JPH1116911A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法Info
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- JPH1116911A JPH1116911A JP16826897A JP16826897A JPH1116911A JP H1116911 A JPH1116911 A JP H1116911A JP 16826897 A JP16826897 A JP 16826897A JP 16826897 A JP16826897 A JP 16826897A JP H1116911 A JPH1116911 A JP H1116911A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 ＳＯＧ膜等のＣＨ基を含む絶縁膜をＣＭＰに
より平坦化する際に、研磨速度がＣＨ基を含まないＳｉ
酸化膜に比し遅く低生産性を改良する方法を提供する。 【解決手段】 半導体基板上の下層配線１上に第１絶縁
膜の下部絶縁膜２としてプラズマＣＶＤによりＳｉＯ２
膜を形成する。その上に回転塗布法で第１絶縁膜のＳＯ
Ｇ膜３を形成した後、酸素プラズマ処理してＳＯＧ膜表
面付近のアルキル基を除いた改良層４を形成する。この
状態の基板表面をＣＭＰにより改良層４を平坦化し、Ｓ
ＯＧ膜３の凸部で絶縁膜２が表面に露出するまで研磨す
るが、研磨速度はプラズマ処理しないＳＯＧ膜の場合の
約１０倍であり、かつ下部の絶縁膜２の研磨速度と同程
度になるので下層配線１が露出しにくくなる。改良層４
の平坦化後第３絶縁膜５としてＳｉＯ２膜を形成し、貫
通孔及びＷプラグ６を形成した後、上層配線７を形成す
る。
より平坦化する際に、研磨速度がＣＨ基を含まないＳｉ
酸化膜に比し遅く低生産性を改良する方法を提供する。 【解決手段】 半導体基板上の下層配線１上に第１絶縁
膜の下部絶縁膜２としてプラズマＣＶＤによりＳｉＯ２
膜を形成する。その上に回転塗布法で第１絶縁膜のＳＯ
Ｇ膜３を形成した後、酸素プラズマ処理してＳＯＧ膜表
面付近のアルキル基を除いた改良層４を形成する。この
状態の基板表面をＣＭＰにより改良層４を平坦化し、Ｓ
ＯＧ膜３の凸部で絶縁膜２が表面に露出するまで研磨す
るが、研磨速度はプラズマ処理しないＳＯＧ膜の場合の
約１０倍であり、かつ下部の絶縁膜２の研磨速度と同程
度になるので下層配線１が露出しにくくなる。改良層４
の平坦化後第３絶縁膜５としてＳｉＯ２膜を形成し、貫
通孔及びＷプラグ６を形成した後、上層配線７を形成す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、多層配線構造を有
する半導体装置の製造方法に関し、特に半導体装置の層
間絶縁層の表面を平坦化する製造方法に関する。
する半導体装置の製造方法に関し、特に半導体装置の層
間絶縁層の表面を平坦化する製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年の半導体装置の高密度化に伴い、加
工寸法は微細化の一途をたどり、配線においても、微細
化が進むとともにチップサイズを小さくするための手段
として多層化が進んでいる。半導体装置の配線は、すで
に種々の機能を有する部材を形成した半導体基板上に形
成されるため、もともと凹凸のある面に形成されるが、
配線の多層化に伴って上層の配線になるほど凹凸が増大
することになる。その結果、フォトリソグラフィー工程
によって配線をパターンニングする際に、露光装置の焦
点深度の余裕度が不足し、解像不良に起因する短絡や断
線が発生しやすくなるという問題点があった。
工寸法は微細化の一途をたどり、配線においても、微細
化が進むとともにチップサイズを小さくするための手段
として多層化が進んでいる。半導体装置の配線は、すで
に種々の機能を有する部材を形成した半導体基板上に形
成されるため、もともと凹凸のある面に形成されるが、
配線の多層化に伴って上層の配線になるほど凹凸が増大
することになる。その結果、フォトリソグラフィー工程
によって配線をパターンニングする際に、露光装置の焦
点深度の余裕度が不足し、解像不良に起因する短絡や断
線が発生しやすくなるという問題点があった。
【０００３】この問題点を解決するためには、配線をパ
ターンニングする際に半導体装置の層間絶縁層の表面を
平坦化する必要がある。ここで、半導体装置の一チップ
全体の大きさは通常数ｍｍ角以上となるため、露光装置
の焦点深度の余裕度を改善するためには、単に局所的に
段差を平坦化するだけでは不十分であり、半導体装置の
表面全体を平坦化する必要がある。このような半導体装
置の表面全体を平坦化する方法として、上層配線と下層
