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JPH11133297A - フーリエ変換レンズ - Google Patents

フーリエ変換レンズ

Info

Publication number
JPH11133297A
JPH11133297A JP30164997A JP30164997A JPH11133297A JP H11133297 A JPH11133297 A JP H11133297A JP 30164997 A JP30164997 A JP 30164997A JP 30164997 A JP30164997 A JP 30164997A JP H11133297 A JPH11133297 A JP H11133297A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lens
fourier transform
group
lenses
positive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP30164997A
Other languages
English (en)
Inventor
Katsumi Shimada
克己 島田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Photo Film Co Ltd filed Critical Fuji Photo Film Co Ltd
Priority to JP30164997A priority Critical patent/JPH11133297A/ja
Publication of JPH11133297A publication Critical patent/JPH11133297A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 フーリエ変換レンズを簡易に構成する。 【解決手段】 物体側から順にそれぞれ1枚または2枚
のレンズL1 〜L4 からなる第1群レンズおよび第2群
レンズからレンズ系を構成する。第1群レンズおよび第
2群レンズは同一のレンズ素子からなり、かつ光軸Xに
垂直な面に関して対称に配置されてなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、フーリエ変換レン
ズに関するものである。
【0002】
【従来の技術】フーリエ変換レンズは、物体側の情報を
フーリエ変換して結像するレンズとして知られている。
すなわち、フーリエ変換レンズの物体側の焦点面に物体
をおいてコヒーレントな光で照明すると、物体上の光強
度分布フーリエ変換されて像側の焦点面状に結像する。
そしてこのようなフーリエ変換レンズはフーリエ変換ホ
ログラムの他、半導体製造装置のステッパ、レーザー共
振器などに用いられている。
【0003】このようなフーリエ変換レンズとしては、
例えば特公昭56−50247号公報に記載された8群
8枚構成のレンズ、特公平3−62242号公報に記載
された6枚構成のレンズ、特開昭63−75719号公
報に記載された5群構成のレンズ、特開平4−1843
10号公報に記載された5群5枚構成のレンズが知られ
ている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た特公昭56−50247号公報などに記載されたフー
リエ変換レンズはレンズ枚数が多く、構成が複雑であっ
た。
【0005】本発明は、上記事情に鑑みなされたもので
あり、簡易な構成のフーリエ変換レンズを提供すること
を目的とするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明によるフーリエ変
換レンズは、物体側から順にそれぞれ1枚または2枚の
レンズからなる第1群レンズおよび第2群レンズが配列
されてなるフーリエ変換レンズであって、前記第1群レ
ンズおよび前記第2群レンズは同一のレンズ素子からな
り、かつ光軸に垂直な面に関して対称に配置されてなる
ことを特徴とするものである。
【0007】また、本発明によるフーリエ変換レンズに
おいては、全系の焦点距離をf、前記各群レンズ間の主
点間隔をtg としたとき、下記の条件式(1)を満足す
