JPH11132970A - 螢光ｘ線分析装置 - Google Patents
螢光ｘ線分析装置Info
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- JPH11132970A JPH11132970A JP9316564A JP31656497A JPH11132970A JP H11132970 A JPH11132970 A JP H11132970A JP 9316564 A JP9316564 A JP 9316564A JP 31656497 A JP31656497 A JP 31656497A JP H11132970 A JPH11132970 A JP H11132970A
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- gas
- rays
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 軽元素等を高い検出感度で分析することので
きる螢光Ｘ線分析装置を提供する。 【解決手段】 Ｘ線発生管３とＸ線ガイドチューブ４お
よびＸ線検出器５を内部に収納した本体容器１にガス導
入口２を設けると共に、その底部６に小孔６１を穿設
し、前記ガス導入口２から前記本体容器１内に導入した
Ｈｅガスを小孔６１から試料８の表面に向けて噴出させ
つつ、小孔６１を通過した一次Ｘ線３１をＨｅガス雰囲
気で包囲された試料８の表面に照射させ、発生した螢光
Ｘ線３２を小孔６１を通してＸ線検出器５で検出する。
きる螢光Ｘ線分析装置を提供する。 【解決手段】 Ｘ線発生管３とＸ線ガイドチューブ４お
よびＸ線検出器５を内部に収納した本体容器１にガス導
入口２を設けると共に、その底部６に小孔６１を穿設
し、前記ガス導入口２から前記本体容器１内に導入した
Ｈｅガスを小孔６１から試料８の表面に向けて噴出させ
つつ、小孔６１を通過した一次Ｘ線３１をＨｅガス雰囲
気で包囲された試料８の表面に照射させ、発生した螢光
Ｘ線３２を小孔６１を通してＸ線検出器５で検出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は例えば軽元素等を測
定するための螢光Ｘ線分析装置に関する。
定するための螢光Ｘ線分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】軽元素等の定量をおこなう螢光Ｘ線分析
装置では、例えば図４に示すように、本体容器ａ内にＸ
線発生管ｂとＸ線ガイドチューブｃおよびＸ線検出器ｄ
を設け、その本体容器ａの底部に保持具ｅを介してＸ線
透過薄膜ｆを張設し、その本体容器ａ内を真空に引き、
真空状態の下にＸ線発生管ｂで発生させた一次Ｘ線をＸ
線ガイドチューブｃに案内させてＸ線透過薄膜ｆを透過
させて試料台ｇ上の試料ｈの表面に照射させ、発生した
螢光Ｘ線（特性Ｘ線）をＸ線検出器ｄで検出するように
していた。
装置では、例えば図４に示すように、本体容器ａ内にＸ
線発生管ｂとＸ線ガイドチューブｃおよびＸ線検出器ｄ
を設け、その本体容器ａの底部に保持具ｅを介してＸ線
透過薄膜ｆを張設し、その本体容器ａ内を真空に引き、
真空状態の下にＸ線発生管ｂで発生させた一次Ｘ線をＸ
線ガイドチューブｃに案内させてＸ線透過薄膜ｆを透過
させて試料台ｇ上の試料ｈの表面に照射させ、発生した
螢光Ｘ線（特性Ｘ線）をＸ線検出器ｄで検出するように
していた。
【０００３】一方、試料が液体である場合には、例えば
図５に示すように、Ｘ線透過薄膜ｆを底部に張設した試
料容器ｉ内に試料ｈを入れ、その試料容器ｉを、本体容
器ａの上部に開設したＸ線照射孔ｍのまわりに設けた受
台ｎ上に載置し、その本体容器ａ内に設けたＸ線発生管
ｂで発生させた一次Ｘ線をＸ線透過薄膜ｆを介して試料
ｈの底面に照射させ、発生した螢光Ｘ線をＸ線検出器ｄ
で検出していた。
図５に示すように、Ｘ線透過薄膜ｆを底部に張設した試
料容器ｉ内に試料ｈを入れ、その試料容器ｉを、本体容
器ａの上部に開設したＸ線照射孔ｍのまわりに設けた受
台ｎ上に載置し、その本体容器ａ内に設けたＸ線発生管
ｂで発生させた一次Ｘ線をＸ線透過薄膜ｆを介して試料