配線との間を絶縁する層間絶縁膜をケミカルメカニカル
ポリシング（ＣＭＰ）により平坦化する方法が開示され
ている（特公平５−３００５２号公報参照）。ケミカル
メカニカルポリシングの際、被研磨材料となる層間絶縁
膜としては、プラズマＣＶＤ法、熱ＣＶＤ法によるシリ
コン酸化膜や、回転塗布法によるＳＯＧ（スピンオング
ラス）膜等の公知の絶縁膜が用いられる。
ターンニングする際に半導体装置の層間絶縁層の表面を
平坦化する必要がある。ここで、半導体装置の一チップ
全体の大きさは通常数ｍｍ角以上となるため、露光装置
の焦点深度の余裕度を改善するためには、単に局所的に
段差を平坦化するだけでは不十分であり、半導体装置の
表面全体を平坦化する必要がある。このような半導体装
置の表面全体を平坦化する方法として、上層配線と下層
配線との間を絶縁する層間絶縁膜をケミカルメカニカル
ポリシング（ＣＭＰ）により平坦化する方法が開示され
ている（特公平５−３００５２号公報参照）。ケミカル
メカニカルポリシングの際、被研磨材料となる層間絶縁
膜としては、プラズマＣＶＤ法、熱ＣＶＤ法によるシリ
コン酸化膜や、回転塗布法によるＳＯＧ（スピンオング
ラス）膜等の公知の絶縁膜が用いられる。
【０００４】これらの絶縁材料の中で、例えばＳＯＧ膜
の様にそれ単独では配線間の絶縁耐圧が低い等の問題が
ある場合、上層配線と下層配線に接する上下に絶縁耐圧
の高い他の材料の絶縁膜を配した積層構造にして用いら
れる。この時、ＳＯＧ膜が有機ＳＯＧ膜の場合、上層配
線と下層配線を接続するビアホール形成時に、有機ＳＯ
Ｇ膜がスルーホール側壁で露出するとポイズンドビアが
生じ上層配線と下層配線が接続できなくなるため、スル
ーホール形成部には中間層である有機ＳＯＧ膜が露出し
ないように有機ＳＯＧ膜の一部を除去する必要があり、
下の他の材料の絶縁膜の表面まで有機ＳＯＧ膜を研磨し
なければならない。
の様にそれ単独では配線間の絶縁耐圧が低い等の問題が
ある場合、上層配線と下層配線に接する上下に絶縁耐圧
の高い他の材料の絶縁膜を配した積層構造にして用いら
れる。この時、ＳＯＧ膜が有機ＳＯＧ膜の場合、上層配
線と下層配線を接続するビアホール形成時に、有機ＳＯ
Ｇ膜がスルーホール側壁で露出するとポイズンドビアが
生じ上層配線と下層配線が接続できなくなるため、スル
ーホール形成部には中間層である有機ＳＯＧ膜が露出し
ないように有機ＳＯＧ膜の一部を除去する必要があり、
下の他の材料の絶縁膜の表面まで有機ＳＯＧ膜を研磨し
なければならない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら層間絶縁
膜として有機ＳＯＧ膜の様な膜中にアルキル基等の有機
成分を含むシリコン酸化膜では、ケミカルメカニカルポ
リシングする際に、シリカの砥粒を弱アルカリ性の液体
に懸濁させた研磨液では研磨速度が有機成分を含まない
シリコン酸化膜に比べ遅く、場合によっては１０分の１
程度に遅くなる。このように層間絶縁膜に有機ＳＯＧ膜
を用いた場合、ケミカルメカニカルポリシングの生産性
が非常に悪いという問題があった。
膜として有機ＳＯＧ膜の様な膜中にアルキル基等の有機
成分を含むシリコン酸化膜では、ケミカルメカニカルポ
リシングする際に、シリカの砥粒を弱アルカリ性の液体
に懸濁させた研磨液では研磨速度が有機成分を含まない
シリコン酸化膜に比べ遅く、場合によっては１０分の１
程度に遅くなる。このように層間絶縁膜に有機ＳＯＧ膜
を用いた場合、ケミカルメカニカルポリシングの生産性
が非常に悪いという問題があった。
【０００６】また積層構造の層間絶縁膜において中間層
をケミカルメカニカルポリシングで平坦化する場合、中
間層に用いられる絶縁膜の研磨速度と中間層の下層に用
いられる絶縁膜の研磨速度の比率が問題となる。すなわ
ち前述のような特定部分の中間層の除去を平坦化と合わ
せてケミカルメカニカルポリシングで行う場合、下層の
絶縁膜の研磨速度が中間層の絶縁膜の研磨速度に比べて
速い場合、下層の絶縁膜の膜厚が薄いと研磨が下層配線
まで達してしまい配線が露出し腐食等の原因となる問題
が生じる。
をケミカルメカニカルポリシングで平坦化する場合、中
間層に用いられる絶縁膜の研磨速度と中間層の下層に用
いられる絶縁膜の研磨速度の比率が問題となる。すなわ
ち前述のような特定部分の中間層の除去を平坦化と合わ
せてケミカルメカニカルポリシングで行う場合、下層の
絶縁膜の研磨速度が中間層の絶縁膜の研磨速度に比べて
速い場合、下層の絶縁膜の膜厚が薄いと研磨が下層配線
まで達してしまい配線が露出し腐食等の原因となる問題
が生じる。
【０００７】すなわち下層の絶縁膜としてプラズマＣＶ
Ｄによるシリコン酸化膜を用い、中間層として有機ＳＯ
Ｇ膜を用いる場合、有機ＳＯＧ膜は配線間の隙間を埋め