るように構成されてなることが好ましい。
【0008】(1)1.5≦|tg /f|≦2.7 さらに、本発明のフーリエ変換レンズを、前記第1群レ
ンズおよび前記第2群レンズがそれぞれ1枚の正のメニ
スカスレンズからなる2群2枚構成とし、該正のメニス
カスレンズにおける凹面の曲率半径をrf 、凸面の曲率
半径をrb 、レンズ厚をdとしたとき、下記の条件式
(2)および(3)を満足するように構成することが好
ましい。
【0009】(2)1.0<rf /rb <1.1 (3)0.8<d/f<1.3 また、本発明のフーリエ変換レンズを、前記第1群レン
ズおよび前記第2群レンズがそれぞれ負のメニスカスレ
ンズおよび正レンズからなる2群4枚構成とし、負のメ
ニスカスレンズの焦点距離をfm 、正レンズの焦点距離
をfp 、負のメニスカスレンズと正レンズとの主点間隔
をte としたとき、下記の条件式(4)および(5)を
満足するように構成することが好ましい。
【0010】(4)1.1<|fm /fp |<1.9 (5)0.6≦te /f≦1.8 さらに、本発明のフーリエ変換レンズは、前記第1群レ
ンズおよび前記第2群レンズを構成するレンズの少なく
とも1つの面が非球面であることが好ましい。
【0011】
【発明の効果】本発明によるフーリエ変換レンズは、第
1群レンズおよび第2群レンズをそれぞれ1枚または2
枚の同一のレンズ素子からなるものとするとともに、各
群レンズを光軸に垂直な平面に関して対称に構成したた
め、レンズの構成枚数を少なくすることができるととも
に、構成するレンズの種類をも少なくすることができ
る。したがって、フーリエ変換レンズの構成を簡易なも
のとすることができるとともに、その製造も容易に行う
ことができ、これによりレンズのコストダウンを図るこ
とができる。
【0012】また、本発明によるフーリエ変換レンズを
構成するレンズの少なくとも1面を非球面とすることに
より、収差の補正を容易に行うことができる。
【0013】次に、上記条件式(1)〜(5)について
説明する。
【0014】条件式(1)の上限値を越えると、各群レ
ンズの間隔が狭くなり、構成上好ましくない。また、条
件式(1)の下限値を越えると、各群レンズを構成する
レンズ素子のパワーを強くしなければならなくなり、そ
の結果誤差に対する感度が高くなって、耐誤差性が悪化
する。
【0015】条件式(2)の上限値を超えると、横収
差、非点収差、f−sinθ性が補正不足となる。条件
式(2)の下限値を超えると、横収差、メリジオナル
(タンジェンシャル)方向の非点収差、f−sinθ性
が補正過剰となる。
【0016】条件式(3)の上限値を越えると、レンズ
が厚くなりすぎ製造適正が劣化する。条件式(3)の下
限値を超えると、各群レンズを構成するレンズ素子のパ
ワーを強くしなければならなくなり、その結果誤差に対
する感度が高くなって、耐誤差性が悪化する。
【0017】条件式(4)の上限値を超えると、横収
差、メリジオナル(タンジェンシャル)方向の非点収差
が補正過剰になる。条件式(4)の下限値を超えると、
球面収差が補正過剰になり、また負のメニスカスレンズ
および正のメニスカスレンズのパワーが強くなりすぎて
製造適正が劣化する。
【0018】条件式(5)の上限値を超えると、f−s
inθ性が補正不足になる。条件式(5)の下限値を超
えると、f−sinθ性が補正過剰になる。
【0019】
【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明の実施
形態について説明する。なお、以下2つの実施形態によ
る6つの実施例について具体的に説明するが、各実施例
に各々対応する図面の説明において同一の要素について
は同一の符号を付し、重複する説明については省略す
る。
【0020】−第1の実施形態− 図1から図3は本発明の第1の実施形態によるフーリエ
変換レンズの構成を示す図である。なお、第1の実施形
態において、図1から図3をそれぞれ実施例1から3と
する。第1の実施形態によるフーリエ変換レンズは、図
1から図3に示すように、物体側から、正の第1レンズ
1 および正の第2レンズL2 がこの順に配列されてな
る2群2枚構成であり、正の第1レンズL1 および正の
第2レンズL2 が光軸Xに垂直な平面に関して対称とな