ｈの底面に照射させ、発生した螢光Ｘ線をＸ線検出器ｄ
で検出していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の前者の
装置では、Ｘ線ガイドチューブｃを経由させた一次Ｘ線
と試料ｈの表面で発生した螢光Ｘ線とがＸ線透過薄膜ｆ
を透過するため、そのＸ線透過薄膜ｆによるＸ線の吸収
があり、また、その一次Ｘ線と螢光Ｘ線がＸ線透過薄膜
ｆと試料ｈの表面との間に存在する空気によっても吸収
されるため、高い検出感度が得られないという難点があ
った。
装置では、Ｘ線ガイドチューブｃを経由させた一次Ｘ線
と試料ｈの表面で発生した螢光Ｘ線とがＸ線透過薄膜ｆ
を透過するため、そのＸ線透過薄膜ｆによるＸ線の吸収
があり、また、その一次Ｘ線と螢光Ｘ線がＸ線透過薄膜
ｆと試料ｈの表面との間に存在する空気によっても吸収
されるため、高い検出感度が得られないという難点があ
った。
【０００５】一方、後者の装置では、本体容器ａ内を真
空に引くことは構成上不可能であり、Ｘ線透過薄膜ｆに
よるＸ線の吸収があり、また、本体容器ａ内の空気によ
ってもＸ線が吸収されるため、同様に、高い検出感度が
得られないという難点があった。
空に引くことは構成上不可能であり、Ｘ線透過薄膜ｆに
よるＸ線の吸収があり、また、本体容器ａ内の空気によ
ってもＸ線が吸収されるため、同様に、高い検出感度が
得られないという難点があった。
【０００６】本発明はこのような実情に鑑みてなされ、
軽元素等を高い検出感度で分析することのできる螢光Ｘ
線分析装置を提供することを目的としている。
軽元素等を高い検出感度で分析することのできる螢光Ｘ
線分析装置を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は上述の課題を解
決するための手段を以下のように構成している。すなわ
ち、請求項１に記載の発明では、Ｘ線発生管とＸ線ガイ
ドチューブおよびＸ線検出器を内部に収納した本体容器
にガス導入口を設けると共に、その底部に小孔を穿設
し、前記ガス導入口から前記本体容器内に導入したＨｅ
ガスを前記小孔から試料の表面に向けて噴出させつつ、
前記小孔を通過した一次Ｘ線を前記Ｈｅガス雰囲気で包
囲された試料表面に照射させ、発生した螢光Ｘ線を前記
小孔を通して前記Ｘ線検出器で検出するように構成して
なることを特徴としている。
決するための手段を以下のように構成している。すなわ
ち、請求項１に記載の発明では、Ｘ線発生管とＸ線ガイ
ドチューブおよびＸ線検出器を内部に収納した本体容器
にガス導入口を設けると共に、その底部に小孔を穿設
し、前記ガス導入口から前記本体容器内に導入したＨｅ
ガスを前記小孔から試料の表面に向けて噴出させつつ、
前記小孔を通過した一次Ｘ線を前記Ｈｅガス雰囲気で包
囲された試料表面に照射させ、発生した螢光Ｘ線を前記
小孔を通して前記Ｘ線検出器で検出するように構成して
なることを特徴としている。
【０００８】請求項２に記載の発明では、Ｘ線発生管と
Ｘ線検出器を内部に収納した本体容器にガス導入口とガ
ス排出口とを設け、Ｘ線透過薄膜材を底部に張設した試
料容器を前記本体容器上に開設したＸ線照射孔を塞ぐよ
うに載置し、前記ガス導入口から前記本体容器内に導入
したＨｅガスを前記ガス排出口から排出させつつ前記本
体容器内をＨｅガスで置換し、前記Ｘ線発生管で発生さ
せた一次Ｘ線を前記Ｘ線透過薄膜材を介して前記試料容
器内の液体試料に照射させ、発生した螢光Ｘ線を前記Ｘ
線検出器で検出するように構成してなることを特徴とし
ている。
Ｘ線検出器を内部に収納した本体容器にガス導入口とガ
ス排出口とを設け、Ｘ線透過薄膜材を底部に張設した試
料容器を前記本体容器上に開設したＸ線照射孔を塞ぐよ
うに載置し、前記ガス導入口から前記本体容器内に導入
したＨｅガスを前記ガス排出口から排出させつつ前記本
体容器内をＨｅガスで置換し、前記Ｘ線発生管で発生さ
せた一次Ｘ線を前記Ｘ線透過薄膜材を介して前記試料容
器内の液体試料に照射させ、発生した螢光Ｘ線を前記Ｘ
線検出器で検出するように構成してなることを特徴とし
ている。
【０００９】請求項１に記載の発明では、一次Ｘ線と螢
光Ｘ線を本体容器の底部に穿設した小孔を経由させるの