るために用いるのであるが、下層の絶縁膜の膜厚が厚い
とボイドが形成されてしまい、有機ＳＯＧ膜を用いる意
味がなくなる。そこで下層の絶縁膜の膜厚は一般的に数
１００ｎｍ以下に設定される。しかしながら有機ＳＯＧ
膜中にアルキル基等の有機成分が存在するために、前述
のシリカの砥粒を弱アルカリ性の液体に懸濁させた研磨
液では有機ＳＯＧ膜の研磨速度がプラズマＣＶＤによる
シリコン酸化膜に比べ非常に遅いため、下層配線上の凸
部では有機ＳＯＧ膜が研磨除去された後、下層のシリコ
ン酸化膜は急速に研磨されるため下層配線が露出する危
険性があるという問題である。
Ｄによるシリコン酸化膜を用い、中間層として有機ＳＯ
Ｇ膜を用いる場合、有機ＳＯＧ膜は配線間の隙間を埋め
るために用いるのであるが、下層の絶縁膜の膜厚が厚い
とボイドが形成されてしまい、有機ＳＯＧ膜を用いる意
味がなくなる。そこで下層の絶縁膜の膜厚は一般的に数
１００ｎｍ以下に設定される。しかしながら有機ＳＯＧ
膜中にアルキル基等の有機成分が存在するために、前述
のシリカの砥粒を弱アルカリ性の液体に懸濁させた研磨
液では有機ＳＯＧ膜の研磨速度がプラズマＣＶＤによる
シリコン酸化膜に比べ非常に遅いため、下層配線上の凸
部では有機ＳＯＧ膜が研磨除去された後、下層のシリコ
ン酸化膜は急速に研磨されるため下層配線が露出する危
険性があるという問題である。
【０００８】またケミカルメカニカルポリシングで平坦
化する場合、半導体装置表面の凸部のみを選択的に研磨
し、凹部は殆ど研磨しないことが重要であるが、半導体
装置のチップ内に大面積の凹部が部分的にある場合や、
凸部の面積比率が非常に小さい部分がある場合、本来研
磨したくない凹部が削れてしまいチップ全体で見ると段
差が残ってしまう。また微細化が進むとともに配線間の
距離が減少するため静電容量が増加し半導体装置の動作
速度が遅くなる問題がある。配線間を埋め込む絶縁膜を
より誘電率の小さな材料へ置き換えることにより静電容
量を低減することが可能である。本発明は、このような
従来技術の問題点に着目してなされたものである。
化する場合、半導体装置表面の凸部のみを選択的に研磨
し、凹部は殆ど研磨しないことが重要であるが、半導体
装置のチップ内に大面積の凹部が部分的にある場合や、
凸部の面積比率が非常に小さい部分がある場合、本来研
磨したくない凹部が削れてしまいチップ全体で見ると段
差が残ってしまう。また微細化が進むとともに配線間の
距離が減少するため静電容量が増加し半導体装置の動作
速度が遅くなる問題がある。配線間を埋め込む絶縁膜を
より誘電率の小さな材料へ置き換えることにより静電容
量を低減することが可能である。本発明は、このような
従来技術の問題点に着目してなされたものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明者は絶縁膜の膜中に炭化水素基を含む絶縁膜
にプラズマ処理を施すとその絶縁膜のケミカルメカニカ
ルポリシングの研磨速度が向上することを見いだし、以
下の発明に至った。つまり、請求項１に係る半導体装置
の製造方法は、半導体基板上に炭化水素基を含む第１の
絶縁膜を形成し、該第１の絶縁膜をプラズマ処理により
膜質を改質した改質層を形成し、その後、該改質層をケ
ミカルメカニカルポリシングして平坦化することを特徴
とするものである。また、請求項２に係る半導体装置の
製造方法は、請求項１記載半導体装置の製造方法であっ
て、前記第１の絶縁膜を形成し、その後、該第１の絶縁
膜の上に第２の絶縁膜を形成することを特徴とするもの
である。また、請求項３に係る半導体装置の製造方法
は、請求項２記載の半導体装置の製造方法であって、第
２の絶縁膜が感光性樹脂であることを特徴とするもので
ある。
に、本発明者は絶縁膜の膜中に炭化水素基を含む絶縁膜
にプラズマ処理を施すとその絶縁膜のケミカルメカニカ
ルポリシングの研磨速度が向上することを見いだし、以
下の発明に至った。つまり、請求項１に係る半導体装置
の製造方法は、半導体基板上に炭化水素基を含む第１の
絶縁膜を形成し、該第１の絶縁膜をプラズマ処理により
膜質を改質した改質層を形成し、その後、該改質層をケ
ミカルメカニカルポリシングして平坦化することを特徴
とするものである。また、請求項２に係る半導体装置の
製造方法は、請求項１記載半導体装置の製造方法であっ
て、前記第１の絶縁膜を形成し、その後、該第１の絶縁
膜の上に第２の絶縁膜を形成することを特徴とするもの
である。また、請求項３に係る半導体装置の製造方法
は、請求項２記載の半導体装置の製造方法であって、第
２の絶縁膜が感光性樹脂であることを特徴とするもので
ある。
【００１０】また、請求項４に係る半導体装置の製造方
法は、請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の半導体