るように配列されている。第1レンズL1 および第2レ
ンズL2 は同一構成の正のメニスカスレンズからなり、
かつ下記各条件式を満足するように構成されている。
【0021】(1)1.5≦|tg /f|≦2.7 (2)1.0<rf /rb <1.1 (3)0.8<d/f<1.3 但し、f :全系の焦点距離 tg :各群間の主点間隔 rf :レンズにおける凹面の曲率半径 rb :レンズにおける凸面の曲率半径 d :レンズ厚 次に、上記各条件式(1)〜(3) の技術的意義につい
て説明する。
【0022】条件式(1)の上限値を越えると、各群レ
ンズの間隔が狭くなり、構成上好ましくない。また、条
件式(1)の下限値を越えると、各群レンズを構成する
レンズ素子のパワーを強くしなければならなくなり、そ
の結果誤差に対する感度が高くなって、耐誤差性が悪化
する。
【0023】条件式(2)の上限値を超えると、横収
差、メリジオナル(タンジェンシャル)非点収差、f−
sinθ性が補正不足となる。条件式(2)の下限値を
超えると、横収差、非点収差、f−sinθ性が補正過
剰となる。
【0024】条件式(3)の上限値を越えると、レンズ
が厚くなりすぎ製造適正が劣化する。条件式(3)の下
限値を超えると、各群レンズを構成するレンズ素子のパ
ワーを強くしなければならなくなり、その結果誤差に対
する感度が高くなって、耐誤差性が悪化する。
【0025】また、実施例1〜3において、各レンズの
凹面および凸面は非球面となるように構成されている。
これにより、収差の補正を容易に行うことができる。
【0026】以下、実施例1〜3の各々について具体的
数値を用いて説明する。
【0027】<実施例1>実施例1における各レンズ面
の曲率半径r(mm)、各レンズの中心厚および各レン
ズ間の空気間隔d(mm)、各レンズの屈折率を下記表
1に示す。
【0028】但し、この表1および後述する表2,3に
おいて、各記号r,dに対応させた数字は物体側から順
次増加するようになっている。また、数字1は各表にお
けるSTOに対応している。
【0029】なお、表1の上段に、この実施例1のフー
リエ変換レンズにおける、レンズ系全体の焦点距離f、
群間の主点間隔tg 、前側(物体側)面曲率/後側面曲
率rf /rb およびレンズ厚dの値を示す。また、各実
施例1〜3におけるレンズデータの波長は808nm、
画角12°、f数は2.4である。さらに、表1〜表3
におけるA,B,Cは非球面係数であり、Aは4次の非
球面係数、Bは6次の非球面係数、Cは8次の非球面係
数である。
【0030】
【表1】
【0031】表1から明らかなように、実施例1では各
条件式(1)〜(3)が全て満足されており、各収差の
補正が充分になされている。
【0032】ここで、実施例1の球面収差、非点収差、
歪曲収差の収差図を図4に、f−sinθ性を図5に、
横収差の収差図を図6に示す。なお、図4において、LO
NGITUDINAL SPHERICAL ABER.が球面収差を、ASTIGMATIC
FIELD CURVES が非点収差を、DISTORTIONが歪曲収差を
示す。また、非球面収差図には、サジタル(S)像面
(実線)およびタンジェンシャル(T)像面(破線)に
対する収差が示されている。これら図4〜図6から明ら
かなように、実施例1によれば、前述した各収差および
f−sinθ性を全て良好なものとすることができる。
【0033】<実施例2>実施例2における各レンズ面
の曲率半径r(mm)、各レンズの中心厚および各レン
ズ間の空気間隔d(mm)、各レンズの屈折率を下記表
2に示す。
【0034】なお、表2の上段に、この実施例2のフー
リエ変換レンズにおける、レンズ系全体の焦点距離f、
群間の主点間隔tg 、前側(物体側)面曲率/後側面曲
率rf /rb およびレンズ厚dの値を示す。
【0035】
【表2】
【0036】表2から明らかなように、実施例2では各
条件式(1)〜(3)が全て満足されており、各収差の
補正が充分になされている。
【0037】ここで、実施例2の球面収差、非点収差、
歪曲収差の収差図を図7に、f−sinθ性を図8に、
横収差の収差図を図9に示す。なお、図7において、LO
NGITUDINAL SPHERICAL ABER.が球面収差を、ASTIGMATIC
FIELD CURVES が非点収差を、DISTORTIONが歪曲収差を