で、従来のようなＸ線透過薄膜材によるＸ線の吸収がな
く、また、その一次Ｘ線と螢光Ｘ線がＨｅガス雰囲気中
を通るので、大気によるＸ線の吸収もなくなり、検出感
度が顕著に向上する。
光Ｘ線を本体容器の底部に穿設した小孔を経由させるの
で、従来のようなＸ線透過薄膜材によるＸ線の吸収がな
く、また、その一次Ｘ線と螢光Ｘ線がＨｅガス雰囲気中
を通るので、大気によるＸ線の吸収もなくなり、検出感
度が顕著に向上する。
【００１０】請求項２に記載の発明では、一次Ｘ線と螢
光Ｘ線をＨｅガス雰囲気中に透過させるので、大気によ
るＸ線の吸収がなくなり、検出感度が向上する。
光Ｘ線をＨｅガス雰囲気中に透過させるので、大気によ
るＸ線の吸収がなくなり、検出感度が向上する。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下に本発明の螢光Ｘ線分析装置
の実施形態を図面等に基づいて詳細に説明する。図１は
軽元素測定用の螢光Ｘ線分析装置の模式的な構成図、図
２はその要部拡大図で、これらの図において、符号１は
本体容器、２はガス導入口、３はＸ線発生管、４はＸ線
ガイドチューブ、５はＸ線検出器、６は小孔６１を有す
る底板（底部）、７はその保持具、８は軽元素等の固体
試料（以下試料という）、９はＸＹ方向に移動自在な試
料台であり、その底板６に設けられる小孔６１は２×４
mm程度に形成されており、上述のガス導入口２から本体
容器１内にＨｅガスを例えば０．５ｌ／min 程度導入
し、その小孔６１から試料８の表面に向けて噴出させつ
つ、本体容器１の内部をＨｅガスで置換し、かつ、試料
８のＸ線照射点のまわりをＨｅガス雰囲気で包囲させる
ようにしている。
の実施形態を図面等に基づいて詳細に説明する。図１は
軽元素測定用の螢光Ｘ線分析装置の模式的な構成図、図
２はその要部拡大図で、これらの図において、符号１は
本体容器、２はガス導入口、３はＸ線発生管、４はＸ線
ガイドチューブ、５はＸ線検出器、６は小孔６１を有す
る底板（底部）、７はその保持具、８は軽元素等の固体
試料（以下試料という）、９はＸＹ方向に移動自在な試
料台であり、その底板６に設けられる小孔６１は２×４
mm程度に形成されており、上述のガス導入口２から本体
容器１内にＨｅガスを例えば０．５ｌ／min 程度導入
し、その小孔６１から試料８の表面に向けて噴出させつ
つ、本体容器１の内部をＨｅガスで置換し、かつ、試料
８のＸ線照射点のまわりをＨｅガス雰囲気で包囲させる
ようにしている。
【００１２】このような構成により、Ｘ線発生管３で発
生してＸ線ガイドチューブ４によって案内された一次Ｘ
線３１はＨｅガス雰囲気で満たされている小孔６１を通
り試料８の表面に照射され、その照射点で発生した螢光
Ｘ線３２も小孔６１を通ってＸ線検出器５で検出され
る。従って、その一次Ｘ線３１と螢光Ｘ線３２はいずれ
もＨｅガス中を通り、大気やＸ線透過薄膜による吸収を
全く受けることがなく、高い検出感度を得ることができ
る。なお、試料８が大きい場合には、試料台９を移動さ
せ、測定対象となる部分のみをＨｅガス雰囲気をすれば
よい。
生してＸ線ガイドチューブ４によって案内された一次Ｘ
線３１はＨｅガス雰囲気で満たされている小孔６１を通
り試料８の表面に照射され、その照射点で発生した螢光
Ｘ線３２も小孔６１を通ってＸ線検出器５で検出され
る。従って、その一次Ｘ線３１と螢光Ｘ線３２はいずれ
もＨｅガス中を通り、大気やＸ線透過薄膜による吸収を
全く受けることがなく、高い検出感度を得ることができ
る。なお、試料８が大きい場合には、試料台９を移動さ
せ、測定対象となる部分のみをＨｅガス雰囲気をすれば
よい。
【００１３】ところで、今仮に、Ｘ線発生管、Ｘ線ガ
イドチューブ、Ｘ線検出器、試料を単一のケース体内に
収納しそのケース体内を０．０１torr程度の真空に引く
と、Ｘ線が物質（酸素及び窒素）と衝突する可能性は大
気中の場合の１／１０，０００程度となる。従って、ほ
とんど減衰されることなく高感度に螢光Ｘ線を検出する
ことができる。
イドチューブ、Ｘ線検出器、試料を単一のケース体内に
収納しそのケース体内を０．０１torr程度の真空に引く
と、Ｘ線が物質（酸素及び窒素）と衝突する可能性は大