装置の製造方法であって、前記改質層にケミカルメカニ
カルポリシングを施した後、第３の絶縁膜を形成するこ
とを特徴とするものである。また、請求項５に係る半導
体装置の製造方法は、請求項１乃至請求項４のいずれか
に記載の半導体装置の製造方法であって、前記プラズマ
処理が少なくとも酸素を含む酸素プラズマ処理であるこ
とを特徴とするものである。
法は、請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の半導体
装置の製造方法であって、前記改質層にケミカルメカニ
カルポリシングを施した後、第３の絶縁膜を形成するこ
とを特徴とするものである。また、請求項５に係る半導
体装置の製造方法は、請求項１乃至請求項４のいずれか
に記載の半導体装置の製造方法であって、前記プラズマ
処理が少なくとも酸素を含む酸素プラズマ処理であるこ
とを特徴とするものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明を以下に詳しく説明する。
第１の絶縁膜は、アルキル基等の炭化水素基を膜中に含
むシリコン酸化膜であり、回転塗布法による有機ＳＯＧ
膜やＴＥＯＳ等の有機シリコン化合物を原料としてＣＶ
Ｄより形成したシリコン酸化膜などである。具体的に
は、有機ＳＯＧ膜は東京応化工業（株）製のＯＣＤｔｙ
ｐｅ−７などがある。プラズマ処理は第１の絶縁膜中の
炭化水素基を選択的に除去するものであり、用いるガス
としては酸素或いは酸素を含む混合ガスで、プラズマ中
のイオンおよびラジカルにより炭化水素基を一酸化炭
素、水等にして除去できるものである。プラズマ処理の
結果、炭化水素基の一部を除去することによってＣＭＰ
の研磨速度が速くなり、少なくとも処理前に対して２０
％以上研磨速度が速くなる。炭化水素基の除去は第１の
絶縁膜全てに及ぶものでもよく、またはプラズマの条件
によって絶縁膜の表面から任意の深さまで行うこともで
きる。
第１の絶縁膜は、アルキル基等の炭化水素基を膜中に含
むシリコン酸化膜であり、回転塗布法による有機ＳＯＧ
膜やＴＥＯＳ等の有機シリコン化合物を原料としてＣＶ
Ｄより形成したシリコン酸化膜などである。具体的に
は、有機ＳＯＧ膜は東京応化工業（株）製のＯＣＤｔｙ
ｐｅ−７などがある。プラズマ処理は第１の絶縁膜中の
炭化水素基を選択的に除去するものであり、用いるガス
としては酸素或いは酸素を含む混合ガスで、プラズマ中
のイオンおよびラジカルにより炭化水素基を一酸化炭
素、水等にして除去できるものである。プラズマ処理の
結果、炭化水素基の一部を除去することによってＣＭＰ
の研磨速度が速くなり、少なくとも処理前に対して２０
％以上研磨速度が速くなる。炭化水素基の除去は第１の
絶縁膜全てに及ぶものでもよく、またはプラズマの条件
によって絶縁膜の表面から任意の深さまで行うこともで
きる。
【００１２】第１の絶縁膜の上の第２の絶縁膜は、炭化
水素基を含まない周知の無機ＳＯＧ膜、またはホトレジ
ストの材料であるノボラック系樹脂のような有機系の材
料である感光性樹脂が好ましい。具体的には東京応化工
業（株）製ＯＦＰＲ５０００などである。ケミカルメカ
ニカルポリシングは周知のシリカの砥粒を弱アルカリ性
の液体に懸濁させた研磨液を用い、研磨布としてはポリ
ウレタン製等の２層構造パットを用い、研磨布を張りつ
けた定盤を適当な圧力で適当な回転数のもとで実施され
る。具体的な研磨液としてはロデール・ニッタ（株）製
ＩＬＤ１３００などがある。また、研磨布としてはＩＣ
１０００／Ｓｕｂａ４００などがある。
水素基を含まない周知の無機ＳＯＧ膜、またはホトレジ
ストの材料であるノボラック系樹脂のような有機系の材
料である感光性樹脂が好ましい。具体的には東京応化工
業（株）製ＯＦＰＲ５０００などである。ケミカルメカ
ニカルポリシングは周知のシリカの砥粒を弱アルカリ性
の液体に懸濁させた研磨液を用い、研磨布としてはポリ
ウレタン製等の２層構造パットを用い、研磨布を張りつ
けた定盤を適当な圧力で適当な回転数のもとで実施され
る。具体的な研磨液としてはロデール・ニッタ（株）製
ＩＬＤ１３００などがある。また、研磨布としてはＩＣ
１０００／Ｓｕｂａ４００などがある。
【００１３】また、第１の絶縁膜の下に他の材料の絶縁
膜を形成してもよい。この時、一般に下の他の材料の絶
縁膜は、改質層のケミカルメカニカルポリシングの研磨
速度より遅い。また改質層のケミカルメカニカルポリシ
ングの後に第３の絶縁膜を形成する場合もある。例え
ば、酸化シリコン、窒化シリコン、酸化窒化シリコン、
或いはこれらにリンやホウ素などを混入させた材料が挙
げられる。また、絶縁膜の形成方法も特に限定されず、
各種化学気相成長法（ＣＶＤ）による方法が適用でき
る。
膜を形成してもよい。この時、一般に下の他の材料の絶