示す。また、非球面収差図には、サジタル(S)像面
(実線)およびタンジェンシャル(T)像面(破線)に
対する収差が示されている。これら図7〜図9から明ら
かなように、実施例2によれば、前述した各収差および
f−sinθ性を全て良好なものとすることができる。
【0038】<実施例3>実施例3における各レンズ面
の曲率半径r(mm)、各レンズの中心厚および各レン
ズ間の空気間隔d(mm)、各レンズの屈折率を下記表
3に示す。
【0039】なお、表3の上段に、この実施例3のフー
リエ変換レンズにおける、レンズ系全体の焦点距離f、
群間の主点間隔tg 、前側(物体側)面曲率/後側面曲
率rf /rb およびレンズ厚dの値を示す。
【0040】
【表3】
【0041】表3から明らかなように、実施例3では各
条件式(1)〜(3)が全て満足されており、各収差の
補正が充分になされている。
【0042】ここで、実施例3の球面収差、非点収差、
歪曲収差の収差図を図10に、f−sinθ性を図11
に、横収差の収差図を図12に示す。なお、図10にお
いて、LONGITUDINAL SPHERICAL ABER.が球面収差を、AS
TIGMATIC FIELD CURVES が非点収差を、DISTORTIONが歪
曲収差を示す。また、非球面収差図には、サジタル
(S)像面(実線)およびタンジェンシャル(T)像面
(破線)に対する収差が示されている。これら図10〜
図12から明らかなように、実施例3によれば、前述し
た各収差およびf−sinθ性を全て良好なものとする
ことができる。
【0043】−第2の実施形態−図13から図15は本
発明の第2の実施形態によるフーリエ変換レンズの構成
を示す図である。なお、第2の実施形態において、図1
3から図15をそれぞれ実施例4から6とする。第2の
実施形態によるフーリエ変換レンズは、図13から図1
5に示すように、物体側から、負の第1レンズL1 、正
の第2レンズL2、正の第3レンズL3 および負の第4
レンズL4 がこの順に配列されてなる2群4枚構成であ
り、負の第1レンズL1 および正の第2レンズL2 から
なる第1群レンズと正の第3レンズL3 および負の第4
レンズL4 からなる第2群レンズが光軸Xに垂直な平面
に関して対称となるように配列されている。第1および
第4のレンズL1 ,L4 、第2および第3のレンズ
3 ,L4 はそれぞれ同一構成のレンズからなり、かつ
下記各条件式を満足するように構成されている。
【0044】(1)1.5≦|tg /f|≦2.7 (4)1.1<|fm /fp |<1.9 (5)0.6≦te /f≦1.8 但し、f :全系の焦点距離 tg :各群レンズ間の主点間隔 fm :負のメニスカスレンズの焦点距離 fp :正レンズの焦点距離 te :負のメニスカスレンズと正レンズとの主点間隔 次に、上記各条件式(1),(4),(5) の技術的意
義について説明する。
【0045】条件式(1)の上限値を越えると、各群レ
ンズの間隔が狭くなり、構成上好ましくない。また、条
件式(1)の下限値を越えると、各群レンズを構成する
レンズ素子のパワーを強くしなければならなくなり、そ
の結果誤差に対する感度が高くなって、耐誤差性が悪化
する。
【0046】条件式(4)の上限値を超えると、横収
差、メリジオナル方向の非点収差が補正過剰になる。条
件式(4)の下限値を超えると、球面収差が補正過剰に
なり、また負のメニスカスレンズおよび正のメニスカス
レンズのパワーが強くなりすぎて製造適正が劣化する。
【0047】条件式(5)の上限値を超えると、f−s
inθ性が補正不足になる。条件式(5)の下限値を超
えると、f−sinθ性が補正過剰になる。
【0048】また、実施例4〜6において、第1レンズ
1 および第4レンズL4 の凹面および凸面は非球面と
なるように構成されている。これにより、収差の補正を
容易に行うことができる。
【0049】以下、実施例4〜6の各々について具体的
数値を用いて説明する。
【0050】<実施例4>実施例4における各レンズ面
の曲率半径r(mm)、各レンズの中心厚および各レン
ズ間の空気間隔d(mm)、各レンズの屈折率を下記表
4に示す。
【0051】但し、この表4および後述する表5,6に
おいて、各記号r,dに対応させた数字は物体側から順
