液Ｃ中のアゾビスイソブチロニトリル含量を０．
５ｇとする以外はと同様の方法、条件にてフィルム性
付与ポリマー（ｅ）を得た。得られたフィルム性付与ポ
リマー（ｅ）のメタクリル酸共重合量は１３重量％、重
量平均分子量は２５，０００、分散度は２．３であっ
た。

【００４６】フィルム性付与ポリマー（ｆ）の合成合成温度を７０℃とし溶液Ｂ中のアゾビスイソブチロニ
トリル含量を１．０ｇ、溶液Ｃ中のアゾビスイソブチロ
ニトリル含量を０．１ｇとする以外はと同様の方法、
条件にてフィルム性付与ポリマー（ｆ）を得た。得られ
たフィルム性付与ポリマー（ｆ）のメタクリル酸共重合
量は１３重量％、重量平均分子量は、５１，０００、分
散度は１．７であった。

【００４７】フィルム性付与ポリマー（ｇ）の合成合成温度を９５℃とし溶液Ｂ中のアゾビスイソブチロニ
トリル含量を１．６ｇ、溶液Ｃ中のアゾビスイソブチロ
ニトリル含量を０．２０ｇとする以外はと同様の方
法、条件にてフィルム性付与ポリマー（ｇ）を得た。得
られたフィルム性付与ポリマー（ｇ）のメタクリル酸共
重合量は、１３重量％、重量平均分子量は５０，００
０、分散度は３．３であった。

【００４８】感光性エレメント作製方法及び特性評価表１に示す組成（単位：重量部）の感光性樹脂組成物溶
液を厚み１６μｍを有するポリエチレンテレフタレート
フィルム（東レ（株）製ルミラー（登録商標））に乾燥
後膜厚が３０μｍとなるように塗工、乾燥し、厚み２５
μｍのポリエチレンフィルムで被覆して感光性エレメン
トを得た。得られた感光性エレメントからポリエチレン
フィルムを剥離しながらその感光層を、スコッチブライ
ト（登録商標）バフロール（住友３Ｍ製）により研磨、
乾燥し洗浄した銅張積層板の銅面上に、日立高温ラミネ
ーターを用い連続的に積層して試験片を得た。積層条件
を表２に示す。

【００４９】試験片に２１段ステップタブレット及び密
着、解像テストパターンを介し、超高圧水銀灯により、
４０ｍＪ／ｃｍ²で露光した。１０分放置後ポリエチレ
ンテレフタレートフィルムを剥離し、３０℃、１重量％
炭酸ソーダ水溶液で最少現像時間×２．０の現像時間で
現像し、ステップタブレットの硬化段数及びレジストの
密着性、解像度を読みとった。

【００５０】また、３．２ｍｍφのスルーホールを有す
る銅張積層板に前記同様の方法にて感光性エレメントを
積層し、無色透明の１７５μｍＰＥＴフィルムを介し、
前記同様の方法にて露光、現像した。その後２．０ｍｍ
φ鋼棒をスルーホール上のフィルム上に押しつけ（変位
速度２ｃｍ／分）、レジストの膜強度（破断強度）及び
膜伸度を測定した。

【００５１】また、銅張積層板に前記同様の方法にて感
光性エレメントを積層し、無色透明の１７５μｍＰＥＴ
フィルムを介し前記同様の方法にて露光現像した。その
後ＪＩＳＫ５４００の方法に準じテストしレジストの
密着性（クロスカット性）を評価した。

【００５２】また、保存安定性は、感光性エレメントを
φ８４ｍｍの紙管に２００ｍの長さで巻とり、２５℃、
６０％ＲＨの環境下に放置し、１２０日後のロール端部
よりのレジストの滲み出し量にて評価（レジストの融
着：×、レジストの融着なし：○）した。

【００５３】また、着色性は、現像後のレジストと銅と
のコントラストを目視により判別し、コントラスト良好
のものを○、コントラスト不足により銅とレジストの境
界が明確でないものを×とした。

【００５４】評価結果を表３に示す。

【００５５】

【表１】＊１新中村化学（株）製ポリプロピレングリコール
ジアクリレート

【００５６】

【表２】

【００５７】

【表３】表３から明らかなように、本発明の感光性樹脂組成物及
びこれを用いた感光性エレメントは他に比較し、特に優
れた密着性、解像度、可とう性及び膜強度、膜伸度を有
する。

【００５８】

【発明の効果】本発明によりプリント配線板の製造、金
属の精密加工等に用いられるエッチングレジスト又はめ
っきレジストとして、特に優れた密着性、解像度、可と
う性、膜強度及び膜伸度を有する感光性樹脂組成物及び
これを用いた感光性エレメントが得られた。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号ＦＩＨ０５Ｋ 3/06 Ｈ０５Ｋ 3/06 Ｈ 3/18 3/18 Ｄ // Ｃ０８Ｆ 2/48 Ｃ０８Ｆ 2/48 265/06 265/06 (72)発明者南好隆茨城県日立市東町４丁目13番１号日立化成工業株式会社山崎工場内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】（Ａ）（メタ）アクリル酸１０〜１５
重量％及び一般式［Ｉ］で表される化合物８５〜９０重
量％を共重合成分として共重合して得られる重量平均分
子量が３０，０００〜７０，０００、重量平均分子量／
数平均分子量の値（分散度）が２．０〜３．０のフィル
ム性付与ポリマー５０〜７０重量部、【化１】（式中、Ｒ¹は水素原子又はメチル基を表し、Ｒ²は炭素
数１〜１２のアルキル基を表す。）（Ｂ）エチレン性不飽和化合物３０〜５０重量部（但
し、（Ａ）成分と（Ｂ）成分との総量が１００重量部と
なるようにする。）、（Ｃ）光重合開始剤を（Ａ）成分
と（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して０．５〜１０
重量部、（Ｄ）可塑剤を（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量
１００重量部に対して１．０〜１０重量部及び（Ｅ）顔
料又は染料を（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１００重量
部に対して０．０１〜３．０重量部を含有してなる感光
性樹脂組成物。
【請求項２】請求項１記載の感光性樹脂組成物を支持
体上に塗布、乾燥して得られる感光性エレメント。