縁膜は、改質層のケミカルメカニカルポリシングの研磨
速度より遅い。また改質層のケミカルメカニカルポリシ
ングの後に第３の絶縁膜を形成する場合もある。例え
ば、酸化シリコン、窒化シリコン、酸化窒化シリコン、
或いはこれらにリンやホウ素などを混入させた材料が挙
げられる。また、絶縁膜の形成方法も特に限定されず、
各種化学気相成長法（ＣＶＤ）による方法が適用でき
る。
【００１４】本発明では、第１の絶縁膜の表層の炭化水
素基が除去されるため、ケミカルメカニカルポリシング
において、前記炭化水素基が除去された層は、十分速い
研磨速度が確保できる。また、プラズマ処理が表層の限
られた部分を処理した場合、第１の絶縁膜の炭化水素基
の除去は表層の限られた部分のみ行われるため、半導体
装置のチップ内の下層配線がない十分広い領域におい
て、第１の絶縁膜の少なくとも炭化水素基の残っている
部分は研磨速度が十分遅いため、削れ過ぎることはな
い。
素基が除去されるため、ケミカルメカニカルポリシング
において、前記炭化水素基が除去された層は、十分速い
研磨速度が確保できる。また、プラズマ処理が表層の限
られた部分を処理した場合、第１の絶縁膜の炭化水素基
の除去は表層の限られた部分のみ行われるため、半導体
装置のチップ内の下層配線がない十分広い領域におい
て、第１の絶縁膜の少なくとも炭化水素基の残っている
部分は研磨速度が十分遅いため、削れ過ぎることはな
い。
【００１５】また第２の絶縁膜として回転塗布法による
絶縁膜を用いた場合、その膜厚は第１の絶縁膜表面の凸
部で薄く凹部で厚く形成されるため、プラズマ処理時に
酸素イオン等の反応種が凹部ではより拡散し難くなり、
逆に凸部では拡散が進み第１の絶縁膜の凸部で選択的に
炭化水素基の除去が行える。つまり、第２の絶縁膜が第
２の絶縁膜の凹凸に反映した厚みによるマスクとなって
第１の絶縁膜の凸部を選択的に改質出来る。
絶縁膜を用いた場合、その膜厚は第１の絶縁膜表面の凸
部で薄く凹部で厚く形成されるため、プラズマ処理時に
酸素イオン等の反応種が凹部ではより拡散し難くなり、
逆に凸部では拡散が進み第１の絶縁膜の凸部で選択的に
炭化水素基の除去が行える。つまり、第２の絶縁膜が第
２の絶縁膜の凹凸に反映した厚みによるマスクとなって
第１の絶縁膜の凸部を選択的に改質出来る。
【００１６】さらに第２の絶縁膜として有機系の絶縁膜
を用いた場合、プラズマ処理時に第２の絶縁膜自体もア
ッシングされて除去される。この場合、第１の絶縁膜の
凸部の膜厚の薄い部分が凹部よりも先に除去されるた
め、凸部では第２の絶縁膜が除去された時点から第１の
絶縁膜の表面は直接プラズマに曝されるが、凹部ではこ
の後も第２の絶縁膜が除去されるまでは第１の絶縁膜の
表面はプラズマに曝されることはない。従って第１の絶
縁膜の凸部の炭化水素基の除去が凹部に対して加速され
る。また前記絶縁膜平坦化工程の後、再度酸素プラズマ
処理を行い残っている第１の絶縁膜全てを改質しても良
い。すなわち第１の絶縁膜中の炭化水素基をプラズマ処
理により除去する。これにより第１の絶縁膜は炭化水素
基が存在していた部分は微小な空孔となり、第１の絶縁
膜の誘電率を低減することができる。
を用いた場合、プラズマ処理時に第２の絶縁膜自体もア
ッシングされて除去される。この場合、第１の絶縁膜の
凸部の膜厚の薄い部分が凹部よりも先に除去されるた
め、凸部では第２の絶縁膜が除去された時点から第１の
絶縁膜の表面は直接プラズマに曝されるが、凹部ではこ
の後も第２の絶縁膜が除去されるまでは第１の絶縁膜の
表面はプラズマに曝されることはない。従って第１の絶
縁膜の凸部の炭化水素基の除去が凹部に対して加速され
る。また前記絶縁膜平坦化工程の後、再度酸素プラズマ
処理を行い残っている第１の絶縁膜全てを改質しても良
い。すなわち第１の絶縁膜中の炭化水素基をプラズマ処
理により除去する。これにより第１の絶縁膜は炭化水素
基が存在していた部分は微小な空孔となり、第１の絶縁
膜の誘電率を低減することができる。
【００１７】
【実施例１】以下、本発明の半導体装置の製造方法の実
施形態について、図面に基づいて説明する。図１は、第
一の実施形態を工程順に説明するための半導体装置の縦
断面図である。この実施例では、先ず、図１（ａ）に示
すように、下層配線１の上に第１の絶縁膜の下部の絶縁
膜として絶縁膜２を２００ｎｍ形成する。この絶縁膜２
は、プラズマＣＶＤにより形成されたシリコン酸化膜で
ある。この絶縁膜２の上に回転塗布法により第１の絶縁
膜である有機ＳＯＧ膜３を形成する。形成条件は、東京
応化工業（株）製ＯＣＤｔｙｐｅ−７を使用し、回転塗
布法を２度実施して膜厚１μｍ（キュア温度４００℃、
３０分）を得た。
施形態について、図面に基づいて説明する。図１は、第