気中の場合の１／１０，０００程度となる。従って、ほ
とんど減衰されることなく高感度に螢光Ｘ線を検出する
ことができる。
【００１４】一方、このような真空引きに代えて、前
記ケース体内をＨｅガスで置換した場合と、置換するこ
となくそのケース体を大気中に置いた場合とを比較する
と、例えば、励起エネルギー３ＫｅＶを有する分析対象
元素では、その螢光Ｘ線の励起に要するエネルギーがＨ
ｅガス雰囲気中では０．０２５ＫｅＶ、大気中では０．
４２５ＫｅＶであり、結果的には、エネルギーの損失
は、Ｈｅガス雰囲気とした場合には大気中における場合
の１／１７程度となり、Ｈｅガス雰囲気中での検出感度
の向上効果が顕著であると認められる。
記ケース体内をＨｅガスで置換した場合と、置換するこ
となくそのケース体を大気中に置いた場合とを比較する
と、例えば、励起エネルギー３ＫｅＶを有する分析対象
元素では、その螢光Ｘ線の励起に要するエネルギーがＨ
ｅガス雰囲気中では０．０２５ＫｅＶ、大気中では０．
４２５ＫｅＶであり、結果的には、エネルギーの損失
は、Ｈｅガス雰囲気とした場合には大気中における場合
の１／１７程度となり、Ｈｅガス雰囲気中での検出感度
の向上効果が顕著であると認められる。
【００１５】他方、前記ケース体内を真空に引き、か
つ、Ｘ線透過薄膜（孔なし）を介して一次Ｘ線をＨｅガ
ス雰囲気中の試料８に照射させ、その螢光Ｘ線を検出し
た場合においては、前記の場合と比較して、Ｎａ以下
の元素（１．０８ＫｅＶより励起エネルギーの小さい元
素）ではかなりの影響があることが判明した。これはＸ
線透過薄膜による吸収に起因するものであり、このこと
が、図１および図２に示すようなＸ線透過薄膜を透過さ
せない構成が、軽元素の検出感度の向上にきわめて効果
的であることを示唆している。
つ、Ｘ線透過薄膜（孔なし）を介して一次Ｘ線をＨｅガ
ス雰囲気中の試料８に照射させ、その螢光Ｘ線を検出し
た場合においては、前記の場合と比較して、Ｎａ以下
の元素（１．０８ＫｅＶより励起エネルギーの小さい元
素）ではかなりの影響があることが判明した。これはＸ
線透過薄膜による吸収に起因するものであり、このこと
が、図１および図２に示すようなＸ線透過薄膜を透過さ
せない構成が、軽元素の検出感度の向上にきわめて効果
的であることを示唆している。
【００１６】その検出感度の向上効果については、図４
に示す従来の装置と、図１および図２に示す本発明の装
置とによる各元素の螢光Ｘ線強度の比較を示した下記表
１により確認することができる。なお、測定条件として
は、管電圧：１５ＫＶ，管電流：１．０ｍＡ，測定時
間：４００秒，測定試料は、Ｎａ：Ｎａ2 ＳＯ4 ，Ｍ
ｇ：Ｍｇ棒，Ａｌ：Ａｌ板，Ｓｉ：ＳｉＯ2 ，Ｓ：Ｎａ
2 ＳＯ4 ，Ｃａ：ＣａＣＯ3 を用いた。
に示す従来の装置と、図１および図２に示す本発明の装
置とによる各元素の螢光Ｘ線強度の比較を示した下記表
１により確認することができる。なお、測定条件として
は、管電圧：１５ＫＶ，管電流：１．０ｍＡ，測定時
間：４００秒，測定試料は、Ｎａ：Ｎａ2 ＳＯ4 ，Ｍ
ｇ：Ｍｇ棒，Ａｌ：Ａｌ板，Ｓｉ：ＳｉＯ2 ，Ｓ：Ｎａ
2 ＳＯ4 ，Ｃａ：ＣａＣＯ3 を用いた。
【００１７】
【表１】
【００１８】図３は液体試料（以下試料という）１８を
測定するための装置で、この場合、本体容器１１内にＸ
線発生管３およびＸ線検出器５を収納し、その本体容器
１１の一端にガス導入口１２を他端にガス排出口１３を
設け、その上部にＸ線照射孔１４を開設してそのまわり
に取り付けたリング状の受け台１５に、試料容器１６を
載置している。その試料容器１６の底部には、例えばポ
リプロピレン、マイラー等の螢光Ｘ線の透過を妨げない
材質よりなるＸ線透過薄膜１７が張設されており、上述
のガス導入口１２からＨｅガスを例えば０．５ｌ／min
程度導入してガス排出口１３から排出させつつ本体容器
１１内をＨｅガスで置換し、Ｘ線発生管３で発生させた
一次Ｘ線３１をＸ線透過薄膜１７を介して試料容器１６
中の試料１８に照射させ、発生した螢光Ｘ線３２をＸ線
検出器５で検出する。
測定するための装置で、この場合、本体容器１１内にＸ
線発生管３およびＸ線検出器５を収納し、その本体容器
１１の一端にガス導入口１２を他端にガス排出口１３を