次増加するようになっている。また、数字1は各表にお
けるSTOに対応している。
【0052】なお、表4の上段に、この実施例4のフー
リエ変換レンズにおける、レンズ系全体の焦点距離f、
群間の主点間隔tg 、負素子(負のメニスカスレンズ)
焦点距離/正素子焦点距離fm /fp および主点間隔t
e の値を示す。また、各実施例4〜6におけるレンズデ
ータの波長は808nm、画角12°、f数は2.4で
ある。さらに、表4〜表6におけるA,B,Cは非球面
係数であり、Aは4次の非球面係数、Bは6次の非球面
係数、Cは8次の非球面係数である。
【0053】
【表4】
【0054】表4から明らかなように、実施例4では各
条件式(1)、(4)および(5)が全て満足されてお
り、各収差の補正が充分になされている。
【0055】ここで、実施例4の球面収差、非点収差、
歪曲収差の収差図を図16に、f−sinθ性を図17
に、横収差の収差図を図18に示す。なお、図16にお
いて、LONGITUDINAL SPHERICAL ABER.が球面収差を、AS
TIGMATIC FIELD CURVES が非点収差を、DISTORTIONが歪
曲収差を示す。また、非球面収差図には、サジタル
(S)像面(実線)およびタンジェンシャル(T)像面
(破線)に対する収差が示されている。これら図16〜
図18から明らかなように、実施例4によれば、前述し
た各収差およびf−sinθ性を全て良好なものとする
ことができる。
【0056】<実施例5>実施例5における各レンズ面
の曲率半径r(mm)、各レンズの中心厚および各レン
ズ間の空気間隔d(mm)、各レンズの屈折率を下記表
5に示す。
【0057】なお、表5の上段に、この実施例5のフー
リエ変換レンズにおける、レンズ系全体の焦点距離f、
群間の主点間隔tg 、負素子(負のメニスカスレンズ)
焦点距離/正素子焦点距離fm /fp および主点間隔t
e の値を示す。
【0058】
【表5】
【0059】表5から明らかなように、実施例5では各
条件式(1)、(4)および(5)が全て満足されてお
り、各収差の補正が充分になされている。
【0060】ここで、実施例5の球面収差、非点収差、
歪曲収差の収差図を図19に、f−sinθ性を図20
に、横収差の収差図を図21に示す。なお、図19にお
いて、LONGITUDINAL SPHERICAL ABER.が球面収差を、AS
TIGMATIC FIELD CURVES が非点収差を、DISTORTIONが歪
曲収差を示す。また、非球面収差図には、サジタル
(S)像面(実線)およびタンジェンシャル(T)像面
(破線)に対する収差が示されている。これら図19〜
図21から明らかなように、実施例5によれば、前述し
た各収差およびf−sinθ性を全て良好なものとする
ことができる。
【0061】<実施例6>実施例6における各レンズ面
の曲率半径r(mm)、各レンズの中心厚および各レン
ズ間の空気間隔d(mm)、各レンズの屈折率を下記表
6に示す。
【0062】なお、表6の上段に、この実施例6のフー
リエ変換レンズにおける、レンズ系全体の焦点距離f、
群間の主点間隔tg 、負素子(負のメニスカスレンズ)
焦点距離/正素子焦点距離fm /fp および主点間隔t
e の値を示す。
【0063】
【表6】
【0064】表6から明らかなように、実施例6では各
条件式(1)、(4)および(5)が全て満足されてお
り、各収差の補正が充分になされている。
【0065】ここで、実施例6の球面収差、非点収差、
歪曲収差の収差図を図22に、f−sinθ性を図23
に、横収差の収差図を図24に示す。なお、図22にお
いて、LONGITUDINAL SPHERICAL ABER.が球面収差を、AS
TIGMATIC FIELD CURVES が非点収差を、DISTORTIONが歪
曲収差を示す。また、非球面収差図には、サジタル
(S)像面(実線)およびタンジェンシャル(T)像面
(破線)に対する収差が示されている。これら図22〜
図24から明らかなように、実施例6によれば、前述し
た各収差およびf−sinθ性を全て良好なものとする
ことができる。
【0066】なお、本発明のフーリエ変換レンズとして
は上記実施例のものに限られるものではなく、種々の変
更が可能であり、例えば各レンズの曲率半径rおよびレ