一の実施形態を工程順に説明するための半導体装置の縦
断面図である。この実施例では、先ず、図１（ａ）に示
すように、下層配線１の上に第１の絶縁膜の下部の絶縁
膜として絶縁膜２を２００ｎｍ形成する。この絶縁膜２
は、プラズマＣＶＤにより形成されたシリコン酸化膜で
ある。この絶縁膜２の上に回転塗布法により第１の絶縁
膜である有機ＳＯＧ膜３を形成する。形成条件は、東京
応化工業（株）製ＯＣＤｔｙｐｅ−７を使用し、回転塗
布法を２度実施して膜厚１μｍ（キュア温度４００℃、
３０分）を得た。
【００１８】次に、図１（ｂ）に示すように、半導体装
置を酸素プラズマ中でプラズマ処理を行い、第１の絶縁
膜である有機ＳＯＧ膜３の表面付近の膜中のアルキル基
を除去した改質層４を形成する。この時のプラズマ条件
は、圧力０．４Ｔｏｒｒ、ＲＦパワー５０Ｗで実施し
た。次に、この状態のウエハー表面にケミカルメカニカ
ルポリシング（ＣＭＰ）を施すことにより図１（ｃ）に
示すように、改質層４を平坦化し、第１の絶縁膜である
有機ＳＯＧ膜３の凸部において絶縁膜２が表面に露出す
るまで研磨を行う。ＣＭＰの条件は、懸濁液として二次
凝集後の平均粒子径が１５０ｎｍ（一次粒子径３０ｎ
ｍ）のシリカの微粒子を含むアルカリ性の懸濁液を用
い、研磨布としては表層がポリウレタン製の硬質パッ
ド、下層が軟質パッドからなる二層構造パッドを用い
た。研磨速度は、プラズマ処理を行わなかった場合の有
機ＳＯＧ膜３の研磨速度が１４ｎｍ／ｍｉｎ、プラズマ
処理を行った有機ＳＯＧ膜３が改質層４に変化した場合
の研磨速度が１４０ｎｍ／ｍｉｎ、絶縁膜２であるシリ
コン酸化膜の研磨速度が１２０ｎｍ／ｍｉｎとなる条件
で研磨する。
置を酸素プラズマ中でプラズマ処理を行い、第１の絶縁
膜である有機ＳＯＧ膜３の表面付近の膜中のアルキル基
を除去した改質層４を形成する。この時のプラズマ条件
は、圧力０．４Ｔｏｒｒ、ＲＦパワー５０Ｗで実施し
た。次に、この状態のウエハー表面にケミカルメカニカ
ルポリシング（ＣＭＰ）を施すことにより図１（ｃ）に
示すように、改質層４を平坦化し、第１の絶縁膜である
有機ＳＯＧ膜３の凸部において絶縁膜２が表面に露出す
るまで研磨を行う。ＣＭＰの条件は、懸濁液として二次
凝集後の平均粒子径が１５０ｎｍ（一次粒子径３０ｎ
ｍ）のシリカの微粒子を含むアルカリ性の懸濁液を用
い、研磨布としては表層がポリウレタン製の硬質パッ
ド、下層が軟質パッドからなる二層構造パッドを用い
た。研磨速度は、プラズマ処理を行わなかった場合の有
機ＳＯＧ膜３の研磨速度が１４ｎｍ／ｍｉｎ、プラズマ
処理を行った有機ＳＯＧ膜３が改質層４に変化した場合
の研磨速度が１４０ｎｍ／ｍｉｎ、絶縁膜２であるシリ
コン酸化膜の研磨速度が１２０ｎｍ／ｍｉｎとなる条件
で研磨する。
【００１９】プラズマ処理工程を行わずケミカルメカニ
カルポリシングにより有機ＳＯＧ膜３の平坦化を行う場
合、改質層が形成されていないため約１０倍の研磨時間
を要し、さらに絶縁膜２の研磨速度が有機ＳＯＧ膜３の
約１０倍であるため、絶縁膜２が露出後急激に絶縁膜２
の凸部が削れてしまい下層配線が露出する可能性がある
が、プラズマ処理を施すことにより第１の絶縁膜である
有機ＳＯＧ膜３は改質層４に改質し、その研磨速度が絶
縁膜２の研磨速度と同程度になり、下層配線が露出しに
くくなる。
カルポリシングにより有機ＳＯＧ膜３の平坦化を行う場
合、改質層が形成されていないため約１０倍の研磨時間
を要し、さらに絶縁膜２の研磨速度が有機ＳＯＧ膜３の
約１０倍であるため、絶縁膜２が露出後急激に絶縁膜２
の凸部が削れてしまい下層配線が露出する可能性がある
が、プラズマ処理を施すことにより第１の絶縁膜である
有機ＳＯＧ膜３は改質層４に改質し、その研磨速度が絶
縁膜２の研磨速度と同程度になり、下層配線が露出しに
くくなる。
【００２０】改質層４の平坦化工程の後、図１（ｄ）に
示すように第３の絶縁膜５を形成する。この絶縁膜５は
プラズマＣＶＤにより形成されたシリコン酸化膜であ
る。次にスルホールを形成しＷプラグ６を形成した後、
上層配線７を形成する。Ｗプラグの形成はスルーホール
形成後Ｔｉ及びＴｉＮ膜を密着層としてスパッタリング
により形成し、ＣＶＤによりＷ膜を堆積し、ドライエッ
チングによりスルーホール内部のＷのみを残して、他の
Ｗを除去することにより行う。
示すように第３の絶縁膜５を形成する。この絶縁膜５は
プラズマＣＶＤにより形成されたシリコン酸化膜であ
る。次にスルホールを形成しＷプラグ６を形成した後、
上層配線７を形成する。Ｗプラグの形成はスルーホール
形成後Ｔｉ及びＴｉＮ膜を密着層としてスパッタリング
により形成し、ＣＶＤによりＷ膜を堆積し、ドライエッ
チングによりスルーホール内部のＷのみを残して、他の
Ｗを除去することにより行う。
【００２１】
【実施例２】図２は、第２の実施形態を工程順に説明す