設け、その上部にＸ線照射孔１４を開設してそのまわり
に取り付けたリング状の受け台１５に、試料容器１６を
載置している。その試料容器１６の底部には、例えばポ
リプロピレン、マイラー等の螢光Ｘ線の透過を妨げない
材質よりなるＸ線透過薄膜１７が張設されており、上述
のガス導入口１２からＨｅガスを例えば０．５ｌ／min
程度導入してガス排出口１３から排出させつつ本体容器
１１内をＨｅガスで置換し、Ｘ線発生管３で発生させた
一次Ｘ線３１をＸ線透過薄膜１７を介して試料容器１６
中の試料１８に照射させ、発生した螢光Ｘ線３２をＸ線
検出器５で検出する。
【００１９】このように本体容器１１内をＨｅガスで置
換することにより、軽元素の分析における検出感度の向
上を図ることができる。その向上効果については、本体
容器１１内を大気雰囲気とした場合の螢光Ｘ線強度を比
較して示した下記表２により確認することができる。な
お、表２における測定条件は管電圧：１５ＫＶ，管電
流：１ｍＡ，測定時間：４００秒であり、測定試料はＮ
ａ2 ＳＯ4 を用いた。
換することにより、軽元素の分析における検出感度の向
上を図ることができる。その向上効果については、本体
容器１１内を大気雰囲気とした場合の螢光Ｘ線強度を比
較して示した下記表２により確認することができる。な
お、表２における測定条件は管電圧：１５ＫＶ，管電
流：１ｍＡ，測定時間：４００秒であり、測定試料はＮ
ａ2 ＳＯ4 を用いた。
【００２０】
【表２】
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１に記載の
発明では、一次Ｘ線と螢光Ｘ線とをＸ線透過薄膜を透過
させることなくＨｅガス雰囲気中を透過させるようにし
たので、従来のようなＸ線透過薄膜や大気によるＸ線の
吸収がなくなり、検出感度が顕著に向上する。
発明では、一次Ｘ線と螢光Ｘ線とをＸ線透過薄膜を透過
させることなくＨｅガス雰囲気中を透過させるようにし
たので、従来のようなＸ線透過薄膜や大気によるＸ線の
吸収がなくなり、検出感度が顕著に向上する。
【００２２】請求項２に記載の発明では、一次Ｘ線と螢
光Ｘ線とをＨｅガス雰囲気中を通過させるようにしたの
で、大気によるＸ線の吸収がなくなり、検出感度が向上
する。
光Ｘ線とをＨｅガス雰囲気中を通過させるようにしたの
で、大気によるＸ線の吸収がなくなり、検出感度が向上
する。
【図１】本発明の螢光Ｘ線分析装置の一実施形態を示す
模式的構成図である。
模式的構成図である。
【図２】同要部拡大図である。
【図３】同異なる実施形態を示す模式的構成図である。
【図４】従来の螢光Ｘ線分析装置の一例を示す構成図で
ある。
ある。
【図５】従来の螢光Ｘ線分析装置の別の例を示す構成図
である。
である。
１，１１…本体容器、２，１２…ガス導入口、３…Ｘ線
発生管、３１…一次Ｘ線、３２…螢光Ｘ線、４…Ｘ線ガ
イドチューブ、５…Ｘ線検出器、６…底部（底板）、６
１…小孔、８，１８…試料、１３…ガス排出口、１４…
Ｘ線照射孔、１６…試料容器。
発生管、３１…一次Ｘ線、３２…螢光Ｘ線、４…Ｘ線ガ
イドチューブ、５…Ｘ線検出器、６…底部（底板）、６
１…小孔、８，１８…試料、１３…ガス排出口、１４…
Ｘ線照射孔、１６…試料容器。
Claims (2)
- 【請求項１】 Ｘ線発生管とＸ線ガイドチューブおよび
Ｘ線検出器を内部に収納した本体容器にガス導入口を設
けると共に、その底部に小孔を穿設し、前記ガス導入口
から前記本体容器内に導入したＨｅガスを前記小孔から
試料の表面に向けて噴出させつつ、前記小孔を通過した
一次Ｘ線を前記Ｈｅガス雰囲気で包囲された試料表面に
照射させ、発生した螢光Ｘ線を前記小孔を通して前記Ｘ
線検出器で検出するように構成してなることを特徴とす
る螢光Ｘ線分析装置。 - 【請求項２】 Ｘ線発生管とＸ線検出器を内部に収納し
た本体容器にガス導入口とガス排出口とを設け、Ｘ線透
過薄膜材を底部に張設した試料容器を前記本体容器上に
開設したＸ線照射孔を塞ぐように載置し、前記ガス導入
口から前記本体容器内に導入したＨｅガスを前記ガス排
出口から排出させつつ前記本体容器内をＨｅガスで置換
し、前記Ｘ線発生管で発生させた一次Ｘ線を前記Ｘ線透