ンズ間隔(もしくはレンズ厚)dを任意に変更すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例1によるフーリエ変換レンズの構成を示
す図
【図2】実施例2によるフーリエ変換レンズの構成を示
す図
【図3】実施例3によるフーリエ変換レンズの構成を示
す図
【図4】実施例1によるフーリエ変換レンズの収差図
(球面収差、非点収差、歪曲収差)
【図5】実施例1によるフーリエ変換レンズのf−si
nθ性を示す図
【図6】実施例1によるフーリエ変換レンズの横収差図
【図7】実施例2によるフーリエ変換レンズの収差図
(球面収差、非点収差、歪曲収差)
【図8】実施例2によるフーリエ変換レンズのf−si
nθ性を示す図
【図9】実施例2によるフーリエ変換レンズの横収差図
【図10】実施例3によるフーリエ変換レンズの収差図
(球面収差、非点収差、歪曲収差)
【図11】実施例3によるフーリエ変換レンズのf−s
inθ性を示す図
【図12】実施例3によるフーリエ変換レンズの横収差
【図13】実施例4によるフーリエ変換レンズの構成を
示す図
【図14】実施例5によるフーリエ変換レンズの構成を
示す図
【図15】実施例6によるフーリエ変換レンズの構成を
示す図
【図16】実施例4によるフーリエ変換レンズの収差図
(球面収差、非点収差、歪曲収差)
【図17】実施例4によるフーリエ変換レンズのf−s
inθ性を示す図
【図18】実施例4によるフーリエ変換レンズの横収差
【図19】実施例5によるフーリエ変換レンズの収差図
(球面収差、非点収差、歪曲収差)
【図20】実施例5によるフーリエ変換レンズのf−s
inθ性を示す図
【図21】実施例5によるフーリエ変換レンズの横収差
【図22】実施例6によるフーリエ変換レンズの収差図
(球面収差、非点収差、歪曲収差)
【図23】実施例6によるフーリエ変換レンズのf−s
inθ性を示す図
【図24】実施例6によるフーリエ変換レンズの横収差
【符号の説明】
1 〜r12 曲率半径 d1 〜d11 軸上面間隔

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 物体側から順にそれぞれ1枚または2枚
    のレンズからなる第1群レンズおよび第2群レンズが配
    列されてなるフーリエ変換レンズであって、 前記第1群レンズおよび前記第2群レンズは同一のレン
    ズ素子からなり、かつ光軸に垂直な面に関して対称に配
    置されてなることを特徴とするフーリエ変換レンズ。
  2. 【請求項2】 全系の焦点距離をf、前記各群レンズ間
    の主点間隔をtg としたとき、下記の条件式(1)を満
    足するように構成されてなることを特徴とする請求項1
    記載のフーリエ変換レンズ。 (1)1.5≦|tg /f|≦2.7
  3. 【請求項3】 前記第1群レンズおよび前記第2群レン
    ズは、それぞれ1枚の正のメニスカスレンズからなり、
    該正のメニスカスレンズにおける凹面の曲率半径を
    f 、凸面の曲率半径をrb 、レンズ厚をdとしたと
    き、下記の条件式(2)および(3)を満足するように
    構成されてなることを特徴とする請求項1または2記載
    のフーリエ変換レンズ。 (2)1.0<rf /rb <1.1 (3)0.8<d/f<1.3
  4. 【請求項4】 前記第1群レンズおよび前記第2群レン
    ズは、それぞれ負のメニスカスレンズおよび正レンズか
    らなり、負のメニスカスレンズの焦点距離をfm 、正レ
    ンズの焦点距離をfp 、負のメニスカスレンズと正レン
    ズとの主点間隔をte としたとき、下記の条件式(4)
    および(5)を満足するように構成されてなることを特
    徴とする請求項1または2記載のフーリエ変換レンズ。 (4)1.1<|fm /fp |<1.9 (5)0.6≦te /f≦1.8
  5. 【請求項5】 前記第1群レンズおよび前記第2群レン
    ズを構成するレンズの少なくとも1つの面が非球面であ
    ることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項記載
    のフーリエ変換レンズ。
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