るための半導体装置の縦断面図である。この実施例で
は、先ず、図２（ａ）に示すように、下層配線１の上に
絶縁膜２を形成する。この絶縁膜２は、プラズマＣＶＤ
により形成されたシリコン酸化膜で膜厚２００ｎｍであ
る。この絶縁膜２の上に回転塗布法により第１の絶縁膜
である有機ＳＯＧ膜３を形成する。具体的な条件は、実
施例１と同じである。さらに有機ＳＯＧ膜３の上に回転
塗布法により第２の絶縁膜であるノボラック系樹脂レジ
スト８を形成する。具体的には東京応化工業（株）製Ｏ
ＦＰＲ５０００を２μｍ塗布形成する。
るための半導体装置の縦断面図である。この実施例で
は、先ず、図２（ａ）に示すように、下層配線１の上に
絶縁膜２を形成する。この絶縁膜２は、プラズマＣＶＤ
により形成されたシリコン酸化膜で膜厚２００ｎｍであ
る。この絶縁膜２の上に回転塗布法により第１の絶縁膜
である有機ＳＯＧ膜３を形成する。具体的な条件は、実
施例１と同じである。さらに有機ＳＯＧ膜３の上に回転
塗布法により第２の絶縁膜であるノボラック系樹脂レジ
スト８を形成する。具体的には東京応化工業（株）製Ｏ
ＦＰＲ５０００を２μｍ塗布形成する。
【００２２】次に、図２（ｂ）に示すように、半導体装
置を酸素プラズマ中でプラズマ処理を行い、レジスト８
をアッシングし除去すると共に有機ＳＯＧ膜３の凸部の
表面付近の膜中のアルキル基を除去した改質層４を形成
する。この時のプラズマ処理の条件は、圧力０．４Ｔｏ
ｒｒ、ＲＦパワー２００Ｗである。この結果、有機ＳＯ
Ｇ膜３の凹凸に応じて、プラズマ処理に曝されレベルが
異なってくる。つまり、有機ＳＯＧ膜３の表面の凸部の
上に形成されたレジスト８の膜厚は有機ＳＯＧ膜３の凹
部の膜厚に比べて薄い。このためプラズマ処理により凸
部のレジスト８がアッシングで除去された時点では凹部
にはレジスト８は残っている。この時点から有機ＳＯＧ
膜３の表面は直接プラズマに曝され、凹部はレジスト８
が除去されるまでは直接プラズマに曝されない。従って
有機ＳＯＧ膜３の凸部の炭化水素基の除去が選択的に行
える。
置を酸素プラズマ中でプラズマ処理を行い、レジスト８
をアッシングし除去すると共に有機ＳＯＧ膜３の凸部の
表面付近の膜中のアルキル基を除去した改質層４を形成
する。この時のプラズマ処理の条件は、圧力０．４Ｔｏ
ｒｒ、ＲＦパワー２００Ｗである。この結果、有機ＳＯ
Ｇ膜３の凹凸に応じて、プラズマ処理に曝されレベルが
異なってくる。つまり、有機ＳＯＧ膜３の表面の凸部の
上に形成されたレジスト８の膜厚は有機ＳＯＧ膜３の凹
部の膜厚に比べて薄い。このためプラズマ処理により凸
部のレジスト８がアッシングで除去された時点では凹部
にはレジスト８は残っている。この時点から有機ＳＯＧ
膜３の表面は直接プラズマに曝され、凹部はレジスト８
が除去されるまでは直接プラズマに曝されない。従って
有機ＳＯＧ膜３の凸部の炭化水素基の除去が選択的に行
える。
【００２３】次に、この状態の半導体装置の表面にケミ
カルメカニカルポリシングを施すことにより図２（ｃ）
に示すように、改質層４を含む有機ＳＯＧ膜３を平坦化
し、凸部において絶縁膜２が表面に露出するまで研磨を
行う。ここでは、二次凝集後の平均粒子径が１５０ｎｍ
（一次粒子径３０ｎｍ）のシリカの微粒子を含むアルカ
リ性の懸濁液を用い、研磨布としては表層がポリウレタ
ン製の硬質パッド、下層が軟質パッドからなる二層構造
パッドを用い、プラズマ処理を行わない有機ＳＯＧ膜３
の研磨速度が１４ｎｍ／ｍｉｎ、プラズマ処理を行い有
機ＳＯＧ膜３が改質した改質層４の研磨速度が１４０ｎ
ｍ／ｍｉｎ、絶縁膜２のシリコン酸化膜の研磨速度が１
２０ｎｍ／ｍｉｎとなる条件で研磨した。
カルメカニカルポリシングを施すことにより図２（ｃ）
に示すように、改質層４を含む有機ＳＯＧ膜３を平坦化
し、凸部において絶縁膜２が表面に露出するまで研磨を
行う。ここでは、二次凝集後の平均粒子径が１５０ｎｍ
（一次粒子径３０ｎｍ）のシリカの微粒子を含むアルカ
リ性の懸濁液を用い、研磨布としては表層がポリウレタ
ン製の硬質パッド、下層が軟質パッドからなる二層構造
パッドを用い、プラズマ処理を行わない有機ＳＯＧ膜３
の研磨速度が１４ｎｍ／ｍｉｎ、プラズマ処理を行い有
機ＳＯＧ膜３が改質した改質層４の研磨速度が１４０ｎ
ｍ／ｍｉｎ、絶縁膜２のシリコン酸化膜の研磨速度が１
２０ｎｍ／ｍｉｎとなる条件で研磨した。
【００２４】プラズマ処理の効果は第１の実施形態と同
様だが、それらに加えて、第２の実施形態では有機ＳＯ
Ｇ膜３の凸部のみを選択的に改質するため、有機ＳＯＧ
膜３の凹部の研磨速度は絶縁膜２或いは改質層４の研磨
速度に比べて１０分の１程度の遅いままである。従って
半導体装置のチップ内の凹部となる下層配線がない十分
広い領域における研磨が抑制され、よりチップ内の表面