過薄膜材を介して前記試料容器内の液体試料に照射さ
せ、発生した螢光Ｘ線を前記Ｘ線検出器で検出するよう
に構成してなることを特徴とする螢光Ｘ線分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31656497A JP3771697B2 (ja) | 1997-11-01 | 1997-11-01 | 螢光ｘ線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31656497A JP3771697B2 (ja) | 1997-11-01 | 1997-11-01 | 螢光ｘ線分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11132970A true JPH11132970A (ja) | 1999-05-21 |
| JP3771697B2 JP3771697B2 (ja) | 2006-04-26 |
Family
ID=18078509
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31656497A Expired - Fee Related JP3771697B2 (ja) | 1997-11-01 | 1997-11-01 | 螢光ｘ線分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3771697B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1100092A2 (de) * | 1999-11-12 | 2001-05-16 | Helmut Fischer GmbH & Co. | Vorrichtung zur Führung von Röntgenstrahlen |
| US7787593B2 (en) | 2004-03-16 | 2010-08-31 | Elisabeth Katz | Online analysis device |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102011005732B4 (de) | 2011-03-17 | 2013-08-22 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Einrichtung zur Röntgenspektroskopie |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05256803A (ja) * | 1992-03-11 | 1993-10-08 | Shimadzu Corp | 蛍光ｘ線分析装置 |
| JPH08114562A (ja) * | 1994-10-17 | 1996-05-07 | Technos Kenkyusho:Kk | 液体試料保持装置および液体試料分析装置 |
-
1997
- 1997-11-01 JP JP31656497A patent/JP3771697B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| EP1100092A3 (de) * | 1999-11-12 | 2003-03-26 | Helmut Fischer GmbH & Co. | Vorrichtung zur Führung von Röntgenstrahlen |
| US7787593B2 (en) | 2004-03-16 | 2010-08-31 | Elisabeth Katz | Online analysis device |
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| JP3771697B2 (ja) | 2006-04-26 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
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