の段差のない半導体装置が製造できた。
様だが、それらに加えて、第２の実施形態では有機ＳＯ
Ｇ膜３の凸部のみを選択的に改質するため、有機ＳＯＧ
膜３の凹部の研磨速度は絶縁膜２或いは改質層４の研磨
速度に比べて１０分の１程度の遅いままである。従って
半導体装置のチップ内の凹部となる下層配線がない十分
広い領域における研磨が抑制され、よりチップ内の表面
の段差のない半導体装置が製造できた。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の方法によ
れば、有機ＳＯＧ膜の様な炭化水素基を含むシリコン酸
化膜をシリカの砥粒を弱アルカリ性の液体に懸濁させた
研磨液で容易に研磨でき、多層配線構造を有する高品質
な半導体装置を製造することができる。
れば、有機ＳＯＧ膜の様な炭化水素基を含むシリコン酸
化膜をシリカの砥粒を弱アルカリ性の液体に懸濁させた
研磨液で容易に研磨でき、多層配線構造を有する高品質
な半導体装置を製造することができる。
【図１】本発明の製造方法の実施形態を工程順に説明す
るための半導体装置の縦断面図を示す。
るための半導体装置の縦断面図を示す。
【図２】本発明の製造方法の他の実施形態を工程順に説
明するための半導体装置の縦断面図を示す。
明するための半導体装置の縦断面図を示す。
１ 下層配線 ２ 絶縁膜 ３ 第１の絶縁膜である有機ＳＯＧ膜 ４ 有機ＳＯＧ膜の改質層 ５ 第３の絶縁膜である絶縁膜 ６ Ｗプラグ ７ 上層配線 ８ 第２の絶縁膜である感光性レジスト
Claims (5)
- 【請求項１】 半導体装置の製造方法において、半導体
基板上に炭化水素基を含む第１の絶縁膜を形成し、該第
１の絶縁膜をプラズマ処理により膜質を改質した改質層
を形成し、その後、該改質層をケミカルメカニカルポリ
シング（ＣＭＰ）して平坦化することを特徴とする半導
体装置の製造方法。 - 【請求項２】 請求項１記載の半導体装置の製造方法に
おいて、前記第１の絶縁膜を形成し、その後、該第１の
絶縁膜の上に第２の絶縁膜を形成することを特徴とする
半導体装置の製造方法。 - 【請求項３】 請求項２記載の半導体装置の製造方法に
おいて、第２の絶縁膜が感光性樹脂であることを特徴と
する半導体装置の製造方法。 - 【請求項４】 請求項１乃至請求項３のいずれかに記載
の半導体装置の製造方法において、前記改質層にケミカ
ルメカニカルポリシングを施した後、第３の絶縁膜を形
成することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 【請求項５】 請求項１乃至請求項４のいずれかに記載
の半導体装置の製造方法において、前記プラズマ処理が
少なくとも酸素を有する酸素プラズマ処理であることを
特徴とする半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16826897A JPH1116911A (ja) | 1997-06-25 | 1997-06-25 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16826897A JPH1116911A (ja) | 1997-06-25 | 1997-06-25 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1116911A true JPH1116911A (ja) | 1999-01-22 |
Family
ID=15864875
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16826897A Pending JPH1116911A (ja) | 1997-06-25 | 1997-06-25 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1116911A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010040932A (ja) * | 2008-08-07 | 2010-02-18 | Ebara Corp | 樹脂材料を含む基材の平坦化方法及び平坦化装置 |
-
1997
- 1997-06-25 JP JP16826897A patent/JPH1116911A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010040932A (ja) * | 2008-08-07 | 2010-02-18 | Ebara Corp | 樹脂材料を含む基材の平坦化方法及び平坦化装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020521 |